1893年、メートル原器へ初めての干渉法による計測が、マクスウェルと同じ主張を唱えるアルバート・マイケルソンによって行われた。
掠射角光栅的最早概念起源于1898年由阿尔伯特·迈克耳孙提出，并且该型光栅被称为“echelon”。