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( 1 ) ABL . NR . C 144 VOM 15 . 6 . 1981 , S . 69 .

( 2 ) ABL . NR . C 353 VOM 31 . 12 . 1980 , S . 4 .

( 3 ) ABL . NR . C 231 VOM 13 . 9 . 1979 , S . 1 .

VERORDNUNG ( EWG ) NR . 3744/81 DES RATES VOM 7 . DEZEMBER 1981 BETREFFEND GEMEINSCHAFTLICHE AKTIONEN IM BEREICH DER MIKRÖLEKTRONIK-TECHNOLOGIE

DER RAT DER EUROPÄISCHEN GEMEINSCHAFTEN -

GESTÜTZT AUF DEN VERTRAG ZUR GRÜNDUNG DER EUROPÄISCHEN WIRTSCHAFTSGEMEINSCHAFT , INSBESONDERE AUF ARTIKEL 235 ,

AUF VORSCHLAG DER KOMMISSION ,

NACH STELLUNGNAHME DES EUROPÄISCHEN PARLAMENTS ( 1 ) ,

NACH STELLUNGNAHME DES WIRTSCHAFTS - UND SOZIALAUSSCHUSSES ( 2 ) ,

IN ERWAEGUNG NACHSTEHENDER GRÜNDE :

DIE MIKRÖLEKTRONIK IST FÜR DIE ENTWICKLUNG UND DIE WETTBEWERBSFÄHIGKEIT SÄMTLICHER INDUSTRIEZWEIGE DER GEMEINSCHAFT IN EINER ZEIT , IN DER DIE EUROPÄISCHEN WIRTSCHAFT IN STEIGENDEM MASSE GÜTER UND DIENSTLEISTUNGEN HOHER WERTSCHÖPFUNG ANBIETEN MUSS , VON WESENTLICHER BEDEUTUNG . DIE ZUR ERREICHUNG DER WETTBEWERBSFÄHIGKEIT BIS 1985 NOTWENDIGEN ANSTRENGUNGEN ERFORDERN VON IHREM UMFANG UND IHRER BESCHAFFENHEIT HER EIN GEMEINSCHAFTLICHES VORGEHEN , DAS EINE UNTERSTÜTZUNGSREGELUNG FÜR DIE ZUSAMMENARBEIT DER INDUSTRIE IN FORSCHUNG UND ENTWICKLUNG ENTHÄLT . IN DER ENTSCHLIESSUNG DES RATES VOM 11 . SEPTEMBER 1979 ( 3 ) WIRD DIE KOMMISSION AUFGEFORDERT , DIE MÖGLICHKEITEN UND MODALITÄTEN EINER KOORDINIERUNG DER EINZELSTAATLICHEN AKTIONEN AUF DIESEM SEKTOR ZU PRÜFEN UND DEM RAT KONKRETE EINZELVORHABEN AUF GEMEINSCHAFTSEBENE ZUR FÖRDERUNG DER MIKRÖLEKTRONIK-TECHNOLOGIE VORZUSCHLAGEN .

DIE GEWÄHRTE UNTERSTÜTZUNG SOLL AUSGEGLICHENE MARKT - UND WETTBEWERBSVERHÄLTNISSE IN EUROPA FÖRDERN . DIE GRUNDSÄTZE IN DEM VIERJAHRESPROGRAMM ZUR ENTWICKLUNG DER DATENVERARBEITUNG IN DER GEMEINSCHAFT UND INSBESONDERE DIE GRUNDSÄTZE ÜBER DAS EIGENTUM AN UND DEN ZUGANG ZU DEN ERGEBNISSEN DER UNTERSTÜTZTEN VORHABEN SIND AUCH HIER GÜLTIG . DABEI IST INSBESONDERE DIE BEDEUTUNG EINER ENTSPRECHENDEN VERBREITUNG DER MATERIELLEN UND SONSTIGEN ERGEBNISSE UNTERSTÜTZTER VORHABEN HERVORZUHEBEN -

HAT FOLGENDE VERORDNUNG ERLASSEN :

ARTIKEL 1

ZUR ERREICHUNG DER ZIELE , DIE SICH DIE GEMEINSCHAFT AUF DEM GEBIET DER MIKRÖLEKTRONIK-TECHNOLOGIE GESETZT HAT , WERDEN DIE ARBEITEN DER MITGLIEDSTAATEN IN DIESEM BEREICH AUF GEMEINSCHAFTSEBENE KOORDINIERT UND GEMEINSAME VORHABEN ZUR ERGÄNZUNG UND VERTIEFUNG DIESER ARBEITEN GEMÄSS DEN IN DIESER VERORDNUNG FESTGELEGTEN BEDINGUNGEN DURCHGEFÜHRT .

BEI DER GEWÄHRUNG FINANZIELLER UNTERSTÜTZUNG FÜR VORHABEN IN DEN IN ARTIKEL 3 GENANNTEN BEREICHEN WERDEN DIE MITGLIEDSTAATEN - BEI SONST GLEICHEN BEDINGUNGEN - INSBESONDERE SOLCHE VORHABEN FÖRDERN , AN DENEN UNTERNEHMEN ODER EINRICHTUNGEN AUS ZWEI ODER MEHR LÄNDERN DER GEMEINSCHAFT IN ERHEBLICHEM MASS BETEILIGT SIND .

TITEL I

INFORMATION UND KONSULTATION

ARTIKEL 2

ES WIRD HIERMIT EIN INFORMATIONS - UND KONSULTATIONSSYSTEM ÜBER INITIATIVEN ZUR FÖRDERUNG DER VERBREITUNG UND DER ENTWICKLUNG DER MIKRÖLEKTRONIK-TECHNOLOGIE UND IHRER ANWENDUNG GESCHAFFEN , AN DEM DIE MITGLIEDSTAATEN UND DIE KOMMISSION BETEILIGT SIND .

ARTIKEL 3

( 1 ) UM DIE WIRKSAMKEIT DER IN DIESER VERORDNUNG VORGESEHENEN KONSULTATIONEN SICHERZUSTELLEN , LIEFERN DIE MITGLIEDSTAATEN DER KOMMISSION UNBESCHADET IHRER WETTBEWERBSRECHTLICHEN VERPFLICHTUNGEN UNVERZUEGLICH VON SICH AUS ODER AUF ERSUCHEN DER KOMMISSION ALLE AUF DEN NEUESTEN STAND GEBRACHTEN ZWECKDIENLICHEN VORAB-INFORMATIONEN WISSENSCHAFTLICHER , WIRTSCHAFTLICHER UND FINANZIELLER ART ÜBER JEDE AKTION , DIE UNTER IHRE ZUSTÄNDIGKEIT FÄLLT , ZUM ZEITPUNKT DES INKRAFTTRETENS DIESER VERORDNUNG IM GANG ODER NACH DIESEM ZEITPUNKT GEPLANT IST UND EINEM DER FOLGENDEN ZIELE DIENT :

A ) FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN INDUSTRIELLEN FORSCHUNG UND ENTWICKLUNG BETREFFEND AUSRÜSTUNGEN , VERFAHREN , INSTRUMENTE UND TECHNIKEN SOWOHL IM BEREICH DER SOFTWARE ALS AUCH DER HARDWARE , DIE FÜR DIE KONZEPTION , DIE GROSSTECHNISCHE HERSTELLUNG UND DIE PRÜFUNG FORTGESCHRITTENER INTEGRIERTER SCHALTKREISE BESTIMMT SIND ;

B ) VERBREITUNG VON GRUNDLAGENKENNTNISSEN SOWIE AUSBILDUNG VON LEITENDEN ANGESTELLTEN UND FACHKRÄFTEN AUF DEM GEBIET DER KONZEPTION , ANWENDUNG UND PRÜFUNG FORGESCHRITTENER INTEGRIERTER SCHALTKREISE ;

C ) FÖRDERUNG DER ERRICHTUNG EINER INDUSTRIE IN DER GEMEINSCHAFT , DIE IN DER LAGE IST , DIE FÜR DIE HERSTELLUNG FORTGESCHRITTENER INTEGRIERTER SCHALTKREISE ERFORDERLICHEN AUSRÜSTUNGEN , WERKSTOFFE UND TECHNIKEN ZU KONZIPIEREN UND ZU PRODUZIEREN .

SIE LIEFERN DER KOMMISSION EBENFALLS EINE BEWERTUNG DER ERGEBNISSE ALLER DIESER AKTIONEN .

DIESER ARTIKEL GILT NICHT FÜR VERTRAULICHE AUSKÜNFTE VON FIRMEN ÜBER EINZELVORHABEN .

( 2 ) DIE KOMMISSION SORGT DAFÜR , DASS DIE MITGLIEDSTAATEN AUSKÜNFTE ÜBER DIE IN ABSATZ 1 GENANNTEN AKTIONEN ERHALTEN .

( 3 ) NACH DEM VERFAHREN DES ARTIKELS 8 WIRD FESTGELEGT , WIE AUSFÜHRLICH DIE DER KOMMISSION VERTRAULICH ZU ÜBERMITTELNDEN INFORMATIONEN SOWIE DIE INFORMATIONEN SEIN MÜSSEN , DIE DEN STAATLICHEN STELLEN DER MITGLIEDSTAATEN ODER DER ÖFFENTLICHKEIT MITZUTEILEN SIND , UND AUF WELCHE ART UND WEISE DIE ERFASSTEN INFORMATIONEN ZUR VERFÜGUNG GESTELLT WERDEN .

TITEL II

GEMEINSAME VORHABEN

ARTIKEL 4

( 1 ) FÜR DIE NACHSTEHEND GENANNTEN SCHLÜSSELVORHABEN IM BEREICH VON FORSCHUNG UND ENTWICKLUNG , DIE UNMITTELBAR UNTER DIE IN ARTIKEL 3 AUFGEFÜHRTEN TÄTIGKEITSBEREICHE FALLEN UND DENEN HÖCHSTER VORRANG ZUKOMMT , WIRD NACH MASSGABE DES ARTIKELS 5 EINE GEMEINSCHAFTSBEIHILFE GEWÄHRT :

I . SCHRITTWEISE OPTISCHE DIREKTBELICHTUNG ,

II . ELEKTRONENSTRAHL-DIREKTSCHREIBEN AUF DEM WAFER ,

III . PLASMAÄTZEN UND AUFDAMPFEN ,

IV . TESTGERÄTE ,

V . RECHNERGESTÜTZTES ENTWERFEN ( CAD ) FÜR DIE GRÖSSTINTEGRATION ( VLSI ) :

1 . ARCHITEKTUR ,

2 . SPRACHE UND DATENSTRUKTUR ,

3 . TESTEN ,

4 . BAUELEMENTMODELLIERUNG .

( 2 ) DIE TECHNISCHEN SPEZIFIKATIONEN FÜR DIE IN ABSATZ 1 AUFGEFÜHRTEN VORHABEN SIND IM ANHANG ENTHALTEN .

( 3 ) DIE TECHNISCHEN SPEZIFIKATIONEN WERDEN VON DER KOMMISSION NACH DEM IN ARTIKEL 8 VORGESEHENEN VERFAHREN ERFORDERLICHENFALLS AUF DEN NEUESTEN STAND GEBRACHT .

( 4 ) MIT BEGINN DES ZWEITEN JAHRES NACH INKRAFTTRETEN DIESER VERORDNUNG KANN DIE IN ABSATZ 1 ENTHALTENE LISTE NACH DEM VERFAHREN DES ARTIKELS 8 GEÄNDERT WERDEN , SOWEIT HIERFÜR MITTEL ZUR VERFÜGUNG STEHEN . FERNER KANN DIE KOMMISSION , FALLS ERFORDERLICH , DEM RAT EINE REVISION DER VERORDNUNG VORSCHLAGEN .

TITEL III

FINANZBESTIMMUNGEN

ARTIKEL 5

( 1 ) DIE EUROPÄISCHE GEMEINSCHAFT LEISTET EINE FINANZIELLE UNTERSTÜTZUNG FÜR DIE IN ARTIKEL 4 GENANNTEN VORHABEN IN FORM VON ZUSCHÜSSEN , DIE IM NORMALFALL 30 % DER DURCHFÜHRUNGSKOSTEN BETRAGEN , ABER AUFGRUND EINER ENTSCHEIDUNG GEMÄSS DEM VERFAHREN VON ARTIKEL 8 BIS ZU 50 % BETRAGEN KÖNNEN .

( 2 ) DIE VERPFLICHTUNGSERMÄCHTIGUNGEN FÜR DIE IN ABSATZ 1 GENANNTE FINANZIELLE UNTERSTÜTZUNG BETRAGEN 40 MILLIONEN ECU . DIESER BETRAG WIRD IN DEN HAUSHALTSPLAN DER EUROPÄISCHEN GEMEINSCHAFTEN FÜR 1982 EINGESETZT .

( 3 ) UM IN DIE VERGÜNSTIGUNG EINER BEIHILFE GELANGEN ZU KÖNNEN , MÜSSEN DIE VORHABEN FOLGENDE BEDINGUNGEN ERFÜLLEN :

- IHRE ZIELSETZUNG MUSS DEN TECHNISCHEN SPEZIFIKATIONEN ENTSPRECHEN , DIE IM ANHANG AUFGEFÜHRT SIND ;

- DIE VORHABEN MÜSSEN IN DER GEMEINSCHAFT DURCHGEFÜHRT WERDEN .

AUSSERDEM GILT

A ) FÜR DIE UNTER ARTIKEL 4 ABSATZ 1 ZIFFERN I BIS IV FALLENDEN VORHABEN , DASS

- DIE ANTRAGSTELLER IN DER GEMEINSCHAFT NIEDERGELASSENE INDUSTRIELLE HERSTELLER ODER ANWENDER SEIN MÜSSEN ;

- EINE AUSREICHENDE ZAHL HINLÄNGLICH QUALIFIZIERTER INDUSTRIELLER ANWENDER , DIE NICHT ALLE IM SELBEN MITGLIEDSTAAT NIEDERGELASSEN SIND , IHR INTERESSE AN EINER BETEILIGUNG AN DEM VORHABEN DURCH DEN BEITRAG VON EIGENMITTELN NACHGEWIESEN HABEN MUSS , WOBEI KEINERLEI KAPITALBINDUNG ZWISCHEN DIESEN UNTERNEHMEN UND DEN AN DEMSELBEN VORHABEN BETEILIGTEN HERSTELLERN BESTEHEN DARF . DIESE ZAHL WIRD VON DER KOMMISSION FÜR JEDES VORHABEN GEMÄSS DEM IN ARTIKEL 8 VORGESEHENEN VERFAHREN FESTGELEGT ;

B ) FÜR DIE UNTER ARTIKEL 4 ABSATZ 1 ZIFFER V FALLENDEN VORHABEN , DASS

- DIE ANTRAGSTELLER HOCHSCHULEN , FORSCHUNGSEINRICHTUNGEN ODER IN DER GEMEINSCHAFT ANSÄSSIGE UNTERNEHMEN SEIN MÜSSEN ;

- EINE AUSREICHENDE ZAHL HINLÄNGLICH QUALIFIZIERTER INDUSTRIELLER ANWENDER , DIE NICHT ALLE IM SELBEN MITGLIEDSTAAT NIEDERGELASSEN SIND UND DIE KEINE KAPITALBINDUNG UNTEREINANDER HABEN , IHR INTERESSE AN EINER BETEILIGUNG AN DEM VORHABEN DURCH DEN BEITRAG VON EIGENMITTELN NACHGEWIESEN HABEN MUSS . DIESE ZAHL WIRD VON DER KOMMISSION FÜR JEDES VORHABEN GEMÄSS DEM IN ARTIKEL 8 VORGESEHENEN VERFAHREN FESTGELEGT .

BEI DER ANWENDUNG DER UNTER DEN BUCHSTABEN A ) UND B ) GENANNTEN KRITERIEN WIRD FÜR DEN FALL , DASS DER UMFANG DER MITTEL ES NICHT ZULÄSST , DASS ZWEI ODER MEHRERE FÖRDERUNGSWÜRDIGE VORHABEN GLEICHER ART UNTERSTÜTZT WERDEN , DER VORRANG DEMJENIGEN VORHABEN GEGEBEN , DAS DIE GRÖSSTE ZAHL VON MITGLIEDSTAATEN IMPLIZIERT , WOBEI ALLE SONSTIGEN BEDINGUNGEN GLEICH SIND .

( 4 ) IST EIN VORHABEN NACH ABSATZ 3 BUCHSTABE A ) ODER B ) IN BETRACHT GEZOGEN WORDEN , SO KANN JEDES IN DER GEMEINSCHAFT ANSÄSSIGE HINRIECHEND QUALIFIZIERTE UNTERNEHMEN AN DEM VORHABEN TEILNEHMEN UND DIE ENTSPRECHENDE UNTERSTÜTZUNG UNABHÄNGIG VON DER KAPITALBINDUNG , DIE GEGEBENENFALLS ZWISCHEN IHM UND ANDEREN TEILNEHMERN AN DEM GLEICHEN VORHABEN BESTEHT , BEANTRAGEN .

( 5 ) DIE ANTRAEGE SIND VON DEN INTERESSIERTEN EINRICHTUNGEN AUF DIE IM AMTSBLATT DER EUROPÄISCHEN GEMEINSCHAFTEN VERÖFFENTLICHTEN AUSSCHREIBUNGEN HIN AN DIE KOMMISSION ZU RICHTEN . SIE MÜSSEN DEN NACHWEIS , DASS SIE IM SINNE DES ABSATZES 3 GERECHTFERTIGT SIND , SOWIE ALLE SONSTIGEN ZWECKDIENLICHEN ANGABEN ENTHALTEN . DIE KOMMISSION KANN ALLE WEITEREN ERGÄNZENDEN UNTERLAGEN UND ANGABEN ANFORDERN , DIE ZUR ZUSAMMENSTELLUNG DER AKTE ERFORDERLICH SIND .

( 6 ) DIE KOMMISSION ENTSCHEIDET INNERHALB VON VIER MONATEN ÜBER DIE BEI IHR EINGEGANGENEN ANTRAEGE .

( 7 ) VORBEHALTLICH DER BEFUGNISSE DES RECHNUNGSHOFS NACH ARTIKEL 206A ABSATZ 3 DES VERTRAGES KANN DIE KOMMISSION NACHFORSCHUNGEN AN ORT UND STELLE ODER EINE ERHEBUNG ÜBER DIE FINANZGESCHÄFTE , NACH MASSGABE DER IN DEN VERTRAEGEN ÜBER DIE FINANZIERUNG DER VORHABEN SPEZIFIZIERTEN BEDINGUNGEN , DURCHFÜHREN .

TITEL IV

ALLGEMEINE BESTIMMUNGEN

ARTIKEL 6

( 1 ) ES WIRD EIN BERATENDER AUSSCHUSS FÜR DIE AKTIONEN ZUR FÖRDERUNG DER MIKRÖLEKTRONIK-TECHNOLOGIE , NACHSTEHEND " AUSSCHUSS " GENANNT , EINGESETZT , DER AUS VERTRETERN DER MITGLIEDSTAATEN BESTEHT , DIE JE NACH ART DER BETREFFENDEN AKTIONEN VON SACHVERSTÄNDIGEN ODER BERATERN UNTERSTÜTZT WERDEN KÖNNEN ; DEN VORSITZ IM AUSSCHUSS FÜHRT EIN VERTRETER DER KOMMISSION .

( 2 ) DIE BERATUNGEN DES AUSSCHUSSES SIND VERTRAULICH .

( 3 ) DER AUSSCHUSS GIBT SICH SEINE GESCHÄFTSORDNUNG .

( 4 ) DIE SEKRETARIATSGESCHÄFTE DES AUSSCHUSSES WERDEN VON DEN DIENSTSTELLEN DER KOMMISSION WAHRGENOMMEN .

ARTIKEL 7

DIE KOMMISSION KANN DEN AUSSCHUSS IN ALLEN IN DEN GELTUNGSBEREICH DIESER VERORDNUNG FALLENDEN FRAGEN KONSULTIEREN UND MUSS IHN INSBESONDERE ZU FOLGENDEM ANHÖREN :

- DER AUSFÜHRLICHKEIT DER DER KOMMISSION GEMÄSS ARTIKEL 3 ÜBER DIE EINZELSTAATLICHEN TÄTIGKEITEN VERTRAULICH ZU ÜBERMITTELNDEN INFORMATIONEN ;

- DER AUSFÜHRLICHKEIT DER ZU VERÖFFENTLICHENDEN ODER DEN STAATLICHEN STELLEN DER MITGLIEDSTAATEN ZU ÜBERMITTELNDEN INFORMATIONEN ;

- DER ART UND WEISE , AUF DIE DIE ERFASSTEN INFORMATIONEN DEN MITGLIEDSTAATEN ZUR VERFÜGUNG GESTELLT WERDEN ;

- DER AKTUALISIERUNG DER TECHNISCHEN SPEZIFIKATIONEN ÜBER DIE VORHABEN , FÜR DIE EIN ZUSCHUSS GEWÄHRT WERDEN KANN ;

- DER MINDESTZAHL DER UNTERNEHMEN , DIE ERFORDERLICH IST , DAMIT FÜR EIN VORHABEN EIN ZUSCHUSS GEWÄHRT WERDEN KANN ;

- DER BEWERTUNG DER ANTRAEGE UND ZU DER GEWÄHRUNG DER UNTERSTÜTZUNGEN .

ARTIKEL 8

( 1 ) WIRD AUF DAS IN DIESEM ARTIKEL FESTGELEGTE VERFAHREN BEZUG GENOMMEN , SO BEFASST DER VORSITZENDE DEN AUSSCHUSS VON SICH AUS ODER AUF ANTRAG DES VERTRETERS EINES MITGLIEDSTAATS .

( 2 ) DER VERTRETER DER KOMMISSION LEGT EINEN ENTWURF DER ZU ERGREIFENDEN MASSNAHMEN VOR . DER AUSSCHUSS NIMMT BINNEN ZWEI MONATEN ZU DEM BESCHLUSSENTWURF STELLUNG . ER BESCHLIESST HIERBEI MIT EINER MEHRHEIT VON 45 STIMMEN . DIE STIMMEN DER MITGLIEDSTAATEN IM AUSSCHUSS WERDEN NACH MASSGABE DES ARTIKELS 148 ABSATZ 2 DES VERTRAGES GEWOGEN . DER VORSITZENDE NIMMT AN DER ABSTIMMUNG NICHT TEIL .

( 3 ) DIE KOMMISSION GENEHMIGT DEN ENTWURF , WENN ER DER STELLUNGNAHME DES AUSSCHUSSES ENTSPRICHT . ENTSPRICHT DER BESCHLUSSENTWURF NICHT DIESER STELLUNGNAHME ODER LIEGT KEINE STELLUNGNAHME VOR , SO LEGT DIE KOMMISSION DEM RAT UNVERZUEGLICH EINEN VORSCHLAG IN FORM EINES BESCHLUSSENTWURFS VOR . DER RAT BESCHLIESST MIT QUALFIZIERTER MEHRHEIT .

ARTIKEL 9

DIE KOMMISSION ÜBERMITTELT DEM PARLAMENT UND DEM RAT JÄHRLICH EINEN BERICHT ÜBER DIE ENTWICKLUNG DER UNTER DIESE VERORDNUNG FALLENDEN AKTIONEN IN DER GEMEINSCHAFT .

ARTIKEL 10

DIESE VERORDNUNG TRITT AM 1 . JANUAR 1982 IN KRAFT .

SIE GILT BIS ZUM 31 . DEZEMBER 1985 .

DIESE VERORDNUNG IST IN ALLEN IHREN TEILEN VERBINDLICH UND GILT UNMITTELBAR IN JEDEM MITGLIEDSTAAT .

GESCHEHEN ZU BRÜSSEL AM 7 . DEZEMBER 1981 .

IM NAMEN DES RATES

DER PRÄSIDENT

CARRINGTON

ANHANG

TECHNISCHE SPEZIFIKATION VON PROJEKTEN UND AKTIVITÄTEN , FÜR DIE EINE FINANZIELLE UNTERSTÜTZUNG IM RAHMEN DER VERORDNUNG VORGESCHLAGEN WIRD

I . SCHRITTWEISE DIREKTBELICHTUNG AUF DEM WAFER ( STEP AND REPEAT ON WAFER )

TECHNOLOGIE DER SCHRITTWEISEN OPTISCHEN DIREKTBELICHTUNG

MASCHINEN ZUR SCHRITTWEISEN OPTISCHEN DIREKTBELICHTUNG ( DIRECT OPTICAL STEPPING MACHINES ) MIT DEN NACHSTEHEND AUFGEFÜHRTEN MERKMALEN SOLLTEN BIS ENDE 1982 ZUR VERFÜGUNG STEHEN .

- GRÖSSE DER SILICIUMSCHEIBE : BIS ZU 6 ZOLL

- CHIPFLÄCHE : 1 CM2

- KLEINSTE LINIENBREITE : 1,25 UM AUF DER SILICIUMSCHEIBE ( 1,1 UM IN DER LACKSTRUKTUR )

- AUTOMATISCHE JUSTIERGENAUIGKEIT : 0,1 UM

- DURCHSATZ 50 MAL 4 ZOLL SILICIUMSCHEIBEN / H BEI EINEM 1 CM2 FELD MIT EINSCHALTUNG VON FÜNF PRÜFMUSTERN UND SELBSTJUSTIERUNG BEI JEDEM CHIP ; ANBAUBARES RETICLE-MAGAZIN .

BEI DER BESCHREIBUNG DER ANLAGE SOLLTEN INDIVIDÜLLE ZEITEN EINSCHLIESSLICH DER ZEIT ZUR EINSCHALTUNG DER PRÜFMUSTER ANGEGEBEN WERDEN . DIE JUSTIERUNG SOLLTE PROGRAMMIERBAR SEIN ( JE INDIVIDÜLLE EXPOSITION , JE BLOCK , JE SILICIUMSCHEIBE ) . DIE ZULÄSSIGE MINDESTGRÖSSE DER AUSRICHTUNGSMARKIERUNGEN SOLLTE ANGEGEBEN WERDEN .

ES WIRD ALS WÜNSCHENSWERT ERACHTET , DASS 1983 MASCHINEN MIT EINEM VERBESSERTEN DURCHSATZ VON 50 MAL 6 ZOLL SILICIUMSCHEIBEN / H UND EINER VERBESSERTEN AUFLÖSUNG VON 1,0 UM ALS KLEINSTE LINIENBREITE AUF DER SILICIUMSCHEIBE GELIEFERT WERDEN KÖNNEN .

II . ELEKTRONENSTRAHL-DIREKTSCHREIBEN AUF DEM WAFER

ELEKTRONENSTRAHLMASCHINEN MIT FOLGENDER LEISTUNG :

- GRÖSSE DES WAFERS : 6 ZOLL

- DURCHSATZ : 15 BIS 20 EBENEN / H BEI 1 UM-STRUKTUREN

- CHIPGRÖSSE : KEINE BEGRENZUNG

- KLEINSTE STRUKTURGRÖSSE : 0,5 UM

- PUNKTGRÖSSE : VERÄNDERBAR

- JUSTIERGENAUIGKEIT : 0,1 UM

DIESE ANLAGE SOLLTE SICH AUCH FÜR DIE RETICLE - UND MASKENHERSTELLUNG EIGNEN . PROTOTYPMASCHINEN , DIE ALLE DIESE ANFORDERUNGEN MIT AUSNAHME DER GESCHWINDIGKEIT ERFÜLLEN , MÜSSEN 1983 VERFÜGBAR SEIN .

III . PLASMA-ÄTZEN

A . MINDESTLEISTUNGEN DES GERÄTS

- WERKSTOFFE , DIE ZU ÄTZEN SIND

- SIO2 , DOTIERT UND UNDOTIERT

- SI3N4

- POLYSILICIUM , DOTIERT UND UNDOTIERT

- SILICIDE UND POLYSILICIDE

- ALUMINIUM UND ALUMINIUMLEGIERUNGEN

- ANDERE METALLE FÜR KONTAKTE UND LEITERBAHNEN

- ORGANISCHE POLYMERE FÜR MEHRSCHICHTEN-RESISTS UND MEHRSCHICHTEN-METALLBESCHICHTUNG .

- STRUKTUREN , DIE IM PRODUKTIONSVORGANG ZU ÄTZEN SIND

- MITTENABSTAND : ( LINIE UND LEERRAUM ) : 3 UM

- KLEINSTE LINIENBREITE : 1 - 1,5 UM

- GENAUIGKEIT : MEHR ODER WENIGER 10 % DER LINIENBREITE FÜR DIE KRITISCHEN STRUKTUREN .

- SELEKTIVITÄT UND ANISOTROPIE

ES MUSS EINE ANGEMESSENE SELEKTIVITÄT BESTEHEN ; FÜR JEDE SCHICHT SOLLTE DIE MÖGLICHKEIT EINER VOLLKOMMEN ANISOTROPEN ÄTZUNG GEWÄHRLEISTET SEIN .

- DURCHSATZ

DER MINDESTDURCHSATZ SOLLTE 50 WAFER PRO STUNDE BEIM LANGSAMSTEN ARBEITSPROZESS BETRAGEN . DER LANGSAMSTE ARBEITSPROZESS WIRD WAHRSCHEINLICH DAS ÄTZEN DURCH 0,8 UM VON THERMISCHEM SIO2 MIT EINER SELEKTIVITÄT VON 10 : 1 AUF SI UND MIT EINEM STRUKTURMITTENABSTAND VON 3 UM SEIN . DAS ÄTZEN ANDERER SCHICHTEN , Z . B . VON 0,4 UM UNDOTIERTEM POLYSILICIUM AUF SIO2 SOLLTE VIEL RASCHER VERLAUFEN .

B . AUSLEGUNG DES GERÄTS

VORGESEHEN IST EIN PARALLEL-PLATTENREAKTOR MIT FOLGENDEN EIGENSCHAFTEN :

- ANLAGENKONZEPT

SEHR WICHTIG IST DIE VERWENDUNG EINES MODULAREN ANLAGENKONZEPTS , SO DASS DAS GERÄT OPTIMAL FÜR JEDE ANWENDUNG ANGEPASST WERDEN KANN .

- SCHLEUSE

DER UNERWÜNSCHTE ZUGANG IRGENDWELCHER STOFFE ( Z . B . WASSERDAMPF ) IST VON DER REAKTIONSKAMMER FERNZUHALTEN , FERNER MÜSSEN NACHÄTZUNGS-EFFEKTE VERMIEDEN WERDEN . DIES LÄSST SICH DURCH EINE SCHLEUSENKAMMER ERREICHEN , DIE DIE KASSETTEN ENTHÄLT . DAS ENTFERNEN DES PHOTORESISTS IN DER ENTLADEKAMMER SOLLTE ALS OPTION IN BETRACHT GEZOGEN WERDEN .

- ELEKTRODE UND REZIPIENTENKONSTRUKTION

- EINZELN REAGIERENDE THERMOSTATEN FÜR DIE OBERE UND DIE UNTERE ELEKTRODE SOWIE FÜR DIE REAKTIONSKAMMER . DER ZU KONTROLLIERENDE TEMPERATURBEREICH BETRAEGT 15 - 100 } C FÜR DIE STANDARDAUSFÜHRUNG UND BIS ZU 150 } C ALS OPTION .

- EINSTELLBARKEIT DES ELEKTRODENABSTANDS : 5 - 70 MM ( CHARGEN-SYSTEM )

5 - 70 MM ( EINZEL-WAFER-SYSTEM )

- DIE ELEKTRODENANORDNUNG MUSS FÜR ARBEITSPROZESSE BEI HOHEN FREQUENZEN ( BIS ZU 27,12 MHZ ) GEEIGNET SEIN , D . H . PARASITÄRES PLASMA IN JEDEM TEIL DES REAKTORS VERMEIDEN .

- IN DEM SYSTEM MÜSSEN SOWOHL PARALLEL-PLASMA-ÄTZEN ( PA ) ALS AUCH REAKTIV-IONEN-ÄTZEN ( RIA ) MÖGLICH SEIN ( ANODEN - UND KATHODENKOPPLUNG ) .

- VAKUUM-AUSLEGUNG

- DER ANGESTREBTE VAKUUMBEREICH LIEGT ZWISCHEN 10 MTORR UND 10 TORR

- REGELBARE PUMPGESCHWINDIGKEIT

- AUTOMATISCHE UND HAND-DRUCKKONTROLLE MIT EINFACHER UMSCHALTMÖGLICHKEIT ZWISCHEN DEN ZWEI BETRIEBSARTEN

- VERWENDUNG VON NICHT-KORROSIVEM MATERIAL FÜR DIE VERSCHLÜSSE ( DICHTUNGEN , O-RINGE ) UND DIE ROHRSYSTEME .

- GASZUFÜHRUNG

VERÄNDERBARE ZUFÜHRUNG VON 1 BIS 3 VERSCHIEDENEN GASEN MIT 1 BIS 3 MASSEN-FLUSSKONTROLLEN , VORZUGSWEISE BIS AUF 5 GASE AUSDEHNBAR ( DIE ANZAHL DER GASE IST EINE OPTION ) .

- KONTROLLEN

- FOLGENDE PARAMETER MÜSSEN KONTROLLIERBAR SEIN :

IM BETRIEB BEFINDLICHE GASLEITUNG ( EN )

STRÖMUNGSGESCHWINDIGKEIT

PROZESS-ZEIT

STABILISIERUNGSZEIT

ÜBERÄTZUNGSZEIT

HOCHFREQUENZLEISTUNG

TEMPERATUR DER BEIDEN ELEKTRODEN

ELEKTRODENSPANNUNG .

- DAS ELEKTRISCHE SIGNAL VON DEN SENSOREN ( DRUCKSENSOR USW . ) MUSS FÜR DIE PROZESSÜBERWACHUNG LEICHT ZUGÄNGLICH SEIN ( Z . B . MIT HILFE EINES STANDARDSTECKERS ) .

- DER REAKTOR SOLLTE MIT MINDESTENS EINEM FENSTER ZUM EINBLICK IN DAS PLASMA VERSEHEN SEIN ; FERNER SOLLTEN ZUSÄTZLICHE ÖFFNUNGEN ZUM EINSETZEN EINIGER ANALYSENINSTRUMENTE FÜR DAS PROZESS-MONITORING VORHANDEN SEIN .

- ÜBERWACHUNGSSYSTEM ( SOFTWARE ) FÜR AUTOMATISCHES ÄTZEN

- TASTATUR MIT PROGRAMM-SPEICHER FÜR DIE SCHRITT-FÜR-SCHRITT-PROZESSSTEUERUNG ODER DEN WARTUNGSABLAUF

- VERWENDERPROGRAMMIERTER SPEICHER MIT STECKERANSCHLUSS ( PROM ) FÜR AUTOMATISCHES ÄTZEN .

- HANDHABUNG DER WAFER

AUTOMATISCHE WAFER-HANDHABUNG , KASSETTENBELADUNG UND -ENTLADUNG OHNE BESCHÄDIGUNG ODER KONTAMINATION .

DAS SYSTEM SOLLTE DIE HANDHABUNG VON WAFERN VON 3 ZOLL BIS 150 MM DURCHMESSER ERMÖGLICHEN .

- WARTUNG UND SICHERHEIT

- LEICHT ZU HANDHABENDE ÖFFNUNG FÜR REINIGUNG UND REPARATURARBEITEN

- NORMUNG DER ÖFFNUNGEN , DICHTUNGEN , STECKERANSCHLÜSSE USW . SOWIE DER ERSATZTEILE .

IV . TESTGERÄTE

EUROPÄISCHE TESTGERÄTE FÜR INTEGRIERTE SCHALTKREISE SOLLTEN MIT FOLGENDEN TECHNISCHEN MERKMALEN ENTWICKELT WERDEN :

- INTEGRALER ANALOG-DIGITALTYP ;

- MODULFORM , DAMIT SIE SOWOHL AN ENTWICKLUNGS - ALS AUCH PRODUKTIONSPRÜFUNGSAUFGABEN ANGEPASST WERDEN KÖNNEN ;

- ZWEIPHASENENTWICKLUNG FÜR DEN DIGITALTEIL . DER ERSTE SCHRITT WÄRE EIN TESTGERÄT FÜR TAKTFREQUENZEN VON 10 BIS MHZ , DER ZWEITE SCHRITT SIND DANN 50 BIS 100 MHZ . DIESE SCHRITTWEISE ENTWICKLUNG BIETET DEN VORTEIL , DASS DAS IN DER ERSTEN PHASE ERWORBENE TECHNOLOGISCHE KNOW-HOW ZUR BEWÄLTIGUNG DER PROBLEME BENUTZT WERDEN KANN , DIE IN DER ZWEITEN ENTWICKLUNGSPHASE ANSTEHEN . AUSSERDEM KANN SO DIE HOCHGESCHWINDIGKEITS-PRÜFUNGSENTWICKLUNG AN DIE ENTWICKLUNGSANFORDERUNGEN DER EUROPÄISCHEN IC-INDUSTRIE BEI HOCHGESCHWINDIGKEITS-BIPOLARSCHALTKREISEN ANGEPASST WERDEN ;

- PRÜFUNG VON BAUELEMENTEN MIT GRÖSSERER STIFTZAHL ( VON 64 BIS 128 ) ;

- WESENTLICHE TEILE DES PRÜFSYSTEMS MÜSSEN " ECL-SPEZIFISCH " SEIN ;

- DIE PRÜFUNG VON SPEICHERBAUELEMENTEN ALLEIN IST AUSGESCHLOSSEN WORDEN , ALLERDINGS WERDEN " ON-THE-CHIP " -SPEICHER IMMER WICHTIGER , WESHALB AUCH SIE PRÜFBAR SEIN MÜSSEN ;

- FÜR DIE VERSCHIEDENEN PRUEFANLAGEN-KONFIGURATIONEN IST EIN EINHEITLICHES KONZEPT AUF DER BASIS EINER HÖHEREN PRÜFSPRACHE ANZUBIETEN .

V . RECHNERUNTERSTÜTZTES ENTWERFEN ( CAD ) FÜR DIE GRÖSSTINTEGRATION ( VLSI )

1 . ARCHITEKTUR

IN ANGRIFF GENOMMEN WERDEN SOLLEN DIE PROBLEME DER SPEZIFIKATIONSDISZIPLINEN , DER SIMULATION UND DER PRÜFUNG IM ENTWURFSSTADIUM DER ARCHITEKTUR SOWIE ARCHITEKTONISCHE STRATEGIEN WIE FEHLERBEHANDLUNG UND STRUKTURIERTE LOGIK . DIE FOLGENDEN AKTIVITÄTEN SIND NOTWENDIG :

- VERBESSERUNG DER KENNTNISSE VON VLSI-ENTWERFERN IN DER COMPUTERTECHNIK DURCH

A ) TRANSFER VON KNOW-HOW VON COMPUTERHERSTELLERN UND

B ) BESSERE INTEGRATION DER AUSBILDUNG AUF DEM GEBIET DER COMPUTERWISSENSCHAFT UND DES ELECTRONIC-ENGINEERING AN DEN UNIVERSITÄTEN ;

- FORSCHUNGEN ÜBER :

A ) VERBINDUNG DER BAUELEMENT-DESIGNMETHODEN MIT DER SCHALTUNGSSTRUKTUR ,

B ) SYNTHESE DER LOGIK AUS DER RTL-BESCHREIBUNG ,

C ) ERROR MANAGEMENT EINSCHLIESSLICH DER ASPEKTE DER FEHLERTOLERANZ DER VLSI-ARCHITEKTUR ,

D ) STRUKTURIERTE LOGIK EINSCHLIESSLICH MINIMISIERUNG FÜR PLAS ( PROGRAMMABLE LOGIC ARRAYS ) UND AUTOMATISCHE PROGRAMMIERUNG VON PLAS UND ROMS ( READ ONLY MEMORIES ) ,

E ) GENERIERUNG VON FIRMWARE UND SIMULATIONSHILFEN ,

F ) PARALLELE PROZESSOREN FÜR DIE SIGNALVERARBEITUNG .

2 . SPRACHE UND DATENSTRUKTUR

2.1 . MANAGEMENT VON ENTWURFSDATEN

HERKÖMMLICHE GRAPHISCHE IC-ENTWURFSYSTEME BERUHEN AUF EINER VORZEICHNUNG DES ZU ENTWERFENDEN SCHALTKREISES . FÜR DIE LÖSUNG DER PROBLEME BEIM VLSI-ENTWERFEN GILT DIES ALS NICHT GEEIGNET , WESHALB EINE GENAUE ANGABE EINES DATEI - ODER ENTWURFSMANAGEMENTSYSTEMS MIT FOLGENDEN ZIELSETZUNGEN ZU FORMULIEREN IST :

A ) UNTERSTÜTZUNG BEI DER VERWALTUNG UMFANGREICHER DATEIEN , DIE ALTERNATIVE DARSTELLUNGEN ZAHLREICHER MODULN EINES SYSTEMS SIND ,

B ) SCHUTZ DER INTEGRITÄT EINES ENTWURFS , DER DEN EINSATZ EINES TEAMS ERFORDERT ,

C ) AUSFÜHRUNG VON ENTWURFSÄNDERUNGEN ,

D ) UNTERSTÜTZUNG BEI DER NEUPARTITIONIERUNG EINES DESIGNS ,

E ) HILFE BEI DER ENTWURFSDOKUMENTATION .

FORSCHUNGSVORHABEN ZUR VERBESSERUNG DER ÜBLICHEN SPEICHER - ODER BETRIEBSSYSTEME FÜR DIE OBENERWÄHNTEN ANLAGEN MÜSSEN BEGONNEN WERDEN . DIE KLEINSTE DATENEINHEIT FÜR EINE TRANSAKTION IST EINE VOLLSTÄNDIGE DATEI , SO DASS HERKÖMMLICHE DATENBASEN NICHT GEEIGNET SIND . BEI DER DURCHFÜHRUNG MUSS AUF DIE ÜBERTRAGBARKEIT DER PROGRAMME GEACHTET WERDEN . EINE STANDARDSPRACHE MIT GENAU DEFINIERTEN SCHNITTSTELLEN MIT DEN STANDARD-SPEICHERSYSTEMEN IST ANZUWENDEN . DIESES VORHABEN IST ALS GEMEINSCHAFTSARBEIT ZWISCHEN IC-ENTWERFERN , CAD-FACHLEUTEN UND DATENVERARBEITUNGSINGENIEUREN DURCHZUFÜHREN .

2.2 . ANWENDER-SCHNITTSTELLE

EINIGE ENTWURFSTÄTIGKEITEN SIND IN HOHEM MASSE VONEINANDER ABHÄNGIG UND ERFORDERN EINE GARANTIERT RASCHE ANTWORT DES RECHNERS , JEDOCH KEINEN SEHR LEISTUNGSSTARKEN RECHNER . EIN BEISPIEL HIERFÜR IST EINE ENTWURFSSPEZIFIKATION MIT HILFE VON GRAPHISCHEN VERFAHREN . SOLCHE AUFGABEN KÖNNEN VON EINEM KLEINEN RECHNER FÜR EINEN EINZIGEN ANWENDER UNTERSTÜTZT WERDEN . ANDERE TÄTIGKEITEN SIND NICHT IN ERSTER LINIE GEGENSEITIG ABHÄNGIG , ERFORDERN DAGEGEN SEHR LEISTUNGSSTARKE RECHENANLAGEN . EIN BEISPIEL HIERFÜR IST DIE SIMULATION . SOLCHE TÄTIGKEITEN ERFORDERN LEISTUNGSFÄHIGE TIME-SHARING-SYSTEME .

WICHTIG IST , DASS DIE RECHNER FÜR DIESE VERWANDTEN TÄTIGKEITEN ENG VERBUNDEN SIND . VERFAHREN ZUR STEUERUNG VON AUFGABEN , DIE AUF ZWEI ODER MEHRERE RECHNER AUFGETEILT SIND , UND DIE DIE DURCHFÜHRUNG FLEXIBLER DATENBEWEGUNGEN ZWISCHEN DIESEN AUFGABEN ERMÖGLICHEN , SIND ZU UNTERSUCHEN . ALLGEMEINE GRUNDSÄTZE , DIE FÜR EINE GROSSE SERIE VON HARDWARE-TYPEN GELTEN , SIND FESTZULEGEN .

DIE DERZEITIGE TENDENZ IN DER HARDWARE-ENTWURFSSPEZIFIKATION GEHT IN RICHTUNG AUF EINE TEXTORIENTIERTE SPRACHLICHE BESCHREIBUNG , DIE FÜR DIE DARSTELLUNG DER HIERARCHISCHEN STRUKTUR UND DER MODULARITÄT SOWIE FÜR DIE BEI VLSI UNVERMEIDLICHE WIEDERHOLBARKEIT GEEIGNET IST . DIE ENTWERFER DENKEN JEDOCH IMMER NOCH IN FORM VON DIAGRAMMEN , UND GRAPHISCHE HILFEN SIND FÜR DEN KONSTRUKTIONSPROZESS WEITERHIN NÜTZLICH . EIN VORHABEN ZUR UNTERSUCHUNG VON METHODEN ZUR KOMBINATION VON TEXTBEZOGENEN UND GRAPHISCHEN DARSTELLUNGEN IST DURCHZUFÜHREN . DABEI SOLLTE JEDE DARSTELLUNGSART JEDERZEIT AUTOMATISCH IN DIE ANDERE UMGEWANDELT WERDEN KÖNNEN , SO DASS DIE GEEIGNETSTE SCHNITTSTELLE IN JEDER PHASE DES ENTWURFSPROZESSES FREI GEWÄHLT WERDEN KANN .

2.3 . SIMULATION

SOFTWAREEINRICHTUNGEN FÜR SIMULATIONS - , TEST - UND PRÜFZWECKE MÜSSEN EIN ENTWURFSSPEKTRUM DER REGISTERTRANSFER-EBENE BIS ZUM TRANSISTORNIVEAU UMFASSEN . DIE TÄTIGKEITEN SOLLTEN AUF DIE ENTWICKLUNG EINER FLEXIBLEN STRUKTURELLEN MULTINIVEAU-BESCHREIBUNGSSPRACHE FÜR NMOS UND CMOS-VLSI AUSGERICHTET WERDEN . DIE AUTOMATISCHE COMPILIERUNG IN DIE SYNTAX DER DERZEIT VERWENDETEN EINSTUFIGEN VERFAHREN UND IN NOCH GRÖSSEREM MASSE IN DIE DATENSTRUKTUR VON MISCHMODUS-SIMULATOREN ERFORDERT UNTERSUCHUNGEN . MISCHMODUS-SIMULATIONSVERFAHREN VERDIENEN GROSSE AUFMERKSAMKEIT AUF DEM GEBIET DER DATENSTRUKTUREN , ALGORITHMEN UND MODELLE .

ES WIRD NACHDRÜCKLICH EMPFOHLEN , EHER DER VLSI-NETZWERKANALYSE STATT DER REINEN SIMULATION BESONDERE BEACHTUNG ZU SCHENKEN , UM DEN ZEITAUFWAND FÜR DEN ENTWURF ZU VERMINDERN UND DIE KORREKTHEIT DES ENTWURFS SICHERZUSTELLEN . ES HANDELT SICH HIER UM EIN VÖLLIG NEUES FORSCHUNGSZIEL , DAS AUF DER GRUNDLAGE DER DATENSTRUKTUREN UND ALGORITHMEN DER ZUR ZEIT EXISTIERENDEN MISCH-MODUSSIMULATOREN DURCHAUS ERREICHBAR ERSCHEINT .

2.4 . ENTWURFSKONTROLLE

ANSTELLE EINER INTENSIVEN KONTROLLE DER VON HAND DURCHGEFÜHRTEN ODER INTERAKTIVEN ENTWURFSSCHRITTE SOLLTE DAS ZIEL IN EINER MÖGLICHST WEITGEHENDEN AUTOMATISIERUNG BESTEHEN ( SILICIUMKOMPILATION , STANDARDZELLEN-VERFAHREN USW . ) , DAMIT EINE KONTROLLE NICHT MEHR NOTWENDIG IST . ZUM AUFFINDEN EINER SICHEREN GRUNDLAGE FÜR DIE ANWENDUNG ODER SCHAFFUNG SOLCHER VERFAHREN IST EINE UNTERSUCHUNG DURCHZUFÜHREN , IN DER DIE VERSCHIEDENEN ANSÄTZE SOWIE VERSCHIEDENE VON HAND ERSTELLTE LAYOUTS GEGENÜBERGESTELLT WERDEN , UM SACHLICHE KRITERIEN FÜR DIE EFFIZIENZ DER LAYOUTS ZU FINDEN .

DASS VLSI HIERARCHISCH ENTWORFEN WERDEN MUSS , IST OFFENSICHTLICH . DIE KONTROLLE ZWISCHEN EINZELNEN HIERARCHISCHEN STUFEN STELLT EIN PROBLEM DAR , LÄSST SICH ABER NICHT VERMEIDEN . TROTZ DER HIERARCHIE SIND KOMPLEXITÄT UND MENGE DER DATEN ENORM UND HABEN MIT DEN HEUTIGEN VERFAHREN UNWIRTSCHAFTLICHE RECHNERZEITEN ZUR FOLGE . WEITERE THEMEN FÜR FORSCHUNG UND ENTWICKLUNG BETREFFEN DEZIDIERTE HARDWARE-MODULN ( Z . B . DESIGNRULE-PRÜFER , MUSTERSPEICHER MIT ZÄHLER UND SCHIEBEREGISTER ODER HARDWARE-SPRACHPROZESSOREN , DIE DIE GEEIGNETEN DATENSTRUKTUREN ERZEUGEN ) .

2.5 . EINFLUSS DER NEUEN RECHNER-ARCHITEKTUREN

AUFGRUND DER TATSACHE , DASS

- SOFTWARE ZUM JETZIGEN ZEITPUNKT TEUER IST UND OPTIMIERT WERDEN MUSS , WÄHREND HARDWARE BILLIGER UND UNGEHINDERTER ZU VERWENDEN IST ,

- IN DEN LETZTEN JAHREN ZAHLREICHE HOCHLEISTUNGS-PARALLELPROZESSOREN KONZIPIERT UND GEBAUT WORDEN SIND ,

- DIE ARCHITEKTUR EINER MASCHINE DEM PROBLEM ANGEPASST SEIN MUSS , ZU DEREN LÖSUNG SIE DIENT ,

WERDEN ARBEITEN IN DEN FOLGENDEN BEIDEN BEREICHEN VORGESCHLAGEN :

A ) ENTWICKLUNG NEUER PARALLELER ALGORITHMEN UND NEUER DATENSTRUKTUREN IN JEDEM ZWEIG DES RECHNERGESTÜTZTEN ENTWERFENS ( CAD ) MIT DEM ZIEL , DIE HÖCHSTMÖGLICHE PARALLELITÄT ZU NUTZEN UND ZU ERREICHEN ;

B ) UNTERSUCHUNG NEUER SPEZIALHARDWAREPROZESSOREN , DIE AN HERKÖMMLICHE DV-SYSTEME ANGESCHLOSSEN WERDEN SOLLEN , UM IHRE LEISTUNG TEILWEISE UM MINDESTENS EINE GRÖSSENORDNUNG ZU STEIGERN .

3 . TESTEN : ZUSAMMENFASSUNG DER EMPFEHLUNGEN

DIE MIT TESTEN BEFASSTE GRUPPE EMPFIEHLT , DIE KÜNFTIGE ARBEIT AN DEN NACHSTEHEND GENANNTEN DREI HAUPTGEBIETEN UND DEN ENTSPRECHENDEN THEMEN AUSZURICHTEN :

HAUPTARBEITSGEBIETE

* FORSCHUNG * SPEZIFIKATION UND BEWERTUNG * ENTWICKLUNG

1 . TESTDATENGENERIERUNG

- TESTEN AUF DER FUNKTIONSEBENE ( METHODEN UND STRATEGIEN ) * +

- ELEMENT LEVEL ATPG * +

- ATPG FÜR LSI-ZELLEN , REGULAR LOGIC USW . * +

- AUSFALLSTYPEN UND MODELLE * +

- AUSFALLSSIMULATIONSSTRATEGIEN * +

- MODULARES ATPG-SYSTEM * * + * +

- SPRACHE FÜR MTPG * * + * +

- INTEGRIERTES ATDG-SYSTEM * * + * +

2 . KONZEPTION IM HINBLICK AUF DIE PRÜFBARKEIT

- PARTITIONIERUNG * +

- RAM-ENTWURF FÜR PRÜFBARKEIT * +

- MIKROPROGRAMMIERTE EINHEITEN * +

- ENTWURF FÜR PRÜFBARKEIT ALLGEMEINE TECHNIKEN * +

- HARDWARE-IMPLEMENTIERTE SELBSTPRÜFUNG * +

- SOFTWARE / FIRMWARE SELBSTPRÜFUNG * +

3 . DATENERFASSUNG UND DATENMANAGEMENT

- DADM-SYSTEM * * + * +

- HILFSMITTEL FÜR DIE PROGRAMMENTWICKLUNG * * + * +

4 . BAUELEMENTMODELLIERUNG : ZUSAMMENFASSUNG DER EMPFEHLUNGEN

DER VORLIEGENDE BERICHT ÜBER DIE BAUELEMENTMODELLIERUNG ERSTRECKT SICH AUF DREI HAUPTGEBIETE :

- NUMERISCHE BAUELEMENTSIMULATION ,

- ANALYTISCHE MODELLE ,

- MODELLE IN TABELLENFORM .

FÜR JEDES DIESER GEBIETE SIND DIE HAUPTSÄCHLICHEN EMPFEHLUNGEN NACHSTEHEND ZUSAMMENGEFASST .

4.1 . NUMERISCHE BAUELEMENTSIMULATION

HAUPTZIEL DIESES TEILPROJEKTS IST ES , DEN EUROPÄISCHEN FORSCHUNGSZENTREN UND LABORATORIEN IMPULSE ZUR ENTWICKLUNG FORGESCHRITTENER PAKETE FÜR DIE BAUELEMENTSIMULATION ZU ENTWICKELN UND SIE DEN EUROPÄISCHEN HERSTELLERN VON INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN ZUR VERFÜGUNG ZU STELLEN . DADURCH SOLLTE DIE UNABHÄNGIGKEIT VON DEN AMERIKANISCHEN UND JAPANISCHEN HERSTELLERN ERREICHT WERDEN . DIE NOTWENDIGKEIT DIESER AKTIVITÄT ERGIBT SICH AUS DER TATSACHE , DASS AUFGRUND DER BEDEUTUNG VON ZWEI - UND DREIDIMENSIONALEN EFFEKTEN DIE NUMERISCHE BAUELEMENTSIMULATION DAS EINZIGE HILFSMITTEL DARSTELLT , DAS FÜR DEN BAUELEMENTENTWURF PRAKTISCH EINGESETZT WERDEN KANN . ES WIRD DAHER EMPFOHLEN , WENIGSTENS VIER SIMULATIONSPAKETE ZU ENTWICKELN , UND ZWAR :

- 2-D MOSFET-SIMULATOR ,

- 2-D-SIMULATOR FÜR BIPOLARE BAUELEMENTE ,

- 3-D MOSFET-SIMULATOR ,

- 3-D-SIMULATOR FÜR BIPOLARE BAUELEMENTE .

FÜR JEDES DIESER PAKETE WURDEN AUSFÜHRLICHE SPEZIFIKATIONEN FESTGELEGT , DIE DIE IN DAS PROGRAMM AUFZUNEHMENDEN PHYSIKALISCHEN PHÄNOMENE , DIE PHYSIKALISCHEN UND GEOMETRISCHEN BAUELEMENTSTRUKTUREN UND GRAPHISCHE I/O-MÖGLICHKEITEN BETREFFEN .

4.2 . ANALYTISCHE MODELLE ( NUR FÜR MOSFET )

EINE AKTIVITÄT AUF DIESEM GEBIET IST AUS ZWEI GRÜNDEN VON BEDEUTUNG : ZUM EINEN SIND ANALYTISCHE MODELLE AUFGRUND IHRER GENAUIGKEIT UND EINFACHHEIT FÜR SCHALTKREISENTWERFER BEI CAD-SCHALTKREISSIMULATIONSPROGRAMMEN GUT GEEIGNET ; ZUM ANDEREN ERMÖGLICHEN ANALYTISCHE MODELLE EINE LEICHTE ERMITTLUNG DER FUNKTIONELLEN ABHÄNGIGKEIT DER RELEVANTEN ELEKTRISCHEN PARAMETER VON DER GEOMETRISCHEN UND PHYSIKALISCHEN BAUELEMENTSTRUKTUR , SO DASS ANALYTISCHE MODELLE EINE KENNTNIS DER INNERHALB EINES BAUELEMENTS ABLAUFENDEN PHYSIKALISCHEN PHÄNOMENE VERMITTELN . ES SOLLTEN FOLGENDE ANALYTISCHEN MODELLE ENTWICKELT WERDEN :

OBERFLÄCHENKANAL MOSFET LANGER KANAL , NIEDERSPANNUNG ( EBENE 1 ) LANGER KANAL , HOCHSPANNUNG ( EBENE 2 ) KURZER KANAL , NIEDERSPANNUNG ( EBENE 3 ) KURZER KANAL , HOCHSPANNUNG ( EBENE 4 )

VERGRABENER KANAL MOSFET LANGER KANAL ( EBENE 1 ) KURZER KANAL ( EBENE 2 ) .

4.3 . PHYSIKALISCHES MODELL

AUCH HIER WERDEN DETAILLIERTE SPEZIFIKATIONEN FÜR JEDES DER OBEN GENANNTEN MODELLE GELIEFERT . ZUSÄTZLICH ZUR MODELLERSTELLUNG SOLLTE DAS PROBLEM DER PARAMETERERMITTLUNG BEARBEITET UND GELÖST WERDEN , VOR ALLEM SOWEIT BELASTUNG ( ODER KAPAZITÄTEN ) BETROFFEN SIND .

4.4 . MODELLE IN TABELLENFORM

DIE NOTWENDIGKEIT VON MODELLEN IN TABELLENFORM WURDE FÜR DIE ZEITABLAUFSIMULATION ANERKANNT . IN SOLCHEN SIMULATOREN WERDEN DIE KAPAZITÄTEN KAUM BEHANDELT UND LEDIGLICH ALS KONSTANTEN BETRACHTET . DIE AKTIVITÄT AUF DIESEM GEBIET SOLLTE DAHER AUF DIE ENTWICKLUNG VON TABELLEN SOWOHL FÜR STRÖME ALS AUCH FÜR KAPAZITÄTEN ABZIELEN .

DAS WICHTIGSTE PROBLEM IST DIE ERSTELLUNG DER REGELN FÜR DAS SCALING , WOBEI DIE EINFACHHEIT DER BERECHNUNG BEIBEHALTEN WERDEN MUSS , UM DIE CPU-ZEIT IM VERHÄLTNIS ZU ANALYTISCHEN MODELLEN NENNENSWERT ZU REDUZIEREN .