半導体における拡散障壁（障壁金属）として用いることができる（例：アルミニウムとケイ素の間の拡散を防ぐ）。
它们可被用作半导体的扩散阻挡层（英语：diffusionbarrier）（“阻挡金属”），例如可抑制铝和硅之间的扩散。