Patent DE-112018002593-B4 (DE)
Title: Adaptiv-optische vorrichtung, optisches system und optisches wellenfrontkompensationsverfahren
Inventor: HAYAKAWA AKIYOSHI
IPC: G02B26/06
Filed: 2018-05-16
Granted: 2023-08-10
Abstract: Adaptiv-optische Vorrichtung (1, 201, 401, 501), umfassend:einen ersten verformbaren Spiegel (4), der eine reflektierende Oberfläche (21), die Licht reflektiert, das sich durch eine Atmosphäre ausgebreitet hat, und eine Antriebseinheit (22), die mehrere Antriebselemente (23) aufweist und eine unebene Form der reflektierenden Oberfläche (21) verändert, beinhaltet;einen zweiten verformbaren Spiegel (5), der eine reflektierende Oberfläche (26), die Licht von dem ersten verformbaren Spiegel (4) reflektiert, und eine Antriebseinheit (27), die mehrere Antriebselemente (28) aufweist und eine unebene Form der reflektierenden Oberfläche (26) verändert, beinhaltet;eine Strahlengangteilungseinheit (13), die das Licht von dem zweiten verformbaren Spiegel (5) in einen Strahlengang (L1) und einen zweiten Strahlengang (L2) teilt;einen ersten verformbaren Subspiegel (14, 214), der in dem ersten Strahlengang (L1) bereitgestellt ist und eine reflektierende Oberfläche (51) und eine Antriebseinheit (52) beinhaltet, die der reflektierenden Oberfläche (21) und der Antriebseinheit (22) des ersten verformbaren Spiegels (4) entsprechen,einen zweiten verformbaren Subspiegel (15, 215), der in dem zweiten Strahlengang (L2) bereitgestellt ist und eine reflektierende Oberfläche (56) und eine Antriebseinheit (57) beinhaltet, die der reflektierenden Oberfläche (26) und der Antriebseinheit (27) des zweiten verformbaren Spiegels (5) entsprechen,einen ersten Detektor (8, 208, 408), der eine Lichtintensität des Lichts von dem ersten verformbaren Spiegel (4) und dem ersten verformbaren Subspiegel (14, 214) erfasst,einen zweiten Detektor (9, 209, 409), der eine Lichtintensität des Lichts von dem zweiten verformbaren Spiegel (5) und dem zweiten verformbaren Subspiegel (15, 215) erfasst, undeine Steuerung (20, 220, 520), die eine erste adaptiv-optische Steuerung (31, 231, 431), die dazu konfiguriert ist, einen ersten Optimierungsvorgang zum Steuern der Antriebseinheit (22) des ersten verformbaren Spiegels (4), um die unebene Form der reflektierenden Oberfläche (21) des ersten verformbaren Spiegels (4) auf Grundlage eines erfassten Werts von dem ersten Detektor (8, 208, 408) zu aktualisieren, wenn die unebene Form der reflektierenden Oberfläche (51) des ersten verformbaren Subspiegels (14, 214) durch Steuern der Antriebseinheit (52) des ersten verformbaren Subspiegels (14, 214) verändert wird, und eine zweite adaptiv-optische Steuerung (32, 232, 432), die dazu konfiguriert ist, einen zweiten Optimierungsvorgang zum Steuern der Antriebseinheit (27) des zweiten verformbaren Spiegels (5), um die unebene Form der reflektierenden Oberfläche (26) des zweiten verformbaren Spiegels (5) auf Grundlage eines erfassten Werts von dem zweiten Detektor (9, 209, 409) zu aktualisieren, wenn die unebene Form der reflektierenden Oberfläche (56) des zweiten verformbaren Subspiegels (15, 215) durch Steuern der Antriebseinheit (57) des zweiten verformbaren Subspiegels (15, 215) verändert wird, beinhaltet.