ノルウェーやブラジルで産出した純度の比較的高い石英を還元して、純度98%程度の金属シリコンを作る。これを粉砕して塩素ガス、次いで水素ガスと反応させて、モノシラン（SiH₄）やトリクロロシラン（SiHCl₃）を作る。この過程で金属性の不純物はAlCl₃やFeCl₃のような塩化物として蒸発させトリクロロシランと分離することで金属性の不純物を1ppba（parts per billion atomic）以下まで取り除く。トリクロロシランは高純度の水素と CVD装置中に導入することで単体のシリコンを析出させ、高純度の多結晶シリコン・ロッドを得る。
半導体デバイス用シリコンウェーハとしては、鏡面加工したPolished Wafer（PW）が使われるが、その内容を細かく見るとPWの中でも結晶欠陥COP（Crystal Originated Particle）の密度によっていくつかの水準に分けられるほか、Epitaxial Wafer（エピウェーハ）、Anneal Wafer（アニールウェーハ）などいくつかのバリエーションがあり、コスト、特性を勘案してデバイス製造に用いられている。
ウェハー1枚あたりに取れるチップの数が多ければ低コスト化に繋がるため、インゴットの直径は大口径化が進んでいる。MOSデバイス用には150mm（6インチ）、200mm（8インチ）、300mm（12インチ）のものが一般的に使用される。ダイオード等のチップサイズの小さなものには未だに100mm（4インチ）、125mm（5インチ）のものも使われている。基本的にチップサイズの大きなMPUや、大量に生産してコストを低減する必要のあるメモリ（DRAMやフラッシュメモリ）には大口径のウェーハが使用され、300mm化の進展も著しい。また近年は450mmのシリコンウェハーを開発する動きがあり、半導体メーカー数社によるコンソーシアム「G450C」も作られている。また一方で、450mm化してもその開発コストを回収できるのか懸念する動きも見られる。
シリコンウェハーまたはシリコンウェーハ (英語: silicon wafer) は、高純度な珪素（シリコン）のウェハーである。シリコンウェハーは、珪素のインゴットを厚さ1mm程度に切断して作られる。シリコンウェハーは集積回路 （IC、またはLSI）の製造に最も多く使用される。このウェーハにアクセプターやドナーとなる不純物導入や絶縁膜形成、配線形成をすることにより半導体素子を形成することができる。
船体は遮浪甲板型の船型を採用している。艦首・底には新水上艦用ソーナー（OQS-XX）を設置したことから、投錨の際の干渉を避け、また砕波発生位置をできるだけ後方にしてOQS-XXから遠ざけるように、艦首は鋭く突出している。OQS-XXはバウ・ドームのシリンドリカル・アレイ（CA）と艦底の長大なフランク・アレイ（FA）からなるが、予算の関係上、FAは片舷のみの装備とされた。艦橋構造物は4層よりなり、その最上部には射撃指揮装置3型（FCS-3）試作機のアクティブ・フェイズド・アレイ（AESA）アンテナを4面配したレーダー機器室が設置されていた。試験終了後、FCS-3試作機の部品はひゅうが型護衛艦の2隻に転用されており、現在ではAESAアンテナも含めてすべて撤去され、レーダー機器室にはカバーがかけられている。また平成26年（2014年）度以降、マルチファンクション・レーダー（FCS-3）の性能向上策の一環として開発されてきたXバンドの多機能レーダーの試作機が搭載されて海上試験が実施される見込みであり、既に準備工事の一部は始まっているものとされている。艦橋構造物の直前には01甲板レベルに甲板室が設置され、ここは3甲板吹抜けの空所とされて、のちに新アスロック（後の07VLA）の運用試験のためのMk.41 mod.17 VLS（8セル）が設置された。また同様に、就役後に魚雷防御システムを構成する投射型静止式ジャマー（FAJ、第二煙突前方船体中央部）、自走式デコイ（MOD、右舷短魚雷発射管横）の試作品を搭載し、運用試験を実施しているほか、魚雷発射管も12式魚雷の試験のため更新されている。なお試験艦という性格上、艦艇乗組経験の乏しい試験要員の乗艦機会も多いことから、通常は一方通行のラッタルとされるところを二列並行の階段を配置し、また避難経路を示す誘導灯を設置するなどの配慮がなされている。また第2甲板に配置された固有乗員の居住区に加えて、これらの試験要員などの便乗者用として、第3甲板に約100名分の居住区が設けられているほか、試験関係者の打ち合わせに使える多目的講堂や試験器材などを設置できる計測室が設けられている。なお本艦は、自衛艦として初めて女性自衛官が乗艦した艦でもあった。主機としては、自衛艦としては初めてガスターボエレクトリック・ガスタービン複合（COGLAG）推進方式を採用した。これは、巡航機としてゼネラル・エレクトリック LM2500ガスタービンエンジン1基を発電機として用いたターボ・エレクトリック方式を、加速機として同じくLM2500 2基による機械駆動を用いるものであった。ただし、COGLAGの試験終了後は発電用LM2500は他に転用されて撤去されていることから、現在ではガスタービンエンジン2基のみが動力となっている。また運航要員の省力化も試みられており、操舵と主機操縦を操舵・主機遠隔操縦装置に統合したことで、従来はそれぞれの操縦員が必要だったのに対してワンマン・コントロールが可能とされたほか、ボタン式速力通信機の採用により主機の直接操縦が可能となった。上甲板（第1甲板）後部はヘリコプター甲板とされており、着艦拘束移送装置等は備えられていないものの、H-60系ヘリコプターの発着が可能な面積が確保されている。またハンガーもSH-60Jを収容できるようになっているが、それ以外にも試験機材の収容や悪天候時の試験要員待機所など様々に用いられている。ヘリコプター甲板直下の作業甲板（第2甲板）には曳航ソナーの巻上げ装置が搭載されているが、これは試験用という性格上、護衛艦用の実戦装備と比してかなり大掛かりなものとされていた。