Patent DE-102016004332-B4 (DE)
Title: Stromversorgung, insbesondere zum Betreiben eines Plasmas
Inventor: MÜLLER HEINRICH
IPC: H05H1/36
Filed: 2016-04-13
Granted: 2019-10-31
Abstract: Stromversorgung (1), insbesondere zum Betreiben eines Plasmas, die mindestens zwei in Reihe geschaltete Schaltungsanordnungen (2) zum Schalten von hohen Spannungen aufweist, wobei die Schaltungsanordnungen (2) jeweils einen Eingang (3) und einen über einen Laststrompfad (4) damit verbundenen Ausgang (5), einen als Längsregler in den Laststrompfad (4) geschalteten ersten Transistor (6), eine Spannungsbegrenzungseinrichtung zur Begrenzung der in dem Laststrompfad am ersten Transistor (6) abfallenden Spannung sowie eine Strombegrenzungseinrichtung zur Begrenzung des Laststroms im ersten Transistor (6) haben, wobei jede Schaltungsanordnung (2) Steueranschlüsse (9, 10) hat, an die eine Steuerspannung anlegbar ist, mittels welcher die Schaltungsanordnung (2) zwischen einem Betriebszustand, der einen Stromfluss vom Eingang (3) zum Ausgang (5) ermöglicht, und einem Ruhezustand, in dem der Stromfluss unterbrochen ist, umschaltbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Stromversorgung (1) zumindest eine erste und eine zweite Hilfsspannungsquelle (11) aufweist, die jeweils Eingangsanschlüsse (12) für eine Wechselspannung und Ausgangsanschlüsse (13, 14) für eine mittels einer Gleichrichterschaltung (15) aus der Wechselspannung erzeugte Steuerspannung aufweist, dass die Ausgangsanschlüsse (13, 14) der ersten Hilfsspannungsquelle (11) mit den Steueranschlüssen mindestens einer ersten Schaltungsanordnung (2) und die Ausgangsanschlüsse (13, 14) der zweiten Hilfsspannungsquelle (11) mit den Steueranschlüssen mindestens einer zweiten Schaltungsanordnung (2) verbunden sind, dass jede Hilfsspannungsquelle (11) jeweils einen Steuersignaleingang (16) zum Anlegen eines Steuersignals hat und derart ausgestaltet ist, dass die Steuerspannung in Abhängigkeit von dem Steuersignal an den Ausgangsanschlüssen (13, 14) der betreffenden Hilfsspannungsquelle (11) aktivierbar und deaktivierbar ist, dass die Stromversorgung (1) eine Kettenschaltung hat, die zumindest einen ersten und einen zweiten Übertrager umfasst, der jeweils eine Eingangswicklung (17) und eine induktiv damit gekoppelte Ausgangswicklung (18) hat, dass Wicklungsanschlüsse der Eingangswicklung (17) des ersten Übertragers der Kettenschaltung mit einer Wechselspannungsquelle (19) und Wicklungsanschlüsse der Ausgangswicklung (18) des ersten Übertragers mit den Eingangsanschlüssen (12) der ersten Hilfsspannungsquelle (11) sowie Wicklungsanschlüssen der Eingangswicklung (17) eines zweiten Übertragers der Kettenschaltung verbunden sind, dass Wicklungsanschlüsse der Ausgangswicklung (18) des zweiten Übertragers mit den Eingangsanschlüssen (12) der zweiten Hilfsspannungsquelle (11) verbunden sind, dass die Stromversorgung (1) einen Koppler (20) aufweist, der einen Eingang (21) und einen galvanisch davon getrennten Ausgang (22) für ein veränderliches Steuersignal hat, und dass der Eingang (21) mit einem Steuersignalgeber (23) in Steuerverbindung steht und mit dem Steuersignaleingang (16) der ersten Hilfsspannungsquelle (11) verbunden ist, und dass der Ausgang (22) mit dem Steuersignaleingang (16) der zweiten Hilfsspannungsquelle (11) verbunden ist.