接触は遷移金属を堆積を作ることで作られ、アニーリングによってシリサイドが作られた結果、シリサイドは非化学量論的となる。
接触通常通过沉积过渡金属然后退火形成硅化物来制造且形成的硅化物通常为非化学计算的。