baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent SU-1139487-A2 (SU)
Title: Устройство дл смешивани в зких материалов
Inventor: GOREV VIKTOR A
IPC: B01F7/08
Filed: 1982-09-22
Granted: 1985-02-15
Abstract: УСТРОЙСТВО ДЛЯ СМЕШИВАНИЯ  ВЯЗКИХ МАТЕРИАЛОВ по авт. св.  № 997782, отличающеес  тем, что, с целью  повышени  эффективности перемешивани ,  на наружных и внутренних кромках винтовых  упругих элементов выполнены с посто нным  шагом радиальные прорези, причем  прорези на внутренних кромках смеш.ены  относительно прорезей на наружных кромках  на величину, равную половине шага, и длина  прорезей определ етс  соотношением kCRj-R), где -f -длина прорезей; К - коэффициент пропорциональности,  равный 0,5-0,7; RjH Rj - соответственно наружный и внутренний  радиусы винтового упругого  элемента. оо  ;о 4ib 00
Patent SU-1085704-A2 (SU)
Title: Способ изготовлени режущего инструмента
Inventor: KONOPLEV VYACHESLAV N
IPC: B23C5/08
Filed: 1982-11-03
Granted: 1984-04-15
Abstract: 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ  РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА по авт.св.  Г i .. . ., ,.. / Х:./ № 818772, отличающийс   тем, что, с целью расширени  технологических  возможностей, на внутренней  поверхности заготовки выполн ют канавки  криволинейной формы и затем  после формообразовани  зубьев з€(икеруют  полученные отверсти  и нарезают  в них резьбу. 2. Способ по п. 1, о т ли ч а ющ  и и с   тем, что, заготойку используют  в виде стакана, канавку выполн ют  у дна, а щелевидные пазы прорезают  на образующей и на дне стакана . (Л с: 00 СП sl
Patent SU-1092729-A2 (SU)
Title: Устройство дл формировани отметок времени
Inventor: ZELYANIN VADIM V
IPC: H03K23/00
Filed: 1983-01-06
Granted: 1984-05-15
Abstract: УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ  ОТМЕТОК ВРЕМЕНИ по авт.он, № 790345  отличающеес  тем, что,  с целью расширени  функциональных  возможностей, в каждый канал введены  третий, четвертый и п тый элементы  совпадени , второй триггер, третий  и четвертый элементы ШШ, причем  выход первого триггера соединен с  вторым входом первого элемента ИЛИ  и входом запрета формировател  отметок  времени через третий элемент ШШ,  второй вход которого соединен с выходом  второго триггера, первым входоК третьего элемента совпадени  основного  канала и первым входом четвертого  элемента ИЛИ резервного канала, первый  и второй входы второго триггера  подключены соответственно к выходу  четвертого элемента совпадени  и выходу  четвертого элемента ИЛИ,первый  вход которого подключен к выходу  второго триггера резервного канала,  а второй вход - к выходу п того элемента  совпадени  основного канала,  первый вход которого соединен с Первым  дополнительным входом устройства,  а второй вход - с выходом первого  элемента совпадени , первый вход блока  запуска соединен с шиной сигнала  установки через третий элемент совпадени , первый вход четвертого элемента  совпадени  соединен с вторьлм  дополнительным входом устройства, а  второй вход - с выходом блока делени  частоты.
Patent SU-1130373-A2 (SU)
Title: Фильтр дл очистки жидкостей от механических примесей
Inventor: IVANOV PAVEL V
IPC: B01D35/02
Filed: 1983-10-17
Granted: 1984-12-23
Abstract: 1.ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ ЖИДКО ТЕЙ .ОТ МЕХАНИЧЕСКИХ ПРИМЕСЕЙ по  авт. св. № 1049084, о тли ч а rant  и и с   тем, что, с целью повышени  степени очистки при обработке  жидкости, загр зненной эмульгированной  органикой, корпус дополнительно  снабжен соленоидом с сердечником,  установленным концентрично над  фильтрующим элементом, электролртической   чейкой, расположенной в  пространстве между соленоидом и сердечником , патрубком д туска газа с  редукционным клапаном. 2. Фильтр поп.1,отлнчающ  и и с   тем, что электролитическа   чейка представл ет собой блок  электродов, выполненных в виде обечаек  и установленных один в доугом  концентрично с зазором.
Patent SU-1149950-A2 (SU)
Title: Устройство дл обработки костной ткани
Inventor: KILKINOV ANATOLIJ A
IPC: A61B17/14
Filed: 1983-10-10
Granted: 1985-04-15
Abstract: УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ  КОСТНОЙ ТКАНИ по авт. св.  № 1069795, отличающеес  тем, что, с целью  получени  конусного костного лоскута по  всему контуру, упор прикреплен к держателю на резьбовом соединении и снабжен цангой  с конусообразным выступом, а на ручке  установлен треножник с возможностью  вращени  и фиксации относительно ее.
Patent SU-1267639-A2 (SU)
Title: Устройство дл перемещени выдвижных радиоэлектронных блоков
Inventor: RAMIN ANATOLIJ A
IPC: H05K7/14
Filed: 1985-04-09
Granted: 1986-10-30
Abstract: Изобретение отнооитс  к области  радиотехники, может быть использовано  в стойках радиоэлектронной аппаратуры  и  вл етс  дополнительным к авт.св. № 764159. Цель изобретени  повышение  надежности работы устройства . При установке в стойку 4 блока  1 упоры 9 взаимодействуют с двуплечими  рычагами 10. Вращением вала 6  осуществл ют поворот двуплечих рычагов  10, зубь  13 которых вход т в  зацепление с выступами 14 упоров 9.  Оснащение устройства упорами 9, за-  крепленными на блоке 1, и двуплечими  рычагами 10 с зубь ми 13, установленными  с возможностью поворота на стойке  4, позволило исключить перекосы  блоков. 3 ил. to о: Nl О5 со ;о  N)
Patent SU-1266815-A2 (SU)
Title: Устройство дл формировани потока сыпучего материала на ленте конвейера
Inventor: ZAVRAZHIN VYACHESLAV N
IPC: B65G47/22
Filed: 1985-06-18
Granted: 1986-10-30
Abstract: Изобретение позвол ет повысить надежность  и точность контрол  параметров потока  материалов (М) путем снижени  сопротивлени  потоку и улучшени  формировани  поверхности. Дл  этого над серединой  ленты 1 на высоте h/2, где h - высота  сторон 19 и 21 основных формирующих пластин  (П) 17 и 18, расположены дополнительные  формирующие П 31 и 32 пр моугольной  формы. По ленте 1 М поступает в расщиренную  часть П 31 и 32 и сужаетс  ими  до ширины LI. Нижн   часть потока М сужаетс  до ширины L при помощи П 17 и 18,  при этом . Это позвол ет снизить  сопротивление потоку. Затем М перемеш.аетс  под крыль ми 15 и 16 V-образного  лемеха, которые раздвигают лищний материал  по сторонам так, чтобы рассто ние от  платформы 29 до поверхности сло  М оставалось  посто нным. Далее М проходит под  сглаживающей П 30, установленной с наклоном  в сторону движени  ленты 1 и прикрепленной  к концам лемеха. Она дополни«  тельно сглаживает и уплотн ет поток М. Под  платформой 29 с помощью датчика опреде (Л л ют качество сформированного потока М.  Изобретение - дополнительное к авт.  св. № 1079561. 3 ил. to О5  О5 сх ел  1Ч
Patent SU-1390696-A2 (SU)
Title: Устройство дл контрол системы управлени трехфазного статического преобразовател
Inventor: LOSKUTOV EVGENIJ D
IPC: H02H7/10
Filed: 1986-08-05
Granted: 1988-04-23
Abstract: Изобретение относитс  к электротехнике , в частности к преобразовательной  технике, и можетбыть использовано  дл  вы влени  неисправностей в системах управлени  трехфазными  статическими преобразовател ми переменного  и посто нного тока. Цель  изобретени  - повьшение надежности  контрол  системы управлени  трехфазного  преобразовател . Дл  этого на  каждом входе каждого триггера, формирующего  на пр мом и инверсном выходах  по импульсам с контролируемой  системь пр моугольные напр жени ,  сдвигутые по фазе на 180 , установ-  лен элемент ЗШ1И. Второй вход элемента  ЗИЛИ соединен с выходом  чейки  управл ени , формирующей импульс со  сдвигом 2Л73 по отношению к контролируемой . Третий вход соединен с выходом  триггера устройства контрол ,  формирование логической 1 на котором  происходит с приходом импульса  на второй вход логической схемы ЗИЛИ.  4 ил. i (Л
Patent SU-1428441-A2 (SU)
Title: Смеситель
Inventor: SIZOV VADIM M
IPC: B01F7/00
Filed: 1987-02-10
Granted: 1988-10-07
Abstract: Изобретение относитс  к оборудованию  дл  перемешивани  сыпучих  материалов и может найти применение в промышленности строительных материалов . Цель изобретени  - интенсификаци  перемешивани  дополнительными  вертикальными и горизонтальными потоками  перемешиваемого материала, В  корпусе  1 смесител  на вращающемс   корпусе редуктора 2 закреплен ротор  3 с перемешивающими лопаст ми 4 и  дополнительными перемешивающими элементами  - двусторонними плужками 5,  лопасти по крайней мере одного из ко  торых смещены по вертужали. Благодар  этому в слое перемегаиваемого материала  возникают дополнительные потоки , направленные от периферии чаши  к центру и наоборот, что приводит к  интенсификации процесса перемешивани . 1 ил.
Patent SU-1541326-A2 (SU)
Title: Напускное устройство напорного щика бумагоделательной машины
Inventor: ALEKSANDROV ALEKSANDR V
IPC: D21F1/02
Filed: 1988-04-04
Granted: 1990-02-07
Abstract: Изобретение относитс  к конструкции бумагоделательной машины и предназначено дл  использовани  в целлюлозно-бумажной промышленности. Цель изобретени  - повышение качества отливаемого полотна. Напускное устройство содержит нижнюю губу 1, переднюю стенку, к которой прымыкает верхн   губа со скосом вдоль рабочей кромки, на которой чередуютс  выступы и впадины. К верхней губе прикреплена пластина с возможностью поперечного перемещени , также имеюща  выступы и впадины. Пластина может быть выполнена из секций 9, снабженных механизмом перемещени  с регулировочными т гами 10. Суспензи  проходит между нижней губой 1 и передней стенкой. При перемещении пластины ее выступы и впадины смещаютс  относительно выступов и впадин верхней губы, при этом происходит изменение направлени  движени  волокон в потоке. При выполнении пластины в виде секций 9, кажда  из которых перемещаетс  вдоль верхней губы, обеспечиваетс  управление равномерностью распределени  массы. Соединение с виброприводом верхней губы позвол ет перемещать ее в поперечном движении потока направлении, способству  дополнительной турбулизации волокнистой суспензии, что способствует повышению качества отливаемого полотна. 2 з.п.ф-лы, 3 ил.
Patent SU-1608565-A2 (SU)
Title: Преобразователь магнитных полей к дефектоскопу
Inventor: VILDANOV RAUF G
IPC: G01N27/82
Filed: 1988-12-06
Granted: 1990-11-23
Abstract: Изобретение относитс  к методам неразрушающего контрол  и может быть использовано при анализе качества материалов и изделий по визуализации распределени  магнитных полей. Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности за счет выбора величины управл ющих токов. При контроле изделий магниточувствительный узел 1 преобразует распределение магнитных полей материалов в электрический сигнал. При этом за счет выбора с помощью переменных резисторов 8 оптимального значени  адресных токов повышаетс  чувствительность ферритовых сердечников магниточувствительного узла. Полученный сигнал преобразуетс  в изображение на экране видеоконтрольного блока 5. 2 ил.
Patent SU-1667275-A2 (SU)
Title: Динамический индукционный нейтрализатор зар дов статического электричества
Inventor: SOLOGUB VLADIMIR A
IPC: H05F3/04
Filed: 1988-12-02
Granted: 1991-07-30
Abstract: Изобретение относитс  к средствам защиты от статического электричества, может быть использовано в целлюлозно-бумажной промышленности и  вл етс  усовершенствованием известного нейтрализатора по авт.св. N 1314486. целью изобретени   вл етс  повышение эффективности нейтрализации зар дов на движущихс  бумажных материалах. Дл  этого разр дник 1 вращаетс  навстречу движению наэлектризованного материала 6, а частоту его вращени  выбирают в зависимости от скорости движени  материала, поверхностной плотности зар дов, ширины полотна материала, радиуса разр дника и высоты установки его над материалом. С целью уменьшени  запыленности разр дник снабжен металлической скобой 5, контактирующей с периферийной частью коронирующих электродов разр дника. 3 ил.
Patent SU-1682693-A2 (SU)
Title: Волнова реечна передача с промежуточными звень ми в виде клиньев
Inventor: VASILENKO NIKOLAJ V
IPC: F16H19/04
Filed: 1989-01-04
Granted: 1991-10-07
Abstract: Изобретение относитс  к машиностроению , может быть использовано в вакуумной  технике дл  получени  в вакуумном объеме  поступательного перемещени  и  вл етс   усовершенствованием изобретени  по авт,  свид. 1043392. Целью изобретени   вл етс   передача движени  из одной среды в другую,  дл  чего волнова  реечна  передача с промежуточными  зубь ми в виде клиньев снабжена  герметичной диафрагмой, состо щей из силь-  фонов 6 и жестких колец 7. Последние при  вращении приводного вала 3 с кулачками 4  совершают плоско-параллельное движение,  которое преобразуетс  в посту нательное движение  зубчатой рейки 2, наход щейс  в герметизированном  объеме. 2 ил.
Patent SU-1661799-A2 (SU)
Title: Устройство дл извлечени квадратного корн из суммы квадратов двух величин
Inventor: BRITIN SERGEJ N
IPC: G06G7/20
Filed: 1989-09-13
Granted: 1991-07-07
Abstract: Изобретение относитс  к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано в различных аналоговых или цифроаналоговых радиотехнических системах дл  оценки длины вектора по квадратурным составл ющим, при решении преобразовани  координат, дл  определени  амплитуды сигнала и т. д. Устройство содержит два блока выделени  модул , блок выделени  минимального сигнала, три блока выделени  максимального сигнала, делитель напр жени  и два сумматора. Устройство вырабатывает приближенную оценку квадратного корн  из суммы квадратов двух величин с помощью взвешенного суммировани  модулей квадратурных составл ющих. Среднеквадратическа  погрешность устройства не превышает 0,2%. 1 ил.
Patent SU-1698984-A2 (SU)
Title: Делитель частоты на п ть
Inventor: DIDENKO SERGEJ G
IPC: H03K23/40
Filed: 1989-11-10
Granted: 1991-12-15
Abstract: Изобретение относитс  к импульсное  технике и может использоватьс  в устройствах  автоматики, вычислительной техники и  в синтезаторах частот дл  делени  частоты  следовани  импульсов на п ть. Цель изобретени  - повышение помехоустойчивости  за счет устранени  возможности перехода  устройства из состо ний 101, 001 в состо ни  100, 000 соответственно - достигаетс   введением вентил  б типа И-НЕ. Устройство  также содержит триггеры 1-3 и вентиль 5  типа И-НЕ. Шина 4 входных импульсов соединена  о тактовыми входами триггеров 1-3.  1 ил.
Patent SU-1758233-A2 (SU)
Title: Ходова часть самоходного комплекса дл проходки восстающих выработок
Inventor: STYUNIN ALEKSANDR A
IPC: E21D3/00
Filed: 1990-03-14
Granted: 1992-08-30
Abstract: Использование: дл  самоходных проходческих  и добычных комплексов, перемещаемых  по монорельсу. Сущность  изобретени : соединение приводной звездочки  с вогнутой частью зубьев опорной  рейки выполнено с эвольвентным зацеплением , а плоскости стыков секций монорельса  расположены по касательной к выпуклой  стороне зубьев опорной рейки. 6 ил.
Patent SU-1835904-A2 (SU)
Title: Арретир гироскопа в корпусе
IPC: G01C19/26
Filed: 1990-09-06
Granted: 2005-08-27
Abstract: Арретир гироскопа в корпусе по авт.св. № 1669258, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной надежности, в устройство введены закрепленный на упоре якоря электромагнита штифт, охватывающий электромагнит кожух с продольной прорезью под штифт, кинематически связанный со штифтом подпружиненный фиксатор с ловителем, кулачковой поверхностью, наклонным выступом, скошенной поверхностью с отбортовкой со стороны электромагнита и расположенной напротив ловителя, причем на фиксаторе закреплены два вновь введенных упора.
Patent TR-199802497-A2 (TR)
Inventor: LECONTE ALAIN
IPC: E04B1/86
Filed: 1998-11-30
Abstract: Bulus, binalar için, kütle-yay-kütle yalitim (izolasyon) ilkesine uyan akustik bir yapi ile ilgilidir; burada, kütle-yay-kütle sisteminin her iki kütlesinin herbiri, en az bir rijit ögeden (1,2) olusmaktadir ve en az bir hava katmanina (5) eslik eden en az bir mineral yün panosu (4) ile birbirlerinden ayrilmistir. Akustik yapi, rijit ögelerin (1,2) -U- kesitli levhalar olacagi ve -U- kesitli bölümün içinde en az bir mineral yünün (3) bulunacagi sekilde tasarlanmistir.
Patent WO-0046593-A2 (WO)
Title: Capteur de degradation de collages en micro-electronique et procede de fabrication
Inventor: WILSON ALAN
IPC: G01N33/44
Filed: 2000-02-08
Abstract: Un capteur de dégradation de collages en micro-électronique comprend un substrat composé de circuits de détection, d'un plot de détection et d'un plot de puissance. Lesdits circuits de détection comportent un amplificateur tension-courant qui a une entrée couplée au plot de détection et une sortie couplée au plot de puissance. Ledit amplificateur tension-courant est destiné à convertir un signal de tension qui se produit le long du plot de détection, en une sortie de signal de courant le long du plot de puissance.
Patent WO-0106578-A2 (WO)
Title: Procede d'application de couche mince de lithium sur une electrode pour accroitre la capacite de batterie
Inventor: HISASHI TSUKAMOTO
IPC: H01M4/13
Filed: 2000-07-14
Abstract: La présente invention concerne l'application de lithium en couche sur ou dans une structure d'électrode comprenant une couche de métal électro-conducteur avec un mélange de matière active telle que par exemple un nanocomposite de monoxyde de silicium, en accompagnement de graphite et d'un liant, tel qu'un di-fluorure de polyvinyle (PVDF). L'application de lithium en couche sur ou dans une structure d'électrode permettra de réduire quantitativement la capacité irréversible grâce à possibilité de fournir facilement une quantité suffisante d'ions lithium pour constituer l'interface initiale d'électrolyte solide. Pour appliquer en couche le lithium métal sur ou dans l'anode, on commence par déposer le lithium sur un vecteur que l'on reprend ensuite pour appliquer la couche de lithium métal sur ou dans la structure d'électrode. On poursuit en disposant le matériau d'électrode plaqué et le plastique à dépôt de lithium entre deux cylindres ou deux platines. On chauffe alors les cylindres ou les platines jusqu'à environ 120° C ou jusqu'à une plage comprise entre 25° C et 250° C, puis on leur applique une pression comprise entre 50 et 600 kg/cm2. La progression du matériau entre les cylindres ou les platines se fait à une vitesse comprise entre 10 et 5 m/mn. Ce procédé convient au placage recto ou recto-verso. Cette technologie permet d'accroître la capacité des batteries de 7 à 15 %.
Patent WO-0125239-A2 (WO)
Title: Oxazinoquinolones utiles pour le traitement d'infections virales
Inventor: TURNER STEVEN RONALD
IPC: A61P43/00
Filed: 2000-09-28
Abstract: L'invention concerne un composé représenté par la formule (I). Ces composés sont utiles comme agents antiviraux, en particulier, comme agents contre des virus herpétiques.
Patent WO-0121211-A2 (WO)
Inventor: SHIVANAND PADMAJA
IPC: A61K47/38
Filed: 2000-09-19
Abstract: The present invention is directed to maintaining a therapeutic agent comprising a drug in its preferred polymorphic form for providing an indicated therapy. The therapeutic agent is maintained in the polymorphic form by blending a polymer with the therapeutic agent which lessens the conversion of the therapeutic agent from the desired form to a different, undesired form.
Patent WO-0131899-A2 (WO)
Title: Systeme et procede permettant d'effectuer des conferences telephoniques a trois utilisant un repertoire telephonique
Inventor: HUANG SEN-DER
IPC: H04M3/487
Filed: 2000-10-23
Abstract: L'invention concerne un système (200) et un procédé permettant d'effectuer des conférences téléphoniques à trois depuis un dispositif de communications sans fil (10) possédant un répertoire téléphonique (402). Le procédé consiste à sélectionner dans un répertoire téléphonique (402) d'un dispositif de communications sans fil un premier correspondant à appeler, à sélectionner dans le répertoire téléphonique (402) un second correspondant à appeler, à appeler le premier et second correspondants, et à joindre les appels des premier et second correspondants pour établir une conférence téléphonique à trois. Le procédé peut également consister à attendre l'entrée de l'utilisateur avant de lancer l'appel au second correspondant, à faire entendre un message préenregistré au premier correspondant avant d'effectuer l'appel au second correspondant, et à attendre l'entrée de l'utilisateur avant de joindre les appels des premier et second correspondants pour établir une conférence téléphonique à trois. Le système (200) comprend un émetteur-récepteur (216) destiné à émettre des données vers et depuis un lieu éloigné via une antenne (218), un dispositif d'entrée utilisateur (208) destiné à sélectionner dans un répertoire téléphonique (402) les premier et second correspondants à appeler, une zone de stockage (208) destinée à stocker des données concernant les premier et second correspondants à appeler, et une unité centrale (202) couplée de façon fonctionnelle à la zone de stockage (220), le dispositif d'entrée utilisateur (208) et l'émetteur-récepteur (216) étant destinés à joindre les premier et second correspondants et à établir une conférence téléphonique à trois avec l'utilisateur du système (200). Le système (200) peut également comprendre un écran (206) et un générateur de son (224).
Patent WO-0132258-A2 (WO)
Title: Dispositif a ultrasons de thrombolyse transcranienne et procede de traitement d'une attaque
Inventor: HOLLAND CHRISTY K
IPC: A61B17/00
Filed: 2000-11-01
Abstract: L'invention concerne un procédé de thrombolyse à ultrasons transcrânienne qui consiste à produire un niveau prédéterminé d'énergie ultrasonore sensiblement à travers toute une zone de traitement primaire englobant la branche M1 et les branches M2 de l'artère cérébrale moyenne d'un patient. Un agent thrombolytique est également administré au patient. L'invention concerne en outre un dispositif à ultrasons de thrombolyse transcrânienne qui comporte un transducteur, lequel est conçu pour produire un niveau prédéterminé d'énergie ultrasonore sensiblement à travers toute une zone de traitement comprenant au moins une partie importante de la branche M1 et des branches M2 de l'artère cérébrale moyenne dans un hémisphère du cerveau.
Patent WO-0140268-A2 (WO)
Title: Analogues beryllofluorides de polypeptides de phosphate d'acyle
Inventor: DALAI YAN
IPC: C07K14/195
Filed: 2000-11-17
Abstract: L'invention concerne des méthodes et des compositions permettant de produire des analogues de phosphate d'acyle persistants (par exemple, des analogues de phosphate d'aspartyle) à l'aide de béryllofluoride (BeFx), ainsi que des polypeptides comprenant ces analogues et des anticorps se liant spécifiquement à ces polypeptides. L'invention concerne également des méthodes utilisant des analogues de BeFx dans des dosages de criblage, de façon à identifier des composés d'agent candidat qui modulent l'activité de polypeptides présentant normalement une activité entraînée par la présence d'une liaison de phosphate d'acyle (par exemple, un résidu d'aspartate phosphorylé tel que exemple, dans des polypeptides impliqués dans une transduction de signal, des polypeptides impliqués dans un transport ionique sur des membranes biologiques, des phosphotransférases, etc.). Les analogues polypeptidiques de BeFx peuvent également être utilisés pour faciliter la détermination de la structure du polypeptide phosphorylé correspondant, et pour concevoir un médicament de manière logique.
Patent WO-0173819-A2 (WO)
Title: Inspection infrarouge permettant de determiner la presence de films residuels sur des dispositifs a semi-conducteur
Inventor: NISTLER JOHN L
IPC: G01N21/71
Filed: 2000-12-04
Abstract: L"invention concerne plusieurs procédés d"inspection d"un film disposé sur une pièce à semi-conducteur (12) afin de repérer un résidu (18). Dans un aspect, l"invention concerne un procédé d"inspection d"un film (16) sur une pièce à semi-conducteur (12), où le film (16) présente une signature infrarouge connue. Ce procédé consiste à chauffer la pièce (12) de sorte que le film (16) émette un rayonnement infrarouge (22, 24) et à capter ce rayonnement infrarouge (22, 24) émis à partir du film (16). La signature infrarouge du rayonnement (22, 24) émis à partir du film (16) est comparée à la signature infrarouge connue et un signal indiquant une déviation de la signature infrarouge du rayonnement infrarouge émis (22, 24) par rapport à la signature infrarouge connue est généré. Ce procédé permet une détection rapide et précise de résidus (18), tels que des résidus d"oxyde sur des films de nitrure.