1960年、ß-正方晶ホウ素は1270から1550°Cに加熱したタングステン、レニウムもしくはタンタルフィラメント上で臭化ホウ素を水素還元することによって合成された（つまり化学気相蒸着法）。
1960年，科学家在摄氏温度1270–1550°C环境下于热钨丝、铼丝或钽丝上以氢还原BBr3（即化学气相沉积）合成了β四方硼晶。