二フッ化二酸素は、低圧(7-17mmHg)のフッ素ガスと酸素ガスの1:1混合物に、2.1-2.4kVの電圧をかけて25-30mAで放電をすることで得られる。
二氟化二氧首先由OttoRuff在1933年制得，方法为低压下，对1:1氟气和氧气的混合物通电（25-30mA、2.1-2.4kV）。