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Patent DE-102008034935-A1 (DE)
Title: Vorrichtung zur Reinigung von Schüttgut
Inventor: KIRCHHOFF TIMM
IPC: B03B5/26
Filed: 2008-07-26
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Reinigen von Schüttgut mit einem Behältnis (2) zur Aufnahme des Schüttguts, mit einer Einfüllöffnung (5), die in einem oberen Bereich des Behältnisses (2) angeordnet ist, mit wenigstens einer Rühreinrichtung (4), die im Innern des Behältnisses (2) und drehbar gegenüber dem Behältnis (2) angeordnet ist, und wenigstens einer Austragseinrichtung (12), über welche das Schüttgut dem Behältnis (2) entnommen werden kann, wobei diese Austragseinrichtung (12) unterhalb der Einfüllöffnung (6) angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist wenigstens eine Zuführung (8) vorgesehen, über welche eine Reinigungsflüssigkeit in das Behältnis (2) eingeführt werden kann, wobei diese Zuführung (8) oberhalb der Austragseinrichtung (12) angeordnet ist.
Patent DE-102008035446-A1 (DE)
Title: Sun visor for shielding and reflecting rays of sunlight incident on windscreen of motor vehicle, has additional screening element that is moveable relative to visor from stowage position into use position
Inventor: SCHORBACH VERA
IPC: B60J3/02
Filed: 2008-07-30
Abstract: The visor (10) has an additional screening element (14) that is moveable relative to the visor from a stowage position (Va) into a use position (Ga). The visor is pivotably arranged at an interior (12) of a motor vehicle. The screening element is arranged in a covering region in the stowage position. The screening element is pivotably or adjustably arranged at the visor. The screening element is made of photochromic material. The screening element is arranged in a region of a lateral, lower broad side of the visor or at a region of an inner rear view mirror.
Patent DE-102008035888-A1 (DE)
Title: Einrichtung zum Detektieren von Objekten, wie Tieren und Vogelgelegen, im Acker und Pflanzenbau
Inventor: TANK VOLKER
IPC: G06K9/62
Filed: 2008-08-01
Abstract: Zum Detektieren von Objekten, wie Tieren und Vogelgelegen, im Acker- und Pflanzenbau ist mindestens einer zum Boden ausgerichteten Detektionseinrichtung (2), welche an oder in vorgegebenem Abstand von der Vorderseite eines landwirtschaftlichen Fahrzeugs angebracht ist oder von einer Person getragen wird, und einer dem landwirtschaftlichen Fahrzeug zugeordneten Datenverarbeitungseinrichtung zum Verarbeiten von mittels der Detektionseinrichtung erfassten Signalen zum Auslösen eines Alarms, mindestens ein berührungslos messendes Abstandsmessgerät (3) zum Messen des Abstandes zwischen der Detektionseinrichtung (2) und dem beobachteten Bodenbereich zugeordnet. Ferner kann bei jeder Detektionseinrichtung (2) eine Anzahl von gleichem Abstand voneinander angeordneten und parallel zueinander ausgerichteten Abstandsmessgeräten (3) vorgesehen sein. Hierbei können die Abstandsmessgeräte optische Einheiten, wie Laser, Laserdiode, LED, mit kleinem Gesichtsfeld und/oder ein gegebenenfalls fokussierbares Ultraschallgerät mit schmaler Schallkeule sein.
Patent DE-102008036482-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen von Mikrolinsen
Inventor: KECK ANGELIKA
IPC: B41M1/10
Filed: 2008-08-05
Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen von Mikrolinsen (4) umfasst die Schritte Bereitstellen eines Trägersubstrats (5), Bildverprägen des Trägersubstrats im Tiefdruckverfahren, so dass auf einer Vorderseite des Trägersubstrats Erhebungen entstehen und auf einer der Vorderseite gegenüberliegenden Rückseite des Trägersubstrats den Erhebungen im Wesentlichen entsprechende Vertiefungen entstehen, und Auftragen von transluzentem Kunststoff (7, 8) auf zumindest eine Seite des Trägersubstrats im Bereich der Erhebungen oder Vertiefungen zur Bildung von Mikrolinsen.
Patent DE-102008037328-A1 (DE)
Title: Kupplungsausrücksystem
Inventor: ALTMEPPEN BERTHOLD
IPC: B29C45/26
Filed: 2008-08-11
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Kupplungsausrücksystem, bei dem zumindest ein Zylinder mit einer Dichtungslaufbahn für eine dynamische Dichtung vorgesehen ist, deren Traganteil gegenüber einer glatten Oberfläche vermindert ist.
Patent DE-102008037393-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Früherkennung von Ventilschäden in oszillierenden Verdrängerpumpen und oszillierende Verdrängerpumpen mit integrierter Sensorik zur Verwendung in diesen Verfahren
Inventor: SCHMIDT RONALD
IPC: G01M15/00
Filed: 2008-09-25
Abstract: Verfahren zur Früherkennung von Ventilschäden in oszillierenden Verdrängerpumpen mit drei oder mehr Zylinder mit oder ohne gemeinsamen Pumpenkopf durch signalbasierte Auwertung gemessener Druck- und Körperschallsignale, Digitalisierung der Drucksignale, Berechnung von Korrelationskoeffizienten mittels Kovarianzanalyse unter Verwendung des Verlaufs des Körperschalls an jedem Zylinder bei Abwesenheit eines gemeinsamen Pumpenkopfs oder unter Verwendung fiktiver Schwingungsbeschleunigungssignale für jeden Zylinder und Zuordnung eines Ventilschadens zu einem Zylinder bei Anwesenheit eines gemeinsamen Pumpenkopfs sowie Auslösen eines Alarms bei Überschreitung und/oder Unterschreitung vorgegebener Schwellenwerte für die Korrelationskoeffizienten sowie oszillierende Verdrängerpumpen mit integrierten Sensoren zur Verwendung in diesen Verfahren.
Patent DE-102008038448-A1 (DE)
Title: Device for discharging diesel into exhaust system of diesel internal combustion engine of vehicle, has pressure regulating valve connected with pipelines, which are connected with exhaust system to supply fuel into exhaust system
Inventor: LOBEY OLIVIER
IPC: F01N3/10
Filed: 2008-08-20
Abstract: The device has a fuel accumulator (3) connected with a fuel injection valve (4). A pressure regulating valve (8) is provided on the fuel accumulator for discharging the fuel from the fuel accumulator. The pressure regulating valve is connected with pipelines (9, 10), which are connected with an exhaust system (6) to supply the fuel into the exhaust system. A check valve (13) is provided between the pressure regulating valve and the exhaust system in the pipelines. An access to the exhaust system is opened depending on fuel pressure in the accumulator. An independent claim is also included for a method for discharging a fuel into an exhaust system of an internal combustion engine.
Patent DE-102008040228-A1 (DE)
Title: Production of sand mold for the supply of liquid metal under low pressure from the under side by a mold part, comprises modifying the mold part by which an additional supply canal is determined that flows at the under side of the sand mold
Inventor: VRIES JEEN WOBBE DE
IPC: B22C9/02
Filed: 2008-07-07
Abstract: The method for the production of sand mold (100) for the supply of liquid metal under low pressure from the under side by a mold part (101) useful for the production of metallic casting piece, comprises providing a mold part for the production of sand mold to be filled at the top, modifying the mold part by which an additional supply canal (120) is determined that flows at the under side of the sand mold, and producing the sand mold with the modified mold part. The mold part is modified by the addition of additional mold segments. The method for the production of sand mold (100) for the supply of liquid metal under low pressure from the under side by a mold part (101) useful for the production of metallic casting piece, comprises providing a mold part for the production of sand mold to be filled at the top, modifying the mold part by which an additional supply canal (120) is determined that flows at the under side of the sand mold, and producing the sand mold with the modified mold part. The mold part is modified by the addition of additional mold segments. The additional mold segment determines the supply canal connecting at the under side of the sand mold. No material is removed from an actual product form surface of the mold part during modifying the mold part. The sand mold is produced by a group of mold parts. Independent claims are included for: (1) method for the production of metallic casting piece through supply of liquid metals at the under side of the sand mold; and (2) a sand mold.
Patent DE-102008040892-A1 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung mit einer Diode und einem IGBT
Inventor: TSUZUKI YUKIO
IPC: H01L29/74
Filed: 2008-07-31
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung beinhaltet ein Halbleitersubstrat, das eine Schicht eines ersten Leitfähigkeitstyps beinhaltet, eine Mehrzahl von IGBT-Bereichen, von denen jeder ein IGBT-Element vorsieht, und eine Mehrzahl von Diodenbereichen, von denen jeder ein Diodenelement vorsieht. Die Mehrzahl von IGBT-Bereichen und die Mehrzahl von Diodenbereichen sind abwechselnd in dem Substrat angeordnet. Jeder Diodenbereich beinhaltet einen Schottky-Kontaktbereich, der einen zweiten Leitfähigkeitstyp aufweist. Der Schottky-Kontaktbereich ist dazu ausgelegt, Minoritätslagerungsträger aus der Schicht des ersten Leitfähigkeitstyps zurückzugewinnen. Der Schottky-Kontaktbereich ist in einem ersten Oberflächenabschnitt der Schicht des ersten Leitfähigkeitstyps und an den IGBT-Bereich angrenzend angeordnet.
Patent DE-102008041410-A1 (DE)
Inventor: BUERGLIN MARKUS
IPC: F01N3/10
Filed: 2008-08-21
Abstract: The system has a tank (17) and a suction side of a dosing pump (15) i.e. membrane pump, connected with each other by a line (21). A pressure side of the pump and a dosing valve (13) are connected with each other by a line (19). A throttle (51) is arranged between the dosing pump and the valve. The pump is actuated by an armature (35) of electromagnets (33). The valve is actuated by pressure. A non-return valve (39) e.g. blow valve, is arranged parallel to the throttle. A return spring (45) is coupled with the armature of the electromagnets.
Patent DE-102008042673-A1 (DE)
Title: Sensorvorrichtung zum Erfassen elektrischer Eigenschaften einer Flüssigkeit
Inventor: KAESS UDO
IPC: G01N33/22
Filed: 2008-10-08
Abstract: Die Sensorvorrichtung zum Erfassen elektrischer Eigenschaften einer unter hohem Druck stehenden Flüssigkeit weist auf: ein druckdichtes Gehäuse, dessen Hohlraum über eine Öffnung an eine Hochdruckleitung anschließbar ist, einen Sensor für elektrische Eigenschaften, der in dem Hohlraum angeordnet ist, Glasdurchführungen, die Kontakte an einer Außenseite des Gehäuses mit dem Sensor elektrisch verbinden.
Patent DE-102008054253-A1 (DE)
Title: Haltefederelement für ein Kupplungsbetätigungslager
Inventor: HARTMANN HORST
IPC: F16D23/14
Filed: 2008-10-31
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf ein Haltefederelement für ein Kupplungsbetätigungslager. Das Haltefederelement weist erfindungsgemäß einen Ringkorpus mit wechselweise zum Außenrandbereich sowie zum Innenwandbereich vordringenden inneren bzw. äußeren zueinander gekröpften Stützfüßen auf, wobei zwischen den abfolgenden Stützfüßen Aussparungen vorgesehen sind. Diese Aussparungen sind hinsichtlich ihrer Vordringtiefen in den äußeren Stützfüßen bzw. den inneren Stützfüßen derart bemessen, dass die Summe der Tiefenmaße der vorgenannten inneren und äußeren Aussparungen größer ist als die Bandbreite des Ringkorpus.
Patent DE-102008056531-A1 (DE)
Title: Brake control device for use in e.g. electronic braking system of bus, storing test pressure as reaction pressure when test pressure is controlled at deceleration of commercial vehicle and/or gain of deceleration
Inventor: WEHRMANN RUEDIGER
IPC: B60T8/176
Filed: 2008-11-08
Abstract: The device (34) delivers a command for adjusting a braking pressure of brakes (18.1, 18.2, 20.1, 20.2) to a test pressure. A movement characteristic value e.g. wheel slippage value, displaying a deceleration of a commercial vehicle (10) is detected. The braking pressure is increased to another test pressure when the test pressure is not controlled at the deceleration and/or at a gain of the deceleration. The device stores the former test pressure as a reaction pressure when the former test pressure is controlled at the deceleration and/or at the gain of the deceleration. Independent claims are also included for the following: (1) a braking system comprising a slip detection device (2) a method for controlling a braking system.
Patent DE-102008062879-A1 (DE)
Title: Verfahren und Anordnung zur skalierbaren konfokalen Interferometrie
Inventor: KOERNER KLAUS
IPC: G01B11/24
Filed: 2008-12-15
Abstract: Verfahren und Anordnung zur skalierbaren konfokalen Interferometrie zur Abstandsmessung, zur 3-D-Erfassung eines Objekts, zur OC-Tomografie mit einem objektabbildenden Interferometer und mindestens einer Lichtquelle. Das Interferometer weist an jedem optisch erfassten Objektelement einen optischen Gangunterschied ungleich null auf. So weisen die Maxima eines sinusoidalen Frequenz-Wavelets, zugehörig zu jedem erfassten Objektelement, jeweils einen Frequenzabstand Deltaf_Objekt auf. Zur Aufnahme des Objekts ist mindestens ein spektral integral detektierender, gerasteter Detektor angeordnet. Erfindungsgemäß ist die Lichtquelle mit Frequenzkamm ausgebildet und die Frequenzkamm-Abstände Deltaf_Quelle werden beim Messen vorbestimmt über der Zeit in einem Scan verändert. Die Frequenzabstände Deltaf_Quelle werden dabei für jedes Objektelement zumindest einmal gleich dem Frequenzabstand Deltaf_Objekt oder gleich einem ganzzahligen Vielfachen der Frequenzabstände Deltaf_Objekt gemacht. Dies kann aber auch durch einen Scan im objektabbildenden Interferometer erfolgen. Im Scan wird eine Modulation in einem Signalverlauf erzeugt und sequenziell mittels gerasterten Detektors detektiert. Die in diesem Signalverlauf, beispielsweise am Modulationsmaximum, aktuelle Größe der Frequenzkamm-Abstände Deltaf_Quelle wird bestimmt und dient im Weiteren der Berechnung des zugehörigen optischen Gangunterschiedes eines detektierten Objektelements. Daraus werden Abstände von Objektelementen oder Änderungen der optischen ...
Patent DE-102008063054-A1 (DE)
Title: Body e.g. mouse pad, has upper surface comprising grid arrangement with regularly spaced grid points, where grid arrangement is formed such that upper surface appears as single unstructured surface to naked eye at normal use distance
Inventor: THEURER DIRK
IPC: G06F3/039
Filed: 2008-12-23
Abstract: The body has an upper surface comprising a grid arrangement with regularly spaced grid points, where the grid arrangement is invisible to a naked eye at a normal use distance. The grid arrangement is formed such that the upper surface appears as a single unstructured surface to the naked eye at the normal use distance. The surface is partially or completely made of anodized aluminum. Color graphical elements are arranged on the surface for the arrangement. The surface serves as a support for optical or opto-mechanical computer mouse. The arrangement is inserted into the graphical elements.
Patent DE-102008064375-A1 (DE)
Title: Clamping connection arrangement for connecting supporting frames to vertical supports of falsework in building industry, has tensioning wedge lying at scaffold component sections, where sections have flange provided behind clutch free ends
IPC: E04G7/08
Filed: 2008-12-22
Abstract: The arrangement has a tensioning wedge (15) displaced between a clamping position and a release position relative to clutches (1, 2) in a displacement position running perpendicular to a swivel axle (4). Scaffold components include sections, and are provided at a cross sectional T-shaped flange, where the sections lie opposite to one another and are processed parallel to each other at the plane hole of a clamping device. The flange of the sections is provided behind free ends (9, 13) of the clutches, and the tensioning wedge lies at the sections.
Patent DE-102009001401-A1 (DE)
Title: Bremssystem, Verfahren zum Betreiben eines Bremssystems und Herstellungsverfahren für ein Bremssystem
Inventor: KUNZ MICHAEL
IPC: B60T13/12
Filed: 2009-03-09
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Bremssystem für ein Fahrzeug mit einem Hauptbremszylinder (14), welcher so an ein Bremseingabeelement (10) gekoppelt ist, dass ein Bremsdruck- und/oder Betätigungsweg-Signal unverstärkt an den Hauptbremszylinder (14) bereitstellbar und ein ensprechendes unverstärktes Drucksignal durch den Hauptbremszylinder (14) ausgebbar ist, einem Bremskreis (24) mit einer in einen offenen Modus und in einen geschlossenen Modus schaltbaren Trenneinrichtung (66) und mindestens einem an einem Rand (26a, 26b) angeordneten Radbremszylinder (68a, 68b), wobei das unverstärkte Drucksignal bei einem offenden Modus der Trenneinrichtung (66) an den ersten Radbremszylinder (68a, 68b) weiterleitbar ist und eine Weiterleiten des unverstärkten Drucksignals durch die in den geschlossenen Modus geschaltete Trenneinrichtung (66) verhinderbar ist, und einem an den ersten Radbremszylinder (68a, 68b) gekoppelten Hydraulikaggregat (76, 80), welches dazu ausgelegt ist, ein Verstärkungsdrucksignal auszugeben. Des Weiteren betrifft die Erfindung Verfahren zum Betreiben eines Bremssystems für ein Fahrzeug und ein Herstellungsverfahren für ein Bremssystem für ein Fahrzeug.
Patent DE-102009001819-A1 (DE)
Title: Scheinwerfersteuerungsvorrichtung
Inventor: SUGIMOTO TOSHIO
IPC: B60Q1/12
Filed: 2009-03-24
Abstract: Eine Lichtsteuerungsvorrichtung ist bereitgestellt, bei der ein Betrieb ausgeführt wird, um ein Erfassungsergebnis zu beschaffen, das wiedergibt, dass ein Fahrzeug sich einem Knotenpunkt nähert (S140: JA), und ein Betrieb ausgeführt wird, um zu ermöglichen, dass die Ausrichtung der Lichtachse des auf einer Abbiegungsseite orientierten Scheinwerfers in die Abbiegungsrichtung bewirkt wird (S230). Dann wird während einer Phase, in der die Ausrichtung der Lichtachse des auf der Abbiegungsseite orientierten Scheinwerfers auf die Abbiegungsseite bewegt wird, wenn ein Lenkwinkel einen Wert äquivalent zu dem Abbiegungsverhalten annimmt (S270: JA), die Ausrichtung des Scheinwerfers, der auf einer deret ist, zu der Abbiegungsseite hin bewegt wird (S280). Dies ermöglicht, dass die Ausrichtung der Lichtachse der Scheinwerfer derart platziert werden kann, dass ermöglicht wird, dass das Fahrzeug eine hervorragende Sichtbarkeit auf einen Bereich vor dem Fahrzeug aufweist, bevor das Abbiegungsverhalten begonnen wird.
Patent DE-102009004723-A1 (DE)
Title: Netzteil
Inventor: BOETTNER HELLMUT
IPC: H02M5/12
Filed: 2009-01-15
Abstract: Das Netzteil (1) zur Erzeugung einer sekundärseitigen Ausgangsspannung aus einer primärseitigen Netzspannung (4) mittels eines Spannungswandlers (2) weist ein Schaltelement (5) zum Verbinden des Spannungswandlers (2) mit und/oder zum Trennen des Spannungswandlers (2) von der primärseitigen Netzspannung (4) und eine Steuereinheit (6) zur Ansteuerung des Schaltelements (5) auf. Das Netzteil (1) zeichnet sich dadurch aus, dass eine Messvorrichtung (7) zur Messung einer Impedanz (Zp, Zs) des Spannungswandlers (2) vorgesehen ist und die Steuereinheit (6) dazu eingerichtet ist, das Schaltelement (5) in Abhängigkeit der gemessenen Impedanz (Zp, Zs) einzuschalten und/oder auszuschalten.
Patent DE-102009007553-A1 (DE)
Title: Kapsel für die Zubereitung einer Flüssigkeit, insbesondere eines Kaffeegetränks
IPC: B65D85/804
Filed: 2009-02-04
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Kapsel für die Zubereitung einer Flüssigkeit, insbesondere eines Kaffeegetränks, mit einem Gehäuse (12), welches becherförmig ausgestaltet ist, das einen Boden (16) und einen gestuften Umfangsrand (14) umfasst, die durch eine Mantelfläche (17) zueinander beabstandet sind, mit einem becherförmigen Einsatz (18), der im Gehäuse (12) angeordnet ist und mit einer Siegelfolie (21), welche das Gehäuse (12) und den darin eingesetzten Einsatz (18) verschließt, wobei der becherförmige Einsatz (18) als Filtereinsatz mit einem Boden (16) und einer siebförmigen Mantelfläche (41) ausgebildet ist und der Boden (28), die Mantelfläche (41) und die Siegelfolie (21) einen Pulveraufnahmeraum (26) bilden, ein zentraler Einlauf (23) vorgesehen ist, der den Boden (28) des Einsatzes (18) durchquert und ein Auslauf (24) mit mehreren Austrittsöffnungen (58) ausgebildet ist, die dem gestuften Umfangsrand (14) zugeordnet sind, so dass in dem Gehäuse (12) eine Flüssigkeitsführung vorgesehen ist, bei der die zentral in den becherförmigen Einsatz (18) zugeführte Flüssigkeit in radialer Richtung den Pulveraufnahmeraum (26) durchströmt, anschließend nach außen durch die siebförmige Mantelfläche (41) hindurch zu den Austrittsöffnungen (58) gelangt und austritt.
Patent DE-102009013782-A1 (DE)
Title: Halbleiterverpackungsaufbau mit Schutzleiste
Inventor: CHEN JEN-CHUNG
IPC: H01L23/29
Filed: 2009-03-18
Abstract: Ein Halbleiterverpackungsaufbau umfasst einen Träger, einen Chip oder mehrere Chips, der bzw. die auf einer oberen Oberfläche des Trägers befestigt ist bzw. sind, eine Gussverbindung, welche die obere Oberfläche und die Chips ummantelt, eine Vielzahl von Lötkugeln, die auf einer unteren Oberfläche des Trägers verteilt sind, und eine Schutzleiste aus wärmehärtendem Polymermaterial, die auf der unteren Oberfläche ausgebildet ist.
Patent DE-102009014428-A1 (DE)
Title: Fluid filter, particularly oil filters for use with filter system and motor of internal combustion engine, has valve in range of filter connection base, which has sliding valve body
Inventor: DWORATZEK KLEMENS
IPC: B01D27/08
Filed: 2009-03-26
Abstract: The fluid filter (1) has a valve in the range of a filter connection base (3), which has a sliding valve body (14). The liquid inlet (6) and the liquid outlet (7) are released in open condition, and are locked in closed condition. The valve body has a controller (15), which is formed in such manner that it is accommodated with a corresponding counterpart (16) of a connection head (12).
Patent DE-102009015204-A1 (DE)
Title: Optical sensor i.e. distance sensor, for use in area of automatic control engineering to measure three-dimensional distance of object, has evaluation unit provided for evaluating output signals of surface camera
Inventor: WOERNER JOERG
IPC: G01B11/25
Filed: 2009-03-26
Abstract: The sensor has a compact video projector (4) and a video generator (11) by which a two-dimensional projection sample i.e. stripe sample, is generated on a surface of an object (6) to be detected. A surface camera (3) detects the projection sample. The video projector or the video generator and the surface camera are integrated in a sensor housing (2). An evaluation unit (5) is arranged within or outside of the sensor housing and evaluates output signals of the surface camera. The surface camera is formed by a charge coupled device or a complementary metal-oxide-semiconductor array.
Patent DE-102009015399-A1 (DE)
Title: Vehicle engine emission managing system, has exhaust passage coupled to another exhaust passage downstream of emission control device, where one of exhaust passages is provided with hydrocarbon retaining system
Inventor: UHRICH MICHAEL JAMES
IPC: F01N9/00
Filed: 2009-03-27
Abstract: The system has an exhaust passage (35) provided with an emission control device (70), where the passage is provided with a tailpipe of a vehicle. Another exhaust passage (48) is coupled to the exhaust passage (35) downstream of the emission control device, where the exhaust passage (48) is provided with a hydrocarbon retaining system (22). The hydrocarbon retaining system has a vent passage whose portion is positioned adjacent and thermally coupled to a portion of the downstream section of the exhaust passage (35). An independent claim is also included for a method for operating an engine.
Patent DE-102009017888-A1 (DE)
Title: Method for controlling plasma density distribution in vacuum process for treating substrate, arranging multiple anodes adjacent to cathode in vacuum chamber, such that plasma area is defined
Inventor: TEICHERT BERND
IPC: H05H1/02
Filed: 2009-03-20
Abstract: The method arranging multiple anodes (11,11',21,21') adjacent to a cathode (4) in a vacuum chamber, such that a plasma area is defined. The plasma discharge is generated in the plasma area. The power supply (7) of the individual anodes is controlled, such that the anode current (10) of the anode of a series of adjacent anodes has a current value between a maximum current value and zero, and the anode current of another anode of the series has a different current value. An independent claim is also included for a device for controlling a plasma density distribution in a vacuum process for treating a substrate.