baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102018209284-B4 (DE)
Title: Motorsteuereinrichtung
Inventor: NAKAMURA TSUTOMU
IPC: G05B19/23
Filed: 2018-06-11
Granted: 2020-10-01
Abstract: Motorsteuereinrichtung (1), die einen Servomotor (50) zum Antreiben einer Maschine (60, 70) steuert,wobei die Motorsteuereinrichtung (1), umfasst:eine Drehzahlbefehlseinheit (10), die einen Drehzahlbefehl zum Befehlen einer Drehzahl der Maschine (60, 70) ausgibt;eine Drehzahlerfassungseinheit (40), die eine Drehzahl des Servomotors (50) erfasst; undeine Drehzahlsteuereinheit (20), die einen Drehmomentbefehl basierend auf dem von der Drehzahlbefehlseinheit (10) ausgegebenen Drehzahlbefehl und einer von der Drehzahlerfassungseinheit (40) erfassten Motordrehzahl erzeugt, um die Drehzahl (50) des Servomotors zu steuern,wobei die Drehzahlsteuereinheit (20) ein Filter (31, 32) enthält, das eine inverse Eigenschaft einer Übersetzungseigenschaft von dem Servomotor (50) zu der Maschine (60, 70) annähert,das Filter (31, 32) eine Übersetzungseigenschaft F(s) der nachstehenden Formel (1) basierend auf einer Frequenz ω, einem Vibrationsdämpfungskoeffizienten ζ und einer Grenzfrequenz ωadjaufweist, die Einstellungsparameter sind,und die Frequenz ω so eingestellt ist, dass sie größer oder gleich einer Antiresonanzfrequenz ω0der Maschine (60, 70) aber kleiner als eine Resonanzfrequenz ωpder Maschine (60, 70) ist. [Formel 1]F(s)=s2+2ζωs+ω2s2+2ωadjs+ωadj2
Patent DE-102019004070-B4 (DE)
Title: Verfahren und elektronische Anordnung zum Überwachen einer Kühlwirkung einer Luftkühlvorrichtung
Inventor: BIHLER SIMON
IPC: H05K7/20
Filed: 2019-06-08
Granted: 2021-02-25
Abstract: Verfahren zum Überwachen einer Kühlwirkung einer Luftkühlvorrichtung (18) zum Kühlen eines elektrischen Bauteils (14) einer Elektronikbaugruppe (10), wobei die Luftkühlvorrichtung (18) einen mit dem Bauteil (14) thermisch gekoppelten Kühlkörper (19) und einen Lüfter (20) zum Erzeugen eines Kühlluftstroms über/durch den Kühlkörper (19) enthält, aufweisend:
 Erfassen einer Bauteiltemperatur (TB) des elektrischen Bauteils (14);
 Erfassen einer Umgebungstemperatur (TU) einer Umgebung der Elektronikbaugruppe (10);
 Ermitteln einer Kühlwirkung der Luftkühlvorrichtung (18) für das elektrische Bauteil (14) basierend auf der erfassten Bauteiltemperatur (TB), der erfassten Umgebungstemperatur (TU) und eines Betriebszustandes der Elektronikbaugruppe (10);
 Bestimmen eines Temperaturgradienten (dT) der erfassten Bauteiltemperatur (TB);
 und
 Ermitteln der Kühlwirkung der Luftkühlvorrichtung (18) basierend auf dem bestimmten Temperaturgradienten (dT) bei einem Lastsprung der Elektronikbaugruppe (10).
Patent DE-102019116590-B4 (DE)
Title: Elektrischer Leiter aus zwei metallischen Werkstoffen, Verfahren zur Herstellung und Verwendung
Inventor: CEBULSKI BERND
IPC: H01B7/30
Filed: 2019-06-19
Granted: 2021-01-07
Abstract: Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen elektrischen Leiter sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung bereitzustellen, der bei möglichst geringer und flexibler Querschnittsfläche/-form sowohl keine Erhöhung des Widerstands durch den Stromverdrängungseffekt, als auch keine Erhöhung des Widerstands durch den Proximity-Effekt erfolgt, wobei zudem eine Verbindung dieses elektrischen Leiters mit zumindest einem weiteren elektrischen Leiter einfach und auf wirtschaftliche Weise möglich ist. Diese Aufgabe wird u. a. dadurch gelöst, dass ein elektrischer Leiter gebildet wird, der eine Vielzahl elektrischer Einzelleiter aus einem ersten metallischen Werkstoff umfasst, wobei die Einzelleiter entlang Längsachse des elektrischen Leiters verlaufen und über den Querschnitt des elektrischen Leiters verteilt sind und dadurch, dass die Einzelleiter voneinander beabstandet sind, Zwischenräume zwischen den Einzelleitern gebildet werden und die Einzelleiter von einem zweiten metallischen Werkstoff umschlossen sind, der die Zwischenräume zwischen den Einzelleitern ausfüllt, wobei die elektrische Leitfähigkeit des ersten metallischen Werkstoffs größer als die elektrische Leitfähigkeit des zweiten metallischen Werkstoffs ist, sodass wenn in dem elektrischen Leiter ein elektrischer Strom fließt, der elektrische Strom überwiegend in den Einzelleitern aus dem ersten metallischen Werkstoff fließt und demgegenüber nur zu einem kleineren Teil durch den zweiten metallischen Werkstoff fließt.
Patent DE-102021100138-B4 (DE)
Title: Bilddatenprozessor, Sensoranordnung und computerimplementiertes Verfahren
Inventor: ACHATZI JULIAN
IPC: G01B11/24
Filed: 2021-01-07
Granted: 2023-03-16
Abstract: Bilddatenprozessor (1) für einen Sensor zum Vermessen eines Messobjekts (6), welches eine durch mindestens einen Geometrieparameter (28) darstellbare geometrische Eigenschaft (200) besitzt, mittels eines eine Relativgeschwindigkeit (8) zum Messobjekt (6) aufweisenden Lichtblattes (10), wobei der Bilddatenprozessor (1) ausgestaltet ist,- eine Zeitreihe (14) von aufeinanderfolgenden digitalen Bildern (16) auszulesen, wobei in den einzelnen digitalen Bildern (16) jeweils ein Abbild (22) eines Lichtschnitts (24) des vom Lichtblatt (10) beleuchteten Messobjekts (6) enthalten ist und in den aufeinanderfolgenden digitalen Bildern (16) der Lichtschnitt (24) sich jeweils an aufeinanderfolgenden Positionen des Messobjekts (6) befindet,- in den digitalen Bildern (16) jeweils eine Mehrzahl von Profilen (36) des jeweiligen Lichtschnitts (24) zu identifizieren und für jedes identifiziertes Profil (36) wenigstens ein Profilmerkmal (38) zu ermitteln, das repräsentativ für eine geometrische Charakteristik (300) der identifizierten Profile (36) ist,- aus den ermittelten Profilmerkmalen (38) der aufeinanderfolgenden digitalen Bilder (16) Zeitverläufe (56) der Profilmerkmale (38) der Mehrzahl von Profilen (36) zu ermitteln und- aus den Zeitverläufen (56) der (38) Profilmerkmale der Mehrzahl von Profilen (36) den mindestens einen Geometrieparameter (28) des Messobjekts (6) zu ermitteln.
Patent DE-102021214269-B4 (DE)
Title: Türantrieb mit einem Gehäuse
Inventor: BUESS ROLAND
IPC: E05F1/00
Filed: 2021-12-13
Granted: 2023-08-10
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Türantrieb, insbesondere Türschließer, mit einem Gehäuse mit zwei entlang einer Längsrichtung gegenüberliegenden Stirnseiten, wobei an wenigstens einer Stirnseite des Gehäuses, bevorzugt an beiden Stirnseiten des Gehäuses, ein jeweiliges Abdeckelement befestigt ist, durch das die jeweilige Stirnseite des Gehäuses abgedeckt ist. Der erfindungsgemäße Türantrieb ist dadurch gekennzeichnet, dass das jeweilige Abdeckelement mittels einer Schnappverbindung an der jeweiligen Stirnseite des Gehäuses befestigt ist und, und dass eine Aufnahme wenigstens eine in der Stirnseite ausgebildete, insbesondere durchgängige, Quernut aufweist, wobei sich die Quernut entlang einer Nutrichtung erstreckt.
Patent DE-112005000921-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung einer Sinterlegierung auf Eisenbasis und eines Sinterlegierungselements auf Eisenbasis
Inventor: KONDOH MIKIO
IPC: C22C22/00
Filed: 2005-04-22
Granted: 2013-08-01
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Sinterlegierung auf Eisenbasis, wobei das Herstellungsverfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass es umfasst: einen Pressschritt des Herstellens eines Pulverpresskörpers durch Formpressen eines Ausgangsmaterials, wobei der Pressdruck des Pressschritts 1150 MPa oder mehr beträgt, bei dem ein Fe-System-Pulver, das aus mindestens einem von reinem Eisen und einer Eisenlegierung zusammengesetzt ist, mit einem Verstärkungspulver gemischt ist, das aus einem Fe-Mn-Si-Pulver aufgebaut ist, das aus Fe, Mn und Si zusammengesetzt ist, wobei das Zusammensetzungsverhältnis (Mn/Si) von Mn zu Si 1/3 bis 0,9 beträgt, und einen Sinterschritt des Erhitzens des Pulverpresskörpers zum Sintern des Pulverpresskörpers in einer oxidationsverhindernden Atmosphäre.
Patent DE-112005001963-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Turboladerdrehzahl
Inventor: AKINS MARK D
IPC: F02D23/00
Filed: 2005-08-05
Granted: 2015-01-22
Abstract: Verfahren, umfassend: – Erfassen der Drehzahl eines Verbrennungsmotors, wobei der Motor einen Turbolader mit einem Kompressor aufweist, der Kompressor einen Einlass und einen Auslass hat und der Auslass mit einem Einlass des Motors gekoppelt ist, – Erfassen des Eingangsdrucks und des Ladedrucks des Kompressors, – Ermitteln eines der Turboladerdrehzahl entsprechenden Wertes aus der Drehzahl des Verbrennungsmotors, dem Eingangsdruck und dem Ladedruck, und – Verfeinern des Wertes als Funktion einer zeitlichen Änderung des Ladedrucks, um die Turboladerdrehzahl wiederzugeben.
Patent DE-112007000440-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Erzeugen von verformten Metallartikeln
Inventor: CARPENTER CRAIG M
IPC: C22F1/18
Filed: 2007-03-06
Granted: 2021-01-07
Abstract: Verfahren zum Erzeugen eines Metallartikels mit einer endgültigen Dicke, das umfasst:Verformen eines Metallbarrens, um eine rechteckige Tafel mit einer Länge, Breite und Dicke zu bilden, wobei sich zwei der drei Dimensionen um nicht mehr als 25% voneinander unterscheiden,erstes Walzen der rechteckigen Tafel, um eine Zwischenplatte zu bilden, wobei das erste Walzen eine Vielzahl von Walzdurchgängen umfasst, undzweites Walzen der Zwischenplatte, um eine Metallplatte zu bilden, wobei das zweite Walzen eine Vielzahl von Walzdurchgängen umfasst und wobei jeder der Walzdurchgänge des zweiten Walzens eine wahre Dehnungsreduktion von ungefähr 0,06 bis 0,18 pro Durchgang vorsieht.
Patent DE-112008002595-B4 (DE)
Title: Elektromagnetische Prospektionsvorrichtung und elektromagnetisches Prospektionsverfahren
Inventor: ARAI EIICHI
IPC: G01R33/035
Filed: 2008-09-18
Granted: 2019-08-08
Abstract: Elektromagnetische Prospektionsvorrichtung (1), die umfasst:eine Übertragungseinheit (46, 48) zum Erzeugen eines periodisch veränderlichen Magnetfelds zu einem Prospektionsziel;eine Detektionseinheit (2, 2A), die eine SQUID (20) enthält, zum Detektieren eines Magnetfelds, das gemäß dem Prospektionsziel erzeugt wird; undeine Datenverarbeitungseinheit (3, 3A) zum Sammeln von Detektionsresultaten, die von der Detektionseinheit erhalten werden,wobei die Detektionseinheit eine Rückkopplungsspule (21) zum Erzeugen eines Magnetfelds zum Aufheben eines Magnetfelds, das in die SQUID eintritt, und einen Rückkopplungsschaltkreis (221, 222, 223, 224) zum Zuführen eines Stroms, der einer Spannung entspricht, die von der SQUID erzeugt wird, zur Rückkopplungsspule, enthält, unddie Datenverarbeitungseinheit funktionsfähig ist, umeine Mehrzahl von zeitabhängigen Dateneinheiten, die jeweils eine Länge von wenigstens einer Periode des veränderlichen Magnetfelds aufweisen, von Detektionsdaten des Magnetfelds, die über eine bestimmte Zeitperiode eintreten, zu extrahieren,zu bestimmen, ob oder ob nicht eine Abweichung von einem Referenzwert um einen Betrag gleich oder größer als ein Schwellenwert in den jeweiligen extrahierten zeitabhängigen Dateneinheiten auftritt,eine zeitabhängige Dateneinheit, in der die Abweichung von dem Referenzwert um den Betrag gleich oder größer als der Schwellenwert auftritt, aus der Mehrzahl der zeitabhängigen Dateneinheiten zu elimieren, undein Prospektionsresultat auszugeben, das das Prospektionsziel basierend auf verbleibenden zeitabhängigen Dateneinheiten zeigt, wobeieine zeitabhängige Wellenform des variablen Magnetfelds eine Impulswellenform ist, in der ein Impuls der positiven Richtung und ein Impuls der negativen Richtung periodisch mit einem Nulldurchgang dazwischen wiederholt werden, unddie Datenverarbeitungseinheit bestimmt, ob oder ob nicht die Abweichung um den Betrag gleich oder größer als der Schwellenwert auftritt, basierend auf einem Wert, der vor einer ersten Zeitperiode von einem ersten Zeitpunkt erhalten wird, an dem der Impuls der positiven Richtung beginnt, zu Null zurückzukehren, und einem Wert, der vor der ersten Zeitperiode von einem zweiten Zeitpunkt erhalten wird, an dem der Impuls der negativen Richtung beginnt, zu Null zurückzukehren.
Patent DE-112009002258-B4 (DE)
Title: Fahrstuhlgruppen-Verwaltungssystem
Inventor: IWATA MASAFUMI
IPC: B66B3/02
Filed: 2009-09-03
Granted: 2019-08-14
Abstract: Fahrstuhlgruppen-Verwaltungssystem, welches in einer Fahrstuhlgruppe, welche eine Mehrzahl von Kabinen enthält, irgendeine der Mehrzahl von Kabinen Insassen in Ansprechen auf Anforderungen von den Insassen zuweist, um die Kabinen zu verwalten, wobei das Fahrstuhlgruppen-Verwaltungssystem enthält:
 eine Hallen-Ruf-Registrierungssektion (31(OB)), welche in einer Fahrstuhl-Halle oder in der Nähe hierzu positioniert ist, und dazu ausgelegt ist, eine Hallen-Ruf-Registrierung der Registrierung von Ziel-Stockwerken durch die Insassen durchzuführen;
 eine Gruppen-Insassen-Gruppierung-Zuweisungssektion (1), welche die Insassen den Gruppen-Insassen-Gruppierungen, nachdem eine jede Hallen-Ruf-Registrierung vorgenommen wurde, zuweist, und bei einer Gruppen-Insassen-Gruppierung-Anzeigesektion (32(OB)) bewirkt, eine Gruppen-Insassen-Gruppierung-Information davon anzuzeigen, wobei die Gruppen-Insassen-Gruppierung-Anzeigesektion (32(OB)) in der Nähe zu der Hallen-Ruf-Registrierungssektion (31(OB)) angeordnet ist; und
 eine Gruppen-Insassen-Gruppierung-Kabinen-Zuweisungssektion (2), welche eine Kabinen-Zuweisungs-Verarbeitung zum Zuweisen von zumindest einer von den Gruppen-Insassen-Gruppierungen zu irgendeiner von der Mehrzahl von Kabinen als eine zugewiesene Kabine ausführt, um einen Insassen-Führungsbefehl zu erzeugen, welcher zumindest eine Übereinstimmungsbeziehung zwischen der Gruppen-Insassen-Gruppierung und der zugewiesenen Kabine anzeigt,
 wobei die Zuweisung zu den Gruppen-Insassen-Gruppierungen durch die Gruppen-Insassen-Gruppierung-Zuweisungssektion (1) derart durchgeführt wird, so dass die Anzahl von Insassen, welche in der Gruppen-Insassen-Gruppierung enthalten sind, innerhalb einer vorbestimmten Anzahl fällt, wobei die Zuweisung zu den Gruppen-Insassen-Gruppierungen durch die Gruppen-Insassen-Gruppierung-Zuweisungssektion (1) derart durchgeführt wird, so dass eine erforderliche Anzahl von Stopps für die Insassen, welche in der Gruppen-Insassen-Gruppierung enthalten sind, innerhalb eines vorbestimmten Bereiches fällt.
Patent DE-112009005314-B4 (DE)
Title: Bildaufnahmegerät
Inventor: HONDA YOSHIAKI
IPC: H04N9/64
Filed: 2009-10-13
Granted: 2019-08-08
Abstract: Bildverarbeitungsgerät (104), miteiner Ausgabeeinrichtung (311 bis 314) zur Ausgabe einer Vielzahl von Bildsignalen (S11 bis S14) aus einem eingegebenen Bildsignal derart, dass sich die Vielzahl von Bildsignalen untereinander in zumindest einem Teil von jeweils enthaltenen Frequenzkomponenten unterscheiden werden,einer Bestimmungseinrichtung (360) zur Bestimmung, ob ein Zielbereich der Vielzahl von von der Ausgabeeinrichtung ausgegebenen Bildsignalen ein Bereich ist, der eine Komponente enthält, deren Frequenz höher als eine vorbestimmte Frequenz ist, oder nicht, wobei der Zielbereich aus einer Vielzahl von Bildelementen besteht,einer Erfassungseinrichtung (370) zur Bestimmung, ob der Zielbereich der Vielzahl von Bildsignalen ein Randbereich ist oder nicht, und miteiner Verarbeitungseinrichtung (320) zur Auswahl eines Bildsignals aus der Vielzahl von Bildsignalen, das eine höchste Frequenzkomponente unter Bildsignalen enthält, die unter zumindest eine der folgenden Definitionen fallen, als ein Bildsignal des Zielbereichs:Bildsignale, für die der Zielbereich als ein Randbereich bestimmt ist,undBildsignale, für die der Zielbereich nicht als der Bereich bestimmt ist, der die Komponente enthält, deren Frequenz höher als die vorbestimmte Frequenz ist,wobei eine Vielzahl von Farbfiltern in einem vorbestimmten Anordnungsmuster angeordnet ist, und wobei die Bildsignale von einer Bildgebungsvorrichtung erlangt sind, bei der Bildelemente entsprechend den jeweiligen Farbfiltern vorgesehen sind, undwobei die Bestimmungseinrichtung bestimmt, ob der Zielbereich der Bereich ist, der die Komponente enthält, deren Frequenz höher als die vorbestimmte Frequenz ist, oder nicht, basierend auf zumindest einem der folgenden Bestimmungsparameter:einer Steigung des Bildsignals entsprechend einem ersten Farbfilter unter der Vielzahl von Farbfiltern und einer Steigung des Bildsignals entsprechend einem zweiten Farbfilter unter der Vielzahl von Farbfiltern, undeiner Differenz zwischen dem Bildsignal entsprechend dem ersten Farbfilter und dem Bildsignal entsprechend dem zweiten Farbfilter.
Patent DE-112012006967-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
Inventor: NAKAMURA KATSUMI
IPC: H01L21/28
Filed: 2012-10-02
Granted: 2022-09-01
Abstract: Halbleitervorrichtung, aufweisend:ein Substrat mit einer Driftschicht (20);eine auf einer oberen Oberflächenseite der Driftschicht (20) ausgebildete und ein vergrabenes Gate (32) aufweisende MOS-Struktur;eine in Kontakt mit einer unteren Oberfläche der Driftschicht (20) stehende Pufferschicht (22);eine in Kontakt mit einer unteren Oberfläche der Pufferschicht (22) stehende Kollektorschicht (24);eine Metallverdrahtung (44), die auf einer oberen Oberfläche des Substrats ausgebildet ist; undeine Elektrode (26), die an einer hinteren Oberfläche des Substrats ausgebildet ist,wobei die Driftschicht (20) eine Störstellendichte im Bereich von 1,0 × 1012bis 1.0 × 1015cm-3aufweist,wobei die Lebensdauer von Trägern in der Driftschicht (20) dem folgenden Ausdruck 1 genügt:τ≥1,5×10−5exp(5,4×103tN−)mit τ: Lebensdauer der Träger in der Driftschicht (20) in stN-: Schichtdicke der Driftschicht (20) in m.
Patent DE-112013005239-B4 (DE)
Title: Anweisung zur Beschleunigung des drahtlosen SNOW 3G- Sicherheitsalgorithmus
Inventor: WOLRICH GILBERT M
IPC: H04W12/00
Filed: 2013-06-13
Granted: 2021-02-11
Abstract: Vorrichtung, umfassend:eine Mehrzahl von Vektorregistern, welche ein erstes Vektorregister undein zweites Vektorregister umfassen; undAusführungsschaltungen, welche mit der Mehrzahl von Vektorregistern gekoppelt sind, wobei die Ausführungsschaltungen betreibbar sind zum:Empfangen (310) einer ersten Anweisung, um drahtlose SNOW 3G-Sicherheitsoperationen durchzuführen;Empfangen (320) eines ersten Operanden der ersten Anweisung, welcher das erste Vektorregister spezifiziert, das einen aktuellen Zustand einer finiten Zustandsmaschine (Finite State Machine), FSM (100), speichert;Empfangen (330) eines zweiten Operanden der ersten Anweisung, welcher das zweite Vektorregister spezifiziert, das Datenelemente eines Linearrückkopplungsschieberegisters (Linear Feedback Shift Register), LFSR (120), speichert, die zum Aktualisieren der FSM (100) erforderlich sind; undAusführen (340) der ersten Anweisung, um einen aktualisierten Zustand der FSM (100) und eine Ausgabe der FSM (100) in einem Zieloperanden der ersten Anweisung zu erzeugen.
Patent DE-112014001469-B4 (DE)
Title: Geringbelastungskapazitätsschutz
Inventor: BURNHAM RANDALL SCOTT
IPC: F25B1/10
Filed: 2014-03-14
Granted: 2017-05-18
Abstract: Verfahren zum Regeln einer Drehzahl eines Generatoraggregats, das ein Antriebsaggregat und einen Generator enthält, wobei das Verfahren umfasst: – eine Steuerungsbestimmung, ob eine Transportkühleinheit ausreichend Kapazität hat, um eine gewünschte Temperatur in einer Transporteinheit aufrechtzuerhalten; – Ändern einer Drehzahl des Antriebsaggregats von einer ersten Drehzahl auf eine zweite Drehzahl, die höher ist als die erste Drehzahl, um der Transportkühleinheit ausreichend Kapazität bereitzustellen, wenn die Transportkühleinheit nicht ausreichend Kapazität hat, um eine gewünschte Temperatur in der Transporteinheit aufrechtzuerhalten, wobei die Steuerungsbestimmung, ob die Transportkühleinheit ausreichend Kapazität hat, um die gewünschte Temperatur in der Transporteinheit aufrechtzuerhalten, umfasst: – dass die Steuerung bestimmt, ob die Drehzahl des Antriebsaggregats innerhalb einer ersten Schwellenwertbereichs liegt; – dass die Steuerung bestimmt, ob eine Belastung des Generators über einem zweiten Schwellenwert liegt; und – dass die Steuerung einen Zustand zunehmenden Generatorbelastungsanstiegs erfasst
Patent DE-112014005340-B4 (DE)
Title: Sauerstoff-Sensorelement
Inventor: SAKIMOTO MITSURU
IPC: G01N27/406
Filed: 2014-11-14
Granted: 2023-01-12
Abstract: Sauerstoff-Sensorelement (1), aufweisend:einen Festelektrolytkörper (2) mit einer Sauerstoffionenleitfähigkeit und einer zylindrischen, mit einem Boden versehenen Gestalt, welche einen zylindrisch gestalteten Außenumfangsabschnitt (21) und einen Spitzenbodenabschnitt (22), welcher ein Spitzenende des Außenumfangsabschnitts (21) verschließt, umfasst;eine Messelektrode (3) mit einer katalytischen Wirkung, welche auf einer Außenfläche (201) des Außenumfangsabschnitts (21) des Festelektrolytkörpers (2) angeordnet ist;eine Referenzelektrode (35) mit einer katalytischen Wirkung, welche auf einer Innenfläche (202) des Außenumfangsabschnitts (21) des Festelektrolytkörpers (2) angeordnet ist;eine Heizvorrichtung (5) zum Erhitzen der Messelektrode (3), wobei die Heizvorrichtung (5) in einen Raum (20) innerhalb des Festelektrolytkörpers (2) eingefügt ist; undeine zylindrisch gestaltete, mit einem Boden versehene Abdeckung (6) mit einem zylindrischen Abdeckungs-Außenumfangsabschnitt (61) und einem Abdeckungs-Spitzenbodenabschnitt (62), welcher ein Spitzenende des Abdeckungs-Außenumfangsabschnitts (61) verschließt; wobeider Festelektrolytkörper (2) derart in der zylindrisch gestalteten, mit einem Boden versehenen Abdeckung (6) angeordnet ist, dass Ausrichtungen des Abdeckungs-Spitzenbodenabschnitts (62) und des Spitzenbodenabschnitts (22) gleich sind;Gaslöcher (611) zum Zirkulieren des Messgases (G) zwischen einer Innenseite und einer Außenseite der Abdeckung (6) in dem Abdeckungs-Außenumfangsabschnitt (61) ausgebildet sind;ein Kontaktabschnitt (31) der Messelektrode (3) einen Erfassungsabschnitt (311), welcher einen zwischen der Referenzelektrode (35) und der Messelektrode (3) fließenden Sauerstoffionenstrom erfasst, und einen Leitungsabschnitt (312), welcher zum Verbinden des Erfassungsabschnitts (311) mit einer Sensorschaltung mit dem Erfassungsabschnitt (311) verbunden ist, umfasst; undwenn die Messelektrode (3) durch die Heizvorrichtung (5) aufgeheizt ist, wenn eine Sauerstoffkonzentration in einem Messgas (G) gemessen wird, ein Verhältnis einer Fläche (S1) eines Niedrigtemperaturbereichs, bei welchem eine Oberflächentemperatur niedriger als 450 °C ist, relativ zu einer Fläche (S) des Kontaktabschnitts (31), welcher dem Messgas (G) ausgesetzt ist, 15 % oder weniger und mehr als 0 % beträgt.
Patent DE-112015000714-B4 (DE)
Title: Halbleiterwaferinspektionsvorrichtung und Halbleiterwafer-Inspektionsverfahren
Inventor: ISHIMOTO TAKASHI
IPC: H01L21/683
Filed: 2015-07-22
Granted: 2017-05-11
Abstract: Halbleiterwaferinspektionsvorrichtung (10), die eine Messeinrichtung (22) mit einer auf einem Halbleiterwafer (W) ausgebildeten Halbleitervorrichtung in Kontakt bringt, der an einem geheizten Tisch (20) platziert ist, und elektrische Eigenschaften der Halbleitervorrichtung inspiziert, umfassend: Haupt-Heizmittel, die zum Heizen einer an dem Tisch ausgebildeten Montagefläche zur Befestigung des Halbleiterwafers (W) konfiguriert sind; Vorheizmittel (54), die zum Vorheizen des Halbleiterwafers (W) konfiguriert sind; und Beförderungsmittel (48), die zur Beförderung des Halbleiterwafers (W) zu den Vorheizmitteln (54) und zur Beförderung des durch die Vorheizmittel (54) vorgeheizten Halbleiterwafers (W) zum Tisch (20) konfiguriert sind, wobei die Vorheizmittel (54) den Halbleiterwafer (W) in einem Zustand vorheizen, in dem der Halbleiterwafer (W) durch die Beförderungsmittel (48) gehalten wird.