baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-0169432-B1 (KR)
Inventor: LEE JAE-CHUN
IPC: D06F33/02
Filed: 1995-05-23
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 세탁기의 세탁제어방법에 관한 것으로, 세탁기본체(10) 내부에 설치된 수조(11)와, 상기 수조(11)의 내부에 회전가능하게 설치된 세탁조(12)와, 상기 세탁조(12)의 내부 저면에는 중심부가 돌출되고 내주면에 제1 내지 제3암나사부(17,17',17)가 등간격으로 형성된 캡부(14)를 갖고 세탁물을 세탁하기 위해 정역회전하는 펄세이터(13)와, 상기 캡부(14)의 내부에 삽입되고 상단이 돌출된 헤드부(19)를 갖으며 외주면에 등간격으로 제1 내지 제3수나사부(20,20',20)가 형성된 내봉(18)과, 상기 펄세이터(13)와 상기 세탁조(12)를 회전시킬 수 있도록 세탁기본체(10)에 설치된 모터(15)와, 상기 모터(15)의 회전력을 상기 펄세이터(13)와 상기 세탁조(12)에 선택적으로 전달하는 동력전달장치(16)를 구비한다. 본 발명은 내봉의 제1나사부가 캡부의 암나사부들에 각각 이물림되므로써 세탁수의 수위에 따라 내봉의 높이를 가변한 상태에서 세탁을 수행하게 되므로 세탁수류의 난류를 일으키므로 세탁물의 꼬임현상을 방지하고 세정도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-0142975-B1 (KR)
Title: 중간 도전성 베이스를 이용한 멀티칩 반도체 패키지 및 그 제조방법
Filed: 1995-05-31
Granted: 1998-07-01
Abstract: 본 발명은 멀티층에 의한 베어칩을 실장공정을 이용하지 않고서도 단일 금속층에 의한 베어칩들의 실장이 가능하도록 하기 위하여, 상술한 바와같이 본 발명에 따른 중간 도전성 베어스를 이용한 멀티칩 반도체 패키지 및 그 제조방법에 의하면, 실리콘 기판의 소정영역에 형성된 적어도 하나 이상의 전극패드와; 상기 전극패드의 사이 사이에 배열 형성되며, 상기 실리콘 기판상에 비 도전성 접착제가 개재되어 다이 본딩된 베어칩들 및 중간 도전성 베어스와; 상기 중간 도전성 베어스 및 전극패드를 매개로 하여 베어칩들의 상호간을 전기적으로 연결하고 있는 적어도 3개 이상의 본딩 와이어로 구성되는 중간 도전성 베어스를 이용한 멀티칩 반도체 패키지 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Patent KR-0164140-B1 (KR)
Inventor: PARK JAE-HYUNG
IPC: H04N7/16
Filed: 1995-06-29
Granted: 1999-01-15
Abstract: 본 발명은 멀티-포인트 토폴로지를 가지는 네트워크 상에서 헤드-엔드를 감시하는 마스터 제어 보드 상에 에러가 발생하여 감시기능을 실행할 수 없을 시, 슬레이브 제어 보드를 마스터 제어 보드로 절체하여, 상기 슬레이 제어 보드에서 마스터 제어 보드의 기능을 대신 수행토록 하는 광-케이블 TV헤드-엔드 감시환경블럭의 에러 복구장치 및 그 방법에 관한 것으로, 광-케이블 TV의 구성요소인 헤드-엔드부분을 자체 감시하는 감시환경블럭에 에러가 발생하여, 에러 복구시 소요되는 시간동안 통신이 두절되는 현상을 방지하기 위해, 마스터 제어보드의 기능을 대신 수행할 수 있도록 각 마더보드를 설치하고, 만약 마스터 제어보드에 에러가 발생하면 슬레이브 제어보드에서 그 기능을 대신 수행토록 교체하므로서, 에러가 발생하였더라도 정상적인 기능을 수행할 수 있도록 한다.
Patent KR-0157180-B1 (KR)
Inventor: LIM DAE-WOO
IPC: G11B5/733
Filed: 1995-07-21
Granted: 1999-02-18
Abstract: 본 발명은 필름의 표면이 극히 평활하고 가공성, 주행성 및 내구성이 우수한 금속박막 자기기록매체용 이축배향 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름에 관한 것으로 마그네슘계 화합물과 게르마늄계 화합물을 함유하는 폴리에틸렌 테레프탈레이트를 주성분으로 하는 금속박막 자기기록층을 형성하는 층(A)와 불활성 무기미립자를 함유하는 폴리에틸렌 테레프탈레이트를 주성분으로 하는 주행면을 형성하는 층(B)를 적층시킨 필름으로 층(A)의 중심선표면조도(Ra)가 5㎚ 이하이고, 표면중심선에서 최대높이(Rp)와 최대깊이(Rv)의 합이 20㎚ 이하이고, 층(B)는 평균입경(x : ㎛) 0.1∼0.5㎛의 구형실리카입자를 0.02∼0.16중량% 첨가함을 특징으로 하는 이축배향 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름에 관한 것이다.
Patent KR-100190759-B1 (KR)
Inventor: KIM MI-YANG
IPC: G11C11/407
Filed: 1995-08-18
Granted: 1999-06-01
Abstract: 본 발명은 워드라인 구동회로에 관한 것으로 특히 워드라인을 활성화시키는 과정에서 사용되는 부트스트래핑 액세스 시간을 감소시킨 다이나믹 램의 워드라인 구동회로에 관한 것이다. 
     본 발명의 워드라인 구동회로는 로오 어드레스신호를 입력받아 워드라인 구동신호를 발생하는 주 디코더와, 워드라인 구동에 필요한 고전위를 발생하는 고전위 발생기 및 상기 주 디코더로부터 발생된 구동 신호에 따라 상기 고전위 발생기로부터 발생된 고전위를 워드라인으로 출력시키는 부 디코더를 구비한 반도체 소자에 있어서, 
     상기 주 디코더로부터 상기 부 디코더에 인가된 출력 신호가 Vcc-Vt전위로 되는 것에 따라 상기 고전위 발생기의 구동을 제어하는 신호 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 워드라인 구동회로를 제공한다.
Patent KR-0125435-B1 (KR)
Title: Transfer device of bus side panel
Inventor: LEE CHOL
IPC: B62D65/00
Filed: 1995-08-30
Granted: 1997-12-08
Abstract: The plurality of drive wheel(12) is placed under the feed rail(11) positioned on the ground to move left and right. The first sprocket(13) is placed on both ends of one side of the drive wheel(12) to transfer the power to the drive wheel(12). The rectangular base(10) is placed on feed shaft(14) in the first sprocket(13). The body(20) fixed on the upper of the base(10) consists of a upper plate(21) and a lower plate(22) and has the radial groove(20) on the upside of the upper plate(21). The second sprocket(31) is perpendicularly extend to the first sprocket(13) of the base(10) on a side of the lower plate(22) by means of the feed chain(32). The feed means(30) includes a feed motor(33) and the second sprocket(31) connected with the feed motor(33). The driving motor(41) generating the power is placed on the center of the lower plate(22) of the body(20). The reduction gear shaft(43) is perpendicularly seated on the reduction gear(42) that extend to the driving motor(41) so as to transfer the power. The third sprocket(44) formed on an end of the deceleration gear shaft(43) is connected to the fourth sprocket(45) by the driving chain(46). The power transfer means(40) is perpendicularly placed on the driving shaft(47) assembled integrally with the fourth sprocket(45). The support(50) is seated on the roller(52) that has the hole(51) passing through the driving shaft(47) of the power transfer means(40) and is rotatably inserted into the groove(23) formed on the upper plate(21). The guide member(60) winding the side panel for bus(2) is inserted into an end of the driving shaft(47) in the power transfer means(40) placed on the support(50) and projected toward the upside of the hole(51).
Patent KR-0174304-B1 (KR)
Inventor: AHN SUNG-KI
IPC: A23L19/20
Filed: 1995-08-31
Granted: 1999-02-18
Abstract: 본 발명은 미세분쇄된 김치, 전분, 당 및 정제수의 혼합 액상물을 박막 건조하여 얻어지는 김치 건조 박편과 그 제조 장치에 관한 것이다. 
     본 김치 건조 박편은 저장성이 우수하고 김치 고유의 맛을 그대로 유지하고 있으므로 밥 등에 뿌려 직접 식용하거나 스프 등의 첨가 재료로 활용할 수 있다.
Patent KR-0184623-B1 (KR)
Inventor: FUJII KAZUO
IPC: H04L29/10
Filed: 1995-09-05
Granted: 1999-05-15
Abstract: [목적] 
     내장 DAA 또는 외부 DAA의 선택을 가능하게 하고, 또한 모뎀 보드를 컴팩트화하는 것을 목적으로 한다. 
     [구성] 
     모뎀 보드에 모뎀 회로에 접속된 하이브리드 회로와 내장 DAA 이 탑재되고 있다. 이 하이브리드 회로와 내장 DAA는 각각 인터페이스 커넥터에 접속되고 있다. 이 인터페이스 커넥터에 MiniDin 커넥터(28)를 구비한 잭 서브 카드(26)를 삽입하면 모뎀 보드의 하이브리드 회로를 거쳐서 외부 DAA(32)와 모뎀 회로(12)가 접속된다. 또한, RJ11 커넥터를 구비한 다른 잭 서브 카드(36)를 삽입하면 내장 DAA(24)가 하이브리드 회로를 거쳐서 모뎀 회로(12)에 접속된다. 이것에 의해서 내장 DAA(24) 또는 외부DAA(32)에 대응한 애널로그 신호에 의한 통신이 가능하게 된다.
Patent KR-100366872-B1 (KR)
IPC: C07F9/50
Filed: 1995-09-22
Granted: 2003-04-16
Abstract: Prepn. of sulphonated aryl phosphines by sulphonating aryl group-contg. mono-, di-, oligo- and poly-phosphines reaction is at 20-350 degrees C in a water-free mixt. of sulphuric acid and ortho boric acid.
Patent KR-0164971-B1 (KR)
Inventor: JUNG JI-KON
IPC: H04N3/18
Filed: 1995-11-07
Granted: 1999-03-20
Abstract: 본 발명은 영상표시기기에서 수평출력회로를 구동시키는 수평드라이브 회로에 있어서, 사용자의 화면 수평크기조절에 의하여 드라이브 조건이 변경됨을 일정하게 고정되어 있는 수평드라이브 전류를 보정하여 항상 최적의 드라이브 조건을 만족하도록 한 영상표시기기의 수평드라이브 회로에 관한 것이다. 
     종래 수평드라이브 회로에 있어서, 화면크기를 특정한 크기에서 수평출력트랜지스터의 최적 드라이브 조건을 맞추어 놓았으므로, 사용자가 화면크기를 임의로 줄이거나 키우면 수평출력트랜지스터의 드라이브 조건은 틀어지게 되어 수평출력트랜지스터의 발열이 심하게 발생하게 된다. 
     특히 근래에 들어서는 화면크기를 표준 사이즈로 사용하는 사용자가 있는가 하면 오버스캔이나 풀 스캔으로 사용하는 사용자도 많이 있으므로 화면크기에 따른 수평드라이브 조건 보정의 필요성이 절실하게 되었다. 
     따라서 본 발명에서는 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 수평크기조정 신호를 인출하여 수평드라이브 보정부에 입력시켜 화면크기에 따른 수평드라이브 조건을 보정하게 되는 바, 사용자가 화면크기를 표준크기 이상으로 조절하면 수평드라이브 전류를 상승시켜 언더 드라이브조건이 됨을 방지하고, 화면크기를 줄이면 수평드라이브 전류를 감소시켜 오버 드라이브 조건이 됨을 방지하도록 하므로서, 사용자가 설정하는 화면크기에 따라 항상 최적의 드라이브 조건을 유지시킬 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100255908-B1 (KR)
Inventor: OKINO SHIGERU
IPC: G02B27/46
Filed: 1995-11-09
Granted: 2000-05-01
Abstract: 광학소자는 적외영역의 광을 전부 또는 대부분 차단하는 재료로 이루어진 렌즈와, 광학적 저역통과필터로 구성되어 있고, 상기 렌즈 및 상기 광학적 저역통과필터는 서로 일체화되어 있다.
Patent KR-0175870-B1 (KR)
Inventor: LEE JAE-GWON
IPC: F24F13/14
Filed: 1995-12-13
Granted: 1999-10-01
Abstract: 본 발명에 의한 공기조화기의 흡입구 및 토출구 연동개폐장치는, 실내의 공기가 블로워팬의 흡입력에 의해 흡입되는 흡입구와, 상기 토출구의 하부에 상기 흡입구를 통해 흡입된 공기가 열교환되어 다시 실내로 토출되는 토출구가 형성된 공기조화기에 있어서, 상기 흡입구를 커버하는 다수의 흡입구 셔터부재의 양측에 각각 결합된 다수의 개폐부재와, 상기 개폐부재들을 서로 연결하여 상기 개폐부재들중의 하나에 동력을 전달하는 셔터개폐용 모터의 회전력에 의해 상기 흡입구 셔터부재들을 유기적으로 작동시키는 다수의 링크부재와, 상기 흡입구 셔터부재들의 양측에서 회전가능케 축지지하는 지지부재와, 상기 다수의 개폐부재들의 흡입구 개폐 동작에 따라 토출구 셔터부재를 연동시켜 토출구를 개폐시키도록 흡입구 및 토출구 연동개폐수단을 포함함을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 본 발명은 공기조화기 실내기의 비사용시에는 흡입구 및 토출구를 폐쇄하여 그 내부로 이물질 등의 유입을 방지할 뿐만 아니라 실내기의 사용시에는 흡입구 및 토출구를 원활하고 용이하게 개방함과 동시에 그 내부로 실내 공기를 최대로 흡입하여 냉방능력을 향상시킬 수 있다는 매우 뛰어난 발명이다.
Patent KR-0136818-B1 (KR)
Inventor: HAN HONG-JIN
IPC: B60N2/90
Filed: 1995-12-14
Granted: 1998-05-15
Abstract: 본 발명은 자동차의 시트에 착석하는 착석자의 요추를 받칠 수 있는 자동차 시트의 요추 받침장치를 제공하기 위하여 자동차의 헤드레스트(20)와 시트 쿠션(21)에 권취롤러(30)와 고정롤러(31)가 각각 수납되는 상부롤러수납실(40)과 하부롤러수납실(41)을 각각 형성하고, 상기 권취롤러(30)와 고정롤러(31)에 양단이 권취되어 있는 요추받침시트(50)가 안밖으로 출입하도록 하는 출입구멍(60)과 밖으로 인출하기 위한 인출구멍(61)을 상기 상·하부롤러수납실(40)(41)로부터 각각 상·하방향 외측으로 연통하도록 상기 헤드레스트(20)의 저면과 시트쿠션(21)의 상면에 각각 형성하는 한편, 상기 권취롤러(30)의 일측단으로부터 상기 헤드레스트(20)의 일측부로 돌출되는 롤러축(30a)의 선단에 핸들(70)을 설치하고, 상기 요추받침시트(50)에 장력을 주는 방향으로 상기 핸들(70)을 회전시킴에 따라 회전되는 권취롤러(30)의 회전은 자유롭게 하고 그 반대방향으로의 회전은 멈추게 하는 역전방지기구(80)를 상기 권취롤러(30)의 타측단에 설치하여 구성한 것이다.
Patent KR-0173810-B1 (KR)
Inventor: HA KWANG-JUN
IPC: G09F13/18
Filed: 1995-12-15
Granted: 1999-01-15
Abstract: 본 발명은 도광판(道光板)을 이용하여 긴급대피 상황 및 특정 장소의 유도안내를 위한 유도등이나 각종 안내표지판(이하 안내표지장치라 통칭함)을 선명하게 투영할 수 있도록 한 안내표지장치 및 그 도광판에 관한 것이다. 
     통상 안내표지장치는 조명 등의 설치구조에 의해 전체적인 외형이 커지게 되므로 설치공간을 많이 차지하게 되었고, 이에 따라 제조원가의 상승과 미관을 해치게 되는 결점이 있었으며, 표지층을 선명하게 투영하지 못하게 되는 결점이 있었고 이로 인해 조명 등의 조도를 높게 설정함에 따른 전력의 낭비를 감수해야 하는 등의 결점이 있었던 것이다. 
     본 발명은 이와 같은 종래의 안내표지장치의 결점을 일소한 것으로, 외형을 박판, 소형화하여 외관을 미려하게 함과 동시에 설치공간을 최소화하고, 조명 등으로부터 조사되는 광원이 표지판 전체에 고루 굴절·반사되도록 하여 작은 용량의 광원으로도 표지내용을 선명하게 인지할 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100368985-B1 (KR)
Title: Method for patterning metal film in fabrication process of semiconductor device
Inventor: LEE BOK HYEONG
IPC: H01L21/28
Filed: 1995-12-27
Granted: 2003-03-31
Abstract: PURPOSE: A method for patterning a metal film is provided to be capable of effectively removing polymer caused by patterning the metal film. CONSTITUTION: A metal wiring(23') is formed on a silicon substrate(21) having an insulating layer(22) by sequentially depositing a TiN layer(23-1') and a W film(23-2') and patterning the TiN layer(23-1') and the W film(23-2') using dry-etching. At this time, polymers(25') remain on the metal wiring(23'). The polymers(25') are removed by two-step processing. That is, the polymers(25') are partially removed by using NMD-III chemical solutions, and polymer residues are entirely removed by using NMD-III chemical solutions.
Patent KR-100189330-B1 (KR)
Inventor: HONG TAE-YI
IPC: C23C4/10
Filed: 1995-12-27
Granted: 1999-06-01
Abstract: 본 발명은 용탕 내에 잔존하는 이물질 및 유해 가스를 제거하기 위하여 불활성 가스를 상기 용탕내에 주입시키기 위한 가스 버블용 튜브에 관한 것으로 상기 가스 버블용 튜브는 중공형 구조로 형성되고 측면상에 복수개의 기공부가 형성된 강재 튜브와 상기 강재 튜브의 외부 표면상에 형성된 세라믹 조성의 피복층으로 이루어져 있고 상기 피복층은 그의 적층 두께가 증가될수록 상기 강재 튜브의 조성 재질에 대한 피복 재질의 조성비가 증가되어 있으며 이에 의해서 가스 버블용 튜브의  열충격에 대한 내성을 향상시켜서 용련 공정 비용을 감소시킬 수 있다.
Patent KR-100187355-B1 (KR)
Inventor: KIM TAI-KOO
IPC: G10K9/04
Filed: 1995-12-28
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 차량에 구비되는 경음기 장치에 관한 것으로서, 종래의 차량에 구비되는 경음기 장치에 있어서는 스티어링휠의 중앙부에 구비되어 있는 경음기 스위치를 누르면 흔이 일정한 크기의 경음만을 울리도록 되어 있어서 운전자가 위급한 정도에 따른 경음의 크기를 조절할 수 없게 되어 있어서 불편하다는 문제점이 있었다. 
     본 발명은 자동차의 스티어링휠(1)에 구비되어 혼(8)을 구동시키는 경음기 스위치(2)에 있어서, 
     상단은 상기 경음기스위치(2)의 저면에 고정되고 하단은 상기 스티어링휠(1)의 내부에 압축가능하게 고정된 스프링(3)과, 
     상기 경음기스위치(2)의 일측에서 하방으로 연장되는 전도체로 된 핀(4)의 하단에 회전가능하게 동체로 결합시킨 전도체로 된 피니언(5)과, 
     상기 피니언(5)과 맞물리도록 상기 스티어링휠(1)에 내장되며 상부는 부도체로 되고 하부는 전도체로 된 랙(6)을 구비하고, 
     상기 피니언(5)과 랙(6)을 가변저항(7)으로 하여 혼(8)과 자동차의 배터리에 전기적으로 연결하여 경음의 세기가 가변될 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-0181820-B1 (KR)
Inventor: KIM JIN-HEE
IPC: G11B7/08
Filed: 1995-12-30
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 광픽업 액츄에이터용 대물렌즈의 경사측정장치에 관한 것으로서, 특히 레이져 장치(10)에서 조사된 레이져 광을 대물렌즈(32)상에 안치된 전반사 미러(33)에 조사하여 대물렌즈(32)의 경사각도를 측정하는 장치에 있어서, 상기 레이져 장치(10)에서 주사된 레이져 광을 적절히 굴곡시키기 위해 경사져 설치되는 반사거울(20)과, 상기 반사거울(20)에서 굴곡되어 전반사 미러(33)로 입사되는 입사광의 초점 위치를 조절하기 위해 광픽업 액츄에이터(30)의 요오크플레이트(34)를 저면에서 고정해주는 요오크플레이트 고정부재(34)와, 상기 광픽업 액츄에이터(30)의 서스펜션 피씨비(36)를 통해 서스펜션 와이어(37)에 전기를 공급하여서 대물렌즈(32)가 장착된 대물렌즈 홀더(31)를 포커싱 조정방향 및 트랙킹 조정방향으로 동작시키는 전원공급수단(60)으로 구성된 것을 특징으로 하는 광픽업 액츄에이터용 대물렌즈의 경사측정 고정장치인바, 대물렌즈의 측정작업이 신속하고 정확할 뿐만 아니라 측정에러를 줄여주도록 해준다.
Patent KR-100218062-B1 (KR)
Inventor: LUND EARL AUGUST EUGENE
IPC: C11D7/50
Filed: 1993-10-28
Granted: 1999-09-01
Abstract: 본 발명은 가열 및 냉각에서 냉매로써 유용하고 열가소성 발포물 제조용 발포제로 유용한, 디플루오로메탄, 펜타플루오로에탄 및 1,1,1-트리플루오로에탄으로 된 공비성 조성물에 관한 것이다.
Patent KR-970011346-B1 (KR)
Inventor: MATSUMOTO CHIKAKO
IPC: C11D1/37
Filed: 1994-09-22
Granted: 1997-07-09
Abstract: 없음.
Patent KR-100298807-B1 (KR)
IPC: A61P25/00
Filed: 1994-01-03
Granted: 2001-11-22
Abstract: PCT No. PCT/FR94/00003 Sec. 371 Date Jun. 6, 1995 Sec. 102(e) Date Jun. 6, 1995 PCT Filed Jan. 3, 1994 PCT Pub. No. WO94/15601 PCT Pub. Date Jul. 21, 1994This invention relates to an application of riluzole or the pharmaceutically acceptable salts in the preparation of drugs for the treatment of Parkinson's disease and parkinsonian syndromes.
Patent KR-100325486-B1 (KR)
Title: 편광과유도라만증폭을이용한산란물질을통한타임-게이트된영상화장치
IPC: G01N21/65
Filed: 1994-01-06
Granted: 2002-07-06
Abstract: 산란 물질 내에서 또는 산란물질을 통하여 영상화하는 장치는 광대역 레이저 기준 빔을 만드는 광원과 상기 기준 빔에 상관되는 스토크스 조명 빔을 포함하며, 상기 광대역 기준 빔은 사전에 선택된 라만 펌프 파장을 가지며, 상기 스토크스 조명 빔은 사전에 선택된 스토크스 파장에서 중심파장을 갖는다. 상기 스토크스 조명 빔은 산란물질내에 전송되어, 제 1 영상 이송 성분과 제 1 비영상 성분을 갖는 스토크스 신호 빔을 수득한다. 기준 빔에 반응하는 수단은 지연 기준 빔을 만들고 스토크스 신호 빔에 응답하는 수단은 제 2 영상 이송 성분과 제 2 비영상 성분을 가지며 제 1 비영상 성분에 기능적으로 의존하는 지연 스토크스 신호 빔을 만들어, 지연 스토크스 신호 빔의 제 2 영상 이송 성분과 지연 기준 빔은 사전에 선택된 시간 차 만큼 서로 차이 나게 된다. 지연 기준 빔은 편광되고, 지연 스토크스 신호 빔 역시 편광된다. 편광된 스토크스 신호 빔은 편광된 영상 이송 성분과 편광된 비영상 성분을 갖는다. 편광된 기준 빔과 편광된 스토크스 신호 빔은 결합되어 스토크스 성분과 기준 성분을 갖는 결합 빔을 형성하고, 스토크스 성분은 제 3 영상 이송 성분과 제 3 비영상 성분을 갖기 때문에, 상기 제 3 영상 이송 성분과 기준 성분은 서로 상관되고 따라서 스토크스 성분의 편광상태는 기준 성분의 편광상태와 서로 다르다. 
     결합 빔에 반응하는 유도 라만 증폭기는 스토크스 성분의 편광상태에 대해 수직인 편광상태를 갖는 제 4 영상 이송 성분과 스토크스 성분의 편광상태에 대해평행한 편광상태를 갖는 제 4 비영상 성분을 갖는 증폭된 신호 빔을 만든다. 제 4 영상 이송 성분은 편광기의 이용에 의해 나머지 증폭된 신호 빔으로부터 구분된 다음 검출된다.
Patent KR-100317474-B1 (KR)
Title: 프로펠러샤프트
IPC: F16C3/02
Filed: 1994-11-29
Granted: 2002-07-02
Abstract: FRP제의 원통형상 본체(1)와, 이 본체의 양 단부에 압입접합한 조인트(2)가 있으며, 본체(1)는 그 본체(1)의 전체 길이에 걸쳐서 연장되는 본체의 축방향에 대하여 ± 5∼30°의 각도로 나선형으로 감긴 보강섬유를 포함하는 주층(1a)과, 본체의 양 단부에, 주층(1a)과 일체로, 그 주층(1a)의 내측에 설치한 띠형상으로 감긴 보강섬유를 포함하는 부분층(1b)이 있는 자동차의 프로펠러샤프트에 관한 것이다. 조인트(2)는, 본체(1)와의 접합면을 향하는 하향 경사면(2c)이 있거나, 외경이 부분층(1b)의 외경 이하이고, 또, 부분층(1b)의 외단면에 맞닿는 직립면(2d)이 있거나, 선단이 주층(1a)과 부분층(1b)과의 계면 사이에서 대향하고 있는 쐐기(2f)가 있다. 조인트(2)에 축방향으로의 압축하중이 작용하면, 경사면(2c), 직립면(2d) 또는 쐐기(2f)가 주층(1a)과 부분층(1b)과의 계면 사이를 박리시켜서, 본체의 파괴가 진행되는, 크러셔블구조의 보디에 의한 에너지 흡수효과가 발휘된다.
Patent KR-100381116-B1 (KR)
Title: 광기록매체정보의불법복사또는불법설치방지방법및장치
IPC: G11B20/10
Filed: 1995-04-18
Granted: 2003-07-22
Abstract: 광기록매체를 사용하여 재생하는 기록재생장치에 있어서, ROM 형 디스크의 물리적 특징을 추출하여 암호화하고, 이 암호를 광디스크에 기록한다. 재생시에 이 암호를 평문화한 물리적 특징과 ROM 디스크에서 검출한 물리적 특징정보 등을 비교하여 일치하지 않을 경우에는 작동을 정지시킴으로써 불법으로 복재된 디스크의 사용을 방지한다. 광기록매체(2)의 자기기록층(4)에 기록한 물리적 특징정보를 자기헤드(8)에 의하여 재생하고, 물리적 특징정보 검지수단으로 측정한 정보와 대조함으로써 복제매체를 검출한다.
Patent KR-100200972-B1 (KR)
Inventor: ADAZI KINJI
IPC: A61J9/00
Filed: 1996-01-17
Granted: 1999-06-15
Abstract: 우유혼합포트 및 젖병겸용 보온장치는 전기히터 및 전기히터를 제어하기 위한 제어회로로 이루어진 전기가열장치와 전기히터의 바로 위에서 전기히터에 인접하여 배치되고 또한 우유혼합포트 또는 젖병이 배치될 수 있는 배치판으로서 작용하는 열전도판을 포함하며, 한편 제어회로는 배치판상에 배치된 우유혼합포트 또는 젖병에 담긴 끓는 물이 안정된 상태에서 적절한 우유혼합온도로 유지될 수 있는 방식으로 전기히터를 제어한다. 또한 보온장치상에 배치되는 우유혼합포트는 포트본체 손잡이 및 덮개를 포함하며 덮개의 후방측상에 즉 포토본체와 접촉할 수 있는 덮개 부분에 공기통풍용 돌출부분이 제공된다. 그리고, 보온장치상에 배치되는 덮개는 상부표면부분과 주변부분이 커버되며 하부표면부분이 개방되고 큰 공간부분이 내부에 형성되는 방식으로 구성된 역 리세스형 개방덮개이다. 개방덮개의 상부표면부분에는 젖병이 삽입되는 크기를 각각 갖는 다수의 개구가 형성된다.
Patent KR-100214588-B1 (KR)
Inventor: HONG CHANG-HEE
IPC: H01L33/00
Filed: 1996-01-29
Granted: 1999-08-02
Abstract: 본 발명은 발광소자 어레이 구조 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 그 발광소자의 어레이 구조는 육각형 피라미드 형태로 발광소자를 형성하고, 이와 같이 형성된 발광소자의 각 육면에서 나오는 광이 서로 중첩되도록 그 발광소자를 배치시킨 육각형의 어레이 구조로써 이루어지며, 그 제조는 실리콘 카바이드 기판위에 버퍼층과 엔형 에피층을 성장시키는 공정과; 이후 마스크로 이용될 산화막을 증착하는 공정과;  이후 포토리소그래피 공정으로 두개의 창을 형성하는 공정과; 이후 엔형 크래등층 환성층 및 피형 크래드 층을 순차적으로 성장시키는 공정과; 이후 기판의 윗면에 피형 크래드 층을 형성하는 공정과 이후 기판의 뒷면에 엔형 크래드 층을 형성하는 공정과; 이후 육각형 피라미드 구조의 각 육면이 중첩될 수 있도록 육각형의 어레이 구조를 이룸으로써 제조가 완료되는데, 상기와 같이 선택적으로 에피성장된 육각형 피라미드 구조의 발광소자를 육각형의 어레이 구조를 이룸으로써 광출력을 증가시켜 낮은 전류에서도 고휘도를 낼 수 있게 되어 발광소자의 수명시간이 연장되는 장점이 있다. 
     또한, 풀칼라 발광 다이오드를 제조할때 각 소자의 구동 전류 불일치에 따른 설계및 패키지등의 개선을 이룰 수 있다.
Patent KR-0185111-B1 (KR)
Inventor: SUNG KWANG-HYUN
IPC: B60K5/12
Filed: 1996-03-29
Granted: 1999-04-01
Abstract: 본 발명은 차량의 엔진마운팅장치에 관한 것으로, 차체(1)의 측벽에 한쪽 방향으로 돌출설치된 케이지형 브라켓트(2)의 상단에 댐퍼블럭지지대(2b)가 구비되고, 상기 댐퍼블럭지지대(2b)에 서로 내측의 아래쪽을 향해 경사배치된 경사지지판(2c)이 고정부착되어 있으며, 이 경사지지판(2c)에 댐퍼블럭(3)이 감싸도록 걸려져 지지되어 있는 한편, 이 댐퍼블럭(3)에 차량의 엔진(4)이 엔진마운팅 브라켓트(5)와 연결보울트(6)를 매개하여 체결된 구조로 이루어져, 댐퍼블럭을 간단하게 설치해 줄 수가 있을 뿐만 아니라, 이 댐퍼블럭이 수직상하방향의 진동과 좌우방향의 진동을 효과적으로 흡수하여 감쇄시킬 수가 있는 한편, 엔진의 이동을 저지할 수 있게 하는 효과를 얻을 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100214477-B1 (KR)
Inventor: SHIN JONG-SOO
IPC: G11C11/407
Filed: 1996-04-19
Granted: 1999-08-02
Abstract: 본 발명의 반도체 메모리장치는, 게이트가 접지된 다수개의 엔모스 트랜지스터를 직렬연결한 하이셀부와, 게이트가 전압(Vcc)와 접속된 다수개의 엔모스 트랜지스터를 직렬연결한 로우셀부와, 상기 하이셀부의 전압레벨을 조절하기 위한 제1바이어스부와, 상기 로우셀부의 전압레벨을 조절하기 위한 제2바이어스부와, 상기 제1 및 제2 바이어스부의 출력을 입력으로하여 중간레벨을 갖도록 조정하고 이를 상기 메인 센스 엠프부로 출력하여 하이데이터와 로우데이터를 정확히 센싱할 수 있도록 하기 위한 레퍼런스 레벨 조정부를 포함하여 구성되며, 상기 레퍼런스 레벨 조정부를 통해 상기 메인 센스 엠프부에 입력되는 레퍼런스 레벨을 하이셀과 로우셀의 중간레벨로 정확히 조정함으로써 센싱의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-0175716-B1 (KR)
Inventor: KIYOTAKI YOSHIHIRO
IPC: G03B27/72
Filed: 1996-05-03
Granted: 1999-05-15
Abstract: 노광용 광원, 네가필름의 투과광을 적절배율로 감광재료에 투영하는 광학부재를 구비하고, 상기 노광용 광원과 상기 네가필름사이에는 노광시간제어용 제1셔터를, 광학부재와 감광재료 사이에는 차광용 제2셔터를 가지는 사진인화장치에서, 노광제어용 제1셔터와 제2셔터의 개방완료동작 및 폐색개시동작을 동시에 실행하는 제어수단, 또는 차광용 제2셔터에 있어서 노광시간제어용 제1셔터가 60초이상 계속적으로 폐색한 상태인때 폐색동작을 실행하는 제어수단을 구비한다.
Patent KR-0175221-B1 (KR)
Inventor: LEE SUN-JAE
IPC: A47G25/14
Filed: 1996-05-06
Granted: 1999-02-18
Abstract: [목적]생산코스트의 상승 없이 합판지 옷걸이의 변형을 방지할 수 있는 무변형 합판지 옷걸이를 제공하고, 유아용 옷에 적합한 또다른 무변형 합판지 옷걸이를 제공하는 것임. 
     [구성]경사판부와 연결판부가 일체로 형성되어 대략 이등변 삼각형상을 이루고 경사판부의 상측으로는 걸이판부가 일체로 연장 형성되어 있는 합판지 옷걸이에 있어서, 상기 경사판부와 연결판부중 선택된 적어도 한쪽 판부에 연장하여는 보강판부를 형성하고, 이 보강판부는 상기 선택된 판부와 대략 직각을 이루도록 절곡한 상태로 고정 가능하게 하여, 상기 보강판부를 상기 선택된 판부와 대략 직각을 이루도록 절곡하여 고정하므로서 전체적인 변형을 방지하도록 한다.  또다른 실시예로는, 상기 연결판부를 하측방향으로 길게 연장 형성함과 함께 그 상.하방향측의 측부에는 상호 대칭되게 걸이돌기를 형성하고, 연결판부의 내측에는, 대략 사각 형상의 연장판부를 연결판부의 하측으로 절곡 가능하게 형성함과 함께 연장판부의 하측으로 절곡시켜 고정할 경우, 상기 연장판부에 형성된 걸이돌기가 연결판부의 하측에 위치되도록 한다.
Patent KR-100203047-B1 (KR)
Inventor: PARK SANG-YOL
IPC: H04N5/63
Filed: 1996-05-18
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 본 발명은 CRT(Cathode-ray Tube)를 통해 출력되는 영상화면의 밝기가 급변하는 경우에 발생되는 화면크기의 변동을 방지할 수 있도록 된 화상출력장치의 전원안정화장치에 관한 것으로서, SMPS 트랜스포머와, 이 트랜스포머를 구동하기 위한 트랜지스터, 상기 동작전원의 출력단과 접지사이에 결합된 포토다이오드와 이 포토다이오드로부터 방출되는 광량에 비례하는 검출전유를 출력하는 포토트랜지스터를 갖춘 포토커플러 및, 이 포토커플러에서 인가되는 검출전류량을 근거로 상기 트랜쟤스터를 듀티구동하는 콘트롤러를 구비한 전원장치에 있어서, 상기 전원장치의 출력단에 결합된 커플링 콘덴서와, 상기 커플링 콘덴서를 통해 인가되는 파형신호를 근거로 상기 포토다이오드를 통해 흐르는 전류량을 강제적으로 증감시키는 전류제어수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100223456-B1 (KR)
Inventor: BAE GYU TAE
IPC: B60R13/08
Filed: 1996-05-22
Granted: 1999-10-15
Abstract: 본 발명은 자동차 엔진 룸 내의 크럴치, 히터, 에어컨, A.B.S모듈레이터 등에서 도출되는 각종 튜브를 엔진 투과소음 등이 저감된 상태로 대시 패널에 고정시킬 수 있는 튜브고정구조에 관한 것이다. 
     본 발명은 대시 패널(1)에 용접볼트(5)와 너트(9)로 체결되고 양단이 인슐레이터 패드(4)면에 밀착되는 브래킷(2)과, 이 브래킷(2)의 양단에 스냅결합되고 일면에 튜브(12)를 끼울 수 있는 튜브결합흠(13)이 적어도 2개 이상 형성된 클립(10,10')으로 구성시킨 것으로, 튜브를 통하여 전달되는 진동이 인슐레이터 패드에서 흡수되고 브래킷이 위치하는 인슐레이터의 절단부위가 작아져 엔진 룸의 소음이 대시 패널을 통하여 실내로 투과되는 양이 줄어들게 되는 것이다.
Patent KR-100557718-B1 (KR)
Title: 포토리소그래피기법에서사용하는혼성(hybrid)조명장치
IPC: H01L21/027
Filed: 1996-05-23
Granted: 2006-10-20
Abstract: 바람직한 조명 필드 ( illumination field ) 의 형성물 근처에 어레이 ( array ) 광학 요소를 지니는, 포토리소그래피에 사용하는 조명 장치. 조명 소오스에서 발생된 광 또는 전자 ( electromagnetic ) 방사선은 확대되며 다수의 2차 조명 소오스를 평면내에 형성하는 다중-이미지 광학 요소에 의해 수용된다. 집광기는 다수의 조명 소오스로 부터 광을 수용한다. 어레이 또는 회절 광학 요소는 집광기의 초점상에 또는 그 부근에 배치된다. 상기 집광기의 초점에서 형성된 조명판은 상기 어레이 또는 회절 광학 요소의 근시야 ( near field ) 회절 패턴내에 있다. 상기 어레이 또는 회절 광학 요소의 다음에 위치한 집광기 ( condenser ) 는 존재하지 않는다. 상기 어레이 또는 회절 광학 요소의 사용은 다중-이미지 광학 요소와 회절 광학 요소의 출현하는 개구수보다 더 작은 개구수를 갖는 어레이 또는 회절 광학 요소 사이에서 집광기의 사용을 가능케 하며, 조명 소오스 프로파일에 거의 의존하지 않고서 바람직한 각 분포를 발생시킨다. 릴레이 ( relay ) 가 사용되는 경우, 중간의 조명판들은 직각 조명 필드의 형성을 용이하게 하는 개별적인 X 및 Y 평면을 형성하도록 공간적으로 분리될 수 있다. 집광기와는 달리, 릴레이는 단지 조명판을 또 다른 평면이나 레티클 ( reticle ) 과 컨주게이트 ( conjugate ) 시킨다. 게다가, 회절 광학 요소의 사용은 하나의 축 상으로의 실질적으로 균일한 조명 강도 프로파일 및 수직 축 상으로의 사다리꼴 ( trapezoidal ) 의 조명 프로파일을 갖는 조명 필드를 가능하게 한다. 이러한 조명 필드 프로파일은 주사형 포토리소그래피 ( scanning photolithography ) 기법에 특히 이점이 있다. 하나의 실시예에서, 다수의 광학 멀티플렉서는 다중-이미지 광학 요소를 통해 빔이 지향되기에 앞서 빔을 조절하는데 사용된다. 수평 방향의 코히런스 ( lateral coherence ) 가 작고 상호 코히런스가 없는 2차 빔을 형성하는 멀티플렉싱 ( multiplexing ) 은 공간적 및 각 프로파일의 균일성을 향상시킨다. 이는 전자 방사선을 효율적으로 사용케 한다.
Patent KR-100375807-B1 (KR)
Title: 직립형정미장치
IPC: B02B3/00
Filed: 1996-05-28
Granted: 2003-04-23
Abstract: 본 발명의 직립형 정미 장치는 전체가 박스형인 프레임 본체(1)와, 그 프레임 본체(1)의 내부를 3개의 공간(7, 8, 9)으로 구획하는 칸막이벽(6)을 포함한다. 이 칸막이벽(6)은 프레임 본체(1)의 좌우 중간에 위치하는 수직 벽(10)과 프레임 본체(1)의 상하 중간에 위치하는 수평 벽(11)으로 구성된다. 상기 수직 벽(10)과 상기 수평 벽(11)에 의해 구획된 제1 공간(7)에는 모터(14)를 설치하고, 상기 수평벽(11)의 상부에 위치하는 제3 공간(9)에는 겨 흡인 장치(50)를 설치하며, 나머지 제2 공간(8)에는 모터(14)에 의해 회전하는 수직 정미기 축(27)을 갖는 직립형 정미기(20)를 설치한다. 상기 정미기(20)는, 상부에 낟알 공급 호퍼(21), 하부에 상기 정미기 축(27)을 회전이 자유롭게 지지하는 베어링(23A)을 구비한 하부의 지지부(23), 그리고 상기 호퍼(21)와 상기 지지부(23) 사이에 낟알을 정미하는 정미부(22)를 각각 구비하고 있다. 상기 지지부(23)에는 상기 프레임 본체(1)에 볼트 등으로 고정되는 부착편(24)과, 상기 수직 벽(10)에 볼트 등으로 고정되는 부착편(25)이 설치되어 있으며, 상기 정미부(22)의 외부 통(38)에는 겨 취출용 개구부(49)를 형성하여, 그 개구부(49)와 상기 겨 흡인 장치(50)가 경사 덕트(53)를 통해 접속된다.
Patent KR-100233884-B1 (KR)
Inventor: GRIFFIN JOSEPH T
IPC: F16C33/46
Filed: 1996-05-31
Granted: 1999-12-15
Abstract: 액셜 구름 베어링이 박판 금속으로 만들어진 두 개의 평행한 대향된 움직이는 디스크 사이에 배치된 케이지의 포켓에 배열된 구르는 요소를 구성하고, 케이지와 두 개의 움직이는 디스크가 구조적 유니트를 형성하도록 상호 확실히 정합함으로써 조립되고, 최소한 하나의 움직이는 디스크가 둘레 엣지에서 놀이를 갖는 케이지를 둘러싸는 축 방향으로 방향잡힌 콜라 안으로 합해지고, 상기 콜라가, 최소한 하나의 환형 틈새를 형성하도록 상기 두 개의 움직이는 디스크중 다른 하나의 방사상 평면을 향해 뻗어 있으며, 환형 틈새 지역에서, 케이지가 포켓으로부터 방사상으로 이격된 관통 구멍을 구성한다.
Patent KR-100218151-B1 (KR)
Inventor: YOO WOO GAB
IPC: A23L19/00
Filed: 1996-06-03
Granted: 1999-09-01
Abstract: 일상생활 속에서 남녀노소를 막론하고 즐기는 대중적인 식품인 단무지에 성장기 어린이의 두뇌발육에 좋은 고도불포화지방산의 하나인 DHA 성분을 첨가하는 공정을 더욱 포함시켜 DHA 단무지를 생산함으로써 종래의 단무지에 비하여 기능성과 부가가치성을 향상시키고 현대인들의 건강욕구를 충족시켜 주었으며 외국산 제품 특히 일본 제품의 국내침투를 차단하여 우리나라 농산물 가공식품의 보호하고자 한다.
Patent KR-100457170-B1 (KR)
Title: 접속핀을갖는파워반도체모듈
IPC: H01L25/07
Filed: 1996-06-19
Granted: 2005-02-07
Abstract: 파워 반도체 모듈은 벽 밖으로 돌출하는 접속핀(9)을 갖는다. 핀중에 적어도 2개는 하나의 접속 도체(7)에 속하고, 상기 도체의 횡단면은 핀들의 횡단면의 합보다 크다. 따라서 모듈의 전류 부하 능력이 높을 때 유동 납땜 방식에 의해 모듈을 기판과 간단히 접속시킬 수 있다.
Patent KR-100190393-B1 (KR)
Inventor: PARK CHOL-SUN
IPC: B60R22/20
Filed: 1996-06-29
Granted: 1999-06-01
Abstract: 본 발명은 차량의 시트에 구비되는 시트벨트의 높이조정구조에 관한 것으로 차량용 시트벨트(3)측 웨브(2)의 높이를 조정하는 어드저스터를 센터필라(9)측 소정부위에 지그재그(Zig-zag)식으로 배치한 각각 다수개의 고정쇠(10)로 구비하고 상기 고정쇠(10)에 상응하여 상기 웨브(2)에 연결한 고정걸이(12)에 개구부(11)를 형성하여 상기 개구부(11)에 의해 상기 고정쇠(10)에 고정걸이(12)를 선택적으로 연결할 수 있도록 차량의 운전자 또는 탑승자가 차량용 시트벨트(3)측 웨브(2)의 높이를 적절히 조정할 수 있는 기구를 저렴한 비용으로 제공받을 수 있게 되는 효과가 있다.
Patent KR-0178461-B1 (KR)
Inventor: KIM JUNG-MAN
IPC: D21J1/00
Filed: 1996-07-05
Granted: 1999-05-15
Abstract: 본 발명은 버려지는 폐자원을 재활용하여 종래의 합성목재 및 원목판재, 합성수지로 이루어진 건축용 내장판재에 비하여, 경량이면서도 강도가 강하고 열안정성 및 열성형성이 뛰어날 뿐만 아니라 환경오염의 감소에 대한 기여도 또한 매우 높은 건축용 내장판재의 제조방법에 관한 것으로서, 폐펄프 30-55%, 폐폴리에스텔섬유 20-35% 및 폐폴리프로필렌섬유 20-35%로 이루어진 초지원료를 2-9%의 진료 및 물과 함께 균질화하여 초지원액을 제조한 다음, 장망식 벨트로 이송하면서 탈수하여 판상체를 형성하고, 맞물리는 로울러를 통과시켜 압착탈수시킨 다음 압착탈수된 판지면에 습윤증강성 수지용액을 분사하고 60~90℃의 온도에서 건조시켜 수분함량이 5-20%가 되게 한 뒤, 건조된 판지를 특정의 모양으로 재단하여 재단된 판지표면에 물을 적셔 180-200℃의 온도에서 120-150㎏f/㎠의 압력으로 프레스 성형하는 공정으로 이루어진다.
Patent KR-100206068-B1 (KR)
Inventor: LEE SEUNG-TAEK
IPC: H04N3/23
Filed: 1996-08-13
Granted: 1999-07-01
Abstract: 본 발명은 상·하 왜곡된 화상의 보정회로에 관한 것으로서, 특히 수평출력 신호의 듀티 펄스의 폭을 가변시켜 보정 위치를 조절하고, 위치 보정된 신호의 전압을 가변 증폭시켜 보정 크기를 조절한 다음, 그 보정된 수평 출력 신호를 E-1 트랜스를 이용하여 주파수별 수직 출력신호와 중첩하여 수직 편향 코일에 인가하므로써 상·하 왜곡된 화상을 보정하기 위한 보정회로에 관한 것이다. 
     수평 출력 회로의 출력 듀티 펄스의 적분값을 가변시켜 펄스의 폭을 조절하므로써, 수평 신호의 출력 위치를 조절하기 위한 보정 위치 조절부와, 상기 보정 위치 조절부에 의해 출력위치가 조절된 수평 신호의 전압을 가변 증폭시키므로써, 수평 신호의 출력 크기를 조절하기 위한 보정 크기 조절부와, 상기 보정 위치 조절부 및 보정 크기 조절부에 의해 출력위치 및 출력 크기가 조절된 수평 출력 신호를 1차측 코일에 인가받고, 2차측 코일의 일단에 모드별로 가변된 주기를 갖는 수직 출력신호를 인가받아, 상기 수평 출력 신호 및 수직 출력 신호를 중첩하여, 2차측 코일에 연결된 수직 편향 코일에 전달하는 모듈레이션 회로부를 포함하여 구성되며, 수평 출력 신호의 적분량을 가변시켜 보정 위치를 조절하고, 위치 보정된 신호의 전압을 가변 증폭시켜 보정 크기를 조절한 다음, 그 보정된 수평 출력 신호를 E-1 트랜스를 이용하여 입력주파수에 따라 가변된 수직주기를 갖는 수직 출력신호와 중첩하여 수직 편향 코일에 인가하므로써 각 모드별로 상·하 왜곡된 화상을 보정할 수 있는 효과를 가진다.
Patent KR-100234531-B1 (KR)
Inventor: PARK BUYNG-SUB
IPC: H01L21/205
Filed: 1996-08-23
Granted: 1999-12-15
Abstract: 배기라인에  공급되는  질소가스가  공정챔버로  역류하는  것을  방지하는  반도체  저압화학기상증착설비의  배기장치에  관한  것이다. 
     본  발명은,  공정챔버와  제  1  진공펌프를  연결하는  주밸브가  설치된  주배기라인과,  배기가스의  흐름을  기준으로  상기  주밸브  전단에서  분기되어  후단에서  합쳐지는  제  1  분기라인과,  배기가스의  흐름을  기준으로  상기  주밸브  전단에서  분기되어  대기에  노출되는  제  2  분기밸브가  설치된  제  2  분기라인과,  상기  제  1  분기라인  이후의  상기  주배기라인에서  분기되어  질소가스공급원과  연결구성된  제  3  분기라인이  형성된  반도체  저압화학기상증착설비의  배기장치에  있어서,  상기  제  3  분기라인  상에  질소가스의  흐름을  기준으로  유량조절밸브  및  열림동작시  정체시간을  가진  후  열림동작을  수행하는  플로우  슬로우  스타트(Flow  slow  start)밸브가  순차적으로  설치됨을  특징으로  한다. 
     따라서,  공정챔버의  압력제어용  질소가스가  공정챔버로  역류하여  공정불량을  유발하는  것을  방지할  수  있는  효과가  있다.