Triklorosilan

Triklorosilan, HCl3Si formülüne sahip inorganik bir bileşiktir. Renksiz, uçucu bir sıvıdır. Saflaştırılmış triklorosilan, yarı iletken endüstrisinde ultra saf silisyumun ana öncülüdür. Suda, hidroklorik asit verirken bir siloksan polimeri üretmek için hızla ayrışır. Reaktivitesi ve geniş kullanılabilirliği nedeniyle, silisyum içeren organik bileşiklerin sentezinde sıklıkla kullanılır. 31.8 °C'de kaynar.

Üretim
Triklorosilan, toz hâline getirilmiş metalürjik dereceli silisyum 300 °C'de üfleme hidrojen klorür ile işlenmesiyle üretilir. Kimyasal denklemde açıklandığı gibi hidrojen de üretilir:
Si + 3 HCl → HCl3Si + H2
%80-90 verim alınabilir.  Ana yan ürünler silisyum tetraklorür (kimyasal formül SiCl4), hekzaklorodisilan (Si2Cl6) ve diklorosilandır (H2SiCl2), bunlardan triklorosilan damıtma yoluyla ayrılabilir.

Kullanım alanları
Triklorosilan, saflaştırılmış polisilisyum üretiminde kullanılan temel bileşendir.

Güvenlik
SiO2, klor (Cl) gazı, hidrojen klorür (HCl) ve ısı üreten su (H2O) ile şiddetli reaksiyona girer. Bir güvenlik bilgi formuna göre, triklorosilan döküntüleri, bir veya iki kısım triklorosilan başına NaOH veya NaHCO3 kullanılarak nötralize edilebilir.

Kaynakça

Klor bileşikleri