ポリッシング工程では最終的なプロセス加工面を作るために、200mmウエハーまでは多くが片面のみに対して機械的化学的研磨（CMP）によって極めて平滑な鏡面状態とする。300mmウエハーからは国際標準で片面だけでなく裏面も表面の80–100%程度の精度にまで平滑な鏡面状態となるように研磨して、表面への平滑度の影響を最小にしている。例えば、100nmのプロセスルールではステッパによる露光に精度が求められるために、100nm以下のローカルサイト平坦度が求められる。この研磨工程ではウエハーを回転する円盤状の大きな研磨テーブルに何枚か並べて接着し、これらのウエハーの上面を小さめの回転円盤である研磨定盤に付けられた研磨クロスで上から研磨する。同時にコロイダルシリカが含まれるアルカリ性研磨液をこれらの間に流動するように流し込み、機械的研磨と化学的研磨を同時に行なう。主にポリッシング工程によって表面でも使用できない端面除外領域（Edge Exclusive Area, EEA）とよばれる外周端近く2mm程度のドーナッツ状の領域が生まれる。これは研磨が外周部でより進む結果、最外周で数百μm程度まで過度に研磨されこの領域が傾斜をもって薄くなるためである。このEEAの内側がFQA（Fixed Quality Area）と呼ばれる使用が可能な領域である。
ベベリング工程による機械的な研磨だけではウエハー端部のベベル面がまだ粗く、プロセスルールの微細化やウエハーの大口径化によって端部が治具等との接触で生じるわずかな塵の発生も見逃せなくなっている。エッジポリッシュ工程ではウエハーの端部（エッジ）を機械的化学的研磨（CMP）によって鏡のように滑らかにする。
CZ法やMCZ法によって単結晶を製造すると石英るつぼから溶け込んだ酸素原子が高温状態によって互いに集合する。CZ法では酸素原子が10¹⁸個/cm³程も溶け込む。この酸素原子のかたまりは電子を放出するドナーとなることで、局所的に電子の通過を阻害し電気的には抵抗となる。これによりドーパントで制御された抵抗値からずれるため、このドナーとなった酸素原子を分散させるための熱処理がドナーキラーアニーリング加工である。この工程ではウエハーを不活性ガス中で600–700℃に短時間加熱する。この処理は加工応力の緩和や結晶欠陥の低減等も兼ねる。
エッチング工程ではそれまでに残ったウエハー表面の微細な凹凸を化学研磨によってさらに平滑にする。フッ酸（HF）と硝酸（HNO₃）を純水か酢酸（CH₃COOH）で薄めた酸性エッチング液を使うものと、水酸化カリウム（KOH）と水酸化ナトリウム（NaOH）を純水で薄めたアルカリ性エッチング液を使うものとがある。アルカリ性の方が主体となる。
第二次世界大戦中の独ソ戦下のソビエト、主人公はドイツ軍に両親と妹を殺された12歳の少年イワン。彼はパルチザンに入って戦ったあと、今は小さな体を生かしてソビエト赤軍の偵察任務に協力していた。突然の銃声に悲鳴をあげながら夢から覚めたイワンは、ドイツ軍占領地に侵入し、風車小屋に身を隠しているところだった。イワンは正規兵のカタソーニチと落ち合おうとするがドイツ兵に阻まれ、単独で川を泳いで渡ってなんとか対岸のソビエト陣地へたどり着く。大隊長ガリツェフ上級中尉の部屋へ連れて来られたイワンにガリツェフが質問をするが、イワンは説明を拒み、司令部のグリズヤノフ中佐へ電話することを要求する。ガリツェフがグリズヤノフに電話すると、イワンに紙と鉛筆を与え、彼が書いたものをすぐ司令部に届けるよう命じられる。偵察の報告を書き終え、ガリツェフの部屋で眠るイワンの手に水滴がしたたり落ちてくる。いつの間にかイワンは夢の中で井戸の底にいる。母とイワンが井戸をのぞき込む。「井戸が深いと日中でも星がみえるのよ」という母。「見えるよ ママ」と叫ぶイワン。井戸の底で水面で光るものを掬い上げようとしていると、母が落とした釣瓶桶がイワンの頭上に。井戸の脇に倒れている母。翌日、司令部からホーリン大尉が迎えに来て、イワンとの再会を喜び、イワンを連れて司令部へと戻った。今回イワンがもたらした情報も極めて重要なものだったが、これ以上少年に危険な任務を続けさせることは出来ないとして、グリズヤノフ中佐はイワンに幼年学校へ入ることを命じる。しかし、イワンはそれを拒む。「戦争中に休むなんて役立たずだけだ」。回想シーンでは、家族を失う前の無垢なイワンの楽しげな姿が美しく描かれる。しかし、今のイワンをとらえているのは、家族を奪われた怒りとドイツへの復讐心だけだった。ドイツ側への総攻撃を前に、二人の偵察兵がドイツ側に送られるが、二人は敵に見つかって殺害され、死体を晒しものにされてしまう。ホーリン大尉とカタソーニチは、イワンを船で対岸まで送る計画を立てる。ガリツェフはこれに反対するが、作戦前日に、ホーリンにカタソーニチの代わりに船に乗ることを頼まれる。実はカタソーニチはその日の敵襲で戦死していたのだが、ホーリンはそれをイワンに知られたくなかった。イワン、ホーリン、ガリツェフの三人を乗せた小船は、夜陰に紛れて対岸へ渡る。この先は一人で行けるというイワンは、偵察兵の遺体をちゃんと埋葬してやって、と言い残して沼地を敵陣へと侵入していく。ホーリンとガリツェフは、偵察兵の遺体を回収し、敵の銃撃の中、自陣へと戻った。イワンはしかし戻っては来なかった。時は流れ、ベルリンが陥落する。進駐してきたソビエト軍の中にガリツェフの姿がある。ガリツェフは捕虜収容所に入り、処刑されたソビエト側捕虜のファイルを一枚一枚丹念に調べるのだった。戦場の実態を知らないと自分をあざけりののしったイワンのことが、それでも忘れられなかったのだ。しかしガリツェフはファイルの1枚を見て目をつぶり肩を落とす。敗色濃厚なドイツで敵兵に見つかり、軽んじられながら殺されたイワンの最期が、今のガリツェフには手に取るように思い浮かんだ。ガリツェフが発見したのは、最後まで敵をにらみつけているイワンの写真だったのだ...水を飲み終えたイワンは、母と別れて友人たちと川辺で遊ぶ。イワンがかくれんぼのオニだ。妹を見つけたイワンは、水しぶきをあげながら妹を追いかける。妹に追いつき、追い越しても、さらに走り続けるイワン。走りながら手を伸ばした先には朽ち果てた木が立っていた。