Patent DE-102021110948-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Bearbeiten eines Objekts mit einer Materialbearbeitungseinrichtung, Computerprogrammprodukt und Materialbearbeitungseinrichtung zum Durchführen des Verfahrens
Inventor: WILLARD FABIÁN PÉREZ
IPC: H01J37/304
Filed: 2021-04-28
Granted: 2023-09-28
Abstract: Verfahren zum Bearbeiten eines Objekts (125, 425) mit einer Materialbearbeitungseinrichtung (2000) mit den folgenden Verfahrensschritten:- Bestimmen eines interessierenden Bereichs (2006) des Objekts (125, 425), der an oder in einem ersten Materialbereich (2007) des Objekts (125, 425) angeordnet ist, unter Verwendung einer Bestimmungseinrichtung (2002, 2002A, 2002B, 2002C) der Materialbearbeitungseinrichtung (2000);- Abtragen von Material eines zweiten Materialbereichs (2009) des Objekts (125, 425) unter Verwendung einer Abtragungseinrichtung (2003, 2003A, 2003B, 2003C) der Materialbearbeitungseinrichtung (2000), wobei der zweite Materialbereich (2009) an dem ersten Materialbereich (2007) angrenzt, wobei der erste Materialbereich (2007) einen ersten Teilbereich (2007A) und einen an den ersten Teilbereich (2007A) angrenzenden zweiten Teilbereich (2007B) aufweist und wobei der interessierende Bereich (2006) in dem ersten Teilbereich (2007A) angeordnet ist;- Erkennen einer geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) des ersten Materialbereichs (2007) nach dem Abtragen und/oder während des Abtragens des Materials des zweiten Materialbereichs (2009) in einer Draufsicht auf den ersten Materialbereich (2007) unter Verwendung einer Steuereinrichtung (2005) der Materialbearbeitungseinrichtung (2000), wobei die geometrische Form (2010A, 2010B, 2010C) ein Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) aufweist, wobei das Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) in einer ersten Position angeordnet ist und wobei hinsichtlich des Zentrums (2011A, 2011B, 2011C) eines der folgenden Merkmale gegeben ist oder durchgeführt wird:(A) entweder (i) der interessierende Bereich (2006) ist im Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) der geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) angeordnet oder (ii) eine Projektion des interessierenden Bereichs (2006) auf eine Oberfläche (125A) des ersten Materialbereichs (2007) ist im Zentrum (2011 A, 2011B, 2011C) der geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) angeordnet;(B) wenn der interessierende Bereich (2006) oder die Projektion des interessierenden Bereichs (2006) auf die Oberfläche (125A) des ersten Materialbereichs (2007) nicht im Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) der geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) angeordnet ist, Festlegen des interessierenden Bereichs (2006) oder der Projektion des interessierenden Bereichs (2006) auf die Oberfläche (125A) des ersten Materialbereichs (2007) als das Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) der geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) sowie Festlegen der Anordnung der geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) mit dem nun festgelegten Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) um das festgelegte Zentrum (2011 A, 2011B, 2011 C);- Abtragen von Material des zweiten Teilbereichs (2007B) des ersten Materialbereichs (2007) unter Verwendung eines Teilchenstrahls eines Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400), wobei der erste Teilbereich (2007A) einen ersten Unterbereich (2007A', 2007A'') und einen zweiten Unterbereich (2007B', 2007B'') aufweist, wobei der interessierende Bereich (2006) in dem ersten Unterbereich (2007A', 2007A'') angeordnet ist;- Erkennen einer weiteren geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) des ersten Materialbereichs (2007) nach dem Abtragen des Materials des ersten Teilbereichs (2007A) in einer Draufsicht auf den ersten Materialbereich (2007) unter Verwendung der Steuereinrichtung (2005) der Materialbearbeitungseinrichtung (2000), wobei die weitere geometrische Form (2010A, 2010B, 2010C) ein weiteres Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) aufweist, wobei das weitere Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) in einer zweiten Position angeordnet ist;- Positionieren des Objekts (125, 425) unter Verwendung eines beweglich ausgebildeten Objekthalters (114) und/oder Positionieren des Teilchenstrahls unter Verwendung des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) derart, dass die erste Position des Zentrums (2011A, 2011B, 2011C) mit der zweiten Position des weiteren Zentrums (2011A, 2011B, 2011C) übereinstimmt, so dass hinsichtlich des weiteren Zentrums (2011 A, 2011B, 2011C) eines der folgenden Merkmale gegeben ist: (i) der interessierende Bereich (2006) ist im weiteren Zentrum (2011A, 2011B, 2011 C) der weiteren geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) angeordnet oder (ii) eine Projektion des interessierenden Bereichs (2006) auf die Oberfläche (125A) des ersten Materialbereichs (2007) ist im weiteren Zentrum (2011A, 2011B, 2011C) der weiteren geometrischen Form (2010A, 2010B, 2010C) angeordnet; sowie- Abtragen von Material des zweiten Unterbereichs (2007B', 2007B) des ersten Materialbereichs (2007) unter Verwendung des Teilchenstrahls des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400).