Patent DE-102014109673-B4 (DE)
Title: Schieberventil
Inventor: ISHIGAKI TSUNEO
IPC: F16K51/02
Filed: 2014-07-10
Granted: 2022-09-15
Abstract: Schieberventil (1) mit:
 einem Ventilgehäuse (2), in dem einander zugewandte Seitenwände (2a, 2b) eine mit einer Prozesskammer verbundene erste Öffnung (3) und eine mit einer Transferkammer verbundene zweite Öffnung (4) aufweisen und Ventilsitzflächen (6, 7) parallel zueinander um die Öffnungen (3, 4) ausgebildet sind,
 einer Ventilanordnung (15) mit einem Ventilschaft (10), der in der Längsrichtung ein distales Ende und ein proximales Ende aufweist, und plattenförmigen ersten und zweiten Ventilelementen (5A, 5B), die an dem distalen Ende des Ventilschaftes (10) angebracht sind und den Ventilsitzflächen (6, 7) zugeordnete Ventildichtelemente (8, 9) aufweisen, und
 einem Luftzylinder (20), dessen Antriebsstange (11) mit dem Ventilschaft (10) verbunden ist,
 wobei die Ventilanordnung (15) durch den Luftzylinder (20) von der vollständig offenen Position, in welcher die Ventilelemente (5A, 5B) den Öffnungen (3, 4) nicht gegenüberliegen, über eine zugewandte Position, in welcher die Ventilelemente (5A, 5B) den Öffnungen (3, 4) zugewandt sind, zu einer ersten Schließposition, in welcher das Ventildichtelement (8) des ersten Ventilelements (5A) gegen die Ventilsitzfläche (6) um die erste Öffnung (3) gepresst wird, um die erste Öffnung (3) zu verschließen, und einer zweiten Schließposition, in welcher das Ventildichtelement (9) des zweiten Ventilelements (5B) gegen die Ventilsitzfläche (7) um die zweite Öffnung (4) gepresst wird, um die zweite Öffnung (4) zu verschlie-ßen, bewegbar ist, 
 wobei das Schieberventil (1) einen Verbindungsmechanismus, welcher die Antriebsstange (11) und den Ventilschaft (10) so miteinander verbindet, dass sie relativ zueinander verschiebbar sind, einen Parallelbewegungsmechanismus, welcher die Ventilanordnung (15) parallel zu den Ventilsitzflächen (6, 7) bewegt, einen Senkrechtbewegungsmechanismus, welcher die Ventilanordnung (15) senkrecht zu den Ventilsitzflächen (6, 7) bewegt, und einen Stoppermechanismus (40) aufweist, welcher dann, wenn die Ventilanordnung (15) durch den Parallelbewegungsmechanismus von der vollständig offenen Position zu der zugewandten Position bewegt wird, die Parallelbewegung der Ventilanordnung (15) anhält und die Senkrechtbewegung der Ventilanordnung (15) durch den Senkrechtbewegungsmechanismus erlaubt,
 wobei der Verbindungsmechanismus einen Stangenarm (30), der an der Antriebsstange (11) befestigt ist, ein Hebelelement (13), das an dem proximalen Ende des Ventilschaftes (10) befestigt ist, und eine Druckfeder (31), die zwischen dem Hebelelement (13) und dem Stangenarm (30) angeordnet ist, aufweist,
 wobei der Parallelbewegungsmechanismus ein Paar linker und rechter Nockenrahmen (34), die so an dem Stangenarm (30) befestigt sind, dass sie der linken Seitenwand und der rechten Seitenwand des Hebelelements (13) zugewandt sind, aufweist, wobei in jedem Nockenrahmen (34) in der Parallelbewegungsrichtung eine Führungsnut (35) ausgebildet ist und wobei mehrere Führungsrollen (36a, 36b) an jedem eines Paares linker und rechter Rollenrahmen (27), die an einer Haube (12) fixiert sind, an welcher das Ventilgehäuse (2) angebracht ist, befestigt sind und in die Führungsnut (35) eingesetzt sind, wobei die in den linken und rechten Nockenrahmen (34) ausgebildete Führungsnut (35) an dem Ende, das den Ventilelementen (5A, 5B) am nächsten liegt, einen erweiterten Abschnitt (35a) mit einer erweiterten Nutenbreite aufweist und dass eine der mehreren Führungsrollen (36a, 36b), die an den linken und rechten Rollenrahmen (27), welche den Ventilelementen (5A, 5B) am nächsten liegt, angebracht sind, einen größeren Durchmesser aufweist als die anderen und in den erweiterten Abschnitt (35a) eingesetzt ist, und
 wobei der Senkrechtbewegungsmechanismus mehrere Nockennuten (33a, 33b), die in dem Paar von Nockenrahmen (34) ausgebildet sind, und mehrere Nockenwalzen (32a, 32b), die an den linken und rechten Seitenflächen des Hebelelements (13) vorgesehen und in die Nockennuten (33a, 33b) eingesetzt sind, wobei die Nockennuten (33a, 33b) in der Parallelbewegungsrichtung eine Anfangsendposition an der Seite des Ventilelements (5A, 5B), eine endseitige Endposition an der hierzu gegenüberliegenden Seite und eine dazwischen vorgesehene mittlere Position aufweisen, wobei die mittlere Position in der Senkrechtbewegungsrichtung näher bei der ersten Öffnung (3) angeordnet ist als die Anfangsendposition und wobei die endseitige Endposition näher bei der zweiten Öffnung (4) angeordnet ist als die Anfangsendposition, und wobei die Nockenwalzen (32a, 32b) während der Parallelbewegung, in welcher die Ventilanordnung (15) von der vollständig offenen Position zu der zugewandten Position bewegt wird, an den Anfangsendpositionen vorgesehen sind, wobei die Ventilanordnung (15) die erste Schließposition einnimmt, wenn die Nockenwalzen (32a, 32b) zu den Zwischenpositionen bewegt sind, und wobei die Ventilanordnung (15) die zweite Schließposition einnimmt, wenn die Nockenwalzen (32a, 32b) zu den endseitigen Endpositionen bewegt sind.