Patent ES-2903168-T3 (ES)
Title: Método y aparato para controlar un punto de enfoque de un haz estacionario que se enfoca en una muestra en un cartucho giratorio que se coloca en un disco giratorio
Inventor: TRONRUD OLE CHRISTIAN
IPC: G01N35/00
Filed: 2018-11-05
Granted: 2022-03-31
Abstract: Un método para controlar una posición de un punto objetivo en un resultado del procesamiento (10) con relación a un punto de enfoque de un sistema de sensor de enfoque (20) para determinar las propiedades del resultado de procesamiento (10) el cual se encuentra dentro de un cartucho (35), y donde el sistema de sensor de enfoque (20) está estacionario en una posición establecida con relación a un disco (40) que puede girar alrededor de un primer eje (45) mediante un primer motor conectado a un controlador, y donde el cartucho (35) puede girar alrededor de un segundo eje (50) mediante un segundo motor conectado a un controlador, y donde el cartucho (35) es más pequeño que el disco (40) y se coloca dentro y fuera del centro del disco (40), que comprende las siguientes etapas: a) definir un punto dentro del cartucho (35) como un punto de enfoque inicial (55) del sistema de sensor de enfoque (20), donde el punto de enfoque inicial (55) es un punto (r,θ), donde r es una fracción del radio del cartucho (35), y θ es el ángulo entre un primer punto de referencia (65) en el cartucho (35) y el punto de enfoque inicial (55); b) controlar la rotación del cartucho (35) y el disco (40) de manera que el punto de enfoque del sistema de sensor de enfoque (20) corresponda al punto de enfoque inicial (55), al determinar las posiciones angulares Φ y Θ a configurar para el cartucho (35) y el disco (40) de manera que el punto de enfoque inicial (55) del sistema de sensor de enfoque (20) corresponda al punto (r,θ) dentro del cartucho (35), donde el ángulo Θ del cartucho (35) se determina con relación al primer punto de referencia (65) en el cartucho (35), y el ángulo Φ del disco (40) se determina con relación a un segundo punto de referencia en el disco (40), caracterizado por c) comprobar si el punto de enfoque inicial (55) del sistema de sensor de enfoque (20) corresponde al punto objetivo en el resultado del procesamiento (10) mediante la captura de imágenes del resultado del procesamiento (10) en el cartucho (35) y el punto de enfoque inicial (55) dentro del cartucho, y comparar las posiciones objetivo (x, y) en las imágenes capturadas con el punto de enfoque inicial (55) del sistema de sensor de enfoque (20), y ajustar la rotación del cartucho (35) y del disco (40) de manera que el punto de enfoque del sistema de sensor de enfoque (20) corresponda al punto objetivo en el resultado del procesamiento (10), y d) detectar y examinar las señales recibidas del sistema de sensor de enfoque (20) para determinar las propiedades del resultado del procesamiento (10) en el punto objetivo en donde se escanea un área del resultado del procesamiento (10) al girar el disco (40) y el cartucho (35) a ángulos Φ y Θ de manera que el sistema de sensor de enfoque (20) se enfoque en un punto (r,θ) dentro del cartucho (35) que corresponde al punto objetivo y las propiedades del resultado del procesamiento (10) se detectan iterativamente al girar el disco (40) y el cartucho (35) en etapas para cubrir el área.