baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-2013013250-A2 (WO)
Title: Machine rotative volumétrique (variantes)
Inventor: JAGHATSPANYAN ARMEN
Filed: 2012-07-11
Abstract: L'invention porte sur une machine rotative volumétrique qui peut être utilisée comme moteur à combustion interne, compresseur, pompe, moteur hydraulique ou pneumatique. La machine comprend des rotors analogues, à deux nervures ou à trois nervures, montés entre les surfaces de travail de carter (1). Le nombre minimal des rotors à trois nervures (2) est de trois et les rotors à deux nervures (2) sont respectivement au nombre de trois et de quatre, à l'exception de cinq. Chaque jeu de trois rotors à trois nervures ou de quatre rotors à deux nervures adjacents forme, par les surfaces cylindriques des rotors, des chambres de travail fermées. Les chambres de travail sont limitées par les surfaces de travail du carter, à partir des côtés des surfaces de face des rotors. En raison de la relation cinématique, les rotors tournent en synchronisme dans le même sens. Pendant la rotation des rotors, le volume des chambres de travail varie périodiquement de zéro à sa valeur maximale et inversement. L'axe de symétrie de chaque rotor, perpendiculaire à ses surfaces de face, est l'axe de rotation de ce rotor. Les axes de rotation des rotors sont parallèles entre eux et perpendiculaires aux surfaces de travail du carter. La distance entre les axes de rotation des rotors adjacents est égale au rayon de leurs surfaces cylindriques. Le carré de la distance des axes de rotation des rotors à deux nervures opposés est le double du carré du rayon des surfaces cylindriques.
Patent AR-020861-A2 (AR)
Title: Derivados de acido arilsulfonil hidroxamico y composicion que contiene los mismos
IPC: A61P31/04
Filed: 2000-05-31
Abstract: Un derivado del ácido arilsulfonil hidroxámico caracterizado por la formula (1) o las sales farmacéuticamente aceptables del mismo, en la que la líneadiscontinua representa un doble enlace opcional; X es carbono, oxígeno o azufre; Y es carbono, oxígeno, azufre, sulfoxido, sulfona o nitrogeno; R1, R2, R3, R4,R5, R6, R7, R8 y R9 se seleccionan entre el grupo formado por hidrogeno, alquilo de C1-6 opcionalmente sustituido por alquilamino de C1-6, tioalquilo de C1-6,alcoxi de C1-6, trifluorometilo,arilo de C6-10, heteroarilo de C5-9, arilamino de C6-10, tioarilo de C6-10, ariloxi de C6-10, heteroarilamino de C5-9,tioheteroarilo de C5-9, heteroariloxi de C5-9, (arilo de C6-10)-(arilo de C6-10), cicloalquilo de C3-6, hidroxialquilo de C1-6, (alquilo de C1-6)-(hidroximetileno), piperacinilo, (arilo de C6-10)-(alcoxi de C1-6), (heteroarilo de C5-9)-(alcoxi de C1-6), acilamino de C1-6, tioacilo de C1-6, aciloxi deC1-6, alquilsulfinilo de C1-6, arilsulfinilo de C6-10, alquilsulfonilo de C1-6, arilsulfonilo de C6-10, amino, alquilamino de C1-6 o (alquilamino de C1-6)2;alquenilo de C2-6 (arilo de C6-10)-(alquenilo de C2-6), (heteroarilo de C5-9)-(alquenilo de C2-6), alquinilo de C2-6, (arilo de C6-10)-(alquinilo de C2-6),(heteroarilo de C5-9)-(alquinilo de C2-6), alquilamino de C1-6, tioalquilo de C1-6, alcoxi de C1-6, trifluorometilo, (alquilo de C1-6)-(difluorometileno),(alquilo de C1-3)-(difluorometileno)-(alquilo de C1-3), arilo de C6-10, heteroarilo de C5-9, arilamino de C6-10, tioarilo de C6-10, ariloxi de C6-10,heteroarilamino de C5-9, tioheteroarilo de C5-9, heteroariloxi de C5-9, cicloalquilo de C3-6, (alquilo de C1-6)-(hidroximetileno), piperidilo, (alquilo deC1-6)piperidilo, acilamino de C1-6, tioacilo de C1-6, aciloxi de C1-6, R13(alquilo de C1-6), en el que R13 es (acilo de C1-6)piperacino, (arilo de C6-10)piperacino, (heteroarilo de C5-9)piperacino, (alquilo de C1-6)piperacino, (arilo de C6-10)-(alquilo de C1-6)piperacino, (heteroarilo de C5-9)-(alquilo de C1-6)piperacino, morfolino, tiomorfolino, piperidino, pirrolidino, piperidilo, (alquilo de C1-6)piperidilo, (arilo de C6-10)piperidilo, (heteroarilo de C5-9)
Patent AR-069353-A2 (AR)
Title: Una placa montable
Inventor: NOBORU ASAUCHI
IPC: B41J2/175
Filed: 2008-11-18
Abstract: Un recipiente para material de impresion es desmontable y se puede acopar a un aparato de impresion que contiene una pluralidad de terminales laterales. El recipiente para material de impresion; comprende un primer dispositivo, un segundo dispositivo, un grupo terminal que incluye una pluralidad de primeros terminales, al menos un segundo terminal y al menos un tercer terminal. La pluralidad de primeros terminales se conectan al primer dispositivo e incluyen respectivamente una primera porcion de contacto para hacer contacto con el terminal correspondiente entre la pluralidad de terminales dispuestos del lado del aparato. Dicho al menos un segundo terminal se conecta al segundo dispositivo e incluye una segunda porcion de contacto para hacer contacto con el terminal correspondiente entre la pluralidad de terminales dispuestos del lado del aparato. Dicho al menos un tercer terminal sirve para detectar cortocircuitos entre dicho al menos un segundo terminal y dicho al menos un tercer terminal e incluye una tercera porcion de contacto para hacer contacto con el terminal correspondiente entre la pluralidad de terminales dispuestos del lado del aparato. Dicha al menos una segunda porcion de contacto, la pluralidad de primeras porciones de contacto y dicha al menos una tercera porcion de contacto se dispone de manera que forman una o multiples filas. Dicha al menos una segunda porcion de contacto se dispone en el extremo de una fila entre la unica o multiples filas.
Patent AR-077576-A2 (AR)
Title: Un peptido de telomerasa y composiciones farmaceuticas para el tratamiento contra el cancer que comprenden tales peptidos
IPC: A61K38/00
Filed: 2010-07-15
Abstract: Un péptido de telomerasa que consiste de entre 9 y 25 aminoácidos en donde el péptido de telomerasa comprende la secuencia de SEQ ID Ns: 2, 3, 4, 9, 10 o 12 a 19, o un fragmento de SEQ ID Ns: 2, 3, 4, 9, 10 o 12 a 19, al menos 8 aminoácidos de longitud, siendo el fragmento capaz de inducir una respuesta de células T. Acido nucleico que lo codifica y sus usos para la preparacion de medicamentos. Composiciones farmacéuticas que los comprenden y métodos para prepararlas. Método para generar linfocitos T capaces de reconocer y destruir células tumorales en mamíferos. Un linfocito T telomerasa especifico.
Patent AU-2018378791-A2 (AU)
Title: Universal block platform
Inventor: DUNCAN IAIN
IPC: E21B43/017
Filed: 2018-12-06
Abstract: A method includes providing a lower platform block (300) including a first frame (315), a plurality of docking tubes (305) connected to the first frame, and a plurality of first conductor tubes (310) connected to the first frame. At least a first jacket connector block (400) including a second frame (415) and a plurality of second conductor tubes (405) connected to the second frame is releasably coupled to the lower platform block to align the second conductor tubes with the first conductor tubes. A platform deck block (500) including a third frame (515) defining a deck and a plurality of third conductor tubes (505) connected to the third frame is releasably coupled to the first jacket connector to align the third conductor tubes with the first conductor tubes.
Patent AU-2020325285-A2 (AU)
Title: Treatment of prevention of cardiovascular disease
Inventor: DAVID FURMAN
IPC: G01N33/68
Filed: 2020-08-06
Abstract: The methods and compositions described herein improve cardiovascular outcomes using measures related to systemic chronic inflammation (the inflammatory age - iAge, the cardiovascular age - cAge, and levels of certain markers) to stratify patients into low risk and high risk groups. The personalized immune proteome signature creates an individualized initial therapy to reduce cAge and to convert high risk patients into low risk patients. High risk patients can be converted to low risk patients by treating the patients to reduce their cAge, iAge and/or improve their CRS.
Patent WO-2011144066-A2 (WO)
Title: 时钟同步的方法及装置
Inventor: YANG JINGJUN
Filed: 2011-05-23
Abstract: 本发明实施例提供了一种时钟同步的方法及装置。所述方法在微型基站Femto的系统广播消息中广播所述Femto下接入点AP的时钟同步等级；与所述接入点AP相邻的AP将所接收到的时钟同步等级较高的AP作为时钟同步源，完成与该同步源的时钟同步。本实施例通过自组织的思想，在各种复杂的场景中，使AP自动形成一张最佳的时钟同步网络，保持AP的即插即用和免配置特性，降低系统维护工作量。
Patent WO-2012095055-A2 (WO)
Title: 一种远供系统及远端电源
Inventor: LIU YANG
IPC: H02J1/10
Filed: 2012-03-01
Abstract: 本发明适用于远供电源技术领域，提供了一种远供系统及远端电源。其中的远端电源包括：可替换模块，用于实现远程电源的至少一种功能，所述功能包括自检通信功能、故障检测功能、线路诊断功能或安全保护功能；以及公共模块，用于实现远端电源中除所述可替换模块实现的功能以外的其它的电源通用功能，其中所述公共模块上具有通用接口，通过所述通用接口连接所述可替换模块，并且也能通过所述通用接口断开与所述可替换模块的物理连接；通过本发明可根据供电制式的不同或者根据厂商的不同而定制可替换模块，定制成本相对现有技术低，且公共模块可集成在负载设备或独立于负载设备的室外一体化设备中，而不会增加设备的整机配置数量，便于产品的管理和客户备件，利于产品的推广及使用。
Patent CO-2017009544-A2 (CO)
Title: Método de generación de ingreso adicional por voz para operadores móviles mediante el procesamiento de llamadas no establecidas y mensajes cortos
Inventor: ZINOVIEV VASILY
IPC: H04M3/48
Filed: 2017-09-21
Abstract: De acuerdo con el método y sistema patentados ("Figura 1") se permitirá procesar llamadas no establecidas o mensajes cortos enviando una notificación de llamada perdida al abonado que es llamado para sólo aquellas llamadas o mensajes cortos del abonado que llama que terminaron con ciertas condiciones tales como ocupado, fuera de alcance y desconectado de la red o saldo insuficiente de la parte que llama. De acuerdo con el método patentado y el sistema se permitirá reconocer ingresos adicionales de voz mediante la realización de un proceso de reconciliación patentado de los registros detallados de llamada de sistema interno y registros detallados de llamadas de telecomunicaciones (CDR). El problema, a resolver mediante el método propuesto, es crear un método confiable y fácil de usar para generar ingresos adicionales de voz realizando notificaciones de llamadas perdidas, realizando la posibilidad para el abonado que llama, en la condición de llamadas no establecidas o mensajes cortos, para informar al abonado que es llamado de la llamada o intento de mensaje corto en forma de tiempo casi real.
Patent CO-2019002245-A2 (CO)
Title: Combinación de agonistas de fxr
Inventor: LAFFITTE BRYAN
IPC: A61P1/16
Filed: 2019-04-15
Abstract: La invención proporciona composiciones farmacéuticas que comprenden un agonista del receptor farnesoide X (FXR) y otro agente terapéutico, en particular para el tratamiento o la prevención de enfermedades o trastornos hepáticos.
Patent CO-2020007892-A2 (CO)
Title: Uso de carbonato de calcio funcionalizado como ingrediente activo
Inventor: BUDDE TANJA
IPC: A61K33/10
Filed: 2020-06-26
Abstract: La presente invención está relacionada con una formulación que comprende carbonato de calcio funcionalizado que sirve como ingrediente activo. La invención además está relacionada con el uso de una formulación como suplemento nutricional o como un medicamento y con el uso de carbonato de calcio funcionalizado como ingrediente activo, preferentemente en el campo de la fortificación con calcio y en el tratamiento de la deficiencia de calcio.
Patent CO-2021010272-A2 (CO)
Title: Inspección de la integridad del sello
Inventor: CHISHOLM BRIAN J
IPC: G01M3/38
Filed: 2021-08-03
Abstract: Un aparato (10) para la inspección de la integridad de un sello de un empaque (12) que incluye un contenedor (14) y una membrana de sellado (16) llevada por este. El aparato comprende una transportadora (18) configurada para desplazar el empaque sellado a lo largo de una ruta y que incluye una sección de la cámara de vacío (20) configurada para crear una presión subatmosférica que se aplica a la membrana de sellado del empaque sellado conforme el empaque se desplaza a lo largo de la sección de la cámara de vacío. El aparato comprende además un sensor de imagen (22) configurado para generar una o más imágenes de la membrana de sellado después de la aplicación de una presión subatmosférica a este en la sección de la cámara de vacío. El aparato comprende aún más un dispositivo de procesamiento electrónico (24) configurado para procesar una o más imágenes de la membrana de sellado generadas mediante el sensor de imagen y para evaluar la integridad del sello del empaque con base en una o más imágenes.
Patent CO-2022008576-A2 (CO)
Title: Polipéptidos que comprenden dominios variables únicos de inmunoglobulina dirigidos a tnfα y ox40l
Inventor: ROMMELAERE HEIDI
IPC: A61P37/00
Filed: 2022-06-17
Abstract: La presente tecnología tiene como objetivo proporcionar un nuevo tipo de fármaco para tratar a un sujeto que padece una enfermedad autoinmunitaria o una enfermedad inflamatoria. Específicamente, la presente tecnología proporciona polipéptidos que comprenden al menos cuatro dominios variables únicos de inmunoglobulina (ISVD), caracterizados por que al menos dos ISVD se unen a TNFα y al menos dos ISVD se unen a OX40L. La presente tecnología también proporciona ácidos nucleicos, vectores y composiciones.
Patent CO-2023000627-A2 (CO)
Title: Antagonistas cuaternarios de los receptores de glucocorticoides de indazol.
Inventor: HUNT HAZEL
IPC: C07D487/04
Filed: 2023-01-19
Abstract: La presente divulgación proporciona compuestos de Fórmula I o II. Los compuestos de Fórmula I o II pueden ser utilizados en formulaciones farmacéuticas, y pueden ser utilizados para modular los receptores de glucocorticoides.
Patent CO-2023014316-A2 (CO)
Title: Anticuerpos anti-clec12a y usos de los mismos
Inventor: YOSHIHARA TOMOKI
IPC: C07K16/28
Filed: 2023-10-25
Abstract: Se describen anticuerpos, fragmentos de los mismos y proteínas de fusión que se unen específicamente a Clec12A, así como métodos de preparación y uso de tales anticuerpos. Estos anticuerpos, proteínas de fusión y fragmentos de los mismos son de utilidad para el tratamiento y el diagnóstico de diversas enfermedades autoinmunes y cánceres, incluyendo leucemia, linfoma o mieloma, incluyendo, por ejemplo, leucemia mieloide aguda.
Patent WO-2006012836-A2 (WO)
Title: Vorrichtung zum gekühlten aufbewahren und abgeben von proben und hierfür geeignete integrierte flüssigkeits-kühleinheit
Inventor: HOCHGRAEBER HERMANN
IPC: G01N30/00
Filed: 2005-07-18
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum gekühlten Aufbewahren und Abgeben von Probesubstanzen, insbesondere Probengeber für die Chromatographie, mit einer Aufnahmeeinrichtung (7) zur Aufnahme einer oder mehrerer Probensubstanzen (3), wobei zumindest ein Teil der Aufnahmeeinrichtung (7) wenigstens einen Hohlraum (13) auf­weist, welcher von einem flüssigen Kühlmedium (29) durchströmt ist, wobei der wenigstens eine Hohlraum (13) mit einem Vorlaufanschluss für das Zuführen des Kühlmediums (29) und mit einem Rücklaufanschluss für das Abführen des Kühlmediums (29) verbunden ist, und mit einer Flüssigkeits-Kühleinheit (21), welche mit ihrem Vorlaufanschluss mit dem Vorlaufanschluss des wenigstens einen Hohlraums (13) und mit ihrem Rücklaufanschluss mit dem Rücklaufanschluss des wenigstens einen Hohlraums (13) verbunden ist und welche eine Pumpe (23) zur Förderung des Kühlmediums (29) durch den wenigstens einen Hohlraum (13) und eine Peltier-Kühleinheit (27) zur Kühlung des Kühlmediums (29) aufweist. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine integrierte Flüssigkeits-Kühleinheit (21) für eine derartige Vorrichtung.
Patent WO-2014090214-A2 (WO)
Title: Procédé de fabrication de serrures de véhicules à moteur comportant une arête de partie de cliquet tordue
Inventor: BENDEL THORSTEN
Filed: 2013-12-11
Abstract: Pour minimiser la friction de glissement apparaissant entre les parties de cliquet (30, 31), c.-à-d. entre le cliquet (5) et le pêne pivotant (2) d'une serrure de véhicule à moteur (1), il est avantageux de pourvoir les diverses surfaces d'encastrement (12, 13) des deux parties de cliquet (30, 31) d'une part d'un contour d'estampage (14) présentant des rainures droites (17) et d'autre part d'un contour d'estampage (11) caractérisé en ce que les rainures présentes (18', 19') sont obliques. Ces rainures obliques (18', 19') de la surface d'encastrement (13) du cliquet (5) sont amenées dans la position indiquée dans la figure (3) du fait que l'ensemble du cliquet (5) est tordu le long de son axe longitudinal (38). Ainsi, au moins deux points de chevauchement sont créés entre les rainures droites (17) et les rainures obliques (18', 19') de telle manière que les deux parties de cliquet (30, 31) entrent en contact réduisant le frottement.
Patent WO-2019110064-A2 (WO)
Title: Système de navigation
Inventor: ØSTERGAARD GEO ALLAN
IPC: H04B7/00
Filed: 2018-12-04
Abstract: La présente invention concerne un système de navigation pour commander un système de navigation. Le système de navigation comprend : un premier sous-système de navigation placé dans un avion, et un second sous-système stationnaire, le premier sous-système de navigation comprenant une pluralité de récepteurs radio configurés pour recevoir un signal d'une pluralité de satellites de navigation ; au moins un processeur configuré pour calculer des données de position réelle ; et un émetteur radio configuré pour transmettre des données de position à des satellites de communication. Les satellites de communication peuvent comprendre des émetteurs radio pour transmettre des données de position à un récepteur terrestre, le second sous-système comprenant au moins un serveur. Selon l'invention, comme des données de position de la position du premier sous-système de navigation sont placées dans un avion, la position de cet avion est calculée, et les données de position réelle et l'instant réel sont stockés dans le serveur. Si ce système fonctionne rapidement, il est possible de recevoir de nouvelles données de position et de les stocker dans le serveur au moins une fois par minute.
Patent WO-2006007859-A2 (WO)
Inventor: ELSHAER AHMED ABD ELHAMIED MOH
Filed: 2004-07-18
Abstract: L'invention concerne un dispositif automatique d'alarme incendie précoce et d'extinction d'incendie, qui est fonction de l'unité de commande qui est connectée entre le dispositif d'alarme et le dispositif d'extinction. Ledit dispositif automatique d'alarme incendie précoce et d'extinction d'incendie comprend: une unité sensible au feu, une unité de commande, un dispositif d'alarme et un dispositif d'extinction d'incendie.
Patent WO-2004102191-A2 (WO)
Title: Profilage de proteines seriques permettant de diagnostiquer des cancers epitheliaux
Inventor: EBERT MATTHIAS
IPC: G01N30/88
Filed: 2004-05-17
Abstract: L'invention concerne des biomolécules et leur utilisation afin d'effectuer un diagnostic différentiel des cancers épithéliaux et/ou de l'inflammation aiguë et chronique de l'épithélium. D'une manière plus spécifique, l'invention concerne des méthodes permettant de détecter des biomolécules dans un échantillon d'essai ainsi que dans une base de données comprenant des profils de masse de biomolécules spécifiques de sujets sains, de sujets souffrant d'une lésion précancéreuse, de sujets souffrant d'un cancer épithélial ou d'un cancer épithélial métastasé ou de sujets souffrant d'une inflammation aiguë et chronique de l'épithélium. L'invention concerne également des méthodes permettant de caractériser lesdites biomolécules au moyen de la spectrométrie d'ions en phase gazeuse. L'invention concerne en outre des méthodes permettant d'identifier lesdites biomolécules à la condition qu'elles soient des protéines ou des polypeptides. L'invention concerne enfin des trousses permettant d'effectuer un diagnostic différentiel des cancers épithéliaux et/ou de l'inflammation aiguë et chronique de l'épithélium.
Patent WO-2006002820-A2 (WO)
Title: Pressschweissmaschine und pressschweissverfahren
Inventor: RUDOLPH FRANK
IPC: B23K20/02
Filed: 2005-06-23
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Pressschweißverfahren und eine Pressschweissmaschine (1), die mit einem Gestell (10), zwei längs einer Vorschubachse (41) beweglichen Schweißköpfen (13, 14) und zwei Stelleinheiten (17, 18) mit Vorschubantrieben (23) für die Schweißköpfe (13, 14) ausgerüstet ist. Die beiden Stelleinheiten (17, 18) sind axial beweglich (41) am Gestell (10) gelagert und sind untereinander mittels eines gemeinsamen Stellelements (26) mit einem Stellantrieb (25) verbunden und unter Aufnahme der Pressschweißkräfte in einem geschlossenen Kräftesystem abgestützt, wobei das Gestell (10) entlastet wird. Das Stellelement (26) ist als durchgehende Spindel (27) mit zwei gegenläufigen und selbsthemmenden Gewinden (28, 29) ausgebildet.
Patent WO-2006021458-A2 (WO)
Title: Derives de pyrimidine
Inventor: KLEBL BERT
Filed: 2005-08-29
Abstract: La présente invention concerne des dérivés de pyrimidine, des procédés pour les synthétiser, ainsi que leur utilisation comme agents à activité pharmaceutique, notamment pour prévenir et/ou traiter des troubles de la prolifération cellulaire, des cancers, des leucémies, des dysfonctionnements érectiles, des maladies et des troubles cardio-vasculaires, des maladies inflammatoires, des rejets de transplant, des maladies immunologiques, des maladies neuro-immunologiques, des maladies auto-immunes, des maladies infectieuses, notamment des infections opportunistes, des maladies à prions et/ou une neuro-dégénération. De plus, cette invention concerne des compositions pharmaceutiques comprenant au moins un dérivé de pyrimidine et/ou des sels de celui-ci, acceptables d'un point de vue pharmaceutique, comme ingrédient actif avec au moins un support, un excipient ou des diluants, acceptables d'un point de vue pharmaceutique, ainsi que des procédés pour prévenir et/ou traiter lesdites maladies et lesdits troubles.
Patent WO-2006032432-A2 (WO)
Title: Sels de donepezyl
Inventor: KARLHEINZ DOSER
Filed: 2005-09-19
Abstract: L'invention concerne des sels d'addition d'acide cristallins de donépézyl avec un acide organique. Les sels d'addition d'acide ont une corrosivité inférieure comparée à celle du chlorhydrate de donépézyl connu antérieurement. Les sels peuvent être utilisés dans la production de compositions pharmaceutiques pour le traitement de la démence.
Patent WO-2006034908-A2 (WO)
Title: Schaltungsanordnung zum ansteuern eines sperrwandlers
Inventor: DRECHSLER EBERHARD
IPC: H02M3/156
Filed: 2005-08-02
Abstract: Es wird eine Schaltungsanordnung (1) zum Ansteuern eines Hochsetzstellers oder eines Sperrwandlers (10) beschrieben, der ein steuerbares Halbleiterschaltelement (11) aufweist, dessen Steueranschluss von einer Steuerschaltung (20) mit einem von dieser erzeugten Steuersignal beaufschlagbar ist. Es ist eine mit der Steuerschaltung (20) gekoppelte Signalerzeugungsschaltung (30) vorgesehen, die das von der Steuerschaltung (20) erzeugte Steuersignal derart beeinflusst, dass ein Schaltvorgang des Halbleiterschaltelements (11) des Sperrwandlers (10) erfolgt, wenn über dessen Laststrecke keine Spannung anliegt. Dazu ist die Signalerzeugungsschaltung (30) direkt mit dem Halbleiterschaltelement (11) verbunden.
Patent WO-2006133907-A2 (WO)
Inventor: VAN DE KERKHOF MARCUS ADRIANUS
IPC: G03F7/20
Filed: 2006-06-13
Abstract: L'invention concerne un dispositif de lithographie comprenant un système d'éclairage conçu pour traiter un faisceau de rayonnement et un capteur de polarisation conçu au moins en partie pour être couplé à un étage de réticule, des composants du capteur de polarisation du réticule pouvant être chargés et déchargés du dispositif de lithographie de la même manière que dans des réticules conventionnels. Dans une configuration, un outil à réticule actif comprend une lame à retard rotative conçue pour faire varier le retard appliqué à une lumière polarisée transmise par un point de parcours du système d'éclairage. Dans une autre configuration, un outil à réticule passif est conçu sous forme de réseau de modules de capteurs de polarisation, la quantité de retard appliquée à la lumière reçue par des lames de retard fixes variant en fonction de la position du module à capteur de polarisation. Par conséquent, une pluralité de conditions de retard pour la lumière reçue à un point de parcours donné peuvent être mesurées, l'état de polarisation de la lumière à un point de parcours donné pouvant être déterminé de façon complète. Dans une autre configuration, le capteur de polarisation est conçu pour mesurer l'effet d'une lentille de projection sur un état de polarisation de la lumière traversant la lentille de projection.