バッファード オキサイド エッチ液

バッファード・オキサイド・エッチ（Buffered_oxide_etch、BOE）は、バッファードHF（Hydrogen Fluoride）またはBHF（Buffered Hydrogen Fluoride）とも呼ばれ、微細加工に用いられる湿式エッチング液である。
主に二酸化ケイ素（SiO2)や窒化ケイ素（Si3N4）の薄膜をエッチングする際に使用される。
液の組成、特徴.
一般的なバッファード オキサイド エッチング液は、フッ化アンモニウム（NH4F、通常、水に対して40%）などの緩衝剤とフッ化水素酸（HF、通常、水に対して49%）の体積比を 6:1 とした混合物である。
濃厚なフッ化水素酸だけでは、二酸化ケイ素のエッチングが速すぎてプロセス制御が難しく、またリソグラフィーパターニングに使用するフォトレジストも剥がしてしまう。バッファードオキサイドエッチングは、より制御性の高いエッチングを行うために一般的に使用されるようになった。
この溶液は、25℃で毎秒約2ナノメートルの速度で、熱酸化成長した酸化物をエッチングする。エッチング中に溶液を攪拌し続けると、溶液がより均質になり、表面からエッチングされた物質が除去され、より均一にエッチングされるようになる。
酸化物の中には HF溶液に不溶な生成物を生成するものがある。そこで、これらの不溶物を溶解し、より高品質なエッチングを行うために、BHF溶液に塩酸（HCl）を添加することが多い。