++++

VERORDENING ( EEG ) NR . 3744/81 VAN DE RAAD

VAN 7 DECEMBER 1981

INZAKE OPTREDEN VAN DE GEMEENSCHAP OP HET GEBIED VAN DE MICRO-ELEKTRONISCHE TECHNOLOGIE

DE RAAD VAN DE EUROPESE GEMEENSCHAPPEN ,

GELET OP HET VERDRAG TOT OPRICHTING VAN DE EUROPESE ECONOMISCHE GEMEENSCHAP , INZONDERHEID OP ARTIKEL 235 ,

GEZIEN HET VOORSTEL VAN DE COMMISSIE ,

GEZIEN HET ADVIES VAN HET EUROPESE PARLEMENT ( 1 ) ,

GEZIEN HET ADVIES VAN HET ECONOMISCH EN SOCIAAL COMITE ( 2 ) ,

OVERWEGENDE DAT DE MICRO-ELEKTRONISCHE TECHNOLOGIE VAN WEZENLIJK BELANG IS VOOR DE ONTWIKKELING EN HET CONCURRENTIEVERMOGEN VAN DE INDUSTRIE VAN DE GEMEENSCHAP IN HAAR GEHEEL OP EEN TIJDSTIP DAT DE EUROPESE ECONOMIE IN STEEDS GROTERE MATE GOEDEREN EN DIENSTEN MET EEN HOGE TOEGEVOEGDE WAARDE MOET LEVEREN ; DAT EVENWEL , TEN EINDE DE INSPANNING VAN HAAR CONCURRENTEN TEGEN 1985 IN AARD EN OMVANG TE KUNNEN EVENAREN , MAATREGELEN OP COMMUNAUTAIRE SCHAAL NODIG ZIJN , MET INBEGRIP VAN FINANCIELE STEUN VAN DE OVERHEID TEN BEHOEVE VAN DOOR HET BEDRIJFSLEVEN IN SAMENWERKINGSVERBAND TE VERRICHTEN ONDERZOEKS - EN ONTWIKKELINGSWERK ; DAT DE RAAD , IN ZIJN RESOLUTIE VAN 11 SEPTEMBER 1979 ( 3 ) , DE COMMISSIE VERZOEKT NA TE GAAN OF EN HOE NATIONALE ACTIES IN DEZE SECTOR KUNNEN WORDEN GECOORDINEERD , EN HEM CONCRETE PROJECTEN OP COMMUNAUTAIR NIVEAU TER BEVORDERING VAN DE MICROELEKTRONISCHE TECHNOLOGIE VOOR TE STELLEN ;

OVERWEGENDE DAT DE TOEGEKENDE STEUN TOT DOEL MOET HEBBEN EEN EVENWICHTIGE MARKTSITUATIE EN EVENWICHTIGE MEDEDINGINGSVOORWAARDEN IN EUROPA TE BEVORDEREN MET INACHTNEMING VAN DE BEGINSELEN DIE ZIJN NEERGELEGD IN HET VIERJARENPROGRAMMA VOOR DE ONTWIKKELING VAN DE INFORMATICA IN DE GEMEENSCHAP , INZONDERHEID DE BEGINSELEN INZAKE DE EIGENDOM VAN DE RESULTATEN VAN DE PROJECTEN WAARVOOR STEUN IS TOEGEKEND EN DE TOEGANG TOT DEZE RESULTATEN , MET BIJZONDERE NADRUK OP HET BELANG VAN EEN PASSENDE VERSPREIDING VAN DE PRODUKTEN EN ANDERE RESULTATEN DIE DEZE PROJECTEN OPLEVEREN ,

HEEFT DE VOLGENDE VERORDENING VASTGESTELD :

ARTIKEL 1

TEN EINDE DE DOELSTELLINGEN VAN DE GEMEENSCHAP OP HET GEBIED VAN DE MICRO-ELEKTRONISCHE TECHNOLOGIE TE VERWEZENLIJKEN WORDEN DE DESBETREFFENDE ACTIVITEITEN IN DE LID-STATEN OP COMMUNAUTAIR NIVEAU GECOORDINEERD EN DE GEMEENSCHAPPELIJKE PROJECTEN TER AANVULLING EN UITBREIDING VAN DEZE ACTIVITEITEN TEN UITVOER GELEGD ONDER DE VOORWAARDEN DIE IN DEZE VERORDENING ZIJN VASTGESTELD .

TEN AANZIEN VAN HET VERLENEN VAN NATIONALE FINANCIELE BIJSTAND AAN PROJECTEN DIE BETREKKING HEBBEN OP DE IN ARTIKEL 3 GENOEMDE SECTOREN , MOEDIGEN DE LID-STATEN MET NAME PROJECTEN AAN WAARVAN DE TENUITVOERLEGGING EEN BELANGRIJKE DEELNEMING IMPLICEERT VAN ORGANISATIES UIT TWEE OF MEER LANDEN VAN DE GEMEENSCHAP , INDIEN VERDER DE ANDERE VOORWAARDEN DEZELFDE ZIJN .

TITEL I

INFORMATIE EN OVERLEG

ARTIKEL 2

TUSSEN DE LID-STATEN EN DE COMMISSIE WORDT EEN SYSTEEM INGESTELD VOOR INFORMATIE EN OVERLEG OVER INITIATIEVEN TER BEVORDERING VAN DE VERSPREIDING , ONTWIKKELING EN TOEPASSING VAN DE MICRO-ELEKTRONISCHE TECHNOLOGIE .

ARTIKEL 3

1 . OM DE DOELTREFFENDHEID VAN HET IN DEZE VERORDENING BEDOELDE OVERLEG TE WAARBORGEN , DELEN DE LID-STATEN , ONVERMINDERD HUN VERPLICHTINGEN UIT HOOFDE VAN DE MEDEDINGINGSREGELS , DE COMMISSIE VOORAF EN ONVERWIJLD OP EIGEN INITIATIEF DAN WEL OP VERZOEK VAN DE COMMISSIE ALLE BIJGEWERKTE EN NUTTIGE WETENSCHAPPELIJKE , ECONOMISCHE EN FINANCIELE GEGEVENS MEE BETREFFENDE ALLE ONDER HUN ZEGGENSCHAP VALLENDE ACTIES DIE OP DE DATUM VAN INWERKINGTREDING VAN DEZE VERORDENING WORDEN UITGEVOERD DAN WEL NA DIE DATUM WORDEN OVERWOGEN EN DIE BETREKKING HEBBEN OP :

A ) HET BEVORDEREN VAN ACTIVITEITEN OP HET GEBIED VAN HET TOEGEPAST INDUSTRIEEL ONDERZOEK EN DE ONTWIKKELING VAN UITRUSTING , PROCEDES , INSTRUMENTEN EN TECHNIEKEN , ZOWEL OP HET GEBIED VAN DE PROGRAMMATUUR ALS VAN DE APPARATUUR , DIE BESTEMD ZIJN VOOR HET ONTWERPEN , DE INDUSTRIELE PRODUKTIE EN HET BEPROEVEN VAN GEAVANCEERDE GEINTEGREERDE SCHAKELINGEN ;

B ) HET VERSPREIDEN VAN BASISKENNIS EN HET OPLEIDEN EN ONDERRICHTEN VAN LEIDINGGEVEND EN ANDER PERSONEEL DAT GESPECIALISEERD IS IN HET ONTWERPEN , HET AANWENDEN EN HET BEPROEVEN VAN GEAVANCEERDE GEINTEGREERDE SCHAKELINGEN ;

C ) HET AANMOEDIGEN VAN DE OPRICHTING IN DE GEMEENSCHAP VAN EEN INDUSTRIE DIE UITRUSTING , MATERIALEN EN TECHNIEKEN VOOR DE VERVAARDIGING VAN GEAVANCEERDE GEINTEGREERDE SCHAKELINGEN KAN ONTWERPEN EN PRODUCEREN .

DE LID-STATEN VERSTREKKEN DE COMMISSIE TEVENS EEN BEOORDELING VAN DE RESULTATEN VAN AL DEZE ACTIES .

VERTROUWELIJKE INLICHTINGEN VAN BEDRIJVEN OVER SPECIFIEKE PROJECTEN VALLEN NIET ONDER DIT ARTIKEL .

2 . DE COMMISSIE ZORGT ERVOOR DAT DE GEGEVENS BETREFFENDE DE IN LID 1 BEDOELDE ACTIES AAN DE LID-STATEN WORDEN VERSTREKT .

3 . DE UITVOERIGHEID VAN DE GEGEVENS DIE VERTROUWELIJK AAN DE COMMISSIE MOETEN WORDEN VERSTREKT EN AAN DE REGERINGSINSTANTIES VAN DE LID-STATEN OF AAN HET PUBLIEK , ALSMEDE DE PROCEDURES EN MAATREGELEN OP GROND WAARVAN DEZE GEGEVENS TER BESCHIKKING WORDEN GESTELD , WORDEN BEPAALD VOLGENS DE PROCEDURE VAN ARTIKEL 8 .

TITEL II

GEMEENSCHAPPELIJKE PROJECTEN

ARTIKEL 4

1 . ONDERSTAANDE SLEUTELPROJECTEN VOOR ONDERZOEK EN ONTWIKKELING , DIE RECHTSTREEKS BETREKKING HEBBEN OP DE IN ARTIKEL 3 OMSCHREVEN SECTOREN EN ALS UITERST PRIORITAIR WORDEN BESCHOUWD , KRIJGEN STEUN VAN DE GEMEENSCHAP ONDER DE IN ARTIKEL 5 VASTGELEGDE VOORWAARDEN .

I . TRAPSGEWIJZE VERKLEINING ( STEP AND REPEAT ON WAFER )

II . ELEKTRONENSTRAAL VOOR RECHTSTREEKS PATRONEN TEKENEN OP DE PLAK ( ELECTRON BEAM FOR DIRECT-WRITING ON WAFER )

III . PLASMA-ETSEN EN OPBRENGEN ( PLASMA ETCHING AND DEPOSITION )

IV . TESTAPPARATUUR

V . CAD ( COMPUTER AIDED DESIGN ) VOOR VLSI ( VERY LARGE SCALE INTEGRATION )

1 . ARCHITECTUUR

2 . TAAL EN GEGEVENSSTRUCTUUR

3 . BEPROEVING

4 . MODELLEN VOOR SCHAKELINGEN ( DEVICE MODELING ) .

2 . DE TECHNISCHE SPECIFICATIES VOOR DE IN LID 1 BEDOELDE PROJECTEN STAAN IN DE BIJLAGE .

3 . DE TECHNISCHE SPECIFICATIES WORDEN EVENTUEEL DOOR DE COMMISSIE BIJGEWERKT VOLGENS DE PROCEDURE VAN ARTIKEL 8 .

4 . VANAF HET BEGIN VAN HET TWEEDE JAAR VOLGENDE OP DE INWERKINGTREDING VAN DEZE VERORDENING KAN DE LIJST VAN LID 1 , OVEREENKOMSTIG DE PROCEDURE VAN ARTIKEL 8 , BINNEN DE GRENZEN VAN DE BESCHIKBARE MIDDELEN WORDEN HERZIEN . DE COMMISSIE KAN AAN DE RAAD OOK VOORSTELLEN OM , ZO NODIG , DE VERORDENING TE HERZIEN .

TITEL III

FINANCIERING

ARTIKEL 5

1 . DE EUROPESE GEMEENSCHAP VERLEENT FINANCIELE STEUN AAN DE IN ARTIKEL 4 BEDOELDE PROJECTEN IN DE VORM VAN SUBSIDIES DIE NORMALITER 30 % VAN DE UITVOERINGSKOSTEN DEKKEN , MAAR TOT 50 % KUNNEN BEDRAGEN OP GROND VAN EEN OVEREENKOMSTIG DE PROCEDURE VAN ARTIKEL 8 GENOMEN BESLUIT .

2 . DE VASTLEGGINGSKREDIETEN VOOR DE IN LID 1 BEDOELDE FINANCIELE STEUN BEDRAGEN 40 MILJOEN ECU . DIT BEDRAG WORDT IN DE BEGROTING VAN DE EUROPESE GEMEENSCHAPPEN VOOR 1982 UITGETROKKEN .

3 . OM VOOR STEUN IN AANMERKING TE KOMEN MOETEN DE PROJECTEN :

- OVEREENKOMEN MET DE TECHNISCHE SPECIFICATIES IN DE BIJLAGE ;

- IN DE GEMEENSCHAP WORDEN UITGEVOERD .

BOVENDIEN MOET :

A ) VOOR DE PROJECTEN DIE ZIJN BEDOELD IN ARTIKEL 4 , LID 1 , SUB I TOT EN MET IV ,

- DE AANVRAAG WORDEN GEDAAN DOOR IN DE GEMEENSCHAP GEVESTIGDE FABRIKANTEN OF INDUSTRIELE GEBRUIKERS ;

- EEN VOLDOENDE AANTAL NAAR BEHOREN GEKWALIFICEERDE INDUSTRIELE GEBRUIKERS DIE NIET ALLEN IN DEZELFDE LID-STAAT ZIJN GEVESTIGD EN DIE GEEN FINANCIELE BANDEN HEBBEN MET DE FABRIKANT OF FABRIKANTEN DIE AAN HETZELFDE PROJECT DEELNEMEN , DOOR EEN BIJDRAGE UIT EIGEN MIDDELEN HEBBEN AANGETOOND DAT ZIJ AAN HET PROJECT WILLEN DEELNEMEN . DIT AANTAL WORDT DOOR DE COMMISSIE OVEREENKOMSTIG DE PROCEDURE VAN ARTIKEL 8 VOOR ELK PROJECT AFZONDERLIJK BEPAALD ;

B ) VOOR DE PROJECTEN DIE ZIJN BEDOELD IN ARTIKEL 4 , LID 1 , SUB V ,

- DE AANVRAGEN WORDEN GEDAAN DOOR IN DE GEMEENSCHAP GEVESTIGDE UNIVERSITEITEN , ONDERZOEKCENTRA OF BEDRIJVEN ;

- EEN VOLDOENDE AANTAL NAAR BEHOREN GEKWALIFICEERDE GEBRUIKENDE BEDRIJVEN DIE NIET ALLE IN DEZELFDE LID-STAAT ZIJN GEVESTIGD EN DIE ONDERLING GEEN FINANCIELE BANDEN HEBBEN , DOOR EEN BIJDRAGE UIT EIGEN MIDDELEN HEBBEN AANGETOOND DAT ZIJ AAN HET PROJECT WILLEN DEELNEMEN . DIT AANTAL WORDT DOOR DE COMMISSIE OVEREENKOMSTIG DE PROCEDURE VAN ARTIKEL 8 VOOR ELK PROJECT AFZONDERLIJK BEPAALD .

BIJ TOEPASSING VAN DE CRITERIA SUB A ) EN B ) , WORDT , INGEVAL ER NIET VOLDOENDE MIDDELEN ZIJN OM STEUN TE VERLENEN AAN TWEE OF MEER SOORTGELIJKE , IN AANMERKING KOMENDE PROJECTEN , VOORRANG VERLEEND AAN HET PROJECT WAARBIJ HET GROOTSTE AANTAL LID-STATEN IS BETROKKEN , INDIEN VERDER ALLE ANDERE VOORWAARDEN DEZELFDE ZIJN .

4 . WANNEER EEN PROJECT OVEREENKOMSTIG LID 3 , SUB A ) OF B ) , IS GEKOZEN , KAN IEDER IN DE GEMEENSCHAP GEVESTIGD , VOLDOENDE GEKWALIFICEERD BEDRIJF AAN HET PROJECT DEELNEMEN EN OM DE OVEREENKOMSTIGE FINANCIELE STEUN VERZOEKEN , ONGEACHT MOGELIJKE FINANCIELE BANDEN MET ANDERE DEELNEMERS AAN HETZELFDE PROJECT .

5 . DE AANVRAAG WORDT NA DE BEKENDMAKING VAN EEN BERICHT VAN AANBESTEDING IN HET PUBLIKATIEBLAD VAN DE EUROPESE GEMEENSCHAPPEN DOOR DE BETROKKENEN BIJ DE COMMISSIE INGEDIEND . DE AANVRAAG DIENT TE WORDEN GEMOTIVEERD OVEREENKOMSTIG LID 3 EN VERGEZELD TE GAAN VAN ALLE ANDERE DIENSTIGE GEGEVENS . DE COMMISSIE KAN ANDERE STUKKEN OF NADERE GEGEVENS EISEN OM DE AANVRAAG TE BEOORDELEN .

6 . DE COMMISSIE NEEMT BINNEN VIER MAANDEN EEN BESLUIT OVER DE HAAR TOEGEZONDEN AANVRAGEN .

7 . ONVERMINDERD DE BEVOEGDHEDEN DIE IN ARTIKEL 206 BIS , LID 3 , VAN HET VERDRAG AAN DE REKENKAMER ZIJN VERLEEND , KAN DE COMMISSIE TER PLAATSE EEN ONDERZOEK INSTELLEN OF ENQUETES NAAR DE GEFINANCIERDE VERRICHTINGEN UITVOEREN OVEREENKOMSTIG DE VOORWAARDEN DIE ZIJN VERMELD IN DE CONTRACTEN WAARIN DE FINANCIERING VAN DE PROJECTEN WORDT GEREGELD .

TITEL IV

ALGEMENE BEPALINGEN

ARTIKEL 6

1 . ER WORDT EEN RAADGEVEND COMITE VOOR DE ACTIES TER BEVORDERING VAN DE MICRO-ELEKTRONISCHE TECHNOLOGIE INGESTELD , HIERNA TE NOEMEN HET " COMITE " , DAT IS SAMENGESTELD UIT VERTEGENWOORDIGERS VAN DE LID-STATEN , DIE ZICH KUNNEN LATEN BIJSTAAN DOOR DESKUNDIGEN OF ADVISEURS NAAR GELANG VAN DE AARD VAN DE BETROKKEN ACTIES ; HET COMITE WORDT VOORGEZETEN DOOR EEN VERTEGENWOORDIGER VAN DE COMMISSIE .

2 . DE WERKZAAMHEDEN VAN HET COMITE ZIJN VERTROUWELIJK .

3 . HET COMITE STELT ZIJN REGLEMENT VAN ORDE VAST .

4 . HET SECRETARIAAT VAN HET COMITE WORDT WAARGENOMEN DOOR DE DIENSTEN VAN DE COMMISSIE .

ARTIKEL 7

DE COMMISSIE KAN HET COMITE RAADPLEGEN OVER ALLE VRAAGSTUKKEN DIE ONDER HET TOEPASSINGSGEBIED VAN DEZE VERORDENING VALLEN , EN DIENT HET COMITE MEER IN HET BIJZONDER TE RAADPLEGEN OVER :

- DE UITVOERIGHEID VAN DE OVEREENKOMSTIG ARTIKEL 3 VERTROUWELIJK AAN DE COMMISSIE TE VERSTREKKEN GEGEVENS BETREFFENDE DE NATIONALE ACTIVITEITEN ;

- DE UITVOERIGHEID VAN DE BEKEND TE MAKEN OF AAN DE REGERINGSINSTANTIES VAN DE LID-STATEN TE VERSTREKKEN GEGEVENS ;

- DE WIJZE WAAROP DE VERZAMELDE GEGEVENS TER BESCHIKKING VAN DE LID-STATEN WORDEN GESTELD ;

- DE BIJWERKING VAN DE TECHNISCHE SPECIFICATIES BETREFFENDE DE PROJECTEN DIE VOOR STEUN IN AANMERKING KOMEN ;

- HET VEREISTE MINIMALE AANTAL BEDRIJVEN OM EEN PROJECT VOOR STEUN IN AANMERKING TE LATEN KOMEN ;

- DE BEOORDELING VAN DE AANVRAGEN EN DE TOEKENNING VAN FINANCIELE STEUN .

ARTIKEL 8

1 . INGEVAL WORDT VERWEZEN NAAR DE IN DIT ARTIKEL BESCHREVEN PROCEDURE , LEIDT DE VOORZITTER DEZE PROCEDURE IN BIJ HET COMITE , HETZIJ OP DIENS INITIATIEF , HETZIJ OP VERZOEK VAN EEN VERTEGENWOORDIGER VAN EEN LID-STAAT .

2 . DE VERTEGENWOORDIGER VAN DE COMMISSIE DIENT EEN ONTWERP IN VAN DE TE NEMEN MAATREGELEN . HET COMITE BRENGT BINNEN TWEE MAANDEN ADVIES UIT OVER HET ONTWERP-BESLUIT . DE ADVIEZEN WORDEN MET EEN MEERDERHEID VAN 45 STEMMEN VASTGESTELD . IN HET COMITE WORDEN DE STEMMEN VAN DE LID-STATEN GEWOGEN OVEREENKOMSTIG ARTIKEL 148 , LID 2 , VAN HET VERDRAG . DE VOORZITTER NEEMT GEEN DEEL AAN DE STEMMING .

3 . DE COMMISSIE KEURT HET ONTWERP GOED WANNEER DIT IN OVEREENSTEMMING IS MET HET ADVIES VAN HET COMITE . WANNEER HET ONTWERP-BESLUIT NIET MET DIT ADVIES IN OVEREENSTEMMING IS OF WANNEER ER GEEN ADVIES WORDT UITGEBRACHT , LEGT DE COMMISSIE ONVERWIJLD EEN VOORSTEL AAN DE RAAD VOOR IN DE VORM VAN EEN ONTWERP-BESLUIT . DE RAAD BESLUIT MET GEKWALIFICEERDE MEERDERHEID VAN STEMMEN .

ARTIKEL 9

DE COMMISSIE LEGT JAARLIJKS AAN HET PARLEMENT EN AAN DE RAAD EEN VERSLAG VOOR OVER DE STAND VAN DE ACTIES IN DE GEMEENSCHAP DIE ONDER HET TOEPASSINGSGEBIED VAN DEZE VERORDENING VALLEN .

ARTIKEL 10

DEZE VERORDENING TREEDT IN WERKING OP 1 JANUARI 1982 .

ZIJ IS VAN TOEPASSING TOT EN MET 31 DECEMBER 1985 .

DEZE VERORDENING IS VERBINDEND IN AL HAAR ONDERDELEN EN IS RECHTSTREEKS TOEPASSELIJK IN ELKE LID-STAAT .

GEDAAN TE BRUSSEL , 7 DECEMBER 1981 .

VOOR DE RAAD

DE VOORZITTER

CARRINGTON

( 1 ) PB NR . C 144 VAN 15 . 6 . 1981 , BLZ . 69 .

( 2 ) PB NR . C 353 VAN 31 . 12 . 1980 , BLZ . 4 .

( 3 ) PB NR . C 231 VAN 13 . 9 . 1979 , BLZ . 1 .

BIJLAGE

TECHNISCHE SPECIFICATIES VAN PROJECTEN EN WERKZAAMHEDEN WAARVOOR FINANCIELE STEUN WORDT VOORGESTELD IN HET KADER VAN DE VERORDENING

I . " STEP AND REPEAT " OP DE PLAK

TECHNIEK VAN DE RECHTSTREEKSE TRAPSGEWIJZE VERKLEINING

MACHINES MET ONDERSTAANDE EIGENSCHAPPEN ZOUDEN TEGEN EIND 1982 IN PRODUKTIE MOETEN ZIJN :

- PLAKOMVANG : TOT 6 INCH

- PATROONAFMETING : 1 CM2

- MINIMUM LIJNBREEDTE : 1,25 MM OP DE PLAK ( 1,1 MM OP UITGANGSBEELD )

- AUTOMATISCHE REGISTRATIE : 0,1 MM

- CAPACITEIT : 50 MAAL 4 INCH PLAKKEN PER UUR OP VELD VAN 1 CM2 MET INVOEGING VAN 5 PROEFPATRONEN EN ZELFREGISTRATIE BIJ ELKE CHIP ; TOEVOEGING VAN EEN RASTERMAGAZIJN .

BIJ DE BESCHRIJVING VAN DE APPARATUUR MOETEN DE AFZONDERLIJKE TIJDEN WORDEN AANGEGEVEN MET INBEGRIP VAN DE TIJD DIE NODIG IS OM PROEFPATRONEN IN TE LASSEN . DE REGISTRATIE MOET PROGRAMMEERBAAR ZIJN ( PER AFZONDERLIJKE BELICHTING , PER BLOK , PER PLAK ) . OOK DE MINIMAAL TOELAATBARE AFMETING VAN RICHTMERKTEKENS MOET WORDEN VERMELD .

HET WORDT WENSELIJK GEACHT DAT IN 1983 MACHINES KUNNEN WORDEN GELEVERD MET EEN VERBETERDE CAPACITEIT VAN 50 MAAL 6 INCH PLAKKEN PER UUR EN EEN VERBETERDE SCHERPTE VAN 1,0 MM LIJNBREEDTE OP DE PLAK .

II . ELEKTRONENSTRAAL VOOR DIRECTE TEKENING OP DE PLAK

UITRUSTING VOOR RECHTSTREEKSE ELEKTRONENSTRAALTEKENING

EIGENSCHAPPEN :

- PLAKOMVANG : 6 INCH

- CAPACITEIT : 15 TOT 20 LAGEN/UUR BIJ 1 MM

- PATROONAFMETING : GEEN BEGRENZING

- MINIMALE FEATUREOMVANG : 0,5 MM

- SPOTOMVANG : WISSELEND

- REGISTRATIENAUWKEURIGHEID : 0,1 MM

DEZE UITRUSTING MOET TEVENS GESCHIKT ZIJN VOOR HET VERVAARDIGEN VAN RETICLES EN MASKERS . VANAF 1983 MOETEN PROTOTYPEN BESCHIKBAAR ZIJN DIE , AFGEZIEN VAN DE SNELHEID , AAN DEZE EISEN VOLDOEN .

III . PLASMA-ETSEN

A . MINIMUMPRESTATIES VAN DE APPARATUUR

- MATERIALEN DIE MOETEN WORDEN GEETST

- SIO2 GEDOOPT EN ONGEDOOPT

- SI3N4

- POLYKRISTALLIJN SILICIUM , GEDOOPT EN ONGEDOOPT

- SILICIDEN EN POLYCIDEN

- ALUMINIUM EN ALUMINIUMLEGERINGEN

- ANDERE METALEN VOOR CONTACTEN EN ONDERLINGE VERBINDINGEN

- ORGANISCHE POLYMEREN VOOR MEERVOUDIGE LAKLAGEN EN MEERVOUDIGE METALLISATIE

- IN PRODUKTIE TE ETSEN STRUCTUREN

- PITCH ( LIJN PLUS AFSTAND ) : 3 MM

- MINIMUM LIJNBREEDTE : 1 - 1,5 MM

- NAUWKEURIGHEID : + OF - 10 % VAN LIJNBREEDTE VOOR DE KRITISCHE STRUCTUREN .

- SELECTIVITEIT EN ANISOTROPIE

DE SELECTIVITEIT MOET ADEQUAAT ZIJN EN VOOR ELKE LAAG ZOU HET MOGELIJK MOETEN ZIJN OM VOLLEDIG ANISOTROPISCH TE ETSEN .

- DOORVOER

DE MINIMUMDOORVOER ZOU 50 PLAKKEN/UUR VOOR HET LANGZAAMSTE PROCES MOETEN ZIJN . HET LANGZAAMSTE PROCES IS WAARSCHIJNLIJK HET ETSEN DOOR 0,8 MM THERMISCH SIO2 MET EEN SELECTIVITEIT VAN 10 : 1 OVER SI EN MET EEN PITCH VAN 3 MM . HET ETSEN VAN ANDERE LAGEN , BIJ VOORBEELD 0,4 MM ONGEDOOPT POLYKRISTALLIJN SILICIUM OVER SIO2 ZOU VEEL SNELLER MOETEN ZIJN .

B . ONTWERP VAN DE UITRUSTING

WIJ GAAN UIT VAN EEN PARALLELLE PLAATREACTOR MET DE VOLGENDE EIGENSCHAPPEN :

- ONTWERPCONCEPT

HET BELANGRIJKSTE IS HET GEBRUIK VAN EEN MODULAIR ONTWERPCONCEPT ZODAT DE UITRUSTING OPTIMAAL KAN WORDEN AANGEPAST VOOR ELKE TOEPASSING .

- LOAD LOCK

ONGEWENSTE STOFFEN ( BIJ VOORBEELD WATERDAMP ) MOETEN UIT DE REACTIEKAMER WORDEN GEWEERD EN NA-EFFECTEN VAN HET ETSEN MOETEN WORDEN VERMEDEN . DIT KAN WORDEN BEREIKT MET EEN VACUUEM LOCK DIE DE CASSETTES BEVAT . VERWIJDERING VAN DE FOTOLAK IN DE " UNLOADLOCK " MOET ALS KEUZEMOGELIJKHEID WORDEN BESCHOUWD .

- ELEKTRODE EN KAMERCONSTRUCTIE

- AFZONDERLIJK AANGEDREVEN THERMOSTATEN VOOR BOVENSTE EN ONDERSTE ELEKTRODE EN VOOR DE REACTIEKAMER . HET BEREIK VOOR DE TEMPERATUURREGELING IS 15-100 * C STANDAARD EN GAAT TOT 150 * C ALS KEUZEMOGELIJKHEID .

- ELEKTRODE AFSTAND INSTELBAAR TUSSEN :

5-70 MM ( BATCH ORIENTED SYSTEM )

5-70 MM ( SINGLE WAFER SYSTEM )

- DE ELEKTRODE-ASSEMBLAGE MOET GESCHIKT ZIJN VOOR WERKING BIJ HOGE FREQUENTIES ( TOT 27,12 MHZ ) BIJ VOORBEELD OM PARASITISCH PLASMA IN DE REACTOR TE VERMIJDEN .

- ZOWEL PARALLEL PLASMA-ETSEN ( PE ) ALS REACTIEF IONEN-ETSEN ( RIE ) MOETEN IN HET SYSTEEM MOGELIJK ZIJN ( ANODE EN KATHODE-KOPPELING ) .

- VACUUEMONTWERP

- HET GEBIED DAT VAN BELANG IS LIGT TUSSEN 10 MTORR EN 10 TORR .

- INSTELBARE POMPSNELHEID

- AUTOMATISCHE EN MANUELE DRUKCONTROLE MET KEUZESCHAKELAAR MET TWEE STANDEN

- GEBRUIK VAN NIET CORRODERENDE MATERIALEN VOOR AFDICHTINGEN ( HULPSTUKKEN , O-RINGEN ) EN PIJPEN .

- GASKABINET

FLEXIBELE MANIPULATIE VAN 1 TOT 3 GASSEN MET 1 TOT 3 MASSASTROOMREGELAARS , BIJ VOORKEUR UIT TE BREIDEN TOT 5 GASSEN ( AANTAL GASSEN IS EEN KEUZEMOGELIJKHEID ) .

- CONTROLE

- DE VOLGENDE PARAMETERS MOETEN CONTROLEERBAAR ZIJN :

GASLIJN(EN ) IN GEBRUIK ,

STROOMSNELHEID ,

PROCESS TIME ,

STABILISEERTIJD ,

TIJD VOOR OVERETSEN ,

RF-VERMOGEN ,

TEMPERATUUR VOOR BEIDE ELEKTRODEN ,

SPANNING OP ELEKTRODE .

- HET ELEKTRISCH SIGNAAL VAN DE SENSOREN ( DRUKSENSOR , ENZ . ) MOET GEMAKKELIJK TOEGANKELIJK ZIJN ( DAT WIL ZEGGEN OP EEN STANDAARDPLUG ) VOOR PROCESCONTROLE .

- TEN MINSTE EEN VENSTER OM IN HET PLASMA TE KIJKEN EN BIJKOMENDE FLENS ( FLENZEN ) OM ENKELE ANALYTISCHE INSTRUMENTEN TE VERBINDEN VOOR PROCESCONTROLE ZOUDEN BESCHIKBAAR MOETEN ZIJN .

- CONTROLESYSTEEM ( SOFTWARE ) VOOR AUTOMATISCH ETSEN

- EEN TOETSENBORD EN HET BENODIGDE GEHEUGEN VOOR TRAPSGEWIJZE UITVOERING VAN HET PROCES OF DE ONDERHOUDSVOLGORDE .

- EEN INSTEEKBAAR GEHEUGEN ( PROM ) , GEPROGRAMMEERD , VOOR AUTOMATISCH ETSEN .

- MANIPULATIE VAN DE PLAKKEN

AUTOMATISCHE MANIPULATIE VAN DE PLAKKEN , INZETTEN EN UITHALEN VAN CASSETTE ZONDER BESCHADIGING OF VERONTREINIGING VAN DE PLAK . HET SYSTEEM ZOU GESCHIKT MOETEN ZIJN VOOR HET OPNEMEN VAN PLAKKEN VAN 3 INCH TOT 150 MM DOORSNEDE .

- ONDERHOUD EN VEILIGHEID

- GEMAKKELIJKE DEMONTAGE VOOR REINIGEN EN REPARATIE .

- STANDAARDISATIE VAN FLENZEN , AFDICHTINGEN , PLUGGEN , ENZ . EN RESERVEONDERDELEN .

IV . TESTAPPARATUUR

EUROPESE TESTAPPARATUUR VOOR GEINTEGREERDE SCHAKELINGEN MET DE VOLGENDE EIGENSCHAPPEN MOET WORDEN ONTWIKKELD :

- VAN HET INTEGRALE ANALOGE/DIGITALE TYPE ;

- MODULAIR MET HET OOG OP AANPASSING AAN ZOWEL ONTWIKKELINGS - ALS PRODUKTIETESTS ;

- ONTWIKKELING IN TWEE FASEN WAT HET DIGITALE GEDEELTE BETREFT . EEN EERSTE STAP ZOU MOETEN BESTAAN IN DE ONTWIKKELING VAN EEN TESTSYSTEEM VOOR FREQUENTIES VAN 10 TOT 20 MHZ , EEN TWEEDE FASE ZOU BETREKKING MOETEN HEBBEN OP 50-100 MHZ . DEZE TRAPSGEWIJZE ONTWIKKELING HEEFT HET VOORDEEL DAT DE IN DE EERSTE FASE VERKREGEN TECHNISCHE KENNIS KAN WORDEN GEBRUIKT TER OPLOSSING VAN DE PROBLEMEN WAARMEE MEN IN DE TWEEDE FASE TE MAKEN KRIJGT . BOVENDIEN KAN DE ONTWIKKELING VAN ZEER SNEL WERKENDE TESTAPPARATUUR OP DEZE WIJZE WORDEN AANGEPAST AAN DE ONTWIKKELINGSBEHOEFTEN VAN DE EUROPESE IC-INDUSTRIE INZAKE ZEER SNELLE BIPOLAIRE SCHAKELINGEN ;

- TESTEN VAN SCHAKELINGEN IN BEHUIZINGEN MET EEN STEEDS GROTER AANTAL PENNEN ( VAN 64 TOT 128 ) ;

- EEN GROOT AANTAL ONDERDELEN VAN HET TESTSYSTEEM MOET SPECIFIEK ZIJN VOOR ECL ;

- HET TESTEN VAN AFZONDERLIJKE GEHEUGENCHIPS WERD UITGESLOTEN HOEWEL " ON-THE-CHIP " -GEHEUGENS STEEDS BELANGRIJKER WORDEN EN DAT DAAROM IN HET TESTEN DAARVAN MOET WORDEN VOORZIEN ;

- EEN SPECIALE HOGERE TESTTAAL MOET WORDEN GECONCIPIEERD VOOR DE VERSCHILLENDE CONFIGURATIES VAN TESTAPPARATUUR .

V . CAD VOOR VLSI

1 . ARCHITECTUUR

DE OP TE LOSSEN PROBLEMEN BETREFFEN DE SPECIFICATIE , SIMULATIE EN BEPROEVING TIJDENS DE FASE WAARIN DE ARCHITECTUUR WORDT ONTWORPEN ALSMEDE DE ARCHITECTONISCHE STRATEGIEEN ZOALS FOUTENBEHEER EN GESTRUCTUREERDE LOGICA . DE VOLGENDE WERKZAAMHEDEN BLIJKEN NOODZAKELIJK :

- VERBETERING VAN DE KENNIS VAN COMPUTERTECHNIEKEN BIJ VLSI-ONTWERPERS VIA

A ) KENNISOVERDRACHT DOOR COMPUTERFABRIKANTEN ,

B ) BETERE INTEGRATIE VAN DE UNIVERSITAIRE OPLEIDINGEN IN COMPUTERWETENSCHAP EN IN ELEKTRONICA .

- ONDERZOEK INZAKE :

A ) VERBINDING VAN GEDRAGS - EN STRUCTURELE KENMERKEN DOOR HET ONTWIKKELEN VAN PASSENDE TALEN EN SIMULATORS ;

B ) SYNTHESE VAN DE LOGICA OP BASIS VAN DE RTL-BESCHRIJVING ;

C ) FOUTENBEHEER INCLUSIEF HET ASPECT VAN DE FOUTENTOLERANTIE IN DE VLSI-ARCHITECTUUR ;

D ) GESTRUCTUREERDE LOGICA INCLUSIEF DE MINIMALISERING VOOR PLAS ( PROGRAMABLE LOGIC ARRAYS ) EN DE AUTOMATISCHE PROGRAMMERING VAN PLAS EN ROMS ( READ ONLY MEMORIES ) ;

E ) HULPMIDDELEN VOOR HET GENEREREN EN SIMULEREN VAN DE FIRMWARE ;

F ) PARALLELLE VERWERKINGSAPPARATUUR VOOR SIGNAALVERWERKING .

2 . TAAL EN GEGEVENSSTRUCTUUR

2.1 . DESIGN DATA MANAGEMENT

DE CONVENTIONELE GRAFISCHE IC-ONTWERP-SYSTEMEN ZIJN GEBASEERD OP EEN OMGEKEERDE AFBEELDING VAN DE TE ONTWERPEN SCHAKELING . DEZE METHODE WORDT ONGESCHIKT GEACHT OM DE PROBLEMEN MET BETREKKING TOT VLSI-DESIGN OP TE LOSSEN , EN IN PLAATS DAARVAN DIENT EEN SPECIFICATIE VAN EEN BESTANDSBEHEERS - OF ONTWERPBEHEERSSYSTEEM TE WORDEN GEGEVEN MET HET OOG OP DE VOLGENDE DOELEINDEN :

A ) ONDERSTEUNING VAN HET BEHEER VAN EEN GROOT AANTAL BESTANDEN WAARIN ALTERNATIEVE AFBEELDINGEN VAN TAL VAN MODULES VAN EEN SYSTEEM ZIJN OPGENOMEN .

B ) BEVEILIGING VAN DE INTEGRITEIT VAN EEN ONTWERP DAT DOOR GROEPSWERK TOT STAND IS GEKOMEN .

C ) AANBRENGEN VAN WIJZIGINGEN IN HET ONTWERP .

D ) STURING VAN DE HERVERDELING VAN EEN ONTWERP .

E ) BEHEER VAN DE VOORZIENING IN ONTWERPDOCUMENTATIE .

ONDERZOEKPROJECTEN MOETEN WORDEN AANGEVAT TER VERSTERKING VAN HET NORMALE BESTANDS - OF HOOFDBESTURINGSSYSTEEM , WAARDOOR BOVENGENOEMDE VOORZIENINGEN KUNNEN WORDEN VERSTREKT . DE KLEINSTE GEGEVENSEENHEID IN EEN MUTATIE ZAL EEN VOLLEDIG BESTAND ZIJN , ZODAT DE CONVENTIONELE DATABASES NIET GESCHIKT ZIJN . BIJ DE UITVOERING MAG DE OVERDRAAGBAARHEID NIET UIT HET OOG WORDEN VERLOREN . EEN STANDAARDTAAL DIE BIJZONDERE INTERFACES MET STANDAARDBESTANDSSYSTEMEN BEVAT MOET WORDEN GEBRUIKT . DIT PROJECT DIENT GEZAMENLIJK TE WORDEN UITGEVOERD DOOR IC-ONTWERPERS , SPECIALISTEN INZAKE CAD-MIDDELEN EN COMPUTERWETENSCHAPSMENSEN .

2.2 . GEBRUIKERSINTERFACE

SOMMIGE ONTWERPWERKZAAMHEDEN ZIJN IN HOGE MATE INTERACTIEF EN VEREISEN EEN GEGARANDEERD SNELLE RESPONSIE VAN DE COMPUTER , TERWIJL GEEN COMPUTER MET ZEER GROOT VERMOGEN NOODZAKELIJK IS . EEN VOORBEELD HIERVAN IS ONTWERPSPECIFICATIE MET GEBRUIKMAKING VAN GRAFISCHE TECHNIEKEN . DERGELIJKE WERKZAAMHEDEN KUNNEN MET EEN KLEINE VOOR EEN GEBRUIKER BESTEMDE COMPUTER WORDEN UITGEVOERD . ANDERE WERKZAAMHEDEN ZIJN NIET FUNDAMENTEEL INTERACTIEF , DOCH VEREISEN ZEER AANZIENLIJKE VERWERKINGSMOGELIJKHEDEN . DIT GELDT BIJ VOORBEELD VOOR SIMULATIE . DERGELIJKE WERKZAAMHEDEN VEREISEN TIME-SHARED SYSTEMEN MET GROOT VERMOGEN .

HET IS VAN BELANG DAT DE COMPUTERS DIE DEZE SAMENHANGENDE WERKZAAMHEDEN ONDERSTEUNEN NAUW MET ELKAAR VERBONDEN ZIJN . ONDERZOEK MOET WORDEN VERRICHT OP HET GEBIED VAN DE TECHNIEKEN TER BESTURING VAN DE TAAKVERDELING TUSSEN TWEE OF MEER COMPUTERS EN VAN DE SOEPELE MUTATIE VAN GEGEVENS TUSSEN DEZE TAKEN . ALGEMENE BEGINSELEN DIE OP EEN BREED GAMMA VAN APPARATUUR TOEPASBAAR ZIJN BEHOREN TE WORDEN VASTGESTELD .

THANS BESTAAT DE NEIGING OM VOOR DE SPECIFICATIE VAN HARDWARE-DESIGN GEBRUIK TE MAKEN VAN OP DE TEKST GEBASEERDE TAALBESCHRIJVINGEN DIE GESCHIKT ZIJN OM DE HIERARCHISCHE STRUCTUUR , DE MODULARITEIT EN DE HERHAALBAARHEID WEER TE GEVEN DIE BIJ VLSI ONVERMIJDELIJK ZIJN . ONTWERPERS HEBBEN ECHTER NOG DE GEWOONTE SCHEMATISCH TE DENKEN ZODAT GRAFISCHE HULPMIDDELEN VAN GROTE WAARDE BLIJVEN IN HET ONTWERPPROCES . EEN PROJECT DIENT TE WORDEN OPGEZET INZAKE ONDERZOEK NAAR METHODEN OM TEKSTUELE EN GRAFISCHE VOORSTELLINGEN TE COMBINEREN , WAARBIJ ELKE WERKWIJZE AUTOMATISCH IN DE ANDERE KAN WORDEN OMGEZET , ZODAT DE MEEST GESCHIKTE INTERFACE VOOR ELK ONDERDEEL VAN HET ONTWERPPROCES VRIJ KAN WORDEN GEKOZEN .

2.3 . SIMULATIE

DE PROGRAMMATUURMIDDELEN VOOR SIMULATIE , BEPROEVING EN VERIFICATIE DIENEN HET ONTWERPSPECTRUM TE BESTRIJKEN VAN RTL-S TOT TRANSISTOREN . DE WERKZAAMHEDEN MOETEN GERICHT ZIJN OP DE ONTWIKKELING VAN EEN SOEPELE MULTILEVEL STRUCTURELE BESCHRIJVINGSTAAL VOOR NMOS - EN CMOS-VLSI . ONDERZOEK MOET WORDEN VERRICHT NAAR AUTOMATISCHE COMPILERGENERATIE IN DE SYNTAXIS VAN DE THANS GEBRUIKTE UNILEVEL-MIDDELEN , EN BELANGRIJKER , RECHTSTREEKS IN DE GEGEVENSSTRUCTUUR VAN SIMULATOREN MET GEMENGDE MODUS . SIMULATIETECHNIEKEN MET GEMENGDE MODUS VERGEN AANZIENLIJKE AANDACHT OP HET GEBIED VAN DE GEGEVENSSTRUCTUUR , ALGORITMEN EN MODELLEN .

HET IS TEN ZEERSTE AANBEVOLEN ZICH VOORAL BEZIG TE HOUDEN MET DE ANALYSE VAN VLSI-NETWERKEN , VEELEER DAN MET LOUTER SIMULATIE , TEN EINDE DE ONTWERPTIJD TE VERMINDEREN EN EEN NAUWKEURIG ONTWERP TE VERWEZENLIJKEN . DIT IS EEN VOLLEDIG NIEUW ONDERZOEKTERREIN WAAROP WERKZAAMHEDEN MOGELIJK LIJKEN OP GROND VAN DE GEGEVENSSTRUCTUREN EN ALGORITMEN VAN DE THANS BESTAANDE SIMULATOREN MET GEMENGDE MODUS .

2.4 . VERIFICATIE

IN PLAATS VAN INTENSIEVE VERIFICATIE VAN MANUELE OF INTERACTIEVE ONTWERPSTAPPEN , ZOU MOETEN WORDEN GESTREEFD NAAR EEN ZO GROOT MOGELIJKE AUTOMATISERING ( SILICIUMCOMPILATIE , STANDAARDCELTECHNIEKEN , ENZ . ) , ZODAT VERIFICATIE OVERBODIG WORDT . OM EEN SOLIDE BASIS TE HEBBEN VOOR DE AANWENDING OF VERVAARDIGING VAN DERGELIJKE MIDDELEN , DIENT EEN STUDIE TE WORDEN AANGEVAT WAARIN DE VERSCHILLENDE BENADERINGEN ALSMEDE DE DIVERSE MANUELE LAYOUTS WORDEN VERGELEKEN , TEN EINDE OBJECTIEVE CRITERIA VOOR DE GRONDBEGINSELEN VAN EEN EFFICIENTE LAYOUT VAST TE STELLEN .

HET LIGT VOOR DE HAND DAT VLSI HIERARCHISCH WORDEN ONTWORPEN . DE VERIFICATIE VAN DE VERSCHILLENDE NIVEAUS VAN DE HIERARCHIE IS EEN PROBLEEM , DOCH HET KAN NIET WORDEN VOORKOMEN . NIETTEGENSTAANDE DE HIERARCHIE IS DE COMPLEXITEIT VAN EN DE HOEVEELHEID GEGEVENS ZEER AANZIENLIJK , HETGEEN MET DE HUIDIGE MIDDELEN ONECONOMISCHE COMPUTERTIJDEN MET ZICH BRENGT . DAAROM ZULLEN ONTWIKKELING EN ONDERZOEK VERDER GEORIENTEERD ZIJN OP TOEPASSINGSGERICHTE HARDWARE-MODULEN ( BIJ VOORBEELD CONTROLE-APPARATUUR VOOR ONTWERP-BEHEERSING , PATROONGEHEUGEN PLUS TELLERS EN SCHUIFREGISTERS , OF HARDWARE-TAALPROCESSORS DIE DE GESCHIKTE GEGEVENSSTRUCTUUR OPLEVEREN ) .

2.5 . INVLOED VAN DE NIEUWE COMPUTERARCHITECTUUR

ERVAN UITGAANDE DAT

- PROGRAMMATUUR THANS DUUR IS EN DIENT TE WORDEN GEOPTIMALISEERD TERWIJL APPARATUUR GOEDKOPER IS EN IN RUIMERE MATE KAN WORDEN GEBRUIKT ,

- TIJDENS DE AFGELOPEN JAREN TAL VAN PARALLELLE PROCESSORS MET GROOT PRESTATIEVERMOGEN WERDEN ONTWIKKELD EN IN GEBRUIK GENOMEN ,

- DE ARCHITECTUUR VAN EEN MACHINE MOET PASSEN BIJ HET VRAAGSTUK DAT ZIJ DIENT OP TE LOSSEN ,

WORDT ONDERZOEK OP DE VOLGENDE TWEE TERREINEN VOORGESTELD .

A ) ONTWIKKELING VAN NIEUWE PARALLELLE ALGORITMEN EN NIEUWE GEGEVENSSTRUCTUREN IN ELKE CAD-BRANCHE , TEN EINDE EEN MAXIMUM AAN PARALLELLISME TOT STAND TE BRENGEN .

B ) BESTUDERING VAN NIEUWE TOEPASSINGSGERICHTE HARDWARE-PROCESSORS DIE AAN DE THANS BESTAANDE COMPUTERSYSTEMEN KUNNEN WORDEN GEKOPPELD OM EEN DEEL VAN HUN PRESTATIEVERMOGEN MET TEN MINSTE EEN ORDE VAN GROOTTE TE VERBETEREN .

3 . BEPROEVING : SAMENVATTING VAN DE AANBEVELINGEN

DE TESTGROEP BEVEELT AAN HET TOEKOMSTIGE WERK TE ORGANISEREN VOLGENS DE VOLGENDE DRIE HOOFDTERREINEN EN DE DAARMEE SAMENHANGENDE ONDERWERPEN :

VOORNAAMSTE WERKTERREINEN

*ONDERZOEK*SPECIFICATIE EN EVALUATIE*ONTWIKKELING

1 . TESTGEGEVENSGENERATIE****

- BEPROEVING OP FUNCTIONEEL NIVEAU ( METHODEN EN STRATEGIEEN ) * * ***

- ELEMENT NIVEAU ATPG* * ***

- ATPG VOOR LSI-CELLEN , NORMALE LOGICA ENZ .* * ***

- SOORTEN FOUTEN EN MODELLEN* * ***

- STRATEGIEEN VOOR FOUTSIMULATIE* * ***

- MODULAIR ATPG-SYSTEEM** * * * *

- TAAL VOOR MTPG** * * * *

- GEINTEGREERD ATDG-SYSTEEM** * * * *

2 . ONTWERP VOOR BEPROEFBAARHEID****

- VERDELING* * ***

- RAM-ONTWERP VOOR BEPROEFBAARHEID* * ***

- GEMICROPROGRAMMEERDE EENHEDEN* * ***

- ONTWERP VOOR BEPROEFBAARHEID : ALGEMENE TECHNIEKEN* * ***

- GEBRUIKTE HARDWARE* * ***

- SOFTWARE/FIRMWARE , AUTOMATISCHE BEPROEVING* * ***

3 . GEGEVENSVERZAMELING EN GEGEVENSBEHEER****

- DADM-SYSTEEM** * * * *

- MIDDELEN TOT PROGRAMMA-ONTWIKKELING** * * * *

4 . MODELLEN VOOR SCHAKELINGEN : SAMENVATTING VAN DE AANBEVELINGEN

HET ONDERHAVIGE RAPPORT OVER MODELLEN VOOR SCHAKELINGEN BESTRIJKT DRIE BELANGRIJKE TERREINEN :

- NUMERIEKE SIMULATIE ,

- ANALYTISCHE MODELLEN ,

- TABELMODELLEN .

DE VOORNAAMSTE AANBEVELINGEN OP ELK VAN DEZE GEBIEDEN WORDEN HIERONDER BONDIG WEERGEGEVEN .

4.1 . NUMERIEKE SIMULATIE

DIT DEELPROJECT HEEFT VOORAL TOT DOEL EUROPESE ONDERZOEKCENTRA EN LABORATORIA ERTOE AAN TE ZETTEN GEAVANCEERDE PAKKETTEN VOOR SIMULATIE TE ONTWIKKELEN EN DIE TER BESCHIKKING TE STELLEN VAN EUROPESE IC-FABRIKANTEN . HIERDOOR ONTSTAAT DE MOGELIJKHEID EEN ONAFHANKELIJKE POSITIE IN TE NEMEN TEN AANZIEN VAN AMERIKAANSE EN JAPANSE CONCURRENTEN . DERGELIJKE WERKZAAMHEDEN ZIJN NOODZAKELIJK OMDAT NUMERIEKE SIMULATIE , WEGENS HET BELANG VAN TWEE - EN ZELFS DRIEDIMENSIONALE EFFECTEN , HET ENIGE PREDICTIE-INSTRUMENT IS DAT PRAKTISCH KAN WORDEN AANGEWEND BIJ HET ONTWERPEN VAN APPARATUUR . HET VERDIENT DERHALVE AANBEVELING TEN MINSTE VIER SIMULATIEPAKKETTEN TE ONTWIKKELEN , MET NAME :

- 2-D MOSFET SIMULATOR ,

- 2-D SIMULATOR VOOR BIPOLAIRE SCHAKELING ,

- 3-D MOSFET SIMULATOR ,

- 3-D SIMULATOR VOOR BIPOLAIRE SCHAKELING .

VOOR ELK PAKKET WERD EEN GEDETAILLEERDE SPECIFICATIE GEGEVEN MET BETREKKING TOT DE FYSISCHE VERSCHIJNSELEN DIE IN HET PROGRAMMA MOETEN WORDEN OPGENOMEN , DE FYSISCHE EN GEOMETRISCHE STRUCTUUR VAN DE APPARATUUR EN DE I/O GRAFISCHE MOGELIJKHEDEN .

4.2 . ANALYTISCHE MODELLEN ( UITSLUITEND MOSFET'S )

WERKZAAMHEDEN OP DIT GEBIED ZIJN OM TWEE HOOFDREDENEN VAN WEZENLIJK BELANG : ENERZIJDS ZIJN ANALYTISCHE MODELLEN NAUWKEURIG EN EENVOUDIG , ZODAT ZIJ UITERMATE GESCHIKT ZIJN VOOR ONTWERPERS VAN SCHAKELINGEN IN SIMULATIEPROGRAMMA'S VOOR CAD-SCHAKELINGEN ; ANDERZIJDS WORDT DE FUNCTIONELE AFHANKELIJKHEID VAN DESBETREFFENDE ELEKTRISCHE PARAMETERS IN DE GEOMETRISCHE EN FYSISCHE STRUCTUUR VAN DE SCHAKELINGEN IN ANALYTISCHE MODELLEN GEMAKKELIJK GEIDENTIFICEERD , WAARDOOR INZICHT KAN WORDEN VERKREGEN IN DE FYSISCHE VERSCHIJNSELEN DIE ZICH IN DE SCHAKELINGEN VOORDOEN .

DE VOLGENDE ANALYTISCHE MODELLEN DIENEN TE WORDEN ONTWIKKELD :

MOSFET'S MET OPPERVLAKTEKANAAL*LANG KANAAL , LAGE SPANNING ( NIVEAU 1 ) *

MOSFET'S MET OPPERVLAKTEKANAAL*LANG KANAAL , HOGE SPANNING ( NIVEAU 2 ) *

MOSFET'S MET OPPERVLAKTEKANAAL*KORT KANAAL , LAGE SPANNING ( NIVEAU 3 ) *

MOSFET'S MET OPPERVLAKTEKANAAL*KORT KANAAL , HOGE SPANNING ( NIVEAU 4 ) *

MOSFET'S MET KANAAL UIT ZICHT*LANG KANAAL ( NIVEAU 1 ) *

MOSFET'S MET KANAAL UIT ZICHT*KORT KANAAL ( NIVEAU 2 ) *

4.3 . FYSISCH MODEL

OOK HIER WORDEN VOOR ELK VAN DE BOVENGENOEMDE MODELLEN GEDETAILLEERDE SPECIFICATIES VERSTREKT . NAAST DE ONTWIKKELING VAN DE MODELLEN DIENT OOK HET VRAAGSTUK VAN DE PARAMETERIDENTIFICATIE , IN HET BIJZONDER WAT DE BELASTING ( OF DE CAPACITEITEN ) BETREFT , TE WORDEN AANGEPAKT EN OPGELOST .

4.4 . TABELMODELLEN

TABELMODELLEN WERDEN NOODZAKELIJK GEACHT VOOR DOELEINDEN VAN TIMINGSIMULATIE . IN DERGELIJKE SIMULATOREN WORDT WEINIG AANDACHT BESTEED AAN DE CAPACITEITEN OMDAT ZIJ ALS CONSTANTEN WORDEN BESCHOUWD ; DE WERKZAAMHEDEN OP DIT GEBIED DIENEN DAN OOK GERICHT TE ZIJN OP DE ONTWIKKELING VAN TABELLEN ZOWEL VOOR STROMEN ALS VOOR CAPACITEITEN .

HET BELANGRIJKSTE PROBLEEM BESTAAT ERIN DE REGELS VOOR DE SCHAALGROOTTE TE BEPALEN EN TEGELIJK DE EENVOUD VAN VERWERKING TE BEWAREN DIE NOODZAKELIJK IS OM DE CVE-TIJD AANZIENLIJK TE VERMINDEREN TEN AANZIEN VAN DIE WELKE VOOR ANALYTISCHE MODELLEN IS VEREIST .