Auger elektron spektroskopisi

Auger elektron spektroskopisi (AES), bir dizi iç gevşeme olayından sonra uyarılmış bir atomdan yayılan enerjik elektronların analizine dayanan Auger etkisine dayanan bir elektron spektroskopisi şeklidir. Özellikle yüzeylerin incelenmesinde ve daha genel olarak malzeme bilimi alanında kullanılan yaygın bir analitik tekniktir. Auger etkisi 1920'lerde hem Lise Meitner hem de Pierre Auger tarafından bağımsız olarak keşfedildi. Keşif Meitner tarafından yapılmış ve ilk olarak 1922'de Zeitschrift für Physik dergisinde bildirilmiş olsa da, Auger, bilim camiasının çoğunda keşifle tanınır. 1950'lerin başlarına kadar, Auger geçişleri, spektroskopistler tarafından rahatsız edici etkiler olarak kabul edildi, çok fazla ilgili malzeme bilgisi içermeyen, ancak X-ışını spektroskopi verilerindeki anormallikleri açıklamak için çalışıldı. Ancak 1953'ten beri AES, kimyasal ve bileşimsel yüzey ortamlarını araştırmak için pratik ve basit bir karakterizasyon tekniği haline geldi ve metalurji, gaz fazı kimyası ve mikroelektronik endüstrisinde uygulamalar buldu.

Kaynakça

Ek okuma 
 "Auger Electron Spectroscopy", J. Wolstenholme, published by Momentum Press, LLC, 2015, New York,  (print), 978-1-60650-682-0 (e-book)

Spektroskopi
Yüzey bilimi