baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102017207873-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Bilden eines Luftspalts für eine Halbleitervorrichtung
Inventor: HE ZHONG-XIANG
IPC: H01L21/84
Filed: 2017-05-10
Granted: 2019-07-11
Abstract: Verfahren zum Bilden eines Luftspalts (188; 288; 388) für eine Halbleitervorrichtung (100; 200), wobei das Verfahren umfasst:
 Bilden einer Luftspaltmaske (160), die einen Bereich einer Zwischenverbindungsschicht (104) über einer Vorrichtungsschicht (102) freilegt, wobei die Vorrichtungsschicht (102) ein Transistorgate (118) umfasst;
 Ätzen einer Öffnung (166) durch die Zwischenverbindungsschicht (104) unter Verwendung der Luftspaltmaske (160) über dem Transistorgate (118), wobei die Öffnung (166) Seitenwände (170) eines Dielektrikums der Zwischenverbindungsschicht (104) freilegt;
 Entfernen der Luftspaltmaske (160);
 Ausnehmen der freiliegenden Seitenwände (170) des Dielektrikums der Zwischenverbindungsschicht (104) in der Öffnung (166) nach dem Entfernen der Luftspaltmaske (160); und
 Bilden eines Luftspalts (188; 288; 388) über dem Transistorgate (118) durch Abscheiden einer Luftspaltdeckschicht (190) zum Verschließen der Öffnung (166) an einer Oberfläche der Zwischenverbindungsschicht (104).
Patent DE-102018100093-B4 (DE)
Title: Tracking einer diagnostik für kontinuierlich variable ventilsysteme
Inventor: SUNTHARALINGAM PIRANAVAN
IPC: F02D41/22
Filed: 2018-01-03
Granted: 2023-07-06
Abstract: Verfahren zum Ermitteln der Genauigkeit einer Position eines variablen Ventils (42), wobei das Verfahren umfasst:Ermitteln eines Systemfehlers, wobei der Systemfehler die Differenz zwischen einer Sollposition (62) des Ventils (42) und einer gemessenen Position (64) des Ventils (42) ist, die durch ein Rückkopplungssignal des Ventils (42) bereitgestellt wird;Ermitteln, ob eine Bedingung für das Bestehen einer diagnostischen Genauigkeit erfüllt ist, wenn der Systemfehler kleiner als ein vorgegebener positiver Fehlerschwellenwert (K1) und größer als ein vorgegebener negativer Fehlerschwellenwert (-K1) ist;Ermitteln einer Änderungsrate der gemessenen Position (64), wenn der Systemfehler nicht kleiner als der vorgegebene positive Fehlerschwellenwert (K1) und größer als der vorgegebene negative Fehlerschwellenwert (-K1) ist;Ermitteln, ob die Bedingung für das Bestehen der diagnostischen Genauigkeit erfüllt ist, wenn die Änderungsrate der gemessenen Position (64) einen vorgegebenen positiven Rückkopplungsratenschwellenwert (K2) überschreitet; undErmitteln, ob die Bedingung für das Bestehen der diagnostischen Genauigkeit erfüllt ist, wenn die Änderungsrate der gemessenen Position (64) kleiner ist als ein vorgegebener negativer Rückkopplungsratenschwellenwert (-K2).
Patent DE-102018101291-B4 (DE)
Title: Verwendung und Verfahren zur Herstellung eines elastischen Retroreflektors
Inventor: GUBELA HANS-ERICH
IPC: B29D11/00
Filed: 2018-01-22
Granted: 2020-10-29
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Retroreflektors (1, 101, 201, 301), welcher eine Anordnung aus einer Vielzahl von verspiegelten oder totalreflektierenden Tripeln (3, 103, 203) mit jeweils drei Seitenflächen (5, 7, 9, 105, 107, 109, 205, 207) umfasst,wobei die Seitenflächen (5, 7, 9, 105, 107, 109, 205, 207) würfel-eckenartig angeordnet sind und näherungsweise senkrecht aufeinander stehen,wobei der Retroreflektor (1, 101, 201, 301) mittels Spritzguss aus einem Trägermaterial hergestellt wird, und wobeidas Trägermaterial ein optisches transparentes Silikonharz, vorzugsweise ein Silikonharz basierend auf Polydimethylsiloxan ist, wobeii. mindestens zwei Komponenten eines Spritzgussmaterials im Volumenverhältnis 1:1 getrennt in eine Spritzgussmaschine eingefüllt werdenii. die Komponenten in einer Schnecke der Spitzgussmaschine gemischt und in eine Spritzgussform mit dem Abformwerkzeug gedrückt werden, wobei die die Schnecke auf einer Temperatur zwischen 10° C und 30° C gehalten wirdiii. die Komponenten in eine Spritzgussform gedrückt werden, wobei die Spritzgussform auf eine Temperatur zwischen 130° C und 200° C erwärmt wirdiv. die Komponenten in der Spritzgussform aushärtenv. der Retroreflektor (1, 101, 201, 301) aus der Spritzgussform entformt wird, dadurch gekennzeichnet, dass als Spritzgussmaterial ein optisches Silikon verwendet wird.
Patent DE-102018101908-B4 (DE)
Title: Durchlichtmikroskop mit Zusatzbeleuchtungsmodul
Inventor: WOLF UWE
IPC: G02B21/24
Filed: 2018-01-29
Granted: 2020-07-09
Abstract: Durchlichtmikroskop, welches als ein inverses Mikroskop ausgebildet ist; umfassend eine nach unten gerichtete Beleuchtungseinheit (04) und eine unter der Beleuchtungseinheit (04) angeordnete Modulaufnahme (07), in welcher ein Zusatzbeleuchtungsmodul (08) lösbar befestigt ist, welches eine Lichtquelle (13) zur Beleuchtung einer zu mikroskopierenden Probe und einen mechanischen Adapter (09) zur lösbaren Befestigung des Zusatzbeleuchtungsmoduls (08) an der Modulaufnahme (07) umfasst, wobei das Durchlichtmikroskop einen Arm (03) umfasst, welcher die Beleuchtungseinheit (04) und die Modulaufnahme (07) trägt, dadurch gekennzeichnet, dass der mechanische Adapter (09) ein Justagemittel umfasst, durch welches die Lichtquelle (13) in Bezug auf die Modulaufnahme (07) in alle drei Raumrichtungen verschiebbar und/oder verdrehbar ist.
Patent DE-102018119414-B4 (DE)
Title: Messvorrichtung mit einer einen Massekörper aufweisenden Prüf- und/oder Kalibriervorrichtung
Inventor: SCHOPPMANN KURT
IPC: G01G23/01
Filed: 2018-08-09
Granted: 2020-07-02
Abstract: Messvorrichtung (1) zur Erfassung einer Krafteinwirkung auf ein in einem Wiegeabschnitt (3) in einer Förderrichtung bewegtes Produkt oder Erzeugnis im dynamischen Betrieb unter dem Einfluss der Schwerkraft, insbesondere Gewichtskraft, wobei der Wiegeabschnitt (3) mit einer Förderstrecke (2) zum Transport des Produktes oder Erzeugnisses ausgestattet ist, und mit einer einen Massekörper (5) aufweisenden Prüf- und/oder Kalibriervorrichtung (4), welche mit einer Auflage (6) zur Übertragung einer vorbestimmten Krafteinwirkung im dynamischen Betrieb auf den Wiegeabschnitt (3) der Förderstrecke (2) ausgestattet ist, wobei die Auflage (6) mit einer gegenüber dem Massekörper (5) beweglichen Lauffläche (7) ausgestattet ist, durch die während der Durchführung der Messung im dynamischen Betrieb ein stationärer Zustand zwischen der Förderstrecke (2) und dem Massekörper (5) einstellbar ist, während eine vorbestimmte Kraft des Massekörpers (5) auf den Wiegeabschnitt (3) übertragbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (1) mit einer Antriebseinheit ausgestattet ist, durch welche die Lauffläche (7) entsprechend der Vorschubgeschwindigkeit in Förderrichtung der Förderstrecke (2) des Wiegeabschnittes (3) antreibbar ist.
Patent DE-102018122069-B4 (DE)
Title: Sicherung, umfassend einen Hohlkörper mit einem Graben
Inventor: Bruan Ped Peterson
IPC: H01H85/157
Filed: 2018-09-11
Granted: 2024-02-08
Abstract: Sicherung (300) umfassend:einen Hohlkörper (1100) enthaltend einen mittleren, sich zwischen einem ersten Endabschnitt (1104) und einem zweiten Endabschnitt (1106) erstreckenden Abschnitt (1002), wobei der erste Endabschnitt (1104) einen ersten, in einer ersten Endfläche angeordneten Graben (1112) enthält und wobei der zweite Endabschnitt (1106) einen zweiten, in einer zweiten Endfläche angeordneten Graben (1118) enthält,eine erste, den ersten Endabschnitt (1104) umgebende Abschlusskappe (1162) und eine zweite, den zweiten Endabschnitt umgebende Abschlusskappe (1164),ein schmelzbares, innerhalb eines mittleren Hohlraums des Hohlkörpers (1100) angeordnetes Element (1170), wobei das schmelzbare Element (1170) sich zwischen der ersten Endfläche und der zweiten Endfläche erstreckt, undein innerhalb des ersten Grabens (1112) und des zweiten Grabens (1118) angeordnetes Lötmittel (1160), das Lötmittel (1160) in Kontakt mit wenigstens einem von dem schmelzbaren Element (1170), der ersten Abschlusskappe (1162) und der zweiten Abschlusskappe (1164);dadurch gekennzeichnet, dassder erste Graben (1112) und der zweite Graben (1118) jeweils umfassen:einen Satz von Seitenwänden (1124),eine innere, sich zwischen dem Satz von Seitenwänden (1124) erstreckende Wand (1138) undeine sich von der inneren Wand (1138) ausdehnende Grundfläche (1130).
Patent DE-102019114985-B4 (DE)
Title: Handschalthebelsystem
Inventor: KIM JIN BO
IPC: F16H59/04
Filed: 2019-06-04
Granted: 2024-02-08
Abstract: Handschalthebelsystem, umfassend:einen Schalthebel (5), der eine Stange (110) und einen an der Stange (110) gebildeten Anschlag (19) umfasst;eine Schaltsperreneinheit (200), die eine Bewegung der Stange (110) begrenzt; undeine Steuereinheit (400) die, wenn eine Geschwindigkeit eines Fahrzeugs höher ist als eine kritische Geschwindigkeit eines vorbestimmten Gangs, durch Vergleichen der Geschwindigkeit des Fahrzeugs mit der kritischen Geschwindigkeit, die Bewegung der Stange (110) in einer Schaltrichtung des vorbestimmten Gangs durch Positionieren der Schaltsperreneinheit (200) auf einem Schaltweg des vorbestimmten Gangs begrenzt,wobei die Schaltsperreneinheit (200) umfasst:mindestens einen Schaltsperrennockenteil (210, 220), der eine Hauptnocke (212, 222) umfasst, die während deren Betrieb in Eingriff mit dem Anschlag (19) des Schalthebels (5) ist, eine Nebennocke (214, 224), die neben der Hauptnocke (212, 222) angeordnet ist, eine Welle (17), die als eine sich drehende Welle (17) der Hauptnocke (212, 222) und der Nebennocke (214, 224) fungiert, und eine Feder (216), welche die Hauptnocke (212, 222) und die Nebennocke (214, 224) verbindet;einen Dauermagnet (320), der mit dem Schaltsperrennockenteil (210, 220) verbunden ist; undeinen Elektromagnet (340), der neben dem Dauermagneten (320) angeordnet und derart ausgeführt ist, dass er eine gegensätzliche Polaritätsanordnung zu der des Dauermagneten (320) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Hauptnocke (212, 222) einen Vorsprung (215) aufweist, der an einer Seite davon gebildet ist, wobei die Nebennocke (214, 224) eine Öffnung (217) zum Aufnehmen des Vorsprungs (215) aufweist, wobei der Schaltsperrennockenteil (210, 220) ferner eine Federstütze (218) umfasst, auf welche die Feder (216) gewickelt ist, und die mit der Nebennocke (214, 224) gekoppelt ist, und wobei ein Ende der Feder (216) mit dem Vorsprung (215) der Hauptnocke (212, 222) verbunden ist und das andere Ende der Feder (216) auf die Federstütze (218) gewickelt ist, die mit der Nebennocke (214, 224) gekoppelt ist.
Patent DE-102020112231-B4 (DE)
Title: Dämpfervorrichtung für ein Umschlingungsmittel eines Umschlingungsgetriebes
Inventor: SCHEHRER NICOLAS
IPC: F16H7/18
Filed: 2020-05-06
Granted: 2021-10-14
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Dämpfervorrichtung (1) für ein Umschlingungsmittel (2) eines Umschlingungsgetriebes (3), aufweisend zumindest die folgenden Komponenten:- eine erste Schienenhälfte (4);- eine zweite Schienenhälfte (5);- zumindest eine Gleitfläche (6,7);- eine Lageraufnahme (10), wobei die Lageraufnahme (10) einen Lagersitz (14) mit einer in Laufrichtung (13) definierten Sitzweite (15) und einen Montageeingang (16) mit einer in Laufrichtung (13) definierten Eingangsweite (17) aufweist,- einen Bajonettverschluss (18); und- eine Sicherungsvorrichtung (19) zum Sichern des haltenden Zustands des Bajonettverschlusses (18). Die Dämpfervorrichtung (1) ist vor allem dadurch gekennzeichnet, dass der Montageeingang (16) einen an der ersten Schienenhälfte (4) gebildeten ersten Montagevorsprung (20) und einen an der zweiten Schienenhälfte (5) gebildeten zweiten Montagevorsprung (21) umfasst, wobei die Eingangsweite (17) von den Montagevorsprüngen (20,21) derart begrenzt ist, dass zwischen den Montagevorsprüngen (20,21) eine solche Montageweite (22) gebildet ist, welche geringer als die Sitzweite (15) des Lagersitzes (14) ist, sodass von einer resultierenden Vorspannkraft (23) der Montagevorsprünge (20,21) die beiden Schienenhälften (4,5) in den Montageendzustand gezwungen sind.Mit der hier vorgeschlagenen Dämpfervorrichtung ist intrinsisch bei der Montage der haltende Zustand des Bajonettverschlusses gesichert.
Patent DE-102021003551-B4 (DE)
Title: Hunde-Führungsleine mit Warnungs- und Abmilderungselement
Inventor: DOMSCHKE SIGURD
IPC: A01K27/00
Filed: 2021-07-10
Granted: 2023-03-16
Abstract: Hunde-Führungsleine mit Warnungs- und Abmilderungselement, wobei das Element aus einer Zapfen/Druckknopf-Verbindung besteht, die sich bei geringem-mittelstarken Zug löst und ein 20 bis 30 cm langes schlaufenförmiges Zwischenelement der Leine freisetzt, das aus einer Spiralfeder besteht.
Patent DE-102021113274-B4 (DE)
Title: Modul zur Beaufschlagung von Spülgütern mit einem Medium
Inventor: WERNER ALEXANDER
IPC: A61B1/00
Filed: 2021-05-21
Granted: 2023-01-26
Abstract: Modul zur Beaufschlagung von in einem Spülbehälter (2) einer Reinigungseinrichtung (1) angeordneten englumigen Kanälen, Leitungen, Rohren und/oder dgl. von Spülgütern (11), insbesondere Endoskopen, mit einem Medium, mit einer Mediumverteileinrichtung, die eine Vielzahl von eingangsseitigen Anschlüssen (E1 - E4) und ausgangsseitigen Anschlüssen (A1 - A8) aufweist, wobei die eingangsseitigen Anschlüsse (E1 - E4) mit den ausgangsseitigen Anschlüssen (A1 - A8) in strömungstechnischer Verbindung stehen, gekennzeichnet durch einen Trägerflansch (18), der einen Arbeitszylinder (27) aufweist, wobei der Arbeitszylinder (27) in strömungstechnischer Verbindung mit einem eingangsseitigen Anschluss (E1 - E4) steht, und wobei der Arbeitszylinder (27) eine Kolbenstange (24) bereitstellt, die endseitig einen mit einer Anschlusseinrichtung (13, 14) eines Spülgutträgers (9, 10) zusammenwirkenden Anker (23) aufweist.
Patent DE-102021123992-B4 (DE)
Title: Mobile Vorrichtung zur Entsendung und Aufnahme von Drohnen
Inventor: GRONSTEDT MATTHIAS
IPC: B64U70/90
Filed: 2021-09-16
Granted: 2023-06-22
Abstract: Mobile Vorrichtung zur Entsendung und Aufnahme von Drohnen (6) umfassendeine Landeplattform (1),eine Hebeeinheit (10) zur Verstellung der Höhe der Landeplattform (1), eine Lagerungseinheit (20),wobei die Hebeeinheit (10) das Anheben und Absenken der Landeplattform (1) bis zu einer Höhe, von der eine Drohne (6) starten und landen kann, sowie zu einer Höhe, in denen die Landeplattform (1) eine Drohne (6) an eine Lagerebene (21a, 21b, 22a, 22b) der Lagerungseinheit (20) übergeben oder von einer Lagerebene (21a, 21b, 22a, 22b) entgegennehmen kann, ermöglicht, dadurch gekennzeichnet,dass die Lagerungseinheit (20) eine um eine vertikale Achse drehbare Dreheinheit (21, 22) umfasst, die zwei Lagerebenen (21a, 21b, 22a, 22b) aufweist, die auf gegenüberliegenden Seiten der vertikalen Achse angeordnet sind,wobei die beiden Lagerebenen (21a, 21b, 22a, 22b) vertikal zueinander versetzt angeordnet sind, so dass die auf der einen Lagerebene lagernde Drohne (6) die auf der anderen Lagerebene lagernde Drohne (6) von oben betrachtet überlappen kann, ohne dass die Drohnen (6) sich berühren.
Patent DE-112009000324-B4 (DE)
Title: Verfahren und Computerprogrammprodukt zum Abgleichen eines Luftmassenstromsensors einer Motoranordnung eines Kraftfahrzeugs
Inventor: ELFVIK DAVID
IPC: G01F25/10
Filed: 2009-01-30
Granted: 2023-04-06
Abstract: Verfahren zum Abgleichen eines Luftmassenstromsensors (281) einer Motoranordnung eines Kraftfahrzeugs, wobei das Kraftfahrzeug im Wesentlichen stillsteht, bei dem das Verfahren gekennzeichnet ist durch die Schritte:- Steuern des durch den Luftmassenstromsensor (281) ermittelten Luftmassenstroms (WLuft) zum Erzeugen verschiedener Luftmassenströme (WLuft), die an einen Motor (250) der Motoranordnung abzugeben sind;- Bilden wenigstens eines Abgleichwerts k auf der Grundlage eines von dem Luftmassenstromsensor (281) bestimmten Luftmassenstromwerts (WLuft*) für jeden der verschiedenen Luftmassenströme (WLuft), um so das Abgleichen des Luftmassenstromsensors (281) zu ermöglichen, wobei der Schritt des Steuerns des Luftmassenstroms (WLuft) die Schritte umfasst:- Steuern eines Turboladers mit variabler Turbinen-Geometrie (VTG) (286) der Motoranordnung;- Steuern der Motordrehzahl des Motors (250) der Motoranordnung.
Patent DE-112009004272-B4 (DE)
Title: Wiedergabevorrichtung und Wiedergabeverfahren
Inventor: KUSUNOKI YOSHIAKI
IPC: G11B20/10
Filed: 2009-11-04
Granted: 2015-06-18
Abstract: Wiedergabevorrichtung (100), mit: einem Wiedergabemittel (101) zum Wiedergeben eines Audio-Video-Signals; einem Nutzerbetriebsmittel (104) zum Eingeben von Anweisungen durch eine Operation eines Nutzers; einem Wiederaufnahmefunktionsmittel (102) zum Verwalten von Wiedergabestartpositionen; und einem Steuermittel (115, 122, 103) zum Steuern des Nutzerbetriebsmittels (104) und des Wiederaufnahmefunktionsmittels (102); wobei das Wiederaufnahmefunktionsmittel (102) umfasst ein erstes Wiederaufnahmeinformationserzeugungs- und Speichermittel (121, 123) zum Erzeugen und Speichern erster Wiederaufnahmeinformationen (R1) auf Grundlage von Nutzeroperationen, und ein zweites Wiederaufnahmeinformationserzeugungs- und Speichermittel (121, 124) zum Erzeugen und Speichern zweiter Wiederaufnahmeinformationen (R2) zu Zeitpunkten des Wechsels von Wiedergabeinformationen oder zu Zeitpunkten, die in regulären Wiedergabezeitintervallen voneinander beabstandet sind; und wobei das Steuermittel ein Mittel zum Bewirken eines Neustarts der Wiedergabe aufweist, zum Auswählen einer Position unter den Positionen, die durch die ersten Wiederaufnahmeinformationen (R1) und die zweiten Wiederaufnahmeinformationen (R2) angegeben werden, und das bewirkt, dass das Wiedergabemittel (101) die Wiedergabe von der ausgewählten Position neu startet, wobei im Fall einer Störung der ersten oder zweiten Wiederaufnahmeinformationserzeugung in dem ersten und zweiten Wiederaufnahmeinformationserzeugungs- und Speichermittel (121, 123, 124), das Mittel zum Bewirken des Neustarts der Wiedergabe das Wiedergabemittel (101) veranlasst, die Wiedergabe von einer Position auf Grundlage der ersten oder zweiten Wiederaufnahmeinformationen (R1, R2), die in dem ersten oder zweiten Wiederaufnahmeinformationserzeugungs- und Speichermittel (121, 123, 124) gespeichert sind, neu zu starten, ...
Patent DE-112011100262-B4 (DE)
Title: Aktualisieren von Elementen in einer Datenspeichereinrichtung unter Verwendung einer vordefinierten Zustandsmaschine über einen ausgedehnten Zeitraum
Inventor: SWEENEY MARIO
IPC: G06F8/65
Filed: 2011-04-19
Granted: 2020-10-01
Abstract: Verfahren zum Aktualisieren wenigstens einer Einrichtung in einer Computer-Speicherumgebung mit einer Hardware und/oder Software und/oder Firmware durch eine Prozessoreinheit, das Folgendes umfasst:- Einstellen einer Sequenz zum Verteilen wenigstens eines einer Vielzahl von Codepaketen auf die wenigstens eine Einrichtung gemäß unterschiedlichen Zuständen einer festen Zustandsmaschine;- Installieren (310) des wenigstens einen der Vielzahl von Codepaketen in wenigstens einem Zwischenspeicherungsbereich, wobei das wenigstens eine der Vielzahl von Codepaketen in dem wenigstens einen Zwischenspeicherungsbereich in einem gültigen Ruhemodus gehalten wird, während die feste Zustandsmaschine angehalten wird;- Erfassen einer Änderung der Hardware und/oder Software und/oder Firmware;- Feststellen (314), ob die Änderung der Hardware und/oder Software und/oder Firmware eine zufällige Änderung der festen Zustandsmaschine ist, wobei eine Konfiguration eines aktualisierbaren Elementes modifiziert (318) ist, wobei die wenigstens eine Einrichtung das aktualisierbare Element umfasst;- auf der Grundlage des Feststellens, dass die Änderung der Hardware und/oder Software und/oder Firmware keine zufällige Änderung ist, Feststellen (316), ob die Änderung der Hardware und/oder Software und/oder Firmware aufgrund einer normalen Aktivität durchgeführt ist, wobei die Konfiguration des aktualisierbaren Elementes modifiziert ist;- als Reaktion auf das Modifizieren der Konfiguration des aktualisierbaren Elements: Analysieren und Synchronisieren (320) eines Unterschieds zwischen der wenigstens einen Einrichtung und dem wenigstens einen Zwischenspeicherungsbereich, um die feste Zustandsmaschine zurück in einen gültigen Zustand zu bringen; und- entsprechend einer Wiederaufnahme (322) des Betriebes der festen Zustandsmaschine zu einer darauffolgenden Zeit, nachdem die feste Zustandsmaschine in den gültigen Zustand gebracht ist, Austauschen eines aktuellen Codepaketes mit dem wenigstens einen der Vielzahl von Codepaketen in dem wenigstens einen Zwischenspeicherungsbereich, um das wenigstens eine der Vielzahl von Codepaketen zu aktivieren.
Patent DE-112011100264-B4 (DE)
Title: Verfahren zur steuerung der elektronenstrahl-belichtung von wafern und masken mit proximity-korrektur
Inventor: GALLER REINHARD R DR
IPC: G03F7/20
Filed: 2011-01-12
Granted: 2013-05-23
Abstract: Verfahren zur Steuerung der Elektronenstrahl-Belichtung von Wafern und Masken, bei dem zur Kontraststeuerung mittels eines geometrischen Verfahrens Figuren (F) in Kontrastrahmenfiguren (KR) und Restfiguren (R) zerlegt werden, wobei – die Kontrastrahmenfiguren (KR) eine Breite aufweisen, die kleiner ist, als CD und wobei die 2fache Breite der Kontrastrahmenfigur (KR) kleiner dem 2,5fachen des α-Parameters der Process-Proximity-Function (PPF) ist, so dass eine negative Sizingoperation so ausführbar ist, dass die Elektronendosis zwischen den Figuren ein Minimum zur Folge hat, – die Kontrastrahmenfiguren (KR) und die Restfiguren (R) durch die negative Sizing-Operation jeweils in ihren Seitenmaßen verkleinert werden auf reduzierte Restfiguren (Rsize-S) und Kontraststempelrahmen (KRSize-S) mit der Breite K, wobei ein Abstand zwischen den reduzierten Restfiguren (RSize-S) und den Kontraststempelrahmen (KRSize-S) zwangsweise entsteht und – diese mit einem Elektronenstrahl zu belichtenden reduzierten Restfiguren (RSize-S) und die Kontraststempelrahmen (KRSize-S) in einen Proximity-Korrektur-Algorithmus überführt werden mit der Bedingung, dass durch dessen Dosiszuweisung zu den Restfiguren (RSize-S) und den Kontraststempelrahmen (KRSize-S) der Resist-Threshold an den Kanten der eigentlich gewünschten Figur (F) erreicht wird.
Patent DE-112011101612-B4 (DE)
Title: Sicherheitsvorrichtung für Hochspannungsbauteile
Inventor: IKENO MASAYUKI
IPC: B60R16/03
Filed: 2011-05-10
Granted: 2021-05-20
Abstract: Sicherheitsvorrichtung (5) für ein Hochspannungsbauteil, umfassend:eine Abdeckung (6), die zumindest einen Teil des Hochspannungsbauteils abdeckt;einen Niederspannungskreis (9), der einen Leitungs-/Abschaltzustand eines zum Zuspeisen von Leistung zu dem Hochspannungsbauelement dienenden elektrischen Stromkreises steuert;eine Auswähleinheit, die den Leitungs-/Abschaltzustand des Niederspannungskreises (9) durch einen Vorgang auswählt, der mit einem Anbringen/Entfernen der Abdeckung (6) einhergeht, wobei die Auswähleinheit derart vorgesehen ist, dass ein Teil einer Hauptleitung (10) des Niederspannungskreises (9) lösbar ist durch eine Steckverbindung (18), die gebildet ist durch ein Festverbinderteil (19) und ein bewegliches Verbinderteil (20); undein plattenförmiges Element (24) mit einer Einführöffnung (23), durch die hindurch eines von dem Festverbinderteil (19) und dem beweglichen Verbinderteil (20) der Steckverbindung (18) eingesetzt ist, während das andere Verbinderteil nicht eingesetzt ist und sich an der Abdeckung (6) befindet, wobei der Teil der Hauptleitung (10) des Niederspannungskreises (9) zu einer U-Form gebogen ist, deren beide Enden mit dem anderen Verbinderteil verbunden sind, so dass eine Abziehrichtung der Abdeckung in Einklang steht mit einer Einsteckrichtung der Steckverbindung (18),wobei die Steckverbindung (18) derart konfiguriert ist, dass sie als Abdeckungs-Öffnungs-/-Schließ-Reguliereinheit arbeitet, in der eines der Verbinderteile fixiert vorgesehen ist, während das andere Verbinderteil über die Einsetzöffnung (23) an einen Teil desjenigen Verbinderteils angeschlossen wird, das durch die Einführöffnung (23) hindurch eingesetzt ist, unddie Abdeckung (6) abnehmbar ist, nachdem das andere der Verbinderteile von dem einen der Verbinderteile entfernt wurde.