日本工業規格JISZ8122『コンタミネーションコントロール用語』によって、「定格風量で粒径が0.15µmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ」と規定されている。
超低穿透空气过滤网（英语：UltraLowPenetrationAirFilter，缩写：ULPA），主要是用来去除0.1µm以上之微粒，过滤效果约为DOP99.995%以上，过滤网材质为特殊玻璃纸。