baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102018005302-B4 (DE)
Title: Antriebssystem-Lagerungsstruktur, damit ausgestattetes Fahrzeug und Verfahren zum Lagern eines Antriebssystems
Inventor: FUJIAKI TOMO
IPC: B60K5/12
Filed: 2018-07-04
Granted: 2022-11-03
Abstract: Antriebssystem-Lagerungsstruktur eines Fahrzeugs, umfassend:ein Paar aus rechtem und linkem vorderem Seitenrahmen (2, 2) welche auf der rechten und der linken Seite eines Motorraums (1) in einer Fahrzeuglängsrichtung verlaufen;eine erste Lagerung (A; C), welche einen ersten Lagerungsgummi (33) und einen ersten Lagerungsträger oder -bügel (31, 35) enthält, welcher den ersten Lagerungsgummi (33) hält und mehrere Befestigungspunkte an einem der vorderen Seitenrahmen (2) hat, welche in Fahrzeuglängsrichtung voneinander beabstandet sind, wobei die erste Lagerung (A; C) dafür konfiguriert ist, ein Antriebssystem (13; 16) mit dem ersten Lagerungsbügel (31, 35) über den ersten Lagerungsgummi (33) an einem der vorderen Seitenrahmen (2) zu befestigen; undeine zweite Lagerung (B; D), welche einen zweiten Lagerungsgummi (37) und einen zweiten Lagerungsträger oder -bügel (41,42,51,52) enthält, welcher den zweiten Lagerungsgummi (37) hält und mehrere Befestigungspunkte an dem anderen der vorderen Seitenrahmen (2) hat, welche in Fahrzeuglängsrichtung voneinander beabstandet sind, wobei die zweite Lagerung (B; D) dafür konfiguriert ist, das Antriebssystem (13; 16) mit dem zweiten Lagerungsbügel (41, 42, 51, 52) über den zweiten Lagerungsgummi (37) an dem anderen der vorderen Seitenrahmen (2) zu befestigen,wobei jeder der ersten und der zweiten Lagerungsbügel (31, 35, 41, 42, 51, 52) derart konfiguriert ist, dass ein jeweiliger Abstand in Längsrichtung (L6, L3) zwischen den mehreren Befestigungspunkten an dem vorderen Seitenrahmen (2) länger als eine Länge in Längsrichtung des jeweiligen Lagerungsgummis (33, 37) ist, undjeder des ersten und des zweiten Lagerungsgummis (33, 37) so konfiguriert ist, dass seine Position in Längsrichtung in einem Bereich zwischen den mehreren Befestigungspunkten jedes der ersten und der zweiten Lagerungsbügel (31, 35, 41, 42, 51, 52) veränderbar ist,wobei eine Position in Längsrichtung jedes der Lagerungsgummis (33, 37) durch Austauschen des ersten und des zweiten Lagerungsbügels (31, 35, 41, 42, 51, 52) geändert werden kann.
Patent DE-102018107573-B4 (DE)
Title: Fluoridionen-batterie
Inventor: MIKI HIDENORI
IPC: H01M10/0562
Filed: 2018-03-29
Granted: 2023-02-16
Abstract: Fluoridionen-Batterie, welche eine Kathodenschicht, eine Anodenschicht, und eine zwischen der Kathodenschicht und der Anodenschicht ausgebildete Feststoffelektrolytschicht umfasst; dadurch gekennzeichnet, dass die Anodenschicht ein Anodenaktivmaterial mit einer durch La(1-x)SnxF(3-x)dargestellten Zusammensetzung, in welcher 0,1 ≤ x ≤ 0,8 ist, umfasst; und die Feststoffelektrolytschicht einen Feststoffelektrolyten einschließlich einer Kristallphase einer Tysonit-Struktur umfasst.
Patent DE-102018110683-B4 (DE)
Title: Crashsperreneinheit, insbesondere für einen fahrzeugsitz, sowie fahrzeugsitz
Inventor: SCHUELER ROLF
IPC: B60N2/433
Filed: 2018-05-04
Granted: 2020-08-27
Abstract: Crashsperreneinheit (221, 321), insbesondere für einen Fahrzeugsitz, aufweisend ein Verriegelungselement, insbesondere eine Klinke (125), und eine Betätigungseinheit (400, 500, 600), wobei mittels der Betätigungseinheit (400, 500, 600) das Verriegelungselement formschlüssig mit einem Gegenelement, insbesondere einem Zahnsegment (23), in Eingriff bringbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungseinheit (400, 500, 600) eine elektromechanische Betätigungseinheit (400, 500, 600) mit einem Schmelzdraht ist (440, 540, 640), wobei eine Zerstörung des Schmelzdrahtes (440, 540, 640) eine Bewegung des Verriegelungselements in Richtung des Gegenelements freigibt.
Patent DE-102018111487-B4 (DE)
Title: Haltevorrichtung für einen Sauggreifer bei einer Unterdruckhandhabungseinrichtung
Inventor: HARTER LEONHARD
IPC: B25J15/06
Filed: 2018-05-14
Granted: 2021-12-30
Abstract: Haltevorrichtung (14) für einen Sauggreifer (12) oder für ein sonstiges Schnittstellenorgan an einer Basis (13) einer Unterdruckhandhabungseinrichtung (2),wobei die Haltevorrichtung (14) zum lösbaren und vorzugsweise werkzeuglosen Anbringen des Sauggreifers (12) an der Basis (13) ausgebildet ist und eine erste Richtung (20) und eine hierzu orthogonale zweite Richtung (22) aufweist,wobei die Haltevorrichtung (14) einen basisseitigen Teil (16) und einen sauggreiferseitigen Teil (18) umfasst, wobei der basisseitige Teil (16) eine Schiebesitzaufnahme (28) für den sauggreiferseitigen Teil (18) umfasst, wobei eine Schiebeebene (32) und eine Schieberichtung (30) definiert sind,wobei der sauggreiferseitige Teil (18) einen in der Schiebeebene (32) der Schiebesitzaufnahme (28) anordenbaren vorzugsweise plattenförmigen Gleitschuh (34) umfasst, der in der Schieberichtung (30) und in einer formschlüssigen Hintergriffsstellung mit der Schiebesitzaufnahme (28) linear in seine bestimmungsgemäße Montageposition an dem basisseitigen Teil (16) aufschiebbar ist,wobei die Schieberichtung (30) der Schiebesitzaufnahme (28) in der zweiten Richtung (22) verläuft,wobei die Schiebesitzaufnahme (28) den Gleitschuh (34) umgreifende und formschlüssig hintergreifende Bereiche (38) aufweist, die zusätzlich eine in der ersten Richtung (20) erstreckte Einstecköffnung (40) begrenzen, wobei die Schiebesitzaufnahme (28) und die Einstecköffnung (40) und der Gleitschuh (34) derart ausgebildet sind, dass der Gleitschuh sowohl in der zweiten Richtung (22) in die Schiebesitzaufnahme (28) einschiebbar ist als auch alternativ hierzu in der ersten Richtung (20) durch die Einstecköffnung (40) hindurch in die Schiebesitzaufnahme (28) einsetzbar und dann um die erste Richtung (20) in die Hintergriffsstellung und bestimmungsgemäße Montageposition in der Schiebesitzaufnahme (28) verdrehbar ist.
Patent DE-102018125540-B4 (DE)
Title: Thermoformbare Verbundfolie mit metallischem Erscheinungsbild
Inventor: SESSA GUILLERMO
IPC: C23C16/06
Filed: 2018-10-15
Granted: 2023-03-23
Abstract: Zwei- oder mehrlagige thermoformbare Verbundfolie, umfassend- eine erste metallisch erscheinende Oberfläche mit CIE-Farbwerten L1*, a1*, b1* mit 90 ≤ L1* ≤ 97 , -3 ≤ a1* ≤ 3, -3 ≤ b1* ≤ 3;- eine erste Folie aus einem ersten polymeren Werkstoff mit einer metallischen Beschichtung;- eine zweite Folie aus einem zweiten polymeren Werkstoff mit CIE-Farbwerten L2*, a2*, b2* mit 60 ≤ L2* ≤ 90, -3 ≤ a2* ≤ 3, -3 ≤ b2* ≤ 3;wobei- die erste Folie zwischen der zweiten Folie und der ersten Oberfläche angeordnet und die metallische Beschichtung der ersten Folie von der Seite der ersten Oberfläche aus sichtbar ist;- die CIE-Farbwerte L*, a*, b* gemäß DIN 5033-7:2014-10 gemessen werden;dadurch gekennzeichnet, dassdie erste Oberfläche einen gemäß DIN EN ISO 2813:2015-02 bei einem Messwinkel von 20° gemessenen Glanzwert G1aufweist mit 50 ≤ G1≤ 600.
Patent DE-102019007935-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Bearbeiten flexibler Substrate und Vakuumbearbeitungsanlage zur Umsetzung des Verfahrens
Inventor: DANZIGER MANFRED
IPC: C23C14/56
Filed: 2019-11-14
Granted: 2023-06-29
Abstract: Verfahren zum Bearbeiten flexibler Substrate (18), bei welchem ein flexibles Substrat (18) zur Bearbeitung mit einem Bearbeitungsinstrument (11) durch einen evakuierbaren Prozessbereich einer Vakuumbearbeitungsanlage bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das flexible Substrat (18) ein flexibles matrix- oder gitterförmiges Konstruktionsmaterial ist, dass eine erste Lage des flexiblen Substrats (18) in einer ersten Transportrichtung (64) und mindestens eine zweite Lage des flexiblen Substrats (18) parallel zu der ersten Lage des flexiblen Substrats (18) und in einem Abstand zwischen 1 mm und 10 mm zu dieser in einer der ersten Transportrichtung (64) entgegengesetzten zweiten Transportrichtung (65) durch einen Freibereich (26) im evakuierbaren Prozessbereich transportiert wird, wobei mindestens ein nutzbarer Fluss (13) mindestens eines Bearbeitungsinstruments (11) die erste und die zweite Lage des flexiblen Substrats (18) bei ihrem entgegengesetzten Transport durch den Freibereich (26) gleichzeitig durchdringt.
Patent DE-102019129768-B4 (DE)
Title: Verfahren zur herstellung von halbleitervorrichtungen und halbleitervorrichtung
Inventor: CHOU JEN-CHUN
IPC: H01L21/336
Filed: 2019-11-05
Granted: 2022-03-17
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, umfassend:Bilden einer Finnenstruktur (20) über einem Substrat (10);Bilden einer Isolationsisolierschicht (30) über dem Substrat (10), so dass ein oberer Abschnitt der Finnenstruktur (20) aus der Isolationsisolierschicht (30) herausragt;Bilden einer ersten dielektrischen Schicht (41) auf dem oberen Abschnitt der Finnenstruktur (20);Bilden einer Deckschicht (100) auf der ersten dielektrischen Schicht (41);partielles Entfernen der Deckschicht (100) von einem oberen Teil des oberen Abschnitts der Finnenstruktur (20) mit der ersten dielektrischen Schicht (41);Entfernen der ersten dielektrischen Schicht (41) von dem oberen Teil des oberen Abschnitts der Finnenstruktur (20);Bilden einer zweiten dielektrischen Schicht (43) auf dem oberen Teil des oberen Abschnitts der Finnenstruktur (20); undBilden einer Gateelektrode (65) auf der zweiten dielektrischen Schicht (43) und der ersten dielektrischen Schicht (41), die auf einem unteren Teil des oberen Abschnitts der Finnenstruktur (20) angeordnet ist, wobei eine Dicke der ersten dielektrischen Schicht (41) 0,4 nm bis 4 nm beträgt.
Patent DE-102021114627-B4 (DE)
Title: Übermitteln oder Empfangen einer V2X-Nachricht
Inventor: RAINER JULIA
IPC: H04W4/40
Filed: 2021-06-08
Granted: 2023-03-30
Abstract: Datenstruktur (2) zum Übermitteln oder Empfangen einer V2X-Nachricht (4), umfassend einen Verwaltungsabschnitt (21), einen Anwendungsabschnitt (22) und einen Typabschnitt (23).
Patent DE-102022101393-B4 (DE)
Title: Amorphe untere elektrodenstruktur fürmim-kondensatoren
Inventor: LIN HSING-LIEN
IPC: H01L21/822
Filed: 2022-01-21
Granted: 2023-04-27
Abstract: Verschiedene Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung betreffen eine amorphe untere Elektrodenstruktur (BES) für einen Metall-Isolator-Metall-Kondensator (MIM-Kondensator). Der MIM-Kondensator umfasst eine untere Elektrode, eine Isolatorschicht, die über der unteren Elektrode liegt, und eine obere Elektrode, die über der Isolatorschicht liegt. Die untere Elektrode umfasst eine kristalline BES und die amorphe BES, und die amorphe BES liegt über der kristallinen BES und bildet eine obere Oberfläche der unteren Elektrode. Da die amorphe BES nicht kristallin, sondern amorph ist, kann die obere Oberfläche der amorphen BES im Vergleich zu der der kristallinen BES eine geringe Rauheit aufweisen. Da die amorphe BES die obere Oberfläche der unteren Elektrode bildet, kann die obere Oberfläche der unteren Elektrode eine geringe Rauheit aufweisen, im Vergleich zu einer Rauheit, die sich sonst ergäbe, wenn die kristalline BES die obere Oberfläche bilden würde. Die geringe Rauheit kann die Lebensdauer des MIM-Kondensators verlängern.
Patent DE-112006003553-B4 (DE)
Title: Dicke Stahlplatte für eine Schweißkonstruktion mit ausgezeichneter Festigkeit und Zähigkeit in einem Zentralbereich der Dicke und geringen Eigenschaftsänderungen durch ihre Dicke und Produktionsverfahren dafür
Inventor: KIM SANG-HO
IPC: C22C38/00
Filed: 2006-12-19
Granted: 2013-10-17
Abstract: In den vorliegenden Unterlagen ist eine dicke Stahlplatte für eine Schweißkonstruktion beschrieben, die ausgezeichnete Festigkeit und Zähigkeit in einem Zentralbereich hat und geringe Eigenschaftsänderungen durch die Dicke zeigt. Die Stahlplatte weist auf: 0,05~0,10% C, 0,10~0,5% Si, 1,3~1,7% Mn, 0,0005~0,0025% B; 0,005~0,03% Ti, 0,010% oder weniger N, 0,005~0,03% Nb, 0,005~0,055% lösl.. Al, Rest Fe und weitere unvermeidbare Verunreinigen, ausgedrückt als Gew.-%, wobei ein Gehaltverhältnis von Ti/N 2,0 oder größer ist und ein durch Ausdruck 1 repräsentierter CP 40~50 ist. CP = 165 × %C + 6,8 × %Si + 10,2 × %Mn + 80,6 × %Nb + 9,5 × %Cu + 3,5 × %Ni + 12,5 × %Cr + 14,4 × %Mo...(1).
Patent DE-112009001369-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Färben von Textilien aus cellulosischen Fasern und deren Mischungen und Polyester und deren Mischungen mit wiederaufbereiteten Färbeflotten ohne die Durchführung von nachfolgenden Reinigungsbehandlungen
Inventor: VALLDEPERAS-MORELL JOSÉ
IPC: D06P1/00
Filed: 2009-03-27
Granted: 2022-02-03
Abstract: Verfahren zum Färben von Textilien aus Polyester und dessen Mischungen mittels Dispersionsfarben mit wiederaufbereiteten Färbeflotten in einer Färbemaschine ohne die Durchführung von mechanisch-chemischen oder biologischen Reinigungsbehandlungen der Färbeflotten, umfassenda. Einlassen einer benutzten Färbeflotte in einen Behälter unter Filterung durch einen mechanischen Rückhaltefilter für Fasern und Partikel, die sich in einem vorherigen Färbedurchgang von einem Textilsubstrat gelöst haben,b. Entnehmen einer Probe aus der Färbeflotte,c. Analysieren der Probe zur Bestimmung der Restkonzentration der Dispersionsfarbstoffe mittels UV/VIS-Spektroskopie durch Vergleichen mit den korrespondierenden direkten Kalibrationslinien für jede Farbe in der Probe,d. Zurückleiten der vorbenutzten Färbeflotte zur Färbemaschine,e. Hinzufügen von wenigstens 10% des Gesamtvolumens an Frischwasser zur Färbeflotte, um ein Mischungsverhältnis der Färbeflotte zu erreichen, abzüglich eines Volumens, das benötigt wird, um Hilfs- und Färbeprodukte zu lösen,f. Hinzufügen von fehlenden Mengen von Hilfsstoffen entsprechend der hinzugegebenen Menge an Frischwasser,g. Hinzufügen einer organischen Säure in Abhängigkeit von dem hinzugefügten Frischwasser und nach Prüfung des pH-Wertes der Färbeflotte,h. Hinzufügen einer entsprechend einer im Labor eingestellten Färbeformel notwendigen Menge von Dispersionsfarbstoff, die zuvor dem zur Färbung nötigen Gesamtvolumen entnommen worden ist,i. Verwenden der wiederaufbereiteten Färbeflotte zur Färbung der Textilien beginnend mit einer Anfangstemperatur von höchstens 60°C,j. Überprüfung und falls nötig Korrektur des pH-Wertes der Färbeflotte,k. Erwärmung mit einem Heizgradienten bis zu einer Höchsttemperatur bei einer Schwellwertzeit und eine Abkühlung für eine Kühlzeit, wobei die Höchsttemperatur des Prozesses, die Schwellwertzeit und die Kühlzeit an die zu erreichende Farbintensität, an die Diffusion der benutzten Dispersionsfarben und an die Eigenschaften des Polyestersubstrates angepasst werden, dadurch gekennzeichnet, dass in den ersten zehn Wiederaufbereitungen nach dem Beginn des Verfahrens mit einem neuen Bad, bei denen es noch möglich ist, Farbabweichungen zu produzieren, bis ein stabiler Zustand der Färbungsparameter erreicht wird, anhand eines Ergebnisses der Probenanalyse in Schritt c, die Färbeformel eines neuen Dispersonsfarbstoffes auf eine gewünschte Farbe abgestimmt und der Dispersionsfarbstoff in Schritt h entsprechend der abgestimmten Färbeformel hinzugefügt wird.
Patent DE-112011101482-B4 (DE)
Title: 1,1-Bis[(ethenyloxy)methyl]cyclohexan und Verfahren zu dessen Herstellung
Inventor: KAKINUMA SHINICHI
IPC: C07B61/00
Filed: 2011-04-28
Granted: 2023-03-16
Abstract: 1,1-Bis[(ethenyloxy)methyl]cyclohexan, das durch die Formel (I) dargestellt ist:
Patent DE-112011102426-B4 (DE)
Title: Hebelsteckverbinder
Inventor: YAMAMOTO SHOJI
IPC: H01R13/64
Filed: 2011-07-19
Granted: 2016-11-03
Abstract: Hebelsteckverbinder (11), bei dem eine Elektrodrahtabdeckung (15) an einem Steckverbindergehäuse (13) angebracht ist, an welchem bereits ein Hebel (17) angefügt ist, wobei der Hebel (17) ein Paar von parallel zueinander angeordneten Platten (39) und einen Greifabschnitt (41) aufweist, der die parallel zueinander angeordneten Platten (39) miteinander koppelt; wobei zwei zum Verhindern eines falschen Zusammenfügens vorgesehene Vorsprünge (55) an der Elektrodrahtabdeckung (15) ausgebildet sind und vorstehen und ein falsches Anfügen der Elektrodrahtabdeckung (15) verhindern, wenn die zum Verhindern eines falschen Zusammenfügens vorgesehen Vorsprünge (55) mit dem Paar von parallel zueinander angeordneten Platten (39) des Hebels (17) in Kontakt kommen, und die zum Verhindern eines falschen Zusammenfügens vorgesehene Vorsprünge (55) über das Steckverbindergehäuse (13) und einer Außenfläche (57) des Hebels (17) in einer Richtung rechtwinklig zur Plattenfläche des Paars von parallel zueinander angeordneten Platten (39) über die Plattenflächen nach außen vorstehen und jeweils einen von außen aufgebrachten Stoß aufnehmen und als Dämpfungselemente gegenüber dem Steckverbindergehäuse (13) dienen.
Patent DE-112012003609-B4 (DE)
Title: Ionenquelle
Inventor: KAKUTANI AKIKO
IPC: H05H7/08
Filed: 2012-08-28
Granted: 2021-01-14
Abstract: Ionenquelle mit:einem Target (12), aus dem durch ein Plasma (14), das durch Lasereinstrahlung ausbildbar ist, Elektronen und positive Ionen erzeugbar sind;einer ersten Stromversorgungsquelle (E1), die zum Einstellen eines elektrischen Potentials des Targets (12) auf ein Potential ausgebildet ist, das höher ist als das eines Beschleunigungskanals (18), der zum Beschleunigen der positiven Ionen durch Anlegen einer hochfrequenten Spannung und Ausgeben derselben als einen Ionenstrahl ausgebildet ist;einer zweiten Stromversorgungsquelle (E2), die zum Einstellen eines elektrischen Potentials einer Filterelektrode (15), die auf einem Weg von dem Target (12) zu dem Beschleunigungskanal (18)vorgesehen ist, auf ein Potential ausgebildet ist, das höher ist als das des Targets (12); einer Ionisierungskammer (11), die das Target (12) und die Filterelektrode (15) aufnimmt undein elektrisches Potential aufweist, das auf dasselbe elektrische Potential wie das des Targets (12) eingestellt ist; undeinem Verbindungsweg (16), der die Ionisierungskammer (11) mit einem Linearbeschleuniger (17), der den Beschleunigungskanal (18) aufnimmt, verbindet, so dass das in der Ionisierungskammer (11) erzeugte Plasma (14) durch den Verbindungsweg (16) geht und in den Linearbeschleuniger (17) eintritt.
Patent DE-112015006047-B4 (DE)
Title: Herstellungsverfahren für eine räumliche leiterplatte, räumliche leiterplatte und substrat für eine räumliche leiterplatte
Inventor: MICHIWAKI SHIGERU
IPC: H05K3/22
Filed: 2015-10-30
Granted: 2019-07-04
Abstract: Verfahren zum Herstellen einer räumlichen Leiterplatte, umfassend:einen Schritt zum Herstellen einer Kunststoffschicht (1) mit einer Bruchdehnung von 50 % oder mehr;einen Schritt zum Bilden einer ersten Metallschicht (3) auf einer Oberfläche der Kunststoffschicht (1);einen Schritt zum Ausbilden einer Strukturierung auf der ersten Metallschicht (3) durch Fotolithografie, um ein gewünschtes Muster auszubilden;einen Schritt zum Ausbilden einer räumlichen Formgebung durch Erwärmung und Druckbeaufschlagung der Kunststoffschicht (1); undeinen Schritt zum Bilden einer zweiten Metallschicht (21) auf der ersten Metallschicht (3) mit einem darauf ausgebildeten Muster;wobei im Schritt zum Bilden der ersten Metallschicht (3) die erste Metallschicht (3) in einem porösen Zustand ausgebildet wird, indem ein Metall in einem partikulären Zustand abgeschieden und eine Schichtdicke reguliert wird,wobei in dem Schritt zum Bilden der ersten Metallschicht (3) die Kunststoffschicht (1) und die erste Metallschicht (3) unter Verwendung eines molekularen Bindemittels (4) chemisch miteinander verbunden werden, wobei ein Katalysator verwendet wird, um das Metall der ersten Metallschicht (3) auf chemische Weise mit Enden des molekularen Bindemittels (4) zu verbinden.
Patent DE-112017002318-B4 (DE)
Title: Kraftstoffeinfülldeckel-Betätigungselement und Kraftfahrzeug mit einem Kraftstoffeinfülldeckel-Betätigungselement
Inventor: ZHAO HUIFENG
IPC: E05B83/34
Filed: 2017-01-03
Granted: 2022-08-25
Abstract: Kraftstoffeinfülldeckel-Betätigungselement, umfassend: eine Schraubenwelle (100), einen Rotor (200), ein Gehäuse (600) und eine erste Rückstellfeder (701), wobei es ferner einen Sperrblock (300) und eine Sperrblock-Antriebsvorrichtung umfasst;das Gehäuse (600) umfasst eine Führungsbuchse (603); die Schraubenwelle (100) ist in der Führungsbuchse (603) montiert; der Rotor (200) ist an der Unterseite der Schraubenwelle (100) angebracht.die Führungsbuchse (603) ist mit einem in Richtung der Längserstreckung der Führungsbuchse (603) tiefen Führungsschlitz (6031) und einem in Richtung der Längserstreckung der Führungsbuchse (603) flachen Führungsschlitz (6032) vorgesehen, wobei sich sowohl der tiefe Führungsschlitz (6031) wie auch der flache Führungsschlitz (6032) beginnend von der Unterseite der Führungsbuchse (603) nach oben erstrecken; zwischen den Öffnungen des angrenzenden tiefen Führungsschlitzes (6031) und des flachen Führungsschlitzes (6032) befindet sich eine Fußflanke (6033);die Oberseite des Sperrblocks (300) umfasst eine Kopfflanke (301), die der Fußflanke (6033) zugeordnet ist;an der Außenseite des Rotors (200) ist ein vorstehender Block (201) angeordnet; der vorstehende Block (201) befindet sich zwischen der Unterseite der Führungsbuchse (603) und der Oberseite des Sperrblocks (300);das untere Ende der ersten Rückstellfeder (701) ist am Gehäuse (600) befestigt; das obere Ende der ersten Rückstellfeder (701) ist an der Schraubenwelle (100) angebracht;unter der Wirkung der Sperrblock-Antriebsvorrichtung ist der Sperrblock (300) zwischen einem Sperrwinkel und einem Entsperrwinkel drehbar;wenn der Sperrblock (300) in den Sperrwinkel gedreht ist, blockiert die Abstandsentfernung oder die Abstandsform zwischen der Fußflanke (6033) und der Kopfflanke (301) den vorstehenden Block (201), wobei verhindert wird, dass der vorstehende Block (201) zwischen dem tiefen Führungsschlitz (6031) und dem flachen Führungsschlitz (6032) gleitet;wenn der Sperrblock (300) in den Entsperrwinkel gedreht ist, ermöglicht die Abstandsentfernung oder die Abstandsform zwischen der Fußflanke (6033) und der Kopfflanke (301) dem vorstehenden Block (201) das Gleiten zwischen dem tiefen Führungsschlitz (6031) und dem flachen Führungsschlitz (6032).
Patent DE-112018007301-B4 (DE)
Title: Waferuntersuchungseinrichtung und Waferuntersuchungsverfahren
Inventor: DOI AKIRA
IPC: H01J37/22
Filed: 2018-05-30
Granted: 2023-11-30
Abstract: Waferuntersuchungseinrichtung, die umfasst:einen Tisch (2), auf dem ein Wafer (9) angeordnet ist und der den Wafer (9) bewegt;eine optische Beobachtungseinheit, die eine Oberfläche des Wafers (9) optisch beobachtet;eine TDI-Kamera (1) mit einem Bilddetektionselement (13) vom Zeitverzögerungsintegrationstyp, das ein optisches Signal, das durch Beobachten der Oberfläche des Wafers (9) erhalten wird, der auf dem Tisch (2) angeordnet ist, der sich bewegt, in ein elektrisches Signal umwandelt;einen Tischpositionsdetektor, der eine Position des Tischs (2) detektiert;mindestens einen Höhensensor (3), der eine Höhe der Oberfläche des Wafers (9) misst;eine Steuervorrichtung (12) der optischen Beobachtungseinheit, die die optische Beobachtungseinheit steuert; undeine Kamerasteuervorrichtung (11), die die TDI-Kamera (1) steuert, wobeidie Steuervorrichtung (12) der optischen Beobachtungseinheit die optische Vergrößerung der optischen Beobachtungseinheit ändert und auf die Oberfläche des Wafers (9) auf der Basis der Höhe der Oberfläche des Wafers (9) fokussiert, die durch den mindestens einen Höhensensor (3) gemessen wird, unddie Kamerasteuervorrichtung (11) einen Schaltzeitpunkt des Bilddetektionselements (13) auf der Basis der optischen Vergrößerung und der Position des Tischs (2) korrigiert, dadurch gekennzeichnet, dass die Waferuntersuchungseinrichtung ferner umfasst:einen Puffer, der Höhendaten der Oberfläche des Wafers (9) speichert,wobei die Kamerasteuervorrichtung (11) den Schaltzeitpunkt des Bilddetektionselements (13) unter Verwendung von vergangenen Höhendaten korrigiert, die im Puffer als Trajektorie gespeichert sind, entlang der eine Hin- und Herbewegungsuntersuchung an dem Wafer (9) durchgeführt wird, während eine Beobachtungsposition auf der Oberfläche des Wafers (9) verschoben wird.