baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-10136261-A1 (DE)
Title: Projection arrangement has illumination optics with beam path folding deflection element, optical device above reference plane; deflection element/light modulator are below reference plane
Inventor: PIEHLER EBERHARD
IPC: G03D3/02
Filed: 2001-07-25
Abstract: The arrangement has a source for producing an illumination field, a light modulator for producing an image, optics for illuminating the modulator with light from the illumination field and projection optics. The illumination optics have a deflection element for beam path folding and an optical device above a reference plane containing the projection optics' optical axis; the deflection element and light modulator lie below the reference plane.  The arrangement has a light source for producing an illumination field, a reflective light modulator (3) for producing an image, illumination optics (2) for illuminating the modulator with light from the illumination field and projection optics (4). The illumination optics contain a deflection element (7) for folding the beam path and an optical device (5) above a reference plane containing the projection optics' optical axis; the deflection element and the light modulator lie below the reference plane.
Patent DE-10136572-A1 (DE)
Title: Micro-manipulation of biological cell or tissue specimens for microscope, comprising coupling between drive motors for micro-manipulators, and microscope focusing system, operated from a common control panel
Inventor: MAAS ANDREAS
IPC: C12M1/26
Filed: 2001-07-27
Abstract: Apparatus for micro-manipulation of biological specimens under optical control comprises: (a) micro-manipulator(s) with holder(s) with controlled motor drive for instrument structured to handle cells; and  (b) microscope with controlled motor-powered focus system.  The motor drive is coupled to the microscope focusing motor, so that they can be operated from a common control panel with a joystick. An apparatus for micro-manipulation of biological specimens under optical control, comprises: (a) micro-manipulator(s) with holder(s) with a controlled motor drive for an instrument (26,26') structured to handle cells (23,24), e.g. a capillary; and  (b) a microscope with a controlled motor-powered focus system.  The motor drive for the cell-handling instrument is coupled to the microscope focusing motor, so that they can be operated from a common control panel (17,18) with a joystick (16).
Patent DE-10137923-A1 (DE)
Title: Teaching materials presentation method in computer network, involves sending test questions regarding displayed teaching material and evaluating answers from client
Inventor: SCHARF JOACHIM
IPC: G09B5/00
Filed: 2001-08-07
Abstract: The requested teaching material sent by a server is displayed on the client computer. A request regarding test with respect to displayed material is transmitted to the client. The test questions are sent from the server, in response to reply from the client. The server evaluates the answers received from the client and sends the evaluation results to the client.  Independent claims are also included for the following:  (1) computer network for presenting teaching material; and  (2) server computer system.
Patent DE-10139142-A1 (DE)
Title: Abgasbehandlungseinheit und Messvorrichtung zur Ermittlung einer Konzentration einer Harnstoff-Wasser-Lösung
Inventor: SCHEYING GERD
IPC: F01N9/00
Filed: 2001-08-09
Abstract: Es wird eine Abgasbehandlungseinheit zur Umsetzung, insbesondere zur Reduzierung von Stickoxidverbindungen, eines Abgasstromes (1) einer Verbrennungseinrichtung, insbesondere einer Diesel-Brennkrafmaschine, mit einer Speichereinheit (6) zur Speicherung einer Harnstoff-Wasser-Lösung (5) und einer Dosiereinheit (7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 15) zur Dosierung der Harnstoff-Wasser-Lösung (5) in den Abgasstrom (1) bzw. eine Messvorrichtung zur Ermittlung einer Konzentration einer Harnstoff-Wasser-Lösung (5) in einer Speichereinheit (6) mit einer elektronischen Auswerteeinheit (15) vorgeschlagen, mit der bzw. denen die Konzentration der Harnstoff-Wasser-Lösung (5) ohne großen Aufwand und wirtschaftlich günstig ermittelt werden kann, so dass eine exakte Harnstoffdosierung in den Abgasstrom (1) realisierbar ist. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass bei der Abgasbehandlungseinheit wenigstens eine Messvorrichtung zur Ermittlung in der Speichereinheit (6) mit einer elektronischen Auswerteeinheit (15) vorgesehen ist bzw. dass die Speichereinheit (6) der Messvorrichtung wenigstens einen Drucksensor (14) zur Ermittlung eines Drucks umfasst.
Patent DE-10139191-A1 (DE)
Title: Shaft access esp. manhole cover etc. for sewage channels has collection trough with vertical air circulation to enclose access and collect water
Inventor: REINEKE FRIEDRICH-WILHELM
IPC: E02D29/12
Filed: 2001-08-16
Abstract: The device has a collection device with connected outlet (14), which is located below an access opening to cover the opening and collect incoming water. The device permits vertical air circulation and has at least one collection trough device (11). The base of the trough slopes towards the outlet. The trough device has two troughs (10,11), with bases (12,13) relatively offset above each other and overlapping. The trough is of metal plate.
Patent DE-10147344-A1 (DE)
Title: Fahrzeugbewegungssteuersystem
Inventor: NISHIO AKITAKA
IPC: B60T8/1755
Filed: 2001-09-26
Abstract: Die vorliegende Erfindung ist auf ein Fahrzeugbewegungssteuersystem gerichtet, das Radbremszylinder, eine automatische Hydraulikdruckerzeugungseinrichtung zum Erzeugen eines Hydraulikbremsdrucks unabhängig von einer Betätigung eines Bremspedals, eine Hydraulikdrucksteuerventilvorrichtung, die zwischen der Druckerzeugungseinrichtung und den Radbremszylindern zum Steuern des Hydraulikbremsdrucks in jedem Radbremszylinder angeordnet ist, und eine Steuervorrichtung hat, um die Druckerzeugungseinrichtung und die Ventilvorrichtung als Reaktion auf Fahrzeugbewegungszustände zu steuern und um eine automatische Druckbeaufschlagungssteuerung für die Radbremszylinder zumindest dann auszuführen, wenn ein Bremspedal nicht niedergedrückt wird, um so eine Fahrzeugbewegungssteuerung durchzuführen. Die Steuervorrichtung ist daran angepasst, die Druckerzeugungseinrichtung für eine vorbestimmte Zeitperiode nach Beendigung der Fahrzeugbewegungssteuerung weiter zu betätigen und die Ventilvorrichtung so zu steuern, dass die Verbindung zwischen der Druckerzeugungseinrichtung und den Radbremszylindern unterbrochen ist, wobei sie die Zeitperiode auf der Grundlage der Fahrzeugbewegungszustände ändert.
Patent DE-10148775-A1 (DE)
Title: Application unit, useful in supplying therapeutic substances to tumor cells, comprises an electrical unit for producing a pulsed electrical field
Inventor: MAZAC PAUL
IPC: C12N13/00
Filed: 2001-10-02
Abstract: An arrangement for supplying therapeutic substances, medicines, etc to human or animal tumor cells, comprises an electrical apparatus for producing a pulsed electrical field between two electrodes. The electrical apparatus (1) produces impulses with a mean value of 0.1-5mA. The frequency of the impulses is 0.1-1000mA
Patent DE-10150072-A1 (DE)
Title: Paper punch has specially shaped foam member to ensure upper part of punch springs back and paper is guided satisfactorily
Inventor: MUELLER BODO
IPC: B26F1/36
Filed: 2001-10-10
Abstract: The paper punch is particularly flat and lightweight and has a specially shaped foam member which ensures that the upper part of the punch springs back and the paper is guided satisfactorily.  The lower and upper parts of the punch are connected like a hinge with the punching pins (2) anchored fixed on one part.
Patent DE-10150928-A1 (DE)
Title: Method for manufacturing vacuum cleaner filter bags has ultrasonically welded seaming of a one dimensional profile
Inventor: MATHO RAINER
IPC: A47L9/14
Filed: 2001-10-11
Abstract: The bag material is cut from a sheet, folded and the seams welded using ultrasonic methods.
Patent DE-10153983-A1 (DE)
Title: Post-treatment agent for moist concrete is devoid of organic solvents and includes a two-component water-soluble acrylic resin system and a peroxyacid, e.g. ammonium peroxydisulfate
Inventor: ZOELLER ARNOLD
IPC: C04B41/63
Filed: 2001-11-06
Abstract: Post-treatment agent for moist concrete includes a two-component water-soluble acrylic resin system including (parts) (a) a component containing water-soluble acrylic acid and/or methacrylic acid derivatives or a mixture of such derivatives (40-60) and water (60-40); and (b) a component containing a salt of a peroxy acid (0.5-10) and water (99.5-90).  An Independent claim is also included for preparation of a water-repellant coating for application to the surface of fresh concrete using the post-treatment agent, where components (a) and (b) are mixed in predetermined ratio and, after smoothing the surface of the fresh concrete, the mixture containing the acrylic resin system is applied.
Patent DE-10155963-A1 (DE)
Inventor: KNUEPPEL ANJA
IPC: A61K8/35
Filed: 2001-11-09
Abstract: The invention concerns cosmetic and/or dermatological formulations, characterized in that they contain (a) at least a hydroxybenzophenone, and (b) at least a triazine and/or benzotriazol derivatives and, optionally, other active principles, as well as auxiliary and adjuvant products. The hydroxybenzophenone used is preferably 2-(4'-diethylamino)-2'-hydroxybenzoyl)-benzoic acid hexylester.
Patent DE-10158714-A1 (DE)
Title: Halbleiterspeicher mit Spiegelfunktion
Inventor: TAKAMI KAZUHIKO
IPC: G06F12/16
Filed: 2001-11-29
Abstract: Daten einer Mehrzahl von Speicherzellen (MC0-MCm) werden auf einer Mehrzahl von ersten Datenleitungen (PH0-PHm) gelesen und durch eine Kombinations/Zurückeschreibe-Schaltung (1) kombiniert und auf einer zweiten Datenleitung (DP) übertragen, und die kombinierten Daten werden an die erste Datenleitung zurückgeschrieben. Durch das Kombinieren von Daten führt die Kombinations/Zurückeschreibe-Schaltung eine Zusatzfunktion aus. Gespiegelte Daten können in Bezug auf Zuverlässigkeit verbessert werden, und eine Fehlerkorrektur der Spiegeldaten kann ebenfalls implementiert werden.
Patent DE-10161055-A1 (DE)
Title: Über Mikrowellen regenerierbare Dieselpartikelabfangeinrichtung
Inventor: AMENT FRANK
IPC: B01D39/20
Filed: 2001-12-12
Abstract: Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Einleitung einer Regeneration in einer Partikelabfangeinrichtung umfasst die Schritte, dass mikrowellenabsorbierende Material in der Partikelabfangeinrichtung in Bereichen angeordnet wird, in denen sich Partikel aufbauen, Mikrowellen erzeugt werden, Mikrowellen mit dem mikrowellenabsorbierenden Material absorbiert werden und die Mikrowellen gesteuert werden, um ein Abbrennen der Partikel einzuleiten.
Patent DE-10163652-A1 (DE)
Title: Ambulance load platform secondary anti-tilt anchorage points
Inventor: FREVEL RAIMUND
IPC: A61G3/00
Filed: 2001-12-20
Abstract: An ambulance has a load platform with supplementary installations e.g. stretcher for patient and seats for attendant. The platform esp. has one or more supplementary floor anchorage points (11, 12). The anchorage points are adaptable to take fixtures of different depth.
Patent DE-10201801-A1 (DE)
Title: Flexible pipe connection device, in particular suitable for exhaust unit of vehicle, comprising two S-shaped hinge springs
Inventor: FRIESS WERNER
IPC: F16L27/11
Filed: 2002-01-18
Abstract: The pipe connection (1) comprises two cylindrical sleeves (4, 5) accommodating a corrugated metal element (6) sealed towards the sleeves (4, 5) in a suitable way. A gap between the sleeves (4, 5) and the corrugated element (6) is filled with a vibration absorbing device (11). The two pipe sections (2, 3) are joined with S-shaped hinge springs (13) positioned at both sides of the arrangement increasing the torsion resistance without increasing the size of the connection (1).
Patent DE-10208898-A1 (DE)
Title: Mobile jet machine for surface-treating substrates comprises a suction device arranged between an accelerating device and the curve of a rebound channel
Inventor: SELBACH NORBERT
IPC: B24C9/00
Filed: 2002-02-26
Abstract: Mobile jet machine (1) comprises an accelerating device (4), a suction device (20), and a rebound channel (5) returning spraying agent rebounding from the substrate back into the jet machine. The suction device is arranged before the curve of a curved rebound channel, i.e. between the accelerating device and the curve of the rebound channel.  Preferred Features: The suction device is arranged in the region between the accelerating device and the substrate to be treated or in the region between the substrate and the end of the rebound channel. A separator (21) having a rotating magnetic wheel (26) is provided at the end of the rebound channel.
Patent DE-10211928-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von Dihydroxybenzol
Inventor: TOKUMASU SHIGEFUMI
IPC: C07C37/72
Filed: 2002-03-18
Abstract: Bereitgestellt wird ein Verfahren zur Herstellung von Dihydroxybenzol, umfassend die Schritte: DOLLAR A (1) Oxidation von Diisopropylbenzol zum Erhalt eines Reaktionsgemisches, das Di(2-dihydroperoxy-2-propyl)benzol enthält; DOLLAR A (2) Spalten von Di(2-dihydroperoxy-2-propyl)benzol im Reaktionsgemisch zum Erhalt eines Gemisches, das rohes Dihydroxybenzol enthält; DOLLAR A (3) Destillieren des rohes Dihydroxybenzol enthaltenden Gemisches, wobei eine Aceton enthaltende Fraktion aus dem niedrigsiedenden Teil und eine Dihydroxybenzol enthaltende Fraktion aus dem hochsiedenden Teil erhalten wird; DOLLAR A (4) Destillieren der Dihydroxybenzol enthaltenden Fraktion, die im vorstehend erwähnten Schritt (3) erhalten wurde, wobei eine Dihydroxybenzol enthaltende Fraktion aus dem niedrigsiedenden Teil und eine ein schweres Material enthaltende Fraktion aus einem hochsiedenden Teil erhalten wird; und DOLLAR A (5) Mischen der im vorstehend erwähnten Schritt (4) erhaltenen Dihydroxybenzol enthaltenden Fraktion mit Wasser und Inkontaktbringen des erhaltenen Gemisches mit einem Extraktionslösungsmittel, gefolgt von Trennen in eine Dihydroxybenzol enthaltende wässrige Schicht und eine Verunreinigungen enthaltende ölige Schicht.
Patent DE-10212502-A1 (DE)
Title: Verwendung von mindestens einem Flavonoid des Quercetins zur Erhöhung des Spiegels von nützlichen kurzkettigen Fettsäuren (SCFA) im unteren Intestinaltrakt
Inventor: SCHMIEDL DETLEF
IPC: A61K31/718
Filed: 2002-03-20
Abstract: Die Erfindung betrifft die Verwendung von mindestens einem Flavonoid des Quercetins in Kombination mit mindestens einem Saccharid, ausgewählt aus resistenter Stärke (RS), einem Nichtstärke-Polysaccharid oder einem Oligosaccharid zur kontinuierlich verbesserten Erhöhung des Spiegels von nützlichen kurzkettigen Fettsäuren (SCFA) im unteren Intestinaltrakt sowie zur Stimulierung der Rückresorption von Flüssigkeit und gelöster Elektrolyte.
Patent DE-10220545-A1 (DE)
Title: Carousel storage unit built into cupboard is mounted on end of cantilever arm whose opposite end is attached to upright attached to floor by foot
Inventor: WINNEMANN BERND
IPC: A47B79/00
Filed: 2002-05-08
Abstract: The carousel storage unit (12) is built into a cupboard. It is mounted on the end of a cantilever arm (10a) whose opposite end is attached to an upright (10b) fixed to the floor by a foot (10c).
Patent DE-10222119-A1 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines zu bedruckenden Substrats
Inventor: SCHANZ KARL
IPC: B41F15/16
Filed: 2002-05-17
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Positionieren eines auf einem Drucktisch (2) aufliegenden gemäß dem Siebdruckverfahren zu bedruckenden Substrats (4) gegenüber dem Druckmuster des Siebs (3) der Siebdruckeinrichtung. Nach Ablegen und Fixieren des Substrats (4) auf dem Drucktisch (2) und bei nahe der Druckposition angeordnetem Sieb (3) wird die dem Drucktisch (2) zugewandte Seite des Siebs (3) vom Drucktisch (2) aus beleuchtet und wird mindestens ein vorgegebener Randabschnitt (6) des Substrats (4) vom Drucktisch (2) aus lichtelektrisch erfasst. Nach Auswertung der Erfassungssignale wird das Sieb (3) in seine Soll-Lage gegenüber der Ist-Lage des Substrats (4) verstellt und wird dann die Bedruckung vorgenommen.
Patent DE-10223330-A1 (DE)
Title: Method for coating boards with fluoropolymer-coated glass fiber comprises priming and lacquering textile with polytetrafluoroethylene terpolymer, one side being kept free from polymer and glued to board
Inventor: DUERBAUM JUN WALTER
IPC: D06N3/00
Filed: 2002-05-25
Abstract: Method for coating facades, planks or boards with fluoropolymer-coated textiles, especially glass fiber, comprises priming and lacquering the textile with a polytetrafluoroethylene terpolymer. One side of the textile is kept partly or wholly free from polymer and this side is glued to the board.
Patent DE-10225230-A1 (DE)
Title: Prozessor und Verfahren zum gleichzeitigen Ausführen einer Berechnung eines Kopiervorgangs
Inventor: ELBE ASTRID
IPC: G06F9/308
Filed: 2002-06-06
Abstract: Ein Prozessor umfaßt ein Quellregister (10) mit einem Quellregisterinhalt, ein Zielregister (12), ein Rechenwerk (14) zum Durchführen einer Berechnung unter Verwendung des Quellregisterinhalts, wobei die Berechnung in mehreren Berechnungszyklen ausführbar ist, und wobei in jedem Zyklus lediglich ein Teil des Quellregisterinhalts verwendbar ist, einen Datenbus (18), der mit dem Quellregister (10), dem Zielregister (12) und dem Rechenwerk (14) verbunden ist, sowie eine Prozessorsteuerung. Die Prozessorsteuerung ist betreibbar, um während der Berechnung den Quellregisterinhalt in Portionen dem Rechenwerk einerseits und dem Zielregister andererseits über den Datenbus zuzuführen, so daß nach einer Ausführung der Berechnung der Quellregisterinhalt in das Zielregister geschrieben ist. Damit ist es möglich, für portionsweise zu verarbeitende lange Operanden eine Registerkopie von einem Quellregister in ein Zielregister über einen begrenzten Datenbus ohne zusätzliche Maschinenzyklen zu erreichen.
Patent DE-10229066-A1 (DE)
Title: Production of a floating gate structure comprises applying a first dielectric layer on semiconductor material, applying a first polysilicon layer, applying a second dielectric layer and applying a second polysilicon layer
Inventor: HAGEMEYER PETER
IPC: H01L21/8247
Filed: 2002-06-28
Abstract: Production of a floating gate structure comprises: (a) applying a first dielectric layer (3) on semiconductor material; (b) applying a first polysilicon layer (4) for a first floating gate electrode on the first dielectric layer; (c) applying a second dielectric layer (11) as intermediate dielectric on the first polysilicon layer; and (d) applying a second polysilicon layer (12) as control gate electrode on the second dielectric layer. An amount of a surface of the first polysilicon layer is provided with a protrusion before applying the second dielectric layer, whilst a spacer mask is used to back etch a polysilicon layer locally to a prescribed thickness of the first polysilicon layer.
Patent DE-10230313-A1 (DE)
Title: Switching system for emergency lights for fire escape corridor in cinema or other public building is connected to lights in ceiling for illumination and indication of escape route
Inventor: WILLING ACHIM
IPC: H05B37/02
Filed: 2002-07-05
Abstract: The fire escape corridor (1) in a cinema or other public building has lights (4,6) in the ceiling for illumination and indication of the escape route toward the exit door (2). There is an indicator light (5) above the door. The corridor may have a window (3) for illumination by ambient daylight. The emergency and illumination lights have separate power supplies (11,14). There is a light sensor (10) near each emergency light.
Patent DE-10230634-A1 (DE)
Title: Befestugungsvorrichtung für zwei benachbarte Behälter
Inventor: HUERTER HELMUT
IPC: B60K15/07
Filed: 2002-07-08
Abstract: Die vorliegende Erfindung schafft eine Befestigungsvorrichtung (1) für zwei benachbarte Behälter (2, 4), wie beispielsweise Kraftstofftanks, Gasflaschen oder dergleichen, die am Unterbau der Karosserie eines Kraftfahrzeuges befestigt werden sollen. Die beiden Behälter (2, 4) werden von wenigstens zwei den jeweiligen Behälter (2, 4) fixierenden Spannbändern (6) gehalten, die jeweils mit einem ersten von den Behältern (2, 4) wegweisenden Spannbandende (8) an bereits im Unterbau befindlichen ersten Montagepunkten befestigt sind. Diese ersten Montagepunkte liegen paarweise in Fahrzeuglängsrichtung zueinander fluchtend vor. Die Längsachse des jeweiligen Behälters (2, 4) ist vorzugsweise quer zur Fahrzeuglängsachse orientiert. Es ist erstmals vorgesehen, dass zwischen den beiden Behältern (2, 4) ein Spannbandmontageadapter (10) angeordnet ist. Dieser erstreckt sich parallel zur Längsachse wenigstens eines der Behälter (2, 4). Der Spannbandmontageadapter ist an in den Unterbau an tragfähigen Stellen einzubringenden zweiten Montagepunkten befestigt, welche zwischen den beiden äußeren ersten Montagepunkten und nicht mit diesen auf einer gemeinsamen Linie liegen. Dabei sind die jeweiligen zweiten nach innen zwischen die beiden Behälter (2, 4) weisenden Spannbandenden (14) derart an Spannbandmontageadapter (10) montiert, dass diese entlang der gemeinsamen Verbindungslinie (18) der äußeren ersten Montagepunkte im Wesentlichen versatzfrei miteinander fluchtend verlaufen.
Patent DE-10232774-A1 (DE)
Title: Kosmetische Zubereitungen mit antibakteriellen Eigenschaften
Inventor: BUCHWALD-WERNER SYBILLE
IPC: A61K8/63
Filed: 2002-07-18
Abstract: Vorgeschlagen werden kosmetische Zubereitungen, die sich dadurch auszeichnen, dass sie eine wirksame Menge an Glyzyrrhetinsäure sowie deren Derivaten enthalten.
Patent DE-10233779-A1 (DE)
Title: Vorrichtung zum Positionieren von linear geführten Maschinenelementen
Inventor: HUTZENLAUB ARMIN
IPC: B26D1/24
Filed: 2002-07-25
Abstract: Vorrichtung zum Positionieren von mehreren einen Funktionsträger führenden Schlitten (2), die an einer sich quer zur Bahnlaufrichtung erstreckenden Führung (4) bewegbar gelagert sind, mit einer Transporteinrichtung zum Verstellen der Schlitten (2) an der Führung (4) und mit Mitteln zum Arretieren der Schlitten (2) an der Führung (4), wobei parallel zur Führung (4) ein Stahlband (5) angeordnet ist und jeder Schlitten (2) einen Elektromagneten (9) und eine zugehörige Ankerplatte (10) aufweist, zwischen denen das Stahlband geführt ist und die durch Magnetkraft gegeneinander bewegbar sind, um den Schlitten (2) an dem Stahlband festzuklemmen.
Patent DE-10237649-A1 (DE)
Title: A single coat rapid acting polyurethane adhesive useful as a coating-, sealing-, household-, assembly-, structural-, packaging-, or paper adhesive and for film coating
Inventor: GRUENEWAELDER BERNHARD
IPC: C09J175/12
Filed: 2002-08-13
Abstract: A single coal polyurethane adhesive which satisfies the present need for an adhesive giving especially quick adhesion to materials, especially wood, and containing polyisocyanate prepolymer and at least one aminopolyether polyol, where the mole ratio of ether groups to amino nitrogen in the aminopolyether polyolis 7-30 is new.  An Independent claim is included for preparation of the adhesive by mixing the polyisocyanate prepolymer (PIP) with at least one aminopolyether polyol (APEP) or a polyisocyanate preparation in the presence of at least one aminopolyether polyol, containing at least one further catalyst as well as the aminopolyether polyol.
Patent DE-10237852-A1 (DE)
Title: Process for electrically insulating structured metal layers on a semiconductor substrate comprises applying a high density plasma oxide layer to fill a structured metal layer, planarizing the oxide layer, and applying a covering oxide layer
Inventor: BOSK PETER
IPC: H01L21/3105
Filed: 2002-08-19
Abstract: Process for electrically insulating structured metal layers on a semiconductor substrate comprises applying a high density plasma oxide layer (3) to fill a structured metal layer (2) up to its surface, planarizing the oxide layer using chemical-mechanical polishing selectively on the structured metal layers, and applying a covering oxide layer (5) to cover both the metal layers and the oxide layer.