baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102007042678-B4 (DE)
Title: Niederleistungs-Schwingungssensor- und Drahtlossendersystem
Inventor: ROBINSON JAMES C
IPC: G01M7/02
Filed: 2007-09-10
Granted: 2014-07-10
Abstract: Messinstrument, das umfasst: a. eine Sensorschaltung zum Erfassen eines Parameters einer Maschine und Erzeugen eines dynamischen Signals anhand des erfassten Parameters; b. einen Analog/Digital-Umsetzer (17) zum Empfangen des dynamischen Signals und Umsetzen des dynamischen Signals in ein digitales Format, wodurch ein digitales Signal, das mehrere Datenpunkte aufweist, erzeugt wird; c. einen Prozessor (20), der geschaltet ist, um das digitale Signal zu empfangen und zum Bestimmen eines Pegels, der einem Spitzenwert des digitalen Signals über einen bestimmten Bereich von Datenpunkten des digitalen Signals entspricht, und zum Erzeugen von Pegeldaten in einem Steuerprotokoll, wobei die Pegeldaten dem bestimmten Pegel entsprechen; d. eine Leistungsversorgung (26), die geschaltet ist, um den Prozessor (20) zu versorgen, und durch den Prozessor (20) gesteuert wird, um den Leistungsverbrauch effizient zu verwalten; und e. ein Datenübertragungsmodul (22) zum Übertragen der Pegeldaten in einem Steuerprotokollnetz; wobei das Datenübertragungsmodul (22) unabhängig von dem Prozessor (20) ständig mit Leistung versorgt wird.
Patent DE-102007046374-B4 (DE)
Title: Auswechselbares Armblatt
Inventor: STEPHANIE KELLER E.K.
IPC: A41D27/12
Filed: 2007-09-27
Granted: 2014-02-27
Abstract: Meine Erfindung besteht darin, Achselpads in einer neuen 3D-Form herzustellen, die sich dadurch besonders gut der Kleidung anpassen. Die Achselpads bestehen aus zwei sichelformigen Flügeln, die oben miteinander verbunden werden. Die Form wurde einem Schnittmuster für Hemden entnommen. Abweichungen von dieser Standardform können sein, andere Größen, andere Farben oder auch einteilige Achselpads. Jedoch immer dadurch gekennzeichnet, dass die Form einem Schnittmuster entnommen ist, wodurch es sich der Kleidung ideal anpasst, auch bei einem einteiligem Achselpad wird die Sichelform verwendet.
Patent DE-102007057432-B4 (DE)
Title: Hydrodynamische Kopplungseinrichtung
Inventor: FAMBACH RALF
IPC: F16H45/02
Filed: 2007-11-29
Granted: 2020-01-09
Abstract: Hydrodynamische Kopplungseinrichtung, insbesondere Drehmomentwandler, umfassend ein Gehäuse (12) mit einem Pumpenrad (23), ein in einem Innenraum (26) des Gehäuses (12) angeordnetes Turbinenrad (28) und eine Überbrückungskupplungsanordnung (42) mit einer ersten Reibflächenformation (44), die mit dem Gehäuse (12) zur gemeinsamen Drehung um eine Drehachse (A) verbunden ist, einer zweiten Reibflächenformation (46), die mit dem Turbinenrad (28) zur gemeinsamen Drehung verbunden ist, und einem Kolbenelement (56), wobei die zweite Reibflächenformation (46) über eine Torsionsdämpferanordnung (34) mit einer Turbinenradnabe (36) des Turbinenrads (28) gekoppelt ist, wobei die Torsionsdämpferanordnung (34) einen ersten Torsionsschwingungsdämpferbereich (64) mit einem mit der zweiten Reibflächenformation (46) verbundenen ersten Eingangsbereich (68) und einem über eine Mehrzahl erster Dämpferfedereinheiten (76) mit dem ersten Eingangsbereich (68) gekoppelten ersten Ausgangsbereich (72) sowie einen zweiten Torsionsschwingungsdämpferbereich (66) mit einem mit dem ersten Ausgangsbereich (72) verbundenen zweiten Eingangsbereich (78) und einem über eine Mehrzahl zweiter Dämpferfedereinheiten (84) mit dem zweiten Eingangsbereich (78) gekoppelten zweiten Ausgangsbereich (82) umfasst, wobei der erste Ausgangsbereich (72) mit dem zweiten Eingangsbereich (78) über einen dritten Torsionsschwingungsdämpferbereich (94) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Torsionsschwingungsdämpferbereich (94) einen mit dem ersten Ausgangsbereich (72) verbundenen dritten Eingangsbereich (92) und einen über eine Mehrzahl dritter Dämpferfedereinheiten (98) mit dem dritten Eingangsbereich (92) gekoppelten dritten Ausgangsbereich (96) aufweist.
Patent DE-102007058437-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Informationsvermittlung an den Fahrer eines Kraftfahrzeugs
Inventor: LINDBERG THOMAS
IPC: G02B27/01
Filed: 2007-12-05
Granted: 2022-03-10
Abstract: Verfahren zur Informationsvermittlung an den Fahrer eines Kraftfahrzeugsbei dem optische Informationsanzeigen mittels eines Head-up-Display dem Fahrer zur Ansicht gebracht werden,wobei die Gesamtanzeige des Head-up-Display eine Gruppe benachbarter Anzeigefelder umfasst, in welchen Informationsanzeigen anzeigbar sind,jedes Element einer Menge möglicher Informationsanzeigen zur Anzeige einem der Anzeigefelder zugeordnet ist,charakteristische Fahrsituationsparameter der aktuellen Fahrsituation bestimmt werden, für jedes Anzeigefeld abhängig von den charakteristischen Fahrsituationsparametern eine Priorisierung der diesem Anzeigefeld zugeordneten Informationsanzeigen vorgenommen wird,der Inhalt jedes Anzeigefelds in Abhängigkeit von der für dieses Anzeigefeld vorgenommenen Priorisierung festgelegt wird als diejenige Informationsanzeige, welche die höchste Priorität unter den diesem Anzeigefeld zugeordneten Informationsanzeigen besitzt unddie abhängig von den charakteristischen Fahrsituationsparametern vorgenommene Priorisierung von einem Bediener mittels eines Bedienelements veränderbar ist.
Patent DE-102008007106-B4 (DE)
Title: Sensorbefestigungsanordnung
Inventor: SPRATTE JOACHIM
IPC: F16B13/04
Filed: 2008-01-31
Granted: 2010-12-16
Abstract: Sensorbefestigungsanordnung mit  einer zur Befestigung an einem Bauteil (6) vorgesehenen Sensorhalterung (3), an der wenigstens ein Sensor (2) befestigt ist,  dadurch gekennzeichnet, dass  die Sensorhalterung (3) wenigstens ein fingerartiges Befestigungselement (4) mit einem Loch (7) aufweist, in dem ein Spreizelement (8) verschiebbar einliegt, und  das Befestigungselement (4) durch Verschieben des Spreizelements (8) zumindest bereichsweise aufgespreizt wird.
Patent DE-102008007222-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung mit Störstellen dotiertem Widerstandselement
Inventor: FUKAMI YUKO
IPC: G01F1/692
Filed: 2008-02-01
Granted: 2014-03-13
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung (100) mit den folgenden Schritten: Ausformen eines Einkristallsiliziumfilms (160) an einem Halbleitersubstrat (110) über einer Isolationsschicht (120); und Dotieren von Störstellen in den Einkristallsiliziumfilm (160), wodurch ein Widerstandselement (131, 132, 133, 134) ausgeformt wird, wobei die Störstellen Phosphorionen sind, dadurch gekennzeichnet, dass eine Störstellendichte, die in den Einkristallsiliziumfilm (160) dotiert wird, höher als 4 × 1019 cm–3 und geringer als 1 × 1020 cm–3 ist.
Patent DE-102008014275-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Bestimmen einer Entfernung zu einem Objekt
Inventor: OSSIG MARTIN
IPC: G01S17/89
Filed: 2008-03-03
Granted: 2017-04-13
Abstract: Vorrichtung zum Bestimmen einer Entfernung (d) zu einem Objekt (20), mit a) einem Lichtsender (12) zum Aussenden eines Sendelichtstrahls (18), b) einem Lichtempfänger (14) zum Empfangen eines Empfangslichtstrahls (24), der durch Reflexion des Sendelichtstrahls (18) an dem Objekt (20) entsteht, c) einer Auswerteeinheit (16) zum Bestimmen der Entfernung (d) anhand einer Laufzeit des Sende- und Empfangslichtstrahls (18, 24), d) einer Empfangsoptik (58) des Lichtempfängers (14) mit einem ersten Linsenelement (60) und einer Lochblende (64), e) einem lichtundurchlässiges Element (12), welches einen zentralen Bereich der Empfangsoptik (58) so abschattet, dass der Empfangslichtstrahl (24) in Form eines Lichtrings (102) auf die Lochblende (64) fällt, d) einem im Querschnitt weitgehend hutförmigen zweiten Linsenelement (62), das zwischen dem ersten Linsenelement (60) und der Lochblende (64) angeordnet ist und das einen im Querschnitt dickeren Zentralbereich (84), ein im Querschnitt dünneren Peripheriebereich (86) und einen Übergangsbereich (88) aufweist, der den dickeren Zentralbereich (84) und den dünneren Peripheriebereich (86) verbindet, wobei der Zentralbereich (84) im Querschnitt weitgehend eben ist, und e) einer Maske (92) aus einem lichtundurchlässigen Material, die den Übergangsbereich (88) teilweise abdeckt und den Zentralbereich (84) frei lässt.
Patent DE-102008014919-B4 (DE)
Title: Druckbetätigter Mechanismus und denselben beinhaltende Wasserpumpe
Inventor: HANAI SHUICHI
IPC: F04D1/00
Filed: 2008-03-19
Granted: 2013-09-12
Abstract: Druckbetätigter Mechanismus, beinhaltend: eine Druckkammer (31b); einen Betriebsbereich (30), der gemäß einer Druckveränderung in der Druckkammer (31b) einen angetriebenen Bereich antreibt oder einen gesteuerten Bereich steuert; einen Druckweg (72), der eine Verbindungsleitung (58, 59) beinhaltet, deren eines Ende mit der Druckkammer (31b) verbunden ist, deren anderes Ende abzweigt und jeweils mit einem ersten Druckbereich und einem zweiten Druckbereich verbunden ist, in dem der Druck geringer ist als der Druck in dem ersten Druckbereich, und von dem zumindest ein Teil an der und von der Druckkammer (31b) montierbar und demontierbar ist; einen Schaltbereich (55), der auf dem Druckweg (72) angeordnet ist, zum Ändern eines Verbindungszustands zwischen der Druckkammer (31b) und den Druckbereichen, um eine Druckveränderung in der Druckkammer (31b) zu bewirken; und einen Demontageerfassungsbereich (60), der mit dem Druckweg (72) verbunden ist, zum Erfassen einer Demontage der Verbindungsleitung (58, 59) von der Druckkammer (31b), basierend auf einer Veränderung eines Strömungszustands in der Verbindungsleitung (58, 59), dadurch gekennzeichnet, dass: ein Leitungsquerschnitt von einem Abschnitt des Druckwegs (72) zwischen einem demontierbaren Bereich der Verbindungsleitung (58, 59) und einem Verbindungsbereich des Demontageerfassungsbereichs (60) eine vorbestimmte Größe aufweist, so dass eine Erfassung einer Demontage durch den Demontageerfassungsbereich (60) möglich ist; und einen auf dem Druckweg (72) angeordneten Druckübertragungsreduktionsbereich (71) zum Verhindern, dass sich ein Druck in der Druckkammer (31b) rasch verändert, wenn der Schaltbereich (55) geschaltet wird.
Patent DE-102008027511-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren von Thermoschaltern
Inventor: SJOGREN ALLEN ERIK
IPC: G01K15/00
Filed: 2008-06-10
Granted: 2011-07-21
Abstract: Verfahren zum Testen eines Thermoschalters (22) mit einer Schalter-Nenntemperatur und einem Fühler (20), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Eingeben der Schalter-Nenntemperatur in eine Steuerung (12); Platzieren des Fühlers (20) in thermischem Kontakt mit einer Heizeinrichtung, die mit der Steuerung (12) gekoppelt ist; Modulieren einer Heizeinrichtungstemperatur mit einer ersten Rate innerhalb eines Bereichs, der die Schalter-Nenntemperatur beinhaltet; Detektieren einer ersten Zustandsänderung in dem Thermoschalter (22) und Aufzeichnen einer ersten gemessenen Schaltertemperatur, die der Temperatur der Heizeinrichtung beim Auftreten der ersten Zustandsänderung entspricht; Modulieren der Heizeinrichtungstemperatur mit einer zweiten Rate, die langsamer ist als die erste Rate innerhalb eines Bereichs, der die Schalter-Nenntemperatur beinhaltet; Detektieren einer zweiten Zustandsänderung in dem Thermoschalter (22) und Aufzeichnen einer zweiten gemessenen Schaltertemperatur beim Auftreten der zweiten Zustandsänderung; und Ausgeben eines Werts, der der ersten und der zweiten gemessenen Schaltertemperatur entspricht.
Patent DE-102008047554-B4 (DE)
Title: Stützkörper für Filterelemente sowie Filterelement
IPC: B01D29/11
Filed: 2008-09-16
Granted: 2013-08-29
Abstract: Stützkörper für Filterelemente der aus einem rechteckigen Zuschnitt (1') eines gitterförmigen Lochbleches oder eines Draht- oder Kunststoffgitters mit im Wesentlichen in Längsrichtung des Zuschnitts (1') verlaufenden Stegen (6) und rechtwinklig dazu verlaufenden Stegen (7) zu einem Hohlkörper geformt ist und seine seitlichen Enden miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass der rechteckige Zuschnitt (1') derart ist, dass die in Längsrichtung verlaufenden Stege (6) an einem seitlichen Ende des Zuschnitts (1') gegenüber dem anderen Ende um einen halben Abstand (10) der längs verlaufenden Stege (6) voneinander versetzt sind und der Zuschnitt (1') an einer Seite an Stegen (7) endet, die rechtwinklig zu den in Längsrichtung verlaufenden Stegen (6) verlaufen, so dass an dieser Seite geschlossene Öffnungen (8') entstehen, während an der anderen Seite des Zuschnitts (1') die in Längsrichtung verlaufenden Stege (6) frei vorkragend enden und diese vorkragenden Stege (6') zu Haken (9) umgebogen sind und durch die Öffnungen (8') an der anderen Seite des Zuschnitts (1') greifend hinter den dort befindlichen Stegen (7) verhakt sind.
Patent DE-102009002060-B4 (DE)
Title: Ionensensitiver Sensor mit Mehrfachschichtaufbau im sensitiven Bereich sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensors
Inventor: PECHSTEIN TORSTEN
IPC: G01N27/414
Filed: 2009-03-31
Granted: 2023-08-03
Abstract: lonensensitiver Sensor mit einer EIS-Struktur, umfassend ein Halbleiter-Substrat (100, 200), auf dem eine Schicht eines Substratoxids (103, 203) erzeugt ist, eine Anpassungsschicht (104, 204), welche auf dem Substratoxid präpariert ist, ein chemisch stabiler Zwischenisolator (105, 205), der auf der Anpassungsschicht abgeschieden ist, und eine Sensorschicht (106, 206), welche ein Tantaloxid oder ein Tantaloxynitrid aufweist, die auf dem Zwischenisolator (105, 205) aufgebracht ist, wobei der Zwischenisolator Hafniumoxid oder Zirkonoxid oder ein Gemisch aus Zirkonoxid und Hafniumoxid aufweist, und wobei sich die Anpassungsschicht (104, 204) in ihrer chemischen Zusammensetzung und / oder in ihrer Struktur von dem Zwischenisolator (105, 205) und von dem Substratoxid (103, 203) unterscheidet.
Patent DE-102009011458-B4 (DE)
Title: Funkwellen-Empfangsvorrichtung und Funkuhr
Inventor: SOMEYA KAORU
IPC: G04R20/12
Filed: 2009-03-03
Granted: 2016-12-15
Abstract: Funkwellen-Empfangsvorrichtung, die umfasst: einen Empfangsabschnitt (20) zum Empfangen einer Funkwelle und zum Demodulieren der empfangenen Funkwelle, um einen Zeitcode zu erhalten, einen Steuerabschnitt (10, 87) zum Erhalten der empfangenen Daten von dem Empfangsabschnitt in einer Teilperiode, von der angenommen wird, dass sie Teildaten in einem spezifischen Bereich des Zeitcodes in einer Übertragungsperiode eines Rahmens des Zeitcodes enthält, einen Vergleichsabschnitt (S11) zum Durchführen eines Vergleichs zwischen den in der Teilperiode erhaltenen empfangenen Daten und den Teildaten in dem spezifischen Bereich, von denen angenommen wird, dass sie in der Teilperiode empfangen werden, und einen Bestimmungsabschnitt (S12) zum Bestimmen aufgrund des Vergleichs in dem Vergleichsabschnitt, zu welchem Zeitpunkt in der Teilperiode die Teildaten empfangen wurden, dadurch gekennzeichnet, dass: der Steuerabschnitt die empfangenen Daten in der Teilperiode von dem Empfangsabschnitt in jeweils einer Vielzahl von Rahmenperioden erhält, in denen die Teildaten in dem spezifischen Bereich jeweils annahmegemäß den gleichen Wert aufweisen (S3–S22), und der Vergleichsabschnitt die akkumulierten Daten der empfangenen Funkwellen oder die akkumulierten Daten der empfangenen Daten, die jeweils in der Vielzahl von Rahmenperioden empfangen wurden, als in der Teilperiode erhaltene empfangene Daten mit den Teildaten des spezifischen Bereichs vergleicht.
Patent DE-102009016161-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zur Geräuschprüfung eines Radiallagers
Inventor: BYWALEZ KARL
IPC: G01M13/045
Filed: 2009-04-03
Granted: 2023-11-16
Abstract: Vorrichtung zur Geräuschprüfung eines Radiallagers (03) mit einer gestellfesten Aufnahme (02) für das Radiallager (03), in der ein erstes Lagerteil des Radiallagers (03) fest einspannbar ist, mit einer Antriebseinrichtung (06) zur Beschleunigung eines zweiten Lagerteiles und mit einem Sensor (16) zur Erfassung der Schwingungen des Radiallagers (03) am ersten Lagerteil, wobei sie weiterhin mindestens eine Belastungseinheit zur Krafteinleitung auf das Radiallager (03) mit einem radial auf das Radlager wirkenden Kolben zur Ausübung einer Radialkraft und einem axial auf das Radiallager wirkenden Kolben zur Ausübung einer Axialkraft umfasst, wobei die Krafteinleitung eine reale Beanspruchung des Radiallagers (03) unter Einbaubedingungen simuliert, dadurch gekennzeichnet, dass die Axialkraft an einer sich von der Aufnahme (02) aus radial erstreckenden Zunge (14) angreift, welche mit der Aufnahme (02) fest verbunden ist.
Patent DE-102009025596-B4 (DE)
Title: System zum Liefern von heißem Wasser
Inventor: OOTSUBO TOSHIHIRO
IPC: F24H1/00
Filed: 2009-06-19
Granted: 2018-02-08
Abstract: Ein System zum Liefern von heißem Wasser gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Wärmepumpeneinheit (1) zum Heizen von Wasser, einen Behälter (3) zum Zurückhalten des geheizten Wassers darin und eine Batterie (4) zum Liefern von Leistung an die Wärmepumpeneinheit. Ein Wärmetauscher (7) zum Austauschen von Wärme zwischen in dem Behälter zurückgehaltenem Wasser und Sekundärfluid, das durch einen Durchgang (4b) in der Batterie (4) strömt, ist in dem System bereitgestellt. Die Temperatur (Tb) der Batterie (4) wird durch das durch die Batterie (4) strömende Sekundärfluid auf einen Temperaturbereich gesteuert, in dem ein hoher Lade- und Entladewirkungsgrad realisiert wird. Alternativ wird das in dem Behälter zurückgehaltene Wasser direkt durch den Durchgang (4b) in der Batterie zirkuliert, um die Batterietemperatur zu steuern. Bevorzugt sind der Behälter (3) und die Batterie (4) in einem gleichen Gehäuse (2) enthalten, um von dem Behälter abgestrahlte Wärme wirksam zu nutzen.
Patent DE-102009029991-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Temperatursteuerung in einem Fahrzeug
Inventor: HERBOLZHEIMER ROBERT
IPC: B60H1/00
Filed: 2009-06-23
Granted: 2019-02-21
Abstract: Verfahren zur Regelung der Innenraumtemperatur eines Fahrzeugs auf einen Sollwert der Innenraumtemperatur durch Ermitteln zumindest einer Stellgröße für die Ansteuerung zumindest eines die Klimatisierung des Innenraums beeinflussenden Aktuators, wobei die Stellgröße in Abhängigkeit von einem ermittelten Sollwert der Innenraumtemperatur und einer ermittelten tatsächlichen Innenraumtemperatur im Fahrzeuginnenraum ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Sollwert (Tsoll) der Innenraumtemperatur in Abhängigkeit einer zwischen zumindest einem Fahrzeuginsassen und den Umschließungsflächen im Fahrzeuginnenraum ermittelten ausgetauschten Wärmeleistung (WL) ermittelt wird.
Patent DE-102009050340-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Ablenken eines Lichtstrahls in zwei unterschiedliche Richtungen und Scan-Mikroskop
Inventor: FEHRER DIRK-OLIVER DIPL -ING
IPC: G02B26/08
Filed: 2009-10-23
Granted: 2017-08-10
Abstract: Vorrichtung (20) zum Ablenken eines Lichtstrahls in zwei unterschiedliche Richtungen, mit einem Spiegel (22), einem ersten Drehstellelement (24), das sich abhängig von einem ersten Stellsignal um eine erste Achse (54) dreht, einem zweiten Drehstellelement (26), das entlang der ersten Achse (54) gegenüber dem ersten Drehstellelement (24) angeordnet ist und das sich abhängig von einem zweiten Stellsignal um die erste Achse (54) dreht, einem ersten Federelement (28), das mit dem ersten Drehstellelement (24) und in einer Ruhelage des Spiegels außerhalb der ersten Achse (54) in einem vorgegebenen ersten Abstand zu dieser mit dem Spiegel (22) verbunden ist, einem zweiten Federelement (30), das mit dem zweiten Drehstellelement (26) und dem Spiegel (22) verbunden ist, einer Fassung (32) über die das erste und/oder das zweite Federelement (28, 30) mit dem Spiegel (22) verbunden sind und mit einem äußeren Führungselement (42), das zwei Ausnehmungen hat, die konzentrisch zu der ersten Achse (54) ausgebildet sind und die jeweils zumindest einen Teil der Drehstellelemente (24, 26) oder eine Halterung (44, 46) der Drehstellelemente (24, 26) in radialer Richtung umgeben, und das mit der Fassung (32) des Spiegels (22) über je ein Drehlager (38, 40) gekoppelt ist, das entlang einer zweiten Achse (56) angeordnet ist, die senkrecht auf der ersten Achse (54) steht.
Patent DE-102009055433-B4 (DE)
Title: Kontaktelemente von Halbleiterbauelementen, die auf der Grundlage einer teilweise aufgebrachten Aktivierungsschicht hergestellt sind, und entsprechende Herstellungsverfahren
Inventor: SEIDEL ROBERT
IPC: H01L21/283
Filed: 2009-12-31
Granted: 2012-02-09
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Kontaktelements in einem Halbleiterbauelement (200), wobei das Verfahren umfasst: Bilden einer ersten Kontaktöffnung (210a) in einem dielektrischen Zwischenschichtmaterial (210), wobei die erste Kontaktöffnung (210a) eine Verbindung zu einem Kontaktbereich (254) eines Schaltungselements (250) herstellt, das in einem Halbleitergebiet des Halbleiterbauelements (200) ausgebildet ist; Bilden einer Aktivierungsschicht (221) über über dem dielektrischen Zwischenschichtmaterial (210) und in der ersten Kontaktöffnung (210a); Entfernen eines ersten Bereichs der Aktivierungsschicht von dem dielektrischen Zwischenschichtmaterial (210) und von einem Teil der ersten Kontaktöffnung (210a), während ein zweiter Bereich der Aktivierungsschicht zumindest an der Unterseite der ersten Kontaktöffnung bewahrt wird; wobei Entfernen des ersten Bereichs der Aktivierungsschicht umfasst: Vorsehen eines Opfermaterials (203) derart, dass die erste Kontaktöffnung (210a) gefüllt wird, und Entfernen eines ersten Teils des Opfermaterials (203) derart, dass ein zweiter Teil des Opfermaterials (203b) bewahrt wird, der den zweiten Bereich der Aktivierungsschicht abdeckt; Ausführen eines selektiven Abscheideprozesses...
Patent DE-102009057359-B4 (DE)
Title: Drucksteuervorrichtung sowie Durchflussmengenregelungsvorrichtung
Inventor: KAGOHASHI HIROSHI
IPC: G05D7/06
Filed: 2009-12-08
Granted: 2019-01-31
Abstract: Eine Drucksteuervorrichtung (40), umfassend:ein elektromagnetisches Ventil (43) für die Versorgung mit Druckgas, das mit einer Gasversorgungsquelle verbunden ist und in einem Öffnungs- und Schließbetrieb auf Grundlage eines Pulssignals (Db) mit einer vorbestimmten Periode betrieben wird, undein elektromagnetisches Ventil (44) für den Gasausstoß, das über eine Verbindungsleitung (46) mit dem elektromagnetischen Ventil (43) für die Versorgung mit Druckgas verbunden ist und in einem Öffnungs- und Schließbetrieb auf Grundlage eines Pulssignals (Db) mit der vorbestimmten Periode betrieben wird, undeine Ableitung (35), die das Gas aus der Verbindungsleitung (46) ableitet, undein Druckerfassungsmittel (72), das den Druck (Pd) des Gases in der Verbindungsleitung (46) oder in der Ableitung (35) erfasst, undeinen Druckcontroller (41) mit einem ersten Pulserzeugungsmittel und einem zweiten Pulserzeugungsmittel, wobeidas erste Pulserzeugungsmittel das Pulssignal basierend auf einer Abweichung (ΔP) zwischen dem erfassten Druck (Pd) und dem Zieldruck (Pt) des Gases erzeugt, wobei mit dem Pulssignal (Db) für jede Periode das elektromagnetische Ventil (43) für die Druckgasversorgung sowie auch das elektromagnetische Ventil (44) für den Gasausstoß betrieben werden, um anhand des Druckerfassungsmittels (72) den erfassten Druck (Pd) des Gases auf den Zielwert (Pt) zu bringen, unddas zweite Pulserzeugungsmittel das Pulssignal (Db), das aufgrund des ersten Pulserzeugungsmittels erzeugt wurde, unter der Bedingung ändert, dass die Abweichung (ΔP) zwischen dem erfassten Druck (Pd) des Gases und dem Zieldruck (Pt) während einer Periode, in der das elektromagnetische Ventil (43) für die Versorgung mit Druckgas sowie das elektromagnetische Ventil (44) für den Gasausstoß betrieben werden, mehr als ein Entscheidungswert (Rp) beträgt, so dass die Abweichung (ΔP) vermindert wirddadurch gekennzeichnet, dass das zweite Pulserzeugungsmittel das aufgrund des ersten Pulserzeugungsmittels erzeugte Pulssignal (Db) unter der weiteren Bedingung abändert, dass der Zustand, in welchem die Abweichung (ΔP) mehr beträgt als der Entscheidungswert (Rp), länger als eine im Vergleich zur vorbestimmten Periode kürzer eingestellte Entscheidungszeit (Rt) fortdauert.