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Patent DE-102015108884-A1 (DE)
Title: Vorrichtung zur Plasmabehandlung von insbesondere bandförmigen Objekten
Inventor: Viöl Wolfgang
IPC: H05H1/46
Filed: 2015-06-04
Abstract: Eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung eines insbesondere bandförmigen Objekts weist eine Elektrode (7) und Gegenelektrode (8) aus elektrisch leitfähigem Material, einen Wechselhochspannungsgenerator (17), der ausgebildet und angeschlossen ist, um mit einer Wechselhochspannung eine Gasentladung zwischen der Elektrode (7) und der Gegenelektrode (8) hervorzurufen und eine dielektrische Barriere (6) auf, die mit der Gasentladung in Reihe geschaltet ist, um die Gasentladung dielektrisch zu behindern. Dabei sind die Elektrode (7) und die Gegenelektrode (8) nebeneinander in einem Kontaktmantel (5) angeordnet, den eine um eine Walzenachse (2) drehbar gelagerte Walze (1) zum Kontaktieren des zu behandelnden Objekts aufweist.
Patent DE-102015110185-A1 (DE)
Title: Messanordnung zum Erkennen einer Fehlfunktion einer Energiespeicheranordnung
Inventor: NEUMANN DANIEL
IPC: H01M10/48
Filed: 2015-06-24
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Messanordnung (300) zum Erkennen einer Fehlfunktion einer Energiespeicheranordnung (101) mit einem ersten Energiespeicher (103) und mit zumindest einem weiteren Energiespeicher (105, 107), wobei der erste Energiespeicher (103) und der weitere Energiespeicher (105, 107) elektrisch parallel geschaltet sind, mit: einer Messeinrichtung (309), welche ausgebildet ist, eine Polarität einer elektrischen Messgröße des ersten Energiespeichers (103) und eine Polarität einer weiteren elektrischen Messgröße in der Energiespeicheranordnung (101) zu erfassen; einer Prozessoreinrichtung (311), welche ausgebildet ist, die Fehlfunktion der Energiespeicheranordnung (101) durch einen Vergleich der Polarität der elektrischen Messgröße des ersten Energiespeichers (103) und der Polarität der weiteren elektrischen Messgröße zu erkennen.
Patent DE-102015110684-A1 (DE)
Title: Vermessungsinstrument
Inventor: ISHIDA TAKESHI
IPC: G01C17/34
Filed: 2015-07-02
Abstract: Die Erfindung stellt ein Vermessungsinstrument (1) bereit, das eine Rahmeneinheit (4), die in einer horizontalen Richtung drehbar ist, eine Teleskopeinheit (5), die in einer vertikalen Richtung drehbar auf der Rahmeneinheit montiert ist, eine Antriebseinheit (15, 17) zum Drehen und Antreiben der Rahmeneinheit und der Teleskopeinheit, eine Horizontalwinkel-Messeinheit (16) zum Detektieren eines Horizontalwinkels der Rahmeneinheit, eine Vertikalwinkel-Messeinheit (18) zum Detektieren eines Vertikalwinkels der Teleskopeinheit und eine Steuervorrichtung (21) umfasst, wobei die Teleskopeinheit ein Teleskop (8) zum Anvisieren eines zu messenden Objekts und eine Weitwinkelkamera (9), die einen weiteren Bildwinkel als das Teleskop aufweist und zum Erhalten eines Bildes in einer Zielrichtung dient, aufweist, wobei die Weitwinkelkamera so eingestellt ist, dass eine Anvisierungsposition der Sonne auf einem Photodetektionselement ist und die Anvisierungsposition der Sonne an einer bekannten Position ist, die von einem Bildfeld (31) des Teleskops abweicht, wobei die Steuervorrichtung ein Bild (32) der Sonne und eine Mitte des Bilds der Sonne aus einem Bild, das von der Weitwinkelkamera erhalten wird, detektiert und die Antriebseinheit derart steuert, dass die Mitte der Sonne mit der Anvisierungsposition der Sonne zusammenfällt, und dazu ausgelegt ist, den geographischen Norden basierend auf einem Zeitpunkt, einem Horizontalwinkel, einem Vertikalwinkel, einer Abweichung zwischen einer optischen Achse des Teleskops und der Anvisierungsposition der Sonne und einem Breitengrad und einem Längengrad einer Position, an der das Vermessungsinstrument installiert ist, wenn die Mitte des Bildes der Sonne mit der Anvisierungsposition der Sonne zusammenfällt, zu bestimmen.
Patent DE-102015111123-A1 (DE)
Title: Kosmetische Pflege von ergrautem Haar
Inventor: SCHULZE ANDREAS
IPC: A61Q5/12
Filed: 2015-07-09
Abstract: Bereitgestellt wird ein topisches kosmetisches Mittel zur Verwendung bei der Vorbeugung von Ergrauen von Haar und/oder Pflege von farblich wieder erholtem Haar, umfassend Melatonin und gegebenenfalls mindestens einen weiteren Stoff.
Patent DE-102015111396-A1 (DE)
Title: Brennkammerkappe mit Kühlkanal
Inventor: DICINTIO RICHARD MARTIN
IPC: F23R3/42
Filed: 2015-07-14
Abstract: Es ist eine Brennkammerkappe für einen Brennraum eines Verbrennungssystems geschaffen. Die Brennkammerkappe weist ein Plattenelement auf, das enthält: mehrere Öffnungen zur Aufnahme mehrerer Brennstoffdüsen des Verbrennungssystems; einen Kühlkanal, der sich durch eine Ebene des Plattenelementes erstreckt; eine Eintrittsöffnung zu dem Kühlkanal; und eine Austrittsöffnung aus dem Kühlkanal zu einer zu dem Brennraum entgegengesetzten Seite des Plattenelementes.
Patent DE-102015111597-A1 (DE)
Title: Kamerabefestigungssystem
Inventor: KADEL MICHAEL
IPC: F16M13/02
Filed: 2015-07-16
Abstract: Ein Kamerabefestigungssystem (2), insbesondere zum Zwecke der vorübergehenden Befestigung einer Kamera (12) bei der Überwachung eines Sportplatzes oder Fußballspielfeldes, soll eine einfache, schnelle, kostengünstige und zugleich stabile und erschütterungsfreie Anbringung einer Kamera (12) in hinreichender Höhe ermöglichen. Zu diesem Zweck ist erfindungsgemäß ein Kamerabefestigungssystem (2) vorgesehen mit einem zur dauerhaften Befestigung an einem Lichtmast (10) oder dergleichen ausgebildeten Grundträger (4), mit einem zur lösbaren Befestigung einer Kamera (12) ausgebildeten Kameraträger (6) und mit einem Zugseil (8), wobei der Grundträger (4) Mittel zur Umlenkung des Zugseils (6) sowie eine Aufnahme (54) für den Kameraträger (6) aufweist, so dass der Kameraträger (6) mit Hilfe des Zugseils (8) in die Aufnahme (54) des Grundträgers (6) gezogen werden kann und in der Aufnahme (54) eine reproduzierbare Position und Ausrichtung einnimmt.
Patent DE-102015113968-A1 (DE)
Title: Behälter für Nahrungsmittelstücke
Inventor: NABHA YASSER
IPC: B65D1/30
Filed: 2015-08-24
Abstract: Ein Behälter für Nahrungsmittelstücke, insbesondere Grill-Rohfleischstücke, enthaltend ein Behälterunterteil (2) und ein Behälteroberteil 3, ist dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Behälterteile (2, 3) jeweils mehrere aneinander gereihte, durch Querwände (2.1 bzw. 3.1) voneinander getrennte Fächer (2.2 bzw. 3.2) aufweisen, dass die Fächer (2.2, 3.2) der beiden Behälterteile (2, 3) sich gegenüber liegen, und dass die Querwände (2.1) des Behälterteils (2) und die die beiden äußeren Fächer (2.2) begrenzenden Behälterwände (2.4) im wesentlichen mittig an ihrer Oberseite in einer Reihe liegende, nach oben offene Nuten/Einkerbungen (2.5) aufweisen.
Patent DE-102015114891-A1 (DE)
Title: Fleischwolf mit Gehäuse, mindestens einer Fördereinrichtung und mindestens einem Schneidsatzteil sowie Schneidsatzteil für einen solchen Fleischwolf
Inventor: GOETZE WOLF
IPC: B02C18/04
Filed: 2015-09-04
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Fleischwolf mit einem Gehäuse (12), einer Fördereinrichtung und mindestens einem Schneidsatzteil (22). Ein erfindungsgemäßer Fleischwolf umfasst ein Gehäuse (12), mindestens eine Fördereinrichtung zur Förderung von zu wolfendem Material von einer Eintrittsöffnung zu einer Austrittsöffnung und mindestens ein in dem Gehäuse (12) angeordnetes Schneidsatzteil (22). Dabei sind in oder an dem mindestens einen Schneidsatzteil (22) mindestens ein Transponder (42) und in oder an dem Gehäuse (12) mindestens eine Kommunikationsvorrichtung (36) zur Kommunikation mit dem Transponder (42) derart angeordnet, dass ein Datenaustausch zwischen Kommunikationsvorrichtung (36) und Transponder (42) ermöglicht ist.
Patent DE-102015117528-A1 (DE)
Title: Lagerring und Wälzlager
Inventor: YOSHIDA WATARU
IPC: F16C33/64
Filed: 2015-10-15
Abstract: Ein Lagerring, welcher aus vergütetem (abgeschrecktem und angelassenen) kohlenstoffreichen Chrom-Lagerstahl ausgebildet ist, einen aus angelassenem Martensit oder Sorbit ausgebildeten inneren Schichtabschnitt, und eine Vickershärte von mehr als 490 HV und 710 HV oder weniger aufweist, und einen aus angelassenem Martensit ausgebildeten Oberflächenschichtabschnitt beinhaltet, welcher dazu ausgebildet ist, eine gesamte Peripherie des inneren Schichtabschnitts zu umgeben, und eine größere Härte als der innere Schichtabschnitt aufweist.
Patent DE-102015117903-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben eines Fahrerassistenzsystems, Fahrerassistenzsystem sowie Kraftfahrzeug
Inventor: THUNERT FABIAN
IPC: B60W40/12
Filed: 2015-10-21
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Fahrerassistenzsystems (2) eines Kraftfahrzeugs (1), bei welchem erfasst wird, ob ein Anhänger (A) an das Kraftfahrzeug (1) angekoppelt ist, und falls der Anhänger (A) an das Kraftfahrzeug (1) angekoppelt ist, folgende Schritte durchgeführt werden: – Empfangen von Positionsdaten (P1, P2, P3) von Objekten (O1, O2, O3) in einem Umgebungsbereich (8) des Kraftfahrzeugs (1) von einer fahrzeugseitigen Erfassungseinrichtung (4); – Eintragen der erfassten Positionsdaten (P1, P3) derjenigen Objekte (O1, O3) in eine den Umgebungsbereich (8) abbildende Umfeldkarte (U), die außerhalb eines für die Umfeldkarte (U) vorbestimmten, von dem Anhänger (A) eingenommenen Bereiches (10) liegen, – Eintragen und Markieren der erfassten Positionsdaten (P2) derjenigen Objekte (O2) in der Umfeldkarte (U), die innerhalb des eingenommenen Bereiches (10) liegen, oder Verwerfen der erfassten Positionsdaten (P2) derjenigen Objekte (O2), die innerhalb des eingenommenen Bereiches (10) liegen. Die Erfindung betrifft außerdem ein Fahrerassistenzsystem (2) sowie ein Kraftfahrzeug (1).
Patent DE-102015118708-A1 (DE)
Title: Montagevorrichtung und Montagesystem
Inventor: SCHLEGEL MICHAEL
IPC: F16L3/24
Filed: 2015-11-02
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Montagevorrichtung (10, 55) zum Halten und/oder Befestigen einer Medienversorgungseinrichtung (44, 56). Zum verbesserten und/oder erleichterten Anordnen der Medienversorgungseinrichtung (44, 56) an einer Tragstruktur weist die Montagevorrichtung (10, 55) ein erstes Einhakelement (11) zum Halten und/oder Befestigen der Medienversorgungseinrichtung (44, 56), insbesondere eines Funktionskanals, auf, wobei das erste Einhakelement (11) zum Herstellen einer Verbindung mit einem korrespondierend zum ersten Einhakelement (11) ausgebildeten zweiten Einhakelement (51) der Medienversorgungseinrichtung (44, 56) vorgesehen ist.
Patent DE-102015122136-A1 (DE)
Title: Fahrzeuggetriebe, Verfahren zur Herstellung und Verwendung eines solchen
Inventor: KAA FLORIAN
IPC: B60K6/26
Filed: 2015-12-17
Abstract: Die Erfindung stellt ein Fahrzeuggetriebe (10) mit den folgenden Merkmalen bereit: Das Fahrzeuggetriebe (10) umfasst einen Antriebsrotor (11), einen Abtriebsrotor (12), einen Stator (13) und einen Akkumulator (14); der Antriebsrotor (11) und der Abtriebsrotor (12) sind um den Stator (13) drehbar gelagert; der Stator (13) ist zwischen dem Antriebsrotor (11) und dem Abtriebsrotor (12) verschiebbar gelagert; und der Akkumulator (14) ist elektrisch mit dem Stator (13) verbunden. Die Erfindung stellt ferner einen entsprechendes Antriebsstrang (10, 15, 16), eine entsprechende Verwendung sowie ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines Fahrzeuggetriebes (10) bereit.
Patent DE-102015204566-A1 (DE)
Title: Fahrrad-betätigungsvorrichtung
Inventor: FUKAO KAZUTAKA
IPC: B62M25/04
Filed: 2015-03-13
Abstract: Eine Fahrrad-Betätigungsvorrichtung umfasst ein Grundbauteil, ein erstes bewegliches Bauteil, eine Betätigungskonstruktion und eine Wechselkonstruktion. Das Grundbauteil ist so konfiguriert, dass es an einem Fahrradteil montiert werden kann. Das erste bewegliche Bauteil ist bezogen auf das Grundbauteil beweglich. Die Betätigungskonstruktion ist so konfiguriert, dass sie eine Fahrradkomponente in Reaktion auf die Bewegung des ersten beweglichen Bauteils betätigt. Die Wechselkonstruktion umfasst ein zweites bewegliches Bauteil, das so konfiguriert ist, dass es bezogen auf das erste bewegliche Bauteil beweglich ist. Die Wechselkonstruktion ist so konfiguriert, dass sie das Bewegungsausmaß des ersten beweglichen Bauteils bezogen auf das Grundbauteil gemäß der Bewegung des zweiten beweglichen Bauteils bezogen auf das erste bewegliche Bauteil ändert.
Patent DE-102015205713-A1 (DE)
Title: Radialrahmen zur Aufnahme von radialen Mahlkräften
Inventor: FRANGENBERG MEINHARD
IPC: B30B15/04
Filed: 2015-03-30
Abstract: Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Radialrahmen als Radialkraftaufnahmeelement des Maschinengestells einer Zweiwalzen-Rollenpresse mit einer Festrolle und einer Losrolle, aufweisend, zwei gegenüberliegende Seitenteile, je ein Gurtsystem mit Gurten und Kastenrahmen als Rahmenoberteil und als Rahmenunterteil, mit in das Rahmenober- und Rahmenunterteil rechts und links eingesteckten, vertikalen Rahmenendstücken, die auf der Festrollenseite als ausbaubare Endstücke und auf der Losrollenseite, in gleicher Ausführung, lösbar fixiert ausgeführt sind. Die vertikalen Rahmenendstücke sind dabei an ihrem oberen Ende mit einem Drehgelenk verbunden und die jeweils doppelten, parallel verlaufenden Gurte weisen an ihren Enden geschweißte Kopfverbindungen auf, an denen sich die vertikalen Rahmenendstücke (Vertikalholme) abstützen.
Patent DE-102015209719-A1 (DE)
Title: Niederhaltevorrichtung für eine Ultraschallschweißvorrichtung
Inventor: KRAMER MARCEL
IPC: B23K20/10
Filed: 2015-05-27
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Niederhaltevorrichtung (1) für eine Ultraschallschweißvorrichtung. Die Niederhaltevorrichtung weist auf:  – einen Niederhaltekopf (14), der von einer Ruheposition (3) in eine Niederhalteposition (4) bewegbar an einer Trägervorrichtung (5) angeordnet ist zur Fixierung eines Ableiterfahnenbündels (7) von Elektrodenableiterfahnen eines Funktionsstapels (6) einer Batteriezelle während eines Ultraschallschweißens des Ableiterfahnenbündels,  – ein elastisches Element (13), wobei der Niederhaltekopf (14) mittels des elastischen Elements (13) an einem Niederhalterträger (12) angeordnet ist.  Der Niederhaltekopf (14) ist mittels des elastischen Elements (13) an einem Niederhalterträger (12) angeordnet zur Fixierung des Ableiterfahnenbündels (7) mit einer mittels des elastischen Elements herbeigeführten Rückstellkraft. Die Rückstellkraft bewirkt einen auf ein Anpressareal des Ableiterfahnenbündels (7) einwirkenden Anpressdruck, wenn der Niederhaltekopf (14) die Niederhalteposition einnimmt..  Die Erfindung betrifft weiterhin eine Ultraschallschweißvorrichtung sowie ein Verfahren zum Ultraschallschweißen.
Patent DE-102015212175-A1 (DE)
Title: Schienenfahrzeug des Regional- oder Hochgeschwindigkeitsverkehrs mit dachseitigen Aerodynamikelementen
Inventor: KAMMLER MICHAEL
IPC: B61D17/08
Filed: 2015-06-30
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Schienenfahrzeug mit Seitenwänden (8) und einem zwischen den Seitenwänden (8) verlaufenden Dach (2), auf dem Container (1) zur Aufnahme von Funktionsgeräten des Schienenfahrzeugs angebracht sind, wobei das Dach (2) mit seitlichen Aerodynamikelementen ausgestattet ist, wobei die Seitenwände (8) über das Niveau einer Oberseite (3) des Daches (2) hinaus derart hochgezogen sind, dass sie als die Aerodynamikelemente wirken.
Patent DE-102015212549-A1 (DE)
Title: Schließvorrichtung, Fahrzeug, Verfahren
Inventor: MEINERT STEFAN
IPC: E05C3/10
Filed: 2015-07-06
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Schließvorrichtung (1) zum bedarfsweisen Arretieren eines ersten Bauteils (5) an einem zweiten Bauteil (6), mit einem dem ersten Bauteil (5) zugeordneten Schließelement (7) und mit einem dem zweiten Bauteil (6) zugeordneten Schloss (20) zum bedarfsweisen Arretieren des Schließelements (7), wobei das Schließelement (7) an dem ersten Bauteil (5) durch wenigstens eine erste Schraubverbindung (11) gehalten ist, die ein erstes Schraubenelement und ein mit dem ersten Schraubenelement zusammenwirkendes zweites Schraubenelement aufweist, wobei eines der Schraubenelemente mit einem Schraubenschaft (13) eine Öffnung (14) einer das Schließelement (7) tragenden Halteplatte (9) mit radialem Spiel durchdringt, wobei die Halteplatte (9) an dem ersten Bauteil (5) durch die erste Schraubverbindung (11) in einer ersten Ebene (10) kraftschlüssig gehalten und ansonsten in der ersten Ebene an dem ersten Bauteil (5) verschiebbar ist. Es ist vorgesehen, dass zwischen einem Axialanschlag einer der Schraubenelemente und der Halteplatte (9) oder dem ersten Bauteil (5) wenigstens eine Druckfeder (18) gespannt ist.
Patent DE-102015214210-A1 (DE)
Title: Befeuchtungsvorrichtung für ein Haushaltskältegerät mit einem im Flächenschwerpunkt des Bodens eines Tanks angeordnetem Piezoelement und Haushaltskältegerät
Inventor: SPIELMANNLEITNER MARKUS
IPC: F25D25/02
Filed: 2015-07-28
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Befeuchtungsvorrichtung (11) zur Einbringung eines aus einem flüssigen Fluid (44) erzeugten Fluidnebels in einen Lagerbereich (8) eines Innenraums (4, 5) eines Haushaltskältegeräts (1), welche einen Tank (15) zur Befüllung mit dem zu vernebelnden flüssigen Fluid (44) und eine Verneblereinheit (20) aufweist, und ein Verneblerelement (30) der Verneblereinheit (20) an einem Boden (41) des Tanks (15) angeordnet ist, wobei das Verneblerelement (30) in einem Flächenschwerpunkt (39) einer Grundfläche (40) des Bodens (41) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch ein Haushaltskältegerät (1).
Patent DE-102015216297-A1 (DE)
Title: Verfahrbares Schutzgeländer, insbesondere für Flachdächer
Inventor: SONTHEIMER MARTIN
IPC: B62B3/06
Filed: 2015-08-26
Abstract: Die Erfindung betrifft ein verfahrbares Schutzgeländer, insbesondere für Flachdächer, mit wenigstens zwei Fahrwerken, mit wenigstens zwei an jedem Fahrwerk vorgesehenen Laufrädern und mit einem die beiden Fahrwerke miteinander verbindenden Schutzgitter, wobei das eine Fahrwerksachse mit wenigstens zwei Radträgern aufweist, jeder Radträger wenigstens ein Laufrad aufweist, das Laufrad an dem Radträger drehbar montiert ist und die Fahrwerksachse bezüglich des Laufrades auf die Aufstandsfläche absenkbar ist.
Patent DE-102015217189-A1 (DE)
Title: Eckelement zum Verschließen eines Eckspaltes eines Gehäuses einer Dunstabzugshaube und Gehäuse einer Dunstabzugshaube
Inventor: GÜNTER PATRICK
IPC: F24C15/20
Filed: 2015-09-09
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Eckelement (230) zum Verschließen eines Eckspalts (220) an einem Gehäuse einer Dunstabzugshaube (100), zwischen einem ersten (205) und einem zweiten Blechabschnitt (210), die in einem Winkel (225) zueinander stehen. Das Eckelement ist dadurch gekennzeichnet, dass das Eckelement (230) folgendes aufweist: – einen Füllabschnitt (405) zum Ausfüllen des Eckspalts (220); – einen Halteabschnitt (410), der sich an den Füllabschnitt anschließt; – mindestens ein erstes Anlageelement (415) zur Anlage am ersten Blechabschnitt (205), das zumindest bereichsweise an einer ersten Seite des Halteabschnitts (410) herausragt und mindestens ein zweites Anlageelement (420) zur Anlage am zweiten Blechabschnitt (210), das zumindest bereichsweise an einer der ersten Seite des Halteabschnitts (410) gegenüberliegenden zweiten Seite des Halteabschnitts (410) herausragt, dass die Anlageelemente (415, 429) an dem Halteabschnitt (410) ausgebildet sind, und dass die Anlageelemente (415, 429) zumindest bereichsweise relativ zu dem Halteabschnitt (410) beweglich sind. Weiterhin wird ein Gehäuse einer Dunstabzugshaube beschrieben, an der ein solches Eckelement (230) vorgesehen ist.
Patent DE-102015219724-A1 (DE)
Title: Drosselklappenverstelleinrichtung
Inventor: NAGEL NORMAN
IPC: F02D9/10
Filed: 2015-10-12
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Drosselklappenverstelleinrichtung (1) zum Verstellen von zumindest zwei Drosselklappen (2,2',2'') einer Brennkraftmaschine (9) mit einer verstellbaren Stellwelle (3), wobei – die Stellwelle (3) eine Außenwelle (4) und eine koaxial dazu angeordnete und relativ dazu verstellbare Innenwelle (5) aufweist, – zumindest eine Drosselklappe (2') drehfest mit der Außenwelle (4) und zumindest eine Drosselklappe (2'') drehfest mit der Innenwelle (5) verbunden ist, – die Drosselklappenverstelleinrichtung (1) einen ersten Stellantrieb (6) für die Außenwelle (4) und einen davon unabhängigen zweiten Stellantrieb (7) für die Innenwelle (5) aufweist. Hierdurch ist eine konstruktiv einfache Zylinderabschaltung möglich.
Patent DE-102015222789-A1 (DE)
Title: Interferometrische Vermessung einer optischen Oberfläche
Inventor: DÖRBAND BERND
IPC: G01B11/24
Filed: 2015-11-18
Abstract: Es wird ein Verfahren zum interferometrischen Vermessen einer optischen Oberfläche angegeben. Das Verfahren umfasst ein Erzeugen einer Eingangsstrahlung. Die Eingangsstrahlung wird von einem strahlungsemittierenden Bereich einer Strahlungsquelle abgegeben, welcher eine solche Ausdehnung aufweist, dass die abgegebene Eingangsstrahlung räumlich inkohärent ist. Weiter vorgesehen ist ein Bestrahlen einer optischen Anordnung mit der Eingangsstrahlung, so dass eine erste und zweite Teilstrahlung von der optischen Anordnung abgestrahlt werden, wobei die zweite Teilstrahlung einen Gangunterschied gegenüber der ersten Teilstrahlung aufweist. Das Verfahren umfasst des Weiteren ein Bestrahlen der optischen Oberfläche und einer der optischen Oberfläche vorgeschalteten Referenzfläche mit der von der optischen Anordnung abgestrahlten ersten und zweiten Teilstrahlung. Durch Reflektieren der ersten Teilstrahlung an der optischen Oberfläche wird eine Messstrahlung, und durch Reflektieren der zweiten Teilstrahlung an der Referenzfläche wird eine Referenzstrahlung bereitgestellt. Mit Hilfe des Gangunterschieds zwischen der ersten und zweiten Teilstrahlung wird ein interferenzfähiges Überlagern der Messstrahlung und der Referenzstrahlung bewirkt. Das Verfahren umfasst ferner ein Erfassen eines durch Überlagern der Messstrahlung und der Referenzstrahlung erzeugten Interferenzmusters.
Patent DE-102015222819-A1 (DE)
Title: Beschichtungsanlage sowie Beschichtungsverfahren
Inventor: STROBEL SEBASTIAN
IPC: G02B1/10
Filed: 2015-11-19
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsanlage sowie ein Beschichtungsverfahren zur Beschichtung eines Substrats, insbesondere eines optischen Elements für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Eine erfindungsgemäße Beschichtungsanlage weist wenigstens eine Materialquelle (110, 210, 310, 410), welche ein Beschichtungsmaterial aufweist, und einen Substrathalter (125, 225, 325, 425) zum Halten des Substrats (120, 220, 320, 420) auf, wobei der Substrathalter und die Materialquelle relativ zueinander verfahrbar sind, wobei zwischen der Materialquelle (110, 210, 310, 410) und dem Substrathalter (125, 225, 325, 425) wenigstens eine elektrische Abschirmung vorgesehen ist, welche eine Anzahl an von der Materialquelle bis zum Substrat gelangenden elektrisch geladenen Teilchen im Vergleich zu einer analogen Beschichtungsanlage ohne diese Abschirmung um wenigstens 80% reduziert.
Patent DE-102015224653-A1 (DE)
Title: Einstellbare Sondenhalteranordnung für einen Kontrollsensor
Inventor: STANTON MATTHEW EDWARD
IPC: G01N37/00
Filed: 2015-12-09
Abstract: Es wird eine einstellbare Sondenhalteranordnung für einen Kontroll- oder Messsensor wie etwa einen Ultraschallwandler, einen Wirbelstromsensor, einen magnetischen Dickensensor oder einen optischen Bildsensor offenbart, um den Sensor unter Verwendung eines ausgefahrenen Arms mit einer einstellbaren Krümmung in einem beschränkten Raum zu positionieren. Der Sondenhalter weist wenigstens zwei langgestreckte Haltearme, darunter einen ersten Arm und einen zweiten Arm, auf, die jeweils ein Sondenende und ein Halteende aufweisen, wobei das Sondenende jedes der Haltearme an der Sonde angebracht ist und die wenigstens zwei Arme im Wesentlichen parallel und sehr nahe beieinander bleiben, wenn der Sondenhalter in einem Status außer Betrieb ist. Die zwei Arme wölben sich entweder wegen einer Spannkraft oder wegen einer Druckkraft, die entlang der Längsrichtung eines der Arme ausgeübt wird, offen voneinander weg, wobei die Sonde gegen die Prüfoberfläche des Prüfobjekts gehalten wird.