baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100821495-B1 (KR)
IPC: H01L29/792
Filed: 2001-09-20
Granted: 2008-04-11
Abstract: 반도체 기판에 플로팅 게이트 메모리 셀들의 반도체 메모리 어레이를 형성하는 자기 정렬 방법은 기판 상의 다수의 이격된 분리 영역들 및 활성 영역들을 실질적으로 열방향으로 서로 평행하도록 하는 것이다.  플로팅 게이트는 전도성 재료층을 형성함으로써 각 활성 영역들에 형성된다.  트렌치는 활성 영역을 통해 행방향으로 형성되고, 전도성 재료가 충진되어 제어 게이트들인 전도성 재료의 블록들을 형성한다.  전도성 재료의 측벽 스페이서들은 플로팅 게이트 블록들을 따라 형성되어 플로팅 게이트들이 플로팅 게이트 위로 뻗은 부분들을 돌출시킨다. 
       
     플로팅 게이트, 자기 정렬, 트렌치, 스페이서, 분리 영역, 제어 게이트
Patent KR-100807014-B1 (KR)
IPC: G11B27/30
Filed: 2001-09-21
Granted: 2008-02-25
Abstract: 디스크형 기록 매체, 디스크 기록 장치 및 디스크 기록 방법, 및 디스크 재생 장치 및 디스크 재생 방법이 개시된다.  광 디스크 상의 버스트 커팅 영역의 서클에 걸쳐 디스크 ID 정보가 기록된다.  이 서클은 n개의 블럭으로 나눠지며 각 블럭은 m개의 프레임으로 나눠지며, 각 프레임에는 k개의 채널 비트로 ID 정보가 기록된다. 
       
     디스크형 기록 매체, 기록 장치, 광 디스크, 블럭, 프레임,
Patent KR-100832605-B1 (KR)
IPC: G06F17/00
Filed: 2001-09-24
Granted: 2008-05-27
Abstract: 본 발명은 통신망을 이용한 부가 정보 서비스에 관한 것으로써, 사용자가 컨텐츠를 요구할 경우에 게이트웨이에서 해당 단말의 컨텐츠 접속 유형과 빈도를 이용하여 사용자에게 적합한 부가 정보를 컨텐츠에 합성시켜 전송하고, 부가 정보를 제공받는 사용자에게 통신 요금에 대한 소정의 할인율을 제공함으로써, 단말의 이용자별로 필요한 부가 정보를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 사용자의 통신 요금에 대한 부담을 줄일 수 있는 효과가 있다. 
     또한, 게이트웨이에서 여러 가지 부가 정보를 사용자가 요구한 컨텐츠에 합성함으로써, 이동 통신 사업자 또는 통신 서비스 업체에게 광고와 같은 데이터 서비스를 가능하게 함으로 새로운 수익을 창출할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100395721-B1 (KR)
Title: 반도체 장치의 제조 방법
IPC: H01L21/76
Filed: 2001-09-28
Granted: 2003-08-25
Abstract: 미세화해도 트렌치 분리 구조의 소자 분리 영역에 의해 소자 분리된 반도체 소자의 동작 특성이 열화되지 않는 반도체 장치의 제조 방법을 얻는다. 
     다결정 실리콘층(3)에 대하여 실리콘 질화막(2) 너머 상측으로부터 이온(15)을 주입함으로써, 이온 주입 다결정 실리콘층(16)을 얻는다.  이온(15)은 증속(增速) 산화 작용이 있는 원소의 이온종이기 때문에, 이온(15)의 주입에 의해 다결정 실리콘층(3)으로부터, 보다 산화레이트가 높은 성질의 이온 주입 다결정 실리콘층(16)으로 변환된다.  그 후, 홈(5)의 내벽에 열 산화막(21)을 형성할 때 이온 주입 다결정 실리콘층(16)의 노출 부분도 산화되어 다결정 실리콘 산화 영역(21a)이 비교적 넓은 형성 폭으로 형성된다.
Patent KR-100839132-B1 (KR)
IPC: A61F13/15
Filed: 2001-10-12
Granted: 2008-06-19
Abstract: 본 발명은 탄성 신축성을 갖는 시트 부재로 형성된 신축성 일회용 팬츠를 착용 위치로 용이하게 끌어올릴 수 있는 구성을 제공하는 것을 목적으로 한다. 
     탄성 신축성을 갖는 시트 부재로 구성된 신축성 일회용 팬츠(1)로서, 세로 방향으로 연장되는 실질적으로 비신축성인 안내부(6)가 제1 및 제2 측방부 몸통둘레 영역(R3, R4)에 있어서의 전방부 몸통둘레 영역(R1) 측으로 치우친 위치에 형성되어 있다.
Patent KR-100413537-B1 (KR)
Title: 유선전화기의 핸즈프리장치
IPC: H04M1/72
Filed: 2001-10-29
Granted: 2004-01-03
Abstract: 본 발명은 유선전화기의 스피치회로부에 부가하여 저주파증폭회로를 일체화한 구성에서, 음성신호제어장치를 적용한 유선전화기에 있어서, 상기 음성신호제어 장치를 적용한 즉, 유선전화기에 입력되는 전기적 음성신호들을 감지하여 스피치  회로를 통해 인가되는 통화음성신호를 음성신호입력부에서 음성증폭 및 제어하여 스피커로 출력시키는 음성신호제어부, 사용자가 음성신호제어부를 컨트롤할 수 있 도록 해주는 제어부를 포함하여 핸즈프리기능, 양방향스피커폰기능, 비밀통화기능, 재다이얼기능, 인터넷폰기능, 볼륨조절기능 등을 제공 및 제어하여 줄 수 있다. 
     이러한 본 발명의 음성신호제어장치를  적용한 유선전화기는 통화시 송수화기와 헤드셋 및 이어셋이 없이도 유선전화기의 스피커와 마이크를 통해 송수신   할 수 있는 유선전화기의 양방향스피커폰기능과 함께 비밀통화시에는 이어셋을   통해 통화를 할 수 있는 유선전화기를 제공하므로서 제품의 소형화와 획기적인   원가절감을 통해 매우 경제적인 효과가 있다.
Patent KR-100435442-B1 (KR)
Title: 문서 요약 방법 및 시스템
IPC: G06F17/30
Filed: 2001-11-13
Granted: 2004-06-10
Abstract: 본 발명은 문서를 자동으로 요약하는 방법 및 시스템에 관한 것으로서, 특허문서와 같은 특성화된 문서를 요약하는데 적용할 수 있을 뿐만 아니라 요약효율을 높여 요약성능 및 가독율을 향상시킬 수 있는 문서 요약 방법 및 시스템를 제공하고자 하는데, 그 목적이 있는 것이다. 
     본 발명은 문서를 자동으로 요약함에 있어서 문서의 구조적인 특징을 파악하여 일정한 규칙에 의해 구조화시킨 후, 문서의 구조화된 단락에서 자주 발생하는 패턴을 추출하고, 문서의 수사구조 정보와 문서레벨 단락 분할, 단어공기정보 등의 자연어 처리(NLP)기술을 이용하여 문서를 자동요약하는 방법 및 시스템를 그 요지로 한다.
Patent KR-100422364-B1 (KR)
Title: 밀폐형 압축기의 토출밸브
IPC: F04B39/10
Filed: 2001-11-19
Granted: 2004-03-11
Abstract: 본 발명에 의한 밀폐형 압축기의 토출밸브는 실린더 헤드에 설치되며 피스톤의 왕복운동에 따라 개폐되어 압축된 냉매를 토출하는 밀폐형 압축기의 토출밸브에 있어서, 상기 실린더 헤드에 설치되며 상기 냉매가 토출되는 토출공이 형성된 밸브 플레이트와, 상기 밸브 플레이트의 토출공의 상측에 놓이며, 상기 피스톤의 왕복운동에 따라 상하로 승강하는 원판밸브 및 상기 원판밸브의 상측에 설치되며, 상기 원판밸브의 승강을 안내하고 그 상승높이를 제한하는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 스토퍼는 상기 밸브 플레이트의 토출공 주위에 수직으로 설치된 다수개의 안내핀에 의해 상기 밸브 플레이트와 이격되도록 결합되며, 상기 원판밸브를 상기 안내핀과의 점접촉에 의해 안내하는 것이 바람직하다. 이와 같은 본 발명에 의하면 압축기에 밸브의 탄성력에 의한 과부하가 걸리지 않기 때문에 압축기의 효율이 향상되며 소음도 감소된다.
Patent KR-100839274-B1 (KR)
Title: Method and apparatus for the production of nitrogen trifluoride
IPC: C01B21/083
Filed: 2001-12-13
Granted: 2008-06-17
Abstract: The present invention provides a method and apparatus for producing nitrogen trifluoride. The method comprises contacting a fluorine-containing feed stream with liquid ammonium acid fluoride in a reaction zone for time and under conditions sufficient to produce nitrogen trifluoride. During the contacting step, the effective melt acidity value of the liquid ammonium acid fluoride is decreased and a reaction product stream is removed. In one embodiment, a gaseous mixture of elemental fluorine and hydrogen fluoride is contacted with a bulk liquid ammonium acid fluoride, such that the initial effective melt acidity value is greater than the melt acidity value of the bulk liquid ammonium acid fluoride in the reaction zone. <IMAGE>
Patent KR-100545086-B1 (KR)
IPC: C22C38/14
Filed: 2001-12-19
Granted: 2006-01-24
Abstract: 본 발명은 랭크포드값이 높고 균일 연신율이 우수한 인장강도 35kgf/㎟급의 냉연강판과 아연도금강판의 제조방법에 관한 것으로, 
     중량 %로, C:0.0005∼0.0040%, N:0.0040%이하, S:0.008%이하, Mn:0.6∼1.0%, P:0.04∼0.07%, 산가용Al:0.1∼0.2%이고 유효Ti(Ti*)=Ti(wt%)-[N(wt%)×(48÷14) + C(wt%)×(48÷12)]이고 Ti*가 0이하일 경우에 유효Nb(Nb*)=Nb(wt%) +[Ti*×(93÷48)]의 조건에서 Nb* > 0이 되도록 하는 Ti: Ti*~0.03%, Nb:0.015%이하이며 또는 B:0.0015%이하를 함유하며 잔부 Fe및 기타 불가피하게 함유되는 원소를 포함한 극저탄소강과;  
     또한 이 극저탄소강을 통상의 방법으로 슬래브 재가열을 실시하고 열간압연하되, 열간 마무리 압연온도를 Ar3 변태점이상으로 하여 450∼700℃의 범위에서 권취하여 열연코일을 제조하고, 통상의 방법으로 산세하고 냉간압연을 60%이상 행한 후 소둔을 재결정온도이상 Ac3이하에서 실시하고 과시효처리를 행함에 의해서 냉연강판을 제조하고, 또한 아연도금강판은 상기 소둔 열처리후 아연도금욕을 통과함에 의하여 제조함을 요지로 한다. 
       
     극저탄소강, 드로잉성, 장출성형성, 냉연강판
Patent KR-100442251-B1 (KR)
Title: Ｌｃｄ 모니터의 프레임
IPC: G06F1/16
Filed: 2001-12-27
Granted: 2004-07-30
Abstract: 본 발명은 전면 케비넷의 전면 폭을 줄이고 각 부품간의 틈새(loss) 공간을 최소화함으로써 경박단소화한 LCD 모니터 프레임을 제공하는 데 그 목적이 있다. 
     상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 LCD모듈 및 모듈을 감싸는 메인프레임과, 내부에 상기 LCD모듈 및 메인프레임을 수용하는 전,후면 캐비넷으로 구성된 LCD모니터에 있어서, 내측주위로 걸림돌기가 형성된 전면캐비넷과; 상면에는 상기 LCD모듈과 결합을 용이하게 하기 위한 가이드부가 설치되고, 측면에는 상기 LCD모듈의 측면과 연접되어 체결되도록 절곡성형되어 나사홀이 형성된 모듈결합부가 형성된 메인프레임과; 상기 전면캐비넷의 걸림돌기에 결합되도록 외측에 걸림홀이 형성되고, 상기 모듈결합부의 외면과 LCD모듈의 측면이 동일평면을 이루도록 상기 모듈결합부의 대응 결합부위가 오목하게 형성되어 나사홀이 형성된 메인프레임 결합부가 형성된 LCD모듈과; 상기 메인프레임 결합부와 상기 모듈결합부를 측면에서 결합고정하는 나사로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 모니터의 프레임을 제공한다.
Patent KR-100526767-B1 (KR)
IPC: F04C15/00
Filed: 2000-07-05
Granted: 2005-11-08
Abstract: The invention relates to an internal gear machine for reversed operation in a closed circuit comprising an outer-toothed pinion, an inner-toothed ring gear meshing with the pinion; a housing; a filing that fills the sickle-shaped space between the pinion and the ring gear; the filling comprises two identical filler pieces; a stop pin is provided that is mounted in the housing and against which the filler pieces are supported by their front faces; the housing has two pressure lines and a drain outlet; the filler pieces are symmetrically disposed relative to a plane (symmetrical plane) extending through the center points of the pinion and the ring gear; the two pressure lines are located on both sides of the symmetrical plane viewed in axial direction.
Patent KR-100756115-B1 (KR)
IPC: G03F1/68
Filed: 2000-08-16
Granted: 2007-09-05
Abstract: 본 발명은 노광에 사용되는 엑시머 레이저로 긴 시간에 걸쳐서 조사되어도 투과율 및 위상각이 변화하지 않는 하프톤 위상 시프트 포토 마스크 및 이를 위한 블랭크에 관한 것으로, 투명 기판(101) 상에 적어도 크롬과 불소를 함유하는 하프톤 위상 시프트막(102)의 패턴을 갖는 하프톤 위상 시프트 마스크(108)에 있어서, 하프톤 위상 시프트막(102)에 의해 실질적으로 흡수되는 파장의 빛(109)을 조사한 막을 패터닝함으로써, 노광용 엑시머 레이저 조사에 있어서의 광학 특성 변화를 저감한 하프톤 위상 시프트 마스크이다. 
       
     ArF 엑시머 레이저, 하프톤 위상 시프트막, 샘플 챔버, 유리 기판, 하프톤 위상 시프트 포토 마스크
Patent KR-100704140-B1 (KR)
Title: A pharmaceutical composition for treatment of tumors and metastases comprising an angiogenesis inhibiting agent and anti-tumor immunotherapeutic agent and a kit comprising the same
IPC: C07K7/06
Filed: 2000-02-11
Granted: 2007-04-09
Abstract: The invention provides methods for treating tumors and tumor metastases in a mammal comprising administering, to a mammal in need of treatment, a therapeutic amount of an antagonist sufficient to inhibit angiogenesis in combination with a therapeutic amount of anti-tumor immunotherapeutic agent, such as a anti-tumor antigen antibody/cytokine fusion protein having a cytokine and a recombinant immunoglobulin polypeptide chain sufficient to elicit a cytokine-specific biological response.
Patent KR-100764261-B1 (KR)
IPC: G06F9/42
Filed: 2000-12-05
Granted: 2007-10-05
Abstract: 분기/점프 명령과 특히 관련된 매개변수의 디커플링을 지원하는 프로세서 아키텍처가 제공된다. 명시적 목적지 어드레스를 포함하지 않는 점프 명령이 제공되고 명시적 테스트 조건을 포함하지 않는 다른 점프 명령이 제공된다. 본 발명에 따르면, 처리 시스템은 특정한 명령에 의해 명확히 제어되지 않는 프로세서 내의 임의의 제어 요소에 디폴트값을 제공한다. 분기 또는 호출 명령의 경우에, 호출 또는 분기에 영향을 주도록 제공되는 디폴트 목적지 어드레스는 이전 명령에 의해 제공되는 목적지 어드레스이다. 후속하거나 다른 분기 또는 호출 명령은, 그 디폴트 어드레스가 상이한 어드레스로 설정될 때까지 동일한 어드레스로 분기한다. 이러한 방식으로, 대부분의 경우에, 조건부 분기, 호출 또는 복귀 명령과 같은 조건부 테스트 결과를 측정하는 데 사용되는 디폴트 조건은 이전 명령 내에 명시된 최종 조건이다. 또한, 본 발명의 상기한 목적 및 다른 것들을 지원하기 위해, 조건 테스팅은 조건부 명령의 수행에 앞서 영향을 줄 수 있다.
Patent KR-100702286-B1 (KR)
IPC: H01L21/00
Filed: 2001-01-15
Granted: 2007-03-30
Abstract: 유리기판에 대해 치수가 다른 여러 종류의 필름전자부품을 실장하는 경우에도 필름전자부품을 정밀하게 실장할 수가 있는 부품실장장치 및 부품실장방법을 제공하기 위한 발명으로서, 
     흡착기구(10)로 폭방향치수가 작은 소형 필름전자부품을 이송하려는 경우에는, 지지판(11)에 설치된 실린더(16)를 끌어당겨 상하구동용 캠(17)을 퇴행위치로 이동시켜, 가동흡착블록(13)이 스프링(15)에 의해 위쪽으로 밀어올려져 고정흡착블록(12)에만 필름전자부품(32a, 32b)이 흡착되는 상태가 되도록 하는 한편, 흡착기구(10)로 치수가 큰 대형 필름전자부품을 이송하려는 경우에는, 지지판(11)에 설치된 실린더(16)를 밀어내어 상하이동용 캠(17)을 돌출위치로 이동시켜, 상하구동용 캠(17) 및 롤러(19)의 작용으로 가동흡착블록(13)이 아래쪽으로 밀려져 고정흡착블록(12) 및 가동흡착블록(13) 양쪽에서 필름전자부품(32c, 32d)이 흡착되는 상태를 하도록 구성되어 있다.
Patent KR-100440628-B1 (KR)
Title: 벽면 관찰 장치
IPC: F27D21/00
Filed: 2000-03-16
Granted: 2004-07-15
Abstract: 벽면 상태를 간편하게 파악할 수 있고, 또한, 벽면 요철의 고정밀도 관찰이 가능하다. 특히, 코크스로 탄화실의 노벽의 손상 위치나 크기, 깊이를 용이하게 인식할 수 있는 벽면 관찰 장치이다. 그 구체적 구성은, y축에 대하여 경사(Ae)진 레이저 광선(P1)을 사출하고, 관찰면에 스포트 S1/ S1a를 형성시키는 광원(8a); 스포트를 촬영하기 위한, z방향으로 연장되는 직선 시야(11)를 가지는 리니어 이미지 카메라(5a); 광원과 카메라를, z축 주위를 선회 구동하는 모터(6a); 및, 카메라의 y전방에 있어서 상기 지지대(SP1∼SP3, 1, 2)에 구비되고, 레이저 광선(P1)을 관찰면(LW, RW)에 반사하고, 관찰면의 레이저 스포트(S1/ S1a)를 카메라(5a)에 반사하는 경면(9L1, 9Rl);을 구비하는 벽면 관찰 장치.
Patent KR-100700781-B1 (KR)
IPC: B08B1/04
Filed: 2001-02-05
Granted: 2007-03-27
Abstract: 본 발명은 기판(1)의 주위 단면이 상부면 세정롤러(16)의 탄성다공질체(29)와 하부면 세정롤러(17)의 탄성다공질체(30) 사이에 협착되도록 된 기판 단면 세정유닛으로서, 구동모터가 구동하면 하부면 세정롤러(17)가 피동풀리(24)에 의해 회전하는 한편 상부면 세정롤러(16)는 피동풀리(23)에 의해 하부면 세정롤러(17)와 반대방향으로 회전하고, 세정액이 세정액공급노즐(31)로부터 세정액공급관(31a)을 통해 지지부재(27, 28) 내부로 공급된 후 외주벽에 형성된 연통구멍(35)을 통해 탄성다공질체(29, 30)로 침투하게 되는 상태에서, 상부면 세정롤러(16)와 하부면 세정롤러(17)가 회전하는 동안 이들 상부면 세정롤러(16)와 하부면 세정롤러(17)가 기판(1)의 주위 단면을 따라 상대적으로 이동하도록 되어 있다.
Patent KR-100712762-B1 (KR)
IPC: C23C14/34
Filed: 2000-03-23
Granted: 2007-05-02
Abstract: 플라스마(28)로 기판(18)을 처리하는 처리 시스템(12)은 처리 공간(14)ㅇ르 형성하고, 처리 공간(14)내에 기판(18)을 지지하는 기판 지지대(17) 및, 상기 처리 공간(14)내에 처리 가스를 도입하는 가스 입구(20)를 포함하는 처리실(13)을 구비한다. 플라스마 소스는 도입된 처리 가스로부터 처리 공간(14)내에 플라스마(28)를 생성시키시 위해 동작한다. 이런 플라스마 소스는 처리 공간(14) 근처의 처리실과 인터페이스하는 유전체 창(24a) 및, 처리실의 외부와 유전체 창(24a) 근처에 위치된 유도 소자(10)를 포함한다. 이런 유도 소자(10)는 플라스마(28)를 생성시키도록 유전체 창(24a)를 통해 처리 공간(14)에 전기 에너지를 결합하기 위해 동작하고, 다양한 선택적인 설계를 포함하여, 조밀하고 균일한 플라스마를 제공한다. 
       
     처리 시스템, 플라스마, 기판, 유전체 창, 유도 소자.
Patent KR-100689127-B1 (KR)
IPC: H04B7/155
Filed: 2001-02-28
Granted: 2007-03-08
Abstract: 미디어의 방식 변경에 용이하게 대응할 수 있도록 한다.  CPU(22)는 튜너부(41), 복조부(42), 오류 정정부(43)를 포함하는 프론트 엔드(21)를, 지역 또는 전송 미디어의 종류에 의존하지 않는 공통의 제어 커맨드에 의해 간접적으로 제어한다.  즉, CPU(22)의 어플리케이션 프로그램(22A)은 사전에 정의되어 있는 커맨드 세트에 기초하여 제어 커맨드를 생성하고, 인터페이스(22B)를 통해 프론트 엔드(21)에 전송한다.  프론트 엔드(21)의 제어용 어플리케이션(40B)은 인터페이스(40A)를 통해 전송된 제어 커맨드를 튜너부(41), 복조부(42), 오류 정정부(43)가 이해 가능한 데이터 포맷으로 변환하여 드라이버(40C)에 전송한다.  드라이버(40C)는 제어 커맨드에 기초하여 각 처리부를 제어한다.   
       
     프로토콜, 복조, 제어 커맨드, 프론트 엔드, 트랜스포트 스트림, 인터페이스
Patent KR-100444340-B1 (KR)
Title: 자연증발식 가습기
IPC: F24F6/02
Filed: 2002-02-05
Granted: 2004-08-21
Abstract: 본 고안은 수분의 자연증발을 극대화하고 설치 공간을 활용할 수 있도록 고안된 자연증발식 가습기에 관한 것이다. 
     본 고안에 따르면, 상면이 개방된 넓은 저수반(1)에 최대 저수량 수면(3) 위로 격자형 또는 일정한 배열을 갖춘 그물망(2)을 수면전체에 설치하므로서 물의 접촉을 차단하고, 수면의 면적을 크게하여 수분의 자연증발을 극대화하고 실내바닥의 온기를 이용하므로서 수분증발이 더욱 활발하게 이루어질수 있으며 그물망의 지압돌기(7)를 밟을 수있도록 하여 설치공간에 대한 부담을 최소화 하여 자연가습과 건강보조기구로서의 기능을 제공한다.
Patent KR-100470229-B1 (KR)
Title: 화학기계적 연마장치의 로딩디바이스
IPC: H01L21/304
Filed: 2002-02-08
Granted: 2005-02-05
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼를 안전하게 이송시키기 위한 화학기계적 연마장치의 로딩디바이스에 관한 것으로, 그 주요구성은 캐리어헤드와 웨이퍼에 부착된 오염물질 제거를 위한 탈이온수 분사용 노즐 및 세척 후의 탈이온수 배출을 위한 개구부가 구비되어 있으며 웨이퍼를 완충시켜 수용할 수 있는 로딩플레이트가 구비된 로딩컵과, 상기 로딩컵에 일단부가 결합되어 상기 로딩컵을 캐리어헤드의 하부면에 접촉할 수 있도록 이송시켜주는 아암으로 이루어진 로딩디바이스에 있어서, 상기 로딩플레이트는 그 하부에 틸팅되면서 수평 조절될 수 있도록 상기 로딩플레이트를 탄력적으로 지지해주는 다수의 스프링이 구비되고, 상기 로딩플레이트 상에 웨이퍼가 정상적으로 안착되었는지의 여부를 감지하기 위한 센서부가 더 구비되어 이루어지며, 상기 아암의 타단부에는 상기 아암의 좌우회전과 승강작동이 이루어질 수 있도록 구동샤프트를 연결시켜주는 샤프트 연결부가 결합된 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의하여 외부의 로봇과 캐리어 헤드의 하부면 사이에서 웨이퍼의 이송과정 또는 웨이퍼의 탈착과정 중에 발생될 수 있는 웨이퍼 패턴 상의 스크레칭이나 웨이퍼의 파손을 미연에 방지하여 웨이퍼를 안전하게 이송할 수 있다.
Patent KR-100455901-B1 (KR)
Title: 고속통신용 케이블 커넥터 어셈블리 적층구조
IPC: H01R13/6582
Filed: 2002-03-26
Granted: 2004-11-06
Abstract: 본 발명은 고속통신용 케이블 커넥터 어셈블리 적층구조에 관한 것으로서, 케이블 커넥터 어셈블리를 용이하게 부착 및 분리할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.  이를 위해 구성되는 본 발명은 케이블의 단부에 몰딩되어 케이블을 정위치 및 고정시키는 케이블 홀더에서 돌출된 각 케이블의 리드선과 접속된 접속단자, 상ㆍ하부엔 각각 수직으로 관통된 제1접지공과 제2접지공을 구비하고 상기한 케이블 홀더를 안착하여 외부 커넥터의 대향 커넥터에 접속하도록 하는 하우징, 각각 판형으로 형성되어 각 하우징의 상ㆍ하측면을 덮는 한편, 일부가 각각 돌출되어 제1접지공과 제2접지공을 통해 접속단자의 접지단자와 접속되어 접지시키는 상판 및 하판과 이들을 연결시키는 연결편을 구비하는 접지 셸로 이루어진 고속통신용 케이블 커넥터 어셈블리에 있어서, 각 하우징의 양측부에서 각각 돌출되는 적층용 돌출부, 접지 셸의 상판과 하판의 양측부에서 각각 절곡성형되어 적층용 돌출부의 상ㆍ하측면에 각각 위치하는 셸 부착편, 수평으로 관통성형된 적층용 삽입공을 구비하여 적층용 돌출부와 셸 부착편을 그 내부공간에 삽입하는 적층부로 이루어진다.  이를 통해 케이블 커넥터 어셈블리를 용이하게 증착 및 분리할 수 있다.
Patent KR-100767540-B1 (KR)
IPC: H01L27/08
Filed: 2002-04-08
Granted: 2007-10-17
Abstract: 본 발명은 폴리실리콘 저항을 구비한 반도체장치에 있어서, 상온보다 고온인 환경하에서 저항값의 변동을 억제하는 것을 목적으로 하며, 그것을 위한 수단으로, 폴리실리콘 콘택트의 저항값(Rcon)을, 폴리실리콘 콘택트의 저항값(Rcon)과 폴리실리콘 저항의 저항값(Rpoly)과의 합이 2% 이하로 억제함으로서, 폴리실리콘 콘택트 저항 변화의 영향이 적은 회로를 구성하고, 상온보다 높은 온도 환경하에서의 저항값의 변동을 억제한다. 
       
     반도체 기판, 절연막, 폴리실리콘 저항, 금속배선, 저항소자
Patent KR-100487555-B1 (KR)
Title: 신규의 폴리하이드록시알카노에이트 및 그 제조방법, 상기폴리하이드록시알카노에이트를 함유하는 하전제어제,토너바인더 및 토너, 그리고 상기 토너를 사용한화상형성방법 및 화상형성장치
IPC: C12P7/62
Filed: 2002-04-26
Granted: 2005-05-06
Abstract: 본 발명은, 보다 넓은 분야에 적용가능한 신규의 구조를 지닌 폴리하이드록시알카노에이트 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.   본 발명은, 또한, 대전특성이 우수하고, 토너수지중에의 분산성이 우수하고, 스펜트성을 향상한 생분해성의 하전제어제를 제공하기 위한 것이다.   본 발명의 폴리하이드록시알카노에이트는, 폴리머분자중에, 일반식(1) 및 (2)로 표시되는 유닛과, 일반식(3) 내지 (6)으로 표시되는 유닛의 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100906650-B1 (KR)
Title: A spindle structure of an ultrasonic machine and a supporting horn used therein
IPC: B24B35/00
Filed: 2002-05-02
Granted: 2009-07-07
Abstract: The present invention is to provide a spindle structure of an ultrasonic machine which can reduce the number of assembling steps, can improve working accuracy, and can reduce heat generation due to an ultrasonic wave leakage during the working process. The spindle structure comprises: an ultrasonic vibrator 4 housed in a main body sleeve 3b formed in a spindle main body 3 rotationally driven, and a supporting horn 6 connected to the ultrasonic vibrator 4, wherein the supporting horn 6 comprises a main body 6a, a base portion 6c formed in a brim shape on an outer peripheral face of the main body 6a, an elastic cylindrical damping sleeve 6d formed by extending an outer periphery of the base portion 6c in the axial direction, a loose flange 6e and a fixing flange 6f formed on both ends of the damping sleeve 6d, and a buffer groove 6g formed on an outer peripheral face of the base portion 6c, wherein the loose flange 6e of the supporting horn 6 is disposed on the side of the ultrasonic vibrator 4 in a state that it is slidable to and has contact with an inner peripheral face of the main body sleeve 3b, and the fixing flange 6f is mounted on the main body sleeve 3b in a state that it is restrained in the axial direction. <IMAGE>
Patent KR-100441352-B1 (KR)
Title: 농용 작업기 제어장치
IPC: A01B63/111
Filed: 2002-05-13
Granted: 2004-07-23
Abstract: 본 발명은 농용트랙터의 3점링크에 취부되어 경운.정지작업에 널리 이용되고 있는 로타리 및 플라우작업기에 의한 농작업시, 차체의 헌칭 및 차륜의 침하 현상에 의한 작업깊이의 변화 또는 토양경도등의 변화에도 불구하고 작업기의 위치, 견인력, 작업깊이 및 작업부하등을 운전자에 의해 설정된 설정치에 항상 일정하게 유지되도록 작업기를 제어하는 전자·유압 작업기 제어장치에 관한 것이다. 
     본 발명의 작업기 제어장치는 유압펌프의 압유토출부가 유량조절을 위한 프라이어티밸브(5)을 통해 상승용 방향밸브(1)와 연결되어 있으며, 상승용 방향밸브(1)는 상승라인(11)을 거쳐 오리피스(4) 또는 2속방향밸브(3)를 통해 단동식 유압실린더의 A포트와 연결되어 있고, 유압실린더의 A포트는 하강라인(12)을 통해 하강용 방향밸브(2)와도 연결되어 있으며, 하강용 방향밸브는 T라인(14)을 통해 유압탱크와 연결되어 있고 또한 상승용 방향밸브(1)의 바로 위에는 작업기의 자중에 의한 오일의 누유방지를 위한 체크밸브(6)가 삽입되어 있다. 
     상기 상승용 방향밸브(1)가 중립시, 프라이어티밸브를 통과한 유압펌프로 부터의 토출 압유는 중립라인(13)과 T라인(14)을 통해 유압탱크로 리턴되어, 작업기는 작동하지 않으며, 
     상기 상승용 방향밸브(1)가 작동시에는 유압펌프로 부터의 토출 압유가 상승라인(11)과 2속방향밸브(3)를 통해 유압실린더의 A포트에 전달되어 작업기는 고속으로 상승하게되며, 
     상기 상승용 방향밸브(1)와 2속방향밸브(3)가 작동시에는 유압펌프로 부터의 토출 압유가 상승라인(11)과 오리피스(4)를 통해 유압실린더의 A포트에 전달되어 작업기는 저속으로 상승하게 되고, 
     상기 하강용 방향밸브(2)가 작동시에는 작업기의 자중에 의해 실린더의 A포트로부터 배출된 압유는 2속방향밸브(3)와 하강라인(12), T라인(14)를 통해 탱크로 빠짐으로써 작업기는 고속으로 하강하며, 
     상기 하강용 방향밸브(2)와 2속방향밸브(3)가 작동시에는 작업기의 자중에 의해 실린더의 A포트로부터 배출된 압유는 오리피스(4)와 하강라인(12), T라인(14)를 통해 탱크로 빠짐으로써 작업기는 저속으로 하강하게 구성된다.
Patent KR-100541885-B1 (KR)
IPC: B24D11/02
Filed: 2002-05-31
Granted: 2006-01-10
Abstract: 연마재와의 접착력이 크게 증대된 연마포용 기재에 관하여 개시되어 있다. 연마포용 기재는 면사, 합성섬유사, 혼방섬유사, 방적사, 오픈엔드사 또는 필라멘트사에서 선택한 원사를 포함하고, 상기 원사를 사용하여 위사의 수가 경사의 수보다 많은 위주자직으로 직조한 것을 특징으로 하는 위주자직형 연마포용 기재에 관한 것이다. 
     연마포용 기재, 위주자직
Patent KR-100481733-B1 (KR)
Title: 금속가공용 로울러기의 로울러 이물질 제거장치
IPC: B21B28/00
Filed: 2002-06-20
Granted: 2005-04-11
Abstract: 본 발명은 금속가공용 로울러기의 로울러 이물질 제거장치에 관한 것으로, 상부플레이트와 하부플레이트로 구성되는 클램프의 사이에 블레이드를 설치하고, 상기 클램프가 회전캠에 고정 설치되어 간극조정 손잡이를 회전시키면, 회전캠의 회전에 의하여 블레이드가 로울러에 접촉하거나 분리할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100524045-B1 (KR)
Title: 마이크로 아크 산화 코팅용 자동 제어장치 및 그 방법
IPC: G05B19/00
Filed: 2002-06-26
Granted: 2005-10-27
Abstract: 본 발명은 밸브 금속과 밸브 금속의 합금의 마이크로 아크 산화 작용 및 금속이나 금속합금으로 코팅하는 공정에서 장치 기능의 다양화 및 장치의 동작상 안정성과 작업의 편리성을 도모하고자 하는 마이크로 아크 산화 코팅용 자동 제어장치 및 그 방법에 관한 것이다. 
     이를 위해 본 발명은 3상변압기와 사이리스터변환기를 포함하여 구성되어 각 회로부에 전원을 공급하는 전원부와; 릴레이 구동에 의해 온,오프되는 다수개의 릴레이스위치와 시동스위치 및 서미스터를 포함하여 구성되어 초기에 장치를 기동시키는 시동부와; 전류측정기, 전압측정기 및 온도측정기를 포함하여 구성된 측정부와; 상기 측정부에서 출력되는 아날로그 신호들을 멀티플렉싱하여 A/D변환기로 전달하는 멀티플렉서와; 상기 멀티플렉서에서 출력되는 아날로그신호를 디지털신호로 변환하여 총 버스라인을 통해 각 회로부에 전달하는 A/D변환기와; 상기 A/D변환기에서 출력되는 디지털 데이터를 판독하고 램에 저장된 특정 알고리즘에 따라 판독된 데이터를 디지털 필터링하도록 제어하는 마이크로 컨트롤러와; 키보드 선택에 의해 해당 공정작용의 파라미터들을 입력시키는 컨트롤 패널과; 상기 컨트롤 패널을 통하여 입력된 해당 프로그램의 넘버를 대응하여 표시하는 디스플레이부와; 시리얼 인터페이스를 거쳐 장치의 작업 시 출력되는 파라미터를 판독하고 컴퓨터에 저장시키며 저장된 데이터를 가동 분석하고 비교하는 입출력부와; 상기 마이크로 컨트롤러에 초기 인터럽트와 다음 인터럽트의 전달시간을 각각 설정하는 제1 및 제2 타이머와; 상기 전원부의 사이리스터 제어신호코드를 기록함과 동시에 시동부의 제어신호코드를 기록하기 위한 구동증폭부와; 상기 전원부의 주파수에 정제된 임펄스를 발생시키는 동기회로부와; 상기 멀티플렉서에 가해지는 입력전압을 교정하는 전압교정부를 포함하여 구성된 것으로서, 마이크로 아크 산화(MAO) 코팅용 자동 제어장치에서 기술적으로 확장된 프로그램에 따라 운용자가 공정을 자유롭게 조정할 수 가 있고 기능이 부가된 컨트롤 패널을 이용함으로써 기술적인 공정을 신속히 변환시킬수 있어 장치의 기능이 향상되는 효과가 있고, 또한, 입출력부를 이용하여 컴퓨터와 데이터 통신이 가능하므로 기술적인 데이터의 변환을 파악하고 신속히 수정이 가능할 뿐만 아니라 새로운 프로그램의 입력 실행이 가능하고 마이크로 컨트롤러의 총 버스라인에 연결된 구동증폭부를 이용함으로써 마이크로 컨트롤러에 동기신호를 우선 처리하기 때문에 전원부의 사이리스터의  활성각(Activation angle) 제어 계수에서 에러가 발생되지 않도록 함으로써 기술적인 공정 데이터를 정확히 유지할 수가 있어 장치의 안정성 및 작업의 편리성을 제공하는 효과도 있다.
Patent KR-100819662-B1 (KR)
IPC: G11C11/4096
Filed: 2002-06-29
Granted: 2008-04-04
Abstract: 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 데이터 출력장치는 정상 데이터가 출력되는 경로와 동일한 소자로 구성된 더미 경로를 형성하고, 트래킹 신호를 데이터가 전송되는 동작과 동일하게 더미 경로로 전송되도록 구성하여 실질적으로 데이터가 출력 드라이버에 입력될 때의 타이밍에 더미 경로를 통해 전송된 트래킹 신호에 따라 데이터 출력 스트로브 신호를 출력하여 출력 드라이버를 구동하여 데이터를 데이터 출력 패드로 전송하기 때문에, 데이터 셋업 타임을 줄임으로써, 고속동작으로 반도체 메모리 장치를 구동할 수 있는 반도체 메모리 장치의 데이터 출력 장치에 관한 것이다.
Patent KR-100460887-B1 (KR)
Title: 전기자동차의 모터 제어기 진단장치
IPC: B60L3/00
Filed: 2002-07-08
Granted: 2004-12-09
Abstract: 전기자동차에서 모터 제어기의 데이터 변화를 실시간적으로 모니터링 진단하여 업 데이트하고, 송수신 데이터의 구조를 프레임으로 구성하여 전기자동차내의 모든 제어기와 호환이 가능하도록 한 것으로, 
     구동원인 모터와 모터에 3상 전압/전류를 공급하여 구동 토크 및 속도를 조정하는 인버터 및 모터 구동에 대한 전반적인 동작을 제어하는 모터 제어기를 포함하는 전기자동차에 있어서, 
     상기 모터 제어기와 RS-232C 통신으로 접속되며, 프레임 구조의 데이터 송수신을 통해 모터 제어기의 제어 동작과 진단 정보를 검출 분석하고 분석된 진단 데이터에 따라 모터 제어기의 업 데이트를 수행하는 사용자 기반의 PC 진단수단으로 구성되며, PC 진단수단은 진단 데이터 요구 프레임을 설정하여 모터 제어기측에 전송하고, 상기 모터 제어기에서 전송되는 진단 데이터 프레임을 검출 저장한 다음 저장된 진단 데이터 프레임의 헤더를 체크하여 식별자 정보와 데이터 부분을 분리 추출하며, 상기 추출된 데이터 부분을 분석하여 모터 제어기의 이상 여부를 진단하여 그 결과를 저장 및 디스플레이 하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100862846-B1 (KR)
IPC: C10B43/06
Filed: 2002-08-22
Granted: 2008-10-09
Abstract: 본 발명은 코크스 오븐 건식소화설비(CDQ)의 보일러 하부에 위치된 순환덕트의 하부에 더스트가 누적되어 덕트 체적이 좁아지는 현상을 해소시킴으로써 보일러의 증기 및 전력생산량과 설비 가동율의 하락을 방지하도록 개선된 보일러 하부 더스트 제거장치에 관한 것이다.  
     본 발명은, 정압력이 유지되는 급수 열교환기 라인으로 부터 출구 풍량 이송덕트를 인출하고, 상기 이송덕트에 풍량 조절밸브들을 각각 장착하며, 상기 이송덕트의 타단을 더스트가 누적된 보일러 하부의 순환덕트에 연결하고, 상기 순환덕트에는 온도계와 유량검출 센서를 장착하여 상기 온도계에 의한 검출온도가 설정치 이하로 낮아지거나, 상기 유량 검출 센서에 의한 검출유량이 설정치 이하로 낮아지는 경우, 상기 풍량 조절밸브들을 개방하여 정압력의 순환개스를 상기 순환덕트의 더스트에 분사 공급시킴으로서 더스트를 제거하는 보일러 하부 더스트 제거장치를 제공한다. 
     
     코크스 오븐 건식소화설비, 보일러, 순환덕트, 더스트 제거, 순환개스, 더스트 제거장치
Patent KR-100515646-B1 (KR)
Title: 사출성형품 이송장치
IPC: B29C45/17
Filed: 2002-08-29
Granted: 2005-09-20
Abstract: 본 발명은 사출성형기의 금형으로부터 취출되는 사출성형품을 포장작업대로 이송하기 위한 장치에 관한 것으로서, 금형으로부터 취출되는 사출성형품이 안착되는 안착대와, 상기 안착대에 안착된 사출성형품을 사상작업하기 위한 작업대와, 사상작업된 사출성형품을 상기 포장작업대로 배출하기 배출수단으로 이루어지고, 사출성형품의 안착여부를 감지하도록 상기 안착대에 제공된 감지수단과, 상기 감지수단에 의해서 사출성형품의 안착상태가 감지되면 안착대 상의 사출성형품을 상기 작업대로 이송하기 위한 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하므로, 사상작업에 따른 생산성 저하 및 고객 불만족을 제거할 수 있다.
Patent KR-100916900-B1 (KR)
IPC: B22D29/04
Filed: 2002-09-12
Granted: 2009-09-09
Abstract: 본 발명은 스카핑머신에서 주편의 터닝시 주편이 지지블록에 밀착되어 흠발생이 방지되는 스카핑머신의 주편 터닝장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. 
     따라서 본 발명은 복수개의 암으로 주편을 터닝시키는 스카핑머신의 주편 터닝장치에 있어서, 암의 일측에 암과 평행하도록 설치된 제1프레임, 제1프레임에 다수개 설치된 가이들롤러로 이루어지는 가이드부; 제1프레임의 일측에 제1프레임과 평행하게 설치된 제2프레임, 제2프레임을 따라 이동 가능하도록 설치되고 후단에 스톱파가 설치되는 푸셔빔, 푸셔빔의 일측에 연결 설치되어 푸셔빔을 이동시키는 유압실린더로 이루어지는 이송부; 제2프레임의 일측에 배치된 복수개의 회동축, 회동축에 회동 가능하도록 설치된 회동암, 회동암의 선단에 설치된 감지센서, 유압실린더의 일측에 설치되는 실린더감지센서로 이루어지는 감지부;를 포함하는 스카핑머신의 주편 터닝장치를 제공한다. 
     
     푸셔빔, 지지블록, 프레임, 회동축, 가이드
Patent KR-100515605-B1 (KR)
Title: 주연료 공급관과 파일럿 버너가 일체화된 축열식 복사관버너
IPC: F23D14/12
Filed: 2002-09-16
Granted: 2005-09-16
Abstract: 본 발명은 파일럿 버너를 연료노즐 내에 삽입하여 일체화하고 연료노즐의 외주관으로 냉각겸용 파일럿 공기를 공급하여 파일럿 버너를 확산연소 시킴으로써 파일럿 화염의 안정성을 증대시키고 화염검지를 용이하게 할 수 있도록 화염검지기가 파일럿 공기공급관 내에 구성되는 축열식 복사관 버너에 관한 것이다. 
     본 발명에 따르는 축열식 복사관 버너는, 상기 복사관의 내부에 복사관 중심축으로부터 외측방향으로 소정 거리 떨어져 위치하며 상기 복사관의 외부에서부터 축열기와 노즐 플레이트를 관통하여 복사관 내부로 연통되는 파일럿 공기 공급관과; 상기 파일럿 공기 공급관 내에 설치되며 상기 복사관의 외부에서부터 내부로 연통되는 주연료 공급관과; 상기 주연료 공급관 내에 설치되며 상기 복사관의 외부에서부터 내부로 연통되는 파일럿 연료 공급관과, 상기 파일럿 연료 공급관 내에서 그 중심축을 따라 설치되는 점화봉을 포함하는 파일럿 버너; 및 상기 파일럿 공기 공급관 내부의 상기 주연료 공급관의 외측에 상기 복사관의 외부쪽 단부에서 상기 노즐 플레이트를 향해 설치되는 화염 검지기를 포함한다.
Patent KR-100462902-B1 (KR)
Title: 조립식 콘크리이트 블럭을 이용한 중앙분리대
IPC: E01F15/08
Filed: 2002-09-26
Granted: 2004-12-29
Abstract: 본 발명은 조립식 콘크리이트 블럭을 이용한 중앙분리대에 관한 것으로, 시멘트 콘크리이트를 원료로 성형시켜 하부가 상부보다 폭이 넓도록 일측면이 경사지게 형성된 상기 조립식 콘크리이트 블럭(101)의 일측벽면 양측부에는 반대편 중앙분리대의 블럭(101)과 체결되도록 스크류 바(102)가 삽입되는 연결공(103)이 상부와 하부에 각각 한개씩 형성되고, 상기 블럭(101)의 길이방향 양측끝단의 수평상단면과 턱(104)의 양측부에는 같은편 중앙분리대의 블럭(101)을 길이방향의 일렬로 정렬시키기 위한 연결홈(105)에 볼트A(106)가 성형돼, 삽입공(107a)이 성형된 철편(107)이 상기 연결홈(105)의 볼트A(106)와,  연속되는 다른 블럭(101)의 연결홈(105)의 볼트A(106)에 일체로 끼워져 연결되며, 상기 블럭(101)의 측면하종단 양측부에는 배수공(109)이 각각 형성돼 있고, 상기 블럭(101)타측의 수직벽면이 반대편 블럭(101) 수직벽면과 일정공간을 두고 마주보게 됨으로써 형성된 공간부(110)에는 조경식물이 식재되며, 블럭(101)의 일측 경사벽면 위쪽 중앙부에는 반사경(111)이 결합되기 위한 볼트B(113)가 형성되고, 상기 블럭(101)들은 지중에 매설되지 않고 지반위에 바로 설치되며 길이방향의 지그재그 형태로 설치돼 중앙분리대를 형성하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100461006-B1 (KR)
Title: 결함을 갖는 ｃｃｄ소자에 대한 보정기능을 갖는ｃｃｄ카메라 및 그 보정방법
IPC: H04N5/32
Filed: 2002-10-28
Granted: 2004-12-09
Abstract: 결함을 갖는 CCD(Charge coupled device)소자에 대한 보정기능을 갖는 CCD카메라 및 그 보정방법이 개시된다. CCD카메라는, 전원이 투입되면 셔터구동부를 통해 로우셔터를 주기적으로 구동시킨다. 로우셔터가 구동됨에 따라 CCD촬상부에 광이 입사되면, CCD소자 각각에서 출력된 광전변환된 신호가 메모리에 순차적으로 저장한다. 이후, 메모리에 저장된 CCD소자 각각의 전기적신호를 독출하고, 독출된 신호를 소정레벨 증폭시켜 CCD결점 임계레벨과 비교한다. 비교결과, CCD결점 임계레벨보다 큰 신호를 갖는 CCD소자의 전기적신호가 있으면, CCD결점 임계레벨보다 큰 신호를 갖는 CCD소자에 대한 위치정보를 메모리에 저장한다. 그리고 촬영된 신호가 주사될 때, 메모리에 저장된 위치정보를 토대로 임계레벨보다 큰 신호를 갖는 CCD소자의 전기적신호에 대해 이웃한 CCD소자들의 전기적신호 평균레벨로 주사한다. 이에 따라 CCD소자의 미세한 결점까지도 보정을 수행할 수 있게 되어 제품의 신뢰성을 높일 수 있으며, 다수의 결점을 가진 CCD소자를 포함한다 할지라도 이용 가능하여 자원의 낭비를 방지한다.
Patent KR-100646441-B1 (KR)
IPC: G01Q10/02
Filed: 2002-10-29
Granted: 2006-11-14
Abstract: 본 발명에 따른 주사 탐침 현미경(scanning probe microscope)은 서로 완전히 분리되고, 고정 프레임상에 물리적으로 별개의 위치들에 장착되는 2개의 상이한 스캐너(소위, "주사 스테이지"라 칭함)를 사용한다. 하나의 스캐너("x-y 스캐너"라 칭함)는 평면(소위, "x-y 평면"이라 칭함)상에 있는 샘플을 주사하지만, 다른 하나의 스캐너("z 스캐너"라 칭함)는 탐침을 평면에 수직한 방향(소위, "z 방향"이라 칭함)으로 (캔틸레버의 자유단에 지지되는) 주사한다. 2개의 스캐너가 서로 분리됨으로써, 각 스캐너가 다른 스캐너에 영향을 미치지 않고 (고정프레임에 대해 상대적으로) 움직일 수 있게 된다. 
       
     주사 탐침 현미경, 스캐너