Sachverhalt:
A.
Wegen übermässiger Fluglärmimmissionen und direkter Überflüge wurden im Jahr 2000 beim Kanton Zürich als damaligem Flughafenhalter zahlreiche Entschädigungsforderungen aus den Gemeinden Rümlang, Oberglatt und Höri angemeldet. Der Kanton leitete die Gesuche an die Eidgenössische Schätzungskommission Kreis 10 (ESchK) weiter mit dem Antrag um Eröffnung entsprechender Enteignungsverfahren.
Im Jahr 2001 wurde die Flughafen Zürich AG als neue Flughafenhalterin unter Zuerkennung der Parteistellung zu den Enteignungsverfahren beigeladen.
Die Enteignungsverfahren wurden teils formell, teils informell sistiert, bis zum rechtskräftigen Entscheid der Pilotfälle betreffend Opfikon-Glattbrugg. Im Jahr 2004 fällte das Bundesgericht ein Grundsatzurteil zur Verjährung (BGE 130 II 394) und 2008 weitere Entscheide betreffend Opfikon-Glattbrugg. Mit Eingabe vom 28. Oktober 2009 erhoben die Enteigner die Einrede der Verjährung für alle Entschädigungsforderungen im Westen und Norden des Flughafens, einschliesslich der Gemeinden Oberglatt, Höri und Rümlang. Die Enteigneten gingen dagegen davon aus, dass ihre Forderungen nicht verjährt seien.
B.
Am 15. November 2010 erklärten verschiedene Enteignete den Rückzug ihrer Entschädigungsbegehren und ersuchten die ESchK, die Verfahren abzuschreiben sowie die ihnen für das enteignungsrechtliche Verfahren zustehende Parteientschädigung festzusetzen. Im Einzelnen forderten sie eine Parteientschädigung von je Fr. 4'000.-- pro Liegenschaft zulasten der Enteigner.
Die EschK schrieb die Enteignungsverfahren mit mehreren Verfügungen vom 4. April 2011 als durch Rückzug erledigt ab und legte die Verfahrenskosten der Flughafen Zürich AG als hauptsächlich verfahrensführender Enteignerin auf. Parteientschädigungen wurden keine zugesprochen.
Das Bundesverwaltungsgericht wies die dagegen erhobene gemeinsame Beschwerde der Enteigneten am 19. Juli 2012 ab.
C.
Dagegen haben die im Rubrum genannten Personen am 13. September 2012 Beschwerde in öffentlich-rechtlichen Angelegenheiten ans Bundesgericht erhoben. Sie beantragen, Ziff. 1 des angefochtenen Entscheides sei aufzuheben und es sei festzustellen, dass ihnen eine Parteientschädigung für das Verfahren vor ESchK im Grundsatz zustehe. Diese sei pro Liegenschaft auf Fr. 4'000.-- festzusetzen. Eventualiter sei das Verfahren an die Vorinstanz zur Bemessung der Parteientschädigung zurückzuweisen.
D.
Das Bundesverwaltungsgericht und die ESchK haben auf eine Vernehmlassung verzichtet. Die Flughafen Zürich AG und der Kanton Zürich (im Folgenden: die Enteigner bzw. die Beschwerdegegner) beantragen, die Beschwerde sei abzuweisen.
Im weiteren Schriftenwechsel halten die Parteien an ihren Anträgen fest.
Erwägungen:
1.
Da alle Sachurteilsvoraussetzungen vorliegen, ist auf die Beschwerde einzutreten.
2.
Streitig ist, ob die ESchK den Beschwerdeführern, die ihr Entschädigungsgesuch zurückgezogen haben, eine Parteientschädigung für das Enteignungsverfahren hätte zusprechen müssen.
2.1. Art. 115 des Bundesgesetzes über die Enteignung vom 20. Juni 1930 (EntG; SR 711) bestimmt, dass der Enteigner für die notwendigen aussergerichtlichen Kosten des Enteigneten im Einsprache-, im Einigungs- und im Schätzungsverfahren eine angemessene Entschädigung zu bezahlen hat (Abs. 1). Werden die Begehren des Enteigneten ganz oder zum grösseren Teil abgewiesen, so kann von der Zusprechung einer Parteientschädigung ganz oder teilweise abgesehen werden (Abs. 2). Bei offensichtlich missbräuchlichen Begehren oder bei offensichtlich übersetzten Forderungen kann der Enteignete zur Bezahlung einer Parteientschädigung an den Enteigner verhalten werden (Abs. 3).
2.2. Die ESchK erwog in ihren Abschreibungsbeschlüssen, dass der Enteignete für die prozessuale Wahrung der Verjährungsfrist verantwortlich sei; es handle sich um eine grundlegende Anspruchsvoraussetzung. In Fällen, in denen die Verjährung streitig sei und der Enteignete das Entschädigungsgesuch zurückziehe, bevor diese Frage beurteilt werden konnte, wäre es im Allgemeinen unbillig, den Enteigner mit mehr als den Verfahrenskosten und den eigenen Parteikosten zu belasten. Der Enteignete habe zuvor massgeblich selbst bestimmt, welchen Prozessaufwand er betreiben wolle und wann er die rechtliche Verfolgung seines Anspruchs aufgeben wolle. Somit sei es ihm im Regelfall zumutbar, die bis dahin entstandenen Parteikosten selbst zu tragen.
Soweit die Beschwerdeführer behaupteten, die Rückzugserklärungen seien wegen des zwischenzeitlich ergangenen Urteils BGE 136 II 263 erfolgt, sei zu berücksichtigen, dass dieser Entscheid den massgeblichen Stichtag für die Auswirkungen der Ostanflüge beurteilt habe, die aufgrund der Beschränkungen der An- und Abflüge über deutsches Hoheitsgebiet eingeführt wurden. Diese Beschränkungen seien aber deutlich nach Einreichung der hier betroffenen Entschädigungsbegehren im Jahr 2000 erfolgt, weshalb sie nicht als Rechtfertigung für die Einleitung der nun abgeschriebenen Verfahren herangezogen werden könnten.
Soweit der Rückzug mit persönlichen Umständen oder Motiven begründet werde, wie die Veräusserung der betroffenen Liegenschaft oder eine gewisse Prozessmüdigkeit, vermöge dies die Zusprechung einer Parteientschädigung von vornherein nicht zu begründen.
2.3. Das Bundesverwaltungsgericht hielt die Kostenentscheide der ESchK zwar nicht für zwingend, wohl aber - unter Berücksichtigung des Ermessensspielraums der ESchK bei der Anwendung von Art. 115 EntG - für sachlich vertretbar.
Wenn es aufgrund von Art. 115 Abs. 2 EntG möglich sei, im Fall des vollständigen Unterliegens von einer Parteientschädigung abzusehen, so müsse dies auch zulässig sein, wenn sich der Betroffene einem Sachentscheid durch vorbehaltlosen Rückzug des Entschädigungsbegehrens entziehe. Daran vermöge auch der Umstand nichts zu ändern, dass die Beschwerdeführer mit ihren Rückzugserklärungen weitere unnötige Aufwendungen für alle Verfahrensbeteiligten abgewendet hätten. Eine generelle Bevorteilung derjenigen Partei, die mit ihrem Verhalten eine vorzeitige Erledigung des Verfahrens herbeiführe, sehe Art. 115 EntG nicht vor.
Da die Regelung von Art. 115 EntG vornehmlich auf das Vorliegen eines Sachentscheids ausgerichtet sei, zog das Bundesverwaltungsgericht ergänzend Art. 4b der Verordnung vom 10. September 1969 über Kosten und Entschädigungen im Verwaltungsverfahren (VKEV, SR 172.041.0) heran. Danach werden die Verfahrenskosten jener Partei auferlegt, deren Verhalten die Gegenstandslosigkeit bewirkt hat. Die Beschwerdeführer hätten sich zwar aus verständlichen Gründen, aber gleichwohl aus freien Stücken, für den Rückzug entschieden und hätten damit den unmittelbaren Anlass für die Gegenstandslosigkeit der Verfahren gesetzt.
Im Rahmen eines Abschreibungsbeschlusses könne es nicht darum gehen, die Prozessaussichten im Einzelnen zu prüfen und dadurch weitere Umtriebe zu verursachen. Dies gelte umso mehr, wenn es sich - wie vorliegend - um komplexe Verfahren handle, die in tatsächlicher wie auch in rechtlicher Hinsicht umfangreiche Abklärungen bedingten und deren Prozesschancen kaum zuverlässig bestimmt werden könnten. Die Rechtsprechung zur Parteientschädigung nach materieller Abweisung einer Forderung bei in guten Treuen vertretbarer Prozessführung (Urteil des Bundesgerichts 1E.10/2007 vom 22. April 2008 E. 6) sei daher für Abschreibungsbeschlüsse nicht einschlägig. Entscheidrelevant sei vielmehr einzig, wer die Gegenstandslosigkeit der Verfahren bewirkt habe.
Das Bundesverwaltungsgericht verneinte auch das Vorliegen einer unzulässigen Ungleichbehandlung (Art. 8 Abs. 1 BV) gegenüber den Rückzugsfällen aus der Gemeinde Opfikon, in denen eine pauschale Parteientschädigung zulasten der Enteigneten zugesprochen worden sei. Vorliegend seien die Rückzüge erfolgt, bevor über die massgebende Frage der Verjährung in Bezug auf die Gemeinden Rümlang, Oberglatt und Höri rechtskräftig entschieden worden sei. Der Verfahrensstand zum Zeitpunkt des Rückzugs unterscheide sich daher wesentlich von den angeführten Opfikoner Fällen.
3.
Die Beschwerdeführer machen geltend, Art. 115 Abs. 2 EntG enthalte eine Kann-Bestimmung, die der Schätzungskommission ein Ermessen hinsichtlich der Zusprechung einer Parteientschädigung bei Unterliegen des Enteigneten zuspreche. Dieses müsse sich gemäss konstanter Praxis danach orientieren, ob die Anträge des Enteigneten in guten Treuen vertretbar gewesen seien, d.h. ob sie für eine sorgfältige Interessenwahrung als geboten erscheinen oder sich zumindest verantworten lassen (BGE 111 Ib 97 E. 3 S. 101). Dies müsse auch gelten, wenn der Betroffene ein Entschädigungsbegehren zurückziehe: Auch in diesem Fällen sei eine Ermessensbetätigung und -begründung erforderlich. Im Fall des Rückzugs müsse somit ebenfalls geprüft werden, ob das Rechtsbegehren der Partei vertretbar gewesen sei. Dies gelte insbesondere, wenn der Rückzug nach überlanger Prozessdauer erfolge.
Art. 4b VKEV sei auf das Beschwerdeverfahren nach VwVG zugeschnitten und regle im Übrigen nur die Tragung der Verfahrenskosten und nicht die Parteientschädigung; diese Regelung dürfe daher nicht zur Auslegung von Art. 115 EntG herangezogen werden.
Die Beschwerdeführer hätten nie eine materielle Beurteilung ihrer Entschädigungsbegehren verlangt, sondern lediglich geltend gemacht, ihr Rechtsbegehren sei in guten Treuen vertretbar bzw. für eine sorgfältige Interessenwahrung geboten gewesen. Ihre Entschädigungsbegehren seien im Jahr 2000 eingereicht worden, zu einem Zeitpunkt, als zu den Anspruchsvoraussetzungen, insbesondere auch zur Verjährungsfrage, erhebliche Rechtsunsicherheit geherrscht habe. Die Forderungsstellung sei nötig gewesen, um die laufenden Verjährungsfristen zu unterbrechen. Die Verjährung sei in allen neun Fällen streitig und sei auch nach BGE 130 II 394 (zur Verjährung in Opfikon) für die Gemeinden Rümlang, Oberglatt und Höri noch nicht verbindlich geklärt gewesen. In zwei Fällen habe sich sodann die Frage der Vorhersehbarkeit gestellt (Grundstückserwerb nach dem 1. Januar 1961); diesbezüglich sei der Rückzug erst nach dem Urteil BGE 136 II 263 erfolgt, in dem das Bundesgericht den Stichtag der Voraussehbarkeit vom 1. Januar 1961 auch betreffend Ostanflüge bestätigt habe.
Die Beschwerdeführer weisen darauf hin, dass es im Interesse aller Beteiligten liege, die grosse Fallzahl durch die Führung von Pilotprozessen zu bewältigen. Praxisgemäss würden Enteignete, die ihr Entschädigungsbegehren im Anschluss an einen Pilotentscheid des Bundesgerichts zurückziehen, für ihren prozessualen Aufwand schadlos gehalten. Der Umstand, dass die Entschädigungsbegehren im vorliegenden Fall zurückgezogen wurden, bevor die Verjährungsfrage für die Gemeinden Rümlang, Oberglatt und Höri höchstrichterlich entschieden wurde, dürfe keine Rolle spielen: Massgebend müsse - gerade bei überlangen Prozessen - der Stand der Rechtsprechung bei Vornahme der prozessualen Handlungen sein, deren Aufwand geltend gemacht werde.
Mit den Rückzugserklärungen seien allen Prozessbeteiligten weitere unnötige Schritte erspart worden. Dies dürfe den Enteigneten nun nicht zum Nachteil gereichen. Ansonsten müssten sie in derartigen Fällen auf einem Sachentscheid beharren, um in den Genuss einer Parteientschädigung zu kommen; damit wäre niemandem gedient.
4.
Die Beschwerdegegner verweisen auf das grosse Ermessen der ESchK bei der Kostenverlegung. Es gebe keine feste Regel, wie diese Kann-Vorschrift anzuwenden sei, insbesondere müsse in Fällen, in denen wegen Rückzugs kein Sachentscheid gefällt werde, nicht festgestellt werden, ob die Begehren in guten Treuen vertretbar gewesen seien. Die Ermessensausübung der ESchK, aufgrund des vorbehaltlosen Rückzugs der Begehren keine Parteientschädigung zuzusprechen, sei nicht rechtsfehlerhaft und sei daher von der Vorinstanz zu Recht geschützt worden. Die VKEK sei nicht direkt angewendet worden, sondern sei lediglich hilfsweise herangezogen worden.
Im Übrigen seien die Beschwerdeführer nicht wider ihren Willen in ein Enteignungsverfahren einbezogen worden, sondern hätten aus eigener Initiative ein Gesuch um Einleitung eines Enteignungsverfahrens eingereicht. Auch dies sei ein Grund, das in Art. 115 Abs. 2 EntG eingeräumte Ermessen weit auszulegen.
5.
Der Rückzug des Gesuchs ist in Art. 115 EntG nicht ausdrücklich geregelt. Auszugehen ist vom Grundgedanken der Bestimmung, wonach im Enteignungsrecht nicht das Unterliegerprinzip gilt und der Enteigner grundsätzlich auch im Obsiegensfall die entstandenen Kosten trägt (Abs. 1). Dieser Regelung liegt die Überlegung zugrunde, dass ein Enteigneter wider seinen Willen in ein Enteignungsverfahren einbezogen wird und es sich aus diesem Grund in der Regel rechtfertigt, ihn nicht mit den daraus folgenden Kosten zu belasten (vgl. BGE 124 II 219 E. 10b S. 239 mit Hinweis). Dies gilt auch, wenn eine Entschädigung für die Enteignung nachbarlicher Abwehrrechte wegen übermässigen Fluglärms verlangt wird: Zwar wird das Enteignungsverfahren formell durch das Entschädigungsgesuch des Enteigneten eingeleitet, materiell wird es jedoch durch die übermässigen Fluglärmimmissionen ausgelöst, die vom Flughafen Zürich und dem ihm zuzurechnenden An- und Abflugverkehr ausgehen.
Immerhin kann nach Abs. 2 von diesem Grundsatz abgewichen werden, wenn die Begehren ganz oder zum grössten Teil abgewiesen werden. Bei der Kostenfolge von Sachentscheiden wird i.d.R. darauf abgestellt, ob die Anträge der Enteigneten in guten Treuen vertretbar waren (Urteile 1C_284/2009 vom 8. Juni 2010 E.13.1, nicht publ. in: BGE 136 II 263; 1E.10/2007 vom 22. April 2008 E. 6). Fraglich ist, wie es sich verhält, wenn das Verfahren infolge Rückzugs als gegenstandslos abgeschrieben wird.
5.1. Die Annahme der Vorinstanzen, dem vollständigen Unterliegen sei der freiwillige Rückzug des Entschädigungsgesuchs gleichzustellen, ist nicht zu beanstanden. Dies bedeutet jedoch nur, dass auch in diesen Fällen auf die Zusprechung einer Parteientschädigung verzichtet werden kann; dies ist kein Automatismus, sondern setzt - wie die Beschwerdeführer zu Recht geltend machen - eine Ermessensbetätigung voraus.
Allerdings ist es nachvollziehbar, in "gewöhnlichen" Verfahren davon auszugehen, dass der Enteignete, der sein Gesuch freiwillig zurückzieht, mit seinem Verhalten zum Ausdruck bringt, dass sein Gesuch von vornherein aussichtslos bzw. für eine sorgfältige Interessenwahrung nicht geboten war. In solchen Fällen ist es nicht ermessensmissbräuchlich, ihn seinen prozessualen Aufwand selbst tragen zu lassen. Ob dies mit einer analogen Anwendung von Art. 4b VKEV begründet wird oder mit allgemeinen Grundsätzen des Verfahrensrechts, spielt keine Rolle.
5.2. Anders verhält es sich jedoch, wenn der Rückzug erfolgt, nachdem das Enteignungsverfahren jahrelang, bis zur rechtskräftigen Erledigung von Pilotfällen, sistiert war.
Ziel solcher Pilotverfahren ist es, im Anschluss an den höchstrichterlichen Entscheid im Leitverfahren alle übrigen Verfahren möglichst rasch und wenn möglich ohne Sachentscheid erledigen zu können, sei es durch Vergleich oder durch Rückzug des Gesuchs. Den Enteigneten, die sich mit diesem Vorgehen und der damit verbundenen Verzögerung ihres Verfahrens einverstanden erklären, soll daraus kein Nachteil erwachsen. Erfolgt der Rückzug des Gesuchs deshalb nach einem für die Enteigneten negativen Leitentscheid, haben diese grundsätzlich Anspruch auf eine Parteientschädigung.
Aber auch, wenn der Rückzug vor dem rechtskräftigen Entscheid über die Pilotfälle erfolgt, kann es unbillig sein, den Rückziehenden systematisch eine Parteientschädigung zu verwehren: Diese durften aufgrund der Sistierung ihrer Verfahren grundsätzlich davon ausgehen, dass ihre Forderungen nicht von vornherein aussichtslos waren, sondern grundlegende Rechtsfragen aufwerfen, die höchstrichterlich beurteilt werden müssen. Dauert das Verfahren zu lange, können die Enteigneten das Interesse an der Prozessführung verlieren; u.U. sind die ursprünglichen Gesuchsteller bereits verstorben oder haben ihre Grundstücke zwischenzeitlich veräussert. In solchen Fällen entspricht es dem Interesse aller Beteiligten, wenn die Enteigneten bzw. ihre Rechtsnachfolger ihre Entschädigungsforderung zurückziehen, anstatt auf einem Sachentscheid zu beharren, nur um in den Genuss einer Parteientschädigung zu gelangen.
6.
Im vorliegenden Fall zogen die Beschwerdeführer ihre Gesuche Ende 2010 zurück, d.h. zehn Jahre nach Gesuchseinreichung. Zu diesem Zeitpunkt waren zwar die Pilotfälle aus der Gemeinde Opfikon-Glattbrugg vom Bundesgericht beurteilt worden; dagegen standen die Pilotentscheide für die Gemeinden Rümlang, Höri und Oberglatt noch aus. Die Vorinstanz hat selbst ausgeführt, dass es sich um rechtlich und tatsächlich komplexe Verfahren handelte, deren Erfolgsaussichten schwer abzuschätzen waren. Unter diesem Umständen ist davon auszugehen, dass sich die Führung des Verfahrens bis zum Rückzugszeitpunkt in guten Treuen verantworten liess, weshalb den Beschwerdeführern grundsätzlich eine Parteientschädigung zuzusprechen ist, sofern keine besonderen Umstände eine abweichende Beurteilung rechtfertigen.
6.1. Die Begründung der ESchK, die danach differenziert, ob die Verjährung oder aber eine andere Anspruchsvoraussetzung streitig war, überzeugt jedenfalls in Enteignungsfällen wegen übermässigem Fluglärm und direktem Überflug nicht: In diesen Fällen ist die Frage des Beginns der Verjährungsfrist häufig mit komplexen rechtlichen und tatsächlichen Fragen verbunden, die sich nicht wesentlich von anderen Anspruchsvoraussetzungen (z.B. der Vorhersehbarkeit) unterscheiden. Es ist deshalb nicht ersichtlich, weshalb es unbillig wäre, den Enteignern die Prozesskosten der Gesuchsteller aufzuerlegen, die nach 10-jähriger Verfahrensdauer auf eine Fortführung des Enteignungsverfahrens verzichten, nur weil die Verjährung streitig war.
6.2. Anders ist die Situation dagegen zu beurteilen, soweit Entschädigungsforderungen für Grundstücke gestellt wurden, die nach dem 1. Januar 1961 erworben wurden. Gemäss Beschwerdeschrift handelt es sich um eine von neun Liegenschaften der Beschwerdeführerinnen 5 und sieben von zehn Liegenschaften der Beschwerdeführerin 8. In BGE 123 II 481 E. 7b S. 491 wurde bestätigt, dass das Stichdatum des 1. Januars 1961 auch für den Flughafen Zürich gilt; dies wurde vom Bundesgericht in den Fällen betreffend Opfikon-Glattbrugg bestätigt (vgl. BGE 130 II 394 E. 12.1 S. 415), trotz der im Herbst 1996, infolge der vierten Welle der Swissair, erfolgten Veränderungen des Flugbetriebs. Insofern musste den Beschwerdeführern schon bei Forderungserhebung, spätestens aber nach BGE 130 II 394 (im Jahr 2004), klar sein, dass ihnen für diese Grundstücke kein Entschädigungsanspruch zustand. Es ist nicht ersichtlich und wird von den Beschwerdeführern auch nicht dargelegt, weshalb sie hierfür das Urteil BGE 136 II 263 (zu den ab 2001/2002 eingeführten Flugbeschränkungen über deutsches Hoheitsgebiet) abwarten mussten.
6.3. Letztlich wird es Aufgabe der ESchK sein, diese Fälle neu zu beurteilen, und darüber zu befinden, ob und in welcher Höhe den Beschwerdeführern eine Parteientschädigung zuzusprechen ist.
7.
Nach dem Gesagten ist die Beschwerde teilweise (im Eventualantrag) gutzuheissen, Disp.-Ziff. 1 des angefochtenen Entscheids ist aufzuheben und die Sache zu neuem Entscheid im Sinne der Erwägungen an die ESchK zurückzuweisen.
Bei diesem Ausgang des Verfahrens werden die Beschwerdegegner (Enteigner) kosten- und entschädigungspflichtig (Art. 66 und 68 BGG i.V.m. Art. 116 Abs. 3 BGG). Sie haben den Beschwerdeführern eine (leicht gekürzte) Parteientschädigung für das bundesgerichtliche Verfahren zu entrichten.
Demnach erkennt das Bundesgericht:
1.
Die Beschwerde wird teilweise gutgeheissen und Disp.-Ziff. 1 des Entscheids des Bundesverwaltungsgerichts, Abteilung I, vom 19. Juli 2012, aufgehoben. Die Sache wird zu neuem Entscheid über die Parteientschädigung im Sinne der Erwägungen an die Eidgenössische Schätzungskommission Kreis 10 zurückgewiesen. Im Übrigen wird die Beschwerde abgewiesen.
2.
Die Gerichtskosten von insgesamt Fr. 3'000.-- werden der Flughafen Zürich AG und dem Kanton Zürich je zur Hälfte (Fr. 1'500.--) auferlegt.
3.
Die Flughafen Zürich AG und der Kanton Zürich haben die Beschwerdeführer für das bundesgerichtliche Verfahren mit insgesamt Fr. 4'000.-- zu entschädigen.
4.
Dieses Urteil wird den Parteien, der Eidgenössischen Schätzungskommission Kreis 10 und dem Bundesverwaltungsgericht, Abteilung I, schriftlich mitgeteilt.
Lausanne, 27. August 2013
Im Namen der I. öffentlich-rechtlichen Abteilung
des Schweizerischen Bundesgerichts
Der Präsident: Fonjallaz
Die Gerichtsschreiberin: Gerber