Patent ES-2429568-T3 (ES)
Title: Método para la producción de silicio policristalino granular utilizando un reactor de lecho fluidizado
Inventor: KIM HEE YOUNG
IPC: C01B33/027
Filed: 2007-02-14
Granted: 2013-11-15
Abstract: Un método para preparar silicio policristalino utilizando un reactor de lecho fluidizado, que comprende: (a) emplear un reactor de lecho fluidizado en el que el tubo del reactor está situado verticalmente dentro de lacarcasa del reactor de manera que está rodeado por la carcasa del reactor, con lo que se divide el espaciointerno de la carcasa del reactor en una zona interna formada dentro del tubo del reactor y una zona externaformada entre la carcasa del reactor y el tubo del reactor, en el que en la zona interna se forma un lecho departículas de silicio y se produce deposición de silicio mientras que en la zona externa no se forma un lecho departículas de silicio y no se produce deposición de silicio ; (b) medir y controlar directa o indirectamente la presión de la zona interna utilizando un medio para controlar lapresión interna, medir y controlar directa o indirectamente la presión de la zona externa utilizando un mediopara el control de la presión externa, y mantener la diferencia entre la presión de la zona interna y la presión dela zona externa a menos de 1 bar utilizando un medio para controlar la diferencia de presiones; (c) introducir un gas de fluidización en el lecho de partículas de silicio utilizando un medio de entrada de gasesde fluidización; (d) introducir un gas de reacción que contiene átomos de silicio en el lecho de partículas de silicio utilizando unmedio de entrada de gases de reacción; (e) introducir un gas inerte en la zona externa, con lo que se mantiene una atmósfera de un gassustancialmente inerte en la zona externa; (f) calentar el lecho de partículas de silicio utilizando un medio de calentamiento instalado en la zona interna y/oen la zona externa; (g) descargar las partículas de silicio policristalino preparadas dentro de la zona interna hacia la zona externadel reactor de lecho fluidizado; (h) descargar un gas de escape que incluye un gas de fluidización que pasa a través del lecho de partículas desilicio, un gas de reacción sin reaccionar y un gas subproducto hacia el exterior del reactor de lecho fluidizado;en el que la presión de la zona externa (Po) o la presión de la zona interna (Pi) se mantiene dentro del intervalo de1-15 bar; en el que la diferencia entre la presión de la zona externa (Po) y la presión de la zona interna (Pi) se mantiene demanera que satisface la condición de 0 bar (Pi - Po) 1 bar, cuando el medio de control de la presión interna estáconectado espacialmente a la zona interna a través de al menos un medio seleccionado del grupo que consiste enun medio de entrada de un gas de fluidización, un medio de entrada de un gas de reacción, un medio de salida departículas de silicio y un medio de conexión a la zona interna, que están conectados espacialmente al lecho departículas de silicio; en el que la diferencia entre la presión de la zona externa (Po) y la presión de la zona interna (Pi) se mantiene demanera que satisface la condición de 0 bar (Po - Pi) 1 bar, cuando el medio de control de la presión interna estáconectado espacialmente a la zona interna a través de al menos un medio seleccionado del grupo que consiste enun medio de salida de un gas, un medio de entrada de cristales de siembra de silicio y un medio de conexión a lazona interna, que están conectados espacialmente a una parte superior de la zona interna en lugar de al lecho departículas de silicio.