ラザフォード後方散乱分光

ラザフォード後方散乱分光（ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。
原理.
物質に高速イオンが入射すると、大半は電子との非弾性散乱によりエネルギーを失うが、ごく一部では原子核どうしのクーロン反発（ラザフォード散乱）による弾性散乱が起こる。このとき多重散乱はほとんど起こらず、散乱確率はラザフォードの散乱公式で表される。
入射イオンとしては２MeV程度の軽いヘリウムイオン（アルファ線）が用いられる。
装置.
イオン源から放出されたヘリウムイオン（アルファ線）は、イオン加速器でエネルギーやイオン電流量が調節される。その後イオンビームをコリメーターによって平行にする。
検出器には半導体検出器が用いられる。