Patent DE-102011080242-B4 (DE)
Title: Industrielle Maschine
Inventor: ONO NORITSUGU
IPC: G01B5/008
Filed: 2011-08-02
Granted: 2023-08-03
Abstract: Industrielle Maschine mit:einer Grundfläche (211);einer Säule (221) und einer Stütze (225), die entlang einer Z-Achse senkrecht zur Grundfläche (211) stehen;einem Balken (222), der zwischen der Säule (221) und der Stütze (225) vorgesehen ist;einem Schieber (223), der auf dem Balken (222) beweglich ist;einem Druckkolben (224), der auf dem Schieber (223) in Z-Achsen-Richtung beweglich gehalten ist;einer Temperaturerfassungseinheit (226, 32), die eine Temperatur Tcder Säule (221), eine Temperatur Tsder Stütze (225) und eine Temperatur Trdes Druckkolbens (224) erfasst;einer Z-Achsen-Skala (224A), die am Druckkolben (224) vorgesehen und mit Gradeinteilungen zum Abmessen eines Bewegungsbetrags des Druckkolbens in Z-Achsen-Richtung versehen ist;einem Z-Detektor (223A), der am Schieber (223) vorgesehen ist, um die Gradeinteilungen der Z-Achsen-Skala abzulesen; undeiner Verschiebungsbetrag-Berechnungseinheit (33), die einen Z-Achsen-Verschiebungsbetrag des Druckkolbens (224) in Z-Achsen-Richtung berechnet, der sich aus einer Temperaturänderung jeweils der Säule (221), der Stütze (225) und des Druckkolbens (224) ergibt, wobeidie Verschiebungsbetrag-Berechnungseinheit (33) den Z-Achsen-Verschiebungsbetrag auf der Grundlage der Temperatur Tcder Säule (221), der Temperatur Tsder Stütze (225) und der Temperatur Trdes Druckkolbens (224), die von der Temperaturerfassungseinheit (226, 32) erfasst werden, von Bezugspositionsdaten, die eine Positionsbeziehung zwischen der Säule (221), der Stütze (225) und dem Druckkolben (224) angeben, wenn die Säule (221), die Stütze (225) und der Druckkolben (224) auf einer vorgegebenen Bezugstemperatur sind, eines Ausgleichsfaktors zum Berechnen eines Dimensionsänderungsbetrags ΔC der Säule (221), eines Dimensionsänderungsbetrags ΔS der Stütze (225) und eines Dimensionsänderungsbetrags ΔZ des Druckkolbens (224) in der Z-Achsen-Richtung, der sich aus der Temperaturänderung ergibt, und einer Positionskoordinate x des Schiebers (223) berechnet, wobeidie Bezugspositionsdaten umfassen:einen Abstand L1von der Grundfläche zum Z-Detektor auf der Bezugstemperatur;einen Abstand L2von einem Ende des Druckkolbens (224) gegenüber der Grundfläche (211) zu einer festen Position der Z-Achsen-Skala im Druckkolben (224) auf der Bezugstemperatur;einen Abstand X0von einer Mittelachse der Säule (221) zu einer Mittelachse des Schiebers (223), wenn der Schieber (223) am nächsten zur Säule (221) eingestellt ist;einen Abstand X1von einer Mittelachse der Stütze (225) zur Mittelachse des Schiebers (223), wenn der Schieber (223) am nächsten zur Stütze eingestellt ist, undeinen Abstand X2, durch den der Schieber (223) in X-Achsen-Richtung bewegt werden kann,der Ausgleichsfaktor umfasst:einen Wärmeausdehnungskoeffizienten αcfür die Säule (221);einen Wärmeausdehnungskoeffizienten αsfür die Stütze (225); undeinen Wärmeausdehnungskoeffizienten αrfür den Druckkolben (224), und wobeidie Verschiebungsbetrag-Berechnungseinheit (33) den Z-Achsen-Verschiebungsbetrag mittels des nachstehenden Ausdrucks berechnet:(Z−Achsen−Verschiebungsbetrag)=(X0+x)3×(ΔS−ΔC)/(X0+X1+X2)3+ΔC−ΔZworin: ΔC = (Tc- T0) × L1× αc,ΔS = (Ts- T0) × L1× αs,ΔZ = (Tr- T0) × L2× αr, undT0: die Bezugstemperatur ist.