Patent RU-2490655-C2 (RU)
Title: Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий
Inventor: GORLOV MITROFAN IVANOVICH
IPC: G01R31/26
Filed: 2010-07-20
Granted: 2013-08-20
Abstract: Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (ПИИ), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий НИИ как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность изобретения заключается в том, что на одинаковых выборках из сравниваемых партий НИИ одного типа проводят измерения значения квадрата напряжения шумов              U   ¯         ш         2           
 на частотах 160 и 1000 Гц до и после воздействия электростатическими разрядами напряжением, допустимым по техническим условиям на половине выборки, а на второй половине ЭСР, равным половине допустимого значения. Для каждого изделия определяется параметр γ до воздействия ЭСР и после воздействия по следующей формуле: 
     
       
         
           
             γ 
             = 
             
               
                 L 
                 g 
                 
                   ( 
                   
                     
                       
                         
                           
                             
                               U 
                               ¯ 
                             
                           
                           2 
                         
                         
                             
                           
                             ш 
                               
                               
                             160 
                           
                         
                       
                       
                         
                           
                             
                               U 
                               ¯ 
                             
                           
                           2 
                         
                         
                             
                           
                             ш 
                               
                               
                             1000 
                           
                         
                       
                     
                   
                   ) 
                 
               
               
                 L 
                 g 
                 
                   ( 
                   
                     
                       
                         1000 
                       
                       
                         160 
                       
                     
                   
                   ) 
                 
               
             
           
         
         
       
     
     где              U   ¯         ш       160     2           
 и U 2   ш1000  - значения низкочастотного шума на частотах 160 Гц и 1000 Гц соответственно, по значениям γ проводят сравнение партии изделий по надежности. Технический результат - повышение функциональных возможностей способа. 2 табл.