baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102011050646-A1 (DE)
Title: Messung transienter elektrischer Aktivität in Flugzeug-Energieverteilungssystemen
Inventor: SHIPLEY ADRIAN
IPC: B64D41/00
Filed: 2011-05-26
Abstract: Ein elektrisches Energieverteilungssystem (21) für ein Flugzeug umfasst eine Energiequelle (12), die elektrisch mit einem elektrischen Verbraucher (14) verbunden ist, und wenigstens eine Stromkreisunterbrechungseinrichtung zum Unterbrechen eines Stroms in dem Energieverteilungssystem (21). Eine Unterscheidungseinrichtung (23) ist mit dem System (21) verbunden, um ein transientes elektrisches Ereignis (15) in dem System von einem stationären Niveau einer elektrischen Aktivität in dem System zu unterscheiden, wobei das transiente elektrische Ereignis (15) eine Potenzialdifferenz über der gesamten Unterscheidungseinrichtung (23) oder einem Teil derselben induziert. Die Stromkreisunterbrechungseinrichtung ist zum Unterbrechen eines durch das Energieverteilungssystem (21) fließenden Stroms, wenn die Potenzialdifferenz über der Unterscheidungseinrichtung (23) eine Schwellenwertspannung überschreiten, betreibbar.
Patent DE-102011053155-A1 (DE)
Title: Personenwaage
Inventor: STANGE PEDRO DR
IPC: G01G19/44
Filed: 2011-08-31
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Personenwaage mit einer Wägeplatte (1) zur Aufnahme einer zu wiegenden Last einer auf der Wägeplatte stehenden Person (2), einer von mindestens einen physiologischen Sensor (3) gebildeten Sensorik zur Messung wenigstens einer physiologischen Messgröße des auf der Wägeplatte (1) stehenden Benutzers (2) und einer Auswerteelektronik, die anhand einer Deformation von Wägezellen nach einer Messperiode das Gewicht der Person zu bestimmen und über eine Ausgabevorrichtung auszugeben vermag.  Es sind Personenwaagen mit einer Messung des Körperfettanteils am Gesamtgewicht eine Person bekannt. Diese Waagen haben den Nachteil, dass sie nur eine starre physiologische Messgröße auszugeben vermögen. Dies ändert die Erfindung dadurch, dass die Auswerteelektronik die zeitliche Änderung der physiologischen Messgröße während der Messperiode über eine Ausgabevorrichtung (4) auszugeben vermag.
Patent DE-102011054298-A1 (DE)
Title: Methane production unit comprises fermenter with enclosed inner volume having surface for immobilized microorganisms, where inner volume is connected with environment by e.g. substrate gas inlet, synthesis gas outlet and supply line
Inventor: BECK JUERGEN
IPC: C12M1/107
Filed: 2011-10-07
Abstract: Methane production unit comprises a fermenter (2) with an enclosed inner volume having surface for immobilized microorganisms, where (i) the inner volume is connected with the environment by at least one substrate gas inlet (4) that is arranged on the fermenter, a synthesis gas outlet, a supply line (6) and an outlet (7) for liquid substances, where a diffuser (8) is provided in the mouth region of the substrate gas inlet. The methane production unit is operable with gaseous substrate containing hydrogen and carbon dioxide or carbon monoxide. Independent claims are also included for: (1) producing methane, comprising (a) introducing hydrogen-, carbon dioxide- and/or carbon monoxide containing gases as substrate into the methane production unit, in which fermenter hydrogenotrophic microorganisms are immobilized, which convert the substrate gases at least partially into methane, (b) discharging the produced methane containing gas, and (c) recycling partial stream as the substrate gas into the fermenter; and (2) a biomass fermentation plant, comprising a substrate supply, a biomass fermentation plant fermenter, and the methane production unit.
Patent DE-102011055420-A1 (DE)
Title: Elektromechanische Verschlussvorrichtung mit Fliehkraftkupplung
Inventor: WAGNER EDUARD B
IPC: E05B47/06
Filed: 2011-11-16
Abstract: Die Erfindung betrifft eine elektromechanische Verschlussvorrichtung (1) mit einer Schlosseinheit (7) umfassend wenigstens ein verlagerbares Schlossriegelelement (15), mit einer Antriebseinheit (8) umfassend wenigstens zwei Antriebsmotoren (30, 31), mit einer Kupplungseinheit (10) umfassend wenigstens zwei Fliehkraftkupplungseinrichtungen (45; 145; 245; 345, 46) zum Kuppeln der Antriebsmotoren (30, 31) mit einer Getriebeeinheit (9) zum Treiben des wenigstens einen verlagerbaren Schlossriegelelements (15) oder zum Entkuppeln der Antriebsmotoren (30, 31) von der Getriebeeinheit (9), bei welcher die Fliehkraftkupplungseinrichtungen (45, 46; 145; 245; 345) jeweils ein Eingangskupplungselement (47; 147; 247; 347) und ein Ausgangskupplungselement (48; 148; 248; 348) aufweisen, wobei das Eingangskupplungselement (47; 147; 247; 347) auf einem Antriebsmotorwellenelement (32) verdrehsicher befestigt ist und das Ausgangskupplungselement (48; 148; 248; 348) gegenüber dem Antriebsmotorwellenelement (32) drehbar gelagert ist, wobei das Eingangskupplungselement (47; 147; 247; 347) einen Rotationskörper (49; 149; 249) mit axial zugänglichen Lagereinrichtungen (50, 51, 52; 150, 151; 250, 251, 252; 350, 351, 352) zum Lagern von Fliehgewichtselementen (53; 153; 253; 353) umfasst, und wobei die Lagereinrichtungen (50, 51, 52; 150, 151; 250, 251, 252; 350, 351, 352) an ihren dem Ausgangskupplungselement (48; 148; 248; 348) zugewandten Seiten (54; 154; 254; 354) zumindest teilweise elastisch verformbar sind.
Patent DE-102011075200-A1 (DE)
Title: Gear drive unit for actuator e.g. screen wiper drive of motor vehicle, has drive shaft and shaft that are connected together, such that shaft is connected with drive shaft in connection region by integral connection with each other
Inventor: GERSTENBERGER JENS
IPC: H02K7/116
Filed: 2011-05-04
Abstract: The gear drive unit (10) has a drive shaft (13) having an electric motor (11) and a gearing (16) having a shaft (15), which is operatively connected to gear wheel (17). The drive shaft and shaft are connected together, such that the shaft is connected with drive shaft in a connection region (25) by an integral connection with each other. The shafts are made of different metallic materials.
Patent DE-102011075224-A1 (DE)
Title: Method for operating powertrain of motor vehicle, involves detecting fault in auxiliary pump, when gear translation which is determined based on transmission speed of gear box is matched with default gear translation
Inventor: STEINHAUSER KLAUS
IPC: F16H61/00
Filed: 2011-05-04
Abstract: The method involves providing a gear box (5) between a drive unit (1) and an output portion (4). The drive unit is connected with a main pump (7) and an auxiliary pump (8) through a gear shaft of the gear box. The gear translation is determined based on the transmission speed of the gear box. The fault of the auxiliary pump is detected, when the determined gear translation is matched with default gear translation and no fault in the auxiliary pump is determined, when the determined gear translation is not matched with the default gear translation. An independent claim is included for control device of motor vehicle.
Patent DE-102011075595-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von Kohlefasern
Inventor: BERGHAHN MATTHIAS DR
IPC: D01F9/22
Filed: 2011-05-10
Abstract: Die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Kohlefasern, bei welchem Polyacrylnitril (PAN) pyrolytisch unter Freisetzung von Blausäure (HCN) zu Kohlefasern verkohlt wird sowie ein Anlage für die Durchführung des Verfahrens. Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, das Verfahren wirtschaftlicher zu gestalten. Dies gelingt durch stoffliche Verwertung der Blausäure, indem die freigesetzte Blausäure aufgefangen und unter Erhalt einer Cyanid-Salz haltigen Lauge mit einem alkalischen Medium gewaschen wird.
Patent DE-102011076563-A1 (DE)
Title: Frame clamp element for clamping electrical conductor to e.g. power switch in electric appliance in industry installation, has contact with planar/lower surfaces with structure geometries for optimizing clamping action of jammed conductor
Inventor: BODENMEIER MARTIN
IPC: H01R4/36
Filed: 2011-05-26
Abstract: The clamp element (1) has a frame (2) with a screw thread for a screw (7). An integrated contact (8) comprises a continuous planar surface (15) and a lower surface with structure geometries (16) for optimizing clamping action of a jammed electric conductor. The structure geometries are designed as corrugations formed in a form of parallely arranged beam-shaped projections. The corrugations are formed transverse to a current conductor introduced into the clamp element. The planar surface of the contact exhibits a center area (11) with a planar guide surface (12).
Patent DE-102011079251-A1 (DE)
Title: Fastening system for fastening pipe to household appliance, has protective cover that is provided by latching element, and connecting nut is with provided latching pin that is engaged with latching element
Inventor: BURKHARD ANDREAS
IPC: A47L15/42
Filed: 2011-07-15
Abstract: The fastening system (10) has a protective cover (110') that is provided by a latching element (180), and a connecting nut is provided with a latching pin. The latching pin is engaged with the latching element, when the connecting nut is screwed on an external thread (150) of a holding element (100). The collar is encircled by the external thread. A latching ring (170) of the collar is arranged circumferentially around the external thread with the latching elements. The latching element has a triangular shape with a tip (182) that is arranged opposite to a base edge (181).
Patent DE-102011080879-A1 (DE)
Title: Tankreinigungsdüse
Inventor: HEID CHRISTIAN
IPC: B05B3/02
Filed: 2011-08-12
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Tankreinigungsdüse mit einem Gehäuse 102, 104, einer um eine erste Drehachse drehbar im Gehäuse 102, 104 gelagerten Welle und wenigstens einem, um eine zweite Drehachse drehbar gelagerten Düsenkopf mit wenigstens einer Auslassöffnung für zu versprühendes Fluid, wobei die zweite Drehachse im Wesentlichen senkrecht zu der ersten Drehachse angeordnet ist, und mit einer Antriebseinheit im Gehäuse 102, 104 zum Antreiben der Welle um die erste Drehachse und zum Antreiben des Düsenkopfes um die zweite Drehachse. Die Antriebseinheit weist ein Turbinenrad auf, das drehfest mit der Welle verbunden ist und das Turbinenrad und die Welle weisen jeweils eine durchgehende Mittelbohrung auf, um in dem Gehäuse 102, 104 einen ersten, über das Turbinenrad führenden Strömungspfad und einen zweiten, über die jeweiligen Mittelbohrungen führenden Strömungspfad bereitzustellen.
Patent DE-102011086645-A1 (DE)
Title: Automobilgeneratorgleichrichtervorrichtung
Inventor: TANAKA KAZUNORI
IPC: H02K11/04
Filed: 2011-11-18
Abstract: Die Leiterplatte weist auf: einen ersten Harzformkörper, einen zweiten Harzformkörper, und eine Vielzahl von Anschlüssen, von denen jede aufweist: einen positiven Elektrodenanschlussabschnitt, an dem eine hiermit zu verbindende Ader des positivseitigen Gleichrichterelements angebunden ist; einen negativen Elektrodenanschlussabschnitt, an dem eine hiermit zu verbindende Ader eines negativseitigen Gleichrichterelements angebunden ist; und einen Rumpfabschnitt, der den positiven Elektrodenanschlussabschnitt und den negativen Elektrodenanschlussabschnitt verknüpft. Die Vielzahl der Anschlüsse werden jeweils zwischen dem ersten Harzformkörper und dem zweiten Harzformkörper so gehalten, dass sie derart voneinander getrennt sind, dass der Rumpfabschnitt zwischen Passflächen des ersten Harzformkörpers und des zweiten Harzformkörpers angeordnet ist, der positive Elektrodenanschlussabschnitt durch den zweiten Harzformkörper eingeführt wird, und der negative Elektrodenanschlussabschnitt durch den ersten Harzformkörper eingeführt wird.
Patent DE-102011087454-A1 (DE)
Title: Optical device e.g. surgical microscope for used in medical technology, has electric line that is provided to transmit electric signals, and monitoring unit that is provided for monitoring signal transfer over electric line
Inventor: SCHLEY FREDERIC
IPC: A61B19/00
Filed: 2011-11-30
Abstract: The optical device (100) has an electric line (120) that is provided to transmit electric signals. A monitoring unit (124) is provided for monitoring signal transfer over electric line. A detection unit is provided for detecting an actual value of property of transmitted signal. A comparison unit is provided for comparing actual value with reference value. An independent claim is included for a method for operating optical device.
Patent DE-102011112561-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung einer Magnesiumlegierung und eine danach  hergestellte Magnesiumlegierung
Inventor: ANDERSECK RALF DIPL ING
IPC: C22C23/06
Filed: 2011-09-08
Abstract: Das Verfahren zur Herstellung einer Magnesiumlegierung umfaßt folgende Schritte: – Überführen des aluminiumfreien Magnesiums in eine Schmelzphase – Zusetzen und Einrühren des Mangan(II)chlorids in die flüssige Phase – Zusetzen und Einrühren der Metalle Seltener Erden als Mischmetalle in Pulver- und/oder Granulatform, wobei diese Cer und Lanthan im Verhältnis von 1:1 bis 4:1 enthalten, der Neodymanteil unter 1 Gew% liegt und der Rest im wesentlichen Magnesium ist. Eine danach hergestellte Magnesiumlegierung umfaßt als Magnesium aluminiumfreies Magnesium mit mindestens 80 Gew%, Mangan mit 1,0 bis 10 Gew% und Metalle Seltene Erden mit 1,0 bis 10 Gew% enthält, mit der Maßgabe, daß die Metalle Seltener Erden als Mischmetalle Cer und Lanthan im Verhältnis von 1:1 bis 4:1 enthalten, der Neodymanteil unter 1 Gew% liegt und der Rest im wesentlichen Magnesium ist.
Patent DE-102011115993-A1 (DE)
Title: Hydrostatic internal-gear machine used as internal gear pump, has high-pressure working chamber that is provided between ring gear and pinion and sealed against low-pressure working chamber
Inventor: MAYER HUBERT
IPC: F04C2/10
Filed: 2011-10-14
Abstract: The machine (1) has housing (2) which is provided with ring gear (4) having internal gear (18) and pinion (6) having external teeth (16). The external teeth and internal gear are arranged in primary peripheral region (24). A filling element (28) in a secondary peripheral region (26) is provided between external teeth and internal gear. A high-pressure working chamber (34) provided between ring gear and pinion is sealed against low-pressure working chamber (36). A hydrostatic pressure portion is provided radially from outside on outer circumferential surface (52) of ring gear.
Patent DE-102011117654-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben einer Bildverarbeitungseinrichtung sowie entsprechende Bildverarbeitungseinrichtung
Inventor: UWE NAGEL
IPC: H04N19/89
Filed: 2011-11-04
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Bildverarbeitungseinrichtung (1), bei welchem ein mit einem Rauschsignal überlagertes Bildsignal zwischen einer Sendeeinrichtung (2) und wenigstens einer Empfangseinrichtung (3) übertragen wird und das Bildsignal zeitlich aufeinander folgende Bilder (7, 8, 9, 10) jeweils mit einem Bildinhalt und einem dem Bildinhalt überlagerten Rauschmuster des Rauschsignals aufweist. Dabei ist vorgesehen, dass nach dem Übertragen zumindest zwei aufeinander folgende Bilder (7, 8, 9, 10) des Bildsignals wenigstens bereichsweise miteinander verglichen werden und bei Vorliegen eines Unterschieds zwischen den in den Bildern (7, 8, 9, 10) enthaltenen Rauschmustern auch bei identischem Bildinhalt der Bilder (7, 8, 9, 10) auf eine erfolgreiche Bildübertragung erkannt wird. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Bildverarbeitungseinrichtung (1) zur digitalen Übertragung eines mit einem Rauschsignal überlagerten Bildsignals.
Patent DE-102011119939-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung eines Verbundwerkstoffs, der Verbundwerkstoff und die Verwendung des Verbundwerkstoffs zur Herstellung bestimmter Produkte
Inventor: SCHNEIDER GEROLD
IPC: B29B7/90
Filed: 2011-12-01
Abstract: Vorliegende Erfindung offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundwerkstoffs mittels Wirbelschichttechnologie, insbesondere durch Granulation in einer Strahlschichtanlage, und Warmpressen, wobei der Verbundwerkstoff aus mindestens einer ersten Materialfraktion A und mindestens einem Polymer oder Biopolymer besteht und das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Erzeugen einer fluidisierten Partikelschicht bestehend aus der mindestens ersten Materialfraktion und einem Fluidstrom, Eindüsen einer Lösung aus mindestens einem Lösungsmittel und dem mindestens einen Polymer (Biopolymer) oder einer Schmelze des mindestens einen Polymers in die Wirbelschicht, Granulieren der mindestens ersten Materialfraktion A in Kombination mit dem mindestens einen Polymer zu einem Granulat und Verpressen des Granulats unter Wärmezufuhr, wobei das Granulat in einem Temperaturbereich oberhalb einer Raumtemperatur und unterhalb einer Zersetzungstemperatur des mindestens einem Polymers erwärmt wird.
Patent DE-102011120037-A1 (DE)
Title: Manipulatoranordnung und Verfahren zum Betreiben der Manipulatoranordnung
Inventor: ROTH STEFAN
IPC: B25J19/00
Filed: 2011-12-02
Abstract: Eine erfindungsgemäße Manipulatoranordnung umfasst wenigstens einen Manipulator und wenigstens eine Steuerung und weist einen mechanischen Energiespeicher auf, der dazu eingerichtet ist, mechanische Energie wenigstens eines Manipulators zu speichern.
Patent DE-102012001020-A1 (DE)
Title: Stanzen aushärtbarer aluminiumlegierungsbleche
Inventor: KRAJEWSKI PAUL E
IPC: C22F1/04
Filed: 2012-01-19
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Verbessern der Formbarkeit eines formgepressten, aushärtbaren Aluminiumlegierungsblechs hoher Festigkeit offenbart. Das Blech wird teilweise geformt, wenn es sich in einem überausgehärteten Zustand befindet, beispielsweise in einem T7- oder T8-Temperzustand, um eine Vorform zu formen. Nach einem Ausheilungs- und Lösungsglühprozess wird die Vorform in einem zweiten Formungsarbeitsschritt unmittelbar weiter verformt und anschließend ausgehärtet, um eine hohe Festigkeit zu entwickeln. Das Verfahren kann verwendet werden, um Komponenten komplexerer Gestalt aus Aluminiumlegierungen mit hoher Festigkeit zu formen, wie beispielsweise Legierungen der Serie 6000 und der Serie 7000.
Patent DE-102012002931-A1 (DE)
Title: Fitting for e.g. rotary wing door, has two fitting elements arranged on opposed sides of door, where each element comprises projection that positively cooperates against rotation in corresponding recess, which is formed in door
Inventor: WILHELMS KAI
IPC: E05B1/00
Filed: 2012-02-14
Abstract: The fitting has two fitting elements arranged on opposed sides of a door. Each fitting element comprises a projection (5c) that positively cooperates against rotation in a corresponding recess, which is formed in the door. The fitting elements are mountable with single attachment element (9). The projection is integrally formed at the fitting elements. The fitting elements are made of single or two spacers (5) provided with single or two grasp shells and mountable at handle bars (1). The spacers and the handle bars are assembled together by an adapter (3).
Patent DE-102012006391-A1 (DE)
Title: Foldable top frame for tarpaulin structure of e.g. semitrailer, has sliding elements kept apart from each other in pivoted state of running rail, where sliding elements are pivotable in region of carriage for uncovering lateral opening
Inventor: BURHANIDUST ALI AKBAR
IPC: B60P7/04
Filed: 2012-03-31
Abstract: The frame (10) has a set of sliding elements displaceable along a longitudinal beam (4) supported against a loading plank bed (11). A tarpaulin (15) partially closing a lateral opening (14) of the top frame. A carriage is arranged at each end of the sliding elements. The sliding elements are displaceable with respect to the beam by the carriage, and fixed at a running rail (3) assigned to the loading plank bed. The opening is uncovered by pivoting the sliding elements in the region of the carriage. The sliding elements are kept apart from each other in a pivoted state of the running rail.
Patent DE-102012011279-A1 (DE)
Title: Sicherheitseinlage, Fenster, Holzrahrnen sowie Verfahren zu deren Herstellung
Inventor: FOERSTER PATRICK
IPC: E06B3/10
Filed: 2012-06-08
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Sicherheitseinlage für einen Rahmen, einen Holzrahmen und ein Fenster mit einem Holzrahmen sowie Verfahren zu deren Herstellung. Insbesondere sollen so Sicherheitsfenster hergestellt werden, die bei Beibehalten einer Holzoptik dennoch höchste Anforderungen an die Beschusssicherheit erfüllen. Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Isolierglasscheibe für Sicherheitsfenster.
Patent DE-102012015164-A1 (DE)
Title: Combination structure for connecting primary and secondary components, used in automobile engineering applications, has plastic layer that is recessed in joints to enable contact of projections at sheet metal portion with hybrid device
Inventor: EIPPER KONRAD
IPC: B23P11/00
Filed: 2012-07-31
Abstract: The combination structure comprises a sheet metal portion (2) having a plastic layer (3). A hybrid device (1) is thermally and/or mechanically connected with the sheet metal portion at a joint. The joints of the hybrid device are formed by projections (4) at the sheet metal portion. The plastic layer is recessed in the joints of the hybrid device so that the projections at the sheet metal portion are enabled to contact with the hybrid device. An independent claim is included for method for manufacturing component combination structure.
Patent DE-102012018094-A1 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Etikettieren eines konischen Kunststoffbehälters sowie hierfür vorgesehene Banderole
Inventor: LINGENHOFF BERTHOLD
IPC: B29C51/16
Filed: 2012-09-13
Abstract: Bei einem Verfahren zum Etikettieren eines konischen Kunststoffbehälters wird eine hierfür vorgesehene Banderole in Form eines Etikettes, Dekorbandes o. dgl. Informationsträgers eingesetzt. Dieser wird von einem insbesondere getaktet vorschiebbaren Zuführstreifen auf einen Zuführstempel übergeben und von diesem aus mittels einer Vorschubbewegung in ein jeweiliges Formnest einer Tiefziehanordnung verlagert. Während einer anschließenden In-Mould-Bearbeitungsphase werden jeweils das einzelne Etikett und der zu formende Kunststoffbehälter in dem gemeinsamen Formnest zusammengeführt. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass an zumindest einem Zuführstreifen jeweilige Teilabschnitte mit einer bereichsweise kreisringsektorförmigen Kontur vorgeformt und danach die Zuführstreifen einzeln getaktet an einen konischen Zuführstempel übergeben werden.
Patent DE-102012022067-A1 (DE)
Title: Substrathalter sowie eine vorrichtung und ein verfahren zum behandeln von substraten
Inventor: REICHART JOHANN GEORG
IPC: H01L21/683
Filed: 2012-11-09
Abstract: Es ist ein Substrathalter zur Aufnahme eines Substrats beschrieben der ein Plattenelement aufeist, in dessen einen Seite wenigstens eine Vertiefung ausgebildet ist, die von einer umlaufenden Anlagefläche des Plattenelements umgeben ist. Die Vertiefung ist geeignet mit einer Seite eines an der Anlagefläche anliegenden Substrats eine geschlossene Kammer zu bilden, wobei in der wenigstens einen Vertiefung eine Vielzahl von Abstandshaltern angeordnet ist, und wobei das Plattenelement ferner wenigstens eine Öffnung aufweist, die mit der Vertiefung in Strömungsverbindung steht und mit einer externen Gas-Zufuhr/Absaugeinheit verbindbar ist. Ferner sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Behandeln von Substraten, insbesondere von Halbleitersubstraten beschrieben. Die Vorrichtung weist wenigstens einen Substrathalter des oben beschriebenen Typs auf, der in einer Prozesskammer angeordnet oder aufnehmbar ist, und wenigstens eine Strahlungsquelle die angeordnet ist, Strahlung in die Prozesskammer zu emittieren. Bei dem Verfahren wird ein Substrat von einer ersten Seite her in einem Ansaugbereich, der einen ersten Prozessbereich der ersten Seite umgibt, derart angesaugt, dass Ansaugbereich und Prozessbereich getrennt sind. An der zweiten Seite des Substrats und im ersten Prozessbereich an der ersten Seite des Substrats werden unterschiedliche Gasatmosphären für eine Behandlungen des Substrats eingestellt.