baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-2004029676-A1 (WO)
Title: 赤外カットフィルタ付レンズ及びその製造方法並びに小型カメラ
Inventor: SHIMIZU TOSHIHIKO
IPC: G02B3/00
Filed: 2003-09-22
Abstract: 一方の屈折表面が平面２１で反対側の屈折表面が凸面２２のガラス平凸レンズ２ａ、２ｃのいずれか一方の面に赤外線をカットする赤外遮断誘電体多層膜３を設ける。平板２５の表面に凸レンズの凸部２４が一体に設けられている多数個取りレンズ成形体２６をガラスで成形し、多数個取りレンズ成形体２６のいずれか一方の面に赤外遮断誘電体多層膜３を設け、誘電体多層膜３を設けた多数個取りレンズ成形体２６の平板２５の部分を凸部２４毎に切断する。得られた赤外カットフィルタ付レンズ１ｃを小型カメラの集光レンズとして用いる。以上によって、小型カメラの集光レンズ等に用いられる赤外カットフィルタ付レンズをガラス製としたときに問題となるコストを低減することができる赤外カットフィルタ付レンズ及びその製造方法並びに小型カメラを提供する。
Patent WO-2004037721-A1 (WO)
Title: アルミナ粉粒体、その製造方法及びそれを含有する製品
Inventor: TAI NOBUAKI
IPC: C08K9/04
Filed: 2003-10-22
Abstract: 樹脂の強化材または充填材として要求される分散性及び透明性が優れたアルミナ粉粒体、その製造方法、及びそのアルミナ粉粒体を含有することにより補強されしかも透明な樹脂成型品のための非水溶性樹脂組成物が提供される。アルミナ粉粒体は、スルホコハク酸誘導体塩で表面処理された繊維状または薄片状のアルミナ微粒子からなる。スルホコハク酸誘導体塩が前記微粒子の質量に対して０．０５～４０質量％含有されている。アルミナゾル粒子にスルホコハク酸塩誘導体塩を付着させた後、乾燥させることによりアルミナ粉粒体が製造される。
Patent WO-2004044496-A1 (WO)
Title: 空気調和機の室内機および空気調和機の室内機の組立方法
Inventor: TERADA YUICHI
IPC: F24F1/0067
Filed: 2003-11-07
Abstract: 本発明は、熱交換器の取り付けを容易にすることができる空気調和機の室内機および空気調和機の室内機の組立方法を提供するものである。空気調和機の室内機（２）は、クロスフローファン（７１）と、室内熱交換器（５０）と、下部ケーシング（７０）とを備える。室内熱交換器（５０）は、略逆Ｖ字型の断面形状を有し、冷媒が流れる補助配管が接続されており、クロスフローファン（７１）の上方を覆うように配置される。下部ケーシング（７０）は、クロスフローファン（７１）を支持する。そして、下部ケーシング（７０）の各部は、クロスフローファン（７１）の頂上部分の高さ以下の位置にある。
Patent WO-2004045210-A1 (WO)
Title: リピートフィールド検出装置
Inventor: KURODA KEIICHI
IPC: H04N7/01
Filed: 2003-11-11
Abstract: インターレース方式の入力映像信号をプログレッシブ変換する場合に、ノイズの多い入力映像信号や、動きの少ない入力映像信号においても可能な限り正確なリピートフィールド検出と、素材判別とフィルタ制御を行い、可能な限り最適なプログレッシブ映像を出力することを目的とする。2フィールド前と現在の映像の相違ピクセル数をもとに算出した、映像の動きとノイズの量を示す値を指標として、検出結果の信頼性を求めて利用することによるリピートフィールド検出精度向上、シーンチェンジ検出精度の向上、使用するフィルタ決定の判定条件変更による適応フィルタの精度向上を行う。また、単位時間あたりのフィルタの変動を抑えることによるフィルタ制御精度の向上を行うことにより課題の解決を実現する。
Patent WO-2004047164-A1 (WO)
Inventor: WAKABAYASHI HITOSHI
IPC: H01L29/423
Filed: 2003-11-14
Abstract: L'invention concerne un dispositif à semi-conducteur comportant un substrat SOI pourvu d'une structure d'isolation de dispositif élevée, comprenant une unité à bec d'oiseau, l'épaisseur d'un film d'isolation de grille augmentant graduellement du centre du dispositif vers l'extrémité de l'isolation de dispositif, disposée à l'extrémité en contact avec une zone d'isolation de dispositif sur une section orthogonale au sens du courant de canal et comprenant l'électrode de grille. Le dispositif à semi-conducteur présente une grande résistance en ce qui concerne les dommages d'antenne pouvant se produire pendant le post-traitement, d'excellentes caractéristiques en termes de courant de fuite de grille, de TDDB, et en termes de commandabilité de la tension de seuil (Vth) par le potentiel de substrat (Vsub).
Patent WO-2004045822-A1 (WO)
Title: 成形用金型、成形方法、ディスク基板及び成形機
Inventor: INADA YUICHI
IPC: B29C45/26
Filed: 2003-11-17
Abstract: ディスク基板にばりが発生するのを防止することができ、ディスク基板の品質を向上させることができる成形用金型、成形方法、ディスク基板及び成形機を提供することを目的とする。鏡面盤(l6)と、中央に穴が形成され、前記鏡面盤(16)の前端面に取り付けられるスタンパ(29)と、前記穴に圧入されることによってスタンパ(29)を保持するインナホルダ(60)とを有する。そして、前記スタンパ(29)及びインナホルダ(60)のうちの少なくとも一方は、圧入が行われるのに伴って、降伏点を越える応力が加えられて塑性変形させられる。この場合、スタンパ(29)の穴にインナホルダ(60)が圧入されてスタンパ(29)が保持されるので、インナホルダ(60)の前端の外周縁に押え代を形成する必要がなくなる。したがって、ディスク基板に凹溝が形成されないので、ディスク基板上の印刷領域を広くすることができる。
Patent WO-8301663-A1 (WO)
Title: Clutch disc structure
Inventor: KAYANOKI KATSUHIKO
IPC: F16D13/64
Filed: 1982-10-29
Abstract: A clutch disc for a vehicle, which transmits torque from an engine through a disc plate (2), a torsion spring (12), and a hub (3) connected to an output, to a transmission. A bush is press-fitted between the sliding surfaces of the disc plate (2) and the hub (3) to reduce the surface pressure on the sliding surfaces and to prevent the invasion of dust into the sliding surfaces. Both ends of the spring (12) and an auxiliary tension spring (13) installed between a hub plate (4) and a friction plate (9) holding the hub plate (4) are held by spring-holding projections (4a) provided on the hub plate (4). In this manner, noises generated by each of the members can be prevented.
Patent WO-8501910-A1 (WO)
Title: Apparatus for controlling robot
Inventor: KURAKAKE MITSUO
IPC: G05B19/18
Filed: 1984-10-11
Abstract: A robot controlling apparatus which is small and economical. A visual sensor processing section (10) and a robot control section (20) are connected to a CRT (30) through a switch (52) and are connected to a keyboard (40) through a switch (55).
Patent WO-9001745-A1 (WO)
Title: Drawing method on an enlarged scale
Inventor: SEKI MASAKI
IPC: G06T3/40
Filed: 1989-08-08
Abstract: An enlarged-scale drawing method which displays on an enlarged scale a shape (IMG') that is drawn on the display screen. A magnification Ks for drawing on an enlarged scale is set under the condition where the shape (IMG') is drawn on the display screen (DFS) at a magnification K, and a frame (FRM) that indicates a display range maintaining the magnification Ks is displayed on the screen being superposed on the shape (IMG'). Then, the displayed frame (FRM) is moved relative to the shape that is drawn on the display screen, the range of shape to be displayed on an enlarged scale is specified by the frame, and a shape (IMG'') enlarged from a portion of the shape in the frame at the magnification Ks is displayed on the display screen.
Patent WO-9100980-A1 (WO)
Title: Multitubular heat exchanger
Inventor: KAMINO TOUJOU
IPC: F28F9/26
Filed: 1990-07-09
Abstract: A multitubular heat exchanger, in which tube-end plates (3), (3') are provided on both sides of a cylindrical bushing (1), a plurality of fluid outgoing-returning small tubes (2) are laid in the bushing (1) while supported by the tube-end plates (3), (3'), and fluids are poured into the bushing (1) and small tubes (2) to be subjected to heat exchange therebetween. More than one pair of small-tube insertion holes, each pair comprising holes into which the fluid outgoing-returning small tubes (2) are respectively fitted, are provided to both tube-end plates (3), (3'); lids (4), (4') are provided outside the tube-end plates (3), (3'), respectively; and U-turn fluid passages (9), each comprising holes in the shape of U and circular at cross-section to connect fluid outgoing-returning small tubes in every pair to each other are provided to both lids (4), (4'). the U-turn fluid passages (9) allow the fluids in the fluid outgoing-returning small tubes (2) to flow smoothly without stagnation on account of the gravity and makes velocity distribution in the fluid passages uniform. Cleanability after heat exchanging is increased.
Patent WO-9200860-A1 (WO)
Title: Air cleaner for cooling device in driving system mounted on large-sized dump truck
Inventor: MINAMI TERUO
IPC: B01D45/04
Filed: 1991-07-04
Abstract: An air cleaner for a cooling device in a driving system mounted on a large-size dump truck, capable of separating and removing dust and rain water contained in the air flowing in through an air intake portion from the air with a high efficiency. This air cleaner for cooling comprises: a plurality of strata-tubes (12) horizontally spanning between front and rear walls (1a, 1b) of a rectangular intake portion (1); a net (14) pasted over the entire surface of the front of the intake portion; and a cover (15) disposed in front of the net.
Patent WO-9502958-A1 (WO)
Title: Procede de culture de nematodes
Inventor: TACHIBANA MINEO
IPC: A01K67/033
Filed: 1994-07-21
Abstract: Procédé de culture d'un nématode, Steinernema kushidai, dans un milieu de culture. Ce nématode a un puissant effet insecticide sur les larves de coléoptères et il nécessite, pour sa culture à grande échelle, des conditions de culture différentes de celles des autres nématodes parasites des insectes. L'activité de S. kushidai pour l'élimination des insectes nuisibles pour les végétaux, tels que les cultures de plein champ, peut être accrue s'il est cultivé sur un milieu contenant des stéroïdes. Il peut être cultivé avec un rendement élevé à l'aide d'un stratifié dans lequel le milieu contenant les stéroïdes est fixé sur un support par adsorption et plusieurs supports de ce type sont empilés les uns sur les autres en ménageant des espaces entre eux. Il est en outre possible de produire des S. kushidai ayant un taux élevé de prolifération et un fort pouvoir insecticide par culture dans un milieu liquide contenant des stéroïdes dans lequel de l'oxygène est amené sous agitation. Le S. kushidai obtenu est utilisé comme pesticide biologique pour réduire les dommages causés par les insectes aux cultures en plein champ, par exemple aux pommes de terre.
Patent WO-9524549-A1 (WO)
Title: Moteur a taux de compression variable
Inventor: OZAWA GODOU
IPC: F02M25/07
Filed: 1995-03-03
Abstract: Moteur à taux de compression variable pouvant fonctionner soit selon le cycle de Miller, soit selon le cycle usuel et se caractérisant par son rendement élevé, sa faible production de NOx et son absence de cliquetis. A cet effet, le moteur est muni d'un dispositif de recirculation des gaz comportant: un premier arbre à cames, (10), muni de cames (11, 12, 13) actionnant une soupape d'admission (2) et des soupapes d'échappement (4, 5) et un second arbre à cames (20) muni de cames actionnant au moins une soupape d'admission (3) et une soupape d'échappement (5) de façon à permettre la recirculation d'une partie des gaz d'échappement dans les gaz d'admission.
Patent WO-9608051-A1 (WO)
Title: Solid polyelectrolyte
Inventor: KONO MICHIYUKI
IPC: H01M10/0565
Filed: 1995-03-17
Abstract: A polyelectrolyte composition used for an LPB (lithium polyelectrolyte battery) type lithium electrochemical current generator. A mixture of a high-polymer component and a low-polymer component, as used recently for the LPB batteries, is subjected to multi-dimensional cross-linking by irradiation more efficiently and quickly. Therefore, a thinner electrolyte film having preferable mechanical properties, which may or may not have an interpenetrating polymer network, can be obtained while maintaining its adhesion to an electrode and the range of selection in coating technology.
Patent WO-9634013-A1 (WO)
Title: Compose peptidique antigenique et methode de dosage immunologique
Inventor: KUMAZAWA TOSHIAKI
IPC: G01N33/576
Filed: 1995-04-28
Abstract: On analyse par dosage immunologique dans un échantillon un antigène du virus de l'hépatite C (VHC) en utilisant l'affinité spécifique d'un composé peptidique antigénique comprenant une séquence d'acides aminés représentée par la formule (1) à (2) avec un anticorps VHC: (1) Arg-Lys-Thr-Ser-Glu-Arg-Ser-Gln-Pro-Arg-Gly-Arg-Arg-Gln-Pro-Ile-Pro-Lys-Ala-Arg-Arg-Pro-Glu-Gly-Arg-Thr-Trp-Ala-Gln-Pro ..., (2) Arg-Lys-Thr-Ser-Glu-Arg-Ser-Gln-Pro-Arg-Gly-Arg-Arg-Gln-Pro-Ile-Pro-Lys-Asp-Arg-Arg-Ser-Thr-Gly-Lys-Ser-Trp-Gly-Lys-Pro ... Cette méthode permet d'identifier rapidement et avec précision le sérotype d'un échantillon tout en supprimant la réaction croisée ou la réaction non spécifique, de prévoir avec exactitude les effets du traitement à l'interféron et de simplifier le suivi de la guérison ou de l'évolution du traitement contre l'hépatite C.
Patent WO-9635926-A1 (WO)
Title: Procede, dispositif et systeme de determination de changements dans un specimen
Inventor: OHBA RYOJI
IPC: G01M99/00
Filed: 1996-02-08
Abstract: Procédé permettant de déterminer avec précision si un quelconque changement a lieu dans un spécimen ou d'estimer avec précision le degré d'un tel changement. On fait agir des filtres inverses respectivement sur un étalon et un échantillon susceptible de s'écarter dudit étalon, afin de déterminer le signal de différence, et l'on extrait une pluralité de variances statistiques. On détermine ou on estime alors s'il existe ou non une différence significative entre ces deux groupes de variances statistiques.
Patent WO-9628734-A1 (WO)
Title: Procede pour l'evaluation quantitative du cholesterol dans une lipoproteine faible densite
Inventor: MIYAUCHI KAZUHITO
IPC: G01N33/92
Filed: 1996-03-15
Abstract: L'invention concerne un procédé pour l'évaluation quantitative du cholestérol dans un lipoprotéine faible densité, qui consiste à éliminer le cholestérol d'une lipoprotéine haute densité dans un échantillon porteur de lipoprotéine à faible densité, à traiter ensuite l'échantillon résultant par cholestérol ester hydrolase et par cholestérol oxydase ou oxydoréductase et, enfin, à évaluer quantitativement le peroxyde d'hydrogène obtenu ou bien la coenzyme réduite.
Patent WO-9629607-A1 (WO)
Title: Procede et appareil de controle d'un substrat
Inventor: NAKAGOMI YOICHI
IPC: G01R1/067
Filed: 1996-03-18
Abstract: Procédé de contrôle d'un substrat comprenant les étapes suivantes: mémorisation préalable des informations relatives à la position d'un niveau auquel le substrat est placé et des informations de position d'une sonde en tant que données initiales prédéterminées; une étape corrective consistant à déplacer un premier élément de positionnement placé à une distance prédéterminée du niveau précité, en même temps que ce niveau, et alignement de ce premier élément de positionnement sur un deuxième élément de positionnement placé à une  distance prédéterminée de la sonde; calcul de la distance de la position de correction à la position où la sonde et le plot sont en contact l'un avec l'autre, sur la base des données initiales prédéterminées et mémorisées d'avance; déplacement du niveau en fonction des résultats du calcul de manière à positionner le plot par rapport à la sonde; transfert du plot du substrat pour mettre ce dernier en contact avec la sonde, envoi des signaux de test à un circuit modèle sur le substrat et contrôle.
Patent WO-9712205-A1 (WO)
Title: Dispositif electronique a capteur
Inventor: FUJIMA MIKAKO
IPC: G06F15/02
Filed: 1996-09-25
Abstract: Ce dispositif électronique à capteur affiche en couleurs, selon des valeurs mesurées par ce capteur, des informations associées à ces valeurs. Quand on choisit un mode de mesure de température, un circuit de commande (11) demande à un capteur de température (21) et à un circuit de mesure (20) de détecter la température de la neige, et il écrit les données de température de neige détectées dans un registre de données de température (C) du registre d'affichage (40) d'une RAM (12). Ce circuit de commande (11) lit aussi des données de couleur d'affichage, correspondant au nom d'une société de fabrication de fart de ski mémorisé dans un registre (N) de noms de sociétés de la RAM (12), et une valeur du registre (C) de données de températures du registre d'affichage (40), à partir d'un tableau de conversion de couleurs de la ROM (13) où sont mémorisées des données de couleurs d'affichage représentant des couleurs d'indice propres aux farts de ski des différents fabricants de fart. Le module de commande (11) demande à un afficheur (15) d'afficher le nom de la société mémorisé dans le registre (N) de noms de sociétés ainsi que les données de température de neige détectées qui sont mémorisées dans le registre (C) de données de température dans la couleur correspondant aux données de couleur d'affichage mémorisées dans le registre de couleurs d'affichage (L) du registre d'affichage (40).
Patent WO-9830729-A1 (WO)
Title: Tole d'acier galvanise a chaud presentant peu de defauts par suite d'un placage defectueux, ainsi que d'excellentes caracteristiques d'adherence de depot par contact, et son procede de production
Inventor: FUJIBAYASHI NOBUE
IPC: C23C2/26
Filed: 1997-01-13
Abstract: L'invention concerne une tôle d'acier galvanisé à chaud pour automobiles, une tôle d'acier allié galvanisé à chaud, et leur procédé de production. Cette tôle d'acier galvanisé présente une quantité réduite de défauts par suite d'un placage défectueux, ainsi que d'excellentes caractéristiques d'adhérence de dépôt par contact, et est caractérisée en ce qu'elle possède des oxydes de métaux plus oxydables que le fer situé au-dessous du placage, ces oxydes étant formés lors du laminage à chaud. Selon le procédé de production, la température d'enroulement lors du laminage à chaud est égale ou supérieure à 600 °C, le refroidissement s'effectue à une vitesse faible, et les oxydes demeurent intacts également dans les étapes ultérieures.
Patent WO-9736300-A1 (WO)
Title: Unite de memoire ferroelectrique
Inventor: HIRANO HIROSHIGE
IPC: H01L27/115
Filed: 1997-03-19
Abstract: L'invention concerne une unité de mémoire ferroélectrique qui permet de réduire davantage les fluctuations du potentiel de référence, dans un système de cellules de mémoire de référence. L'unité de mémoire a un circuit générateur d'un potentiel de référence, qui produit un potentiel de référence, en faisant la moyenne des potentiels lus sur deux condensateurs ferroélectriques CD00 et CD20, pour les cellules de mémoire de référence mémorisant des données de haut niveau et deux condensateurs ferroélectriques CD10 et CD30, pour les cellules de mémoire de référence mémorisant des données de bas niveau.
Patent WO-9738403-A1 (WO)
Title: Systeme de communication constructeur de messages binaire
Inventor: HALL TRACY R
IPC: H04W84/02
Filed: 1997-04-10
Abstract: Cette invention concerne un dispositif de communication de type messagerie électronique dans lequel le mécanisme de codage permet de construire des messages à l'aide de blocs de syntaxe de train binaire. Chaque bloc de syntaxe entre dans une catégorie telle qu'un format de phrase, un sujet, un verbe, un modificateur de lieu, un lieu, un modificateur de date, une date, l'heure, etc. Dans chaque catégorie de bloc de syntaxe se trouve un ensemble de valeurs de code variables, lesquelles vont être converties sous forme de symboles alphanumériques affichés sur un écran de manière à former des mots et des éléments d'écran graphique. En utilisant le mécanisme de codage, les blocs de syntaxe sont raccordés de manière à former des phrases correctes dont les mots sont disposés selon un ordre syntactique logique et en fonction d'une langue donnée. L'accord des mots dans la phrase en est ainsi facilité, tandis que moins de fonctions booléennes sont nécessaires pour effectuer ces accords. L'utilisation de blocs de syntaxe offre également une certaine flexibilité permettant de transformer des phrases affirmatives en phrases interrogatives et vice versa. L'utilisation des blocs de syntaxe permet également d'effectuer une transformation de la structure de la phrase, ceci depuis un dispositif de messagerie fonctionnant dans une langue vers un dispositif de messagerie récepteur fonctionnant dans une autre langue. L'utilisation des blocs de syntaxe permet enfin de diminuer la quantité de mémoire et de réduire la largeur de bande nécessaire à la transmission des données.
Patent WO-9739898-A1 (WO)
Inventor: OKA KOICHI
IPC: B41J2/325
Filed: 1997-04-25
Abstract: To provide a print exhibiting a great visual effect by effecting a mat processing on the surface of a print prepared by an ink ribbon and a thermal transfer head, images each having a color component of yellow (50), magenta (51) and cyanogen (52) are sequentially formed on a photographic paper (23), thereafter a lamination film (53) is applied to the whole surface of the images in the same process, in which process a silky texture or a random raised and recessed pattern is formed on the lamination film (53) to effect a mat processing for providing a great visual effect.
Patent WO-9851606-A1 (WO)
Title: Procede d'installation d'un trottoir roulant dans un immeuble et procede de construction de cet immeuble
Inventor: SAITOH CHUICHI
IPC: B66B21/00
Filed: 1997-05-12
Abstract: Afin de réduire la durée de construction d'un trottoir roulant et d'un immeuble, un trottoir roulant formé par incorporation de marches et d'un plancher d'arrivée dans au moins un bâti est vulcanisé, et le produit obtenu est inséré depuis une ouverture dans le plafond de l'immeuble en construction et y est installé, et ce trottoir roulant sert d'escalier pour les travaux de construction.
Patent WO-9830933-A1 (WO)
Title: Agent d'alignement de cristaux liquides
Inventor: SANO SYUNICHI
IPC: C08G73/10
Filed: 1998-01-09
Abstract: Cette invention concerne un agent d'alignement de cristaux liquides qui se caractérise en ce qu'il comprend un précurseur de polyimide. Ce précurseur contient des unités récurrentes correspondant à la formule générale (1), et possède un taux de polymérisation en termes de viscosité réduite qui varie de 0,05 à 5,0 dl/g, tel que mesuré à 30° C dans du N-méthylpyrrolidone selon une concentration de 0,5 g/dl. Cet agent d'alignement de cristaux liquides comprend également une résine à base de polyimide soluble dans un solvant. Cette résine comprend des unités récurrentes correspondant à la formule générale (2), et possède un taux de polymérisation en termes de viscosité réduite qui varie de 0,05 à 5,0 dl/g, tel que mesuré dans les conditions précitées. La résine représente une quantité qui varie de 1 à 80 % en poids par rapport au poids total des polymères entiers. Dans les formules (1) et (2), R1 et R3 représentent chacun un groupe organique tetravalent consistant en un acide tetracarboxylique ou en un dérivé de celui-ci, tandis que R2 représente un groupe organique divalent consistant en une diamine. R4 représente un groupe organique divalent consistant en une diamine qui ne comporte pas d'alkyle fluoré ni d'alkyle à chaîne longue comportant 6 atomes de carbone ou plus, tandis que m et n représentent chacun un nombre entier positif.
Patent WO-0000968-A1 (WO)
Title: Dispositif d'enregistrement/lecture de disques
Inventor: NAKASHIMA HIROSHI
IPC: G11B17/04
Filed: 1999-06-23
Abstract: Ce dispositif d'enregistrement/lecture de disques comprend un mécanisme de blocage de sortie d'un disque, et il peut augmenter la maniabilité lors de l'installation d'un châssis sur un boîtier. Ce mécanisme de blocage (5), destiné à empêcher la sortie malencontreuse d'une cartouche (6) au moment d'un enregistrement, présente un élément obstructeur (50) monté sur le châssis (1) et il est caractérisé en ce que cet élément (50) est monté mobile entre une première position, dans laquelle le mouvement d'un support (2) ou de la pièce distribuant la cartouche (6) à partir du support (2), dans le sens de distribution de la cartouche, est empêché lors d'un enregistrement, et une seconde position dans laquelle cet élément est libéré, lors du fonctionnement du dispositif dans un autre mode que le mode enregistrement.
Patent WO-0106548-A1 (WO)
Title: Procede et systeme d'exposition
Inventor: AOKI TAKASHI
IPC: G03F7/20
Filed: 1999-07-16
Abstract: L'invention concerne un procédé et un système d'exposition pouvant facilement fournir un gaz pénétrant un faisceau d'exposition, entre un substrat à exposer et un système optique de projection, dans lesquels une lumière d'exposition (IL) ayant traversé un motif d'un réticule (R) est appliquée sur une plaquette (W) au moyen d'un système (PL) optique de projection constitué d'un système catadioptrique afin d'exposer ainsi une image réduite du motif du réticule (R) sur la plaquette (W). Une feuille (33) de guidage de purge pourvue de trous guide (33a) situés près du centre d'un champ de vision est placée entre un élément optique (M2), au niveau de l'extrémité de pointe du système (PL) optique de projection, et la plaquette (W), et ce afin de fournir un gaz de purge pénétrant la lumière d'exposition (IL) à partir d'un dispositif d'alimentation (26) en gaz dans un espace situé entre l'élément optique (M2), à l'extrémité de pointe, et ladite feuille (33). Le gaz de purge s'écoule d'abord vers le bas à travers les trous de purge (33a) en direction de la plaquette (W), puis il s'écoule dans une direction circonférentielle extérieure.
Patent WO-0019541-A1 (WO)
Inventor: YATSUO TSUTOMU
IPC: H01L29/80
Filed: 1999-09-28
Abstract: An electrostatic induction transistor of SiC comprising a first gate layer (4) and a plurality of second shallow and narrowerly-spaced gate layers (41) encompassed by the first gate layer (4). As a result, the electrostatic induction transistor has excellent off characteristics and is manufactured by a method ensuring the process precision.