Patent WO-2008092707-A1 (WO)
Title: Outil d'alignement optique et procédé d'alignement
Inventor: MARIONI FABIO
IPC: G03F7/20
Filed: 2008-02-04
Abstract: L'invention concerne un outil d'alignement destiné à être utilisé dans l'étalonnage d'un banc optique et/ou l'alignement d'un système optique (par exemple, un système optique de collecteur pour des applications d'ultraviolet extrême et de rayons X), le système optique comprenant de multiples miroirs imbriqués (par exemple, Wolter I) fixés à un support mécanique, l'outil comprenant une plaque d'interface mécanique, une bague de référence inférieure, une bague de référence supérieure et un élément à sténopé étant disposés espacés axialement en séquence, un premier dispositif de positionnement (par exemple, étape de translation x, y), fixé à la plaque d'interface mécanique et à la bague de référence inférieure, le premier dispositif de positionnement étant apte à ajuster précisément la position de la bague de référence inférieure en deux dimensions, un second dispositif de positionnement (par exemple, étape de translation x, y) fixé à la plaque d'interface mécanique et à la bague de référence supérieure, le second dispositif de positionnement étant apte à ajuster précisément la position de la bague de référence supérieure en deux dimensions, un troisième dispositif de positionnement (par exemple, étape de translation x, y, z), fixé à la plaque de référence supérieur et à l'élément à sténopé, le troisième dispositif de positionnement étant apte à ajuster précisément la position de l'élément à sténopé en trois dimensions, une interface mécanique (par exemple, comprenant trois rainures en v de référence), l'interface mécanique étant montée sur ou d'un seul tenant avec la plaque d'interface mécanique et étant sensiblement identique en forme à celle du support mécanique du système optique. L'invention concerne également un appareil pour l'étalonnage d'un banc optique et/ou l'alignement d'un système optique, utilisant le système d'alignement, une source laser et un détecteur CCD. L'invention concerne également un procédé d'étalonnage d'un banc optique, le système optique comprenant de multiples miroirs fixés à un support mécanique, le procédé comprenant les opérations consistant à (a) se procurer l'outil d'alignement, (b) aligner l'élément à sténopé à l'axe défini par l'interface mécanique, (c) monter l'outil sur un banc optique qui doit être utilisé pour co-aligner les miroirs du système optique, (d) positionner une source, par exemple une source laser, axialement et sur le côté de l'élément à sténopé distant de la plaque d'interface mécanique, (e) aligner la source par rapport à l'élément à sténopé, (f) positionner un détecteur, par exemple une caméra CCD, axialement et sur le côté de la plaque d'interface mécanique distante de la plaque d'interface mécanique, dans la zone où le foyer des miroirs devrait se trouver, (g) aligner le détecteur le long de l'axe optique par rapport à la source laser, (h) aligner les dispositifs de mesure, par exemple les micromètres, du banc optique par rapport aux deux bagues de référence, (i) retirer l'outil du banc optique. L'invention concerne également un procédé d'alignement d'un système optique, comprenant en outre les opérations consistant à (l) monter le support mécanique sur le banc optique, (m) positionner un miroir de référence sur le banc optique, (n) aligner le miroir de référence par rapport à la source laser et aux bagues de référence, (o) retirer le miroir de référence du banc optique, (p) attacher les miroirs du système optique au support mécanique, formant ainsi le système optique, et (q) retirer le système optique du banc optique.