対象の構成成分が別の手法などにより既知の場合、LIBSは試料中の各構成元素の相対存在量を評価したり、不純物の含有評価にも使用可能となる。
如果要分析的材料的成分是已知的，LIBS可用于评估每个构成元素的相对丰度，或监测杂质的存在。