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Patent DE-102005012616-A1 (DE)
Title: Anordnung aus Buchse und Hülse für ein Sonnenrad und Verfahren zum Abdichten in einem elektromechanischen Hybrid-Automatikgetriebe
Inventor: KEMPF GREGORY W
IPC: F16H57/08
Filed: 2005-03-18
Abstract: Die vorliegende Erfindung stellt im Detail eine Hülse und eine Buchse eines elektromechanischen automatischen Planetengetriebes dar. Die Hülse und Buchse wirken dahingehend, den gewünschten Strom eines Getriebeschmiermittels durch die Komponenten der Planetengetriebeanordnung zu begrenzen. Außerdem helfen die Hülse und die Buchse dabei, einen ausreichenden Druckpegel im Hohlraum des Planetenträgers aufrechtzuerhalten, um zu ermöglichen, dass das Schmiermittel die Lager des Planetenrades erreicht. Der Radius oder die Größe der Buchsen/Hülsenanordnung kann außerdem so eingestellt sein, dass er oder sie den radialen Zwischenraum oder Hohlraum zwischen dem Sonnenrad und der Hauptwelle für ein Automatikgetriebe mit einem axialen trennbaren Sonnenrad mit Kerbverzahnung und einer Sonnenradwelle einnimmt.
Patent DE-102005018270-A1 (DE)
Title: Direct fuel, e.g. diesel, injection internal combustion engine control, involves operating engine in operating mode predefined by coordinator that selects specification with high priority using negative exclusion logic
Inventor: BLANKENHORN ULRICH
IPC: F02D41/04
Filed: 2005-04-20
Abstract: The method involves operating an internal combustion engine in an operating mode, which is predefined by a coordinator (100). The coordinator selects a specification with a high priority from operating mode specifications using negative exclusion logic, where the selected specification is not forbidden by another specification. The specification includes a bit-coded operating mode mask, the priority and a presetable level of the mode. An independent claim is also included for a device for controlling an internal combustion engine.
Patent DE-102005021921-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Verwendung einer elektrischen Maschine als  Stellmotor
Inventor: KETTELER KARL-HERMANN
IPC: H02P23/00
Filed: 2005-05-12
Abstract: Im Rahmen des Verfahrens zur Verwendung einer elektrischen Maschine als Stellmotor, insbesondere bei Betätigungseinrichtungen eines Automatgetriebes oder eines automatisierten Schaltgetriebes eines Kraftfahrzeugs, wird aus der Differenz zwischen Soll- und Istlage mittels eines ersten Reglers eine Soll-Motordrehzahl ermittelt, welche mit der aktuellen Ist-Motordrehzahl verglichen wird, wobei aus der Soll-Motordrehzahl mittels eines Motormoment-Reglers ein Motor-Sollmoment ermittelt wird, anhand dessen die elektrische Maschine angesteuert wird.
Patent DE-102005023189-A1 (DE)
Title: Fördereinrichtung mit einer Kraftstoffpumpe
Inventor: RUMPF BERND
IPC: F02M37/00
Filed: 2005-05-19
Abstract: Eine Fördereinrichtung (1) mit einer Kraftstoffpumpe (5) zur Versorgung einer Brennkraftmaschine (2) eines Kraftfahrzeuges mit Kraftstoff hat eine Überwachungseinrichtung (10) zur Ermittlung des Verschleißzustandes oder der Verschmutzung der Kraftstoffpumpe (5). Die Überwachungseinrichtung (10) vergleicht hierfür die Leistungsaufnahme mit der hydraulischen Leistung der Kraftstoffpumpe (5). Bei Überschreitung eines vorgesehenen Wertes der Leistungsaufnahme wird eine Diagnoseanzeige (11) aktiviert.
Patent DE-102005025059-A1 (DE)
Title: Satellite antenna arrangement for satellite-television-receiver, has two laminar antenna units, which are held together in common carrier and are hingedly supported at carrier, so that antenna units are pivotable in all directions
Inventor: MADANI HOSSEIN
IPC: H01Q3/00
Filed: 2005-05-30
Abstract: The arrangement has two laminar antenna units, which are held together in a common carrier. The antenna units are hingedly supported at the carrier, so that the antenna units are pivotable in all directions. Each antenna unit includes a low noise block and the carrier includes bars connected with one another by a hinge. The carrier is attached at a corner of building wall and the antenna units cover an angle range up to 180 degree.
Patent DE-102005026313-A1 (DE)
Title: Shock absorber has piston mounted in cylinder which compresses air in chamber below it, lower part of piston forming bellows with sections of different flexibility
Inventor: BANTLE ULRICH
IPC: F16J1/04
Filed: 2005-06-07
Abstract: The shock absorber has a piston (43) mounted in a cylinder (11) which compresses the air in the chamber (11.1) below it. The lower part of the piston forms a bellows (44) with sections of different flexibility.
Patent DE-102005027117-A1 (DE)
Title: Elektrisches Antriebssystem für ein Fahrzeug mit Rutschlenkung, Getriebeeinheit und Fahrzeug
Inventor: BOSS RALF
IPC: B62D11/04
Filed: 2005-06-10
Abstract: Das elektrische Antriebssystem für ein Fahrzeug mit Rutschlenkung weist zwei gleichartige Antriebsmaschinen (20, 22), eine elektrische Energiequelle, eine elektronische Steuerungseinrichtung sowie ein linkes und rechtes Summierungsgetriebe auf, welche als Planetengetriebe ausgebildet sind. Eine Antriebsmaschine treibt das Hohlrad des linken Summierungsgetriebes an, während die andere Antriebsmaschine das Hohlrad des rechten Summierungsgetriebes antreibt. Das Hohlrad des linken Summierungsgetriebes ist durch einen mechanischen Getriebezug trieblich direkt mit dem Sonnenrad des rechten Summierungsgetriebes verbunden, während das Hohlrad des rechten Summierungsgetriebes durch einen zweiten mechanischen Getriebezug trieblich direkt mit dem Sonnenrad des linken Summierungsgetriebes verbunden ist. Es wird vorgeschlagen, dass eine linke Sonnenradwelle durch eine linke Hohlwelle in Richtung zur Fahrzeugmitte geführt ist und dass eine rechte Sonnenradwelle durch eine rechte Hohlwelle in Richtung zur Fahrzeugmitte geführt ist.
Patent DE-102005028677-A1 (DE)
Title: Integrierter Sendeempfänger für ein passives Verriegelungssystem
Inventor: SCHMIDT ROBERT M
IPC: G07C9/00
Filed: 2005-06-21
Abstract: Es
wird ein tragbares persönliches
Komfortgerät
angegeben, das durch eine Person mit Zugang zu einem Fahrzeug getragen
wird und eine persönliche
Komfortvorrichtung zum Durchführen
einer nicht auf das Fahrzeug bezogenen Komfortfunktion umfasst.
Eine passive Verriegelungsvorrichtung ist in der persönlichen Komfortvorrichtung
integriert und für
die Interaktion mit dem Fahrzeug ausgebildet, um passiv einen Zugang
zu dem Fahrzeug zu gewähren.
Die passive Verriegelungsvorrichtung umfasst einen Empfänger zum
Empfangen eines Abfragesignals von einem elektronischen Steuermodul in
dem Transportfahrzeug. Es ist ein Sender zum Senden eines Antwortsignals
zu dem elektronischen Steuermodul vorgesehen. Weiterhin ist eine
Steuereinrichtung zum Steuern der Übertragung des Antwortsignals
zu dem elektronischen Steuermodul in Reaktion auf das Abfragesignal vorgesehen.
Patent DE-102005030076-A1 (DE)
Title: Modular riveting device, e.g. for riveting, has upper section with head piece for insertion of rivets with mechanism gripping rivets and connected to hauling equipment hydraulically and or pneumatically
Inventor: SOLFRONK ANTONIN
IPC: B21J15/28
Filed: 2005-06-27
Abstract: The modular riveting device (1) has an upper section (2) with a head piece for insertion of rivets. A mechanism grips (6) the rivets and connected to hauling equipment hydraulically and or a pneumatically. A hydraulic or a pneumatic line is movable and a sensor measures the pressure of the hauling equipment. The pressure in the pneumatic and/or hydraulic line is measured by the sensor and the pressure exerted by the hauling equipment is resealable. An independent claim is included for a system.
Patent DE-102005030733-A1 (DE)
Title: Neue Arzneimittelkombinationen zur Behandlung von Atemwegserkrankungen enthaltend langwirksame Beta-2-Agonisten und wenigstens einen weiteren Wirkstoff
Inventor: KONETZKI INGO
IPC: A61P11/00
Filed: 2005-07-01
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft neue Arzneimittelkombinationen, die neben einer oder mehrerer, bevorzugt einer Verbindung der allgemeinen Formel 1, DOLLAR F1 worin die Gruppen X, R·a·, R·b·, R·1·, R·1'·, R·2·, R·2'·, R·2''·, R·2'''·, V und n die in den Ansprüchen und in der Beschreibung genannten Bedeutungen haben können, wenigstens einen weiteren Wirkstoff 2 enthalten, Verfahren zu deren Herstellung sowie deren Verwendung als Arzneimittel.
Patent DE-102005031572-A1 (DE)
Title: Inscription printing and curing method for inkjet printing device, involves adjusting gloss level of inscriptions, where inscriptions are superficially polymerized in depth with two ultraviolet heaters
Inventor: KAISER MICHAEL
IPC: B41M7/00
Filed: 2005-07-06
Abstract: The method involves producing inscriptions with a dye on a printing substrate, where the dye is hardened by a radiation. The inscriptions are hardened by the radiation. A gloss level of the inscriptions is adjusted, where the inscriptions are superficially polymerized with an ultraviolet (UV) heater (5). The inscriptions are again polymerized in depth with another UV heater (7).
Patent DE-102005036457-A1 (DE)
Title: Dehydratisierung von Alkoholen zu Alkenen
Inventor: IGNATIEV NIKOLAI
IPC: C07B35/06
Filed: 2005-08-03
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Dehydratisierung von Alkoholen, Polyalkoholen oder Alkoholaten mit mindestens einer CH-Gruppe in alpha-Stellung zur Alkoholat- bzw. Alkohol-Funktion zu Alkenen, wobei die Dehydratisierung in ionischen Flüssigkeiten der allgemeinen Formel K·+·A·-· erfolgt.
Patent DE-102005036555-A1 (DE)
Title: Programmieren programmierbarer resistiver Speichervorrichtungen
Inventor: PERNER FREDERICK A
IPC: G11C16/00
Filed: 2005-08-03
Abstract: Das Programmieren von einer programmierbaren resistiven Speichervorrichtung umfasst das Zuführen von Programmierungsleistung an die Vorrichtung, das Erzeugen einer Rückmeldung darüber, wann die Vorrichtung programmiert wurde, und das Entfernen der Programmierungsleistung, wenn die Rückmeldung anzeigt, dass die Vorrichtung programmiert wurde.
Patent DE-102005040858-A1 (DE)
Title: Vorrichtung zum Erfassen von elektromagnetischen Eigenschaften eines Prüfgegenstands
Inventor: DAALMANS GABRIEL
IPC: G01N27/72
Filed: 2005-08-29
Abstract: Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erfassen von elektrischen
und/oder magnetischen Eigenschaften eines elektrisch leitfähigen Prüfgegenstands
(32). Die Vorrichtung umfasst wenigstens zwei Eingangsklemmen (10,
12), die zum Anlegen einer Versorgungsspannung vorgesehen sind,
und wenigstens zwei Induktivitäten
(14, 16, 18, 20), die nach einem vorbestimmten Schema miteinander
verschaltet und zwischen den Eingangsklemmen (10, 12) geschaltet
sind. Weiterhin umfasst die Vorrichtung wenigstens zwei Ausgangsklemmen
(22, 24), die zum Abgreifen einer Spannung vorgesehen und jeweils
mit wenigstens einer Induktivität
(14, 16, 18, 20) gekoppelt sind, und wenigstens ein Basisteil (30),
auf dem die Induktivitäten
(14, 16, 18, 20) nach einem vorbestimmten Schema angeordnet sind.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen,
dass die Vorrichtung wenigstens ein Referenzelement (26, 28) aufweist,
das wenigstens einer Induktivität
(14, 16, 18, 20) zugeordnet und auf dem Basisteil (30) angeordnet ist.
Patent DE-102005042107-A1 (DE)
Title: Schaltung und Verfahren zur Ansteuerung eines piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktors
Inventor: GOTTLIEB BERNHARD
IPC: H02N2/06
Filed: 2005-09-05
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung bzw. ein entsprechendes Verfahren zur Ansteuerung eines piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktors (P) mit einer vorgeschalteten Treiberstufe (G) zum Bereitstellen eines Ansteuersignals zum Treiben des piezoelektrischen Aktors (P), wobei dem Aktor (P) eine Referenzkapazität (M) zum Messen einer Ladung (q¶P¶) des Aktors (P) in Serie nachgeschaltet ist. Ausgenutzt wird demgemäß die Referenzkapazität (M) als eine Serienkapazität zur Messung einer Aktorladung (q¶A¶(T) = q¶P¶(t)) des piezoelektrischen Aktors. Ausgangsgröße ist eine zur Aktorladung proportionale Spannung. Je nach Anwendung wird diese Spannung einem A/D-Wandler zugeführt und digital weiterverarbeitet oder direkt einem Analogregler zugeführt.
Patent DE-102005043572-A1 (DE)
Title: Fluoreszenzkonversionssolarzellen auf Basis von Terrylenfluoreszenzfarbstoffen
Inventor: HAMMERMANN MARKUS
IPC: H01L31/055
Filed: 2005-09-12
Abstract: Fluoreszenzkonversionssolarzellen auf Basis einer oder mehrerer Platten aus mit mindestens einem Fluoreszenzfarbstoff dotiertem Polymer und/oder mit dem dotierten Polymer beschichteter Glasplatten und an den Kanten der Platten angebrachter Photovoltaikzellen, die einen oder mehrere Fluoreszenzfarbstoffe auf Basis von Terrylencarbonsäurederivaten oder eine Kombination dieser Fluoreszenzfarbstoffe mit weiteren Fluoreszenzfarbstoffen enthalten.
Patent DE-102005044432-A1 (DE)
Title: Calling signal producing method for e.g. portable computer, involves comparing corrected time points with time measurement of telecommunication device, and releasing calling signal according to measure of comparison result
Inventor: TENHA AHMET
IPC: H04M1/00
Filed: 2005-09-16
Abstract: The method involves determining a geographical position of a telecommunication device from the data received by the telecommunication device. Deviation of a local time corresponding to the position of the sun is determined from a time zone-time of the telecommunication device, where preset time points are corrected at the calculated deviation. The corrected time points are compared with time measurement of the device, and a calling signal is released according to the measure of the comparison result.
Patent DE-102005045297-A1 (DE)
Title: Carrying frame for vehicle, comprises deformation element located between two longitudinally arranged frame parts
Inventor: KRAMER TOBIAS
IPC: B62D21/15
Filed: 2005-09-22
Abstract: The carrying frame comprises two cross members (1,1) located at the front axle of the vehicle. The cross members (1,1) are designed as cast node elements (11a,11b,12a,12b) connected by a transversal element (13) and joined to the side members. A second cast node (11b,12b) is positioned at a distance behind each of the first (11a,12a). The space between the two parts accommodates a hollow deformation element (11c,12c) filled with self adhesive aluminum foam granules facilitating an adjustment of the rigidity of the element (11c,12c).
Patent DE-102005047015-A1 (DE)
Title: Internal combustion engine, has valve with pipe, which lies against counter surface with its rotation surface, and channels extending through pipe to two openings, which align to opening in wall of cylinder by rotation of pipe
Inventor: SANZO FRANCESCO
IPC: F01L7/02
Filed: 2005-09-30
Abstract: The engine has a valve to supply combustion air to a cylinder (2) through a channel and to remove exhaust gas from the cylinder through another channel depending on rotation angle of a crank shaft. The valve has a pipe (9), which lies against a counter surface (8) with its rotation surface. An opening (7) that can be closed by the pipe is formed in the wall of the cylinder within the counter surface. The channels extend through the pipe to two openings (20, 21) in the rotation surface, and the two openings in the rotation surface align to the opening in the wall by the rotation of the pipe.
Patent DE-102005047424-A1 (DE)
Title: Phosphating solution used as a pre-treatment for metal surfaces contains zinc irons, phosphate ions, hydrogen peroxide or an equivalent amount of a hydrogen peroxide-splitting substance and aliphatic chelate-forming carboxylic acid
Inventor: BROUWER JAN-WILLEM
IPC: C23C22/16
Filed: 2005-09-30
Abstract: Phosphating solution contains (in g/l) 0.2-3 zinc (II) irons, 3-50 phosphate ions (calculated as PO 4 3> ->), 15-50 hydrogen peroxide or an equivalent amount of a hydrogen peroxide-splitting substance and 0.3-15 aliphatic chelate-forming carboxylic acid with 2-7 carbon atoms with a content of free acid of a maximum one point. Independent claims are also included for the following: (1) Aqueous concentrate; and (2) Method for phosphating metal surfaces made from steel, galvanized steel and/or aluminum.
Patent DE-102005049017-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Segmentierung in einem n-dimensionalen Merkmalsraum und Verfahren zur Klassifikation auf Grundlage von geometrischen Eigenschaften segmentierter Objekte in einem n-dimensionalen Datenraum
Inventor: DELONG WOLF
IPC: G06K9/34
Filed: 2005-10-11
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Segmentierungsverfahren mit folgenden Schritten: DOLLAR A Vom Benutzer wird in einem ersten Schritt im n-dimensionalen Merkmalsraum ein einziger Datenbereich ausgewählt. Dieser ausgewählte Datenbereich wird vom System grundsätzlich so interpretiert, dass dieser mindestens zwei Klassen von zu segmentierenden Objekten enthält. In nachfolgenden Schritten bestimmt das System zunächst eine Trennfunktion im n-dimensionalen Merkmalsraum zur Unterscheidung der wenigstens zwei Klassen und wendet nachfolgend diese Trennfunktion auf den gesamten Datenraum oder eine größere Teilmenge des Datenraums an. Dieses Segmentierungsergebnis wird dann dem Benutzer in Echtzeit visuell dargeboten. DOLLAR A Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Klassifikation von Objekten auf Grundlage von geometrischen Eigenschaften zuvor nach einem beliebigen Verfahren segmentierter Objekte in einem n-dimensionalen Datenraum auszunutzen. Dazu werden zunächst in einem ersten Schritt mindestens zwei Objekte als Repräsentanten für zwei verschiedene Klassen ausgewählt, nachfolgend eine Anzahl (m) geometrischer Merkmale pro Objekt durch Berechnung von Wellenfunktionen verschiedener ganzzahliger Wellenfunktionen berechnet und schließlich werden die Objekte auf Grundlage der bestimmten Anzahl an geometrischen Merkmalen oder Teilmengen davon klassifiziert. Die zuvor erforderliche Segmentierung der Objekte kann nach einem Verfahren nach der vorliegenden Erfindung erfolgen.
Patent DE-102005049230-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Behandlung unverwobener Faserstoffe und Vorrichtung zum Bleichen
Inventor: FIGALIST HELMUT
IPC: D21C9/10
Filed: 2005-10-14
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Bleichvorrichtung (38) und ein Verfahren zum Bleichen unverwobener Faserstoffe in einer Suspension, insbesondere als Pulpe oder Faserbrei, in einem oder an einem durch Begrenzungswände gegebenen Behandlungsvolumen, wobei in/durch das Behandlungsvolumen die Suspension einfüllbar oder durchfließbar ist, mit mindestens einer ersten Elektrode (43'). Durch einen mit der ersten Elektrode (43') verbundenen Hochspannungsimpulsgenerator (46), mit welchem im Behandlungsvolumen und/oder in dessen unmittelbarer Umgebung ein Plasma erzeugbar ist, wird eine bleichende Wirkung hervorgerufen. Der Einsatz von Chemikalien beim Bleichen von Faserstoffen wird durch die Erfindung weiter vermindert.
Patent DE-102005049987-A1 (DE)
Title: Data output buffer for use in semiconductor memory device, has buffer unit that outputs data from buffer input line to buffer output line based on buffer enabling signal obtained from delay control unit
Inventor: LEE KYEONG HAN
IPC: G11C7/10
Filed: 2005-10-14
Abstract: The data output buffer (10) has a delay control unit (100) that a buffer enabling signal (BEN) in response to the received reference control signal (RCON). The buffer enabling signal remains in activated state if the duration of the reference control signal is shorter than the duration of a reference period. A buffer unit (200) outputs the data from the buffer input line (IDIO) to the buffer output line (EDIO) based on the buffer enabling signal, and blocks the supply of data from the buffer input line to the buffer output line if the buffer enabling signal is in deactivated state. An independent claim is included for semiconductor memory device using the data output buffer.
Patent DE-102005053969-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Zuordnung eines mobilen Datenspeichers zu einem Schreib-/Lesegerät
Inventor: GILA JANOS
IPC: G06F3/00
Filed: 2005-11-11
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur zuordnung eines mobilen Datenspeichers zu einem Schreib-/Lesegerät. Während einer ersten Funkverbindung zwischen dem Schreib-/Lesegerät und dem mobilen Datenspeicher wird der mobile Datenspeicher vom Schreib-/Lesegerät so eingestellt, dass dieser auf ein Suchsignal des Schreib-/Lesegeräts mit einem zweiten Signal mit den zweiten Korrelationsspitzen antwortet und nicht wie zum Initiieren der ersten Funkverbindung mit einem ersten Signal mit den ersten Korrelationsspitzen. Empfängt ein anderes Schreib-/Lesegerät das zweite Signal mit den zweiten Korrelationsspitzen, dann ignoriert das andere Schreib-/Lesegerät den mobilen Datenspeicher. Somit kann das Schreib-/Lesegerät die erste Funkverbindung beenden und durch Aussenden eines Suchsignals, auf das der mobile Datenspeicher mit dem zweiten Signal antwortet, eine zweite Funkverbindung zum mobilen Datenspeicher initiierten, ohne dass der mobile Datenspeicher durch ein anderes Schreib-/Lesegerät blockiert wird.
Patent DE-102005058493-A1 (DE)
Title: Bearbeitungsvorrichtung
Inventor: RIEDER HARRY
IPC: B23Q9/00
Filed: 2005-12-02
Abstract: Um eine Bearbeitungsvorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks zu schaffen, welche flexibel einsetzbar ist und dennoch eine hohe Positioniergenauigkeit und eine hohe Bearbeitungsqualität ermöglicht, wird vorgeschlagen, dass die Bearbeitungsvorrichtung mindestens eine Bearbeitungseinheit und mindestens eine Haltevorrichtung, mittels welcher die Bearbeitungsvorrichtung in einer Bearbeitungsposition an einer Oberfläche des Werkstücks gehalten ist, umfasst.
Patent DE-102005058746-A1 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zum Zusammenbau eines Fahrzeugrades
Inventor: JEON SEON GYU
IPC: B60C25/18
Filed: 2005-12-08
Abstract: Eine Vorrichtung zum Zusammenbau eines Fahrzeugrades weist eine Werkbank (100) zur Lagerung eines Rades (10), mit dem ein erster Messfühler (700) durch ein Kopplungsglied mit einem ersten vorbestimmten Drehmoment verbunden ist, eine Ausrichteinrichtung (300), die an der Werkbank (100) angeordnet ist und die eine Stellung des Kopplungsglieds ausrichtet, und eine Kopplungseinheit (500) auf, die an der Werkbank (100) angeordnet ist und ein Drehmoment für das Kopplungsglied schafft, wobei das Drehmoment durch die Kopplungseinheit (500) allmählich erhöhbar ist, bis ein zweites vorbestimmtes Drehmoment erreicht ist.
Patent DE-102005060409-A1 (DE)
Title: Verriegelbare Auszugschiebeführung
Inventor: NEUBRONNER RONALD
IPC: F16C29/10
Filed: 2005-12-15
Abstract: Ein Lastenträger, insbesondere ein heckseitig zu einem Fahrzeug ausziehbarer Lastenträger, weist auf fahrzeugseitigen Führungsschienen abgestützte, ausziehbare Tragschienen auf, die in den Führungsschienen über Tragrollen umfassende Tragvorrichtungen abgestützt sind.
Patent DE-102005063129-A1 (DE)
Title: Grabenisolationsstruktur für ein Halbleiterbauelement mit reduzierter Seitenwandverspannung und Verfahren zur Herstellung desselben
Inventor: HEMPEL KLAUS
IPC: H01L21/822
Filed: 2005-12-30
Abstract: Durch Bilden einer nicht oxidierbaren Beschichtung in Isolationsgräben wird die Erzeugung einer kompressiven Verspannung deutlich reduziert, wobei in anschaulichen Ausführungsformen Siliziumnitrid als Beschichtungsmaterial verwendet wird. Zu diesem Zweck wird das Ätzverhalten des Siliziumnitrids deutlich auf der Grundlage einer geeigneten Oberflächenbehandlung modifiziert, wodurch ein hohes Maß an Materialintegrität während eines nachfolgenden Ätzprozesses zum Entfernen nicht modifizierter Bereiche des Siliziumnitrids erreicht wird, das auch als eine effiziente CMP-Stoppschicht verwendet werden kann.