Patent DE-112015004782-B4 (DE)
Title: Resonator für elastische Wellen und Kettenfilter
Inventor: KUZUSHITA TAKUMA
IPC: H03H9/145
Filed: 2015-10-06
Granted: 2022-11-17
Abstract: Resonator für elastische Wellen (1, 21, 31, 41, 51), in dem mehrere geteilte Resonatoren, die in Reihen unterteilt sind, auf einem piezoelektrischen Substrat (2) in einer Richtung orthogonal zu einer Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen angeordnet sind, und in dem jeder der mehreren geteilten Resonatoren eine Interdigitaltransducer-Elektrode (3, 4) enthält, wobei der Resonator für elastische Wellen (1, 21, 31, 41, 51) umfasst:erste und zweite äußere Sammelschienen (7, 8), die auf beiden äußersten Seiten in der Richtung orthogonal zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen positioniert sind,eine erste Zwischenstufensammelschiene (9), die die zwei benachbarten Interdigitaltransducer-Elektroden in der Richtung orthogonal zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen elektrisch miteinander verbindet,mehrere erste Elektrodenfinger (3a), die jeweils an einem Ende mit der ersten äußeren Sammelschiene (7) verbunden sind,mehrere zweite Elektrodenfinger (3b), die jeweils an einem Ende mit der ersten Zwischenstufensammelschiene (9) verbunden sind, und die mit den ersten Elektrodenfingern ineinandergreifen,mehrere dritte Elektrodenfinger (4a), die jeweils an einem Ende mit einer Seite gegenüber der Seite verbunden sind, wo die mehreren zweiten Elektrodenfinger (3b) der ersten Zwischenstufensammelschiene (9) angeordnet sind,mehrere vierte Elektrodenfinger (4b), die mit den mehreren dritten Elektrodenfingern (4a) ineinandergreifen,mehrere erste Dummy-Elektrodenfinger (12), die jeweils an einem Ende mit der ersten äußeren Sammelschiene (7) verbunden sind und die jeweils so angeordnet sind, dass die dem entsprechenden zweiten Elektrodenfinger gegenüberliegen, während ein Spalt dazwischen angeordnet ist, undmehrere zweite Dummy-Elektrodenfinger (13), die jeweils an einem Ende mit der zweiten äußeren Sammelschiene verbunden sind,wobei mehrere dritte Dummy-Elektrodenfinger (14), die jeweils an einem Ende mit der ersten Zwischenstufensammelschiene verbunden sind, entweder auf einer Seite, wo die zweiten Elektrodenfinger (3b) angeordnet sind, oder auf einer Seite, wo die dritten Elektrodenfinger (4a) der ersten Zwischenstufensammelschiene angeordnet sind, angeordnet sind, und die mehreren dritten Dummy-Elektrodenfinger (14) weder auf der anderen Seite der Seite, wo die zweiten Elektrodenfinger angeordnet sind, noch auf der Seite, wo die dritten Elektrodenfinger der ersten Zwischenstufensammelschiene angeordnet sind, angeordnet sind,wobei die dritten Elektrodenfinger auf einer Verlängerung angeordnet sind, zu der sich die zweiten Elektrodenfinger (3b) erstrecken, wobei die erste Zwischenstufensammelschiene (9) dazwischen in der Richtung orthogonal zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen angeordnet ist, und wobei ein Mittenabstand der Elektrodenfinger in einem Abschnitt, wo die ersten und zweiten Elektrodenfinger (3a, 3b) miteinander ineinandergreifen, gleich einem Mittenabstand der Elektrodenfinger in einem Abschnitt ausgebildet ist, wo die dritten und vierten Elektrodenfinger (4a, 4b) miteinander ineinandergreifen.