baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100327422-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 제조 방법
IPC: H01L21/76
Filed: 1999-04-26
Granted: 2002-03-13
Abstract: 본 발명은 반도체 소자에 관한 것으로 특히 SEG(Selectively epitaxial growth)를 이용한 보더레스 콘택을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 이를 위한 반도체 소자의 제조 방법은 소자격리층에 의해 정의된 반도체 기판상의 활성영역상에 게이트전극을 형성하는 공정, 상기 게이트전극 및 소자 격리층을 포함한 반도체 기판 전면에 제1 절연층을 형성하는 공정, 상기 제1 절연층을 선택적으로 제거하여 상기 게이트전극 양측면의 게이트측벽 및 소자격리층상에 보호막을 동시에 형성하는 공정, 상기 게이트전극 양측의 반도체 기판 표면내에 소오스/드레인 영역을 형성하는 공정, 상기 게이트 측벽 및 보호막을 제외한 반도체 기판 전면에 선택적 에피택셜 성장으로 단결정실리콘층을 형성하는 공정, 전면에 고융점 금속층을 증착하고 열처리하여 상기 노출된 게이트전극 및 단결정실리콘층과 고융점 금속층을 반응시키어 실리사이드층을 형성하는 공정, 전면에 제2 절연층을 증착하고 상기 실리사이드층 및 보호막을 식각 스톱층으로 하여 상기 제2 절연층을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
Patent KR-100328266-B1 (KR)
Title: 무석면 스레트 및 그의 제조방법
IPC: C04B14/38
Filed: 1999-05-11
Granted: 2002-03-16
Abstract: 본 발명은 신규의 무석면 스레트 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 특히 셀룰로오즈 섬유를 보강섬유로 사용하는 무석면 스레트 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여 a) 목질섬유 8∼12 중량부; b) 시멘트 45∼50 중량부; c) 규조토 또는 흄드 실리카 4∼6 중량부; d) 섬유상 규회석 8∼12 중량부; e) 규사 25∼30 중량부; 및 f) 전 고형분 100 중량부에 대하여 아크릴아마이드-아크릴레이트 코폴리머 음이온성 응집제 0.02∼0.18 중량부를 포함하는 무석면 스레트 조성물 및 이를 이용한 제조 방법을 제공한다. 
     본 발명의 무석면 스레트 및 그의 제조 방법은 종래의 석면 스레트와 동등 이상의 물성을 나타내며, 무석면 스레트를 위한 초조기 생산 시설을 대규모로 변경하지 않고 종래의 초조기 시설을 그대로 사용하여 제조할 수 있다.
Patent KR-100380416-B1 (KR)
Title: 광고용 형광등 점멸 시스템
IPC: H05B37/02
Filed: 1999-05-14
Granted: 2003-04-14
Abstract: 본 발명은 광고용 형광등 점멸장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 형광램프를 광고용으로 사용할 시 전력소모를 줄이고 점멸제어가 간편하도록 하며, 조광제어가 가능한 광고용 형광등 점멸장치에 것이다. 
     즉, 잡음필터와, 직류공급장치와, 교류공급장치로 구성된 전원부(1)와; ON·OFF스위치기능과, 시간제어기능과, 조광제어기능과, 원격제어기능과, 음성제어기능이 구비된 제어부(2)와; 가변전압제어 또는 위상제어를 통하여 구동시키는 구동부(3)와; 점멸용 안정기부(4) 및 형광램프부(5)로 이루어진 광고용 형광등 점멸장치이다.
Patent KR-100571274-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 게이트 형성 방법
IPC: H01L21/336
Filed: 1999-06-30
Granted: 2006-04-13
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 게이트 형성 방법에 관한 것으로, 반도체 기판에 질소 이온을 주입하고 탄탈륨 산화막을 형성한 후 급속 열산화에 의해 기판과 탄탈륨 산화막 사이에 고밀도 질화산화막을 형성하므로써 열처리 시간을 감소시키지 않고도 균일하면서도 얇은 두께와 계면 거칠기 특성도 우수한 고밀도 질화산화막이 자연 형성되어 누설 전류를 크게 억제할 수 있는 반도체 소자의 게이트 형성 방법이 제시된다. 
       
     게이트, 탄탈륨 산화막, 질소 이온 주입, 급속 열산화
Patent KR-100294699-B1 (KR)
Title: 반도체소자 제조를 위한 에싱 공정용 반응챔버의 가스홀 개폐장치
IPC: H01L21/306
Filed: 1999-07-21
Granted: 2001-07-12
Abstract: 본 발명은 가스홀 패널 상에 형성된 가스홀을 선택적으로 개폐할 수 있도록 하는 한편, 가스홀의 개폐정도를 선택적으로 제어할 수 있도록 하므로써 에싱작용이 균일하게 이루어져, 후공정에서의 공정 균일도를 향상시킬 수 있도록 한 것이다. 
     이를 위해, 본 발명은 웨이퍼 및 마스크 상에 잔류하는 감광막 찌꺼기를 제거하기 위한 에싱공정용 반응챔버에 설치되며, 복수개의 가스홀(100)이 면상에 가로 및 세로 방향으로 일정한 거리만큼 이격되어 형성되어 상기 가스홀(100)을 통해 반응챔버 내부로 가스가 유입되도록 된 가스홀 패널(1)에 있어서; 상기 가스홀(100) 주위에 각각 가스홀(100)을 개폐할 수 있도록 설치되는 가스홀 셔터(2)와, 상기 각 가스홀 셔터(2)를 구동시키도록 설치되는 가스홀 셔터 구동수단과, 상기 가스홀 패널(1)의 중심으로부터 일정한 거리만큼 떨어져 동형(同型)을 이루도록 배치된 가스홀(100)들 주위에 설치된 가스홀 셔터 구동수단이 동시에 구동하도록 연결되는 신호선(4)과, 상기 신호선(4)에 연결되어 상기 가스홀 셔터 구동수단을 구동하도록 제어하게 되는 셔터 구동수단 온·오프 스위치(5)가 구비되는 반도체소자 제조를 위한 에싱 공정용 반응챔버의 가스홀 개폐장치가 제공된다.
Patent KR-100340341-B1 (KR)
Inventor: JO TAEG IL
IPC: G06F3/039
Filed: 1999-08-04
Granted: 2002-06-12
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a mouse pad is provided to increase a contacting force with the bottom using a silicone and reduce a thickness of a mouse pad. CONSTITUTION: A mouse contact member(10) made of a PVC, a P.P, a paper, etc. is cut as a proper size. A picture or advertising contents wanted by a user is printed on an offset printing unit(20) at the lower end portion of the mouse contact member(10) as an offset printing method. A white color printing unit(30) is printed for making the picture, etc. be displayed clearly. A contact reinforcing member(40) is applied at the rear surface of the white color printing unit(30). A bottom contact member(50) is stuck to the contact reinforcing member(40) as a screen printing method. A primer 'A' mixed with a 5-10% weight solvent is inserted into the contact reinforcing member(40). The bottom contact member(50) comprises silicone of 75-90 weight %, hardener of 2-20 weight %, and RTV of 2-15 weight %. A viscosity of the bottom contact member(50) is 110-150 poise. A density of the bottom contact member(50) is 1,09-1.3. A tensile strength of the bottom contact member(50) is 25-40 Kg/cm2.
Patent KR-100338563-B1 (KR)
IPC: B41J11/02
Filed: 1999-08-19
Granted: 2002-05-27
Abstract: 잉크-제트 기록장치가 헤드의 노즐을 통해 용지에 잉크를 분사시켜 기록위치에서 용지상에 화상을 형성하는 기록헤드를 포함한다. 
     용지 반송기구는 상기 기록헤드에 의해 용지에 화상이 형성되는 동안 용지반송로를 따라 용지를 반송한다. 
     용지 반송기구는 용지반송을 안내하기 위해 기록헤드 아래에 제공된 용지안내부재를 포함하고, 또한 화상형성동안 용지안내부재에 용지를 공기역학적으로 흡인하는 용지 흡인부재를 포함한다.
Patent KR-100322453-B1 (KR)
Title: 형광 표시관
IPC: H01J31/15
Filed: 1999-08-20
Granted: 2002-03-13
Abstract: 게터를 플래싱(flashing)할 때 유도되는 열에 의해 기판에 균열이 발생되는 것을 억제할 수 있고, 안정적인 전극 구조를 실현할 수 있으며, 관내 표시 범위를 확대할 수 있는 형광표시관에 관한 것으로, 전면 및 후면 기판과 이들 기판 사이에 위치하여 밀폐된 공간을 형성하는 사이드 글라스와; 상기 후면 기판에 마련된 배선층으로부터 전류를 인가받는 애노드 전극 및 이 전극의 표면에 도포된 형광체와; 지지대에 긴장 상태로 설치되어 전원 인가시 열전자를 방출하는 필라멘트와; 상기 필라멘트로부터 방출되는 열전자를 가속하여 상기 형광체에 충돌시키는 그리드 전극과; 상기 사이드 글라스와 전면 기판 사이에 일단부가 고정되는 게터 지지대와, 이 게터 지지대에 고정되는 게터 용기체를 포함하며, 상기 밀폐된 공간 내부의 잔류 가스 및 이물질을 흡착하여 관 내부의 진공도를 높이는 게터링 수단과; 상기 관내의 표시 영역을 확대할 수 있도록 상기 게터 지지대의 일단부를 사이드 글라스와 전면 기판 사이에서 고정하는 프리트;를 포함한다. 따라서, 게터 플래싱시에 유도되는 고열이 후면 기판에 전달되는 열 전달 경로가 증가되어 상기의 목적을 달성할 수 있다.
Patent KR-100358962-B1 (KR)
Inventor: PARK YUN GOO
IPC: C02F3/14
Filed: 1999-09-04
Granted: 2002-11-01
Abstract: PURPOSE: Provided is a sewage/wastewater treatment apparatus using a U-shape aeration tank being advantageous in low facilities cost, low operation cost, easy operation and stabilized water quality. CONSTITUTION: The apparatus comprises an aeration tank(1) containing aerobic microorganisms therein, a compartment(15) installed in the aeration tank(1) to make the aeration tank(1) have U-shape, a sewage/wastewater inlet pipe(9) externally extending to inside of the aeration tank(1), a returned water inlet pipe(10) externally extending to inside of the aeration tank(1), an air lift outlet pipe(11) installed in the aeration tank(1), a water outlet pipe(13) provided at a side of the aeration tank(1), a pressure pump(2) and a pressure tank(7) installed outside the aeration tank(1) and connected to the aeration tank(1) through a pressure pump inlet pipe(4), a pressure tank outlet pipe(8) extending from the pressure tank(7) to inside of the aeration tank(1), and a venturi ejector(3) installed between the pressure pump inlet pipe(4) and a pressure pump outlet pipe(4a).
Patent KR-100376658-B1 (KR)
Title: 반도체기판 및 그 형성방법
IPC: H01L21/20
Filed: 1999-09-03
Granted: 2003-03-19
Abstract: 본 발명은 다공질 실리콘층위에 형성되어 결정결함이 감소된 비다공질 단결정층을 포함한 반도체기판과 이 기판의 형성방법을 제공한다.   기판을 형성하는 방법은, 실리콘계 가스를 포함하지 않는 분위기에서 다공질층을 열처리하는 열처리단계와, 다공질 실리콘층위에 비다공질단결정실리콘층을 성장하는 단계를 포함하고, 상기 열처리단계는, 실리콘의 에칭두께가 2nm이하로 되도록, 또한 다공질 실리콘층의 헤이즈값에 대한 변화율 r을 "(열처리후의 헤이즈값)/(열처리전의 헤이즈값)"으로 규정하고 이 변화율 r이 1≤r≤3.5의 관계를 만족하도록, 열처리를 행한다.
Patent KR-100322758-B1 (KR)
IPC: H04N7/18
Filed: 1999-09-13
Granted: 2002-02-07
Abstract: 본 발명은 줌 렌즈 일체형 주/야 감시용 카메라에 관한 것으로서, 외부 제어 신호에 의해 줌 기능이 동작하여 초점 거리를 자동으로 조절하는 줌-렌즈와, 외부 광원으로부터 입력되는 광을 축적하였다가 줌-렌즈에서 수집된 화상 정보와 함께 수직 동기 신호에 맞추어 외부로 출력하는 CCD 보드와, 가시 광선과 적외선을 모두 통과시키는 특성을 가지고 상기 CCD 보드에서 출력되는 화상 정보 및 광을 통과시키는 필터와, 상기 필터를 통한 화상 정보를 전기 신호로 변환하는 촬상부와, 외부 전원에 의해 상기 촬상부를 통해 전기 신호로 출력되는 화상 정보를 영상 신호로 변환하여 출력하는 비디오 신호 처리부와, 주/야의 변화에 따라 외부에서 적외선 조명 선택여부를 조작하면 그에 따른 제어 신호를 상기 줌-렌즈로 출력하는 주/야 절환 및 렌즈 제어부로 구성되어, 저렴한 비용으로 주/야에 사용되는 조명의 변화에 따라 필터나 렌즈를 교환하여야 하는 번거러움을 없이 색수차를 보정할 수 있다는 특징이 있다.
Patent KR-100309470-B1 (KR)
Title: 마이크로 비지에이 패키지 및 제조방법
IPC: H01L21/60
Filed: 1999-10-07
Granted: 2001-11-02
Abstract: 본 발명은 마이크로 비지에이 패키지 및 제조방법에 관한 것으로서, 종래의 마이크로 비지에이 패키지는 리드와 칩패드의 결합부가 파단되어 리드본딩의 신뢰성이 저조하였다. 또한 리드본딩을 위한 별도의 공간이 요구되며, 웨이퍼 레벨 칩사이즈 패키지의 경우에는 패드 재배열시 식각공정의 정밀도 조절이 곤란하여 인접한 리드가 전기적으로 소착되는 바, 최근의 고밀도 다핀화 추세에 대응이 곤란하였으며, 기존의 와이어본딩과는 다른 별도의 리드본딩용 장비와 공정이 추가되어 상기 리드본딩용 토치팁의 수명이 짧아 빈번한 교체에 따른 생산성의 저하 및 제조원가가 상승되는 문제점이 있었으나, 본 발명에 의한 마이크로 비지에이 패키지는 링의 형상으로 골드리드를 형성하고 와이어본더로 형성한 골드볼을 이용하여 리드본딩을 수행한 후, 이를 보호하도록 몰딩부를 형성함으로써, 반도체칩과의 리드본딩에 신뢰성을 확보할 수 있으며, 또한 패드 재배열의 공정이 삭제되므로 정밀도 조절이 용이하고 인접한 리드가 전기적으로 소착되는 현상이 방지되는 바, 고밀도 다핀화를 실현할 수 있으며, 골드층을 매트리스 구조로 배치하므로 칩사이즈 패키지를 용이하게 제조할 수 있는 한편, 제조공정이 단순하여 리드본딩용 장비를 최소화함으로써, 생산성이 향상되고 제조원가가 저감되는 효과와 함께, 완충을 위한 엘라스트머를 이용하여 솔더볼을 결합할 경우 높은 신뢰성을 갖는 패키지를 실현시킬 수 있다.
Patent KR-100620018-B1 (KR)
IPC: G11B20/10
Filed: 1999-10-12
Granted: 2006-09-06
Abstract: 본 발명은 브이씨알과 텔레비젼수상기와 같이 상호 관련된 영상기기들 간에 콘트롤 라인을 통해 필요한 정보를 송수신하여 보다 간편하게 제어기능을 수행하는 기술에 관한 것이다.  
     이러한 본 발명의 목적은 링크관련 키이가 입력될 때, 브이씨알(20A)이나 케이블티브이용 컨버터(20B) 등의 영상기기와 선택적으로 링크되어 사용자에 의해 요구된 기능을 수행하는데 적당하도록 내부적으로 동작모드를 자동 절환하거나 상대측에 모드절환을 요구하는 텔레비젼수상기(10)와; 상기 텔레비젼수상기(10)와 선택적으로 링크되어 온라인 통신방식으로 통신하면서 서로의 상태를 파악하여 요구된 기능을 수행하는데 적당하도록 내부적으로 동작모드를 자동 절환하거나 상대측에 모드절환을 요구하는 브이씨알(20A) 및 케이블티브이용 컨버터(20B) 등의 영상기기와; 상기 텔레비젼수상기(10)에 브이씨알(20A)이나 케이블티브이용 컨버터(20B) 등의 영상기기를 링크하기 위한 콘트롤라인(CTL)에 의해 달성된다.
Patent KR-100558951-B1 (KR)
IPC: H04N5/64
Filed: 1999-10-14
Granted: 2006-03-13
Abstract: 이탈방지용 노브 스페이서를 갖는 스위치 조립체가 개시된다. 모니터의 기능을 조절하는 스위치 조립체는 그 내주면에서 돌출되어 탄력적으로 유동하는 복수개의 리브 탄성부재를 갖고 각각의 리브 탄성부재의 끝단에는 노브가 부착되고 또한 노브의 후면에는 전달축이 부착된 프레임, 및 그 내주면에서 돌출되어 탄력적으로 유동하는 복수개의 가이드 탄성부재를 갖고 각각의 가이드 탄성부재의 일단에 형성되고 그 전면에는 가이드 홈이 형성되어 상기 프레임의 전달축이 삽입되도록 하고 후면에는 돌기가 형성되어 메인기판의 스위치와 접촉하는 가이드편을 갖는 스페이서로 구성된 스위치 조립체를 제공한다. 이에따라, 스위치 조립체는 노브의 이동시 발생하는 좌, 우 유동을 방지하므로써 스위치 조립체의 작동 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.  
       
     모니터, 스위치 조립체, 노브, 스페이서, 가이드 홈
Patent KR-100352521-B1 (KR)
Title: 세발용 방수 시트, 및 그것을 사용하는 자동세발기
IPC: A45D44/08
Filed: 1999-11-12
Granted: 2002-09-12
Abstract: 본 발명은 세발시에 자동세발기의 페이스커버와 피(被)세발자의 얼굴과의 틈새로부터 세정수가 누수되는 것을 방지하기 위한 세발용 방수 시트, 및 그것을 사용한 자동세발기에 관한 것으로, 본 발명에 따른 세발용 방수 시트는 중앙에 두부를 삽입할 수 있는 크기의 개구부(1a)를 가지며 대체로 직사각형인 비닐 시트의 외주부(1c) 및 내주부(1b)에 고무 밴드를 채움으로써 신축가능한 상태로 하는 동시에 상기 내주부(1b) 아래쪽의 대향하는 부분에 상기 내주부(1b)를 피세발자에 고정하기 위한 매직테이프(2)가 부착된다.
Patent KR-100671451-B1 (KR)
IPC: G02F1/1339
Filed: 1999-12-03
Granted: 2007-01-18
Abstract: 본 발명은, 액정표시장치의 셀조립(cell assembling: 셀짜맞춤)시의 가열압착시에, 소망하는 셀갭이 확보됨과 더불어, 액정셀이 제작된 후에 있어서는 신뢰성이 우수하고, 고온하에서의 셀두께 증가에 대응할 수 있으며, 또 저온하에서는 액정층에서의 저온발포현상을 억제하는 것을 가능하게 하는 액정표시장치의 제공을 과제로 한다. 
     본 발명의 액정표시장치는, 2매의 기판 사이에 액정을 협지(挾持: 끼워넣어 지지)한 액정표시장치로, 적어도 한쪽의 기판상의 액정협지영역부분에 기판의 간격을 유지하는 스페이서를 설치한 액정표시장치에 있어서, 상기 스페이서가 광경화성 수지막으로 이루어지고, 이 광경화성 수지막의 150℃에서의 동적 점탄성측정에 의해 얻어지는 저장탄성률(E′)이 2.0×10 8 (Pa) 이상 3.0×10 8 (Pa) 이하이거나, 또는 광경화성 수지막의 응력-왜곡곡선으로부터 도출되는 영률이 150℃에 있어서 10MPa 이상 170MPa 이하이거나, 더욱이 광경화성 수지막의 다이나믹경도가 부하(負荷)시에 있어서 30∼60인 것이다.
Patent KR-100375273-B1 (KR)
Title: 인터넷상에서의 신원확인방법 및 시스템
IPC: G06F21/31
Filed: 1999-12-24
Granted: 2003-03-28
Abstract: 본 발명은 인터넷상에서 신원을 확인해주는 신원확인방법 및 시스템에 관한 것으로, 인터넷상에서 단 1회의 신원 확인으로 신원 확인이 필요할 때마다 가입자의 신원을 대신하여 확인해준다.  본 발명은 개인 뿐만 아니라 법인 및 단체의 신원을 등록하여 놓고 대신하여 그 신원을 확인해 줄 수도 있다.  또한, 본 발명은 개인 및 법인 또는 단체의 신원 뿐만 아니라 그 가입된 자의 금융에 대한 신용에 대해서도 확인 및 보증할 수 도 있다. 이를 위해 본 발명은 가입자들이 개인주민등록번호 및 법인/단체등록번호를 가지고 있는 것을 이용하여 그 신원 및 신용에 대한 신상을 본 발명의 신원확인시스템의 서버시스템에 등록하여 놓고, 그 가입자들이 인터넷상에서 전자상거래등을 수행할 때 필요한 신원등록시 자동으로 신원확인시스템에 링크접속되도록 하여 각 가입자들이 일일이 신원을 확인하기 위한 번거로운 절차를 밟는 대신에 신원확인시스템에서 대신하여 신원을 확인하여 줌으로써 가입자들은 익명성이 보장되는 상태로 인터넷상에서의 거래행위를 수행할 수 있게 된다.  이 경우, 본 발명은 가입자 1인이 항상 1개의 아이디를 가지며, 가입시 보증인(또는 인증기관)을 통한 신원확인을 함으로써 실제의 가입자와 일대일 대응이 되도록 하여,  현재와 같이 아이디와 패스워드만 다르면 등록을 허락하는 상황에서 발생하는 복수 등록을 방지할 수 있고 복수등록에 따른 자원의 낭비와 통계치의 허수를 방지할 수 있다.
Patent KR-100542620-B1 (KR)
IPC: B65D47/06
Filed: 1998-01-08
Granted: 2006-01-11
Abstract: 본 발명은 분리 가능한 덮개(14)를 갖춘 표면(13)을 포함하는 음료 또는 기타 액체 용기에 관한 것이다. 분리 가능한 덮개(14) 아래에서, 용기(10)는 덮개가 용기에서 분리될 때 바깥쪽으로 펼쳐지는 주둥이(18)를 포함한다. 펼칠 수 있는 주둥이는 덮개 아래에서 다시 접힐 수 있는 유연한 관 모양의 부분으로 구성된다.
Patent KR-100434211-B1 (KR)
IPC: G11C11/407
Filed: 1998-06-12
Granted: 2004-06-04
Abstract: A command buffer for use in packetized DRAM includes a two stage shift register for shifting or sequentially storing two of four 10-bit command words in each packet. After the first two words of each packet have been stored, they are transferred to a first storage register and output from the first storage register. After the final two words of each packet have been shifted into the shift register, they are transferred to a second storage register and output from the second storage register. The first two command words are output from the first storage register before the last two command words are applied to the command buffer. As a result, the DRAM can start processing the first two command words of the command packet before the entire command packet has been received.
Patent KR-100538602-B1 (KR)
Title: 전계-효과 반도체 소자의 제조 방법
IPC: H01L21/336
Filed: 1999-03-29
Granted: 2005-12-22
Abstract: 예를 들어, IGBT의 트렌치-게이트 형태의 MOSFET와 같은 반도체 소자의 제조 방법은 반도체 보디(10)의 표면(10a)에, 윈도우(53a)를 구비한 제 1 마스크(53)를 형성하는 단계와, 도펀트(62)를 윈도우(53a)를 통하여 보디의 제 1 영역으로 주입하여 블로킹/브레이크다운 특성을 개선하기 위하여 국부 영역(localised region)을 형성하는 단계와, 소스 영역(13)을 제공하기 이전에 이 국부 영역(15b)을 채널-수용 영역(15a)보다 더 큰 깊이로 열적으로 확산시키는 단계를 포함한다.  제 1 마스크(53)에 상보적인 윈도우 패턴의 제 2 마스크(51)가, 제 1 윈도우(53a)에 상이하게 에칭 가능한 물질(51')을 제공하고, 국부 영역(15b)이 존재하는 제 1 영역에 제 2 마스크(51)를 남기면서 제 1 마스크(53)를 에칭-제거함으로써 형성된다.  제 1 영역을 제 2 마스크(51)로 마스킹하면서 반대의 도전형의 도펀트(63)를 상보형 윈도우(51a)의 제 2 영역에 주입함으로써 소스 영역(13)이 형성된다.  게이트(11)는 보디 영역(15)이 채널-수용 영역(15a)을 제공하는 곳에 인접한 제 2 영역에 제공된다.  소스 전극(23)은 제 2 마스크(51)를 제거한 후에 제공되어, 반대의 도전형 영역(13, 15b)을 표면(10a)에서 접촉시킨다.
Patent KR-100344758-B1 (KR)
Title: 오일 미스트 포집 장치
IPC: B03C3/145
Filed: 2000-01-03
Granted: 2002-07-20
Abstract: 오일 미스트를 용이하게 포집하기 위한 오일 미스트 포집 장치가 개시되어 있다. 상기 오일 미스트 포집 장치는, 적어도 오일 미스트에 의해 오염된 기체 또는 액체의 유체가 유입되는 유입부와, 고전압을 발생하기 위한 고전압 발생부와, 상기 고전압 발생 수단으로부터 고전압을 제공받아 상기 유입 수단을 통해 유입되는 상기 오염된 유체내의 오일 미스트를 하전시켜 응집하기 위한 예비 하전/응집부와, 상기 예비 하전/응집부에 의해 상기 오일 미스트가 응집된 유체를 유입받고, 상기 유체를 강제 회전시킴으로써 발생되는 관성 충돌력에 의하여 상기 유체체로부터 분리되는 상기 응집된 오일 미스트를 포집하기 위한 오일 미스트 포집부와, 상기 오일 미스트 포집부에 의해 상기 오일 미스트가 분리된 유체를 외부로 배기하기 위한 배기부를 포함한다.
Patent KR-100348651-B1 (KR)
IPC: H04B7/26
Filed: 2000-01-21
Granted: 2002-08-13
Abstract: 본 발명은 이기종 단말기의 서비스 장치에 관한 것으로서, 본 발명은 기본 주파수채널을 통해 송신할 순방향 채널 신호를 발생시키는 채널 카드; 상기 채널 카드로부터의 순방향 채널신호들을 결합하여 기저 대역 순방향 신호를 출력하는 아날로그 공통 카드; 이 기저 대역 순방향 신호들을 받아 결합하고 이 결합 신호와 중간 주파수를 결합시키는 섹터 인터페이스 카드; 이 기본 주파수 채널에 대응되는 중간 주파수를 받아 합성및 증폭시켜 제1 순방향 송신신호를 발생하는 송신부; 상기 송신부의 입력측과 출력측에 각각 접속되어 제1 기본 주파수 채널에 대응되는 주파수를 제2 주파수 채널에 대응되는 주파수로 변환시킨 후 합성 및 증폭시켜 제2 순방향 송신신호를 발생하는 주파수 변환부; 상기 제1 및 제2 순방향 송신신호중의 적어도 하나를 고출력 증폭시키는 선형 전력 증폭기; 및 상기 고출력 증폭신호를 소정의 주파수로 필터링하여 필터신호를 안테나를 통해 제1 단말기 및 제2 단말기로 전송하는 대역 통과 필터로 이루어진다.
Patent KR-100324500-B1 (KR)
IPC: H01L21/26
Filed: 2000-02-24
Granted: 2002-03-13
Abstract: 본 발명은 레이저 발생원인 레이저(1)로부터 발생된 레이저 빔(2)을 렌즈(3)로 집광하여 진공 챔버(4) 내에 위치한 별도의 회전용 전동기(5)가 불필요한 고정된 고순도 그라파이트 타깃(6)에 조사 시 그 표면에 발생하는 애블레이션 현상(레이저 플륨(7))과 이와 동시에 그라파이트 캐소우드(6)와 그라파이트 애노드(8) 사이에 발생하는 방전 플라즈마(9)가 혼합되도록 결합시킨 방법으로, 발생 플라즈마(9) 중심부의 높은 온도로 인해 별도의 기판가열기(10)로 기판(11)을 가열치 않고 그라파이트 애노드(8) 위에 놓인 기판(11)상에 다이아몬드를 형성 시, 플라즈마 존(Zone)을 둘러 쌓이게 한 반응기(12)를 두는 과정과 외부에서 진공 챔버(4) 내부에 위치한 반응기(12)속으로 일정 수소 가스를 가이드 튜브(13)로 공급하여 다량의 원자 수소가 기판(11) 상에서 효율적으로 그 기능을 발휘하게 하여 양질의 씨드 다이아몬드 박막을 형성시키고, 이것을 특수 제작된 고온 고압 노 내에 샌드위치 모양이 되게 적층 하고, 이 적층된 박막 사이에 고 순도 흑연판 또는 DLC (Diamond like carbon) 파우더를 두고 일정 고온에 도달 시, 고압을 가하여 다이아몬드 벌크를 형성 시, 원자수소가 박막 형성 시와 마찬가지로 그 기능을 발휘하게 하도록 하기 위해 탄탈(Ta) 또는 Mo으로 싸여진 적층부에 수소 가스를 일정압까지 충전하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 애블레이션법과 고전압 방전 플라즈마 CVD법의 혼합 방식 (레이즈마 혼합법) 에 의한 다이아몬드 박막 제조 및 고온고압 조건하에서의 다이아몬드 벌크의 형성 방법에 관한 것이다.
Patent KR-100363220-B1 (KR)
Title: 접이식 3륜자전거
IPC: B62K15/00
Filed: 2000-03-17
Granted: 2002-11-30
Abstract: 본 발명은 접이식 3륜자전거에 관한 것으로, 앞쪽에 잡이바(16a)가 구비된 슬리브(16)가 형성되고 중앙부에 경첩부재(18)가 설치되어 어느 한쪽 방향으로 접혀지며 뒷바퀴(14)가 끼워지는 지지프레임(10)과, 상부에 손잡이(22)가 구비되고, 하부에 상기 앞바퀴(12)를 지지하는 연장부(24)가 형성된 핸들프레임(20), 상기 지지프레임(10)의 슬리브(16)에 끼워지고 완충수단이 구비된 연결축(30) 및, 상기 핸들프레임(20)과 연결축(30) 각각에 힌지연결되어 아래쪽에서 위쪽으로 접혀지고 상기 연결축(30)을 지지하는 상/하부지지판(40,40′)을 포함하는 구성으로 되어 있다. 따라서 본 발명은, 앞쪽에 두개의 바퀴가 설치됨으로써 제동력이 향상되고, 곧은길은 물론, 커버길에서 안정되게 주행할 수 있으며, 간단한 조작을 통해 폭과 길이를 동시에 줄일 수 있는 것이다.
Patent KR-100349891-B1 (KR)
IPC: A01N25/00
Filed: 2000-03-21
Granted: 2002-08-23
Abstract: 본 발명은 자동차 에어컨디셔너의 침전살균 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자동차용 에어컨디셔너의 경로중 곰팡이와 세균의 서식이 쉽고 에어컨디셔너 냄새의 대부분이 발생되는 에바포레이터에 직접 살균액을 분사하여 살균하므로서 냄새를 제거하는 자동차의 에어컨디셔너용 살균제 조성물에 관한 것이다. 
     본 발명의 살균제 조성물은, 에바포레이터에 직접 분사하는 살균제 조성물을 폴리헥사에틸렌구아니딘 포스페이트(Polyhexamethyleneguanidine phosphate, 이하 PHMG)와 알킬디메틸벤질암모늄 클로라이드(Alkyl dimethyl benzyl ammonium chloride, 이하 사급암모늄염)이 1종이상 함유된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100341488-B1 (KR)
Title: 원적외선 흡수 유도장치 및 이를 이용한 원적외선 흡수유도방법
IPC: A61N5/06
Filed: 2000-03-23
Granted: 2002-06-21
Abstract: 본 발명은 원적외선 방사체화 타겟이 수납된 챔버, 이 챔버 내부에 배치된 원적외선 방사체, 이 챔버의 외부에 배치된 고주파 발진기 등의 조합으로 이루어진 원적외선 흡수 유도장치에 관한 것이다. 
     이때, 고주파 발진기, 원적외선 방사체의 연계과정이 체계적으로 진행되는 경우, 원적외선 방사체는 고주파 발진기로부터 출력되는 고주파에 의해 일정 크기의 원적외선 웨이브를 발생시키게 되며, 이 원적외선 웨이브는 원적외선 방사체화 타겟로 흡수되고, 결국, 원적외선 방사체화 타겟은 일정 수준 이상의 원적외선 방사능력을 보유하게 된다. 
     이러한 본 발명의 경우, 원적외선 방사체를 특정 형상으로 가공하거나, 원적외선 방사체 분말을 제품의 외피에 코팅하는 과정을 일일이 진행시키지 않고서, 단지, 원적외선 웨이브를 원적외선 방사체화 타겟에 흡수시키는 과정에 의해 최종 생산되는 제품에 원적외선 방사능력을 부여할 수 있기 때문에, 본 발명이 달성되는 경우, 생산라인에서는 제품의 생산성이 대폭 향상되고, 제품의 대량생산을 달성할 수 있는 효과를 획득할 수 있다.
Patent KR-100368665-B1 (KR)
Title: 이중 콘덴서형 열교환기
IPC: F28D1/04
Filed: 2000-03-29
Granted: 2003-01-24
Abstract: 본 발명은 에어콘등의 열교환기에 이용되는 콘덴서에 있어서, 상기 콘덴서를 하나의 헤더에 이중구조로 설치하고 상기 이중구조로 설치된 콘덴서의 사이에 콘덴서용 팬을 삽입방식으로 설치하여 상기 콘덴서와 콘덴서용 팬을 하나의 유니트상태로 구비하며 상기 유니트의 설치를 용이하게 하면서 콘덴서의 효율을 향상시킬 수 있도록 한 이중 콘덴서형 열교환기에 관한 것이다. 
     본 발명은 한쌍의 헤더파이프(1)(2) 사이에 냉매유로와 방열핀을 가지면서 분리형으로 이루어진 2개의 콘덴서 코어(3)(4)를 공간부(5)가 형성되도록 상호 이격되게 설치함에 있어서, 상기 헤더파이프(1)(2)들의 내측 대향면 중앙부에 삽입 가이드홈(6)(7)을 형성하고 상기 공간부(5)에는 가이드(10)(11)가 양측에 형성되고 중앙에 팬(9)이 설치되는 일체형의 콘덴서용 팬(8)을 삽입설치하도록 구성된 것으로 상기 콘덴서용 팬(8)의 양측 가이드(10)(11)가 상기 가이드 홈(6)(7)을 따라 삽입되면서 상기 공간부(5)내로 삽입설치되도록 구성한 것이다.
Patent KR-100339396-B1 (KR)
Title: 냉장고용 제어장치의 방열구조
IPC: F25D29/00
Filed: 2000-03-30
Granted: 2002-06-01
Abstract: 본 발명은 냉장고의 방열구조에 관한 것으로, 컴퓨터 및 그의 출력장치인 영상표시기기를 탑재한 냉장고에서 이 냉장고의 각종 작동을 제어하는 제어장치 내에서 발생하는 열을 방출하여 작동의 신뢰성을 향상시키기 위한 것이다. 
     이를 위해 본 발명은, 냉장고 본체의 상단면에 부착되는 플레이트와; 상기 플레이트 상에 장착되어 전기적으로 작동하는 다수의 제어장치 및, 상기 플레이트 상부에서 상기 제어장치들을 덮도록 장착되는 덮개를 구비한 제어장치부와; 상기 제어장치부 내를 방열시키기 위해 상기 덮개의 1개 이상의 면에 형성되어 외부의 공기를 흡입하는 다수의 흡기공과; 상기 흡기공을 통해 흡입된 공기를 제어장치부 외부로 배출하기 위하여 상기 덮개의 일측면에 형성된 배기공과; 상기 흡기공을 통해 외부의 공기를 강제 흡입하여 상기 배기공을 통해 배출시키기 위해 상기 제어장치부 내에서 상기 배기공 바로 후방에 장착된 송풍팬 및 이 송풍팬을 구동하기 위한 구동모터를 포함하여 이루어진 냉장고용 제어장치의 방열구조를 제공한다.
Patent KR-100433951-B1 (KR)
Title: 다성분계 고분자 분리 막 및 그의 제조 방법
IPC: C08J5/18
Filed: 2000-05-03
Granted: 2004-06-04
Abstract: 본 발명은 다성분계 고분자 분리 막에 관한 것으로, 특히 폴리프로필렌 한가지 성분만으로 구성된 종래의 분리 막과는 달리 두 가지 이상의 고분자 성분으로 구성된 다성분계 고분자 분리 막 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 이를 위하여, 연신을 포함하는 공정에 의해 제조되는 고분자 성분의 분리 막에 있어서, 상기 고분자가 a) 투과 기능을 갖는 1 종 이상의 성분 70 내지 99 중량%; 및 b) 투과 기능을 갖지 않는 1 종 이상의 성분 1 내지 30 중량%를 포함하는 다성분계 고분자 분리 막 및 그의 제조 방법을 제공한다. 
     본 발명의 다성분계 고분자 분리 막은 종래의 폴리프로필렌 단독 성분의 분리 막에 비하여 투과도와 기계적 물성이 모두 우수하다.  또한 리튬 이온 전지 등의 전지 격리 막으로 사용될 경우 개선된 투과도 및 기계적 물성으로 인하여 전지 성능이 향상되며, 특히 기재를 고결정성 폴리프로필렌으로 사용할 경우 투과도의 현저한 개선으로 인하여 충, 방전 특성, 특히 저온에서의 충, 방전 특성이 우수하게 되며, 높은 용융 온도로 인하여 격리 막 파단 온도가 높아 전지의 안정성 측면에서도 큰 장점을 갖는다.
Patent KR-100368882-B1 (KR)
Title: 학습내역에 기초한 맞춤학습 및 관리방법
IPC: G06Q50/20
Filed: 2000-05-16
Granted: 2003-01-24
Abstract: 본 발명은 학습내역에 기초한 맞춤학습 및 관리방법에 관한 것으로, 본 발명은 미등록 학습자일 경우, 가입을 신청 받아서 회원DB(24)에 회원정보를 저장하고, 상기 회원DB(24)를 참조하여 기존 회원일 경우에 로그인시킨 후, 학습항목 및 과목을 선택하는 제1단계(S50,S100,S200); 학습자의 선택에 따라 학습범위 및 학습수준별로 분류되어 학습DB(25)를 참조하면서 선택된 과목에 대해서, 학습을 수행하고, 그 학습결과를 학습내역DB(26)에 저장하는 제2단계(S300); 상기 학습내역DB(26)에 저장된 학습내역을 학습기간별, 학습범위별로 조회하여 학습내역을 관리하며, 학습자의 선택에 따른 문제를 출력하여 맞춤학습을 할 수 있게 하는 제3단계(S400); 로 이루어져, 이와같이 이루어진 본 발명에 따르면, 학습수준별 학습을 수행하여 학습내역을 저장하고, 이 학습내역에 기초해서 기간별 학습내역을 조회할 수 있고, 학습범위와 학습내용을 학습자가 선택하여 각 학습자에 적합한 문제지를 출력할 수 있도록 함으로써, 학습진행 과정을 확인 및 관리할 수 있고, 학습자별 수준에 맞는 학습이 가능하여 학습수준별 체계적 진단학습 및 맞춤학습을 할 수 있다.
Patent KR-100378324-B1 (KR)
Title: 전기적 프로그램가능 메모리를 구비하는 집적 회로 및고전압 메모리 동작 수행 방법
IPC: G11C13/00
Filed: 2000-05-25
Granted: 2003-03-29
Abstract: 세그먼트화된 열 플래시 EEPROM 메모리를 소거하고 프로그램(기록)하는데 필요한 높은 열 세그먼트 전압을 인가하는 방법 및 관련 회로가 개시된다.  저전압 CMOS 트랜지스터는 판독 열 프리차지 경로와 기록/소거 데이터 전달 경로 모두에 사용된다.  또한, 열 세그먼트 선택 스위치는 두개의 상보형 고전압 트랜지스터보다는 단일의 저전압 n 채널 트랜지스터로 구성될 수 있다.  이들 모두는 프리차지 및 방전 시간을 감소시켜 메모리의 판독 속도를 증가시킨다.  이것은 또한 고전압 트랜지스터의 특성이 노화로 성능이 저하함에 따라 발생하는 프리차지 시간이 길어지는 것을 방지한다.  본 발명은 기록 및 소거 기능에 필요한 소정의 오프 피치 회로(off-pitch circuit)에서 신뢰도가 보다 낮은 고전압 트랜지스터를 사용할 필요성이 제거되는 추가적인 장점을 제공하여, 전체의 칩 신뢰도를 향상시킨다.
Patent KR-100384403-B1 (KR)
Title: 한 쌍의 커팅부를 갖는 커터네일머신
IPC: B23P17/00
Filed: 2000-06-10
Granted: 2003-05-22
Abstract: 본 발명은 한 쌍의 커팅부를 갖는 커터네일머신(cut nail machine)에 관한 것이다. 
     종래의 커터네일머신은 몸체의 일측에 비스듬히 설치된 1개의 커팅부로 모재를 공급하되 교대로 뒤집어 주면서 공급하게 되므로 뒤집는데 시간이 많이 소요될 뿐 아니라 모재를 적당한 길이로 절단하는 작업공정이 필요하고 절단한 모재를 작업자가 앞ㆍ뒤로 뒤집어 주면서 공급하게 되므로 생산성이 떨어질 뿐 아니라 절단된 모재의 양측 끝부분은 쓸모없게 되므로 재료가 낭비되며, 최소한 한 사람 이상의 작업자가 필요로 하여 생산원가가 상승하는 등의 문제점이 있었다. 
     따라서, 본 발명은 커터네일머신(cut nail machine)의 좌ㆍ우측에 한 쌍의 커팅부와, 컷팅된 모재를 눌러 가압하는 압지부와 압지된 컷팅모재를 타격시켜 머리부를 만드는 해머를 설치하고, 커팅부의 전면에 모재를 좌ㆍ우측으로 이동시키면서 일정량씩 공급하는 모재공급장치를 설치하여 공급되는 모재를 뒤집어 줄 필요없이 컷팅부의 좌ㆍ우측으로 번갈아 공급되도록 함으로써 저렴한 비용으로 커터네일을 대량 생산할 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100374373-B1 (KR)
Title: 액정 표시 장치
IPC: G09F9/35
Filed: 2000-06-10
Granted: 2003-03-04
Abstract: 글래스 등으로 이루어지는 2 개의 기판 사이에 액정층이 있고, 게이트 단자, 게이트 배선, 제어전극 및 드레인 단자가 상기 액정층에 배치된다.     액정표시장치는 상기 게이트 배선을 교차하지 않고 독립된 상태인 제어전극의 제어전극단자를 더 구비한다.     상기 제어전극단자와 게이트 단자, 이에 더하여 드레인 단자를 포함하는 단자부가 기판 패널의 외측에 배치된다.     이러한 구성에 따르면, 임의의 전압이 제어전극으로 인가되어, 배향분할에 요구되는 경사전계의 강도가 최적으로 설정될 수 있다.     이렇게 함으로서, 배향분할이 양호하게 수행될 수 있다.     또한, 배선 및 단자를 포함한 제어전극과 게이트 배선간의 오버랩이 없으므로, 단락회로의 문제점이 경감되어 액정표시장치의 양호한 제조수율을 얻을 수 있다.
Patent KR-100345684-B1 (KR)
IPC: H04N19/51
Filed: 2000-06-24
Granted: 2002-07-27
Abstract: 본 발명은 움직임 벡터 추정의 수행 여부를 판단하는 움직임 추정 판단모듈을 이용하여 움직임 벡터 추정이 필요 없다고 판단되는 매크로블록에 대해서 움직임 벡터 추정의 단계를 모두 생략하고 주위 매크로블록의 움직임 벡터들을 이용하여 얻어진 움직임 벡터를 부호화함으로써 움직임 벡터 추정모듈에서 소요되는 계산량 및 파워 소모를 절감하도록 한 움직임 추정장치 및 그 방법에 관한 것으로,  이러한 본 발명은 이전 매크로블록과 현재 입력 매크로블록의 절대값 차의 합인 움직임 벡터를 인가받아 현재 매크로블록의 움직임 벡터 추정을 수행할 것인지를 판단하는 움직임 벡터 추정 판단모듈과, 상기 움직임 벡터 추정 판단모듈로부터 출력되는 추정값에 따라 움직임 벡터 추정을 수행하는 움직임 벡터 추정모듈과, 상기 움직임 벡터 추정모듈의 수행시 움직임 벡터 추정모듈로부터 출력되는 움직임 벡터와 상기 움직임 벡터 추정모듈이 수행하지 않을 경우 상기 움직임 벡터 추정 판단모듈로부터 출력되는 추정된 움직임 벡터를 인가받는 2 ×1 멀티플렉스를 포함하여 구성된다.
Patent KR-100373056-B1 (KR)
Title: 롤러 스크린 제조방법
IPC: B41N1/24
Filed: 2000-06-28
Granted: 2003-02-25
Abstract: 전주 가공기술을 이용하여 저렴하게 제조한 롤러 스크린 및 그 제조방법이 개시된다. 롤러 스크린 제조방법은, 베이스를 이용하여 마스터 롤러 스크린을 제작하고, 전주욕에서 상기 마스터 롤러 스크린의 골격으로부터 니켈층을 성장시켜 롤러 스크린을 제조할 수 있다. 상기 마스터 롤러 스크린은, 베이스를 전기분해하여 골격 만 남도록 한 후, 상기 베이스 외주면의 첨단부 만 노출되도록 상기 베이스를 이형재로 도포하여 형성한다. 상기 롤러 스크린 제조방법을 이용하면, 고가의 에칭 장치나 노광 장치를 사용하지 않고도 저렴하고 정밀한 롤러 스크린을 생산할 수 있다.
Patent KR-100374879-B1 (KR)
Title: 씨디엠에이 교환기에서의 디엘씨아이 할당방법
IPC: H04W88/18
Filed: 2000-07-04
Granted: 2003-03-06
Abstract: 본 발명은 데이터 서비스를 위해 CDMA 교환기와 IWF가 정합하는 경우 상위 계층 3에서 실제 호가 이루어지는 타임 슬롯에 대해 DLCI값을 동적으로 할당함으로써 무선 데이터 호의 구분이 용이하도록 한 CDMA 교환기에서의 DLCI 할당방법에 관한 것으로, 데이터 서비스를 위해 CDMA 교환기와 IWF가 정합하는 경우 상위 계층 3에서의 DLCI 할당방법에 있어서, 비지카운터를 이용하여 가용한 DLCI값이 있는지를 확인하는 가용 DLCI값 유무 확인 단계와, 상기 가용 DLCI값 유무 확인 단계에서 가용한 DLCI값이 있다고 확인되면 tpDLCI의 값을 idleDLCINumber의 값으로 초기화하고, 루프 카운터를 초기화하는 초기화 단계와, 상기 초기화 단계 수행 후, 프레임 릴레이 접속을 위해 할당된 영역인 16-991 사이의 값들 중에서 처음의 DLCI값을 idleDLCINumber를 포함한 그 이후의 값에서 찾는 DLCI값 검색 단계와, 상기 DLCI값 검색 단계에서 찾은 값이 아이들한 DLCI값인 경우 아이들한 DLCI값을 tpDLCI에 저장하고 그 값에 대한 상태를 비지로 변경한 후 비지카운터를 증가하는 상태 변경 단계와, 상기 가용 DLCI값 유무 확인 단계에서 가용한 DLCI값이 없다고 확인되거나 상기 DLCI값 검색 단계에서 찾은 값이 아이들한 DLCI값이 아니라면 상기 tpDLCI에 -1을 저장하는 오류 처리 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100673664-B1 (KR)
IPC: H01L21/304
Filed: 2000-07-31
Granted: 2007-01-23
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 구리 산화물 제거 방법에 관한 것으로, 하부 구리 배선 상부에 형성된 층간 절연막에 듀얼 다마신 패턴을 형성한 후 상부 배선을 형성하기 전에 콘택홀에 노출된 하부 구리 배선의 표면의 구리 산화물을 제거하는 세정 공정에 있어서, 플라즈마 발생장치 없이 H(hfac)를 이용하여 화학적 방식으로 구리 산화물을 제거하므로써, 종래의 아르곤 스퍼터 세정(Ar sputter cleaning)이나 수소 플라즈마(Hydrogen plasma)를 이용한 리액티브 세정(Reactive cleaning)시 구리 원자(Cu atom)가 비아 또는 트랜치의 측벽에 흡착되어 배선간의 누설유발 및 플라즈마 손상등의 신뢰성 문제를 해결하고, 양호한 콘택 저항을 얻을 수 있는 반도체 소자의 구리 산화물 제거 방법이 개시된다.  
                 
       
     구리 배선, 구리 산화물, H(hfac), Precleaning
Patent KR-100378182-B1 (KR)
Title: 병렬 연결된 다수의 개별 시그너쳐 회로를 포함하는반도체 장치의 입력 회로 및 개별 시그너쳐 회로
IPC: H03K19/00
Filed: 2000-09-06
Granted: 2003-03-29
Abstract: 반도체 장치의 입력선 및 외부 전압 사이에 병렬 연결된 적어도 하나 이상의 개별 시그너쳐(Signature) 회로를 포함하는 반도체 장치의 입력 회로 및 개별 시그너쳐 회로가 개시된다. 반도체 장치가 고속으로 동작할 수 있도록, 고속의 신호가 인가되는 입/출력 단자에는 개별 시그너쳐 회로가 구비되지 않는다. 그 반면, 상대적으로 저속의 신호가 인가되는 입/출력 단자에 적어도 하나의 시그너쳐 회로가 병렬로 연결된다. 본 발명의 일면에 따른 개별 시그너쳐 회로는, 외부 전압 및 입력선 사이에 직렬 연결되는 인덱스 부 및 선택부를 구비한다. 선택부의 양단은 제어 신호에 응답하여 실질적으로 전기적으로 단락 또는 단선된다. 또한, 시그너쳐 퓨즈들의 절단 여부에 응답하여 인덱스부의 양단 간의 전압 강하량이 가변되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 시그너쳐 회로는 특정 테스트 모드에서만 선택적으로 활성화될 수 있으므로, 제품의 정상동작에 미치는 부작용을 해결할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 입력회로 및 개별 시그너쳐 회로에 의하여, 반도체 장치에 관한 여러 정보를 인덱스 하는 충분한 경우의 수가 확보될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 시그너쳐 회로는 파형 클램프 회로와도 병행 사용될 수 있다.