baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102005036898-B4 (DE)
Title: Vorrichtung für die Analyse oder Absorptionsmessung an einer kleinen Flüssigkeitsmenge
Inventor: KAENDLER HOLM
IPC: G01N21/59
Filed: 2005-08-05
Granted: 2008-01-10
Abstract: Vorrichtung
(1) für
die Analyse oder Absorptionsmessung an einer kleinen Menge, beispielsweise
an einem Tropfen, eines flüssigen
Mediums (2) mit Hilfe von Licht (3), das durch das Medium (2) geführt ist
und danach fotometrisch, spektralfotometrisch, fluorimetrisch oder
spektralfluorimetrisch detektierbar oder analysierbar ist, wobei
die Vorrichtung (1) eine in Gebrauchsstellung obere flächige Aufnahmestelle
(4) zum Aufbringen oder Auftropfen des Mediums (2), einen in Gebrauchsstellung unterhalb
der Aufnahmestelle (4) befindlichen Lichteintritt (5) in ihr Gehäuse (6)
und eine im Strahlengang hinter dem Lichteintritt (5) befindliche
erste Einrichtung (7) zur Umlenkung des Lichts nach oben zu der
Aufnahmestelle (4) und einen oberhalb der Aufnahmestelle (4) lösbar anbringbaren Reflektor
(8) aufweist, der in seiner Gebrauchsstellung einen definierten
Abstand von der Aufnahmestelle (4) hat und zumindest im Bereich
des Lichtdurchganges von dem Medium (2) ausgefüllt oder ausfüllbar ist,
wobei eine zweite Einrichtung (9) zum Umlenken des von dem Reflektor
(8) kommenden Lichts zu einem Detektor...
Patent DE-102005041256-B4 (DE)
Title: Trenchtransistor
Inventor: HIRLER FRANZ
IPC: H01L21/336
Filed: 2005-08-31
Granted: 2007-12-20
Abstract: Trenchtransistor
(40, 50), mit einem Halbleiterkörper
(2), in dem:  – eine
Trenchstruktur (3) sowie  – eine
in die Trenchstruktur (3) eingebettete Elektrodenstruktur (4) vorgesehen
sind, wobei  – die
Elektrodenstruktur (4) durch eine Isolationsstruktur (5) gegenüber dem
Halbleiterkörper
(2) elektrisch isoliert ist und eine Gateelektrodenstruktur (4 1 ) sowie eine unterhalb der Gateelektrodenstruktur
(4 1 ) angeordnete und von dieser elektrisch
isolierte Feldelektrodenstruktur (4 2 ) aufweist, und  – zwischen
der Gateelektrodenstruktur (4 1 ) und der
Feldelektrodenstruktur (4 2 ) eine Abschirmstruktur
(13, 14, 15) zur Reduzierung der kapazitiven Kopplung zwischen der
Gateelektrodenstruktur (4 1 ) und der Feldelektrodenstruktur
(4 2 ) vorgesehen ist, wobei die Abschirmstruktur
(13) eine auf festem Potenzial liegende Abschirmelektrode ist, die
gegenüber
der Gateelektrodenstruktur (4 1 ), der Feldelektrodenstruktur
(4 2 ) sowie dem Halbleiterkörper (2)
elektrisch isoliert ist,  dadurch gekennzeichnet,  dass
der Innenwiderstand der Abschirmelektrode (13) geringer ist als
der Innenwiderstand der Gateelektrodenstruktur (4 1 )
und geringer ist als der Innenwiderstand der Feldelektrodenstruktur
(4 2 ).
Patent DE-102005041313-B4 (DE)
Title: Technik zur Überwachung dynamischer Prozesse wie Elektromigration in Metallleitungen von Mikrostrukturen mit der Möglichkeit der Rekonfiguration der kristallinen Struktur
Inventor: BUSCHBECK JOERG
IPC: H01L21/66
Filed: 2005-08-31
Granted: 2010-06-10
Abstract: Verfahren zum Testen eines Halbleiterbauelements hinsichtlich Elektromigration mit:  automatischem Ausführen einer ersten Sequenz von Aktionen während eines ersten Zeitfensters, die umfassen:  Abtasten mittels eines lokal begrenzten Heizfleckes eines Bereichs einer Metallisierungsschicht eines Halbleiterbauelements, wobei die Metallisierungsschicht ein Metallgebiet aufweist;  Bestimmen einer Position des Heizfleckes mindestens für einige Abtastpositionen;  Anlegen einer Vorspannung an den Bereich;  Erfassen einer Eigenschaft, die einen Stromfluss durch den Bereich der Metallisierungsschicht kennzeichnet, für jede der Abtastpositionen;  Aufzeichnen von Messdaten von Messungen der Eigenschaft, die den Stromfluss repräsentieren, für jede Abtastposition als einen ersten Datensatz;  während eines zweiten Zeitfensters, automatisches Ausführen einer zweiten Sequenz von Aktionen, während die Vorspannung beibehalten wird, wobei die Sequenz umfasst:  Abtasten mittels des lokal begrenzten Heizfleckes des Bereichs der Metallisierungsschichten des Halbleiterbauelements;  Bestimmen einer Position des Heizfleckes für die mindestens einigen Abtastpositionen;  Erfassen der Eigenschaft eines Stromflusses durch den Bereich der Metallisierungsschicht...
Patent DE-102005063514-B4 (DE)
Title: Lock for bicycle has multiple rods connected to lock housing with lateral receiver to engage end of one rod
IPC: E05B71/00
Filed: 2005-08-24
Granted: 2010-06-17
Abstract: The lock for a bicycle to a retaining stand has a lock housing (11) with a locking assembly and a steering rod group (13) with multiple connected rods (15). One end of one rod is permanently fixed to the housing of the lock and the opposing rod end has an extension (17) lockable to the housing. The locking guidable along its axis into a lateral receiver in the lock housing. The receiver (39) can have a matching profile to the lock rod.
Patent DE-102006010249-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung eines Bogens
Inventor: OTTO VOLKER
IPC: B41F21/00
Filed: 2006-03-02
Granted: 2014-07-17
Abstract: Verfahren zur Ausrichtung eines Bogens (2) in Querrichtung zu seiner Transportrichtung (30) in einer Bogendruckmaschine, bei dem der Bogen (2) um eine etwa in Transportrichtung (30) verlaufende Wendeachse gewendet wird, die in einem Abstand (32) zu seiner in Transportrichtung weisenden Mittenachse (31a) des Bogens (2) außermittig parallelversetzt ist, derart, dass sich durch die Wendung ein Querversatz (33) ergibt, der etwa den doppelten Betrag aufweist wie der vorgenannte Abstand (32) zwischen der Wendeachse und der Mittenachse (31a) des Bogens (2).
Patent DE-102006011395-B4 (DE)
Inventor: FREJNO EBERHARD
IPC: B66B5/00
Filed: 2006-03-09
Granted: 2014-12-31
Abstract: The measuring device (1) has a mounting device (4) for positioning multiple catenary wires (3). A fixing device for one of the catenary wire (2). A power transmission device (9) by which a proportionate load of a whole load is transferred to tested catenary wire (2) from one or more adjacent catenary wires (3). An independent claim is also included for the method for measurement of power transmission of catenary wire of traction sheave elevator system.
Patent DE-102006012866-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Abtrennung leichtflüchtiger Komponenten aus einem Stoffgemisch sowie Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
Inventor: ALBERS MICHAEL
IPC: C11B3/12
Filed: 2006-03-19
Granted: 2009-04-09
Abstract: Verfahren
zur Trennung einer leichtflüchtigen
Komponente aus einem Stoffgemisch unter den Bedingungen der Kurzweg-
oder Molekulardestillation, bei welchem das Stoffgemisch beheizt,
die leichtflüchtige
Komponente zumindest teilweise verdampft und danach der entstandene
Dampf kondensiert wird, und bei dem die abzutrennende leichtflüchtige Komponente
im Bereich des Ortes der Kondensation mit einer Flüssigkeit
in Berührung gebracht
wird, dadurch gekennzeichnet, daß die abzutrennende leichtflüchtige Komponente
im Bereich des Ortes der Kondensation mit einer Flüssigkeit
(Waschflüssigkeit) in
Berührung
gebracht wird, in der sie sich mit der Wirkung löst, daß eine Absenkung der Konzentration
der abzutrennenden leichtflüchtigen
Komponente im Bereich des Ortes der Kondensation durch Verdünnung erreicht
wird.
Patent DE-102006016229-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Zusammensetzungen einer Festkörperprobe mittels Glimmentladungsspektroskopie und zur Ermittlung von Höhenunterschieden simultan dazu
Inventor: HOFFMANN VOLKER
IPC: G01J3/06
Filed: 2006-03-29
Granted: 2010-05-27
Abstract: Verfahren zur Ermittlung der Zusammensetzung einer Festkörperprobe mittels Glimmentladungsspektroskopie und zur Ermittlung von Höhenunterschieden simultan dazu, bei dem während des Sputterns einer Festkörperprobe  – infolge des Sputterns emittiertes Licht durch eine Abbildungsoptik mit chromatischer Aberration und durch einen Eintrittsspalt eines ersten Spektrometers zur spektrometrischen Analyse der Festkörperprobe geleitet wird,  – simultan dazu ein mindestens zweifarbiges Licht über eine Blende, über eine Vorrichtung zur Ein- und Auskopplung, die zwischen dem Eintrittsspalt des ersten Spektrometers und der Abbildungsoptik mit chromatischer Aberration angeordnet ist, und über die Abbildungsoptik mit chromatischer Aberration zum Sputterbereich auf der Festkörperprobe geleitet wird,  – der reflektierte Anteil dieses Lichtes wiederum über die Abbildungsoptik mit der chromatischen Aberration und über die Vorrichtung zur Ein- und Auskopplung aus dem Strahlengang des emittierten Lichtes herausgeführt und unter Nutzung des konfokalen Abbildungsprinzipes einem zweiten Spektrometer zur Auswertung und Ermittlung von Höhenunterschieden im Sputterbereich zugeführt wird,  – wobei mindestens...
Patent DE-102006019384-B4 (DE)
Title: Mikroskop und Mikroskopierverfahren zur Messung des Oberflächenprofils eines Objekts
Inventor: WINTEROT JOHANNES
IPC: G02B21/24
Filed: 2006-04-26
Granted: 2015-10-22
Abstract: Mikroskop zur Messung des Oberflächenprofils eines Objekts (OB), mit einem Beleuchtungsmodul, das Beleuchtungsstrahlung mit unterschiedlichen Wellenlängen so auf verschiedene Oberflächenabschnitte des Objekts (OB) lenkt, daß für jeden Abschnitt ein vorbestimmter Objektschnittweitenbereich beleuchtet wird, wobei aufgrund einer Wechselwirkung zwischen der Beleuchtungsstrahlung und dem Objekt (OB) Probenstrahlung erzeugt wird, und einem Detektionsmodul, das zeitlich nacheinander Probenstrahlung jedes Abschnittes detektiert, indem es die Probenstrahlung mittels eines Scanners (5) in einen Detektionsstrahlengang lenkt und für jede zu detektierende Schnittweite des Objektschnittweitenbereichs jeweils eine andere Wellenlänge der in den Detektionsstrahlengang gelenkten Probenstrahlung konfokal in eine Ebene abbildet, die Intensität der konfokal abgebildeten Probenstrahlung wellenlängenabhängig detektiert und daraus die Lage des entsprechenden Oberflächenabschnitts des Objekts (OB) ableitet, wobei das Detektionsmodul ein Farbmodul (9) mit verstellbarem Farblängsfehler aufweist, das zwischen dem Scanner (5) und der Ebene angeordnet ist und von der Probenstrahlung durchlaufen wird, so daß durch Änderung des Farblängsfehlers die zu detektierenden Schnittweiten einstellbar sind.
Patent DE-102006026387-B4 (DE)
Title: Betätigungsvorrichtung
Inventor: HEDLUND GUNNAR
IPC: E01C19/38
Filed: 2006-06-07
Granted: 2007-12-27
Abstract: Betätigungsvorrichtung
(1) zur Beeinflussung der Betriebsdrehzahl einer Vibrationsramme
mit Verbrennungsmotor mit Zündsystem
und einem Treibstoffventil zum Absperren der Treibstoffzufuhr und
zur Überführung der
Vibrationsramme in eine Leerlaufposition (2) oder eine Haltposition
(3), mit einem Betätigungshebel
(4), einer Motorabstellfunktion (5) und einer Treibstoffabsperrfunktion
(6), die mit dem Betätigungshebel
(4) in einer Leerlaufposition (2) inaktiv und in einer Haltposition
(3) aktiv eingestellt werden können,
dadurch gekennzeichnet, dass die eingeschlossenen Funktionen um
den Drehpunkt (12) des Betätigungshebels
(4) herum in einer Reihenfolge angeordnet sind, welche der Reihenfolge,
in der sie aktiviert werden bzw. die Aktivierung aufgehoben wird,
folgt, wodurch die Motorabstellfunktion (5) vor der Aktivierung
der Treibstoffabsperrfunktion (6) aktiviert wird, wenn der Betätigungshebel
(4) von der Leerlaufposition (2) in die Haltposition (3) bewegt
wird und die Aktivierung in umgekehrter Reihenfolge aufgehoben wird,
wenn der Betätigungshebel von
der Haltposition (2) in die Leerlaufposition (3) bewegt wird.
Patent DE-102006030866-B4 (DE)
Title: Bearbeitungsverfahren für einen Halbleiterwafer
Inventor: SEKIYA KAZUMA
IPC: H01L21/304
Filed: 2006-07-04
Granted: 2012-10-04
Abstract: Bearbeitungsverfahren für einen Halbleiterwafer (2), welcher allgemein kreisförmig ist und welcher auf einer Seite bzw. Fläche (6) davon einen ringförmigen Überschußbereich (6a), der in einem Außenumfangskantenabschnitt der Seite (6) vorhanden ist, und einen kreisförmigen Vorrichtungsbereich (6b) aufweist, der durch den Überschußbereich (6a) umgeben ist, wobei der Vorrichtungsbereich (6b) zahlreiche rechteckige Bereiche bzw. Regionen (10) aufweist, die durch Straßen (8) definiert sind, die in einem Gittermuster angeordnet sind, wobei jeder der rechteckigen Bereiche (10) eine Halbleitervorrichtung darin angeordnet aufweist, wobei das Bearbeitungsverfahren umfaßt: einen Rückseitenschleifschritt eines Schleifens eines Bereichs in einer Rückseite (12) des Wafers (2) entsprechend dem Vorrichtungsbereich (ab), um eine kreisförmige Konkavität (14) in der Rückseite (12) des Wafers (2) entsprechend dem Vorrichtungsbereich (6b) auszubilden, wobei ein Schleifwerkzeug (22) verwendet wird, in welchem ein Außendurchmesser von Schleifgliedern (28) größer ist als der Radius der kreisformigen Konkavität (14); einen zusätzlichen Behandlungsschritt nach dem Rückseitenschleifschritt; und...
Patent DE-102006040443-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betrieb eines elektronisch geregelten Servolenksystems
Inventor: REINELT WOLFGANG
IPC: B62D5/04
Filed: 2006-08-29
Granted: 2011-01-27
Abstract: Verfahren zum Betrieb eines elektronisch geregelten Servolenksystems (1) eines Kraftfahrzeugs, bei welchem mittels einer Lenkhandhabe (2) ein Lenkradwinkel (δ S ) als Maß für einen gewünschten Radlenkwinkel (δ Fm ) für lenkbare Räder (5a, 5b) des Kraftfahrzeugs vorgegeben wird, wobei der Lenkradwinkel (δ S ) in den Radlenkwinkel (δ Fm ) des wenigstens einen lenkbaren Rades (5a, 5b) des Kraftfahrzeugs umgesetzt wird, wobei zur Realisierung von Nutzanwendungen des elektronisch geregelten Servolenksystems (1) wenigstens eine Messgröße (δ S , δ M , δ Md , δ G , v x , a y , ψ .
) des elektronisch geregelten Servolenksystems (1) verwendet wird, wobei ein aktueller Wert der wenigstens einen Messgröße (δ S , δ M , δ Md , δ G , v x , a y , ψ .
) mit einem gespeicherten Erfahrungswert der entsprechenden wenigstens einen Messgröße (δ S , δ M , δ Md , δ G , v x , a y , ψ .
) bei einer von einer Überwachungsfunktion erkannten aktuellen typischen Fahrsituation des Kraftfahrzeugs verglichen wird, wobei die jeweiligen Erfahrungswerte der wenigstens einen Messgröße (δ S , δ M , δ Md , δ G , v x , a y , ψ .
) in einer Datenbank (13) abgespeichert und anhand bestimmter statistischer Merkmale...
Patent DE-102006046321-B4 (DE)
Title: Dosimeter
Inventor: LUDWIG KLAUS
IPC: G01T1/24
Filed: 2006-09-29
Granted: 2009-09-03
Abstract: Dosimeter (10) zur Überwachung einer Strahlenexposition, mit  – einer als Strahlungsdetektor dienenden Speichereinrichtung (15), welche eine Mehrzahl von Speicherzellen (Z) umfasst und so ausgebildet ist, dass der Speicherzustand der Speichereinrichtung (15) durch eine auf die Speichereinrichtung (15) auftreffende, zu überwachende Strahlung (S) in definierter Weise verändert wird,  – einer Strahlungsfiltereinrichtung (18), welche so aufgebaut ist, dass verschiedene der Speicherzellen (Z) mit einem unterschiedlichen Absorptionsvermögen abgeschirmt werden, und  – einer Funkschnittstelle (11), welche ausgebildet ist, einen den Speicherzustand repräsentierenden Speicherzustandswert (W) an eine Kontrolleinrichtung (30) zu übermitteln.
Patent DE-102006059704-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Messen eines Dichtungsspalts eines Fahrzeugs
Inventor: PARK KEUN-SEOP
IPC: G01B5/14
Filed: 2006-12-18
Granted: 2023-06-22
Abstract: Vorrichtung zum Messen eines Dichtungsspalts eines Fahrzeugs, aufweisend:ein Plattenelement (10), das in einem Spalt installiert ist, der zwischen einem Bewegungsteil (12) und einem Montageteil (14) einer Fahrzeugkarosserie gebildet ist,einen Spaltsensor (16), der an das Plattenelement (10) montiert ist und Abmessungen des Dichtungsspalts misst,einen Sender (18), der einen von dem Spaltsensor (16) gemessenen Wert ausgibt,einen Empfänger (20), der eine Signalausgabe von dem Sender (18) empfängt, undeine Betriebsverarbeitungseinrichtung (22), die einen Eingabewert von dem Empfänger (20) in die Abmessungen des Dichtungsspalts umwandelt und die Abmessungen des Dichtungsspalts zu einer Außenseite hin ausgibt,wobei der Spaltsensor (16) mit einem ersten Ende eines flexiblen Verbindungselements (32) verbunden ist, das mit seinem zweiten Ende an dem Plattenelement (10) gehalten ist, undwobei der Spaltsensor (16) aufweist:ein Basiselement (16a), das mit dem ersten Ende des flexiblen Verbindungselements (32) verbunden ist,eine Druckplatte (16b), die an einem ersten Ende der Druckplatte (16b) schwenkbar an dem Basiselement (16a) angebracht ist und von einer externen Kraft so mit Druck beaufschlagt wird, dass sie um das erste Ende der Druckplatte (16b) herum schwenkt,eine Federplatte (16c), die zwischen dem Basiselement (16a) und der Druckplatte (16b) angeordnet ist und der Druckplatte (16b) eine Rückstellkraft bereitstellt, undeinen Messfühler, der den Verformungsgrad der Druckplatte (16b) erfasst.
Patent DE-102006059950-B4 (DE)
Title: Dichtmanschette für Fahrzeuggelenkwellen
Inventor: HOELLER DE MORAES CHRISTIAN
IPC: F16D3/84
Filed: 2006-12-19
Granted: 2012-03-22
Abstract: Dichtmanschette (1) für Fahrzeuggelenkwellen, die mit ihren rohrförmigen Enden an zwei in einem Gelenk und/oder über eine Schiebeverbindung miteinander verbundenen Wellen dichtend angeschlossen ist, und einen Raum (3) umschließt, der über eine selektivpermeable Membrane (4, 5) mit der Umgebung in Verbindung steht, wobei die selektivpermeable Membrane (4, 5) den Luftaustausch mit der Umgebung erlaubt, jedoch nicht den Durchtritt von Wasser, dadurch gekennzeichnet, dass die selektivpermeable Membrane (4, 5) in einer Öffnung (8) auf einem Umfang (7) der Dichtmanschette (1) angeordnet ist, dass an der Dichtmanschette (1) eine die Membrane (4, 5) übergreifende Schutzkappe (2) befestigt ist, und dass die Schutzkappe (2) in Form eines Rohrstücks ausgebildet ist und durch Formschluss auf der Dichtmanschette (1) befestigt ist.
Patent DE-102007002010-B4 (DE)
Inventor: NOE ANDREAS
IPC: B65G25/02
Filed: 2007-01-08
Granted: 2009-03-26
Abstract: The lifting beam conveyor (1) has lifting in between lateral support surfaces by a lifting device (5), and lowering by a traction drive (6) in transport direction (T) displaceable lifting beam. The traction drive is formed as double cylinder drive with drive cylinders (15,16). The drive cylinders are supported displaceable relative to each other.
Patent DE-102007002636-B4 (DE)
Title: Feder-Dämpfer-Element für flexible Leitungselemente
Inventor: WEISS MATTHIAS
IPC: F16L27/111
Filed: 2007-01-12
Granted: 2021-11-11
Abstract: Anordnung aus einem Feder-Dämpfer-Element und einem flexiblen Leitungselement (21, 31), dadurch gekennzeichnet, dass- das Feder-Dämpfer-Element ein schlauchförmiges, dämpfendes Material (12, 41) aufweist, welches eine schraubengangförmige Torsionsfeder (11) in Bezug auf den Umfang im Wesentlichen umschließt;- das Feder-Dämpfer-Element das flexible Leitungselement (21, 31) an dessen Außenseite umgibt.
Patent DE-102007008506-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Schutz eines elektronischen Sensorelements und elektronisches Sensorelement
Inventor: BIEHLER BJOERN
IPC: G01K1/10
Filed: 2007-02-21
Granted: 2010-08-19
Abstract: Verfahren zum Schutz eines einen Temperatursensor (2, 2a) aufweisenden elektronischen Sensorelements (1, 1a), wobei das Sensorelement (1, 1a) mindestens ein Anschlusselement (3, 3a) zum Anschließen an ein weiteres Bauelement (4) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass auf zumindest einen Teil der Oberfläche des elektronischen Sensorelements (1, 1a) mittels Gasphasenabscheidung eine aus der Gruppe der Parylene ausgewählte Polymer-Schutzschicht (8) aufgebracht wird.
Patent DE-102007018854-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtungs-Herstellungsverfahren, Halbleiterwafer und Halbleitervorrichtung
Inventor: HORI YUKITAKA
IPC: H01L21/304
Filed: 2007-04-20
Granted: 2008-06-19
Abstract: Halbleitervorrichtungs-Herstellungsverfahren
mit den Schritten:  Ausbilden einer Anzahl von Überzügen (10,
12, 13, 14, 15), die voneinander getrennt sind, auf einer Oberfläche eines Chipbereichs
(2) eines Halbleiterwafers (1), in dem eine Mehrzahl der Chips (3)
ausgebildet ist, und auf einer Oberfläche eines nicht verfügbaren Bereiches
(4), welcher in einem Umgebungsbereich des Chipbereichs (2) ist,
so dass jeder der getrennten Überzüge (10,
12, 13, 14, 15) kleiner ist als eine Fläche des Chips (3) zumindest
in dem nicht verfügbaren
Bereich (4);  Anbringen des Halbleiterwafers (1) mit der Oberseite
nach unten auf einem Tisch mit einer dazwischen liegenden Schicht;
und  Polieren einer rückseitigen
Oberfläche
des Halbleiterwafers (1).
Patent DE-102007024525-B4 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zur Bewertung von Defekten am Randbereich eines Wafers
Inventor: BIRKNER ANDREAS
IPC: G01N21/95
Filed: 2007-05-24
Granted: 2009-05-28
Abstract: Vorrichtung zur Bewertung von Defekten am Randbereich (6a, 6b, 6c) eines Wafers (6), wobei eine erste Kamera (25) derart angeordnet ist, dass die erste Kamera (25) einem oberen Randbereich (6a) des Wafers (6) gegenüberliegt, dass eine zweite Kamera (26) derart angeordnet ist, dass die zweite Kamera (26) einer Stirnseite (6b) des Wafers (6) gegenüberliegt, dass eine dritte Kamera (27) derart angeordnet ist, dass die dritte Kamera (27) einem unteren Randbereich (6c) des Wafers (6) gegenüberliegt, wobei jede Kamera (25, 26, 27) ein Bildfeld zur Aufnahme der Bilder besitzt und mindestes eine Beleuchtungseinrichtung (50, 80) derart ausgestaltet ist, dass die erste, die zweite und die dritte Kamera (25, 26, 27) in Hellfeldanordnung angeordnet sind, und dass der Wafer (6) zur Aufnahme des Bildes des Defekts im Bildfeld der jeweiligen Kamera (25, 26, 27) positionierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens die erste Kamera (25) und die dritte Kamera (27) auf einem radial...
Patent DE-102007025649-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Übertragen einer Epitaxie-Schicht von einer Spender- auf eine Systemscheibe der Mikrosystemtechnik
Inventor: KNECHTEL ROY
IPC: B81C1/00
Filed: 2007-07-21
Granted: 2011-03-03
Abstract: Verfahren zum Übertragen einer Epitaxieschicht (2) von einer Spenderscheibe (1) auf eine strukturierte Mikrosystemtechnikscheibe (9) durch Waferbonden, bei dem vor dem Bonden der prozessbedingte Randwulst (3) der Epitaxieschicht (2) durch Ätzen entfernt wird, mit folgenden Schritten:  – Aufbringen einer fotoempfindlichen Lackschicht (4) auf die Epitaxieschicht (2),  – anschließendes Entfernen der fotoempfindlichen Lackschicht (4) mittels Randentlackung im Bereich des gebogenen Scheibenrandes (5) und mittels Freibelichten und Entwickeln im Bereich der geraden Scheibenfase (6), wobei das Freibelichten durch Verwendung einer Stepperanlage erfolgt, deren Blendenstellung das Freibelichtungsfeld definiert, sodass keine spezielle Belichtungsmaske benötigt wird,  – anschließendes Zurückätzen der Epitaxieschicht (2) in den durch die Lackschicht (4) nicht mehr abgedeckten Randbereichen (5, 6), so dass der Randwulst (3) verschwindet und das entsprechende Gebiet niedriger als die ursprüngliche Oberfläche (7) der Epitaxieschicht (2) wird,  – anschließendes Entfernen der fotoempfindlichen Lackschicht (4),  – anschließendes Verbinden der Spenderscheibe (1) mit der Epitaxieschicht...