baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-9428699-A2 (WO)
Title: Method of obtaining granular aluminium fluoride
Inventor: BABKIN VALERY VENIAMINOVICH
IPC: C01F7/50
Filed: 1994-05-31
Abstract: A method for obtaining granular aluminium fluoride involves feeding an aluminium-containing component and a fluor containing-component into a reaction zone at a temperature of about 90 to about 650  DEG C. The chemical reaction produces a reaction mass containing aluminium fluoride, said reaction mass being discharged from the reaction zone and then dehydrated to a moisture content of about 0.1 to about 2.5 %, to give powdered aluminium fluoride. The specific surface area of the powdered aluminium fluoride is then increased, the aluminium fluoride being pelletized in the presence of a binder to produce granules. Said granules are subjected to heat treatment involving heating them to a temperature from about 500 to about 550  DEG C at a rate precluding chemical reaction of the aluminium fluoride with the binder, the heated granules are held at the stipulated temperature for at least thirty minutes and subsequently cooled at a rate exceeding the rate of heating.
Patent SU-581662-A2 (SU)
Title: Регулятор давления воздуха в кабине самолета
IPC: G05D16/06
Filed: 1976-01-12
Granted: 2006-02-10
Abstract: Регулятор давления в кабине самолета по авт. св. № 146981, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных качеств в нем ручной привод задатчика абсолютного давления, связанного с мембранным датчиком, снабжен стрелкой-указателем абсолютного давления, циферблатом со шкалой абсолютного давления и давления, приведенного к уровню моря, имеющим возможность вращения вокруг оси стрелки при помощи ручного привода, и визирной маркой, жестко закрепленной на корпусе регулятора.
Patent SU-1060451-A2 (SU)
Title: Лопатка ротора дробеметного аппарата
Inventor: USHAKOV VLADIMIR I
IPC: B24C5/06
Filed: 1981-10-08
Granted: 1983-12-15
Abstract: ЛОПАТКА ЮТОРА ДРОБЕМЕТНОГО  АППАРАТА по авт. св. № 846254, отличающа с  тем, что, с целью повышени   износостойкости, на нерабочей поверхности лопатки  ;Вьшолнекы ребра, образующие замкнутый  контур, при этом высота продольных ребер  на рабочей поверхности равна их щирине  у основани , а рассто ние между продольными  ребрами выбрано из услови  1
Patent SU-1030574-A2 (SU)
Title: Ветроэлектрическа насосна установка
Inventor: KOZLOV MIKHAIL T
IPC: F04D15/00
Filed: 1982-02-16
Granted: 1983-07-23
Abstract: ВЕТРОЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ  НАСОСНАЙ УСТАНОВКА по  авт. св № 918544, о т п и ч а  а   с   тем, что с цепью повыше  ни  КПД и расШщзени  аиапаа жа работы , она снабжена отводом, поцсоецине ным  к области нагнетани  поспецнего  насоса и пощслюченными к отводу гищ оШлинарами  по числу насосов имеющими  пошфужиненные штоки, к ншгатвчески  св занные с электроприводами насосов.
Patent SU-1042978-A2 (SU)
Title: Дробеметный аппарат
Inventor: NAUMOV MIKHAIL F
IPC: B24C5/06
Filed: 1982-06-03
Granted: 1983-09-23
Abstract: ДРОВЕМЕТНЫЙ АППАРАТ по авт.  св.  837831, отличающийс    тем, что, с целью удобства  эксплуатации, защитные элементы выг  полнены в виде набора дисков тарельчатой  формы, устайовленных свободно  на ос х оппозитно друг другу, и резиновой  прокладки, расположенной  на границе разнонаправленных дисков.
Patent SU-1161715-A2 (SU)
Title: Способ заполнени выработанного пространства твердеющей закладкой
Inventor: ARTEMOV VLADISLAV G
IPC: E21F15/08
Filed: 1983-09-16
Granted: 1985-06-15
Abstract: СПОСОБ ЗАПОЛНЕНИЯ ВЫРАБОТАННОГО  ПРОСТРАНСТВА ТВЕРДЕЮЩЕЙ  ЗАКЛАДКОЙ по авт. св. № 376584, отличающийс  тем, что,  с целью повышени  безопасности  ведени  горных работ, в разрабатываемом  пласте проход т пластовые  штреки, а под разрабатываемым пластом  - вспомогательные штреки, которые  соедин ют посредством скважины  с пластовыми в местах их сопр жени  с выработанным пространством,  взрывают скважины в нечетных вспомогательных  штреках, а в скважинах  четных закрепл ют отрезки труб,  одни концы которых соедин ют с магистральным  закладочным трубопроводом , а другие вставл ют в закладочную  щель.
Patent SU-1143956-A2 (SU)
Title: Установка дл сушки сыпучих материалов
Inventor: ZBYKOVSKIJ EVGENIJ I
IPC: F26B17/10
Filed: 1984-02-13
Granted: 1985-03-07
Abstract: УСТАНОВКА ДЛЯ СУШКИ СЫПУЧИХ  МАТЕРИАЛОВ по авт. св. № 566103,  отличающа с  тем, что, с целью интенсификации  тепломассообмена, стенка, отдел юща  камеру кип щего сло  от пневмотрубы,  выполнена жалюзийной из пластин, щарнирно  закрепленных с возможностью поворота  до 25&deg; относительно оси пневмотрубы. (Л 4; оо  со сд О5
Patent SU-1158060-A2 (SU)
Title: Рабочий орган дл безотвальной обработки почвы
Inventor: BLEDNYKH VASILIJ V
IPC: A01B35/26
Filed: 1983-12-30
Granted: 1985-05-30
Abstract: РАБОЧИЙ ОРГАН ДЛЯ БЕЗОТВАЛЬНОЙ  ОБРАБОТКИ ПОЧВЫ по авт.св.  № 1014480, отличающийс   тем, что, с целью повьшени  качества  обработки почв с различным физико-механическим  составом, кулачки  установлены на оси с угловым  смещением друг относительно  друга. (Л ф(
Patent SU-1176315-A2 (SU)
Title: Стабилизатор напр жени посто нного тока
Inventor: BOBKOV VALENTIN D
IPC: G05F1/56
Filed: 1984-03-27
Granted: 1985-08-30
Abstract: СТАБИЛИЗАТОР НАПРЯЖЕНИЯ  ПОСТОЯННОГО ТОКА по авт.св.№.983678,  отличающийс  тем, что, с целью увеличени  КПД, в него введено  N первых диодов, N вторьпс отключающих  транзисторов, коллекторы  которых соединены с выводами дл   подключени  соответствующих W дополнительных  источников напр жени ,  эмиттеры (N-I) вторых отключающих  транзисторов через (N-1) первых дио ,дов подключены к одному из питающих  выводов блока управлени , эмиттер  N-ro из вторых отключающих транзисторов  соединен с указанным питающим  выводом непосредственно, а база  каждого из вторых отключающих  транзисторов через последовательную  цепочку из введенных первого и второго  дополнительных резисторов соединена  с выводом дл  подключени  соответствующего  дополнительного источника  напр жени  и через первый из  указанных дополнительных резистогров  - с коллектором соответствующего  запирающегЪ транзистора и с катодом  соответствующего из N введенных  вторых диодов, анод которого соединен  с резисторами в цбпи базы  соответствующего из N первых отклю (Л чающих транзисторов, причем N-й из  С первых введенных диодов включен между  эмиттером N-ro из вторых отключающих  транзисторов и выводом дп  подключени  основного источника напр жени ..  Од со ел
Patent SU-1257592-A2 (SU)
Title: Устройство дл предварительной обработки электроразведочных сигналов
Inventor: MARINENKO VLADISLAV A
IPC: G01V3/08
Filed: 1985-04-09
Granted: 1986-09-15
Abstract: Изобретение относитс  к электроразведочной  технике и может быть исг  пользовано дл  предварительной обработки  зашумленного сигнала в электро-  разведоч{п 1х информационных измерительных  системах. Цель изобретени  -  повышение точности оценки дискретных  значений сигнала, значительно измен ющегос  в течение периода, за счет  уменьшени  погрешности преобразовани  малых сигналов. Устройство содержит  входной блок, аналого-цифровой  преобразователь, блок формировани   и анализа оценок, регистратор и схему  управлени . Повышение точности достигаетс  за счет введени  программируе  мого усилител , блока умножени  и регистра . Изобретение дополнительное  к авт. св.  983620. 2 ил. : i (Л с
Patent SU-1298507-A2 (SU)
Title: Устройство дл очистки поверхностей нагрева котлоагрегатов от наружных отложений
Inventor: LYSKOV VLADIMIR YA
IPC: F28G7/00
Filed: 1985-07-18
Granted: 1987-03-23
Abstract: Изобретение относитс  к средствам  очистки. Цель изобретени  -  снижение тепловой энергии на очистку  поверхностей нагрева от наружных  отложений за счет предварительного  включени  модул тора импульсной  струи. Устройство представл ет собой  последовательно соединенные источник  сжатого газа (пара),вентиль,импульсную  камеру,электромагнитный вентиль,  модул тор импульсной струи и сопло.-  Пар на турбинку модул тора импульсной  струи подаетс  из импульсной камеры  через предохранительный клапан .  и дополнительный вентиль. В устройстве  предохранительный клапан открываетс  раньше электромагнит ного вентил , благодар  чему в момент открыти  электромагнитного вентил  моду- .  л тор импульсной струи приобретает  необходимую скорость вращени , поэтому  на обдув поверхностей нагрева  поступает только модулированна  стру   пара. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. с S (Л /
Patent SU-1341714-A2 (SU)
Title: Устройство дл формировани пачек импульсов
Inventor: KRUPYSHEV VLADIMIR V
IPC: H03K3/64
Filed: 1985-11-29
Granted: 1987-09-30
Abstract: Изобретение относитс  к области  импульсной техники и  вл етс  усовершенствованием  изобретени  по авт.св.  № 1265971, Цель изобретени  - повышение  помехоустойчивости выходных импульсов  - достигаетс  тем, что в. устройство  дл  формировани  пачек импульсов  введены элемент И 12, аналоговые  ключи 13-18, элементы НЕ 10 и  11 и регулируемые источники положительного  19, отрицательного 20 опорных  напр жений, а также новые электрические  св зи между функциональными  элементами. 2 ил. сл с 4  4  usJ
Patent SU-1381484-A2 (SU)
Title: Устройство дл сравнени числа единиц в двоичных кодах
Inventor: ORLOV OLEG P
IPC: G06F7/02
Filed: 1986-09-08
Granted: 1988-03-15
Abstract: Изобретение относитс  к автоматике  и вычислительной технике, предназначено  дл  использовани  в устройствах , реализующих функции контрол  и анализа весовых характеристик  двоичных кодов, а также ассоциативной  идентификации кодов, и  вл етс   усовершенствованием устройства по  а.с. СССР № 1121669. Устройство содержит  группы триггеров 1 и 2, группы  элементов И 3 и 4, элементы И 5-8,  17, 18, И-НЕ 19. Увеличение быстродействи  достигаетс  за счет производимого  с помощью элементов И 17, 18  и И-НЕ 19 инвариантного упрощени   кодов сравниваемых чисел. 1 ил.
Patent SU-1421916-A2 (SU)
Title: Зубчата передача
Inventor: GUMENNYJ ROMAN M
IPC: F16H3/40
Filed: 1987-03-05
Granted: 1988-09-07
Abstract: Изобретение относитс  к майино-  строению, а именно к реверсивным зубчатым  передачам и  вл етс  усовершенствованием  изобретени  по авт.св. № 848810. Цель - расширение кинематических  возможностей зубчатой переда-  чи - достигаетс  за счет реверсировани  вращени  ведомого колеса. Пр мозубые  цилиндрические колеса (ведущее  1, ведомое 2 и стопорное 3) размещены  на параллельных валах с возможностью  взаимного зацеплени . Ведущее 1 и  стопорное  3 колеса осеподвижны. При  работе передачи возможны несколько  вариантов взаимного расположени  колес  вдоль осей, достигаемых смещением  ведущего 1 и стопорного 3 колес относительно  ведомого колеса 2. Возможны  варианты дл  реверсировани  вращени   ведомого 2 и стопорного 3 колес при  неизменном вращении ведущего колеса  1. Реверсирование производитс  осевым  перемещением ведущего колеса. 5 ил. W
Patent SU-1466870-A2 (SU)
Title: Устройство дл обрезки полых изделий
Inventor: POSYLKIN MIKHAIL I
IPC: B23D19/08
Filed: 1987-05-07
Granted: 1989-03-23
Abstract: Изобретение относитс  .к обработке  металлов давлением и может быть использовано  в машиностроении дл  обрезки  полых изделий. Цель - расширение те.хно-  логических возможностей устройства за счет  обеспечени  обработки изделий типа втулок . Заготовка 42, поступаюша  из лотка. подаетс  призмой 20 и то.пкателом 24 со  стаканом 30 на врапи ющуюс  оправку 4  до упора в съемник 7. Упруго поджата  торцом стакана за счет пружины 32  заготовка удерживаетс  на оправке в процессе  обрезки. Обрезка проис.ходит при  взаимодействии режущей кромки 34 и торца  35 подводимого дискового ножа 33  с режущей кромкой 5 и торцом 6 оправки . По окончании реза то,-1катель 24  отходит и обрезь падает вниз. Съемник 7  сдвигает деталь вправо на толкатель,  отжима  стакан 30. В этом полол%ени11 к  обрезанному торцу, размешенному на толкателе , подводитс  ролик 13. поджимаемы  пружиной 14. Взаимодействие ролика 13  через деталь с обрезанным торцом с толкателем  24 приводит к закатыванию заусенцев , образовавши.хс  на торце после реза.  По окончании прикатки заусенцев толкатель  отводитс . Съемник после отхода нрикат-  ного ролика сбрасывает деталь с оправки  3 ил. (О (Л
Patent SU-1698725-A2 (SU)
Title: Способ дефектометрии плоских диэлектрических материалов
Inventor: KOZHARINOV VALERIJ V
IPC: G01N27/24
Filed: 1989-01-12
Granted: 1991-12-15
Abstract: Изобретение относитс  к методам неразрушающего  контрол  материалов и изделий  путем- исследовани  характеристик  газового разр да в электрическом поле высокой  напр женности и может быть использовано  дл  решени  широкого класса задач  дефектоскопии в различных област х народного  хоз йства. Цель изобретени  - расширение  функциональных возможностей  способа дефектоскопии, когда кроме наличи  размеров и положени  дефекта определ етс  дополнительно глубина залегани   дефекта. Дл  этого после определени  наличи  дефекта в листовом материале по известному  способу возбуждают совместно  акустические и электромагнитные волны,  измер ют суперпозицию электромагнитных  волн, прошедших через материал и отраженных  от его поверхности, и определ ют  глубину залегани  дефекта по результатам  измерений на нескольких частотах акустического  воздействи . 2 ил. (Л С
Patent SU-1648157-A2 (SU)
Title: Capacitance matrix pressure transducer
Inventor: KAZARJAN A A
IPC: G01L9/12
Filed: 1989-07-26
Granted: 1994-02-15
Abstract: FIELD: measurement technology. SUBSTANCE: capacitance pressure transducer is provided with temperature and heat flow converters in addition to capacitance pressure converter (capacitor plates 20 and 24); temperature and heat flow converters are made in form of dielectric films 1 and 7; copper electrodes 3 and 9 are deposited on each dielectric film, with common electrodes 4 and 10. Connection of electrodes creates thermocouple effect and temperature and heat flow are judged from thermoelectromotive force. EFFECT: enhanced efficiency. 2 dwg
Patent SU-1709966-A2 (SU)
Title: Манипул тор дл доени
Inventor: KHUSAINOV RAVIL I
IPC: A01J7/00
Filed: 1990-03-11
Granted: 1992-02-07
Abstract: Изобретение относитс  к сельскому хоз йству. Цель изобретени  - снижение затрат труда при подводе доильного аппарата под вым . Манипул тор дл  доени  включает цилиндры 1 и 2, аппарат 5 управлени , вакуумный шланг 10, в рассечку которого установлено распределительное устройство 11, состо щее из корпуса с отверсти ми, плунжера и пружины. Одни отверсти  сообщены с шлангом 10, а другое отверстие - сатмосферным воздухом. При перемещении плунжера распределительного .устройства 11 вниз вакуумметрическое давление через отверсти  в корпусе поступает в левую полость цилиндра 2, поршень которого перемещаетс  влево, что осуществл ет подвод доильных стаканов под вым . При этом в левую полость цилиндра 1 поступает атмосфера, а права  полость через кран соедин етс  с магистралью силового вакуума. В результате доильные стаканы плавно провод тс  цилиндром 2 под вым  коровы, а цилиндр 1 поднимает доильные стаканы вверх. Когда стаканы достигнут вымени, оператор отпускает плунжер, который перемещаетс  под действием пружины вверх и перекрывает отверстие, сообщающее левую полость цилиндра 2 с вакуумметрическим давлением, при этом в левую полость цилиндра 2 поступает атмосферный воздух и доильные стаканы фиксируютс  в подн том положении. 2 ил.(ЛсВоздухопровод чистого воздухаСиловой дакдумпродод^ о ю ю о о>&го7елно/>&оги</ески.и вакууппроаодФиг. /
Patent SU-1726941-A2 (SU)
Title: Загрузочный узел сушилки дл хлопка-сырца
Inventor: KUATBEKOV MAKHAMBET K
IPC: F26B11/04
Filed: 1990-04-02
Granted: 1992-04-15
Abstract: Использование: сушка хлопка-сырца,  склонного к возгоранию при обеспечении  пожаробезопасности процесса. Сущность  изобретени : в зоне ввода патрубка 2 меньшего  диаметра в барабане установлено уп-  лотнительное кольцо 15, исключающее  искрообразование. Стенка барабана, смежна  с кольцом, имеет съемный кольцевой  участок 13, на котором закреплено уплотни-  тельное кольцо 15. 1 ил.
Patent TR-199601076-A2 (TR)
Inventor: WESTERHOVEN TONY D J VAN
IPC: C02F/
Filed: 1996-12-30
Abstract: The object of the device is to purify and change all possibly polluted water, whether including bacteria and virus or not, into clean and healthy drinking water. The purification device consists of filter systems. These include lime filter, three different sediment and carbon filters, ultraviolet filter, a "reverse osmosis" filter which filter 98% of pure water molecules and 2% necessary and harmless minerals and disinfect the water by eliminating the most dangerous and harmful bacteria finally by means of ozonisation process. The so called disinfection process also disinfects the supply of water for twenty minutes and does not damage human health.
Patent WO-0044775-A2 (WO)
Title: Identification d'epitopes de cellules t restreintes au hla et fortement reactives
Inventor: SETTE ALESSANDRO
IPC: G01N33/68
Filed: 2000-01-26
Abstract: Cette invention concerne cinq nouveaux supermotifs d'acides aminés ainsi que des groupements correspondants de molécules HLA (plus précisément, des supertypes de HLA qui lient les peptides porteurs de ces supermotifs). Les épitopes de peptides porteurs de ces supermotifs sont sélectionnés en vue de leur utilisation dans des vaccins et autres compositions pharmaceutiques. Ces nouveaux supermotifs permettent de cribler des cibles connues apparentées à une maladie ainsi que des cibles devant être déterminées dans le futur.
Patent WO-0052454-A2 (WO)
Title: Jauge de densite nucleaire a fines couches amelioree
Inventor: DEP WEWAGE H L
IPC: G01N23/06
Filed: 2000-03-02
Abstract: L'invention concerne une jauge de densité nucléaire à fines couches, qui comprend un logement de jauge doté d'une cavité verticale traversante et d'une base, un premier détecteur de radiation situé dans une première position à l'intérieur dudit logement et adjacent à sa base, un second détecteur de radiation situé dans une seconde position à l'intérieur dudit logement et adjacent à sa base, un crayon de source verticalement mobile s'étendant dans la cavité du logement, une source de radiation fonctionnellement placée à une extrémité distale du crayon de source, au moins un support fonctionnellement placé de façon à guider le crayon de source dans la cavité, et un dispositif permettant d'allonger et de raccourcir le crayon de source en diverses positions prédéterminées de manière à modifier la relation spatiale entre ladite source de radiation et lesdits premier et second détecteurs de radiation. Le crayon de source imprime un mouvement radial maximal inférieur à 0,003 pouce dans chaque position prédéterminée. L'invention concerne également une jauge dotée d'un ensemble écran anti-radiation amélioré comportant un bloc coulissant fonctionnellement placé de façon à se déplacer latéralement entre ladite première et ladite seconde position, un ressort sollicitant ledit bloc coulissant et le poussant dans la première position, ainsi qu'un bloc fixe doté d'une glissière permettant d'enclencher le bloc coulissant et de guider le mouvement de ce dernier.
Patent WO-0078396-A2 (WO)
Title: Stabilisateur de mastocytes a usage ophtalmique topique, pour traiter les affections allergiques des yeux
Inventor: GRAFF GUSTAV
IPC: A61P27/14
Filed: 2000-03-16
Abstract: Cette invention a permis d'identifier des médicaments anti-allergiques ophtalmiques topiques grâce à l'étendue de leur interaction avec une membrane modèle de phospholipides. Cette invention concerne des formulations ophtalmiques à administration topique, contenant des composés anti-allergiques amphipathiques à des concentrations telles que ces médicaments présentent des indices d'activité de surface compris entre environ 2 et 11.
Patent WO-0055706-A2 (WO)
Title: Generateur de nombres aleatoires
Inventor: KLASS MICHAEL JAY
IPC: G06F17/10
Filed: 2000-03-17
Abstract: Selon cette invention, un générateur de nombres aléatoires comprend ce qui suit: un laser pour générer des photons; un ensemble de filtres gris neutres servant à atténuer les photons; un tube photomultiplicateur servant à détecter une fraction de photons atténués, avec une cadence de détection d'un photon isolé sur une période déterminée, et à détecter un photon isolé pendant chaque intervalle faisant partie d'une série d'intervalles similaires; et une horloge ainsi qu'un registre à décalage servant à enregistrer une première valeur à des fins, d'une part, de détection de n'importe quels photons pendant un intervalle isolé sélectionné qui fait partie d'une série d'intervalles et, d'autre part, d'enregistrement d'une deuxième valeur pour la détection d'une absence de photons pendant l'intervalle isolé sélectionné. Les valeurs enregistrées dans le registre à décalage pour la série d'intervalles se présentent comme une chaîne de nombres aléatoires.
Patent WO-0101217-A2 (WO)
Title: Dispositif electronique commercial servant a attirer l'attention
Inventor: SHI CHENYANG VICTOR
IPC: G06Q30/00
Filed: 2000-06-22
Abstract: L'invention concerne des procédés et un mécanisme servant à attirer l'attention du consommateur de façon publicitaire basée sur la récompense. Dans un aspect, un moteur de recherche permet aux consommateurs d'entrer des sujets ou des termes de recherche correspondant à un objet d'intérêt pour le consommateur et effectue une recherche de sites Web ou de sites publicitaires correspondant à cet objet. Les annonceurs publicitaires peuvent attirer l'attention du consommateur au moyen de l'établissement de montants de récompenses et les sites publicitaires émanant de la recherche sont triés en fonction de ces montants. Les sites présentant des récompenses plus importantes, ou les liaisons avec ces sites, sont affichés de manière plus évidente que les sites présentant des récompenses moins importantes.
Patent WO-0121650-A2 (WO)
Title: Transferases cis-prenyl d'origine vegetale
Inventor: COLDREN CHRIS
IPC: C12N9/10
Filed: 2000-09-21
Abstract: Cette invention concerne des fragments d'acide nucléique codant pour des protéines végétales qui sont des homologues de la cis-prényltransférases UPP synthase tirée de la bactérie Micrococcus luteus, ou de la Dedol-PP synthase tirée de la levure Saccharomyces cerevisiae. L'invention s'applique plus précisément aux homologues de la cis-prényltransférase tirés du froment, du raisin, du soja, du riz, de l'Arcotis hybrida, du latex de l'hévéa et du souci officinal.
Patent WO-0132210-A2 (WO)
Title: Methodes et compositions de traitement d'atheromes, de tumeurs et d'autres tissus neoplasiques
Inventor: SESSLER JONATHAN L
IPC: A61K41/00
Filed: 2000-10-27
Abstract: L'invention concerne le potentiel de sensibilisation aux radiations d'un composé candidat, qui peut être défini par détermination de sa capacité à générer une ou plusieurs espèces oxygène réactives dans des conditions appropriées.  Les composés auxquels on a trouvé un potentiel de sensibilisation aux radiations sont utilisés dans des méthodes de traitement d'athéromes, de tumeurs et d'autres tissus néoplasiques ainsi que d'autres conditions qui découlent généralement de la sensibilisation aux radiations.
Patent WO-0127695-A2 (WO)
Title: Couvercle amovible destine a proteger un reticule, systeme comprenant ce couvercle et procede d'utilisation associe
Inventor: CATEY ERIC B
IPC: G03F1/62
Filed: 2000-10-04
Abstract: L'invention concerne un couvercle amovible destiné à protéger un réticule utilisé dans un système lithographique. Ce couvercle amovible comprend un cadre ainsi qu'une membrane supportée par ce cadre. Ladite membrane est transparente pour une longueur d'onde d'inspection, d'où la possibilité d'inspecter le réticule même si le couvercle amovible est en place. Lorsqu'il est en place, ledit couvercle amovible protège le réticule, mais peut s'enlever pour l'exécution d'une opération lithographique. Ce couvercle amovible peut également comprendre au moins une attache de réticule appliquant une force au réticule lorsque ledit couvercle amovible est en place. Une pluralité d'attaches sont utilisées pour placer et fixer le couvercle amovible et le réticule. L'invention concerne également un procédé consistant à effectuer une lithographie, ainsi qu'un système lithographique.