Patent DE-202019101792-U1 (DE)
Title: Öffnungsvorrichtung
IPC: H01L21/673
Filed: 2019-03-29
Abstract: Öffnungsvorrichtung (100) zum Aufnehmen und Öffnen eines Substratträgerstapels (10) von einem Typ, welcher eine Mehrzahl von Substratträgern (12) umfasst, welche in einer vertikalen Richtung derart gestapelt angeordnet sind, dass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger trägt, wobei jeder Substratträger (12) einen äußeren Trägerrahmen (40) aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone erstreckt, welche eine innere Öffnung umfasst und einen Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats (30) innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels definiert oder damit versehen ist,- wobei die Öffnungsvorrichtung einen Bewegungsmechanismus (101) aufweist, welcher dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) eines solchen Substratträgerstapels (10), der eine Anzahl von Substratträgern umfasst, welche eine vorbestimmte erste maximale Anzahl von Substratträgern nicht überschreitet, relativ in Bezug auf einander entlang einer vertikalen Achse in einer Öffnungsoperation zu bewegen, so dass die Substratträger (12) aus einem gestapelten Zustand, in welchem die Substratträger aufeinander gestapelt sind und dadurch den Substratträgerstapel bilden, welcher innerhalb der Öffnungsvorrichtung getragen ist, in einen ungestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger (12) ungestapelt und in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse an definierten vertikalen geöffneten Positionen innerhalb der Öffnungsvorrichtung versetzt positioniert sind, mit derartigen vertikalen Abständen zwischen vertikal benachbarten Substratträgern in dem ungestapelten Zustand, dass die Substratsitze von allen Substratträgern von einer horizontalen Richtung für wenigstens eines aus einem Entladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) von einem jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers und einem Beladen von wenigstens einem plattenartigen Substrat (30) auf einen jeweiligen Substratsitz eines jeweiligen ausgewählten Substratträgers zugänglich ist,- wobei der Bewegungsmechanismus (101) ferner dazu eingerichtet und betreibbar ist, die Substratträger (12) des Substratträgerstapels (10) zu bewegen, welche sich momentan in dem ungestapelten Zustand befinden, relativ in Bezug auf einander entlang der vertikalen Achse in einer Schließoperation, so dass die Substratträger zurück in den gestapelten Zustand gebracht werden, in welchem die Substratträger den Substratträgerstapel bilden,- wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger (12) von dem jeweiligen oberen Substratträger (12) von jedem jeweiligen Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels in der Öffnungsoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach unten, vertikal zu distanzieren, und- wobei der Bewegungsmechanismus (101) dazu eingerichtet und betreibbar ist, den jeweiligen unteren Substratträger (12) dem jeweiligen oberen Substratträger (12) jedes jeweiligen Paares von vertikal benachbarten Substratträgern der vertikal versetzten Substratträger in der Schließoperation, durch Bewegen des jeweiligen unteren Substratträgers vertikal nach oben, vertikal anzunähern.