マイクロ流体工学とナノフォトニクスの分野が成熟し、研究者たちがこれら2つの分野の相乗効果を探り始めた2000年代半ばに光流体工学が正式に始まった。
2000年代中，因为微流控及奈米光学越来越成熟，研究者开始试着将二个整合，光流体学技术也开始发展。