Patent ES-2776453-T3 (ES)
Title: Método para la corrección automática del astigmatismo
Inventor: SINTORN IDA-MARIA
IPC: H01J37/153
Filed: 2015-06-17
Granted: 2020-07-30
Abstract: Método para la corrección automática del astigmatismo de un sistema de lentes de un microscopio electrónico, que comprende proporcionar una primera imagen de una vista en subenfoque o sobreenfoque en una primera configuración (96) de astigmador de una lente, basándose en la primera imagen en la primera configuración (96) de astigmador, calcular una primera imagen (312) del espectro de Fourier, describir una distribución de intensidades en la primera imagen (128, 312) calculando, basándose en la primera imagen del espectro de Fourier, un primer vector (134), que representa una dirección principal de intensidades en dicha imagen, dirección principal que es la dirección con el alargamiento más largo con píxeles brillantes, teniendo el primer vector una longitud que representa el alargamiento de la parte de píxeles brillantes de la primera imagen en dicha dirección principal y un segundo vector (132) que representa una dirección ortogonal de intensidades en dicha imagen, que es ortogonal a dicha dirección principal, y una extensión de píxeles brillantes en la dirección ortogonal, teniendo el segundo vector una longitud que representa el alargamiento de la parte de píxeles brillantes de la primera imagen en la dirección ortogonal, calcular una primera razón como una razón entre la longitud del primer vector y la longitud del segundo vector, cambiar la lente de la primera configuración (96) de astigmador a la segunda configuración (98) de astigmador para proporcionar una segunda imagen de la vista en subenfoque o sobreenfoque, siendo la segunda imagen en la segunda configuración de astigmador la misma vista que la primera imagen de la vista en la primera configuración de astigmador, basándose en la segunda imagen y la segunda configuración (98) de astigmador, calcular una segunda imagen (314) del espectro de Fourier que describe una distribución de intensidades en la segunda imagen (314) calculando, basándose en la segunda imagen del espectro de Fourier, un tercer vector que representa una dirección principal de intensidades en dicha imagen, dirección principal que es la dirección con el alargamiento más largo con píxeles brillantes, teniendo el tercer vector una longitud que representa el alargamiento de la parte de píxeles brillantes de la segunda imagen en dicha dirección principal; y un cuarto vector que representa la dirección ortogonal de las intensidades en dicha imagen y una extensión de píxeles brillantes en la dirección ortogonal, teniendo el cuarto vector una longitud que representa el alargamiento de la parte de píxeles brillantes de la segunda imagen en la dirección ortogonal, calcular una segunda razón como una razón entre la longitud del tercer vector y la longitud del cuarto vector, cuando la primera razón está más cerca de 1 que la segunda razón, seleccionar la primera imagen de la vista en la primera configuración (96) de astigmador, y cuando la segunda razón está más cerca de 1 que la primera razón, seleccionar la segunda imagen de la vista en la segunda configuración (98) de astigmador.