Patent DE-102018202728-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgeräts, Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
Inventor: PREIKSZAS DIRK
IPC: H01J37/26
Filed: 2018-02-22
Granted: 2019-11-21
Abstract: Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgeräts (100, 100A, 200, 400) mit
 - mindestens einem Strahlerzeuger (101, 301, 402) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls mit geladenen Primärteilchen,
 - mindestens einer Objektivlinse (107, 107A, 304, 421) zur Fokussierung des Teilchenstrahls auf das Objekt (114, 425), wobei bei einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (114, 425) Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung entstehen/entsteht, wobei die Objektivlinse (107, 107A, 304, 421) ein Magnetfeld und ein elektrisches Feld zumindest teilweise zwischen dem Strahlerzeuger (101, 301, 402) und dem Objekt (114, 425) erzeugt,
 - mindestens einer einstellbaren Ablenkeinheit (131, 132) zum Ablenken des Teilchenstrahls und/oder mindestens einer einstellbaren Blendeneinheit (109) zum Formen des Teilchenstrahls,
 - mindestens einem beweglichen Probentisch (122, 424) zur Anordnung des Objekts (114, 425) in dem Teilchenstrahlgerät (100, 100A, 200, 400),
 - mindestens einem Detektor (116, 117, 121, 134, 419, 428) zur Detektion der Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung und zur Erzeugung von Detektorsignalen,
 - mindestens einer Anzeigeeinrichtung (124) zur Anzeige eines Bildes des Objekts (114, 425), wobei das Bild mittels der Detektorsignale erzeugt wird,
 - mindestens einer Objektivlinsensteuereinheit (125) zur Versorgung der Objektivlinse (107, 107A, 304, 421) mit einem Objektivlinsenstrom (I) und zum Einstellen des Objektivlinsenstroms (I), und mit
 - mindestens einer Strahlerzeugersteuereinheit (126) zur Versorgung des Strahlerzeugers (101, 402) mit einer Betriebsspannung (U) und zum Einstellen der Betriebsspannung (U), wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:
 - Einstellen des Objektivlinsenstroms (I) auf einen Stromwert (I1) mittels der Objektivlinsensteuereinheit (125) und periodisches Ändern des Stromwerts (11) des Objektivlinsenstroms (I) mittels der Objektivlinsensteuereinheit (125);
 - Einstellen von mindestens einer der folgenden Eigenschaften der Ablenkeinheit (131, 132) und/oder der Blendeneinheit (109) während des periodischen Änderns des Objektivlinsenstroms (I): (i) eine Position der Ablenkeinheit (131, 132) und/oder der Blendeneinheit (109) im Teilchenstrahlgerät (100, 100A, 200, 400) sowie (ii) mindestens eine Ansteuerungsgröße zur Versorgung der Ablenkeinheit (131, 132) und/oder Blendeneinheit (109), wobei das Einstellen derart erfolgt, dass das auf der Anzeigeeinrichtung (124) angezeigte Bild des Objekts (114, 425) sich entweder nicht bewegt oder eine Bewegung des angezeigten Bildes eine minimale Auslenkung aufweist;
 - Einstellen der Betriebsspannung (U) auf einen Spannungswert (U1) mittels der Strahlerzeugersteuereinheit (126) und periodisches Ändern des Spannungswerts (U1) der Betriebsspannung (U) mittels der Strahlerzeugersteuereinheit (126); sowie
 - Bewegen des Probentisches (122, 424) in eine Position des Objekts (114, 425) während des periodischen Änderns des Spannungswerts (U1) der Betriebsspannung (U) derart, dass das auf der Anzeigeeinrichtung (124) angezeigte Bild des Objekts (114, 425) sich entweder nicht bewegt oder eine Bewegung des angezeigten Bildes eine minimale Auslenkung aufweist.