*****

VERORDENING (EEG) Nr. 397/83 VAN DE COMMISSIE

van 17 februari 1983

ter herziening van Verordening (EEG) nr. 3744/81 van de Raad voor wat betreft de lijst van de projecten die in aanmerking komen voor steun van de Gemeenschap, en de bijlage

DE COMMISSIE VAN DE EUROPESE

GEMEENSCHAPPEN,

Gelet op het Verdrag tot oprichting van de Europese Economische Gemeenschap,

Gelet op Verordening (EEG) nr. 3744/81 van de Raad van 7 december 1981 inzake het Verdrag en optreden van de Gemeenschap op het gebied van de micro-elektronische technologie (1), inzonderheid op artikel 4, paragraaf 4,

Gezien de technische vorderingen sedert de goedkeuring van Verordening (EEG) nr. 3744/81 het nodig hebben gemaakt het bereik van de O & O-activiteiten uit te breiden met het oog op een evenwichtige ontwerp- en fabricageactiviteit van de micro-elektronische industrie in de Gemeenschap,

Overwegende dat blijkt dat, na de steun die reeds werd verleend voor de projecten die in aanmerking werden genomen voor steun in de loop van 1982, voldoende middelen overblijven om steun te verlenen aan enkele nieuwe activiteiten;

Overwegende dat het Raadgevend Comité voor communautaire acties op het gebied van de micro-elektronische technologie een gunstig advies heeft uitgebracht,

HEEFT DE VOLGENDE VERORDENING

VASTGESTELD:

Artikel 1

Verordening (EEG) nr. 3744/81 van de Raad wordt als volgt gewijzigd:

1. De lijst in artikel 4, lid 1, van projecten die voor communautaire steun in aanmerking komen wordt vervangen door:

» I. Uitrustingen voor geavanceerde lithographie

II. Uitrustingen voor droge chemische bewerking en fysische behandeling van silicium en III-V (drie-vijf) materialen

III. Uitrustingen voor het beproeven, behandelen, assembleren en verpakken van geïntegreerde circuits

IV. CAD (Computer Aided Design) voor VLSI (Very Large Scale Integration)

1. Architectuur

2. Taal en gegevensstructuur

3. Beproeving

4. Modellen voor schakelingen (Device Modelling).".

2. De volgende aanwijzigingen worden aan de bijlage toegevoegd:

»ADDENDUM

De aanwijzingen die in dit addendum bij de technische bijlage zijn aangegeven moeten een richtsnoer verschaffen aan de indieners en mogen niet worden beschouwd als limitatief voor de keuze van hun projecten.

In het geval dat technische krakteristieken of specificaties inzake rendement worden aangegeven, moeten deze als minimaal worden beschouwd.

Uitrustingen wier ontwikkeling reeds steun ontvangt, zullen slechts bij wijze van uitzondering in aanmerking komen.

I. Uitrusting voor geavanceerde lithografie

Projecten op dit gebied moeten die omvatten welke eerder zijn gespecificeerd in de punten I en II van de bijlage

II. Uitrusting voor droge chemische verwerking en fysische behandeling van silicium en III-V (drie-vijf) materialen

Projecten op dit gebied moeten die omvatten welke eerder zijn gespecificeerd in punt III van de bijlage benevens de projecten sub a) en b) hieronder:

a) Opbrenging door kathodeverstuiving

Opbrenging van aluminiumlegeringen, hittebestendige metalen en siliciden

Mogelijkheden voor de opbrenging van enkelvoudige of meervoudige lagen

Mogelijkheden tot opbrenging door verstuiving van Co

Etsen door verstuiving, substraatvoorspanning

Plakgrootte tot 6 inches

Cassette-cassette, enkelvoudige plak

Produktie: 100 plakken per uur (op basis van 1 micrometer opbrenging van aluminium)

b) Opbrenging van chemicaliën in dampvorm voor isolatie, geleidende en hittebestendige materialen met inbegrip van het opbrengen van plasma, foto-opbrenging en opbrenging van moleculaire bundels. In het bijzonder lage-druk plasma CVD.

Materialen:

- fosfor en in boor gedoopt siliciumglas

- siliciumnitride

- hittebestendige metalen (op polysilicium)

- aluminium of aluminiumlegeringen

III. Uitrustingen voor het beproeven, behandelen, assembleren en verpakken van geïntegreerde circuits

Projecten op dit gebied moeten die omvatten welke eerder zijn gespecificeerd in punt IV van de bijlage benevens de projecten sub a) en b) hieronder:

a) Testen door elektronenbundels (SEM plus accessoires en interface voor testen van het circuit)

b) Inbrandsystemen voor statische en dynamische inbranding met interface voor VLSI-tester

IV. CAD (Computer Aided Design) voor VLSI (Very Large Scale Integration)

Dit project omvat punt V van de bijlage.".

Artikel 2

Deze verordening treedt in werking op de dag van haar bekendmaking in het Publikatieblad van de Europese Gemeenschappen.

Deze verordening is verbindend in al haar onderdelen en is rechtstreeks toepasselijk in elke Lid-Staat.

Gedaan te Brussel, 17 februari 1983.

Voor de Commissie

Étienne DAVIGNON

Vice-Voorzitter

(1) PB nr. L 376 van 30. 12. 1981, blz. 38.