Patent ES-2527795-T3 (ES)
Title: Aditivos para silano para dispositivos fotovoltaicos de película delgada de silicio
Inventor: HURLEY PATRICK TIMOTHY
IPC: H01L31/20
Filed: 2010-09-13
Granted: 2015-01-29
Abstract: Un método de depósito de una película de silicio amorfo (-Si:H) o de una película de silicio microcristalino (-CSi:H) como película fotoconductora sobre un sustrato, que utiliza silano; hidrógeno; al menos un aditivo escogido entre: (a) silanos de cadena recta de orden superior, escogidos entre: disilano Si2H6, trisilano Si3H8, tetrasilano Si4H10, pentasilano Si5H12, hexasilano Si6H14, heptasilano Si7H16, octasilano Si8H18, nonasilano Si9H20, decasilano Si10H22, otros silanos de cadena recta de fórmula general SixH2x+2 donde x es de 2 a 20 y mezclas de ellos; (b) silanos ramificados de orden superior, escogidos entre: 2-silil-trisilano SiH3-Si(H)(SiH3)-SiH3, 2,2-disilil15 trisilano SiH3-Si(SiH3)2-SiH3, 2-silil-tetrasilano SiH3-Si(H)(SiH3)-SiH2-SiH3, 2,3-disililtetrasilano SiH3- SiH(SiH3)-SiH(SiH3)-SiH3, 2,2-disililtetrasilano SiH3-Si(SiH3)2-SiH2-SiH3, 3-sililpentasilano SiH3-SiH2- SiH(SiH3)-SiH2-SiH3, 2-sililpentasilano SiH3-SiH(SiH3)-SiH2-SiH2-SiH3, 2,3-disililpentasilano SiH3- SiH(SiH3)-SiH(SiH3)-SiH2-SiH3, 2,4-disililpentasilano SiH3-SiH(SiH3)-SiH2-SiH(SiH3)-SiH3, 2-sililhexasilano SiH3-SiH(SiH3)-(SiH2)3SiH3, 3-sililhexasilano SiH3-SiH2-SiH(SiH3)-(SiH2)2SiH3, 2,2-disililpentasilano SiH3-Si(SiH3)2-(SiH2)2-SiH3, 3,3-disililpentasilano SiH3-SiH2-Si (SiH3)2-SiH2 -SiH3, 2,2,3-trisililtetrasilano SiH3-Si(SiH3)2-SiH(SiH3)-SiH3, 2-sililheptasilano SiH3-SiH(SiH3)-(SiH2)4-SiH3, 3-sililheptasilano SiH3-SiH2-SiH(SiH3)-(SiH2)3-SiH3, 4-sililheptasilano SiH3- (SiH2)2-SiH(SiH3)-(SiH2)2-SiH3, 2,2-disililhexasilano SiH3-Si(SiH3)2-(SiH2)3-SiH3, 2,3-disililhexasilano SiH3- SiH(SiH3)-SiH(SiH3)-(SiH2)2-SiH3, 2,4-disililhexasilano SiH3-SiH(SiH3)-SiH2-SiH(SiH3)-SiH2-SiH3, 2,5- disililhexasilano SiH3-SiH(SiH3)-(SiH2)2-SiH(SiH3)-SiH3, 3,3-disililhexasilano SiH3-SiH2-Si(SiH3)2-(SiH2)2- SiH3, 3,4-disililhexasilano SiH3-SiH2-SiH(SiH3)-SiH(SiH3)-SiH2-SiH3, 2,2,3-trisililpentasilano SiH3-Si(SiH3)2- SiH(SiH3)-SiH2-SiH3, 2,2,4-trisililpentasilano SiH3-Si(SiH3)2-SiH2-SiH(SiH3)-SiH3,2,3,3-trisililpentasilano SiH3-SiH(SiH3)-Si(SiH3)2-SiH2-SiH3, 2,3,4-trisililpentasilano SiH3-SiH(SiH3)-SiH(SiH3)-SiH(SiH3)-SiH3, 2,2,3,3-tetrasililtetrasilano SiH3-Si(SiH3)2-Si(SiH3)2-SiH3, otros silanos ramificados de fórmula general SixH2x+2, donde x es un entero de 4 a 20 y mezclas de ellos; (c) silanos cíclicos, escogidos entre: ciclotrisilano Si3H6, ciclotetrasilano Si4H8, ciclopentasilano Si5H10, ciclohexasilano Si6H12, otros silanos cíclicos de fórmula general SixH2x, donde x es un entero de 3 a 20 y mezclas de ellos; (d) silanos cíclicos sustituidos con grupos sililo, escogidos entre: silil ciclotetrasilano SiH3-Si4H7, 1,2-disilil 35 ciclopentasilano (SiH3)2-Si5H8, silil ciclohexasilano SiH3-Si6H11, 1,3-disilil ciclohexasilano (SiH3)2-Si6H10, otros ciclosilanos sustituidos con grupos sililo de fórmula general SiyH3y-SixH2x-y donde x es un entero de 3 a 20 e y es un entero de 1 a 2x y mezclas de ellos; (e) silenos sustituidos con grupos sililo, escogidos entre: 2-tetrasileno SiH3-SiH>=SiH-SiH3, 2,3-disililtetrasil-2- eno SiH3-Si(SiH3)>=Si(SiH3)-SiH3, 2,3-disililpentasil-2-eno SiH3-Si(SiH3)>=Si(SiH3)-SiH2-SiH3, 2,5- disililhexasil-2-eno SiH3-Si(SiH3)>=SiH-SiH2-SiH(SiH3)-SiH3, 2,3,4-trisililhexasil-2-eno SiH3- Si(SiH3)>=Si(SiH3)-SiH(SiH3)-SiH2-SiH3, otros silenos sustituidos con grupos sililo de fórmula general SiyH3y- SixH2x-y donde x es un entero de 2 a 20 e y es un entero de 1 a 2x y mezclas de ellos; y opcionalmente al menos un aditivo adicional escogido entre: (h) silanos sustituidos con halógenos, escogidos entre: monoclorosilano SiH3Cl, diclorosilano SiH2Cl2, triclorosilano SiHCl3, tetraclorosilano (SiCl4) y clorodisilano SiH3-SiH2Cl y sus mezclas; (i) gases que contienen halógenos, escogidos entre: cloro Cl2, cloruro de hidrógeno HCl, trifluoruro de cloro ClF3, trifluoruro de nitrógeno NF3, flúor F2, fluoruro de hidrógeno HF, bromo Br2, bromuro de hidrógeno HBr, ioduro de hidrógeno HI y sus mezclas; en el que el silano utilizado lo es en una cantidad de 5 a 10 % (volumen / volumen), el aditivo (al menos uno) usado lo es en una cantidad de 0,01 a 5 % (v/v), el aditivo adicional (al menos uno), cuando se usa, se hace en una cantidad de 0,01 a 5 % (v/v)y el resto es hidrógeno.