baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100303452-B1 (KR)
Title: Decelerating apparatus
Inventor: KANG KUN WOO
IPC: F16H1/28
Filed: 1998-04-15
Granted: 2001-12-28
Abstract: PURPOSE: A deceleration apparatus is provided to easily obtain the high deceleration ratio without any additional gear, minimize the vibration and the noise with an excellent capacity in transferring load even in the condition of high load, and simplify a structure thereof. CONSTITUTION: A deceleration apparatus is composed of a differential gear set comprising an input shaft(10) having a first sun gear(13) and a second sun gear(14) receiving power from an engine and formed in a body, a first differential gear(40) engaged with the first sun gear of the input shaft, a second differential gear(41) engaged with the first differential gear, a fixing plate(30) inserting a fixing pin(50) supporting the first and second differential gears and fixing the input shaft with a fixing unit(100) at the outside, a third sun gear(21) engaged with the inside of the second differential gear, a hollow shaft(20) installed parallel with the input shaft and having the third sun gear and a fourth sun gear(22) formed in a body, a third differential gear(42) engaged with the fourth sun gear of the hollow shaft, a fourth differential gear(43) engaged with the third differential gear and the second sun gear, and a first and a second carrier(60,61) rotated by being fixed by the fixing pin.
Patent KR-100277787-B1 (KR)
Title: 리튬 이온 이차 전지용 양극
Filed: 1998-05-21
Granted: 2001-02-01
Abstract: 두 가지 종류의 양극 활물질을 동시에 사용하여 각각의 양극 활물질이 가지는 단점을 보완하기 위하여, 판상의 전류 집전체; 화학식 Li 1-x M 1-y M' y O 2 (여기서 0 ≤ x < 1이며,0 ≤ y <0.5 이고, M은 Co, Ni, Mn 및 Fe로 이루어진 전이 금속중에서 선택된 것이고, M'은 Mg, Ca, Sr, Ba, B, Al 및 Ga으로 이루어진 알카리토 금속중에서 선택된다.)로 표시되며 상기 전류 집전체의 한 면에 코팅되어 있는 제1 양극 활물질; 및 화학식 Li 1-x N 1-y N' 1-y O 2 (여기서 0 ≤ x < 1이며,0 ≤ y <0.5 이고, N은 Co, Ni, Mn 및 Fe로 이루어진 전이 금속중에서 선택된 것으로서, 상기 M과는 서로 다른 것이고, N'은 Mg, Ca, Sr, Ba, B, Al 및 Ga으로 이루어진 알카리토 금속중에서 선택된다.)로 표시되며 상기 전류 집전체의 다른 한 면에 코팅되어 있는 제2 양극 활물질을 포함하는 리튬 이온 이차 전지용 양극을 제공한다.
Patent KR-100279574-B1 (KR)
Title: 자동차필러의내장재구조
Filed: 1998-05-27
Granted: 2001-02-01
Abstract: 본 발명은 자동차 필러의 내장재 구조에 관한 것으로서, 종래에는 필러 내장재의 후면에 높이와 두께가 서로 동일하여 강성 또한 일치하는 가로리브와 세로리브가 설치되어 그 자체의 반발력으로 인해 충돌시 충격에너지를 충분히 흡수하지 못하므로 충돌안전성 시험에서 안전기준을 만족시키지 못하는 경우가 발생하고 오히려 리브가 없는 경우에 충돌안전성 시험 결과가 더 양호한 경우가 생기며 충돌안전성 법규를 만족시키지 못하는 경우가 발생하여 값비싼 패드타입 필러 내장재를 사용하게 되는 문제점이 있었다. 
     따라서 본 발명은 자동차 필러의 내장재(100) 후면(110)에 서로 상이한 높이와 두께를 가지는 가로 리브(200)와, 세로 리브(300)를 형성하여 서로 다른 충격량 흡수 특성을 가진 리브가 충돌시 충격에너지를 2차에 걸쳐서 흡수하므로 충돌시 발생하는 리브의 반발력을 최소화 하고 이에 따라 충돌 안전성 시험의 결과 값이 향상되어 리브 타입보다 비용이 많이 패드타입 내장재를 사용하지 않고도 충돌안전성 법규를 만족시킴으로써 원가를 절감하고 안전성을 더욱 향상시킨 것을 특징으로 하는 자동차 필러의 내장재 구조에 관한 것이다.
Patent KR-100691382-B1 (KR)
Title: 클리닝과정의감시방법
IPC: A61L101/50
Filed: 1998-06-11
Granted: 2007-05-17
Abstract: 본 발명은 의료 장치의 클리닝 과정을 감시하는 장치 및 방법에 관한 것이다.  이 장치는 오염물 검출기를 포함한다.  오염물 검출기는 의료 장치상의 또는 클리닝이나 클리닝 감시 방법에 사용되는 액체내의 또는 의료 장치의 청결도의 대용 지시자로서 작용할 수 있는 오염물로 커버된 표준물상의 무기 및/또는 유기 오염물을 검출할 수 있다.  의료 장치의 클리닝 과정을 감시하기 위한 본 발명의 방법은 오염물 검출기를 포함하는 본 발명의 장치에 따라 의료 장치로부터 제거된 오염물을 측정하는 단계를 포함한다.  바람직하게는, 이 방법은 장치가 멸균될 수 있도록 충분히 클리닝될 때를 결정하는 단계를 추가로 포함한다.
Patent KR-100295154-B1 (KR)
Title: 임피던스정합회로
IPC: H03H7/38
Filed: 1998-06-12
Granted: 2001-09-17
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     임피던스를 정합하는 회로에 관련된 기술이다. 
     나. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 
     두 종류의 임피던스를 잦는 회로에 입력측과 출력측에서 보이는 임피던스를 달리하는 하나의 회로를 추가하여 임피던스 정합을 한다. 
     다. 발명의 해결방법의 요지 
     두개의 회로와 연결되어 데이터의 송수신을 수행하며 하나의 회로와 임피던스가 정합되어 있는 다이플렉스와, 다이플렉스로부터 수신되는 데이터를 처리하며 직접 임피던스 정합이 이루어지지 않은 네트워크 접속부와, 다이플렉스와 네트워크 접속부의 사이에 임피던스 매칭회로가 연결된다. 그리고 임피던스 매칭회로는 다이플렉스에서 네트워크 접속부측으로 보이는 입력 임피던스가 다이플렉스의 임피던스와 정합을 이루며, 네트워크 접속부부터 다이플렉스측으로 보이는 출력 임피던스가 네트워크 접속부와 임피던스 정합이 이루어짐을 특징으로 한다. 
     라. 발명의 중요한 용도 
     서로 다른 저항을 갖는 회로에 임피던스를 정합하는 회로에 사용한다.
Patent KR-100277005-B1 (KR)
Title: 반도체 디바이스용 중수소 함유 막 형성방법,금속 산화막 반도체 전계효과 트랜지스터 디바이스 제조방법과 반도체 디바이스 형성방법
IPC: H01L21/285
Filed: 1998-06-15
Granted: 2001-03-02
Abstract: 막을 형성하는 동안 중수소 함유 종을 포함하는 소스 재료가 제공되는 반도체 디바이스용 막 형성 방법이 제공된다.
Patent KR-100308404-B1 (KR)
Title: Sf６가스 회수·정제 처리장치 및 방법
IPC: C01B17/45
Filed: 1998-06-19
Granted: 2002-02-19
Abstract: 본 발명의 목적은 가스 절연기기의 보수 점검시, 기기의 내부로부터 회수하는 SF 6 가스를 정제하고 조성을 분석 확인하여 다시 현지에서 재이용하는 SF 6 가스 회수 정제처리장치 및 방법을 제공하는 데 있다. 
     이를 위하여 SF 6 가스 회수 정제처리에서는 산성 가스등을 필터(4, 8, 9)에 의해 건식으로 중화제거함과 동시에 회수 탱크(10)로 회수하여 이 회수한 정제 후의 회수 SF 6 가스의 조성을 분석 장치(14)로 측정 확인함으로써 재이용의 여부를 정량적으로 확인한다.
Patent KR-100304694-B1 (KR)
Inventor: CHAE YUN SUK
IPC: H01L21/205
Filed: 1998-07-22
Granted: 2001-11-02
Abstract: PURPOSE: A method for forming a metal nitride layer by CVD(Chemical Vapor Deposition) technology and a method for forming metal contact using the same are provided to obtain a metal nitride film having low resistively and a low content of Cl even with excellent step coverage can be formed at a temperature of 500 °C or lower. CONSTITUTION: A semiconductor substrate(104) is moved into a deposition chamber(100). After introducing a metal source into the deposition chamber, the metal source is absorbed in a chemically and a physically onto the substrate. The introduction of the metal source into the deposition chamber is cut-off and a purge gas is introduced into the deposition chamber, the remaining metal source in the deposition chamber is removed. The introduction of the purge gas into the deposition chamber is cut-off and nitrogen gas is introduced into the deposition chamber, the nitrogen gas is reacted with the metal source absorbed at the substrate. The introduction of the nitrogen gas into the deposition chamber is cut-off and a purge gas is introduced into the deposition chamber, the remaining nitrogen gas in the deposition chamber is removed.
Patent KR-100509471-B1 (KR)
Title: 개선된 pn 코드 생성기
IPC: H04L9/22
Filed: 1998-07-24
Granted: 2005-10-26
Abstract: 본 발명은 개선된 PN 코드 생성기에 관한 것이다.   
     그 생성기는 복수 채널의 롱코드, I 채널 쇼트 코드  및 Q 채널 쇼트 코드로부터 I PN 코드 및 Q PN 코드를 생성하기 위한 PN 생성기에 있어서, 상기 롱코드와 쇼트 코드 각각을 소정 비트씩 병렬코드로 변환하고, 상기 변환 결과를 병렬로 출력하기 위한 복수개의 직병렬 변환기; 상기 복수개의 직병렬 변환기에서 변환된 병렬 코드를 저장하기 위한 복수개의 메모리; 현재 심벌 시간에 해당하는 코드를 라이트 어드레스로 발생하는 라이트 어드레스 발생부; 현재 심벌 시간과 심벌 옵셋의 차이에 해당하는 값을 리드 어드레스로 발생하는 리드 어드레스 발생부; 상기 라이트 어드레스를 디코딩한 값과, 상기 라이트 어드레스 및 리드 어드레스에 따라 라이트할 메모리와 리드할 메모리를 선택하기 위한 메모리 선택부; 채널 선택신호에 의해 상기 복수개의 메모리에서 독출한 병렬 코드를 결합하여 I PN 코드와 Q PN 코드를 생성하기 위한 PN 코드 선택부를 포함함을 특징으로 한다. 
     본 발명에 따르면, PN 옵셋의 설정이 용이하므로 써처의 성능을 향상시킬 뿐 아니라 핑거의 결합작업도 쉽게 되는 장점이 있다.  또한, 다수의 rake 처리가 용이하여 다채널을 수용하는 모뎀에서 병렬 구조의 효율을 극대화 할 수 있다.
Patent KR-100539184-B1 (KR)
Title: 밴드갭 기준 전압 발생 회로
IPC: H01L27/04
Filed: 1998-07-29
Granted: 2006-03-16
Abstract: 본 발명에 따른 밴드갭 기준 전압 발생 회로는, 전원전압의 공급을 받아 일정한 밴드갭 전압을 발생시키는 밴드갭 전압 발생부와, 상기한 밴드갭 전압 발생부의 밴드갭 전압의 온도에 따른 오차를 캐스케이드된 다수의 트랜지스터에 의해 보상하는 온도 오차 보상부를 포함하며, 넓은 온도 범위에서 안정된 밴드갭 전압을 얻을 수 있다.
Patent KR-100537324-B1 (KR)
IPC: C07C233/18
Filed: 1998-08-04
Granted: 2006-03-30
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 광학 활성 비스옥사졸린 화합물에 관한 것이다: 
     [화학식 1] 
     
       
     
     [상기 식중에서, 
     R 1  은 알킬기, 시클로알킬기, 아르알킬기, 치환될 수 있는 페닐기, 또는 알콕시기이고, 2개의 제미날 알킬기들은 서로 결합하여 시클릭 구조를 형성할 수 있으며, 
     R 2  는 알킬기, 시클로알킬기, 아르알킬기, 치환될 수 있는 페닐기이고, 
     R 3  은 수소 원자, C 2-4  알킬기 또는 시클로알킬기이며, 
     별표(*)는 비대칭 탄소 원자를 나타낸다].
Patent KR-100277278-B1 (KR)
Title: 영상신호 처리장치
IPC: H04N5/225
Filed: 1998-08-25
Granted: 2001-01-15
Abstract: 개시된 영상신호 처리장치는 카메라로 촬영한 R, G, B 및 휘도 신호를 손실됨이 없이 저장 수단에 저장하고 출력하여 깨끗한 영상을 출력한다. 
     본 발명은 처리수단의 R, G, B 및 휘도 신호 처리부가 각기 R, G, B 및 휘도 신호를 처리하여 각기 발생하는 수평 동기신호, 수직 동기신호 및 클럭신호에 동기로 출력하고, R, G, B 및 휘도 신호 처리부가 각기 발생하는 수평 동기신호, 수직 동기신호 및 클럭신호를 제 2 버퍼를 통해 제어부로 입력시키고, 제어부는 R, G, B 및 휘도 신호 처리부가 각기 발생하는 수평 동기신호, 수직 동기신호 및 클럭신호를 입력하고, 입력한 R, G, B 및 휘도 신호에 따른 수평 동기신호, 수직 동기신호 및 클럭신호에 따라 저장 수단의 R, G, B 및 휘도 신호 메모리를 각기 제어하여 R, G, B 및 휘도 신호를 저장하며, 저장한 R, G, B 및 휘도 신호는 R, G, B 또는 휘도 신호 처리부가 발생하는 수평 동기신호, 수직 동기신호 및 클럭신호에 따라 출력하는 것으로서 R, G, B 및 휘도 신호를 손실됨이 없이 모두 메모리에 저장하고, 출력하여 깨끗한 영상을 얻을 수 있다.
Patent KR-100280232-B1 (KR)
Title: 형광 및 야광 우레탄 제조방법 및 그 조성물
Filed: 1998-09-17
Granted: 2001-02-01
Abstract: 본 발명은 주간에는 형광성을 갖고 야간의 비상시인 정전시에는 어두운 곳에서 물체를 감지하여 주변 상황을 인지할 수 있도록 한 것으로서 더욱 상세히 하면, 건설 및 산업현장에서 작업을 하는 작업자의 개인 용품 예를들면 가방, 운동화등에 도포하여 안전사고의 예방을 위하거나 특히 자동차 도로에 있어서 교통 안내 표지 또는 중앙선 표시 등등에 사용하여 주간시 뿐만 아니라 어두운 야간시 운전자의 시인성을 확보하기 위한 형광 및 야광 우레탄 제조방법 및 그 조성물에 관한 것이다. 
     상기와 같은 목적을 해결하기 위한 기술적 수단의 일실시예는 [용융시킨 통상의 프리폴리머(prepolymer)에 있어서, 상기 용융된 프리폴리머에, 가소제 100중량부, 형광안료 10∼12 중량부와 축광안료 20∼25중량부로 혼합된 혼합안료를 투입하는 단계; 상기 혼합안료가 투입된 프리폴리머를 진공 탈포시키는 단계; 상기 혼합안료가 투입된 프리폴리머에 경화제를 혼합 교반시켜 형광 및 야광 열경화성 우레탄 물질을 성형시키는 단계로 구성되어 있고, 상기 가소제는 D.O.P[DiOctyl Phthalate, O-C 6 H 4 (COOC 8 H 17 ) 2 ] 용액이 사용되며, 바람직하게는 상기 프리폴리머 100중량부에, 5∼6중량부의 혼합안료를 혼합됨을 그 구성으로 하고 있으며, 반면에, 용융시킨 통상의 폴리올 혼합물(polyol compound)에 있어서, 상기 용융된 폴리올 혼합물에, 가소제 100중량부, 형광안료 10∼12중량부와 축광안료 20∼ 25중량부로 혼합된 혼합안료를 투입하는 단계; 상기 혼합안료가 투입된 폴리올 혼합물에 폴리아이소시안네이트(polyisocyante)를 혼합 교반시켜 형광 및 야광 발포 우레탄 물질을 성형시키는 단계로 구성됨을 또 다른 특징으로 하고 있으며, 상기 가소제는 D.O.P[DiOctyl Phthalate,O-C 6 H 4 (COOC 8 H 17 ) 2 ] 용액이 사용되며, 바람직하게는 상기 폴리올 혼합물 100중량부에, 5∼6중량부의 혼합안료를 혼합됨을 특징으로 하는 형광 및 야광 우레탄 제조방법과, 통상의 프리폴리머 또는 폴리올 혼합물에, 100중량부의 D.O.P 용액, 10∼12중량부의 형광안료와 20∼25중량부의 축광안료가 혼합된 혼합안료를 투입하여 된 것을 특징으로 하는 형광 및 야광 우레탄 조성물]로 구성된다. 
     상기와 같이, 구성된 본 발명은 형광 및 야광성을 갖도록 우레탄을 형성함으로써 산업 현장, 교통 안내 표지 등에 사용시 보다 내구성을 갖는 효과를 제공하며, 특히, 본 발명은 형광 안료 등을 첨가함으로써 야광 우레탄의 발광시 보다 미려한 색상으로 발광하므로써 주간은 물론 야간의 어두운 곳에서의 물체 인지도를 높일 수 있는 효과를 제공한다.
Patent KR-100301132-B1 (KR)
Title: 세탁기의세제공급방법및그장치
IPC: D06F39/02
Filed: 1998-11-09
Granted: 2001-10-29
Abstract: 본 발명은 세탁기의 세제 공급 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 종래 세탁기의 세제 용해 장치는, 드로워의 분말 세제가 급수 밸브로부터 급수되는 물에 의해서만 용해되므로, 용해율이 크게 저하되어 세탁 및 헹굼 효율도 상대적으로 저하될 뿐만 아니라, 분말 세제가 굳어지며, 세제가 낭비되는 문제가 있었다. 
     본 발명은 비자성체로 이루어진 용기에 저장된 분말 세제와 급수 밸브를 통하여 급수되는 물을 교반기의 구동에 의해 교반시키고, 설정 수위에 따라 세제액의 공급량을 설정한 후, 솔레노이드 밸브를 통하여 설정된 공급량으로 세제액을 공급시키며, 수위가 설정 수위에 도달되면 세탁을 행한다. 따라서, 분말 세제가 교반기의 교반에 의해 효율적으로 용해되어 수위에 따라 적정한 농도로 공급되므로, 세탁 및 헹굼 효율이 향상될 뿐만 아니라, 분말 세제의 굳어짐이 방지되어 사용이 편리해지게 된다. 또한, 세제의 사용량이 감소되어 경제적이며, 수질 오염을 방지할 수 있게 된다.
Patent KR-100442288-B1 (KR)
Title: 반도체소자의셀마스크및그의제작방법
IPC: H01L21/306
Filed: 1998-11-09
Granted: 2004-09-18
Abstract: 패턴간의 연결이나 미세패턴을 용이하게 형성할 수 있는 반도체소자의 셀 마스크 및 그의 제작방법을 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 반도체소자의 셀 마스크 제작방법은 제 1 반도체기판과 제 1 절연막과, 제 2 반도체기판으로 구성된 SOI기판을 준비하는 공정, 상기 제 2 반도체기판을 소정두께 남도록 일정길이로 식각하는 공정, 상기 제 2 반도체기판을 상기 제 1 절연막이 드러나도록 상기 일정길이보다 좁은 길이를 갖도록 식각하여 계단형의 패턴을 형성하는 공정, 상기 제 1 반도체기판과 상기 제 1 절연막과 상기 제 2 반도체기판 전면에 제 1, 제 2 반도체기판 및 제 1 절연막과 식각성이 다른 제 2 절연막을 형성하는 공정, 상기 패턴된 제 2 반도체기판과 정렬되도록 상기 제 1 반도체기판 하부의 상기 제 2 절연막을 패터닝하는 공정, 상기 패터닝된 제 2 절연막을 마스크로 상기 제 1 반도체기판과 제 1 절연막을 완전히 식각하여 제 2 반도체기판과 통하도록 하는 공정을 포함함을 특징으로 한다.
Patent KR-100278311-B1 (KR)
Title: 가입자 우선순위에 따른 액세스 채널 선택 범위 할당을 이용한이동 단말 발신호 처리 방법
IPC: H04B7/26
Filed: 1998-11-23
Granted: 2001-01-15
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     본 발명은 가입자 우선순위에 따른 액세스 채널 선택 범위 할당을 이용한 이동 단말 발신호 처리 방법에 관한 것임. 
     2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 
     본 발명은, 사용 액세스 채널 범위를 차등적으로 할당하여 이동 단말 발신호를 처리하는 이동 단말 발신호 처리 방법을 제공하고자 함. 
     3. 본 발명의 해결 방법의 요지 
     본 발명은, 가입 신청시 이동 단말이 가입자 우선순위에 의한 사용 액세스 채널 범위값을 보관하며, 홈 위치 등록기가 이동 단말을 등록하여 사용 액세스 채널 범위값을 저장하는 제 1 단계; 이동 단말이 전원을 온(on)하여 이동 단말의 위치를 이동 통신망에 등록하며, 이동 단말내 사용 액세스 채널 범위값을 검색하는 제 2 단계; 및 이동 단말이 검색된 사용 액세스 채널 범위값에 따라 발신호를 기지국으로 전송하고, 기지국으로부터 트래픽 채널 할당 메시지를 수신하여 확인 메시지를 송신하여 트래픽 채널을 획득하여 통화를 수행하는 제 3 단계를 포함한다. 
     4. 발명의 중요한 용도 
     본 발명은 이동 통신 시스템에 이용됨.
Patent KR-100279631-B1 (KR)
Title: 영상신호처리기의 자막 및 문자정보 처리 방법 및 장치
IPC: H04N5/44
Filed: 1998-11-25
Granted: 2001-02-01
Abstract: 본 발명은 영상신호처리기의 자막 수신기에서 한글자막의 처리가 용이하고, 문자정보 처리시 많은 용량의 메모리를 필요로하지 않으며, 가장 최신의 문자정보를 저장할 수 있고, 또한 한글자막을 처리하면서 저장된 문자정보를 처리할 수 있고, 문자정보를 실시간으로 처리할 수 있도록 하기 위한 것으로, 이러한 본 발명의 목적은 사용자 정보를 체크하여 필요한 정보를 기억시킨 후 각각의 동작모드를 체크하는 제1과정과; 한글자막신호가 입력되지 않을 때 이미 버퍼에 저장된 문자정보를 디코딩 처리하여 메모리에 저장하는 제2과정과; 자막모드에서 문자정보모드를 체크하여 문자정보 모드의 신호가 아닌 것으로 판명되면, 제어/문자 코드를 구별하여 각각의 코드가 정상적인 코드인지 확인한 다음 제어코드 디코딩 루틴을 수행하거나 문자코드 디코딩 루틴을 수행하거나 에러화면 표시루틴을 수행하는 제3과정과; 자막모드에서 문자정보모드를 체크하여 문자정보 모드의 신호로 판명되면, 제어/문자코드로 구별하여 문자정보 버퍼 저장루틴을 수행하거나 기타 제어코드 디코딩 루틴을 수행하는 제4과정을 통해 달성된다.
Patent KR-100540508-B1 (KR)
Title: 공기조화장치의 압축기 제어시스템
IPC: F04B49/10
Filed: 1998-12-11
Granted: 2006-03-22
Abstract: 정전시(停電時)에 있어서의 압축기의 역전현상을 확실하게 할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다. 
     그 해결수단으로서, 압축기(16)의 운전을 제어하는 제어장치(13)과 압축기에로의 전원을 공급하는 전원변환장치(32)를 가지며, 제어장치가 리세트신호β의 입력에 의해 리세트하여 압축기를 정지시키는 공기조화장치(10)의 압축기 제어시스템(30)에 있어서, 전원부의 전원상태를 감시하며 전원부의 전원차단시에 제어장치로 리세트신호를 출력하는 전원감시장치(33)을 구비한 것이다.
Patent KR-100330301-B1 (KR)
Title: 개선된방열형음극을가지는음극선관
IPC: H01J29/04
Filed: 1998-12-21
Granted: 2002-09-17
Abstract: 음극선관은 형광스크린과 전자총을 구비한다.   전자총은 축의 방향으로 위치한 관계의 방열형 음극구조체와 복수의 그리드전극을 구비한다.   음극구조체는 전자방출재료피복을 가지는 베이스금속과 이 베이스금속을 가열하는 히터를 구비한다.   히터는 나선형으로 감긴 가열선을 가지는 주가열부와 다리부를 구비하고, 각각의 다리부는, 복수의 층으로 나선형으로 감긴 가열선을 가지는 제 1다층감기부와, 주가열부와 제 1다층감기부 사이에 들어있고 복수의 층으로 감긴 가열선을 가지는 제 2다층감기부를 포함한다.   주가열부와 제 2다층감기부의 적어도 일부분은 절연피복으로 덮혀있고, 히터는 히터에 전압을 인가하는 전기도전체에 제 1다층감기부에서 용접되어 있고, 제 1다층감기부에서의 단위길이당 감긴 횟수는 제 2다층감기부에서의 횟수보다 작다.
Patent KR-100278540-B1 (KR)
Title: 이동 통신기기의 고주파용 유전체 세라믹 레조네이터 표면처리방법
IPC: H01G4/12
Filed: 1998-12-29
Granted: 2001-01-15
Abstract: 본 발명의 유전체 세라믹 레조네이터 표면처리방법은 세라믹 유전체의 알카리 초음파 탈지, 질산과 불산의 혼합물에서의 엣칭처리, 이물질 제거공정, 파라디움 촉매처리, 무전해도금, 전기도금, 및 변색방지처리로 이루어진다.  세라믹 유전체의 알카리 초음파 탈지는 pH 13.5 이상의 강알카리성 물질을 사용하여 20∼40 MHz의 초음파 장치에서 온도 60℃에서 5∼10분 동안 처리한다.  질산과 불산의 혼합물에서의 엣칭처리는 세라믹 유전체의 표면을 엣칭시키는 것으로 63% 질산 750㎖와 불화수소산 250㎖의 산성용액에서 상온에서 10∼20분간 처리한다.  이물질 제거공정은 엣칭시에 발생하는 세라믹스 유전소체의 산화물질이 표면에 부착되면 밀착강도가 저하되므로 이를 제거하기 위한 공정으로, 이물질 제거용 환원제를 사용하여 상온에서 5분간 처리한다.  파라디움 촉매처리는 먼저 염화제일주석 5 g/ℓ, 염산 25 ㎖/ℓ의 용액 중에 실온에서 2∼10분간 센시타이징(sensatizing)한 후에 염화파라디움 0.5g과 36%염산 5㎖/ℓ의 산성용액 또는 알카리형 콜로이드 파라디움 용액을 사용하여 35∼45℃에서 3∼10분간 침적하여 처리한다.  무전해 도금은 0.5∼3.0㎛의 범위에서 구리, 니켈 또는 은도금을 실시하는 것이다.  전기도금은 세라믹 유전체의 Q값을 350 이상으로 유지하고, 납땜성과 가공성을 양호하게 하기 위하여 5∼15㎛의 전기 은도금을 실시한다.  변색방지처리는 조립시까지의 금속도금층의 변색을 방지하기 위한 것으로, 변색방지처리(anti-tarnish treatment)를 하고 건조한 후 진공포장한다.
Patent KR-100551001-B1 (KR)
IPC: H04B7/26
Filed: 1996-09-20
Granted: 2006-07-06
Abstract: 셀룰러 무선 시스템에서 에러 정정 코드 율을 선택하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 각 기지국은 전력 곱의 값 PP를 방송하는데, 이는 송신 전력 P BT 와 요구되는 수신 전력 P BR 을 곱한 값이다. 이동 유니트는, 수신 전력 P MR 을 측정하고, PP/P MR (24)을 계산함으로써, 적절한 송신 전력 P MT 를 결정한다. 많은 채널 손실로 인해, 계산 결과가 이동 유니트의 최대 송신 전력 용량을 초과한다면(25), 이동 유니트는 더 낮은 코드 율을 사용하고, 송신 전력을 적절하게 조정한다(27, 31). 세 개의 코드 율, 2/3, 1/2, 및 1/3이 양호한 실시예에서 채널 손실 양에 따라 사용된다. 코드 율 선택은 또한 송신될 데이터의 양에 의존할 수도 있다(30, 33, 34). 기지국은, 모든 코드 율을 디코드하도록 시도하고, 최상의 결과를 선택함으로써, 코드 율을 검출한다.
Patent KR-100508910-B1 (KR)
IPC: A61K31/405
Filed: 1996-10-17
Granted: 2006-04-20
Abstract: Particles of water insoluble biologically active compounds, particularly water-insoluble drugs, with an average size of 100 nm to about 300 nm, are prepared by dissolving the compound in a solution then spraying the solution into compressed gaz, liquid or supercritical fluid in the presence of appropriate surface modifiers.
Patent KR-100491198-B1 (KR)
Title: 광흡수성중합체및이를사용하여제조한피막형성조성물과반사방지막
IPC: G03F7/09
Filed: 1997-09-16
Granted: 2005-10-12
Abstract: 본 발명은 주쇄에 디카복실산 또는 카복실산 무수물 그룹을 갖는 반복 단위를 포함하는 공중합체의 카복실 그룹에 메틸렌 그룹 또는 알킬렌 그룹을 통해 화학적으로 결합된 유기 발색단을 포함하는 광흡수성 중합체에 관한 것이다. 광흡수성 중합체에서, 나머지 카복실 그룹은 반응성 아미노 그룹을 갖는 방향족 화합물로 아미드화 및/또는 이미드화시킬 수 있다. 내식막 용매에 불용성이고 다단계 피복성이 양호한 반사 방지막은, 광흡수성 중합체를 임의로 특성을 개선시키기 위해 반응성 아미노 그룹을 갖는 방향족 화합물과 함께 내식막 용매와 동일한 용매에 용해시켜 이 용액으로 기판을 피복하고 이러한 피복물을 소성함으로써 제조할 수 있다. 반사 방지막을 감광성 내식막으로 피복한 후 원자외선과 같은 방사선에 노출시킴으로써, 집적 회로 장치의 제작시 정재파에 영향을 받지 않는 고해상 내식막을 제공할 수 있다.
Patent KR-100431998-B1 (KR)
Title: 컴퓨터시스템
IPC: G06F15/167
Filed: 1996-12-16
Granted: 2004-07-16
Abstract: 과학기술계산용 컴퓨터 시스템은 적어도 프로세서 유닛군(1-1...1-N), 스위치(2), 보조스위치(3), 연관메모리 모듈군(4-1...4-N), 버퍼링블록(5)을 포함하고, 프로세서간의 교환없이 정보를 처리하도록 함으로써, 프로그램 처리시간을 단축시킨다.
Patent KR-100287010-B1 (KR)
IPC: B05C17/005
Filed: 1997-11-28
Granted: 2001-04-16
Abstract: 본 발명은, 기판 (1) 위에 2액반응 경화형재료를 각각 수납한 양 튜브 (2) 를 사이에 두고 상하로 경동되는 누름판 (12) 을 설치하고, 기판 (1) 의 하면측에 설치한 그립부 (8) 를 쥐고 이 그립부 (8) 의 전방에 위치하는 레버부 (9) 를 잡아당김으로써 누름판 (12) 을 하방으로 경동시켜 양 튜브 (2) 를 눌러 양 재료를 동시에 압출시킬 수 있도록한 압출장치 (C), 및 이 압출장치 (C) 에 설치되며, 또한 양 튜브 (2) 에 접속되어 양 튜브 (2) 로부터 압출된 양 재료를 합류시켜 토출하는 노즐부 (B) 를 설치한 도포장치 (A) 에 관한 것이다.
Patent KR-100322447-B1 (KR)
Title: 프레임 계조 및 펄스폭 변조 계조 방식을 혼합하여 계조전압을 발생하는 액정표시장치
IPC: G09G3/36
Filed: 1999-01-08
Granted: 2002-03-20
Abstract: 이 발명은 프레임 계조 및 펄스폭 변조 계조 방식을 혼합하여 계조전압을 발생하는 액정표시장치에 관한 것으로, 패널은 다수의 신호선, 상기 신호선에 교차하는 다수의 주사선을 가지며, 상기 신호선과 주사선에 인가된 전압의 차이에 의해 데이터를 표시한다.  제어부는 외부의 데이터 및 클럭신호를 입력받아 타이밍을 제어한다.  신호전극 구동부는 제어부의 제어에 따라 데이터에 해당하는 전압을 일정수의 프레임 기간동안 프레임 계조하고, 각각의 프레임에 대해 일정 수의 펄스폭 변조 계조를 하는 방식으로 신호선에 라인 단위로 인가한다.  주사전극 구동부는 제어부의 제어에 따라 주사전압을 상기 주사선에 순차적으로 인가한다.  이렇게 함으로써, 다수의 계조를 플리커 없이 표시할 수 있다.
Patent KR-100305097-B1 (KR)
Title: 최적화에 있어서 인터럽트 처리의 경감을 실현하는 컴파일러 및 그의 최적화 방법
IPC: G06F9/45
Filed: 1999-01-11
Granted: 2001-09-26
Abstract: 본원의 컴파일러는,  함수별 사용 레지스터 관리 테이블 (50) 과,  소스 프로그램에서 생성된 중간 코드에 기초하여,  함수별로,  사용 레지스터와 호출 함수명을 추출하여 함수별 사용 레지스터 관리 테이블 (50) 에 등록하는 함수별 사용 레지스터 추출부 (60) 와,  인터럽션 함수에 의해 호출되는 호출 함수에 의해 사용되는 레지스터들을 집계하고,  인터럽션 함수의 사용 레지스터로서 함수별 사용 레지스터 관리 테이블 (50) 에 집계된 레지스터들을 새로 등록하는 함수별 사용 레지스터 집계부 (70),  및 함수별 사용 레지스터 관리 테이블 (50) 을 참조하여,  중간 코드에,  인터럽션 함수의 사용 레지스터의 저장/복귀 코드를 부가하여 어셈블리 프로그램 파일을 생성하여 출력하는 출력부 (80) 를 구비한다.
Patent KR-100290665-B1 (KR)
IPC: G06F17/30
Filed: 1999-01-19
Granted: 2001-05-15
Abstract: 본 발명은 전자문서 표준화를 위한 범용언어로 작성된 구조화 문서를 관계 데이터베이스로 저장하고 효율적으로 조회하기 위한 관계 데이터베이스 관리시스템에 관한 것으로, 전자문서를 구문해석하여 태그, 내용 및 엔티티에 해당하는 토큰들을 발생시키는 단계; 전자문서에 대한 문서번호, 각 토큰들에 대한 순서정보 및 각 순서정보에 해당하는 토큰의 유형정보를 문서테이블에 저장하는 단계; 각 태그토큰 별로 상기 문서번호, 태그의 유형정보, 다른 태그와의 관계정보 및 태그에 대응되는 상기 순서정보를 태그테이블에 저장하는 단계; 각 내용토큰 별로 문서번호, 내용에 대응되는 순서정보 및 내용을 내용테이블에 저장하는 단계; 각 엔티티토큰 별로 문서번호, 엔티티에 대응되는 순서정보 및 엔티티의 이름를 엔티티테이블에 저장하는 단계; 및 엔티티테이블에 대응하여, 문서번호, 문서유형정의의 이름, 엔티티의 이름 및 엔티티에 대응하는 내용을 엔티티내용테이블에 저장하는 단계를 포함하며, SGML 문서의 구문해석을 통해 얻어지는 정보를 그대로 데이터베이스 모형에 반영하고 추가적으로 문서의 순서정보를 저장/활용함으로써 모형의 활용성 및 개발되는 시스템의 성능을 극대화시킬 수 있다.
Patent KR-100285407-B1 (KR)
Title: 낚시용 찌
IPC: A01K93/00
Filed: 1999-01-30
Granted: 2001-03-15
Abstract: 본 발명은 어신감지에 신속하게 대응하여 낚시의 묘미를 증대시키고 낚시준비과정을 대폭 줄여줌으로서 낚시의 즐거움을 배가시키고 낚시입문이 용이하도록 한 낚시용 찌에 관한 것으로서; 
     구멍찌(15)의 몸체(10)를 양분하여 나사(18)결합되도록 한 상부캡(16)과 하부캡(17), 상,하부캡(16,17)의 내부에 낚시줄(11)이 통과할 수 있도록 여유공간(19,20)을 가지고 구비되는 내부관체(21,22), 하부캡(17)에 위치하는 내부관체(22)의 하단부에 구비되어 구멍찌(10)가 안정된 자세를 유지할 수 있도록 하는 중량체(25), 하부캡(17)에 위치하는 내부관체(22)의 상단내측에 형성하는 브라켓(30), 브라켓(30)에 일측을 토셔널스프링(32)을 개재시킨 축(33)으로 움직일 수 있게 고정되는 스토퍼(31), 스토퍼(31)에는 낚시줄(11)이 지나갈 수 있도록 형성하는 슬로트(35)를 포함하고; 
     상기 내부관체(21,22)에는 스토퍼(31)가 회동할 수 있을 정도의 반경을 가지는 돌출부(36)와 상기 스토퍼(31)의 하강을 방지할 수 있는 후육부(37)를 더 형성하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100328294-B1 (KR)
Title: 야금로용 스테이브
IPC: F27D9/00
Filed: 1999-02-08
Granted: 2002-03-16
Abstract: 야금로용 스테이브(stave)는 스테이브 본체와 냉매용 통로로 이루어진다.  스테이브 본체는 일체로 주조된 동 또는 동합금제의 주조체로 구성된다.  냉매용 통로는 상기 스테이브 본체 내부에 주조시에 형성된다.
Patent KR-100333267-B1 (KR)
Title: 빌딩자동화시스템
IPC: G06Q50/10
Filed: 1999-02-26
Granted: 2002-04-24
Abstract: 본 발명은 빌딩에 설치되어 업무를 수행하거나 거주하는 사람들의 편의를 도모하기 위해 설치된 복수개의 기능모듈과; 빌딩에 설치된 상기 기능모듈의 동작 상태를 디스플레이하고, 상기 기능모듈로 제어명령을 수행하기 위한 호스트와; 빌딩의 관리자에 의해 입력된 설정치에 따라 상기 기능모듈을 자동으로 제어하기 위한 주 CPU모듈과; 상기 주 CPU모듈의 장애 발생 여부를 검출하여, 주 CPU모듈에 장애가 발생하면 그 기능을 수행하고, 상기 주 CPU모듈이 정상 상태로 회복되면 주 CPU모듈로 제어권을 이양한 후, 상기 주 CPU모듈의 감시기능을 수행하는 부 CPU 모듈과; 케이블 및 인터페이스로 구성되어 상기 호스트와 상기 주 CPU모듈 및 부 CPU모듈 간의 네트웍 통신을 수행하는 빌딩 자동제어 네트워크와, 케이블 및 인터페이스로 구성되어 상기 주 CPU 모듈 및 부 CPU 모듈 간의 시리얼 통신을 수행하는 시리얼 통신장치를 포함하는 빌딩자동화시스템에 관한 것으로서, 예측하지 못한 장애로 인하여 주 CPU 모듈에 이상이 발생하더라도 정상적으로 각종 장치들을 제어할 수 있기 때문에 빌딩관리를 안정적으로 운영할 수 있는 장점이 있게 된다.
Patent KR-100291038-B1 (KR)
Title: 셀룰러 시스템에서 이동 단말기의 대상 주파수 검색방법
IPC: H04B7/155
Filed: 1999-03-12
Granted: 2001-05-15
Abstract: 본 발명은 기지국 제어기가 적어도 하나의 기지국을 통해 이동 단말기로부터 파일럿 세기 측정 메시지(PSMM)를 수신하는 단계(s110)와, 기지국 제어기가 상기 이동 단말기가 경계지역에 위치하거나, 상기 이동 단말기의 순방향 무선 통화채널이 불량한지를 판단하는 단계(s120), 상기 이동 단말기가 경계지역에 위치하거나, 순방향 무선 통화채널이 불량하면, 기지국 제어기가 이동 단말기에게 핸드오프의 대상이 되는 주파수의 검색을 지시하는 단계(s130), 대상 주파수를 검색중인 이동 단말기가 검색 중지 조건을 만족시키는 상태가 되었는지를 확인하는 단계(s140), 이동 단말기가 검색 중지 조건이 되면, 기지국 제어기가 이동 단말기에게 대상 주파수의 검색 중지를 지시하는 단계(s150), 이동 단말기가 기지국 제어기의 지시에 의하여 대상 주파수를 검색하고 그 검색 결과를 보고하는 단계(s160) 및 기지국 제어기가 상기 검색 결과를 참조하여 주파수간 핸드오프를 수행하는 단계(s170)를 포함한다.
Patent KR-100318820-B1 (KR)
Title: 도어 열림 감지용 자기 리드 스위치
IPC: H01H36/00
Filed: 1999-03-13
Granted: 2002-01-05
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     도어 열림 감지용 자기 리드 스위치 
     나. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 
     미리 설정된 범위내에서 도어의 열림을 허용하는 도어 열림 감지용 자기 리드 스위치를 제공한다. 
     다. 그 발명의 해결방법의 요지 
     도어 열림 감지용 자기 리드 스위치에 있어서, 도어 부근, 예를 들어 문틀 등의 미리 설정된 부위에 설치되는 리드 스위치와, 상기 리드 스위치가 설치되는 부위와 대응되는 도어 부위에 설치되며, 상기 리드 스위치에 자력을 가하며, 도어의 이동 방향으로 미리 설정된 길이로 신장된 자석부를 가진다. 
     라. 발명의 중요한 용도 
     도어 열림 감지용 자기 리드 스위치에 적용된다.
Patent KR-100536587-B1 (KR)
Title: 잠금장치를 갖는 휴대형 컴퓨터
IPC: G06F1/16
Filed: 1999-03-13
Granted: 2005-12-14
Abstract: 본 발명의 휴대형 컴퓨터는 디스플레이 패널을 베이스로부터 열었을 때 러그를 디스플레이 패널로 삽입시킬 수 있는 잠금 장치를 갖는다.  이와 같은 잠금 장치는 포켓과 슬라이더, 그리고 노브를 구비한다.  포켓은 디스플레이 패널의 내부에 형성되고, 디스플레이 패널의 윗면으로부터 연장되는 양측면과 이 양측면을 연결하는 면을 갖는다.  슬라이더는 포켓의 양측면 사이를 직선운동하도록 포켓에 위치되고, 러그가 내부로 삽입가능하도록 형성된다.  노브는 디스플레이 패널의 윗면으로부터 삽입되어 슬라이더와 결합되고, 슬라이더를 동작시켜서 러그를 슬라이더로부터 디스플레이 패널의 앞면으로 돌출시킨다.
Patent KR-100292270-B1 (KR)
Inventor: KANG NAM SOON
IPC: C01B13/11
Filed: 1999-04-16
Granted: 2001-06-01
Abstract: 본 발명은 오존발생장치에서 발생되는 오존의 양을 오존발생장치가 설치된 환경에 적합하게 발생할 수 있도록 제어할 수 있도록 한 오존발생장치 제어시스템에 관한 것으로서; 세라믹이나 ABS수지등으로 만들어지는 사각형상의 윈도우(1,2,3)를 가지는 다수개의 프레임(4,5,6), 프레임(4,5,6)의 중간프레임(5)은 양면에 걸쳐서 윈도우(1)에 노출되도록 백금선(7)을 권취하고, 양측의 프레임(4,6)은 중간프레임(5)과 절연필름(8,9)을 개재하여 윈도우(2,3)를 통하여 백금선(10,11)이 노출되도록 권취하고, 백금선(7,10,11)은 프레임(4,5,6)의 양단에서 전기적으로 연결되도록 도전체(12,13,14)로 연결되는 오존발생장치(20)에 있어서; 상기 오존발생장치(20)가 설치된 장소의 현재환경을 감지하기 위한 센서(21)와; 오존발생장치(20)에서 발생한 오존의 양과  발생되어 설치환경으로 방출된 양을 표시하는 디스플레이(22); 오존발생장치(20)가 설치된 현재환경에 필요한 오존양을 직접조작하여 제어할 수 있도록 구비되는 키부(23); 센서(21)와 키부(23)의 입력정보를 토대로 오존발생장치(20)를 제어하는 MPU(24)로 제어시스템을 구성한다.
Patent KR-100294533-B1 (KR)
IPC: B29C65/70
Filed: 1999-04-20
Granted: 2001-07-04
Abstract: 본 발명은 자동차의 발포층이 있는 N·V·H 용 내장재의 성형방법 및 성형장치에 관한 것으로써, 종래에는 표피지 소재를 성형금형→발포금형→트림/피어싱금형 또는 성형금형→트림/피어싱금형→발포금형으로 차례로 옮기면서 생산하므로 공정이 번거롭고 오래걸려 원가상승의 요인이 많고, 나중에 트림/피어싱하는 것은 발포면 손상으로 품질이 떨어지며, 발포공정을 나중에 하는 것은 발포액이 새어 나와 누액된 만큼 손실이 발생하고 외관이 지저분져 상품성이 떨어지는 문제점이 있다. 
     본 발명은 상/하형 코어(11)(21)의 내부에 냉각수파이프가 설치되는 상/하 금형(A)(B)과 트림용 칼날(30) 및 피어싱용 펀치(32)로 자동차용 내장재를 성형함에 있어서, 상금형(A)의 상형코어(11)에는 소재(40)를 성형면에 부착시켜 주는 진공흡착공(13)을 형성하고, 하금형(B)의 하형코어(21) 성형면 소정부위에는 온수파이프(23)가 설치된 발포 성형홈(25)을 형성하며, 상기 하형베이스(20)와 하형코어 (21) 사이에는 상기 성형홈(25)으로 발포액을 주입하는 헤드(26)를 설치하여 한 벌의 상/하 금형(A)(B)으로 소재의 성형, 발포층 성형, 트림/피어싱 공정을 함께 수행할 수 있도록 한 것으로서, 생산성향상과 원가절감, 품질향상을 이룰 수 있다.
Patent KR-100327555-B1 (KR)
Inventor: PARK SUN KYU
IPC: A23L7/109
Filed: 1999-05-14
Granted: 2002-03-14
Abstract: PURPOSE: Provided is a nozzle for manufacturing hollow type of noodles by passing a through hole through the noodle strip, thereby shortening cooking time of noodle and allowing the noodle to be well seasoned. CONSTITUTION: A nozzle for manufacturing hollow type of noodles is characterized by comprising a pressurizing unit; a nozzle fixing plate to extrude noodle strips having a regular thickness; and a nozzle inserted into the nozzle fixing plate and forming a through hole on the noodle strip.
Patent KR-100323640-B1 (KR)
Title: 케라틴 섬유의 산화 염색용 조성물 및 그 조성물을 이용한 염색 방법
IPC: A61K8/35
Filed: 1999-05-20
Granted: 2002-02-07
Abstract: 본 발명은  염색에  적합한  매체 중에,  하나 이상의  산화 염기  및,  직접 염료로서의  하나 이상의  특정 양이온성 염료를  함유하는,  케라틴 섬유,  특히  모발과 같은  인간의  케라틴 섬유의  산화 염색용 조성물,  및  이 조성물을  이용한  염색 방법에  관한 것이다.
Patent KR-100309725-B1 (KR)
IPC: H04W16/28
Filed: 1999-06-04
Granted: 2001-10-29
Abstract: 마스크 심볼의 다중 목적지를 전환하는 전환기를 가지며, 이 전환기에 의해 다중 목적지를 전환함으로써 복수의 안테나로부터 병렬 송신되는 제어 채널 신호에 다중화되는 마스크 심볼은, 각 송신 타이밍에 있어서, 어느 하나의 안테나만으로부터 송신되도록 한다.
Patent KR-100312587-B1 (KR)
Title: 평면표시소자
IPC: G02F1/133
Filed: 1999-06-12
Granted: 2001-11-03
Abstract: 본 발명은 고주파 플라즈마부를 광원으로 사용하는 평면표시소자에 관한 것이다. 
     본 발명의 평면표시소자는 광빔중 특정 광축의 광빔만을 통과시키기 위한 편광판 없이 광빔의 투과량의 조절하는 액정표시부와, 액정표시부의 하부에 일체화되도록 형성되어 액정표시부에 광빔을 공급하는 고주파 플라즈마부를 구비하며, 고주파 플라즈마부는 하부기판의 상부에 형성된 데이터 전극과, 데이터전극과 직교하도록 형성된 스캔전극과, 스캔전극의 상부에 형성된 유전층을 구비한다. 
     이러한 구조를 갖는 본 발명의 평면표시소자는 광효율을 향상시키게 된다.
Patent KR-100333662-B1 (KR)
Title: 강유전체 캐패시터 제조 방법
IPC: H01L27/10
Filed: 1999-06-28
Granted: 2002-04-24
Abstract: 본 발명은 강유전체 막 구조를 치밀화시킬 수 있으며 강유전 특성을 보다 향상시킬 수 있는 강유전체 캐패시터 제조 방법에 관한 것으로, 페롭스카이트 핵 형성 공정인 급속열처리를 종래의 상압 방식에서 상압보다 낮은 저압방식으로 전환하는데 특징이 있다. SBT,  SBTN 핵의 플루라이트에서 페롭스카이트로의 전이는 저압 상태, 700 ℃ RTA 열공정으로 충분히 이루어진다. 또한, SBT, SBTN막은 급속열처리 과정 중 산화반응에 의해 체적 증가가 제한되므로 극히 평탄하고 치밀한 표면 상태를 갖게된다.