baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-10255688-A1 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Durchführen von sequentiellen Verfahren, die verschiedene Zeitdauern erfordern, bei der Herstellung von Halbleitervorrichtung
Inventor: AN JAE-HYUCK
IPC: H01L21/00
Filed: 2002-11-28
Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung enthält erste und zweite Verfahren, wobei das letztere eine längere Verarbeitungszeit erfordert. Eine Vorrichtung zum Durchführen des Halbleiterherstellungsverfahrens enthält einen ersten Reaktor und eine Vielzahl an zweiten Reaktoren für jeden ersten Reaktor. Eine erste Gruppe von Wafern durchläuft das erste Verfahren innerhalb des ersten Reaktors und wird anschließend in einen zweiten Reaktor transportiert, der gegenüber der Außenluft isoliert ist. Die erste Gruppe von Wafern durchläuft das zweite Verfahren innerhalb des zweiten Reaktors. Zur gleichen Zeit durchläuft eine zweite Gruppe von Wafern das erste Verfahren innerhalb des ersten Reaktors. Nachdem das erste Verfahren abgeschlossen ist, wird die zweite Gruppe von Wafern in einen der zweiten Reaktoren transportiert, der nicht belegt ist, und zwar in einem gegenüber der Außenluft isolierten Zustand. Dort durchläuft die zweite Gruppe von Wafern das zweite Verfahren. Demgemäß können Verfahrensfehler, die ansonsten aufgrund des Kontakts der Wafer mit Sauerstoff beispielsweise in der Luft verursacht werden, minimiert werden und die Produktivität ist trotz des Unterschieds bei den Verarbeitungszeiten hoch.
Patent DE-10255753-A1 (DE)
Title: Ram device for driving in piles has distance between separable pile guide's lower end and hammer cover smaller than twice internal diameter of pile guide, preferably less than half internal diameter
Inventor: MOHR RAINER
IPC: E02D7/12
Filed: 2002-11-28
Abstract: The ram device has a striking body (2) that is axially movable in a hammer housing (1), a striker cover (3) and a pile guide (4). A distance (8) is provided between the lower end of the pile guide and the striker cover that is smaller than twice the internal diameter (9) of the pile guide, preferably less than half the internal diameter. The pile guide can be separated into at least two parts.  AN Independent claim is also included for the following:  (a)  a method of mounting a ran device.
Patent DE-10259292-A1 (DE)
Title: Semiconductor device comprises a silicon carbide region having a contact surface, a continuous contact region remaining over the contact surface, and a contact material having a low melting point
Inventor: WOODIN RICHARD L
IPC: H01L21/04
Filed: 2002-12-18
Abstract: Semiconductor device comprises a silicon carbide region (32) having a contact surface, a continuous contact region (50) remaining over the contact surface, and a contact material (34) having a low melting point and arranged in direct and continuous contact with the contact region.  An Independent claim is also included for a process for the production of an electrical connection to the semiconductor device.  Preferred Features: The contact material has a melting point which is less than or equal to 700 degrees C. The silicon carbide region is p-doped silicon carbide. The contact region is made from an alloy of aluminum and silicon carbide. The connection between the silicon carbide and the contact material is ohmic.
Patent DE-10260344-A1 (DE)
Title: Thin-film magnetic random access memory includes data read/write circuits to supply data read/write current to selected bit line based on read/write data level
Inventor: HIDAKA HIDETO
IPC: G11C11/16
Filed: 2002-12-20
Abstract: A column decoder (25) activates the column select lines to select column in memory array (10) based on column address (CA) represented by address signal (ADD). The data read/write circuits (50,60) supply data read/write current to bit line (BL) of the selected column based on read/write data level.
Patent DE-10261291-A1 (DE)
Title: Anzeigeeinrichtung für ein Fahrzeug
Inventor: ISHII KOJI
IPC: G02B27/00
Filed: 2002-12-27
Abstract: Zum Anzeigen eines virtuellen Abbildes ohne Behindern des vorderen Sichtfelds weist eine Anzeigeeinrichtung für ein Fahrzeug eine Speichereinrichtung 21b zum Speichern einer Abstandsinformation für überlagertes Anzeigen auf, wobei die Abstandsinformation einen Abstand zwischen einem Hindernis in dem Blickfeld vor einem Fahrzeug und dem Fahrzeug kennzeichnet, wenn das Hindernis und ein virtuelles Abbild eines Bildes, welches auf eine Windschutzscheibe projiziert wird, als eine überlagerte Frontansicht gezeigt werden; DOLLAR A Abstandsmesseinrichtung 40 zum Messen eines Abstandes zwischen dem Fahrzeug und dem Hindernis; DOLLAR A Entscheidungseinrichtung 21a1 zum Entscheiden, ob oder ob nicht das virtuelle Abbild auf das Hindernis überlagert wird; DOLLAR A und Steuermittel 21a2 zum Stoppen der Projektion des virtuellen Abbildes, wenn entschieden wird, dass das virtuelle Abbild auf das Hindernis überlagert wird.
Patent DE-10302534-A1 (DE)
Inventor: BRAUN DIETER
IPC: B60R19/24
Filed: 2003-01-23
Abstract: The flange connection has a flange plate (3) provided by the chassis longitudinal carrier (1) and a counter-flange plate (4) provided by the attached carrier component (2) which are locked together via a transverse wedge notch (9) of a coupling bolt (7) projecting from the flange plate and a cooperating wedge surface (18) of a locking part (15) on the inside of an opening (12) for the coupling bolt, provided by the counter-flange plate.
Patent DE-10303764-A1 (DE)
Title: Ansaugmodul mit eingegliederter elektronischer Steuereinheit (ECU)
Inventor: KINOSHITA KENJI
IPC: B60R16/023
Filed: 2003-01-30
Abstract: Ein Ansaugmodul (1) hat einen Gehäuseabschnitt (6) für eine elektronische Steuereinheit (ECU), der eine ECU (10) aufnimmt. Der ECU-Gehäuseabschnitt (6) ist in so einer Weise vorgesehen, dass eine seitliche Richtung des ECU-Gehäuseabschnitts (6) nahezu mit einer Richtung eines sich stromaufwärts des ECU-Gehäuseabschnitts (6) befindenden Ansaugluftdurchlasses übereinstimmt. Die Ansaugluft wird zu einem sich an einer Seite des ECU-Gehäuseabschnitts (6) befindenden Luftanblasbereich (6a) geblasen. Wärme erzeugende Komponenten (22) bzw. Komponenten mit geringer Wärmebeständigkeit (23) sind in dem Luftanblasbereich (6a) bzw. in einem von dem Luftanblasbereich (6a) entfernten Bereich montiert. Eine Vielzahl von Wärmeabstrahlrippen (21) ist in dem Luftanblasbereich (6a) entlang einer Ansaugluftströmungsrichtung angeordnet.
Patent DE-10304382-A1 (DE)
Title: Photostrukturierbarer Körper sowie Verfahren zur Bearbeitung eines Glases und/oder einer Glaskeramik
Inventor: SCHREDER BIANCA
IPC: C03C10/14
Filed: 2003-02-03
Abstract: Die Erfindung betrifft einen photostrukturierbaren Körper, insbesondere Glas oder Glaskeramik, wobei das Glas ein Multikomponentenglas und/oder die Glaskeramik eine Multikomponentenglaskeramik ist, welche jeweils eine positive Brechungsindexänderung DELTAn als Folge des Einwirkens von Licht aufweisen.
Patent DE-10307698-A1 (DE)
Title: Steuergerät und Compterprogramm zum Steuern eines Antriebsaggregates eines Fahrzeugs
Inventor: BEUTER BJOERN
IPC: G05B19/042
Filed: 2003-02-21
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Steuergerät (100) und ein Computerprogramm zum Steuern eines Antriebsaggregates (300) eines Fahrzeugs. Traditionell sind in einem derartigen Steuergerät (100) zahlreiche Funktionseinheiten vorgesehen, zum Beispiel eine Funktionseinheit Antrieb, Motorkoordinator, Diagnosemanager etc. Um insbesondere im Falle eines Wechsels des von dem Steuergerät anzusteuernden Antriebsaggregates nicht alle oder einen Großteil der Funktionseinheiten, sondern nur die für das neue Antriebsaggregat relevanten Funktionseinheiten austauschen zu müssen, wird erfindungsgemäß eine Modularisierung dieser Funktionseinheiten vorgeschlagen. Diese Modularisierung sieht insbesondere vor, dass diejenigen Funktionseinheiten zusammengefasst werden, die eine individuelle Programmierung der Hardware des Steuergerätes in der Weise ermöglichen, dass die Hardware in die Lage versetzt wird, mit den Modulen des Steuergerätes (100) zu kommunizieren.
Patent DE-10308447-A1 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen nahtloser Formkörper
Inventor: WENGER GUENTHER
IPC: B29C49/04
Filed: 2003-02-24
Abstract: Um ein Verfahren zum Herstellen nahtloser Formhohlkörper, bei welchem ein Vorformling in einen Einführbereich in eine Form eingeführt, entlang eines im wesentlichen durch eine Ausnehmung definierten Transportweges durch die Ausnehmung hindurchbewegt und zu einem Austrittsbereich der Form geführt wird, so zu verbessern, daß eine unerwünschte Verformung des Vorformlings beim Einführen in die Form oder beim Herausführen aus der Form vermieden wird, wird vorgeschlagen, daß der Vorformling gestützt geführt wird in den Einführbereich hinein in der Einführrichtung und/oder aus dem Austrittsbereich heraus in einer Ausführrichtung und/oder daß der gestützt geführte Vorformling forciert transportiert wird. Ferner wird eine Vorrichtung zum Herstellen nahtloser Formhohlkörper vorgeschlagen.
Patent DE-10308708-A1 (DE)
Title: Apparatus for striking an object with laser beams such as in a laser imaging system having a lens array between a laser source and an array of control elements
Inventor: LISSOTSCHENKO VITALIJ
IPC: B23K26/06
Filed: 2003-02-28
Abstract: The apparatus for laser irradiation of an object includes a laser light source for generating laser radiation (1). A two dimensional array of control elements deflect and/or transmit the laser beam (1) from the laser source such that the laser beam strikes predetermined locations on the object (11). A two dimensional array (3) of lens elements (6) focus the laser beam or part of it on the surface of the object. The array of lens elements is arranged between the laser light source and the array of control elements. Independent claims also cover a processing device for processing the object using such a device and also cover a print device for printing the image information.
Patent DE-10309080-A1 (DE)
Title: Wiper blade has supporting structure fitted with end caps providing a deflector for the air flow
Inventor: ZIMMER JOACHIM
IPC: B60S1/38
Filed: 2003-03-03
Abstract: The deflector (16) of the end cap (18, 20) runs transverse to the longitudinal direction and is bent away from the windscreen to increase the distance from the deflector (16) to the windscreen towards the outer end of the wiper blade (12). The deflector (16) is bent in two levels, one in a longitudinal level and the other crosswise. This results in an improved aero- dynamical effect.
Patent DE-10313276-A1 (DE)
Title: Game equipment for use in fairs and folk festivals, nozzles arranged to discharge water or air jets at high pressure to make tennis ball float, and water gun used to hit floating tennis ball towards catch pan
Inventor: KLEMS VANESSA
IPC: A63F9/02
Filed: 2003-03-24
Abstract: The game equipment has nozzles (1) arranged to discharge water or air jets (2) at high pressure to make a tennis ball (3) float. A water gun (4) is used to hit the floating tennis ball towards a catch pan (6). A water pump is used to generate water or air jets at high pressure. Each nozzle is provided with a catch funnel (7).
Patent DE-10319005-A1 (DE)
Title: Reflektives optisches Element, optisches System und EUV-Lithographievorrichtung
Inventor: WEDOWSKI MARCO
IPC: G02B1/10
Filed: 2003-04-25
Abstract: Zur Erzielung optimaler Reflektivität auf optischen Elementen für den EUV- und weichen Röntgenwellenlängenbereich werden aus einer Mehrzahl von Schichten aufgebaute Multilayer eingesetzt. Kontamination bzw. Degradation der Oberfläche führt zu Abbildungsfehlern und Transmissionsverlusten. Bisher wurde versucht, einer negativen Veränderung der Oberfläche entgegenzuwirken, indem auf der Oberfläche des reflektiven optischen Elementes ein Deckschichtsystem vorgesehen wird, das die Oberfläche schützen soll. Der vorliegenden Erfindung liegt der Ansatz zugrunde, durch eine gezielte Wahl der Dickenverteilung des Deckschichtsystems, wobei mindestens eine Schicht des Deckschichtsystems einen Gradienten ungleich Null aufweist, den Einfluss der Oberflächendegradation handhabbar zu machen.
Patent DE-10322271-A1 (DE)
Title: Solid body material defect investigation unit uses mobile infrared laser heating to modulate X ray diffraction pattern for measurement by area detector
Inventor: BOESE ROLAND
IPC: G01N23/20
Filed: 2003-05-19
Abstract: A solid body (23) material defect investigation unit has mobile (12) infrared laser (2) source to create local heating of the body and X ray source (1) creating a diffraction pattern with thermal modulation measured by an area detector (15) and processor (20). Includes INDEPENDENT CLAIMs for procedures used by the unit.
Patent DE-10322354-A1 (DE)
Title: Hand-held dispenser pump for pasty or highly viscous adhesive has pump chamber with flexible walls which allow reduction in volume and telescopic two-part housing
Inventor: SCHUCKMANN ALFRED VON
IPC: B05B11/06
Filed: 2003-05-17
Abstract: The hand-held dispenser pump (1) has two pump chambers (17) side-by-side with flexible walls which allow reduction in volume. The pump chambers are connected to a mixing and dispensing nozzle (8) and a telescopic two-part housing (23) with a handgrip (13) at the end remote from the nozzle. The outer housing (21) contains a control knob (59).
Patent DE-10323730-A1 (DE)
Title: Lenksäulenanordnung für ein Kraftfahrzeug
Inventor: GARZKE MARTIN
IPC: B62D1/19
Filed: 2003-05-24
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Lenksäulenanordnung für ein Kraftfahrzeug, welche bei einer Stoßeinwirkung in der Energieaufnahme verkürzbar ist, mit einem an einer Karosserie befestigten teleskopierbaren Mantelrohr (1, 2), mindestens einem Umformelement (7) und einem Energieabsorptionselement (5). Das Energieabsorptionselement (5) bewegt sich bei der Stoßeinwirkung relativ zum Umformelement (7). Es wird durch die Einwirkung des Umformelements (7) verformt und setzt dadurch der Stoßeinwirkung einen Widerstand entgegen, wobei durch eine Änderung der Position des Umformelements (7) der Verformungsgrad des Energieabsorptionselements (5) eingestellt wird. Um die Sicherheit für Fahrzeuginsassen zu erhöhen, wird vorgeschlagen, als Energieabsorptionselement (5) einen Hohlkörper vorzusehen, dessen Gestalt sich durch Einwirken des Umformelements (7) verändert.
Patent DE-10323867-A1 (DE)
Title: Machine for removing metal articles from paper recycling machine input conveyor uses electromagnet signals to operate blocking stop with rest switching
Inventor: ARTINGER MANFRED
IPC: G01V3/10
Filed: 2003-05-26
Abstract: The machine for holding damaging conveyed (FB) metal articles (SM) produces a detection (OT) signal for a flow change generator over a sending coil in a monitored section of the article feed flow. An output signal operated blocking stop is provided for a reset device and acts with the reset device so that whilst the latter remains ineffective, outlet switching is only provided as a recognition signal classified signal output.
Patent DE-10323989-A1 (DE)
Title: Production of a blank-pressed glass body for vehicle head lamps comprises feeding a liquid glass gob to a levitation preform mold, transferring the parison to a separate compression mold and pressing into a final shape
Inventor: BONITZ RALF
IPC: C03B40/04
Filed: 2003-05-27
Abstract: Production of a blank-pressed glass body comprises: (a) feeding a liquid glass gob to a levitation preform mold (1) in which the gob is made into a parison without touching the mold surface;  (b) transferring the parison to a separate compression mold (2); and  (c) pressing into a final shape.  The preform mold is displaced above the compression mold for the transfer of the glass gob, kept in this position and downwardly pivoted away from the glass gob.  An Independent claim is also included for a device for producing a blank-pressed glass body.
Patent DE-10325120-A1 (DE)
Title: Assessment of a virtual vehicle using a simulation system, whereby a test person to be imaged in the virtual vehicle environment wears a suit whose surface is matched to the optical sensor system of the simulation system
Inventor: MUENDEMANN SVEN-OLIVER
IPC: G06F3/00
Filed: 2003-06-04
Abstract: Simulation system for assessment of a virtual motor vehicle (17) comprises an optical sensor system for capturing an image of a test person (10) and a computer (1) with which the virtual vehicle can be implemented and with which an image (16) of the test person in the virtual vehicle and or its environment can be simulated. The simulation system includes a suit (11) for the test person, the surface of which is matched to the optical sensor system. An independent claim is made for a simulation method for assessment of a virtual vehicle.
Patent DE-10327674-A1 (DE)
Title: Injizierbare Darreichungsform von Flupirtin
Inventor: PIEROTH MICHAEL
IPC: A61K9/19
Filed: 2003-06-20
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Flupirtin-haltiges Lyophilisat, die Verwendung des Lyophilisats zur Herstellung einer parenteral zu verabreichenden pharmazeutischen Zusammensetzung, ein Verfahren zur Herstellung einer parenteral zu verabreichenden Flupirtin-haltigen pharmazeutischen Zusammensetzung, ein Verfahren zur Herstellung des Flupirtin-haltigen Lyophilisats sowie die unter Verwendung des Lyophilisats hergestellte Flupirtin-haltige pharmazeutische Zusammensetzung.
Patent DE-10327756-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Echtzeit-Quantifizieren einer Nukleinsäure
Inventor: BARTEN ROLAND
IPC: C12Q1/68
Filed: 2003-06-18
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Echtzeit-Quantifizieren einer Nukleinsäure 10 mittels einer Nukleinsäure-Vervielfältigungsreaktion, wobei dabei mindestens eine mit der Nukleinsäure 10 oder deren komplementären Gegenstrang 8 spezifisch eine Hybridisierung ausbildende erste Sonde 18 oder mindestens ein eine intramolekulare Hybridisierung aufweisender Primer 12, 14 oder mindestens eine eine intramolekulare Hybridisierung aufweisende, an der Nukleinsäure 10 oder deren komplementären Gegenstrang 8 spezifisch bindende zweite Sonde anwesend ist, wobei die Hybridisierung bei Anwesenheit der nachzuweisenden Nukleinsäure bei der Nukleinsäure-Vervielfältigungsreaktion aufgehoben oder gebildet wird, wobei das Aufheben oder Bilden der Hybridisierung elektrochemisch nachgewiesen wird, wobei die erste 18 oder zweite Sonde oder der Primer 12, 14 mindestens eine elektrochemisch nachweisbare Markierungssubstanz 20 aufweist, mittels welcher das elektrochemische Nachweisen erfolgt.
Patent DE-10328310-A1 (DE)
Inventor: HAEHNLE HARTMUT
IPC: F01D5/22
Filed: 2003-06-23
Abstract: The method of modification of the coupling geometry of the cover segments (7) of a turbine vane involves computing a modified geometry and levelling the cover segment material which extends beyond the modified geometry. This is followed by application of additional material (13) outside the existing modified coupling geometry. The removal and deposition areas are then further worked.
Patent DE-10328739-A1 (DE)
Title: Digital radio receiver in the shape of an audiocassette, comprises a digital signal receiver, digital to analogue converter and an output head for outputting an analogue signal to the sound head of a cassette player
Inventor: WEYSSENHOFF JOHANNES VON
IPC: G11B23/04
Filed: 2003-06-25
Abstract: Digital radio receiver, especially for DRM or DAB signals has an audio-cassette shaped housing and is designed to be used in an audio cassette player to permit receipt of digital signals and playback through the audio cassette player. Accordingly it has appropriate receiving components, a digital to analogue converter and an output head (33) for output of an analogue audio signal (S10) to the sound head (55) of the cassette player.
Patent DE-10329260-A1 (DE)
Title: Stent mit einem Beschichtungssystem
Inventor: HARDER CLAUS
IPC: A61L31/10
Filed: 2003-06-23
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Stent mit einem rohrförmigen, an seinen Stirnseiten offenen Grundkörper (14), dessen Umlaufswandung (16) zumindest bereichsweise mit einem Beschichtungssystem (26) aus einem polymeren Träger und einer pharmakologisch wirksamen Substanz bedeckt ist, wobei die Substanz nach Implantation des Stents in den menschlichen oder tierischen Körper in das umgebende Gewebe freigesetzt wird. Es soll ein Beschichtungssystem bereitgestellt werden, mit dem eine optimale lokale Wirkstoffapplikation möglich ist. Dies wird dadurch erreicht, dass DOLLAR A - eine Konzentration der Substanz, DOLLAR A - eine morphologische Struktur des Trägers, DOLLAR A - eine stoffliche Modifikation des Trägers und/oder DOLLAR A - die Schichtdicke des Trägers DOLLAR A in axialer Erstreckung des Beschichtungssystems (26) derart divergieren, dass die Substanz in axialer Richtung eine zumindest lokal unterschiedliche Elutionscharakteristik für die Substanz aufweist.
Patent DE-10329642-A1 (DE)
Title: Bag for catching dust from drill on production line has high sides and back, cut outs in front and back edges allowing drill to be positioned as closely as possible to its opening
Inventor: SEYED-ASGARI CAMBIZ
IPC: B65D33/14
Filed: 2003-07-01
Abstract: The bag for catching dust from a drill (25) on a production line has high sides (20) and back. Cut outs (8, 18) in the front (4) and back (3) edges allow the drill to be positioned as closely as possible to its opening (2).
Patent DE-10331580-A1 (DE)
Title: Vorrichtung zur Detektion der Drehzahl und/oder der Position eines rotierenden Bauteils
Inventor: SIEGLE HENRIK
IPC: G01D5/16
Filed: 2003-07-11
Abstract: Es wird eine Vorrichtung zur Detektion der Drehzahl und/oder der Position eines rotierenden Bauteils (1) vorgeschlagen, umfassend mindestens ein magnetisches Geberelement (4), das mit dem rotierenden Bauteil (1) fest verbunden ist, und einen Magnetfeldsensor (5), der mit dem Geberelement (4) zusammenwirkt und der zur Detektion der Änderung eines Magnetfeldes ausgelegt ist sowie mit einer Auswerteschaltung verbunden ist. Der Magnetfeldsensor (5) umfaßt mindestens ein Sensorelement, das aus einem Sensormaterial gefertigt ist, das einen CMR(Collosal Magneto Resistance)-Effekt zeigt (Figur 1).
Patent DE-10336256-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von Gegenständen aus elastomerem geschlossenzelligem Elastomerschaum
Inventor: SONNTAG PHILIPPE
IPC: B29C67/20
Filed: 2003-08-07
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Gegenständen aus elastomerem geschlossenzelligem Schaumstoff, bei dem das elastomere Material und ein Gas gleichzeitig in eine Pumpe eingespritzt und dann gemischt und in Form gebracht werden, und der erhaltene Gegenstand vulkanisiert wird. Sie betrifft auch Gegenstände, die dafür geeignet sind, mit diesem Verfahren erhalten zu werden.
Patent DE-10336897-A1 (DE)
Title: Gearing arrangement for machine tools and vehicles comprises two gear units for transferring rotary movement from a drive shaft to a driven shaft
Inventor: BERGER MATTHIAS
IPC: F16H29/08
Filed: 2003-08-08
Abstract: Gearing arrangement comprises two gear units for transferring rotary movement from a drive shaft (2) to a driven shaft (3). In each gear unit in a power transfer phase the rotary movement of the drive shaft is converted into a translation movement by a first power transfer device. Power is introduced in a second power transfer device via a gear mechanism having a planar tilting part (23) and an interacting part. Preferred Features: The planar tilting part of the gear mechanism produces a rotary movement in the second power transfer part by which the driven shaft is driven via a coupling.
Patent DE-10337858-A1 (DE)
Title: Production of a trench capacitor in a semiconductor substrate for a DRAM arrangement comprises providing a separating layer on a dielectric layer and forming an inner electrode extending over a collar region and active region
Inventor: SEIDL HARALD
IPC: H01L21/334
Filed: 2003-08-18
Abstract: Production of a trench capacitor (1) in a semiconductor substrate (10) comprises providing a separating layer (6) on a dielectric layer (5) and forming an inner electrode (3) made from a metal or metal compound and extending over a collar region (12) and active region (13). Independent claims are also included for the following: (1) Trench capacitor produced by the above process; (2) Memory cell containing the trench capacitor; and (3) Memory arrangement containing the memory cell.