1891年にはイギリスのジェイムズ・デュワーが研究で用いるに充分な液体酸素の製法を見つけ、1895年にはドイツのカール・フォン・リンデとイギリスのウィリアム・ハンプソンがそれぞれ液化分留による商業ベースに乗る量産法を確立した。
1895年，德国工程师卡尔·冯·林德（英语：CarlvonLinde）和英国工程师威廉·汉普森（英语：WilliamHampson）分别研发出商业可行的氧气液化过程。