Patent DE-102013110095-B4 (DE)
Title: Positionserfassungsvorrichtung
Inventor: OKAMOTO ATSUSHI
IPC: G01B13/00
Filed: 2013-09-13
Granted: 2022-11-10
Abstract: Eine Positionserfassungsvorrichtung (10) zum Erfassen einer Position eines Werkstücks (28) durch Ausstrahlen eines Druckfluides, das von einer Druckfluidzufuhrquelle (12) zugeführt wird, von einer Detektionsdüse (14) zu einer Detektionsfläche (30) des Werkstücks (28) und Erfassen eines Gegendrucks (P2) des Druckfluides mit:einem Vorrichtungsgrundkörper (57), in welchen das von der Druckfluidzufuhrquelle (12) zugeführte Druckfluid eingeführt wird; undeinem Befestigungs-/Lösemechanismus (56), der eine Befestigung und ein Entfernen an/von dem Vorrichtungsgrundkörper (57) ermöglicht, umfassend eine innere Düse (32), welche das dem Vorrichtungsgrundkörper (57) zugeführte Druckfluid zu der Seite der Detektionsdüse (14) liefert, und einen Detektionsanschluss (20), welcher das von der inneren Düse (32) gelieferte Druckfluid der Detektionsdüse (14) zuführt, wobei:ein Zufuhrdurchgang (60), in welchen das von der Druckfluidzufuhrquelle (12) zugeführte Druckfluid eingeführt wird, und ein Befestigungsabschnitt (92), der mit dem Zufuhrdurchgang (60) in Verbindung steht und an welchem der Befestigungs-/Lösemechanismus (56) angebracht ist, in dem Vorrichtungsgrundkörper (57) vorhanden sind;eine Öffnung (112), die mit dem Zufuhrdurchgang (60) in Verbindung steht, wenn der Befestigungs-/Lösemechanismus (56) an dem Befestigungsabschnitt (92) angebracht ist, in der inneren Düse (32) vorhanden ist; undein Detektionsdurchgang (139), der mit der Öffnung (112) in Verbindung steht und der das von dem Zufuhrdurchgang (60) gelieferte Druckfluid über die Öffnung (112) der Detektionsdüse (14) zuführt, in dem Detektionsanschluss (20) vorhanden ist, wobei:der Befestigungs-/Lösemechanismus (56) rohrförmig ist, wobei sich sein eines Ende entlang einer zentralen Achse (55) des Befestigungs-/Lösemechanismus (56) der inneren Düse (32) erstreckt und wobei sich sein anderes Ende entlang der zentralen Achse (55) des Detektionsanschlusses (20) erstreckt;der Befestigungsabschnitt (92) als eine Vertiefung ausgebildet ist, in welcher der rohrförmige Befestigungs-/Lösemechanismus (56) angebracht werden kann;ein Abschnitt des Detektionsanschlusses (20) an der Seite der inneren Düse (32) als ein Abschnitt (121) mit verringertem Durchmesser ausgebildet ist, dessen Außendurchmesser kleiner ist als ein Innendurchmesser der Vertiefung (92);eine Verbindungsöffnung (122), die mit dem Detektionsdurchgang (139) in Verbindung steht, in dem Abschnitt (121) mit verringertem Durchmesser entlang einer radialen Richtung des Befestigungs-/Lösemechanismus (56) ausgebildet ist;durch Anbringen des Befestigungs-/Lösemechanismus (56) an dem Befestigungsabschnitt (92) eine Stelle in der Nähe des Abschnitts (121) mit verringertem Durchmesser in dem Befestigungsabschnitt (92) einen Fluidzufuhrraum (140) bildet, der über die Verbindungsöffnung (122) mit dem Detektionsdurchgang (139) in Verbindung steht; unddie Positionserfassungsvorrichtung (10) außerdem einen detektionsdurchgangsseitigen Drucksensor (36) zur Erfassung des Gegendrucks (P2) aufweist, in dem ein Druck des von dem Detektionsdurchgang (139) über die Verbindungsöffnung (122) in den Fluidzufuhrraum (140) zugeführten Druckfluides erfasst wird, wobei die Verbindungsöffnung (122) als eine Mehrzahl von einzelnen Verbindungsöffnungen in dem Abschnitt (121) mit verringertem Durchmesser ausgebildet ist, wobei in dem Abschnitt (121) mit verringertem Durchmesser die Mehrzahl von Verbindungsöffnungen (122) an einer stromaufwärtsseitigen Stelle und an einer stromabwärtsseitigen Stelle entlang einer Flussrichtung des Druckfluides angeordnet sind.