Patent DE-112015005349-B4 (DE)
Title: Vorrichtung für elastische Wellen
Inventor: IWAMOTO HIDEKI
IPC: H03H9/02
Filed: 2015-10-22
Granted: 2023-05-04
Abstract: Vorrichtung für elastische Wellen (1), die einen piezoelektrischen Film enthält, umfassend:ein Material mit hoher Schallgeschwindigkeit (7), in dem eine Schallgeschwindigkeit einer Volumenwelle, die sich durch das Material mit hoher Schallgeschwindigkeit ausbreitet, höher ist als die einer elastischen Welle, die sich durch den piezoelektrischen Film ausbreitet, undeinen Film mit niedriger Schallgeschwindigkeit (8), der auf das Material mit hoher Schallgeschwindigkeit laminiert ist und in dem eine Schallgeschwindigkeit einer Volumenwelle, die sich durch den Film mit niedriger Schallgeschwindigkeit ausbreitet, geringer ist als die der elastischen Welle, die sich durch den piezoelektrischen Film ausbreitet,wobei der piezoelektrische Film (9) auf den Film mit niedriger Schallgeschwindigkeit laminiert ist undwobei eine IDT-Elektrode (3) auf einer Fläche des piezoelektrischen Films ausgebildet ist,wobei die IDT-Elektrode (3) enthält: eine erste Sammelschiene (11), eine zweite Sammelschiene (12), die von der ersten Sammelschiene getrennt angeordnet ist, mehrere erste Elektrodenfinger (13), deren proximale Enden elektrisch mit der ersten Sammelschiene (11) verbunden sind und deren distale Enden sich in Richtung der zweiten Sammelschiene (12) erstrecken, und mehrere zweite Elektrodenfinger (14), deren proximale Enden mit der zweiten Sammelschiene (12) verbunden sind und deren distale Enden sich in Richtung der ersten Sammelschiene (11) erstrecken,wobei, wenn eine Richtung, die orthogonal zu einer Richtung verläuft, in der sich die ersten Elektrodenfinger (13) und die zweiten Elektrodenfinger (14) erstrecken, als eine Breitenrichtung definiert ist, die ersten Elektrodenfinger (13) oder die zweiten Elektrodenfinger (14) oder die ersten Elektrodenfinger und die zweiten Elektrodenfinger (13, 14) mit Elektrodenfingern versehen sind, die einen Abschnitt mit großer Breite (13a-d, 14a-d) enthalten, wobei die Abschnitte mit großer Breite eine Abmessung in der Breitenrichtung haben, die größer ist als eine Abmessung der Elektrodenfinger in der Mitte davon in der Längsrichtung, wobei die Abschnitte großer Breite (13a-d, 14a-d) in einer Überschneidungsregion der Elektrodenfinger (13, 14) näher zu zumindest einem von dem proximalen Ende und dem distalen Ende angeordnet sind als eine mittlere Region (V1),wobei mindestens eine der ersten Sammelschiene (11) und der zweiten Sammelschiene (12) mehrere Hohlräume (15) hat, die in einer Längsrichtung der ersten Sammelschiene (11) oder der zweiten Sammelschiene (12) verteilt sind, undwobei die erste Sammelschiene (11) und die zweite Sammelschiene (12) jeweils einen inneren Sammelschienenabschnitt (11A) enthalten, der näher zu einer Seite der ersten Elektrodenfinger (13) oder einer Seite der zweiten Elektrodenfinger (14) positioniert ist als die Hohlräume (15) und der sich in der Längsrichtung der ersten Sammelschiene (11) und der zweiten Sammelschiene (12) erstreckt, einen mittleren Sammelschienenabschnitt (11B), der die Hohlräume (15) hat, und einen äußeren Sammelschienenabschnitt (11C), der gegenüber dem inneren Sammelschienenabschnitt (11A) positioniert ist, während der mittlere Sammelschienenabschnitt (11B) dazwischen angeordnet ist.