アニオンのペンタフルオロキセノン酸イオンは平面形であり、フッ素原子はわずかにゆがんだ五角形に配位している（Xe-F結合長は197.9-203.4pmの範囲で、その結合角は71.5-72.3°の範囲）。
五个氟原子位于同一平面，呈变形五边形结构，Xe－F键长在197.9-203.4pm之间，Xe－F键角在71.5-72.3°之间。