baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-03008838-A1 (WO)
Inventor: KODAMA YOSEI
IPC: F16F13/26
Filed: 2001-07-16
Abstract: La présente invention concerne un isolateur de vibrations contenu dans un liquide de type à commutation, conçu de façon que la commutation entre une introduction à pression atmosphérique et une introduction à une pression négative dans une chambre de commutation provoque l'ouverture et la fermeture d'un orifice, de manière à faire face à une vibration par secousse et à une vibration de ralenti. Afin d'empêcher le détachement d'une conduite à introduire à pression atmosphérique et à une pression négative dans la chambre de commutation, des premières et secondes attaches (1, 2) sont connectées par un corps de base isolateur de vibrations (3). Un élément de partage (4), des premiers et seconds diaphragmes (5, 6), ainsi que des orifices internes et externes (12, 13) établissant une communication entre une chambre à liquide principale (7) et une chambre à liquide secondaire (8) sont situés à l'intérieur dudit corps de base isolateur de vibrations. Les premiers et seconds diaphragmes (5, 6) définissent entre eux une chambre d'équilibrage (9). Le second diaphragme (6) et la seconde attache (2) définissent entre eux une chambre de commutation (10). La partie centrale de la paroi de fond (22) de la seconde attache (2) est écrasée par rapport à la chambre de commutation (10). Une conduite (11) passe à travers la partie supérieure (25a) de la partie écrasée (25) et est reçue dans la partie écrasée (25). La paroi de fond (22) autour de la partie écrasée (25) présente une pluralité de parties en saillie (29) qui font saillie vers l'extérieur et permettent d'empêcher des interférences.
Patent WO-0247170-A1 (WO)
Title: Dispositif semi-conducteur
Inventor: OHTA HIROYUKI
IPC: H01L21/8234
Filed: 2001-08-29
Abstract: L'invention concerne un dispositif semi-conducteur grande vitesse haute fiabilité, pouvant être produit par évitement d'une réduction d'un courant de source/de drain d'un transistor à canal P, même lorsqu'une pellicule de nitrure de silicium à auto-alignement contact-utilisation est formée, à l'aide d'un système de dépôt chimique en phase vapeur thermique simple tranche de type à paroi froide permettant d'abaisser une température de paroi intérieure d'une chambre à une température égale ou inférieure à 30 °C.
Patent WO-0231592-A1 (WO)
Title: Unite optique d"eclairage et ecran de projection comprenant cette unite
Inventor: WADA MITSUHIRO
IPC: H04N9/31
Filed: 2001-10-03
Abstract: Dans une unité optique d"éclairage classique, une irrégularité de brillance apparaît dans le sens d"inclinaison quand on éclaire une zone inclinée par rapport à l"axe optique. L"invention concerne une nouvelle unité optique d"éclairage comprenant une unité optique de pré-éclairage (7) composée d"une lampe (1), d"un miroir elliptique (2), d"un filtre de coupure des ultraviolets et des infrarouges (3), d"une lentille de condensation (4), d"une première lentille (5) et d"une deuxième lentille (6), d"une lentille décentrée et d"une lentille de relais (11). Cette lentille de relais (11) possède une deuxième et une troisième face d"émission (10, 12) pratiquement conjuguées et conçues pour s"incliner par rapport à un axe optique (15). La lentille décentrée (9) est décentrée, de façon appropriée, par rapport à un axe optique (14), de sorte qu"une sortie de lumière de la deuxième lentille (6) vient frapper la lentille de relais (11) et que la deuxième face d"émission (12) subit une inclinaison dans un sens permettant d"annuler l"inclinaison de brillance générée par la lentille de relais (11).
Patent WO-02068362-A1 (WO)
Title: Procede de production de materiau composite sic renforce de fibre sic d'excellente tenacite
Inventor: KOHYAMA AKIRA
IPC: C04B35/575
Filed: 2001-10-25
Abstract: L'invention concerne un procédé pour produire un matériau composite SiC renforcé de fibre SiC d'excellente ténacité, selon les étapes suivantes : incorporer de manière homogène de fines particules SiC dans un polyvinyle silane dont les structures unitaires (a) et (b) sont dans un rapport (a)/(b) de 1, à raison de 50 à 70 % en masse, afin d'obtenir une pâte de résine homogène ; imprégner un produit constitué de fibre SiC avec cette pâte de résine ; chauffer le produit de fibre SiC imprégné de résine ainsi obtenu à une température de 300 à 400 °C dans une atmosphère d'argon, pour convertir le polyvinyle silane en un liquide très visqueux ou en un semi-solide ; cuire le produit résultant à une température de 1000° ou plus dans une atmosphère d'argon en exerçant une pression uniaxiale inférieure à 2 - 10 MPa. Ce procédé permet d'obtenir une détente du stress intérieur lors du frittage, ainsi qu'un matériau composite SiC renforcé de fibre SiC qui présente une masse volumique élevée, une bonne ténacité et d'excellentes propriétés mécaniques. En outre, on obtient un matériau composite SiC renforcé de fibre SiC ayant une masse volumique et une ténacité encore augmentées en imprégnant de polyvinyle silane de manière répétée et en cuisant sans exercer de pression, après la cuisson susmentionnée.
Patent WO-02060727-A1 (WO)
Title: Dispositif de commutation de video monte sur vehicule
Inventor: NAKAMURA YOSHIYUKI
IPC: H04N7/18
Filed: 2002-01-29
Abstract: Un dispositif de commutation de vidéo monté sur un véhicule présentant un dispositif d'affichage comprend un moyen de stockage destiné à contenir un signal de télécommande de commutation d'entrée reçu par le dispositif d'affichage d'image ou un appareil vidéo connecté au dispositif d'affichage d'images, un moyen de détection destiné à détecter un signal d'état de déplacement de véhicule prédéterminé, et un moyen de transmission destiné à transmettre le signal de télécommande stocké dans le moyen de stockage lorsque le moyen de détection détecte le signal d'état de marche prédéterminé.
Patent WO-02069702-A1 (WO)
Title: Procede de conservation d'un organe de mammifere
Inventor: SEKI KUNIHIRO
IPC: A01N1/02
Filed: 2002-03-06
Abstract: L'invention concerne un procédé de conservation d'un organe de mammifère, ce procédé comprenant une étape de déshydratation au cours de laquelle environ au moins 10 % en poids, de préférence au moins 25 % en poids, d'humidité est éliminée de cet organe, lequel contient une quantité physiologiquement acceptable d'humidité, par attraction de l'humidité dans l'organe par l'intermédiaire du système vasculaire, ainsi qu'une étape de trempage de cet organe dans un milieu inerte et de maintien de l'organe à une température de réfrigération.
Patent WO-02073131-A1 (WO)
Inventor: NOZOE TOSHIYUKI
IPC: G01C19/5607
Filed: 2002-03-07
Abstract: An angular velocity sensor the failure of which, if occurred, can be externally detected, and which has a further improved reliability in use. The angular velocity sensor comprises a pair of current amplifiers to which the outputs of sense electrodes are inputted, a differential amplifier for amplifying the difference between the outputs of the paired current amplifiers, a 90° phase-shifter constituting a synchronous demodulator for detecting the output of the differential amplifier synchronously with a monitor signal and for outputting an angular velocity signal, and a synchronous detector. The monitor signal is inputted into an input terminal of a current amplifier through a capacitor serving as an injector in response to an external diagnosis request signal from a control terminal.
Patent WO-02076271-A1 (WO)
Title: Dispositif d'extraction de boisson et distributeur de boissons
Inventor: IKOMA TATSUO
IPC: B65D85/808
Filed: 2002-03-22
Abstract: Selon l'invention, un rebord d'un filtre fonctionnel est placé sur une installation de filtre d'un récipient d'extraction supérieur, puis une matière et un liquide (eau) d'extraction sont placés dans le filtre fonctionnel. Lorsque le récipient supérieur est inséré dans l'ouverture du boîtier et que le commutateur de démarrage a été pressé, un magnetron est oscillé de manière à chauffer le liquide d'extraction au moyen d'ondes électromagnétiques, et, à mesure que la température augmente, le filtre fonctionnel fait couler le liquide d'extraction afin de le stocker dans une tasse. Lorsqu'une augmentation de poids de la tasse contenant le liquide détectée par un capteur de charge est saturée, l'opération du magnetron est interrompue, offrant ainsi un dispositif d'extraction de boisson permettant à n'importe qui d'obtenir un goût uniforme. L'invention concerne aussi un distributeur de boissons dans laquelle un filtre à rouleaux est tendu et extrait au sommet et au fond d'un rouleau, une matrice à presse est pressée sur une matrice inférieure afin de former un égouttoir, une certaine quantité de poudre de café est placée dans la matrice à partir d'un récipient de matière, puis une certaine quantité d'eau est versée dans le distributeur à partir d'un récipient d'eau, l'eau est chauffée par une fréquence élevée oscillée par un magnetron, et le liquide extrait de la poudre de café peut couler dans une tasse. Le filtre fonctionnel susmentionné est applicable à ce distributeur de boissons.
Patent WO-02084118-A1 (WO)
Title: Micropompe
Inventor: TAKEUCHI YUKIHISA
IPC: F04B35/00
Filed: 2002-04-05
Abstract: L'invention concerne une micropompe pouvant fournir du liquide par le biais d'une opération de pression, comprenant au moins une partie pompe, ladite partie pompe comprenant une pompe, ladite pompe comprenant au moins une partie d'actionnement servant à provoquer une variation de pression et une partie passage de flux dans laquelle un flux de liquide peut circuler, la partie d'actionnement étant formée de sorte que deux parois latérales comprenant des corps piézo-électriques/électrorestrictifs ou anti-ferroélectriques sont disposées sur une plaque de communication et que les surfaces des parois latérales opposées à la plaque de communication sont fermées par une plaque de couverture pour former une cellule permettant de produire une variation de pression dans la partie passage de flux par le biais du déplacement de ladite cellule provoqué par l'extension et le retrait des parois latérales de sorte à former le passage de flux de liquide de manière sélective.
Patent WO-02088151-A1 (WO)
Title: Ester phosphorique polymerisable et procede de production de celui-ci
Inventor: YAMANAKA MASAHIKO
IPC: C08F230/02
Filed: 2002-04-26
Abstract: L'invention concerne un ester phosphorique polymérisable comprenant au moins un composé représenté par la formule générale (1), dans laquelle R1 représente hydrogène ou C¿1-4? alkyle; R?2¿ représente C¿2-6? alkylène linéaire ou ramifié ; et n est égal à 1 ou 2. La teneur du solvant volatil est de 50 ppm ou moins et celle des acides organiques polymérisables représentés par la formule générale (2), dans laquelle R?1¿ représente hydrogène ou C¿1-4 ?alkyle, est de 1 % en poids ou moins. Par ailleurs, l'invention concerne un procédé de production dudit ester phosphorique polymérisable, qui consiste à utiliser l'ester phosphorique polymérisable comme solvant réactionnel pour faire réagir un acide polyphosphorique avec un acrylate d'hydroxyalkyle α-substitué.
Patent WO-02090248-A1 (WO)
Title: Purificateur d'hydrogene
Inventor: TAGUCHI KIYOSHI
IPC: H01M8/06
Filed: 2002-04-26
Abstract: L'invention porte sur un purificateur d'hydrogène destiné à être utilisé dans la réduction du monoxyde de carbone dans un gaz hydrogène. A cet effet, un premier catalyseur sélectionné parmi Pt, Pd, Ru et Rh et un second catalyseur sélectionné parmi Pd, Ru, Rh et Ni sont mélangés ou combinés pour ne faire qu'un, le mélange ou la combinaison obtenu étant utilisé dans un élément catalyseur de clarification. Une alumine ou une zéolite ayant échangé des ions avec un métal de transition d'une première période est utilisé comme substrat support de catalyseur résistant à la chaleur de l'élément catalyseur de clarification sous forme de paillettes ou d'une structure en nid d'abeille. Le purificateur comporte deux étages de sections de clarification contenant chacun l'élément catalyseur de clarification. L'amenée d'un gaz d'oxydation est contrôlée par détection des valeurs de température des éléments catalyseurs de clarification et du gaz hydrogène. L'appareil permet que l'activité du catalyseur de clarification soit satisfaisante dans une large plage de températures, et il permet une réduction stable de la concentration en monoxyde de carbone également dans les variations de charge, et la suppression de la consommation de l'hydrogène par oxydation.
Patent WO-02094406-A1 (WO)
Title: Accessoire de jeu
Inventor: KASSAI KENZOU
IPC: A63H33/00
Filed: 2002-05-17
Abstract: L'invention concerne un accessoire de jeu (100) comprenant une première colonne latérale (1) et une seconde colonne latérale (2) verticale, en arc, disposées face à face et séparées par un intervalle prédéterminé, de façon à former des faces latérales. Cet accessoire comprend également une première barre de suspension (3) et une deuxième barre de suspension (4) permettant de relier la première colonne latérale (1) à la seconde colonne latérale (2) et de suspendre des éléments de jeu, fixées sur les parties supérieures de la première colonne latérale (1) et de la seconde colonne latérale (2). Cet accessoire comprend également une troisième barre de suspension (5) et une quatrième barre de suspension (6) permettant de suspendre les éléments de jeu, fixées sur les parties inférieures de la première colonne latérale (1) et de la seconde colonne latérale (2).
Patent WO-03009325-A1 (WO)
Title: Emetteur d'electrons et procede de fabrication de ce dernier, element d'emission d'electrons de champ de cathode froide et procede de fabrication de cet element et affichage d'emission d'electrons de champ de cathode froide et procede de fabrication de cet affichage
Inventor: YAGI TAKAO
IPC: H01J29/04
Filed: 2002-07-18
Abstract: L'invention concerne un élément d'émission d'électrons de champ de cathode froide comportant une électrode cathode (11) montée sur un support (10), une couche (12) d'isolation formée sur le support (10) et l'électrode cathode (11), une électrode grille (13) formée sur la couche (12) d'isolation, des ouvertures (14a, 14b) pratiquées dans la gâchette (13) et la couche (12) d'isolation et une partie (15) émettrice d'électrons formée sur la partie de l'électrode cathode (11) placée sur la partie inférieure de l'ouverture (14b). La partie (15) émettrice d'électrons possède une matrice (21) et une structure (20) de nanotube de carbone enfouie dans ladite matrice (21) tout en projetant la partie terminale vers l'avant.
Patent WO-2004012009-A1 (WO)
Inventor: FUKAZAWA FUMIE
IPC: G03C1/91
Filed: 2002-07-25
Abstract: L'invention concerne un matériau photographique sensible à halogénure d'argent, à part réduite en argent et à tuilage réduit après développement, ainsi qu'un film photographique et un substrat photographique utilisé dans ledit matériau. Le film photographique comprend comme principal constituant un ester de cellulose et présente une épaisseur de l'ordre de 100 à 200 νm et se caractérise en ce que le film présente un degré d'étirement inférieur à 30 % et un module de 4.000 Mpa ou moins et en ce que l'ester de cellulose comporte comme substituants des groupes acyle C2-4 et satisfait aux deux relations suivantes : relation (I) : 2,45≤Y≤3,0 ; relation (II) : 0≤X≤2,5, X désignant le degré de substitution par acétyle et Y désignant le degré de substitution par propionyle ou butyryle.
Patent WO-03021683-A1 (WO)
Title: Dispositif semiconducteur et procede de fabrication
Inventor: ARAI CHIHIRO
IPC: H01L21/8249
Filed: 2002-08-15
Abstract: Selon la présente invention, une zone collectrice (13) est formée sur un substrat semiconducteur (1), une première couche isolante (31) comportant une première ouverture (51) est formée sur la zone collectrice, et une couche semiconductrice de base (14B) est formée en contact avec la zone collectrice à travers la première ouverture.  Le bord terminal de la couche semiconductrice de base est formé de telle manière qu'il s'étend par dessus la première couche isolante.  Selon l'invention, une couche semiconductrice émettrice (14E) est formée dans une région prédéterminée sur la couche semiconductrice de base, une seconde couche isolante (32) est formée qui recouvre le bord terminal de la couche semiconductrice de base, une seconde ouverture (52) est formée qui met en contact la couche semiconductrice émettrice avec la couche semiconductrice de base, une troisième ouverture (53) est formée qui permet la connexion de base de la couche semiconductrice de base, et une couche de siliciure métallique (15) est formée sur la surface de la couche semiconductrice de base, dans la troisième ouverture.  Le procédé de l'invention, à l'aide duquel on peut former une couche de siliciure métallique dans un dispositif semiconducteur comportant un transistor bipolaire, permet un auto-alignement et un couplage élevé du siliciure dans un autre élément semiconducteur.
Patent WO-03027764-A1 (WO)
Title: Particules et dispositif d'affichage d'images
Inventor: YAKUSHIJI GAKU
IPC: G02F1/16757
Filed: 2002-09-19
Abstract: L'invention concerne des particules utilisées dans un dispositif d'affichage d'images conçu pour afficher et effacer des images de manière répétée, par le biais du vol ou du mouvement des particules au moyen de la force de Coulomb ou similaire. Lesdites particules sont recouvertes d'une résine, elles sont commandées par rapport à l'espace de la distribution des diamètres particulaires, l'atténuation de la charge électrique, le changement de la dureté superficielle avec la température, la résistance à la traction au moment de la rupture, la résistance à l'impact d'Izod (avec entaille), l'abrasion de Taber, le module de tension, le module de courbure ou la résistance à la déchirure. Ces particules sont des particules composites traitées avec une solution d'un agent de régulation de la charge électrique, elles sont recouvertes d'une résine par pulvérisation d'une solution de résine, elles ont au moins une couche de résine externe contenant un composé doté d'un indice réfractif différent de celui de la portion centrale correspondante, et/ou elles renferment un composé de résine préparé par polymérisation d'un monomère spécifique. On peut utiliser, de manière appropriée, les particules susmentionnées afin d'engendrer des images stables.
Patent WO-2004030900-A1 (WO)
Title: ラミネート装置
Inventor: CHIKAKI YOSHIRO
IPC: B30B5/02
Filed: 2002-10-02
Abstract: 被ラミネート体をラミネートするラミネート装置であって，ダイアフラムによって仕切られた上チャンバと下チャンバを有し，前記下チャンバにはヒータ盤が設けられ，前記ヒータ盤の上に載置される被ラミネート体を押圧するための膨張自在なダイアフラムを備え，前記ダイアフラムはブチルゴムからなる。前記ブチルゴムの配合組成は，例えば，ハロゲン化ブチル１００～０重量部，レギュラーブチル０～１００重量部，酸化マグネシウム１～５重量部，カーボンブラック５～１００重量部，パラフィン系オイル０～２０重量部，酸化亜鉛１～５重量部，樹脂加硫剤１～２０重量部，加工助剤０～１０重量部である。本発明によれば，ダイアフラムの寿命が延び，低コストで被ラミネート体を製造できる。
Patent WO-03048413-A1 (WO)
Title: Melangeur, dispositif et procede de fabrication d'un film mince
Inventor: YAMADA TAKAKAZU
IPC: B01F23/10
Filed: 2002-12-03
Abstract: Cette invention concerne un mélangeur (1) capable de mélanger uniformément des gaz de poids différents, un dispositif de fabrication de films minces au moyen du mélangeur (1) et un procédé de fabrication de films minces consistant à utiliser le gaz filmogène obtenu en mélangeant les gaz dans le mélangeur (1). Le mélangeur (1) comprend une chambre mélangeuse (2) comportant les entrées de gaz (5a, 6a) de deux tuyaux d'amenée de gaz (5, 6) disposés de manière opposée l'un par rapport à l'autre, et une chambre de diffusion du gaz de mélange (3). Une cloison de séparation (4) est disposée entre la chambre mélangeuse et la chambre de diffusion de telle sorte que la chambre de diffusion est plus grande que la chambre mélangeuse. La plaque de séparation comporte une sortie de gaz (7) en un point précis sur le côté inférieur vertical d'une ligne droite reliant les deux entrées de gaz. Un élément à manchon cylindrique (61) est monté contre la paroi latérale d'un étage (53) à l'intérieur d'une chambre de réaction à dépression (2) et la hauteur de l'étage est fixée en un point où le volume d'un second espace sur le côté inférieur de l'étage relié à un dispositif d'évacuation par dépression est plus important que celui d'un premier espace. Ainsi le gaz d'échappement peut être évacué isotropiquement via un dégagement entre un élément de manchon et la surface de la paroi intérieure de la chambre de réaction sans provoquer une convection dans le premier espace entre une tête de gaz et l'étage. Il est possible d'uniformiser l'écoulement gazeux du gaz de mélange en évitant l'apparition de turbulences, de convection et de convection thermique.
Patent WO-03049068-A1 (WO)
Title: Appareil d'affichage comprenant un element bidirectionnel a deux bornes et procede de fabrication d'un appareil d'affichage
Inventor: SUGIHARA TOSHINORI
IPC: G02F1/16757
Filed: 2002-12-06
Abstract: La présente invention concerne un appareil d'affichage du type à matrice active qui peut être fabriqué plus facilement qu'avec le procédé classique. Un appareil d'affichage (100) comprend une pluralité de premières électrodes (11), une pluralité d'éléments (12) bidirectionnels à deux bornes, une pluralité d'électrodes (14) de pixels électriquement reliées à une des premières électrodes (11) via au moins un des éléments bidirectionnels (12) à deux bornes, une pluralité de deuxièmes électrodes (17) et une couche de milieu d'affichage prévue entre les électrodes (14) de pixels et les deuxièmes électrodes (17). La relation de positionnement entre les électrodes (14) de pixels et au moins un élément bidirectionnel (12) à deux bornes est aléatoire.
Patent WO-03093533-A1 (WO)
Title: Plateau metallique thermostabilise presentant une resistance a la corrosion elevee, plateau metallique presentant un revetement organique et plateau metallique galvanise phosphate
Inventor: YOSHIDA KENGO
IPC: C23C28/00
Filed: 2003-04-14
Abstract: L'invention concerne un plateau métallique thermostabilisé, présentant une résistance élevée à la corrosion ; un plateau métallique présentant un revêtement organique ; et un plateau métallique galvanisé phosphaté. Ce plateau métallique thermostabilisé comprend un plateau métallique ou un plateau métallique plaqué et, superposé sur une surface de celui-ci, une précouche constituée d'un composé de titane et/ou d'un composé de zirconium (a), d'un composé de phosphate (b) et d'une composé de guanidine (c), la précouche étant recouverte d'un revêtement de silicate. Dans le plateau métallique présentant un revêtement organique, la précouche est recouverte d'un revêtement composite organique/inorganique contenant de la silice colloïdale. Le plateau métallique galvanisé phosphaté comprend un plateau métallique en zinc ou un plateau métallique plaqué avec un alliage de zinc, présentant un revêtement de phosphate de zinc sur sa surface, le revêtement de phosphate de zinc étant recouvert d'un revêtement d'étanchéité constitué d'un composé de titane et/ou d'un composé de zirconium (a), d'un composé de phosphate (b) et d'un composé de guanidine (c).
Patent WO-2004001365-A1 (WO)
Title: 車輪傾斜角度調整部材の位置検出装置及び位置検出方法、軸状ワーク調整装置及び軸状ワークセット方法
Inventor: OSADA ATSUSHI
IPC: G01M17/007
Filed: 2003-05-19
Abstract: 作業者の視認によらず、車両毎の搬入位置のばらつきに起因する車輪傾斜角度調整部材の位置のばらつきや、車種毎の車輪に対する車輪傾斜角度調整部材の相対位置の差異に応じて、車輪傾斜角度調整部材の位置を検出できる車輪傾斜角度調整部材の位置検出装置を提供すること。任意の水平方向にフローティング自在なテーブル３上に車両Ｗに装着された車輪２を着座させた状態で、テーブル位置検出手段５ａ、５ｂによってテーブル３の水平方向位置を検出し、その検出結果と、車種毎に予め設定されて記憶手段ＲＯＭに記憶されている車輪傾斜角度調整部材Ａの車輪２に対する相対位置情報とに基づいて車輪２に連結された車輪傾斜角度調整部材Ａの位置を算出する。
Patent WO-03107099-A1 (WO)
Inventor: KAWAGUCHI TAKASHI
IPC: G04G21/04
Filed: 2003-06-12
Abstract: 時計システムは、親時計および子時計３を備える。親時計は、標準電波を受信して子時計３のモータ駆動用コイル３５で受信可能な時刻信号を作成する時刻信号作成回路と、この信号を送信する送信回路およびコイルを備える。子時計３は、基準信号に基づいて時刻を計時する時刻カウンタ３３と、駆動用コイル３５を有する駆動モータと、駆動用コイル３５で時刻信号を受信する受信回路３７と、受信した時刻信号で時刻カウンタ３３を修正する制御回路３８と、時刻を表示する時刻表示部３６とを備える。このため、駆動用コイル３５を利用するので、部品点数やコストの増加を抑え、時刻合わせ作業を短時間で行え、防水性能も向上できる。
Patent WO-2004006319-A1 (WO)
Title: プラズマ処理装置
Inventor: OHMI TADAHIRO
IPC: C23C16/455
Filed: 2003-07-03
Abstract: プラズマ処理装置は、外壁により画成され、被処理基板を保持する保持台を備えた処理容器と、前記処理容器に結合された排気系と、前記処理容器上に、前記保持台上の被処理基板に対面するように、前記外壁の一部として設けられたマイクロ波透過窓と、前記処理容器中にプラズマガスを供給するプラズマガス供給部と、前記処理容器上に、前記マイクロ波に対応して設けられたマイクロ波アンテナよりなり、前記プラズマガス供給部は多孔質媒体を含み、前記多孔質媒体を介して前記プラズマガスを前記処理容器に供給する。