Patent SG-11201403396S-A (SG)
Title: Homogeneous hipims coating method
Inventor: KRASSNITZER SIEGFRIED
IPC: H01J37/34
Filed: 2012-11-23
Abstract: (12) NACH DEM VERTRAG UBER DIE INTERNATIONALE ZUSAMMENARBEIT AUF DEM GEBIET DES PATENTWESENS (PCT) VEROFFENTLICHTE INTERNATIONALE ANMELDUNG (19) Weltorganisation fiir geistiges Eigentum Internationales Biiro (43) Internationales Veroffentlichungsdatum 27. Juni 2013 (27.06.2013) WIPOIPCT (10) Internationale Veroffentlichungsnummer WO 2013/091761 A1 (51) Internationale Patentklassifikation: H01J37/34 (2006.01) C23C14/34 (2006.01) (21) Internationales Aktenzeichen: PCT/EP2012/004847 (22) Internationales Anmeldedatum: 23. November 2012 (23.11.2012) (25) Einreichungssprache: Deutsch (26) Veroffentlichungssprache: Deutsch (30) Angaben zur Prioritat: 10 2011 121 770.7 21. Dezember 2011 (21.12.2011) DE (71) Anmelder: OERLIKON TRADING AG, TRUBBACH [CH/CH]; Hauptstrasse 1A, CH-9477 Trubbach (CH). (72) Erflnder: KRASSNITZER, Siegfried; Runastrasse 40A, A-6800 Feldkirch (AT). RUDIGIER, Helmut; Sandstrasse 3, CH-7310 Bad Ragaz (CH). (74) Anwalt: KEMPKENS, Anke; Vordere Miihlgasse 187, 86899 Landsberg a. Lech (DE). (81) Bestimmungsstaaten (soweit nicht anders angegeben, fiir jede verfiigbare nationale Schutzrechtsart): AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW. (84) Bestimmungsstaaten (soweit nicht anders angegeben, fiir jede verfiigbare regionale Schutzrechtsart)'. ARIPO (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW), eurasisches (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM), europaisches (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR), OAPI (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG). [Fortsetzung auf der nachsten Seite] (54) Title: HOMOGENEOUS HIP IMS COATING METHOD (54) Bezeichnung : HOMOGENES HIPIMS-BESCHICHTUNGSVERFAHREN Figur 1: l> 0\ © en i-H o CJ o & Gruppe 1 EMM Gruppe 2 Gruppe 3 EL <—tp1 1 > \ u n r i i—j i— i r r < td2 ______ V tr=1/fr Gruppe Group = (57) Abstract: The invention relates to a HIPIMS method by means of which homogeneous layers can be deposited over the height of a coating chamber. Two partial cathodes are used for said purpose. According to the invention, the length of the individual power pulse intervals applied to the partial cathodes is chosen individually and thus required coating a thickness profile over the height of the coating chamber achieved. is (57) Zusammenfassung: [Fortsetzung auf der nachsten Seite] WO 2013/091761 A1 ero ent IC t. — vor ^ er j^ r A derurigen n der Anspriiche geltenden — mit internationalem Recherchenbericht (Artikel 21 Absatz Frist; Veroffentlichung wird wiederholt, falls 3) Anderungen eingehen (Regel 48 Absatz 2 Buchstabe h) Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein HIPIMS-Verfahren mit welchem fiber die Hohe einer Beschichtungskammer homogene Schichten abgeschieden werden konnen. Dabei kommen zwei Teilkathoden zum Einsatz. Erfindungsgemass wird die Lange der einzelnen an den Teilkathoden anliegenden Leistungspulsintervalle individuell gewahlt und so ein gewttnschtes Beschichtungsdickenprofil fiber die Hohe der Beschichtungskammer erreicht.