Patent WO-2019244136-A8 (WO)
Inventor: AEBISCHER MARKUS
IPC: H01L21/67
Filed: 2019-06-23
Abstract: Eine Vorrichtung (100) und ein Verfahren zur Montage von Bauelementen auf einem Substrat (160) werden offenbart, womit Planparallelität zwischen den Bauelementen (150) und dem Substrat erreicht werden kann. Durch die Neigung der Kontaktfläche (185) unter Verwendung vorhandener Antriebe und/oder Aktoren wird eine vereinfachte Neigungskorrektur ermöglicht. Der Neigungskorrekturmechanismus besteht aus einem oder mehreren Eingriffselementen (120, 121, 122), einem oder mehreren Verstellelementen (130, 131, 133) und einem oder mehreren Neigepositionsblöcken (117, 118). In einigen Fällen können passive Elemente und Mechanismen verwendet werden. Ein Bondkopf (110) wird in eine erste Verstellposition (132) verschoben und ein erstes Eingriffselement (120, 121, 122) wird in starren Eingriff mit dem ersten Verstellelement (130, 131, 133) gebracht. Der Bondkopf (110) wird dann entlang einer ersten Bewegungsachse (170) oder entlang einer zweiten Bewegungsachse (175) relativ zu dem ersten Verstellelement (130, 131, 133) verschoben, wobei sich die Kontaktfläche (185) um die zweite Bewegungsachse (175) dreht. Das erste Eingriffselement (120, 121, 122) wird dann von dem ersten Verstellelement (130, 131, 133) gelöst und der Bondkopf (110) wird zur Substratposition (165) verschoben, wobei der Bondkopf (110) die Drehung der Kontaktfläche (185) um die zweite Bewegungsachse (175) beibehält. In einer Ausführungsform ist die Anordnung des ersten Eingriffspaares (120, 130) ein Stift (120) in einer Nut (130). In einer weiteren Ausführungsform weist der Neigungsverstellmechanismus ein Zahnstangeneingriffspaar auf. Das Eingriffselement (121) besteht aus einem Ritzel, das an seinem distalen Ende angeordnet ist, wobei intern ein konventioneller Spindelantrieb am Ritzel (121) angebracht und am Bondkopf (110) befestigt ist, so dass eine Drehung des Ritzels (121) eine Drehung des Spindelantriebs und dann eine Drehung des Bondkopfes (110) und eine Drehung (Neigung) der Kontaktfläche (185) um die zweite Bewegungsachse (175) ermöglicht. Das in der ersten Verstellposition (132) vorgesehene Verstellelement ist dann eine Zahnstange (133). Weiterhin kann das Eingriffselement (122) einen starren Eingriff ermöglichen, der eine Drehung um zwei Achsen ermöglicht. In diesem Beispiel besteht das Eingriffselement (122) aus einer Kugel (oder etwas Kugelförmigen) an seinem distalen Ende und das zugehörige Verstellelement (131) kann z.B. eine entsprechend dimensionierte Muffe, Aussparung oder Nut sein. Hier kann ein Sockel entlang der dritten Bewegungsachse (177) ausgerichtet sein. Ein starrer Eingriff kann durch Verschieben des Bondkopfes (110) in die erste Verstellposition (132) erfolgen, so dass die Kugel am distalen Ende des Eingriffselementes (122) entlang der ersten (170) und zweiten (175) Bewegungsachsen ausgerichtet ist, gefolgt von einer Verschiebung entlang der dritten Bewegungsachse (177), die eine Neigung der Kontaktfläche (185) um die zweite Achse (175) ermöglicht, und von einer anschließenden Bewegung entlang der zweiten Bewegungsachse (175), die eine Neigung der Kontaktfläche (185) um die dritte Bewegungsachse (177) ermöglicht. Auch bei der Lösung, wobei der Neigungsverstellmechanismus ein Zahnstangeneingriffspaar aufweist, kann ein Bondkopf (110) vorgesehen sein, der sich um die zweite Bewegungsachse (175) und die dritte Bewegungsachse (177) drehen kann. Der Bondkopf (110) weist zwei Ritzeln (121) auf, von denen eines für die Drehung um die zweite Bewegungsachse (175) und das andere für die Drehung um die dritte Bewegungsachse (177) konfiguriert und angeordnet ist. Die Vorrichtung (100) stellt auch entsprechend zwei Zahnstangen (133) zur Verfügung.