baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-10036059-B4 (DE)
Title: Elektrisches Heizband
Inventor: BURKERT JOSEF
IPC: H05B3/56
Filed: 2000-07-25
Granted: 2007-04-12
Abstract: Elektrisches
Heizband, das eine einen Heizleiter (13) umgebende elektrisch nicht
leitende Materialschicht (14) und Mittel zur elektrischen Versorgung (17,
18) des Heizleiters (13) aufweist sowie dehnbar ausgebildet ist,
wobei der Heizleiter (13) einen von einem elektrischen Leiter (16)
wendel- oder schraubenförmig
umwickelten Träger
(15) enthält
und die Materialschicht (14) aus einer ersten und zweiten Rohmaterialschicht
(11, 12) gebildet ist, zwischen die der Heizleiter (13) vor einer
Vulkanisation eingelegt ist, wobei das Heizband (10) gummielastische
Eigenschaften aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizband
(10) aus einer ursprünglichen,
spannungsfreien Länge
heraus bis um einen Faktor 1,5 in axialer Richtung (19) dehnbar
ist, wobei das Heizband (10) mit einer Rückstellkraft ausgestattet ist,
mit der es in die Ausgangslänge rückführbar gestaltet
ist.
Patent DE-10121519-B4 (DE)
Title: Ultraschallhindernisdetektor
Inventor: NISHIMOTO YUKIO
IPC: G01S15/931
Filed: 2001-05-03
Granted: 2007-05-10
Abstract: Ultraschallhindernisdetektor
zum Detektieren eines Hindernisses, mit  mindestens drei Ultraschallsensoren
(1 bis 4) zum Senden und Empfangen von Ultraschallwellen, die beieinander
so angeordnet sind, dass die Ultraschallsensoren direkte Wellen
(t) von mindestens einem der andern Ultraschallsensoren empfangen
können,
und  eine Vorrichtung zum Feststellen eines anormalen Zustands
eines bestimmten der Ultraschallsensoren, an dem externe Materie
wie Schnee oder Schlamm haftet, anhand der Empfangspegel der direkten
Wellen (t), mit einer Sende-Umschaltschaltung (23) und einer Empfangs-Umschaltschaltung
(24), um in einer Abfolge verschiedene Kombinationen eines Ultraschallsensors
zum Senden von Ultraschallwellen und eines Ultraschallsensors zum
Empfangen der gesendeten direkten Wellen für ein Identifizieren des Ultraschallsensors
mit dem anormalen Zustand auszuwählen.
Patent DE-10122867-B4 (DE)
Title: Flurförderzeug mit Schlauchtrommel und Spannvorrichtung dafür
Inventor: MEIDHOF WOLFGANG
IPC: B65H75/48
Filed: 2001-05-11
Granted: 2010-04-22
Abstract: Flurförderzeug mit hydraulischen Schlauchleitungen, die von einer drehbaren Schlauchtrommel abwickelbar sind, wobei die Schlauchtrommel entgegen einer Abwickelrichtung durch eine Rückholfeder vorspannbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass koaxial zur Schlauchtrommel ein drehbarer Federkasten (17) als Spannvorrichtung angeordnet ist, in dem sich die Rückholfeder befindet, wobei der Federkasten (17) unabhängig von der Schlauchtrommel (12) drehbar und mit der Schlauchtrommel (12) in Krafteingriff bringbar ist.
Patent DE-10144017-B4 (DE)
Title: System zum Abgleichen eines Batteriemoduls über einen variablen DC/DC-Spannungswandler bei einem Hybrid-Elektroantriebsstrang
Inventor: TAMAI GORO
IPC: B60L50/10
Filed: 2001-09-07
Granted: 2015-01-15
Abstract: Vorrichtung zum Ausgleichen eines Ladungszustands eines Batteriemoduls (13) in einem Fahrzeug (10) mit: mehreren Batterien (B1–B3) in dem Batteriemodul (13), wobei die Batterien (B1–B3) in Serie geschaltet sind, jede einzelne der Batterien (B1–B3) eine Batteriespannung aufweist und zumindest eine Batterie ein elektrisches System des Fahrzeugs (10) mit Strom versorgt; einem elektrischen Generator (20), der eine Generatorspannung zum Aufladen der Batterien (B1–B3) erzeugt; und einem DC/DC-Wandler (24), der mit dem elektrischen Generator (20) gekoppelt ist und von diesem Strom empfängt, wobei der DC/DC-Wandler (24) zumindest eine der Batteriespannungen zumindest einer der Batterien (B1–B2) überwacht und für einen Spannungsausgang sorgt, der parallel mit einer ersten Batterie (B1) des Batteriemoduls (13) verdrahtet ist, um die erste Batterie (B1) aufzuladen; dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Modus der Spannungsausgang so eingestellt wird, dass er der kleineren der Spannung der anderen Batterien (B2, B3) gleicht.
Patent DE-10148627-B4 (DE)
Title: Verfahren und Anordnung zum Ermitteln der virtuellen Adresse eines Endgerätes
Inventor: HELD WALTER
IPC: H04M11/00
Filed: 2001-10-02
Granted: 2008-01-24
Abstract: Verfahren
zum Ermitteln einer virtuellen Adresse, die einer teilnehmerseitigen
Endgeräteeinheit (EA0)
eindeutig zugeordnet ist, wobei die Endgeräteeinheit  – an ein
virtuelles Netz (ATM/SDH, DSLAM, TAL, IPER, IPR1, IPR2, IPR3, NMS)  – über eine
teilnehmerseitige Netzabschlußeinheit
(IAD) einer Teilnehmeranschlußleitung
(TAL) des virtuellen Netzes und  – einen der Netzabschlußeinheit
nachgeordneten Endgeräteanschluß (S0-0)
angeschlossen ist,  mit folgenden Schritten:  (1) Senden
einer ersten Adreßanforderungsmeldung (BOOT-REQUEST/a:b:c) von
der Netzabschlußeinheit
mit einer eindeutigen ersten Kennung (a:b:c) der Netzabschlußeinheit
an eine Netzmanagementeinheit (BOOTP-S) zum Zuweisen von virtuellen
Adressen, um eine erste virtuelle Adresse (x.x.x) anzufordern, die
der Netzabschlußeinheit
eindeutig zugeordnet ist;  (2) Zuweisen der ersten virtuellen
Adresse unter Verwendung der ersten Kennung durch die Netzmanagementeinheit;  (3)
Senden der ersten virtuellen Adresse und einer eindeutigen zweiten
Kennung (d:e:0) des Endgeräteanschlusses von
der Netzmanagementeinheit zur Netzabschlußeinheit;  (4) Senden einer
zweiten Adreßanforderungsmeldung (BOOT-REQUEST/d:e:0) mit
der zweiten Kennung von der Netzabschlußeinheit oder...
Patent DE-10150532-B4 (DE)
Title: Metallisierte Folie
Inventor: KISHIRO SHIGEKI
IPC: C09D123/10
Filed: 2001-10-12
Granted: 2013-04-11
Abstract: Metallisierte Folie aus einer Polypropylenharzmasse, erhalten durch Abscheiden einer metallischen Substanz auf der Oberfläche einer Folie aus einer Polypropylenharzmasse, die 100 Gew.-Teile einers Polypropylenharzes und 0,01 bis 1 Gew.-Teil eines Phosphits der Formelumfasst.
Patent DE-10151234-B4 (DE)
Title: Umdrehungszähler zum Ermitteln einer Umdrehungszahl eines um eine Drehachse drehbaren Drehelements
Inventor: SIES RAINER
IPC: G01P3/481
Filed: 2001-10-17
Granted: 2004-07-08
Abstract: Umdrehungszähler zum Ermitteln einer Umdrehungszahl eines um eine Drehachse (2) drehbaren Drehelements (1), mit einer Sensoranordnung (3) und einem Energieerzeugungssystem (6),  – wobei die Sensoranordnung (3) einen einzigen das Drehelement (1) abtastenden Sensor (4) und eine dem Sensor (4) nachgeordnete Auswerteschaltung (5) aufweist,  – wobei in jeder Drehstellung des Drehelements (1) anhand eines Rohsignals (5) des Sensors (4) eindeutig eine von mindestens drei Winkelbereichsgruppen (I, II, III) ermittelbar ist,  – wobei zwei Winkelbereichsgruppen (I, III) je einen einzigen zusammenhängenden Winkelbereich (I, III) und die anderen Winkelbereichsgruppen (II) je zwei in sich zusammenhängende, voneinander getrennte Winkelbereiche (IIa, IIb) aufweisen,  – wobei das Energieerzeugungssystem (6) derart ausgebildet ist, dass bei einer Drehbewegung unterhalb einer Minimaldrehzahl von ihm zwangsweise Energiepulse an die Sensoranordnung (3) abgegeben werden,  – wobei bei Abgabe der Energiepulse von der Sensoranordnung (3) jeweils mindestens ein Rohsignal (S) erfassbar und die korrespondierende Winkelbereichsgruppe (I, II,...
Patent DE-10156655-B4 (DE)
Title: Stoßfängeranordnung und ein Verfahren zur Herstellung derselben
Inventor: FALKE JUERGEN
IPC: B60R19/04
Filed: 2001-11-17
Granted: 2005-12-22
Abstract: Stoßfängeranordnung
bestehend aus einem hohlen Stoßfängerbiegeträger und
zumindest einem Pralldämpfer,
der den Stoßfängerbiegeträger mit
einer Tragstruktur eines Fahrzeuges verbindet und der als Hohlprofil
ausgebildet ist, wobei der Pralldämpfer zweigeteilt ist und aus
einem ersten domförmigen
Abschnitt, der aus dem Stoßfängerbiegeträger geformt
ist, und einem zweiten sich an den ersten Abschnitt unmittelbar
anschließenden
Abschnitt besteht, der von einem separaten topfförmigen Bauteil gebildet ist,
wobei das topfförmige
Bauteil einerseits zumindest einen Befestigungsflansch für die Anbindung
an die Tragstruktur aufweist und mit dem domförmigen Abschnitt andererseits
verbunden ist, und wobei das topfförmige Bauteil zumindest an
der Verbindungsstelle einen gegenüber dem domförmigen Abschnitt
unterschiedlich großen
Querschnitt aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der erste domförmige Abschnitt
(4) des Pralldämpfers
(3) vom Stoßfängerbiegeträger (2)
nach außen
abragt und dass das separate topfförmige Bauteil (5) außerhalb
des Stoßfängerbiegeträgers (2)
angeordnet ist.
Patent DE-10159534-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Behandlung organisch belasteter Abwässer und Behandlungsanlage zur Durchführung des Verfahrens
Inventor: KUEHN WILHELM
IPC: C02F9/00
Filed: 2001-12-05
Granted: 2007-05-10
Abstract: Verfahren
zur Behandlung mit organischen Stoffen, insbesondere Kohlenwasserstoffen,
belasteter Abwässer
bzw. Suspensionen, bei dem ein Abbau emulgierter organischer Bestandteile
durch Mikroorganismen zunächst
aerob und danach anaerob erfolgt und dem anaeroben Abbau eine Trennung
des aerob vorbehandelten Abwassers in eine wasserreiche und eine
wasserarme Phase vorangeht, dadurch gekennzeichnet, dass der anaerobe
Abbau nach der Trennung unmittelbar in der wasserarmen Phase stattfindet.
Patent DE-10208188-B4 (DE)
Title: Behälter mit zumindest einer Elektrode
Inventor: MUELLER-HARTMANN HERBERT
IPC: C12M3/00
Filed: 2002-02-20
Granted: 2006-05-24
Abstract: Behälter (20)
zur Aufnahme einer wässrigen
Lösung,
und insbesondere von Zellen, Zellderivaten, subzellulären Partikeln
und/oder Vesikeln, welcher zumindest teilweise von einer äußeren Begrenzung
gebildet ist, die einen Innenraum zur Aufnahme der Lösung bildet,
und welcher mindestens einen Bereich aufweist, der beim Anlegen
einer elektrischen Spannung und einer anschließenden Entladung als Elektrode
dient, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Elektrode (25,
26) aus einem leitfähigen
Kunststoffmaterial besteht, das als Hauptbestandteil einen Kunststoff
enthält,
der mit mindestens einem leitfähigen
Stoff dotiert ist, wobei die Dotierung in dem Kunststoff in einer
Konzentration von 30–80
Gew.-% vorliegt.
Patent DE-10222473-B4 (DE)
Title: Triebstrang mit automatischer Kupplungsbetätigung
Inventor: SCHLOTTHAUER THOMAS DIPL ING
IPC: F16H63/46
Filed: 2002-05-22
Granted: 2016-03-10
Abstract: Triebstrang mit einem Handschalthebel (5), einem durch Bewegen des Handschalthebels (5) in verschiedene Übersetzungsstellungen schaltbaren Getriebe (4), einer Kupplung (3) zum Unterbrechen der Kraftübertragung über den Triebstrang während des Umschaltens des Getriebes (4) und einer Steuereinheit (7) zum Öffnen und Schließen der Kupplung (3), wobei an einem Griffkörper (8) des Handschalthebels (5) zwei mit der Steuereinheit (7) wirkverbundene handbetätigbare Schalter (9) an verschiedenen Seiten des Griffkörpers (8) des Schalthebels (5) angeordnet sind und die Steuereinheit (7) eingerichtet ist, die Kupplung (3) nur bei gleichzeitiger Betätigung beider Schalter (9) zu öffnen.
Patent DE-10230094-B4 (DE)
Title: Lichtbogen-Löschvorrichtung
Inventor: LEITL WOLFGANG
IPC: H01H73/18
Filed: 2002-07-04
Granted: 2004-06-24
Abstract: Lichtbogen-Löschvorrichtung (1) für ein Schaltgerät (2), insbesondere Schutzschaltgerät,  – mit einer ersten Lichtbogen-Leitschiene (3) und mit einer zu der ersten Lichtbogen-Leitschiene (3) beabstandeten zweiten Lichtbogen-Leitschiene (4) zur gezielten Führung eines Lichtbogens (9) in eine zwischen der ersten Lichtbogen-Leitschiene (3) und der zweiten Lichtbogen-Leitschiene (4) angeordneten, den Lichtbogen (9) aufnehmenden Lichtbogen-Löschkammer (10);  – mit einer an der zweiten Lichtbogen-Leitschiene (4) bis in einen Bereich der Lichtbogen-Löschkammer (10) reichenden, derart ausgebildeten und/oder angeordneten Nebenschluss-Leiterbahn (15), dass der Lichtbogen (9) auf diese kommutiert und ein den Lichtbogen (9) in die Lichtbogen-Löschkammer (10) treibender Strom (I) über die Nebenschluss-Leiterbahn (15) ableitbar ist.
Patent DE-10256366-B4 (DE)
Title: Bremskraftverstärker
Inventor: GIERING WILFRIED
IPC: B60T13/57
Filed: 2002-12-03
Granted: 2004-10-28
Abstract: Bremskraftverstärker (10),
mit:  – einem
Krafteingangsglied (12) zum Einleiten einer Bremsbetätigungskraft
(F 1 ),  – einem Kraftausgangsglied
(14) zum Ableiten einer gegenüber
der Bremsbetätigungskraft
(F 1 ) verstärkten Bremskraft (F 2 ) zu einer Bremsanlage,  – einer
Unterdruckkammer sowie einer von der Unterdruckkammer durch eine
bewegliche Wand fluiddicht getrennten Arbeitskammer,  – einem
Steuerventil mit einem Steuerventilgehäuse (16) und einem relativ
zu diesem axial bewegbaren Ventilelement (44),  wobei das Steuerventilgehäuse (16)
zwei Dichtsitze (34, 36) aufweist, wobei mit jedem Dichtsitz (34,
36) je ein korrespondierender an dem Ventilelement (44) vorgesehener Ventilsitz
(48, 50) zusammenwirkt,  wobei weiter das Steuerventilgehäuse (16)
zur kraftübertragenden
Kopplung mit der beweglichen Wand ausgeführt ist,  wobei ferner
das Ventilelement (44) zur kraftübertragenden Kopplung
mit dem Krafteingangsglied (12) ausgeführt und in eine Bereitschaftstellung
vorgespannt ist, in welcher die Ventilsitze (48, 50) an den korrespondierenden
Dichtsitzen (34, 36) fluiddicht anliegen,  wobei zur Erzielung
einer die Bremskraft (F 2 ) bestimmenden...
Patent DE-10257131-B4 (DE)
Title: Beschichtetes Material zur Tintenstrahlbedruckung, Verfahren zu seiner Herstellung
Inventor: HENTZSCHEL PETER
IPC: B41M5/50
Filed: 2002-12-05
Granted: 2005-07-28
Abstract: Beschichtetes
Material zur Tintenstrahlbedruckung, dadurch gekennzeichnet, dass
die Beschichtung bezogen auf ihr Gesamtgewicht mehr als 0,1 Gew.-%
mindestens eines Polyvinylacetals (I) enthält, welches durch ein Verfahren
erhältlich
ist, bei dem man eine Mischung aus  A.) 50,0 bis 99,99 Gewichtsteilen
mindestens eines Polymers (A), welches  a.) 1,0 bis 99,9 Gew.-%
Struktureinheiten der Formel (1)  wobei R 1  Wasserstoff
oder Methyl bedeutet,  b.) 0 bis 99,0 Gew.-% Struktureinheiten
der Formel (2)  wobei R 2  Wasserstoff
oder einen Alkylrest mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen darstellt,  c.)
0,01 bis 70,0 Gew.-% Struktureinheiten der Formel (3)  wobei R 3 ,
R 4 , R 5  und R 6 , jeweils unabhängig voneinander Reste mit
einem Molekulargewicht im Bereich von 1 bis 500 g/mol sind,   jeweils
bezogen auf das Gesamtgewicht des Polymers (A) enthält,  und  B.)
0,01 bis 50,0 Gewichtsteilen mindestens einer Hydroxyverbindung
(B) der Formel (4)  wobei R 7  jeweils
unabhängig
voneinander Wasserstoff oder einen Alkylrest mit 1...
Patent DE-10262039-B4 (DE)
Title: Angle adjustment apparatus for display unit e.g. LCD, has hand lever connected to angle adjustable shaft which adjusts spreading and folding of two piece flap in apparatus
Inventor: KWON GIL SOON
IPC: F16M13/02
Filed: 2002-06-04
Granted: 2006-05-24
Abstract: The apparatus includes a flap (16) comprising two pieces whose ends are fixed to a bracket (13) and a balance shaft (15), respectively. An angle adjustable shaft (11) connected to a hand lever (20), includes a screw thread for adjusting the spreading and folding of the flap. The shaft adjusts a display angle, based on the spreading and folding of the flap. An independent claim is included for connection bracket.
Patent DE-10307493-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Ermittlung der Netzauslastung in einem transparenten optischen Übertragungssystem
Inventor: SCHLUETER PAUL
IPC: H04B10/08
Filed: 2003-02-21
Granted: 2006-04-27
Abstract: Verfahren
zur Ermittlung der Netzauslastung in einem transparenten optischen Übertragungssystem
(ASTN) mit einer Vielzahl von über
optische Übertragungsstrecken
(1, 2, 3, 4, 5, 6) miteinander verbundenen Netzknoten (ZN, AN, A,
B, C, D, E), in dem mehrere optische Verbindungspfade jeweils über mindestens
eine, optische Übertragungskanäle aufweisende Übertragungsstrecke
(1, 2, 3, 4, 5, 6) von einem ersten optischen Netzknoten (ZN) zu
einem zweiten optischen Netzknoten (AN) mit Hilfe von Signalisierungsnachrichten
aufgebaut, aufrechterhalten und abgebaut werden, dadurch gekennzeichnet,
dass in den Netzknoten (ZN, AN, A, B, C, D, E) pro Übertragungsstrecke
(1, 2, 3, 4, 5, 6) für
jeden optischen Übertragungskanal
eine Belegungswahrscheinlichkeit (p ON (t))
ermittelt wird.
Patent DE-10307632-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zur Regelung des Kühlluftdurchsatzes für einen Verbrennungsmotor eines Kraftfahrzeuges
Inventor: EWERT ROLF
IPC: B60K11/08
Filed: 2003-02-22
Granted: 2012-12-20
Abstract: Vorrichtung zur Regelung des Kühlluftdurchsatzes für einen Verbrennungsmotor eines Kraftfahrzeuges (1), die mehrere in eine frontseitige Lüftungsöffnung (3) des Kraftfahrzeuges (1) eingesetzte, über eine Zwangssteuerung (9) schwenkbare Klappen (6) umfasst, wobei die Klappen (6) aus einem geöffneten Zustand bei einer Beaufschlagung durch einen in Richtung des Verbrennungsmotors wirkenden Winddruck bestimmter Größe entgegen der Wirkung der Zwangssteuerung (9) in einen geschlossenen Zustand übergehen, wobei zwei Klappen (6) vorgesehen sind, die jeweils mit der einen Längsseite (15) an einer mittig in der Lüftungsöffnung (3) befestigten Horizontalachse (7) schwenkbar angeordnet sind und mit der anderen Längsseite (12) sowie den Breitseiten (13) an die Lüftungsöffnung (3) umfangsseitig begrenzenden Wandungen (14) anliegen und wobei die beiden Klappen (6) im geöffneten Zustand der Lüftungsöffnung (3) eine V-Form (10) bilden, deren in Richtung des Verbrennungsmotors weisende Spitze (11) der Horizontalachse (7) zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwangssteuerung (9) zumindest eine Zugfeder (16) für jede Klappe...
Patent DE-10309111-B4 (DE)
Title: Scharnier, das mit wenigstens einer Glasscheibe verbunden ist, und Verfahren zur Herstellung des Scharniers
Inventor: SCHULZ GUIDO
IPC: E05D7/08
Filed: 2003-02-28
Granted: 2004-12-09
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Scharnier, das mit wenigstens einer Glasscheibe (210) verbunden ist. DOLLAR A Dieses Scharnier zeichnet sich dadurch aus, dass es ein schwenkbar gelagertes Befestigungsmittel (220) enthält, dass das schwenkbar gelagerte Befestigungsmittel (220) eine Ausnehmung (230) aufweist, dass die Ausnehmung (230) so beschaffen ist, dass sie einen Flächenabschnitt der Umfangsfläche (240) der Glasscheibe und einen an den Flächenabschnitt angrenzenden ersten Randflächenbereich (260) der Glasscheibe umfasst, wobei ein dem ersten Randflächenbereich (260) gegenüberliegender zweiter Randflächenbereich (270) der Glasscheibe durch das Befestigungsmittel (220) nicht bedeckt ist, und dass das Befestigungsmittel (220) mit dem Flächenabschnitt der Umfangsfläche (240) der Glasscheibe und dem an den Flächenabschnitt angrenzenden ersten Randflächenbereich (260) der Glasscheibe (210) verklebt ist.
Patent DE-10310024-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Aufheizung eines Katalysators
Inventor: ZILLMER MICHAEL DR
IPC: F02D41/02
Filed: 2003-02-28
Granted: 2012-09-27
Abstract: Verfahren zur Aufheizung mindestens eines in einem Abgaskanal (28) einer Verbrennungskraftmaschine (10) angeordneten Katalysators (34), wobei mindestens eine chemische Heizmaßnahme, die eine Erhöhung einer Temperatur des zu beheizenden Katalysators (34) im Wesentlichen durch einen gegenüber einem ursprünglichen Motorbetriebspunkt zusätzlich eingebrachten chemischen Energieeintrag in den Abgaskanal (28) bewirkt, und mindestens eine thermische Heizmaßnahme, die eine Erhöhung der Katalysatortemperatur im Wesentlichen durch einen gegenüber dem ursprünglichen Motorbetriebspunkt zusätzlich eingebrachten thermischen Energieeintrag bewirkt, miteinander kombiniert werden, derart, dass ein Schwerpunkt des chemischen Energieeintrags zeitlich vor einem Schwerpunkt des thermischen Energieeintrags liegt.
Patent DE-10310339-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
Inventor: OOHARA JUNJI
IPC: G01P15/08
Filed: 2003-03-10
Granted: 2014-06-12
Abstract: Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung (S1), bei der eine aktive Halbleiterschicht (12) auf einem stützenden Halbleitersubstrat (11) mit einer isolierenden Zwischenschicht (13) dazwischen angeordnet ist, und eine bewegliche Einheit (20), die in der aktiven Schicht (12) enthalten ist, sich in Relation zu dem stützenden Substrat (11) als Antwort auf eine Kraft bewegt, die auf die bewegliche Einheit (20) aufgebracht wird, wobei die Kraft mit einer dynamischen Größe korreliert, die von der Halbleitervorrichtung (S1) gemessen werden soll, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Ausbilden eines SOI-Substrats (10), das das Halbleitersubstrat (11), die isolierende Zwischenschicht (13) und die Halbleiterschicht (12) derart umfasst, dass die isolierende Zwischenschicht (13) zwischen der Halbleiterschicht (12) und dem Halbleitersubstrat (11) angeordnet ist; trockenes Ätzen der Halbleiterschicht (12), um einen ersten Einschnitt (14a) und einen zweiten Einschnitt (14b) auszubilden, die sich durch die Halbleiterschicht (12) zu der isolierenden Zwischenschicht (13) erstrecken, wobei der zweite Einschnitt (14b) schmaler ist als der erste Einschnitt (14a) und das trockene Ätzen durchgeführt wird, bis der erste Einschnitt (14a) und der zweite Einschnitt (14b) die isolierende Zwischenschicht (13) erreichen, wobei das trockene Ätzen durchgeführt wird, während eine Frequenz einer gepulsten RF-Leistungsquelle für eine Vorspannung gleich oder niedriger als 600 kHz verwendet wird, um den Aufbau einer Ladung auf der Oberfläche der isolierenden Zwischenschicht (13), die während des trockenen Ätzens freiliegt, zu begrenzen, um Kerben zu verhindern; und trockenes Ätzen von seitlichen Wänden, welche den ersten und den zweiten Einschnitt (14a, 14b) definieren, in Bereichen benachbart zu Böden des ersten und des zweiten Einschnittes (14a, 14b), um, nachdem der erste Einschnitt (14a) und der zweite Einschnitt (14b) die isolierende Zwischenschicht (13) in dem vorangehenden trockenen Ätzen erreicht haben, eine bewegliche Einheit (20) auszubilden, wobei das spätere trockene Ätzen durchgeführt wird, während eine Frequenz einer kontinuierlichen RF-Leistungsquelle für eine Vorspannung gleich oder höher als 10 MHz verwendet wird, um eine Ladung auf der Oberfläche der isolierenden Zwischenschicht (13) aufzubauen, so dass ätzende Ionen auftreffen und die Bereiche benachbart zu den Böden des ersten und des zweiten Einschnittes (14a, 14b) der seitlichen Wände ätzen.
Patent DE-10312492-B4 (DE)
Title: Zoomobjektiv sowie Kamera
Inventor: OHASHI KAZUYASU
IPC: G02B15/20
Filed: 2003-03-20
Granted: 2015-11-12
Abstract: Zoomobjektiv, das eine erste Gruppe von Linsen (1), die eine negative Brennweite hat, eine zweite Gruppe von Linsen (2), die eine positive Brennweite hat, und eine dritte Gruppe von Linsen (3) enthält, die eine positive Brennweite hat, in der Reihenfolge von einer Objektseite, und in welchem die zweite Gruppe von Linsen (2) monoton von einer Bildseite (15) zu der Objektseite bewegbar ist und die erste Gruppe von Linsen (1) so bewegbar ist, um eine Positionsverschiebung einer Bildfläche zu korrigieren, was mit einer Vergrößerungsänderung bewerkstelligt wird, wenn die Vergrößerung von einem Ende des kurzen Endes des Brennweite zum Ende der langen Brennweite verändert wird, wobei das Zoomobjektiv aufweist, dass die zweite Gruppe von Linsen (2) eine positive Linse, eine negative Linse, deren konvexe Oberfläche der Objektseite gegenüber ist, eine positive Meniskuslinse, deren konvexe Oberfläche der Objektseite gegenüber ist, und eine positive Linse in der Reihenfolge von der Objektseite enthält.