baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102011010828-B4 (DE)
Title: Klemmvorrichtung zur lösbaren Befestigung eines Gerätegehäuses an einer Profilschiene
Inventor: KESMANN ALEXANDER
IPC: H02B1/052
Filed: 2011-01-31
Granted: 2016-10-13
Abstract: Klemmvorrichtung zur lösbaren Befestigung eines Gerätegehäuses an einer an einer Wand- oder Bodenfläche angebrachten Profilschiene (12) mit einem Schienenhalter (14), welcher auf seiner Vorderseite Führungsmittel (22), zumindest ein Halteelement (18) sowie ein Klemmelement (20) aufweist und mit seiner Rückseite am Gerätegehäuse anbringbar ist, wobei ein auf der Vorderseite zwischen dem Halteelement (18) und dem Klemmelement (20) befindlicher Aufnahmebereich (24) des Schienenhalters (14) zur Aufnahme der Profilschiene (12) dient, und das Klemmelement (20) gegenüber dem Schienenhalter (14) durch die Führungsmittel (22) geführt gleiten und in eine Klemmstellung und eine Öffnungsstellung gebracht werden kann, wobei die Profilschiene (12) in montiertem Zustand in der Klemmstellung zwischen dem mindestens einen Haltelement (18) und dem Klemmelement (20) zangenartig fixierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Aufnahmebereich (24) des Schienenhalters (14) ein Federelement (34) vorgesehen ist, welches in montiertem Zustand der Klemmvorrichtung eine gegen die dem Federelement (34) zugewandte Seite der Profilschiene (12) wirkende Kraft ausübt und an seinen seitlich über den Schienenhalter (14) überstehenden Seiten Verrastmittel (36) aufweist, wobei der Schienenhalter (14) über an diesem seitlich angebrachte Führungselemente (44) in eine dafür vorgesehene Aufnahme (40) am Gerätegehäuse eingeschoben werden kann und mittels der Verrastmittel (36) mit dem Gerätegehäuse verrastet.
Patent DE-102011015667-B4 (DE)
Title: Vorhanggassack für ein Kraftfahrzeug
Inventor: CHARPENTIER FREDERIC
IPC: B60R21/213
Filed: 2011-03-31
Granted: 2014-09-04
Abstract: Vorhanggassack (1) für ein Kraftfahrzeug mit  – einer Hauptkammer (7), und  – mindestens einer sich von der Hauptkammer (7) erstreckenden Zusatzkammer (8), welche durch eine Gewebelage (10) gebildet ist, die mit der Hauptkammer (7) vernäht ist, wobei  – die Gewebelage (10) eine erste Öffnung (11) und die Hauptkammer (7) eine zweite Öffnung (13) aufweisen, und dass  – die Gewebelage (10) derart an der Hauptkammer (7) angeordnet ist, dass sich die erste und die zweite Öffnung (11, 13) wenigstens abschnittsweise überlappen, und dass  – die Gewebelage (10) über eine erste Nahtverbindung (12) mit der Hauptkammer (7) verbunden ist, welche um die zweite Öffnung (13) herum verläuft, und dass  – die Zusatzkammer (8) durch Hochschlagen und Vernähen der sich von der Hauptkammer (7) erstreckenden freien Randabschnitte (15, 16) der Gewebelage (10) in einer zweiten Nahtverbindung (14) gebildet ist,  dadurch gekennzeichnet, dass  – die Hauptkammer (7) ein wesentlich größeres Volumen aufweist als die Zusatzkammer (8).
Patent DE-102011054091-B4 (DE)
Title: Abdichtungsanordnung für ein in einer Bohrung eines Abgaskanalgehäuses angeordnetes Abgasventil
Inventor: CORBACH PETER
IPC: F02M26/67
Filed: 2011-09-30
Granted: 2018-08-16
Abstract: Abdichtungsanordnung für ein in einer Bohrung (14) eines Abgaskanalgehäuses (16) angeordnetes Abgasventil (10) mit einem Abgasventilgehäuse (12), in dem zumindest ein erster und ein zweiter Abgasraum (24, 26, 28) ausgebildet sind und welches in die Bohrung (14) des Abgaskanalgehäuses (16) eingesteckt ist, in welchem ein Abgaseinlasskanal (18) und zumindest ein Abgasauslasskanal (20, 22) ausgebildet sind, die mit jeweils einem der Abgasräume (24, 26, 28) verbunden sind, wobei im Abgasventilgehäuse (12) zumindest ein über einen Aktor (40) indirekt bewegbarer Ventilschließkörper (30, 32) gelagert ist, über den die zumindest zwei Abgasräume (24, 26, 28) voneinander trennbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster metallischer Radialdichtring (68) am Außenumfang des Abgasventilgehäuses (12) angeordnet ist und einen Abgasraum (24, 26, 28) des Abgasventils (10) entgegen der Einsteckrichtung des Abgasventilgehäuses (12) in Richtung eines Kühlmittelkanals (50) abdichtet, der zwischen dem ersten metallischen Radialdichtring (68) und einer Außenseite (61) des Abgasventils (10) angeordnet ist, wobei der Kühlmittelkanal (50) ringförmig um das Abgasventilgehäuse (12) verläuft und mittels zweier beidseitig des Kühlmittelkanals (50) angeordneter Dichtringe (58, 60) abgedichtet ist.
Patent DE-102011100158-B4 (DE)
Title: Laminiervorrichtung, zum Laminieren von Bauteilen
Inventor: TALAGA JÖRG
IPC: B30B5/02
Filed: 2011-05-02
Granted: 2014-05-15
Abstract: Laminiervorrichtung (1), zum Laminieren von Bauteilen, die folgendes aufweist: wenigstens einen Rahmen (4), der geeignet ist, eine Vielzahl von Laminiereinheiten (2) übereinander zu tragen; wenigstens zwei Laminiereinheiten (2), die jeweils ein fest mit dem Rahmen (4) verbundenes erstes Teil (20) und ein relativ zum Rahmen (4) und zum ersten Teil (20) bewegliches zweites Teil (22) aufweisen, wobei das erste oder zweite Teil (20, 22) eine Trageinheit zum Tragen von zu laminierenden Bauteilen besitzt; wenigstens eine Bewegungseinheit für jede Laminiereinheit (2) zum Bewegen des zweiten Teils (22) zwischen einer geschlossenen Position, in der es mit dem ersten Teil (20) eine geschlossene Kammer bildet, und einer geöffneten Position, in der die ersten und zweiten Teile (20, 22) beabstandet sind, um einen Zugriff auf einen Bereich zwischen den ersten und zweiten Teilen (20, 22) freizugeben; wenigstens eine flexible Membran (52) am ersten und/oder zweiten Teil (20, 22), die zum anderen Teil weist, und in der geschlossenen Position des zweiten Teils (22) ein flexibles Wandteil der geschlossenen Kammer bildet; Mittel zum jeweiligen Erzeugen einer Druckdifferenz an entgegen gesetzten Seiten der flexiblen Membran (52), um diese in Richtung des anderen Teils zu bewegen, wobei die geschlossene Kammer, die Trageinheit und die flexible Membran (52) so ausgelegt sind, dass die zu laminierenden Bauteile durch die flexible Membran (52) zusammendrückbar sind; und wenigstens eine Steuereinheit, die geeignet ist die Bewegung der zweiten Teile (22) der Laminiereinheiten (2) und das Anlegen von Druck an die jeweilige flexible Membran (52) der Laminiereinheiten (2) für jede Laminiereinheit (2) unabhängig von einer anderen zu steuern.
Patent DE-102011117385-B4 (DE)
Title: Erntemaschine
Inventor: AUMAYR KLAUS
IPC: A01D89/00
Filed: 2011-10-28
Granted: 2023-07-27
Abstract: Erntemaschine mit einer Aufnahmevorrichtung (3) zum Aufnehmen von Erntegut, wobei die Aufnahmevorrichtung (3) eine Stachelwalze (4) umfasst, die Erntegut vom Boden in einen Förderkanal (7) befördert, wobei der Förderkanal (7) eine beweglich gelagerte obere Kanalbegrenzung umfasst, die zumindest eine Einlaufrolle (10) und ein dieser nachgeordnetes Leitwandelement (11) umfasst und in Abhängigkeit von der Dicke des einlaufenden Erntegutteppichs im Abstand von der Stachelwalze (4) veränderbar ist, wobei die Einlaufrolle (10) und das Leitwandelement (11) eine gemeinsam gelagerte Baugruppe bilden, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Baugruppe nach Art einer Wippe um eine erste Gelenkachse (12) ohne Zwangssteuerung wippbar an einem Tragarm (13) gelagert ist, der um eine zweite, zur ersten Gelenkachse (12) parallele Gelenkachse (14) schwenkbar gelagert ist, sodass die genannte Baugruppe ohne Verschwenken des Tragarms (13) um die erste Gelenkachse (12) auf- und niederwippbar ist und durch Verschwenken des Tragarms (13) unabhängig von der Winkelstellung der genannten Baugruppe relativ zum Tragarm (13) das Spaltmaß der Baugruppe zur Stachelwalze (4) veränderbar ist.
Patent DE-102011121060-B4 (DE)
Title: Gasinformationsschätzvorrichtung
Inventor: MAEDA SEIJI
IPC: G01K7/42
Filed: 2011-12-14
Granted: 2022-05-12
Abstract: Gasinformationsschätzvorrichtung (100), welche mit einem Gassensorelement zum Detektieren der Konzentration einer spezifischen Gaskomponente eines durch eine Verbrennungskraftmaschine (11) strömenden Strömungsgases verbunden ist und welche Gasinformationen bezüglich des Strömungsgases schätzt, die von der Konzentration verschieden sind, wobei die Gasinformationen wenigstens eines von der Temperatur, der Strömungsgeschwindigkeit und dem Druck des Strömungsgases ist, wobei die Gasinformationsschätzvorrichtung umfasst:Berechnungsmittel (51) für die vorläufige Gassensorelement-Temperatur zum Berechnen einer vorläufigen Temperatur des Gassensorelements unter Verwendung eines vorbestimmten Simulationsmodells, welches eine geschätzte Temperatur des Gassensorelements auf der Basis mindestens eines die zu schätzenden Gasinformationen betreffenden Parameterwertes liefern kann, und Eingeben eines Referenzwertes in das Modell als den Parameterwert;Messmittel (53, 54) für die tatsächliche Gassensorelement-Temperatur zum Messen der tatsächlichen Temperatur des Gassensorelements;Gasinformations-Berechnungsmittel (55) zum Berechnen eines wahren Wertes des Parameterwertes, welcher anstelle des Referenzwertes in das Modell eingegeben werden kann, so dass die vorläufige Temperatur, die von den Berechnungsmitteln für die vorläufige Gassensorelement-Temperatur berechnet wird, in einen vorbestimmten Bereich fällt, der um die von den Messmitteln für die tatsächliche Gassensorelement-Temperatur gemessene tatsächliche Temperatur zentriert ist; undGasinformations-Gewinnungsmittel (57) zum Gewinnen eines Schätzwertes der Gasinformationen auf der Basis des von den Gasinformations-Berechnungsmitteln berechneten wahren Wertes.
Patent DE-102011122878-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zur elektrofluidischen Versorgung oder Betätigung eines Bauteils eines Antriebsstranges
Inventor: HEYER JENS
IPC: F16D25/12
Filed: 2011-04-18
Granted: 2014-12-31
Abstract: Vorrichtung (30; 34) zur elektrofluidischen Versorgung oder Betätigung eines Bauteils (20; 24; 88) eines Antriebsstranges (10), wie eine Reibkupplung (20; 24) oder ein Getriebe, mit einer Mehrzahl von Druckquellen (40; 42A, 46A; 42B, 46B; 70, 72), die in einer Ebene (135) nebeneinander angeordnet sind, die quer zu einer Längsachse (89) des Bauteils (20; 24; 88) ausgerichtet ist.
Patent DE-102012002507-B4 (DE)
Title: Verbundbauteil für den Kraftfahrzeug-Karosseriebau
Inventor: STUFF GERHARD
IPC: B62D65/00
Filed: 2012-02-10
Granted: 2023-12-21
Abstract: Verbundbauteil für den Kraftfahrzeug-Karosseriebau, bestehend aus einem ersten Blechteil (1) aus Leichtmetall und einem zweiten Blechteil aus Stahl, wobei die beiden Blechteile miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass an dem ersten Blechteil (1) eine für einen Punktschweißvorgang ausreichend große Lochung (2) ausgebildet ist, mit dem ferner ein etwa ringartiges Befestigungshilfsteil (3) aus Leichtmetall die Lochung (2) umgebend verbunden ist, welches ein drittes Blechteil (4) aus Stahl die Lochung (2) des ersten Blechteiles (1) überdeckend fixiert, wobei das dritte Blechteil (4) zwischen Befestigungshilfsteil (3) und erstem Blechteil (1) gehalten ist und das zweite Blechteil mit dem dritten Blechteil (4) derart robotergeführt punktverschweißt (bei 8) ist, dass ein Teil des Schweißroboters in die Lochung (2) hineingreift beziehungsweise diese durchgreift und die Kontaktpunkte der Punktschweißzange, die das zweite Blechteil mit dem dritten Blechteil (4) verschweißt, einerseits die Lochung (2) durchgreifend am dritten Blechteil (4) und andererseits an der freien Außenseite des zweiten Blechteils angeordnet sind.
Patent DE-102012006352-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Testen und/oder Betreiben einer Wirkeinheit
Inventor: GEIDEK FRANZ
IPC: F41A23/16
Filed: 2012-03-28
Granted: 2014-07-17
Abstract: Verfahren zum Ausrichten, und bevorzugt auch zum Testen, einer Wirkeinheit (2) zum Einwirken auf ein Ziel mittels einer Vorrichtung, umfassend: Bevorzugt Betreiben eines ersten Programms (101) auf einer Steuereinheit (6) zum Simulieren von Bewegungen der Trägerplattform, Betreiben eines zweiten Programms (102) auf der Steuereinheit (6) zum Ausgleichen von Bewegungen der Trägerplattform, Betreiben eines dritten Programms (103) auf der Steuereinheit (6) zum Erfassen und Verfolgen des Ziels, und Betreiben eines vierten Programms (104) auf der Steuereinheit (6) zum Ausrichten der Wirkeinheit (2) auf das Ziel.
Patent DE-102012009294-B4 (DE)
Title: Kraftfahrzeug mit wenigstens einer Lichtquelle und Verfahren zum Betrieb eines Musikbetriebmodus
Inventor: WENNING STEFAN
IPC: B60Q9/00
Filed: 2012-05-11
Granted: 2021-10-07
Abstract: Kraftfahrzeug (1), umfassend wenigstens eine über wenigstens eine Steuereinrichtung (7) ansteuerbare Lichtquelle, wobei in einem Musikbetriebsmodus die Lichtquellen in Abhängigkeit eines Audiosignals (22), insbesondere als eine Lichtorgel, betreibbar sind, wobei der Musikbetriebsmodus nur bei nicht fahrbereitem Kraftfahrzeug (1), insbesondere nur bei ausgeschaltetem Motor (8), aktivierbar ist dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle ein Scheinwerfer und/oder eine Rückleuchte und/oder eine Mittelbremsleuchte ist, wobei ein Verbringen des Kraftfahrzeugs (1) in einen fahrbereiten Zustand bei aktiviertem Musikbetriebsmodus nicht möglich ist oder bei einem Verbringen des Kraftfahrzeugs (1) in einen fahrbereiten Zustand bei aktivem Musikbetriebsmodus der Musikbetriebsmodus deaktivierbar ist und ein Normalbeleuchtungsbetriebsmodus aktivierbar ist.
Patent DE-102012009374-B4 (DE)
Title: Anorganischer, Metall enthaltender, Formkörper in einer bestimmten, zuvor in einer Papierstruktur abgebildeten Form und Verfahren zu seiner Herstellung
Inventor: ANEZIRIS CHRISTOS
IPC: C04B35/74
Filed: 2012-04-28
Granted: 2018-06-21
Abstract: Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem anorganischen, Metall enthaltenden Werkstoff, indem eine Faserstoffsuspension mit Cellulosefasern und eine Metall-Keramik-Suspension mit metallischen und keramischen Rohstoffen gemischt und zu einem Papier verarbeitet und das Papier selbst oder daraus hergestellte Formteile thermisch behandelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die metallischen und keramischen Rohstoffe in Form von sphärischen oder splittigen Partikeln sowie Metall- und/oder Keramikfasern eingesetzt werden, dass das Papier mit einem Druck von 50 bis 200 MPa kalandriert wird, dass anschließend das Papier oder daraus hergestellte Formkörper in oxidierender Atmosphäre mit einer Aufheizrate von 1 K/min bei Temperaturen von 350 bis 500 °C zur Zelluloseentfernung behandelt und danach unter Schutzgas bei 600 bis 1600 °C gesintert wird.
Patent DE-102012014563-B4 (DE)
Title: Vollmantelschneckenzentrifuge mit einer Energierückgewinnungseinrichtung
Inventor: SCHLARB MANFRED
IPC: B04B1/20
Filed: 2012-07-23
Granted: 2014-12-11
Abstract: Vollmantelschneckenzentrifuge mit einer um eine Längsachse drehbaren Zentrifugentrommel, mindestens einem Auslass (14) zum Auslassen von geklärtem Gut aus der Zentrifugentrommel und einer am Auslass (14) angeordneten Energierückgewinnungseinrichtung (10) zum Rückgewinnen von Energie des ausgelassenen geklärten Gutes, wobei im Betrieb der Vollmantelschneckenzentrifuge sich die Zentrifugentrommel in einer ersten Drehrichtung (16) und in einer zweiten, der ersten Drehrichtung (16) entgegengesetzten Drehrichtung (18) drehen kann, und die Energierückgewinnungsvorrichtung (10) eine erste Wirkfläche (20) aufweist, über die bei Drehung der Zentrifugentrommel in der ersten Drehrichtung (16) geklärtes Gut abströmen kann, sowie eine zweite Wirkfläche (22) aufweist, über die bei Drehung der Zentrifugentrommel in der zweiten Drehrichtung (18) geklärtes Gut abströmen kann, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Wirkflächen (20, 22) mit einer einzigen Schale (24) gebildet sind, die mit einem Radius (30) gestaltet ist, der gleich dem oder größer als der Radius (32) des an dem Auslass (14) ausgelassenen Gutes ist.
Patent DE-102012021267-B4 (DE)
Title: Fächerschleifscheibe
Inventor: EISENBLÄTTER GERD
IPC: B24D11/00
Filed: 2012-10-29
Granted: 2022-02-24
Abstract: Fächerschleifscheibe (1) mit einem Trägerteller (2) und mit um eine zentrale Öffnung (3) auf den Trägerteller (2) aufgebrachten Schleiflamellen (4) aus Schleifgewebe (8), umfassend ein Grundgewebe (6) und auf dem Grundgewebe (6) aufgebrachtes Schleifkorn (7),
 dadurch gekennzeichnet,
 dass das Schleifkorn (7) eine Kornmischung ist, die aus 50 % bis 75 % Zirconiumdioxid und aus 25 % bis 50 % Aluminiumoxid besteht,
 dass der Durchmesser (D) der Fächerschleifscheibe (1) im Bereich zwischen 110 mm und 130 mm liegt,
 dass die Schleiflamellen (4) rechteckig ausgebildet sind und eine Breite (B) im Bereich zwischen 24 mm und 30 mm aufweisen,
 und dass die Anzahl der Schleiflamellen (4) zwischen 30 und 46 Stück beträgt.
Patent DE-102012101792-B4 (DE)
Title: Steuereinrichtung für fahrzeugeigene Geräte
Inventor: ARAGAI TAKASHI
IPC: B60R25/24
Filed: 2012-03-02
Granted: 2020-06-18
Abstract: Steuereinrichtung (26, 29) für fahrzeugeigene Geräte, die für jedes einer Vielzahl von fahrzeugeigenen Geräten (27, 30) vorgesehen ist, welche durch Strom von einer in einem Fahrzeug vorgesehenen Stromquelle (21) betrieben werden, und die eine Lieferung des Stroms an das entsprechende fahrzeugeigene Gerät (27, 30) steuert, wobei die Einrichtung umfasst:eine Bedieneinheit (81, 111), die dazu eingerichtet ist, um das fahrzeugeigene Gerät zu bedienen; undeine Kommunikationseinheit (92, 122), die dazu eingerichtet ist mit einer Benutzerauthentifizierungseinheit (25) zu kommunizieren, um ein Benutzerauthentifizierungsergebnis zu erhalten;eine Steuereinheit (91) für fahrzeugeigene Geräte, die dazu eingerichtet ist zu bestimmen, ob die Lieferung des Stroms von der Stromquelle zu dem fahrzeugeigenen Gerät (27, 30) erlaubt ist oder nicht, auf der Grundlage einer Information über einen Aktivierungszustand des Fahrzeugs und des Benutzerauthentifizierungsergebnisses, welches durch die Kommunikationseinheit (92, 122) erhalten wird; undeine Stromquellensteuereinheit (432, 452), die zwischen der Bedieneinheit (81, 111) und der Stromquelle (21), und dem fahrzeugeigenen Gerät (27, 30) vorgesehen ist, und die dazu eingerichtet ist, den Strom von der Stromquelle (21) zu empfangen, wenn ein vorbestimmtes Betriebssignal von der Bedieneinheit (81, 111) zugeführt wird,wobei, nachdem die Lieferung des Stroms begonnen wurde, die Stromquellensteuereinheit (432, 452) dazu eingerichtet ist, von der Steuereinheit (91) für fahrzeugeigene Geräte die Bestimmung anzufordern, und wenn die Lieferung des Stroms von der Steuereinheit (91, 121) für fahrzeugeigene Geräte erlaubt ist, die Stromquellensteuereinheit (432, 452) dazu eingerichtet ist, den Strom von der Stromquelle (21) an das fahrzeugeigene Gerät (27, 30) zu liefern,wobei, wenn das Fahrzeug aktiviert ist, die Steuereinheit (91, 121) für fahrzeugeigene Geräte (27, 30) dazu eingerichtet ist, die Lieferung des Stroms zu erlauben,wobei, wenn das Fahrzeug nicht aktiviert ist und das Benutzerauthentifizierungsergebnis angibt, dass die Benutzerauthentifizierung erfolgreich war, die Steuereinheit (91, 121) für fahrzeugeigene Geräte (27, 30) dazu eingerichtet ist, die Lieferung des Stroms zu erlauben, undwobei, wenn das Fahrzeug nicht aktiviert ist und das Benutzerauthentifizierungsergebnis angibt, dass die Benutzerauthentifizierung nicht erfolgreich war, die Steuereinheit (91, 121) für fahrzeugeigene Geräte (27, 30) dazu eingerichtet ist, die Lieferung des Stroms nicht zu erlauben.
Patent DE-102012103377-B4 (DE)
Title: Fahrzeug, insbesondere Kraftfahrzeug, in Monocoque-Bauweise mit einer Türschließvorrichtung
Inventor: GÖTZ ROLF
IPC: E05B85/04
Filed: 2012-04-18
Granted: 2023-12-07
Abstract: Fahrzeug, insbesondere Kraftfahrzeug, in Monocoque-Bauweise mit einer Türschließvorrichtung, umfassend ein in der Tür des Fahrzeuges befestigtes Türschloss, das mit einem karosserieseitig befestigten Schließbügel (3) zusammenwirkt, wobei im Türausschnitt (A) karosserieseitig zur Aufnahme des Schließbügels (3) eine Konsole (1) befestigt ist, an der eine erste Befestigungslasche (4.1) eines gebogenen Begrenzungsbügels (4) angelenkt ist, der über eine zweite Befestigungslasche (4.2) direkt an der Karosserie (K) befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Konsole (1) mit einer die in der normalen Benutzung auftretenden Kräfte übersteigenden, den Schließbügel (3) freigebende Sollbruchstelle (6) ausgelegt ist.
Patent DE-102012109093-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Steuerung der Leistung bei reaktiven Sputterprozessen
Inventor: WÜNSCHE TILO
IPC: C23C14/54
Filed: 2012-09-26
Granted: 2016-09-15
Abstract: Verfahren zur Steuerung der Leistung bei reaktiven Sputterprozessen, wobei eine Spannung zwischen einem Target und einer Gegenelektrode angelegt wird, das Target durch eine Impedanz zwischen Target und Gegenelektrode eine Istleistung aufnimmt und die Durchflussmenge eines dem Sputterprozess zugeführten Reaktivgases mittels eines Reglers in einem Regelprozess mit einer Regelzeit geregelt wird, wobei der Regelprozess einen Einschaltmodus, einen Betriebsmodus und einen Ausschaltmodus aufweist, wobei der Regler (2) mit der von dem Target aufgenommenen Istleistung Pist als Regelgröße beaufschlagt und ein Leistungssollwert Psoll als Führungsgröße an dem Regler (2) eingestellt wird und der Reaktivgasfluss F durch den Regler (2) so eingestellt wird, dass die Regelabweichung (Psoll – Pist) aus Leistungssollwert Psoll und Istwert der Leistung Pist minimal wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Energieversorgung (1) mit im Zeitbereich der Regelzeit konstanter Spannung UT erfolgt und dass im Betriebsmodus bei einer Veränderung der Sollleistung Psoll des Targets die Istleistung Pist des Targets dem mit einer sich zeitlich verändernden Begrenzung versehenen Wert der Sollleistung Psoll zeitlich verzögert nachgeführt wird.
Patent DE-102012200929-B4 (DE)
Title: Mikromechanische Struktur und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur
Inventor: CLASSEN JOHANNES
IPC: B81B7/02
Filed: 2012-01-23
Granted: 2020-10-01
Abstract: Mikromechanische Struktur (1) aufweisend ein eine Haupterstreckungsebene (100) umfassendes Substrat (2) und eine gegenüber dem Substrat (2) bewegliche Masse (3, 14, 70), wobei die bewegliche Masse (3) über wenigstens eine Koppelfeder (4, 50) federelastisch aufgehängt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegliche Masse (3, 14, 70) in wenigstens einem ersten Teilbereich (5, 60) in einer ersten funktionalen Schicht (10) und in wenigstens einem zweiten Teilbereich (6, 61) in einer zweiten funktionalen Schicht (20) ausgebildet ist, und dass der erste Teilbereich (5, 60) der beweglichen Masse (3) entlang einer zur Haupterstreckungsebene (100) im Wesentlichen senkrechten Vertikalrichtung (101) zumindest teilweise zwischen dem Substrat (2) und der Koppelfeder (4, 50) angeordnet ist, wobei die Koppelfeder (4) entlang der Haupterstreckungsebene (100) im Wesentlichen von dem als Rahmen ausgebildeten zweiten Teilbereich (6) umrahmt ist.