Patent DE-112014004025-B4 (DE)
Title: Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung
Inventor: AOKI KENJI
IPC: H01J37/244
Filed: 2014-10-07
Granted: 2021-01-21
Abstract: Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, welche einen Strahl (3) geladener Teilchen auf eine Probe (9) einstrahlt, wobei die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung Folgendes aufweist:eine Quelle (1, 2, 4) für einen Strahl geladener Teilchen, die dafür ausgelegt ist, einen Strahl geladener Teilchen zu emittieren,eine Probenbewegungsvorrichtung (12), die dafür ausgelegt ist, die Position der Probe zu ändern,einen Detektor (18) für reflektierte Elektronen mit mehreren Detektionselementen (100-104), die dafür ausgelegt sind, beim Einstrahlen des Strahls geladener Teilchen auf die Probe von der Probe erzeugte reflektierte Elektronen zu detektieren,eine Signalsteuerschaltung (21), die dafür ausgelegt ist, aus den Detektionselementen, welche der Detektor für reflektierte Elektronen aufweist, ein zu verwendendes Detektionselement auszuwählen,ein Druckmessgerät, das dafür ausgelegt ist, den Atmosphärendruck innerhalb einer Probenkammer, in der sich die Probe befindet, zu messen,ein Absaugsystem (15-17), das dafür ausgelegt ist, das Innere der Probenkammer zu evakuieren,eine Betriebsvorrichtung, die dafür ausgelegt ist, ein Beobachtungsbild der Probe unter Verwendung eines Detektionssignals der reflektierten Elektronen zu erzeugen, undeine Benutzerschnittstelle (UI), die dafür ausgelegt ist, einen Benutzer zwischen einem Zusammensetzungsbild und einem Ungleichmäßigkeitsbild als dem von der Betriebsvorrichtung zu erzeugenden Beobachtungsbild auswählen zu lassen, wobei in einem Zusammensetzungsbild auf der Grundlage der Detektion von in einem großen Winkel in Richtung des Elektronenstrahls und nahe dazu reflektierten Elektronen die atomare Zusammensetzung der Probe hervorgehoben ist und in einem Ungleichmäßigkeitsbild auf der Grundlage der Detektion von in einem kleinen Winkel reflektierten Elektronen die ungleichmäßige Form der Probe hervorgehoben ist,wobei die mehreren Detektionselemente entlang einem konzentrischen Ring angeordnet sind,wobei die Signalsteuerschaltung alle Detektionselemente auswählt, wenn der Atmosphärendruck innerhalb der Probenkammer kleiner als ein vorgegebener Atmosphärendruckschwellenwert ist und der Abstand zwischen der Probe und dem Detektor für reflektierte Elektronen entlang einer Einstrahlungsachse des Strahls geladener Teilchen größer oder gleich einem vorgegebenen Abstandsschwellenwert ist,wobei die Signalsteuerschaltung wenigstens eines der Detektionselemente außer dem Detektionselement, das entlang dem konzentrischen Ring am inneren Umfang angeordnet ist, oder wenigstens eines der Detektionselemente außer dem Detektionselement, das entlang dem konzentrischen Ring am äußeren Umfang angeordnet ist, auswählt, wenn der Atmosphärendruck innerhalb der Probenkammer kleiner als der vorgegebene Atmosphärendruckschwellenwert ist und der Abstand kleiner als der vorgegebene Abstandsschwellenwert ist,wobei die Signalsteuerschaltung wenigstens eines der Detektionselemente außer dem Detektionselement, das entlang dem konzentrischen Ring am äußeren Umfang angeordnet ist, auswählt, wenn die Erzeugung des Zusammensetzungsbilds über die Benutzerschnittstelle ausgewählt wird und der Atmosphärendruck innerhalb der Probenkammer kleiner als der vorgegebene Atmosphärendruckschwellenwert ist und der Abstand kleiner als der vorgegebene Abstandsschwellenwert ist, undwobei die Signalsteuerschaltung wenigstens eines der Detektionselemente außer dem Detektionselement, das entlang dem konzentrischen Ring am inneren Umfang angeordnet ist, auswählt, wenn die Erzeugung des Ungleichmäßigkeitsbilds über die Benutzerschnittstelle ausgewählt wird und der Atmosphärendruck innerhalb der Probenkammer kleiner als der vorgegebene Atmosphärendruckschwellenwert ist und der Abstand kleiner als der vorgegebene Abstandsschwellenwert ist.