Patent RU-2739195-C1 (RU)
Inventor: Nyapshaev Ilya Aleksandrovich
IPC: B23K26/00
Filed: 2020-04-07
Granted: 2020-12-21
Abstract: Изобретение относится к вариантам установки для напыления тонких слоев с различными свойствами на размещенные в паллетах из одного материала пластины на основе кремния или стекла. Установка включает последовательно расположенные компоненты: узел загрузки пластин на паллеты, входную шлюзовую и буферную камеры, блоки вакуумных камер для напыления по крайней мере на одну из сторон пластин тонких слоев в соответствующем технологическом оснащении, выходную шлюзовую и буферную камеры, узел выгрузки пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах, а также содержит систему обратной транспортировки паллет без пластин вне вакуумных камер от узла выгрузки пластин с напылением из паллет к узлу загрузки пластин на паллеты, причем система обратной транспортировки паллет снабжена счетчиком циклов прохождения паллет по системе, модулями лазерной очистки паллет от напыления с одной или двух подвергшихся напылению сторон, а также снабжена датчиками положения паллет относительно модулей лазерной очистки, причем каждая лазерная головка содержит встроенный сканатор с областью сканирования луча d=(0,1-0,12) м и расположенный вблизи области очистки узел локальной вытяжки продуктов лазерной очистки. При этом в первом варианте выполнения установки каждый модуль лазерной очистки паллет содержит одну лазерную головку мощностью излучения не менее 1,6 кВт, снабжен автоматической системой ее перемещения по ширине паллеты после каждого прохода по модулю очистки на шаг «k», равный k=d, а узел локальной вытяжки установлен с возможностью его перемещения вместе с лазерной головкой. При этом во втором варианте выполнения установки каждый модуль лазерной очистки паллет содержит группу из «n» лазерных головок, расположенных по ширине паллеты «В» при 2<n<10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1,6 кВт причем модуль снабжен автоматической системой синхронного пошагового перемещения по ширине паллеты «В» всех лазерных головок группы в интервалах между их включениями, а узлы локальной вытяжки продуктов очистки расположены вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок группы и установлены с возможностью перемещения вместе со всей группой «n» лазерных головок. В одном частном случае второго варианта лазерные головки группы расположены по ширине паллеты на расстоянии области сканирования луча одной лазерной головки, причем система перемещения головок обеспечивает их перемещение по ширине паллеты с шагом «k», равным k=n-d. В другом частном случае лазерные головки группы расположены равномерно по ширине паллеты на расстоянии друг от друга «b»=В/n, причем система перемещения головок обеспечивает их одновременное перемещение по ширине части паллеты «b» с шагом «k», равным k=d. При этом в третьем варианте установки каждый модуль лазерной очистки паллет содержит блок из «N» лазерных головок при N≥10, мощностью излучения не менее 1 кВт каждая, расположенных равномерно по всей ширине паллеты на расстоянии друг от друга b=B/N при b≤d. В этом случае общая область сканирования лучей блока из «N» лазерных головок покрывает полностью ширину паллеты «В», поэтому перемещения лазерных головок по ширине паллеты не требуется. Технический результат - создание вакуумной напылительной установки, совмещенной с системой лазерной очистки паллет, адаптированной к режиму технологического процесса напыления. 3 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.