baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent FR-3092344-B3 (FR)
Title: Procédés de fabrication d'un produit hydrophobe en pâte ou papier sulfurisé biodégradable et compostable.
Inventor: SCHLEE SERGE
IPC: D21J3/00
Filed: 2019-10-16
Granted: 2021-03-05
Abstract: L'invention s'adresse à l'ensemble des acteurs dont l'intérêt est de fabriquer un produit écocologique biodégradable et compostable qui n'utilise que des procédés, des traitements, des produits naturels et des matériaux biosourcés vierges afin d'obtenir un produit moulé ou un produit façonné à partir d'un complexage dont au moins une surface est rendue hydrophobe par la technique de la sulfurisation. Procédés de fabrication permettant la réalisation d'un produit moulé et/ou issu d'un complexage façonné à base de pâte végétale et animale et/ou minérale rendu hydrophobe par la sulfurisation ou le paraffinage végétal (1) en ce que le procédé n° 1 se décompose comme suit : Pâte de bois et/ou végétale et /ou minérale absent de produits chimiques (10) est déposée ou injecté dans un moule (11) pour subir une première pressurisation de formage à la forme souhaitée, mais sans que la totalité de sa teneur en eau soit ôtée, puis le produit moulé avec ou sans le moule selon les cas de figure est trempé dans un bain d'acide sulfurique ou accepte une pulvérisation sur au moins une face (12) afin provoquer la rupture des fibres longues et les fibres courtes qui en résultent sont partiellement solubilisées et forment un gel de cellulose, qui reste alors plaqué sur le produit moulé et bouche les pores, assurant ainsi son imperméabilité et ensuite le produit moulé est soit directement passé à l'eau et séché ou accepte un deuxième moulage (12). Figure pour l’abrégé : Fig. 1
Patent DE-10251309-B3 (DE)
Title: Kohärente und nichtkohärente Datenpfadaufspaltung in Empfängern für eine verbesserte Synchronisierung
Inventor: SCHMIDT MICHAEL
IPC: H04L27/233
Filed: 2002-11-04
Granted: 2004-04-29
Abstract: Eine verbesserte Datenkommunikationsempfängertechnik wird bereitgestellt, die Demodulationsfehler aufgrund abrupter Phasenänderungen vermeidet. Ein Empfänger wird bereitgestellt zum Verarbeiten eines eingehenden digitalisierten Signals. Der Empfänger umfasst einen vorverarbeitenden Anteil, eine Phasenfehlerkorrektureinheit und eine Signalauswertungseinheit. Der vorverarbeitete Anteil ist angepasst zum Verarbeiten des digitalisierten Signals zum Bereitstellen eines nichtkohärenten vorverarbeiteten Signals. Die Phasenfehlerkorrektureinheit ist angepasst, einen Phasenfehler des nichtkohärenten vorverarbeiteten Signals zu korrigieren und ein kohärentes Signal auszugeben. Die Signalauswertungseinheit ist angepasst, Information zu extrahieren von den nichtkohärenten vorverarbeiteten Signalen und ein Datensignal auszugeben, welches die extrahierte Information repräsentiert. Die Phasenfehlerkorrektureinheit und die Signalauswertungseinheit sind konfiguriert, um für eine vorbestimmte Zeit simultan zu arbeiten.
Patent DE-10361381-B3 (DE)
Inventor: FAURET JEAN REMY
IPC: F24F11/00
Filed: 2003-12-29
Granted: 2005-09-15
Abstract: The method involves using a heating system with at least one controller by measuring control parameters, including a rate of change of the temperature in a first cell, computing control parameters to control the at least one controller based on the measured control parameters, whereby the control parameters are computed using non-linear fuzzy logic in a control loop using the measured control parameters, passing the computed control parameters to the at least one controller and regulating the temperature of the air introduced into the cells using the computed control parameters. An independent claim is also included for a device for regulating the temperature in a room in an aircraft.
Patent ES-2011057-B3 (ES)
Inventor: CELETTE GERMAIN
IPC: B21D1/14
Filed: 1987-06-15
Granted: 1989-12-16
Abstract: An installation for the repair and the checking of vehicle bodies includes a bench having a rectangular frame made of tubular elements, and a pulling tower the forward end of which is equipped with a coupling device for detachably securing the pulling tower to the bench, the rectangular frame having a flange extending inwardly of the frame along the inner bottom edge thereof, the pulling tower having a base portion adapted to be received beneath the frame and having a stirrup constructed and arranged to engage on the flange and a shoe member carried by an axially movable rod for movement into engagement with the external surface of the tubular element and cooperating with the stirrup and flange to lock the pulling tower to the bench.
Patent DE-102005011286-B3 (DE)
Title: Ducts for gas or water pipes or cables passing through walls comprise circular frame divided into three by radial bars, into which compressible seals fit which consist of flexible pads between two plates fastened together by bolts
Inventor: HECK MARTIN
IPC: F16L5/08
Filed: 2005-03-11
Granted: 2006-05-04
Abstract: Ducts for gas or water pipes or cables passing through walls comprise a circular frame divided into three by radial bars. Compressible seals fit between these which consist of flexible pads (3.5 - 3.7) mounted between two plates (3.3, 3.4). These are fastened together by bolts (3.1) which compress the pads as they are tightened.
Patent DE-102005025933-B3 (DE)
Title: Doping mixture for preparing and doping semiconductor surfaces, comprises a p- or n-dopant, for doping the semiconductor surfaces, water and mixture of two or more surfactants, where one of the surfactant is a non-ionic surfactant
Inventor: BIRO DANIEL
IPC: C30B33/00
Filed: 2005-06-06
Granted: 2006-07-13
Abstract: Doping mixture (A), for semiconductor doping, comprises at least one p- or n-dopant, for doping a semiconductor surface, water and mixture of two or more surfactants, where at least one of the surfactant is a non-ionic surfactant. Independent claims are also included for: (1) a semiconductor surface provided with (A); and (2) a method for doping a semiconductor comprising providing (A) and subsequently handling the semiconductor at increased temperature.
Patent DE-102005037628-B3 (DE)
Title: Verfahren zum Erfassen eines Objektes mittels Radar
Inventor: CHRISTMANN MARK
IPC: G01S7/35
Filed: 2005-08-09
Granted: 2007-04-19
Abstract: Die vorliegende Erfindung liefert ein Verfahren zum Erfassen eines Objekts mittels Radar, bei dem das erfasste lineare Radarsignal zunächst digitalisiert und dann unter Anwendung eines CFAR-Algorithmus verarbeitet wird. Die Differenz aus Signalwert und CFAR-Wert wird mit einer Bewertungsfunktion multipliziert, um ein nachfolgendes Mittel von mehreren bewerteten Signalwerten durchzuführen.
Patent DE-102005043768-B3 (DE)
Title: Safety device e.g. restraint device, for motor vehicle`s passenger, has lower fastening devices with clamping device that holds restraint unit in usage position, where locking device is integrated in lower fastening devices
Inventor: FENGEL PAUL-DIETER
IPC: B60R21/06
Filed: 2005-09-13
Granted: 2007-03-01
Abstract: The device has a connecting device for a restraint unit (6), and including two upper and lower fastening devices, where the upper fastening devices are attached to a vehicle roof. The lower fastening devices provide swiveling of the unit and are attached to a vehicle seat. The lower fastening devices have a locking device (53) that locks the unit in a resting position (RS). The lower fastening devices have a clamping device (54) that tightly holds the unit in a usage position based on the upper fastening devices. The locking device is integrated in the lower fastening devices.
Patent DE-102006009034-B3 (DE)
Title: Bus system method for operating a bus system has transmission channels for linking masters and slaves to each other and linking each master to an arbiter
Inventor: HERZ KARL
IPC: G06F13/366
Filed: 2006-02-27
Granted: 2007-08-02
Abstract: A transmission channel links two masters (3,4) and a slave (5,6) to each other. Each master links to an arbiter (7), which determines an access sequence, in which the masters have access to the transmission channel. Before a planned access to the transmission channel, a master communicates meta data to the arbiter to be stored by the arbiter. An independent claim is also included for a semiconductor component for carrying out the method of the present invention.
Patent DE-102007031032-B3 (DE)
Title: Partition wall for setting up accessible channels or channel sections running horizontally, has framework made of interconnected carrier elements, where frame work is provided with gaskets and encompasses clamping surface
Inventor: GAIDA MICHAEL
IPC: E04B2/74
Filed: 2007-07-04
Granted: 2008-12-04
Abstract: The partition wall (1) has a framework (4) made of interconnected carrier elements. The frame work is provided with gaskets (19,29,30) and encompasses clamping surface (17).The partition wall is assembled in modules and consists of polyester tissue with both side coating of polyvinyl chloride or polyurethane. Two support legs (14) projecting outward on both sides of the framework are fixed on the carrier elements of framework on a support pad for supporting framework on two sides.
Patent DE-102008024186-B3 (DE)
Title: Electrochromic formulation, useful in organic based electrochromic device, which is status displays, comprises an organic sulfur compound that is dimerized in redox equilibrium
Inventor: KANITZ ANDREAS
IPC: G02F1/1516
Filed: 2008-05-19
Granted: 2009-09-10
Abstract: Electrochromic formulation (I) comprises an organic sulfur compound that is dimerized in a redox equilibrium. Independent claims are included for: (1) preparation of (I), comprising mixing the sulfur compound with at least a metal salt or a metal oxide, adding a solvent to the mixture, and obtaining (I) in the form of a paste, which is applicable on electrode layers; and (2) an organic based electrochromic-electronic device comprising at least one electrochromic-active organic layer between two electrodes, where the organic layer contains at least partially the formulation (I).
Patent DE-102008025199-B3 (DE)
Title: Radiation detector for use in computed tomography device, for detecting e.g. X-ray radiation, has intermediate layer made from indium arsenide, indium phosphate, gallium antimonite, zinc oxide, gallium nitride, or silicon carbide
Inventor: EVERSMANN BJOERN-OLIVER
IPC: H01L31/18
Filed: 2008-05-27
Granted: 2009-09-17
Abstract: The detector (7) has an electronic component e.g. application specific integrated circuit, including an intermediate layer at a side facing a transducer layer. The intermediate layer is isolated from the component by a low pressure or vacuum based deposition process e.g. chemical vapor deposition. The intermediate layer is made of semiconductor material selected from one of indium arsenide, indium phosphate, gallium antimonite, zinc oxide, gallium nitride, silicon, silicon carbide, gallium arsenide, semiconductor structure-like material, amorphous carbon i.e. diamond like carbon, and ceramic. An independent claim is also included for a method for manufacturing a radiation detector.
Patent DE-102010053426-B3 (DE)
Title: Drive chain for suspension conveyor for transporting hanging articles, particularly garments between remote locations, comprises multiple tension rod elements, which are connected by coupling elements
Inventor: WINKLER MAX DR
IPC: B65G17/20
Filed: 2010-11-30
Granted: 2012-06-06
Abstract: The drive chain (50) comprises multiple tension rod elements, which are connected by coupling elements. The tension rod element comprises a base body extending along a conveying direction (96), and two longitudinal ends, which lie opposite to each other. The base body comprises a form-fitting portion, which is adapted to interact with multiple mutually spaced synchronization units (82-1,82-2,82-3,82-4). An independent claim is also included for a suspension conveyor with a drive unit, a synchronization unit and a drive chain.
Patent DE-102012215482-B3 (DE)
Title: Device for actuating electrical switch has housing having external auxiliary switches which are actuated when output shaft and drive shaft are simultaneously actuated with actuation of internal auxiliary switches
Inventor: EISNER MATTHIAS
IPC: H01H3/32
Filed: 2012-08-31
Granted: 2013-12-24
Abstract: The device has drive shaft (7) which is rotated so that output shaft (8) opens and closes main contacts of electrical switch to switch between OFF position and ON position. A housing has internal auxiliary switches (11) and external auxiliary switches (31,32). The output shaft and drive shaft are simultaneously actuated with actuation of internal auxiliary switches to actuate external auxiliary switches.
Patent DE-102012219353-B3 (DE)
Title: Berechnungs- und Prognoseverfahren von Klopf- und Super-Klopfvorgängen sowie Steuerungseinrichtung für die Steuerung von Brennverfahren in Brennkraftmaschinen, insbesondere in Ottomotoren
Inventor: PETERS NORBERT
IPC: F02D41/00
Filed: 2012-10-23
Granted: 2014-02-13
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer lokalen Wahrscheinlichkeit (P'Klopf) für das Auftreten von Super-Klopfvorgängen in einem in eine Brennkammer einer Brennkraftmaschine, insbesondere eines aufgeladenen Ottomotors, eingebrachten Kraftstoff-Luftgemisch, umfassend die folgenden Schritte: a) Bestimmen der lokalen Wahrscheinlichkeitsdichte (P) eines räumlichen Temperaturgradienten (∂T/∂x) eines betrachteten Kraftstoff-Luftgemisches sowie einer diesem räumlichen Temperaturgradienten (∂T/∂x) zugeordneten Länge (l), über welche hinweg der Temperaturgradient (∂T/∂x) jeweils im Wesentlichen konstant ist, wobei die Wahrscheinlichkeitsdichte (P) von wenigstens einem lokalen Turbulenzparameter (k, <∊>, <T'2>, <Z' 2>) und wenigstens einem lokalen thermodynamischen Parameter (p, T, λ) abhängt, b) Bestimmen der lokalen Wahrscheinlichkeit (P'Klopf) durch Aufintegration der lokalen Wahrscheinlichkeitsdichte (P) zu einer lokalen Klopf-Wahrscheinlichkeit.
Patent DE-102013017348-B3 (DE)
Title: Multifunktionaler, mobil einsatzfähiger Applikator
Inventor: ANGER EWALD
IPC: A61M15/08
Filed: 2013-10-18
Granted: 2014-11-13
Abstract: Vorgeschlagen wird ein multifunktionaler, mobil einsatzfähiger Applikator zur Verbindung mit einem High Flow Therapiegerät 1 für eine nasale Insufflation. Der Applikator besitzt einen Applikatorstecker 7 mit einem zusätzlichen Sauerstoffanschluss 13 für eine kleine tragbare Sauerstoff- oder Therapieluftquelle. Bei Abnahme des Applikatorsteckers 7 vom High Flow Therapiegerät 1 erfolgt eine automatische Umschaltung von der nicht mehr zur Verfügung stehenden konditionierten Therapieluft aus dem Therapiegerät 1 auf die angeschlossene Sauerstoff- oder Therapieluftversorgung, so dass der Patient auch mobil nasal insuffliert werden kann. Beim Verbinden des Applikatorsteckers 7 mit dem Therapiegerät 1 wird der zusätzliche Sauerstoffanschluss 13 automatisch geschlossen. Diese automatische Umschaltung wird durch einen in einer Druckkammer 21 befindlichen Ventilkörper 24 im Applikatorstecker 7 erzielt. Weiterhin verfügt der Applikatorstecker 7 optional über einen Mikroprozessor, der Patientendaten gespeichert hat und diese zusammen mit gemessenen Daten wie Volumenfluss, Feuchte und Temperatur an die Steuerung des High Flow Therapiegeräts 1 weitergibt, um einen konstanten Volumenfluss und eine gewünschte Feuchte sowie Temperatur der Therapieluft zu erzielen und an den Nasenlöchern des Patienten zuzuführen.
Patent DE-102013018207-B3 (DE)
Title: Vorrichtung zum Verbinden von zwei aneinander anschließenden Rohren
Inventor: FELBER WINFRIED
IPC: F16L21/06
Filed: 2013-10-30
Granted: 2014-12-11
Abstract: Bei einer Vorrichtung zum Verbinden von zwei aneinander anschließenden Rohren (1, 2) mit vorzugsweise unterschiedlicher Außenkonfiguration und/oder unterschiedlichen Durchmessern mit einer einen inneren Kern und ein auf diesem aufgenommenes Dichtelement (6) aufweisenden Verbindungsmuffe (3), die mit einem Abschnitt ihrer Länge in eines der Rohre (1) einsteckbar ist und deren anderer Abschnitt mittels einer außen angreifenden Rohrkupplung (4) mit dem anderen Rohr (2) verbindbar ist, lassen sich dadurch ein strammer Sitz und eine wackellose Anordnung erreichen, dass der Muffenkern als in radialer Richtung flexibles Ringelement ausgebildet ist, das mit inneren in Umfangsrichtung voneinander beabstandeten Stützelementen (12) für ein hiermit zum Eingriff bringbares Spreizorgan (11) versehen und mittels des Spreizorgans (11) in radialer Richtung aufweitbar ist.
Patent DE-102013114281-B3 (DE)
Title: Abzugssystem einer Schusswaffe
Inventor: WILCZEK FREDERIK
IPC: F41A19/06
Filed: 2013-12-18
Granted: 2015-03-19
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Abzugssystem (1) einer Schusswaffe, mit einem Abzugshebel (2) und einem und einem mit diesem verbundenen Abzugszüngel (3), wobei der Abzugshebel (2) in einem Abzugsgehäuse (4) verschwenkbar gelagert ist, wobei der Abzugshebel (2) um eine Abzugshebeldrehachse (5) verschwenkbar gelagert ist, wobei eine um eine Klinkendrehachse (6) verschwenkbare Abzugsklinke (7) vorgesehen ist welche durch Kontakt mit dem Abzugshebel (2) und Verschwenken desselben um die Klinkendrehachse (6) verschwenkt um den Schuss der Schusswaffe mechanisch auszulösen, wobei dem Lager der Klinkendrehachse (6) und/oder dem Lager der Abzugshebeldrehachse (5) und/oder einem weiteren Lager eine Drehachse ein im oder am Abzugsgehäuse (4) angeordneter Magnet (9) zugeordnet ist, welcher Kräfte auf die Lagerachse (10) des Lagers ausübt, so dass dieses spielfrei gegen die Lagerführung (11) der Lagerachse (10) gezogen wird.
Patent DE-102013209294-B3 (DE)
Title: Führungswagen einer Linearführung
Inventor: RUDY DIETMAR
IPC: F16C29/04
Filed: 2013-05-21
Granted: 2014-07-24
Abstract: Führungswagen einer Linearführung, der einen Rücken (1) und von dem Rücken (1) abgewinkelte, entlang einer Längsachse des Führungswagens angeordnete Schenkel (2) zum Übergreifen einer Führungsschiene (7) aufweist, wobei die beiden Schenkel (2) jeweils mit einer Längsdichtung (5) versehen sind, deren stabförmige Körper (12) an einander zugewandten Seiten jeweils eine Dichtlippe (8) aufweisen, wobei der stabförmige Körper (12) an einer entlang der Längsachse vorgesehenen Anlage (9a) des Schenkels (2) abgestützt ist, wobei der stabförmige Körper (12) mit seinen beiden axialen Stabenden (13, 15, 18) an dem Führungswagen gehaltert und mit seiner ihm innewohnenden Federkraft gegen die Anlage (9a) angefedert ist.
Patent DE-102014016608-B3 (DE)
Title: Atemrohr zum Einsatz in Ultraschall-Durchflussmesssystemen
Inventor: BUESS CHRISTIAN
IPC: G01F1/66
Filed: 2014-11-10
Granted: 2016-04-07
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Atemrohr zum Einsatz in Ultraschall-Durchflussmesssystemen zur Bestimmung des Volumenstromes und/oder der Molmasse der Atmung von Menschen und Tieren. Erfindungsgemäß weist das Atemrohr zumindest bereichsweise einen mehreckigen Querschnitt auf. Des Weiteren ist am Atemrohr mindestens ein Indikator ausgebildet, der über ein externes optisches Mittel auslesbar ist.
Patent DE-102015106870-B3 (DE)
Title: System zur Inkubation von mikrofluidischen Tropfen und Verfahren zur Bereitstellung von homogenen Inkubationsbedingungen in einer Tropfeninkubationseinheit
Inventor: TOVAR MIGUEL
IPC: C12M3/00
Filed: 2015-05-04
Granted: 2016-02-25
Abstract: Die Erfindung betrifft ein System zur Inkubation von mikrofluidischen Tropfen umfassend eine Tropfeninkubationseinheit, eine Gasaustauscheinheit und eine Fördereinheit sowie ein Verfahren zur Bereitstellung von homogenen Inkubationsbedingungen in einer Tropfeninkubationseinheit durch gezielten Eintrag von Gasen und/oder Gasgemischen in ein Trägerfluid.
Patent DE-102015209012-B3 (DE)
Title: Verfahren zur stoßfreien Lastaufschaltung bei aktivierter Zylinderabschaltung einer Brennkraftmaschine
Inventor: KONRAD THORSTEN
IPC: F02D23/00
Filed: 2015-05-18
Granted: 2016-04-07
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Betrieb einer Brennkraftmaschine, insbesondere eines Gasmotors, mit zwei Zylinderbänken 1, 2 mit jeweils mehreren Zylindern A1 bis A6, B1 bis B6, wobei jeder Zylinderbank 1, 2 unabhängig Ladedruck zugeführt wird, sowie mit einer Vorrichtung zur aktiven Zylinderabschaltung zumindest eines Zylinders jeder Zylinderbank 1, 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Wechsel von einem Betriebszustand mit zumindest einem abgeschalteten Zylinder zu einem Betriebszustand mit zumindest einem weiteren zugeschalteten Zylinder der Ladedruck vor der Zuschaltung des weiteren Zylinders reduziert wird.
Patent DE-102016220332-B3 (DE)
Title: Röntgendetektor
Inventor: ERGLER THORSTEN
IPC: G01T1/29
Filed: 2016-10-18
Granted: 2018-03-01
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Röntgendetektor (14) mit einem Gleichspannungskreis (24), und mit einer Detektoreinheit (26), die eine Anzahl an Detektormodulen (30) aufweist. Die Detektormodule (30) sind elektrisch in Reihe geschaltet und mit dem Gleichspannungskreis (24) elektrisch kontaktiert. Die Erfindung betrifft ferner ein Tomographiegerät (2), insbesondere Röntgen-Computertomograph, mit einem Röntgendetektor (14).
Patent DE-102017122661-B3 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung eines Batteriemodules
Inventor: GÖTZ STEFAN
IPC: H01M10/667
Filed: 2017-09-29
Granted: 2019-03-07
Abstract: Die Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung (30) eines Batteriemodules (10) bereit. Ein Blech (23) wird hierzu mittels einer Biegestanze (24) zerteilt; das zerteilte Blech (23) wird durch Keilbiegen (25) zu einem Wärmeleitelement (15) umgeformt; Batteriezellen (12) werden bis zu einer Auflagefläche (14) in ein Gehäuse (11) eingeschoben; das Wärmeleitelement (15) wird zwischen die Batteriezellen (12) eingefügt; und eine Leistungselektronikplatine (13) wird gegenüber der Auflagefläche (14) flächig auf das Wärmeleitelement (15) gelegt.
Patent DE-102017128624-B3 (DE)
Title: Geräuschlose Nabenanordnung
Inventor: CHEN CHING-SHU
IPC: B60B27/02
Filed: 2017-12-01
Granted: 2019-04-25
Abstract: Die Erfindung betrifft eine geräuschlose Nabenanordnung mit einem Nabenhalter (10), der eine Montagekammer (11) aufweist, in der zusätzlich ein Koppelring (13) angebracht ist, einem Zahnkranzhalter (20), der aus einer innenverzahnten Hülse (21) und einer Koppelbuchse (22) aufgebaut ist, und einer einseitigen Lagerbaugruppe (30), die zwischen dem Nabenhalter (10) und dem Zahnkranzhalter (20) angebracht ist. Dabei können der Koppelring (13) und die Koppelbuchse (22) beide aus einem festeren Werkstoff hergestellt sein, sodass einerseits sowohl eine Gewichtsreduzierung der Konstruktionen des Nabenhalters (10) und des Zahnkranzhalters (20) realisiert werden kann, aber andererseits auch eine Erhöhung der Stärke der Teilkonstruktionen erzielt wird und die einseitige Lagerbaugruppe (30) vor Kratzern und Abriebserscheinungen geschützt wird, um eine stabilere Kraftübertragung zu gewährleisten. Andererseits ist es möglich, das Gegengewicht oder die Konstruktionsstärke des Zahnkranzhalters (20) beliebig zu kombinieren, sodass ein vielfältiger Aufbau des Zahnkranzhalters (20) realisiert wird. Zudem ist ein unabhängiges Auswechseln der abgenutzten bzw. beschädigten Teile möglich, sodass die Kosten für Verbrauchsbauteile vorteilhafterweise effektiv reduziert werden können.
Patent DE-102018115389-B3 (DE)
Title: Sonde zur Messung von Plasmaparametern
Inventor: POHLE DENNIS
IPC: G01R33/30
Filed: 2018-06-26
Granted: 2019-08-14
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Sonde (10) zur Messung von Plasmaparametern mittels aktiver Plasma-Resonanzspektroskopie, wobei die Sonde (10) eine externe Ankopplung (12a), ein Symmetrierglied (14), eine interne Ankopplung (12b) und einen Sondenkopf (16) umfasst. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Ankopplungen (12a, 12b), das Symmetrierglied (14) und der Sondenkopf (16) in einem elektrisch isolierenden Substratzylinder (18) integriert sind und der Substratzylinder (18) entlang seiner Rotationsachse einen schichtartigen Aufbau aus mehreren Substratlagen (20) aufweist. Auf diese Weise wird eine Sonde zur Messung von Plasmaparametern bereitgestellt, die eine verbesserte Messung der Plasmaparameter ermöglicht, wobei bei der Messung der Plasmaparameter das Plasma insbesondere möglichst wenig beeinflusst wird.