برآرایی بخار هیدرید

اپیتکسی فاز بخار هیدرید  گونه‌ای اپیتکسی است که در ساخت گونه‌هایی از نیمه‌رساناها مانند GaN، GaAs، InP کاربرد دارد. گازهای بکار رفته معمولاً شامل آمونیاک، هیدروژن، کلرید هستند.

جستارهای وابسته 
 اپیتکسی

منابع 

ویکی‌پدیای انگلیسی

لایه‌نشانی
نیمه‌رساناها
فناوری ساخت ادوات نیم‌رسانا