Yarı iletken cihaz imalatı

Yarı iletken cihaz imalatı, yarı iletken cihazları, tipik olarak günlük elektrikli ve elektronik cihazlarda bulunan entegre devre (IC) yongalarında kullanılan metal oksit yarı iletken (MOS) cihazları üretmek için kullanılan süreçtir. Saf yarı iletken malzemeden yapılmış bir wafer üzerinde elektronik devrelerin kademeli olarak oluşturulduğu fotolitografik ve kimyasal işlem aşamalarının (yüzey pasivasyonu, termal oksidasyon, düzlemsel difüzyon ve bağlantı izolasyonu gibi) çok aşamalı bir dizisidir. Silisyum hemen hemen her zaman kullanılır, ancak özel uygulamalar için çeşitli bileşik yarı iletkenler kullanılır.

Yıllara göre yarı iletken ölçekleri
 50 µm – 1960 yılları
 20 µm – 1960 yılları
 16 µm – 1960 yılları
 10 µm – 1971 yılı 
 8 µm – 1972 yılı 
 7 µm – 1973 yılı 
 6 µm – 1974 yılı
 5 µm – 1975 yılı 
 3.5 µm – 1976 yılı 
 3  µm – 1977 yılı
 2.5 µm – 1979 yılı 
 2 µm – 1980 yılı 
 1.5 µm – 1981 yılı
 1.3 µm – 1982 yılı 
 1.2 µm – 1983 yılı 
 1 µm – 1984 yılı
 800 nm – 1987 yılı
 750 nm – 1988 yılı
 700 nm – 1989 yılı
 650 nm – 1990 yılı
 600 nm – 1990 yılı
 500 nm – 1992 yılı
 350 nm – 1993 yılı
 280 nm – 1994 yılı
 250 nm – 1996 yılı
 240 nm – 1997 yılı
 220 nm – 1998 yılı
 180 nm – 1999 yılı
 150 nm – 2000 yılı
 130 nm – 2001 yılı
 90 nm – 2003 yılı
 80 nm – 2004 yılı
 65 nm – 2005 yılı
 55 nm – 2006 yılı
 45 nm – 2007 yılı
 40 nm – 2008 yılı
 32 nm – 2009 yılı
 28 nm – 2010 yılı
 22 nm – 2012 yılı
 20 nm – 2013 yılı
 16 nm – 2014 yılı
 14 nm – 2014 yılı
 10 nm – 2016 yılı
 7 nm – 2018 yılı
 5 nm – 2020 yılı
 3 nm – 2022 yılı
 2 nm ~ 2024 yılı (planlanıyor)
 1 nm ~ 2026 yılı (planlanıyor)

Ayrıca bakınız
 Yarı iletken ölçekli örnekleri listesi
 NMOS
 PMOS
 Moore yasası
 Devre küçültme
 Transistör sayısı
 CMOS
 Yarı iletken sanayii
 Nanoelektronik

Konuyla ilgili yayınlar 
 , section 14.2.
 Wiki related to Chip Technology

Dış bağlantılar 

 Silicon Wafers for Semiconductor Device Fabrication 
 Semiconductor glossary 
 Wafer heating
 Designing a Heated Chuck for Semiconductor Processing Equipment 

MOSFET