三フッ化ヒ素

三フッ化ヒ素（さんフッかヒそ、）はヒ素のフッ化物で、化学式AsF3で表される無機化合物。無色の液体で、水と容易に反応する。半導体の製造などに使われる。
生成、性質.
フッ化水素と三酸化二ヒ素の反応により生成される。
分子構造は三角錐形で、気体の状態では、ヒ素とフッ素の間の結合距離は170.6pm、結合角は96.2°となっている。
非金属塩化物のフッ素化に使われるが、三フッ化アンチモンに比較すると反応性は劣る。
四フッ化ヒ素セシウム(<chem>Cs2AsF4</chem>)など、<chem>AsF4^-</chem>の陰イオンを含む塩を生成する。
フッ化カリウムとの反応により、七フッ化二ヒ素カリウムを生成する。これは <chem>AsF3</chem>分子と<chem>AsF4^-</chem>陰イオンとの相互作用を表す。
<chem>AsF2^+</chem> と <chem>SbF6^-</chem> により五フッ化アンチモン(<chem>SbF5</chem>)を生成する。
安全性.
日本の毒物及び劇物取締法では毒物に該当し、発癌性がある。