Karbon tetraflorür

Karbon tetraflorür veya R-14 olarak da bilinen tetraflorometan, en basit perflorokarbondur (CF4). IUPAC adından da anlaşılacağı gibi, tetraflorometan, hidrokarbon metanın perflorlanmış karşılığıdır. Tetraflorometan kullanışlı bir soğutucudur, lâkin aynı zamanda da güçlü bir sera gazıdır.

Tetraflorometan, karbonun kendisi de dâhil olmak üzere herhangi bir karbon bileşiğinin bir flor atmosferinde yakılmasıyla elde edilen üründür. Hidrokarbonlarla, hidrojen florürün bir yan üründür.  İlk kez 1926'da üretildiği bildirildi.

Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu (R-14) olarak kullanılır. Elektronik mikro fabrikasyonda tek başına veya silisyum, silisyum dioksit ve silisyum nitrür için bir plazma dağlayıcı olarak oksijenle kombinasyon hâlinde kullanılır.

Kaynakça

Halometanlar
İnorganik karbon bileşikleri