baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-20060001007-A (KR)
Inventor: LEE IL HO
IPC: H01L21/027
Filed: 2004-06-30
Abstract: 본 발명은 리소그래피 공정의 시뮬레이션 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 마스크에 의해 기판 표면에 형성되는 노광에너지 분포와 감광막의 콘트라스트 곡선으로부터 현상 후의 감광막 두께 분포를 산출함으로써 공정 계수의 보정없이 신속한 감광막 패턴 형성 공정 시뮬레이션을 가능하게 하여 공정 변수 최적화에 드는 시간과 비용을 절약하고 반도체 소자의 개발 기간을 단축할 수 있는 리소그래피 공정의 시뮬레이션 방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 상기 목적은 시뮬레이션하고자 하는 특정 공정의 노광에너지에 대한 감광막 두께 곡선인 콘트라스트 곡선을 구하는 단계, 상기 특정 공정용 마스크에 의해 기판 표면에 형성되는 노광에너지 분포를 산출하는 단계 및 상기 콘트라스트 곡선과 상기 노광에너지 분포로부터 현상 후의 감광막 두께 분포를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 리소그래피 공정의 시뮬레이션 방법에 의해 달성된다. 
     따라서, 본 발명의 리소그래피 공정의 시뮬레이션 방법은 마스크에 의해 기판 표면에 형성되는 노광에너지 분포와 감광막의 콘트라스트 곡선으로부터 현상 후의 감광막 패턴 분포를 산출함으로써 공정 계수의 보정없이 신속한 감광막 패턴 형성 공정 시뮬레이션을 가능하게 하여 공정 변수 최적화에 드는 시간과 비용을 절약하고 수율을 향상시킴과 동시에 반도체 소자의 개발 기간을 단축할 수 있는 효과가 있다. 
       
     감광막, 노광에너지, 콘트라스트, 시뮬레이션
Patent KR-20060001017-A (KR)
Inventor: PARK J NG HEE
IPC: G02F1/13
Filed: 2004-06-30
Abstract: 본 발명은 액정표시장치용 기판의 제조 공정 중 액상의 에천트를 사용하여 상기 기판에 기(旣) 증착된 박막의 일부를 제거하는 습식식각에 있어, 상기 에천트를 가열 및 항온 유지시키는 에천트 공급장치에 관한 것으로, 외부의 에천트가 공급되는 공급관 및 내부의 에천트를 배출할 수 있는 배출관이 구비되며 일 측면으로 다수의 관통공이 투공된 저장조와; 상기 저장조 일 측면으로 밀착 고정되고 상기 관통공과 일대일 대응되는 다수의 삽입공이 투공된 베이스플레이트, 각각의 일단이 상기 대응된 삽입공 및 관통공을 통해서 상기 저장조 내로 삽입되는 복수개의 히터봉, 상기 각 히터봉과 삽입공 사이를 유격없이 밀폐 고정시키는 고정부재를 포함하는 히터부를 구비하여, 상기 공급된 에천트를 가열하여 배출하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 기판의 습식식각을 위한 에천트 공급장치를 제공한다.  이에 각 히터봉을 별개로 분리 및 조립할 수 있어 교체나 수리에 용이하며, 탈착 가능한 구조임에도 불구하고 안정적인 밀폐상태를 유지할 수 있는 장점이 있다. 
                 
       
     베이스플레이트, 파이프조인트, 캡, 분리판
Patent KR-20060002332-A (KR)
Inventor: CHOI KYUNG TAE
IPC: B22D11/115
Filed: 2004-07-01
Abstract: 본 발명은 연속주조설비에 있어서의 이동자계를 이용하여 용강을 교반할 수 있도록 하는 전자 교반장치에 관한 것이다.  
     본 발명의 연속주조설비의 전자 교반장치는 철편들을 적층하는 것에 의해 베이스 상면에 다수의 수직 전극봉을 형성하고, 상기 전극봉에 다수의 수평 코일뭉치를 배열하여 3상 교류전원을 인가하는 것에 의해 자계를 형성하는 이동자계방식의 전자 교반장치로서, 상기 수평 코일뭉치를 전극봉 상방에서 하방으로 순차적으로 제1 내지 제6코일뭉치를 설치하되 상기 제1코일뭉치와 제4코일뭉치는 제2,3,4 전극봉에 설치하여 R상의 전원이 인가되게 전기적으로 연결하고; 상기 제2코일뭉치와 제5코일뭉치는 제1,2,3 전극봉에 설치하여 T상의 전원이 인가되게 전기적으로 연결하고; 상기 제3코일뭉치와 제6코일뭉치는 제3,4,5 전극봉에 설치하여 S상의 전원이 인가되게 전기적으로 연결하는 것에 의해 상기 전극봉에 순차적으로 N,S,S,S,N극의 자극이 형성되게 하는 것을 특징으로 한다.  
       
     	전자 교반장치, 전극봉, 코일뭉치, 용해로, 용강,
Patent KR-20060004061-A (KR)
Inventor: PARK BONG HYUN
IPC: C08L101/00
Filed: 2004-07-08
Abstract: 본 발명은 자동차 내장재용 열가소성 플라스틱재의 조성물과 그 제조방법에 관한 것으로서, 항균, 탈취, 공기정화에 탁월한 기능을 갖는 초미립자 원적외선 파우더를 사용한 자동차 내장재용 열가소성 플라스틱재의 조성물과 그 제조방법에 관한 것이다.  
     이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 커플링제와 원적외선 파우더를 결합시키는 결합단계인 제1단계와; 상기 제1단계의 반응결합을 거친 원료(커플링제와 원적외선 파우더) 0.1 ~ 3.0 중량%와, 안료 0.01 ~ 5.0 중량%, 초미립자 원적외선 파우더 0.01 ~ 3.0 중량%, 무기물 10 ~ 40 중량%, 합성고무 0.5 ~ 3.0 중량%, 합성수지 30 ~ 98 중량%, 안정제 0.1 ~ 2.0 중량%를 혼합한 플라스틱재 조성물을 분산 처리하는 원료 및 플라스틱재 조성물의 분산처리 단계인 제2단계와; 이를 반응시켜 용융 혼련시키는 용융혼련 단계인 제3단계와; 성형가공 제품의 용도에 알맞게 과립 형태를 성형하는 과립성형 단계인 제4단계로 이루어져 있다. 
       
     자동차, 내장재용, 열가소성 플라스틱재 조성물
Patent KR-20060005908-A (KR)
Inventor: KO CHEOL KYU
IPC: B60R5/04
Filed: 2004-07-14
Abstract: 본 발명은 자동차의 사이드 트림에 회동 결합되는 자동차용 리어 셀프 트림에 관한 것으로서, 물품을 적재하는 셀프 트림부와; 대체로 장방형의 판상으로 형성되어 상기 셀프 트림부의 저부 판면을 따라 결합되고, 그 길이 방향의 양 단부에 상기 사이드 트림과 회동결합되는 각각의 결합부를 갖는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라 지지부재는 셀프 트림부의 지지구조를 보강함과 아울러 사이드 트림과의 조립구조를 단순화할 수 있다.
Patent KR-20060007514-A (KR)
Inventor: YOO SEUNG EUL
IPC: H01M8/02
Filed: 2004-07-20
Abstract: 본 발명은 연료전지용 분리판에 관한 것으로서, 분리판(100)에 적어도 하나 이상이 관통 형성되는 기체입구(130)(130a)와, 기체입구(130)(130a)와 소정 간격을 두고 대향 배치되는 기체출구(140)(140a)와, 각 기체입구(130)(130a) 및 각 기체출구(140)(140a)로부터 수직하게 이어지는 입구유로(150)(150a) 및 출구유로(170)(170a)와, 입구유로(150)(150a) 및 출구유로(170)(170a)의 각 끝단에 분리판(100)에 관통하는 직각 방향으로 연결되어 입구유로(150)(150a) 및 출구유로(170)(170a)를 음극유로(112)와 양극유로(122)로 연통시키는 입구홀(160)(160a) 및 출구홀(180)(180a)을 구비한다. 따라서 연료전지의 분리판에서 기체의 누출이 방지되고, 대량 생산이 가능하도록 연료기체의 유, 출입구 측을 개선함으로써, 분리판의 안정성을 높이고 제작단가가 감소되며 제조시간을 단축시키는 효과가 있다.
Patent KR-20060008707-A (KR)
Inventor: PARK HYUNG KI
IPC: H04N5/655
Filed: 2004-07-24
Abstract: 본 발명은 텔레비전의 스피커 장착구조에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 텔레비전의 본체 측면부에 결합자석을 장착하여 스피커 내부에 구비된 영구자석과 자력에 의해 결속되도록 함으로서, 별도의 결합부재를 사용하지 않고도 텔레비전 본체와 스피커를 용이하게 장착하도록 하는 것을 특징으로 한다. 
                 
       
     스피커, 텔레비전, 영구자석, 자력, 브라켓
Patent KR-20060010222-A (KR)
Inventor: OH YOON HARK
IPC: H04N5/21
Filed: 2004-07-27
Abstract: 캠코더와 같은 레코더기기에서 잡음과 오디오 신호가 입력될 때 잡음만을 제거하는 잡음 제거 장치 및 그 방법이 개시되어 있다. 본 발명은 입력되는 프레임 단위의 오디오 스펙트럼에 대해 잡음 스펙트럼 갱신 구간별로 임계치를 다르게 설정하여 잡음 프레임 유무를 판별하는 과정, 현재 프레임이 잡음 프레임으로 판별되면 이전 프레임의 잡음 스펙트럼과 현재 프레임의 스펙트럼을 바탕으로 잡음 스펙트럼을 갱신하는 과정, 입력되는 프레임 단위의 오디오 스펙트럼에서 상기 갱신된 잡음 스펙트럼을 차감하는 과정을 포함한다.
Patent KR-20060010581-A (KR)
Inventor: CHOI BYUNG CHAI
IPC: G10D3/14
Filed: 2004-07-28
Abstract: 본 발명은 기타에 사용되는 현조율기에 관한 것으로 더 상세하게 설명하면 현(絃)의 일측단을 잡아 고정하고 현을 잡아 당기어 현의 장력을 조절하여 기타의 음량을 일정하게 조절하는 기타 현조율기의 현고정회전봉에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 현고정회전봉구조를 갖는 기타용 현조율기는 현고정회전봉의 상단부에 좌우로 관통하는 현삽입공을 형성함에 있어서 두개의 현삽입공을 형성하되 두 현삽입공은 상하로 배치되며 서로 인접하여 형성하되 서로 수직으로 교차하여 구성시킴에 그 특징이 있는데, 이같이 두개의 현삽입공을 형성하므로써 현의 일단을 삽입할 때 현이 하나의 현삽입공을 관통하여 삽입되고 연장되어 다른 하나의 현삽입공에 재차 삽입되어 관통되게 한 후 현고정회전봉을 회전시키어 현을 조여 일정한 장력을 갖게 한다.
Patent KR-20060012976-A (KR)
Inventor: KIM YOUNG SIK
IPC: B63B7/00
Filed: 2004-08-05
Abstract: 본 발명은 고무 보트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 "U"자 또는 "11"자 형상의 메인 튜브 하면에 별도의 보조 튜브를 부착하고 바닥과 메인 튜브의 후미를 연하는 고물보(Transom)의 높이를 상승시켜 수면과의 표면 마찰력을 최소화하며, 보조 튜브를 감싸 고정하는 외피의 수직면에 의해 충돌하는 물의 저항력이 상승하므로 회전 반경이 최소화되고 속도가 빨라지며 직진성의 향상과 부양력을 상승시킬 수 있게 한 고무 보트에 관한 것이다. 
     즉, 본 발명은 "U"자 또는 "11"자 형상의 메인 튜브에 내접하고 사람이 탑승할 수 있도록 마련된 바닥의 후방에 연결되며 메인 튜브의 후미를 서로 연결하여 추진장치를 설치할 수 있게 고물보(Transom)가 포함된 고무 보트에 있어서, 상기 메인 튜브의 저면에 접한 상태로 외주면을 감싸는 외피에 의해 고정되되 그 외주면을 감싸는 외피의 내측면이 고물보의 하단과 직교된 상태로 고정되는 보조 튜브; 상기 메인 튜브에 내접하는 바닥과 고물보의 하단부가 메인 튜브의 중심 부근에 위치되는 것을 특징으로 하는 고무 보트를 제공한다. 
       
     고무 보트, 메인 튜브, 바닥, 보조 튜브, 고물보, 직진성, 회전 반경, 부력
Patent KR-20050111514-A (KR)
Inventor: PARK EUNG DUG
IPC: B23K9/26
Filed: 2004-08-18
Abstract: 본 발명은 전기용접기에 사용되는 용접기 인버터 방열구조에 관한 것으로, 다수의 스위칭소자들이 부착되는 제1방열판(20a)과; 상기 고주파의 교류전원을 강압시키는 변압기(14)의 출력 교류전원을 정류하는 다수의 출력정류소자들이 부착되고, 그 냉각핀들이 냉각팬의 송풍방향에 나란함과 동시에 상기 제1방열판의 냉각핀과 마주보고 설치되어 송풍관을 형성하는 제2방열판(20b)과; 상기 제1방열판(20a)과 제2방열판(20b)에 바람을 송풍하는 냉각팬(30)과; 상기 다수의 스위칭소자들을 제어하는 제어부소자들이 장착되고, 상기 제1방열판 (20a)과 제2방열판 (20b)의 상부에 배치되는 회로기판(40)과;  상기 제1방열판(20a) 및 제2방열판(20b)의 상부와 상기 회로기판(40) 사이에서 열을 차단하고 송풍관의 윗면을 형성하는 절연판(41)과 ; 상기 제1방열판 (20a)과 제2방열판 (20b)에 의해 형성된 송풍관의 송풍출구에 배치되는 변압기(14)와; 상기 출력 정류소자들에 의해 정류된 직류출력전원을 평활하고, 상기 제1방열판(20a)과 제2방열판(20b)에 의해 형성된 송풍관의 송풍출구에 배치되는 리액터(16a)로 구성되어 회로기판이 열발생소자들에 인접하지 않아서 섀시가 필요 없고, 다량발열소자와 소량발열소자를 다른 방열판에 부착하여 소량발열소자가 다량발열소자의 열에 의해 영향받지 않는다.
Patent KR-20060019028-A (KR)
Inventor: KIM JANG SOO
IPC: G02F1/136
Filed: 2004-08-26
Abstract: 본 발명은 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에 관한 것으로, 기판 위에 게이트 전극을 포함한 게이트선, 게이트 절연막, 반도체층, 저항성 접촉 부재, 데이터선 및 드레인 전극을 형성하고, 노출된 게이트 절연막, 노출된 반도체층 및 데이터선 및 드레인 전극 위에 무기물의 하부 보호막과 감광성 유기물의 상부 보호막을 차례로 증착한다.  이어, 하부 보호막이 드러나도록 상부 보호막을 패터닝한 후, 상부 보호막을 마스크로 하여 하부 보호막과 그 아래의 게이트 절연막을 식각하여, 고랑과 게이트선의 일부, 데이터선의 일부 및 드레인 전극의 일부를 드러내는 접촉 구멍을 형성한다.  다음, 투명 도전막을 형성하여, 드레인 전극과 연결되는 화소 전극, 게이트선의 일부 및 데이터선의 일부와 연결되는 접촉 보조 부재, 고랑에 형성된 하부 도전체 및 상부 보호막에 형성된 하부 도전체를 형성한다. 고랑은 언더컷 형상의 측벽을 갖고, 접촉 구멍은 계단형 프로파일의 측벽을 갖는다.  이로 인해, 하부 도전체는 화소 전극과 접촉 보조 부재와 끊어져 있고, 이 고랑에 의해 상부 도전체 역시 화소 전극과 접촉 보조 부재와 끊어져 있다.  
       
     박막트랜지스터표시판, 슬릿, 마스크, 언더컷, 이중보호막
Patent KR-20060019209-A (KR)
Inventor: SOUNG KWANG SOO
IPC: B67D7/08
Filed: 2004-08-27
Abstract: 본 발명은 유량 검침기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자동차의 연료 또는 보일러와 같은 액체 또는 기체 연료를 사용하는 장치의 연료주입량 검침기에 관한 것이다. 
     본 발명은 연료주입구와; 상기 연료주입구와 연결되는 연료주입관과; 상기 연료주입관을 통과하는 연료의 양을 측정하는 유량계와; 상기 유량계에서 측정된 유량의 값을 표시해주는 디스플레이부; 및 상기 유량계와 상기 디스플레이부에 전기적으로 연결되어 제어하는 유량전자제어부;를 포함하는 연료주입량 검침기를 개시한다. 
       
     유량계, 연료주입구, 연료주입관, 전자제어부, 디스플레이
Patent KR-20060019913-A (KR)
Inventor: LIM DONG KEUN
IPC: H04N7/24
Filed: 2004-08-30
Abstract: 본 발명은 영상 분할 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 계층적 메쉬 구조를 이용한 영상 분할 방법에 관한 것이다.  본 발명에 따른 영상 분할 방법은, 영상 분할하고자 하는 객체가 포함되는 관심영역을 지정하는 단계; 관심 영역 내에서 객체의 에지를 탐색하는 단계; 탐색된 에지에 기초한 계층적 메쉬 구조를 이용하여 객체의 메쉬 경계선을 탐색하고 메쉬 크기를 한 계층 축소한 후 탐색된 메쉬 경계선의 주변 영역을 이용하여 메쉬 경계선을 보정하는 과정을, 소정의 정밀도를 얻을 때까지 반복적으로 수행하는 단계; 및 보정된 메쉬 경계선의 내부 영역을 채우는 마스크를 생성하여 객체를 마스킹 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.  이에 따라, 계층적 메쉬 구조를 이용하여 계산량을 줄이고, 정확하고 연속적인 객체 경계선(object boundary)을 찾을 수 있다.
Patent KR-20060021508-A (KR)
Inventor: CHO MIN JE
IPC: C02F1/46
Filed: 2004-09-03
Abstract: 본 발명은 나노 필터를 구비한 필터부와; 상기 필터부에 연통되어 정수된 물을 알칼리수와 산성수로 전기분해하는 전해조와; 상기 필터부와 전해조 사이에 구비되되, 상기 필터부에 연통되어 정수된 물이 임시 저장되는 정수탱크; 및 상기 정수탱크에 연통되어 상기 전해조로 공급되는 유량을 조절하는 유량조절펌프를 포함하고, 상기 유량조절펌프를 통해 공급되는 낮은 유량의 정수에 의해 상기 전해조에서 체류시간을 늘리고 충분한 전기에너지가 공급되도록 하여 전기분해가 원활하게 이루어지는 것을 특징으로 한다.  
       
     이온수기, 전해조, 알칼리수, 산성수, 필터, 전해질, 전기분해
Patent KR-20060025948-A (KR)
Inventor: JEON SEONG YUM
IPC: H04W24/02
Filed: 2004-09-18
Abstract: 본 발명은 호 전환 표시 상태(CFIS)가 지원되지 않는 심(SIM)이 결합된 이동 통신 단말기 부팅 시 시스템 망으로 호 전환 질의(interrogation)를 요구하여 결합된 심에 대한 호 전환 정보를 수신하고, 그 수신된 정보를 분석하여 호 전환 표시 상태를 처리할 수 있는 이동 통신 단말기의 호 전환 표시 상태 처리 방법에 관한 것으로, 단말기가 부팅되면 단말기에 결합된 심(SIM)의 호 전환 표시 상태(CFIS) 지원 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단 결과, 상기 심이 호 전환 표시 상태(CFIS)를 지원하지 않으면, 시스템 망으로 호 전환 질의(interrogation)를 요청하고, 심에 대한 호 전환 정보를 수신하는 단계와; 상기 호 전환 정보가 수신되면, 그 수신된 호 전환 정보를 분석하여 단말기에 결합된 심에 대한 호 전환 표시 상태(CFIS)를 화면에 출력하는 단계를 포함하여 이루어짐으로써, CFIS가 지원되지 않는 SIM을 사용해도 사용자에게 정확한 CFIS 정보를 전달할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-20050031939-A (KR)
Title: Optical pick-up system, optical pick-up device, and optical information recording and/or reprooducing apparatus
Inventor: KIMURA TOHRU
IPC: G11B7/135
Filed: 2004-09-24
Abstract: An optical pickup system, an optical pickup device and an apparatus for recording or playing optical information are provided to enable a spherical aberration change to be compensated without adjusting intervals between lenses, where the spherical aberration change is generated in an object optical unit including a plastic lens. An optical pickup system comprises a first optical source(LD1), a second optical source(LD2), an object optical unit(OBJ) and an aberration compensating optical unit(EXP). The first optical source generates a first light flux of a wavelength shorter than or equal to 450mm. The second optical source generates a second light flux of a wavelength in a range from 630mm to 680mm. The object optical unit condenses the first light flux onto an information recording surface of a first optical disk and simultaneously condenses the second light flux onto an information recording surface of a second optical disk, which has a different recording density from the first optical disk. The object optical unit comprises at least one plastic lens(EXP2) whose refractive index at an optical axis is positive. The aberration compensating optical unit arranged in an optical path between the first optical source and the object optical unit comprises at least one glass lens(EXP1) and a plastic lens(EXP2) whose refractive index at an optical axis is positive. The aberration compensating optical unit has a spherical aberration change ratio according to a temperature increase of the object optical unit greater than 0 when the information is recorded in or played from the first disk.
Patent KR-20060028970-A (KR)
Inventor: LEE SEONG YOUNG
IPC: G02F1/136
Filed: 2004-09-30
Abstract: 본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 행렬 형태로 배열되어 있는 복수의 화소 전극과 상기 화소 전극에 연결되어 있는 스위칭 소자를 각각 포함하는 복수의 화소, 상기 스위칭 소자에 연결되어 있고, 행 방향으로 뻗어 있으며 하나의 화소 전극행 당 적어도 두 개씩 배치되어 있고 확장부를 포함하는 복수의 게이트선, 그리고 상기 스위칭 소자에 연결되어 있고, 열 방향으로 뻗어 있으며 적어도 두 개의 화소열 당 하나씩 배치되어 있는 복수의 데이터선을 포함한다.  상기 스위칭 소자는 상기 게이트선에 연결되어 있는 게이트 전극, 상기 데이터선에 연결되어 있는 소스 전극, 그리고 상기 화소 전극에 연결되어 있는 드레인 전극을 포함하고, 상기 드레인 전극은 상기 소스 전극의 반대 방향으로 뻗어 있는 돌출부를 포함한다.  이때, 상기 돌출부는 상기 확장부와 중첩하고 있다. 
       
     액정표시장치, 반전, 도트반전, 열반전, 크로스토크, 플리커, 블랙매트릭스, 기생용량, Cgd, Cgs, 기생축전기
Patent KR-20050091908-A (KR)
Inventor: HANYU ATSUSHI
IPC: G02F1/133
Filed: 2004-10-06
Abstract: 본 발명은 확산판의 변형을 억제하여 발광 품위를 향상시킬 수 있고 또 부품수가 적은 직하형 백라이트를 제공하기 위한 목적을 가지며, 본 발명의 직하형 백라이트는, 광원(10)으로부터의 광을 투과 확산시키는 확산판(4)과 그 확산판(4) 주위에 설치된 프레임부(5)가 일체 성형된 확산판 일체 프레임부(3)와, 상기 확산판(4)이 배치된 개구부(11)를 가짐과 동시에 내부에 광원(10)이 배치된 하측 프레임(2)을 구비하며, 확산판(4)은 그 중앙쪽에서 가장자리쪽을 향해 두께가 연속적으로 증가하는 두께 변화부(h)를 갖는다.
Patent KR-20060032922-A (KR)
Inventor: CHO GYUNG SU
IPC: H01L21/304
Filed: 2004-10-13
Abstract: 본 발명은 연마 조절층을 이용한 웨이퍼 연마 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 웨이퍼의 스크라이브 라인 영역에 연마 조절층을 추가적으로 형성하여 CMP 공정시 칩 영역에 불량이 발생하지 않도록 하는 연마 조절층을 이용한 웨이퍼 연마 방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 상기 목적은 칩과 스크라이브 라인 영역이 존재하는 웨이퍼를 연마하는 방법에 있어서, 상기 웨이퍼 위에 하부층을 형성하는 단계; 상기 하부층 위에 요철을 가진 소정의 구조물을 형성하는 단계; 상기 구조물을 덮는 상부층을 형성하는 단계; 상기 스크라이브 라인 영역에만 추가적으로 연마 조절층을 형성하는 단계; 및 상기 웨이퍼를 CMP 공정으로 평탄화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 조절층을 이용한 웨이퍼 연마 방법에 의해 달성된다. 
     따라서, 본 발명의 연마 조절층을 이용한 웨이퍼 연마 방법은 반도체 소자의 품질 및 신뢰성을 향상시키고 CMP 공정시의 불량 발생을 방지하여 수율을 향상시키는 효과가 있다. 
       
     화학기계적 연마(CMP), 스크라이브 라인, 연마 조절층, 칩 영역
Patent KR-20070078426-A (KR)
Inventor: CHON CHANG HO
IPC: C04B14/34
Filed: 2004-10-12
Abstract: A silver-containing inorganic composition with antibacterial and optical catalytic functions is provided to remove sulfur compound and nitrogen compound in fabric, plastic, wood, ceramics and the like. One liter of distilled water or purified water is added in a common electrolysis apparatus, in which a silver rod or platinum rod of purity 99.9% is assembled in a cathode and an anode, through which 28 to 30 V of DC and 200 mA of current flow using household electric alternating current(AC) power 220V through a direct current conversion device. A current is applied for 5 hours or more to prepare a colloidal silver solution or a colloidal platinum solution having a particle size of 0.005 to 0.015 micrometers, in which silver or platinum is dissolved at a concentration of 5 PPM. The colloidal silver solution(500cc) is added to 300 g of white carbon of silicon oxide (ZEOSIL, diatomite, zeolite, perlite, sepiolite, carbon black, porous mineral oxide powder) to prepare silver containing inorganic composition powder.
Patent KR-20060034043-A (KR)
Inventor: CHUNG SE JIN
IPC: H01L21/02
Filed: 2004-10-18
Abstract: 레이저 빔의 에너지 균일성을 향상시킨 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법이 개시된다. 발진부는 레이저를 발진하고, 분할부는 발진된 레이저를 분할하며, 제1 렌즈부는 분할부와 대향하고, 분할된 레이저를 투과시키며, 두 개 이상의 코팅층은 제1 렌즈부 상에 서로 다른 두께나 굴절률을 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성된다. 이에 따라, 레이저의 경로가 서로 다르도록 변환함으로써 조사면에서 균일한 에너지를 갖는 선형 빔을 형성할 수 있다. 
       
     펄스 발진, 엑시머 레이저, 선형 빔, 빔 호모지나이저
Patent KR-20050039650-A (KR)
Inventor: MIYAZAKI KATSUHIKO
IPC: H03H9/10
Filed: 2004-10-22
Abstract: 소형화 및 박형화에 적합한 압전 발진기와, 그 압전 발진기를 사용한 전자 기기를 제공한다. 
     압전 발진기(10)는, 실장 기판에 접속하는 다수의 실장 단자(24)를 구비한 실장용 리드(12)에 실장한 전자 부품과, 상기 전자 부품의 상하 방향으로 겹쳐 배치한 압전 진동자(18)를 갖고, 상기 압전 진동자(18)의 상기 전자 부품의 대향면에 형성한 외부 단자를, 상기 전자 부품의 외측 가장자리의 내측에 설치한 접속 단자(30)에 접속 수단을 통해 접속한 구성으로 했다.  그리고 상기 접속 수단은 금속 볼, 또는 리드 프레임과 와이어 본딩의 조합이면 된다.
Patent KR-20060037086-A (KR)
Inventor: CHOI IN JEONG
IPC: G10L15/08
Filed: 2004-10-27
Abstract: 본 발명은 음성인식에 관한 것이다. 
     음성 인식 방법은 사용자가 자연스럽게 발화한 음성을 취득하여 특징을 추출하는 단계와, 상기 특징으로부터 상기 어휘를 구성하는 서브워드들 중에서 첫번째 서브워드의 후보들을 선정하여 디스플레이하는 단계와, 상기 후보들 중에서 사용자가 선택한 서브워드를 기준으로 다음 서브워드의 후보들을 선정하여 디스플레이하는 단계, 및 상기 다음 서브워드로부터 사용자가 어휘를 결정하였는지를 판단하여, 결정되지 않은 경우에 이전까지 선택된 서브워드열을 기준으로 그 다음 서브워드 후보들을 선정하여 디스플레이하는 단계를 포함한다. 
       
     음성 인식, 멀티 모드, 서브워드, 네비게이션 시스템
Patent KR-20060046828-A (KR)
Inventor: PARK WEON HEE
IPC: A61B5/04
Filed: 2004-11-12
Abstract: 본 발명은 체성분 분석장치에 관한 것으로서, 특히 측정 대상자가 편안하고 바른 자세에서 체성분을 측정할 수 있을 뿐만 아니라 장치를 용이하게 보관할 수 있도록 보관 공간을 적게 차지하는 체성분 분석장치에 관한 것이다. 
     상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 체성분 분석장치는 발전극이 설치된 발전극 케이스와, 상기 발전극 케이스로부터 상측으로 세워져 연장된 칼럼과, 상기 칼럼의 상단부에 설치되고 손전극이 형성된 손잡이를 가지며 전기적 신호를 발전극 케이스에 설치되는 전자 부품과 주고받을 수 있도록 케이블에 의해 전기적으로 연결된 손전극 케이스로 구성되어, 측정 대상자가 항상 편안하고 정확한 자세에서 측정이 이루어지는 효과를 제공한다.	 
       
     체성분, 분석장치, 임피던스, 힌지
Patent KR-20060055967-A (KR)
Inventor: KIM YOUNG IL
IPC: H04N5/74
Filed: 2004-11-19
Abstract: 본 발명은 광학엔진부의 본체로부터 램프하우징의 분리 및 결합을 용이하도록 하기 위한 프로젝션 텔레비전의 램프하우징 설치구조에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 프로젝션 텔레비전의 램프하우징 설치구조는 스크린에 영상을 투사하는 광학엔진부의 외형을 이루며, 내부에 광원으로 사용되는 램프를 구비하고, 끝단부에 삽입홈을 형성한 본체와, 상기 삽입홈의 마주하는 가장자리에 각각 인접되는 본체 상에 돌출 형성된 걸림턱과, 상기 본체의 삽입홈에 삽입되어 내부를 밀폐하며 램프를 보호하고, 투명재질인 램프하우징과, 상기 본체의 걸림턱 각각과 필요에 따라 결합되거나 분리되며 본체로부터 램프하우징을 선택적으로 분리하도록 램프하우징의 둘레에 한 쌍 형성된 걸림부재로 이루어짐을 특징으로 한다. 
       
        프로젝션 텔레비전, 광학엔진부, 램프, 램프하우징
Patent KR-20060056062-A (KR)
Inventor: KIM JAE CHEOL
IPC: G06F17/00
Filed: 2004-11-19
Abstract: 본 발명은 웹 기반의 디지털-아날로그 워터마킹(DA Watermarking)을 이용한 온라인 문서와 오프라인 출력물에 대한 전자 인지 시스템에 관한 것으로, 인터넷상에서의 디지털 문서 유통과 출력 문서 보안을 지원하며, 출력된 문서나 증명서 즉, 아날로그 출력물을 전자 인증 문서화할 뿐만 아니라 그 전자 인증 문서화된 문서의 내용까지도 위조, 변조 및 복제를 차단하도록 해주는 시스템에 관한 발명이다. 
     또한 본 발명은 인터넷을 통하여 범용적인 출력 장비에서 출력되는 아날로그 출력물에 디지털-아날로그 워터마킹(DA Watermarking)으로 인지를 출력하고, 이 인지에 복사나 복제가 방지된 정보를 삽입시킴으로써 여러 문서별로 인증을 가능하도록 해주며, 인터넷을 통해 출력되는 문서에 각각의 문서번호와 그 문서의 일부 정보를 디지털-아날로그 워터마킹 부호로서 기입하여 해당 문서가 위조나 변조되는 것에 대해 보호해주며, 출력된 원본 문서에 대해 인터넷 및 프로그램을 통한 디지털정보 해독으로 해당 문서의 실효성을 입증 받도록 해주는 발명이다. 
       
     인터넷, 워터마크, 보안, 인증, 전자인지, 온라인 전자인지 시스템, 출력물 위변조 방지.
Patent KR-20060059272-A (KR)
Inventor: PARK JONG JIN
IPC: C22B5/12
Filed: 2004-11-26
Abstract: 본 발명은 삼산화 몰리브덴 또는 기타 금속 산화물을 금속 몰리브덴으로 환원하는 장치 및 이를 이용한 환원방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 2단계에 걸친 수소환원 작업에 의하여 산화몰리브덴 또는 기타 금속 산화물을 환원시키는 장치 및 환원방법에 관한 것이다. 
     이를 구현하기 위한 본 발명의 수소환원 장치는 1차 환원로, 상기 1차 환원로와 기체 교환가능하도록 관으로 연결된 수분제거장치, 및 상기 수분제거장치와 기체 교환가능하도록 관으로 연결된 2차 환원로로 이루어져 있으며, 상기 1차 환원로에는 가스를 배출하는 가스 배출구가 설치되어 있고, 상기 2차 환원로에는 가스를 공급하기 위한 가스 공급구가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. 
       
     수소환원, 삼산화 몰리브덴, 이산화 몰리브덴, 배치방식, 수소효율
Patent KR-20060063393-A (KR)
Inventor: JEONG HAE DEOG
IPC: A47L15/42
Filed: 2004-12-07
Abstract: 본 발명은 식기 세척기에 관한 것으로서, 더욱 상세히, 식기 세척기의 터브 저면에 장착되는 섬프와 터브 내부 벽면에 장착되는 워터 가이드의 체결 구조에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 식기 세척기의 워터 가이드 체결 구조는 하단부에 형성되는 적어도 하나 이상의 후크와, 상기 후크의 측면에 형성되어 상기 후크에 소정의 탄성력을 제공하는 플렉시블 홀이 포함되는 워터 가이드; 상기 워터 가이드가 결합되기 위하여 상부 일측에 소정 길이로 연장되는 워터 가이드 연결구와, 상기 워터 가이드 연결구의 외주면에 상기 후크가 삽입되기 위한 적어도 하나 이상의 후크 삽입공이 포함되는 섬프;가 포함된다. 
     본 발명에 따른 식기 세척의 워터 가이드 체결 구조에 의하여, 섬프 내부의 세척 펌프로부터 펌핑되는 세척수의 압력에 의하여 워터 가이드가 섬프로부터 탈거되는 현상이 방지된다. 
       
     상부 노즐, 하부 노즐, 워터 가이드, 섬프
Patent KR-20060063516-A (KR)
Inventor: LEE DONG HUN
IPC: C05F9/02
Filed: 2004-12-07
Abstract: 본 발명은 음식물찌꺼기나 식품공장 유기폐기물 등을 발효하여 사료나 유기질퇴비로 유용하게 재활용할 수 있도록 처리하는 유기물 발효장치에 관한 것으로, 유기물발효에 있어서 최적조건인 초기 함수율 50~60%, 발효온도 55~65℃, 연속적인 균일한 교반, 모든 유기물에 적절한 산소공급을 충족시키면서, 특히 발효효율의 향상과 처리에 소요되는 에너지 효율을 높일 수 있도록 한 유기물 발효장치에 관한 것으로, 
     본출원인이 선 등록한 실용신안 제0095615호 및 제0149993호 내용의 유기물 발효장치가 동기회전하는 2개의 교반기의 하부에 위치하며 회전궤적에 간섭을 주지 않는 범위내에 설치할 수 있는 유기물 보조 가열부와, 압축공기 가열부를 설치하여 발효효율과 에너지효율을 더욱 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-20060066260-A (KR)
Inventor: CHOI IN SUN
IPC: H02J13/00
Filed: 2004-12-13
Abstract: 본 발명은 비접지 배전 계통 고장 구간을 분리하고 이를 복구하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피더 에이전트를 이용한 비접지 배전 계통 구간분리 및 복구 방법에 관한 것이다. 본 발명은 소정의 연계된 선로 구간을 각각 담당하는 제1 및 제2 피더 에이전트를 포함하는 비접지 배전 선로의 고장 구간 분리 복구 방법에 있어서, (a) 제1 피더 에이전트가 선로의 고장을 감지하는 단계, (b) 상기 제1 피더 에이전트가 상기 제2 피더 에이전트로 고장 경험 통신을 전파하는 단계, (c) 상기 제1 피더 에이전트가 상기 선로상의 상시 개방점을 전원측으로 이동시키는 단계, (d) 상기 상시 개방점의 이동에 따라 상기 제1 및 제2 에이전트가 상기 선로의 고장을 감지하는 단계, (e) 상기 제2 에이전트에 고장이 감지되는 경우 상기 제2 에이전트가 상기 상시 개방점 직전 개폐기를 개방하는 단계 및 (f) 상기 제2 에이전트에 고장이 감지되지 않는 경우, 상기 단계 (c) 및 단계 (e)를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접지 배전 선로의 고장 구간 분리 복구 방법을 제공한다. 
       
     배전 선로, 순송 방식, 고장 구간, 피더 에이전트, 상시 개방점, 연계 선로
Patent KR-20060068407-A (KR)
Inventor: KIM SE HAN
IPC: H04L9/30
Filed: 2004-12-16
Abstract: 본 발명은 3GPP IMS(IP Multimedia Sub-System) 망을 활용하는 환경에서 IP망에 연결된 두 단말 간 화상 통화 내용을 기록하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 3GPP IMS망에서 화상 통화 내용 기록 시스템은, 3GPP IMS망에 접속 가능한 복수의 사용자 단말(UA)과; 상기 복수의 사용자 단말(UA)에 연결되며, 패킷의 라우팅 및 전달하기 위한 프록시호세션제어부(P-CSCF)와; 상기 사용자 단말(UA)의 세션을 제어하기 위한 서빙호세션제어부(S-CSCF)와; 상기 사용자 단말(UA)의 위치 관리, 프로파일 관리 및 인증 기능을 수행하며, 상기 서빙호세션제어부(S-CSCF)의 수집 기능을 담당하는 홈가입자서버(HSS); 및 상기 복수의 사용자 단말(UA)과 연결된 데이터 경로를 갖고, 상기 복수의 사용자 단말(UA) 사이에 전송되는 데이터를 기록하기 위한 기록프락시서버를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
       
     IMS, UA, CSCF, HSS, 화상전화
Patent KR-20060068675-A (KR)
Inventor: SHIM JAE GYUN
IPC: G01R31/26
Filed: 2004-12-16
Abstract: 본 발명은 로더 핸드의 무게를 줄이고 로더 핸드에 장착된 피커들의 간격 제어를 안정화하도록 한 테스트 핸들러의 로더 핸드에 관한 것이다.  
     이 테스트 핸들러의 로더 핸드는 대상체를 각각 픽킹하기 위한 다수의 피커들과; 상기 피커들 간의 x축 방향의 수평운동을 안내하기 위한 볼스플라인 샤프트와; 상기 수평운동 방향에서 이웃하는 상기 피커들 간에 연결되어 상기 피커들 간의 최대 간격을 제한하기 위한 다수의 고리와; 상기 피커들 각각에 끼워져 상기 수평운동 방향에서 이웃하는 상기 피커들 간의 최소 간격을 제한하는 다수의 스톱퍼와; 상기 스톱퍼들 각각을 관통하여 상기 스톱퍼의 수평운동 방향을 안내하는 가이드 샤프트를 구비한다.
Patent KR-20060069913-A (KR)
Inventor: PARK CHANG BAE
IPC: G01R31/00
Filed: 2004-12-20
Abstract: 본 발명은 송전선로에 설치되어 있는 애자의 열화상태를 검사하는 장비로 애자의 전압을 측정하고 읽어 디지털로 변환하여 무선으로 송신하며, 송신값을 PDA에서 수신하여 불량여부를 확인 후 그 데이터를 PC에서 추적관리할 수 있도록 한 전압식 불량애자 검출시스템에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 송전선에 설치된 애자의 분담전압을 체크하는 검출부와; 상기 검출부에서 체크된 분담전압을 무선으로 수신하고, 수신된 분담전압과 기설정된 전압을 비교하여 애자의 불량 여부를 작업자에게 표시해주는 PDA와; 상기 PDA의 데이터를 무선으로 수신하고, 수신된 자료를 데이터베이스화하는 컴퓨터;를 포함하여 구성된다. 
       
     송전선, 애자, 검출부, PDA, 컴퓨터
Patent KR-20060071960-A (KR)
Inventor: KWEN GI YEONG
IPC: B22D43/00
Filed: 2004-12-22
Abstract: 본 발명은 상협하광의 파이프 형상을 갖고, 상기 동체의 와구부 내측에 소정 간격으로 이격되어 설치된 제 1 제거장치와; 상기 동체의 와구부에 인접한 내벽면에 결합되는 초승달 형상의 몸체와, 상기 몸체의 내측면에서 상기 와구부의 중심방향으로 돌출되고 원주방향을 따라 이격 형성된 다수개의 돌기로 이루어진 제 2 제거장치;로 구성되고, 슬래그를 제거하기 위한 제거장치가 용선대차의 동체와 일체형으로 형성되어 단시간 내에 슬래그 제거작업이 가능하여 용선의 온도 저하를 방지할 수 있으며, 그에 따라 좋은 품질의 용선을 얻을 수 있는 용선대차용 슬래그 자동 제거장치를 제공하는데 있다. 
       
     용선대차, 용선, 슬래그
Patent KR-20060072047-A (KR)
Inventor: SHIN HONG DAI
IPC: A61G17/08
Filed: 2004-12-22
Abstract: 본 발명은 외부용기의 내부에 내부용기가 삽입되는 이중구조의 납골함에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 외부면에 귀금속층이 코팅되고 다수의 통공을 형성한 납골함의 외부용기를 옥이나 대리석과 같은 석재 및 도자기재로 제작하고, 내부용기는 금, 은, 구리와 같이 열전도도가 우수하고 향균성을 지니고 있으며, 접착제나 패킹등의 화학제품으로 된 밀봉수단을 사용하지 않고도 완벽한 밀봉이 가능한 금속판으로 제작함으로서, 외부용기 외측의 온도와 내부용기 내부의 온도편차가 작아서 내부용기의 내부에 결로현상이 발생하는 것을 예방하고, 금속제로 된 내부용기의 밀봉을 완벽하게 하여 내부용기에 담겨진 유골의 부패를 방지할 수 있도록 하기 위한 것이다. 
     본 발명은 상부가 개방되고 외주면에 다수의 통공(4)이 형성된 외부용기본체(3)의 외부면에 귀금속층(1)이 코팅된 외부용기(5)의 상부에는 상면에 귀금속층(1)이 코팅된 외부용기뚜껑(2)이 삽탈가능하게 설치되고, 상기 외부용기본체(3)의 내부 바닥면에는 내부용기뚜껑(6)이 삽탈가능하게 설치된 내부용기(7)의 하부가 접착제(8)로서 부착된 것에 있어서, 상기 외부용기본체(3)와 외부용기뚜껑(2)이 석재 또는 도자기재중 한가지의 재질로서 형성되고, 상기 내부용기뚜껑(6)을 포함한 내부용기(7)는 금, 은, 구리와 같이 열전도도가 우수한 금속판재로 형성되며, 내부용기(7)의 상측 개구부에 결합되는 내부용기뚜껑(6)이 나사식으로 결합되어 외부용기(5) 외측의 온도와 내부용기(7)와의 온도편차가 최소화되고, 내부용기로의 습기유 입이 차단되어 내부용기(7) 내부의 결로현상 및 유골의 부패를 방지할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다. 
       
     납골함, 외부용기, 내부용기, 귀금속층, 접착제, 통공, 살균, 탈취
Patent KR-20060072374-A (KR)
Inventor: PARK CHUN MOK
IPC: B60S1/38
Filed: 2004-12-23
Abstract: 본 발명은 정,역구동되는 구동모터에 연결되는 와이퍼 아암에 결합되어 자동차의 유리를 닦아주는 윈도우 와이퍼에 관한 것으로서, 정,역구동되는 구동모터에 연결되는 와이퍼 아암에 결합되어 자동차용 유리를 닦아주는 윈도우 와이퍼에 있어서, 자동차의 유리에 밀착되는 블레이드와; 상기 블레이드가 전면에 부착되며 자체탄성을 가진 만곡형상의 프레임과; 상기 프레임이 윈도우에 밀착한 상태에서 상기 프레임의 중심에 대응하여 양측의 소정영역에 접촉하여 자동차의 유리면방향으로 상기 프레임을 가압하도록 상기 프레임의 배면에 부착되는 자체탄성을 가진 보조프레임과, 상기 프레임과 상기 보조프레임을 상기 와이퍼 아암에 부착하도록 상기 프레임과 상기 보조프레임의 중앙영역과 결합하는 브래킷 훅을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 자동차의 유리의 곡률에 관계없이 블레이드의 전영역이 자동차의 유리에 강력하게 밀착되어 우수한 세척력을 발휘하는 윈도우 와이퍼가 제공된다.  
       
     윈도우 와이퍼, 플랫타입 와이퍼
Patent KR-20060073674-A (KR)
Inventor: AHN JIN HYUK
IPC: G07D13/00
Filed: 2004-12-24
Abstract: 본 발명은 지폐류나 용지 등의 지류를 취급하는 장치의 지류분리수단에서 지폐가 낱장분리되지 못하고 복수매가 분리 및 겹침이송되어 발생되는 금융사고 및 잼(jam) 등을 예방하고자 이송되는 지류의 겹침여부를 감지하기 위한 지류 겹침이송 감지장치 및  그 방법에 관한 것이다. 
     이를 실현하기 위한 본 발명은, 지류의 상하면을 가이드하여 지류를 이송하는 지류이송수단; 회전축에 결합되어 선회가능하도록 설치되고, 일측은 상기 지류이송수단의 지류이송통로에 위치되어 이송되는 지류의 일면과 접촉하여 선회되는 접촉부와 타측은 복수개의 슬릿이 형성되는 인코더부로 이루어지며, 상기 회전축이 상기 인코더부 보다 상기 접촉부측으로 더 근접하여 설치되는 선회부재; 상기 선회부재의 선회시 상기 인코더부의 슬릿을 개수하는 슬릿개수센서;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 지류 겹침이송 감지장치 및 그 방법을 제공하여 두께가 얇은 지류의 겹침이송여부를 정확하게 감지할 수 있고 지류의 가로 세로 크기 및 두께에도 상관없이 겹침이송여부를 감지해 낼 수 있을 뿐만아니라 지류의 종방향 이송 및 횡방향 이송을 포함한 모든 수평방향이송에서 사용가능한 발명임. 
       
     겹침이송, 감지장치, 선회부재, 인코더, 슬릿
Patent KR-20060075519-A (KR)
Inventor: KIM SANG JIN
IPC: F04B39/12
Filed: 2004-12-28
Abstract: 본 발명은 공기압축기의 실린더 헤드 커버에 관한 것으로, 실린더 헤드 커버의 한쪽 측벽에 냉각수 홀과 상기 냉각수 홀에 연통된 냉각수 슬롯이 각각 형성되어 있고, 상기 냉각수 슬롯이 실린더 헤드 플레이트의 측벽 내부와 연결된 구조로 되어 있다.  이러한 구조로 이루어진 본 발명은 공기압축기의 실린더 헤드에 공급되는 냉각수가 외부 파이프를 통해 실린더 헤드 커버의 냉각수 홀로 들어와 실린더 헤드 플레이트로 들어가도록 함으로써, 실린더 헤드에 외부에서 열을 받는 벽이 상기 냉각수 홀에 의해 이중벽으로 구성되고, 상기 냉각수 홀안에 냉각수가 흐르게 되어 결과적으로 외부의 열이 내부로 전달되지 못하게 한다.  또한 헤드 커버 내부의 토출공기는 측벽을 통해 냉각수와 열전달을 하면서 냉각되고, 반대편 측벽은 외부 공기와 열전달 하면서 토출공기의 온도가 상승하는 것을 방지해 주게 된다. 
       
     공기압축기의 실린더 헤드 커버, 공기압축기의 실린더 헤드
Patent KR-20060079383-A (KR)
Inventor: JO BO YEOUN
IPC: H01L21/28
Filed: 2004-12-30
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 알루미늄 배선을 식각 형성한 후 부식을 방지하고 잔류 폴리머를 제거하기 위하여 시행하는 후속 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 후속 처리 방법은, 진공 상태에서 압력 조절 밸브를 닫고 공급 가스의 부분압을 사용하며 RF 전력을 인가하지 않은 상태에서 챔버 내부로 불화탄소(CF 4 ) 가스와 수증기(H 2 O)를 공급하는 단계와, 공급 가스의 부분압을 사용하고 RF 전력을 인가한 상태에서 챔버 내부로 불화탄소(CF 4 ) 가스와 수증기(H 2 O)를 공급하는 단계와, 챔버 내부 온도를 0℃로 조절하고 챔버 내부로 산소(O 2 ) 가스를 공급하는 단계와, 오존(O 3 ) 플라즈마 처리를 진행하는 단계를 포함한다. 
       
     알루미늄 배선, 배선 부식, 잔류 폴리머, 불화탄소, 오존 플라즈마