松隠堂に退隠後、82歳を迎えた寛文13年（1673年）正月、隠元は死を予知し身辺を整理し始め、3月になり、体調がますます衰え、4月2日には後水尾法皇から「大光普照国師」号が特諡された。
宽文十三年（1673年）正月，隐元事先预感到了自己将要死去，告诉了周围的人；3月体质开始衰弱；4月2日，后水尾法皇封之为大光普照国师，翌日病逝，寿82岁。