Sachverhalt:
A.
Aufgrund einer Selbstanzeige der in Oslo domizilierten Düngemittelgrossproduzentin D._ International Asa (im Folgenden: D._) richteten die norwegischen Strafverfolgungsbehörden am 5. September 2011 ein Rechtshilfeersuchen an die Schweiz.
Gestützt darauf eröffnete die Bundesanwaltschaft am 27. Januar 2012 ein Strafverfahren gegen die A._ AG (im Folgenden: A._), B._ und C._ wegen Bestechung fremder Amtsträger (Art. 322septies i.V.m. Art. 102 Abs. 2 StGB) und Urkundenfälschung (Art. 251 StGB). Die A._ ist, wie ihre Schwesterfirma F._ AG (im Folgenden: F._), eine hundertprozentige Tochter der F._ Holding AG (im Folgenden: F._ Holding); alle drei Firmen haben ihren Sitz an der gleichen Adresse in Binningen. B._ ist Verwaltungsratspräsident der drei Firmen sowie CEO der F._ Holding. C._ ist Verwaltungsrat und CEO der A._ sowie Verwaltungsrat der F._. Aufgrund der Ermittlungen in Norwegen und der Schweiz ergab sich für die Bundesanwaltschaft der Verdacht, dass die A._ im Auftrag der D._ libysche Amtsträger bestach, um letzterer den Zugang zum libyschen Düngemittelmarkt zu eröffnen. Konkret soll die A._ am 29. März 2007 1.5 Mio USD auf eine Kontoverbindung der Offshorefirma G._ Ltd bei der H._ AG eingezahlt haben; wirtschaftlich Berechtigter an diesem Konto sei I._ gewesen, der Sohn des vormaligen Premier- und Erdölministers von Libyen, J._. Die Rückzahlung der 1.5 Mio USD von der D._ an die A._ soll mittels künstlich überhöhter Rechnungen für Ammoniaklieferungen von A._ an eine in Genf domizilierte Tochter der D._ - der K._ SA (im Folgenden: K._) - verschleiert worden sein.
Am 31. Januar 2012 führte die Bundesanwaltschaft eine Hausdurchsuchung bei der A._ in Binningen und der K._ in Genf durch. Bei der A._ wurden dabei die Jahre 2007 und 2008 betreffende Verträge und Rechnungen, Buchhaltungsunterlagen sowie IT-Daten (eine logische Kopie vom Server und von der Mailbox der A._ sowie der Userhome von C._) beschlagnahmt. Die Prüfung dieser Unterlagen durch das Kompetenzzentrum Wirtschaft und Finanzen der Bundesanwaltschaft (CCWF) verstärkte bei dieser den Verdacht, dass die A._ zur Verschleierung der Bestechungszahlungen Falschbeurkundungen vorgenommen hatte. Weiter fand das CCWF Hinweise auf mögliche weitere Korruptionshandlungen der A._ und der F._ in Tunesien und Nigeria.
B.
Aufgrund dieser neuen Erkenntnisse führte die Bundesanwaltschaft am 3. Oktober 2013 eine erneute Hausdurchsuchung in den Geschäftsräumlichkeiten der A._ in Binningen durch und beschlagnahmte umfangreiche elektronische Dateien und physische Unterlagen. Die physischen buchhalterischen Unterlagen und die Bankunterlagen der A._ für den Zeitraum 2006 bis und mit 2013 konnten in den durchsuchten Geschäftsunterlagen nicht gefunden werden; B._ verweigerte die Auskunft über deren Aufbewahrungsort. Die beschlagnahmten Unterlagen und Daten wurden - soweit sie nicht auf Betreiben der Rechtsvertreter der A._ bereits während der Hausdurchsuchung wieder freigegeben worden waren - auf Antrag der A._ versiegelt.
Am 22. Oktober 2013 beantragte die Bundesanwaltschaft dem Zwangsmassnahmengericht des Kantons Bern, die am 3. Oktober 2013 in den Geschäftsräumlichkeiten der A._ sichergestellten und versiegelten Unterlagen und Daten zu entsiegeln.
Am 4. Juni 2014 erkannte der Zwangsmassnahmenrichter:
"1. Das Entsiegelungsgesuch wird insoweit gutgeheissen, als dass folgende sichergestellte Positionen entsiegelt und der Gesuchstellerin mit der Ermächtigung zur Durchsuchung nach Eintritt der Rechtskraft dieses Entscheides herausgegeben werden:
- 01.01.0001 (Siegelungsnummer 1999), 01.01.0002, 01.01.0003, 01.01.0004, 01.01.0005 und 01.01.0006
- 01.02.0001 bis 01.02.0079, 01.02.0081 bis 01.02.0084
- 01.03 0001 bis 01.03.0011
- 01.02.0080
- 01.02.0085
- 01.04.0001 bis 01.04. 0005
- 01.05.0001 bis 01.05. 0002.
2. Die Gesuchstellerin wird aufgefordert, innert 30 Tagen nach Rechtskraft dieses Entscheides Stellung zu nehmen, ob sie am Antrag auf Entsiegelung der Position 01.01.0001 (Siegelungsnummer 1955) festhält.
3. Über die Entsiegelung der Position 01.01.0001 wird nach Eingang der Stellungnahme der Gesuchstellerin entschieden.
4. .. (Eröffnung) "
C.
Mit Beschwerde in Strafsachen beantragen die A._, B._ und C._, diesen Entscheid des Zwangsmassnahmengerichts aufzuheben, das Entsiegelungsgesuch der Bundesanwaltschaft abzuweisen und alle sichergestellten Unterlagen und Datenträger unverzüglich der A._ herauszugeben. Eventuell sei der Entscheid des Zwangsmassnahmengerichts aufzuheben und die Sache zu neuem Entscheid an die Vorinstanz zurückzuweisen. Subeventuell sei die Entsiegelung in Bezug auf folgende Positionen zu verweigern und die Bundesanwaltschaft anzuweisen, sie unverzüglich der A._ herauszugeben: 01.01.0001 bis 01.01.0006, 01.02.0080, 01.02.0085, 01.04.001 bis 01.04. 0005. Ausserdem ersuchen sie, ihrer Beschwerde aufschiebende Wirkung zuzuerkennen.
D.
Das Zwangsmassnahmengericht verzichtet auf Vernehmlassung. Die Bundesanwaltschaft beantragt, die Beschwerde abzuweisen, soweit darauf einzutreten sei.
In ihrer Replik halten die A._, B._ und C._ an der Beschwerde fest.
Erwägungen:
1.
1.1. Der angefochtene Entsiegelungsentscheid schliesst das Strafverfahren nicht ab, sondern ermöglicht vielmehr dessen Weiterführung. Bei Dispositiv-Ziffer 1 handelt sich um einen Zwischenentscheid, der die Bundesanwaltschaft ermächtigt, die versiegelten Unterlagen und Datenträger zu entsiegeln, zu durchsuchen und sie, soweit tauglich, als Beweismittel zuhanden des Strafverfahrens zu beschlagnahmen. Das kann für die Beschwerdeführer einen nicht wieder gutzumachenden Nachteil im Sinn von Art. 93 Abs. 1 lit. a BGG bewirken, womit die Beschwerde ans Bundesgericht nach konstanter Praxis offen steht (BGE 139 IV 246 E. 1.3; Urteile 1B_672/2012 vom 8. Mai 2013 E. 1.3; 1B_109/2010 vom 14.2010 E. 1.1; 1B_232/2009 vom 25. Februar 2010 E. 1). In den Dispositiv-Ziffern 2 und 3 wird dagegen das Entsiegelungsverfahren in Bezug auf eine bestimmte Position weitergeführt, womit insoweit kein anfechtbarer Entscheid vorliegt. Anfechtungsgegenstand im vorliegenden Beschwerdeverfahren ist dementsprechend einzig Dispositiv-Ziffer 1.
1.2. Die Beschwerdeführerin 1 ist als Unternehmen, dessen Unterlagen und Daten beschlagnahmt wurden und das vor dem Zwangsmassnahmengericht Parteistellung hatte, ohne weiteres zur Beschwerde befugt. Der Beschwerdeführer 2 hat als Verwaltungsratspräsident der Beschwerdeführerin 1 am 3. Oktober 2013 bei der Hausdurchsuchung der Geschäftsräumlichkeiten der Firma als deren Vertreter mitgewirkt; er hat die faktische Verfügungsgewalt über die sichergestellten Unterlagen und Daten ausgeübt und ist damit als ihr Inhaber zu betrachten. Das Gleiche gilt für den Beschwerdeführer 3 als Direktor bzw. CEO der Beschwerdeführerin 1, auch wenn er bei der Hausdurchsuchung nicht anwesend war. Die Beschwerdeführer 2 und 3 wären dementsprechend berechtigt gewesen, am Entsiegelungsverfahren vor der Vorinstanz teilzunehmen und wurden von dieser im Rubrum auch als Parteien aufgeführt. Ihr Rechtsanwalt Dr. Lucius Huber, der auch die Beschwerdeführerin 1, die F._ Holding und die F._ vertritt, hat indessen, worauf die Bundesanwaltschaft in ihrer Beschwerdeantwort ans Bundesgericht vom 22. August 2014 (S. 2 Ad Rz. 7 und 8) zu Recht hinweist, in seiner Eingabe ans Zwangsmassnahmengericht vom 10. April 2014 ausdrücklich erklärt, die Beschwerdeführer 2 und 3 seien nicht Inhaber der beschlagnahmten Unterlagen und Daten und damit nicht Verfahrensparteien. Darauf sind die Beiden zu behaften, auch wenn Rechtsanwalt Huber seine Stellungnahme vom 10. April 2014 formell für die Beschwerdeführerin 1, die F._ Holding und die F._ verfasst hat; da Rechtsanwalt Huber in diesem Verfahren auch ihr eigener Rechtsvertreter ist, können sie sich nach Treu und Glauben nicht auf den Standpunkt stellen, die Stellungnahme von Rechtsanwalt Huber vom 10. April 2014 binde nur die Beschwerdeführerin 1, nicht aber sie selber. Dass sie im Rubrum des angefochtenen Entscheids als Parteien aufgeführt wurden, ändert nichts daran, dass sie eine Teilnahme am vorinstanzlichen Verfahren verweigert haben. Sie sind damit nicht zur Beschwerde befugt (Art. 81 Abs. 1 lit. a BGG), weshalb auf die Beschwerde, soweit von den Beschwerdeführern 2 und 3 erhoben, nicht einzutreten ist.
1.3. Von vornherein gegenstandslos ist der Antrag, der Beschwerde aufschiebende Wirkung zuzuerkennen. Nachdem bereits der angefochtene Entscheid selber bestimmt, dass er erst nach Eintritt der Rechtskraft vollzogen werden darf, drohen während des bundesgerichtlichen Verfahrens keine Vollzugshandlungen, die mit der Gewährung der aufschiebenden Wirkung gehemmt werden könnten.
1.4. Die übrigen Sachurteilsvoraussetzungen geben zu keinen Bemerkungen Anlass, sodass auf die Beschwerde der Beschwerdeführerin 1 unter den erwähnten Einschränkungen einzutreten ist.
2.
2.1. Wer einem Amtsträger eines fremden Staates im Zusammenhang mit dessen amtlicher Tätigkeit für eine pflichtwidrige oder eine im Ermessen stehende Handlung oder Unterlassung zu dessen Gunsten oder zu Gunsten eines Dritten einen nicht gebührenden Vorteil anbietet, verspricht oder gewährt, wird mit Freiheitsstrafe bis zu fünf Jahren oder Geldstrafe bestraft (Art. 322septies Abs. 1 und 3 StGB). Bei Bestechung fremder Amtsträger im Sinne dieser Bestimmung wird das Unternehmen unabhängig von der Strafbarkeit natürlicher Personen bestraft, wenn ihm vorzuwerfen ist, dass es nicht alle erforderlichen und zumutbaren organisatorischen Vorkehren getroffen hat, um eine solche Straftat zu verhindern (Art. 102 Abs. 2 StGB).
2.2. Bei Entsiegelungsersuchen ist darüber zu entscheiden, ob die Geheimnisschutzinteressen, welche von der Inhaberin der versiegelten Aufzeichnungen und Gegenstände angerufen werden, einer Durchsuchung und weiteren strafprozessualen Verwendung durch die Staatsanwaltschaft entgegen stehen (Art. 248 Abs. 1 StPO; BGE 137 IV 189 E. 4 S. 194 f.; 132 IV 63 E. 4.1-4.6 S. 65 ff.). Strafprozessuale Zwangsmassnahmen setzen dabei auch voraus, dass ein hinreichender Tatverdacht vorliegt (Art. 197 Abs. 1 lit. b StPO) und der damit verbundene Eingriff verhältnismässig erscheint (Art. 197 Abs. 1 lit. c-d und Abs. 2 StPO).
3.
3.1. Die Beschwerdeführerin 1 wirft dem Zwangsmassnahmengericht eine Verletzung des Beschleunigungsgebotes vor, da es die Frist von einem Monat, die ihm Art. 248 Abs. 3 StPO für die Behandlung des Entsiegelungsgesuchs einräume, nicht eingehalten habe. Auch wenn es sich dabei um eine Ordnungsfrist handle, so habe das Zwangsmassnahmengericht das Entsiegelungsgesuch vom 22. Oktober 2013 erst am 4. Juni 2014, also nach rund 8 Monaten, beurteilt. Eine Missachtung der Monatsfrist in diesem Umfang müsse Konsequenzen haben, indem das Bundesgericht eine Verletzung des Beschleunigungsgebots feststelle und die Gerichtskosten der Bundesanwaltschaft auferlege.
3.2. Art. 5 Abs. 1 StPO verpflichtet die Straf- und Strafverfolgungsbehörden, Strafverfahren unverzüglich an die Hand zu nehmen und sie ohne unbegründete Verzögerung zum Abschluss zu bringen. Einer Verletzung des Beschleunigungsgebots ist nach der Praxis angemessen Rechnung zu tragen. Die Einstellung des Entsiegelungsverfahrens fällt allerdings nur in Betracht, wenn die Behörde das Verfahren in besonders krasser Weise verschleppt hat bzw. unerklärlich lange unbearbeitet liess und absehbar ist, dass sie auch in der Zukunft weder willens noch in der Lage ist, es mit der gebotenen Beförderung voranzutreiben (zur Publikation bestimmtes Urteil 1B_424/2013 vom 22. Juli 2014 E. 3.2 mit Hinweisen).
3.3. Die vom Gesetzgeber gesetzte Ordnungsfrist von einem Monat für die Erledigung von Entsiegelungsverfahren nach Art. 248 Abs. 3 StPO ist knapp bemessen. Das vorliegende Verfahren betrifft Wirtschaftskriminalität in internationalen Zusammenhängen und weist schon von daher eine erhebliche Komplexität auf. Es konnte nicht mit einem einfachen Schriftenwechsel erledigt werden, sondern es wurde, entsprechend dem Verfahrensantrag der damaligen Gesuchsgegnerinnen, ein zweiter Schriftenwechsel angeordnet. Zudem beanspruchten diese drei Fristverlängerungen von insgesamt rund einem Monat. Es ist zwar das gute Recht jeder Partei, Verteidigungsmittel voll auszuschöpfen, nur muss sie den entsprechenden Zeitbedarf in Kauf nehmen. Und wer routinemässig für praktisch jede Eingabe eine Fristverlängerung verlangt, zeigt damit auch an, dass er keinen besonderen Wert auf einen raschen Abschluss des Verfahrens legt. Vor diesem Hintergrund - insbesondere auch im Hinblick auf die schleppende Verfahrensführung der damaligen Gesuchsgegnerinnen - erscheint der Zeitbedarf des Zwangsmassnahmengerichts von knapp zwei Monaten für die Ausfertigung des angefochtenen Entscheids nach dem Abschluss des Schriftenwechsels als noch hinnehmbar. Die Rüge, das Zwangsmassnahmengericht habe ihren Anspruch auf eine beförderliche Verfahrensführung verletzt, ist unbegründet.
4.
4.1. In Bezug auf die Beurteilung der Beschwerde in der Sache ist zunächst Folgendes festzuhalten:
Die erste in diesem Strafverfahren durchgeführte Hausdurchsuchung vom 21. Januar 2012 und die dabei erfolgten Beschlagnahmungen sind nicht Gegenstand des vorliegenden Verfahrens. Die Kritik daran geht daher an der Sache vorbei.
Nach den Ausführungen in E. 1 ist nur die Beschwerde der Beschwerdeführerin 1 materiell zu behandeln. Diese kann sich einzig gegen die Entsiegelung ihrer eigenen Daten und und Unterlagen zur Wehr setzen. Unzulässig ist die Beschwerde daher insoweit, als sie sich gegen die Entsiegelung von Daten und Unterlagen anderer Unternehmen richtet, insbesondere der Muttergesellschaft F._ Holding und ihrer Schwestergesellschaft F._.
4.2. Aufgrund der Selbstanzeige der D._ und der Auswertung der anlässlich der ersten Hausdurchsuchung sichergestellten Geschäftsunterlagen durch die Bundesanwaltschaft besteht klarerweise der Verdacht, dass die Beschwerdeführerin 1 2007 über eine Offshorefirma an den Sohn eines damaligen libyschen Ministers 1.5 Mio USD zahlte, wobei diese Summe mutmasslich Bestechungszwecken diente. Der Einwand der Beschwerdeführerin 1, sie habe diese Zahlung gefälligkeitshalber für die D._ ausgeführt und weder gewusst noch wissen können, dass es sich um Bestechungsgelder handle, wird im Strafverfahren abschliessend zu prüfen sein; er ist jedenfalls nicht geeignet, den für die Entsiegelung erforderlichen Tatverdacht zu zerstreuen. Da sich eine Bestechung, jedenfalls wenn sie im Rahmen einer langjährigen Geschäftstätigkeit in einem autoritär regierten Land mit bekanntermassen korruptionsanfälligen Amtsträgern erfolgt, in der Regel nicht in einer einmaligen Zahlung erschöpft, begründet die Entdeckung der dubiosen Überweisung aus dem Jahre 2007 zudem den für eine Beschlagnahme bzw. Entsiegelung hinreichenden Verdacht, dass solche Bestechungszahlungen auch in den Jahren zuvor und danach erfolgten. Insofern ist keineswegs zu beanstanden, dass die Bundesanwaltschaft bei der ersten Hausdurchsuchung Geschäftsunterlagen von 2004 bis 2012 beschlagnahmte.
Das Gleiche gilt für den im Laufe der Analyse der zuerst beschlagnahmten Daten und Unterlagen aufgenommenen Verdacht, die Beschwerdeführerin 1 habe auch bei ihrer Geschäftstätigkeit in Tunesien 2010 und 2011 einen Amtsträger (L._) bestochen. Aufgrund dieses Verdachts konnte die Bundesanwaltschaft Geschäftsunterlagen der Jahre 2006 bis 2013 beschlagnahmen lassen. Der Vorwurf, die Vorinstanz habe den Tatverdacht unter Verletzung ihres rechtlichen Gehörs zeitlich ausgeweitet, ist unbegründet.
Die Beschwerdeführerin 1 versucht zwar, den Tatverdacht mit im bundesgerichtlichen Verfahren neu ins Recht gelegten Akten zu zerstreuen, indem sie darzulegen versucht, dass es aufgrund der zeitlichen Abläufe ausgeschlossen sei, dass die verdächtigen Zahlungen einen Zusammenhang mit ihren Geschäftsabschlüssen für die Lieferung von Ammoniak haben könnten. Der Umstand, dass eine dubiose Zahlung an L._ erfolgte, bevor die Ammoniaklieferungen ausgeschrieben wurden und der Liefervertrag abgeschlossen war, beweist indessen nicht, dass sich die Beschwerdeführerin 1 diesen Auftrag nicht durch eine vorgängig erfolgte Bestechung von L._ sicherte. Insofern kann offen bleiben, ob es sich bei den drei Aktenstücken - den Beschwerdebeilagen 10-12 - um unzulässige Noven handelt oder nicht.
4.3. Die Nigeria betreffenden Korruptionsvorwürfe richten sich, wie die Beschwerdeführerin 1 selber darlegt, nicht gegen sie, sondern gegen die F._ und/oder die F._ Holding. Gegen die Beschlagnahme von Daten und Unterlagen dieser beiden Firmen ist sie nach dem Gesagten nicht zur Beschwerde befugt, darauf ist nicht einzutreten.
4.4. Soweit die Beschwerdeführerin 1 geltend machen will, die gegen sie gerichteten Zwangsmassnahmen seien unverhältnismässig, weil sie mit den Untersuchungsbehörden kooperiert habe, ist die Rüge unbegründet. Der Beschwerdeführer 2 hat sich als Vertreter der Beschwerdeführerin 1 anlässlich der Hausdurchsuchung geweigert, den Strafverfolgungsbehörden Auskunft über den Aufbewahrungsort der nicht auffindbaren physischen Buchhaltungs- und Bankunterlagen der Beschwerdeführerin 1 für Jahre 2006 bis 2013 zu erteilen. Von einer vollen Kooperationsbereitschaft der Beschwerdeführerin 1 kann nicht im Ernst die Rede sein.
5.
Damit ergibt sich zusammenfassend, dass auf die Beschwerde der Beschwerdeführer 2 und 3 nicht einzutreten und diejenige der Beschwerdeführerin 1 abzuweisen ist, soweit darauf eingetreten werden kann. Bei diesem Ausgang des Verfahrens werden die Beschwerdeführer kostenpflichtig (Art. 66 Abs. 1 BGG).
Demnach erkennt das Bundesgericht:
1.
Auf die Beschwerde wird, soweit sie von den Beschwerdeführern 2 und 3 erhoben wurde, nicht eingetreten. Die Beschwerde der Beschwerdeführerin 1 wird abgewiesen, soweit darauf eingetreten wird.
2.
Die Gerichtskosten von insgesamt 3'000.-- werden den Beschwerdeführern zu je einem Drittel auferlegt.
3.
Dieses Urteil wird den Beschwerdeführern, der Schweizerischen Bundesanwaltschaft und dem Kantonalen Zwangsmassnahmengericht des Kantons Bern schriftlich mitgeteilt.
Lausanne, 18. September 2014
Im Namen der I. öffentlich-rechtlichen Abteilung
des Schweizerischen Bundesgerichts
Der Präsident: Fonjallaz
Der Gerichtsschreiber: Störi