Patent DE-102020207489-B4 (DE)
Title: Anti-auswurf-vorrichtung für wafereinheiten
Inventor: SOEJIMA YOSHIKATSU
IPC: H01L21/673
Filed: 2020-06-17
Granted: 2023-10-05
Abstract: Anti-Auswurf-Vorrichtung (1) für Wafereinheiten (100) aus jeweils über Haftbänder (102) miteinander integrierte ringförmige Rahmen (103) und Wafer (101), wobei die Anti-Auswurf-Vorrichtung (1) zur Verwendung bei einer Anbringung an einer Kassette (50) ist, die ein Paar Seitenplatten (51), deren innere Oberflächen (511) mit mehreren Einbringplätzen (512) versehen sind, wobei jeder Einbringplatz (512) einer der Seitenplatten (51) zu einem Entsprechenden der Einbringplätze (512) an der anderen Seitenplatte (51) gerichtet ist, sodass die Wafereinheiten (100) jeweils einzubringen sind, einen hinteren Stoppabschnitt (54), der ausgestaltet ist, um die Wafereinheiten (100) an hinteren Rändern davon zu tragen, und eine Öffnung (56) aufweist, die zwischen den gepaarten Seitenplatten (51) an einer dem hinteren Stoppabschnitt (54) gegenüber angeordneten Seite ausgebildet ist, wodurch die Anti-Auswurf-Vorrichtung (1) einen unbeabsichtigten Auswurf der Wafereinheiten (100) aus der Kassette (50) verhindert, wobei die Anti-Auswurf-Vorrichtung (1) aufweist:einen Sperrriegel (2), der ausgestaltet ist, um an einer der Seitenplatten (51) an einer Seite der Öffnung (56) abnehmbar vorgesehen zu sein, und der alternierend mehrere Sperrabschnitte (2) und mehrere Entsperrabschnitte (25) in einer Oben-Unten-Richtung aufweist, wobei die Sperrabschnitte (2) an Höhen angeordnet sind, die denjenigen der zugeordneten Einbringplätze (512) entsprechen, und ausgestaltet sind, um ein Blockieren der zugeordneten Einbringplätze (512) zu ermöglichen, und wobei die Entsperrabschnitte (25) ausgestaltet sind, um ein Entsperren der zugeordneten Einbringplätze (512) zu ermöglichen, undeinen Führungsstift (3), der mit dem Sperrriegel (2) verbunden ist und von einem unteren Abschnitt der einen Seitenplatte (51) nach unten vorstehend angeordnet ist, sodass der Führungsstift (3) bei einem Hochdrücken an einem unteren Endabschnitt (30) davon den Sperrriegel (2) nach oben spannt,wobei der Sperrriegel (2) so ausgestaltet ist, dass, wenn der Führungsstift (3) am unteren Endabschnitt (30) davon hochgedrückt wird, der Sperrriegel (2) nach oben gespannt wird, um die Entsperrabschnitte (25) in eine Ausrichtung mit den zugeordneten Einbringplätzen (512) zu bringen, wodurch die Entsperrabschnitte (25) und die zugeordneten Einbringplätze (512) miteinander in Verbindung gebracht werden und die Kassette (50) in einen offenen Zustand versetzt wird, in dem die Wafereinheiten (100) in der Lage sind, durch die Öffnung (56) eingebracht und herausgenommen zu werden, undwobei der Sperrriegel (2) auch so ausgestaltet ist, dass, wenn das Drücken des unteren Endabschnitts (30) des Führungsstifts (3) beendet wird, sich der Sperrriegel (2) durch ein Eigengewicht davon nach unten bewegt, um zu bewirken, dass die Entsperrabschnitte (25) in der Oben-Unten-Richtung von den zugeordneten Einbringplätzen (512) unterschiedliche Höhen annehmen, wodurch die zugeordneten Einbringplätze (512) durch die Sperrabschnitte (2) blockiert werden und die Kassette (50) in einen geschlossenen Zustand versetzt wird, in dem ein unbeabsichtigter Auswurf der in die Einbringplätze (512) von beiden Seitenplatten (51) eingebrachten Wafereinheiten (100) verhindert werden kann.