baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102010049157-B4 (DE)
Title: Lamellendach
Inventor: SMOUT LEO
IPC: E04F10/08
Filed: 2010-10-22
Granted: 2021-06-24
Abstract: Lamellendach (1) mit einer Mehrzahl parallel zueinander angeordneter Lamellen (2, 2'), die jeweils an ihren Querseiten um eine zu ihrer Längserstreckung parallele Schwenkachse an zwei ortsfesten Seitenteilen (3) derart verschwenkbar gelagert sind, dass sie von einer geschlossenen Stellung in eine zumindest teilweise geöffnete Stellung überführbar sind, wobei die Lamellen (2, 2') in der geschlossenen Stellung so um die Schwenkachse geneigt sind, dass sie jeweils mit einer vorderen Längskante eine hintere Längskante einer davor liegenden Lamelle (2, 2') überdecken, wobei das Lamellendach (1) mindestens ein Kippmomentkompensationsmittel (8) umfasst, das mit den Lamellen (2, 2') mechanisch gekoppelt und so ausgebildet ist, dass es ein Kompensationsdrehmoment erzeugen kann, das ein von den Lamellen (2, 2') induziertes resultierendes Kippmoment zumindest teilweise kompensieren kann, dadurch gekennzeichnet, dass das Kippmomentkompensationsmittel (8) so ausgebildet ist, dass es in einer vollständig geöffneten Stellung des Lammellendachs (1), in der sich die Lamellen (2, 2') in vertikaler Richtung erstrecken und relativ zur Dachebene senkrecht orientiert sind, ein entgegengesetzt zum Kippmoment wirkendes Kompensationsdrehmoment erzeugen kann, das so groß ist, dass es das Kippmoment zumindest teilweise kompensieren kann.
Patent DE-102010052716-B4 (DE)
Title: Dreirädriges Fahrzeug
Inventor: LEE YEN-HSIU
IPC: B62K5/08
Filed: 2010-11-26
Granted: 2012-09-06
Abstract: Dreirädriges Fahrzeug (2), mit: – einem Hauptrahmen (21) mit einem hohlen, zentralen Positionierelement (211), – einer Anti-Kippeinheit (20) umfassend – eine Gelenkstangeneinheit (22), die schwenkbar mit dem zentralen Positionierelement (211) verbunden ist und aufweist – ein Paar voneinander beabstandeter Gelenkstangen (221), die in einer horizontalen Richtung verlaufen, wobei jede der Gelenkstangen (221) einen schwenkbar mit dem zentralen Positionierelement (211) verbundenen mittleren Teil hat, – ein Paar seitlicher Stangen (222), von denen eine der seitlichen Stangen (222) schwenkbar mit linken Enden der Gelenkstangen (221) verbunden ist und die andere der seitlichen Stangen (222) schwenkbar mit rechten Enden der Gelenkstangen (221) verbunden ist, wobei jede der Gelenkstangen (221) ein Paar Stabsegmente (224) umfasst, von denen jedes das zentrale Positionierelement (211) schwenkbar mit einer zugehörigen der seitlichen Stangen (222) verbindet, und jede der seitlichen Stangen (222) mit einem Eingriffsblock (2221) ausgebildet ist, – eine starre Kupplungsstange...
Patent DE-102010063163-B4 (DE)
Title: Segmentiervorrichtung für einen Laderaum eines Kraftfahrzeugs
Inventor: BOHLKE HARTMUT
IPC: B60R5/04
Filed: 2010-12-15
Granted: 2015-02-12
Abstract: Segmentiervorrichtung für einen Laderaum eines Kraftfahrzeugs mit wenigstens einem formstabilen, laderaumseitig verschiebbar gelagerten Bodenteil (7), das zwischen einer flach abgelegten Ruhelage und einer hochkant aufgestellten Segmentierposition verlagerbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Bodenteil (7) an einem quer zu einer Be- und Entladerichtung des Laderaumes verlaufenden Seitenrand (9) mit einer Anlaufschräge versehen ist, die in der flach abgelegten Ruhelage im Wesentlichen bündig zu einem Laderaumboden (1) ansetzt.
Patent DE-102011001086-B4 (DE)
Title: Windflügel für eine Strömungsenergieanlage
Inventor: LÄTZSCH HANS-JOACHIM
IPC: F03D1/06
Filed: 2011-03-04
Granted: 2020-06-04
Abstract: Windflügel für eine Strömungsenergieanlage, wobei der Windflügel (1) in wenigstens zwei Schalen (2, 3) unterteilt ist, wobei die Schalen (2, 3) untereinander oder zumindest eine Schale (2, 3) mit einem Mittelteil (4) in einem sich überlappenden Verbindungsbereich (V) miteinander verbunden sind, wobei der Windflügel (1) mindestens einen ersten Schubsteg (S1) aufweist, der sich stabilitätserhöhend innerhalb des Windflügels (1) erstreckt, und in diesem Verbindungsbereich (V) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste einteilige Schale (2) einen mit einem großen ersten Krümmungsradius (R1) versehenen Nasenteil bildet und eine zweite einteilige Schale (3) einen Endteil bildet, der einen dem Nasenteil gegenüberliegenden zweiten geringen Krümmungsradius (R2) aufweist und dass die erste oder die zweite Schale (2, 3) oder das Mittelteil (4) im Verbindungsbereich (V) einen nach innen abgewinkelten Absatz (A) aufweisen und die jeweils angrenzende Schale (2, 3) oder das Mittelteil (4) über den Absatz greift und der erste Schubsteg (S1) einen abgewinkelten ersten Randbereich (S1R) aufweist, der mit der Innenseite des Absatzes (A) verbunden ist und dass sich an den ersten Schubsteg (S1) ein zweiter Schubsteg (S2) anschließt und an dem ersten Schubsteg (S1) im Wesentlichen flächig anliegt und mit diesem verbunden ist und dass der zweite Schubsteg (S2) einen abgewinkelten zweiten Randbereich (S2R) aufweist, der mit der Innenkontur einer Schale (2, 3) oder des Mittelteils (4) verbunden ist, wobei der zweite Randbereich (S2R) des zweiten Schubsteges (S2) vom ersten Randbereich (S1R) des ersten Schubsteges (S1) weg weist.
Patent DE-102011011431-B4 (DE)
Title: Elektrisches Heizelement mit einem Verbindungselement und Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Heizelements mit einem Verbindungselement
Inventor: SCHLIPF ANDREAS
IPC: H05B3/06
Filed: 2011-02-16
Granted: 2022-02-10
Abstract: Elektrisches Heizelement (10, 20, 30, 40, 50, 60,70, 80, 90, 100, 110) mit einem Metallmantel (11, 21, 31, 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111) einem zumindest abschnittsweise an dem Metallmantel (11, 21, 31, 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111) anliegenden Verbindungselement (16, 26, 36, 46, 56, 66, 76, 86, 96, 106, 116) und mindestens einem elektrischen Anschluss (13, 14, 23, 24, 33, 34, 43, 44, 53, 54, 63, 64, 73, 74, 83, 84, 93, 94, 103, 104, 113, 114),dadurch gekennzeichnet, dassdas Verbindungselement (16, 26, 36, 46, 56, 66, 76, 86, 96, 106, 116) mindestens einen Hohlraum (19', 29', 39', 49', 59', 99' , 109', 119') aufweist, der zumindest abschnittsweise an einen Abschnitt des Metallmantels (11, 21, 31, 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111) und/oder an einen Abschnitt des elektrischen Anschlusses (13, 14, 23, 24, 33, 34, 43, 44, 53, 54, 63, 64, 73, 74, 83, 84, 93, 94, 103, 104, 113, 114) angrenzt,und dass der Hohlraum (19', 29', 39', 49', 59', 69', 79', 89', 99', 109', 119') zumindest teilweise mit einer Vergussmasse (18, 28, 38, 48, 58, 68, 78, 88, 98, 108, 118), insbesondere mit einem keramischen Kitt, Epoxidharz oder Kunststoff, so ausgegossen ist, dass dadurch eine direkte, tragende mechanische Verbindung zwischen dem Metallmantel (11, 21, 31, 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111) und dem Verbindungselement (16, 26, 36, 46, 56, 66, 76, 86, 96, 106, 116) und/oder zwischen dem Abschnitt des elektrischen Anschlusses (13, 14, 23, 24, 33, 34, 43, 44, 53, 54, 63, 64, 73, 74, 83, 84, 93, 94, 103, 104, 113, 114) und dem Verbindungselement (16, 26, 36, 46, 56, 66, 76, 86, 96, 106, 116) durch die Vergussmasse (18, 28, 38, 48, 58, 68, 78, 88, 98, 108, 118) hergestellt ist, wobei die Vergussmasse (18, 28, 38, 48, 58, 68, 78, 88, 98, 108, 118) ferner mit einer Verdrehsicherung in Kontakt steht.
Patent DE-102011051224-B4 (DE)
Title: Fahrzeugluftreifen
Inventor: BEHR ULRICH
IPC: B60C11/11
Filed: 2011-06-21
Granted: 2020-12-31
Abstract: Fahrzeugluftreifen für Kraftfahrzeuge mit einem Laufstreifen, Seitenwänden und einem Reifenprofil mit einzelnen Profilblöcken (1, 2),wobei die Profilblöcke (1, 2) untereinander durch eine Vielzahl von in Umfangsrichtung (3) umlaufenden Umfangsrillen (11) und durch eine Vielzahl von Querrillen (4) getrennt sind,wobei die einzelnen Profilblöcke (1, 2) jeweils durch mindestens zwei Blockanbindungen in Form von Stegen (5, 6) miteinander verbunden sind, wobei durch die Stege(5, 6) eine Hohlkammer (7) geformt wird und diese Hohlkammer (7) einen Kammerboden (9) aufweist,wobei die Oberkante der Stege (12) unterhalb des Höhenniveaus des Laufstreifens (10) bei einem Neureifen angeordnet ist,dadurch gekennzeichnet, dassmindestens einer der Stege (5, 6) der Blockanbindungen eine Öffnung (8) im Bereich des Kammerbodens (9) aufweist, dergestalt dass bei Eindringen von Wasser in die Hohlkammer (7) eine schnelle Evakuierung von in den Hohlkammern (7) befindlicher Luft in die benachbarten Umfangsrillen (11) gewährleistet wird.
Patent DE-102011054406-B4 (DE)
Title: Elektrische Heizvorrichtung zum Beheizen von Flüssigkeiten
Inventor: WAECHTER RALPH
IPC: F24H1/10
Filed: 2011-10-12
Granted: 2013-05-23
Abstract: Die Erfindung betrifft eine elektrische Heizvorrichtung zum Beheizen von Flüssigkeiten, mit wenigstens einem Heizstab (5), der wenigstens ein Widerstandsheizelement aufweist, einem Gehäuse (1), das den Heizstab (5) umgibt und das eine Einlassöffnung (2) und eine Auslassöffnung (2) aufweist, wobei die Einlassöffnung (2) und die Auslassöffnung (2) durch einen gewundenen Strömungskanal miteinander verbunden sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der Strömungskanal eine Wendel bildet, die eine Längsachse aufweist, wobei der Heizstab (5) neben der Längsachse der Wendel angeordnet ist und an mehreren Stellen durch eine wendelförmig gewundene Wand des Strömungskanals hindurchragt.
Patent DE-102011075092-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Leuchtmittels
Inventor: DEUS CARSTEN
IPC: H05B33/10
Filed: 2011-05-02
Granted: 2015-11-12
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Leuchtmittels, umfassend die Schritte von – Bereitstellen eines Substrates (200) – Ausbilden einer Grundelektrodenschicht (202) über dem Substrat (200) – Ausbilden zumindest einer organischen lichtemittierenden Schicht (203) über zumindest einem Teil der Grundelektrodenschicht (202) – Ausbilden einer Deckelektrodenschicht (204) über zumindest einem Teil der organischen lichtemittierenden Schicht (203); und – Ausbilden einer Leiterbahnschicht (205) – wobei die lichtemittierende Schicht (203), die Deckelektrodenschicht (204) und die Leiterbahnschicht (205) mittels Beschichtung in einer inline-Vakuumbeschichtungsanlage mit stationären Schattenmasken auf dem vorbeigeführten Substrat streifenförmig ausgebildet werden, indem ein kontinuierlich bewegtes Endlossubstrat oder eine quasikontinuierliche Abfolge von Substratscheiben durch die inline-Beschichtungsanlage geführt werden, ohne die Schattenmaske mitzubewegen, und – wobei zumindest ein Bereich der Grundelektrodenschicht nach dem Ausbilden besagter Schichten (203, 204, 205) unbeschichtet bleibt.
Patent DE-102011085203-B4 (DE)
Title: Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente mit Durchgangskontakten
Inventor: RICHTER RALF
IPC: H01L23/52
Filed: 2011-10-26
Granted: 2018-08-23
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Bauelements (100) mit einer Gatestruktur (110, 112, 114) über einem Halbleitersubstrat und einem dotierten Gebiet (122, 124, 126), das in dem Halbleitersubstrat (102) benachbart zu der Gatestruktur (110, 112, 114) ausgebildet ist, wobei das Verfahren die folgenden in der angegebenen Reihenfolge ausgeführten Schritte umfasst:
 Bilden einer ersten Schicht aus dielektrischem Material über dem dotierten Gebiet (122, 124, 126), wobei das Bilden der ersten Schicht aus dielektrischem Material a) Bilden einer ersten Teilschicht (138) aus einem ersten dielektrischen Material und b) Bilden einer zweiten Teilschicht (140) aus einem zweiten dielektrischen Material konform über der ersten Teilschicht (138) mit einer Dicke von zumindest dem Unterschied zwischen der Dicke der ersten Teilschicht (138) und der Höhe der Gatestruktur (110, 112, 114) umfasst;
 Einebnen der ersten Teilschicht (138) und der zweiten Teilschicht (140) der ersten Schicht aus dielektrischem Material, sodass die obere Oberfläche der Gatestruktur (110, 112, 114) freigelegt wird;
 Bilden eines leitenden Kontakts (148, 150) in der ersten Schicht aus dielektrischem Material, wobei der leitende Kontakt (148, 150) über dem dotierten Gebiet (122, 124, 126) ausgebildet ist und elektrisch mit diesem in Verbindung steht;
 Bilden einer zweiten Schicht (156) aus dielektrischem Material über der Gatestruktur (122, 124, 126), dem leitenden Kontakt (148, 150) und der ersten Schicht aus dielektrischem Material;
 Bilden eines ersten Lochgebiets (158, 160, 162, 164) in der zweiten Schicht (156) über dem leitenden Kontakt (148, 150);
 Bilden einer dritten Schicht (166) aus dielektrischem Material über der zweiten Schicht (156); 
 Bilden eines Grabengebiets (168, 170, 172, 174) in der dritten Schicht (166), wobei zumindest ein Bereich des Grabengebiets (168, 170, 172, 174) über zumindest einem Bereich des ersten Lochgebiets (158, 160, 162, 164) angeordnet ist; und
 Bilden eines leitenden Materials (176) in dem Grabengebiet (168, 170, 172, 174), wobei das leitende Material (176) das erste Lochgebiet (158, 160, 162, 164) füllt, so dass der leitende Kontakt (148, 150) kontaktiert wird; und wobei das Bilden des leitenden Kontakts (148, 150) umfasst:
 Bilden eines zweiten Lochgebiets (144, 146) in der ersten Schicht aus dielektrischem Material, wobei zunächst die zweite Teilschicht unter Verwendung der ersten Teilschicht als Ätzstopp geätzt wird und nachfolgend die erste Teilschicht geätzt wird.
Patent DE-102011089620-B4 (DE)
Title: Medizinische Injektionsvorrichtung und Verfahren zu deren Steuerung
Inventor: ASSMANN STEFAN
IPC: G16H30/40
Filed: 2011-12-22
Granted: 2019-07-18
Abstract: Verfahren zur Steuerung einer Injektionsvorrichtung (5),- wobei Patientendaten (D) eines zu behandelnden Patienten (2) ermittelt werden,- wobei Gegenanzeigen (G) von zur Auswahl stehenden Injektionsmitteln (K) ermittelt werden,- wobei die zur Auswahl stehenden Injektionsmittel (K) nach Maßgabe einer vorgegebenen Behandlungsangabe aus einer größeren Menge verfügbarer Injektionsmittel (K) automatisch vorausgewählt werden,- wobei die Patientendaten (D) mit der oder jeder ermittelten Gegenanzeige (G) abgeglichen werden,- wobei mindestens ein Injektionsmittel (K) vorgeschlagen wird, dessen Gegenanzeigen (G) nicht auf die Patientendaten (D) zutreffen- wobei nach Applikation eines Injektionsmittels (K) in der Injektionsvorrichtung (5) überprüft wird, ob das applizierte Injektionsmittel (K) mit dem vorgeschlagenen Injektionsmittel (K) bzw. einem der vorgeschlagenen Injektionsmittel (K) übereinstimmt, und wobei andernfalls mindestens eine Schutzmaßnahme zur Verhinderung der Injektion getroffen wird,- wobei das in der Injektionsvorrichtung (5) applizierte Injektionsmittel (K) automatisch identifiziert wird.
Patent DE-102011112343-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Regeneration eines Filters eines Fahrzeugs
Inventor: BUCHHOLZ THOMAS
IPC: F01N3/023
Filed: 2011-09-03
Granted: 2023-02-02
Abstract: Verfahren zur Regeneration eines Filters (4) eines Fahrzeugs (10),wobei das Fahrzeug (10) einen Energiespeicher (5), einen Generator (6) und einen Verbrennungsmotor (7) umfasst,wobei ein Energieinhalt des Energiespeichers (5) in Abhängigkeit einer bevorstehenden Regeneration verringert wird,wobei während der Regeneration der Energieinhalt des Energiespeichers (5) erhöht wird, indem der Verbrennungsmotor (7) den Energiespeicher (5) über den Generator (6) lädt, wobei der Energieinhalt des Energiespeichers (5) vor der Regeneration unter einen vorbestimmten Prozentsatz eines maximalen Energieinhalts des Energiespeichers (5) verringert wird, undwobei der vorbestimmte Prozentsatz umso tiefer ist, je höher eine erfasste Temperatur außerhalb des Fahrzeugs (10) ist.
Patent DE-102011122165-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Bestimmung einer Rußpartikelfiltereffizienz eines Rußpartikelfilters
Inventor: HOEPFNER ANDREAS
IPC: F01N3/023
Filed: 2011-12-23
Granted: 2014-03-13
Abstract: Verfahren zur Bestimmung einer Rußpartikelfiltereffizienz eines in einem Abgasstrang (1) eines Abgasnachbehandlungssystems eines Fahrzeuges angeordneten Rußpartikelfilters (3), mittels eines zumindest in Abgasstromrichtung dem Rußpartikelfilter (3) im Abgasstrang (1) nachgeschaltet angeordneten ersten Rußpartikelsensors (2a), wobei eine Steuerungseinrichtung einen instantanen Abscheidungsgrad (ηPF) des Rußpartikelfiters (3) zumindest mittels eines Abgleiches aus Werten bezüglich einem von einem Verbrennungsmotor des Fahrzeuges in den Abgasstrang abgegebenen theoretischen Rußpartikelmassenstrom im Bereich des dem Rußpartikelfilter (3) nachgeschaltet angeordneten Abgasstranges (1) bei einem Abscheidungsgrad von Null bzw. dem theoretischen Rußpartikelrohmassenstrom (20) und einem tatsächlichen Rußpartikelmassenstrom (11) im Bereich des dem Rußpartikelfilter (3) nachgeschaltet angeordneten Abgasstranges (1) ermittelt, dadurch gekennzeichnet, dass unter Berücksichtigung eines aktuell vorliegenden Belastungszustandes der Verbrennungskraftmaschine (4) und/oder des Abgasnachbehandlungssystems aus dem instantanen Abscheidungsgrad (ηPF) ein Rußpartikelfiltereffizienzwert derart bestimmt wird, dass zumindest bei einem Vorliegen eines unvorteilhaften Belastungszustandes der Verbrennungskraftmaschine (4) und/oder des Abgasnachbehandlungssystems eine Gewichtung des instantanen Abscheidungsgrades (ηPF) mittels eines Gewichtungsfaktors erfolgt und der gewichtete Abscheidungsgrad mittels eines Filters nachbearbeitet wird, wobei eine Differenz zwischen dem instantanen Abscheidungsgrad und dem letztmalig bestimmten Rußpartikelfiltereffizienzwert ermittelt und mit dem Gewichtungsfaktor multipliziert wird, wobei die gewichtete Differenz zum instantanen Abscheidungsgrad addiert wird, sofern der letztmalig ermittelte Rußpartikelfiltereffizienzwert größer als der instantane Abscheidungsgrad ist, oder subtrahiert wird, sofern der letztmalig ermittelte Rußpartikelfiltereffizienzwert kleiner als der instantane Abscheidungsgrad ist.
Patent DE-102012009859-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur mit mehreren optischen Bild-Aufnahmeeinheiten sowie einer Vorrichtung hierfür
Inventor: GRUBER BERNHARD
IPC: G01N21/88
Filed: 2012-05-21
Granted: 2019-05-16
Abstract: Verfahren zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur, vorzugsweise eine Kleberaupe oder eine Dichtmittelspur, mit mehreren optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53), dadurch gekennzeichnet, dass die Bilder der optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53) zu einer Draufsicht derart verbunden werden, dass die Darstellung der optischen Aufnahmeeinrichtungen (51, 52, 53) in einer gemeinsamen Abbildung derart ausgegeben wird,
 dass in der gemeinsamen Abbildung der optischen Aufnahmeeinrichtungen (51, 52, 53) als Zentrum die Position einer Auftragseinrichtung zur Aufbringung der Struktur auf das Substrat vorgesehen ist, und wobei
 die optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53) in einem Sensorkopf (80) um die Auftragseinrichtung angeordnet sind, wobei die optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53) im Sensorkopf (80) mit einer Einrichtung (71) zur Zusammensetzung eines Gesamtbildes (11, 21, 31) verbunden sind, wobei
 die Bilder (11, 21, 31) der optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53), bestehend aus mehreren Bildaufnahme-Sensoren (51, 52, 53), zu dem Gesamtbild (11, 21,31) des aktiven Bereichs der Überprüfung zusammengesetzt werden, welches sich aus Bildern (11, 21, 31) in Form von Scheibensegmenten der optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53) zusammensetzt, um einen 360°-Blick um die Auftragseinheit zu ergeben, wobei
 die optischen Aufnahmevorrichtungen (51, 52, 53) jeweils einen CCD-chip (51, 52, 53) oder CMOS-chip aufweisen und wobei
 die Bilder (11, 21, 31) der optischen Aufnahmeeinrichtungen (51, 52, 53) zur Überprüfung der aufgebrachten Struktur, jeweils in Form eines Scheibensegmentes verwendet werden, die jeweils aus Bildstreifen (10, 20, 30) der Bilder der optischen Aufnahmeeinrichtungen (51, 52, 53) gebildet werden, wobei die Bilder aller optischen Aufnahmeeinrichtungen (51, 52, 53) zusammen eine Scheibe als Gesamtbild (11, 21, 31) um die Auftragseinrichtung bilden.
Patent DE-102012013142-B4 (DE)
Title: Wechselstromquelle
Inventor: MELCHER JÜRGEN
IPC: G01R23/173
Filed: 2012-07-03
Granted: 2015-04-02
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Wechselstromquelle mit einem Einzelelektronentunnelbauteil (12) und einer Frequenzquelle (14), insbesondere einer Spannungsquelle (26), zum Abgeben einer elektromagnetischen Welle, wobei die Frequenzquelle (14) so mit dem Einzelelektronentunnelbauteil (12) gekoppelt ist, dass das Einzelelektronentunnelbauteil eine elektrische Stromstärke (I) abgibt, der auf eindeutige Weise von einer Frequenz (f) der elektromagnetischen Welle abhängt, und wobei die Frequenzquelle (14) eingerichtet zum Abgeben einer zeitlich auf vorbestimmte Weise variierenden Frequenz (f), so dass das Einzelelektronentunnelbauteil (12) eine Wechselstromstärke definierter Wechselstromfrequenz abgibt.
Patent DE-102012021050-B4 (DE)
Title: Polierverfahren unter Verwendung einer abstimmbaren Polierformulierung
Inventor: GUO YI
IPC: H01L21/302
Filed: 2012-10-26
Granted: 2022-07-07
Abstract: Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren eines Substrats, umfassend:Bereitstellen eines Substrats, wobei das Substrat eine Polysilizium-Deckschicht umfasst, die auf Siliziumnitrid abgeschieden ist,Bereitstellen eines chemisch-mechanischen Polierzusammensetzungskonzentrats, wobei das chemisch-mechanische Polierzusammensetzungskonzentrat besteht aus:Wasser,0,1 bis 25 Gew.-% eines kolloidalen Siliziumdioxidschleifmittels mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von ≤ 100 nm,0,01 bis 1 Gew.-% eines diquaternären Kations gemäß der Formel (I):worin R1eine C2-C6-Alkylgruppe ist undworin R2, R3, R4, R5, R6und R7jeweils unabhängig aus einer C2-C6-Alkylgruppe ausgewählt sind,Bereitstellen eines ersten Verdünnungsmittels,Bereitstellen eines zweiten Verdünnungsmittels,Zusetzen des ersten Verdünnungsmittels zu einem ersten Teil des chemisch-mechanischen Polierzusammensetzungskonzentrats zur Bildung einer ersten Polierformulierung, wobei die erste Polierformulierung einen pH-Wert von >4 bis 11 aufweist, wobei die erste Polierformulierung so abgestimmt wird, dass sie eine erste Polysilizium-Entfernungsgeschwindigkeit von ≥200 nm/min und eine erste Polysilizium-zu-Siliziumnitrid-Entfernungsgeschwindigkeitsselektivität von 20:1 bis 800:1 aufweist,Bereitstellen eines chemisch-mechanischen Polierkissens,Erzeugen eines dynamischen Kontakts an einer Grenzfläche zwischen dem chemisch-mechanischen Polierkissen und dem Substrat,Abgeben der ersten Polierformulierung auf das chemisch-mechanische Polierkissen an oder in der Nähe der Grenzfläche zwischen dem chemisch-mechanischen Polierkissen und dem Substrat,Entfernen der Polysilizium-Deckschicht von dem Substrat,Zusetzen des zweiten Verdünnungsmittels zu einem zweiten Teil des chemisch-mechanischen Polierzusammensetzungskonzentrats zur Bildung einer zweiten Polierformulierung, wobei die zweite Polierformulierung einen pH-Wert von 2 bis 4 aufweist, wobei die zweite Polierformulierung so abgestimmt wird, dass sie eine zweite Polysilizium-Entfernungsgeschwindigkeit von >_150 nm/min und eine zweite Polysilizium-zu-Siliziumnitrid-Entfernungsgeschwindigkeitsselektivität von 1:1 bis 19:1 aufweist,Abgeben der zweiten Polierformulierung auf das chemisch-mechanische Polierkissen an oder in der Nähe der Grenzfläche zwischen dem chemisch-mechanischen Polierkissen und dem Substrat undEntfernen von mindestens etwas mehr des Polysiliziums und mindestens einem Teil des Siliziumnitrids von dem Substrat.