baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100388053-B1 (KR)
Title: 유전체 필터 및 유전체 듀플렉서, 제조방법
IPC: H01P1/205
Filed: 2001-01-08
Granted: 2003-06-18
Abstract: 본 발명에 의한 유전체 필터 및 유전체 듀플렉서는 직육면체 형상의 유전체 블록의 외부면에 전도성 물질을 도포하여 외부도체를 형성하고, 그 일면을 개방면으로 하여 대응되는 면과 관통되도록 홀을 형성하는 동시에 그 관통홀의 내부면에 전도성 물질을 도포하여 내부도체를 형성한 다수의 공진기홀과, 신호의 입력 및 출력을 수행하는 입출력 전극부와, 상기 입출력 전극의 주위에 연장되어 전극이 제거된 스퓨리어스 조정부와, 상기 스퓨리어스 조정부의 상면에 저항물질을 인쇄한 삽입손실 조정부로 구성되어 상기 스퓨리어스 조정부 및 삽입손실 조정부를 통해 입출력 전극 주위에서 발생되는 스퓨리어스 신호의 주파수 위치를 조정할 뿐만 아니라 삽입손실을 줄임으로써 기생 통과대역의 주파수 신호의 크기를 줄일 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100361668-B1 (KR)
Title: 가스 쉴드 아아크 용접용 플럭스 코어드 와이어
IPC: B23K35/368
Filed: 2001-01-09
Granted: 2002-11-22
Abstract: 금속제 외피에 플럭스를 충진하여 이루어진 가스 쉴드 아아크 용접용 플럭스 코어드 와이어에 있어서, 플럭스의 성분으로 첨가되는 망간 및/또는 철의 함량이 하기 식(1)~(3)을 만족함을 특징으로 하는 가스 쉴드 아아크 용접용 플럭스 코어드 와이어를 제조함으로써, 통상의 티타니아게 플럭스 코어드 와이어에서 나타나는 용접작업성의 열세, 특히 수직 상향 자세에서의 비이드 처짐과 용접 능률의 저하를 해소할 수 있을 뿐만아니라, 용접성에서의 용입부족이나 고온 내균열 저항성의 열세를 해소할 수 있는 현저한 효과가 있다. 
     Md / Min = 0.2~5.0 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥(1) 
     Md / (Md+Min) = 0.2~1.0‥‥‥‥‥‥‥‥‥(2) 
     Fd / Ft = 0.55~1.0‥‥‥‥‥‥‥‥‥(3) 
     식에서 Md는 망간을 포함하는 금속 및 산화물 중 산 용해분이며, Min은 망간을 포함하는 금속 및 산화물 중 산 불용해분을 나타내며, Fd는 철을 포함하는 금속 및 산화물 중 산 용해분이며, Ft는 철을 포함하는 금속 및 산화물의 총합을 나타낸다.
Patent KR-100414393-B1 (KR)
Title: 해당화 차 및 음료의 제조방법
IPC: A23L2/38
Filed: 2001-01-12
Granted: 2004-01-07
Abstract: 본 발명은 해당화차의 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 해당화 부위별 생리활성 검정을 통하여 이들 생리활성물질이 함유된 해당화 착즙액 또는 추출물을 이용하여 해당화음료차, 해당화 가루를 이용하여 엽차 및 티백 그리고 해당화 과즙을 이용하여 과립차를 제조하는 방법에 관한 것이다. 해당화 잎은 조단백질 함량이 높고 에탄올로 추출시 높은 수율과, 세포독성이 적고, 돌연변이원 억제효과, 인간 암세포에 대하여 강한 생육활성 억제효과를 나타냈다. 해당화 뿌리 에탄올 추출물은 높은 혈당 강하 능을 보였고, 높은 GST 활성과 해당화의 잎, 줄기, 뿌리의 추출물들이도 항산화능 및 항균효과를 나타냈다. 
     해당화 엽차 제조시 해당화 잎을 열처리한 경우 색깔 및 관능이 양호하고, 해당화 30%, 현미 65%, 옥수수 5%로 제조한 곡류엽차에서 기호도가 양호하게 나타났다. 해당화 티백제조시 입도분포가 조밀할수록 추출물의 색이 짙으나 관능검사에서는 150mesh이상으로 분쇄한 입자가 좋은 것으로 나타났다. 또한 해당화 뿌리 62.5% 첨가한 티백 추출물의 기능성을 검정한 결과 혈당강하 68%, 면역활성 123, 항암활성이 49%로 나타났다. 
     본 발명은 당뇨병치료, 항염증, 진경작용, 혈당강하작용, 혈청 콜레스테롤치 저하작용, 혈압강하작용, 간장중의 중성지방 감소효과와 혈청중성 지방의 증가억제 작용 등이 있는 해당화를 이용한 기능성식품을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Patent KR-100395575-B1 (KR)
Title: 나선형 엘레멘트 코어와 그 제조장치
IPC: F01M11/03
Filed: 2001-02-05
Granted: 2003-08-25
Abstract: 본 발명은 오일필터 내부에 구비되어 엘레멘트에 의해 정화된 엔진오일을 유입하도록 표면에 다수개의 유입규가 형성된 엘레멘트 코어에 관한  것으로, 
     상기 엘레멘트 코어는 스트립의 양측으로 형성된 제 1, 2플랜지와; 
     상기 제 1, 2플랜지의 내측에 적어도 한줄 이상의 돌출부를 형성하여 상기 제 1, 2플랜지와 함께 코어의 강도를 높이도록 한 엠보싱라인과; 
     상기 제1, 2플랜지가 상호 결합한 결합부가 나선으로 형성된 코어 몸체로 구성된다. 
     본 발명에 의하면, 엘레멘트 코어의 몸체를 이루고 있는 금속재의 두께를 얇게 형성하여도 코어의 강도를 극대화하고, 스트립을 나선형으로 말아서 형성하기 때문에 원자재의 낭비를 예방함과 동시에 생산성은 향상시킨 효과가 있다.
Patent KR-100388362-B1 (KR)
Title: 분기 조인트와 이를 이용한 배관의 접속방법
IPC: F16L41/03
Filed: 2001-02-06
Granted: 2003-06-25
Abstract: 본 발명은 중공 밀폐형상의 분기 조인트 본체(11)와 이 분기 조인트 본체(11)에 형성된 연통구(13)와 액체가 분기되어 흐르도록 한단부가 각각의 연통구(13)에 끼워 맞춰지고 타단부가 복수의 배관(5)중 1개에 끼워 맞춰지도록 선택된 복수의 접속관(17) 및 유체가 일체적으로 흐르도록 분기 조인트 본체(11)에 설치된 공통 연통구(18a)를 구비하고, 복수의 접속관(17)은 배관(5)에 끼워 맞춰지는 타단부의 끼워 맞춤부의 크기가 다른 다양한 종류의 접속관인 분기 조인트와 또는 이를 이용한 배관의 접속방법에 관한 것으로서, 접속관의 절단작업을 수반하지 않고 조립작업이 용이한 소형의 분기 조인트 및 이를 이용한 배관의 접속방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100383620-B1 (KR)
Title: Ｃｄｍａ 송신기에 사용되는 협대역 공동 필터를 튜닝하는시스템 및 방법
IPC: H03J1/00
Filed: 2001-02-13
Granted: 2003-05-14
Abstract: 본 발명은 무선 네트워크의 기지국 송신기에 있는 튜너블 협대역 공동 필터를 튜닝하는 시스템을 제공한다. 본 발명에 따른 RF 송신기는 1) 입력 기저대역 신호를 변조하여 제1 RF 신호를 생성할 수 있는 변조 회로와, 2) 제1 RF 신호를 증폭할 수 있는 증폭 회로와, 3) 증폭된 제1 RF 신호를 필터링하고, 필터링 및 증폭된 제1 RF 신호를 출력에 결합된 안테나에 전송할 수 있는 튜너블 협대역 공동 필터와, 4) 튜너블 협대역 공동 필터를 튜닝하는 시스템을 포함한다. 본 발명에 따른 튜너블 협대역 공동 필터를 튜닝하는 시스템은, a) 입력 교정 신호를 입력 기저대역 신호와 결합하는 필터 교정 신호 주입 회로와, b) 튜너블 협대역 공동 필터의 출력에 결합되고, 입력 교정 신호에 대응하는 RF 출력 교정 신호를 검출하고, RF 출력 교정 신호의 신호 레벨을 결정하고, 신호 레벨 결정에 응답하여 튜너블 협대역 공동 필터의 통과 대역의 중심 주파수를 조정하는 필터 교정 회로를 포함한다.
Patent KR-100746527-B1 (KR)
IPC: G11B5/008
Filed: 2001-04-04
Granted: 2007-08-06
Abstract: HD 영상 신호 및 HD 음성 신호를 기록 재생할 수 있도록 한다.   
     GOP 구조에 있어서의 M의 값(이 예에서는 3)으로 나타내는 수분의 화상을 하나의 단위로서, 그 화상에 관련되는 AUX 데이터(도면 중, U로 표시되어 있는 부분), 그 화상에 대응하는 음성 데이터(도면 중, A로 표시되어 있는 부분) 및 그 음성 데이터에 관련되는 AUX 데이터(도면 중, X로 표시되어 있는 부분)가 인터리브되는 16트랙의 선두에 통합하여 배치되어 있다.  그리고, 그 후에 1단위분의 화상(이 예의 경우 3화상)이 배치되어 있다.   
       
     자기 테이프 기록 장치, 자기 테이프 재생 장치, 서브 코드, 보조 데이터
Patent KR-100819827-B1 (KR)
IPC: G06Q10/00
Filed: 2001-04-27
Granted: 2008-04-07
Abstract: 부품명세서를 신속하고 정확하게 작성할 수 있는 부품명세서 작성시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 
     부품명세서 작성시스템은 부품의 견적의뢰서나 주문서에 이용하는 부품명세서를 작성함에 있어서, 유저는 필요한 부품이 기재되어 있는 도면(50)을 클라이언트단말의 디스플레이(40A)상에 표시시키고, 이 도면(50) 중에서 해당 부품을 마우스 등으로 선택하면 좋고, 선택된 부품의 품번 등으로부터 부품명세서를 자동적으로 작성할 수 있다. 따라서, 부품의 품번이나 명칭 등을 파트리스트에서 찾아내거나, 파트리스트에서 전기한다라는 번거로운 작업을 생략할 수 있고, 업무를 효율화할 수 있다.
Patent KR-100758439-B1 (KR)
IPC: C25D3/22
Filed: 2001-05-15
Granted: 2007-09-14
Abstract: 본 발명은 도금용액회수 및 용액분사 기능을 갖는 강판도금용 텃치롤장치에 관한 것이다. 
     그리고, 본 발명은, 강판(12)의 폭방향으로 설치되고 개구(22)를 갖는 프레임부재(20)와,  상기 프레임부재(20)의 외측으로 설치되고, 용액의 유입을 가능하게 하는 안내부(32)를 갖는 다단의 텃치롤(30)과,  상기 프레임부재(20)의 내측으로 설치되어 유입된 용액(L)을 필터링하는 필터링수단(50) 및,  상기 필터링수단 (50)과 연결된 호스를 통하여 공급되는 필터링된 청정 도금용액(L')을 강판(12) 표면에 재분사토록 강판(12)의 폭방향으로 설치되는 노즐수단(70)으로 구성되는 도금용액회수 및 용액분사 기능을 갖는 강판도금용 텃치롤장치를 마련한다. 
     따라서, 전기도금되는 강판을 전도롤에 밀착시키는 텃치롤이 도금용액회수 및 용액분사 기능을 갖도록 함으로서, 용액중에 포함된 이물질이 필터링될 수 있어 이물질에 의한 강판의 표면결합발생을 방지시키는 우수한 효과를 제공한다. 
       
     전기도금, 강판도금, 전도롤, 텃치롤, 도금용액
Patent KR-100465906-B1 (KR)
Title: 복합식 터널, 노면 청소차
IPC: E01H1/00
Filed: 2001-05-17
Granted: 2005-01-13
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야. 
     본 발명은 도로상의 중앙분리대 양쪽으로 비산되어 쌓인 진애와 흙 및 모래 등의 청소작업과 터널 또는 도로 상의 중앙 분리대와 가이드 레일 등의 청소작업 기능을 함께 하는 다목적 청소차에 관한 것이다. 
     나. 발명이 해결하려는 기술적 과제. 
     종래의 일반적인 청소차에 있어서는 각종기기를 갖는 복잡한 장치에 의해 구성된 것으로 마력수와 용량 및 이들을 동작시키는 구동장치 등으로 도로청소와 터널 및 가이드 레일등을 복합적으로 청소하기 위하여는 청소차의 전체 체적을 대형화 할 수밖에 없었으나 이에 비례하여 생산 제작비의 상승과 이를 운용하는데 필요한 수요 경비가 과다 지출되는 문제점과, 도로만을 청소하기에 적합한 장치들로 구성되어 있어서 도로상에 설치된 가이드레일과 터널 벽면의 청소작업은 별도의 장비와 도구에 의해 인력으로 일일이 청소해 왔으므로 청소작업의 소요경비를 이중으로 부담하는 불합리한 단점에 따라 경제적인 손실도 많았다. 
     다. 발명의 해결방법의 요지. 
     도로상의 중앙분리대 양쪽으로 비산되어 쌓인 진애와 흙 및 모래 등의 청소작업과 터널 또는 도로 상의 중앙 분리대와 가이드 레일 등의 청소작업 기능을 함께 하도록 한 것이다. 
     라. 발명의 중요한 용도 
     청소차.
Patent KR-100414592-B1 (KR)
IPC: C02F3/10
Filed: 2001-05-25
Granted: 2004-01-07
Abstract: 본 발명은 오폐수와 분뇨를 미생물에 의해 정화하도록 하는 정화조의 폭기조에 미생물이 서식하기 좋은 환경을 조성하도록 하는 3상 다단 접촉폭기 정화장치에 관한 것이다. 
     본 발명은 중앙에 미생물을 저장하도록 하는 탈질화실을 형성하는 외주연으로 가로로 형성하는 가로 원통관과 연결되는 세로 연통관을 형성하고, 상기 탈질화실의 상,하로 중앙에 통공을 갖는 깔대기를 형성하는 마감재를 형성하여 접촉여재를 구성한 것이다. 
     이러한 접촉여재의 탈질화실에서는 무산소 영역으로 미생물에 의해 자기 소화 작용과 탈질 미생물 대사로 탈질과 유기물 처리가 이루어지게 된다. 
     그리고 가로 원통관과 세로 원통관에서는 호기성 영역으로 생물막 형성을 넓게 형성하여 유기물 처리와 질산화 효율을 상승시키도록 함으로서 접촉여재의 내부와 외부에서 탈질화와 질산화 공정을 신속하게 이루어지도록 한 것이다.
Patent KR-100424228-B1 (KR)
Title: 얼라이먼트 방법, 정합 검사 방법, 및 포토마스크
IPC: G03F9/00
Filed: 2001-06-08
Granted: 2004-03-24
Abstract: 제1, 제2 포토마스크(21, 22)를 이용하여 얼라이먼트 마크(41) 및 제1, 제2 오정렬 검사용 마크(42, 43)를 디바이스 패턴과 함께 웨이퍼(1) 상에 순차 형성하는 경우, 이들 마크는 모두 디바이스 패턴의 일부 또는 동등한 치수, 형상을 갖도록 형성되고, 따라서, 얼라이먼트 마크(41)도 오정렬 검사용 마크(42, 43)도 모두 디바이스 패턴과 동일한 정도로 패턴 전사시 이용하는 노광 광학계의 수차의 영향에 의한 위치 편차 오차나 그 후의 가공에 의한 위치 편차 오차를 받아, 그 결과, 위치 편차량을 정확하게 파악할 수 있어 고정밀도의 얼라이먼트, 위치 보정이 실현된다.
Patent KR-100728944-B1 (KR)
IPC: H03K19/0175
Filed: 2001-06-26
Granted: 2007-06-15
Abstract: 본 발명은 와이드 전압형 입력 버퍼 회로에 관한 것으로, 입력 버퍼의 전류를 일정하게 제어하여 전원 전압의 변동에따른 입력 버퍼의 오동작을 방지함으로써 입력 버퍼의 동작 마진을 크게 할 수 있고, 저전력에서 동작이 가능한 잇점이 있다.  이를 위한 본 발명의 와이드 전압형 입력 버퍼 회로는 전원전압 공급라인과 제 1 노드 사이에 직렬로 연결되며 입력 신호와 제 2 노드의 신호에 의해 각각 스위칭되는 제 1 및 제 2 스위칭 소자와, 상기 제 1 노드 및 접지 라인 사이에 병렬로 접속되며, 상기 입력 신호와 칩 셀렉터 바 신호에 의해 각각 스위칭되는 제 3 및 제 4 스위칭 소자로 구성된 입력 버퍼부와, 상기 칩 셀렉터 바 신호가 인에이블 될 때 상기 제 2 노드로 일정한 정전압 신호를 발생하여 상기 제 2 스위칭 소자가 전원 전압의 변화에 관계없이 일정한 전류를 흐르도록 제어하는 정전압 발생부와, 상기 칩 셀렉터 바 신호가 디스에이블 될 때 상기 제 2 노드로 전원 전압을 공급하여 상기 제 2 스위칭 소자를 통해 흐르는 전류를 차단하는 대기상태 전류 차단부를 구비한 다.
Patent KR-100494101-B1 (KR)
Title: 병원 미생물에 대한 항생제 추천 처방 방법 및 그 시스템
IPC: G06Q50/22
Filed: 2001-07-10
Granted: 2005-06-16
Abstract: 본 발명은 검체로부터 추출된 병원성 미생물에 대한 항생제를 추천 처방하기 위한 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 
     본 발명 병원 미생물에 대한 항생제 추천 처방방법 및 그 시스템은 판별된 병원성 미생물의 학문적 정보와 미생물에 대한 내성을 보유한 항생제 정보가 저장되는 미생물정보 저장부(110)와, 상기 미생물정보 저장부(110)에 판별된 미생물 정보를 비롯한 배양 결과와 일반적인 미생물 정보가 입력되는 미생물정보 입력부(130)와, 상기 병원성 미생물의 동정(同定, Identification)과 임상결과를 토대로 미생물정보 저장부(110)의 데이터와 비교 분석하여 적절한 항생제 목록(300)을 생성하는 미생물정보 분석부(120)로 구성된 미생물 정보시스템(100); 
     상기 미생물 정보시스템(100)을 통해 도출된 항생제 목록(300)에 따른 항생제 감수성결과 정보(400)를 입력하여 해당 병원성 미생물에 대한 항생제의 우선 순위를 결정하여 그 리스트를 출력하는 항생제 결정부(210)와 항생제별 선택 기준에 의한 다수의 조건 정보가 저장되는 항생제처방 조건저장부(220)로 이루어진 항생제 처방시스템(200);을 포함하여 구성됨에 기술적 특징이 있다. 
     본 발명 병원 미생물에 대한 항생제 추천 처방방법 및 그 시스템은 항생제 처방에 대한 전문의 의료행위가 소정의 시스템을 통해 정보화되고 자동화됨으로써, 전문의의 업무 부담을 감소시키며, 여러 조건 인자들을 고려한 객관적인 항생제 추천으로 인하여 항생제 처방의 오류를 줄이고 약물 오남용이 방지될 수 있는 장점이 있음과 아울러 항생제 추천 처방에 이르는 시간이 단축되어 환자에게 보다 신속하고 정확한 의료서비스가 제공될 수 있는 이점이 있다.
Patent KR-100523815-B1 (KR)
Title: 스트립 표면의 덴트 검사장치
IPC: C23C2/00
Filed: 2001-07-11
Granted: 2005-10-25
Abstract: 본 발명은 연속 도금 설비에서의 스트립 표면의 덴트를 검사하기 위한 장치에 관한 것으로, 진행하는 스트립(1) 표면에 검사부재(2)를 접촉시켜 덴트를 검사하는 장치에 있어서, 
     상기 스트립(1)의 전후방 각각에는 스트립(1)의 폭 방향으로 길게 설치되고 저면에 부착된 엘엠 가이드 블럭(303)을 따라 고정 실린더(301)에 의하여 스트립(1)에 전후진되는 베이스부(300)와; 
     상기 베이스부(300)의 상부에는 구동모터(101)에 연결되어 스크루(110)와 캠(210)을 선택적으로 회전시키는 구동부(100)와; 
     상기 스크루(110)에 연결되어 스트립(1)의 상하부 각각에서 전후진되고 검사부재 홀더(208)에 내장된 검사부재(2)를 캠(210)에 의하여 인출시키는 헤드부(200)를 포함하여 구성된다.
Patent KR-100417486-B1 (KR)
Title: 깊은기초에 사용되는 말뚝 구조
IPC: E02D27/12
Filed: 2001-08-07
Granted: 2004-02-05
Abstract: 본 발명은 깊은기초에 사용되는 말뚝의 구조에 관한 것으로, 특히 말뚝의 외부에서 작용하는 상향력/하향력에 대항하여 깊은기초의 안정성을 확보할 수 있는 말뚝 구조에 관한 것이다. 
     본 발명은 깊은기초에 사용되는 말뚝 외주면에 내부케이스를 고정 결합하고 상기 내부케이스의 외주면에 외부케이스를 결합하되 상기 두 케이스 사이에 윤활제를 채움으로써 상기 외부케이스가 상기 내부케이스를 따라 상하로 이동 가능하도록 하여, 지반의 압축 또는 팽창(swelling)에 의해 외부케이스가 주변마찰력을 받게 되더라도 내부케이스에 고정 결합된 말뚝이 유동하지 않도록 하여 깊은기초의 안정성을 확보 할 수 있도록 한다. 
     본 발명은 연약지반에 시공되는 구조물의 기초를 구축하기 위해 사용되는 말뚝에 있어서, 상기 말뚝의 외주면에 고정 결합되는 내부케이스와, 상기 내부케이스의 외주면에 결합되는 외부케이스를 포함하되, 상기 내부케이스와 상기 외부케이스의 사이에는 윤활유가 채워져 있어, 상기 외부케이스가 상기 내부케이스를 따라 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100410830-B1 (KR)
Title: 사료 첨가용 미생물 제제와 그 제조방법
IPC: A23K1/16
Filed: 2001-08-09
Granted: 2003-12-18
Abstract: 본 발명은 사료 첨가용 미생물 제제와 그 제조방법에 관한 것이다. 
     유산균인 락토바실루스 아밀로필루스와 효모인 사카로마이세스 세레비시애와, 고초균인 바실루스 섭틸리스를 각각 배양한 다음, 제올라이트와 탈지강 혼합물에 흡착 고정시키고, 25∼30 ℃의 인큐베이터에서 48∼72시간 동안 숙성시킨 다음, 수분 함량을 10∼12 % 이하로 건조시켜 만든 락토바실루스 아밀로필루스 흡착물, 사카로마이세스 세레비시애 흡착물, 바실루스 섭틸리스 흡착물을 5 : 3 : 2의 비율로 배합한 다음 250 ∼ 300 메쉬 크기로 파쇄하여, 본 발명의 사료 첨가용 미생물 제제를 제조한다. 
     본 발명의 미생물 제제를 사료에 첨가하여 가축에 급이 시키면, 가축의 소화율이 개선되어 가축 분뇨의 악취 발생이 감소하고, 파리의 산란과 발생량이 억제된다.
Patent KR-100767367-B1 (KR)
IPC: G02F1/1345
Filed: 2001-08-21
Granted: 2007-10-17
Abstract: 액정 표시 장치는 화소 영역을 정의하는 다수의 데이터선 및 다수의 게이트선, 데이터선 및 게이트선의 한쪽 끝단에 각각 연결되어 있는 데이터 패드 및 게이트 패드, 데이터 패드 및 게이트 패드가 군집되어 있는 다수의 데이터 패드부 및 게이트 패드부, 데이터선과 게이트선 중의 적어도 어느 하나와 나란하고 다른 하나와는 교차하여 더미 화소 영역을 정의하는 더미 배선이 형성되어 있는 제1 절연 기판과, 제1 절연 기판과 대향하고 있으며 적어도 더미 화소 영역을 가리는 블랙 매트릭스, 화소 영역과 대응하는 영역에 형성되어 있는 칼라 필터가 형성되어 있는 제2 절연 기판과, 제1 절연 기판 및 제2 절연 기판 상에 각각 형성되어 있는 화소 전극 및 공통 전극과, 데이터선과 연결되어 있으며 화상 신호를 공급하는 데이터 구동 집적회로를 포함하는 데이터 구동 회로 및 게이트선과 연결되어 있으며 주사 신호를 공급하는 게이트 구동 집적회로를 포함하는 게이트 구동 회로와, 데이터 구동 회로 및 게이트 구동 회로에 소정의 타이밍으로 신호를 공급하며 더미 배선과 전기적으로 연결되어 있는 LCD 컨트롤러를 포함한다. 
       
     더미화소영역, 블랙매트릭스, 구동집적회로, 더미배선, LCD컨트롤러
Patent KR-100449704-B1 (KR)
Title: 착용형 디스플레이 시스템
IPC: G02B27/01
Filed: 2001-08-25
Granted: 2004-09-22
Abstract: 본 발명은 착용형 디스플레이 시스템에 관한 것으로서, 소정 방식으로 신호처리된 신호를 표시하는 디스플레이 패널을 부착한 착용형 디스플레이 시스템은, 디스플레이 패널로부터 입사된 신호를 전파시키는 도파로; 도파로면에 부착되어 상기 도파로를 통해 전파되어 도달한 신호를 확대하여 보여주는 광학소자를 포함하고, 이때 도파로는 양 측면이 소정 각도로 경사지게 되어 있음을 특징으로 한다. 
     본 발명의 착용형 디스플레이 시스템에 의해, 구성요소를 줄이고 제작이 간편하여 그 구현에 비용과 시간을 절감할 수 있다.
Patent KR-100466429-B1 (KR)
Title: 외부긴장이 가능한 ｐｓｃ거더
IPC: E01D2/02
Filed: 2001-09-28
Granted: 2005-01-13
Abstract: 본 발명은 외부긴장이 가능한 PSC 거더에 관한 것으로, 더 상세하게는 PSC 거더의 외곽 하단 양옆에 외부긴장기를 설치하여 외부에서 재긴장을 할 수 있는 외부긴장이 가능한 PSC거더에 관한 것이다. 
     본발명은 내부에 강연선(110)들이 배치되어 긴장을 가해주는 PSC거더에 있어서, PSC거더(100) 제작시 함께 일체형으로 거더(100) 양끝단의 양측면 하부에 소정의 형상으로 형성되며 소정의 구멍이 형성된 앵커(210)와; 양쪽 일부가 돌출된 디귿자형상이며 돌출된 부위의 내측면이 거더(100)의 양측면에 밀착형성되도록 거더(100) 제작시 PSC거더(100)의 중간부분의 하단에 거더(100)와 일체형으로 제작되며 돌출된 부분에 소정의 구멍이 형성된 브라킷(240)과; 양끝부분이 나사식으로,  앵커(210)와 브라킷(240)의 구멍에 삽입될 수 있는 정도의 두께를 가진 원통형 봉이며 외부에 노출되며 일측 끝부분은 앵커(210)의 구멍에 삽입되어 너트(211)와 플레이트(212)로 고정되며 앵커(210) 및 커플러(230) 그리고 브라킷(240) 사이사이에 위치있어 서로를 연결시켜주는 PSC강봉(220)과; 외부에 노출되며 앵커(210)와 브라킷(240) 사이에 있는 PSC강봉(220)을 연결한 커플러(230)로 구성된다. 
     상기와 같이 구성된 본 발명은, 거더내의 강연선과 함께 거더외부에 설치됨으로써 평상시  사용중에도 내하력을 증대시킬수 있어 교량준공후 장기간 사용에 따른 균열과 처짐 발생에 대한 교량의 유지보수 비용을 절약 할 수 있으며 나사식으로 되어 있어 겉보기 긴장강도가 떨어지면 단계적으로 조여주어 손쉽게 긴장이가능하며  외부긴장기의 노후화로 인해 교체시 커플러를 풀어 교환이 손쉽게 이루어지므로 PSC거더의 수명이 연장되어 시간과 경제적인 측면뿐만 아니라 다방면에서 대단한 효과가 발생된다.
Patent KR-100451155-B1 (KR)
Title: 광을 이용하는 조리 기구의 내부 코팅용 조성물
IPC: C09D5/16
Filed: 2001-09-28
Granted: 2004-10-02
Abstract: 광을 이용한 조리 기구의 내부 코팅용으로 광촉매를 함유하는 조성물을 제공하여, 이 조성물이 갖는 자체 유분 분해 기능 등을 통해 광을 이용한 조리 기구의 내부가 스스로 깨끗한 상태를 유지할 수 있도록 한다.
Patent KR-100450257-B1 (KR)
Title: 유기실리케이트 중합체 및 이를 함유하는 저유전 절연막
IPC: C08G77/26
Filed: 2001-10-12
Granted: 2004-09-30
Abstract: 본 발명은 유기실리케이트 중합체에 관한 것으로, 특히 기계적 특성과 저유전 특성이 우수한 나이트로젠 함유 실란화합물과 일반 실란화합물의 가수분해 축중합물을 포함하는 유기실리케이트 중합체, 및 이의 제조방법과 이를 이용하는 반도체 소자의 절연막 형성용 조성물, 및 이를 적용한 절연막, 및 그의 제조방법을 제공한다. 
     본 발명의 유기실리케이트 중합체는 이를 절연막에 적용하면 얻어지는 막은 절연성이 우수하고, 도막의 기계적 물성이 매우 우수하다.
Patent KR-100635460-B1 (KR)
IPC: G06F15/02
Filed: 2001-10-27
Granted: 2006-10-17
Abstract: 본 발명은 박물관 또는 미술관 등의 관람 장소에서 전시물에 관한 정보를 제공하는 휴대용 안내 정보 제공 장치에 관한 것으로, 본 발명의 장치는 관람객에게 제공되는 안내 정보가 저장된 플래시 메모리 칩과, 표시부, 이어폰 잭 및 상기 플래시 메모리 칩이 체결되는 커넥터를 가지고 있으며, 상기 커넥터에 체결된 상기 플래시 메모리 칩으로부터 상기 안내 정보를 판독하고 처리하여 상기 표시부와 상기 이어폰 잭을 통하여 상기 관람객에게 상기 안내 정보를 화상 및 음성으로 제공하는 개인 휴대 단말을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100421616-B1 (KR)
Title: 왕복동식 압축기
IPC: F04B17/04
Filed: 2001-10-31
Granted: 2004-03-09
Abstract: 본 발명은 왕복동식 압축기에 관한 것으로, 본 발명은 저면에 윤활유를 채운 밀폐용기와, 밀폐용기의 내부에 탄력적으로 지지하는 프레임 유니트와, 프레임 유니트에 지지하는 왕복동식 모터와, 왕복동식 모터에 결합하여 유체를 압축하는 압축 유니트와, 프레임 유니트와 함께 진동하면서 밀폐용기의 윤활유를 펌핑하여 압축 유니트에 공급하는 윤활유 공급 유니트를 포함한 왕복동식 압축기에 있어서, 윤활유 공급 유니트는 프레임 유니트에 고정하는 윤활유 실린더와, 양단의 단면적을 상이하게 형성하여 상기한 윤활유 실린더에 미끄러지게 삽입하는 윤활유 피스톤을 포함함으로써, 윤활유 흡입밸브와 윤활유 토출밸브를 제거하여 윤활유 공급 유니트의 부품수를 줄이고 이를 통해 압축기의 생산단가를 낮출 뿐만 아니라 윤활유 밸브의 장착시 발생할 수 있는 밸브의 오동작과 이로 인한 압축 유니트에서의 윤활유 부족을 미연에 방지할 수 있다.
Patent KR-100431297-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2001-12-15
Granted: 2004-05-12
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 비아홀 형성방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 비아홀 형성방법은, 반도체 기판 상에 금속층과 옥시나이트라이드(Oxynitride) 또는 실리콘나이트라이드(Si 3 N 4 )로 이루어진 반사방지층을 순차로 형성한 다음, 상기 금속층 및 반사방지층을 패터닝하여 금속층 패턴 및 반사방지층 패턴을 형성하는 단계; 상기 반사방지층 패턴을 포함한 반도체 기판 상에 저유전상수물질층 및 층간절연막을 차례로 형성하는 단계; 및 상기 층간절연막 및 저유전상수물질층을 상기 금속층 패턴 일부를 노출시키도록 선택적으로 식각하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 금속성 폴리머의 발생을 억제할 수 있으므로 설계법칙에서 요구하는 비아홀의 크기를 원활하게 구현할 수 있으며, 식각량을 조절할 수 있어서 산화막 두께에서 비롯되는 언더에치(underetch)를 방지할 수 있으며, 금속배선 공정에 대한 공정여유를 확보할 수 있다는 장점이 있는 것이다.
Patent KR-100480329-B1 (KR)
Title: 높은 가교밀도를 갖는 마이크론크기의 단분산 입자 제조방법
IPC: C08J3/12
Filed: 2001-12-27
Granted: 2005-04-06
Abstract: 본 발명의 단분산성 고분자 입자는 단량체, 다관능성 가교 단량체, 지용성 개시제, 혼합조성의 연속상 용제, 분산안정제 및 보조 분산안정제를 첨가하여 50-90 ℃의 온도범위에서 5-50 시간 동안 분산중합하여 제조되고, 상기 다관능성 가교 단량체는 단량체 전체 중량에 대하여 최소 10 중량%이상 투입되며, 상기 혼합조성의 연속상 용제는 알코올과 에테르알코올의 혼합물 또는 알코올과 벤젠계 용제와의 혼합물인 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100615374-B1 (KR)
Title: Methods and apparatus for power allocation on a reverse link power control channel of a communication system
IPC: H04B7/005
Filed: 2000-03-13
Granted: 2006-08-25
Abstract: A method and apparatus that determines how much power to allocate to each of a plurality of reverse link power control (RLPC) Channels to be transmitted from a base station, based upon data rate control (DRC) messages transmitted to the base station. Historical information is used to determine the quality of the Forward Link over which the RLPC is to be transmitted. If the history of the DRCs received indicates that the remote station to which the RLPC Channel is to be directed has not transmitted a DRC recently, then the base station allocates power to the RLPC Channels based upon information provided to the base station in DRCs that were received by the base station, but that were directed to other base stations. Accordingly, the base station can allocate power among the RLPC Channels without having received explicit information as to the quality of the Forward Link between the base station and every remote station intended to receive the information on the RLPC Channels.
Patent KR-100488303-B1 (KR)
Title: 다기능 에너지 컨디셔너
IPC: H02H1/00
Filed: 2000-05-26
Granted: 2005-05-11
Abstract: 본 발명은 전자기 방사 및 서지 보호의 억제를 위하여 하나 또는 그 이상의 차동 및 공통 모드 필터를 제공하도록 다양한 유전체 및 유전체 물질의 결합과 관련하여 이용된 아키텍처를 가진 다기능 에너지 컨디셔너에 관한 것이다.  아키텍처는 단일 또는 다중 컴포넌트들이 집적회로 또는 커넥터와 같은 단일 패키지내에 조립될 수 있도록 허용한다.  컴포넌트의 아키텍처는 독립적인 유전체이고 필터링, 디커플링, 퓨징(fusing) 및 서지 보호 기능을 수행하는 단일 컴포넌트내에 다양한 전기적 특성의 집적을 위하여 제공한다.
Patent KR-100834025-B1 (KR)
IPC: G06F1/03
Filed: 2002-01-10
Granted: 2008-05-30
Abstract: 입력 신호계열에 따라 제 1 대역제한 특성을 이용하여 대역 제한된 파형 신호를 발생하는 파형 발생수단; 입력 신호계열에 대하여 제 1 대역제한 특성을 이용하여 대역 제한된 파형 신호와 입력 신호계열에 대하여 제 2 대역제한 특성을 이용하여 대역 제한된 파형 신호 사이의 차분 신호를 미리 저장하고, 입력 신호계열에 따라 차분 신호를 출력하는 메모리수단; 파형 발생수단으로부터의 파형 신호와 메모리수단으로부터의 차분 신호를 더하고, 제 2 대역제한 특성을 이용하여 대역 제한된 신호를 출력하는 가산수단; 및 파형 발생수단으로부터의 파형 신호 또는 가산수단으로부터의 파형 신호에서 어느 한쪽을 선택적으로 출력하는 선택 스위치 수단을 포함하는 파형 발생장치가 개시된다. 
       
     디지털 변조장치, 파형 발생장치, 대역제한
Patent KR-100452111-B1 (KR)
Title: 치과 병원에서의 환자관리 시스템 및 그 방법
Filed: 2002-01-15
Granted: 2004-10-12
Abstract: 본 발명은 병원내의 어느 곳에서든지 환자 또는 의사가 환자의 도착/대기/진료상황/예약상황 등을 즉각적으로 확인할 수 있도록 한 치과 병원에서의 환자관리 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 입력되는 각 환자에 대한 진료 내역에 대한 정보를 각 환자별로 분류하여 저장/관리하며, 정보요구에 따라 환자의 도착상황, 대기상황, 진료상황, 예약상황에 대한 정보를 실시간적으로 제공하는 제어 서버; 및 근거리 네트워크를 통해 상기 제어 서버와 통신하고, 상기 각 환자에 대한 진료 내역에 대한 정보를 상기 제어 서버에게 제공하며, 상기 환자의 도착상황, 대기상황, 진료상황, 대기상황에 대한 정보를 상기 제어 서버에게 요구하는 정보입력/확인 수단을 구비함으로써, 환자의 도착/대기/진료상황/예약상황을 일목요연하게 실시간적으로 병원내의 어느 곳에서나 확인가능하여 진료의 원활한 운용이 이루어지게 된다.
Patent KR-100483103-B1 (KR)
Title: 자기 디스크 장치 및 그 서보 신호 기록 방법
IPC: G11B21/10
Filed: 2002-01-25
Granted: 2005-04-14
Abstract: 자기 디스크 장치에서, 외부의 기입 장치를 이용하지 않고 서보 신호를 기입할 수 있으며, 헤드의 기록 재생 소자의 치수 변동이 존재해도 자기 디스크면에 소정의 서보 신호를 확실하고 효율적으로 기록한다.   
     헤드(2)를 자기 디스크(1) 상에서 스텝 이동하는 액튜에이터(13)와, 액튜에이터(13)의 가동 범위를 제한하는 범위 제한 수단(8, 9)과, 액튜에이터(13)의 가동 범위 내에서 액튜에이터(13)의 특정 범위를 설정하기 위한 범위 특정 수단(8, 10)과, 범위 특정 수단(8, 10)으로 설정된 특정 범위에서의 기입된 서보 트랙 개수에 기초하여 서보 트랙 이동 간격을 보정하고, 보정한 서보 트랙 이동 간격으로 서보 신호를 기입하도록 제어하는 제어 수단을 구비한다.
Patent KR-100426082-B1 (KR)
Title: 풍수지리에 의한 아파트의 단지배치와 평면설계 및 가상현실 서비스방법
IPC: G06F17/50
Filed: 2002-01-26
Granted: 2004-04-06
Abstract: 본 발명은 풍수지리에 의한 아파트의 단지배치와 평면설계 및 가상현실 서비스 방법에 관한 것으로, 개별주택이나 공동주택의 단지배치 및 개별 세대의 평면설계에 있어 풍수지리에 입각하여 최소한의 기초적인 지리환경에 대한 데이터를 이용해 가장 최적의 자연환경에 순응하는 양택의  조건을 도출해 내고, 이를 실제 건설에 적용하도록 한다. 
     본 발명은 풍수지리의 기초자료인 산형지세(山形地勢), 작국(作局) 데이터, 인조지형지물(人造地形地物) 데이터 등을 입력하면 그 자료를 토대로 풍수관련 요소 데이터베이스와의 연산을 통해 적정방위, 동·서사택, 내부평면의 방위 등을 결정한다. 
     이렇게 도출된 각 방위결정 자료와 기초자료를 토대로 건축적인 보정 단계를 거쳐 세부 도면자료를 제작하게 되며, 이것을 가상현실엔진(virtual reality engine)에서 가상현실데이터로 구현하여, 직접적으로 고객에게 화상으로 보여줌으로써, 소비자에게 풍수지리를 반영한 단지배치 및 평면설계의 토탈 서비스를 제공하도록 한 것이다.
Patent KR-100663228-B1 (KR)
Title: Bone screw
IPC: A61B17/70
Filed: 2002-01-28
Granted: 2007-01-04
Abstract: Bone screw comprises a fork head receiving a correcting rod, a screw shaft having a thread, and a nut for the free ends (36) of the fork head. The free ends of the fork head and the nut form a bayonet connection. At least one free end of the fork head is provided with an axial protrusion (40). Preferred Features: The outer sides of the free ends of the fork head form one part of the bayonet connection and the inner surface of the nut the other part of the bayonet connection. The free ends have radially outward-protruding projections (38) extending over the periphery of the free ends.
Patent KR-100470839-B1 (KR)
Title: 이동형 에어백 시스템
IPC: B60R21/02
Filed: 2002-02-01
Granted: 2005-03-08
Abstract: 본 발명은 에어백 시스템에 관한 것으로서, 특히 차량 탑승자가 휴대할 수 있도록 이동 가능하고 차량의 충돌 또는 추돌시 이미 장착된 고정형 에어백기구와 동시에 작동되어 탑승자를 보호하며, 아울러 어린이들의 취향에 맞도록 놀이기구의 기능이 추가된 이동형 에어백 시스템에 관한 것이다. 
     이와 같은 본 발명은 차량에 장착된 고정형 에어백기구가 작동되도록 차량의 충돌을 감지하는 충격감지수단과; 차량 탑승자가 휴대할 수 있도록 이동 가능하고, 차량의 충돌시 팽창되어 전개될 수 있도록 에어백이 설치된 이동형 에어백기구와; 상기 충격감지수단에 의한 충돌 감지시 상기 이동형 에어백기구에 작동신호를 인가하여 상기 이동형 에어백기구에 내장된 에어백이 팽창되어 전개되도록 하는 제어수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하여 가능하게 된다.
Patent KR-100385869-B1 (KR)
Title: Rotary-linear driver
Inventor: KIM YONG YIL
IPC: H02K7/06
Filed: 2002-02-06
Granted: 2003-06-02
Abstract: PURPOSE: A rotary-linear driver is provided to shift linearly a working target and rotate the working target by using only one driving member. CONSTITUTION: A rotary-linear driver includes a stator for forming a magnetic circuit and a mover installed on the magnetic circuit. The stator includes a central pillar(20), an outer wall(18), a connection portion(22), and a magnet(14). The central pillar has the first circumference. The outer wall has the second circumference facing the first circumference. The connection portion connects magnetically the outer wall to the central pillar. The magnet is arranged on the magnetic circuit. The mover includes a linear movable coil member(26) and a rotary movable coil member(28). The linear movable coil member has a coil for covering the central pillar. The rotary movable coil member has a base portion and a core. The base portion is extended between the first and the second circumferences. The core is extended from one side of the base portion. A coil is wound around the base portion.
Patent KR-100479578-B1 (KR)
Title: 비계틀형 사다리 조립방법 및 장치
IPC: E06C1/00
Filed: 2002-03-25
Granted: 2005-04-06
Abstract: 본 발명은 비계틀형 사다리의 조립방법에 관한 것으로서 종래에는 일반 사다리를 길게 축방향으로 연결할 경우에는 길이가 긴 일반 사다리의 맨 끝에 작업자가 올라서 있고, 바닥에서 하나하나 일반 사다리를 위로 올려주면 맨 위에 작업자가 올라오는 일반 사다리를 받아 맨 위로 끼워 맞추는 방식을 채택하엿다. 그러나 상기 방법은 일반 사다리를 올리는 과정에서 올려지고 있는 일반 사다리 몸체가 추락할 우려가 있고 이 경우 작업자가 손상을 입을 우려가 있다. 이에 본 발명에서는 사다리의 상하부에서 상호 볼트체결이 가능토록한 사다리를 비계틀형 사다리라 호칭하면서 상기 비계틀형 사다리를 위로 올리지 않고 맨 밑에서 비계틀 형 사다리를 상부에 있는 비계틀형 사다리와 조립하고 조립된 사다리 조합체를 유압과 같은 기계적 방법을 이용하여 위로 올려가는 방식을 채택한 빠르고 안전한 사다리 조립방법 및 장치에 관한 것이다.
Patent KR-100448370-B1 (KR)
Title: 점 용접 시스템
IPC: B23K11/11
Filed: 2002-04-26
Granted: 2004-09-10
Abstract: 본 발명은 1점의 점 용접 위치에서 동시에 2점 용접이 가능한 점 용접 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 점 용접 시스템에 있어서, 2개의 용접 건(Gun)을 갖는 용접용 로봇(Robot)과; 상기 점 용접 시스템에 관련된 프로세서들을 조절하거나 동기화시키는 인터록 패널(Interlock Panel)과; 용접 시작 명령에 관련된 제어신호의 입력에 따라 상기 2개의 용접 건(Gun)을 가압시키고 용접 전류를 용접 모재에 공급하는 타이머 컨텍터(TC ; Timer Contactor)와; 상기 2개의 용접 건(Gun)을 용접 위치로 이동시킨 후 상기 인터록 패널을 통해 상기 타이머 컨텍터에 용접 시작 명령에 관련된 제어신호를 공급하는 로봇 컨트롤러(Robot Controller)를 포함하여 구성한다.
Patent KR-100807688-B1 (KR)
IPC: F27B7/36
Filed: 2002-05-09
Granted: 2008-02-28
Abstract: 본 발명은 로터리 킬른 버너의 가스분사노즐 선회장치에 관한 것으로, 관의 최중심부터 바깥쪽을 향하여 내류가스, 외류가스, 공기가 순차로 동시 공급될 수 있도록 구비되는 삼중관의 외관을 이루는 공기공급관과; 상기 공기공급관의 내측에 간격을 두고 배설되며 그 선단이 공기공급관의 선단보다 더 돌출되게 배치된 외류가스공급관과; 상기 외류가스공급관의 내측에 간격을 두고 배설되며 그 선단이 외류가스공급관의 선단보다 더 돌출되게 배치된 내류가스공급관과; 상기 외류가스공급관과 동일직경을 갖고 상기 내류가스공급관의 돌출된 선단 외주면에 끼워져 상기 외류가스공급관과 연통가능하게 배설된 원통형상의 노즐몸체와; 상기 노즐몸체의 선단을 밀폐하면서 상기 노즐몸체를 개재시킨 채 상기 내류가스공급관의 선단 외주면에 고정되는 고정환과; 상기 노즐몸체의 외주면을 따라 일정간격으로 다수 형성된 외류가스분출구와; 상기 노즐몸체의 외주면에 고정되고 수직연장되어 로터리킬른의 몸체에 연결고정되는 다수의 지지대를 포함하여 구성된다. 
     본 발명에 따르면, 석회석을 소성시켜 생석회를 만드는 소성로에서 분출되는 외류가스의 분출구멍이 막혀 불꽃이 구부러지는 현상을 방지함으로써 소성로 내부에서의 2차 폭발을 억제하고 연소효율을 향상시킬 수 있다.
Patent KR-100834222-B1 (KR)
IPC: H01L21/027
Filed: 2002-05-09
Granted: 2008-05-30
Abstract: 이 발명은 반도체 웨이퍼용 노광 장치의 프리 얼라인먼트 방법에 관한 것으로, 웨이퍼의 노광을 위한 프리 얼라인먼트 공정에서, 센터 테이블의 하강시 웨이퍼의 회전 각도를 확인하고 이를 보정함으로써, 노광의 정밀도를 향상시킬 수 있도록, 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 1차 프리 얼라인먼트 한 후, 웨이퍼 스트이지로 이동시키는 단계와; 센터 테이블을 상승시킨 상태에서 상기 웨이퍼의 노치 및 에지를 검출하여 화상처리하는 단계와; 상기 센터 테이블을 하강한 후, 상기 웨이퍼의 화상처리단계에서 얻어진 웨이퍼의 회전 각도를 보정하는 단계와; 상기 하강된 센터 테이블 상에서, 상기 웨이퍼의  회전 각도를 검출하는 단계와; 상기 검출된 회전 각도가 기준치 이상일 경우, 상기 화상처리 단계부터 다시 진행하는 단계와; 상기 회전 각도가 기준치 이하일 경우, 노광 공정을 진행하는 단계를 포함하여 이루어짐. 
       
     반도체 웨이퍼, 프리 얼라인먼트, 센터 테이블
Patent KR-100472194-B1 (KR)
Title: 고압 처리장치 및 방법
IPC: B08B9/02
Filed: 2002-05-17
Granted: 2005-03-08
Abstract: 기판을 안에 배치하기 위하여 기판 처리챔버(5)의 해치가 열리면, 밸브(V1,V2,V3,V4,V6)는 폐쇄되고, 밸브(V5)만이 개방된다.  그래서, 가스 CO 2 가 기판 처리챔버(5) 내부로 공급되어, 주위의 공기 성분이 잘못 들어오는 것을 방지하기 위하여 챔버 내부 정화를 수행한다.  기판 처리챔버(5)의 해치가 닫히면, 밸브(V6)는 기판 처리챔버(5)를 위한 배기라인을 형성하기 위하여 개방된다.  그래서, 기판  처리챔버(5)와 도관 내부에 있는 가스는 CO 2 가스에 의해 주위 공기를 향해 분출됨으로써, 주위의 불필요한 공기 성분이 남는 것을 방지하기 위하여 챔버 내부 정화를 수행한다.  그 후, 초임계 CO 2 는 상기 기판을 세정하기 위해 사용된다. 
     순환라인을 세척할 때, 초임계 CO 2 가 상기 기판 처리챔버(5)로 보내어진다. 초임계 CO 2 의 흐름은 기판처리챔버(5)로 보내어진다.  순환 유로(11)를 포함한 상기 순환라인을 모두 거쳐 흐른 후에는, 바이패스 유로(12)를 통하여 감압기(7)로 전해진다.  상기 순환라인 내에 남겨진 어떠한 약액 또는 유기물질이라도 그 흐름과 함께 분리/회수조(8)로 연속적으로 보내어진다.