Sachverhalt:
A.
A._ und weitere Grundeigentümer (nachfolgend: die Enteigneten) richteten im Sommer 2000 Entschädigungsbegehren wegen übermässigen Fluglärms für ihre Grundstücke in der Gemeinde Oberglatt an den Kanton Zürich als damaligem Halter des Flughafens Zürich. Die Flughafen Zürich AG, auf welche die Konzession für den Betrieb des Flughafens im Verlauf des Jahres 2001 überging, beteiligte sich an den Entschädigungsverfahren. Die Entschädigungsbegehren wurden an die Eidgenössische Schätzungskommission Kreis 10 (nachfolgend: ESchK) überwiesen.
B.
Mit Verfügungen vom 26. November 2002 sistierte die ESchK die Verfahren bis zur rechtskräftigen Erledigung der Frage der Rechtzeitigkeit der Forderungserhebung in den gleichartigen Verfahren aus der Gemeinde Opfikon. Das Bundesgericht entschied am 27. Juli 2004, dass die in den Jahren 1997-1998 angemeldeten Entschädigungsansprüche aus Opfikon noch nicht verjährt seien (BGE 130 II 394).
Am 28. Oktober 2009 erhoben die Flughafen Zürich AG und der Kanton Zürich die Verjährungseinrede für alle Entschädigungsforderungen im Westen und Norden des Flughafens Zürich, namentlich auch für solche aus Oberglatt.
Am 17. Juli 2012 wies die ESchK Fluglärmforderungen aus Rümlang ab, weil die im Sommer 2000 angemeldeten Forderungen verjährt seien. Das Bundesverwaltungsgericht bestätigte diesen Entscheid mit Urteil A-4858/2012 vom 15. August 2013, das unangefochten in Rechtskraft erwuchs.
C.
Am 31. März sowie am 6., 7. und 11. April 2016 führte die ESchK Augenscheine an verschiedenen Örtlichkeiten in Oberglatt durch, um den unterschiedlichen Flugregimes am Tag und in der Nacht (ab 21.00 Uhr) sowie der örtlichen Streuung der Grundstücke Rechnung zu tragen. Mit Schätzungsentscheid vom 23. November 2016 wies sie die enteignungsrechtlichen Entschädigungsbegehren ab, soweit sie darauf eintrat, weil diese verjährt seien.
D.
Dagegen erhoben die Enteigneten am 9. Januar 2017 gemeinsam Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht. Dieses wies die Beschwerden am 12. Dezember 2018 ab.
E.
Gegen den bundesverwaltungsgerichtlichen Entscheid haben die im Rubrum genannten Enteigneten am 1. Februar 2019 Beschwerde in öffentlich-rechtlichen Angelegenheiten an das Bundesgericht erhoben. Sie beantragen, Ziff. 1 sowie - eventualiter - Ziff. 2 des Dispositivs des angefochtenen Entscheids seien aufzuheben und es sei im Grundsatz festzustellen, dass ihre Entschädigungsbegehren nicht verjährt seien.
F.
Die Flughafen Zürich AG (Beschwerdegegnerin) schliesst auf Abweisung der Beschwerde. Das Bundesverwaltungsgericht verweist auf den angefochtenen Entscheid und hat keine weiteren Bemerkungen.
G.
Im weiteren Schriftenwechsel halten die Parteien an ihren Anträgen fest.
Erwägungen:
1.
Gegen den Endentscheid des Bundesverwaltungsgerichts steht grundsätzlich die Beschwerde in öffentlich-rechtlichen Angelegenheiten an das Bundesgericht offen (Art. 82 lit. a, 86 Abs. 1 lit. a und 90 BGG). Die Beschwerdeführer, deren Entschädigungsbegehren als verjährt abgewiesen worden sind, sind zur Beschwerde legitimiert (Art. 89 Abs. 1 BGG). Auf die rechtzeitig erhobene Beschwerde (Art. 100 Abs. 1 BGG) ist daher grundsätzlich einzutreten.
Nicht einzutreten ist dagegen mangels genügender Begründung auf den Eventualantrag, Disp.-Ziff. 2 des angefochtenen Entscheids aufzuheben. Diese Ziffer betrifft die prozessualen Anträge der Beschwerdeführer vor Bundesverwaltungsgericht, die vor Bundesgericht nicht weiter thematisiert werden.
2.
Mit der Beschwerde in öffentlich-rechtlichen Angelegenheiten kann die Verletzung von Bundesrecht gerügt werden (Art. 95 lit. a BGG). Das Bundesgericht wendet das Bundesrecht (mit Ausnahme der Grundrechte) von Amtes wegen an (Art. 106 BGG). Es legt seinem Urteil den Sachverhalt zugrunde, den die Vorinstanz festgestellt hat, sofern dieser nicht offensichtlich unrichtig ist oder auf einer Rechtsverletzung im Sinne von Art. 95 BGG beruht (Art. 105 und Art. 97 Abs. 1 BGG). Neue Tatsachen und Beweismittel können nur so weit vorgebracht werden, als erst der Entscheid der Vorinstanz dazu Anlass gibt (Art. 99 Abs. 1 BGG).
Vorliegend hat die Beschwerdegegnerin erstmals vor Bundesgericht Flugbelastungskurven eingereicht, um darzulegen, dass sechs der zwölf Grundstücke der Beschwerdeführer ganz oder teilweise innerhalb der früheren Lärmzone C lagen. Hierzu hätte jedoch schon in den vorinstanzlichen Verfahren Anlass und Gelegenheit bestanden, hatten die Beschwerdeführer doch schon vor ESchK und Bundesverwaltungsgericht mit der Lage von Oberglatt ausserhalb der altrechtlichen Lärmzonen argumentiert. Im Folgenden ist daher von der vorinstanzlichen Feststellung auszugehen, wonach Oberglatt vor Einführung der vierten Welle "im Wesentlichen" ausserhalb der altrechtlichen Fluglärmzonen lag.
3.
Die Beschwerdeführer machen enteignungsrechtliche Entschädigungsansprüche wegen übermässigen Fluglärms geltend. Diese unterliegen nach der bundesgerichtlichen Rechtsprechung einer fünfjährigen Verjährungsfrist (BGE 130 II 394 E. 11 S. 413 mit Hinweisen). Diese beginnt praxisgemäss zu laufen, sobald die drei Anspruchsvoraussetzungen der Unvorhersehbarkeit, der Spezialität der Einwirkungen und der Schwere des Schadens kumulativ erfüllt sind und dies für die Grundeigentümer objektiv erkennbar ist (BGE 130 II 394 E. 12 S. 414 f. mit Hinweisen). Der Betroffene muss daher bei gebotener Sorgfalt Kenntnis von der Intensität der Einwirkungen und der Schwere des Schadens haben; keine Rolle spielt dagegen, ab welchem Zeitpunkt der Betroffene effektiv von seinem Entschädigungsrecht wusste (ADRIAN GOSSWEILER, Entschädigungen für Lärm von öffentlichen Verkehrsanlagen, 2014, Rz. 478 S. 284).
3.1. Die Voraussetzung der Spezialität der Lärmimmissionen ist insbesondere dann erfüllt, wenn die in der eidgenössischen Umweltschutzgesetzgebung festgelegten Immissionsgrenzwerte überschritten sind (grundlegend BGE 119 Ib 348 E. 5b S. 356 ff.). Tritt die Übermässigkeit der Lärmbelastung nicht schon bei der Inbetriebnahme eines Werkes, sondern erst infolge Verkehrszunahme oder einer Betriebsänderung ein, ist aufgrund der konkreten Verhältnisse zu entscheiden, ab wann die Einwirkungen als unüblich und unzumutbar einzustufen waren (BGE 130 II 394 E. 12.2 S. 416 mit Hinweis).
3.2. Die Voraussetzung der Schwere des lärmbedingten Schadens bedeutet, dass der Schaden eine gewisse Höhe erreicht und die Beeinträchtigung eine dauernde oder doch von gewisser Dauer und nicht bloss vorübergehend ist (BGE 123 II 560 E. 4b/bb S. 571 mit Hinweisen). Dabei sind neben der Lärmbelastung auch die Lage, die Art und die Umgebung der Grundstücke zu berücksichtigen sowie u.U. weitere Gegebenheiten, welche die Immobilienwerte zu beeinflussen vermögen.
3.3. In BGE 130 II 416 (E. 12.2 S. 416 ff.) betreffend Opfikon liess das Bundesgericht den Zeitpunkt des Eintritts der Spezialität der Lärmimmissionen und deren Erkennbarkeit offen. Es verneinte jedoch die Verjährung, weil erst mit der Einführung der plötzlichen Verdoppelung des Abflugverkehrs auf Piste 16 im Herbst 1996, infolge Einführung der sog. "vierten Welle" (d.h. der Konzentration der Swissair-Langstreckenflotte auf den Hub Zürich mit vier Wellen von Zu- und Wegbringerflügen) ein schwerer Schaden eingetreten bzw. erkennbar geworden sei (E. 12.3 S. 419 ff.). Bis zu diesem Zeitpunkt hätte sich die Stadt Opfikon in einer einigermassen privilegierten Situation befunden, in der sich die flughafenbedingten Vor- und Nachteile die Waage gehalten hätten. Erst mit der Umstellung des Abflugbetriebes im Herbst 1996 sei für die Grundeigentümer klar erkennbar geworden, dass die nachteiligen Auswirkungen des Flughafens die werkbedingten Vorteile nunmehr überwiegen würden.
3.4. Das Bundesverwaltungsgericht ging - wie schon die ESchK - davon aus, dass Oberglatt schon lange stark fluglärmbelastet gewesen sei und die Einführung der "vierten Welle" mit Blick auf den Fluglärm keine wesentliche Zunahme oder Änderung zur Folge gehabt habe. Anders als in Opfikon hätten der starken Lärmbelastung kaum ökonomische Vorteile gegenüber gestanden, weshalb sich die Einführung der "vierten Welle" auch nicht wesentlich auf die Bodenpreise ausgewirkt habe. Die Voraussetzungen der Spezialität und des schweren Schadens bzw. deren Erkennbarkeit seien somit bereits Jahre vor der Einführung der "vierten Welle" im Herbst 1986 gegeben gewesen, weshalb die Entschädigungsforderungen verjährt seien.
3.5. Die Beschwerdeführer bestreiten vor Bundesgericht einzig noch die Spezialität der Lärmeinwirkungen bzw. deren Erkennbarkeit (unten E. 4). Die Lärmbelastung in der Nacht habe sich mit der Einführung der "vierten Welle" im Herbst 1996 wesentlich verändert; erst dies habe die Verjährungsfrist ausgelöst bzw. eine neue Verjährungsfrist eröffnet (unten E. 5).
4.
Die Gemeinde Oberglatt liegt nordwestlich des Pistenkreuzes der Pisten 10/28 und 16/34 sowie westlich des nördlichen Endes der Pisten 16/34 und 14/32.
Nach den Feststellungen der Vorinstanzen setzt sich die Fluglärmbelastung in Oberglatt aus verschiedene Schallquellen zusammen:
- Landungen von Norden auf die Pisten 34 bzw. 32
- Starts nach Westen ab Piste 28
- Starts in Richtung Norden von den Pisten 34 bzw. 32
- Starts nach Süden ab Piste 16
- Hochüberflüge auf den Flugrouten E und N nach Starts ab Piste 16 bzw. ab den Pisten 32/34.
4.1. Es ist unstreitig, dass Oberglatt schon lange (jedenfalls seit den 70er Jahren; konkrete Zahlen liegen ab 1987 vor) erheblich fluglärmbelastet war. Aus den in den Akten liegenden Lärmbelastungsberechnungen der Eidgenössischen Materialprüfungsanstalt EMPA (für das Zentrum von Oberglatt) und der Beschwerdegegnerin (für die Liegenschaften der Beschwerdeführer) ergibt sich, dass 1987 in Oberglatt bzw. auf den streitbetroffenen Liegenschaften die heutigen Immissionsgrenzwerte (vgl. Ziff. 221 und 222 Anh. 5 LSV) für die erste Nachtstunde (55 dB für ES II und III) überall und für die zweite Nachtstunde fast überall überschritten waren. Überschritten waren zudem die heute geltenden IGW für den Tag in der ES II (60 dB). Nach heutigen Massstäben war die Spezialität der Lärmeinwirkung somit bereits 1987 (und früher) zu bejahen.
4.2. Die Beschwerdeführer machen jedoch geltend, dies sei für sie bzw. ihre Rechtsvorgänger nicht erkennbar gewesen: Die heute geltenden Belastungsgrenzwerte für Fluglärm seien erst 2001 definitiv festgelegt worden; auch die ihnen zugrunde liegenden Vorschläge der Eidgenössischen Kommission für die Beurteilung von Lärm-Immissionsgrenzwerten (6. Teilbericht "Belastungsgrenzwerte für den Lärm von Landesflughäfen" vom September 1997, publiziert 1998; nachfolgend: 6. Teilbericht) seien noch nicht bekannt gewesen.
Die damals geltenden Lärmzonenpläne (gemäss Art. 61 ff. der Verordnung vom 14. November 1973 über die Luftfahrt [aLFV; AS 1973 S. 1856 ff.] und der Verordnung vom 23. November 1973 über die Lärmzonen der konzessionierten Flugplätze [AS 1973 S. 1666 ff.]) hätten nicht auf den Mittelungspegel (Leq) abgestellt, sondern auf das Lärmbelastungsmass NNI.
Oberglatt habe (anders z.B. als Rümlang) ausserhalb der damaligen Lärmzonen gelegen. Diesem Umstand habe die Vorinstanz zu Unrecht keine Bedeutung für die Erkennbarkeit der Spezialität beigemessen: Den Grundeigentümern sei durch die Lärmzonenpläne amtlich kundgetan worden, dass die damals bestehende Fluglärmbelastung keinerlei planerische Massnahmen erfordere und nicht einmal Schalldämmanforderungen für Neubauten erforderlich seien. Sie hätten deshalb davon ausgehen müssen, dass die erhebliche Fluglärmbelastung nicht übermässig, sondern entschädigungslos hinzunehmen sei. Die Übermässigkeit der Lärmbelastung in Oberglatt sei denn auch in erster Linie eine Folge der Überschreitung der IGW der ersten und zweiten Nachtstunde, welche noch 1998 Gegenstand politischer Auseinandersetzungen gewesen seien (vgl. BGE 126 II 522 E. 41-46 S. 573 ff.).
In BGE 124 II 543 E. 5c/cc S. 555 ff. habe das Bundesgericht entschieden, dass Eigentümer mit Liegenschaften innerhalb der altrechtlichen Lärmzonen ihre Forderungen spätestens fünf Jahre nach Inkrafttreten der Lärmzonenpläne im Jahr 1987 anmelden mussten. Dies könne aber nicht gelten für Eigentümer, deren Liegenschaften ausserhalb der Lärmzonen lagen. Die Beschwerdeführer berufen sich in diesem Zusammenhang auf den Entscheid 1C_602/2017 vom 8. Oktober 2018, in welchem das Bundesgericht für die Verjährung wegen materieller Enteignung auf den Erlass der zweiten (korrigierten) Fassung von Anh. 5 LSV im Jahr 2001 abgestellt habe, weil erst diese zur Unüberbaubarkeit der Parzellen geführt habe.
4.3. Zunächst ist festzuhalten, dass das Bundesgericht der Lage innerhalb oder ausserhalb eines altrechtlichen Lärmzonenplans bisher keine Bedeutung für den Verjährungsbeginn beigemessen hat, sofern es um Entschädigungsansprüche aus formeller Enteignung wegen übermässigen Fluglärms ging (BGE 130 II 394 E. 10 S. 412). Die Lärmzonenpläne hatten primär eine raumplanerische Funktion (3. Teilbericht der Eidgenössischen Kommission für die Beurteilung von Lärm-Immissionsgrenzwerten, 1981, S. 48). Auf die Rechtsprechung zu Entschädigungsansprüchen wegen materieller Enteignung (wie im Fall 1C_602/2017), wo es auf den Zeitpunkt des Inkrafttretens des die Überbaubarkeit beschränkenden Erlasses oder Plans ankommt, kann nicht abgestellt werden. Massgeblich ist vielmehr, ab wann objektiv erkennbar war, dass die Lärmimmissionen das Mass des Üblichen und Zumutbaren überstiegen.
Aus BGE 124 II 543 ergibt sich nichts anderes: Dort wurde der Beginn der Verjährung für die Genfer Fluglärm-Ansprüche lediglich deshalb auf den Zeitpunkt des Verbindlichwerdens der Lärmzonenpläne (1987) festgesetzt, weil die Komplexität der Rechtslage und das Verhalten der Flugplatzbehörde zu Unsicherheiten über den einzuschlagenden Rechtsweg geführt hatten und erst mit der Veröffentlichung der Lärmzonenpläne Klarheit geschaffen wurde, dass die Grundeigentümer ihre Entschädigungsbegehren nunmehr anzumelden hatten (E. 5c/bb und cc S. 554 ff.). Damit wurde der Verjährungsbeginn zugunsten der Genfer Grundeigentümer, die z.T. schon seit den 60er und 70er Jahren übermässigem Fluglärm ausgesetzt waren, auf den Zeitpunkt des Inkrafttretens des Lärmzonenplans hinausgeschoben. Daraus können die Beschwerdeführer - die ihre Entschädigungsansprüche erst im Jahr 2000, lange nach Inkrafttreten der Lärmzonenpläne anmeldeten - nichts ableiten. Diese machen auch nicht geltend, dass in Zürich über 1987 hinaus Unsicherheit über den einzuschlagenden Rechtsweg bestanden habe.
4.4. Zu prüfen ist daher, ob die Beschwerdeführer bzw. ihre Rechtsvorgänger schon vor 1995 die Übermässigkeit des Fluglärms hätten erkennen können.
4.4.1. 1987 trat die LSV in Kraft, deren Anhänge 3-7 LSV bereits für verschiedene Lärmarten (Strassenverkehr, Eisenbahn, Regionalflughäfen und Flugfelder, Industrie- und Gewerbelärm, Schiesslärm) Belastungsgrenzwerte festlegten, die durchwegs auf dem Beurteilungspegel Lr (energieäquivalenter Dauerschallpegel Leq mit allfälliger Pegelkorrektur) beruhten und Immissionsgrenzwerte tagsüber von 60 dB (A) für die ES II bzw. 65 dB (A) für die ES III und 10 dB (A) darunter liegende Werte für die Nacht vorsahen (vgl. BGE 126 II 522 E. 43a S. 576). Dies beruhte auf den Vorschlägen der Eidgenössischen Kommission für die Beurteilung von Lärm-Immissionsgrenzwerten. Die Kommission hatte bereits in ihrem ersten Teilbericht 1979 (Belastungsgrenzwerte für den Strassenverkehrslärm S. 13 f.; nachfolgend: 1. Teilbericht) empfohlen, vom Mittelungspegel auszugehen, mit differenzierten Belastungsgrenzwerten für die Tages- und Nachtzeit. Diese wurden gestützt auf sozialpsychologische Erhebungen ermittelt und entsprechen einer Lärmbelastung, ab welcher sich 15 bis 25 % der Befragten stark belästigt fühlen (vgl. 1. Teilbericht S. 19; 6. Teilbericht S. 35 und 39; ROBERT HOFMANN, Lärm und Lärmbekämpfung in der Schweiz, 2. Auflage 2000, S. 6-16). Da die Störwirkung durch Fluglärm im Wesentlichen derjenigen des Strassenlärms entspricht (vgl. 6. Teilbericht S. 36 mit Hinweisen auf die Lärmstudie '90), ist grundsätzlich davon auszugehen, dass Lärmimmissionen über den IGW von einem nicht unerheblichen Teil der Bevölkerung als störend bis stark störend empfunden wurden, auch zu einem Zeitpunkt, als die IGW für den Lärm ziviler Landesflughäfen noch nicht verbindlich festgelegt worden waren.
4.4.2. Der für die altrechtlichen Lärmzonen geltende Index NNI ("Noise and Number Index"), der die Maximalpegel der Überflüge ab 68 dB (A) mit der Zahl der täglichen Überflüge kombinierte (vgl. 6. Teilbericht, S. 28), galt schon damals als überholt. Das Bundesgericht stellte daher für die Beurteilung der Spezialität des Fluglärms rund um den Genfer Flughafen nicht auf dieses Belastungsmass, sondern das den Anhängen 3-6 zugrundeliegende Grenzwertschema ab (vgl. BGE 121 II 317 E. 7c S. 339 ff. zum Flughafen Genf). Es ist im Übrigen unstreitig, dass der für die altrechtlichen Lärmzonen massgebliche Grenzwert von 45 NNI in Oberglatt bis heute nie überschritten worden ist, auch nicht nach Einführung der "vierten Welle".
4.4.3. Den Beschwerdeführern ist allerdings einzuräumen, dass vor Erlass der zweiten (korrigierten) Fassung von Anh. 5 LSV im Jahr 2001 Unsicherheit über die Beurteilung des Nachtlärms bestand, namentlich zur Frage, über welchen Zeitraum dieser zu mitteln sei (zum vom Bundesrat gewählten Drei-Stunden-Leq vgl. BGE 126 II 522 E. 44 S. 582 f.).
Die heute geltenden Ein-Stunden-IGW (Ziff. 222 Anh. 5 LSV) wurden von der Eidgenössischen Kommission vorgeschlagen, um vor den als besonders störend empfundenen Beeinträchtigungen des Schlafs durch Aufwachreaktionen zu schützen (6. Teilbericht S. 39). Dabei ging die Kommission von einer kritischen Schwelle für Aufwachreaktionen bei einem Lmax von 60 dB (A) aus (6. Teilbericht S. 37-39), erachtete aber auch die Anzahl der Schallereignisse als bedeutsam. Mit einem 1-Stunden-Leq von 55 dB werde beides begrenzt: Je grösser die Anzahl der Überflüge je Stunde, desto tiefer sei der höchstmögliche Pegel und umgekehrt (6. Teilbericht S. 44).
Zwar liegen Anhaltspunkte dafür vor, dass die damals festgesetzten und noch heute geltenden Lärmgrenzwerte ergänzungsbedürftig sind, weil Aufwachreaktionen auch unterhalb der Schwelle von 60 dB (A) auftreten können, und neben Anzahl und Lautstärke weitere Faktoren (z.B. Pegelanstiegssteilheit) eine Rolle spielen (vgl. BGE 137 II 58 E. 5.3.4 S. 91 f.; Urteile 1C_589/2014 vom 3. Februar 2016 E. 6, URP 2016 S. 319 und 1C_6/2017 vom 25. Oktober 2017 E. 3.4 und 4, URP 2018 S. 339). Sind jedoch - wie in Oberglatt bereits in den 80er Jahren - die heute geltenden Grenzwerte für Fluglärm in der Nacht grossflächig überschritten, besteht eine grosse Wahrscheinlichkeit von (erinnerbaren) Aufwachreaktionen, welche die subjektive Schlafqualität und die Befindlichkeit deutlich verschlechtern (vgl. 6. Teilbericht, S. 39 oben). Es ist deshalb davon auszugehen, dass schon in den 1980er Jahren objektiv erkennbar war, dass die nächtliche Fluglärmbelastung das Mass des Üblichen und Zumutbaren überstieg, auch wenn formell noch keine Grenzwerte festgelegt worden waren.
4.5. War damit die Voraussetzung der Spezialität bei gebotener Sorgfalt spätestens seit 1987 erfüllt und erkennbar, durften die Vorinstanzen grundsätzlich davon auszugehen, dass Entschädigungsansprüche bereits 5 Jahre seit diesem Datum, d.h. spätestens 1992, hätten angemeldet werden müssen.
5.
Zu prüfen ist noch der Einwand der Beschwerdeführer, das An- und Abflugregime habe mit der Einführung der vierten Welle im Herbst 1996 qualitativ so wesentlich geändert, dass damit eine neue Verjährungsfrist in Gang gesetzt worden sei.
5.1. Das Bundesverwaltungsgericht erachtete es nicht als ausgeschlossen, dass eine Veränderung des Flugbetriebs als wesentliche Änderung anzuerkennen sei, die eine neue Verjährungsfrist auslöse. Aus Gründen der Rechtssicherheit könne aber nicht jede unbedeutende Änderung im Abflugverfahren verjährungsauslösend wirken. Bei einer Gesamtschau der Belastungssituation sei davon auszugehen, dass die Verschiebungen im Flugbetrieb infolge der Einführung der vierten Welle im Herbst 1996 - insbesondere die Zunahme der Starts ab den Pisten 16, 32 und 34 - für Oberglatt nicht gewichtig genug gewesen seien, um von einer verjährungsauslösenden Wirkung zu sprechen.
Es hielt fest, dass der Fluglärm in Oberglatt vor Einführung der vierten Welle vor allem auf Starts von der Piste 28 zurückzuführen gewesen sei, auf der bereits seit den 70er-Jahren rund 75 % aller Abflüge erfolgt seien. Die Anzahl Starts ab dieser Piste habe sich mit Einführung der vierten Welle nicht wesentlich verändert.
Eine deutliche Zunahme sei zwar bei den Starts ab Piste 16(Richtung Süden) zu verzeichnen gewesen, die sich mit Einführung der vierten Welle verdoppelt (1994: 16'486; 1995: 18'643; 1996: 21'055; 1997: 35'849; 1998: 36'265) und bis ins Jahr 2000 (kurzfristig) sogar verdreifacht hätten. Oberglatt liege jedoch nicht in der Abflugschneise der Piste 16, weshalb sich die Erhöhung der Starts Richtung Süden nicht in demselben Ausmass ausgewirkt habe wie beispielsweise in Opfikon. Das Bundesverwaltungsgericht verwies auf seinen Entscheid bezüglich Rümlang (Urteil A-4858/2012 vom 15. August 2013 E. 6.5.4), wonach der Anstieg der Flugbewegungen ab Piste 16 unter Einbezug der Abflugzahlen ab Piste 28 zu beurteilen sei: Da die Pisten 16 und 28 nicht gleichzeitig hätten genutzt werden können, hätten die vermehrten Abflüge ab Piste 16 zwangsläufig zu einer gewissen Entlastung der Piste 28 geführt. Diese Überlegungen gälten vorliegend ebenfalls, auch wenn Oberglatt aufgrund seiner geographischen Lage vom Startlärm der Piste 28 weniger betroffen sei als Rümlang.
Die Landungen auf Piste 32hätten mit Einführung der vierten Welle zwar verhältnismässig deutlich zugenommen, seien aber in absoluten Zahlen höchst bescheiden geblieben (1994: 6; 1995: 8; 1996: 7; 1997: 45; 1998: 86; 1999: 155; 2000: 184) und fielen daher nicht ins Gewicht.
Die Starts ab Piste 34hätten nach 1996 nur moderat zugenommen; von 1996 bis 1997 seien sie sogar zurückgegangen (1994: 4'218; 1995: 5'230; 1996: 5'869; 1997: 5'483; 1998: 6'450 Starts), weshalb nicht von einer wesentlichen Änderung im Abflugverfahren gesprochen werden könne. Zwar sei den Beschwerdeführern einzuräumen, dass sich die Erhöhung der Abflüge ab Piste 34 in den ersten beiden Nachtstunden von drei bis vier Starts auf sieben (1999) bzw. zwölf Starts (2000) pro Nacht negativ auf die Lärmempfindung in Oberglatt ausgewirkt habe. Allerdings sei bereits früher in den Nachtstunden die klare Mehrheit der Starts gegen Norden erfolgt, weshalb jederzeit mit einer gewissen Erhöhung habe gerechnet werden müssen. Jedenfalls könne eine Zunahme von ca. drei Abflügen pro Nachtstunde nicht dazu führen, dass die (bereits bejahte) Spezialität der Fluglärmbelastung erst dann objektiv erkennbar geworden sei.
Insgesamt habe sich somit die Lärmcharakteristik in Oberglatt mit der Einführung der vierten Welle und den damit verbundenen Verschiebungen beim Flugbetrieb leicht verändert; die Veränderungen im An- und Abflugregime seien aber nicht derart gewesen, dass von einer neuen Spezialität mit verjährungsauslösender Wirkung gesprochen werden könne.
5.2. Die Beschwerdeführer machen zunächst geltend, der Vergleich mit Rümlang sei offensichtlich falsch: Die von Starts auf Piste 28 herrührende Lärmbelastung in Oberglatt sei tagsüber ca. fünf- bis achtmal tiefer gewesen als in Rümlang; die Tagesbelastung in Leq habe in Oberglatt schon 1987 mit 63.4 dB (A) unter dem heutigen IGW für ES III gelegen und sei anschliessend noch weiter abgesunken. Tagsüber sei somit die Belastung Oberglatts erheblich geringer gewesen als in Rümlang. Qualifiziert unrichtig sei der in diesem Zusammenhang erfolgte Hinweis auf Nordstarts ab Piste 32, weil diese Piste (V-Piste) nach damaligem Betriebsreglement nicht regulär für Starts verwendet worden sei.
5.2.1. Das Bundesverwaltungsgericht hat jedoch selbst auf die Unterschiede zu Rümlang hingewiesen, das weiter südlich liegt und damit dem Lärm der Starts ab Piste 28, aber auch dem Lärm der mit der "vierten Welle" stark angestiegenen Starts ab Piste 16, stärker ausgesetzt war als Oberglatt. Dies stellt die Grundaussage, wonach der Anstieg der Flugbewegungen ab Piste 16 unter Einbezug der Abflugzahlen ab Piste 28 zu beurteilen sei, nicht grundsätzlich in Frage.
In diesem Zusammenhang kann auf die Feststellungen der ESchK verwiesen werden, wonach tagsüber die Starts ab Piste 16 im Vergleich zu den vorherrschenden Starts ab Piste 28 eine spürbare, aber nicht erhebliche Lärmveränderung bildeten, weil das Siedlungsgebiet von Oberglatt durch einen Moränenhügel und das südlich gelegene Waldareal weitgehend vom Startlärm ab Piste 16 abgeschirmt werde.
5.2.2. Nordstarts ab Piste 32 mass das Bundesverwaltungsgericht in seinen Erwägungen keine Bedeutung zu (vgl. insbes. E. 6.7.2). Schon die ESchK hatte festgestellt, dass die Nordstarts ab Piste 32 erst 2002 sprunghaft zunahmen (vgl. E. 4.8.2 S. 18 des Schätzungsentscheids). Der beiläufige Hinweis (in E. 6.6) auf "Nordstarts ab den Pisten 32 und 34" ist daher generell als Hinweis auf Nordstarts zu verstehen, von denen Oberglatt schon immer stärker tangiert war als Rümlang.
5.3. Weiter machen die Beschwerdeführer geltend, die Bevölkerung habe sich mit der seit den 70er Jahren vorbestehenden Lärmbelastung in der Nacht abgefunden, weil diese faktisch auf 3 - 4 Starts pro Nacht plafoniert gewesen sei. Die Anwohner hätten sich auf die entsprechende Abfolge von Störungen und längeren Ruhepausen eingestellt, weshalb die Lärmbelastung als erträglich empfunden worden sei, trotz der früher sehr hohen Spitzenpegel der startenden Flugzeuge. Erst nach Einführung der "vierten Welle" im Herbst 1996 habe sich die Anzahl Nachtstarts ab Piste 34 verdoppelt bzw. (im Jahr 2000) sogar verdreifacht, mit entsprechend kürzeren Ruhepausen; dies sei gesundheitsrelevant und von ausschlaggebender Bedeutung für die Qualität der Abend- und Nachtruhe in Oberglatt gewesen, was die Vorinstanz verkannt habe. Ihr Argument, wonach die Erhöhung der Anzahl Nachtstarts vorhersehbar gewesen sei, vermische die Voraussetzungen der Unvorhersehbarkeit und der Spezialität.
5.3.1. Es ist unstreitig, dass sich die Anzahl von nächtlichen Starts ab Piste 34 1999 und 2000 stark erhöhte, von 3-4 (1987-1998) auf 7 (1999) bzw. 12 (2000) pro Nacht. Nach den Feststellungen der ESchK ist der Startlärm von Piste 34 in Oberglatt erheblich lauter als der Lärm anderer Starts und Landungen. Die Zunahme der Starts schlug sich daher in den Lärmpegeln der ersten beiden Nachtstunden deutlich nieder, die sich (von 1998 auf 2000) um 3 bis 4 dB (A) erhöhten. In den Folgejahren blieb die Anzahl nächtlicher Nordstarts konstant (mit Ausnahme des Einbruchs nach dem Grounding der Swissair 2002); allerdings nahm der Anteil der Starts ab Piste 32 erheblich zu (vgl. ESchK, E. 4.8 S. 19 oben), mit einem entsprechenden Rückgang der Starts ab Piste 34. Die nächtlichen Lärmpegel in Oberglatt sind seit 2003 rückläufig und sanken (etwa ab 2005) auf das Niveau von 1996/1998 und darunter (allerdings mit starken Schwankungen in der zweiten Nachtstunde).
5.3.2. Die 1999 und 2000 erfolgte Zunahme der Abflüge auf Piste 34 führte somit zu einer deutlich wahrnehmbaren Zunahme der Lärmbelastung auf den Liegenschaften der Beschwerdeführer in den ersten beiden Nachtstunden. Diese war allerdings keine Folge der Umstellung des Flugbetriebs bei Einführung der "vierten Welle" im Herbst 1996: Die Anzahl der nächtlichen Nordstarts blieb bis 1998 konstant und ging 1997 sogar zurück (von 3 auf 2). Die Fluglärmpegel für die Nachtstunden veränderten sich daher 1997 kaum und nahmen erst 1999 und 2000 zu, vermutlich als Folge der starken Zunahme des Flugverkehrs Ende der 90er Jahre. Dies bedeutete eine faktische, aber keine rechtliche Änderung:
Die Piste 34 war seit jeher die Hauptstartpiste zwischen 21.01 und 7.00 Uhr. Nach dem Regierungsratsbeschluss über Lärmbekämpfungsvorschriften und -verfahren auf dem Flughafen Zürich vom 3. März 1976 waren nach 21 Uhr alle Abflüge von Strahlflugzeugen auf Piste 34 durchzuführen; ausgenommen wurden lediglich Luftfahrzeuge, die beim Wegflug von Piste 34 an der Messstelle Oberglatt in der Regel mehr als 95 dB (A) Lärm erzeugten (vgl. BGE 130 II 394 E. 12.3.1 S. 420). ESchK und Bundesverwaltungsgericht gingen deshalb zu Recht davon aus, dass Oberglatt gegen eine rein zahlenmässige Zunahme nächtlicher Starts ab der Piste 34 nicht geschützt war und jederzeit mit einer Erhöhung der - schon zuvor übermässigen - nächtlichen Fluglärmbelastung gerechnet werden musste.
5.3.3. Das Bundesgericht hat sich bisher nie zur Frage äussern müssen, inwiefern wesentliche Änderungen des Flugbetriebs bzw. der Fluglärmbelastung dazu führen, dass eine neue Verjährungsfrist eröffnet wird. In BGE 130 II 394 stellte sich die Frage nicht, weil das Bundesgericht davon ausging, dass in Opfikon bis 1996 kein schwerer Schaden erkennbar gewesen sei, d.h. die Verjährungsfrist erst 1996 zu laufen begann (E. 12.3 S. 419).
Wenn überhaupt, so kann dies jedenfalls nur bei erheblichen Veränderungen des Flugbetriebs bejaht werden, die zu im Wesentlichen neuen Störungen führen. Die blosse Zunahme des Flugverkehrs und die damit einhergehende Steigerung einer schon bislang übermässigen Fluglärmbelastung genügen dafür grundsätzlich nicht.
Die streitbetroffenen Liegenschaften waren schon seit geraumer Zeit dem Lärm der nächtlichen Starts ab Piste 34 ausgesetzt. Auch wenn die Zahl der Abflüge über lange Zeit stabil blieb, konnten die Eigentümer von Liegenschaften in Oberglatt nicht darauf vertrauen, dass dies so bleiben würde, und deshalb mit der Geltendmachung ihrer Entschädigungsansprüche zuwarten. Insgesamt ist daher mit den Vorinstanzen davon auszugehen, dass die Entschädigungsansprüche der Beschwerdeführer im Zeitpunkt ihrer Anmeldung bereits verjährt waren.
6. Nach dem Gesagten ist die Beschwerde abzuweisen. Bei diesem Ausgang des Verfahrens werden die Beschwerdeführer kostenpflichtig (Art. 66 Abs. 1 BGG). Die Flughafen Zürich AG nimmt als Betreiberin eines Flughafens, der dem öffentlichen Verkehr dient, öffentliche Aufgaben wahr. Sie hat daher im Streit um Enteignungsentschädigungen im Zusammenhang mit dem Flughafenbetrieb keinen Anspruch auf eine Parteientschädigung (Art. 68 Abs. 3 BGG; Urteil 1C_126/2015 vom 5. November 2015 E. 8).
Demnach erkennt das Bundesgericht:
1.
Die Beschwerde wird abgewiesen, soweit darauf einzutreten ist.
2.
Die Gerichtskosten von Fr. 6'000.-- werden den Beschwerdeführern auferlegt.
3.
Es werden keine Parteientschädigungen zugesprochen.
4.
Dieses Urteil wird den Parteien, der Eidgenössischen Schätzungskommission, Kreis 10, und dem Bundesverwaltungsgericht, Abteilung I, schriftlich mitgeteilt.
Lausanne, 22. November 2019
Im Namen der I. öffentlich-rechtlichen Abteilung
des Schweizerischen Bundesgerichts
Der Präsident: Chaix
Die Gerichtsschreiberin: Gerber