baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-0201570-A1 (WO)
Title: Memoire a fonction d'appel, de surface reduite
Inventor: VILLARET YVES EMMANUEL
IPC: G11C15/04
Filed: 2000-06-07
Abstract: Cette invention concerne un système et un procédé de mémoire permettant de localiser des cellules mémoire qui renferment les données recherchées au moyen d'un nombre limité de lignes et donc de réduire la surface de mémoire requise tout en accélérant le processus de recherche qui se limite alors aux cellules qui présentent une caractéristique prédéfinie. Le système de mémoire comprend un bus d'adresses et un bus de données, un sélecteur de rangées et un sélecteur de colonnes et un ensemble bidimensionnel de cellules mémoire comprenant chacune un circuit de masquage, un circuit comparateur, un bit mémoire pour le stockage des résultats de comparaison. De plus, selon certains modes de réalisation, la cellule comprend un circuit de plage. La mémoire peut être utilisée en mode de lecture et d'écriture ou bien dans un nouveau mode de recherche rapide.
Patent WO-0114782-A1 (WO)
Title: Procede et dispositif a orifice segmente auto-adaptable
Inventor: LEVIN DANIEL
IPC: F16F15/023
Filed: 2000-08-20
Abstract: L'invention concerne un dispositif de régulation d'écoulement, comprenant un conduit fluidique (12) pourvu d'une entrée (2) et d'une sortie (3), ledit conduit possédant au moins trois ailettes (4, 5) montées sur sa paroi intérieure. Deux des ailettes et une partie de la paroi intérieure du conduit définissent une cavité, la troisième ailette étant opposée à ladite cavité. Lorsque le fluide s'écoule à travers le conduit, il se forme au moins un tourbillon (6, 7) sensiblement fixe dans la cavité, ce tourbillon existant au moins temporairement pendant l'écoulement, ce qui forme un blocage aérodynamique permettant un écoulement primaire (8) central entre ledit tourbillon et l'extrémité de la troisième ailette, et la suppression de l'écoulement de manière unidimensionnelle, limitant ainsi la vitesse d'écoulement massique et maintenant une chute de pression substantielle dans le conduit.
Patent WO-0016243-A1 (WO)
Title: Procede d'indexation de visages servant dans la navigation et recherche efficaces de personnes dans des images video
Inventor: WILF ITZHAK
IPC: G06F17/30
Filed: 1999-09-08
Abstract: L'invention concerne un procédé et un dispositif (figure) de production d'un index (250) d'au moins une classe d'objets apparaissant dans une suite d'images (210, 230), cet index servant lors d'une navigation ou d'une recherche (240) de certains membres de cette class. Ce procédé comprend les étapes suivantes consistant : à traiter (260) la suite d'images pour extraire à partir de celles-ci des traits caractéristiques de la classe d'objets, puis à mettre les images en groupes en fonction des caractéristiques extraites, utiles pour identifier des membres individuels de la classe d'objets. Dans des modes de réalisation préférés décrits, la suite d'images représente une séquence de trames vidéo, identifiée par les trames de départ et de fin et contenant des segments de visage, caractéristiques d'un visage. Il est possible d'associer des données caractéristiques audio et/ou des annotations (270, 280) aux secteurs de visages.
Patent WO-9417323-A1 (WO)
Inventor: MEIRANA GIOVANNI
IPC: F16L47/16
Filed: 1994-01-20
Abstract: Mamelon (1) en matière plastique pourvu de deux filetages terminaux (2) et d'une section tubulaire centrale (3) dont le diamètre externe est égal au diamètre que doit avoir un tuyau en matière plastique par rapport au diamètre desdits filetages (2), ladite section tubulaire centrale étant suffisamment longue pour que l'on puisse la couper en deux afin d'obtenir deux mamelons simples.
Patent WO-9614979-A1 (WO)
Title: Procede et dispositif permettant d'envelopper les bords d'une plaque de verre avec un joint en polyurethane
Inventor: CAPRIOTTI LUIGI
IPC: B29C70/76
Filed: 1995-11-14
Abstract: Procédé de fabrication d'un module de vitrage comportant une plaque de verre (6) et des joints. Ce procédé, utilisable dans le domaine du vitrage pour automobile, permet de remplir, sous basse pression, un moule particulier avec une composition à base de polyuréthane réagissant lentement. Le moule (4) est en matière plastique et il présente une configuration de type annulaire autour de la zone périphérique de la plaque (6) correspondant à la position finale du joint. Ce nouveau procédé permet la fabrication d'un nouvel ensemble vitre/joint plus économique que ceux obtenus selon les techniques connues.
Patent WO-9855284-A1 (WO)
Title: Installation pour deshumidification de granules, en matiere plastique notamment, utilises ulterieurement pour des operations de moulage
IPC: F26B21/08
Filed: 1998-06-01
Abstract: Cette installation pour déshumidification de granulés, en matière plastique notamment, utilisés ultérieurement pour des opérations de moulage, comporte deux équipements de déshumidification de l'air entrant dans une trémie située dans des installations de moulage de matière plastique. Lorsque ces équipements sont saturés, ils sont alternativement, capables de mener à bien une phase de régénération afin de pouvoir reprendre un cycle de déshumidification de l'air entrant, comme susmentionné. Dans cette installation se trouve également une turbine à deux canaux destinée à l'approvisionnement en air de recirculation, ces canaux étant indépendants l'un de l'autre, comprenant des équipements de distribution d'air, un au moins pour chaque équipement de régénération - déshumidification.
Patent WO-0047558-A1 (WO)
Title: Composes amide et leur utilisation medicinale
Inventor: USHIO HIROYUKI
IPC: C07D231/14
Filed: 2000-02-10
Abstract: L'invention concerne des composés représentés par la formule générale (I) ou bien des sels de ceux-ci ainsi que des médicaments contenant ces composés, formule dans laquelle R1 représente aryle substitué, hétéroaryle, etc.; R2 et R3 représentent chacun hydrogène, alkyle, halogéno, hydroxy, etc.; Q représente N, CH, etc.; W représente hydrogène, alkyle, hydroxycarbonylalkyle, etc.; X représente hydrogène, halogéno, cyano ou nitro, amino, etc.; X' représente hydrogène, halogéno, cyano ou nitro; et Y représente alkyle, hydroxy, alcoxy, mercapt, etc. Etant donné qu'ils présentent un excellent effet d'inhibition de la prolifération de lymphocytes activés, ces médicaments sont utiles en tant qu'agents préventifs ou remèdes contre diverses maladies auto-immunes.
Patent WO-0184490-A1 (WO)
Title: Ic card
Inventor: NISHIZAWA HIROTAKA
IPC: G06K19/077
Filed: 2000-04-28
Abstract: A multi-function IC card (MFC) is compatible with multimedia cards and SD cards because of the two-line stagger of connector terminals (#1 - #13) on a card substrate (1), and the multi-function is realized because a memory card unit (3) and a SIM (subscriber identity module) card unit (4) are mounted by connecting them to respective predetermined terminals of the connector terminals (#1   #13). The memory card unit (3) and the SIM card unit (4) respectively have separate storage areas for secret codes for security. This realizes multiple functions of a single IC card having different security levels. By adopting a plural-line arrangement of the connector terminals represented by the stagger, a relatively simple construction of the card slot can be adopted, in which slot terminals are arranged in a single line as a whole by alternately changing the protrusions of the slot terminals to the stagger.
Patent WO-0076006-A1 (WO)
Inventor: SHINGU HIDEO
IPC: H01L35/24
Filed: 2000-06-02
Abstract: L'invention concerne un matériau thermoélectrique possédant un coefficient Seebeck élevé, un facteur important de rendement ainsi que d'excellentes caractéristiques de résistance aux chocs, aux contraintes thermiques, et d'aptitude au formage; elle concerne également un élément thermoélectrique. Le matériau et l'élément thermoélectriques sont composés d'un corps multicouche réalisé dans un corps à feuillets d'un semi-métal, d'un métal ou d'une résine synthétique et d'un corps à feuillets d'un semi-métal. L'épaisseur moyenne des corps à feuillets s'étend entre 0,3 et 1000 nm. A titre d'exemples de combinaisons de corps à feuillets, on peut citer Bi-Al, Bi-résine polyamide, et Ag-FE. On fabrique un tel corps multicouche en formant un premier corps multicouche composé de tous les types de corps à feuillets constituant le corps multicouches, et en laminant ou pressant de manière uniaxiale une pile de ces corps multicouches.
Patent WO-0127193-A1 (WO)
Title: Additif de matage pour resine thermoplastique et composition a base de resine thermoplastique contenant ledit additif
Inventor: SAKAI TAKANOBU
IPC: C08K3/26
Filed: 2000-10-12
Abstract: L'invention se rapporte à un additif de matage pour résine thermoplastique, qui comporte des particules de carbonate de calcium lourd qui sont dotées de formes polyédriques irrégulières et dont la taille et la granulométrie ont été régulées. L'invention se rapporte également à une composition à base de résine thermoplastique contenant cet additif. Cette composition s'avère excellente s'agissant de ses caractéristiques de matage, de ses caractéristiques antireflet et de sa capacité à transmettre la lumière totale. Elle peut être utilisée dans le domaine des revêtements pour dispositifs d'éclairage, panneaux indicateurs lumineux, dispositifs d'affichage variés, vitrage, panneaux divers, etc.
Patent WO-0203654-A1 (WO)
Title: Procede de fourniture de contenus, serveur de fourniture de contenus, et terminal client dans une infrastructure de fourniture de contenus
Inventor: KUTARAGI KEN
IPC: G06F21/16
Filed: 2001-01-31
Abstract: Cette invention concerne un système haute sécurité de fourniture de contenus. Ce système comprend un fournisseur de contenus connecté à un grand nombre de terminaux utilisateurs via un réseau. Une information utilisateur renfermant des contenus qui concernent spécifiquement un utilisateur particulier et un filigrane électronique incrusté dans cette information est transmise d'un fournisseur de contenus à un terminal utilisateur. Lorsque le contenu est exécuté sur le terminal utilisateur, l'information utilisateur et le filigrane électronique sont contrôlés par ledit terminal ou par le fournisseur de contenus. Le contenu ne peut être exécuté que si le contrôle indique qu'il s'agit d'un contenu autorisé.
Patent WO-0187864-A1 (WO)
Title: Composes thiazolylethanones et leur procede de preparation
Inventor: YAGIHARA TOMIO
IPC: C07D277/24
Filed: 2001-05-18
Abstract: L'invention concerne des composés de formule générale (1), utiles en tant qu'intermédiaires dans la préparation de produits chimiques agricoles et de médicaments, ainsi que leur procédé de préparation. Dans ladite formule (1), A représente phényle, thiényle ou pyridyle éventuellement substitué ou similaire ; X représente nitro, cyano, halogéno, alkyle C1-6, haloalkyle C1-6, ou similaire et n vaut un entier de 0 à 5.
Patent WO-0214081-A1 (WO)
Inventor: OHNO OSAMU
IPC: B41M5/42
Filed: 2001-08-01
Abstract: A thermal recording material comprising a substrate and formed thereon a thermal recording layer comprising a leuco dye, a color developer, a sensitizer, and an adhesive, wherein the color developer comprises at least one member selected from the group consisting of N-(p-toluenesulfonyl)-m-aminophenol and N-(p-toluenesulfonyl)-p-aminophenol and the sensitizer comprises (a) at least one member selected from the group consisting of 1,2-diphenoxyethane, 1,2-di(3-methylphenoxy)ethane, 2-naphthyl benzyl ether, and di-p-methylbenzyl oxalate and (b) a higher fatty acid amide such as stearamide.
Patent WO-0225835-A1 (WO)
Inventor: OKAZAKI AKIHIRO
IPC: H04B3/10
Filed: 2001-09-06
Abstract: An adaptive equalizer of a receiver comprising a timing detector (101) for detecting the timing suitable for adaptive equalization by using a first unique word, a timing adjuster (100) for extracting a received signal sampled at the detected timing, a CIR initial value estimator (103) for estimating the transmission line impulse response initial value by using the first unique word, a CIR initial value setter (104) for setting the transmission impulse response initial values according to the estimated initial value, and an adaptive equalizer (102) for determining the interval between the first unique word and a second unique word disposed behind the first one, judging whether or not there is a timing slip when each initial value is used, and determining a judgment value by using the transmission line impulse response initial value that causes no timing slip and the extracted received signal.
Patent WO-0223397-A1 (WO)
Title: Systeme agent, procede et dispositif servant a generer des informations et support d'enregistrement de donnees
Inventor: ASAMI AKIKO
IPC: G06F17/30
Filed: 2001-09-11
Abstract: L'invention concerne un système agent (21) destiné à afficher des caractères afin de fournir des informations aux utilisateurs, comprenant au moins un programme agent (22) installé sur les ordinateurs des utilisateurs pouvant être connectés à un réseau (2) de lignes de communication, une unité (29) de stockage d'informations d'attribut destinée à stocker des informations d'utilisateur, et une unité (32) de retenue de l'état des caractères destinée à stocker les données d'affichage des caractères déterminant le mode d'affichage des caractères. Le programme agent (22) exécute au moins un traitement pour la collecte d'informations d'utilisateur et d'informations sélectionnées par les informations d'utilisateur, un traitement de génération de mots clés spécifiques à l'utilisateur à partir des informations d'utilisateur et des informations sélectionnées, et un traitement servant à générer, à partir des informations sélectionnées et des données d'affichage des caractères, des informations avec des modes d'affichage associés aux caractères autres que d'information à information. Il est ainsi possible de laisser les caractères résider en tant qu'éléments vivants virtuels dans des appareils de communication d'information tels que des ordinateurs personnels, et de collecter des informations d'intérêt grâce aux communications entre les utilisateurs et les caractères.
Patent WO-02077123-A1 (WO)
Title: Procede de production de coke a haute resistance pour hauts fourneaux
Inventor: KATO KENJI
IPC: C10B57/06
Filed: 2001-11-09
Abstract: L'invention concerne un procédé de production de coke dans lequel un ou plusieurs types de charbons bruts sont chargés et carbonisés dans un four à coke. Ce procédé consiste d'abord à mélanger le/les différents types de charbons bruts selon un rapport de compoundage qui permet d'obtenir des plages prédéterminées d'un indicateur obtenu par spectroscopie à résonance magnétique et représentant la quantité d'un composant cokéfiant dans le charbon, et d'un indicateur représentant la viscosité du composant cokéfiant. Ce procédé permet de produire du coke à haute résistance pour un haut fourneau.
Patent WO-0248664-A1 (WO)
Title: Capteur de temperature de face transparente et regulateur de temperature de face transparente
Inventor: TSUCHIYA HIDEHARU
IPC: G02B21/30
Filed: 2001-12-10
Abstract: L'invention concerne un capteur de température (3) de face transparente comprenant un substrat (7) d'isolation transparent thermosensible, un film (9) conducteur transparent thermosensible formé au-dessus de sa face, deux bornes (11, 11) thermosensibles et deux câbles conducteurs (13, 13) thermosensibles reliés aux bornes. Ces câbles conducteurs (13, 13), en cuivre et constantan, sont fixés en état d'isolation électrique par le biais d'un dispositif de chauffage (5) de face transparente, d'une feuille d'isolation (25) et d'une résine silicone, et placés dans un logement (27). Une section thermométrique est constituée, non d'un point sur le film conducteur transparent thermosensible, mais de la surface entière. Ainsi, on capte une température moyenne de l'ensemble du film (9) conducteur transparent thermosensible.
Patent WO-02101805-A1 (WO)
Title: Procede de nettoyage d'un appareil de formation de film mince
Inventor: NISHIMURA KAZUAKI
IPC: H01L21/3065
Filed: 2002-02-20
Abstract: L'invention concerne un procédé de nettoyage d'un appareil de traitement thermique. Selon ce procédé, une phase de chauffage permet de chauffer une chambre de réaction jusqu'à 300 C et une phase de nettoyage permet de retirer le nitrure de silicium d'une section intérieure de l'appareil de traitement thermique. Au cours de la phase de nettoyage, un tube de réaction chauffé à 300 C est rempli d'un gaz de nettoyage contenant du gaz fluor, du gaz chlore et de l'azote et on retire du nitrure de silicium. Ainsi, on nettoie la section interne de l'appareil de traitement thermique.
Patent WO-02071125-A1 (WO)
Title: Systeme et procede permettant d'ajuster un microscope
Inventor: NAKAGAWA SHUJI
IPC: G02B21/26
Filed: 2002-02-27
Abstract: L'unité centrale (207) détermine l'intervalle de déplacement dans le sens de l'axe optique du foyer d'un microscope (202) en fonction de la longueur d'ondes de la lumière utilisée par le microscope (202) pour l'observation d'un échantillon, et d'une ouverture numérique d'un objectif monté sur le microscope (202), puis elle ajuste le microscope (202) de manière à déplacer séquentiellement la position du foyer du microscope (202) par rapport à la position d'un échantillon dans le sens de l'axe optique à des intervalles de déplacement déterminés. A chaque fois que la commande déplace la position du foyer à l'intervalle de déplacement par rapport à la position de l'échantillon, le microscope (202) est ajusté de manière à obtenir une image microscopique qui est produite lorsque la position du foyer se trouve à une position après le déplacement.
Patent WO-02088216-A1 (WO)
Title: Polymeres cycloolefiniques fluores, procedes de preparation de monomeres cycloolefiniques fluores et polymeres associes, et leur application
Inventor: SUNAGA TADAHIRO
IPC: C08G61/08
Filed: 2002-04-25
Abstract: L'invention concerne l'obtention de polymères fluorés présentant une excellente aptitude à transmettre la lumière dans la région de l'ultraviolet extrême inférieure ou égale à 193 nm ; des procédés de préparation de monomères adaptés à la production de ces polymères et polymères fluorés ; et l'application de ces polymères. Ces polymères fluorés comprennent des unités récurrentes représentées par la formule générale (1) dans laquelle R1 à R12 représentent chacun un fluoro, un alkyle fluoré en C¿1-20?, ou analogue ; X?1¿ représente -CR?aRb-, -NRa¿-, ou  PR?a- (Ra et Rb¿ représentant chacun un fluoro, un alkyle fluoré en C¿1-20?, de l'hydrogène, -O-, -S-, un alkyle C1-20, ou analogue), à condition qu'au moins un des R?1 à R12 et X1¿ représente un fluoro ou un groupe contenant du fluor ; et n représente un entier compris entre 0 et 3. Ces polymères fluorés présentent des coefficients d'absorption des ultraviolets inférieurs ou égaux à 3,0 νm-1 à 157 nm.
Patent WO-03019516-A1 (WO)
Title: Circuit d'attaque de panneau d'affichage
Inventor: TAKEHARA SATOSHI
IPC: H03K3/00
Filed: 2002-08-22
Abstract: L'invention permet de supprimer une dégradation de la qualité d'une image produite lorsque le circuit d'attaque de ligne d'anode d'un circuit d'attaque de panneau d'affichage est formé par une pluralité de puces. Un circuit de commutation sélectionne soit un signal de sortie d'attaque fictif, soit le signal de sortie d'attaque réel d'une puce voisine dans un cycle prédéterminé en vue de l'appliquer à la ligne d'anode ; ce qui permet d'éliminer toute variation des courants de sortie voisins d'anode provenant des puces. Ce circuit permet de réduire la différence de luminance entre deux régions d'affichage qui présentent des luminances différentes en raison de la capacité d'attaque différente des puces ; et par conséquent de supprimer une dégradation de la qualité de l'image.
Patent WO-2004027956-A1 (WO)
Inventor: HONDA JUN
IPC: H02M7/23
Filed: 2002-09-17
Abstract: A power supply circuit for power amplifier comprising a first AC power supply circuit, and a second AC power supply circuit having a voltage variation rate lower than that of the first AC power supply circuit and an open circuit voltage set lower than that of the first AC power supply circuit. The first AC power supply circuit and the second AC power supply circuit are connected with a power amplifier and the output from the first AC power supply circuit or the second AC power supply circuit is used selectively depending on power consumption of the power amplifier.
Patent WO-03028018-A1 (WO)
Title: Support d'enregistrement optique multi-niveau
Inventor: TAKE HIROSHI
IPC: G11B7/24035
Filed: 2002-09-17
Abstract: L'invention concerne un support d'enregistrement optique multi-niveau (10), apte à enregistrer des données d'enregistrement selon un procédé d'enregistrement multi-niveau, spécifiant la réflectance de la lumière d'une partie d'enregistrement formée sur une couche d'enregistrement (12) de manière multi-niveau, par commutation du rayonnement du faisceau laser appliqué par un lecteur optique de manière multi-niveau. La valeur maximale du coefficient réduit obtenu par division de la tension du signal différentiel de poursuite détecté par l'intermédiaire du lecteur optique par le signal de somme de poursuite détecté par le biais du lecteur optique est établie de manière à être comprise entre 0,05 et 0,4 lorsque le support d'enregistrement optique multi-niveau (10) effectue un tour par fixation de la position de rayonnement dans le sens radial du faisceau laser sur le support d'enregistrement optique multi-niveau (10). Différents types de dispositifs d'enregistrement et de reproduction peuvent effectuer correctement et de manière conforme la servocommande de poursuite et la servocommande de focalisation. Par conséquent, différents types de dispositifs d'enregistrement et de reproduction peuvent enregistrer d'excellentes données d'enregistrement et reproduire d'excellentes données d'enregistrement.
Patent WO-03031206-A1 (WO)
Inventor: MASAOKA KEN
IPC: B60C3/00
Filed: 2002-10-01
Abstract: An assembly of a tire and a rim, wherein the internal pressure of the tire acts so as to increase a belt tension at a belt layer (30) since the internal pressure directs to the outer radial direction of the tire at an increased width part (12) and, since the horizontal portions (14a) of drawn parts (14) are prevented from being swelled toward the center of the tire by the flange parts (22) of a rim (20), the drawn parts (14)are swelled toward the center of the tire, whereby, since a reduction in belt tension can be avoided to maintain the roundness of the belt layer (30) and thus a rolling resistance can be lowered.
Patent WO-03099928-A1 (WO)
Title: Composition ignifuge
Inventor: MURAKAMI FUMIKI
IPC: C08L71/12
Filed: 2003-05-27
Abstract: La présente invention a trait à une composition ignifuge caractérisé en ce qu'elle comporte une résine de polyéther de phénylène ayant un nombre de masse moléculaire moyenne en polystyrène de 500 à 5000 et un composé de phosphazène, la teneur en polyéther de phénylène étant de 20 à 95% en poids et celle du composé de phosphazène étant de 80 à 5% en poids. La composition ignifuge présente une excellente aptitude au traitement lorsqu'elle est ajoutée à une résine. Elle ne contient pas d'halogènes. Elle conduit à une composition de résine présentant un excellent compromis entre l'aptitude au traitement, la tenue à la chaleur, et l'ininflammabilité.
Patent WO-2004031936-A1 (WO)
Title: 画像処理装置及び画像処理システム
Inventor: NOMURA TATSUO
IPC: G06F3/12
Filed: 2003-10-01
Abstract: 画像処理装置は、複数のプリンタＰｒ１，Ｐｒ２，Ｐｒ３，Ｐｒ４…と複数のクライアントマシンＰＣ１，ＰＣ２，ＰＣ３，ＰＣ４，ＰＣ５…とを具備する。最初に画像データの処理を依頼したプリンタ以外の他のプリンタに画像データの処理を依頼する場合、クライアントマシンが画像データの処理を依頼すべき他のプリンタのセキュリティレベルを確認した上で、他のプリンタに画像データの分散処理を依頼する。画像データの分散処理を依頼する他のプリンタを選択する段階で、各プリンタにおけるセキュリティレベルを十分に考慮する。
Patent WO-2004031442-A1 (WO)
Title: プラズマ処理装置とその基板処理方法、及びプラズマ化学蒸着装置とその製膜方法
Inventor: KAWAMURA KEISUKE
IPC: H05H1/46
Filed: 2003-10-01
Abstract: 基板上の物質の膜厚分布を均一化できるプラズマ処理装置とその基板処理方法、及びプラズマ化学蒸着装置とその製膜方法を提供することを目的とする。　基板（３）の表面に希望の物質を蒸着させる際に、２つの電源から周波数が同一で位相差を時間的に変化させた高周波電力をラダー電極（２）に供給し、給電方向の膜厚分布の均一化を促進すると共に、給電方向と直角の方向の膜厚を均一化させるように、ラダー電極（２）へ高周波電力を供給するための同軸ケーブルに配置した分岐ケーブル（２２）により、同軸ケーブルのそれぞれと対応するラダー電極（２）の給電点との間のインピーダンス整合の調整を行い、ラダー電極（２）のそれぞれの縦方向電極棒（２ａ）に給電される高周波電力を調整し、基板左右部の電圧分布と基板中央部の電圧分布とを均衡させ、ラダー電極（２）上の電圧分布の偏差に起因する局所的な膜厚分布の不平衡を解消して大面積基板における膜厚の分布特性を改善する。