Patent DE-112012005293-B4 (DE)
Title: Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Anzeigeverfahren für eine geneigte Abbildung
Inventor: KOTAKE WATARU
IPC: H01J37/22
Filed: 2012-12-20
Granted: 2021-08-05
Abstract: Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (100) miteiner Ladungsteilchenquelle (1);einer Anzahl von elektronischen Linsen (5, 6) zum Fokussieren des primären Ladungsteilchenstrahls (4), der von der Ladungsteilchenquelle (1) emittiert wird;einer Objektivlinse (13);einer Ladungsteilchenstrahl-Abtast-Steuereinrichtung (9, 10) zum Steuern der Auslenkung des primären Ladungsteilchenstrahls (4) derart, dass, wenn der fokussierte primäre Ladungsteilchenstrahl (4) auf die Oberfläche einer Probe (15) eingestrahlt wird, der Einstrahlpunkt davon die Oberfläche der Probe (15) zweidimensional abtastet;einer Einstrahlachsen-Kippeinrichtung (11, 12) zum Kippen der Einstrahlachse des primären Ladungsteilchenstrahls (4) beim Einstrahlen des primären Ladungsteilchenstrahls (4) auf die Probe (15);einer Brennpunktpositions-Einstelleinrichtung (14; 51, 52) zum Durchführen einer Einstellung derart, dass die Position des Brennpunkts beim Kippen der Einstrahlachse des primären Ladungsteilchenstrahls (4) durch die Einstrahlachsen-Kippeinrichtung (11, 12) mit der Position des Brennpunkts für eine nicht gekippte Einstrahlachse des primären Ladungsteilchenstrahls (4) übereinstimmt;einem Ladungsteilchendetektor (17, 18) zum Erfassen der von der Probe (15) bei der Einstrahlung des primären Ladungsteilchenstrahls (4) auf die Probe (15) emittierten Ladungsteilchen; undeiner Steuervorrichtung (50) zum Erzeugen einer Abbildung der Oberfläche der Probe (15) auf der Basis des vom Ladungsteilchendetektor (17, 18) erfassten Signals,dadurch gekennzeichnet, dassdie Steuervorrichtung (50) über die Einstrahlachsen-Kippeinrichtung (11, 12) den primären Ladungsteilchenstrahl (4) so steuert, dass dieser die gleiche Abtastzeile als eine Abtastzeile auf der Oberfläche der Probe (15) drei Mal abtastet, wobei die Einstrahlachse des primären Ladungsteilchenstrahls (4) in der Abfolge der drei Abtastungen mittels der Ladungsteilchenstrahl-Abtast-Steuereinrichtung (9, 10) nach links gekippt, nicht gekippt und nach rechts gekippt wird;die Steuervorrichtung (50) bei einer Änderung der Einstrahlachse über die Brennpunktpositions-Einstelleinrichtung (14; 51, 52) die Position des Brennpunkts des primären Ladungsteilchenstrahls (4) entsprechend dem nach links gekippten Zustand, dem nicht gekippten Zustand oder dem nach rechts gekippten Zustand der Einstrahlachse einstellt, um eine auf die Oberfläche der Probe (15) fokussierte nach links gekippte Abbildung, eine auf die Oberfläche der Probe (15) fokussierte nicht gekippte Abbildung und eine auf die Oberfläche der Probe (15) fokussierte nach rechts gekippte Abbildung für die eine Abtastzeile zu erhalten und um gleichzeitig die nach links gekippte fokussierte Abbildung, die nicht gekippte fokussierte Abbildung und die nach rechts gekippte fokussierte Abbildung in Verbindung mit den bis zu diesem Zeitpunkt erhaltenen Abtastzeilen an ein und derselben Anzeigevorrichtung anzuzeigen; unddie Brennpunktpositions-Einstelleinrichtung (14; 51, 52) an der Objektivlinse (13) oder relativ zu der Objektivlinse (13) auf der Seite der Ladungsteilchenquelle (1) angeordnet ist und elektrostatische Linsen (51, 52) oder eine Spule (14) enthält, die keinen Metallkern aus einem magnetischen Material enthält.