baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-2008111027-A3 (WO)
Title: Réseau à contrôle d'admission par qualité de service
Inventor: LANGE ANDREW SNOWDEN
IPC: H04L12/26
Filed: 2008-03-11
Abstract: Un réseau comprend un gestionnaire de bande passante avancé (ABM) pour gérer une charge lorsqu'un réseau approche ou déplace sa capacité en raison de changements dans le réseau, par exemple, des défaillances de composant ou une croissance incrémentielle. L'ABM rassemble des informations stratégiques provenant de dispositifs d'écoute à distance concernant la manière dont le trafic est routé sur le réseau complet, et est rendu abstrait dans des tables point à point. Les informations rassemblées aident également à fournir une planification de service à long terme. Des points d'exécution de politique autonomes (PEP) fournissent des contrôles à court terme de leur côté. Une action intelligente peut être entreprise par l'ABM par l'intermédiaire des PEP par téléchargement de tables d'admission basées dans les abstractions point à point. Le but est de maintenir le niveau de service le plus haut pour la plupart des utilisateurs et d'empêcher des défaillances totales. Des connexions réseau demandées sont soit admises, soit refusées à ces fins.
Patent WO-2009044370-A3 (WO)
Title: Écoulement inversé à travers une plate-forme en vue d'une analyse rapide d'analytes cibles à sensibilité et spécificité élevées et dispositif associé
Inventor: TAM JOSEPH
IPC: G01N35/00
Filed: 2008-10-03
Abstract: L'invention concerne des procédés de réalisation rapide et définitive d'identification d'analytes différentes tels que des profils de méthylation d'ADN, de génotypage et des profils de protéines par analyse réseau au moyen d'un procédé d'écoulement traversant latéral inversé et leurs dispositifs associés. L'invention concerne notamment des jeux de transfert dot-blot, slot-blot ou dot-blot inverse permettant d'obtenir un criblage à haut débit. L'invention concerne également un procédé de phénotypage d'un être humain ou de n'importe quel organisme par analyse de protéines et dispositif associé.
Patent WO-2010015919-A3 (WO)
Title: Pièce de courroie pour le transport d'articles et/ou pour des transmissions de puissance et procédé d'obtention d'une courroie en boucle fermée à partir de ladite pièce de courroie
Inventor: VINCENZI MAURIZIO
IPC: F16G3/08
Filed: 2009-08-05
Abstract: L'invention concerne une pièce de courroie, du type pouvant être fermée comme une boucle et utilisable pour le transport d'articles et/ou pour des transmissions de puissance, qui comprend un corps central (80) et deux extrémités accouplables (2), (3), qui: s'étendent parallèlement à l'axe longitudinal de la pièce de courroie (1); présentent des dimensions transversales inférieures à celles du corps central (80); et au niveau des côtés longitudinaux (81), (82) présentent des profils d'accouplement complémentaires (4), (5), comprenant une pluralité de premières (6) et secondes (7) parties. Lesdites parties sont agencées en contact mutuel lorsque les extrémités (2), (3) sont accouplées et appuient l'une contre l'autre dans le cas où un effort de traction longitudinal est appliqué sur la pièce de courroie (1), fermée comme une boucle, pour empêcher les extrémités (2,3) de glisser longitudinalement. L'invention concerne également un procédé pour obtenir une courroie en boucle fermée qui fait appel à une pièce de courroie (1), comprenant les étapes consistant: à rapprocher les extrémités (2), (3) suivant une direction orthogonale par rapport à l'extension de la pièce de courroie (1), jusqu'à ce qu'elles soient accouplées; et à fixer les extrémités (2), (3) l'une par rapport à l'autre à l'aide d'une matière thermoplastique de fusion ou par application de petits blocs.
Patent WO-2010026461-A3 (WO)
Title: Appareil de production de granulés
Inventor: ROTA GUIDO
IPC: B30B11/20
Filed: 2009-08-31
Abstract: L'invention porte sur un appareil de production de granulés qui comprend une chambre de pelletisation (3) pourvue d’une entrée. La chambre (3) comprend une matrice (7) dont une paroi comporte des trous (8) pour extruder les granulés, et un moyen presseur associé de manière fonctionnelle à ladite matrice (7) pour presser le matériau en vrac devant être pelletisé hors de ladite chambre de pelletisation (3) à travers les trous (8) de ladite matrice (7). De manière avantageuse, le moyen presseur comprend un tambour (9) qui s'ajuste dans la matrice (7) avec un certain jeu pour se rapprocher/s'éloigner des trous (8), un moyen d'entraînement faisant fonctionner le tambour (9) pour provoquer son déplacement à l'intérieur et par rapport à la matrice (7).
Patent WO-2009090571-A3 (WO)
Title: Reconstruction de multiples segments
Inventor: SONG XIYUN
IPC: A61B6/03
Filed: 2009-01-07
Abstract: L'invention porte sur un système d'imagerie médicale qui comprend un composant de transformation de vue (210) et un combinateur de segment (212). Le composant de transformation (210) transforme des données de projection dans chaque vue d'une pluralité de segments individuels, qui comprennent chacun au moins une vue. Les données de projection transformées pour des vues sensiblement similaires parmi la pluralité de segments individuels ont un rayon de rotation commun. Le combinateur de segment (212) combine les données de projection transformées pour produire un ensemble de données unique qui comprend les données de projection transformées pour chacune des vues de chacun de la pluralité de segments individuels.
Patent WO-2011154758-A3 (WO)
Title: コネクタ
Inventor: KOBAYASHI YAZUAKI
IPC: H01R12/77
Filed: 2010-05-19
Abstract: 【課題】アクチュエータを支持する金属梁を設けずとも、端子と平型ケーブルとの接触圧を確保することが可能なコネクタを提供する。【解決手段】本発明のコネクタ１において、ハウジング２は端子４に対向する凸部２７を有し、アクチュエータ３は凸部２７に嵌合する凹部を有し、凹部に設けられる軸部３６３が凸部２７に設けられる軸受部２７ａに挿入される。このアクチュエータ３は、カム部３６１が凸部２７と端子４との間に嵌め込まれ、カム部３６１と端子４との間に平型ケーブルが挟持される挟持位置と、挟持が解除される解除位置と、の間を回動可能に設けられる。
Patent WO-2011098874-A3 (WO)
Title: Electronic device including keypad with keys having a ridged surface profile
Inventor: LEUNG KWOK CHING
IPC: H04M1/23
Filed: 2011-01-25
Abstract: According to one aspect, a portable electronic device having a base portion having a keypad, and a sliding portion. The sliding portion is coupled to the base portion and slideable relative thereto between a closed position wherein the keypad is covered by the sliding portion, and an open position wherein the keypad is exposed. The keypad includes a plurality of keys, at least some of the plurality of keys having a ridge that extends upwardly from the top surface of the key. Each ridge extends between a lower edge of the key and an upper edge of the key and is curved therebetween. Each ridge is offset from a midline of each key.
Patent WO-2011107875-A3 (WO)
Title: Dispositif pour le traitement ou la prévention de maladies cérébrales, de l'hypertension artérielle, de l'accident vasculaire cérébral, de maladies neurodégénératives
Inventor: BRUNELLI MARCELLO
IPC: A63B23/03
Filed: 2011-03-07
Abstract: L'invention porte sur un dispositif (1) pour le traitement ou la prévention de maladies cérébrales, de l'hypertension artérielle, de l'accident vasculaire cérébral, de maladies neurodégénératives, lequel dispositif fournit un moyen destiné à provoquer une hyperextension de la bouche et à activer les sensations proprioceptives des muscles mandibulaires. Le moyen destiné à provoquer une hyperextension de la bouche comprend une partie centrale (30) comprenant une lame métallique pliée en forme de « U » d'environ 1 à 2 mm d'épaisseur, par exemple 1,2 mm. A l'extrémité (31.32) de la partie centrale (30), sont prévues deux parties laminaires incurvées (10.20) conçues pour être localisées, en utilisation, au niveau de la paroi supérieure (41) et au niveau de la paroi inférieure (42) de la cavité buccale d'un patient (50). De manière plus détaillée, les parties laminaires incurvées (10.20) peuvent être reliées à la partie centrale (30) par l'intermédiaire d'une partie en escalier respective (11.21). Ceci permet à la partie centrale (30) d'aller au-delà des arcs dentaires (51, 52) du patient (50), de façon à disposer les parties laminaires (10.20) de manière adjacente au palais et à l'espace entre la langue et l'arc dentaire inférieur du patient, ou directement sur la langue elle-même. Le métal du dispositif (1) a une dureté telle que celle-ci permet, en utilisation, d'étirer les muscles adducteurs mandibulaires.
Patent WO-2012090146-A3 (WO)
Title: Procédé permettant d'établir en ligne une police d'assurance et dispositif permettant la mise en oeuvre dudit procédé
Inventor: ERNST JUERG RALPH
IPC: G06Q40/08
Filed: 2011-12-23
Abstract: Procédé permettant de commander informatiquement un certificat d'assurance pour des véhicules sur une page d'accueil, selon lequel le preneur d'assurance est lui-même autorisé à accéder à un système de compensation des assurances pour faire établir un certificat d'assurance électronique et envoyer électroniquement ce certificat directement au service des immatriculations, après quoi le preneur d'assurance est invité automatiquement à aller chercher les plaques minéralogiques et l'autorisation de circulation du véhicule auprès du service des immatriculations. Ce procédé permet aussi de conclure électroniquement une police auprès d'autres assurances, y compris le paiement électronique, l'établissement électronique de la police et le règlement des dommages automatisé électronique.
Patent WO-2013088247-A3 (WO)
Title: Produit moulé de fixation au toucher
Inventor: CINA MICHAEL
IPC: B29C44/12
Filed: 2012-12-12
Abstract: Selon l'invention, une bande d'éléments de fixation au toucher mâles comprend une base allongée ayant une certaine épaisseur et définissant une direction longitudinale et une direction latérale perpendiculaire à la direction longitudinale à travers la base entre les bords longitudinaux de la base, et un champ d'élément de fixation mâles ayant chacun une tige s'étendant à partir d'une face large de la base et une tête à une extrémité supérieure de la tige et surplombant la base pour venir en prise avec des fibres. Les tiges d'élément de fixation et la face large de la base forment ensemble une masse unitaire de résine. La bande d'éléments de fixation au toucher mâles comprend également des parois de barrière longitudinales s'élevant à partir de la face large de la base de chaque côté du champ d'éléments de fixation mâles, et une paire de parois segmentées s'élevant à partir de la face large de la base, chaque paroi segmentée de la paire étant disposée latéralement vers l'extérieur d'une paroi la plus proche respective des parois de barrière longitudinales et comprenant une série de segments de paroi définissant des espaces longitudinaux entre ceux-ci. Chaque paroi segmentée et sa paroi de barrière longitudinale la plus proche définissent entre celles-ci un espace de relief de mousse pour recevoir un matériau en mousse. Chaque paroi segmentée définit un espace d'écoulement pour permettre au matériau en mousse d'entrer dans l'espace de relief de mousse.
Patent WO-2014135943-A3 (WO)
Title: Aircraft floor incorporating a ground plane
Inventor: ROBOREL DE CLIMENS LODY
IPC: H02G3/04
Filed: 2014-02-26
Abstract: A system for shielding of at least one component (28) within an aircraft (10) includes a floor panel disposed at least partially between joists (38) supporting a floor (30) within the aircraft and a ground plane (44) connected to a bottom surface of the floor panel. The ground plane extends at least partially between adjacent joists. At least one bracket (52) electrically connects the ground plane to at least one of the joists.
Patent WO-2016051269-A3 (WO)
Inventor: FUJIMURA MAKOTO
IPC: H05K1/18
Filed: 2015-09-29
Abstract: 【課題】耐熱性（例えば、半田耐熱性）に優れ、導通信頼性に優れた小径のビアホールを形成可能な積層体を製造するための方法を提供すること。 【解決手段】支持体上に、熱硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂組成物層を形成することで、支持体付き硬化性樹脂組成物層を得る工程と、前記支持体付き硬化性樹脂組成物層を、硬化性樹脂組成物層形成面側にて、基材に積層させることで、基材と、支持体付き硬化性樹脂組成物層とからなる支持体付き硬化前複合体を得る工程と、前記複合体について第１の加熱を行い、前記硬化性樹脂組成物層を熱硬化させることで、硬化樹脂層とすることで、基材と、支持体付き硬化樹脂層とからなる支持体付き硬化複合体を得る工程と、前記支持体付き硬化複合体の前記支持体側から穴開けを行うことで、前記硬化樹脂層にビアホールを形成する工程と、前記支持体付き硬化複合体から前記支持体を剥離することで、基材及び硬化樹脂層からなる硬化複合体を得る工程と、前記硬化複合体のビアホール内の樹脂残渣を除去する工程と、前記硬化複合体について第２の加熱を行う工程と、前記硬化複合体のビアホールの内壁面、及び、前記硬化樹脂層上に、導体層を形成する工程と、を有することを特徴とする積層体の製造方法を提供する。
Patent WO-2018150388-A3 (WO)
Title: Système et procédé de programmation graphique
Inventor: GHASEMIZADEH MEHRDAD
IPC: G06F8/34
Filed: 2018-02-19
Abstract: La présente invention concerne un système et un procédé de programmation graphique dans lesquels des structures comprennent des signaux de déclenchement internes ou externes, et qui peuvent faire l'objet d'une configuration de sorte à administrer et à commander l'ensemble des traitements dans un programme graphique. Chaque bloc comprend ses propres déclencheurs d'entrée, et chaque bloc peut être activé par l'intermédiaire du déclencheur de sortie d'un bloc connecté. En outre, des déclencheurs externes dérivés du système peuvent stimuler indépendamment le bloc graphique.
Patent WO-2019064228-A3 (WO)
Inventor: BELLESCHI MARCO
IPC: H04W72/04
Filed: 2018-09-27
Abstract: L'invention concerne un procédé dans un dispositif sans fil pour transmettre des données sur des porteuses de liaison latérale. Le procédé consiste à : obtenir un seuil relatif à un débit de données; déterminer une ou plusieurs porteuses de liaison latérale sur la base du seuil; sélectionner une ou plusieurs porteuses de liaison latérale à partir de la ou des porteuses de liaison latérale déterminées pour la transmission de données; transmettre des données à l'aide de la ou des porteuses de liaison latérale sélectionnées. Le débit de données peut correspondre à un état de tampon du dispositif sans fil, à un débit binaire ou à une mesure de congestion des porteuses de liaison latérale. L'invention concerne également un dispositif sans fil pour exécuter le procédé.
Patent WO-2007107972-A3 (WO)
Title: Procede, appareil et systeme de surveillance de la fourniture de service de contenu via de multiples reseaux de telecommunications
Inventor: ALON ZEEV
IPC: H04L12/66
Filed: 2006-03-21
Abstract: La présente invention concerne un appareil de commutation servant à connecter les appels entre différents réseaux téléphoniques. L'appareil de commutation comprend un commutateur connecté entre un fournisseur de télécommunications local et un fournisseur de contenu. Le commutateur commute la communication de télécommunications du fournisseur de télécommunications local vers les fournisseurs de contenu. En conséquence, le commutateur est configuré comme un commutateur de passerelle internationale permettant ainsi de s'assurer que les demandes de contenu du fournisseur de contenu sont commutées via une liaison internationale.
Patent WO-2007074463-A3 (WO)
Title: Verre arme
Inventor: BESERGLIK DANIEL
IPC: E06B9/00
Filed: 2006-12-28
Abstract: Verre feuilleté de protection comportant une plaque sacrificielle exposée à la direction d’impact attendue d’un projectile et placée devant une plaque en verre armé fonctionnelle principale. Des distanceurs maintiennent les deux plaques espacées.
Patent WO-2007148336-A3 (WO)
Title: Système de régulation de température
Inventor: GLOBERMAN OREN
IPC: A61K6/884
Filed: 2007-06-19
Abstract: L'invention porte sur un procédé de régulation d'un temps de prise d'un matériau de comblement osseux, ce procédé consistant à: (a) combiner au moins deux composants de matériau de comblement de façon à obtenir un mélange biocompatible; (b) choisir un temps de prise pour le mélange et (c) réguler la température du mélange de façon à influencer une cinétique réactionnelle de sorte que le mélange ne prenne pas avant le temps de prise choisi.
Patent WO-2023012804-A3 (WO)
Inventor: ULMER JOSHUA
IPC: B25J19/00
Filed: 2022-08-04
Abstract: Un manipulateur robotique comprend : un support robotique; un bras robotique articulé monté sur ledit support robotique; ledit bras robotique comprenant une chaîne d'éléments articulés, ladite chaîne comprenant des éléments proximal et distal à ses extrémités; un effecteur terminal pouvant être relié audit élément distal; ledit effecteur terminal comprenant au moins un élément du groupe constitué d'un actionneur, d'un capteur, d'un commutateur de contact et de toute combinaison de ceux-ci; un module de commande comprenant en outre un circuit de commande, un collecteur de soupape et une jonction de signal électronique; ledit circuit de commande étant configuré pour commander ledit au moins un collecteur de soupape et un circuit de signal électronique et gérer ledit au moins un actionneur à travers celui-ci. Le module de commande est monté sur ledit support robotique et pourvu d'un siège de montage configuré pour fixer ledit terminal proximal dudit bras robotique audit module de commande.
Patent WO-2011141927-A3 (WO)
Title: Gazéifieur à deux étages servant à générer un gaz de synthèse
Inventor: BADHE RAJESH MURALIDHAR
IPC: C10J3/18
Filed: 2011-05-06
Abstract: L'invention concerne un système de gazéification (100) servant à gazéifier des charges d'alimentation variées. Un premier étage gazéifieur (105) reçoit une charge d'alimentation provenant soit d'un premier groupe de charges d'alimentation, soit d'un deuxième groupe de charges d'alimentation, soit des deux. Le premier étage gazéifieur décompose la charge alimentation reçue pour produire un premier produit. Un second étage gazéifieur (115) est relié au premier étage gazéifieur (105) pour recevoir le premier produit. En outre, le second étage gazéifieur (115) reçoit une charge d'alimentation provenant soit d'un troisième groupe de charges d'alimentation, soit d'un quatrième groupe de charges d'alimentation, soit des deux. Le second étage gazéifieur (115) gazéifie le premier produit et la charge d'alimentation reçue pour produire un gaz de synthèse.
Patent WO-2013183063-A3 (WO)
Title: Système de commande de mode puissance ou de mode économie d'énergie pour véhicule
Inventor: RAMASAMY VELUSAMY
IPC: F02D41/24
Filed: 2013-06-03
Abstract: La présente invention concerne un véhicule à mode de sélection de fonctionnement. Elle concerne en particulier un véhicule à rampe commune et commande électronique équipé d'un mode de sélection de fonctionnement permettant à l'utilisateur du véhicule de sélectionner soit un fonctionnement en mode puissance soit un fonctionnement en mode économie d'énergie selon les conditions d'encombrement de la route. L'invention concerne un système permettant la sélection soit d'un fonctionnement en mode puissance fondé sur des paramètres de conduite tenant compte de la puissance, soit d'un fonctionnement en mode économie fondé sur un choix de conduite tenant compte de la consommation de carburant, ce qui rend superflu le recours à des dispositifs interface supplémentaires entre le moteur et une unité de commande du moteur.
Patent WO-2014155391-A3 (WO)
Inventor: BHAND SUNIL
IPC: B01L3/00
Filed: 2014-03-19
Abstract: La présente invention concerne un dispositif de détection et d'analyse des mycotoxines. Le dispositif est basé sur une mesure d'impédance utilisant une puce de détection reposant sur des anticorps monoclonaux contre les aflatoxines, les ochratoxines et similaires pour leur détection. Ce dispositif est sensible, économique, portable, simple, capable de dépister rapidement et apte à déterminer différentes aflatoxines.
Patent WO-2005120643-A3 (WO)
Inventor: CARMINATI PAOLO
IPC: A61K31/4741
Filed: 2005-06-08
Abstract: The use of 7-t-butoxyiminomethylcamptothecin is described in the preparation of a medicament useful for the treatment of uterine neoplasms, particularly cancer of the endometrium and of the neck of the womb.
Patent WO-2008004693-A3 (WO)
Title: Commutateur crossbar série haute vitesse basé sur matrice pour ate
Inventor: KUSHNICK ERIC BARR
IPC: H04L12/56
Filed: 2007-07-03
Abstract: L'invention concerne un module de bouclage dans lequel N voies d'entrée de données numériques série haute vitesse (HSS) différentielles sont reçues et envoyées à un convertisseur série-parallèle, dont la sortie se présente sous forme de données en parallèle de M bits de largeur. Ainsi, la vitesse effective des données est divisée par M à 1/M fois les vitesses 'matricielles'. Si les voies contiennent une horloge intégrée, l'horloge est extraite. Les données en parallèle sont ensuite envoyées à un commutateur crossbar non bloquant, lequel peut acheminer l'une quelconque des N entrées de données en parallèle à M bits vers l'une quelconque de Q sorties de données en parallèle par utilisation efficace d'un multiplexeur pour chaque sortie en parallèle. Chaque sortie de données en parallèle du commutateur crossbar est envoyée à un convertisseur parallèle-série, dont la sortie est une sortie série haute vitesse. Chaque sortie série haute vitesse est introduite dans un circuit générateur de gigue, puis acheminée vers un circuit de commande de sortie.
Patent WO-2005084146-A3 (WO)
Title: Systeme d'acces mobile a bande large sans fil permettant de transferer des informations de service au cours d'une transmission
Inventor: JIN YOUNG SUK
IPC: H04W36/08
Filed: 2005-03-04
Abstract: La présente invention concerne le transfert d'informations de qualité de service (QoS) d'une station de base cible pour un débit de service admis au cours d'une opération de transfert. Un service est fourni à une station mobile à partir d'une station de base de service, et la station de base de service reçoit une demande de transfert de la station mobile. La station de base de service envoie alors une notification de transfert à une station de base cible, la notification de transfert contenant un paramètre de QoS associé au service. La station de base de service reçoit alors de la station de base cible une réponse de notification de transfert, la réponse de notification de transfert contenant des informations de prévision du niveau de service déterminées en réponse au paramètre QoS associé au service. La station de base de service fournit enfin une réponse de transfert à la station mobile, la réponse de transfert contenant les informations de prévision du niveau de service.
Patent WO-2009038364-A3 (WO)
Title: Procédé de multiplexage d'informations de données et d'informations de commande dans un système de communication sans fil
Inventor: KIM KI HWAN
IPC: H04B7/26
Filed: 2008-09-18
Abstract: L'invention concerne un procédé de multiplexage d'un flux d'informations de commande, et d'un flux d'informations de données comprenant des symboles systématiques et non systématiques dans un système de communication mobile sans fil. Le procédé de multiplexage consiste à mapper le flux d'informations de données dans une zone de ressource, de sorte que les symboles binaires systématiques ne soient pas mappés dans une zone de ressource spécifique lorsque le flux d'informations de commande doit être mappé, et à mapper le flux d'informations de commande dans la zone de ressource spécifique.
Patent WO-2009088249-A3 (WO)
Title: 태양광을 흡수하여 전기에너지로 전환하는 화합물 및 이의 제조 방법
Inventor: KIM YOUNG-KYOO
IPC: H01L31/042
Filed: 2009-01-09
Abstract: 본 발명은 태양광을 흡수하는 화합물과 상기 화합물의 제조방법 및 그 응용에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 상기 화합물은 풀러렌(fullerene)과 적어도 하나 이상의 트리아릴아민(triarylamine) 유도체가 결합하여 이루어진 것을 포함하는 화합물로서, 상기 풀러렌(fullerene)은 탄소수가 C60, C70, C78, C82 및 C84인 것 중에서 어느 하나로 선택되고, 상기 트리아릴아민(triarylamine) 유도체는 적어도 하나 이상의 지방족 또는 방향족 탄화수소와 결합하며, 도펀트(dopant)를 결합시키는 것을 특징으로 하는 화합물에 관한 것이다. 상기 화합물은 풀러렌(fullerene) 유도체를 합성하는 풀러렌(fullerene)유도체합성단계, 상기 풀러렌(fullerene) 유도체에 트리아릴아민(triarylamine) 유도체를 결합시켜서 풀러렌-트리아릴아민(triarylamine) 부가생성물(adduct)을 제조하는 풀러렌-트리아릴아민(triarylamine)합성단계, 상기 부가생성물(adduct)을 유기용매에 용해시켜 부가생성물용액을 제조하는 부가생성물용액제조단계 및 상기 부가생성물용액에 산을 천천히 적가하여 도핑(doping)반응을 시키는 도핑반응단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Patent WO-2009145492-A3 (WO)
Inventor: KIM KAB-SEOG
IPC: C23C14/35
Filed: 2009-04-03
Abstract: 마그네트론 스퍼터링에 의한 후막제조방법이 개시된다. 본 발명의 후막 제조방법은, 기판 상에 마그네트론 스퍼터링 방법에 따라 압축잔류응력을 가지는 제1박막을 형성하는 단계와, 상기 제1박막 위에 마그네트론 스퍼터링 방법에 따라 인장잔류응력을 가지는 제2박막을 형성하는 단계와, 상기 제1박막 및 제2박막을 증착하는 단계를 적어도 1회이상 반복하여 전체 잔류 응력이 기 설정된 범위내로 제어되는 후막을 증착하는 단계를 포함한다. 이러한 후막 제조방법에 의해, 전체 후막의 응력을 용인 가능한 범위내에서 제어하면서 이종 물질 뿐만 아니라 동일 물질의 후막을 형성할 수 있다.