baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-20010057118-A (KR)
Inventor: KIM HO YEONG
IPC: B41F15/08
Filed: 1999-12-18
Abstract: PURPOSE: A method for controlling backlash of a main belt driving system for a screen printing machine is provided to accurately control the backlash without any change due to external factors. CONSTITUTION: In a method for controlling backlash of a main belt driving system for a screen printing machine, an encoder(50) integrately formed with servo motors(23) driving drums(20) are connected with a controller(22) for inputting rotation information of the servo motors to detect mechanical backlash generated when operating the screen printing machine; the controller includes position controllers(51,52) receiving input of the servo motors, and a compensation position controller(53) comparing rotation information of each servo motor based on information of the position controller; and addition and subtraction information controls servo drivers(25) through a compensation loop(55) and a mixer(56) to control the backlash.
Patent KR-20000048274-A (KR)
Title: Eletromagnetic drive device
Inventor: BURKER MARCUS
IPC: H02K33/12
Filed: 1999-12-21
Abstract: PURPOSE: An electromagnetic actuating device for driving a bond head of a wire bonder is provided to remove a vibration of the bond head and to avoid distortion of a bearing for the bond head. CONSTITUTION: An electromagnetic actuating device includes a stationary stator (2) and a coil (3) associated with the stator (2) in order to move an operating system (1) on a plane. The stator (2) does not contact with the coil (3). A rotating portion (6) of the coil (3) is wound up to be a curved shape such an arc with respect to center of gravity (5) of the operating system (1). The center of the arc corresponds to the center of gravity (5) of the operating system (1). Thus, a force (F) which is applied to the coil (3) by the stator (2) always directs to the center of gravity (5) of the operating system (1) regardless of the current position of the coil (3) relative to the stator (2). And, the actuating device does not impart any momentum to the operating system (1).
Patent KR-20010057686-A (KR)
Inventor: KIM YEONG GYU
IPC: H01L21/283
Filed: 1999-12-23
Abstract: PURPOSE: A method for forming a tungsten plug of a semiconductor device is provided to reduce a manufacturing cost by simplifying a manufacturing process and to lower contact resistance. CONSTITUTION: A via hole is formed on an insulating layer in order to connect a metal line with a metal line or a semiconductor device with the metal line. A barrier layer is deposited thereon. The barrier layer is formed with a Ti layer and a TiN layer or the Ti layer and a TiW layer. A preheating process is performed. A nucleation layer is deposited on the barrier layer. A plug layer is deposited thereon. In the method, a SiH4 soaking process is omitted between the preheating process and a process for depositing the nucleation layer.
Patent KR-20010065701-A (KR)
Inventor: NAM SEUNG MIN
IPC: D01D5/12
Filed: 1999-12-30
Abstract: PURPOSE: A process for preparing the titled polyester yarn is provided, thereby producing a high-shrinkage yarn capable of maintaining a high shrinkage rate even in a heat treat process such as twisting or sizing after the spinning process. CONSTITUTION: The high-shrinkage polyester yarn is prepared by the process consisting of: spinning a polyester polymer at a speed of 1,000 to 4,000m/min, heat-treating the obtained undrawn yarn at 100 to 160deg.C before drawing, and drawing at a ratio of 1.3 to 4.0. The polyester yarn has a boiling water shrinkage rate of 8 to 20 after the steam set process or the sizing process.
Patent KR-20010059843-A (KR)
Inventor: KIM SEONG HO
IPC: B60T8/00
Filed: 1999-12-30
Abstract: PURPOSE: A biased braking preventing system controls biased braking phenomenon and prevents vibration of a handle. CONSTITUTION: A biased braking preventing system comprises a twisting perceiving sensor(10), a signal input member(20), a comparing calculator(30) and a pressure controller(40). A brake damping input is controlled by the signal input member(20) through a pressure reducing valve(3) when the difference(absolute value) between the right and the left perceived values perceived in the twisting perceiving sensor(10) is bigger than a fixed value. The biased braking preventing system controls an input pressure of a car wheel brake so as to prevent biased braking and vibration of a handle.
Patent KR-20000023741-A (KR)
Inventor: GODOROJA ANDRAY
IPC: H04W8/04
Filed: 1999-01-12
Abstract: PURPOSE: A method for controlling congestion of radio messaging system is provided to control congestion by indicating a waiting time according to a state of congestion. CONSTITUTION: A method for controlling congestion of radio messaging system comprises the step of having a response of a receiving end for a transmitting end to transmit a message packet. The response comprises the steps of: indicating whether there is congestion, or not; indicating components of congestion if there is congestion; and indicating a waiting time before a transmitting end transmits a message packet as the congested component. In the radio messaging system, the transmitting end indicates a node for transmitting the message packet and a receiving end indicates a node for receiving the message packet.
Patent KR-20000068231-A (KR)
Title: 불소고무 도료 조성물
IPC: C08K5/00
Filed: 1997-08-19
Abstract: 주쇄에 -CH 2 - 로 표현되는 반복단위를 갖는 함불소 탄성상 공중합체, 폴리올 가황제 및 가황 촉진제로 pKa 8 이상의 염기성 화합물과 유기산의 염 또는 콤플렉스를 함유하여 이루어지는 불소고무 가황용 조성물.     이 조성물은 사용가능시간이 긴 1 액형 가황용 조성물이며, 이 조성물로부터는 비교적 저온, 단시간에 가황피막이 수득될 수 있다.     또한 함불소 공중합체의 농도가 높을 때에도, 디스펜서방식 도장이나 스크린 인쇄 도장에 의해 도포될 수 있다.
Patent KR-20000057327-A (KR)
Title: Data carrier system
Inventor: KOGA SHINICHI
IPC: G06K19/07
Filed: 1997-12-10
Abstract: PURPOSE: A data carrier system is provided to allow communication of operational information without carrying of an IC card. CONSTITUTION: A data carrier system is comprised of a vehicle-side controller(12) mounted at a vehicle(11), keys(19A) and(19B), and an R/W device(31) installed in an office(29). A transponder(20) is built into each of the keys(19A) and (19B). In this structure, after operational data has been transmitted from the vehicle-side controller(12) and written in a nonvolatile memory of the transponder(20), when the keys(19A) and (19B) are inserted in the R/W device(31) by a vehicle driver, the R/W device(31) reads the operational data from the transponder(20) and gives the same to a personal computer(30). Accordingly, an inconvenience of the vehicle driver carrying an IC card for recording operational data is removed.
Patent KR-20000069744-A (KR)
Title: 삼차원 지도표시장치 및 그것에 사용되는 데이터작성장치
IPC: G08G1/0969
Filed: 1998-10-27
Abstract: 본 발명은 삼차원 지도 표시장치와 그것에 사용되는 데이터 작성장치에 관한 것으로, 모델 변형용 데이터 생성부(4)는 이차원 지도 데이터 저장부(3)에 이차원 지도 데이터로부터 소정의 주변 도로에 대응하는 매개변수 데이터를 추출하고, 후속하여, 모델 변형용 데이터 생성부(4)는 패턴 모델 저장부(5)로부터 특정화된 도로 주변에 대응하는 패턴 데이터를 판독하고 모델 변형용 데이터를 생성하고, 이미지 데이터 생성부(6)는 삼차원 이미지 데이터를 생성하기 위해 생성된 모델 변형용 데이터를 사용하므로써 대응하는 삼차원 지도 표시 모델을 변형하고, 생성된 삼차원 이미지 데이터는 표시기(7)에 주어지고 표시되며, 작동자는 생성된 모델 변형용 데이터를 수정하기 위해 표시기(7)에 표시된 내용에 기초하여 입력부(2)를 동작하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-20000069803-A (KR)
Title: 권선 인덕터
IPC: H01F27/29
Filed: 1997-12-19
Abstract: 와이어 권선 인덕터는 유전 코어(14)와, 코어 주위에서 크림핑되는 와이어 스테이플을 포함하는 단자(22), 및 코어 주변에 배치되어 단자에 접속되는 와이어 권선(26)을 포함한다. 접착제 코팅 등의 코팅(32)이 와이어 권선 위에, 및 단자 사이에 도포된다. 인덕터 제조 공정은 연속 공정이다. 감겨진(spooled) 압출될 수도 있는 재료로부터 시작하여, 코어 재료 위에 순차적으로 인덕터가 형성된다. 인덕터는 최종 제조 단계까지 물리적으로 분리되지 않으며, 이것은 각각의 인덕터가 엄격한 허용 오차로서 제조되는 개별 코어에 개별적으로 구성되고 개별적으로 권선되는 종래 기술에 의한 방법에 대하여 대조적이다. 인덕터의 구성 부품의 특성으로 인하여, 극도의 엄격한 허용 오차(통상적으로 약 0.0005″)를 얻을 수 있으며, 결과적으로 고도로 제어되는 인덕턴스 값이 된다.
Patent KR-20010012360-A (KR)
Title: 휴대 전화용 안테나 장치
Filed: 1998-06-30
Abstract: 휴대 전화의 하우징(1) 상부에 직립되도록 설치된 제1 원통(4)과, 상기 하우징에 내장된 송수신기 회로에 급전 선로로 접속되며, 상기 제1 원통의 표면 상에 등간격으로 또한 그 중심축에 대하여 경사각을 갖도록 배치되며, 소자 길이가 약 반파장의 길이를 갖는 4소자의 다이폴 어레이 안테나(4a 내지 4d)와, 상기 제1 원통의 내경보다도 작은 직경을 가지며, 또한 상기 제1 원통 내에 수납 가능하며, 상기 제1 원통으로부터의 인출시에 상기 제1 원통의 동축상의 상방에 근접하여 직립되도록 설치된 제2 원통(5)과, 상기 제2 원통의 표면 상에 등간격으로 또한 그 중심축에 대하여 경사각을 갖도록 배치된 4소자의 선형 도체(5a 내지 5d)를 구비하여, 양호한 이득과 원편파 특성을 광범위한 영역에서 얻을 수 있고, 인출 수납 가능한 구성에 의해 휴대성이 뛰어난 휴대 전화용 안테나 장치를 얻는다.
Patent KR-20010013192-A (KR)
IPC: A61P31/00
Filed: 1998-05-18
Abstract: The present invention provides compounds of Formula (I) or pharmaceutical acceptable salts thereof wherein A, G and R 1 are as defined in the claims which are antibacterial agents.
Patent KR-20010013441-A (KR)
Inventor: MORRIS MICHAEL ALAN
IPC: G02C7/02
Filed: 1999-06-04
Abstract: An optical lens element including a first surface; and a second surface of complementary curvature; at least one surface exhibiting significant deviation in curvature from a standard optical surface; the first and second surfaces in combination defining an optical zone exhibiting substantially constant mean through power along at least one meridian.
Patent KR-20010076523-A (KR)
Title: A Method of Metal Etching for Semiconductor Device Fabrication
Inventor: LEE SEON HUN
IPC: H01L21/3065
Filed: 2000-01-26
Abstract: PURPOSE: A method for etching a metal for manufacturing a semiconductor device is provided to form a metal line in an accuracy width and so as to have the reliability by minimizing the amount of a residual chlorine of the side wall of a metal in process for etching the metal. CONSTITUTION: The method is to etch a metal layer using a dry etch while an etching gas is supplied. In the method, a step for forming a protective film is performed in the middle of process etching the metal layer. The step is to displace and remove residual chlorine components on a process substrate using a gas containing fluorine. Also, the step is performed several times in the middle of the process etching the metal layer and also in state the etch for the metal layer is completed.
Patent KR-20010076780-A (KR)
Title: Parallel processing methode of apparatus for timing recovery using interpolation filter
Inventor: KIM MYEONG SEOP
IPC: H04L27/00
Filed: 2000-01-28
Abstract: PURPOSE: A device and method for parallel-treating timing restoration using interpolation filter is provided to operate a symbol timing restoration circuit which use the interpolation filter in real time, and obtain a symbol timing error with high speed. CONSTITUTION: A frequency down and matching filter(103) downs an input frequency from an analog/digital converter(101) and detects by a matching operation. A digital interpolation filter(111) performs an interpolation filtering operation by a control signal for the output signals from the frequency down and matching filter(103). A decision section(106) decides and outputs a symbol from the input signal. A carrier restoration device(114) restores the carrier after receiving an output signal from the decision section(106). A symbol timing restoration device(112) controls filtering coefficient of the digital interpolation filter according to the input and output signal of decision section(106).
Patent KR-20000058025-A (KR)
Inventor: CANDAU DIDIER
IPC: A61K8/33
Filed: 2000-02-12
Abstract: PURPOSE: A UV blocking cosmetic composition is provided, which contains the mixture of UV blocking agents in the ratio for showing the synergic effect. CONSTITUTION: A composition comprises a cosmetically acceptable carrier; 0.1-15 wt% of partially or totally neutralized benzene-1,4-di(3-methylidene-10-campasullfonic acid) represented by the formula 1; and 0.1-15 wt% of at least one bisresorcinyltriazine derivatives represented by the formula 2. In the formula 1, A is a hydrogen atom, an alkali metal, NH(R)3¬+ (wherein Rs are independently a hydrogen atom, an alkyl group of C1-C4 or a hydroxyalkyl group), or M¬(n+) /n (wherein M¬(n+) is a multivalent metal cation and n is 2, 3 or 4). Preferably the M¬(n+) is Ca2+, Zn2+, Mg2+, Ba2+, Al3+ or Zr4+. In the formula 2, R1 and R2 are independently an alkyl group of C3-C18, an alkenyl group of C2-C18, -CH2-CH(OH)-CH2-OT1 (wherein T1 is a hydrogen atom or an alkyl group of C1-C8), or the group represented by the formula 3; and A1 is a group represented by the formula 5, 6 or 7.
Patent KR-20000024671-A (KR)
Inventor: SHIN JANG CHEOL
IPC: E01D19/10
Filed: 2000-02-29
Abstract: PURPOSE: An inspection foothold is provided to reduce the number of workers and the cost of raw materials by easily assembling an inspection stand for a fixing typed bridge. CONSTITUTION: An inspection foothold(30) is composed of: an upper member(31) formed as a long rectangular plate for having a width for about 1m corresponding to the width of the inspection passage in an inspection stand, a vertical member(32) bended up vertically from the inner and the outer ends of the upper member while having a certain width, and a lower horizontal member(33) bended up horizontally from the vertical member. Tens of protrusions for preventing sliding by being punched for the rim to be protruded upward and tens of drainage holes punched for the rim to be protruded downward are formed on the upper member. Herein, the drainage holes are formed between the protrusions for preventing sliding. The inspection footholds are assembled by plural side junction members(37).
Patent KR-20000062752-A (KR)
Title: 표시 장치
IPC: G02F1/1335
Filed: 2000-03-04
Abstract: 박막 트랜지스터의 특성의 변동을 제거하면서 개구율을 향상시킨 표시 장치를 제공한다. 
     절연성 기판(10) 상에, 제1 게이트 전극(11), 게이트 절연막(12), 제1 게이트 전극(11) 상에 설치한 반도체막(13), 및 층간 절연막(15)을 구비하고 있고, 그 층간 절연막(15) 상에서 적어도 채널(13c) 상측에 제1 게이트 전극(11)에 접속된 제2 게이트 전극(70)을 구비한 박막 트랜지스터를 구비하고 있다.  이 박막 트랜지스터의 소스에 접속된 반사 표시 전극(19)이 박막 트랜지스터의 상측으로까지 연장되어 설치되어 있다.
Patent KR-20010087671-A (KR)
Inventor: RYU HO SEON
IPC: F04D29/08
Filed: 2000-03-08
Abstract: PURPOSE: A gas leakage reducing structure for a turbo compressor is provided to generate a separation bubble layer by the wake generated at the rotation of an impeller by forming a concave-convex part on a surface of a shroud wake, thereby reducing the clearance by the separation bubbles and preventing the leakage of gas. CONSTITUTION: In a gas leakage reducing structure for a turbo compressor, an impeller(8B) is mounted on a driving shaft coupled with a movable element of a rotation motor for centrifugally compressing fluid, and a shroud is provided corresponding to blades of the impeller for inducing the flow of the fluid, wherein a concave-convex part(111,112) is formed on a surface(110) of the shroud in an opposite direction with the rotation direction of the impeller for generating separation bubbles of the fluid, so that the gas to leak beyond the blades of the impeller is blocked off by the separation bubbles.
Patent KR-20010088081-A (KR)
Title: System for recovering waste heat and drying moisture in plasma polymerizing apparatus
Inventor: MUN JEONG UK
IPC: C23C16/54
Filed: 2000-03-10
Abstract: PURPOSE: A waste heat recovery and moisture drying system of a plasma polymerization equipment is provided to solve existing problems by effectively releasing heat inside a polymerization chamber, thereby preventing high temperature and removing residual moisture on the surface of a sample on the roll. CONSTITUTION: In a plasma polymerization equipment consisting of an unwider chamber unwinding a sample on a roll coiled around a bobbin, a polymerization chamber polymerizing the sample transferred from the unwinder chamber and a winder chamber rewinding the polymerized sample in a roll form, the waste heat recovery and moisture drying system of the plasma polymerization equipment using heat pump cycle comprises a plurality of pipes installed on the inner wall of the polymerization chamber; a pipe installed inside the bobbin around which the sample on the roll is coiled; a compressor (12) which is connected from the pipe on the inner wall of the polymerization chamber and connected to the pipe inside the bobbin; and an expansion valve (14) which is connected from the pipe inside the bobbin and connected to the pipe on the inner wall of the polymerization chamber.
Patent KR-20000076831-A (KR)
Title: 마이크로리소그래피 투사 대물렌즈 및 투사노광장치
IPC: G02B17/00
Filed: 2000-03-11
Abstract: 본 발명은 제 1 미러 (S1), 제 2 미러 (S2), 제 3 미러 (S3), 제 4 미러 (S4) 및  제 5 미러 (S5) 를 구비하는, 바람직하게는 100 nm 미만의 단파장 마이크로리소그래피에서 사용하는 투사 대물렌즈에 관한 것이다.  본 발명은 이미지측 개구수가 NA ≥0.10 이고, 조사될 물체, 바람직하게는 웨이퍼에 가장 가까운 미러가, 
     이미지측 광학적 자유 동작거리가 상기 웨이퍼에 가장 가까운 상기 미러의 사용된 직경 (D) 에 적어도 대응하고, 및/또는 
     이미지측 광학적 자유 동작거리가 적어도 상기 미러의 상기 사용된 직경 (D) 의 1/3 과 20 mm 내지 30 mm 의 길이의 합이고, 및/또는 
     이미지측 광학적 자유 동작거리가 적어도 50 mm, 바람직하게는 60 mm 이도록 배열되어 있다.
Patent KR-20010091180-A (KR)
Title: A method and a computer system of using internet to operate at least one of small sized library as a chain
Inventor: CHUNG DAI JIN
Filed: 2000-03-13
Abstract: PURPOSE: A method and a system for chaining and operating small-scale libraries using the Internet is provided to integrate and operate media owned by a plurality of small-scale and large-scale libraries using the Internet. CONSTITUTION: A user inputs retrieval object data to a server through the Internet using a user computer(22). The server searches a stock management database for the data consistent with the retrieval object data(23). In case that the consistent data exist, the server outputs relevant media information to the user computer(24). The user inputs lending application information through the user computer(25). The server records the lending application information in a lending management database(26). The server subtracts the quantity of lending from the total stock of information media in the stock management database(27). The server outputs a message to the user computer to indicate that the receipt of the lending application has been completed(28).
Patent KR-20000076913-A (KR)
Title: 반도체 집적회로 디바이스 제조 방법
IPC: H01L21/3205
Filed: 2000-03-18
Abstract: 화학 기계적 연마 방식으로 매립형 금속 상호 접속부를 형성함에 있어서 문제가 되는 디싱(dishing) 현상과 침식 발생을 억제하기 위한 방법으로서, 상호 접속 트렌치(40-44)에 형성된 구리 막(46)의 화학 기계적 연마에 의한 매립형 구리 상호 접속부(46a-46e)의 형성을 연마 입자의 함량이 0.5 중량% 이하인 연마액을 사용하는 연마 입자가 없는 화학 기계적 연마(제1 단계 CMP)와, 연마 입자의 함량이 0.5 중량% 이상인 연마액을 사용하는 연마 입자를 가진 화학 기계적 연마(제2 단계 CMP)와, 그리고 벤조트리아졸(BTA)과 같은 내식제가 첨가된 연마액을 사용하는 선택적 화학 기계적 연마로 실행한다.
Patent KR-20010094166-A (KR)
Title: System for providing a electronic commerce and method for the same
Inventor: LEE SE MIN
Filed: 2000-04-04
Abstract: PURPOSE: A system for providing an electronic commerce and a method thereof are provided to enable a user to receive commodity information with an interactive multimedia through the internet by inserting commodity information on image contents or a program. CONSTITUTION: A commodity database(11) stores predetermined commodity information. A shopping mall web server(12) is connected with the commodity database(11) for exchanging information thereto and receives the commodity information. A web browser(13) receives the commodity information from the shopping mall web server(12) and performs a purchase according to internet users. A multi media file(14) is reproduced according that the internet user executes the multi media file. A commodity index file(20) provides commodity information being stored in the commodity database(11) adapted to a frame of the multi media file(14). A multi media server(17) is connected with the multi media file(14) for exchanging information and supplies the commodity index file(20) and services the multi media file(14). An editing program(30) receives information from the commodity database(11) and the multi media file(14), makes the commodity index file(20), and supplies the file(20) to the multi media server(17).
Patent KR-20010094849-A (KR)
Title: An exclusive displaying web site managing method, system and a medium for recoding that method
Inventor: KIM DO HEON
IPC: G06F17/40
Filed: 2000-04-07
Abstract: PURPOSE: A special introduction site operating method and system are provided to operate a special introduction site which increase a change to introduce introduction contents. CONSTITUTION: An introducer provides introducing contents made by an advertisement company to a special introduction server(100). The special introduction server(100) confirms whether an introducing time which the introducer wants is a reserved time by searching a database. When a reserved introducing time is absent, the special introduction server(100) determines the introducing time when the introducer wants as a reserved introducing time. The special introduction server(100) stores the determined reserved introducing time and introducing contents in the database(102). When the reserved introducing time is present, the special introduction server(100) determines a time nearing the introducing time as a reserved introducing time. The special introduction server(100) stores the determined reserved introducing time and introducing contents in the database(102). The special introduction server(100) informs the introducer of the determined reserved introducing time.
Patent KR-20000071683-A (KR)
Title: 편광판용 보호 필름
IPC: G02B5/30
Filed: 2000-04-14
Abstract: 본 발명에는 편광자와 접하는 면의 순수(純水)와의 접촉각이 55도 미만인 편광판용 보호 필름 및 편광자와 접하는 면이 플라즈마 처리에 의해 친수화된 편광판용 보호필름이 개시되어 있다. 
     이에 따라 편광자로서 사용되는 폴리비닐알코올 필름과 접착하기 쉽고, 작업상 안전하고 환경에 악영향을 미치지 않는 가공으로 생산할 수 있으며, 또한 폴리비닐알코올 필름막과의 접착성이 우수한 고효율의 편광판용 보호 필름 및 이것을 이용한 편광판을 제공한다.
Patent KR-20010095999-A (KR)
Title: Apparatus for controling control memory of space switch
Inventor: KWAK BYEONG GWON
IPC: H04Q11/00
Filed: 2000-04-14
Abstract: PURPOSE: An apparatus for controlling a control memory in a space division switch is provided to rapidly carry out the reset of a control memory and to detect and process what a time slot is double occupied. CONSTITUTION: An apparatus for controlling a control memory(306) in a space division switch is composed of a power monitoring part(302), an address generator(308), a channel duplication search part, and a processor(300). The power monitoring part(302) sequentially writes the control memory(306) in the event of power initialization. The address generator(308) supplies an address to the control memory(306) in the sequential write of the power monitoring part(302). The channel duplication search part adds channel data from the control memory(306) and checks whether channel duplication has been generated. The processor(300), in case that power is initialized or if channel duplication is detected, resets the control memory(306) by controlling the power monitoring part(302).
Patent KR-20010097167-A (KR)
Inventor: KIM NAM O
IPC: H01L21/22
Filed: 2000-04-20
Abstract: 본 발명은 종형 확산장치의 배기구조를 개시한다. 이에 의하면, 종형 확산장치의 반응튜브와 로드록챔버 사이에 추가로 연통라인을 설치하고 이 연통라인에 에어밸브를 설치거나, 로드록챔버의 배기라인에 추가로 바라트론게이지(baratron gauge)와 같은 압력체크용 게이지를 설치하고 배기라인에 별도의 질소주입관을 연통하고 아울러 질소주입관에 압력보상용 피에조밸브(piezo valve)와 에어밸브를 설치할 수 있다. 
     따라서, 본 발명은 웨이퍼의 로딩/언로딩을 위해 반응튜브와 로드록챔버의 배기라인에 각각 설치된 바라트론게이지를 이용하여 이들 양측의 내부압력을 상압 이상의 압력으로 동일하게 만든 후 이들 양측을  서로 연통한 연통라인의 에어밸브를 개방하여 반응튜브와 로드록챔버의 내부압력을 실제적으로 동일하게 만들 수가 있다. 또한, 반응튜브와 로드록챔버가 저압상태에서도 각각의 바라트론게이지에 의해 이들 양측의 내부압력을 체크하고 로드록챔버의 내부압력을 체크한 바라트론게이지의 체크 값에 따라 제어부가 피에조밸브를 제어하여 피에조밸브를 거쳐 로드록챔버로 유입되는 질소가스의 유입량을 조절함으로써 이들 양측 사이의 압력차이를 보상하여 이들의 저압 내부압력을 동일하게 만들 수가 있다. 그 결과, 본 발명은 웨이퍼의 로딩/언로딩을 위해 반응튜브와 로드록챔버 사이의 셔터를 개방하더라도 갑작스런 대기의 와류 발생을 억제하여 웨이퍼의 파티클 오염을 방지할 수 있다.
Patent KR-20010097769-A (KR)
Inventor: CHOI GYEON GYU
IPC: G05F1/565
Filed: 2000-04-26
Abstract: 본 발명은 데이터 레벨 안정화 회로에 관한 것으로, 전류 제어 모드에서 발생한 오차 크기의 전류를 실제의 데이터 출력 모드에 반영하여 로우 레벨 출력 전압의 레벨을 그 만큼 높여서 오차를 보상하도록 하는데 그 목적이 있다. 이와 같은 목적의 본 발명에 따른 데이터 레벨 안정화 회로는 제 1 및 제 2 전압 발생부와 전압 분배부, 비교기, 제 1 및 제 2 내부 전압 발생부, 직렬 회로부, 전류 미러를 포함하여 이루어진다. 제 1 전압 발생부는 소정 레벨의 하이 레벨 출력 전압을 발생시킨다. 제 2 전압 발생부는 전류 제어 신호의 제어 값에 따른 로우 레벨 출력 전압을 발생시킨다. 전압 분배부는 하이 레벨 출력 전압과 로우 레벨 출력 전압의 중간 레벨 전압을 발생시킨다. 비교기는 소정의 기준 전압과 중간 레벨 전압을 비교하여 전류 제어 신호의 제어 값을 결정한다. 제 1 내부 전압 발생부는 하이 레벨 출력 전압을 입력받아 일정한 크기의 내부 하이 레벨 출력 전압을 발생시킨다. 제 2 내부 전압 발생부는 로우 레벨 출력 전압을 입력받아 일정한 크기의 내부 로우 레벨 출력 전압을 발생시킨다. 직렬 회로부는 내부 하이 레벨 출력 전압의 출력단과 내부 로우 레벨 출력 전압의 출력단 사이에 연결되어, 전압 분배부의 전류와 동일한 양의 전류가 흐른다. 전류 미러는 직렬 회로부에 입력되는 전류와 동일한 양의 전류에 의해 구동되어 전압 분배부에 공급된 전류를 접지로 배출시킨다.