地質学、鉱物学、物質科学、半導体工学において、カソードルミネッセンス検出器もしくは光学カソードルミネッセンス顕微鏡（英語版）を付け加えた走査型電子顕微鏡を半導体、岩石、セラミックス、ガラスなどの内部構造を調べ、材料の組成や成長、品質を調べるのに使うことがある。
在地质学、矿物学、材料科学和半导体工程学中，结合了阴极射线发光探测器的扫描电子显微镜或光学显微镜被用于探测半导体、岩石、陶瓷器和玻璃等材料内部的结构，以获取这些材料的组成成分、生长情况和品质。