baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent AT-504054-A3 (AT)
Title: Vorrichtung zur dämpfung bzw. abbremsung von beweglichen möbelteilen von möbelstücken
IPC: E05F5/02
Filed: 2007-07-12
Abstract: Vorrichtung (10) zum Dämpfen bzw. Abbremsen der Bewegung von relativ zu einem unbeweglichen Möbelteil beweglichen Möbelteilen zumindest während eines Teilabschnitts der gesamten Relativbewegung. Im Gehäuse ist eine Bohrung (12a) vorgesehen, in welcher ein Kolben (14) längsverschieblich gelagert ist, welcher innerhalb der Bohrung (12a) in Abhängigkeit von seiner Verschiebungsstellung wenigstens einen größenveränderlichen, mit einem flüssigen Dämpfungsmedium gefüllten Arbeitsraum (20) bildet. Dieser Arbeitsraum ist über Überström-Öffnungen (26) oder-Kanäle mit einem einen gedrosselten Übertritt des flüssigen Dämpfungsmediums ermöglichenden zweiten Arbeitsraum (22) verbunden, wobei auf einer Seite des Kolbens (14) eine aus dem zugeordneten Ende des Gehäuses herausgeführte Kolbenstange (24) angeschlossen ist, über deren kolbenabgewandtes äußeres Ende die Bewegung des zu dämpfenden oder abzubremsenden Möbelteils auf den Kolben (14) übertragen wird. Zum Ausgleich von sich gegebenenfalls durch das Volumen der Kolbenstange (14) beim Einfahren veränderndem Gesamtvolumen der Ar­beitsräume (22; 20) kann eine Volumen-Ausgleichsvorrichtung vorgesehen sein. Im Gehäuse (12) ist zusätzlich zu der den Kolben (14) längsverschieblich aufnehmenden Kolben-Bohrung (12a) wenigstens eine weitere parallel zur Kolben-Bohrung (12a) verlaufende Bohrung (12b) vorgesehen, welche über wenigstens einen mit einem der vom Kolben in der Kolben-Bohrung gebildeten großenveränderlichen Arbeitsraum (20) über einen Überströmdurchlass (26) verbunden ist.
Patent CZ-20002303-A3 (CZ)
Inventor: LIEBOWITZ STEPHEN M
IPC: A61K9/48
Filed: 1998-12-21
Abstract: Pevná dávková forma k perorálnímu podávání, obsahující
lisovaný ribavirinový prostředek mající výhodně vysokou
setřepnou hmotnost alespoň 0,6 g/ml, jakož i překvapivě
velkou rychlost rozpadu a překvapivě velkou rychlost
rozpouštění, přičemž ribavirin v podstatě neobsahuje
polymorfní formy ribavirinu a dále pak způsob přípravy těchto
uvedených pevných dávkových forem.
Patent CZ-20002865-A3 (CZ)
Inventor: AXT SABINE M
IPC: A61K31/16
Filed: 1999-04-02
Abstract: Jsou popsány nové sloučeniny, farmaceutické prostředky a
způsoby pro vytvoření dlouhodobé lokální anestézie.
Sloučeninami tohoto vynálezujsou vícevazebné sloučeniny,
které obsahují od 2 do 10 ligandů kovalentně spojených se
spojkou nebo spojkami, kde každý z těchto ligandů je schopen
vazby na vazebné místo pro ligand napěťově ovládaného Na+
kanálu a ovlivňuje jeho biologické funkce.
Patent CZ-20003595-A3 (CZ)
Inventor: PUZZUOLI MARZIO
IPC: H02H1/00
Filed: 2000-02-11
Abstract: Způsob ochrany elektrorozvodného systému (14) zahrnuje
několik uživatelem volitelných komunikačních protokolů přes
několik komunikačních portů (16). Relé (10) podporuje
několik komunikačních protokolů přesjediný komunikační
port (16) amůže podporovat simultánní formátování a
komunikaci přes několik komunikačních portů (16) s použitím
odlišných protokolů. Podporou celé skupiny komunikačních
protokolů v každém relé (10) je zvýšena funkcionalita
ochranného řízení.
Patent CZ-20012511-A3 (CZ)
Title: Device for administration of injectable substance
Inventor: KIRCHHOFER FRITZ
IPC: A61M5/24
Filed: 2000-01-11
Abstract: The invention refers to a device for administering an injectable product in doses, comprising a casing, itself comprising: a reservoir for the product; a piston which forces product out of the reservoir when moved in a feed direction towards a reservoir outlet; a drive member; a driven member which is slaved by the drive member when the drive member is moved in the feed direction, so moving the piston in the feed direction; and a dosing member which may be rotated about the sliding axis of the drive member, to set the product dosage to be administered. The drive member and the dosing member abut each other via at least one dosage stopper each, one of which is provided on the drive member and the other on the dosing member. At least one of these dosage stoppers at least partially encircles the sliding axis of the drive member in the form of a spiral. The at least one spiral dosage stopper exhibits a continuous course with a constant pitch alpha.
Patent CZ-20012532-A3 (CZ)
Title: Atrial sensing and multiple site stimulation as intervention for atrial fibrillation
Inventor: MOWER MORTON M
IPC: A61N1/36
Filed: 2000-01-11
Abstract: Atrial sensing and stimulation as intervention for atrial fibrillation. The present invention relates to a method of atrial defibrillation. In a variety of protocols varying combinations of conventional and biphasic stimulation are applied at threshold and subthreshold levels. In a preferred embodiment, the implantable electronic stimulation device of the present invention includes multiple electrodes having stimulating and sensing capabilities. The small size of these electrodes allows for intravenous insertion into the patient.
Patent CZ-20013516-A3 (CZ)
Title: Separating body of separated fibers for rotor spinning machine
Inventor: TESAR OLDRICH ING
IPC: D01H4/48
Filed: 2001-10-01
Abstract: In the present invention, there is disclosed a separating body of separated fibers for a rotor spinning machine comprising a guide wall (2) being followed up with a separated fiber guide channel (3) by its inlet opening (30), whereby said guide channel (3) inlet opening (30) is defined by a separating edge (4) arranged against the separated fiber feed direction, and further by a pair of side edges (5, 6). Said guide channel (3) inlet opening (30) is narrower in the region of separating edge (4) wherein the guide channel (3) expands after the inlet opening (30) narrowed section, and then follows a smooth taper towards its trailing end.
Patent CZ-20013524-A3 (CZ)
Title: Inhibitors of LFA-1 to ICAM binding and use thereof
Inventor: FOWLER KERRY
IPC: C07D207/40
Filed: 2000-04-03
Abstract: The present invention is directed to compounds that bind to a novel regulatory site in the I domain of LFA-1, and thereby inhibit LFA-1 binding to ICAMs that bind LFA-1. The present invention therefore also provides methods to regulate leukocyte adhesion to endothelial cells. Compounds of the ivnention are useful for the treatment of pathologies, such as those associated inflammatory diseases, autoimmune diseases, tumor metastasis, allograft rejection and reperfusion injury. In particular, the present invention is directed to diaryl sulfides of general structural formula (I), a pharmaceutically acceptable salt, or prodrug thereof, and to the use of diaryl sulfides, and particularly compounds of formula (I), to inhibit LFA-1 binding to an ICAM that binds LFA-1 wherein A and B, independently, are aryl groups selected from the group consisting of 5- and 6-membered aromatic rings, including, but not limited to, phenyl, thienyl, furyl, pyrimidinyl, imidazolyl, pyrazolyl, pyridyl, pyrazinyl, pyrrolyl, and pyridazinyl.
Patent CZ-20031794-A3 (CZ)
Title: Soil compacting machine
Inventor: AUF DER SPRINGE HERMANN
IPC: E02D31/00
Filed: 2001-11-15
Abstract: The invention relates to a soil compacting machine comprising at least one roller (11, 12) and a driving stand (20) comprising at least one steering device (26, 27). Said steering device (26, 27) can be horizontally pivoted from one side of the driving stand (10) to the other side, thus providing high flexibility and a plurality of operating positions, using few means and a simple structure.
Patent CZ-20032131-A3 (CZ)
Title: Antibody to IGF-I receptor and pharmaceutical preparation containing such antibody
Inventor: COHEN BRUCE D
IPC: C12N5/06
Filed: 2001-12-20
Abstract: The present invention relates to antibodies and antigen-binding protions thereof that specifically bind to insulin-like growth factor I receptor (IGF-IR), which is preferably human IGF-IR. The invention also relates to human anti-IGF-IR antibodies, including chimeric, bispecific, derivatized, single chain antibodies or portions of fusion proteins. The invention also relates to isolated heavy and light chain immunoglobulin molecules derived from anti-IGF-IR antibodies and nucleic acid molecules encoding such momlecules. The present invention also relates to methods of making anti-IGF-IR antibodies, pharmaceutical compositions comprising these antibodies and methods of using the antibodies and compositions thereof for diagnosis and treatment. The invention also provides gene therapy methods using nucleic acid molecules encoding the heavy and/or light immunoglobulin molecules that comprise the human anti-IGF-IR antibodies. The invention also relates to gene therapy methods and transgenic animals comprising nucleic acid molecules of the present invention.
Patent CZ-20032546-A3 (CZ)
Title: Refractory article having a resin-bonded liner
Inventor: DESAI PRIYADARSHI
IPC: B22D41/18
Filed: 2002-03-22
Abstract: In the continuous casting of molten metal, the invention describes a refractory article for reducing deposition of inclusions on a surface contacting the stream of molten metal. The article comprises a first composition and a second composition on at least a portion of the contacting surface. The second composition includes a resin-bonded refractory composition comprising a refractory aggregate and a reactive metal. The resin-bonded refractory composition reduces deposition of inclusions relative to standard carbon-bonded or castable refractories. The second composition is particularly effective as a nose of a stopper rod or a liner for a nozzle, shroud or slide gate plate.
Patent DD-160877-A3 (DD)
Title: Aufgabeeinrichtung
Inventor: GLEBOV VLADIMIR P
IPC: F23K3/00
Filed: 1981-04-20
Abstract: Die Aufgabeeinrichtung fuer die Aufgabe von rohem Schuettgut betrifft Transportmechanismen fuer die Aufgabe und Dosierung von Materialien (Brennstoffen), die zum Anhaften neigen, sowie das Gebiet der Energetik fuer die Aufgabe undDosierung von z.B. feuchter Foerderkohle, Lignit und anderen Brennstoffsorten mit hohem Tongehalt. In der erfindungsgemaessen Aufgabevorrichtung sind auf den Kratzerbaendern des Speichers und Foerderers Reinigungsbuersten angebracht, die als starr in der ganzen Buerstenbreite befestigte Messer ausgefuehrt sind, deren scharfe Schneide unterhalb der Buerstenunterlage angeordnet ist, ueber den Foerdertrumen des Buerstenbandes des Foerderers sind Hubendschalter des Bands aufgestellt. Die Aufgabevorrichtung kann als Speiser in der Metallurgie, Kohle- und chemischen Industrie sowie in der Landwirtschaft Anwendung finden.
Patent DD-211694-A3 (DD)
Title: Pneumatische schlagmaschine
Inventor: NIKOLAEV IGOR V
IPC: E21B1/30
Filed: 1981-07-07
Abstract: Die Erfindung betrifft den Maschinenbau, insbesondere Schlagvorrichtungen. Zur Vereinfachung der Konstruktion und Senkung des Vibrationspegels sind in der Schlagmaschine am freien Ende des Hebelgehaeuses durchgehende Radialbohrungen gebohrt und ist der Manipulator mit einer inneren Ringnut ausgefuehrt, die sich gegenueber den Bohrungen befindet. Eine Fuehrung hat die Form der in die Bohrungen eingesetzte Kugeln, die in Wechselwirkung mit der Ringnut des Manipulators stehen.
Patent DD-218813-A3 (DD)
Title: Schaltungsanordnung zur automatischen umschaltung bei der inbetriebsetzung von stromversorgungsmodulen
Inventor: GROCHOLESKE KLAUS-DIETER
IPC: H02J9/06
Filed: 1984-01-16
Abstract: ZIEL UND AUFGABE BESTEHEN DARIN, EINE SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR AUTOMATISCHEN UMSCHALTUNG ZU SCHAFFEN, DIE ES ERMOEGLICHT, DASS DIE ZEIT ZWISCHEN DER ZUSCHALTUNG UND DER UMSCHALTUNG VARIIERBAR IST UND EIN MAXIMALER STOSSSTROM BEI DER UMSCHALTUNG NICHT UEBERSCHRITTEN WIRD. DIE AUFGABE WIRD DADURCH GELOEST, DASS EINEM ERSTEN KONDENSATOR, DER PARALLEL ZU EINER ERSTEN GLEICHRICHTERSCHALTUNG ANGEORDNET IST, EIN ERSTER SPANNUNGSLEITER PARALLEL GESCHALTET IST, DESSEN MITTELABGRIFF MIT EINEM ERSTEN EINGANG EINER VERGLEICHSSCHALTUNG VERBUNDEN IST. EINE AM NETZ ANGESCHLOSSENE ZWEITE GLEICHRICHTERSCHALTUNG IST MIT EINEM ZWEITEN KONDENSATOR VERBUNDEN, DEM EIN ZWEITER SPANNUNGSTEILER PARALLEL GESCHALTET IST, UND DESSEN MITTELGRIFF MIT DEM ZWEITEN EINGANG DER VERGLEICHSSCHALTUNG VERBUNDEN IST. EINE HILFSSPANNUNG, DIE MIT EINEM POL AN MASSE LIEGT, WIRD UEBER EINE VIERTE GLEICHRICHTERSCHALTUNG AM MITTELABGRIFF DES ZWEITEN SPANNUNGSTEILERS EINGESPEIST.
Patent DD-254119-A3 (DD)
Title: Einrichtung fuer das trocknen von kondensatoren
Inventor: PRUDNIKOV NIKOLAJ A
IPC: F26B5/04
Filed: 1984-04-26
Abstract: Die Einrichtung fuer das Trocknen von Kondensatoren enthaelt die Vakuumkammer 1, in der der hermetisch abgeschlossene Kasten 3 mit den Zellen 4 fuer die Unterbringung der Kondensatoren 5 angeordnet ist, in dessen Raum sich der Waermetraeger befindet. Die Einrichtung ist mit der Sammelrinne 7, die sich an der Seitenwand des Kastens 3 befindet, mit dem hermetisierten Raum 8 und dem Rohr 10 mit einem U-foermigen Ende ausgestattet, das sich im Raum 8 befindet, und dessen anderes Ende in der Sammelrinne 7 angebracht ist. Der Raum 8 steht mit dem Hohlraum des Kastens 3 ueber die Oeffnung 9 in Verbindung, die sich im bodennahen Bereich seiner Seitenwand befindet.
Patent DD-250432-A3 (DD)
Title: Vorrichtung zum handhaben von teilen
Inventor: DIEM RAINER
IPC: B65G47/90
Filed: 1984-10-24
Abstract: Die Vorrichtung zum definierten Handhaben von Teilen weist ein zwischen Anschlaegen kreuzschlittengefuehrtes Handhabungsorgan und ein Antriebsorgan auf und kommt bei Manipulatoren oder Kleinrobotern zum Anheben, Transportieren und Absetzen von Bauteilen zur Anwendung. Durch Verbesserung des Antriebs- und Fuehrungsmechanismus wird eine wenig aufwendige, genau arbeitende, kompendioese Vorrichtung geschaffen. Dazu ist das Antriebsorgan ein schwenkbar gelagerter Hebel, dessen Schwenkebene im wesentlichen parallel zur Bewegungsebene des Kreuzschlittensystems ist. Der Hebel greift an einen Mitnehmer an, der auf dem Schlitten befestigt ist, der auch das Handhabungsorgan traegt. Die Schlitten sind auf Kugeln gelagert. Der Mitnehmer gleitet mit einem Ende in einer Nut auf dem tragenden Schlitten. Fig. 1
Patent DD-248248-A3 (DD)
Title: Vorrichtung zur entnahme von fertigerzeugnissen aus drehtischmaschinen
Inventor: HALBOTH GUENTHER
IPC: B65G47/52
Filed: 1984-11-28
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Entnahme von Fertigerzeugnissen aus Drehtischmaschinen zur Behaelterglasfertigung. Sie besteht aus einer Mittelsaeule, um die an eine drehbare Huelse Ausleger angelenkt sind. Diese tragen einseitig steuerbare, bewegbare Greiferschalen, anderseitig winklige, starre Rollenhebel, deren Rollen in eine asymmetrische, starre Fuehrungskurve gebunden sind, die so gestaltet ist, dass die Lage der Ausleger wechselweise radial und in Drehrichtung versetzt zur Lage der zentralen vertikalen Achse ist.
Patent DD-267162-A3 (DD)
Title: Verfahren zur verkleidung der rohrinnenflaechen mit polymerwerkstoffilm
Inventor: SISKIN VIKTOR V
IPC: B29C63/34
Filed: 1985-05-13
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Nutzung von Hauptrohrleitungen, insbesondere auf den Korrosionsschutz von Wasserleitungen mittels Verkleidung ihrer Innenflaechen mit Polymerwerkstoffilm. Ziel der Erfindung ist die Erhoehung der Zuverlaessigkeit des Korrosionsschutzes von Rohren im Falle einer Beschaedigung des Filmmaterials. Zu diesem Zweck wird der Filmschlauch 4, der in das Innere der Rohrleitung 2 fuehrt, vorher mit langen elektrisch leitenden Katodenschutzelementen 19 verstaerkt. Figur
Patent DD-256439-A3 (DD)
Inventor: STAUPENDAHL GISBERT
IPC: H01S3/139
Filed: 1986-01-09
Abstract: An arrangement for the generation of CO2 laser pulses of high power. In a first step, the laser medium is brought by an electrical pumping pulse into a state of extremely high population inversion and, in a second step, this inversion is decayed suddenly by a Q-switching effect in such a manner, that radiation pulses of extreme power magnification arise. The power is supplied to the laser-gas discharge by a power-supply unit which permits the pulsed supply of pumping energy. The associated laser resonator is formed from a first resonator mirror with a fixed reflectivity R1, frequency-selective element, a special, highly angle-selective gas discharge tube, and a special component material transparent to the laser radiation that functions as a second resonator mirror with a variable reflectivity R2. The second unit is comprised of a modulator with a high cutoff frequency in the form of a Fabry-Perot interferometer arrangement with a rapidly changeable optical wavelength.
Patent DD-264830-A3 (DD)
Title: Lamellenrohrwaermeuebertrager
Inventor: WUNDERLICH DETLEF
IPC: F28F1/36
Filed: 1987-04-02
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf Waermeuebertrager und ist anwendbar bei Lamellenrohrwaermeuebertragern fuer Anlagen der Klima-, Luft- und Heizungstechnik. Bei den erfindungsgemaessen Lamellenrohrwaermeuebertragern ist die formschluessige Verbindung zwischen den Rohren und den zugehoerigen oberflaechenvergroessernden Elementen durch schraubenlinienfoermig verlaufende, sickenartig verformte makroskopische Bereiche der Rohrwandung sowie der koaxial dazu liegenden Bereiche der Lamellen gebildet, wobei zwischen den sickenartig verformten Bereichen nicht oder nur wenig verformte schraubenartige Bereiche vorhanden sind und die auf jedes einzelne oberflaechenvergroessernde Element in Rohrlaengsrichtung gesehen entfallenden Anteile der sickenartigen Verformungen etwa einem vollen Rohrumfang entsprechen. Fig. 1
Patent EP-1026640-A3 (EP)
Inventor: WATANABE TAKAFUMI
IPC: G06K17/00
Filed: 2000-02-08
Abstract: A portable electronic device with which an owner of the device
makes use of a specific application program and a method for issuing the
device. An unissued IC card can be written with the specific data without
satisfying the security function of the IC card. After the issuance of the
IC card, the security function becomes valid and each IC card requires
satisfaction of the security function in case of data writing or data
rewriting.
Patent EP-1041098-A3 (EP)
Title: Verfahren zur Herstellung von Polyurethanen
Inventor: VOLKERT OTTO DR
IPC: C08G18/12
Filed: 2000-02-28
Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von
kompakten oder zelligen Polyurethanen durch Umsetzung von
   a) mindestens einer Verbindung mit mindestens zwei aktiven
Wasserstoffatomen mit   b) mindestens einem Polyisocyanat, 
in Anwesenheit von   c) Katalysatoren und gegebenenfalls   d) Treibmitteln sowie   e) Hilfs- und/oder Zusatzstoffen,  
dadurch gekennzeichnet, daß als Komponente a) mindestens ein
Polyoxypropylen-Polyol eingesetzt wird, dessen sekundäre
Hydroxylgruppen über ein Bindeglied der allgemeinen Formel
X 1 -R-X 2 , wobei X 1  und X 2  gleich oder verschieden und mit Hydroxylgruppen
reaktive funktionelle Gruppen sind und R ein beliebiger
aliphatischer, cycloaliphatischer oder aromatischer Rest ist, mit
Diolen, die nur primäre Hydroxylgruppen aufweisen, verbunden
sind.
Patent EP-1044762-A3 (EP)
Inventor: DR-ING JAEGER WALTER B
IPC: B23Q11/00
Filed: 2000-03-20
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Abführung von
Zerspanungsprodukten eines zerspanenden Bearbeitungsverfahren
sowie ein Bearbeitungsverfahrens. 
     Um mit relativ geringem Aufwand und geringen Kosten eine gute
Abführung von Zerspanungsprodukten zu erreichen, wird
vorgeschlagen, daß feste CO 2 -Teilchen (2) einem Gasstrom (5)
zugeführt werden, der Gasstrom mit aufgenommenen festen CO 2 -Teilchen
einem Bearbeitungsraum zugeführt wird, in dem das
Bearbeitungsverfahren durchgeführt wird, und auf einen Bereich
in dem Bearbeitungsraum gerichtet wird, in dem ein Werkstück (7)
von einem Werkzeug (6) zerspanend bearbeitet wird.
Patent EP-1044684-A3 (EP)
Inventor: YAMAMOTO KEIJI
IPC: A61K9/70
Filed: 2000-04-12
Abstract: A percutaneously absorptive preparation is provided, which
includes a drug reservoir layer, a drug reservoir layer-forming film,
a cloth layer, an adhesive layer and optionally an impermeable support,
wherein the drug reservoir layer is enclosed in the drug reservoir
layer-forming film or enclosed by the drug reservoir layer-forming
film and the support formed on the drug reservoir layer-forming film,
the drug reservoir layer contains a drug except 2-tert-butylamino-1-(2-chloro-4-hydroxyphenyl)ethan-1-ol
and a
pharmacologically acceptable salt thereof, and the cloth layer and
the adhesive layer are successively laminated on either side of the
drug reservoir layer-forming film or on the side opposite from the
support layer. The preparation of the present invention inhibits
separation of the drug reservoir layer-forming film from the adhesive
layer, glue remainder on the skin after peeling off, and deformation
of the drug reservoir layer-forming film due to the solvent in the
drug reservoir layer. In addition, the preparation of the present
invention is superior in the percutaneous absorption of a drug.
Patent EP-1087080-A3 (EP)
Inventor: JYAWOOK JAIME N
IPC: E05B65/20
Filed: 2000-05-17
Abstract: A vehicle door system having a vehicle door, a stationary handle fixed to the
vehicle door, a door switch, a power latching mechanism and a wiring harness with
a sealing grommet is provided. The door switch is mounted to the stationary handle
in a manner which permits the door switch to be actuated when the stationary
handle is gripped to open the vehicle door. The wire harness extends from the door
switch through an aperture in the vehicle door and couples the door switch to a
control module. The sealing grommet substantially seals the aperture to inhibit the
infiltration of water and dust into the vehicle door. Actuation of the door switch
causes the generation of a door switch signal which is received by the control
module. Upon receipt of the switch signal, the control module determines the
latched condition of the power latching mechanism and controls its operation
according to a predetermined control methodology.
Patent EP-1066998-A3 (EP)
Inventor: DAHL JEFFREY A
IPC: B62D33/06
Filed: 2000-07-10
Abstract: A skid steer loader cab has an outer screen formed with
openings along the sides, and window panels (32, 34) on the
inside of the screen for enclosing the sides of the cab. One
(34) of the window panels is fixed in position and the other
(32) is sliding. The sliding window panel (32) permits an
operator to open a section of the window for ventilation or
fresh air inlet purposes. A frame track section (54) on the
lower part of the window panels is movable to a release
position so both the panels can be quickly removed for
cleaning.
Patent EP-1079431-A3 (EP)
Title: Verfahren zur Verkappung eines Bauelements mit einer Kavernenstruktur und Verfahren zur Herstellung der Kavernenstruktur
Inventor: ARTMANN HANS
IPC: H01L23/10
Filed: 2000-07-26
Abstract: Es wird ein Verfahren zur Verkappung mindestens eines von
einem Tragkörper (18) getragenen oder bereichsweise
umgebenen Bauelementes (17), insbesondere eines
mikromechanischen Bauelementes oder Sensorelementes
vorgeschlagen. Dabei wird das Bauelement (17) auf der
Oberfläche des Tragkörpers (18) bereichsweise derart mit
einer Kaverne (13) eines mit einer Kavernenstruktur (20)
versehenen Schichtsystems (5) überstülpt, daß die Kaverne
(13) und der Tragkörper (18) das Bauelement (17) zumindest
weitgehend umhüllen. Weiterhin wird ein Verfahren zur
Herstellung einer Kavernenstruktur (20) mit einer Vielzahl
von regelmäßig angeordneten Kavernen (13) vorgeschlagen,
wobei ein Grundkörper (10), insbesondere einem
Siliziumkörper, mit einer Deckschicht (12) mit der
Kavernenstruktur (20) strukturiert wird. Außerdem wird eine
Trennschicht (11) erzeugt wird, mittels der die Deckschicht
(12) von dem Grundkörper (10) trennbar ist.