baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102016008167-B4 (DE)
Title: Antriebseinrichtung für ein Kraftfahrzeug, Kraftfahrzeug mit einer Antriebseinrichtung sowie Verfahren zum Betreiben einer Antriebseinrichtung
Inventor: HOFFMANN THOMAS
IPC: B60K6/52
Filed: 2016-07-02
Granted: 2023-01-26
Abstract: Antriebseinrichtung (5) für ein Kraftfahrzeug (1) mit einem als Brennkraftmaschine ausgebildeten ersten Antriebsaggregat (7), einem als elektrische Maschine ausgebildeten zweiten Antriebsaggregat (8) und einem Planetengetriebe (9), über das das erste Antriebsaggregat (7) und das zweite Antriebsaggregat (8) mit einer antreibbaren Achse (2) des Kraftfahrzeugs (1) wirkverbindbar sind, wobei das erste Antriebsaggregat (7) und die antreibbare Achse (2) mit dem Planetengetriebe (9) wirkverbindbar oder wirkverbunden und das zweite Antriebsaggregat (8) permanent mit dem Planetengetriebe (9) wirkverbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich ein ein Nebenaggregat (20) aufweisender Nebentrieb (18) permanent mit dem Planetengetriebe (9) wirkverbunden ist, wobei der Nebentrieb (18) ein als elektrische Maschine ausgebildetes drittes Antriebsaggregat (21) aufweist, das zumindest zeitweise mit dem Nebenaggregat (20) gekoppelt ist.
Patent DE-102016100697-B4 (DE)
Title: Mobilgerät und Verfahren zum Betreiben eines Mobilgeräts
Inventor: SLABY JIRI
IPC: H02J7/34
Filed: 2016-01-18
Granted: 2023-11-09
Abstract: Mobilgerät, umfassend:einen Kommunikations-Sender-Empfänger;ein Verarbeitungssystem;einen computerlesbaren Speicher;ein Audio- und/oder Videoverarbeitungssystem;eine Primärbatterie, die als Stromquelle für Leistungskomponenten des Mobilgeräts konfiguriert ist;eine Sekundärbatterie, die als zusätzliche Stromquelle für Leistungskomponenten des Mobilgeräts konfiguriert ist;einen Feuchtigkeitsdetektor, der für die Detektion einer Feuchtigkeit in der Nähe eines Batterieanschlusses der Sekundärbatterie in dem Mobilgerät konfiguriert ist; undeine Batteriesteuerung für den Empfang einer Sensoreingabe der detektierten Feuchtigkeit von dem Feuchtigkeitsdetektor, wobei die Batteriesteuerung ferner ausgebildet ist zum Umschalten von der Sekundärbatterie auf die Primärbatterie als Stromquelle für die Stromversorgung zumindest des Kommunikations-Sender-Empfängers, des Verarbeitungssystems, des computerlesbaren Speichers und des Audio- und/oder Videoverarbeitungssystems des Mobilgeräts auf der Basis einer in der Nähe eines Batterieanschlusses der Sekundärbatterie detektierten Feuchtigkeit.
Patent DE-102016104039-B4 (DE)
Title: Brennstoffzellenfahrzeug
Inventor: NADA MITSUHIRO
IPC: H01M8/04
Filed: 2016-03-07
Granted: 2019-10-02
Abstract: Brennstoffzellenfahrzeug (10), aufweisend:ein Brennstoffzellensystem (100) mit einer Brennstoffzelle;einen Vorratsbehälter (140), der ausgestaltet ist, um ein Reaktionsgas zu speichern, das der Brennstoffzelle zugeführt werden soll;einen Verbindungsabschnitt (110), der ausgestaltet ist, um einen Zufuhrabschnitt (230) zum Zuführen des Reaktionsgases mit einem Füllanschluss (130) zum Befüllen des Vorratsbehälters mit dem Reaktionsgas zu verbinden;einen Abdeckungsabschnitt (122), der ausgestaltet ist, um den Verbindungsabschnitt abzudecken;einen Auf-Zu-Sensor (124), der ausgestaltet ist, um eine geöffnete/geschlossene Position des Abdeckungsabschnitts zu erfassen;ein Aufzeichnungsgerät (172), das ausgestaltet ist, um eine Fahrhistorie aufzuzeichnen, die auf die Tatsache hinweist, dass sich das Fahrzeug bewegt; undeinen Controller (170), der ausgestaltet ist, um das Fahrzeug zu steuern, wobeider Controller, wenn Bedingungen erfüllt sind, wonach das Fahrzeug in einem fahrbereiten Zustand ist, wonach ein Fahrer des Fahrzeugs das Fahrzeug durch Niederdrücken eines Beschleunigers (160) beschleunigen kann, das Aufzeichnungsgerät seit der Aktivierung des Brennstoffzellensystems keine Fahrhistorie hat (S 100: JA) und die vom Auf-Zu-Sensor erfasste geöffnete/geschlossene Position des Abdeckungsabschnitts eine offene Position anzeigt (S110: JA), das Fahrzeug in einen nicht-fahrbereiten Zustand versetzt (S120).
Patent DE-102016105188-B4 (DE)
Title: Wiegevorrichtung für Pleuelstangen
Inventor: LEMSER MATTHIAS
IPC: G01G23/00
Filed: 2016-03-21
Granted: 2018-10-25
Abstract: Wiegevorrichtung (20) für eine Doppelwaage (10) mit einer Aufnahme für eine Pleuelstange (50), die ein großes Pleuelauge (52) mit einer großen Lageröffnung (51), ein kleines Pleuelauge (56) mit einer kleinen Lageröffnung (55) und einen die Pleuelaugen verbindenden Pleuelschaft (54) aufweist, mit einem sich waagerecht erstreckenden Träger (21), der auf seiner Oberseite Zentrierelemente (27, 28) trägt, die in die Lageröffnungen (51, 55) der Pleuelaugen (52, 56) eingreifen und die Pleuelstange auf dem Träger positionieren, und der auf seiner Unterseite Abstützelemente (23, 24) zur Abstützung des Trägers (21) auf Wiegeaufnahmen (14, 15) der Doppelwaage (10) aufweist, wobei die Oberseite des Trägers (21) wenigstens eine ebene Trägerfläche (22) zur Aufnahme der Pleuelstange (50) an einer Stirnseite aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentrierelemente (27, 28) Wälzlager (30, 34) tragen, die in die Lageröffnungen (51, 55) einführbar sind und einen drehbaren Außenring haben, dessen Außendurchmesser kleiner ist als der Innendurchmesser der ihm zugeordneten Lageröffnung (51, 55) und der eine Anlagefläche für die Innenfläche (53, 57) der ihm zugeordneten Lageröffnung (51, 55) bildet, wobei eines der Zentrierelemente (28) in Richtung des anderen Zentrierelements (27) mittels eines am Träger (21) angeordneten Aktors (39) derart bewegbar ist, dass die Anlageflächen der Zentrierelemente (27, 28) an die Innenflächen der Lageröffnungen (51, 55) angedrückt werden.
Patent DE-102016122469-B4 (DE)
Title: Relais mit zwangsgeführten Kontakten
Inventor: BRAUNMILLER MATHIAS
IPC: H01H50/64
Filed: 2016-11-22
Granted: 2019-08-14
Abstract: Relais (10), insbesondere Hochspannungsrelais mit zwangsgeführten Kontakten, das Folgendes aufweist:
 - einen Aktuator (12),
 - einen Betätiger (88), der mit dem Aktuator (12) gekoppelt ist,
 - eine Schalteinheit (28), die zumindest einen ersten Schalter (50) und einen zweiten Schalter (52) umfasst, die über den Betätiger (88) miteinander zwangsgeführt gekoppelt sind, und die jeweils zumindest eine erste Schaltstellung und eine zweite Schaltstellung aufweisen, und
 - eine Zusatzführung (110) mit zumindest einem Führungshebel (112, 114), der mit dem Betätiger (88) und zumindest dem ersten Schalter (50) oder dem zweiten Schalter (52) gekoppelt ist,
 wobei der erste Schalter (50), der zweite Schalter (52) und der Führungshebel (112, 114) durch den Betätiger (88) antreibbar sind,
 dadurch gekennzeichnet, dass
 der erste Schalter (50) und der zweite Schalter (52) jeweils einen ersten, stabilen Zustand und einen zweiten, metastabilen oder stabilen, Zustand aufweisen.
Patent DE-102016123368-B4 (DE)
Title: Kaltschmiedevorrichtung
Inventor: WABNER MARKUS
IPC: B23P9/04
Filed: 2016-12-02
Granted: 2022-02-03
Abstract: Kaltschmiedevorrichtung, umfassend wenigstens einen mit einem antreibbaren Hammerkopf (1, 9) bestückten Werkzeugarm (2, 8), wobei eine Hammerbewegung des Hammerkopfs (1, 9) im Wesentlichen senkrecht oder exakt senkrecht zu der Längsachsenrichtung der Kaltschmiedevorrichtung und/oder im Wesentlichen senkrecht oder exakt senkrecht zu der Erstreckungsrichtung des Werkzeugarms (2, 8) verläuft, wobei die Kaltschmiedevorrichtung zwei mit jeweils einem antreibbaren Hammerkopf (1, 9) versehene Werkzeugarme (2, 8) aufweist, wobei sich die Hammerköpfe (1, 9) bevorzugt im Wesentlichen symmetrisch zu einer Längsachse der Kaltschmiedevorrichtung gegenüberstehen, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Werkzeugarme (2, 8) über ein Feder-Dämpfer-System (12) aneinander gekoppelt sind.
Patent DE-102016205602-B4 (DE)
Title: Automatische Einparksteuervorrichtung
Inventor: SHIMIZU HIROKAZU
IPC: B60W10/04
Filed: 2016-04-05
Granted: 2022-02-24
Abstract: Automatische Einparksteuervorrichtung, umfassend:eine Kamera (1);einen Abstandsmesssensor (2); undeine Moduseinstellkomponente (23) zum Einstellen von einem von mindestens zwei unterschiedlichen Einparkmodi;eine Verarbeitungseinheit (10), die einen Einparkführungsweg eines Host-Fahrzeugs aus einem Bild der Kamera (1) und einem Ausgangssignal des Sensors (2) berechnet, und einen vorab eingestellten Fahrsystem-Stoppmodus bezüglich des Fahrzeugs durchführt, in Abhängigkeit von dem eingestellten Einparkmodus, wenn gefunden wird, dass das Fahrzeug in einem Parkplatz entlang des Führungswegs eingeparkt wurde.
Patent DE-102016217918-B4 (DE)
Title: Bewegungsvorrichtung zum Bewegen eines Werkstücks in einem Koordinatenmessgerät
Inventor: UHL PETER
IPC: G12B5/00
Filed: 2016-09-19
Granted: 2022-11-03
Abstract: Bewegungsvorrichtung (1) zum Bewegen eines Werkstücks (5) in einem Koordinatenmessgerät (211) oder einer Werkzeugmaschine, aufweisend- einen Stator (2),- einen beweglichen Teil (3),- eine Auflage (4) oder eine Einspannvorrichtung für ein Werkstück (5), die an den beweglichen Teil (3) gekoppelt ist,- einen Antrieb (7) für den beweglichen Teil (3), dadurch gekennzeichnet, dassinnerhalb eines Kraftverlaufes von dem Antrieb (7) bis zu der Auflage (4) oder der Einspannvorrichtung, oderinnerhalb eines Kraftverlaufes von dem Antrieb (7) bis zu einem Teil der Auflage (4) oder der Einspannvorrichtung, an dem das Werkstück positionierbar oder anbringbar ist,eine kraft- oder drehmomentschaltende Sicherheitskupplung (14) angeordnet ist, wobei die Auflage (4) oder die Einspannvorrichtung mehrteilig ausgeführt ist und die Sicherheitskupplung (14) zwischen zwei Teilen (10, 11) der Auflage (4) oder der Einspannvorrichtung angeordnet ist.
Patent DE-102016220847-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben einer Antriebseinrichtung für ein Kraftfahrzeug mit Nutzung der bei einem Laden eines Energiespeichers anfallenden Wärme zum Aufheizen eines Antriebsaggregats und/oder eines Getriebes sowie entsprechende Antriebseinrichtung
Inventor: AUERBACH MICHAEL
IPC: H01M10/663
Filed: 2016-10-24
Granted: 2021-09-30
Abstract: Verfahren zum Betreiben einer Antriebseinrichtung (1) für ein Kraftfahrzeug, die einen ersten Kühlkreislauf (14) und einen zweiten Kühlkreislauf (15) aufweist, wobei in einer Normalbetriebsart der Antriebseinrichtung (1) der zum Temperieren eines ersten Antriebsaggregats (7) verwendete erste Kühlkreislauf (14) bei einer höheren Temperatur betrieben wird als der zum Temperieren eines zweiten Antriebsaggregats (8) verwendete und strömungstechnisch von dem ersten Kühlkreislauf (14) separierte zweite Kühlkreislauf (15), dadurch gekennzeichnet, dass in einer während eines Stillstands des Kraftfahrzeugs durchgeführten Ladebetriebsart der Antriebseinrichtung (1) eine elektrische Energiespeichereinrichtung (11) der Antriebseinrichtung (1) geladen und während des Ladens anfallende Wärme mittels des zweiten Kühlkreislaufs (15) von der Energiespeichereinrichtung (11) abgeführt und dem zweiten Antriebsaggregat (8) und/oder einem Gangwechselgetriebe (5) der Antriebseinrichtung (1) zugeführt wird, bis das zweite Antriebsaggregat (8) und/oder das Gangwechselgetriebe (5) eine bestimmte Mindesttemperatur erreicht haben, wobei nach dem Erreichen der Mindesttemperatur die Wärme durch strömungstechnisches Verbinden des ersten Kühlkreislaufs (14) und des zweiten Kühlkreislaufs (15) zumindest teilweise dem ersten Kühlkreislauf (14) zugeführt wird.
Patent DE-102017006426-B4 (DE)
Title: Radkasten für ein Fahrzeug und Fahrzeug mit solch einem Radkasten
Inventor: WEDHOLM ANDERS
IPC: B62D25/16
Filed: 2017-07-07
Granted: 2022-02-24
Abstract: Radkasten (3) für ein Fahrzeug (1), insbesondere ein Schwerlastfahrzeug, umfassend einen Kotflügel (5) und ein Verkleidungsblech (7), wobei der Kotflügel (5) ausgebildet ist, wenigstens teilweise einen Abschnitt eines im Radgehäuse (3) angeordneten Rads (13) abzudecken, und wobei das Verkleidungsblech (7) ausgebildet ist, wenigstens teilweise einen durch eine Distanz zwischen einem Umfang des Rads (13) und dem Kotflügel (5) definierten Spalt abzudecken, wobei der Kotflügel (5) und das Verkleidungsblech (7) ausgebildet sind, mit einer Schnappverschlussanordnung (41) umfassend ein erstes Verbindungselement (15) und ein zweites Verbindungselement (25) verriegelt zu werden, wobei eines der Verbindungselemente auf dem Kotflügel (5) angeordnet ist und das andere entsprechende Verbindungselement auf dem Verkleidungsblech (7) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Verbindungselement (15) zwei sich erstreckende erste Rippen (17), eine obere erste Rippe (17') und eine untere erste Rippe (17") umfasst, und das zweite Verbindungselement (25) eine sich erstreckende zweite Rippe (27) umfasst, wobei die zweite Rippe (27) ausgebildet ist, zwischen den zwei ersten Rippen (17) eingeführt zu werden, um obere und untere Kontaktflächen (33, 35) zwischen den zwei ersten Rippen (17', 17") und der zweiten Rippe (27) zu bilden.
Patent DE-102017010409-B4 (DE)
Title: Anhängerkupplung für ein Fahrzeug
Inventor: MIEDERER MICHAEL
IPC: B60D1/54
Filed: 2017-11-09
Granted: 2019-06-19
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Anhängerkupplung (1) für ein Fahrzeug mit einem zwischen einer Ruhestellung (I) und einer Betriebsstellung (II) schwenkbaren Kugelstange (2), mit einem ersten und zweiten Sperrelement (3.1), die jeweils zwischen einer Blockierstellung (III, III), in welcher über in Eingriff bringbare Formschlusskonturen (2.51, 2.52, 2.61, 2.62, 3.10, 3.20) die Kugelstange (2) schwenksperrbar ist, und wenigstens einer Freigabestellung (IV, IV, IV, IV, IV), in welcher die Formschlusskonturen (2.51, 2.52, 2.61, 2.62, 3.10, 3.20) außer Eingriff sind, bewegbar sind, weiterhin mit einem von einer Antriebseinheit (4) über eine Getriebeantriebswelle (5.3) antreibbaren ersten und zweiten Getriebe (5.10, 5.20) mit einer ersten und zweiten Abtriebswelle (5.11, 5.21), wobei die Sperrelemente (3.1, 3.2) zum Bewegen zwischen der Blockierstellung (III, III) und der wenigstens einen Freigabestellung (IV, IV, IV, IV, IV) mit der Getriebeantriebswelle (5.3) gekoppelt sind, die erste und zweite Abtriebswelle (5.11) mittels einer ersten und zweiten Antriebskupplung (7.1, 7.2) mit einer ersten und zweiten Kugelstangenantriebswelle (6.1, 6.2) koppelbar ist, und schließlich mit einem ersten und zweiten Kupplungsschaltmittel (8.1, 8.2) zum Betätigen der ersten und zweiten Antriebskupplung (7.1, 7.2) in Abhängigkeit einer Bewegungsposition des ersten und zweiten Sperrelementes (3.1, 3.2).
Patent DE-102017122108-B4 (DE)
Title: Bremsbetätigung
Inventor: DREWES OLAF
IPC: F16D125/66
Filed: 2017-09-25
Granted: 2020-03-05
Abstract: Bremsbetätigung,umfassend eine Kolbeneinheit (2), einen Spreizkeil (4) und einen Wälzkörper (6),wobei die Kolbeneinheit (2) einen Aufnahmebereich (22) für den Wälzkörper (6) aufweist,wobei der Wälzkörper (6) im Aufnahmebereich (22) drehbar und gegen translatorische Bewegung relativ zum Aufnahmebereich (22) gesichert lagerbar ist, wobei der Spreizkeil (4) entlang einer Keilachse (S) verlagerbar ist, um über eine Lauffläche des Spreizkeils (4) eine Kraft quer zur Keilachse (S) auf den Wälzkörper (6) zu übertragen,wobei der Aufnahmebereich (22) eine Haltenase (24) aufweist, welche den Wälzkörper (6) gegen Herausfallen aus dem Aufnahmebereich (22) sichert.
Patent DE-102017124920-B4 (DE)
Title: Leuchte mit einstellbarer Leuchtenoptik
Inventor: GANZER BERND
IPC: F21V14/04
Filed: 2017-10-25
Granted: 2021-12-02
Abstract: Leuchte (1), insbesondere Innenleuchte, mit veränderbarer Lichtverteilung, umfassend- mindestens eine Lichtquelle (2) mit einer Hauptstrahlrichtung,- mindestens ein lichtbrechendes optisches Element (411) zum Erzeugen einer vorgegebenen Lichtverteilungsfunktion,- mindestens einen Reflektor (5) zum Reflektieren von mindestens einem Teil des Lichtes der Lichtquelle (2) auf das lichtbrechende optische Element (411),- und einen Verstellmechanismus (6), der dazu ausgebildet ist, einen Abstand der Lichtquelle (2) und des Reflektors (5) zu dem lichtbrechenden optischen Element (411) entlang der Hauptstrahlrichtung der Lichtquelle (0) zu verändern zwecks Variation der Lichtverteilungsfunktion, dadurch gekennzeichnet, dass- der Verstellmechanismus (6) dazu ausgebildet ist, zwecks Erhöhung des optischen Wirkungsgrades der Leuchte (1) eine relative Lage des Reflektors (5) bezüglich der Lichtquelle (2) so zu verändern, dass der Reflektor (5), bei einer Vergrößerung des Abstandes der Lichtquelle (2) und des Reflektors (5) zu dem lichtbrechenden Element entlang der Hauptstrahlrichtung der Lichtquelle (0), in eine optisch wirksame Stellung bringbar ist, bei welcher von der Lichtquelle ausgehende Lichtanteile, die nicht unmittelbar in das lichtbrechende optische Element (411) einfallen, durch den Reflektor (5) auf das lichtbrechende optische Element (411) reflektiert werden.
Patent DE-102017205604-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Prüfen von Großlagern für Windenergieanlagen, Lageranordnung und Prüfstand
Inventor: BROER CHRISTIAN
IPC: F03D80/70
Filed: 2017-04-03
Granted: 2023-01-19
Abstract: Verfahren zum Prüfen von Großlagern (2, 2', 2") für Windenergieanlagen, umfassend folgende Schritte:- Bereitstellen eines Prüfstands (7) umfassend eine Lasteinleitungseinheit (8) und zumindest zwei Antriebe (12),- Bereitstellen einer Lageranordnung (6) mit mindestens drei hintereinander angeordneten zu prüfenden Großlagern (2, 2', 2"), die jeweils zwei relativ zueinander drehbare Lagerringe (3, 4) aufweisen, wobei einer der Lagerringe (3, 4) jedes der Großlager (2, 2', 2") über ein Verbindungsstück (5, 5') starr mit einem der Lagerringe (3, 4) eines benachbarten Großlagers (2, 2', 2") verbunden ist,- Verbinden der Lageranordnung (6) mit den Antrieben (12) derart, dass eine Drehbewegung zumindest eines Verbindungsstücks (5, 5') gemeinsam mit den mit dem Verbindungsstück (5, 5') starr verbundenden Lagerringen (3, 4) gegenüber den nicht mit dem Verbindungsstück (5, 5') starr verbundenen Lagerringen (3, 4) durch einen der Antriebe (12) antreibbar ist,- Verbinden der Lageranordnung (6) mit der Lasteinleitungseinheit (8),- Antreiben des Verbindungsstücks (5, 5') und der damit starr verbundenen Lagerringe (3, 4) durch einen der Antriebe (12),- Einleiten einer Kraft in die Lageranordnung (6) durch die Lasteinleitungseinheit (8),wobei zumindest ein mittleres Großlager (2') zwischen einem vor dem mittleren Großlager (2') angeordneten und einem hinter dem mittleren Großlager (2') angeordneten Großlager (2, 2'') angeordnet ist, wobei einer der Lagerringe (4') des mittleren Großlagers (2') über ein Verbindungsstück (5) mit einem Lagerring (4) des vor dem mittleren Großlager (2') angeordneten Großlagers (2) verbunden ist und wobei ein weiterer der Lagerringe (3') des mittleren Großlagers (2') über ein weiteres Verbindungsstück (5') mit einem Lagerring (3'') des hinter dem mittleren Großlager (2') angeordneten Großlagers (2'') verbunden ist undjeder der Antriebe (12) einem der Verbindungsstücke (5, 5') zugeordnet ist und wobei eine Drehbewegung dieses Verbindungsstücks (5, 5') durch den zugehörigen Antrieb (12) antreibbar ist.
Patent DE-102017211074-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Montieren einer Brennkraftmaschine sowie entsprechende Brennkraftmaschine
Inventor: STREIFINGER FLORIAN
IPC: F02B67/06
Filed: 2017-06-29
Granted: 2021-01-21
Abstract: Verfahren zum Montieren einer Brennkraftmaschine (1), die eine Kurbelwelle (2) und wenigstens eine Nockenwelle (3) aufweist, wobei die Kurbelwelle (2) und die Nockenwelle (3) über eine Zugmitteltriebanordnung (8) miteinander wirkverbunden werden, die einen mit der Kurbelwelle (2) wirkverbundenen Kurbelwellenzugmitteltrieb (9) und einen mit der Nockenwelle (3) wirkverbundenen Nockenwellenzugmitteltrieb (10) aufweist, wobei der Kurbelwellenzugmitteltrieb (9) und der Nockenwellenzugmitteltrieb (10) über eine Zwischenwelle (14) miteinander verbunden werden, dadurch gekennzeichnet, dass zum Einstellen von Steuerzeiten von mittels der Nockenwelle (3) ansteuerbaren Gaswechselventilen der Brennkraftmaschine (1) die Zwischenwelle (14) achsparallel verlagert wird, wobei das Verlagern der Zwischenwelle (14) derart erfolgt, dass sich ein Drehwinkel eines mit der Nockenwelle (3) drehfest gekoppelten Nockenwellenrads (6) um eine größere Drehwinkeldifferenz (α,β) ändert als ein Drehwinkel der Zwischenwelle (14).
Patent DE-102018007455-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Detektorabgleich bei der Abbildung von Objekten mittels eines Mehrstrahl-Teilchenmikroskops, System sowie Computerprogrammprodukt
Inventor: ZEIDLER DIRK
IPC: H01J37/26
Filed: 2018-09-21
Granted: 2020-07-09
Abstract: Verfahren zum Detektorabgleich bei der Abbildung von Objekten mittels eines Mehrstrahl-Teilchenmikroskops, das die folgenden Schritte aufweist:Bestrahlung, insbesondere simultane Bestrahlung, des Objektes mit einer Vielzahl von Primär-Teilchenstrahlen, wobei jeder Primär-Teilchenstrahl einen separaten Einzelfeldbereich des Objektes rasternd bestrahlt;Aufsammeln von Wechselwirkungsprodukten, die aufgrund der Primär-Teilchenstrahlen aus dem Objekt austreten;Projizieren der Wechselwirkungsprodukte auf Detektionsbereiche einer Detektionseinheit mit einem Detektor oder mit mehreren Detektoren derart, dass die von zwei verschiedenen Einzelfeldbereichen austretenden Wechselwirkungsprodukte auf verschiedene Detektionsbereiche projiziert werden,Erzeugen von Einzelbildern von jedem der Einzelfeldbereiche basierend auf Daten, die jeweils mithilfe von Signalen aus den Detektionsbereichen gewonnenen werden oder gewonnen worden sind;Ermitteln eines Kontrastwertes für jedes Einzelbild; undEinstellen der Detektionseinheit, so dass eine vorbestimmte Vielzahl der Einzelbilder, insbesondere alle Einzelbilder, innerhalb einer definierten ersten Grenze denselben Kontrastwert aufweist bzw. aufweisen, wobei das Einstellen der Detektionseinheit ein Einstellen einer Verstärkung und/ oder ein Einstellen eines Offsets umfasst.