ナノリソグラフィ(Nanolithography)はナノテクノロジーの一分野で原子から約100nmの規模のナノメートルスケールの構造体やパターンの形成に用いられる。
更具体来说，纳米机器人学指的是设计和建造由纳米或者分子级别的成分构成的、大小在0.1-10微米的纳米机器人（nanorobots）的纳米技术工程科学。