青色半導体レーザーが開発された1990年代後半まで、青色レーザーは、希ガス混合物中の反転分布に依存し、大きな電流と、強力な冷却を必要とする、大型で、高価なガスレーザー装置であった。
直到1990年代中期，蓝光半导体激光的发展，蓝光激光为大且昂贵的气体激光装置，用混合稀有气体搭配高电流以及高的冷却系统来达成居量反转。