Sachverhalt:
Sachverhalt:
A. A.a Der 1942 geborene V._ meldete sich am 9. Juni 1998 bei der Invalidenversicherung wegen Schulterbeschwerden zum Leistungsbezug an. Mit Verfügungen vom 26. April 2002 sprach ihm die IV-Stelle des Kantons Freiburg ab 1. Februar 1999 bei einem Invaliditätsgrad von 51 % eine halbe Invalidenrente nebst Kinderrente zu. Die dagegen erhobene Beschwerde mit dem Antrag auf Zusprechung einer ganzen Invalidenrente ab 1. Februar 1999, eventuell Rückweisung der Sache an die IV-Stelle zur Abklärung der Restarbeitsfähigkeit, wies das Verwaltungsgericht des Kantons Freiburg, soweit nicht gegenstandslos geworden, ab; es sei davon Vormerk zu nehmen, dass die IV-Stelle eine neue Verfügung erlassen werde, unter Berücksichtigung eines Invaliditätsgrades von 70 %, für die Zeit nach November 2000 (Entscheid vom 28. August 2003). In teilweiser Gutheissung der hiegegen eingereichten Verwaltungsgerichtsbeschwerde hob das Eidgenössische Versicherungsgericht (seit 1. Januar 2007 Bundesgericht) diesen Entscheid und die Verfügungen vom 26. April 2002 auf und wies die Sache an die IV-Stelle zurück, damit sie, nach erfolgter Abklärung im Sinne der Erwägungen, über den Rentenanspruch neu verfüge. Den Erwägungen ist zu entnehmen, dass die IV-Stelle angewiesen wurde, eine medizinische Begutachtung durchzuführen, die über die Entwicklung des Gesundheitszustandes und die Auswirkungen der gesundheitlichen Einschränkungen auf die Arbeitsfähigkeit in einer - zu präzisierenden - angepassten Tätigkeit während des Zeitraums vom 1. Februar 1999 bis 26. April 2002 Aufschluss zu geben habe (Urteil vom 24. Februar 2004).
A.b Am 22. März 2004 beauftragte die IV-Stelle die Klinik für Rheumatologie und Klinische Immunologie/Allergologie, Spital X._ (nachfolgend Spital X._), mit der Begutachtung des Versicherten. Mit Verfügung vom 11. Juni 2004 sprach sie ihm ab 1. Februar 2001 eine ganze Invalidenrente bei einem Invaliditätsgrad von 70 % zu. Hiegegen erhob der anwaltlich vertretene Versicherte am 18. Juni 2004 Einsprache mit dem Antrag auf Aufhebung der Verfügung und Zusprechung einer ganzen Invalidenrente ab 1. Februar 1999; die Ausgleichskasse des Kantons Freiburg sei anzuweisen, ihm ab 1. Februar 2001 rückwirkend provisorische Leistungen von monatlich Fr. 1874.- unter Anrechnung bereits erhaltener Leistungen und allfälliger Abtretungen an Dritte auszubezahlen. Am 10. September 2004 ging bei der IV-Stelle das Gutachten des Spitals X._ vom 14. August 2004 ein, wozu der Versicherte mit Eingabe vom 28. Februar 2005 aufforderungsgemäss Stellung nahm. Am 10. Dezember 2004 reichte der Versicherte ein Zeugnis des Dr. med. D._, FMH Innere Medizin, vom 6. Dezember 2004 ein. Mit Entscheid vom 17. März 2005 wies die IV-Stelle die Einsprache vom 18. Juni 2004 teilweise gut und hob die Verfügung vom 11. Juni 2004 zum Zwecke ergänzender Abklärungen auf; die Ausgleichskasse wurde angewiesen, dem Versicherten vom ersten Tag des zweiten der Zustellung dieses Entscheides folgenden Monats provisorische Leistungen im Betrag einer halben Invalidenrente auszubezahlen. Mit Verfügung vom 19. Dezember 2005 wies die IV-Stelle das Gesuch um Zusprache einer Parteientschädigung für das Einspracheverfahren ab.
A.b Am 22. März 2004 beauftragte die IV-Stelle die Klinik für Rheumatologie und Klinische Immunologie/Allergologie, Spital X._ (nachfolgend Spital X._), mit der Begutachtung des Versicherten. Mit Verfügung vom 11. Juni 2004 sprach sie ihm ab 1. Februar 2001 eine ganze Invalidenrente bei einem Invaliditätsgrad von 70 % zu. Hiegegen erhob der anwaltlich vertretene Versicherte am 18. Juni 2004 Einsprache mit dem Antrag auf Aufhebung der Verfügung und Zusprechung einer ganzen Invalidenrente ab 1. Februar 1999; die Ausgleichskasse des Kantons Freiburg sei anzuweisen, ihm ab 1. Februar 2001 rückwirkend provisorische Leistungen von monatlich Fr. 1874.- unter Anrechnung bereits erhaltener Leistungen und allfälliger Abtretungen an Dritte auszubezahlen. Am 10. September 2004 ging bei der IV-Stelle das Gutachten des Spitals X._ vom 14. August 2004 ein, wozu der Versicherte mit Eingabe vom 28. Februar 2005 aufforderungsgemäss Stellung nahm. Am 10. Dezember 2004 reichte der Versicherte ein Zeugnis des Dr. med. D._, FMH Innere Medizin, vom 6. Dezember 2004 ein. Mit Entscheid vom 17. März 2005 wies die IV-Stelle die Einsprache vom 18. Juni 2004 teilweise gut und hob die Verfügung vom 11. Juni 2004 zum Zwecke ergänzender Abklärungen auf; die Ausgleichskasse wurde angewiesen, dem Versicherten vom ersten Tag des zweiten der Zustellung dieses Entscheides folgenden Monats provisorische Leistungen im Betrag einer halben Invalidenrente auszubezahlen. Mit Verfügung vom 19. Dezember 2005 wies die IV-Stelle das Gesuch um Zusprache einer Parteientschädigung für das Einspracheverfahren ab.
B. Die gegen die Verfügung vom 19. Dezember 2005 eingereichte Beschwerde wies das Verwaltungsgericht des Kantons Freiburg mit Entscheid vom 22. Juni 2006 ab.
B. Die gegen die Verfügung vom 19. Dezember 2005 eingereichte Beschwerde wies das Verwaltungsgericht des Kantons Freiburg mit Entscheid vom 22. Juni 2006 ab.
C. Mit Verwaltungsgerichtsbeschwerde beantragt V._, in Aufhebung des kantonalen Entscheides sei ihm für das Einspracheverfahren betreffend die Verfügung vom 11. Juni 2004 eine Parteientschädigung von Fr. 3163.- nebst Auslagen von Fr. 256.- (Porti Fr. 92.-, 328 Fotokopien à Fr. -.50) und Mehrwertsteuer von 7,6 % zuzusprechen; für das kantonale Verfahren sei ihm eine Parteientschädigung von Fr. 1500.- nebst Mehrwertsteuer zuzusprechen. Er legt Verfügungen der IV-Stelle vom 28. April, 22. Mai und 13. Juni 2006, ein Schreiben an diese vom 23. Mai 2006 sowie deren Antwort vom 31. Mai 2006 auf.
Die IV-Stelle schliesst auf Abweisung der Verwaltungsgerichtsbeschwerde, während das Bundesamt für Sozialversicherungen auf eine Vernehmlassung verzichtet.
Das Bundesgericht zieht in Erwägung:
Das Bundesgericht zieht in Erwägung:
1. Das Bundesgesetz über das Bundesgericht vom 17. Juni 2005 (BGG; SR 173.110) ist am 1. Januar 2007 in Kraft getreten (AS 2006 1205, 1243). Da der angefochtene Entscheid vorher ergangen ist, richtet sich das Verfahren noch nach OG (Art. 132 Abs. 1 BGG; BGE 132 V 393 E. 1.2 S. 395).
1. Das Bundesgesetz über das Bundesgericht vom 17. Juni 2005 (BGG; SR 173.110) ist am 1. Januar 2007 in Kraft getreten (AS 2006 1205, 1243). Da der angefochtene Entscheid vorher ergangen ist, richtet sich das Verfahren noch nach OG (Art. 132 Abs. 1 BGG; BGE 132 V 393 E. 1.2 S. 395).
2. Streitig und zu prüfen ist der Anspruch des Beschwerdeführers auf Parteientschädigung im Einspracheverfahren gegen die Verfügung der IV-Stelle vom 11. Juni 2004, das mit Einspracheentscheid vom 17. März 2005 beendet wurde.
Der angefochtene Entscheid hat nicht die Bewilligung oder Verweigerung von Versicherungsleistungen zum Gegenstand. Das Bundesgericht prüft daher nur, ob das vorinstanzliche Gericht Bundesrecht verletzte, einschliesslich Überschreitung oder Missbrauch des Ermessens, oder ob der rechtserhebliche Sachverhalt offensichtlich unrichtig, unvollständig oder unter Verletzung wesentlicher Verfahrensbestimmungen festgestellt wurde (Art. 132 in Verbindung mit Art. 104 lit. a und b sowie Art. 105 Abs. 2 OG).
Der angefochtene Entscheid hat nicht die Bewilligung oder Verweigerung von Versicherungsleistungen zum Gegenstand. Das Bundesgericht prüft daher nur, ob das vorinstanzliche Gericht Bundesrecht verletzte, einschliesslich Überschreitung oder Missbrauch des Ermessens, oder ob der rechtserhebliche Sachverhalt offensichtlich unrichtig, unvollständig oder unter Verletzung wesentlicher Verfahrensbestimmungen festgestellt wurde (Art. 132 in Verbindung mit Art. 104 lit. a und b sowie Art. 105 Abs. 2 OG).
3. Das kantonale Gericht hat Art. 52 Abs. 3 Satz 2 ATSG, wonach für das Einspracheverfahren in der Regel keine Parteientschädigungen ausgerichtet werden, und die dazu ergangene Rechtsprechung (BGE 130 V 570 ff.) richtig wiedergegeben. Darauf wird verwiesen.
3. Das kantonale Gericht hat Art. 52 Abs. 3 Satz 2 ATSG, wonach für das Einspracheverfahren in der Regel keine Parteientschädigungen ausgerichtet werden, und die dazu ergangene Rechtsprechung (BGE 130 V 570 ff.) richtig wiedergegeben. Darauf wird verwiesen.
4. Der Beschwerdeführer hat im Einspracheverfahren teilweise obsiegt, indem die Verfügung vom 11. Juni 2004 zum Zwecke ergänzender Abklärungen aufgehoben und die Ausgleichskasse angewiesen wurde, ihm vom ersten Tag des zweiten der Zustellung des Entscheides folgenden Monats provisorische Leistungen im Betrag einer halben Invalidenrente auszubezahlen (Einspracheentscheid vom 17. März 2005). Der Versicherte hat für das Einspracheverfahren die Gewährung der unentgeltlichen Verbeiständung nicht verlangt. In diesem Lichte besteht daher kein Anspruch auf Parteientschädigung im Einspracheverfahren (BGE 130 V 570 E. 2.1 f. S. 571 ff.).
4. Der Beschwerdeführer hat im Einspracheverfahren teilweise obsiegt, indem die Verfügung vom 11. Juni 2004 zum Zwecke ergänzender Abklärungen aufgehoben und die Ausgleichskasse angewiesen wurde, ihm vom ersten Tag des zweiten der Zustellung des Entscheides folgenden Monats provisorische Leistungen im Betrag einer halben Invalidenrente auszubezahlen (Einspracheentscheid vom 17. März 2005). Der Versicherte hat für das Einspracheverfahren die Gewährung der unentgeltlichen Verbeiständung nicht verlangt. In diesem Lichte besteht daher kein Anspruch auf Parteientschädigung im Einspracheverfahren (BGE 130 V 570 E. 2.1 f. S. 571 ff.).
4. Der Beschwerdeführer hat im Einspracheverfahren teilweise obsiegt, indem die Verfügung vom 11. Juni 2004 zum Zwecke ergänzender Abklärungen aufgehoben und die Ausgleichskasse angewiesen wurde, ihm vom ersten Tag des zweiten der Zustellung des Entscheides folgenden Monats provisorische Leistungen im Betrag einer halben Invalidenrente auszubezahlen (Einspracheentscheid vom 17. März 2005). Der Versicherte hat für das Einspracheverfahren die Gewährung der unentgeltlichen Verbeiständung nicht verlangt. In diesem Lichte besteht daher kein Anspruch auf Parteientschädigung im Einspracheverfahren (BGE 130 V 570 E. 2.1 f. S. 571 ff.).
5.1 5.1.1 Die Vorinstanz hat erwogen, es sei nicht ersichtlich, weshalb angesichts des klaren gesetzgeberischen Willens die Verweigerung einer Parteientschädigung in casu den Grundrechten zuwider laufen würde. Ebenso wenig sei davon auszugehen, dass der Fall, soweit er die angefochtene Verfügung vom 11. Juni 2003 (recte: 2004) angehe, mit der die Zusprechung einer vollen Rente (recte: ganzen) ab Februar 2001 verbunden gewesen sei, eine besondere Komplexität aufgewiesen habe. Insbesondere sei darauf hinzuweisen, dass das kritisierte bloss teilweise Verfügen (also für die Periode ab Februar 2000 unter Vorbehalt der vorangehenden Zeit) einfach zu kritisieren sei und einen einfach festzustellenden Sachverhalt darstelle, was in der Einsprache keine besonderen Aufwendungen benötigt hätte. Es sei nicht ersichtlich, inwiefern Ausnahmen für die Zusprechung einer Parteientschädigung vorlägen.
5.1.2 Der Beschwerdeführer macht geltend, die Vorinstanz übergehe den entscheidenden Teil des Sachverhalts. Sie verschweige, dass das Einspracheverfahren, in dessen Rahmen das Gesuch um Parteientschädigung gestellt worden sei, nur deshalb notwendig geworden sei, weil die IV-Stelle die eindeutige Rechtsprechung des Eidgenössischen Versicherungsgerichts regelmässig missachtet habe. Selbst nachdem das Eidgenössische Versicherungsgericht die Verfügungen der IV-Stelle vom 26. April 2002 aufgehoben habe, habe diese erneut ungültige Verfügungen erlassen. Die Vorinstanz habe mithin die Komplexität des Verfahrens nicht erkannt. Die vorinstanzliche Sachverhaltsdarstellung enthalte lediglich eine unvollständige Zusammenfassung seiner Rügen, ohne jedoch den entscheidwesentlichen Sachverhalt festzustellen. Die Vorinstanz leite im Sachverhalt wie folgt zu den rechtlichen Erwägungen über: "Die weiteren rechtlichen und tatsächlichen Vorbringen der Parteien und die übrigen Elemente des Sachverhalts ergeben sich, soweit sie für die Rechtsfindung von Bedeutung sind, aus den nachfolgenden rechtlichen Erwägungen". Dieser Aufbau stelle eine unzulässige Vermischung rechtlicher und tatsächlicher Erwägungen dar. Auch in den rechtlichen Erwägungen finde sich keine konkrete Sachverhaltsfeststellung, gestützt auf welche die Anwendung von Art. 52 Abs. 3 ATSG geprüft werden könnte.
5.2 Aus den Erwägungen der Vorinstanz geht hervor, dass sie von einem nicht komplexen Fall ausging, der im Rahmen der Einspracheerhebung nicht besonders aufwändig gewesen sei (E. 5.1.1 hievor). Hieraus ist ersichtlich, auf welchen Sachverhalt sie bei ihrer Beurteilung abgestellt hat (vgl. auch BGE 130 V 570 E. 2.3.2 S. 573).
Unter diesen Umständen ist von einer Rückweisung der Sache an das kantonale Gericht zur Vervollständigung des Sachverhalts abzusehen (vgl. BGE 123 II 49 E. 6 S. 54 f.).
Unter diesen Umständen ist von einer Rückweisung der Sache an das kantonale Gericht zur Vervollständigung des Sachverhalts abzusehen (vgl. BGE 123 II 49 E. 6 S. 54 f.).
6. 6.1 Es ist nicht ersichtlich, inwiefern die Verweigerung einer Parteientschädigung im vorliegenden Fall in verfassungsmässig unhaltbarer Weise dem Gebot der Gerechtigkeit zuwiderliefe. Nicht gefolgt kann dem Einwand des Beschwerdeführers, es verstosse gegen Art. 8 BV, wenn im Falle des Obsiegens der Anspruch auf Parteientschädigung verneint werde, obwohl eine anwaltliche Verbeiständung auf Grund der Schwierigkeit des Falles notwendig gewesen sei. Letztgenannter Aspekt ist im Rahmen der besonderen Umstände des Falles zu prüfen (E. 6.2 hienach). Demnach kann auch vorliegend offen bleiben, ob ausnahmsweise gestützt auf Art. 8 BV im Einzelfall ein Anspruch auf Parteientschädigung anzuerkennen ist (vgl. BGE 130 V 570 E. 2.3.1 S. 573).
6.2 Nicht zu entscheiden ist auch hier die Frage, ob der Wortlaut von Art. 52 Abs. 3 Satz 2 ATSG die Zusprechung einer Parteientschädigung bei Vorliegen besonderer Umstände (etwa besonderer Aufwendungen oder Schwierigkeiten) zulässt (vgl. BGE 130 V 570 E. 2.3.2 S. 573), wie die folgenden Erwägungen zeigen.
Die Einsprache vom 18. Juni 2004 gegen die Verfügung der IV-Stelle vom 11. Juni 2004 umfasste knapp zweieinhalb Seiten (inklusive eine Seite Parteianschrift), wovon rund eine halbe Seite dem Anspruch auf Parteientschädigung gewidmet war. In materieller Hinsicht machte der Rechtsvertreter des Beschwerdeführers im Wesentlichen geltend, die medizinischen Abklärungen seien noch im Gange und es rechtfertige sich auf Grund der langen Verfahrensdauer, diesem ab Februar 2001 provisorisch eine ganze Invalidenrene zuzusprechen. Am 10. Dezember 2004 legte der Rechtsvertreter ein Zeugnis des Dr. med. D._ vom 6. Dezember 2004 auf. Mit knapp sechseinhalbseitiger Eingabe vom 28. Februar 2005 nahm er aufforderungsgemäss zum Gutachten des Spitals X._ vom 14. August 2004 Stellung und verlangte die Zusprechung einer ganzen Invalidenrente ab 1. Februar 1999, eventuell die Durchführung weiterer medizinischer Abklärungen.
Der Fall bot weder in tatsächlicher noch in rechtlicher Hinsicht besondere Schwierigkeiten. Er räumt letztinstanzlich ein, betrachte man das Einspracheverfahren gegen die Verfügung der IV-Stelle vom 11. Juni 2004 isoliert, sei die Voraussetzung der besonderen Schwierigkeit nicht gegeben.
Soweit der Beschwerdeführer geltend macht, die Einspracheerhebung gegen die Verfügung vom 11. Juni 2004 sei gerechtfertigt gewesen, zeigt dies wohl die Nützlichkeit des Einspracheverfahrens und dessen Zweck, Irrtümer der Verwaltung zu korrigieren, ohne dass der Betroffene ein Gerichtsverfahren anstrengen muss. Es belegt aber keine besondere Komplexität des Einspracheverfahrens (vgl. auch BGE 130 V 570 E. 2.3.2 S. 573 f.).
Der Beschwerdeführer bringt vor, die IV-Stelle sei trotz des klaren Urteils des Eidgenössischen Versicherungsgerichts vom 24. Februar 2004 nicht in der Lage gewesen, eine rechtsgenügliche Verfügung zu erlassen, was zu einer insgesamt langen Verfahrensdauer und damit Komplexität des Falles geführt habe. Entgegen seiner Auffassung können indessen hierin keine besonderen Umstände erblickt werden, die den Anspruch auf eine Parteientschädigung im Einspracheverfahren gegen die Verfügung der IV-Stelle vom 11. Juni 2004 begründen, das mit Entscheid vom 17. März 2005 abgeschlossen wurde. Diesbezüglich ist auch zu beachten, dass der Rechtsvertreter den Beschwerdeführer bereits im Rahmen der Verfügungen der IV-Stelle vom 26. April 2002 und in den nachfolgenden Gerichtsverfahren (Entscheid der Vorinstanz vom 28. August 2003 und Urteil des Eidgenössischen Versicherungsgerichts vom 24. Februar 2004) vertreten hatte, weshalb er mit dem Fall vertraut war.
Nach dem Gesagten erweist sich der angefochtene Entscheid im Ergebnis als rechtens.
Nach dem Gesagten erweist sich der angefochtene Entscheid im Ergebnis als rechtens.
7. Bei diesem Ausgang des letztinstanzlichen Verfahrens hat der Beschwerdführer keinen Anspruch auf Zusprechung einer Parteientschädigung für den vorinstanzlichen Prozess.
7. Bei diesem Ausgang des letztinstanzlichen Verfahrens hat der Beschwerdführer keinen Anspruch auf Zusprechung einer Parteientschädigung für den vorinstanzlichen Prozess.
8. Es stehen keine Versicherungsleistungen im Streite, weshalb das Verfahren kostenpflichtig ist (Art. 134 OG e contrario). Dem Prozessausgang entsprechend hat der Beschwerdeführer die Gerichtskosten zu tragen (Art. 156 Abs. 1 in Verbindung mit Art. 135 OG). Der IV-Stelle steht trotz Obsiegens keine Parteientschädigung zu, zumal kein Ausnahmefall im Sinne der Rechtsprechung vorliegt (Art. 159 Abs. 2 OG; BGE 128 V 124 E. 5b S. 133 sowie 323, 126 V 143 E. 4a S. 150).
Demnach erkennt das Bundesgericht:
Demnach erkennt das Bundesgericht:
1. Die Verwaltungsgerichtsbeschwerde wird abgewiesen.
1. Die Verwaltungsgerichtsbeschwerde wird abgewiesen.
2. Die Gerichtskosten von Fr. 500.- werden dem Beschwerdeführer auferlegt und mit dem geleisteten Kostenvorschuss verrechnet.
2. Die Gerichtskosten von Fr. 500.- werden dem Beschwerdeführer auferlegt und mit dem geleisteten Kostenvorschuss verrechnet.
3. Dieses Urteil wird den Parteien, dem Verwaltungsgericht des Kantons Freiburg, Sozialversicherungsgerichtshof, der Ausgleichskasse des Kantons Freiburg und dem Bundesamt für Sozialversicherungen zugestellt.
Luzern, 29. Mai 2007
Im Namen der I. sozialrechtlichen Abteilung
des Schweizerischen Bundesgerichts
Der Präsident: Der Gerichtsschreiber: