生成物は、フッ素と乾燥ヨウ化パラジウム(II)またはヨウ化カリウムを交互に加えることにより、加水分解によって生じるIOF5の形成を最小限に抑えることができる。
另外，这种物质还可以使用氟与干燥的碘化钯或碘化钾反应制得，用此法可尽量减少水解产生的杂质IOF5。