エピタキシャルCVD原子層堆積（ALD:AtomicLayerDiposition)-膜材料を原子層レベルで一層ずつ堆積させる方式。
原子层化学气相气相沉积（AtomiclayerCVD，ALCVD）：连续沉积不同材料的晶体薄膜层。