Patent DE-112015001209-B4 (DE)
Title: Vorrichtung für elastische Wellen
Inventor: KADOTA MICHIO
IPC: H03H9/25
Filed: 2015-02-20
Granted: 2021-06-24
Abstract: Vorrichtung für elastische Wellen (1), umfassend:ein LiNbO3-Substrat (2),eine IDT-Elektrode (3), die auf dem LiNbO3-Substrat (2) angeordnet ist, undeinen Aluminiumnitridfilm (4), der auf dem LiNbO3-Substrat (2) angeordnet ist, um die IDT-Elektrode (3) zu bedecken, wobei die Vorrichtung für elastische Wellen (1) eine verlustbehaftete elastische Welle verwendet, die sich auf dem LiNbO3-Substrat (2) ausbreitet,wobei die IDT-Elektrode (3) aus einem Metall besteht, das als eine Hauptkomponente ein Material enthält, das aus einer Gruppe bestehend aus Cu, AI, Au, Pt und Ni ausgewählt ist, wobei die Euler-Winkel des LiNbO3-Substrats (2) (0°±5°, θ, 0°±5°) betragen, und wobei, wenn X eine wellenlängennormalisierte Dicke der IDT-Elektrode bezeichnet und Y den θ der Euler-Winkel bezeichnet, Y, das der θ der Euler-Winkel ist, in Abhängigkeit von einer Art des Metalls, aus dem die IDT-Elektrode (3) besteht, und einem Bereich einer wellenlängennormalisierten Dicke des Aluminiumnitridfilms (4) auf einen der Bereiche in Tabelle 1 bis Tabelle 5 eingestellt wird.Tabelle 1Cu-Elektrode0,02 ≤ * < 0,075Y = 119,8 - 1644X + 64107X2- 820434X3+ 4,5×106X4- 1,2x107X5+ 1,1X6bisY = 153 + 169X - 363X20,075 <_ *< 0,125Y = 106,7 - 1278X + 53014X2- 700901X3+ 4,1×106X4- 1,1×107X5+ 1,1×107X6bisY = 143 + 209X - 739X2+ 907X30,125 ≤ * < 0,175Y = 89,6 - 493X + 25919X2- 255926X3+ 911653X4- 1,1 X5bisY = 132 + 207X - 195X20,175 ≤ * < 0,225Y = 79,4 - 207,6X + 21115X2- 220752X3+ 803734X4- 988585X5bisY = 124 + 547X - 2351X2+ 3513X30,225 ≤ * < 0,275Y = 70,4 - 35,7X + 13366X2- 125408X3+ 392064X4- 406193X5bisY = 125,8 + 547,4X - 2351X2+ 3513X3* = wellenlängennormalisierte Dicke des AluminiumnitridfilmsTabelle 2AI-Elektrode0,02<_*< 0,075Y=154-17X-18bisY=154-17X+180,075 ≤ * < 0,125Y = 132 - 13X -18bisY= 132- 13X+ 180,125 ≤ * < 0,175Y=116-13X-18bisY=116-13X+180,175 ≤ * < 0,225Y=101-13X-18bisY=101-13X+180,225<_*< 0,275Y = 88 -13X -18bisY = 88 - 13X + 18* = wellenlängennormalisierte Dicke des AluminiumnitridfilmsTabelle 3Au-Elektrode0,02 ≤ * < 0,075Y = 143,1 - 2591X + 221241X2- 6,66109×106X3+ 7,5×107X4- 2,9×108X5bisY = 154 + 513X - 2508X20,075 <_ *< 0,125Y = 113,3 - 1613X + 173621X2- 5,4×106X3+ 6,1×107X4- 2,4×108X5bisY = 151 + 187X + 1187X20,125 <_ *< 0,175Y = 91,57 - 1590X + 203628X2- 5,7×106X3+ 5,8×107X4- 2,1×108X5bisY = 140 + 265X + 623X20,175 ≤ * < 0,225Y = 103,7 - 559,1X + 42955X2- 704717X3+ 3×106X4bisY = 146 + 191X-215X20,225 ≤ * < 0,275Y = 88,8 + 26,8X + 66840X2- 4,45×106X3+ 1,15×108X4- 1,25×109X5+ 4,8 ×109X6bisY = 176 - 450X + 2317X2* = wellenlängennormalisierte Dicke des AluminiumnitridfilmsTabelle 4Pt-Elektrode0,02 ≤ * < 0,075Y = 134 + 303X + 2874X2- 445059X3+ 3X4bisY = 159 + 333X - 1040X20,075 <_ *< 0,125Y = 101 - 345X + 66704X2- 1,4×106X3+ 7,6×106X4bisY = 147 + 350X + 281X20,125 <_ *< 0,175Y = 94,45 - 2780X + 313312X2- 9,1×106X3+ 10×107X4- 3,8×108X5bisY = 140 + 258X + 918X20,175 ≤ * < 0,225Y = 101, 1 11 32X - 94867X2+ 3,4×106X3- 4,8×107X4+ 2,2×108X5bisY = 154 - 66X + 1563X20,225 <_ *< 0,275Y = 91,1 - 793,7X + 132135X2 -6,4×106X3+ 1,4×108X4- 1,4×109X5+ 5,1 ×109X6bisY = 175 - 527X + 4617X2- 13850X3* = wellenlängennormalisierte Dicke des AluminiumnitridfilmsTabelle 5Ni-Elektrode0,02 ≤ * < 0,075Y = 115,9 - 1162X + 47603X2- 584771X3+ 3,1×106X4- 7,4×106X5+ 6,7x106X6bisY = 154 + 51X + 19,5X20,075 ≤ * < 0,125Y = 100,3 - 769X + 30871X2- 326052X3+1,3 × 106X4- 1,7×106X5bisY = 134 + 154X - 300X20,125 < - * < 0,175Y = 67,99 + 1440X - 46900X2+ 917682X3- 9,1×106X4+ 4,5×107X5- 1,1×108X6+ 1,1×108X7bisY = 139 + 194X - 177X20,175 ≤ * < 0,225Y = 68,79 + 618,4X - 15149X2+ 215569X3- 1,35×106X4+ 3,64×106X5- 3,51×106X6bisY = 129 + 642X - 3232X2+ 5479X30,225 <_ *< 0,275Y = 59,867 + 826,5X -15571X2+ 176484X3- 985113X4+ 2,5×106X5- 2,3×106X6bisY = 118 + 576X-2604X2+ 4075X3* = wellenlängennormalisierte Dicke des Aluminiumnitridfilms