ソリッドイマージョンレンズ

ソリッドイマージョンレンズ(Solid immersion lens : SIL)とは試料を高屈折率媒体で満たすことで、通常のレンズより高拡大率、高開口数を達成するためのレンズである。
SILは最初に光学顕微鏡での空間分解能を増強するために開発された。
SILには以下の2種類がある。
SILの応用.
ソリッドイマージョンレンズ顕微鏡.
すべての光学顕微鏡は光の波動的性質により回折限界がある。SILを用いることにより、空間分解能を空気中での回折限界以上にすることができる。これは遠方界イメージング、近接場イメージングの双方に用いられる。
近接場イメージングでは、レンズの屈折率が高すぎて全反射を起こしてしまうときエバネッセント波としてこの成分を使うことが出来る。　
光学記録媒体.
SILによる高い空間分解能により、レーザービームのスポットサイズを空気中での回折限界以下にすることができるため、光学記録媒体の情報密度を向上させることができる。
フォトリソグラフィー.
液浸リソグラフィーと同様にソリッドイマージョン効果を利用しリソグラフパターンの空間分解能を向上させる。半導体の微小部品をウェハ上に作成するときなど用いられる。