熱蒸発反応によって作られた反応物の分析には、X線回折装置(XRD)や走査型電子顕微鏡(SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)、エネルギー分散型X線分析(EDS)などが用いられる。
硅漂移探测器（英语：Silicondriftdetector）（SDD）是X光检测器，常用在X光能谱（能量散布分析仪，EDS）或电子显微镜（EDX）。