Patent DE-112015006453-B4 (DE)
Title: Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen und Probenbeobachtungsverfahren
Inventor: HANAWA Akinari
IPC: H01J37/26
Filed: 2015-04-14
Granted: 2023-02-23
Abstract: Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen, die umfasst:eine Kondensoreinheit (102-104), die eine Probe mit einem Strahl geladener Teilchen bestrahlt;eine Projektionseinheit (110-113), die ein Bild der Probe erzeugt;eine Aperturblende (106, 107), die innerhalb der Projektionseinheit (110-113) angeordnet ist und in der mehrere Öffnungen (151-154) mit unterschiedlichen Größen zum Durchlassen eines Elektronenstrahls von der Probe gebildet sind;eine Hauptsteuervorrichtung (121), die eine Position der Aperturblende (106, 107) ändert;eine Detektionseinheit (114), die ein durch die Projektionseinheit (110-113) erzeugtes Bild erhält;eine Messeinheit, die eine Bewegungsstrecke der Aperturblende (106, 107) misst;eine Anzeigeeinheit (123), die das durch die Detektionseinheit (114) erhaltene Bild anzeigt; undeine Auswahleinheit (401), die einen vorgegebenen Teil aus dem angezeigten Bild auswählt,wobei die Hauptsteuervorrichtung (121) die Aperturblende (106, 107) von einer Positionsbeziehung zwischen der Aperturblende (106, 107) und dem Bild in Übereinstimmung mit einer Position des ausgewählten vorgegebenen Teils bewegt, undwenn das Bild ein Elektronenstrahl-Beugungsbild ist: die Auswahleinheit (401) ausgebildet ist, einem Betreiber die Auswahl eines Beugungsflecks in dem angezeigten Elektronenstrahl-Beugungsbild zu ermöglichen; die Hauptsteuervorrichtung (121) eingerichtet ist, eine Öffnung (151) der Aperturblende (106, 107) auszuwählen, die einen Durchmesser aufweist, der für die Beobachtung des ausgewählten Beugungsflecks geeignet ist; die Hauptsteuervorrichtung (121) eingerichtet ist, die ausgewählte Öffnung (151) an eine Position des ausgewählten Beugungsflecks zu bewegen; die Aperturblende (106, 107) eine Objektivaperturblende (106) ist, die in eine Beugungsfläche innerhalb der Projektionseinheit (110-113) eingeführt werden kann; und die Hauptsteuervorrichtung (121) eingerichtet ist, ein Transmissionsbild des ausgewählten Beugungsflecks aufzunehmen und auf der Anzeigeeinheit (123) anzuzeigen; oderwenn das Bild ein Transmissionsbild der Probe ist: die Auswahleinheit (401) ausgebildet ist, einem Betreiber die Auswahl eines Teilbereichs in dem angezeigten Transmissionsbild zu ermöglichen; die Hauptsteuervorrichtung (121) eingerichtet ist, eine Öffnung (151) der Aperturblende (106, 107) auszuwählen, die einen Durchmesser aufweist, der einer Größe des ausgewählten Teilbereichs entspricht; die Hauptsteuervorrichtung (121) eingerichtet ist, die ausgewählte Öffnung (151) an eine Position des ausgewählten Teilbereichs zu bewegen; die Aperturblende (106, 107) eine Aperturblende (107) einer ausgewählten Fläche ist, die in eine primäre Bildfläche innerhalb der Projektionseinheit (110-113) eingeführt werden kann; und die Hauptsteuervorrichtung (121) eingerichtet ist, ein dem ausgewählten Teilbereich entsprechendes Beugungsmuster aufzunehmen und auf der Anzeigeeinheit (123) anzuzeigen; undwobei das Bild ein Elektronenstrahl-Beugungsbild oder ein Transmissionsbild der Probe ist, wobei die Aperturblende (106, 107) eine Objektivaperturblende, die in eine Beugungsfläche innerhalb der Projektionseinheit (110-113) eingeführt werden kann, und eine Aperturblende einer ausgewählten Fläche, die in eine primäre Bildfläche innerhalb der Projektionseinheit (110-113) eingeführt werden kann, ist, und wobei die Hauptsteuervorrichtung (121) die Position der Aperturblende (106, 107) durch Rückmelden eines Messergebnisses der Messeinheit ändert.