Patent DE-102019220030-B4 (DE)
Title: Dickenmessvorrichtung
Inventor: KIMURA NOBUYUKI
IPC: H01L21/304
Filed: 2019-12-18
Granted: 2023-02-09
Abstract: Dickenmessvorrichtung (6) zum Messen einer Dicke eines plattenförmigen Werkstücks (W), das eine obere Oberfläche (Wa) und eine untere Oberfläche (Wb) aufweist, umfassend:einen Einspanntisch (24) zum Halten des Werkstücks (W); undeine Dickenmesseinheit (60), welche die Dicke des Werkstücks (W), das an dem Einspanntisch (24) gehalten ist, in einer nicht-kontaktierenden Weise misst, wobeidie Dickenmesseinheit (60) beinhaltet:eine weiße Lichtquelle (61) zum Emittieren von weißem Licht (L0)ein Dispersionsmittel (62), das Zeitunterschiede entsprechend den Wellenlängen der Lichtkomponenten des weißen Lichts (L0), das durch die weiße Lichtquelle (61) emittiert wird, herstellt, wodurch spektrales Licht (L1) generiert wird, wobei das spektrale Licht (L1), das durch das Dispersionsmittel (62) generiert wird, auf einem zweidimensionalen Bereich an dem Werkstück (W), das an dem Einspanntisch (24) gehalten ist, mit einem vorbestimmten Neigungswinkel aufgebracht wird, wobei der zweidimensionale Bereich aus mehreren Abschnitten ausgebildet ist, die durch X-Koordinaten und Y-Koordinaten definiert sind,einen zweidimensionalen Bildsensor (65), der einen Fotodetektionsbereich (652) zum Detektieren von Umkehrlicht (L4) aufweist, das durch Reflektieren des spektrale Lichts (L1) an der oberen Oberfläche (Wa) des Werkstücks (W) und der unteren Oberfläche (Wb) des Werkstücks (W) erhalten wird, wobei der Fotodetektionsbereich (652) mehrere Pixel beinhaltet, die durch X-Koordinaten und Y-Koordinaten definiert sind, sodass sie den X-Koordinaten und den Y-Koordinaten, welche die mehreren Abschnitte des zweidimensionalen Bereichs an dem Werkstück (W) definieren, jeweils entsprechen,einen Speicherabschnitt (120) zum Speichern der Intensität des Umkehrlichts (L4), das durch die mehreren Pixel detektiert wird, entsprechend einer Wellenlänge mit einem Zeitunterschied, wobei die Intensität des Umkehrlichts (L4), das durch jeden Pixel detektiert wird, als eine spektrale Interferenzwellenform (H) gespeichert wird, undeine Wellenformtabelle (140), die vorher mehrere Arten beispielhafter spektraler Interferenzwellenformen (H) speichert, die jeweils verschiedenen Dicken des Werkstücks (W) entsprechen, undeinen Dickenbestimmungsabschnitt zum Bestimmen einer Dicke an einer X-Y-Koordinatenposition in dem zweidimensionalen Bereich des Werkstücks, wobeider Dickenbestimmungsabschnitt (130) durch Vergleichen der spektralen Interferenzwellenform (H), die in dem Speicherabschnitt gespeichert ist, mit jeder beispielhaften spektralen Interferenzwellenform (H), die in der Wellenformtabelle (140) gespeichert ist, als nächstes Bestimmen einer Dicke entsprechend der beispielhaften spektralen Interferenzwellenform (H), die mit der spektralen Interferenzwellenform (H) zusammenfällt, als eine temporäre Dicke, und als nächstes Multiplizieren der temporäre Dicke mit cosθ die Dicke als eine tatsächliche Dicke bestimmt, wobei θ ein Brechungswinkel des spektralen Lichts (L2) ist, das auf der oberen Oberfläche (Wa) des Werkstücks (W) aufgebracht wird und sich in dem Werkstück (W) zu der unteren Oberfläche (Wb) davon ausbreitet.