Patent DE-112016001732-B4 (DE)
Title: Optische abtastvorrichtung
Inventor: OYAMA KOICHI
IPC: G02B26/10
Filed: 2016-03-25
Granted: 2022-01-05
Abstract: Optische Abtastvorrichtung, umfassend:einen Reflektor (1), der eine reflektierende Oberfläche (11a) beinhaltet, die einen Lichtstrahl reflektiert, wobei die reflektierende Oberfläche (11a) senkrecht zu einer Dickenrichtung ist, und die reflektierende Oberfläche (11a) eine erste Richtung und eine zu der ersten Richtung senkrechte zweite Richtung aufweist;Torsionsbalken (2), zwischen welchen der Reflektor (1) zentriert ist, wobei sich die Torsionsbalken (2) jeweils ausgehend von dem Reflektor (1) zu gegenüberliegenden Seiten des Reflektors (1) in der ersten Richtung erstrecken, und die Torsionsbalken (2) den Reflektor (1) befähigen, um eine Achse parallel zu der ersten Richtung zu schwenken;Koppelabschnitte (3), die an gegenüberliegenden Seiten in der ersten Richtung angeordnet sind, wobei sich die Koppelabschnitte (3) über den Reflektor (1) hinweg gegenüberliegen;wobei jeder der Koppelabschnitte (3) beinhaltet:(i) einen Mittenabschnitt (31) mit einer U-Form einschließlich eines Bodenabschnitts und zwei vorstehenden Abschnitten, wobei sich der Mittenabschnitt (31) zu dem Reflektor (1) hin öffnet, wenn die reflektierende Oberfläche (11a) von oben in der Dickenrichtung betrachtet wird;wobei der Bodenabschnitt der U-Form mit einem Ende des Torsionsbalkens (2) zusammengefügt ist, wobei das Ende des Torsionsbalkens (2), das mit dem Bodenabschnitt der U-Form zusammengefügt ist, einem Ende des Torsionsbalkens (2) gegenüberliegt, das mit dem Reflektor (1) verbunden ist;wobei die beiden vorstehenden Abschnitte der U-Form einander so gegenüberliegen, dass sie den Torsionsbalken (2) zwischen sich haben, und(ii) gegenüberliegende Endabschnitte (32), die sich, jeweils ausgehend von gegenüberliegenden Enden des Mittenabschnitts (31) in der zweiten Richtung, in der zweiten Richtung nach außen erstrecken, undStützabschnitte (41), die an gegenüberliegenden Seiten in der zweiten Richtung angeordnet sind, wobei die Stützabschnitte (41) einander über den Reflektor (1) hinweg gegenüberliegen,wobei sich jeder der Stützabschnitte (41) zwischen gegenüberliegenden Enden in der ersten Richtung erstreckt;wobei jeder der Stützabschnitte (41) an jedes von gegenüberliegenden Enden des Koppelabschnitts (3) in der zweiten Richtung angefügt ist,wobei:der Mittenabschnitt (31) des Koppelabschnitts (3) mit ersten konkaven Abschnitten (6) versehen ist, die einander in den vorstehenden Abschnitten der U-Form gegenüberliegen, wobei jeder vorstehende Abschnitt (i) eine Seitenoberfläche, die dem Torsionsbalken (2) zugewandt ist, und (ii) eine gegenüberliegende Seitenoberfläche, die der dem Torsionsbalken (2) zugewandten Seitenoberfläche in der zweiten Richtung gegenüberliegt, aufweist,wobei jeder erste konkave Abschnitt (6) eine konkav ausgebildete Form aufweist, die durch Durchdringen des Koppelabschnitts (3) in der Dickenrichtung senkrecht zu der reflektierenden Oberfläche (11a) konkav ausgebildet ist,wobei jeder erste konkave Abschnitt (6) eine Öffnung aufweist, die zu der dem Torsionsbalken (2) zugewandten Seitenoberfläche öffnet, und sich ausgehend von der Öffnung zu der gegenüberliegenden Seitenoberfläche in der zweiten Richtung bis hin zu einem Boden erstreckt, wenn die reflektierende Oberfläche (11a) von oben in der Dickenrichtung betrachtet wird; undein Abstand (w1) in der zweiten Richtung zwischen, von den konkav ausgebildeten Formen der ersten konkaven Abschnitte (6) in dem Koppelabschnitt (3), den Böden, die einander über den Torsionsbalken (2) hinweg gegenüberliegen, größer festgelegt ist als ein Abstand (w2) in der zweiten Richtung zwischen, von den beiden vorstehenden Abschnitten der U-Form, den Seitenoberflächen, die dem Torsionsbalken (2) zugewandt sind und einander über den Torsionsbalken (2) hinweg gegenüberliegen.