baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102006032423-B4 (DE)
Inventor: DELIPETKOS ELIAS
IPC: G01B15/04
Filed: 2006-07-13
Granted: 2008-04-24
Abstract: The total weight of the pieces of meat is first determined in a weighing device (22). The form of the surface of the pieces of meat stored in a container (15) is then determined by means of a form determination device (22). The fat content can be determined from the measured values for the weight and the volume using a previously determined calibration function. Preferably, and to aid the determination process, the x-ray absorption of the pieces of meat in their entirety can be determined in an x-ray analysis device (23).
Patent DE-102006043982-B4 (DE)
Title: Seitenpuffer für bewegliche oder feste Tragstrukturen von Schienenfahrzeugen
Inventor: EST EISENBAHN-SYSTEMTECHNIK GMBH
IPC: B60R19/00
Filed: 2006-09-19
Granted: 2023-06-29
Abstract: Seitenpuffer für bewegliche oder feste Tragstrukturen (7, 8) von Schienenfahrzeugen, mitersten und zweiten Führungsteilen in Form einer Führungshülse (2) undeines Stößels (1), welcher relativ zur Führungshülse (2) inFahrzeuglängsrichtung verschiebbar ist und bei seinerVerschiebebewegung von der Führungshülse (2) geführt wird,wobei die aus der Führungshülse (2) hervorragende Stirnseite des Stößels (1) mit einem Pufferteller (1a) und das fahrzeugseitige Ende derFührungshülse (2) durch einen ortsfest an der Tragstruktur (7, 8)befestigten Pufferboden (6) abgeschlossen sind, welcher im Wesentlichen axial mit der Führungshülse (2) fluchtet und mit einer Freigabevorrichtung (5)versehen ist,mit einem zum Pufferboden (6) hin offenen Führungskanal (8) derTragstruktur (7,8), undmit einem innenliegenden Federelement (3) zum nachgiebigen Koppeln des Stößels (1) mit dem Pufferboden (6),dadurch gekennzeichnet,dass der Führungskanal (8) im Wesentlichen denselben Innendurchmesser wie die nur aus einem einzigen rohrförmigen Element bestehende Führungshülse (2) aufweist unddass die Freigabevorrichtung (5) bei einer Überschreitung des normalen Federweges die Abstützung des Federelements (3) auf dem Pufferboden (6) abschaltet, so dass das Federelement (3) danach entspannt und kraftfrei bleibt, und dem Stößel (1) einen zusätzlichen Verschiebeweg relativzur Führungshülse (2) freigibt, bei dem das Federelement (3) mit dem Stößel (1) zusammen verschoben wird, derart, dass der Stößel (1) und das Federelement (3) in den Führungskanal (8) eintauchen und der Stößel (1) zusätzlich in dem Führungskanal (8) geführt wird, und im weiteren Verlauf der Eintauchbewegung der Pufferteiler (1a) gegen das freie Ende der Führungshülse (2) aufschlägt und dabei die Führungshülse (2) eine Deformation und Verkürzung auf einem kontrollierten, im Wesentlichen gleichbleibenden Kraftniveau erleidet.
Patent DE-102006052027-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Bestimmen des Sinterschwunds eines vorgesinterten Körpers und Bearbeitungsmaschine zur Bearbeitung von Weißlingen
Inventor: KOEBEL STEFAN
IPC: G16Z99/00
Filed: 2006-11-03
Granted: 2009-06-25
Abstract: Verfahren zum Bestimmen des Sinterschwunds eines vorgesinterten Körpers, wobei ein Grünling mit mindestens einem Gestaltmerkmal (2; 5, 6, 7) versehen wird, der Grünling zu einem Weißling (1; 4) vorgesintert wird, die Veränderung der Gestaltmerkmale (2; 5, 6, 7) beim Vorsintern erfasst wird und unter Verwendung der erfassten Veränderung und auf Basis des zu erwartenden Gesamtschwunds durch Vorsintern und Sintern der zu erwartende Sinterschwund vom Weißling zum dichtgesinterten Bauteil bestimmt wird, wobei das mindestens eine Gestaltmerkmal (2; 5, 6, 7) nach dem Vorsintern in einer Bearbeitungsmaschine erfasst wird.
Patent DE-102006059526-B4 (DE)
Title: Halbleiterbauteil, Nutzen mit in Zeilen und Spalten angeordneten Halbleiterbauteilen und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils
Inventor: MAHLER JOACHIM
IPC: H01L23/50
Filed: 2006-12-14
Granted: 2008-09-25
Abstract: Ein Halbleiterbauteil (1), dessen Halbleiterbauteilkomponenten eine besonders zuverlässige Haftung zu einer sie umgebenden Kunststoffgehäusemasse (17) aufweisen, soll durch ein möglichst einfaches Verfahren hergestellt werden. Dazu wird eine Haftvermittlungslösung (13) in den Zwischenraum (11) zwischen der Vorderseite (5) der Flip-Chips (4) und der Oberseite (9) des Substrats (8) eingebracht und das Lösungsmittel aus der Haftvermittlungslösung (13) wird unter Ausbilden einer Haftvermittlungsbeschichtung (16) auf den Vorderseiten (5) der Halbleiterchips (4) und der Oberseite (9) des Substrats (8) verdampft. Anschließend wird der Halbleiterchip (4) und die Oberseite (9) des Substrats (8) in eine Kunststoffgehäusemasse (17) eingebettet.
Patent DE-102007001263-B4 (DE)
Title: Robotersystem zur Beladung von Lademitteln mit Stückguteinheiten
Inventor: RUGE GERDA DR
IPC: B65G57/02
Filed: 2007-01-08
Granted: 2015-07-23
Abstract: Robotersystem zur Beladung von Lademitteln (10) mit Stückguteinheiten (12), mit einer Greifereinheit (14) zum Greifen der Stückguteinheiten (12) und einer Steuereinheit (16) zum Steuern der Bewegungen der Greifereinheit (14) und zum Bestimmen eines Lademusters der Stückguteinheiten (12), dadurch gekennzeichnet,  – dass die Steuereinheit (16) zur Bestimmung von Kenngrößen für die Stabilität verschiedener möglicher zumindest in einem Teillademuster aufgeschichteter Paketstapel ausgebildet ist,  – dass die Kenngrößen (K) den Einfluß des Gewichts sowie die von anderen Stückguteinheiten (12) auf eine betrachtete Stückguteinheit (12) übertragene vertikale Kraftkomponente auswerten,  – dass die Steuereinheit (16) zum Vergleich der Kenngrößen miteinander ausgebildet ist und  – dass die Steuereinheit (16) aus mehreren möglichen Lademustern ein Lademuster abhängig von der Kenngröße (K) auswählt.
Patent DE-102007007188-B4 (DE)
Inventor: SCHNEIDER GUNTER
IPC: B23K26/16
Filed: 2007-02-09
Granted: 2013-09-26
Abstract: An assembly to polish an optical lens (1) to the desired profile has a workpiece spindle (2) that rotates about an axis R1. The spindle moves under control both about the axis R1 and along a translatory axis T1 at right angles to the axis of rotation R1. The assembly incorporates a milling tool 3 acting along a milling axis 3.3, and a rotating cutter 4 that moves alternating under control along an oscillation axis O1. The assembly further has a grinding/polishing tool 5 acting on the lens. The polishing tool and spindle move relative to each other to ensure the correct polishing position and presentation. The second stage unit has an engraving unit (G) applied to the lens surface. The lens is clamped directly to the spindle.
Patent DE-102007023803-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von Schichtsystemen mit Zwischenschichten sowie Gegenstand mit Schichtsystem mit Zwischenschichten
Inventor: FIEDLER MARKUS
IPC: G02B5/28
Filed: 2007-05-21
Granted: 2009-11-05
Abstract: Verfahren zur Herstellung von Schichtsystemen, bei welchem auf einem Gegenstand ein Schichtsystem mit zumindest zwei Schichten aufgebracht wird und zumindest eine Zwischenschicht zwischen die Schichten eingebracht wird und bei welchem zum Aufbringen der Zwischenschicht ein organischer Precursor und ein anorganischer Precursor gleichzeitig oder nacheinander in die Beschichtungs- oder Reaktionskammer eingebracht werden und der organische Precursor und der anorganische Precursor im Wesentlichen gleichzeitig zur Reaktion und/oder Abscheidung gebracht werden und die Zwischenschicht in einer Dicke von 3 nm bis 10 nm abgeschieden wird.
Patent DE-102007025336-B4 (DE)
Title: Halbleiterbauelement und Verfahren für die Verformungserzeugung in siliziumbasierten Transistoren durch Anwendung von Implantationstechniken zur Herstellung einer verformungs-induzierenden Schicht unter dem Kanalgebiet
Inventor: GRIEBENOW UWE
IPC: H01L27/088
Filed: 2007-05-31
Granted: 2010-08-19
Abstract: Verfahren mit:  Bilden einer Implantationsmaske über einer siliziumbasierten Schicht in der und über der ein Transistor in einem Transistorgebiet zu bilden ist, wobei die Implantationsmaske einen Bereich der siliziumbasierten Schicht des Transistorgebiets des Transistors benachbart zu dem Kanalgebiet des Transistors, bedeckt;  Implantieren einer ersten Ionensorte in die siliziumbasierte Schicht bis zu einer spezifizierten ersten Tiefe, während eine reduzierte Konzentration der ersten Ionensorte an einem Oberflächenbereich der siliziumbasierten Schicht beibehalten wird, und wobei die erste Ionensorte die gleiche Wertigkeit aber einen anderen kovalenten Radius im Vergleich zu Silizium aufweist;  Ausführen eines Ausheizprozesses zur Rekristallisierung der siliziumbasierten Schicht nach dem Implantieren der ersten Ionensorte, um ein verformtes siliziumbasiertes Material in der Nähe des Oberflächenbereichs zu bilden; und  Bilden einer Gateelektrodenstruktur über der siliziumbasierten Schicht, um das Kanalgebiet zu definieren, das das verformte siliziumbasierte Material enthält.
Patent DE-102007039981-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Bestimmung derjenigen Position eines Messobjektivs in Z-Koordinatenrichtung einer optischen Messmaschine mit grösster Reproduzierbarkeit gemessener Strukturbreiten
Inventor: HEIDEN MICHAEL
IPC: G01B11/14
Filed: 2007-08-23
Granted: 2009-10-22
Abstract: Verfahren zur Bestimmung derjenigen Position eines Messobjektivs (9) in Z-Koordinatenrichtung einer optischen Messmaschine (1), bei der die Reproduzierbarkeit gemessener Strukturbreiten in Abhängigkeit von einer Schwankung der Fokusposition des Messobjektivs (9) in Z-Koordinatenrichtung am größten ist, um dadurch einen optimalen Arbeitspunkt der optischen Messmaschine (1) einzustellen, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:  • Abbilden mindestens einer zu vermessenden Struktur (3) auf einen Detektor (11) einer Kamera (10) wobei das Messobjektiv (9) in Z-Koordinatenrichtung verfahren wird, um einen Bildstapel der zu vermessenden Struktur (3) bei unterschiedlichen Fokuspositionen des Messobjektivs (9) zu erhalten;  • dass jedem Bild des Bildstapels ein Fokuswert zugewiesen wird;  • dass aus dem Bildstapel das Bild mit dem extremalen Fokuswert gesucht wird, und dass um dieses Bild vom Benutzer ein Bereich von Fokuspositionen festgelegt wird, innerhalb dessen die Fokuswerte mit einer Funktion gefittet werden;  • dass in dem vom Benutzer festgelegten Bereich um den Fokuspunkt...
Patent DE-102007043308-B4 (DE)
Title: Einrichtung zur Verbindung und Verriegelung zweier Bauplatten, insbesondere Fussbodenpaneele
IPC: E04F15/02
Filed: 2007-09-11
Granted: 2009-12-03
Abstract: Einrichtung zur Verbindung und Verriegelung zweier Bauplatten (1, 2) an ihren Längs- und/oder Querseiten in horizontaler und vertikaler Richtung durch eine im wesentlichen vertikale Fügebewegung, bestehend aus einem Verriegelungselement (3) und Bauplatten (1, 2), insbesondere Fußbodenpaneele, die eine Oberseite (14) und eine Unterseite (15) aufweisen, an ihren miteinander zu verbindenden Seitenkanten (I, II) mit zueinander korrespondierenden Profilierungen (10, 11) versehen sind, wobei das Verriegelungselement (3), dass an der Seitenkante (I) der ersten Bauplatte (1) zwischen der Oberseite (14) und der Nut (5) ein nach außen hervorspringender Vorsprung (4) vorgesehen ist, und in der Profilierung (11) der ersten Bauplatte (1) ein Verriegelungselement (3) vorgesehen ist, das ein inneres Ende (3'') und ein äußeres Ende (3') aufweist und zur Ausbildung eines Verriegelungsfingers (3c) an einer von seinem äußeren Ende (3') entfernten Stelle (6) abknickbar ausgebildet ist, und zur Ausbildung eines Verschlusses (3b) an einer von seinem inneren Ende (3'') entfernten Stelle...
Patent DE-102008016178-B4 (DE)
Title: Verfahren und System zum spekulativen Vorabruf in einer Mehrprozessor-/Mehrkern-Nachrichtenübermittlungsmaschine
Inventor: KUNZE AARON
IPC: G06F13/00
Filed: 2008-03-28
Granted: 2011-03-03
Abstract: System zum spekulativen Vorabruf in einer Mehrkern-Nachrichtenübermittlungsplattform (300), umfassend:  mindestens einen Prozessor (310, 310a, 310b), wobei jeder der Mindestanzahl von einem Prozessor (310, 310a, 310b) mindestens einen Kern (311a, 311b, 311c, 311d) aufweist, wobei das System eine Mehrzahl von Kernen (311a, 311b, 311c, 311d) umfaßt,  einen Empfangskern (105) unter der Mehrzahl von Kernen, der einen lokalen Cache (113), mindestens eine Nachrichtenwarteschlange (107) zum Speichern von empfangenen Nachrichten und einen Nachrichtenübermittlungs-Prefetcher (109), der kommunikativ an einen gemeinsam benutzten Cache und/oder einen gemeinsam benutzten Speicher (111) gekoppelt ist und auch an den lokalen Cache (113) gekoppelt ist, aufweist,  eine Zusammenschaltung zur Nachrichtenübermittlung unter der Mehrzahl von Kernen, und  einen Sendekern (103) unter der Mehrzahl von Kernen zum Senden einer Nachricht an den Empfangskern, wobei eine Nachricht, die eine Speicherreferenz aufweist, sowohl an die mindestens eine Nachrichtenwarteschlange (107) als auch an den Nachrichtenübermittlungs-Prefetcher (109) des Empfangskerns (105) gesendet wird,...
Patent DE-102008016575-B4 (DE)
Title: Voll-Schutzschalter und motorsteuerbarer Vollschutzschalter
Inventor: WEBER RALF DIPL ING
IPC: H01H71/52
Filed: 2008-04-01
Granted: 2013-02-21
Abstract: Voll-Schutzschalter (1) mit wenigstens einem Leitungsschutzschalter (2) und einem daran angebauten Fehlerstrombauteil (4), mit einem im Fehlerstrombauteil (4) vorgesehenen ersten Schaltmechanismus, umfassend einen ersten Schaltknebel (6) zum Betätigen eines im Fehlerstrombauteil (4) untergebrachten ersten Schaltschlosses (8) mit wenigstens einer ersten Verklinkungsstelle, und mit einem in dem wenigstens einen Leitungsschutzschalter (2) vorgesehenen zweiten Schaltmechanismus umfassend einen zweiten Schaltknebel (16) zum Betätigen eines in dem wenigstens einen Leitungsschutzschalter (2) untergebrachten zweiten Schaltschlosses (14) mit wenigstens einer zweiten Verklinkungsstelle, wobei das erste und das zweite Schaltschloss (8, 14) mittels eines ersten Koppelelementes (10) derart gekoppelt sind, dass beim Entklinken der ersten Verklinkungsstelle auch die zweite Verklinkungsstelle entklinkt und dabei wenigstens eine Kontaktstelle (26) des wenigstens einen Leitungsschutzschalters (2) geöffnet wird, und dass das zweite Schaltschloss (14) mittels des zweiten Schaltknebels (16) erst dann wieder einschaltbar ist, wenn der erste Schaltknebel (6) gegenüber seiner Ausschaltstellung um einen vorgebbaren Vorlaufwinkel (α) in Richtung auf seine...
Patent DE-102008017054-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Verminderung von Verzerrungen bei der Tonwiedergabe eines Lautsprechers
Inventor: CLAUSSEN ULF PROF DR ING
IPC: H04R3/02
Filed: 2008-04-03
Granted: 2014-01-16
Abstract: Verfahren zur Verminderung von Verzerrungen bei der Tonwiedergabe eines Lautsprechers, der eine mit einem Toneingangssignal zu speisende Schwingspule aufweist, die entsprechend dem Toneingangssignal in Schwingungen versetzt wird und dadurch eine damit verbundene Lautsprechermembran auslenkt, bei welchem Verfahren Zustandsdaten der Schwingspule gemessen und die Messsignale zum Korrigieren des Toneingangssignals zur Verminderung der Verzerrungen verwendet werden, wobei dem Toneingangssignal ein Zusatzsignal mit einer Frequenz zugeführt wird, die größer ist als diejenige des hörbaren Bereichs, im Lautsprecher eine Messspule angeordnet wird, die das Zusatzsignal detektiert, und das Signal der Messspule zum Korrigieren des Toneingangssignals verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Messspule ortsfest im Lautsprecher angeordnet ist und die Position der Schwingspule dauernd gemessen und das Signal zur Verminderung der Verzerrungen verwendet wird.
Patent DE-102008028265-B4 (DE)
Title: Nachstellvorrichtung für eine Scheibenbremse
Inventor: KREUZEDER ROBERT
IPC: F16D65/52
Filed: 2008-06-13
Granted: 2015-04-02
Abstract: Nachstellvorrichtung (1) zur Nachstellung eines Verschleißes von Bremsbelägen (36) und Bremsscheibe (34) einer Scheibenbremse (33), wobei die Nachstellvorrichtung (1) in eine Stellspindel (38, 39) der Scheibenbremse (33) eingesetzt ist, wobei die Nachstellvorrichtung (1) ein Antriebsrad (5), eine Überlastkupplung (4) und eine Freilaufkupplung (10) aufweist, welche auf einer Welle (2) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass (a) die Überlastkupplung (4) zwischen Antriebsrad (5) und einem dazu axial angeordneten Stirnrad (8) ausgebildet ist, und (b) die Freilaufkupplung (10) innerhalb des Stirnrads (8) angeordnet ist.
Patent DE-102008037206-B4 (DE)
Title: 300°C-Flowsensor
Inventor: MUZIOL MATTHIAS
IPC: F02M25/07
Filed: 2008-08-11
Granted: 2014-07-03
Abstract: Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung, zur Verwendung in einem Abgasrohr (7), bei der in einem Spritzgussgehäuse (8) aus Kunststoff ein keramischer Träger (2) so eingebettet ist, dass auf dem keramischen Träger (2) an dem der Einbettung (4) entgegen gesetzten Ende wenigstens ein Schichtwiderstand (1a, 1b) befestigt ist und von diesem aus elektrische Verbindungen (3) zum eingebetteten Ende des keramischen Trägers (2) führen und wobei die elektrische Verbindung (3) durch den Spritzguss (8) hindurchgeführt wird, innerhalb des Spritzgussgehäuses (8) abgedichtet und befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine metallische Abschirmung (6) den Träger (2) und den Schichtwiderstand (1a, 1b) bis auf dessen Bereich des funktionellen Messwiderstands abschirmt.
Patent DE-102008040038-B4 (DE)
Title: Heckaufprall-Precrash-und Crash-System
Inventor: KARMRODT ALEXANDER
IPC: B60R21/015
Filed: 2008-06-30
Granted: 2019-10-17
Abstract: Verfahren zur Ansteuerung eines Heckaufprall-Precrash- oder eines Heck-Crash-Systems eines ersten Fahrzeuges zur Verminderung der Folgen einer Kollision mit mindestens einem zweiten Fahrzeug, wobei das Heckaufprall-Precrash-System zur Gefahrenerkennung Umfelddaten mittels einer Umfeld-Sensorik oder das Heck-Crash-System Crashdaten und Umfelddaten mittels einer Crash- und Umfeld-Sensorik, über die Annährung und/oder die Kollision, des mindestens einen ersten Fahrzeuges mit dem mindestens einen zweiten Fahrzeug, sammelt und auswertet, wobei ein kombiniertes Heckaufprall-Precrash und Heck-Crash-System mit Hilfe der Umfeld-Sensorik und der Crash- und Umfeld-Sensorik mehrere Gefahrensituationen stufenweise unterscheidet, nämlich ob in einer ersten Stufe ein Heckaufprall droht, ob in einer zweiten Stufe ein Heckaufprall gerade eingetreten ist oder ob in einer dritten Stufe ein Heckaufprall bereits erfolgt ist, wonach in Abhängigkeit der jeweils festgestellten Situation angepasste Maßnahmen zur Erhöhung der passiven Sicherheiteines Insassen eingeleitet werden,dadurch gekennzeichnet, dassin der dritten Stufe bei einem über die Crash-Sensorik oder über die Umfeld- und Crash-Sensorik erkannten, bereits eingetretenen Heckaufprall des zweiten auf das erste Fahrzeug an diese Situation angepasste und optimierte Maßnahmen• der aktiven Systeme des Heckaufprall-Precrash-Systems ergriffen werden, wobeio eine Notbremsung, mittels eines vorhandenen Bremssystems in Abhängigkeit der bereits in der ersten und/oder zweiten Stufe durchführten Maßnahmen vollständiger Befüllung des Bremssystems bis zum Stillstand des Fahrzeuges und◯ eine Entriegelung der Türen und Fenster und◯ eine Abschaltung der Kraftstoffpumpe des Kraftstoffversorgungssystems und◯ ein Eingriff in die elektromechanische Lenkanlage und◯ eine Abschaltung der Zündung des Motors vorgenommen werden.
Patent DE-102008050161-B4 (DE)
Title: Hybrider Steckverbinder
Inventor: FUENFSCHILLING ANDREAS
IPC: H01R13/533
Filed: 2008-10-01
Granted: 2017-08-03
Abstract: Hybrider Steckverbinder mit zwei unterschiedlichen Mehrfach-Steckverbindungen (3, 4) in einem gemeinsamen Stiftsteckergehäuse (1) und einem gemeinsamen Buchsensteckergehäuse (2), die schachtelförmig und dabei für die beiden Steckverbindungen (3, 4) über Kontaktteile (3', 4'; 3'', 4'') kontaktgebend ineinander steckbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Mehrfach-Steckverbindungen (3, 4) elektrische Steckverbindungen mit unterschiedlicher Stecktoleranz sind, dass das Stiftsteckergehäuse (1) und das Buchsensteckergehäuse (2) jeweils gesonderte mechanische Führungsmittel (6, 6') aufweisen, die eine Führung der mit einer geringeren Stecktoleranz versehenen ersten Steckverbindung (4) ausbilden, wobei die mechanischen Führungsmittel (6, 6') die Kontaktteile (4', 4'') der ersten Steckverbindung (4) umschließen; dass diese Führungsmittel (6, 6') beim Ineinander-Stecken von Stiftsteckergehäuse (1) und Buchsensteckergehäuse (2) eine Vorausrichtung der Kontaktteile (4', 4'') der ersten Steckverbindung (4) zueinander bewirken, noch bevor die Kontaktteile (3', 3'') der zweiten Steckverbindung (3) einen Kontakt herstellen, und dass beim weiteren Ineinander-Stecken von Stiftsteckergehäuse (1) und Buchsensteckergehäuse (2) die zweite Steckverbindung (3) ohne separate Führungsmittel kontaktgebend zusammenfügbar ist.
Patent DE-102008062450-B4 (DE)
Title: Anordnung zur Beleuchtung eines Substrats mit mehreren individuell geformten Partikelstrahlen zur hochauflösenden Lithographie von Strukturmustern
Inventor: DOERING HANS-JOACHIM
IPC: H01J37/09
Filed: 2008-12-13
Granted: 2012-05-03
Abstract: Anordnung zur Beleuchtung eines Substrates mit mehreren individuell geformten steuerbaren Partikelstrahlen (118) mit einer Partikelstrahlquelle (1) zur Aussendung eines Partikelstrahls (11), einem Beleuchtungssystem (2) zur Formung und Ablenkung des Partikelstrahls (11) für die Beleuchtung eines ersten Aperturblendenarrays, wobei das Aperturblendenarray ein Multiblendenarray zur Erzeugung von separaten Partikelteilstrahlen (118) ist, einem zweiten Multiblendenarray, auf das das erste Multiblendenarray mittels eines Kondensorlinsensystems (31–32) abgebildet ist und das unter Berücksichtigung des Abbildungsmaßstabes zum ersten Multiblendenarray angepasste Blendenöffnungen (44) aufweist, einem aus Multistrahldeflektorarrays bestehenden Multistrahldeflektorsystem (5) zur individuellen Strahlablenkung der separaten Partikelstrahlen (118) sowie einer wenigstens einstufigen Verkleinerungsoptik (6) zur verkleinerten Abbildung der vom zweiten Aperturblendenarray durchgelassenen Partikelteilstrahlen (118) auf ein Substrat (91), dadurch gekennzeichnet, dass – das erste und das zweite Multiblendenarray als Multiformatblendenarrays (41, 42) zur Erzeugung von Partikelteilstrahlen (118) mit unterschiedlichen Strahlquerschnitten ausgebildet sind, und – dem ersten Multiformatblendenarray (41) und dem zweiten Multiformatblendenarray (42) mindestens drei Multistrahldeflektorarrays...
Patent DE-102008063299-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung eines kompakten synthetischen Quarzglases, ein Muffelofen zur Durchführung des Verfahrens, sowie das damit erhaltene Quarzglas
Inventor: ORTMANN LARS DR ING
IPC: C03B20/00
Filed: 2008-12-29
Granted: 2012-12-06
Abstract: Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas im Brennraum eines Muffelofens durch – Bilden eines Gasstromes, der einen Brennstoff, ein chemisches Oxidationsmittel, sowie eine verdampfbare, gasförmige Siliziumverbindung enthält, die durch Flammhydrolyse und/oder durch das chemische Oxidationsmittel zu SiO2-Partikeln umgesetzt wird, – Abscheiden der SiO2-Partikel auf eine Abscheidefläche eines Targets unter Ausbildung eines walzenförmigen Quarzkörpers, – wobei der Brennraum durch Wände definiert wird und an seinem vorderen und an seinem hinteren Ende vordere Gaseintritts- und hintere Gasaustrittsöffnungen aufweist, wobei die Wände und die Öffnungen um eine Längsachse rotationssymmetrisch ausgebildet sind und sich der Brennraum von der Gaseintrittsöffnung nach hinten aufweitet und – wobei der Gasstrom durch mindestens 3 Düsen erzeugt wird, umfassend eine am vorderen Ende der Längsachse angeordnete zentrale Düse zum Einspeisen der Siliziumverbindung sowie – eine hiervon beabstandete und konzentrisch angeordnete erste Ringdüse zum Einspeisen des Oxidationsmittels und – eine ebenfalls konzentrisch angeordnete zweite...