baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102020121346-B4 (DE)
Title: Sicherungsmechanismus
Inventor: WEDIN ERIK
IPC: B60B33/00
Filed: 2020-08-13
Granted: 2023-06-15
Abstract: Sicherungsmechanismus (1) umfassend eine Basis (4) und eine Stelleinheit (6), wobei die Stelleinheit (6) gegen Verlagerung längs einer Rotationsachse (R) relativ zur Basis (4) sicherbar ist und in einem ungesicherten Zustand (A) relativ zur Basis (4) um die Rotationsachse (R) drehbar gelagert ist,wobei in einem gesicherten Zustand (B) eine Halteeinheit (10) zwischen der Stelleinheit (6) und der Basis (4) wirkt und eine Rotation der Stelleinheit (6) relativ zur Basis (4) verhindert,wobei die Stelleinheit (6) mit einem Anschlusselement (8) in Eingriff steht oder ein Anschlusselement (8) einstückig an der Stelleinheit (6) ausgebildet ist, welches in einen lösbaren Eingriff mit der Aufnahmegeometrie (92) eines Fahrzeuges (9) bringbar ist,wobei ein Verdrehen der Stelleinheit (6) um die Rotationsachse (R) relativ zur Basis (4) in einer Sicherungsrichtung (S) das Anschlusselement (8) in Eingriff mit der Aufnahmegeometrie (92) bringt,wobei ein Verdrehen der Stelleinheit (6) um die Rotationsachse (R) relativ zur Basis (4) in einer Entsicherungsrichtung (E) das Anschlusselement (8) außer Eingriff mit der Aufnahmegeometrie (92) bringt,dadurch gekennzeichnet, dassin dem gesicherten Zustand (B) das Anschlusselement (8) in Eingriff mit der Aufnahmegeometrie (92) steht und eine Verlagerung der Stelleinheit (6) relativ zur Basis (4) längs der Rotationsachse (R) verhindert ist.
Patent DE-102021207065-B4 (DE)
Title: Mehrfachlamellenkupplungsanordnung, insbesondere eine Dreifachlamellenkupplung mit verbundenen Ausgleichsräumen
Inventor: GREMPLINI HANSI
IPC: F16D13/68
Filed: 2021-07-06
Granted: 2023-05-17
Abstract: Mehrfachlamellenkupplungsanordnung mit mindesten zwei Reibkupplungen (K1, K2) die radial versetzt zueinander angeordnete Lamellenpakte auf Lamellenträgern (9, 10, 11, 12) aufweisen, mit Kolben (14, 15) zur Aktuierung der Reibkupplungen, wobei mindestens die an einer Hauptnabe (2) angebundenen Lamellenträger (9, 11) und eine Zahnkranzträgerplatte (20) aus Blechbauteilen bestehen, dadurch gekennzeichnet, dass ein an der Hauptnabe (2) angebundener Lamellenträger (9) über eine Verschweißung (31) mit der Zahnkranzträgerplatte (20) versteift ist.
Patent DE-112005000076-B4 (DE)
Title: Verfahren und System zum Verwalten einer Prozessorausführungszeit unter Verwendung einer variablen Schaltfrequenz
Inventor: NAGASHIMA JAMES M
IPC: H02P6/18
Filed: 2005-02-17
Granted: 2009-06-04
Abstract: Verfahren (400) zum Verwalten einer Prozessorausführungszeit in einem Motorcontroller (110, 210), wobei das Verfahren umfasst, dass:  Motordrehzahldaten aus empfangenen Maschinenanschlussinformationen bestimmt werden, wobei bei Motordrehzahlen, die kleiner als eine erste Motordrehzahl (S1) sind, die Bestimmung mittels eines Verfahrens einer gegenelektromotorischen Kraft (132) und eines Hochfrequenzeinspeisungsverfahrens (135) erfolgt, und bei Motordrehzahlen, die größer als eine zweite Motordrehzahl (S2) sind, die Bestimmung nur mittels des Verfahrens einer gegenelektromotorischen Kraft (132) erfolgt;  die Motordrehzahldaten mit vorbestimmten Motordrehzahlbereichen verglichen werden;  ein Motordrehzahlbereich auf der Grundlage des Vergleichs bestimmt wird; und  eine Umrichterschaltfrequenz eines Motorcontrollerprozessors (120, 220) auf der Grundlage des bestimmten Motordrehzahlbereichs moduliert wird, wobei dem Motorcontrollerprozessor (120, 220)  bei Motordrehzahlen, die kleiner als die erste Motordrehzahl (S1) sind, eine verringerte Umrichterschaltfrequenz (Freq1) geliefert wird,  bei Motordrehzahlen, die größer als die zweite Motordrehzahl (S2) sind, eine erhöhte Umrichterschaltfrequenz (Freq2) geliefert wird und   bei Motordrehzahlen, die zwischen der...
Patent DE-112005001144-B4 (DE)
Title: Pumpe
Inventor: AKDIS MUSTAFA
IPC: A61M60/824
Filed: 2005-03-17
Granted: 2017-02-02
Abstract: Es werden eine Pumpe mit stetig verlaufendem Zuströmungsstutzen, mit strömungsmechanischem Radiallager, mit einer Ringhülse und/oder mit einem Sekundärkanal vorgeschlagen. Durch die Vorschläge kann eine Pumpe kostengünstig hergestellt und verschleißarm betrieben werden. Eine besonders vorteilhafte Anwendung für die Erfindung liegt im Einsatz als Blutpumpe, da die Gefahr von Thrombenbildung deutlich herabgesetzt wird.
Patent DE-112006002239-B4 (DE)
Title: Hydraulischer Bremsstellantrieb  und daran vorgesehenes Automatikgetriebe
Inventor: ISHII KATSUHISA
IPC: F16H57/023
Filed: 2006-10-06
Granted: 2014-07-10
Abstract: Hydraulischer Bremsstellantrieb (2), wobei eine Reibungsplatte (23) durch ein Kolbenbauteil (12) freigegeben werden kann, das basierend auf der zu einem Betriebsölfach (21) zugeführten Hydraulikflüssigkeit in der Wellenrichtung (X1-X2) bewegbar angetrieben wird, mit: einem Zylinderabschnitt (10), der an der Innenseite eines Gehäuses (6) ausgebildet ist; dem Kolbenbauteil (12), das dem Zylinderabschnitt (10) zugewandt angeordnet ist und das Betriebsölfach (21) ausbildet; einer Stützplatte (15), die nicht drehbar und fest an dem Gehäuse (6) gestützt ist; eine Vielzahl von Rückstellfedern (14), die zusammengedrückt zwischen dem Kolbenbauteil (12) und der Stützplatte (15) angeordnet sind, und die das Kolbenbauteil (12) zu der Zylinderseite hin drücken; wobei die Stützplatte (15) eine Vielzahl von Befestigungsabschnitten (15a) zum Bestimmen einer Position und Befestigen eines Endes von der Vielzahl von Rückstellfedern (14) aufweist; und wobei das Kolbenbauteil (12) eine Greifeinheit (35) aufweist, um die Vielzahl von Rückstellfedern (14) in der Wellenrichtung zum Dehnen und Stauchen und in einer Drehrichtung zu ergreifen, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützplatte (15) eine Vielzahl von Verbindungsabschnitten (15d), die mit Verbindungsaufnahmeabschnitten (6bc) an dem Gehäuse (6) verbunden werden können, und eine Vielzahl von Befestigungsabschnitten (15a) aufweist, die in der Umfangsrichtung ungleichmäßig angeordnet sind; und wobei eine Vielzahl von runden Nuten (35a) der Greifeinheit (35) ungleichmäßig entsprechend der Vielzahl von Rückstellfedern (14) angeordnet ist, die an der Vielzahl von Befestigungsabschnitten (15a) an den ungleichmäßig angeordneten Positionen befestigt sind, und ...
Patent DE-112008003705-B4 (DE)
Title: Anwendung der Breitbandabtastung für die Lichtbogenerfassung mit einem Wahrscheinlichkeitsmodell zum quantitativen Messen von Lichtbogenereignissen
Inventor: COUMOU DAVID J
IPC: H05H1/24
Filed: 2008-11-13
Granted: 2023-11-16
Abstract: Lichtbogen-Erfassungssystem für ein Plasmaerzeugungssystem, das umfasst:einen Hochfrequenzsensor (HF-Sensor), der basierend auf den entsprechenden elektrischen Eigenschaften der HF-Leistung, die mit einer Plasmakammer in Verbindung steht, ein erstes und ein zweites Signal erzeugt; undein Analysemodul, das basierend auf einer Korrelationsfunktion des ersten und des zweiten Signals ein Lichtbogen-Erfassungssignal erzeugt, wobei das Lichtbogen-Erfassungssignal angibt, ob in der Plasmakammer ein Lichtbogen auftritt, und verwendet wird, um einen Aspekt der HF-Leistung zu verändern, um den Lichtbogen zu löschen, und das basierend auf dem ersten und dem zweiten Signal eine geschätzte Energie des Lichtbogens bestimmt.
Patent DE-112009002012-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Messung der Harnstoff-Konzentration und Verfahren dafür
Inventor: NAKAGAWA MASUO
IPC: G01N21/78
Filed: 2009-08-24
Granted: 2012-04-26
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Messen der Harnstoff-Konzentration beschrieben, bei dem die Harnstoff-Konzentration in einer verbrauchten Dialysat-Probe gemessen wird, wobei das Verfahren umfasst: Zuführen einer verbrauchten Dialysat-Probe, enthaltend Chlor-Ionen und Harnstoff, zu einem Reaktions-Gebiet; Anlegen eines Stroms zwischen einer Arbeits-Elektrode 7 und einer Gegen-Elektrode 8, wobei der Raum dazwischen mit der verbrauchten Dialysat-Probe gefüllt ist; Veranlassen, dass die Dicke t von der Proben-Lösung, welche die Arbeits-Elektrode 7 in dem Reaktions-Gebiet kontaktiert, 20 mm oder weniger ist; und Messen der Chemolumineszenz, emittiert durch eine Reaktion zwischen dem Harnstoff und einem Oxidationsmittel, das an der Arbeits-Elektrode als ein Elektrolyse-Ergebnis erzeugt wird, wodurch die Harnstoff-Konzentration bestimmt wird. Dies liefert ein Verfahren zum Messen der Harnstoff-Konzentration, bei dem die Harnstoff-Konzentration in einer verbrauchten Dialysat-Probe in einer wartungsfreien Weise ohne Erfordernis der Bereitstellung von externen Reagenzien genau gemessen werden kann.
Patent DE-112009002606-B4 (DE)
Title: Röntgenstrahlabbildungsgerät und Röntgenstrahlabbildungsverfahren
Inventor: OUCHI CHIDANE
IPC: G01N23/041
Filed: 2009-10-27
Granted: 2024-02-01
Abstract: Röntgenstrahlabbildungsgerät zur Abbildung eines Gegenstands, mit:einem Phasengitter (130), das Röntgenstrahlen (111) von einer Röntgenstrahlquelle (110) zur Bildung einer Interferenzintensitätsverteilung durch den Talbot-Effekt überträgt, wobei das Phasengitter (130) Phasenvoreilabschnitte (131) und Phasenverzögerungsabschnitte (132) umfasst, wobei die Phasenvoreilabschnitte (131) und Phasenverzögerungsabschnitte (132) zweidimensional angeordnet sind;einem Absorptionsgitter (150), das die Interferenzintensitätsverteilung, die durch das Phasengitter (130) gebildet wird, zur Erzeugung eines Moire-Musters teilweise abschirmt, wobei das Absorptionsgitter (150) durchlässige Abschnitte (151) und lichtabschirmende Abschnitte (152) umfasst, wobei die durchlässigen Abschnitte (151) und die lichtabschirmenden Abschnitte (152) zweidimensional angeordnet sindeiner Erfassungseinrichtung (170), die Informationen einer Intensitätsverteilung des Moire-Musters erfasst, das durch das Absorptionsgitter (150) erzeugt wird, undeiner arithmetischen Einheit (180), die eingerichtet ist, die Informationen eines Differenzialphasenbilds des Gegenstands durch Ausführen einer Fourier-Transformation für die Informationen der Intensitätsverteilung des Moire-Musters, die durch die Erfassungseinrichtung (170) erfasst werden, zu berechnenwobei die arithmetische Einheit (180) eingerichtet ist, die Informationen des Differenzialphasenbilds in den zwei Richtungen durch Ausführung der Fourier-Transformation für die Informationen der Intensitätsverteilung des Moire-Musters zu berechnen, die durch ein einzelnes Erfassungsergebnis durch die Erfassungseinrichtung (170) erhalten wird, undwobei die arithmetische Einheit (180) eingerichtet ist, eine Phasenrückgewinnungsverarbeitung auszuführen, die umfasst:ein Ausführen eines Trennungsschritts (S631) derart, dass das Spektrum, das einer Trägerfrequenz entspricht, aus einem Frequenzraum extrahiert wird, der in dem Schritt zum Ausführen der Fourier-Transformation erhalten wird,ein Bewegen (S632) des Spektrums, das extrahiert ist, zu dem Ursprung in dem Frequenzraum und ein Ausführen einer inversen Fourier-Transformation zum Erhalten einer komplexen Zahleninformation, die Phaseninformationen aufweist, undeinem Erhalten (S633) der Phase als Differenzialphaseninformation aus der komplexen Zahleninformation.
Patent DE-112011100717-B4 (DE)
Title: Betriebsgerät für Leuchtmittel sowie Bussystem und Verfahren zum Betreiben eines Betriebsgerätes
Inventor: BÖCKLE REINHARD
IPC: H05B37/02
Filed: 2011-03-03
Granted: 2018-10-31
Abstract: Betriebsgerät (1) für Leuchtmittel, aufweisend eine Steuereinheit (2) zur Einstellung der Helligkeit des Leuchtmittels und eine Schnittstelle (4) mit einem externen Anschluß zum Empfangen von Signalen (AI, ZT) über einen Eingangsanschluss , aufweisend einen Niedervoltversorgung (30), über die die Steuereinheit (2) bei Betrieb des Leuchtmittels versorgt wird, wobei zusätzlich eine weitere Versorgungsschaltung (31) vorhanden ist, die bei abgeschaltetem Leuchtmittel den externen Anschluß zum Empfangen von Signalen (AI, ZT) überwacht und im Falle eines Empfangs von Signalen (AI, ZT) eine Anlaufenergie für die Steuereinheit (2) bereitstellt; dadurch gekennzeichnet, dass über einen abschaltbaren Anlaufwiderstand die Energie zur Versorgung der weiteren Versorgungsschaltung (31) übertragen wird.
Patent DE-112011105475-B4 (DE)
Title: Programmierbare Logiksteuerung
Inventor: NAKAMINAMI KAZUHIRO
IPC: G05B19/05
Filed: 2011-08-03
Granted: 2016-09-22
Abstract: Programmierbare Logiksteuerung (3), die in Kombination mit anderen programmierbaren Logiksteuerungen (42 bis 4m) ein Programmierbare-Logiksteuerung-System (2) bildet, welches es einer Vielzahl von Programmerzeugungsvorrichtungen (11, 12 bis 1k) ermöglicht, gleichzeitig Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) zu editieren, und in welchem die Vielzahl von Programmerzeugungsvorrichtungen (11, 12 bis 1k) die Editierung von jeder der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) ihrer eigenen programmierbaren Logiksteuerung (3) und der anderen programmierbaren Logiksteuerungen (42 bis 4m) durchführen, wobei die programmierbare Logiksteuerung (3) umfasst: einen Datenspeicher (23), welcher Daten der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) und Gleichzeitige-Editierung-Steuerungsinformation (23B) speichert, die anzeigt, ob die Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) editiert werden oder nicht; eine Tool-Kommunikationseinheit (21A), die konfiguriert ist, in Ansprechen auf eine Anfrage von einer aus der Vielzahl von Programmerzeugungsvorrichtungen (11, 12 bis 1k), Daten der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) und die Gleichzeitige-Editierung-Steuerungsinformation (23B), die anzeigt, ob die Daten der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) editiert werden oder nicht, aus dem Datenspeicher (23) auszulesen, und zu übertragen, und Daten der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) und die Daten, die durch die Editierung der Daten der Gleichzeitige-Editierung-Steuerungsinformation (23B) geändert werden, zu empfangen, von der Programmerzeugungsvorrichtung (11, 12 bis 1k), die eine Anfragequelle ist; ein Mittel (22) zum Bewirken, dass der Datenspeicher (23) die Daten der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) und die Gleichzeitige-Editierung-Steuerungsinformation (23B) die von der Tool-Kommunikationseinheit (21A) empfangen wird, speichert; und eine Andere-Bestandteil-Vorrichtung-Kommunikationseinheit (21B), die konfiguriert ist, Daten der Programmkomponenten (23A, 23A2 bis 23Am) der anderen programmierbaren Logiksteuerungen (42 bis 4m) an die anderen programmierbaren Logiksteuerungen (42 bis 4m) zu übertragen.
Patent DE-112012005526-B4 (DE)
Title: Herstellungsverfahren für Kautschukzusammensetzung
Inventor: MIYASAKA TAKASHI
IPC: C08L21/00
Filed: 2012-07-13
Granted: 2018-07-26
Abstract: Verfahren zum Herstellen einer Kautschukzusammensetzung, die einen feuchten Kautschuk-Masterbatch enthält, umfassend:einen Mastizierprozess des Weichmachens/Dispergierens nur des feuchten Kautschuk-Masterbatches und einen Knetprozess des Zugebens eines oder mehrerer Mischzusatzstoffe, die kein mit der Vulkanisierung in Zusammenhang stehender Mischzusatzstoff sind, zu dem feuchten Kautschuk-Masterbatch, der nach dem Mastizierprozess hervorgebracht wird,wobei der Mastizier- und der Knetprozess unter Verwendung der gleichen Misch-/Dispergiervorrichtung ausgeführt werden, undder Mastizierprozess umfasst:Schritt 1 des Zuführens des feuchten Kautschuk-Masterbatches einer geschlossenen Knetkammer, die einen Rührrotor aufweist, der eine Drehzahl aufweist, die durch eine Steuereinheit automatisch steuerbar ist und die eine Innentemperatur erkennen und ausgeben kann,Schritt 2 des Einstellens einer ersten Steuerzeit und einer ersten Zieltemperatur in der Steuereinheit, undSchritt 3 des Rührens des Innenraums der Knetkammer während der Durchführung einer PID-Regelung zum Einstellen einer tatsächlich gemessenen Temperatur in der Knetkammer auf die erste Zieltemperatur durch die Steuereinheit auf der Grundlage von Informationen über die tatsächlich gemessene Temperatur und die erste Zieltemperatur, sodass die Drehzahl automatisch gesteuert wird, bis die erste Steuerzeit nach Vollendung der zwei Schritte vergangen ist.
Patent DE-112014002019-B4 (DE)
Title: Kurvenformmodelliereinrichtung, Fahrzeuginformationsverarbeitungssystem, Kurvenformmodellierverfahren und Kurvenformmodellierprogramm
Inventor: MIZUNO NOBUHIRO
IPC: G09B29/00
Filed: 2014-03-21
Granted: 2020-03-05
Abstract: Kurvenformmodelliereinrichtung, die eine Vielzahl von Abtastpunkten, die entlang einer Route gewonnen wurden, in einen Linearabschnitt, einen Relaxationskurvenabschnitt und einen Stetigabschnitt unterteilt, beinhaltend:eine Kurvenextraktionseinheit, die eine Kurve aus den Abtastpunkten unter Verwendung eines Extremwerts einer Krümmung an den Abtastpunkten extrahiert;eine Stetigabschnittkrümmungsermittlungseinheit, die eine Krümmung des Stetigabschnitts auf der Grundlage einer Krümmung von Abtastpunkten ermittelt, die in der durch die Kurvenextraktionseinheit extrahierten Kurve enthalten sind; undeine Kurveneingangs- und -ausgangsermittlungseinheit, die einen vorbestimmten Krümmungsbereich einschließlich der Krümmung des Stetigabschnitts festlegt und einen Startpunkt und einen Endpunkt des Stetigabschnitts auf der Grundlage des Krümmungsbereichs ermittelt, wobeidie Kurvenextraktionseinheit die Kurve extrahiert, wenn die Kurvenextraktionseinheit ermittelt, dass einer von Extrempunkten, bei dem die Extremwerte der Krümmung der Abtastpunkte zugewiesen sind, eine gleiche Kurve wie zumindest einer von einem oder mehreren vorangehenden Extrempunkten und einem oder mehreren nachfolgenden Extrempunkten in einem Fall bereitstellt, in dem ein Verhältnis zwischen der Krümmung des einen von Extrempunkten und einem Wert, der durch Glätten der Krümmung des einen oder der mehreren vorangehenden Extrempunkte erhalten wird, oder einem Wert, der durch Glätten der Krümmung des einen oder der mehreren nachfolgenden Extrempunkte erhalten wird, innerhalb eines vorbestimmten Bereichs angeordnet ist.
Patent DE-112014003632-B4 (DE)
Title: Fahrzeug-Head-up-Display-Vorrichtung
Inventor: ISHIKAWA TOSHIKI
IPC: B60K35/00
Filed: 2014-07-30
Granted: 2021-01-14
Abstract: Fahrzeug-Head-up-Display-Vorrichtung (100) mit:- einem Gehäuse (101), das nahe einem Fahrersitz eines Fahrzeugs angeordnet ist und eine Öffnung (100a) aufweist, wobei das Fahrzeug eine Windschutzscheibe (20) oder einen Kombinator (500), der getrennt von der Windschutzscheibe (20) angeordnet ist, aufweist;- einem lichtemittierenden Element (110), das im Gehäuse (101) untergebracht ist;- einer Anzeige (120), die im Gehäuse (101) untergebracht ist und ein Anzeigelicht, das Anzeigeinformation anzeigt, emittiert, wenn sie vom lichtemittierenden Element (110) emittiertes Licht empfängt;- einem Reflektor (130), der im Gehäuse (101) untergebracht ist und das Anzeigelicht reflektiert; und- einer staubdichten Abdeckung (150), die aus einer Harzplatte aufgebaut und in der Öffnung (100a) angeordnet ist, wobei- das durch die staubdichte Abdeckung (150) übertragende Anzeigelicht an der Windschutzscheibe (20) oder dem Kombinator (500) reflektiert wird, so dass die Anzeigeinformation als ein virtuelles Bild angezeigt wird, um vom Fahrersitz des Fahrzeugs aus sichtbar zu sein,- die staubdichte Abdeckung (150), die gebildet wird, indem die Harzplatte in einer Walzrichtung gewalzt wird, eine Lichtdurchlässigkeitseigenschaft aufweist,- eine Linie, die zwischen einem ersten Punkt auf einer ersten Endseite der Anzeige (120) in einer Längsrichtung der Anzeige (120) und einem zweiten Punkt auf einer zweiten Endseite der Anzeige (120) gegenüberliegend der ersten Endseite verläuft, als eine Längsachse (121) definiert ist, wobei der zweite Punkt auf der gleichen Höhe wie der erste Punkt liegt,- ein Winkel zwischen der Walzrichtung der Harzplatte und einer Virtuelles-Bild-Längsachse (121a), die der Längsachse (121) entspricht, des virtuellen Bildes der Anzeige (120), das durch den Reflektor (130) reflektiert wird, als ein Winkel α definiert ist, und- eine Leuchtdichte des virtuellen Bildes abgestimmt wird, indem der Winkel α abgestimmt wird.
Patent DE-112014006717-B4 (DE)
Title: Überbrückungskupplung für einen drehmomentwandler
Inventor: BOLEY LARRY E
IPC: F16H45/02
Filed: 2014-06-03
Granted: 2022-07-14
Abstract: Drehmomentwandler für ein Kraftfahrzeug, aufweisend ein Getriebe mit einer Getriebewelle (212), welche eine Fluidtransportleitung (237) definiert, um ein Fluid zu transportieren, und einen primären Antrieb mit einer Ausgangswelle (208), wobei die Getriebewelle (212) und die Ausgangswelle (208) eine Längsachse (210) entlang der Fluidtransportleitung (237) definieren, wobei der Drehmomentwandler (200) umfasst:eine Abdeckung (202), welche betriebsbereit mit der Ausgangswelle (208) des primären Antriebs und der Fluidtransportleitung (237) gekoppelt ist, wobei die Abdeckung (202) einen Wandler-Hohlraum (207) definiert, welcher ausgestaltet ist, um das Fluid zu halten;eine Pumpe (214), welche sich in der Abdeckung (202) befindet und betriebsbereit mit der Abdeckung (202) gekoppelt ist, wobei die Pumpe (214) ausgestaltet ist, um das Fluid in dem Wandler-Hohlraum (207) während einer Bewegung der Abdeckung (202) zu verdrängen;eine Turbine (218), welche sich in der Abdeckung (202) befindet und betriebsbereit mit der Getriebewelle (212) gekoppelt ist, wobei die Turbine (218) ausgestaltet ist, um die Getriebewelle (212) abhängig von dem Fluid, welches durch die Pumpe (214) verdrängt wird, zu bewegen;einen Kolben (226), welcher sich in der Abdeckung (202) befindet und ausgestaltet ist, um einen Überbrückungs-Hohlraum (232) zwischen der Abdeckung (202) und dem Kolben (226) zu definieren, wobei der Kolben (226) ausgestaltet ist, um sich mit einer Bewegung der Abdeckung (202) zu bewegen;einen ersten Durchgang (240), welcher betriebsbereit mit dem Wandler-Hohlraum (207) und dem Überbrückungs-Hohlraum (232) gekoppelt ist, wobei der erste Durchgang (240) ausgestaltet ist, um das Fluid zwischen dem Wandler-Hohlraum (207) und dem Überbrückungs-Hohlraum (232) zu leiten; undein Solenoid-Ventil (270), welches direkt in die Abdeckung (202) an einem Verbindungsbereich zwischen radial außen liegenden Anteilen eines ersten Abschnitts (204) der Abdeckung (202) und eines zweiten Abschnitts (206) der Abdeckung (202) integriert ist.
Patent DE-112015006031-B4 (DE)
Title: Wafertransfervorrichtung und Waferverarbeitungsverfahren
Inventor: KIM SO MI
IPC: H01L21/677
Filed: 2015-06-17
Granted: 2022-05-12
Abstract: Wafertransfervorrichtung (100), die aufweist:
 eine Führung (102, 110), die aufgebaut ist, um sich in eine Vertikalrichtung oder in eine Horizontalrichtung zu bewegen;
 einen Bewegungsarm (120), der auf der Führung (102, 110) bereitgestellt ist und aufgebaut ist, Wafer (W1-Wn), die voneinander beabstandet sind, darauf zu lagern;
 eine Laseremissionseinheit (130), die auf der Führung (102, 110) angeordnet ist und aufgebaut ist, um einen ersten Laserstrahl zu den Wafern (W1-Wn), die auf dem Bewegungsarm (120) lagern und voneinander beabstandet sind, zu emittieren;
 eine Lasererfassungseinheit (160), die unter dem Bewegungsarm (120) angeordnet ist und aufgebaut ist, um einen zweiten Laserstrahl, der ein Teil des ersten Laserstrahls ist und durch eine Lücke zwischen den Wafern (W1-Wn), die voneinander beabstandet sind, gegangen ist, aufzufangen; und
 eine Steuerung (180), die aufgebaut ist, um eine Dicke der Wafer (W1-Wn), die voneinander beabstandet sind, basierend auf dem ersten Laserstrahl, der von der Laseremissionseinheit (130) emittiert wird, und dem zweiten Laserstrahl, der von einer Laserauffangvorrichtung (162) aufgefangen wird, zu messen.