baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102010015233-A1 (DE)
Title: Twig holder for Christmas tree, has natural or artificial tree twig fixed at tree trunk, where holder is made of band element and plug-in carrier, and band element is fixed at Christmas tree, and plug-in carrier is connected with holder
Inventor: WELLMANN JUERGEN
IPC: A47G33/04
Filed: 2010-04-15
Abstract: The holder (3) has a natural or artificial tree twig fixed at a tree trunk (2), where the holder is made of a band element (4) and a plug-in carrier (5). The band element is fixed at a Christmas tree, and the plug-in carrier is connected with the holder. The band element and the plug-in carrier form a premountable assembly unit. The plug-in carrier is connected with the band element and is detected at a region of the band element by a plug-in connection, locking connection and/or clip connection. The band element is provided with a profile.
Patent DE-102010017723-A1 (DE)
Title: Stiefel, insbesondere Ski- oder Snowboardstiefel
Inventor: WAGNER HARALD
IPC: A43B5/04
Filed: 2010-07-05
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Stiefel (10), insbesondere Ski- oder Snowboardstiefel, bestehend aus einer Schale (20), welche einen Fuß sowie zumindest einen Teil eines Unterschenkels eines Benutzers umschließt, und einer an der Schale (20) angebrachten Schalenzunge (2) sowie einem sockenähnlichen Futter (1) mit Zunge (30), wobei das sockenähnlichen Futter (1) in der Schale (20) angeordnet ist und sich bis über einen Anteil von 20% bis 80% einer Höhe der Schale (20), vorzugsweise bis auf etwa die halbe Höhe der Schale (20) erstreckt, während sich die Zunge (30) bis über einen Anteil von 80% bis 130% der Höhe der Schale (20), vorzugsweise bis auf etwa 110% der Gesamthöhe der Schale (20) erstreckt.
Patent DE-102010018712-A1 (DE)
Title: Valve train for gas shuttle valve e.g. inlet valve, of combustion engine, has cam follower arranged between valve stem and cam of cam shaft, where rolling member is arranged with peripheral surface between cam follower and valve stem
Inventor: ZEIDLER RUEDIGER
IPC: F01L1/16
Filed: 2010-04-29
Abstract: The train (1) has a movable cam follower (6) arranged between a valve stem (12) of a gas shuttle valve and a cam of a cam shaft of a combustion engine. A rolling member (14) is arranged with a circular cross-sectional peripheral surface between the cam follower and the valve stem. A mounted contact shoe (16) is arranged between the rolling member and an adjacent forehead end of the valve stem at the cam follower. A support (15) is led to an assembly of the contact shoe at the cam follower underneath the contact shoe on the valve stem. The support is made of transformed sheet metal.
Patent DE-102010019380-A1 (DE)
Title: Cable holder for attaching cable strand at ohm-stringer of aircraft, has contacting surface with functional areas for producing warm-releasable adhesive bond and for introducing heat into structural component for removal of bond
Inventor: SAYILGAN CIHANGIR
IPC: H02G3/32
Filed: 2010-05-04
Abstract: The holder has an upper holding section (3) for accommodating a cable strand (2), and a lower mounting section (4) mounted at a structural component (1) by an adhesive film (5), which is arranged between the lower mounting section and the structural component. The lower mounting section comprises a contacting surface with different functional areas at the component for producing a warm-releasable adhesive bond and for introducing heat into the structural component for removal of the adhesive bond. An insulator element is attached to a metal core, which is attached to the functional areas.
Patent DE-102010019600-A1 (DE)
Title: Dichtelement
Inventor: SZELAG MARTIN
IPC: H01R13/52
Filed: 2010-05-05
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Dichtelement (1) zum Abdichten zwischen einer elektrischen Leitung (2) und einem Gehäuse (100). Um ein Dichtelement (1) für eine Vielzahl verschiedener Leitungsdurchmesser bereitzustellen, ist es erfindungsgemäß vorgesehen, dass das Dichtelement (1) eine elastisch aufweitbare Innenmanschette (5), die in einer axialen Richtung (X) des Dichtelements (1) einen Durchgang (4) für die Leitung (2) aufweist, der wenigstens eine entlang seines Innenumfangs (6) verlaufende Innendichtfläche (6a, 6b) aufweist, eine die Innenmanschette (5) umgebende Außenmanschette (10), die wenigstens eine entlang ihres Außenumfangs (11) verlaufende Außendichtfläche (11a, 11b) aufweist, und wenigstens einen Ausgleichsabschnitt (7a–d), der in einer radialen Richtung (Y, Z) des Dichtelements (1) stauchbar ausgestaltet ist und eine Nachgiebigkeit aufweist, die größer als die Nachgiebigkeit der Außenmanschette (10) ist, umfasst.
Patent DE-102010021074-A1 (DE)
Title: Diagnosesysteme und -verfahren für einen variablen Ansaugkrümmer
Inventor: MC LAIN KURT D
IPC: F02B27/00
Filed: 2010-05-19
Abstract: Ein System umfasst ein Steuerungsmodul, ein Ventilsteuerungsmodul und ein Diagnosemodul. Das Steuerungsmodul steuert ein Ventil eines variablen Ansaugkrümmers, wenn das System in einem ersten Modus arbeitet. Das Steuerungsmodul befiehlt das Ventil an eine erste Position, wenn eine gewünschte Luftströmung durch den variablen Ansaugkrümmer größer als ein Schwellenwert ist, und es befiehlt das Ventil an eine zweite Position, wenn die gewünschte Luftströmung kleiner als der Schwellenwert ist. Das Ventilsteuerungsmodul steuert das Ventil, wenn das System in einem zweiten Modus arbeitet. Das Ventilsteuerungsmodul befiehlt dem Ventil, sich von der zweiten Position an die erste Position zu bewegen, wenn die gewünschte Luftströmung kleiner als der Schwellenwert ist. Das Diagnosemodul bestimmt einen Betriebszustand des Ventils auf der Grundlage dessen, ob das Ventil eine vorbestimmte Zeitspanne, nachdem das Ventilsteuerungsmodul dem Ventil befohlen hat, an der ersten Position detektiert wird.
Patent DE-102010023830-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Bearbeiten einer Verzahnung, Werkstück mit Verzahnung und Werkzeugmaschine
Inventor: HEIDELMANN WILFRIED DIPL ING
IPC: B23F5/00
Filed: 2010-06-15
Abstract: Verfahren zum Bearbeiten einer Verzahnung, deren Zahnflanken durch ein Aufmaß von ihrer Sollgeometrie abweichen, bei dem das Aufmaß durch eine Zustellung in mindestens zwei Zustellschritten und jeweils daran anschließenden Arbeitshüben mit einem um eine Werkzeugachse rotierenden Profilwerkzeug abgetragen wird, wozu das Profilwerkzeug in einer von dem Schwenkwinkel zwischen der zur Werkzeugachse orthogonalen Rotationsebene des Werkzeugs und der Verzahnungsachse abhängigen Einstellung relativ zu der Verzahnung mit dieser in einen Bearbeitungseingriff gebracht wird, in welchem der Materialabtrag in dem sich nach dem jeweiligen Zustellschritt ergebenden Eingriffsbereich erfolgt, wobei sich der Eingriffsbereich nach dem letzten Zustellschritt bei auf einen durch seine Auslegung bestimmten Schwenkwinkel eingestellten Profilwerkzeug über die gesamte Flankenhöhe erstreckt und dadurch der zur Sollgeometrie führende Materialabtrag bewirkt wird, wobei in mindestens einem dem letzten Zustellschritt vorangehenden Zustellschritt das Profilwerkzeug auf einen von seinem Auslegungswinkel abweichenden Schwenkwinkel eingestellt wird, der einen gegenüber der Einstellung des Auslegungswinkels in Richtung der Flankenhöhe vergrößerten Eingriffsbereich ergibt.
Patent DE-102010023836-A1 (DE)
Title: Vapor cooling system for condensing water vapor that is utilized in industrial process for heating purposes, has collecting pot containing condensate that is continuously formed in unpressurized storage through condensate return flow pipe
Inventor: HOLSTEIN VIKTOR
IPC: F28B9/08
Filed: 2010-06-11
Abstract: The system has a heat exchanger (1) in which condensate is formed by cooling steam in a collecting pot. The condensate from the collecting pot is continuously formed in an unpressurized storage e.g. water storage, through a condensate return flow pipe (4) at an appropriate condensate level. The condensate from the collecting pot is limited by operation of a condensate pump continued to a pressure tank e.g. feed water container. Waste water in a lower end of the heat exchanger is cooled and discharged at an appropriate level of an overflow pipe.
Patent DE-102010024721-A1 (DE)
Title: Nocken und zugehörige Nockenwelle
Inventor: SCHNEIDER FALK
IPC: F01L1/08
Filed: 2010-06-23
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Nocken (1) für eine Nockenwelle (2), insbesondere für einen Verbrennungsmotor. Erfindungswesentlich ist dabei, dass der Nocken (1) einen Axialfortsatz (3) mit einer für ein Haltewerkzeug geeigneten Haltekontur (4) aufweist. Hierdurch lässt sich die Nockenwelle (2) einfach bei der Montage eines Antriebszahnrades halten.
Patent DE-102010027749-A1 (DE)
Title: High pressure pump e.g. radial piston pump, for fuel injection in air-compressing, self-igniting internal combustion engine, has plunger hole with elliptical cross section, where outer sides of plunger body are adapted to cross section
Inventor: OKULLU TIMUCIN
IPC: F02M59/00
Filed: 2010-04-14
Abstract: The pump (1) e.g. radial piston pump, has a pumping component (7) and a drive shaft (4) arranged in a housing (2). The pumping component and the shaft are assigned to a cam (5). The pumping component comprises a plunger body (20) that is fed in a plunger hole (8) of the housing. The plunger hole comprises an elliptical cross section, where outer sides (21) of the plunger body are adapted to the elliptical cross section of the plunger hole. A clearance gap is defined between the outer side of the plunger body and the plunger hole.
Patent DE-102010038967-A1 (DE)
Title: Fahrzeug mit einer Einrichtung zum Einstellen einer Offenlage einer nach oben schwenkbaren Heckklappe
Inventor: MAYR JUERGEN
IPC: E05F15/00
Filed: 2010-08-05
Abstract: Das erfindungsgemäße Fahrzeug weist eine Einrichtung zum Einstellen einer Offenlage einer nach oben schwenkbaren Heckklappe auf, die nach einem Öffnungsbefehl an ein erstes Steuergerät über eine Verstellvorrichtung in eine vorgegebene Offenlage verstellbar ist. Weiterhin weist das Fahrzeug eine Einrichtung zum Einstellen einer vorgegebenen Fahrzeughöhe auf, die ein zweites Steuergerät zur Ansteuerung eines aktiven Radaufhängungssystems umfasst, wobei durch eine Kommunikationsverbindung zwischen dem ersten Steuergerät und dem zweiten Steuergerät und durch eine entsprechende Programmierung zumindest eines der beiden Steuergeräte vorzugsweise gleichzeitig mit dem Öffnen der Heckklappe ein Absenken der Fahrzeughöhe vorgenommen wird. Vorzugsweise wird das gleichzeitige Öffnen der Heckklappe und Absenken der Fahrzeughöhe verhindert wird, wenn ein Sperrbefehl für diese Funktion in einem der beiden Steuergeräte vorliegt.
Patent DE-102010039390-A1 (DE)
Title: Kochfeldvorrichtung
Inventor: WILSDORF GERD
IPC: F24C7/08
Filed: 2010-08-17
Abstract: Die Erfindung geht aus von einer Kochfeldvorrichtung mit zumindest einem ersten Bedienelement (10; 10a; 10b; 10c; 10f; 10g) und wenigstens einer ersten Funktionslagereinheit (12), an welcher in zumindest einem Betriebszustand das erste Bedienelement (10; 10a; 10b; 10c; 10f; 10g) funktionsmäßig angekoppelt verschiebbar entlang zumindest einer ersten Kochfeldaußenkante (14; 14a; 14b; 14c; 14e) gelagert ist, und welche dazu vorgesehen ist, zumindest in dem Betriebszustand bezüglich wenigstens einer Richtung (16) eine magnetische Hauptbefestigungskraft auf das erste Bedienelement (10; 10a; 10b; 10c; 10f; 10g) auszuüben.  Um eine hohe Effizienz zu erreichen, wird vorgeschlagen, dass das erste Bedienelement (10; 10a; 10b; 10c; 10f; 10g) in einer Draufsicht auf das erste Bedienelement (10; 10a; 10b; 10c; 10f; 10g) in dem Betriebszustand die erste Kochfeldaußenkante (14; 14a; 14b; 14c; 14e) zumindest teilweise überdeckt.
Patent DE-102010040116-A1 (DE)
Title: Speichersteuerung mit einstellbarer Senderimpedanz
Inventor: MUELLER CHRISTIAN
IPC: G06F13/38
Filed: 2010-09-01
Abstract: Speichersteuerungen (10), Speicheranordnungen und Verfahren werden bereitgestellt, in welchen Testdaten übertragen werden und Signalparameter variiert werden. Die gesendeten Testdaten werden gelesen, und basieren auf einem Vergleich zwischen gesendeten Testdaten und gelesenen Testdaten wird eine Senderimpedanz eingestellt.
Patent DE-102010041482-A1 (DE)
Title: Sensor device for detecting property of fluid medium in around exhaust gas tract of combustion engine, has sense element sections placed against each other along longitudinal extension direction for fixing sealing element
Inventor: RENZ HANS-JOERG
IPC: G01D11/30
Filed: 2010-09-27
Abstract: The device (110) has a sense element (112) transversely arranged at a longitudinal extension partly enclosing a sealing element (114). The sealing element disconnects a connection side (116) of the sense element from a measuring side (118) of the sense element acted upon with a fluid medium in a measuring space. The sense element having different widths is vertically arranged in the longitudinal extension and two sections placed against each other in a fixing region along a longitudinal extension direction for fixing the sealing element. An independent claim is also included for a method for manufacturing a sensor device.
Patent DE-102010043164-A1 (DE)
Title: Swivel module for trailer coupling, has locking element that is engaged with groove-shaped guide track which is extended on peripheral surface of locking bolt
Inventor: BROEKER KLAUS
IPC: B60D1/54
Filed: 2010-10-29
Abstract: The swivel module (1) has movably mounted pivot pin (4) provided in housing (5) at several locking positions, so that the housing is locked. The pin is displaceable in locking position and in unlocking position in longitudinal direction. Several locking recesses (20,22) are formed on housing. The displacement of locking bolt (13) is performed into locking position and is engaged in the locking recesses, so pivot pin is locked with housing. A locking element (16) is engaged with groove-shaped guide track which is extended on the peripheral surface of the locking bolt.
Patent DE-102010047431-A1 (DE)
Title: Axialkolbenmaschine mit einer in eine Nut eines Gehäuseteils eingesetzten Steuerplatte
Inventor: KORTE TOBIAS
IPC: F04B1/20
Filed: 2010-10-04
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Axialkolbenmaschine mit einem Gehäuseteil, in dem wenigstens ein Anschluss (7) für eine Hydraulikleitung vorgesehen ist. Das Gehäuseteil (3) ist Teil eines Gehäuses, welches eine Zylindertrommel aufweist, die zu dem Gehäuseteil (3) hin offene Zylinderbohrungen aufweist. Die Axialkolbenmaschine weist ferner eine Steuerplatte (8) auf, die zwischen der Zylindertrommel und dem Gehäuseteil (3) angeordnet ist. In der Steuerplatte (8) ist wenigstens eine Steueröffnung (10) angeordnet. Die Steuerplatte (8) ist in einer in dem Gehäuseteil (3) ausgebildeten Nut (14) angeordnet. Erfindungsgemäß füllt die Steuerplatte (8) die Nut (14) in dem Gehäuseteil (3) aus und ist kraftschlüssig in ihr gehalten.
Patent DE-102010049128-A1 (DE)
Title: Verfahren und Stranglegestation zur Herstellung eines Furnierstranges im Zuge der Herstellung von Furnierschichtholz
Inventor: SALENZ DIETER
IPC: B27D1/04
Filed: 2010-10-22
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Furnierstranges aus mehreren Lagen einzelner Furniere im Zuge der Herstellung von Furnierschichtholz, mit einem die aus Furnieren gebildete Furnierpakete (1, 3) an eine Stranglegestation (10) übergebende Paketfördervorrichtung (8) und einem den Furnierstrang (9) von der Stranglegestation (10) abnehmende Strangtransportvorrichtung (6), wobei die Stranglegestation (10) zumindest eine Rollenfördervorrichtung (2) und eine Rollenhebevorrichtung (4) zur Bildung eines Furnierstranges (9) aus den Furnierpaketen (1, 3) umfasst, und der Furnierstranges (9) anschließend aufgeteilt taktweise oder kontinuierlich in einer Presse verpresst wird, gekennzeichnet durch den Ablauf folgender Verfahrensschritte: 1.1 das erste Furnierpaket (1) wird durch Paketfördervorrichtung (8) der Rollenfördervorrichtung (2) und der Rollenhebevorrichtung (4) in die Stranglegestation (10) übergeben, 1.2 durch die Rollenhebevorrichtung (4) wird das erste Furnierpaket (1) zumindest teilweise von der Rollenfördervorrichtung (2) abgehoben, 1.3 während oder nach dem Anhebevorgang wird das erste Furnierpaket (1) durch eine aus einer Ruheposition in eine Eingriffsposition verfahrenden Stützvorrichtung...
Patent DE-102010053364-A1 (DE)
Title: Rastmomentreduzierter Permanentmagnetmotor
Inventor: DIETL LOTHAR DR
IPC: H02K1/27
Filed: 2010-12-03
Abstract: Die Beschreibung umfasst einen Permanentmagnetmotor umfassend: einen Läufer 404, wobei der Läufer 404 weichmagnetisches Material und einen ersten Permh 410, wobei der Ständerpolschuh 410 eine Ständerwicklung 401 zur Erzeugung eines magnetischen Feldes umfasst, wobei zwischen Läufer 404 und Ständerpolschuh 410 ein Luftspalt ausgebildet ist, wobei eine nach außen gerichtete Oberfläche des ersten Permanentmagneten 411 durch ein erstes Flussleitstück 407 aus weichmagnetischem Material teilweise bedeckt ist. Es wird ein Permanentmagnetmotor bereitgestellt, der nur teilweise mit weichmagnetischem Material bedeckte Permanentmagneten 403, 411 aufweist. Hierdurch kann das Rastmoment deutlich verringert werden bei nur geringfügig reduziertem Nutzdrehmoment.
Patent DE-102010055210-A1 (DE)
Title: Schraube aus niedrig legiertem Kohlenstoffstahl und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Schraube
Inventor: PINZL WILFRIED DR
IPC: C21D9/00
Filed: 2010-12-20
Abstract: inem Kopf, einem anschließendem Halteabschnitt und einer Funktionsspitze zur Verwendung als selbstfurchende Schraube. Die Funktionsspitze weist gegenüber dem Halteabschnitt eine größere Härte auf. Die Schraube besteht insgesamt aus einem niedrig legierten, gehärteten Kohlenstoffstahl. Die Besonderheit dieser Schraube besteht darin, dass die Funktionsspitze gegenüber dem Halteabschnitt einen erhöhten Kohlenstoff- und/oder Stickstoffanteil aufweist.
Patent DE-102010056050-A1 (DE)
Title: Front end of vehicle e.g. motor vehicle, has air guiding element with base structure that is pivotable in several defined pivot positions, so that attachment portion with fastening element is fixable to base structure
Inventor: IPPOLITI MARIO
IPC: B60K11/08
Filed: 2010-12-23
Abstract: The vehicle front end has air guiding element (10') designed as surface component for wind cooler, for defined feeding of fresh air and relative wind to the cooler and to shield the cooler from back flow of heated engine air. The air guiding element comprises a base structure (10a) that is pivotable in several defined pivot positions, so that attachment portion (12) with fastening element (13) is fixable to base structure. The air guiding element is made of metal, plastic and composite material.
Patent DE-102010060628-A1 (DE)
Title: Plastic prototype tool e.g. plastic injection molding tool for manufacturing plastic injection molding product, has main structure comprising inlet terminals and return ports which are attached to temperature infeed devices
Inventor: WESTHOFF REINER
IPC: B29C33/02
Filed: 2010-11-17
Abstract: The plastic prototype tool (1) has a main structure (2) provided with a cavity (3) that is provided with a molding surface (5). The inlet terminals (8,8.1) and return ports (9,9.1) of main structure are attached to temperature infeed devices (10,10.1). The tempering medium channels (7,7.1) are provided in the molding surface of form cavity. The temperature sensor (13) is provided to sense the temperature of temperature infeed devices and is the attached to a control device (14) for controlling the temperature of temperature infeed devices. An independent claim is included for method for manufacturing plastic injection molding product.
Patent DE-102010060784-A1 (DE)
Title: Hyper-adapter for use with solar power producing system, compares historical meteorological data with classifications regarding external input of power producing system so as to determine necessity of power adaptation
Inventor: FREY TIM
IPC: G05F1/67
Filed: 2010-11-24
Abstract: The hyper-adapter performs power adaptation in reference to classification table (110) that contains classifications determined with reference to properties of power producing system. The classifications are used to vary the power adapting cycles. The historical meteorological data is compared with the classifications regarding the external input of power producing system so as to determine the necessity of power adaptation. Independent claims are included for the following: (1) power adaptation method; and (2) power adaptation program.
Patent DE-102010061018-A1 (DE)
Title: Radaufhängung eines Kraftfahrzeugs
Inventor: SCHROEDER ALOYS
IPC: B60G21/055
Filed: 2010-12-03
Abstract: Eine Radaufhängung, insbesondere Hinterradaufhängung eines Kraftfahrzeugs, mit einem oberen Querlenker (2), der an einem Anlenkpunkt (3) an der Karosserie (4) oder einem Hilfsrahmen des Kraftfahrzeugs abgestützt ist und einer Querblattfeder (6), die entlang einer Kraftfahrzeugquerachse (y) angeordnet und an ihren Enden (61) mit der jeweiligen Radaufhängung gekoppelt und über jeweilige Lager (7) an der Karosserie (4) oder einem Hilfsrahmen des Kraftfahrzeugs abgestützt ist, wobei jedes der Enden (61) der Querblattfeder (6) gelenkig an dem oberen Querlenker (2) der Radaufhängung beabstandet vom radseitigen Ende des Querlenkers (2) angekoppelt ist.
Patent DE-102010062545-A1 (DE)
Title: Steuervorrichtung für ein Haushaltsgerät, Haushaltsgerät und Verfahren zum Betreiben von zwei Steuereinheiten in einem Haushaltsgerät
Inventor: ALBAYRAK HASAN GOEKCER
IPC: G06F1/24
Filed: 2010-12-07
Abstract: Es soll eine Lösung aufgezeigt werden, wie bei einer Steuervorrichtung (2) mit zwei Mikrocontrollern (3, 4) in einem Haushaltsgerät (1) einerseits elektrische Energie gespart werden kann und andererseits der eine Mikrocontroller (3) ohne viel Aufwand den anderen Mikrocontroller (4) zurücksetzen kann. Bei einer erfindungsgemäßen Steuervorrichtung (2) ist eine Aktivierungseinrichtung (21) bereitgestellt, welche einen Kommunikationskanal (6) zwischen den Mikrocontrollern (3, 4) daraufhin überprüft, ob der erste Mikrocontroller (3) Kommunikationssignale (9) an den zweiten Mikrocontroller (4) sendet oder nicht. Nach Erkennen der Kommunikationssignale (9) veranlasst die Aktivierungseinrichtung (21) eine Aktivierung des zweiten Mikrocontrollers (4). Es wird auch ein Haushaltsgerät (1) bereitgestellt, wie auch ein Verfahren zum Betreiben von zumindest zwei Mikrocontrollern (3, 4) in einem Haushaltsgerät (1).
Patent DE-102010063887-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen eines pyrolysetauglichen Bauteils eines Gargeräts sowie pyrolysetaugliches Bauteil für ein Gargerät
Inventor: HERBOLSHEIMER JOCHEN
IPC: C23C16/511
Filed: 2010-12-22
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines pyrolysetauglichen Bauteils (1, 10) eines Gargeräts, welches zur Durchführung eines Pyrolysebetriebs ausgebildet ist, bei welchem ein Grundteil (13) des Bauteils (1, 10) bereitgestellt und beschichtet wird, wobei auf dem Grundteil (13) eine Siliziumdioxidschicht (17) durch eine PECVD-Abscheidung erzeugt wird. Die Erfindung betrifft auch ein pyrolysetaugliches Bauteil (1, 10).
Patent DE-102010064281-A1 (DE)
Title: Herstellung einer Kanalhalbleiterlegierung durch Erzeugen eines Hartmaskenschichtstapels und Anwenden eines plasmaunterstützten Maskenstrukturierungsprozesses
Inventor: KRONHOLZ STEPHAN
IPC: H01L21/8238
Filed: 2010-12-28
Abstract: Bei der Herstellung komplexer Metallgateelektrodenstrukturen mit großem ε wird eine schwellwerteinstellende Halbleiterlegierung auf der Grundlage selektiver epitaktischer Aufwachstechniken und einer Hartmaske hergestellt, die mindestens zwei Hartmaskenschichten aufweist. Die Hartmaske wird auf der Grundlage eines plasmagestützten Ätzprozesses strukturiert, wodurch eine höhere Gleichmäßigkeit während der weiteren Bearbeitung beim Abscheiden des schwellwerteinstellenden Halbleitermaterials geschaffen wird. In einigen anschaulichen Ausführungsformen wird eine Hartmaskenschicht vor dem eigentlichen selektiven Aufbringen des schwellwerteinstellenden Halbleitermaterials entfernt.