Patent DE-202021004363-U1 (DE)
Title: Teilchenstrahlgerät zum Erzeugen eines Bildes eines Objekts und/oder einer Darstellung von Daten über das Objekt, sowie Computerprogrammprodukt zum Erzeugen des Bildes des Objekts und/oder der Darstellung von Daten über das Objekt
IPC: H01J37/28
Filed: 2021-05-28
Abstract: Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) zur Erzeugung eines Bildes eines Objekts (125, 425) und/oder einer Darstellung von Daten über das Objekt (125, 425), mit- mindestens einem Strahlerzeuger (101, 301, 402) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls mit geladenen Teilchen;- mindestens einem beweglich ausgebildeten Objekthalter (114, 122, 424) zum Halten und Positionieren des Objekts (125, 425);- mindestens einer Funktionseinheit (101, 102, 103, 104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 116A, 117, 118, 119, 121, 122, 301, 302, 303, 304, 306, 307, 308, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 419, 420, 421, 422, 423, 424, 428, 429, 432, 500) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400);- mindestens einer Steuereinheit (123) zur Ansteuerung der Funktionseinheit (101, 102, 103, 104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 116A, 117, 118, 119, 121, 122, 301, 302, 303, 304, 306, 307, 308, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 419, 420, 421, 422, 423, 424, 428, 429, 432, 500);- mindestens einer Führungseinheit (104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 115, 116A, 118, 119, 303, 304, 306, 307, 308, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 420, 421, 422, 423, 429, 432) zum Führen des Teilchenstrahls auf das Objekt (125, 425);- mindestens einem ersten Detektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) zur Detektion von Wechselwirkungsteilchen, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) beim Auftreffen des Teilchenstrahls auf das Objekt (125, 425) hervorgehen;- mindestens einem zweiten Detektor (500) zur Detektion von Wechselwirkungsstrahlung, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (125, 425) beim Auftreffen des Teilchenstrahls auf das Objekt (125, 425) hervorgeht;- mindestens einer Anzeigeeinheit (124) zum Anzeigen eines Bildes des Objekts (125, 425) und/oder einer Darstellung von Daten über das Objekt (125, 425), wobei das Bild und/oder die Darstellung basierend auf Detektionssignalen erzeugt werden/wird, welche durch das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselstrahlung generiert werden; und mit- mindestens einem Prozessor (123), in den ein Computerprogrammprodukt mit einem Programmcode geladen ist, der bei Ausführung das Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) derart steuert, dass ein Verfahren zum Erzeugen des Bildes des Objekts (125, 425) und/oder der Darstellung von Daten über das Objekt (125, 425) mit dem Teilchenstrahlgerät (100, 200, 400) durchgeführt wird, wobei das Verfahren eine erste Gruppe von Verfahrensschritten und eine zweite Gruppe von Verfahrensschritten umfasst, wobei- die erste Gruppe von Verfahrensschritten die folgenden Verfahrensschritte aufweist:(i) Auswählen eines Abbildungsmodus des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) unter Verwendung der Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400);(ii) Laden eines ersten Steuerparameterwertes eines Steuerparameters zur Ansteuerung mindestens der Funktionseinheit (101, 102, 103, 104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 116A, 117, 118, 119, 121, 122, 301, 302, 303, 304, 306, 307, 308, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 419, 420, 421, 422, 423, 424, 428, 429, 432, 500) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) aus einer Datenbank (126) in die Steuereinheit (123);(iii) Ansteuern der Funktionseinheit (101, 102, 103, 104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 116A, 117, 118, 119, 121, 122, 301, 302, 303, 304, 306, 307, 308, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 419, 420, 421, 422, 423, 424, 428, 429, 432, 500) mit dem geladenen ersten Steuerparameterwert des Steuerparameters unter Verwendung der Steuereinheit (123);(iv) Führen des Teilchenstrahls des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) auf das Objekt (125, 425) unter Verwendung der Führungseinheit (104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 115, 116A, 118, 119, 303, 304, 306, 307, 308, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 420, 421, 422, 423, 429, 432) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400);(v) Detektieren von Wechselwirkungsteilchen mit dem ersten Detektor (116, 117, 119, 121, 419, 428) des Teilchenstrahlgeräts;(vi) Erzeugen von ersten Detektionssignalen basierend auf den detektierten Wechselwirkungsteilchen unter Verwendung des ersten Detektors (116, 117, 119, 121, 419, 428);(vii) Erzeugen des Bildes des Objekts (125, 425) mit der Steuereinheit (123) unter Verwendung der ersten Detektionssignale; sowie(viii) Anzeigen des Bildes des Objekts (125, 425) mit der Anzeigeeinheit (124) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400); und wobei- die zweite Gruppe von Verfahrensschritten die folgenden Verfahrensschritte aufweist:(ix) Auswählen eines Analysemodus des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) unter Verwendung der Steuereinheit (123);(x) Laden eines zweiten Steuerparameterwertes des Steuerparameters zur Ansteuerung der Funktionseinheit (101, 102, 103, 104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 116A, 117, 118, 119, 121, 122, 301, 302, 303, 304, 306, 307, 308, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 419, 420, 421, 422, 423, 424, 428, 429, 432, 500) aus der Datenbank (126) in die Steuereinheit (123);(xi) Ansteuern der Funktionseinheit (101, 102, 103, 104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 116A, 117, 118, 119, 121, 122, 301, 302, 303, 304, 306, 307, 308, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 419, 420, 421, 422, 423, 424, 428, 429, 432, 500) mit dem geladenen zweiten Steuerparameterwert des Steuerparameters unter Verwendung der Steuereinheit (123);(xii) Führen des Teilchenstrahls des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) auf das Objekt (125, 425) unter Verwendung der Führungseinheit (104, 105, 106, 107, 108, 108A, 109, 110, 111, 112, 113, 115, 116A, 118, 119, 303, 304, 306, 307, 308, 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 420, 421, 422, 423, 429, 432);(xiii) Detektieren von Wechselwirkungsstrahlung mit dem zweiten Detektor (500) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400);(xiv) Erzeugen von zweiten Detektionssignalen basierend auf der detektierten Wechselwirkungsstrahlung unter Verwendung des zweiten Detektors (500);(xv) Erzeugen der Darstellung von Daten über das Objekt (125, 425) mit der Steuereinheit (123) unter Verwendung der zweiten Detektionssignale; sowie(xvi) Anzeigen der Darstellung von Daten über das Objekt (125, 425) mit der Anzeigeeinheit (124).