baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-2011087297-A2 (WO)
Title: Method and apparatus for encoding video by using deblocking filtering, and method and apparatus for decoding video by using deblocking filtering
Inventor: LEE TAMMY
Filed: 2011-01-13
Abstract: A method of encoding video by using deblocking filtering, the method comprising determining coding units of coded depths and encoding modes for the coding units of the maximum coding unit by prediction encoding the coding units of the maximum coding unit based on at least one prediction unit and transforming the coding units based on at least one transformation unit and performing deblocking filtering on video data being inversely transformed into a spatial domain in the coding units, in consideration of the determined encoding modes of the coding units.
Patent WO-2011099768-A2 (WO)
Title: 고온 오존처리를 포함하는 나노기공 초저유전 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 나노기공 초저유전 박막
Inventor: RHEE HEE WOO
IPC: H01L21/31
Filed: 2011-02-09
Abstract: 고온 오존처리를 포함하는 나노기공 초저유전 박막의 제조 방법 및 이에 의하여 제조된 나노기공 초저유전 박막이 제공되며, 상기 제조 방법은 유기 실리케이트 매트릭스-함유 용액과 반응성 포라젠-함유 용액을 혼합하여 혼합용액을 준비하고; 상기 혼합용액을 기재 상에 도포하여 박막을 형성하고; 상기 박막을 열처리하며, 상기 열처리 과정 중에 오존 처리를 수행하는 것:을 포함하며, 이러한 제조 방법에 의하여 제조된 나노기공 초저유전 박막은, 고온의 오존 처리 및 처리온도의 최적화에 따른 박막 내의 기공의 크기와 분포도의 개선을 통해 2.3 이하의 유전율과 10 GPa 이상의 기계적 강도를 가질 수 있다.
Patent WO-2011105719-A2 (WO)
Title: Réfrigérateur mobile
Inventor: LEE NAMGI
IPC: F25D29/00
Filed: 2011-02-21
Abstract: L'invention porte sur un réfrigérateur mobile qui comprend une unité d'entraînement en déplacement de corps principal configurée de façon à faire tourner automatiquement la roue de façon à déplacer le corps principal et une unité de commutation de déplacement de corps principal configurée de façon à mettre en service ou hors service l'unité d'entraînement en déplacement de corps principal afin de déplacer automatiquement ou manuellement le corps principal. Par conséquent, l'utilisateur peut sélectionner et utiliser de façon appropriée un fonctionnement automatique et un fonctionnement manuel en fonction de l'état de santé de l'utilisateur, de l'environnement de l'emplacement utilisé ou des besoins d'utilisation, améliorant ainsi considérablement la facilité d'utilisation d'un réfrigérateur mobile.
Patent WO-2012081908-A2 (WO)
Title: 포도상구균의 테이코산에 대한 ｒｎａ 앱타머
Inventor: CHO YONG JIN
IPC: C12R1/44
Filed: 2011-12-14
Abstract: [요약] 본 발명은 포도상구균의 테이코산에 대한 ＲＮＡ 앱타머에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포도상구균의 테이코산에 특이적으로 결합하고, 그 염기 중 우라실(U) 및 시토신(C)의 2' 히드록실기가 플루오르기로 치환되어 있는 서열번호 1의 염기서열을 가짐으로써 식중독 등의 주요 원인이 되는 포도상구균의 검출에 유용하고, 포도상구균에 특이적으로 결합하여 그 작용을 억제함으로써 식품의 부패를 방지할 수 있으며, 포도상구균성 폐렴, 패혈증, 골수염, 포도상구균장염, 식중독, 포도상구균성 열상유사증후군(SSSS) 및 독소성 충격증후군(TSS)으로 이루어진 군에서 선택된 질환의 예방 및 치료에 유용한 RNA 앱타머에 관한 것이다. [대표도] 도 6
Patent WO-2012161551-A2 (WO)
Title: 다중 무선접속기술을 지원하는 무선 접속 시스템에서 페이징을 효율적으로 하기 위한 방법 및 장치
Inventor: LEE EUNJONG
IPC: H04W68/12
Filed: 2012-05-25
Abstract: 본 명세서에 개시된 제 1 실시 예에 따른 다중 무선접속기술(Radio Access Technology:RAT)을 지원하는 무선 접속 시스템에서, 제 1 무선접속기술을 지원하는 제 1 기지국 및 제 2 무선접속기술을 지원하는 제 2 기지국과 데이터를 송수신할 수 있는 단말이 제 1 기지국의 페이징 메시지를 수신하는 방법은, 상기 제 1 기지국과의 연결을 수립하는 단계; 상기 제 1 기지국으로부터 페이징 메시지 전송 지시를 포함하는 제 2 기지국 연결 명령 메시지를 수신하는 단계; 상기 제 2 기지국 연결 명령 메시지에 응답하여 상기 제 2 기지국과의 연결을 수립하는 단계; 및 상기 페이징 메시지 전송 지시에 기초하여 상기 제 1 기지국의 페이징 메시지를 상기 제 1 기지국 또는 상기 제 2 기지국을 통해 모니터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent WO-2013039307-A2 (WO)
Title: Composé fluorescent à haut rendement et son procédé de préparation
Inventor: KIM SEONG KEUN
IPC: H01L51/50
Filed: 2012-09-05
Abstract: Cette invention concerne une resvératrone fluoresccente, [(E)-4-(6,8-dihydroxynaphthalén-2-yl)but-3-én-2-one] et ses dérivés de Formule 1 et un procédé pour les préparer par réaction photochimique du resvératrol et de ses dérivés de Formule 7 ou de Formule 8 qui ne sont pas fluorescents. Les nouveaux composés fluorescents selon l'invention ont des caractéristiques d'absorption à un photon et/ou des caractéristiques d'absorption à deux photons ainsi qu'une toxicité nulle ou faible selon un essai de cytotoxicité qui leur permettent d'être utilisés de manière utile dans le domaine des éléments fluorescents organiques, des éléments d'affichage, des spectromètres, des dispositifs de stockage par absorption à deux photons, des appareils de microtraitement par laser, des appareils de thérapie photodynamiques et autres.
Patent WO-2019103453-A2 (WO)
Inventor: PARK AN NA
Filed: 2018-11-21
Abstract: 본 발명은 소르비탄(Sorbitan)계 계면활성제 및 당류계 계면활성제를 혼합 사용하여, 고함량의 칼라민(Calamine)을 내상에 안정화한 수중유형 화장료 조성물에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 내상에 고함량의 칼라민을 함유하는 수중유형 화장료 조성물의 제조에 있어서, 내상 안정화제로서 소르비탄계 계면활성제 및 당류계 계면활성제의 혼합물의 용도에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 수중유형 화장료 조성물의 내상에 고함량 칼라민을 안정화하는 방법에 관한 것이다. 나아가, 본 발명은 본 발명에 따른 내상에 고함량의 칼라민이 안정화된 수중유형 화장료 조성물을 피부에 적용하여 칼라민의 기능적 활성을 극대화하는 방법에 관한 것이다.
Patent WO-2021060715-A2 (WO)
Title: Waterproof optical connector plug for outdoor field assembly, and method for manufacturing same
Inventor: JUN KUN IK
IPC: G02B6/38
Filed: 2020-08-24
Abstract: The present invention relates to a waterproof optical connector plug for outdoor field assembly, which: enables an optical cable and a frame to be easily coupled and prevents the frame from deviating even when the optical cable is subjected to strong tension since when installing the optical cable in the field, the frame having a slit formed thereon surrounds and is fixed to the optical cable; which enables the installation of an optical connector plug such that waste of the optical cable is reduced by adjusting, when installing the optical cable in the field, the installation length of the optical cable; and which enables waterproofing by means of a protective tube and an O-ring such that waterproofing can simply be implemented in an outdoor installation site without conducting an additional complicated waterproofing process. The frame is formed on one end of the optical cable, is fused or mechanically connected to an assembly, and surrounds the exterior of the optical cable. The frame includes at least one slit which has one end coupled to the outer periphery of the assembly, and is cut from the center to the other end thereof such that the slit expands and contracts according to the outer diameter of the optical cable. The frame includes a projection which is formed on the outer periphery of one end thereof and is hung on the inner periphery of a housing so as to bear the tension applied to an outdoor optical cable.
Patent WO-2007086747-A2 (WO)
Inventor: VERSPAGET JOSEPHUS FRANCISCUS
IPC: H04M3/533
Filed: 2007-01-26
Abstract: La présente invention concerne un système de communication, par exemple un système de communication téléphonique, équipé d’au moins un premier appareil de communication (1), un second appareil de communication (5) et au moins un réseau de communication (N) destiné à mettre les appareils de communication (1,5) en connexion de communication (7). Dans ce système de communication, l’information est transmissible entre les appareils de communication (1, 5) après qu'une dite connexion de communication (7) ait été établie, aux fins de faire un appel entre les utilisateurs des appareils de communication (1, 5). Le système est conçu pour transmettre également au moins un message d‘utilisateurs (10) pendant la transmission de ladite information entre les appareils de communication (1, 5) et/ou lors de la fin ou de l’annulation d’une dite connexion de communication (7), et/ou si, par exemple, aucun contact ne peut être fait. L’invention concerne également un procédé, un appareil de communication et un programme informatique.
Patent WO-2012115514-A2 (WO)
Title: Adsorption cell for an adsorption compressor and method of operation thereof
Inventor: BURGER JOHANNES FAAS
IPC: F25B35/04
Filed: 2012-02-22
Abstract: The invention is directed to an adsorption cell suitable for a thermal wave operated adsorption compressor comprising: - an elongated solid adsorption material; - an elongated heat transfer fluid (HTF) channel in direct heat transferring contact with the outside surface of the solid adsorption material, wherein the characteristic dimension  r  ( e.g.  the radius) and the length  L  of said adsorption material are chosen such that  L/r  > 10, more preferably larger than 15, most preferably larger than 20.
Patent WO-2023158311-A2 (WO)
Inventor: VAN ROOTSELAAR ANTONIUS JOHANNES
IPC: B65B5/06
Filed: 2023-02-20
Abstract: L'invention concerne un procédé et un appareil d'emballage de chaîne de sacs permettant d'emballer une série de sacs, chaîne de sacs, dans une boîte d'emballage, la chaîne de sacs comprenant une pluralité de sacs reliés successivement les uns aux autres par des liens dans une direction d'étendue de série. Un lien entre deux sacs adjacents reliés de la chaîne de sacs s'étend dans une direction de liaison transversale à la direction d'étendue de série, chaque sac de la chaîne de sacs a une direction de longueur telle qu'observée dans la longueur de sac entre des liens à des sacs adjacents de la chaîne de sacs ou entre une extrémité de chaîne de sacs et un lien à un sac adjacent de la chaîne de sacs, la chaîne de sacs, dans sa configuration étendue, a la direction de longueur de chaque sac de la chaîne de sacs s'étendant le long de la direction d'étendue de série et dans la même direction que cette dernière, et la chaîne de sacs, dans sa configuration harmonica, qui comporte des crêtes et des creux alternés, a les directions de longueur de sacs adjacents de la chaîne de sacs qui alternent dans la direction d'étendue de série et des liens consécutifs qui alternent en tant que les crêtes et les creux de la configuration harmonica.
Patent WO-2015020588-A2 (WO)
Title: Nœud de réseau et dispositif mobile pour utilisation dans un réseau de communications, et procédés pour exploiter celui-ci et des produits de programmes informatiques
Inventor: HÖGLUND ANDREAS
IPC: H04W76/04
Filed: 2014-07-01
Abstract: L'invention concerne un procédé visant à exploiter un nœud (10) de réseau dans un réseau de communications (2) pour transmettre des informations de synchronisation relatives à un dispositif mobile (12), le réseau définissant une période prolongée qui est plus longue qu'une période prédéfinie sur le réseau, la période prédéfinie sur le réseau correspondant au temps nécessaire pour émettre une pluralité prédéfinie de trames, le procédé comportant l'étape consistant à diffuser une pluralité de blocs d'information, IBs, vers le dispositif mobile (103, 105), chaque IB indiquant un numéro de trame actuel dans la pluralité prédéfinie de trames; et étant caractérisé en ce que, lorsque le numéro de trame actuel est égal à un numéro de trame sélectionné ou à un numéro de trame appartenant à un sous-ensemble sélectionné des numéros de trames de la pluralité prédéfinie de trames, le procédé comportant en outre l'étape consistant à diffuser un ou plusieurs bits supplémentaires qui identifient la période prédéfinie actuelle dans la période prolongée (105).
Patent WO-2023059268-A2 (WO)
Inventor: Kong jun hua
Filed: 2022-10-07
Abstract: La divulgation concerne un composite polyamide ignifuge comprenant un polyamide, un agent synergiste, l'agent synergiste comprenant un polymère ayant un squelette et une unité latérale de 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphénanthrène 10-oxyde liée à celui-ci, le squelette du polymère comprenant au moins une fraction hétérocyclique, et un agent ignifugeant, l'agent synergiste et l'agent ignifugeant étant présents en une quantité allant de plus de 0 à 10 % en poids. La divulgation concerne également un procédé de formation du composite polyamide ignifuge, le procédé comprenant le broyage cryogénique d'un agent synergiste, le mélange de l'agent synergiste avec un agent ignifugeant pour obtenir un mélange, et la préparation du mélange avec un polyamide pour obtenir le composite polyamide ignifuge. Drawing_references_to_be_translated:
Patent WO-2023075704-A2 (WO)
Inventor: LIU BIN
Filed: 2022-10-28
Abstract: La présente divulgation concerne un catalyseur supporté comprenant M1, M2, TM et S1, dans lequel : M1 et M2 représentent des métaux indépendamment choisis dans le groupe constitué par Ru, Pd, Ir, Pt, Au, Os, Re, Rh, Ag, Mo, Tc et Nb ; TM représente un métal de transition ; S1 représente un support ; le rapport pondéral M1/M2/TM se situe dans la plage d'environ 1/2-10/2-10 ; le rapport pondéral (M1 + M2)/S1 se situe dans la plage d'environ 1/5-20 ; et M1, M2 et TM sont différents. La présente divulgation concerne également un procédé de préparation d'un catalyseur supporté, le procédé comprenant les étapes consistant à : (a) préparer un mélange comprenant un composé organométallique de M1, un composé organométallique de M2, un composé organométallique de TM, et S1, dans lequel : M1 et M2 représentent des métaux indépendamment choisis dans le groupe constitué par Ru, Pd, Ir, Pt, Au, Os, Re, Rh, Ag, Mo, Tc et Nb ; TM représente un métal de transition ; S1 représente un support ; le rapport pondéral M1/M2/TM se situe dans la plage d'environ 1/2-10/2-10 ; le rapport pondéral (M1 + M2)/S1 se situe dans la plage d'environ 1 /5-20 ; et M1, M2 et TM sont différents ; (b) broyer par broyage à billes le mélange de l'étape (a) à une vitesse de rotation d'environ 200 tours/minute à environ 900 tours/minute pendant une durée d'environ 1 heure à environ 5 heures pour former un mélange de broyage à billes, et (c) pyrolyse le mélange de broyage à billes de l'étape (b) à une température d'environ 300 °C à environ 600 °C pendant une durée d'environ 1 heure à environ 5 heures pour former un produit pyrolysé. La présente divulgation concerne également l'utilisation d'un catalyseur supporté divulgué ici pour produire de l'hydrogène.
Patent WO-2018056921-A2 (WO)
Title: Installation de production d'électricité à partir de l'énergie de la terre
Inventor: ALDOĞAN UMUT
Filed: 2017-06-08
Abstract: Cette invention concerne l'utilisation de l'électricité polarisée et stockée autour du centre de la Terre comme énergie propre et durable aussi longtemps que la Terre existera.
Patent WO-2019004961-A2 (WO)
Title: Painting system with zag plus method
Inventor: ISBECER AZEM YILMAZ
IPC: B05B13/04
Filed: 2018-03-07
Abstract: Invention relates to a zag plus painting system which can be applied in all sectors requiring coating and spraying such as textile, automotive, furniture in addition to leather, can be used in painting cabinets and allows application of automation painting system for materials that cannot be taken into painting cabinet after mounted onto chassis or are painted gropingly. The invention particularly relates to a zag plus painting system consisting of one or more than one zag gun (30) performing paint spraying while the product (70) located on the product front entrance (11) moves forward on the belt (10) by means of motion following gun path (40) on the belt (10) by help of drive (20).
Patent TR-2022010803-A2 (TR)
Title: Ro-ro bağlanti elemani rampa dayama elemani
Inventor: GÖKTUĞ YEŞİLTAŞ
IPC: F16L21/00
Filed: 2022-06-29
Abstract: Buluş, semi-treyler araçlarında kullanılan dayama ve bağlantı yapılanması (10) olup, özelliği; semi-treyler araçlara yükleme işlemi yapılırken, treylerin yanaştırıldığı yükleme rampasına çarpması durumunda, treylerin arka yapısının hasarlanmasını engellemek için rampa dayama elemanı (11); semi-treyler araçların deniz taşıtlarına yüklenerek taşınma durumunda hareket etmesini engellemek için halatlar ile deniz taşıtı gövdesine bağlanmasını sağlayan ro-ro bağlantı elemanı (12) içermesidir.
Patent WO-2004065018-A2 (WO)
Title: Chariot auxiliaire pour marquage de chaussees et autres surfaces
Inventor: KIEFFER JOSEPH W
IPC: E01C23/22
Filed: 2004-01-09
Abstract: Cette invention concerne un chariot auxiliaire avec châssis en L sur lequel peut se monter un vaporisateur, le but étant de transformer un pistolet à peinture sans air comprimé classique pour le marquage de lignes sur des aires de stationnement, des trottoirs, des sols d'entrepôt et autres surfaces de chaussée. Ce chariot, qui peut s'utiliser en alternance avec un marqueur de lignes traditionnel dans des espaces confinés ou entre des automobiles en stationnement, peut facilement passer d'une configuration 3 roues à une configuration 2 roues pour le marquage de lignes courbes et permet de régler la position du pistolet dans le but d'optimiser la forme de la pulvérisation pour une application particulière.
Patent WO-2004066941-A2 (WO)
Title: Profils d'expression destines au cancer du colon et procedes d'utilisation
Inventor: EVELEIGH DEEPA
IPC: C12Q1/68
Filed: 2004-01-23
Abstract: La présente invention concerne des profils d'expression génétique destinés au cancer du colon, des micro-réseaux contenant des séquences d'acides nucléiques représentant des profils d'expression génétique, et des procédés d'utilisation de profils d'expression et de micro-réseaux. L'invention concerne également des procédés et des compositions de dosage biologique diagnostique destinés à la détection du cancer, ainsi que des procédés thérapeutiques et des compositions destinés au traitement du cancer. L'invention concerne par ailleurs des procédés d'élaboration, d'identification et d'optimisation d'agents thérapeutiques destinés au cancer.
Patent WO-2004073393-A2 (WO)
Inventor: NASH PETER
IPC: C07K16/02
Filed: 2004-02-17
Abstract: La présente invention a trait à un inhibiteur d'adhérence microbienne sous la forme d'anticorps d'oeufs de volaille, ainsi que son procédé de fabrication et ses procédés d'utilisation. L'inhibiteur fonctionne essentiellement par la prévention de la fixation d'adhérence d'immunogènes souches dans les voies respiratoires d'animaux et d'êtres humains hôtes. L'inhibiteur est produit par l'inoculation aux oiseaux femelles de l'immunogène, la collecte d'oeufs contenant des anticorps dirigés contre l'immunogène, et la séparation du jaune et de l'albumine des coques d'oeufs. Le contenu du jaune et de l'albumine est administré aux animaux ou aux humains par la distribution directe du contenu ou l'introduction du contenu dans de l'air entraîné.
Patent WO-2004083388-A2 (WO)
Title: Polynucleotide codant un nouveau variant de recepteur de hm74, hgprbmy74 couple a une proteine g humaine
Inventor: RAMANATHAN CHANDRA S
IPC: C12Q1/68
Filed: 2004-03-12
Abstract: L'invention concerne de nouveaux polynucléotides codant des polypeptides de HGPRBMY74, ainsi que des fragments et des homologues de ceux-ci. L'invention concerne également des vecteurs, des cellules hôtes, des anticorps et des procédés de recombinaison et de synthèse destinés à produire ces polypeptides. L'invention concerne, en outre, des procédés de diagnostic et de traitement permettant d'appliquer ces nouveaux polypeptides de HGPRBMY74 au diagnostic, au traitement et/ou à la prévention de diverses maladies et/ou troubles liés à ces polypeptides. L'invention concerne, enfin, des procédés de criblage permettant d'identifier des agonistes et des antagonistes des polynucléotides et des polypeptides de cette invention.
Patent WO-2004111794-A2 (WO)
Title: Compresseur de faible perte a deux etages pour un canal libre sur un reseau de paquets
Inventor: GARAKANI MEHRYAR KHALILI
IPC: H03M7/30
Filed: 2004-06-10
Abstract: L'invention concerne un sous-système de compression à deux étages pour des données de canal libre. L'étage avant du sous-système de compression est un compresseur à répétition faisant appel à des octets (par exemple, pour un compresseur de balise). Le second étage est un compresseur faisant appel à un dictionnaire (par exemple, Lempel-Ziv (LZ) ou Huffmann). Les données sont comprimées au moyen de plusieurs techniques différentes, et la technique permettant la meilleure compression est utilisée pour chaque paquet particulier. Par exemple, chaque paquet peut être: (a) comprimé par les deux étages de compression à la fois, (b) comprimé par le compresseur de balise du premier étage seulement, (c) comprimé par le compresseur de dictionnaire d'étage arrière seulement, (d) non comprimé au niveau de chaque étage (pour des données hautement incompressibles). Après la compression, chaque paquet est doté d'un entête spécifiant la méthode exacte utilisée pour comprimer ce paquet. Au niveau du décodeur, l'entête de paquet est interrogé pour déterminer la manière dont le paquet doit être décomprimé et la décompression appropriée est ensuite utilisée.
Patent WO-2005005046-A2 (WO)
Title: Dispositif a systeme mecanique microelectrique fluidique
Inventor: CHEN CHIEN-HUA
IPC: B01L99/00
Filed: 2004-06-10
Abstract: L'invention concerne un dispositif à système mécanique microélectrique (MEMS) fluidique (200). Au moins un canal fluidique (124) au moins partiellement recouvert est formé sur une couche polymère (42) déposée sur un substrat (120). Selon un aspect, ledit canal fluidique (124) partiellement recouvert est réalisé en une structure unitaire. Selon une mise en oeuvre, la couche polymère est soumise à un processus de forte exposition (706) de manière à créer une zone polymère réticulée profonde (620). La couche polymère (42) est soumise à un processus de faible exposition (708) de manière à créer une zone polymère réticulée peu profonde (622).
Patent WO-2005000237-A2 (WO)
Title: Granules contenant des substances biologiquement actives
Inventor: PENG YINGXU
IPC: A61K9/20
Filed: 2004-06-16
Abstract: L'invention concerne un procédé de production de granules contenant une substance biologiquement active (BAS) selon lequel la BAS est mélangée à un liant pour former un mélange en poudre ayant une concentration de liant inférieure à une concentration qui, lorsque le liant est fusionné, provoque une surhumidification du mélange de poudre, consistant à chauffer le mélange à une température supérieure à la température de point de fusion du liant pour former une poudre agglomérée et à former des granules à partir de la poudre agglomérée. Les granules peuvent être utilisés pour produire des formes galéniques pharmaceutiques telles que des comprimés et des gélules.
Patent WO-2005004314-A2 (WO)
Title: Appareil de pulverisation a deux magnetrons utilisant un controleur pour delivrer un courant equilibre
Inventor: SEYMOUR ERIC A
IPC: C23C14/35
Filed: 2004-06-24
Abstract: L'invention porte sur un appareil de pulvérisation à deux magnétrons qui comprend un circuit d'équilibrage raccordé à la sortie d'une source d'alimentation en courant alternatif qui alimente au moins deux matériaux cibles afin que le circuit d'équilibrage permette à la source d'alimentation électrique de délivrer à chaque matériau cible un courant égal. Dans ces applications où une érosion sur un matériau cible peut se produire plus rapidement que sur un autre, le circuit d'équilibrage permet à l'alimentation électrique de déséquilibrer de manière délibérée le courant vers au moins un des matériaux cibles afin de réduire le courant vers la cible et compenser l'érosion plus rapide de la cible.
Patent WO-2005020317-A2 (WO)
Title: Formation de couche de ruthenium pour depot de film de cuivre
Inventor: CHANG MEI
IPC: H01L21/768
Filed: 2004-08-02
Abstract: La présente invention concerne un procédé de formation de couche de ruthénium pour des éléments d'interconnexion aux rapports d'aspect élevés. La couche de ruthénium est formée via un processus de dépôt cyclique. Ce processus de dépôt cyclique consiste à adsorber alternativement un précurseur contenant du ruthénium et, un gaz de réduction sur une structure de substrat. Le précurseur contenant du ruthénium adsorbé réagit avec le gaz de réduction adsorbé de façon à former la couche de ruthénium sur le substrat. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un procédé de formation de couche de ruthénium sur un substrat destiné à la fabrication d'un circuit intégré, qui consiste à positionner le substrat à l'intérieur d'une chambre de traitement, à effectuer une adsorption chimique de couche contenant du ruthénium sur le substrat en exposant ce substrat à bis(2,4-diméthylpentadiènyl)ruthénium, à exposer cette couche contenant du ruthénium à un réactif, et à faire réagir ce réactif avec la couche contenant du ruthénium de façon à former la couche de ruthénium sur ce substrat.