蒸着（じょうちゃく、英語：vapordeposition）とは、金属や酸化物などを蒸発させて、素材の表面に付着させる表面処理あるいは薄膜を形成する方法の一種。
蒸镀（英语：Deposition）是指将金属和氧化物等蒸发，使其于素材的表面附着形成一层薄膜的一种方法。