Patent HU-T56450-A (HU)
Inventor: DOZSA LASZLO
IPC: G01R31/26
Filed: 1990-02-08
Abstract: A találmány tárgya eljárás félvezető é3 szigetelő anyagú mintára adott gerjesztő impulzusok elnyomására, a minta elektromosan aktív hibahelyeinek és a mintakapacitás frekvenciafüggésének meghatározására mélynívó spektroszkópia segítségével, amelynek során egy szabályozható mintahömérsékletü mintatartóban elhelyezett, méröelöfe3ZÍtésre előfeszített mintát periódikusan gerjesztünk feszültségforrásból, elektromágneses sugárzásforrásból, vagy részecskeforrásból származó impulzusokkal, és a gerjesztő impulzusok lefutását követően a mintához kapcsolódó, nagy bemenő impedanciájú fe3zültségtranziensmérö méröegységgel a mélynívó hibahelyen befogott töltéshordozók emisszióját vagy a hibahely dielektromos relaxációját mérjük, miközben a méröegység bemenetére egy kompenzáló kapacitáság és egy kompenzáló áramgenerátor is csatlakozik, amely kompenzáló kapacitáság egy, a gerjesztő impulzushoz szinkronizált, kompenzáló impulzusgenerátor kimenetére csatlakozó kis veszteségű változtatató kapacitásból és egyes esetekben a kapacitással 3orbakapcsolt állítható ellenállásból áll, és amely kompenzáló áramgenerátor egy gyors kapcsolású, szabályozható áramot adó, ismert Rk kimenöellenállású, a gerjesztő impulzussal azonos időzítéssel vezérelt áramgenerátor, é3 a berendezésben a mintatartónak, a mintának, a kapacitásnak, a kompenzáló áramgenerátor kimenő fokozatának, az ellenállásnak, az impulzusgenerátorok kimenő fokozatainak és a méröegység bemenő fokozatának közös tulajdonsága, hogy egyetlen mechanikai egységet alkotnak, amely mechanikai egység elemei elektromosan egymástól jól elszigeteltek, és a méröegység érzékenysége egyaránt beállítható a tipikusan néhány Volt nagyságú gerjesztő impulzusok és a tipikusan néhány mV nagyságú hibahelytranziensek mérésére, és amely eljárás 3orán a kompenzáló áramgenerátort úgy állítjuk be, hogy a méröegység bemenetén mért stacionárius feszültség a mérési pontosságon belül 0 Volt legyen mérés é3 gerjesztés esetén egyaránt, é3 elektromos gerjesztőimpulzusok alkalmazása esetén a kompenzáló kapacitáság elemeit úgy állítjuk be, hogy a kapacitáság időállandó megegyezzen a mintaág időállandóval, é3 a kompenzáló impulzus amplitúdóját úgy állítjuk he, hogy a gerjesztés idején a méröegységgel mért feszültség a beállítható legkisebb legyen, majd ezt követően a méröegységgel megmérjük a feszültségtranzienst amelyből meghatározzuk- a gerjesztés beállításától függően- a mintakapacitás frekvenciafüggését vagy a hibahelytranziensek amplitúdóit és időállandóit. Az eljárás kivitelezésére alkalmas berendezés a szokásos mélynívó spektroszkópia berendezésektől abban különbözik, hogy a gerjesztés elnyomására kompenzáló áramgenerátort(6)és kompenzáló kapacitáságat (Sy) használ, és a hibahelytranzáenseket egy nagy bemenő impedanciájú feszültségmérö méröegységgeleméri, továbbá hogy a mintát(w/fa gerjesztő impulzugenerátor kimenő fokozatáéiba kompenzáló ágak kimenő fokozatait és a méröegység bemenő fokozatát a mintatartóval^'egy egységet képezve helyezi el, amely egységben az elemek elektromosan egymástól jól elszigeteltek a teljes vizsgált frekvenciai/rja^ományon. LA, oZ/rPv