baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100866124-B1 (KR)
IPC: H01L27/04
Filed: 2002-12-03
Granted: 2008-10-31
Abstract: 본 발명은 스토리지 듀얼 노드 브릿지 현상을 방지할 수 있는 반도체 소자의 캐패시터 형성방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 방법은 반도체 기판 상에 두껍게 증착된 산화막을 식각하여 깊은 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 콘택홀 표면 상에 하부전극을 형성하는 단계, 및 상기 하부전극 상에 유전체막 및 상부전극을 차례로 형성하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 캐패시터 형성방법에 있어서, 상기 깊은 콘택홀을 형성하는 단계는 기판이 놓여지는 전극(Electrode) 온도를 -10∼10℃로 유지하면서 압력을 15mTorr 이하, 탑 파워 및 바텀 파워를 각각 2000∼2200W로 하는 조건에서 O 2 , C 5 F 8  및 Ar 혼합 플라즈마로 산화막을 식각하여 보잉(Bowing) 프로파일을 갖도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 깊은 콘택홀은 보잉 프로파일을 가지므로 그 하부 면적의 확보에 유리하고, 이를 통해, 스토리지 노드 듀얼 브릿지 현상을 억제할 수 있으며, 또한, 종래의 버티컬 프로파일을 가진 콘택홀보다 넓은 면적을 확보할 수 있는 바, 이 결과로서, 상기 콘택홀 표면에 하부 전극 형성시 종래의 그것과 비교하여 더 높은 캐패시턴스를 확보할 수 있다.
Patent KR-100495303-B1 (KR)
Title: 자동 책장넘기는 장치
IPC: B42D9/04
Filed: 2002-12-05
Granted: 2005-06-14
Abstract: 본 발명은 자동 책장넘기는 장치에 관한 것으로서, 악보(5)를 펼친 채로 올려 놓을 수 있는 케이싱(10);  케이싱(10)내에 설치되어 악보의 넘겨질 페이지(6)와 넘겨진 페이지(7)를 홀딩하는 책장홀딩수단(40);  펼쳐진 악보(5)를 넘기는 책장넘기는수단(50);  책장홀딩수단(40) 및 책장넘기는수단(50)을 구동시키는 구동수단(60);  구동수단(60)의 작동을 조작가능한 조작부(110); 및 조작부(110)로부터의 신호에 기초하여 구동수단(60)의 작동을 제어하여 케이싱(10)상에 올려진 악보(5)의 해당 페이지를 넘기는 제어부(130)를 포함한다.  이에 따르면, 악보의 넘겨질 페이지와 넘겨진 페이지를 각각 그 페이지수 변화에 가변적으로 대응하면서 견고히 파지한 상태에서 해당페이지만을 신뢰성있게 넘길 수 있으며, 작동소음이나 잔고장을 줄일 수 있다.  그리고, 커버를 사용하여 케이싱내에 이물질등이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 또한, 내부전원공급부를 통해 자체적으로 구동가능하며, 무선으로 조작할 수도 있다.
Patent KR-100919003-B1 (KR)
IPC: G01N3/00
Filed: 2002-12-23
Granted: 2009-09-24
Abstract: 본 발명은 스몰 펀치 크리프 시험기의 2단 분리형 푸셔로드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스몰 펀치 크리프 시험기의 푸셔 로드를 세라믹으로 제조 가공하여 사용함으로써 크리프 시험의 재현성과 데이터의 신뢰성을 높일 수 있는 스몰 펀치 크리프 시험기의 2단 분리형 푸셔로드에 관한 것이다. 
     이를 위하여, 본 발명은 스몰펀치 크리프 시험기의 푸셔로드에 있어서, 상기 크리프 시험기의 하중(G)이 접촉하는 상부는 플랜지(3a) 형상으로 가공되면서 하부에는 돌출부(3b)가 가공된 상부 금속 푸셔로드(3)와; 상기 상부 금속 푸셔로드(3)에 요철(凹凸) 결합하도록 형상 가공되면서, 하부에는 세라믹 볼(8)에 접촉하는 핀 형상(4a)이 가공된 하부 알루미나(Al 2 O 3 ) 푸셔로드(4)로 구성되는 것을 특징으로 하는 스몰 펀치 크리프 시험기의 2단 분리형 푸셔로드를 제공한다. 
       
     스몰펀치, 크리프시험기, 푸셔로드, 세라믹, 알루미나, 2단분리형
Patent KR-100472206-B1 (KR)
Title: 고속 라우터 시스템에서 아이피씨 메시지 전달 이벤트처리 장치 및 방법
IPC: H04L12/28
Filed: 2002-12-23
Granted: 2005-03-10
Abstract: 본 발명은 고속 라우터 시스템의 각 서브 모듈내에 장착된 프로세서와 시스템을 관장하는 메인 프로세서간 통신을 위한 IPC(Inter Processor Communication)에서, 서브 모듈내의 상위 IPC 응용 프로그램으로부터 메인 프로세서로 IPC 메시지를 보내기 위하여 효율적인 IPC 패킷 생성, 전송을 위하여 IPC 메시지 이벤트 큐(event queue)를 관리하기 위한 고속 라우터 시스템에서 IPC 메시지 전달 이벤트 처리 장치 및 방법에 관한 것으로서, 서브 모듈에서 발생한 IPC 전송 이벤트들 중 하나의 IPC 메시지 내에서 처리 가능한 이벤트들을 구분하여 IPC 메시지를 생성하도록 되어 있으며, 
     이에 따라서, 생성되는 IPC 메시지의 빈도를 줄여서 메인 프로세서의 성능을 향상시킬 수 있다.
Patent KR-100452042-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 구리배선 형성 방법
IPC: H01L21/28
Filed: 2002-12-27
Granted: 2004-10-08
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 구리배선 형성 방법에 관한 것으로, 구리배선을 형성한 후 표면의 구리 산화층을 제거하고 탄소가 다량 함유된 비정질 수소화 실리콘 탄화막을 형성한다. 그리고 비정질 수소화 실리콘 탄화막에 포함된 과량의 탄소와 확산 방지 금속막의 반응에 의해 계면에 확산 방지 탄화 금속막이 생성되도록 한다. 따라서 확산 방지 탄화 금속막에 의해 계면을 통한 구리(Cu) 원자의 이동이 억제되고, 확산 방지 금속막과의 계면에 생성되는 TaxCy, WxCy, TixWy 형태의 중간화합물에 의해 접합성이 증대되어 구리배선의 전기적 특성 및 신뢰성이 향상된다.
Patent KR-100827786-B1 (KR)
IPC: G06F21/00
Filed: 2001-05-29
Granted: 2008-05-07
Abstract: 인증기능(221)은, 네트워크를 거쳐서 PDA를 인증한다.    콘텐츠 데이터베이스(224)는, 콘텐츠의 이용조건 및 콘텐츠정보를 유지한다.    통신기능(225)은, PDA에서 송신된 콘텐츠의 이용조건 및 콘텐츠정보의 수신을 제어한다.    콘텐츠 관리기능(222)은, 수신한 이용조건 및 콘텐츠정보를 기초로, 유지하고 있는 이용조건 및 콘텐츠정보를 갱신한다.    이것에 의해, 신속히 소망의 콘텐츠를 찾아낸다.
Patent KR-100661452-B1 (KR)
Title: Method for preparing an interfrequency handover, a network element and a mobile station
IPC: H04W52/44
Filed: 2001-01-09
Granted: 2006-12-27
Abstract: A method ( 600 ) for preparing an interfrequency handover of a certain communication connection from a first frequency to a second frequency features periodically intermitting ( 603 ) the transmission/receipt of data on the first frequency for certain transmission gaps. The number of transmission gaps is at least one during each transmission period and a certain sequence of transmission periods ( 420, 520 ) is used. Measurements are performed ( 607 ) on the second frequency during the transmission gaps on the first frequency. In the step of intermitting the transmission/receipt of data the transmission/receipt of data is intermitted within at least on transmission period for a certain transmission gap ( 311, 411 ) having a first duration and for a certain second transmission gap ( 312, 412 ) having a second duration. The second duration is different from the first duration. A mobile station ( 700 ), a network element ( 710 ) and a network control element ( 720 ) are also presented.
Patent KR-100693707-B1 (KR)
IPC: C07C29/09
Filed: 2001-03-08
Granted: 2007-03-13
Abstract: 폴리에틸렌 테레프탈레이트 폐기물을 테레프탈산 및 에탄디올로 화학적으로 재이용하는 본 발명에 따른 방법은,  
     (a) 결정화, 분쇄 및 뒤이은 체질을 통한 부서지기 쉬운 형태로의 전환에 의하여 투입 원료의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 성분을 분리하는 공정;  
     (b) 제1 단계로 증기를 중합체 용융물에 공급하고 또 제2 단계로 제1 단계 가수분해의 생성물을 수산화 암모늄과 반응시키는 것으로 실시되는 폴리에틸렌 테레프탈레이트의 연속적인 2단계 가수분해 공정;   
     (c) 제2 단계 가수분해 생성물의 수용액으로부터 무기산에 의한 테레프탈산의 축합 및 여과에 의한 그의 분리 공정; 및   
     (d) 마지막으로, 테레프탈산을 분리한 후 제2 단계 가수분해 생성물의 용액으로부터 에탄디올을 정류 분리하는 공정의 연속적인 일련의 점진적 공정을 기초로한다.   
     폴리에틸렌 테레프탈레이트, 테레프탈산, 에탄디올, 화학적 재이용, 가수분해
Patent KR-100762768-B1 (KR)
Title: A method and an apparatus for a quick retransmission of signals in a communication system
IPC: H04L1/18
Filed: 2001-04-13
Granted: 2007-10-02
Abstract: A method for wireless communication, comprising: receiving data in multiple forward link timeslots; determining a quality metric of the received data; requesting retransmission of the data via a first request scheme if the quality metric indicates the data has not been received correctly; and if retransmission is requested and the data is not received correctly, requesting retransmission of the data via a second request scheme.
Patent KR-100455896-B1 (KR)
Title: 수조 내의 물의 냉각·정화장치
IPC: A01K63/04
Filed: 2002-04-08
Granted: 2004-11-06
Abstract: 수조 내의 물의 냉각·정화장치의 능력을 높이고, 장치의 한층 소형화와 제조비용의 인하와 에너지절약화를 도모하는 것을 가능하게 한 수조 내의 물의 냉각·정화장치를 제공한다. 
     구체적으로는, 공기의 흡기구와 배기구와 처리완료된 물의 출구를 갖는 조 본체와, 조 본체 내에 설치한 다공질재료제의 벌집형상체 또는 격자형상체로 이루어지는 충전재와, 충전재의 윗쪽에 수평형상으로 설치되어, 처리해야 할 피처리 물을 충전재상에 적하시키는 액방울 가이드체와, 물을 액방울 가이드체의 윗쪽으로 분산시키는 분산체와, 충전재의 아래쪽에 설치되어, 충전재로부터 적하되는 물을 여과하는 소음 여과재와, 충전재 내로 공기흐름을 유통시키는 급기장치로 물의 냉각·정화장치를 구성한다.
Patent KR-100932485-B1 (KR)
Title: 방송 및/또는 멀티캐스트 서비스를 제공하는 방법
IPC: H04B7/24
Filed: 2003-01-11
Granted: 2009-12-17
Abstract: 본 발명은 통신 시스템에 관한 것으로, 특히 방송 및 멀티캐스트 서비스를 제공하는데 적당하도록 하는 방송 및/또는 멀티캐스트 서비스 제공 방법에 관한 것이다. 방송 및/또는 멀티캐스트 서비스 제공 방법은 특정 서비스 수신을  위해 요구되는 서비스 수신을 위한 자격 정보를 생성하는 단계, 상기 생성된  서비스 수신을 위한 자격 정보를 서비스 수신 대상 단말기들에게 전송하는 단계, 이를 수신한 상기 단말기는 서비스 수신 가능 여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어진다.  
       
       방송 및 멀티캐스트 서비스
Patent KR-101014228-B1 (KR)
IPC: H05K3/46
Filed: 2003-01-13
Granted: 2011-02-14
Abstract: 도전성 기판상에 형성한 1층째 회로배선을 덮도록 절연층을 개재하여 금속박을 적층하고, 그 금속박을 패턴에칭하여 형성한 2층째 회로배선을 덮도록 레지스트층을 설치하고, 이것에 레이저를 조사하여 형성한 층간 비아홀에, 도전성 기판을 급전층으로 하여 전해도금에 의해 도전재료를 충전해서 1층째와 2층째의 회로배선의 층간접속을 행하고, 상기 레지스트층을 제거한 후, 2층째 회로배선을 덮도록 설치한 절연층의 개공부에, 도전성 기판을 급전층으로 하여 전해도금에 의해 도전재료를 충전해서 외부 접속단자를 형성하고, 도전성 기판의 전부, 또는, 일부를 제거하여 1층째 회로배선을 노출시켜서 플렉시블 다층 배선기판을 제조한다. 
       
     플렉시블 다층 배선 기판, 회로배선, 비아홀, 절연층, 외형 프레임, 레지스트, 급전층, 전해도금
Patent KR-100433359-B1 (KR)
Inventor: KOYAMA JUN
IPC: H01L21/20
Filed: 2003-01-30
Granted: 2004-05-28
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing a semiconductor device is provided to obtain a crystalline silicon layer with high crystalline characteristics within a short time by using a wafer film containing desired metallic element. CONSTITUTION: A first insulating layer(12) containing silicon oxynitride is formed on a glass substrate(11). An amorphous semiconductor layer(13) containing silicon is formed on the first insulating layer. A wafer film(15) for promoting the amorphous semiconductor layer to be crystallized is formed thereon. The wafer film contains metallic elements such as Fe, Co, Ni, Ru, Rh, Pd, Os, Ir, Pt, Cu and Au. The amorphous semiconductor layer is transformed into a crystalline semiconductor layer by using a heat treatment at 450 to 650 deg.C. An island-like semiconductor layer is formed by patterning the crystalline semiconductor layer.
Patent KR-100462631-B1 (KR)
Title: 웨이브릿 변환을 이용한 하프토닝 방법 및 장치
IPC: G03G21/00
Filed: 2003-02-03
Granted: 2004-12-23
Abstract: 웨이브릿 변환을 이용한 하프토닝 방법 및 장치가 개시된다. 이 방법은, 디지탈 화상 데이타를 웨이브릿 변환을 이용하여 저주파 화상과 고주파 화상으로 분류하는 단계와, 제1 디더링 행렬을 이용하여 저주파 화상을 하프토닝하고, 제1 디더링 행렬보다 작은 크기를 갖는 제2 디더링 행렬을 이용하여 고주파 화상의 엣지 부분만을 하프토닝하는 단계 및 하프토닝된 저주파 화상과 하프토닝된 고주파 화상의 엣지 영역을 합성하고, 합성된 결과를 이진화된 화상 데이타로서 결정하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다. 그러므로, 디지탈 화상을 저주파 화상과 고주파 화상별로 분류하고, 계조수가 많고 해상도가 낮은 디더링 행렬을 이용하여 저주파 화상을 하프토닝하고 계조수가 적고 해상도가 높은 디더링 행렬을 이용하여 고주파 화상을 하프토닝하여, 화상을 하프토닝할 때 계조수와 해상도간의 트레이드 오프를 개선시킬 수 있고 저주파 성분을 계층적으로 수회에 걸쳐 세분화하면 매우 많은 계조수를 갖는 원래의 화상을 높은 해상도로 하프토닝할 수 있는 효과를 갖는다.
Patent KR-100912130-B1 (KR)
IPC: F25D29/00
Filed: 2003-02-03
Granted: 2009-08-13
Abstract: 본 발명은 냉장고 외관에 착탈 가능한 클라이언트 패드와 상기 냉장고 사이에 주파수대역이 상이한 다수개의 무선 랜모듈을 이용하여 신호를 송수신하는 패드 착탈식 냉장고의 통신 시스템 및 그 동작방법에 관한 것으로서, 냉장고의 외관에 착탈 가능한 클라이언트 패드와, 상기 클라이언트 패드와 멀티 주파수대역을 기반으로 하여 신호 송수신이 가능하도록 상기 냉장고에 장착되는 다수개의 랜모듈과,  상기 냉장고의 냉장 관련 제어신호를 출력하는 동시에 상기 클라이언트 패드와 송수신되는 신호의 전송률에 따라 주파수대역이 전환되도록 상기 다수개의 랜모듈을 제어하는 냉장고용 제어부를 포함하여 구성됨에 따라, 신호 전송의 효율성 및 안정성을 향상시키는 효과가 있다.  
                 
       
     클라이언트 패드, 홈서버, 인터넷 냉장고, 무선 랜모듈, 주파수대역
Patent KR-100497486-B1 (KR)
Title: 화상형성장치
IPC: G03G15/00
Filed: 2003-02-19
Granted: 2005-07-01
Abstract: 개시된 본 발명에 의한 화상형성장치는, 구동기어를 갖춘 모터; 상기 모터의 구동기어와 치합되는 대기어부와 이 대기어부보다 직경이 작은 소기어부가 동축적으로 배치된 제 1 동력중계기어; 상기 제 1 동력중계기어의 소기어부와 전사롤러에 구비된 전사기어에 치합하도록 설치되어 상기 모터의 동력을 전사유닛으로 전달하는 동력전달기어; 상기 제 1 동력중계기어의 소기어부에 치합하는 기어부와 이 기어부보다 작은 직경을 가지는 풀리부가 동축적으로 배치된 제 2 동력중계기어; 및 상기 제 2 동력중계기어의 풀리부와 감광드럼에 구비된 드럼기어와의 사이에 설치되어 모터의 동력을 감광드럼으로 전달하는 동력전달벨트;로 구성되는 구동수단을 구비한다. 또한, 본 발명은 상기 동력전달벨트의 장력 조절을 위한 장력조절롤러가 상기 동력전달벨트의 내측 또는 외측에 설치된다.
Patent KR-100488174-B1 (KR)
Title: 퍼팅동작 교정을 위한 골프용 퍼터
IPC: A63B53/04
Filed: 2003-02-27
Granted: 2005-05-11
Abstract: 본 발명은, 사각의 블록 형상으로 된 몸체(2)와, 몸체 일측 외면에 퍼터의 헤드(1)에 결합되게 형성된 소켓부(3)와, 몸체(2) 내부에 직선부(41)와 이 직선부(41)의 양단을 연장하여 호형의 라운드부(42,43)가 형성된 말밥굽형의 유동액통로(4)와, 응집력이 큰 액체로 되어 유동액통로(4) 내에 수용된 유동액(5)을 포함하며, 상기 유동액(5)은 도전성이고 상기 유동액통로(4)의 직선부(41)와 라운드부(42,43)에는 각각 일정 간격을 두고 한쌍씩의 접속포인트(41a,42a,43a)가 설치되며, 이들 한쌍씩의 접속포인트(41a,42a,43a)는 각각 하나의 접속포인트가 몸체의 소켓부(3) 내에 구비된 접속핀(6)과 퍼터의 헤드(1) 상부에 구비된 발광소자 (R1,R2,R3)와 퍼터의 그립(G)에 구비된 스위치(S) 및 전지(B)와 전기적으로 연결됨과 함께 다른 하나의 접속포인트는 퍼터에 접지되어, 유동액의 위치에 따라 1쌍의 접속포인트가 전기적으로 접속되어 발광소자에서 빛을 발하도록 한 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100942840-B1 (KR)
IPC: G02F1/1337
Filed: 2003-04-26
Granted: 2010-02-18
Abstract: 본 발명은 러빙공정으로 인한 정전기를 방지할 수 있는 액정표시패널의 배향막 제조장치 및 그 방법에 관한 것이다. 
     본 발명에 따라 제1 및 제2 기판상에 배향막을 형성하기 위한 액정표시패널의 배향막 제조장치는, 배향물질을 공급하는 디스펜서와, 상기 디스펜서로부터 공급되는 상기 배향물질이 도포되어 회전하는 제1 롤러와, 상기 제1 롤러에 인접하여 회전하는 제2 롤러와, 상기 제2 롤러에 부착되어 상기 제1 롤러에 도포된 상기 배향물질을 상기 기판들 상으로 전사하는 배향마스크를 구비하고, 상기 배향마스크에는 상기 배향막의 배향방향을 결정하기 위해 홈이 형성되고, 상기 홈은 상기 제1 및 제2 기판 사이에 협지될 액정의 배열방향과 대응되도록 기울어진 것을 특징으로어 있는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100529172-B1 (KR)
Title: 자동차의 윈드 실드 글래스 사이드 몰딩 결합구조
IPC: B60R13/06
Filed: 2003-05-07
Granted: 2005-11-17
Abstract: 본 발명은 자동차의 윈드 실드 글래스 사이드 몰딩 결합구조에 관한 것이며, 상세하게는 루프 몰딩 일체형 윈드 실드 글래스의 사이드 몰딩 결합구조에 관한 것으로서, 사이드 몰딩의 체결강성을 향상하고, 작업이 간편하며, 윈드 노이즈를 저감할 수 있도록 한 것이다. 
     본 발명은, 브라켓(20)과 클립(30)으로 대별된다. 
     상기 브라켓(20)은 L형 단면으로 형성하여 윈드 실드 글래스(4)의 사이드가 위치되는 사이드 아웃터 패널(1)의 단턱(1')에 수개소를 리벳(21)으로 고정한 것이며, 상기 브라켓(20)의 수직부에는 일정간격으로 수개의 걸림편(22)을 형성하고, 상기 걸림편(22)의 양측에는 외측(윈드 실드 글래스 측)으로 절곡하여 사이드 아웃터 패널(1)과 일정간격(t)을 유지하는 지지편(23)(23')을 형성한 것이다. 
     상기 클립(30)은 플라스틱으로 그 단면을 대략 ㄱ형으로 형성하여 상부 수평부(31)에는 측면에 레인 거터(6)를 일체로 형성하고 스테인레스 스틸로 된 보강심(7)을 인서트한 사이드 몰딩(5)을 결합하며, 수직부(32)의 중앙에는 걸림턱(33)을 형성하며, 상기 걸림턱(33)의 양측에는 삽입편(34)(34')을 형성하여서, 상기 걸림턱(33)을 상기 브라켓(20)에 형성한 걸림편(22)에 걸어서 결합함과 동시에 상기 삽입편(34)(34')은 지지편(23)(23')에 삽입하여 결합한 것이다.
Patent KR-100521082-B1 (KR)
Title: 냉장고
IPC: F25D19/00
Filed: 2003-06-04
Granted: 2005-10-14
Abstract: 본 발명은 냉장고에 관한 것으로, 특히 증발기를 통과하는 공기의 유동저항이 줄어 냉기의 순환이 원활해지고 냉각효율이 향상될 뿐 아니라, 공기의 유동소음 및 냉기순환팬의 동작소음이 감소될 수 있도록 한 것이다. 
     본 발명에 따른 냉장고는 내부에 저장실이 형성된 본체와, 상기 저장실의 내측 후방에 상하방향으로 길게 배치되는 증발기와, 상기 증발기를 통과하는 냉기의 유로형성을 위해 상기 증발기의 전면을 덮도록 설치되는 구획판을 포함하며, 상기 증발기를 순환하는 공기가 상기 증발기의 전역에 걸쳐 분산 통과할 수 있도록 면적이 넓은 상기 증발기의 후면이 상기 본체의 내측 후면과 이격되고 상기 증발기의 전면이 상기 구획판과 이격된 상태로 설치되는 것이다.
Patent KR-100488880-B1 (KR)
Title: 자동차용 시트벨트 웨빙 가이드 장치
IPC: B60R22/34
Filed: 2003-06-05
Granted: 2005-05-11
Abstract: 본 발명은 자동차용 시트벨트 웨빙 가이드 장치에 관한 것으로서, 차체 필라 내측에 리트랙터로 감겨져 들어가는 웨빙의 귄입속도를 감속 시킬 수 있는 감속용 가이드 장치를 장착함으로써, 웨빙의 과권입 현상에 따른 록킹 현상을 방지할 수 있는 자동차용 시트벨트 웨빙 가이드 장치에 관한 것이다. 
     이를 위해 본 발명은 중앙부에 치형이 구비되어 있으며, 차체 필라 내측에 횡 방향으로 지지되는 제 1 회전축에 의해 회전 가능하게 장착되어 웨빙과 접촉에 따른 마찰력에 의해 회전되는 롤러와, 차체 필라 내측에 횡 방향으로 지지되는 제 2 회전축에 의해 회전 가능하게 장착되어 상기 롤러와 치합되는 기어와, 제 2 회전축에 의해 회전 가능하게 기어와 일체로 장착되어 연동되며 리트랙터로 감겨져 들어가는 웨빙의 권입속도를 감속시킬 수 있는 감속부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자동차용 시트벨트 웨빙 가이드 장치를 제공하고자 한다.
Patent KR-100525835-B1 (KR)
Title: 프롤린 유도체 및 그의 제조방법
IPC: C07D405/10
Filed: 2003-06-10
Granted: 2005-11-03
Abstract: 본 발명은 프롤린 유도체 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프롤린 유도체인 하기 화학식 1의 구조를 가지는 L-프롤린-d-토코페롤, 이를 제조하는 방법 및 이를 유효 성분으로 함유함을 특징으로 하는 화장료 조성물과 의약용 조성물에 관한 것이며, 본 발명에 의한 프롤린 유도체는 민감피부 개선, 아토피, 건성 등의 피부질환의 치료에 효과가 있다.  
     <화학식 1> 
     
       
     
     상기 R 1  내지 R 5 는 명세서상에 정의된 바와 같다.
Patent KR-100729146-B1 (KR)
IPC: C07C67/46
Filed: 2003-06-11
Granted: 2007-06-19
Abstract: 본 발명은 알킬케텐다이머로부터 생물 계면활성제의 일종인 2-알킬-3-하이드록시지방산 및 그 유도체를 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명은 알킬케텐다이머로부터 하기의 식으로 표시되는 2-알킬-3-히드록시산 및 그 유도체의 제조하는 방법에 있어서, 상기 방법은 수소 분위기에서 알킬케텐다이머의 수소화 반응에 따른 β-락톤의 형성하는 1 단계 반응과, 개환반응에 의한 2-알킬-3-히드록시 지방산의 제조 혹은 글루코스와 친핵체의 반응에 따른 2-알킬-히드록시 지방산의 유도체를 형성하는 2단계 반응으로 이루어진다: 
     (화학식 1) 
     
       
     
     (상기 식 중, R 1  및 R 2 는 각각 탄소수 4∼20의 직쇄 혹은 분지형 알킬기이고; R 3 는 히드록시, 글루코스, 또는 D-글루코사민이다.) 
     상기한 바와 같이, 본 발명은 알킬케텐다이머를 사용하여 수소화 반응을 통한 락톤의 형성, 이 후에 개환반응 혹은 친핵체와의 반응을 통하여 2-알킬-3-히드록시지방산 또는 그 유도체를 높은 수율로 용이하게 제조할 수 있는 방법을 제공하는 유용한 발명이다. 
     알킬케텐다이머, 생물 계면활성제
Patent KR-100486901-B1 (KR)
IPC: C02F1/461
Filed: 2003-06-12
Granted: 2005-05-03
Abstract: 본 발명은 보일러, 자동차 등 적어도 폐로를 따라 급수 또는 배수되는 물 또는 어항, 담수조 등 저수된 물을 알칼리성 환원수로 바꿔주며, 배관내에 스케일 형성되지 않도록 하는 수처리장치에 관한 것으로, 물이 유입되는 입구부와, 출구부를 가지는 하우징과; 상기 하우징에 내설되고, 내부의 유로를 통해 하우징에 유입된 물이 유입, 토출되게 하며, 단극전이를 발생하는 음극발생체와; 상기 음극발생체의 내벽과 이격 공간을 가지고 설치되며, 단위전위를 발생하는 전극셀과; 상기 음극발생체의 중앙을 관통하여 설치되는 결합부재와; 상기 결합부재의 외측으로 끼워지며 은과 동 합금으로 이루어진 코일과; 상기 결합부재의 단부에 결합되며, 하우징에 유입된 물의 흐름을 안내하는 유도체와; 상기 음극발생체와 전극셀의 간격을 유지시키고, 이들에서 발생하는 음전하를 전이시키는 간극조절부재; 로 구성된 기술적인 특징을 가지고 있다.
Patent KR-100556945-B1 (KR)
IPC: F04C18/02
Filed: 2003-06-12
Granted: 2006-03-03
Abstract: 본 발명은 스크롤 압축기에 관한 것으로, 선회 스크롤을 운동시키기 위하여 회전 구동을 하는 구동부와; 고정 스크롤과 선회 스크롤의 상대 운동에 의하여 토출 가스를 형성시키는 압축부와; 상기 구동부와 상기 압축부를 둘러싸고 있는 케이싱과; 토출 가스가 통과되는 고압부를 감싸도록 형성되어 고압부와 흡입 가스가 통과되는 저압부를 차단하도록 고정 스크롤의 외주면과의 결합이 면접촉이 되도록 형성된 상부 캡을; 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스크롤 압축기를 제공함으로서, 생산 공정에 따른 산포가 발생하지 않으며, 조립 공정의 간편화 및 친환경적인 작업 환경으로의 개선을 도모하며, 접촉면에 씰링부재를 삽입함에 의하여 토출 가스의 누설 여지를 보다 줄여주어 고압부에서의 토출력 증대 및 제품의 효율 향상에 기여하도록 한다. 
       
     스크롤 압축기, 차압 분리 구조, 볼트 체결, 면접촉, 씰링부재
Patent KR-100933449-B1 (KR)
Title: 액정 표시 패널의 구동 방법 및 장치
IPC: G09G3/36
Filed: 2003-06-24
Granted: 2009-12-23
Abstract: 본 발명은 게이트 로우 전압의 변동으로 인한 화질 저하를 최소화할 수 있는 액정 표시 패널의 구동 장치 및 방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 한 특징에 따른 액정 표시 패널의 구동 장치는 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차로 정의된 액정셀 매트릭스를 구비하는 액정 표시 패널의 구동 장치에 있어서, 상기 게이트 라인들 각각에 해당 제1 기간에서 게이트 하이 전압을 공급하고, 그 다음 제2 기간에서 다른 게이트 라인들과 독립되는 제1 게이트 로우 전압을, 그 다음 제3 기간에서 다른 게이트 라인들과 종속되는 제2 게이트 로우 전압을 공급하는 게이트 구동부를 구비한다.
Patent KR-100710167-B1 (KR)
IPC: G02F1/133
Filed: 2003-07-08
Granted: 2007-04-20
Abstract: 본 발명은 백 라이트 구동회로에 관한 것으로, 발광 램프를 구동하기 위한 인버터 회로를 갖는 고전압부를 구비한 직하형 백 라이트의 구동회로에 있어서, 상기 고전압부를 액정표시패널의 후방 양측에 분산 배치한 것이다. 
       
     백 라이트, 백 라이트 구동회로, 액정표시장치의 백 라이트 구동회로
Patent KR-100557234-B1 (KR)
IPC: B29C59/04
Filed: 2003-08-11
Granted: 2006-03-07
Abstract: 본 발명은 벽지나 가방지, 신발지, 기타 장식지 등으로 사용되는 연질의 합성수지지에 관한 것으로, 
     상,하 면접되어 회전하는 압착롤러의 표면에 경사상의 돌조와 요홈조를 연속하여 형성하고 그 압착롤러의 내부에는 가열히터를 내장하여, 상하 면접되어 회전하는 압착롤러의 사이에 삽입되는 시트상 합성수지지의 양면에, 경사상의 파형돌조와 요홈조가 각각 엇갈리게 형성되게 함으로서, 엠보싱과 통공이 전면에 고르게 형성된 합성수지지를 생산함으로서, 
     각종 장식지로서의 질감 및 미감을 크게 향상시키면서도 통기성이 우수한 특징을 갖게 되는 것이며, 양면의 엠보싱무늬에 의한 쿠션 역할은 물론 입체적인 표면 무늬에 의해 보다 고급스러운 이미지를 연출 할 수 있으면서도, 생산성이 뛰어나고 불량율이 거의 없으므로 매우 경제적인 효과가 있으며, 특히 사선의 장식무늬뿐만 아니라 직선 및 곡선의 상하 압착롤러에 의해 다양한 장식무늬를 성형할 수 있는 장식용 합성수지지 및 그 제조방법과 제조장치에 대한 것이다. 
       
     장식지, 압착롤러, 돌출조, 요홈조, 통공, 엠보싱, 히터
Patent KR-100575926-B1 (KR)
IPC: H04M1/57
Filed: 2003-08-23
Granted: 2006-05-02
Abstract: 본 발명은 휴대 단말기에서 통화수신 알림을 제어하는 방법이,  발신측 단말기에서 수신알림종류를 설정하여 통화를 요구하는 과정과; 상기 발신측 단말기로부터 통화요구가 수신되면, 기지국은 상기 발신측 단말기로부터 수신된 수신알림종류를 셋팅하여 상기 수신측 단말기로 통화를 요구하는 과정과; 상기 수신측 단말기에 통화 요구가 수신되면, 상기 수신측 단말기는 상기 발신측 단말기의 번호가 수신알림종류의 자동변경을 수행하도록 설정된 번호인지 판단하는 과정과; 상기 발신측 단말기의 번호가 수신알림종류의 자동변경을 수행하도록 설정된 번호이면, 상기 수신측 단말기는 상기 발신측 단말기로부터 수신된 수신알림종류와 상기 수신측 단말기에 설정된 수신알림종류를 비교하는 과정과; 상기 발신측 단말기로부터 수신된 수신알림종류와 상기 수신측 단말기에 설정된 수신알림종류가 일치하지 않으면, 상기 수신측 단말기는 상기 발신측 단말기로부터 수신된 수신알림종류로 변경하여 통화수신을 알리는 과정으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 
       
     수신알림종류 자동변경, 수신알림종류, 구분자, 폰 북
Patent KR-100541813-B1 (KR)
IPC: H01L21/02
Filed: 2003-09-09
Granted: 2006-01-10
Abstract: 본 발명은 반도체 설비의 배기장치에 관한 것으로서, 이를 위해 본 발명은 공정 챔버(10)측 배기 라인(20)으로부터 일측으로 인출되어 메인 배기 라인(30)과 연통 가능하게 연결되는 분기관부재(40)와; 상기 분기관부재(40)의 내경을 단차지게 한 걸림턱부(41)에 주면을 따라 이탈방지되게 삽입되도록 한 실링부재(50)와; 상기 실링부재(50)보다는 큰 외경을 가지며, 상기 실링부재(50)에 밀착 가능하게 고정핀수단(70)에 의해 핀결합되도록 하는 개폐판부재(60)로서 이루어지는 구성인 바 웨이퍼 언로딩을 위한 공정 챔버의 게이트 도어가 개방되기 직전에 배기 라인(20)의 일측으로 구비되도록 한 분기관부재(40)를 통해 잔류 반응 가스와 이물질들의 배기가 이루어지게 함으로써 게이트 도어 개방 시의 유동성 가스 유출에 따른 환경 공해와 게이트 도어측 O링에의 폴리머 흡착을 방지하고, 잦은 전체의 설비 가동 중단을 예방함으로써 생산성이 향상되도록 하면서 청결한 작업 환경이 안정되게 유지되도록 하는데 특징이 있다. 
       
     공정 챔버, 배기장치, 진공 펌프, 퍼지
Patent KR-100534948-B1 (KR)
Title: 자동차용 헤드레스트의 목부상 방지장치
IPC: B60N2/48
Filed: 2003-09-23
Granted: 2005-12-08
Abstract: 본 발명은 자동차용 헤드레스트의 목부상 방지장치에 관한 것으로서, 후방 추돌 사고시에 탑승자의 목부상을 방지하기 위해 별도의 하중전달수단과, 와이어링크수단을 머리지지수단에 서로 연계시켜 작동시키는 탑승자 신체의 반력을 이용하는 능동 제어형 헤드레스트 장치를 적용함으로써, 탑승자의 머리가 뒤로 젖혀져 목의 관절이 손상되는 것을 방지할 뿐만 아니라 정해진 시트백 내부공간을 충분히 활용할 수 있는 자동차용 헤드레스트의 목부상 방지장치에 관한 것이다.
Patent KR-101006858-B1 (KR)
IPC: H01M50/136
Filed: 2003-09-23
Granted: 2011-01-12
Abstract: 본 발명은 포장(packing)에 수반하는 용적 증가를 최소한으로 줄인 전지팩을 제공한다. 전지소자가 포장체 내에 수납되고 밀폐되며, 접속기판 및 프레임과 함께 상기 포장체에 의해 포장된다. 전지소자를 밀폐하기 위해 사용되는 적층재료는 전지팩의 외장재로서도 사용된다.
Patent KR-100972936-B1 (KR)
IPC: G02F1/13357
Filed: 2003-09-30
Granted: 2010-07-28
Abstract: 본 발명은 액정표시장치 램프 하우징의 상측은 수평 구조로 하고 하측을 수평 또는 Z 밴딩 처리함으로써, 난반사에 의한 휘선 발생을 방지할 수 있는 액정표시장치를 개시한다. 개시된 본 발명은 액정표시장치의 광학 시트들, 도광판, 램프 및 반사판으로 구성된 백라이트 어셈블리, 메인 프레임, 하부 커버 및 탑 케이스들이 조립된 액정표시장치에 있어서, 상기 도광판에 광을 입사시키기 위하여 램프를 고정하는 램프 하우징은 상기 도광판 입광부 영역의 상하측을 수평하게 고정시킬 수 있도록  'ㄷ' 구조 형성하여, 상기 도광판 입광부에서 난반사가 발생하지 않도록 하는 것을 특징으로 한다. 
     여기서, 상기 램프 하우징에 결합력을 인가할 수 있도록 하는 상기 하부 커버의 구조는 상기 램프 하우징의 하측 부분과 맞닿는 수평 구조로 되어 있고, 상기 램프 하우징의 상부 내측은 상기 도광판의 상측과 동일한 평면을 이루져 있는 것을 특징으로 한다. 
       
     휘선, 램프 하우징, 단차, 도광판, 요철 형상
Patent KR-100544230-B1 (KR)
IPC: G06Q10/00
Filed: 2003-10-24
Granted: 2006-01-23
Abstract: 본 발명은 멀티 에이전트 기반의 예술 치료 서비스 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.  특히 이 시스템은 사용자측 멀티 에이전트부와 서버측 멀티 에이전트부를 포함한다.  사용자측 멀티 에이전트부는 사용자를 인식하고 센서로부터 사용자 신체 상태와 주변 환경 상태를 감지하여 서버측에 예술 치료 서비스를 의뢰하고, 서버측에서 결정한 치료 처방인 예술 작품들을 재생한다.  서버측 멀티 에이전트부는 예술 치료 서비스를 의뢰한 사용자에 대한 인증을 수행하고, 사용자 신체 상태와 환경 상태 및 사용자 프로파일 정보를 사용하여 예술 치료 처방을 결정하고 사용자측 멀티 에이전트부로 전달한다.  본 발명에 따르면 다양한 하드웨어 시스템에서 변경 없이 동작할 수 있고, 전체 코드의 변경 없이 에이전트의 추가 및 삭제로 시스템의 기능을 확장하거나 축소할 수 있고, 또한, 사용자의 현재 신체 상태와 주변 환경 상태를 감지하여 예술 처방을 결정하는 유비쿼터스 서비스를 제공함으로써 보다 정밀하고 신속한 사용자의 치료 효과를 기대할 수 있다. 
       
     예술 치료 서비스, 멀티 에이전트, 유비쿼터스, 예술 처방
Patent KR-100571913-B1 (KR)
IPC: G03G15/00
Filed: 2003-10-28
Granted: 2006-04-17
Abstract: 개시된 스캐닝 장치는, 스캔 글래스를 구비하고 원고로부터 화상정보를 읽어들이는 독취수단과, 스캔 글래스에 접촉되어 회전되면서 그 사이로 원고를 이송시키는 화이트 롤러와, 화이트롤러의 외주에 압접되어 화이트 롤러로부터 회전력을 전달받아 회전되면서 독취수단을 통과한 원고를 배출하는 배출수단을 포함한다. 이와 같은 구성에 의해, 소형화되고 안정적인 화상정보 독취가 가능한 스캐닝 장치의 구현이 가능하다.
Patent KR-100588664-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2003-11-04
Granted: 2006-06-12
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 구리확산 방지막 형성방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 듀얼 다마신구조에서 이종의 금속막을 다층으로 적층함으로써 층간절연막과 구리배선과의 열팽창계수의 차이에 의해 발생하는 스트레스 마이그레이션 및 구리의 확산을 효과적으로 방지할 수 있는 확산방지막의 형성방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 반도체 소자의 구리확산 방지막 형성방법은 구리배선이 형성된 반도체 기판 상부에 비전도성 확산방지막과 층간절연막을 형성하는 단계; 상기 층간절연막에 듀얼 다마신 패턴을 형성하는 단계; 상기 듀얼 다마신 패턴에 제 1 구리확산 방지막을 형성하는 단계; 상기 제 1 구리확산 방지막 전면에 상기 제 1 구리확산 방지막에 비해 상기 구리배선과의 접착성이 우수한 제 2 구리확산 방지막을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 구리확산 방지막 전면에 구리배선층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 
     따라서, 본 발명의 반도체 소자의 구리확산 방지막 형성방법은 구리확산 방지막 전면에 구리배선과의 접착성이 우수한 이종의 구리확산 방지막을 추가로 적층함으로써 구리배선층과의 접착성을 개선하고 SM에 기인한 보이드 결함을 방지하는 효과가 있다. 보다 자세하게는, 구리배선층과의 접착성이 우수한 이종의 구리확산 방지막을 종래의 구리확산 방지막 전면에 추가로 적층함으로써 구리확산 방지막의 역할과 함께 구리확산 방지막과 구리배선층과의 계면, 특히 비아 콘택 영역에서 발생하는 SM에 기인한 보이드 형성을 방지하고 따라서 하부 배선층과 상부 배선층의  단선에 따른 소자의 동작불능을 방지하는 효과가 있다. 
       
     듀얼다마신, 구리확산 방지막, 보이드, 스트레스 마이그레이션
Patent KR-100548570-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2003-11-12
Granted: 2006-02-02
Abstract: 본 발명은 반도체소자의 금속배선 형성 방법에 관해 개시한 것으로서, 셀영역과 페리영역이 정의된 반도체 기판을 제공하는 단계와, 기판 상에 플로팅게이트/유전체막/콘트롤게이트가 적층된 게이트 구조및 상기 게이트 구조 양측의 기판에 각각의 소오스/드레인을 각각 형성하는 단계와, 결과물 전면에 제 1옥사이드막 및 셀영역의 소오스, 드레인 및 페리영역의 게이트, 드레인과 대응된 부위에 듀얼다마신 트렌치 구조를 가진 제 2옥사이드막을 차례로 형성하는 단계와, 제 2옥사이드막의 트렌치를 매립시키는 제1확산방지막을 형성하는 단계와, 제 1확산방지막을 포함한 기판 전면에 제 1금속막을 형성하는 단계와, 제 1금속막 위에 셀영역의 소오스, 드레인 및 페리영역의 게이트, 드레인과 대응된 부위를 노출시키는 감광막 패턴을 형성하는 단계와, 감광막 패턴을 마스크로 하여 상기 제 1금속막 및 제 1확산방지막을 식각하여 금속 하드마스크를 형성하는 단계와, 감광막 패턴을 제거하는 단계와, 금속 하드마스크를 식각 베리어로 하고 상기 막들을 식각하여 셀영역의 소오스, 드레인 및 페리영역의 게이트, 드레인을 각각 노출시키는 콘택홀을 형성하되, 콘택홀에 의해 상기 게이트의 플로팅게이트가 노출되는 단계와, 콘택홀을 매립시키는 플러그를 형성하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100536669-B1 (KR)
Title: 영상시스템 휴대 및 설치용 케이스
IPC: B60R11/02
Filed: 2003-11-17
Granted: 2005-12-14
Abstract: 본 발명은 영상시스템 휴대 및 설치용 케이스에 관한 것으로서, 영상재생기기(3)가 내장되는 케이스(100)와, 케이스(100)의 상부에 일측을 중심으로 회전 가능하게 형성되며, 내부에 디스플레이기기(4)가 내장되는 커버케이스(200)와, 커버케이스(200)와 케이스(100)를 상호 결합시키는 결합수단(300)과, 케이스(100)를 차량의 내부에 장착하는 장착벨트(400)를 포함한다. 따라서 케이스의 휴대가 간편하며, 케이스의 개방이 용이한 효과가 있다.
Patent KR-100559613-B1 (KR)
IPC: B60T7/10
Filed: 2003-12-03
Granted: 2006-03-10
Abstract: 본 발명은 자동차의 파킹 브레이크의 해제 장치에 관한 것으로, 브레이크 레버와, 상기 브레이크 레버에 일단이 연결되고 타단이 타이어를 구속하는 브레이크 드럼에 연결된 브레이크 케이블을 포함하는 자동차의 파킹 브레이크에 있어서, 상기 브레이크 케이블의 도중에 일단이 고정되는 해제케이블과; 상기 해제케이블의 타단이 연결되어 손잡이가 차체의 실 사이드의 외측으로 돌출되는 해제레버를 포함하여 구성하며, 상기 해제케이블의 일단은 링형으로 형성되어 상기 브레이크 케이블에 결합되고, 상기 해제레버는 상기 해제케이블의 타단이 연결되는 상단부가 절곡형성되어 상기 손잡이의 회전에 의해 브레이크 케이블의 장력이 조절되도록 함으로써 파킹 브레이크의 구속 상태를 해제시킴과 아울러 구속 상태로 회복할 수 있어 차량의 타이어가 구속된 상태에서 비상시에 차량의 외부에서 파킹 브레이크의 조작이 가능해지도록 한 것이다. 
       
     파킹 브레이크, 브레이크 케이블, 해제 케이블, 해제 레버
Patent KR-101002327-B1 (KR)
IPC: G02F1/13
Filed: 2003-12-24
Granted: 2010-12-17
Abstract: 본 발명은 리프트 핀의 헤드를 사전 열처리하여, 챔버 내에 기판 유입 후 상기 리프트 핀의 헤드와 닿는 기판의 배면에 손상을 끼치지 않고 플라즈마 공정을 진행시킬 수 있는 플라즈마 화학 기상 증착 장비에 관한 것으로,  가스 주입구와 배기구를 갖는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 형성된 반응물이 증착되는 기판과, 상기 기판이 안치되는 기판 접촉 영역 및 상기 기판 접촉 영역의 외곽에 기판 비접촉 영역을 갖는 서셉터와, 상기 기판의 배면과 접촉되는 헤드가 사전 열처리로 기판 대비 경도가 저하된 알루미늄 합금으로 이루어진 리프트 핀과, 상기 기판 상부면의 가장 자리를 덮으며 각 모서리 하부에 하부 방향으로 상기 서셉터의 기판 비접촉 영역과 대응되는 섀도우 프레임을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다. 
       
     경도, 리프트 핀, 중앙 골프 티(Center Golf Tee), 서셉터(susceptor)
Patent KR-100520400-B1 (KR)
Title: 이중 안테나를 구비하는 대기압 플라즈마 발생장치
IPC: H05H1/46
Filed: 2003-12-26
Granted: 2005-10-11
Abstract: 본 발명은 이중 안테나를 구비한 대기압 플라즈마 발생장치에 관한 것으로, 전원 공급원으로부터 임피던스 정합기를 통해 제공되는 교류 전원의 위상을 반전/비반전 시켜 각각 출력하는 위상 반전/비반전 회로와 비반전된 위상의 교류 전원을 제공받는 제1 안테나와 반전된 위상의 교류 전원을 제공 받는 제2 안테나 및 제1 안테나와 제2 안테나 사이에 소정 간격을 두고 배치되는 제1 및 제2 유전체를 구비하고, 제1 및 제2 안테나 상호간 발생되는 제1 전기장에 의해 플라즈마 방전이 이루어지고, 제1 및 제2 안테나에 의해 유도되는 자기장으로부터 다시 유도되는 제2 전기장에 의해 이온 입자가 가속된다.  대기압 플라즈마 발생 장치는 이중 안테나를 이용하여 플라즈마 방전을 위한 전기장과 가속을 위한 전기장을 동시에 발생하고, 가속을 위한 전기장이 유전체에 수평으로 회전하는 방향으로 발생함으로서 이온 입자들이 유전체에 수직으로 충돌하는 것을 막아 유전체의 수명을 길게 하고 고전압의 사용을 가능하게 하여 고밀도의 플라즈마를 얻을 수 있다.
Patent KR-100588658-B1 (KR)
IPC: H01L21/265
Filed: 2003-12-31
Granted: 2006-06-12
Abstract: 본 발명은 반도체 장치의 모스 트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로, 반도체 기판의 표면을 열산화하여 게이트 절연막 형성용 산화막을 형성하는 단계와, 산화막 상부에 게이트 형성용 폴리실리콘층을 증착하는 단계와, 폴리실리콘층 상에 포토레지스트를 도포한 후 게이트를 정의하는 노광마스크를 사용한 노광 및 현상을 실시하여 게이트 형성영역을 덮는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 포토레지스트 패턴으로 보호되지 않는 게이트 형성용 폴리실리콘층 및 게이트절연막 형성용 산화막을 건식 식각하여 제거함으로써 게이트 패턴을 형성하는 단계와, 인-시투(in-situ)로 NO 또는 N 2 O 가스를 이용하는 질소 분위기의 어닐링 공정을 수행하여 불순물의 외부 확산을 차단하기 위한 질화 산화막을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 고온의 어닐링 과정에서 발생되는 불순물의 외부 확산을 방지할 수 있는 바, 공정 신뢰도와 전체 수율을 높일 수 있는 효과가 있다. 
       
     LDD, 어닐링(annealing)