それぞれのハロゲン（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素）はそれぞれのハロメタンに対応するが、その安定性はCF4>CH4>CCl4>CBr4>CI4の順に減少する。
甲烷的四个氢也可以全部被同一种卤素取代，不过其化学稳定性以以下的顺序递减：CF4>CH4>CCl4>CBr4>CI4。