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Patent DE-102019003322-A1 (DE)
Title: System und Vorrichtung zum Starten eines Flugkörpers
Inventor: GERNERT HERIBERT
IPC: F41F3/04
Filed: 2019-05-10
Abstract: Eine Startvorrichtung zum Starten eines Flugkörpers umfasst ein sich in einer Längsrichtung erstreckendes Startrohr zur Aufnahme des Flugkörpers, welches an einem ersten Ende eine Austrittsöffnung aufweist, und eine im Bereich eines zweiten Endes des Startrohrs angeordnete Beschleunigungseinrichtung mit einem Gasgenerator, der zur Erzeugung eines Gasmassenstroms aktivierbar ist, und einem aus einem textilen Gewebe gebildeten Sack, welcher mit einer Endöffnung an einen Diffusor des Gasgenerators gekoppelt und durch den mittels des Gasgenerators erzeugbaren Gasmassenstrom zur Beschleunigung des Flugkörpers entlang der Längsrichtung aufblasbar ist. Der Sack weist eine Gasdurchlässigkeit in einem Bereich zwischen 10 I dm-2min-1und 30 I dm-2min-1auf. Alternativ oder zusätzlich verjüngt sich in einem aufgeblasenen Zustand ein Querschnitt des Sacks von der Endöffnung aus entlang der Längsrichtung bis auf einen minimalen Querschnitt und vergrößert sich bis zu einem entgegengesetzt zu der Endöffnung gelegenen Ende wieder.
Patent DE-102019003491-A1 (DE)
Title: Prüfung der Koerzitivfeldstärke von Magnetpigmenten
Inventor: GIERING THOMAS
IPC: G01R33/12
Filed: 2019-05-16
Abstract: Die Erfindung betrifft die Prüfung der Koerzitivfeldstärke von Magnetpigmenten von flächigen Proben, z. B. von Wertdokumenten, die ein magnetisches Sicherheitselement aufweisen. Nach einem Aufmagnetisieren der flächigen Probe bis zur Sättigung wird ein erstes Gegenmagnetisieren der Magnetpigmente durch eine Magnetisiereinrichtung durchgeführt, bei dem die Magnetpigmente in einem ersten Magnetisierungsabstand von dem Magneten der Magnetisiereinrichtung teilweise gegenmagnetisiert werden. Anschließend erfolgt eine erste Messung eines ersten Magnetisierungswerts der teilweise gegenmagnetisierten Magnetpigmente. Gegebenenfalls wird das teilweise Gegenmagnetisieren für einen weiteren Magnetisierungsabstand erneut durchgeführt und ein weiterer Magnetisierungswert gemessen. Die gemessenen Magnetisierungswerte werden von der Messeinrichtung an eine Prüfeinrichtung übermittelt. Die Prüfeinrichtung prüft die Magnetisierungswerte der teilweise gegenmagnetisierten Magnetpigmente zur Ermittlung eines Prüfergebnisses, das die Koerzitivfeldstärke der Magnetpigmente betrifft und übermittelt das die Koerzitivfeldstärke betreffende Prüfergebnis an eine mit der Prüfeinrichtung verbundene Ausgabeeinrichtung.
Patent DE-102019003836-A1 (DE)
Title: Flachmaterial mit körniger Oberschicht
Inventor: KISCHA LARS
IPC: E04D5/12
Filed: 2019-06-03
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Flachmaterial förmiges Baumaterial oder Schleifmittel mit einem flachen Trägermaterial, auf dessen Oberseite eine körnige Schicht befestigt ist, wobei auf der Oberseite des Trägermaterials eine Schicht aus Polyurethan angeordnet ist, in der die Körner der körnigen Schicht eingebettet sind.
Patent DE-102019004230-A1 (DE)
Title: Elektromagnetische Vorrichtung, die eine Lagerstruktur für einen Eisenkern umfasst
Inventor: KOBAYASHI SHOUHEI
IPC: H01F27/26
Filed: 2019-06-13
Abstract: Eine elektromagnetische Vorrichtung umfasst: einen Außenumfangseisenkern; zumindest drei Eisenkernschenkelabschnitte; und Spulen, wobei jeder der Eisenkernschenkelabschnitte derart angelegt ist, dass ein Endabschnitt der Spule durch den Außenumfangseisenkern in der Art eines Auslegers gelagert und magnetisch an den Außenumfangseisenkern gekoppelt wird, während der andere Endabschnitt magnetisch an die anderen Endabschnitte der anderen Eisenkernschenkelabschnitte gekoppelt wird, und eine Basis, die eine Öffnung zur Beherbergung eines Abschnitts der Spulen und zum Halten des Außenumfangseisenkerns bei einer Position auf einer vorbestimmten Höhe über der Montageoberfläche und eine Lagerstruktur umfasst, die in Kontakt mit den anderen Endabschnitten der Eisenkernschenkelabschnitte angelegt ist und die die Eisenkernschenkelabschnitte auf einer vorbestimmten Höhe über der Montageoberfläche lagert.
Patent DE-102019004662-A1 (DE)
Title: Komprimierbarer, UV- oder thermisch aktivierbarer (semi-) struktureller Klebefilm mit Farbumschlag jeweils nach Aktivierung und Aushärtung
Inventor: FRIEDLAND RUBEN
IPC: C09J7/22
Filed: 2019-07-05
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen wickel-und stanzbaren klebenden Film umfassend eine durch UV-Strahlung oder auch thermisch aktivierbare Klebmasse auf Epoxidbasis mit einem in die Klebmasse eingemischten Füllstoff zur Erzeugung eines im unausgehärteten Zustand kompressiblen Klebefilms, welcher somit in diesem Stadium einen Toleranzausgleich ermöglicht.
Patent DE-102019005875-A1 (DE)
Title: Versorgungssystem zur Versorgung eines medizinischen Gerätes
Inventor: BEHLER MAXIMILIAN
IPC: A61G10/00
Filed: 2019-08-22
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Versorgungssystem (1a; 1b; 1c) zur Versorgung eines medizinischen Gerätes, aufweisend mehrere Versorgungsanschlüsse (3 - 8) zur Bereitstellung verschiedener Versorgungsmedien, einen Grundkörper (2) mit Anschlusspositionen zur vordefinierten Positionierung der Versorgungsanschlüsse (3 - 8) am Grundkörper (2), wobei der Grundkörper (2) ferner mehrere Außenwandabschnitte (9 - 12) und wenigstens einen Verbindungsabschnitt (13 - 16), an welchen wenigstens zwei Außenwandabschnitte (9 - 12) angrenzen, aufweist, und wobei der wenigstens eine Verbindungsabschnitt (13 - 16) einen Befestigungsabschnitt mit wenigstens einer Hinterschneidung (17 - 24) aufweist und der Befestigungsabschnitt zum Befestigen von wenigstens einem Anbauteil (50) am Grundkörper (2) mittels der wenigstens einen Hinterschneidung (17 - 24) ausgestaltet ist.
Patent DE-102019007314-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von Spiralläufen
Inventor: MILOSIU JOHANN-MARIUS
IPC: B23P13/00
Filed: 2019-10-21
Abstract: Die vorliegende Erfindung ermöglicht eine preiswerte Herstellung von Spiralläufen in zylindrischer Hülle mit der gewünschten Steigung und gewährleistet eine hohe Genauigkeit der Spirale. Dafür werden die Scheiben entlang eines radialen Schnitts mit der jeweils benachbarten Scheibe verbunden. Das Gebilde wird nach dem Verbinden auseinander gezogen, bis die gewünschte Steigung der Spirale erreicht ist und danach in einem Zylinder aus demselben Material wie die Scheiben eingebunden. Damit die Scheiben in der richtigen Lage zueinander korrekt positioniert sind, existieren regelmäßig an dem Umfang der Scheiben angebrachte Zacken, die auf Stützpfeiler einer Vorrichtung angelehnt sind; dabei sind die Stützpfeiler fest an einer Basisplatte montiert. Nach dem Verbinden von 2 Scheiben werden 2 parallelen Rahmen versetzt zur nächsten Verbindungsstelle zwischen Scheiben und halten diese Scheiben in der richtigen Position.Am Ende erfolgt die Befestigung der spiralförmig angeordneten Scheiben in einem umhüllenden Zylinder und werden dadurch verbunden, daß die Zacken einzelnen Scheiben durch geeignet angeordneten Aussparungen im Zylinder mit diesem verbinden, wie z.B. durch schweißen. Zu diesem Zweck ist der Zylinder mit einem Längsschlitz versehen, der das Einführen der Scheiben durch auseinander ziehen der Hülle erlaubt.
Patent DE-102019007499-A1 (DE)
Title: Steuerbare Antriebsvorrichtung für ein Land-, Wasser- und/oder Luftfahrzeug auf Basis einer druckgasbasierten Energiewandlungseinrichtung, welche das Prinzip des doppelt wirkenden hydraulisch-pneumatischen Tandemzylinders nutzt
Inventor: TRÄNKL GEORG
IPC: F04B35/02
Filed: 2019-10-28
Abstract: Eine steuerbare Antriebsvorrichtung für ein Land-, Wasser- und/oder Luftfahrzeug ist so ausgelegt, dass sie auf Basis einer druckgasbasierten Energiewandlungseinrichtung arbeitet, welche das Prinzip des doppelt wirkenden hydraulisch-pneumatischen Tandemzylinders nutzt. Die Antriebsvorrichtung für das Land-, Wasser- und/oder Luftfahrzeug weist einen durch Flüssigkeitsströmung angetriebenen Motor auf. Die Flüssigkeitsströmung zum Antreiben des Motors wird durch die genannte druckgasbasierte Energiewandlungseinrichtung bereitgestellt. Die Antriebsvorrichtung weist ferner eine Steuerungseinrichtung auf, welche so eingerichtet und ausgelegt ist, dass ein Führer und/oder eine Führerautomatik des Land-, Wasser- und/oder Luftfahrzeuges mittels der Steuerungseinrichtung eine Triebkraft des Motors steuern kann, indem durch die Steuerungseinrichtung während eines laufenden Betriebs des Motors ein Ventil oder mehrere Ventile in der genannten druckgasbasierten Energiewandlungseinrichtung derart gesteuert werden kann bzw. können, dass eine aktive Druckgaszufuhr von außen in eine bei einem Arbeitstakt des doppelt wirkenden hydraulisch-pneumatischen Tandemzylinders mit Druckgas zu beaufschlagende Kammer (160, 165) bereits beendet werden kann, bevor ein die genannte Kammer (160, 165) begrenzender und durch das Druckgas bewegter Kolben (158, 162) an einen seine Bewegungsstrecke mechanisch begrenzenden Anschlag gelangt, wobei sich der genannte Kolben (158, 162) nach Abschaltung der aktiven Druckgaszufuhr von außen dann nur noch unter einem Einfluss des bereits in die Kammer (160, 165) eingefüllten Druckgases in Richtung des die Bewegungsstrecke des Kolbens (160, 165) mechanisch begrenzenden Anschlags bewegt.
Patent DE-102019008075-A1 (DE)
Title: Stromrichterschaltung
Inventor: SCHÄFFLER MARTIN
IPC: H02M7/48
Filed: 2019-11-21
Abstract: Eine Stromrichterschaltung (1) weist ein erstes Schaltelement (S1) und zweites Schaltelement (S2) auf, sowie eine Steuereinheit (4), die dazu eingerichtet ist, das erste und das zweite Schaltelement (S1, S2) abwechselnd zu schalten, sodass ein Einschaltzeitraum des zweiten Schaltelements (S2) innerhalb eines Ausschaltzeitraums des ersten Schaltelements (S1) liegt.Um ein verbessertes Konzept für einen Stromwandler anzugeben, welches Schäden an mit der Stromrichterschaltung gekoppelten elektrischen Geräten und Bauelementen verhindert, ist folgendes vorgesehen:Die Stromrichterschaltung (1) weist eine Messeinrichtung auf, die dazu eingerichtet ist, eine Temperatur des ersten Schaltelements (S1) zu bestimmen und die Steuereinheit (4) ist dazu eingerichtet, eine Verriegelungszeit zwischen einem Ausschalten des ersten Schaltelements (S1) und einem Einschalten des zweiten Schaltelements (S2) abhängig von der bestimmten Temperatur zu verändern. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Kraftfahrzeug mit einem Elektromotor (3) und einer Motorsteuerung für den Elektromotor (3), wobei die Motorsteuerung eine entsprechende Stromrichterschaltung (1) aufweist.
Patent DE-102019100667-A1 (DE)
Title: Hybridfahrzeugsystem
Inventor: MILLER KENNETH JAMES
IPC: B60W20/13
Filed: 2019-01-11
Abstract: Ein Fahrzeug beinhaltet eine elektrische Maschine, einen lösbaren Stapler und eine Steuerung. Der lösbare Stapler verfügt über eine Staplerbatterie, die elektrisch mit der elektrischen Maschine verbunden ist. Die Steuerung ist dazu programmiert, als Reaktion darauf, dass das Fahrzeug auf einer vorbestimmten Strecke fährt, Leistung zwischen der elektrischen Maschine und der Staplerbatterie zu übertragen, sodass eine Staplerbatterieladung an einem Ende der Strecke innerhalb eines gewünschten Bereichs ist.
Patent DE-102019106532-A1 (DE)
Title: Phenprocoumon-TTS
Inventor: TRENZ DIRK
IPC: A61P7/02
Filed: 2019-03-14
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein transdermales therapeutisches System zur kutanen Verabreichung von Phenprocoumon, umfassend eine wirkstoffundurchlässige Rückschicht, eine haftklebende Matrixschicht und gegebenenfalls eine wieder ablösbare Schutzschicht, wobei die haftklebende Matrixschicht Phenprocoumon und mindestens ein Matrixpolymer enthält, und wobei der Gehalt an Phenprocoumon im Matrixpolymer ≤ 7,5 Gew.-% beträgt. Durch die geringe Beladung wird sichergestellt, dass das System den Wirkstoff im Wesentlichen in hohen Abgaberaten abgibt, weil eine hohe thermodynamische Aktivität des Wirkstoffs erreicht wird. Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines entsprechenden transdermalen therapeutischen Systems.
Patent DE-102019111388-A1 (DE)
Title: Traktionslenkkompensation mit lenkdrehmomentüberlagerung
Inventor: DE PAULA EDUARDO GABRIEL
IPC: B62D5/04
Filed: 2019-05-02
Abstract: Ein System, das ein Traktionslenkereignis korrigiert beinhaltet einen Lenkradwinkel, der in eine Lenkradwinkelfunktion eingegeben wird, um eine Lenkradwinkelverstärkung zu identifizieren. Eine Lenkradgeschwindigkeit wird in eine Lenkradgeschwindigkeitsfunktion eingegeben, um eine Lenkradgeschwindigkeitsverstärkung zu identifizieren. Eine Fahrzeuggeschwindigkeit wird in eine Fahrzeuggeschwindigkeitsfunktion eingegeben, um eine Fahrzeuggeschwindigkeitsverstärkung zu identifizieren. Ein Antriebsmotordrehmoment wird in eine Motordrehmomentfunktion eingegeben, um eine Antriebsmotordrehmomentverstärkung zu identifizieren. Eine Fahrzeuggierrate wird in eine Gierratenfunktion eingegeben, um eine Gierratenverstärkung zu identifizieren. Die Verstärkungen werden alle multipliziert, um eine endgültige Verstärkung zu erhalten. Die endgültige Verstärkung wird einem Steuermodul zugeführt, das eine Lenkdrehmomentüberlagerung bestimmt, die erforderlich ist, um eine Drehmomentausgabe von einem elektrischen Servolenkmotor einzustellen.
Patent DE-102019113721-A1 (DE)
Title: Motorantriebsvorrichtung
Inventor: TAMATE MICHIO
IPC: H02M5/458
Filed: 2019-05-23
Abstract: Bereitstellen einer kompakten und kostengünstigen Motorantriebsvorrichtung, welche eine Gleichtakt-Stoßspannung reduzieren kann, die an einen Motor angelegt wird, ohne zwei Stoßspannungsunterdrückungsschaltungen bereitzustellen.
 Eine Motorantriebsvorrichtung (10) umfasst: einen PWM-Gleichrichter (21), welcher so konfiguriert ist, dass er einen Dreiphasen-Wechselstrom in einen Gleichstrom umwandelt und den Gleichstrom ausgibt; und einen PWM-Inverter (23), welcher so konfiguriert ist, dass er den Gleichstrom, der von dem PWM-Gleichrichter (21) ausgegeben wird, in einen Dreiphasen-Wechselstrom umwandelt und an einen Motor (14) liefert, wobei eine Stoßspannung, die an den Motor (14) angelegt wird, durch eine Gleichtakt-Stoßspannungsunterdrückungsvorrichtung (30) unterdrückt wird, die zwischen einer Dreiphasen-Wechselstromeingangsseite und einer Gleichstromausgangsseite des PWM-Gleichrichters (21) verbunden ist.
Patent DE-102019114212-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen einer Umverteilungsschaltkreisstruktur
Inventor: WANG PO-HAN
IPC: H01L21/311
Filed: 2019-05-28
Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen einer Umverteilungsschaltkreisstruktur, das die folgenden Schritte enthält, wird bereitgestellt. Eine leitfähige Durchkontaktierung wird ausgebildet. Eine lichtempfindliche dielektrische Schicht wird ausgebildet, um die leitfähige Durchkontaktierung zu bedecken. Die lichtempfindliche dielektrische Schicht wird teilweise entfernt, um die leitfähige Durchkontaktierung mindestens durch einen Belichtungs- und Entwicklungsprozess freizulegen. Eine Umverteilungsverdrahtung wird auf der lichtempfindlichen dielektrischen Schicht und der freigelegten leitfähigen Durchkontaktierung ausgebildet.
Patent DE-102019117022-A1 (DE)
Title: Bildverarbeitungsgerät und Bildverarbeitungsverfahren
Inventor: HARUNA KOHTA
IPC: H04N5/232
Filed: 2019-06-25
Abstract: Bildverarbeitungsgerät mit einer Verarbeitungseinrichtung, die in der Lage ist, eine erste Betriebsart, bei der Bilddaten entsprechend einem ersten Bereich eines Bildsensors mit einer Vielzahl von Bildelementen ausgegeben werden, und eine zweite Betriebsart, bei der Bilddaten entsprechend einem zweiten Bereich, der kleiner als der erste Bereich ist, ausgegeben werden, einzustellen, und eine aus einer Vielzahl von Größen mit mindestens einer ersten Größe, einer zweiten Größe und einer dritten Größe als Ausgabegröße für Bilddaten auszuwählen. Die zweite Größe basiert auf der ersten Größe, und falls die erste Betriebsart eingestellt ist, sind die ersten, die zweiten und die dritten Größen in der Größenauswahl enthalten, aus der die Verarbeitungseinrichtung auswählt, und falls die zweite Betriebsart eingestellt ist, sind die ersten und die dritten Größen ohne die zweite Größe in der Größenauswahl enthalten.
Patent DE-102019121476-A1 (DE)
Title: Werkstoffplatte, Verfahren und Anlage zur Herstellung einer Werkstoffplatte sowie Verwendung einer Werkstoffplatte
Inventor: CONRAD HANS-ROLF
IPC: B27N3/00
Filed: 2019-08-08
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Werkstoffplatte (1), die einen Kern (2) sowie eine erste Deckschicht (3) und eine zweite Deckschicht (4) aufweist, die jeweils aus Lignin haltigen Partikeln (5, 6) und einem Bindemittel gebildete Gemisch (7, 8) gebildet sind, dass in einem chemischen Bindungsprozess zu einem Festkörpergefüge ausgebildet ist.Es soll eine Werkstoffplatte bereit gestellt werden, die aus ökologischen und ökonomischen Gründen einen hohen Anteil Einjahrespflanzen basierter Partikel aufweist und dennoch gute mechanische Eigenschaften aufweist. Eine weitere Aufgabe der Erfindung kann darin gesehen werden, die Anlagenbelastung im Herstellungsprozess verhältnismäßig gering zu gestalten. Eine weitere Aufgabe kann darin gesehen werden, den Abschliffanteil gering zu halten.Dazu wird vorgeschlagen, dass die dem Gemisch (7) des Kerns (2) zugehörigen Partikel (5) zu mindestens 70%, vorzugsweise zu mindestens 80% ganz vorzugsweise zu mindestens 90% aus Einjahrespflanzen gewonnen sind, und dass die den Gemische (8) der beiden Deckschichten (3, 4) zugehörigen Partikel (6) zu mindestens 70%, vorzugsweise zu mindestens 80% ganz vorzugsweise zu mindestens 90% aus Mehrjahrespflanzen gewonnen sind.Die Erfindung betrifft ferner die Verwendung einer Werkstoffplatte und ein Verfahren zur Herstellung einer Werkstoffplatte.Schließlich betrifft die Erfindung eine Anlage zur Herstellung einer Werkstoffplatte.
Patent DE-102019126557-A1 (DE)
Title: Oberleitungssystem für Baumaschinen für den Stück- und Schüttguttransport sowie Baumaschine
Inventor: FORESTIER CÉDRIC
IPC: B60M1/12
Filed: 2019-10-02
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Oberleitungssystem zur elektrischen Versorgung des Fahrantriebes ein oder mehrerer Baumaschinen für den Stück- oder Schüttguttransport, wobei die Oberleitung wenigstens ein Paar parallel entlang der Fahrstrecke verlaufende und gegenpolig stromführende Leitungen umfasst, die durch entsprechende Stromabnehmer der Baumaschinen elektrisch kontaktierbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass jede Leitung endseitig mit wenigstens einer, einen Zuführkanal bildenden Führungshilfe zur Aufnahme des Kopfes des Stromabnehmers ausgestattet ist, wobei der Zuführkanal in Richtung der zugeordneten Leitung zusammenläuft.
Patent DE-102019128188-A1 (DE)
Title: Augentropfen zur ästhetischen Optimierung des Auges
Inventor: AKGÜL ÜMÜT
IPC: A61K8/27
Filed: 2019-10-18
Abstract: Es werden Augentropfen zur medizinischen, heilenden und/oder ästhetischen Einwirkung auf das Auge und/oder die Umgebung des Auges beschrieben, wobei durch die Augentropfen eine Änderung der Pigmentdichte und/oder Pigmentmenge der Iris des Auges erzielt wird und/oder wodurch durch die Augentropfen eine Glättung von Hautfalten erreicht wird und/oder wodurch durch die Augentropfen eine Reduktion einer Hyperpigmentierung um das Auge erzielt wird..
Patent DE-102019131307-A1 (DE)
Title: Förderanlage zum Fördern von Werkstücken, Fertigungsanlage mit einer solchen Förderanlage und Verfahren zum Fertigen von Werkstücken
Inventor: RIEGRAF MARTIN
IPC: B62D65/18
Filed: 2019-11-20
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Förderanlage (36) zum Fördern von Werkstücken (12), insbesondere von Fahrzeugkarosserien (14), entlang einer Förderstrecke (S), insbesondere entlang einer Förderstrecke (S) durch eine Fertigungsanlage (10). Die Förderanlage (36) umfasst zumindest einen freifahrenden Transportwagen (40), der eine Befestigungseinrichtung (48) für zumindest ein Werkstück (12) aufweist. Die Förderstrecke (S) umfasst zumindest einen Sonderförderabschnitt (58), in dem zumindest eine Zwangsführungseinrichtung (60) vorhanden ist, mit welcher der freifahrende Transportwagen (40) mechanisch zwangsgeführt wird. Die Erfindung betrifft ferner eine Fertigungsanlage (10) mit einer derartigen Förderanlage (36) und ein Verfahren zum Fertigen von Werkstücken (12) in einer solchen Fertigungsanlage (10).
Patent DE-102019200521-A1 (DE)
Title: Wischblattvorrichtung
Inventor: KRAEMER GODELIEVE
IPC: B60S1/48
Filed: 2019-01-17
Abstract: Die Erfindung geht aus von einer Wischblattvorrichtung, insbesondere Scheibenwischer-Wischblattvorrichtung, mit zumindest einem Wischblatt (10a; 10b), mit zumindest einer Adaptereinheit (12a; 12b) zu einer Kopplung des Wischblatts (10a; 10b) mit einem Wischarm (14a; 14b) eines Wischers (16a; 16b), insbesondere Scheibenwischers, mit zumindest einer in dem Wischblatt (10a; 10b) integrierten Sprüheinheit (18a; 18b) und mit zumindest einer Waschwasserverteilereinheit (20a; 20b; 20b') zu einer Zuführung von Waschwasser zu der Sprüheinheit (18a; 18b), insbesondere zu zumindest im Wesentlichen parallel zu einer Haupterstreckungsrichtung (54a; 54b) des Wischblatts (10a; 10b) entlang des Wischblatts (10a; 10b) angeordneten Düsenelementen (22a; 22b) der Sprüheinheit (18a; 18b), wobei die Waschwasserverteilereinheit (20a; 20b; 20b') zumindest ein Kanalkupplungselement (24a; 24b; 24b') zu einer, insbesondere für eine Durchleitung eines Fluids vorgesehenen, vorzugsweise fluiddichten, Kupplung zumindest eines Teils der Waschwasserverteilereinheit (20a; 20b; 20b') mit einem Waschwasserkanal (26a; 26b; 26b') der Sprüheinheit (18a; 18b) aufweist, und wobei die Waschwasserverteilereinheit (20a; 20b; 20b') zumindest ein Adapterkupplungselement (28a; 28b) zu einer, insbesondere für eine Durchleitung eines Fluids vorgesehenen, vorzugsweise fluiddichten, Kupplung zumindest eines weiteren Teils der Waschwasserverteilereinheit (20a; 20b; 20b') mit einem weiteren Waschwasserkanal (30a; 30b) der Adaptereinheit (12a; 12b) aufweist.Es wird vorgeschlagen, dass der weitere Waschwasserkanal (30a; 30b) zumindest teilweise durch die Adaptereinheit (12a; 12b) ausgebildet ist.
Patent DE-102019200750-A1 (DE)
Title: Herstellungsverfahren für Komponenten einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie und Projektionsbelichtungsanlage
Inventor: LAUFER TIMO
IPC: G03F7/20
Filed: 2019-01-22
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Ätzverfahren zur Herstellung einer Hohlraumstruktur (24) in einer Komponente (50,55) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) mit folgenden Verfahrensschritten:- Festlegung der in der Komponente (50,55) zu realisierenden Hohlraumstruktur (24)- Festlegung einer Mehrzahl von Zugängen (30) für einen Ätzangriff zur Schaffung der Hohlraumstruktur (24),- Laservorbehandlung der für die Hohlraumstruktur (24) vorgesehenen Bereiche zur Vorbereitung des Ätzängriffs- Herstellen der Hohlraumstruktur (24) durch Ätzen,wobei mindestens einer der Zugänge (30) als Hilfs-Ätzzugang ausgebildet ist.Weiterhin betrifft die Erfindung eine Projektionsbelichtungsanlage(1) für die Halbleiterlithographie mit einer Mehrzahl von Komponenten (50,55), wobei mindestens eine Komponente (50,55) eine mittels selektiven Laserätzens hergestellte Hohlraumstruktur (24) auf-weist und wobei die Komponente (50,55) mindestens einen Hilfs-Ätzzugang (30) zu der Hohlraumstruktur (24) aufweist.