baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100259824-B1 (KR)
Title: Pump for dishwasher
Inventor: PARK YOUNG HWAN
IPC: A47L15/42
Filed: 1998-02-03
Granted: 2000-07-01
Abstract: PURPOSE: Pump structure of a dishwasher is provided to improve efficiency of a pump by reducing water consumption amount of the dishwasher and to simplify structure. CONSTITUTION: Pump structure comprises a pump body discharging washing water and waste water to a drain discharging hole; a motor generating driving force by being mounted on an upper portion of the pump body; a drain impeller installed in accordance with a washing impeller on a motor shaft vertically mounted in a center portion of the pump body; an impeller supporter(50) dividing the drain impeller and the washing impeller; and an inflow hole(50A) of washing water or waste water sucked through a drain suction hole of the pump body. A simple filtering net easily discharge the waste and filtrates the waste in washing to simplify the pump structure for reducing a cost. The pump structure improves efficiency of the pump by separately designing two impellers.
Patent KR-100521065-B1 (KR)
Title: 곤충으로부터식물을보호하기위한조성물
IPC: A01N53/02
Filed: 1998-03-26
Granted: 2006-01-12
Abstract: 특허청구범위 제1항에 청구된 바와 같은 혼합 물질, 활성 성분으로서 상기 혼합 물질을 포함하는, 곤충 또는 아카리나 목의 대표 곤층으로부터 식물을 보호하기 위한 조성물, 상기 활성 성분을 사용하여, 곤충 또는 아카리나 목의 대표 곤충으로부터 식물을 보호하기 위한 방법, 상기 조성물의 제조 방법, 이의 용도, 이로 처리된 식물 번식 물질, 및 상기 조성물의 제조에 있어서 화학식 1 및 화학식 2의 화합물의 용도가 기술되어 있다. 화학식 1의 화합물은, 예를 들면 아시벤졸라-S-메틸이고, 화학식 2의 화합물은, 예를 들면 티아메톡삼이다.
Patent KR-100263172-B1 (KR)
Title: Now-woven fabric filter, process and apparatus for preparing thereof
Inventor: HWANG BYUNG JEUNG
IPC: B01D39/00
Filed: 1998-04-01
Granted: 2000-08-01
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for manufacturing a non-woven fabric filter are provided to continuously manufacture the non-woven fabric filter without stopping the apparatus, and to achieve the non-woven fabric filter capable to pick out extremely fine particles. CONSTITUTION: At least one among diatomite, activated carbon, and carbon is contained in the non-woven fabric(105). The non-woven fabric is supplied along a desired route by a transfer roller(113). A movable winding roller(160) successively supplied from a winding roller supply device(130) is preheated by a preheating roller(135) for winding the non-woven fabric along the desired route. A driving roller(150,152) is provided to rotate the winding roller. The non-woven fabric wound on the winding roller is compressed by a compressor(140), and then is cut by a cutter(190) to form a non-woven fabric filter(107). The cut non-woven fabric is released form the winding roller.
Patent KR-100290199-B1 (KR)
Title: 동적이동에이전트
IPC: G06F9/50
Filed: 1998-04-20
Granted: 2001-05-15
Abstract: 모빌 에이전트의 동적 실행을 위한 개선된 방법 및 장치에 관한 것이다. 예를 들어, 실행될 콤포넌트의 심볼 이름은 에이전트가 방문할 필요가 있는 적절한 네트워크 호스트를 결정하기 위하여 콤포넌트 디렉토리를 사용하여 동적으로 분석될 수 있다. 바람직하게는, 콤포넌트 디렉토리는 클라이언트 또는 호스트 기계에 의해 문의되고 콤포넌트 호스트에 의해 갱신될 수 있다. 또한 콤포넌트의 위치 및/또는 이용가능성의 변경은 런타임으로 포착되고 에이전트는 동적으로 교체 콤포넌트 호스트로 경로배정될 수 있다. 또 다른 특징에 따르면 에이전트는 시스템의 다이내믹에 유연하게 순응할 수 있다. 예를 들어, 콤포넌트의 속성이 변경되거나, 또는 콤포넌트 호스트가 과도하게 로드되면, 에이전트는 동일한 콤포넌트에 대한 교체 호스트를 찾음으로써 그러한 변경에 적응할 수 있다. 또 다른 특징은 시스템의 관리가능성을 향상시킨다. 예를 들어, 콤포넌트 호스트는 언제든지 콤포넌트의 위치 및/또는 속성을 자유롭게 갱신할 수 있다. 갱신된 콤포넌트 위치에 탑재된 콤포넌트를 사용하는 에이전트에 대한 코드의 변경은 요구되지 않는다.
Patent KR-100499591-B1 (KR)
IPC: H01B3/30
Filed: 1998-04-23
Granted: 2005-09-26
Abstract: 전자 부품 및 전자 부품의 제조 방법을 제공한다.  전자 부품은 구조적 성분으로서 내열성이 높고 저유전율(low dielectric constant)을 나타내는 전기 절연재를 포함한다.   전기 절연재는 화학식 (1)로 나타낸 반복 단위를 함유하는 폴리이미드로 형성된다.
Patent KR-100265227-B1 (KR)
Inventor: SON YONG-SUN
IPC: H01L21/8238
Filed: 1998-06-05
Granted: 2000-09-15
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 CMOS 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것이다. 
     종래의 CMOS 트랜지스터를 제조하기 위한 방법중 일반적인 LDD 구조를 갖는 NMOS 트랜지스터와 LDD 이온 주입시 펀치 스톱 도핑층이 형성된 PMOS 트랜지스터를 갖는 CMOS 트랜지스터는 고집적 소자에 적용할 경우 NMOS 트랜지스터 영역에 저에너지, 저농도의 이온 주입 공정을 실시해야 하지만, 이 경우 PMOS 트랜지스터의 매장 채널 영역의 N형 불순물의 농도가 낮아 펀치 스루우 특성이 급격히 떨어지는 문제가 발생된다. 또한 이와 같은 문제를 해결하기 위한 이중 펀치 스톱 도핑층을 형성하는 방법은 2중 LDD를 형성하기 위한 2회의 이온 주입 마스크 공정이 추가되고, 2회의 큰 기울기를 갖도록 펀치 스톱 이온 주입 공정이 추가되는 등 전체적인 공정이 복잡해지고, 생산성을 저하시키는 문제를 가지고 있다. 
     본 발명에서는 0.3㎛ 이하의 게이트 길이를 갖는 NMOS 및 PMOS 트랜지스터가 혼재된 CMOS 트랜지스터 구조를 갖는 소자 제조시 NMOS 트랜지스터는 극도로 얇은 LDD 구조로, PMOS 트랜지스터는 이중 펀치 스톱 도핑층을 형성하여 NMOS 및 PMOS 트랜지스터의 숏 채널 이펙트를 개선할 수 있다.
Patent KR-100276742-B1 (KR)
Title: Efm 신호 프레임 주기 검출 회로 및 efm 신호 재생용비트 동기화 클록 신호의 주파수 제어 시스템
IPC: H04L7/08
Filed: 1998-06-18
Granted: 2001-03-02
Abstract: EFM 신호를 생성하기 위해 이용되는 비트 동기화 클록 신호의 주파수를 제어하는 시스템은,  EFM 신호를 117 로 주파수 분주하여 프레임 주기 신호로서 1/117 주파수 분주 신호를 출력하는 EFM 신호 프레임 주기 검출 회로를 구비한다.        제어부는  비트 동기화 클록 신호에 의해서 EFM 신호의 레벨 천이 간격을 카운팅하고 매 프레임 주기 신호마다 정의되는 검출 지속 기간내에서 최대 카운트값을 선택하고,  EFM 신호에 포함된 프레임 동기화 신호의 비트 길이에 대응하는 소정의 값과 최대 카운트값을 비교한다.     최대 카운트값이 소정의 값보다 큰 경우,  제어부는 비트 동기화 클록 신호 생성 회로의 발진 주파수를 감소시키도록 제어하고,  최대 카운트값이 소정의 값보다 큰 경우,  제어부는 비트 동기화 클록 신호 생성 회로의 발진 주파수를 증가시키도록 제어하고,  결과적으로,  비트 동기화 클록 신호의 주파수는 프레임 동기화 신호의 카운트된 펄스폭을 11 비트 동기화 클록 신호의 길이로 유지하도록 제어된다.
Patent KR-100268228-B1 (KR)
Title: 코드 분할 다중 접속 시스템의 섹터간 채널 공유 방법
Inventor: BAE JAE SEONG
IPC: H04B7/216
Filed: 1998-07-08
Granted: 2000-10-16
Abstract: CDMA 시스템의 섹터간 채널 공유 방법에 관하여 개시한다. 본 방법은, 한 섹터에서 사용 가능한 채널수를 제한하는 단계, 섹터간에 채널을 공유하여 사용하도록 채널을 할당하는 단계, CDMA 시스템 내에서 이동국이 해당 섹터에 호를 요구하는 단계, 이동국이 연결된 섹터를 기지국에서 판단하는 단계, 기지국에 이동국이 연결된 섹터를 판단한 후 해당 섹터에 할당할 수 있는 여유 채널이 존재하는지의 여부를 판단하는 단계, 판단 결과 할당할 수 있는 여유 채널이 존재하는 경우 이동국으로 채널을 할당하는 단계 및 판단 결과 할당할 수 있는 여유 채널이 존재하지 않는 경우 이동국의 호 요구를 차단하는 단계를 포함하여 이루어진다.
Patent KR-100543996-B1 (KR)
IPC: C08K5/3465
Filed: 1998-07-31
Granted: 2006-03-23
Abstract: 하기 화학식 1의 화합물은 높은 광 견뢰도 및 기후 견뢰도를 갖는 유용한 옐로우(yellow) 안료이다: 
     
       
         
       
     
     상기 식에서, 
     R 1     및 R 2 는 동일하거나 상이하고, Cl, COO(C 1 -C 4 )-알킬, CONH 2 , CONCH 3 , CON(CH 3 ) 2  또는 SO 2 NRR'이고; 이때, R 및 R'는 동일하거나 상이하고, 수소, C 1 -C 4 -알킬 또는 페닐이고, 이때 페닐은 메틸, 에틸, 메톡시, 에톡시 또는 할로겐으로 치환될 수 있고; 
     R 3 은 수소, 메틸, 메톡시, 에톡시, 클로로 또는 브로모이고; 
     R 4 는 수소, C 1 -C 3 -알킬, 클로로 또는 브로모이다.
Patent KR-100305595-B1 (KR)
Title: 우편용고객바코드검출장치,우편용고객바코드검증시스템및그검증방법
IPC: G06K7/10
Filed: 1998-08-27
Granted: 2001-11-15
Abstract: 본 발명은 우편용 고객 바코드 검출 장치, 우편용 고객 바코드 검증 시스템 및 그 검증 방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 고객 바코드 검출 장치는 베이스에 삽입된 우편물의 최대 및 최소 크기를 구별하고, 우편 주소 작성 영역 및 바코드 인쇄 영역을 검증하기 위한 검증자와, 상기 검증자에 의해 검증된 우편물의 바코드를 판독하는 고객 바코드 판독기를 포함하여 이루어지고, 고객 바코드 검증용 데이터를 저장하기 위한 데이터베이스와, 상기 고객 바코드 판독기에 의해 판독된 결과와 상기 데이터 베이스에 저장된 데이터를 비교하기 위한 제어 수단을 포함하여 고객 바코드 검증 시스템이 구성된다. 
     본 발명은 우편용 고객 바코드를 검증하기 위한 검증 절차 및 검증 시스템을 소규모화하여 일반 우체국 및 우편 자동처리를 위한 집중국에서도 손쉽게 고객 바코드를 검증할 수 있도록 한다.
Patent KR-100491682-B1 (KR)
Title: 스위치가 붙은 동축 커넥터
IPC: H01R13/703
Filed: 1998-08-28
Granted: 2005-09-16
Abstract: 본 발명은 소형화가 가능한 스위치가 붙은 동축 커넥터를 제공하기 위한 것으로서, 스위치 단자(40)를 길이방향을 따라 단면이 S자인 형상으로 굴곡시키고 단자 수용실(3)의 횡방향 일측으로 외팔보 형태로 지지하고, 스위치 단자(40)의 가동 접촉부(44)를 플러그 삽입공(15)을 넘어 스위치 단자(40)측까지 연장하여 형성되는 고정단자(30)의 고정 접촉부(34)와 탄성적으로 접촉시킨다. 
     스위치 단자(40)는 좁은 단자 수용실(3)내에서 충분한 스프링 스팬을 얻을 수 있으므로 스위치가 붙은 동축 커넥터를 소형화할 수 있다. 또 고정단자(30)의 전장을 길게 할 수 있으므로 고정 접촉부(34)가 납땜 플럭스로 덮이는 일이 없으므로 접촉불량이 생기지 않는다.
Patent KR-100284080-B1 (KR)
Title: 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치
Filed: 1998-10-19
Granted: 2001-03-02
Abstract: 본 발명은 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정과 3차원 형상/표면조도측정기능이 일체적으로 구비된 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 측정유니트(30)의 구성요소인 광학계는 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 제 1광학계(50)와 3차원 형상/표면조도측정을 위한 Z축방향의 미세변위를 위한 PZT액츄에이터(52a)를 포함하는 제 2광학계(52b)가 회동가능한 터렛(48)상에 일체로 구성되고, 측정/제어유니트(10)에는 상기 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정/3차원 치수측정의 방식의 선택과 그 선택된 측정방식에 대응하는 측정결과연산을 행하는 물체측정연산부(120)와, 상기 측정방식의 과정을 설정하기 위한 화면데이터와 측정결과가 저장되는 데이터메모리(122), 상기 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 프로그램이 저장된 2차원 치수측정프로그램저장부(124) 및, 상기 측정대상물체(P)에 대한 3차원 형상/표면조도의 측정을 위한 측정프로그램등록부(126)가 통합적으로 구성되어, 상기 측정대상물체(P)에 대해 2차원 치수측정 또는 3차원 형상/표면조도측정이 선택적으로 또는 호환적으로 실행될 수 있도록 된 것이다.
Patent KR-100355554-B1 (KR)
Title: 음극선관용펀넬제조설비
IPC: H01J9/24
Filed: 1998-12-28
Granted: 2002-12-26
Abstract: 본 발명은, 컬럼과, 원주방향을 따라 복수의 저부몰드가 배치되며 상기 컬럼에 대해 회전가능하도록 배치되는 턴테이블과, 상기 턴테이블의 일측에 배치되어 용융글라스고브를 압축성형하는 압축성형부와, 상기 턴테이블의 회전방향을 따라 상기 압축성형부의 후방에 배치되어 상기 압축성형부에 의해 성형된 음극선관용 펀넬을 순차적으로 냉각하는 냉각부를 갖는 음극선관용 펀넬제조설비에 관한 것으로서, 상기 냉각부는, 상기 턴테이블에 적치된 저부몰드의 외측에 배치되어 상기 저부몰드의 둘레방향을 따라 형성된 각 관리포인트에 대응하여 냉각공기를 분사하는 분사노즐들을 갖는 몰드냉각부와;  상기 펀넬의 실에지면측 내측연부의 둘레방향을 따라 형성된 각 관리포인트에 대응하여 냉각공기를 분사하는 분사노즐들을 갖는 펀넬냉각부를 포함하는 것을 특징으로 한다.  이에 의하여, 펀넬 및 저부몰드를 포인트별로 냉각할 수 있도록 하여 펀넬의 둘레면의 형상 및 치수를 균일하게 유지할 수 있는 음극선관용 펀넬제조설비가 제공된다.
Patent KR-100575817-B1 (KR)
Title: 디지탈데이터의복사방지장치
IPC: G11B20/10
Filed: 1998-12-31
Granted: 2006-08-31
Abstract: 본 발명은 저작권이 설정되어 있는 디지탈 데이터와 그렇지 않은 데이터를 용도에 맞게 처리하는 기술에 관한 것으로 이러한 본 발명의 제1목적은, 입력신호를 암호화 처리한 신호와, 저작권 여부, 기록허가 등의 여러 가지 정보를 포함하는 정보신호와, 키이신호를 변조한 신호를 합성하여 기록매체(26)에 기록하는 산업용 기록부(20)에 의해 달성되고, 제2목적은 입력신호에 포함되어 있는 정보신호를 근거로 하여 암호화되지 않은 신호나 저작권 보호를 위해 암호화된 신호를 선택하여 기록매체(37)에 기록하는 가정용 기록부(30)에 의해 달성되며, 제3목적은 입력신호에 포함되어 있는 정보신호를 근거로 하여 암호화되지 않은 데이터나 내부에서 복화과정을 통해 복원된 데이터를 선택하여 암호처리한 후 텔레비젼수상기(49)측으로 출력하도록하는 재생부(40)에 의하여 달성된다.
Patent KR-100467880-B1 (KR)
Title: 조정가능한영구자석결합기
IPC: H02K49/02
Filed: 1996-10-18
Granted: 2005-05-27
Abstract: 조정 가능한 결합기는 전도성 회전자 상의 전도성 소자들로부터 갭에 의해 이격된 자석 모듈들을 가진 회전 자석 회전자를 구비한다. 자석 모듈들은 반대된 각각의 극들을 가진 2개의 나란한 영구 자석들을 각각 구비하고 자석들 사이의 중립면을 갖는다. 자석 모듈들은 중립면들이 결합기의 회전축에 교차하는 최대 토크위치와, 자석 모듈들이 최대 토크 위치로부터 90도 회전된 최소 토크 위치 사이의 토크 조정을 위해 회전될 수 있다.
Patent KR-100303122-B1 (KR)
IPC: C04B35/626
Filed: 1996-12-26
Granted: 2002-04-17
Abstract: 본 발명은, 50 내지 97중량%를 차지하는 JIS의 체의 눈 크기가 210㎛(70메쉬) 이상인 알루미늄 또는 알루미늄 합금 분말로 이루어지는 거칠고 큰 알루미늄 분말과, 나머지 50 내지 3중량%를 차지하는 체의 눈 크기가 210㎛(70메쉬) 미만인 알루미늄 분말, 알루미늄 합금 분말 중의 적어도 1종으로 이루어지는 질화 촉진 분말로 이루어지는 혼합원료 분말을 500 내지 1000℃의 질소가스 분위기 하에서 직접 질화하는 것을 특징으로 하는 질화 알루미늄의 제조방법으로서, 유발을 사용하여 사람의 손으로 파쇄할 수 있는 파쇄성이 용이한 질화 알루미늄이 얻어진다.
Patent KR-100493673-B1 (KR)
Title: 카카스부에 스틸코드가 적용된 레이디얼 타이어
IPC: B60C9/00
Filed: 1999-01-08
Granted: 2005-06-03
Abstract: 본 발명은 카카스부에 스틸코드가 적용된 레이디얼 타이어에 관한 것으로, 3가닥의 필라멘트를 한방향으로 꼬아 만든 1×3 스틸코드로서 카본함량이 0.70 ~ 0.96%인 카본스틸로 구성된 필라멘트들의 표면에는 황동이 도금되어 있고, 연선전 각 필라멘트들의 인장강도 수준이 260 ~ 375㎏f/㎟이며, 필라멘트의 직경에 비해 꼬임길이를 짧게 함으로써 내피로성과 내플레어성이 양호하게 된 스틸코드가 카카스부에 적용됨에 따라, 연비절감과, 조종안정성 향상, 타이어의 치수안정성 및 유니포머티특성이 향상될 수 있다.
Patent KR-100334258-B1 (KR)
Title: 잔디종자를 이용한 법면 초지조성방법
IPC: A01G1/00
Filed: 1999-02-04
Granted: 2002-04-25
Abstract: 본 발명의 목적은 토량이 적은 풍화암 법면, 사질토 법면 또는 토성 경도가 높은 법면에서 강우 등에 의해서 쉽게 침식이 되지 않아 견고한 생육 기반을 조성하는 것에 의해 신축된 법면의 붕괴를 방지할 수 있는 방법을 제공하는 것이다. 
     본 발명은 잔디종자, 객토, 종자식생재료, 안정재, 비료 및 물을 혼합하여 일정한 점도를 갖는 혼합물을 형성하는 것으로, 상기 종자식생재료는 부엽토와 피트 모스(Peat moss)에 퍼라이트(Perlite), 버미큘라이트(Vermiculite), 지오라이트(Zeolite), 지효성 유기질 비료 및 접착성 점토를 첨가하며; 및 상기 혼합물을 잔디밭을 조성하고자 하는 법면에 1-3Cm의 두께로 살포하여 점착시키는 것에 의해 상기 법면으로부터 흘러내리지 않도록 함으로써 상기 잔디종자의 생육기반을 조성하는 것;을 특징으로 하는 잔디종자를 이용한 법면 초지조성방법을 제공한다.
Patent KR-100339120-B1 (KR)
Title: 콘크리트 압축강도 측정 해머의 제어방법
IPC: G01N3/30
Filed: 1999-06-18
Granted: 2002-05-31
Abstract: 본 발명은 콘크리트 압축강도를 측정하는 해머에 관한 것으로서 반발경도의 평균, 측정각도에 의한 각 경도단위로의 자동변환, 재령일에 의한 재령계수를 표시해주는 방법과 측정데이터를 저장하여 프린터로 직접출력 및 컴퓨터와 연결하여 컴퓨터 파일로 저장 또는 프린터 출력을 제공하는 방법에 관한 것이다. 기존의 압축강도를 측정하는 일반해머는 측정 데이터가 저장되지 않아 수기로 측정 데이터를 기록하고 평균, 각도에 의한 경도단위 변환 등도 수작업으로 구해야 한다. 비록 디지털 해머라 하더라도 측정각도에 의한 각 경도 단위로의 자동변환, 재령일에 의한 재령계수 표시, 측정 데이터 저장, 프린터로 출력, 컴퓨터와 연결하여 컴퓨터 파일로 저장 또는 프린터 출력 등을 완전히 제공하지 못해 측정 데이터 분석을 위해 별도의 수작업을 행해야 하는 문제점이 있다. 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 측정 데이터를 저장되도록 구성하고, 평균 계산, 각도에 의한 경도단위로의 자동변환, 재령일에 의한 재령계수 표시, 프린터로 출력, 컴퓨터와 연결하여 컴퓨터 파일로 저장 또는 프린터 출력 등을 완전히 제공하여 측정 데이터 분석을 용이하도록 하며 또한 반발경도 입력부(11, 31)와 반발경도 변환부 및 중앙 연산 처리부(32)가 연결되어 있지 않으면, 측정되지 않도록 하고 연결되지 않았다는 정보를 제공하여 사용자의 실수를 방지하는 수단 및 방법을 제공한다. 본 발명은 밝은 곳은 물론 어두운 곳에서도 어두운 정도에 따라 표시부(24)에 근접되어 있는 라이트부(28)의 밝기 조절을 선택할 수 있도록 하여 사용자의 편리성을 제공한다.
Patent KR-100352088-B1 (KR)
Title: 미녹시딜 함유 외용 에멀젼 조성물
IPC: A61K9/06
Filed: 1999-06-21
Granted: 2002-09-12
Abstract: 본 발명은 피부투과성이 우수한 미녹시딜 함유 외용 에멀젼 조성물에 관한 것이다.  활성 성분으로서 미녹시딜, 공계면활성제인 유기용제, 계면활성제 및 오일로 이루어진 본 발명의 미녹시딜 함유 외용 에멀젼 조성물은 기존에 알려져 있는 외용 약제보다 훨씬 더 우수한 피부 투과성을 나타내어 피부 적용시 활성성분이 목적하는 피부 조직까지 효과적으로 도달할 수 있다.
Patent KR-100332120-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 캐패시터 제조방법
IPC: H01L27/10
Filed: 1999-06-30
Granted: 2002-04-10
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 캐패시터 형성방법에 관한 것으로, 캐패시터 내에 도프트 폴리실리콘 플러그를 형성한 후 에치 백 공정으로 플러그 리세스를 형성하고, 플러그 리세스에 내산화성이 우수한 물질을 매립시켜 베리어 메탈층을 형성하되, 도프트 폴리실리콘 플러그와 베리어 메탈층간의 접촉 저항을 낮추기 위해 그 사이에 IrSi X 층을 형성하고, 베리어 메탈층에 연결되는 하부 전극을 형성하되, 하부 전극의 하지층인 층간 절연막과의 접착성을 향상시키기 위해 글루층을 얇게 형성하고, 고유전율 물질로 캐패시터의 유전체막을 형성하고, 이후 상부 전극을 형성하여 캐패시터를 형성하는 방법에 관하여 기술된다. 이와 같이, 본 발명은 베리어 메탈층이 매립되도록 하여 베리어 메탈층으로 인한 누설 전류 특성 저하를 방지할 수 있고,  베리어 메탈층을 내산화성이 우수한 물질로 형성하므로 고온 공정에서 고유전율의 유전체막을 형성할 수 있게 하여, 유전 특성 및 누설 전류 특성이 우수한 캐패시터를 제조할 수 있다.
Patent KR-100334575-B1 (KR)
Title: 반도체 메모리 제조 방법
IPC: H01L27/10
Filed: 1999-07-05
Granted: 2002-05-03
Abstract: 목적: 반도체 메모리의 캐패시터 용량을 증대시킬 수 있는 반도체 메모리 제조 방법을 제공한다. 
     구성: 본 발명의 반도체 메모리 제조방법은 제1 및 제2 트랜지스터의 공통의 드레인에 데이터를 출력시키기 위한 비트라인을 형성하는 단계, 비트라인을 포함한 반도체 기판 상에 제1 절연층을 형성하고 사진식각 공정에 의해 제1 트랜지스터의 소스 영역 상의 반도체 기판 표면이 노출되도록 상기 제1 절연층을 선택적으로 제거하고 제1 도전층을 형성한 후 패터닝하여 제1 커패시터의 스토리지 전극으로 사용되는 제1 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 전극 상에 유전물질을 증착하고 패터닝하여 상기 제1 커패시터를 구성하는 제1 유전체막을 형성하는 단계, 상기 제1 유전체막 상에 제2 도전층을 형성하고 패터닝하여 상기 제1 커패시터 및 제2 커패시터의 공통 플레이트 전극으로 사용된느 제2 전극을 형성하는 단계, 상기 제2 전극 상에 유전물질을 증착하고 패터닝하여 상기 제2 커패시터를 구성하는 제2 유전체막을 형성하는 단계, 및 상기 제2 유전체막 상에 제3 도전층을 형성하고 패터닝하여 제2 트랜지스터의 소스와 연결되도록 상기 제2 커패시터의 스토리지 전극으로 사용되는 제3 전극을 형성하는 단계로 구성된다. 
     효과: 본 발명은 3개의 전극으로 구성되는 캐패시터를 형성하는 것이어서 고유전율을 갖는 유전체막을 사용하지 않더라도 제1 및 제2 트랜지스터의 각각의 스택형 캐패시터의 표면적을 넓게 할 수 있으므로 메모리 소자의 캐패시터 용량 증대에 효과적이다.
Patent KR-100336509-B1 (KR)
Inventor: PARK JUNG OK
IPC: B04C5/00
Filed: 1999-07-23
Granted: 2002-05-11
Abstract: PURPOSE: A cyclone of a mobile dust-collector (centrifugal dust collector) is provided to prevent backward flowing of solid materials and/or flame when they turn round and conflict to wall of the collector. CONSTITUTION: The cyclone comprises a conical hopper(8) at lower part; an inhaler port(1) and an exhausting port(2) attached/detached by a bracket(3); a gate to be opened/closed by air cylinder at outlet(9) of the hopper(8); a stable column(5) opposite to a central exhaust hole(4); a cartridge filter(6) connecting outer peripheral side of the column(5); and an umbrella trim(7) inclined downward around top end of the column(5). Top portion of the cyclone is sealed excluding the central exhausting hole(4) going through the exhausting port(2).
Patent KR-100695024-B1 (KR)
IPC: H04N5/57
Filed: 1999-07-28
Granted: 2007-03-14
Abstract: 디스플레이 시스템(10)의 AKB 인터페이스 장치는 컬러 이미지를 디스플레이 하기 위해 각각의 키네스코프 드라이버 IC(18, 20, 22)를 통해 각각의 키네스코프 캐소드(K1, K2, K3)에 결합된 출력을 갖는 비디오 신호 처리 IC(12)를 포함하고, 이 신호 처리 IC는 AKB 입력 신호를 수신하기 위한 입력(27)을 가지며, 드라이버 IC는 각각의 캐소드 전류 표시 신호(RP, GP, BP)를 제공하는 각각의 출력(28, 30, 32)을 갖는다. 인터페이스 회로(100)는 캐소드 전류 표시 신호를 신호 처리 IC의 AKB 입력에 결합한다. 인터페이스 회로는 적어도 하나의 캐소드 전류 표시 신호에 응답하여 로드 전압(V o )을 발생하는 로드 회로(110)를 구비한다. 누설 보정 회로(130)는, 상기 로드 전압(V o )에 응답하여, 로드 회로에 누설 보정 전류(I o )를 피드백한다. 누설 보정 회로는 누설 표시 신호를 제공하기 위해 수직 리트레이스 펄스 간격 동안 로드(110)의 출력 전압을 기준 전위와 비교하는 키드 비교기(keyed comparator)(Q5, Q6, Q7)를 포함하고, 제어 가능한 전류원(Q1, Q3)은 키드 비교기에 결합되고, 누설 표시 신호에 응답하여 누설 보정 전류(I o )를 로드 회로(110)에 피드백한다. 응용에 있어서, 캐소드 전류 표시 신호는 우선 로드 회로(110)에 결합되고, 그 후, 처리 IC AKB 입력에 인가를 위해 누설 보정 회로(130)에서 처리된다. 다른 응용에 있어서, 캐소드 전류 표시 신호는 개별적으로 누설 보상되고, 그 후, 처리 IC에 인가하기 위해 결합된다(300).
Patent KR-100352140-B1 (KR)
Title: 차음재 및 그 제조방법
IPC: B32B5/08
Filed: 1999-08-09
Granted: 2002-09-12
Abstract: 본 발명은, 차음재 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 차음재는 섬유로 이루어진 섬유재층과; 상기 섬유재층의 하부에 부착되며, 합성수지 및 충전제의 혼합물로 이루어진 차음재층과; 상기 섬유재층의 표면에 적층되는 PVC로 이루어진 코팅층과; 상기 차음재층의 하면에 적층되는 펠트층과 폴레우레탄폼층중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.  이에 의하여, 소음을 효과적으로 차단시킬 수 있는 차음재 및 그 제조방법이 제공된다.
Patent KR-100331459-B1 (KR)
Title: 가축의 분뇨 오수 분무장치
IPC: C02F11/00
Filed: 1999-08-09
Granted: 2002-04-09
Abstract: 본 발명은 축사에 배설된 분뇨(糞尿)의 오수를 톱밥에 고르게 뿌려주기 위한 가축의 분뇨 오수 분무장치에 관한 것으로서, 특히 오수의 일부가 증발되면서 톱밥에 고르게 분무되어 오수를 간편하게 처리함과 동시에 유기질 비료의 제조에 사용할 수 있도록 한 것이다. 
     종래에는 가축들이 배설하는 분뇨의 처리에 상당한 비용이 소요되므로 결국은 농촌의 경쟁력을 약화시키는 등의 폐단이 있었다. 
     따라서, 본 발명은 오수탱크의 펌프(32)와 송풍기(20)(21)들을 작동시키면, 오수탱크에 저장된 오수가 핌핑되어 주입관(30)을 통해 상측 송풍기(20)의 드럼형 송풍팬(22) 내부에 주입됨에 따라 고속으로 회전되는 송풍팬(22)에 의하여 케이싱(10) 상측의 송풍구(20a)를 통해 오수가 분사됨과 동시에 하측 송풍기(21)의 송풍구(21a)에서 분사되는 공기에 의하여 오수 입자들이 잘게 부수어지면서 더욱 멀리 분무되는 것이므로 오수가 상당히 넓게 확산되면서 톱밥 위에 고르게 분무되어 양질의 유기질 비료를 얻을 수 있는 동시에 분무시 상당량의 오수들이 증발됨에 따라 오수처리가 매우 효율적으로 이루어져 오수처리에 소요되는 상당한 비용을 절감시킬 수 있는 것이다.
Patent KR-100386300-B1 (KR)
Title: 탄화물로 롤의 표면을 경화시키는 방법
IPC: C23C8/38
Filed: 1999-08-16
Granted: 2003-06-02
Abstract: 탄화물 형성원소인 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 등을 함유한 철강소재로 제조된 롤의 표면을 침탄하여 마르텐사이트 기지에 탄화물을 형성시킴으로써, 높은 경도와 우수한 내마모성 및 내식성을 얻을 수 있는 롤의 표면 경화방법이 개시되어 있다.  본 발명에 따르면, 0.4∼1.0wt%의 탄소(C), 0.3∼1.0wt%의 규소(Si), 0.5∼1.5wt%의 망간(Mn), 1∼6wt%의 크롬(Cr), 0.3∼2.0wt%의 몰리브덴(Mo)을 함유한 철강소재로 제조된 롤을 800∼1,050℃의 온도에서 2∼100시간동안 침탄하여 상기 롤의 표면에 20∼80%의 탄화물을 형성시켜 노냉하거나 공냉한후 고주파경화하거나 저주파경화하여 상기 탄화물과 마르텐사이트로 이루어진 조직을 얻은 다음 150∼350℃의 온도에서 템퍼링한다. 이와는 달리, 상기 롤의 표면에 20∼80%의 탄화물을 형성시켜 물, 기름 또는 폴리머 냉매중에서 급냉하여 상기 탄화물로 강화된 마르텐사이트 조직을 얻은 다음 템퍼링하거나 템퍼링하여 저주파, 또는 고주파 경화한다. 이때, 상기 침탄은 가스침탄, 진공침탄, 플라즈마침탄, 고체침탄중 어느 하나의 침탄방법을 사용하여 수행된다.
Patent KR-100336976-B1 (KR)
IPC: C07C29/157
Filed: 1999-09-13
Granted: 2002-05-17
Abstract: 본 발명은 2,7-옥타디엔-1-올의 개선된 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 팔라듐촉매, 포스핀 리간드, 아민 염기, CO 2 공급원 및 술포란 용매하에서 부타디엔과 물을 반응물로 사용하여 선형 이량화반응(linear dimerization)에 의해 2,7-옥타디엔-1-올을 제조하는 방법에 있어, 상기 CO 2 공급원으로서 이산화탄소 기체와 함께 탄산염류를 병용하여 반응시킴으로써 이산화탄소 기체의 사용량을 현격히 감소시키므로 반응기내로의 기체 투입을 위한 주의가 크게 요구되지 않으므로 조작이 간편해짐은 물론이고 이와 더불어 목적물에 대한 수율 향상효과를 얻게되는 2,7-옥타디엔-1-올의 개선된 제조방법에 관한 것이다.
Patent KR-100316262-B1 (KR)
Title: 차량용 연료공급시스템
IPC: F02M37/00
Filed: 1999-09-15
Granted: 2001-12-20
Abstract: 별도의 압력전달관을 사용하지 않고도 누설진단시 급유구의 개방 상태를 진단할 수 있는 구조를 채택한 연료공급시스템이 개시되어 있다. 개시된 연료공급시스템(110)은 연료탱크(111)에 연료가 완전히 채워진 상태에서 연료의 상측에 위치되는 급유관(115a)의 일측에, 급유관으로 누설진단펌프(119)의 공기압을 전달하기 위한 압력전달공(115c)이 형성되어 있다. 이에 따르면, 연료탱크 내의 급유관 일측에 압력전달공이 형성되어 연료탱크에 연료가 완전히 채워지더라도 급유관의 내부가 연료탱크의 연료가 채워지지 않은 부분과 연통될 수 있으므로, 별도의 부재를 설치하지 않고도 연료공급시스템의 누설 진단시 급유구의 개폐 여부를 진단할 수 있다.
Patent KR-100305436-B1 (KR)
Title: 슈퍼캐패시터용 금속산화물 전극 및 그 제조 방법
IPC: H01G9/04
Filed: 1999-09-16
Granted: 2001-11-07
Abstract: 아몰퍼스상 망간산화물을 이용한 슈퍼캐패시터용 전극 및 그 제조 방법이 개시되어 있다. 먼저 탈이온수에 계면활성제를 첨가하여 충분히 녹인 다음에 도전성 카본 분말을 충분히 분산시켜 도전성 카본 수용액을 준비한다. 도전성 카본이충분히 분산된 후 상기 도전성 카본 수용액에 과망간산칼륨 (KMnO 4 )을 첨가하여 도전성 카본위에 과망간산칼륨을 흡착시킨 과망간산칼륨 수용액을 준비한다. 별도로 아세트산망간(manganese acetate) 수용액을 준비한 후, 상기 과망간산칼륨 수용액에 아세트산망간 수용액을 혼합시켜 아몰퍼스상 망간산화물(a-MnO 2 ·nH 2 O)을 형성한다. 이어서, 상기 아몰퍼스상 망간산화물을 적출하여 슈퍼캐패시터용 전극을 제작한다. 도전성 카본과 망간산화물의 접촉면적 및 접촉강도가 향상되어 등가저항이 감소되고 고주파특성이 향상된다.
Patent KR-100317020-B1 (KR)
Title: 디프로스터덕트의 설치구조
IPC: B60S1/54
Filed: 1999-09-21
Granted: 2001-12-24
Abstract: 본 발명은 계기판의 송풍구과 디프로스터덕트의 송풍구의 어긋남을 없애고, 또한 조립성을 향상하는 것이다. 
     이를 위하여 디프로스터덕트(10)의 연결부(l0B)의 전단부 하면에는, 차체에 대한 걸어멈춤부(10C)가 형성되어 있고, 걸어멈춤부(10C)는 카울패널(36)의 설치구멍(37)에 걸어멈춰져 있다.  디프로스터덕트(10)의 연결부(10B)에는 만곡부(38)가 형성되어 있고, 계기판(14)의 리브(40)가 디프로스터덕트(10)의 덕트부(10A)에 맞닿아 이것을 차량 전방으로 압압한 경우에는, 만곡부(38)가 탄성변형하여 디프로스터덕트(10)의 송풍구(18)를 계기판(14)의 송풍구(16)와 일치하는 위치에 유지하도록 되어 있다.
Patent KR-100338260-B1 (KR)
Title: 용기 제조용 조성물 및 이를 이용한 용기 제조방법
IPC: C08L3/00
Filed: 1999-09-22
Granted: 2002-05-27
Abstract: 본 발명은 용기 제조용 조성물 및 이를 이용한 용기 제조방법에 관한 것이다. 본 발명이 제공하는 용기 제조용 조성물은, 80 내지 95 중량%의 천연소재물의 미세분, 특히 밀가루; 및 5 내지 20 중량%의 멜라민수지분;을 포함하는 분말형 또는 액상형인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 용기 제조용 조성물은 그 성분 재료가 천연산물로부터 얻어지며, 입수가 용이하고, 입수 비용이 저렴하기 때문에 환경친화적이면서도 경제성을 확보할 수 있는 장점을 가지며, 완제품인 용기의 수명이 다한 경우에는 이를 다시 수거 분쇄하여 다른 용기를 제조하기 위한 조성물 재료로 활용할 수 있는 장점을 갖는다.
Patent KR-100315654-B1 (KR)
Title: 타이어의 공기압 측정장치
IPC: B60C23/04
Filed: 1999-11-09
Granted: 2001-11-30
Abstract: 본 발명은 공기압 측정 장치를 개선하여 안정된 측정값을 얻을 수 있게 하는 타이어의 공기압 측정 장치에 관한 것이다. 
     종래의 공기압 측정 장치는 타이어에 공기압을 측정하는 센서가 직접 설치되거나, 측정센서가 림에 조립되는 형태로 장치되기 때문에 반복적인 굴신운동을 하는 타이어에 의해 측정 장치가 안정되게 설치되지 못하는 문제점과 아울러 공기압의 측정값이 정확하지 못한 문제점이 있었던 바, 본 발명은 타이어(1)가 장착되는 림(2)에 공기압에 의한 림(2)의 변형율을 감지하는 센서(3)와, 상기 센서(3)로부터 감지된 데이터를 운전석의 수신장치(5)에 전달하는 무선송신장치(4)를 설치시켜 구성함으로서, 탄성한도 내에서는 외부 하중의 변화에 대한 금속의 선형적인 응력-변형률 관계를 이용하여 타이어 내부의 공기압변화를 측정함으로서 매우 정확하고 정밀하게 타이어 내부의 공기압 변화를 측정할 수 있는 효과와 아울러 타이어 내벽에 장치되는 종래의 기술 구성보다 내구성도 뛰어나며, 타이어의 교체 시에도 반영구적으로 사용할 수 있고 보다 정확한 데이터를 운전자에게 제공할 수 있는 효과가 있는 것임.
Patent KR-100312432-B1 (KR)
Title: 마이크로 구조체를 이용한 광스위치
IPC: B81B3/00
Filed: 1999-11-25
Granted: 2001-11-05
Abstract: 대용량 정보 교환을 위한 광 통신(optical communication) 시스템에 있어서, 광 신호의 전달 방향을 바꾸기 위한 광 스위치(optical switch)의 구조가 개시된다. 본 발명은 상기 광 경로 변경을 위하여 일 측에 거울면을 구비하며 이 거울면에 평행한 방향으로 전·후진 구동이 가능한 가동 구조체(mobile structure)와, 상기 가동 구조체의 전·후진 구동 방향과 수직 방향으로 가동 구조체의 양쪽에 연결되어, 래치-업 기능을 가질 수 있도록 만곡된 형상(shallow arch)으로 적어도 한 쌍 이상 설치된 얇은 판 스프링(leaf spring), 및 상기 가동 구조체를 움직이기 위한 액츄에이터(actuator)로 포함하며, 상기 만곡된 판 스프링의 구동 전압을 낮추기 위하여, 상기 판 스프링의 연결부위인 양쪽 끝에 판 스프링과 수직으로 연결되는 탄성체를 중간에 삽입하여 축 방향에 대한 운동 자유도를 높이며, 상기 탄성체로는, 상기 'I'형 빔, 굴곡을 가진 다층 스프링, 또는 각도 변형이 가능한 'S'형상의 빔이 사용된다.
Patent KR-100314527-B1 (KR)
Title: 전착도장의 에어 포켓 제거장치
IPC: B05C21/00
Filed: 1999-11-26
Granted: 2001-11-15
Abstract: 본 발명은 전착조에 있는 전착도료를 수직노즐을 통하여 분출시킴으로서 도장대상제품에서 발생되는 에어 포켓을 제거할 수 있도록 하여 전착도장을 균일하게 함으로서 도장품질을 향상시키고 더 나아가서 생산성 향상에 기여할 수 있도록 하는 전착도장의 에어포켓 제거장치를 제공하는 것으로, 도장대상제품을 안착시키고 컨베이어 레일을 따라 이송되면서 전착조에서 전착도장이 이루어지는 것에 있어서, 
     상기 전착조에 설치되어 전착도료의 침전 방지를 위해 설치되는 도료침전방지시스템에 일부 전착도료를 가압하여 전착도료를 전착조에 수직으로 분출시켜 도장대상제품의 에어 포켓을 제거할 수 있는 수직노즐을 설치한 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100370877-B1 (KR)
Title: 내층판 용착기
IPC: H05K3/46
Filed: 1999-12-01
Granted: 2003-02-05
Abstract: 본 발명은 표면에 프리프레그(prepreg)가 노출된 1조(組)의 내층 배선판을 레이업(lay up)하고, 용착 헤드로 프리프레그를 용융 용착하여 내층 배선판을 고정한다. 
     다층 프린트 배선판의 제조 공정 중, 내층을 구성하는 양면 배선판과 프리프레그를 교호(交互)로 지그 판에 탑재하여 레이업하고, 주변의 수 개소를 스폿(spot) 형태로 가열 가압하여 프리프레그를 용융 용착하여 상기 내층의 구성 부재를 임시 고정한다. 
     스폿 형태로 가열 가압하는 용착 헤드(17)의 선단과 워크(40) 사이에 테이프(25)를 배치하고, 워크(40) 표면의 프리프레그에 용착 헤드(17)가 직접 접촉하지 않도록 하여 프리프레그 표면의 탄화나 연화되어 용착 헤드(17)의 선단에 부착되는 것을 방지한다.  또, 용착 헤드(17)의 선단에서 형성된 프리프레그 표면의 돌기를 스탬퍼(stamper)(27)로 가압하여 균일하게 하여 표면의 동박(銅箔)의 접착 강도의 저하를 방지한다.  최외층이 양면 배선판인 경우에도 용착 헤드(17)의 선단으로 가열되어 탄화되는 경우가 있어 테이프(25)의 사용은 효과가 있다.
Patent KR-100417702-B1 (KR)
Title: 슬리브 외경 측정부를 포함하는 슬리브 설치장치
IPC: B21B41/00
Filed: 1999-12-10
Granted: 2004-02-11
Abstract: 본 발명은 슬리브 설치장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 슬리브 설치장치는, 상기 베이스 플레이트에 설치된 실린더에 의하여 제 1 레일을 따라 이동하는 이동 플레이트; 이동 플레이트 상에 일측은 힌지 결합되고 타측은 실린더에 의하여 수직이동이 가능한 경사 플레이트; 및 제 1 레일에 수직방향으로 설치된 제 2 레일 상에서 이동하는 수평이동부와, 수평이동부의 상부에 설치되고 슬리브 외경을 측정하는 프레임을 상, 하로 이동시키는 수직이동부로 이루어지는 슬리브 외경 측정부를 포함하여 이루어짐으로써, 슬리브의 외경을 정확하게 측정하여 압연 스피드 및 압연압력을 조절함으로써 판파단이 방지되고 품질이 향상되는 효과가 있으며, 슬리브의 낙하가 방지되어 설비파손을 방지하는 효과가 있다.
Patent KR-100369475-B1 (KR)
Title: 전자렌지
IPC: F24C15/32
Filed: 1999-12-14
Granted: 2003-01-24
Abstract: 조리실내에서 발생된 역풍이 윈도우표시부측으로 유입되는 것을 방지하기 위한 전자렌지가 개시된다. 개시된 전자렌지는, 장치실 전면의 컨트롤패널에 설치된 표시부와, 마그네트론을 통과한 외부공기에 의해서 조리실을 환기하기 위해 상기 표시부 근처에 형성된 통기공을 갖춘 전자렌지에 있어서, 상기 통기공은 상기 조리실내에서 발생되는 수증기의 역류를 차단하기 위해, 상기 표시부의 설치위치보다 하부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100325128-B1 (KR)
Title: 폐자동차의 폐액상류 흡인장치
IPC: B62D65/00
Filed: 1999-12-16
Granted: 2002-03-02
Abstract: 본 발명은 폐자동차의 폐액상류 흡인장치에 관한 것으로, 폐액상류를 함유한 호스를 고정시키는 클램프와 상기 클램프 상단에 형성된 드릴부 장착용 홀을 통하여 흡인용 홀이 절개 형성된 중공의 드릴부를 장착하여 폐액상류 호스 내의 폐액상류를 상기 드릴부에 절개 형성된 흡인용 홀을 통하여 진공 흡인하여 폐자동차의 폐액상류를 용이하고 빠른 시간내에 효율적으로 제거할 수 있는 폐자동차의 폐액상류 흡인장치를 제공하고자 한 것이다.
Patent KR-100372708-B1 (KR)
Title: 압입기
IPC: B23P19/00
Filed: 1999-12-21
Granted: 2003-02-17
Abstract: 본 발명은 액슬 하우징의 손상없이 아우터 베어링을 장착할 수 있는 개선된 압입 지그를 가지는 압입기로서, 본 압입기는 유압 모터와, 유압 탱크가 구비된 유압 발생부; 유압 발생부에서 발생된 유압을 저장하는 유압 실린더부; 유압실린더부와 연결되며 상기 유압 실린더부와는 실린더 베이스로 구분되어 있으며 내부에는 관통된 구멍이 형성되어 있으며, 구멍에는 코일 스프링이 제공된 압입부; 및 압입부 구멍에 삽입되는 지그부를 포함한다.
Patent KR-100594209-B1 (KR)
IPC: H01L21/76
Filed: 1999-12-23
Granted: 2006-07-03
Abstract: 트렌치형 소자분리를 위한 트렌치 식각방법을 제공한다. 이 방법은, (a) 식각 챔버에 플라즈마 소스 파워를 인가하고 반도체기판을 플라즈마 식각하되, 소정 시간 동안 플라즈마 가스의 이온들을 가속시키는 범위의 바이어스 파워를 인가함으로써, 가속된 플라즈마 가스의 이온들의 이온충돌에 의하여 반도체기판을 물리적으로 식각하는 단계; 및 (b) 기판에 인가되었던 바이어스 파워는 플라즈마 가스의 이온들을 가속시키지 않는 범위의 전력을 인가함으로써, 플라즈마 가스의 이온들을 가속시키지 않고 플라즈마 가스의 라디칼 들이 반도체기판의 실리콘과 화학 반응하여 반도체기판을 화학적으로 식각하는 단계로서, 이 때 식각된 홀의 측벽에 실리콘 산화막이 증착 형성되므로 측벽 코너 부분은 식각되지 않게 되어 라운드한 측벽 코너 프로파일을 형성하는 단계를 포함한다. 따라서, 트렌치의 저면 코너부를 곡면으로 식각할 수 있도록 함으로써 소자의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
Patent KR-100402025-B1 (KR)
Title: 출선구의 센터 조정장치
IPC: C21B7/12
Filed: 1999-12-24
Granted: 2003-10-17
Abstract: 본 발명은 출선구의 센터 조정장치에 관한 것으로 그 목적은, 원하는 각도로 회동하는 빔의 단부에 에어에 의한 임펠러구동으로 회전하는 비트로서 출선수의 개공작업을 위한 센터조정 및 굴착작업을 극히 정밀하고 용이하게 수행토록 하는 데에 있다. 
     따라서, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 기술적인 구성은, 고로 일측으로 회동 가능토록 설치된 구동축(20)에 일체로 결합되고, 내부에는 에어관(30)이 설치되는 비임(40)이 구동축(20)의 구동으로 회전하여 고로(2) 출선구(4)에 인접토록 위치되는 비임이동부(10); 및, 상기 비임(40)의 단부에 연결 설치되는 슬라이딩 가이드 (60)와, 상기 가이드(60)의 내측에 구동토록 설치되며, 상기 에어관(30)이 연결되는 임펠러관(70) 과, 상기 상기 슬라이딩 가이드(60)의 전방으로 고정관(82)을 개재하여 결합되는 완충부재 (80)의 내측으로 상기 임펠러관(70)과 연결되어 구동되는 비트(90)를 구비하는 비트 구동부(50);로서 구성되는 것을 특징으로 한다.