Patent DE-102014003158-B4 (DE)
Title: Lasersystem mit Abschätzung der hermetischen Abdichtung einer Lasergas- kammer
Inventor: NISHIO AKIHIKO
IPC: H01S3/03
Filed: 2014-03-03
Granted: 2018-09-13
Abstract: Lasersystem, folgendes aufweisend:eine Lasergaskammer (1), die einen Gaskanal (1a) bildet, durch den Lasergas zirkuliert,einen Laseroszillator (2), der unter Verwendung von durch den Gaskanal strömendem Lasergas als Anregungsmedium Laserlicht oszilliert,einen Gasdruckdetektor (33), der einen Lasergasdruck in der Lasergaskammer detektiert,eine Druckeinstelleinrichtung (13, 14), die den Lasergasdruck in der Lasergaskammer aufgrund eines mit dem Gasdruckdetektor detektierten Wertes einstellt,eine Drucksteuereinheit (51), die die Druckeinstelleinrichtung so steuert, dass beim Herunterfahren des Laseroszillators veranlasst wird, dass der Lasergasdruck in der Lasergaskammer einen ersten Gasdruck (G0) annimmt, der kleiner ist als der atmosphärische Druck und derart, dass in einer Vorbereitungsstufe nach dem Hochfahren des Laseroszillators und vor der Emission von Laserlicht nach außen der Lasergasdruck in der Lasergaskammer einen zweiten Gasdruckwert (G1) annimmt, bei dem Laserlicht oszillieren kann,eine Lasersteuereinheit (52), die den Laseroszillator so steuert, dass der Laseroszillator eine anfängliche Operation ausführt, bei der der Laseroszillator Laserlicht entsprechend einer vorgegebenen Oszillationsbedingung in der Vorbereitungsstufe abgibt,einen Laserdetektor (26), der eine Abgabe des Laserlichts zu Beginn des Betriebs des Laseroszillators oder eine mit der Abgabe des Laserlichts zu Beginn des Betriebs des Laseroszillators in Beziehung stehende physikalische Größe detektiert, undeine Einrichtung (5) zum Abschätzen der Qualität der hermetischen Abdichtung der Lasergaskammer auf Basis des mit dem Laserdetektor gewonnenen Detektorwertes,wobei die Lasersteuereinheit den Laseroszillator so steuert, dass die anfängliche Operation über eine Zeitdauer so lange ausgeführt wird, bis ein Detektorwert (Pa1) des Laserdetektors einen vorgegebenen Wert (Pt1) erreicht, unddie Einrichtung (5) zum Abschätzen der hermetischen Abdichtung deren Qualität entsprechend der Zeitdauer der anfänglichen Operation abschätzt,wobei das Lasersystem weiterhin eine Einrichtung zum Berechnen der Abschaltzeitspanne aufweist, die eine Oszillator-Abschaltzeitspanne (Ts) berechnet unter Verwendung der Zeit, zu der die Leistung des Laseroszillators heruntergefahren wird, bis zur Zeit, zu der das Hochfahren des Laseroszillators gestartet wird, wobeidie Einrichtung (5) zum Abschätzen der hermetischen Abdichtung die Qualität der hermetischen Abdichtung auf Basis des mit dem Laserdetektor gewonnenen Detektorwertes und der mit der Berechnungseinheit für die Abschaltzeitspanne berechneten Oszillator-Abschaltzeitspanne abschätzt,wobei das Lasersystem:- einen ersten Lasergasdruck (Gs1), der unmittelbar nach Start des Hochfahrens des Oszillators detektiert wird, in einem Speicher ablegt,- eine Gasdruckdifferenz (Gd) zwischen dem ersten Lasergasdruck (Gs1) und einem zweiten Lasergasdruck (GsO) zur Zeit des Befehls der Leistungsabschaltung berechnet,- die gerade laufende Zeit (Ts1) im Speicher ablegt,- eine Zeit (TsO), wenn die Leistung des Laseroszillators (2) abgeschaltet wird, von der gerade laufenden Zeit (Ts1) abzieht und die Oszillator-Abschaltzeitspanne (Ts) berechnet,- die Gasdruckdifferenz (Gd) durch die Oszillator-Abschaltzeitspanne (Ts) dividiert, um eine Leckrate (Lc) in Pa/h zu ermitteln,- die Leistung des Laseroszillators einschaltet und das Hochfahren des Oszillators beendet,wobei die Leckrate als Grundlage der Beurteilung der Qualität der hermetischen Abdichtung der Lasergaskammer verwendet wird.