Patent DE-102015210893-B4 (DE)
Title: Analyseeinrichtung zur Analyse der Energie geladener Teilchen und Teilchenstrahlgerät mit einer Analyseeinrichtung
Inventor: PREIKSZAS DIRK DR
IPC: H01J37/26
Filed: 2015-06-15
Granted: 2019-05-09
Abstract: Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) zur Analyse und/oder Bearbeitung eines Objekts (114, 425), mit
 - mindestens einem Strahlerzeuger (101, 301, 402) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls mit geladenen Primärteilchen,
 - mindestens einer Objektivlinse (107, 304, 421) zur Fokussierung des Teilchenstrahls auf das Objekt (114, 425), wobei bei einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (114, 425) Wechselwirkungsteilchen entstehen, und mit
 - mindestens einer Analyseeinrichtung (500) zur Analyse der Energie von geladenen Teilchen in Form der Wechselwirkungsteilchen, wobei die Analyseeinrichtung (500) aufweist:
 - mindestens einen Detektor (428) zur Detektion der geladenen Teilchen, wobei der Detektor eine Detektionsfläche (510) zum Auftreffen der sich in eine Einfallsrichtung (E) zum Detektor (428) hin bewegenden geladenen Teilchen aufweist,
 - mindestens eine Gegenfeldgittereinrichtung (430), an der eine Spannung zur Reflektion eines Teils der geladenen Teilchen von der Gegenfeldgittereinrichtung (430) derart angelegt ist, dass der Teil der geladenen Teilchen nicht vom Detektor (428) detektiert wird,
 - mindestens eine elektrostatische und/oder magnetische Linse (502) zur Kompensation einer Verschiebung eines Crossovers der geladenen Teilchen auf einer optischen Achse, wobei ausgehend vom Detektor (428) in einer zur Einfallsrichtung (E) der geladenen Teilchen entgegengesetzten Richtung gesehen zunächst der Detektor (428), dann die Gegenfeldgittereinrichtung (430) und dann die elektrostatische und/oder magnetische Linse (502) angeordnet sind, wobei die Gegenfeldgittereinrichtung (430) eine Krümmung aufweist und wobei die optische Achse (501)durch die Gegenfeldgittereinrichtung (430) verläuft, 
 - einen Krümmungsmittelpunkt (M, M') der Gegenfeldgittereinrichtung (430), wobei der Krümmungsmittelpunkt (M, M') ein Schnittpunkt der optischen Achse (501) mit der Gegenfeldgittereinrichtung (430) ist und wobei die Krümmung einen Krümmungsradius (R, R') aufweist, welcher durch die Strecke zwischen dem Krümmungsmittelpunkt (M, M') und einem Ausgangspunkt (A) auf der optischen Achse (501) gegeben ist, wobei die Gegenfeldgittereinrichtung (430) vom Krümmungsmittelpunkt (M, M') aus gesehen in Richtung des Ausgangspunkts (A) gekrümmt ist; und wobei
 - die Analyseeinrichtung (500) eines der folgenden Merkmale aufweist:
 (i) die elektrostatische und/oder magnetische Linse (502) ist entlang der optischen Achse (501) in Einfallsrichtung (E) der geladenen Teilchen gesehen nach dem Ausgangspunkt (A) angeordnet;
 (ii) der Ausgangspunkt (A) ist entlang der optischen Achse (501) zwischen der elektrostatischen und/oder magnetischen Linse (502) und dem Krümmungsmittelpunkt (M, M') angeordnet; oder
 (iii) der Ausgangspunkt (A) ist entlang der optischen Achse (501) in Einfallsrichtung (E) der geladenen Teilchen gesehen nach der elektrostatischen und/oder magnetischen Linse (502) und nach dem Krümmungsmittelpunkt (M, M') angeordnet.