EUVが真空中で操作され、反射光学系を要求するので、ASMLに加えて、IMECによって最近研究された、EUVリソグラフィ装置には特別のオーバーレイの懸念がある。従来の真空チャックの代わりに静電チャックが使用されなければならない。したがって、静電チャックにおけるウェハークランプ変動は適切に対処する必要がある。200 nmの窒化ケイ素（それは背面冷却および放熱を可能にするために後で除去する必要がある）の背面コーティングは、有益であると判明した。この追加手順(それは既にパターンの施されたデバイス層を最初に保護することが必要な)の他に、ゾーン整列(標準部分的なものではなくウエハーを横断した線列マークをすべて使用した)もまた、一層の改良をもたらした。EUVが要求する真空環境は、多くを放熱しないウエハーを加熱することになる。牲の最初のウエハーはチャック温度を安定させるのに必要と判明した。さらに、露光加熱によるローカルのオーバーレイ修正は第二のウエハーが必要となる。したがって、1ロット当たりの余分なウエハーはEUVリソグラフィのオーバーレイ安定化に必要である。反射の使用はレチクルの平坦度およびレチクル固定にとって、ウエハー露光位置を非常に敏感にさせる。したがって、レチクル固定清浄度を維持することが必要である。
極端紫外線は、近い将来2020年にインテル、サムスンが 7 nmノード、TSMCが 5 nm、SMICが 14 nmノードのリソグラフィーに使用することを想定して、現在開発が進められている。極端紫外線の露光装置を作っているASMLは、極端紫外線で 5 nmノードを製造するには、現在液浸20 nmノードに使われているよりも、高い開口率のレンズや、高度なマルチパターニングが必要になると推測している。2000年代初頭から次世代リソグラフィの本命と目されていたものの、2017年4月現在、試験段階であり、未だに実用化されていない。"深紫外線"という名称は過去にX線リソグラフィの補助金をアメリカの業界団体が連邦政府から得ていたため、深紫外線の波長は軟X線の一部であるが、新たに研究補助を申請する際に「X線」という名称が使えなかったので改めて「EUV」の名称で研究開発資金の援助を申請したので、呼称が「EUV」に変更されたとされる。
8歳でサッカーを始める。1989年より地元上海の体育学院女子サッカー部門の入団試験に合格、2000年に退団するまでそこでプレーを続けた。1990年、17歳で代表に選出された。翌1991年、FIFA女子ワールドカップに初出場し、1995年･1999年･2003年と4大会に連続出場した。1999年度大会では、7ゴールを挙げてチームの大会準優勝に貢献した上、ゴールデンボール(大会最優秀選手)とゴールデンブーツ(得点王、ブラジルのシシーと同時)の2冠に輝いた。上海のチームを退団後、2001年に渡米してWUSAのアトランタ・ビートに入団。合計33試合に出場して7得点を挙げた。2003年、WUSAの財政難による休止にともない、アトランタを退団。帰国して、上海申花の女子チーム上海上視に入団した。同年引退してジャーナリストに転身。同時に復旦大学に入学し、国際関係論を学び始めた。しかし2005年12月に現役復帰し、再び上海上視および代表チームでプレーする事となった。2006年、アジアカップ終了後、怪我の悪化により再び引退。現在は上海市の行政に職員として携わっている。2014年11月、AFC初代殿堂入りを果たした。
袴田は、「世界で最も長く収監されている死刑囚」として、75歳の誕生日である2011年3月10日付でギネス世界記録で認定されたが、2014年現在は取り消されている。認定の対象期間は、静岡地裁で死刑判決を受けた一審判決の1968年9月11日から2010年1月1日までの42年間である。
「スプリット・デシジョン　―袴田巌　無実の元プロボクサー―」が2019年2月からネット配信。題名は、熊本典道が無罪の心証を持ったにも拘らず有罪判決が全員一致の形で出てしまった静岡地裁判決にちなむ（判定#プロ格闘技）。作者はやはり元プロボクサーで漫画家の森重水。
後藤忠政の製作で『BOX 袴田事件 命とは』（高橋伴明監督・2010年）が公開された。2016年2月、ドキュメンタリー映画『袴田巌 ―夢の間の世の中―』公開決定。
蛤御門（はまぐりごもん）は、現在の京都御苑の外郭九門の一つ。本来の正式名称は「新在家御門（しんざいけごもん）」。門の形状は高麗門型の筋鉄門である。御所の火災の際、滅多に開くことのなかった門がこの時だけは開いたため、固く閉じていたものが火にあぶられて開いたことをハマグリになぞらえて「蛤御門」という俗称が付けられたとされる。いずれの火災時期とするかについては、宝永の大火（1708年）後とする説と、天明の大火（1788年）後とする説が挙げられている。近年では寛文13年（1673年）の火災後まで遡るとする説や、「開かずの門」は本来は現在の下立売御門であったとする説も挙げられている。元治元年7月19日（1864年8月20日）の蛤御門の変では門の周辺が長州藩との激戦地となった。現在でも門柱に命中した弾痕を確認することができる。なお現在の蛤御門は、明治10年（1877年）から明治16年（1883年）にかけて行われた大内保存および京都御苑整備事業によって移設されたもので、それ以前は現在よりも30メートルほど東の位置に、南を向いて建てられていた。