baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-112013007670-T5 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung
Inventor: KOMO Hideo
IPC: H02M1/32
Filed: 2013-12-04
Abstract: Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleitervorrichtung, die in einer Leistungsausrüstung verwendet wird. Die Halbleitervorrichtung weist auf: eine Basisplatte (16); ein isolierendes Substrat (29), das auf der Basisplatte (16) angebracht ist; ein Leistungsschaltelement (21), das mit einer Lötmittelschicht (31) mit dem isolierenden Substrat verbunden ist; wobei die Basisplatte (16), das isolierende Substrat (29) und das Leistungsschaltelement (21) ein Modul bilden; und ein Steuersubstrat (CS), das über dem Modul angeordnet ist. Das Steuersubstrat (CS) weist eine Schaltung (90) für eine variable Gate-Spannung auf, die eine Kollektor-Emitter-Spannung des Leistungsschaltelements (21) misst und eine Gate-Spannung so anpasst, dass das Leistungsschaltelement (21) mit einer gegebenen Sollleistung versorgt wird, die durch ein Produkt der Kollektor-Emitter-Spannung und eines Kollektorstroms bestimmt wird.
Patent DE-112014003417-T5 (DE)
Title: Fahrzeug vom Satteltyp
Inventor: MIYACHI KAZUYOSHI
IPC: F02D29/02
Filed: 2014-07-23
Abstract: Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Bereitstellen eines Fahrzeugs vom Satteltyp, das mit einer feineren Steuerung gefahren werden kann, die der Anfrage des Fahrers entspricht, durch Bestimmen der Anfrage des Fahrers basierend auf Betätigungszuständen des Fahrers in Bezug auf das Fahrzeug, wenn der Motor aus dem Leerlaufstoppzustand gestartet wird. Zum Verwirklichen der oben stehenden Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein Fahrzeug vom Satteltyp bereitgestellt, das von einem rittlings auf einem Sitz sitzenden Fahrer mittels Lenken einer Lenkstange gefahren werden kann, und das eine Lenkstange umfasst, an deren entgegengesetzten Enden ein Haltegriff, der von dem Fahrer gegriffen wird, und ein Gasgriff für eine Beschleunigungsbetätigung angebracht sind; ein Motorsteuermittel umfasst zum automatischen Stoppen eines Motors und Bringen des Motors in einen Leerlaufstoppzustand; und eine Kupplung umfasst zum Übertragen einer Antriebsleistung des Motors zu dem Rad und Trennen der Übertragung von Antriebsleistung von dem Motor mit beliebigem Timing, dadurch gekennzeichnet, dass das Fahrzeug vom Satteltyp ferner ein Bestimmungsmittel umfasst zum Bestimmen der Anfrage eines Fahrers basierend auf Betätigungszuständen des Fahrers in Bezug auf das Fahrzeug, wenn der Motor aus dem Leerlaufstoppzustand gestartet wird, und ein Kupplungssteuermittel umfasst zum beliebigen Auswählen eines Fahrzustands mit Übertragung der Antriebsleistung des Motors zu dem Antriebsrad durch Steuern der Kupplung gemäß der Anfrage des Fahrers, die von dem Bestimmungsmittel bestimmt wird, und eines gestoppten Zustands, in dem die Antriebsleistung des Motors im Wesentlichen nicht zu dem Antriebsrad übertragen wird, und der gestoppte Zustand des Fahrzeugs beibehalten wird.
Patent DE-112014003782-T5 (DE)
Title: lonenstrahlvorrichtung und Emitterspitzenausformverfahren
Inventor: MUTO HIROYUKI
IPC: H01J37/08
Filed: 2014-10-08
Abstract: Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Ionenstrahlvorrichtung zu schaffen, mit der am vorderen Ende der Emitterspitze stabil eine Nanopyramide mit einem Atom an der Spitze ausgebildet werden kann, auch wenn für die Betrachtung einer Probe mit einem großen Rauschabstand die Kühltemperatur herabgesetzt wird. Bei der vorliegenden Erfindung hält die Ionenstrahlvorrichtung, bei der ein an einer elektrischen Feldionisierungsgasionenquelle erzeugter Ionenstrahl auf die Probe eingestrahlt wird, um die Probe zu betrachten oder zu bearbeiten, die Temperatur der Emitterspitze auf einer zweiten Temperatur, die höher ist als eine erste Temperatur zum Erzeugen des Ionenstrahls und niedriger als die Raumtemperatur, und stellt die Extraktionsspannung auf eine zweite Spannung ein, die höher ist die erste Spannung zum Erzeugen des Ionenstrahls, um eine Feldverdampfung von Atomen am vorderen Ende der Emitterspitze zu bewirken und um am vorderen Ende der Emitterspitze eine Nanopyramide mit einem Atom an der Spitze auszubilden.
Patent DE-112014005158-T5 (DE)
Title: Kompakte faserbasierte Kurzpuls-Laserquellen
Inventor: FERMANN MARTIN E
IPC: H01S3/16
Filed: 2014-11-04
Abstract: Beispiele von robusten selbststartenden passiv modengekoppelten Faseroszillatoren werden beschrieben. In bestimmten Implementierungen sind die Oszillatoren als Fabry-Perot-Resonatoren konfiguriert, welche einen optischen Schleifenspiegel an dem einen Resonatorende und einen voluminösen Spiegel oder einen sättigbaren Absorber am anderen Ende umfassen. Der Schleifenspiegel kann weiterhin mit einer anpassbaren Phasenverzögerungsstrecke konfiguriert werden, um Modenkoppeln zu optimieren. Sämtliche im Resonator befindlichen Faser(n) können polarisationserhaltend sein. Dispersionskompensierende Komponenten wie z. B. dispersionskompensierende Fasern, voluminöse Beugungsgitter oder Faser-Bragg-Gitter können eingeschlossen sein. Die Oszillatoren können einen Bandpass-Filter umfassen, um hohe Pulsenergien zu erhalten, wenn sie im Similariton-Regime arbeiten. Der Oszillator-Output kann verstärkt werden und verwendet werden, wann immer kurze Pulse mit hoher Leistung benötigt werden. Zum Beispiel können die Oszillatoren als Frequenzkamm-Quellen oder Superkontinuum-Quellen konfiguriert werden. In Verbindung mit einer Modulation der Wiederholrate umfassen die Anwendungen duale Abtast-Verzögerungsstrecken und Spurengas-Detektion.
Patent DE-112015000219-T5 (DE)
Title: Außenwärmetauscher
Inventor: SONG JUN YOUNG
IPC: F28F9/013
Filed: 2015-04-30
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Außenwärmetauscher und insbesondere einen Außenwärmetauscher vom Typ mit abwärts gerichteter Strömung aufweisend Kanäle mit zumindest drei Bahnen in einem Wärmepumpensystem für Fahrzeuge, bei welchem eine Strömungsverteilungseinrichtung, die sich in einer Höhenrichtung erstreckt, ferner in einem unteren Behälter ausgebildet ist, in dem der Kanal sich von einer Aufwärtsrichtung zu einer Abwärtsrichtung oder von einer Abwärtsrichtung zu einer Aufwärtsrichtung ändert, um einen Teil der Fläche eines unteren Abschnittes davon zu blockieren, um ein Kühlmittel daran zu hindern, ungleichmäßig verteilt zu werden, während Strömung sich in Richtung einer Rückseite des Kanals aufgrund einer Flüssigkeitsträgheit in einem Bereich konzentriert, in dem die Strömungsbahn sich verändert, wodurch das Vereisen beim Erwärmen verhindert wird.
Patent DE-112015004531-T5 (DE)
Title: Latch-Initialisierung für eine Datenspeichervorrichtung
Inventor: LASSER MENAHEM
IPC: G11C16/34
Filed: 2015-09-01
Abstract: Eine Datenspeichervorrichtung kann einen Speicher-Die umfassen. Der Speicher-Die umfasst einen Speicher und ein Latch. Ein Verfahren kann das Empfangen eines Befehls umfassen, welcher einer Schreiboperation entspricht, um Informationen in den Speicher zu schreiben. Das Verfahren kann ferner das Laden eines Satzes von Bits in das Latch umfassen, bevor die Informationen am Speicher-Die empfangen werden. Der Satz von Bits umfasst wenigstens ein erstes Bit mit einem ersten Wert und ein zweites Bit mit einem zweiten Wert, welcher sich vom ersten Wert unterscheidet. Das Verfahren umfasst ferner das Empfangen der Informationen am Speicher-Die und das Überschreiben von wenigstens einem Teil des Satzes von Bits am Latch mit den Informationen.
Patent DE-112015004744-T5 (DE)
Title: Arraysubstrat, Flüssigkristallanzeigefeld und Verfahren zum Ansteuern des Flüssigkristallanzeigefeldes
Inventor: YAO XIAOHUI
IPC: G09G3/36
Filed: 2015-01-20
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Arraysubstrat, ein Flüssigkristallanzeigefeld und ein Verfahren zum Ansteuern des Flüssigkristallanzeigefeldes. Jede Pixeleinheit auf dem Arraysubstrat umfasst eine Hauptbereichselektrode, eine Nebenbereichselektrode und einen Freigabekondensator. Ein Steueranschluss eines Freigabesteuerschalters, welcher Freigabesteuerschalter den Freigabekondensator mit dem Nebenbereichskondensator verbindet, ist über einen ersten Steuerschalter mit einer der in der Abtastrichtung angeordneten, von einer aktuellen Pixeleinheit gezählten N-ten Pixeleinheit entsprechenden Abtastzeile verbunden und andererseits über einen zweiten Steuerschalter mit der der aktuellen Pixeleinheit entsprechenden Abtastzeile verbunden. In einem zweidimensionalen Abtastmodus ist der erste Steuerschalter so angeordnet, dass er eingeschaltet wird, wenn zumindestens ein Abtastsignal auf einer Abtastzeile vorhanden ist, an die der erste Steuerschalter angeschlossen ist. Der zweite Steuerschalter ist im zweidimensionalen Abtastmodus so angeordnet, dass er ausgeschaltet wird, wenn zumindestens ein Abtastsignal auf einer Abtastzeile, an die der zweite Steuerschalter angeschlossen ist, und auf einer Abtastzeile, an die ein erster Steuerschalter der gleichen Stufe wie der zweite Steuerschalter angeschlossen ist, vorhanden ist. In einem dreidimensionalen Abtastmodus ist der erste Steuerschalter so angeordnet, dass er ausgeschaltet wird, wenn zumindestens ein Abtastsignal auf einer Abtastzeile vorhanden ist, an die der erste Steuerschalter angeschlossen ist. Der zweite Steuerschalter ist im dreidimensionalen Abtastmodus so angeordnet, dass er eingeschaltet wird, wenn zumindestens ein Abtastsignal auf einer Abtastzeile, an die der zweite Steuerschalter angeschlossen ist, vorhanden ist.
Patent DE-112016003089-T5 (DE)
Title: Austauschbarer, visuell markierter Probeneinführungssystemmontageaufbau und Bestandsteile für induktiv gekoppelte Plasmasysteme
Inventor: WIEDERIN DANIEL R
IPC: H01J49/10
Filed: 2016-07-06
Abstract: Ein System kann einen austauschbaren Montageaufbau mit einer visuellen Markierung oder Farbgebung und mindestens einen physisch assoziierten Probeneinführungssystem-Bestandteil mit einer Kennzeichnungsmarke oder Farbe enthalten, die zu der visuellen Markierung oder Farbgebung des austauschbaren Montageaufbaus passt. Die visuelle Markierung oder Farbgebung entspricht einer Probenanalyseanordnung zum Analysieren einer bestimmten Probenart bei einer Analyseeinrichtung.
Patent DE-112016004006-T5 (DE)
Title: Luftreifen
Inventor: KIDESAKI TAKASHI
IPC: B60C11/03
Filed: 2016-02-08
Abstract: Ein Luftreifen (1), der konzipiert ist, um gute Lenkstabilität, Abriebbeständigkeit und Nassleistung bereitzustellen. Der Luftreifen (1) umfasst drei in Reifenumfangsrichtung verlaufende Hauptrillen 30. Die Rillen in einem zentralen Stegabschnitt auf der Fahrzeuginnenseite (21) und einem zentralen Stegabschnitt auf der Fahrzeugaußenseite (22) sind alles schmale Rillen (40). Schmale Rillen (41) des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeuginnenseite öffnen sich an einem ersten Ende zu einer Fahrzeugmittenhauptrille (31), öffnen sich an einem zweiten Ende zu einer Fahrzeuginnenseiten-Hauptrille (32) und krümmen sich in Reifenumfangsrichtung. Die schmalen Rillen (40) in dem zentralen Stegabschnitt auf der Fahrzeugaußenseite (22) umfassen äußere schmale Rillen (43) des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeugaußenseite, die sich an einem ersten Ende zu einer Fahrzeugaußenseiten-Hauptrille (33) öffnen und an einem zweiten Ende innerhalb des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeugaußenseite (22) enden, und innere schmale Rillen (42) des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeugaußenseite, die sich an einem ersten Ende zur Fahrzeugmittenhauptrille (31) öffnen und an einem zweiten Ende innerhalb des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeugaußenseite (22) enden. Die äußeren schmalen Rillen (43) des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeugaußenseite und die inneren schmalen Rillen (42) des zentralen Stegabschnitts auf der Fahrzeugaußenseite sind abwechselnd in Reifenumfangsrichtung angeordnet.
Patent DE-112016004571-T5 (DE)
Title: Luftreifen
Inventor: SATO HIROYUKI
IPC: B60C11/12
Filed: 2016-10-05
Abstract: Definiert sind eine erste imaginäre Linie, die durch eine Bodenkontaktoberfläche in einem Meridianquerschnitt eines Laufflächenabschnitts verläuft, eine zweite imaginäre Linie, die durch einen Bodenabschnitt einer Schulterhauptrille verläuft und parallel zur ersten imaginären Linie ist, ein Schnittpunkt zwischen der zweiten imaginären Linie und einer Oberfläche eines Schulterstegabschnitts außerhalb eines Bodenkontaktrands in Reifenquerrichtung und eine Reifenäquatorialebene. Eine Bedingung 0,80 ≤ (B+C)/A ≤ 1,15 ist erfüllt, wobei A für einen Abstand in Reifenquerrichtung zwischen dem Schnittpunkt und der Reifenäquatorialebene steht, B für eine Rillentiefe der Schulterhauptrille steht und C für einen Abstand in Reifenquerrichtung zwischen dem Bodenkontaktrand und der Reifenäquatorialebene steht. Eine Bedingung 0,75 ≤ S/A ≤ 0,95 ist erfüllt, wobei S für einen Abstand in Reifenquerrichtung steht zwischen der Reifenäquatorialebene und einem Endabschnitt einer Gürtellage, welche die längste Abmessung in Reifenquerrichtung unter der Mehrzahl von Gürtellagen aufweist.
Patent DE-112016007246-T5 (DE)
Title: Gassensor
Inventor: ANDERSSON PERNILLA
IPC: B01D71/38
Filed: 2016-09-21
Abstract: Ein Gassensor enthält eine Trägerstruktur mit einer Kavität (6), einem Messelement (1), welches für ein Gas empfindlich ist und in der Kavität (6) angeordnet ist, und ein Filter (3), welches die Kavität (6) überspannt. Das Filter (3) ist ein grössenselektives Filter.
Patent DE-112017000492-T5 (DE)
Title: Kommutator- und Verteileranordnung mit Direktanschluss
Inventor: RICHARDSON JASON
IPC: F04C2/10
Filed: 2017-01-24
Abstract: Eine Kommutator-/Verteileranordnung steuert eine Strömung einer Hydraulikflüssigkeit in einem Hydraulikflüssigkeitssystem. Die Anordnung umfasst einen Kommutator, der einen versetzten Aufbau aufweist, der einen inneren Abschnitt umfasst, der exzentrisch in einem äußeren Abschnitt eingeschlossen ist, und eine versetzte Kommutatoröffnungsanordnung zur Steuerung der hydraulischen Strömung. Ein Verteiler umfasst Verteileröffnungen mit einer geraden Konfiguration, mit der Wände, die die Verteileröffnungen im Wesentlichen definieren, entlang einer Längsachse durch den gesamten Verteiler verlaufen. Der Kommutator ist konfiguriert, sich zu drehen, um die Kommutatoröffnungsanordnung nacheinander mit unterschiedlichen Abschnitten der Verteileröffnungen auszurichten, um die Strömung zu steuern. Die Kommutatoröffnungsanordnung umfasst innere Öffnungen und äußere Öffnungen, die durch eine Kommutatordichtung voneinander isoliert sind. Ein Kommutatorring weist eine Führungsfläche auf, die die Drehung des Kommutators führt. Die Drehung des Kommutators stellt eine zeitgesteuerte Strömung durch die Verteileröffnungen gerade durch den Verteiler und ohne jegliche Richtungseinschränkung bereit.
Patent DE-112017001421-T5 (DE)
Title: Flexibel optimiertes Datenhandling in Systemen mit mehreren Speichern
Inventor: SURA ZEHRA NORMAN
IPC: G06F12/00
Filed: 2017-02-20
Abstract: Verfahren und Systeme zur Optimierung einer Anwendung für ein Computersystem mit mehreren verschiedenen Speicherorten, die durch einen oder mehrere Kommunikationskanäle miteinander verbunden sind, beinhalten ein Bestimmen einer oder mehrerer Datenverarbeitungseigenschaften für einen Datenbereich in einer Anwendung. Eine oder mehrere Datenverarbeitungsrichtlinien für den Datenbereich werden basierend auf den einen oder mehreren Datenverarbeitungseigenschaften festgelegt. Für einen Bereich in der Anwendung, der den Datenbereich an verschiedenen Speicherorten verwendet, werden basierend auf den einen oder mehreren Datenverarbeitungseigenschaften Dateneinrichtungskosten bestimmt. Die Anwendung wird in Übereinstimmung mit den einen oder mehreren Datenverarbeitungsrichtlinien und den Dateneinrichtungskosten für die verschiedenen Speicherorte optimiert.
Patent DE-112017001998-T5 (DE)
Title: Steuerung der nachbehandlung eines verbrennungsmotors
Inventor: BEVAN NEIL
IPC: F01N9/00
Filed: 2017-03-21
Abstract: Offenbart sind eine Vorrichtung (100) zum Steuern eines Nachbehandlungssystems eines Verbrennungsmotors (101), ein System umfassend eine Vorrichtung, ein Fahrzeug umfassend ein System und ein Verfahren (1000) zum Steuern der Einspritzung in einen Verbrennungsmotor (101). Die Vorrichtung umfasst ein ausgebildetes Verarbeitungsmittel (102) zum Empfangen eines ersten Signals von einem ersten Temperaturmessmittel (103), hinweisend auf eine erste Temperatur von von einem Verbrennungsmotor (101) ausgestoßenen Abgasen an einer ersten Position stromaufwärts von einer zum Bereitstellen eines Durchgangs für Abgase ausgebildeten ersten Abgassystemkomponente (104). Das Verarbeitungsmittel ist ebenfalls zum Empfangen eines zweiten Signals von einem Strömungsgeschwindigkeits-Messmittel (105), hinweisend auf eine Strömungsgeschwindigkeit der vom Motor (101) ausgestoßenen Abgase, und Berechnen eines Näherungswerts wenigstens aus erstem Signal und zweitem Signal ausgebildet. Der Näherungswert weist auf eine zweite Temperatur von Abgasen an einer Position stromabwärts von der ersten Abgassystemkomponente (104) hin. Das Verarbeitungsmittel ist ferner zum Liefern eines Ausgabesignals zum Steuern des Nachbehandlungssystems gemäß dem berechneten Näherungswert ausgebildet.
Patent DE-112017002116-T5 (DE)
Title: Steuerungsgerät für eine rotierende elektrische Maschine
Inventor: KAWAZU SHINSUKE
IPC: H02P29/68
Filed: 2017-04-20
Abstract: Ein System (100) weist eine rotierende elektrische Maschine (12), eine Verdrahtung (16), eine Batterie (10), die mit der rotierenden elektrischen Maschine durch die Verdrahtung verbunden ist, und einen Obergrenzwerteinstellungsabschnitt (43, 46, 60) auf, der einen Ausgabeobergrenzwert einstellt, der eine obere Grenze eines Ausgabebefehls für die rotierende elektrische Maschine ist. Ein Steuerungsgerät, das die rotierende elektrische Maschine steuert, ist mit einem Temperaturbeschaffungsabschnitt (43, 46, 51 bis 53, 54), der die Temperatur der Batterie und/oder der Verdrahtung beschafft, einem Zulässigkeitsausgabewertberechnungsabschnitt (43, 46), der einen zulässigen Ausgabewert, der die obere Grenze ist, die für den Ausgabebefehl der rotierenden elektrischen Maschine zugelassen ist, auf der Grundlage der durch den Temperaturbeschaffungsabschnitt beschafften Temperatur berechnet, und einem Sendeabschnitt (43, 46) versehen, der den durch den Zulässigkeitswertberechnungsabschnitt (43, 46) berechneten zulässigen Ausgabewert zu dem Obergrenzwerteinstellungsabschnitt sendet.
Patent DE-112017005862-T5 (DE)
Title: Leistungsumsetzungsvorrichtung
Inventor: NISHIZAWA Youhei
IPC: H02M7/48
Filed: 2017-11-07
Abstract: Eine Leistungsumsetzungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung enthält ein Leistungshalbleitermodul, das konfiguriert ist, Leistung umzusetzen, einen ersten Kondensator, der konfiguriert ist, die Leistung zu glätten, einen Leiterabschnitt, der einen ersten Leistungsweg zwischen einem Leistungsanschluss und dem ersten Kondensator und einen zweiten Leistungsweg zwischen dem ersten Kondensator und dem Leistungshalbleitermodul bildet, einen Störfilterabschnitt, der einen zweiten Kondensator enthält, der eine Leistung glättet, die eine höhere Frequenz als eine Frequenz der Leistung, die durch den ersten Kondensator geglättet wird, aufweist, und einen Kühlabschnitt, der eine Kühlfläche bildet, und der Störfilterabschnitt ist mit dem Leiterabschnitt verbunden, der den ersten Leistungsweg bildet, und der Leiterabschnitt, der den ersten Leistungsweg bildet, ist in einem Raum zwischen der Kühlfläche und dem Störfilterabschnitt angeordnet.
Patent DE-112017007434-T5 (DE)
Title: Förderbandverwaltunqssystem
Inventor: HOU GANG
IPC: G06Q10/00
Filed: 2017-12-18
Abstract: Es wird ein Förderbandverwaltungssystem bereitgestellt, das in der Lage ist, einen geeigneten Auswechselzeitraum des Förderbandes so früh wie möglich zu bestimmen und die Betriebskosten des Förderbandes zu senken.
 Daten eines Verschleißgrades eines oberen Deckgummis des an einem Einsatzort installierten Förderbandes werden über eine Eingabeeinheit (5) in einen Server (2) eingegeben. Eine Berechnungseinheit (3) ist konfiguriert, um eine verbleibende Lebensdauer (Ja) des Förderbandes basierend auf den eingegebenen Daten und einer Bandspezifikationsdatenbank (4a) und einer Toleranzbereichsdatenbank (4b), in die ein Toleranzbereich für den Verschleißgrad je Bandspezifikation im Voraus eingegeben wird, die in einer Speichereinheit (4) gespeichert sind, zu berechnen; und eine erwartete Lebensdauer (Jf) des Förderbandes vor der Verwendung des Förderbandes basierend auf einer Korrelation zwischen einem Nutzungszustand und Bandspezifikationen des bis dahin verwendeten Förderbandes, dem Nutzungszustand des Förderbandes und den Spezifikationen des Förderbandes zu berechnen. Bei der Berechnung hiervon und wird eine aktualisierte Korrelationsdatenbank (4d) verwendet.
Patent DE-112017008330-T5 (DE)
Title: Integrierte schaltungen (ics) mit elektromigrations (em) -resistenten segmenten in einer verbindungsebene
Inventor: LIN KEVIN
IPC: H01L21/768
Filed: 2017-12-27
Abstract: Integrierte-Schaltungs (IC) -Verbindungsleitungen weisen verbesserten Elektromigrationswiderstand auf. Mehrfach-Strukturierung kann verwendet werden, um eine erste Maskenstruktur zu definieren. Die erste Maskenstruktur kann basierend auf einer zweiten Maskenschicht durch eine prozessbasierte, selektive Okklusion von Öffnungen, die in der zweiten Maskenschicht definiert sind, die unter einer Schwellen-Minimum-Lateralbreite sind, verfüllt und ferner strukturiert werden. Abschnitte des Materials, das unter den Öffnungen liegt, die in der zweiten Maskenschicht definiert sind, die die Schwelle überschreiten, werden entfernt. Erste Gräben in einer darunter liegenden dielektrischen Materialschicht können basierend auf einer Vereinigung des Rests der ersten Maskenschicht und der teilweise verschlossenen zweiten Maskenschicht geätzt werden. Die ersten Gräben können dann mit einem ersten leitfähigen Material verfüllt werden, um erste Leitungssegmente zu bilden. Zusätzliche Gräben in der Unterschicht können dann geätzt und mit einem zweiten leitfähigen Material verfüllt werden, um zweite Leitungssegmente zu bilden, die durch die ersten Leitungssegmente zusammengekoppelt werden.
Patent DE-112018003861-T5 (DE)
Title: Schichtelement-herstellungsverfahren
Inventor: SAKAMOTO TAKESHI
IPC: H01L21/322
Filed: 2018-07-13
Abstract: Ein Herstellungsverfahren für Schichtelemente umfasst einen ersten Formschritt zum Bilden eines ersten Gettering-Bereiches für jedes der funktionellen Elemente durch Bestrahlung eines Halbleitersubstrats eines ersten Wafers mit einem Laserlicht, einen ersten Schleifschritt zum Schleifen des Halbleitersubstrats des ersten Wafers und zum Entfernen eines Teils des ersten Gettering-Bereiches, einen Klebeschritt des Verklebens/Verbindens einer Schaltungsschicht eines zweiten Wafers an das Halbleitersubstrat des ersten Wafers, einen zweiten Formschritt zum Bilden eines zweiten Gettering-Bereichs für jedes der Funktionselemente durch Bestrahlen des Halbleitersubstrats des zweiten Wafers mit einem Laserlicht, und einen zweiten Schleifschritt zum Schleifen des Halbleitersubstrats des zweiten Wafers und des Entfernens eines Teils des zweiten Gettering-Bereichs.