1884年に、フランスの微生物学者シャルル・シャンベラン（英語版）(1851–1931)は、今日シャンベラン型濾過器として知られている、細菌よりも小さい孔を持つフィルターを発明した。
1884年法国微生物学家查理斯·尚柏朗发明了一种过滤器（现称作尚柏朗过滤器或尚柏朗-巴斯德过滤器），它的孔径比细菌还小。