走査型トンネル顕微鏡の技法はナノスケールでの制御過程に応用され、ナノリソグラフィという研究分野を生んだ。
像扫描隧道显微镜这样的设备已经被用来控制像纳米光刻（英语：Nanolithography）这样的纳米尺度过程。