蒸着中の膜厚の計測は、分光学的に反射率や屈折率を計測する方法(XRD)や、水晶振動子の蒸着材料付着による振動数の変化を測定する方法などがある。
蒸镀时的量测膜厚有使用分光学反射与折射率来计算与以水晶震动分子的蒸镀材料的振动数变化来测量膜厚等方法。