baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102009017684-B4 (DE)
Title: Gekapselte Abgasnachbehandlungsanlage
Inventor: SUDMANNS HANS DIPL ING
IPC: F01N3/025
Filed: 2009-04-16
Granted: 2014-09-25
Abstract: Gekapselte Abgasnachbehandlungsanlage (1), die kapselseitige Versorgungsanschlüsse (24, 25) aufweist und modular aus scheibenförmigen Baueinheiten (2) aufgebaut ist, welche quer zur Scheibenebene aufeinander folgend miteinander verbunden sind und durchströmte Abgasnachbehandlungseinheiten (3) aufweisen, die ausgehend von einem anströmseitigen Abgassammelkanal (22) parallel zur Scheibenebene in Richtung auf einen abströmseitigen Abgassammelkanal (23) durchströmt sind, wobei die Abgassammelkanäle (22, 23) in die Baueinheiten (2) integriert sind, sich quer zu den Scheibenebenen über die Baueinheiten (2) durchlaufend erstrecken und gegen die Versorgungsanschlüsse (24, 25) offen sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Abgasnachbehandlungseinheiten (3) einer Baueinheit (2) in quer zur Durchströmungsrichtung (4) verlaufenden Zeilen angeordnet sind, die in Durchströmungsrichtung (4) der Baueinheit (2) aufeinander folgen.
Patent DE-102009035160-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Starten eines Verbrennungsmotors
Inventor: VAN DEN BERGH RUBEN
IPC: F02D45/00
Filed: 2009-07-29
Granted: 2021-02-11
Abstract: Verfahren zum Starten eines Verbrennungsmotors mit variablen Ventilhub wobei der Verbrennungsmotor in bestimmten Fahrbetriebszuständen zur Kraftstoffeinsparung zeitweise ausgeschaltet wird und bei einem Wechsel des Fahrbetriebszustandes erneut gestartet wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Einlassventil im Motorauslauf so angesteuert wird, dass der Schließzeitpunkt derart verschoben wird, dass der Zylinder welche im Motorauslauf einen Unterdruck aufweisen würde beim stehenden Motor ein geöffnetes Einlassventil aufweist.
Patent DE-102009046261-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von Transistoren mit Metallgateelektrodenstrukturen mit großem ε, die vor den Drain/Source-Gebieten auf der Grundlage eines Opferkohlenstoffabstandshalters hergestellt werden
Inventor: BEYER SVEN
IPC: H01L21/28
Filed: 2009-10-30
Granted: 2012-05-16
Abstract: Verfahren mit: Bilden einer Gateelektrodenstruktur eines Transistors über einem Halbleitergebiet eines Halbleiterbauelements, wobei die Gateelektrodenstruktur eine Gateisolationsschicht mit einem Gatedielektrikumsmaterial mit großem ε, ein auf der Gateisolationsschicht gebildetes metallenthaltendes Deckmaterial, ein über dem Deckmaterial gebildetes Elektrodenmaterial, eine über dem Elektrodenmaterial gebildete dielektrische Deckschicht und eine Seitenwandabstandshalterstruktur aufweist; Bilden eines Opferkohlenstoffabstandhalters an der Seitenwandabstandshalterstruktur; Entfernen der dielektrischen Deckschicht unter Anwendung des Opferkohlenstoffabstandshalters als ε in Ätzstoppmaterial zum Schützen der Seitenwandabstandshalterstruktur; und Entfernen des Opferkohlenstoffabstandshalters.
Patent DE-102009046338-B4 (DE)
Title: Verfahren, Sende-/Empfangseinrichtung und System zum Erkennen von Objekten
Inventor: HOENES FRANK
IPC: G01S13/87
Filed: 2009-11-03
Granted: 2021-06-02
Abstract: Verfahren zum Erkennen von Objekten (01-03), mit:Senden eines Sendesignals (S, S1, S2, S3) durch eine einer Mehrzahl von Sende-/Empfangseinrichtungen (1-6);Empfangen eines durch Reflektion des Sendesignals (S, S1, S2, S3) an einem Objekt (01-03) generierten Empfangssignals (E, E12, E32) durch zumindest eine weitere Sende-/Empfangseinrichtung (1-6); undAuswerten des jeweiligen Empfangssignals (E, E12, E32) in Abhängigkeit einer bereitgestellten Empfindlichkeitskennlinie (K, K12, K13, K21, K23, K31, K32) für den Empfang, wobei die Empfindlichkeitskennlinie (K, K12, K13, K21, K23, K31, K32) in Abhängigkeit zumindest einer Eigenschaft der sendenden Sende-/Empfangseinrichtung (1-6) bereitgestellt wird,dadurch gekennzeichnet, dass eine Haupt-Empfindlichkeitskennlinie bereitgestellt wird, wobei eine Mehrzahl N von senderabhängigen Empfindlichkeitskennlinien (K, K12, K13, K21, K23, K31, K32) durch eine jeweilige Ableitung der Haupt-Empfindlichkeitskennlinie mittels eines für die jeweilige Sende-/Empfangseinrichtung (1-6) spezifischen Faktors oder Offsets generiert wird.
Patent DE-102009053514-B4 (DE)
Title: Bodengestütztes Transportsystem und schwebende Hebeeinrichtung für geringe Massen
Inventor: ROESELER DANIEL
IPC: B60V3/02
Filed: 2009-11-16
Granted: 2012-04-12
Abstract: Bodengestütztes Lufttransportsystem (1) für Innenräume, insbesondere bodengestütztes schwebendes Hebesystem (1) für geringe Massen, mit einer luftgestützten Transporteinrichtung (10), die einen davon wegstehenden Ausleger (110) aufweist, mittels welchem ein Transportgut (2) transportierbar, platzierbar und/oder bergbar ist, und einer bodengestützten Lenkeinrichtung (20), die eine Mehrzahl von Steuerleinen (210) aufweist, mittels welchen je nach einer Freigabe einer Länge der Steuerleinen (210) die luftgestützte Transporteinrichtung (10) vertikal positionierbar und/oder orientierbar ist, wobei die bodengestützte Lenkeinrichtung (20) ein Lenkgestell (200) oder einen Lenkrahmen (200) aufweist, von welchem die Steuerleinen (210) zur luftgestützten Transporteinrichtung (10) verlaufen.
Patent DE-102009055321-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Bestimmung der Leberleistung eines Lebewesens mittels quantitativer Messung der Metabolisierung von Substraten
Inventor: HEYNE KARSTEN PROF DR
IPC: A61B5/00
Filed: 2009-12-24
Granted: 2013-04-18
Abstract: Verfahren zur Bestimmung der Leberleistung eines Lebewesens, umfassend – das Verabreichen von mindestens einem mit 13C markierten Substrat, welches durch die Leber unter Freisetzung von mindestens einem 13C markierten Metabolisierungsprodukt umgesetzt wird, und – die Bestimmung des Gehaltes des mindestens einen 13C markierten Metabolisierungsproduktes in der Ausatemluft über ein bestimmtes Zeitintervall mittels mindestens eines Messgerätes mit mindestens einer Auswerteeinheit, dadurch gekennzeichnet, dass die gemessene anfängliche Zunahme des Gehaltes des mindestens einen 13C markierten Metabolisierungsproduktes in der Ausatemluft mit einer Differentialgleichung erster Ordnung beschrieben wird und aus der Lösung der Differentialgleichung erster Ordnung der Wert Amax für die maximale Konzentration des 13C markierten Metabolisierungsproduktes und die Zeitkonstante tau der Zunahme des Gehaltes des 13C markierten Metabolisierungsproduktes bestimmt werden.
Patent DE-102010002928-B4 (DE)
Title: Kraftfahrzeugkonfigurationssystem
Inventor: PREISSINGER JÖRG DR
IPC: B60R16/02
Filed: 2010-03-16
Granted: 2023-11-02
Abstract: Kraftfahrzeugkonfigurationssystem,• umfassend ein Kraftfahrzeug,◯ in dessen Innenraum zumindest ein zur drahtlosen Nahfeldkommunikation geeigneter Transponder angebracht ist und◯ welches eine Empfangseinheit aufweist zum drahtlosen Empfang von Fahrzeugkonfigurationsdaten über eine von der drahtlosen Nahfeldkommunikation unabhängige drahtlose Kommunikationsverbindung,• und umfassend ein portables Geräto welches zur drahtlosen Nahfeldkommunikation geeignet ist und geeignet ist, eine Annäherung des portablen Geräts an den Transponder mittels Nahfeldkommunikation zu detektieren,◯ welches zumindest einen Datenspeicher zum Speichern von Speicherdaten aufweist und◯ welches eine Sendeeinheit aufweist zum drahtlosen Senden von Sendedaten auf Basis der in dem Datenspeicher gespeicherten Speicherdaten über eine von der drahtlosen Nahfeldkommunikation unabhängige drahtlose Kommunikationsverbindung,dadurch gekennzeichnet, dassdas portable Gerät programmiert ist, auf eine auf drahtloser Nahfeldkommunikation basierende Detektion einer Annäherung des portablen Geräts an den Transponder hin über eine von der drahtlosen Nahfeldkommunikation unabhängige drahtlose Kommunikationsverbindung zwischen der Sendeeinheit und der Empfangseinheit Sendedaten von dem portablen Gerät an das Kraftfahrzeug zu übertragen, um dem Kraftfahrzeug Fahrzeugkonfigurationsdaten bereitzustellen, undder Transponder als passives NFC Tag nach einem der Standards ISO 14443 oder ISO 18092 FeliCa ausgebildet ist.
Patent DE-102010011368-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Herstellung von pressgehärteten Formbauteilen
Inventor: BOHNER FRIEDRICH
IPC: B21D53/00
Filed: 2010-03-12
Granted: 2014-03-20
Abstract: Verfahren zur Herstellung von pressgehärteten Formbauteilen (5), insbesondere Karosserie- oder Strukturbauteilen von Kraftfahrzeugen, aus einer Platine aus ungehärtetem, warm umformbaren Stahlblech, wobei die Platine in einem Pressenwerkzeug zum Formbauteil (5) warm umgeformt und pressgehärtet wird, und wobei partielle Bereiche des Formbauteils (5) nach dem Presshärten wärmebehandelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die partielle Wärmebehandlung entlang eines linienförmigen Bereichs (B) am Formbauteil (5) ausgeführt wird und nach der Wärmebehandlung am Formbauteil (5) entlang des linienförmigen Bereichs (B) eine Biege- oder Schneidoperation erfolgt.
Patent DE-102010012609-B4 (DE)
Title: Sn-plattiertes Kupfer oder Sn-plattierte Kupferlegierung mit hervorragender Wärmebeständigkeit und Herstellungsverfahren dafür
Inventor: TAIRA KOUICHI
IPC: C25D5/12
Filed: 2010-03-24
Granted: 2012-11-29
Abstract: Sn-plattiertes Kupfer oder Sn-plattierte Kupferlegierung, umfassend: ein Basismaterial, das aus Kupfer oder einer Kupferlegierung hergestellt ist, und eine Oberflächenplattierungsschicht, die eine Ni-Schicht, eine Cu-Sn-Legierungsschicht und eine Sn-Schicht umfasst, die in dieser Reihenfolge auf einer Oberfläche des Basismaterials ausgebildet sind, wobei die durchschnittliche Dicke der Ni-Schicht 0,1 bis 1,0 μm beträgt, die durchschnittliche Dicke der Cu-Sn-Legierungsschicht 0,55 bis 1,0 μm beträgt und die durchschnittliche Dicke der Sn-Schicht 0,2 bis 1,0 μm beträgt, die Cu-Sn-Legierungsschicht Cu-Sn-Legierungsschichten mit zwei Zusammensetzungen umfasst und in diesen zwei Arten von Cu-Sn-Legierungsschichten ein Abschnitt, der mit der Sn-Schicht in Kontakt ist, aus einer η-Phase mit einer durchschnittlichen Dicke von 0,05 bis 0,2 μm ausgebildet ist, und ein Abschnitt, der mit der Ni-Schicht in Kontakt ist, aus einer ε-Phase mit einer durchschnittlichen Dicke von 0,5 μm bis 0,95 μm ausgebildet ist.
Patent DE-102010024284-B4 (DE)
Title: Gleitringdichtung mit stationärem Gleitring mit Ausnehmungen
Inventor: KIRCHHOF MARTIN DR
IPC: F16J15/34
Filed: 2010-06-18
Granted: 2015-05-07
Abstract: Gleitringdichtung, umfassend einen rotierenden Gegenring (1) und einen stationären Gleitring (2), wobei der Gegenring (1) und der Gleitring (2) jeweils aneinander liegende Dichtflächen (1a, 2a) aufweisen, wobei die Dichtfläche (1a) des Gegenrings (1) der Dichtfläche (2a) des Gleitrings (2) gegenüberliegt und wobei der Gleitring (2) eine axiale Ausbuchtung (13) aufweist, deren radial innere Flanke (14) Ausnehmungen (15a, 15b) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass in den Ausnehmungen (15a, 15b) keine Dichtungen oder Dichtelemente angeordnet sind.
Patent DE-102010024691-B4 (DE)
Title: Rohranordnung
Inventor: ECKARDT CARSTEN
IPC: F16L47/02
Filed: 2010-06-23
Granted: 2017-01-05
Abstract: Rohranordnung (1) mit einem Rohr (2) und einer Rohrkupplung (3), wobei die Rohrkupplung (3) an einer Stirnseite (5) eine umlaufende Nut (6) mit einem Nutgrund (12) aufweist, in die das Rohr (2) eingesteckt ist und in der das Rohr (2) mit der Rohrkupplung (3) verschweißt ist, wobei die Nut (6) über mindestens eine durchgehende Öffnung (14, 14') mit der Umgebung der Rohrkupplung (3) verbunden ist, die Öffnung (14, 14') von einem Schweißbereich zwischen dem Rohr (2) und der Rohrkupplung (3) ausgeht, die Öffnung (14, 14') den Nutgrund (12) zumindest teilweise durchsetzt und die Nut (6) zwischen einer radial inneren Wand (8) und einer radial äußeren Wand (7) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (14, 14') in der radial äußeren Wand (7) ausgebildet ist und die Öffnung (14, 14') den Nutgrund (12) überlappt oder mit ihm abschließt.
Patent DE-102010032134-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Einbringen einer Bohrung in das Erdreich und Erdbohrvorrichtung
Inventor: BAYER HANS-JOACHIM DR
IPC: E21B47/02
Filed: 2010-07-24
Granted: 2016-09-22
Abstract: Verfahren zum Einbringen einer Bohrung in das Erdreich, wobei die Bohrung in einer definierten Lage (Soll-Lage) zu einer bereits bestehenden Bohrung (Bezugsbohrung) oder einer bereits im Erdreich verlegten Leitung (Bezugsleitung) verlaufen soll, wobei die Ist-Lage der Bohrung relativ zu der Bezugsbohrung/Bezugsleitung ermittelt und bei einer Abweichung von der Soll-Lage Umsteuersignale zur Korrektur der Abweichung generiert werden, gekennzeichnet durch Ermitteln der Ist-Lage mittels mindestens einer Radareinheit (3, 4), Generieren der Umsteuersignale aus den Radardaten für eine definierte Durchführung der Bohrung entlang der Bezugsbohrung oder Bezugsleitung während des Einbringens der Bohrung, und Einbringen der Bohrung entlang der Bezugsbohrung oder Bezugsleitung.
Patent DE-102010054658-B4 (DE)
Title: Funkschloss für Mülltonnen
Inventor: NIKIC IVAN
IPC: E05B49/00
Filed: 2010-12-15
Granted: 2017-03-09
Abstract: Funkschloss (1) für Mülltonnen, das von innen lösbar an einem Mülltonnendeckel (9) befestigt ist und über einen elektromotorisch betriebenen Verriegler (3) in eine schlitzförmige Aufnahme (11) in der Mülltonne (10) verriegelnd eingreift, wobei die Betätigung des Funkschlosses (1) mittels eines Funksignals erfolgt, welches fernbedienbar gesendet und von einem Empfänger im Funkschloss (1) empfangen wird, dadurch gekennzeichnet, dass ein Neigungs-Messer (15) als Sensor im Funkschloss (1) integriert ist, der die Bewegung des Mülltonnendeckels (9) erfasst und so eine automatische Verriegelung nach Schließen des Mülltonnendeckels (9) ermöglicht.
Patent DE-102010056431-B4 (DE)
Title: Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements
Inventor: BAUER CHRISTIAN
IPC: B81B1/00
Filed: 2010-12-28
Granted: 2012-09-27
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Bauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Das Bauelement umfasst ein Substrat (S), einen Chip (CH), einen Rahmen (MF), der mit dem Substrat (S) verbunden ist und auf dem der Chip (CH) aufliegt. Eine metallische Verschlussschicht (ML), umfasst den Rahmen (MF), das Substrat (S) und den Chip (CH) so, dass ein von dem Substrat (S), dem Chip (CH) und dem Rahmen (MF) umschlossenes Volumen hermetisch abgedichtet ist.
Patent DE-102011001066-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Auswählen von Garprogrammen
Inventor: LAUTERBACH KATRIN
IPC: F24C7/08
Filed: 2011-03-03
Granted: 2012-12-13
Abstract: Verfahren zum Auswählen von Garprogrammen für zumindest ein Gargerät mit einem eine Vielzahl von Garbereichen aufweisenden Garraum, einer Steuer- oder Regeleinrichtung zum Führen der Garprogramme und zumindest einer Behandlungseinrichtung zum Durchführen der Garprogramme, wobei eine Bedieneinrichtung, die eine Anzeigeeinrichtung und eine Eingabeeinrichtung umfasst, mit der Steuer- oder Regeleinrichtung für folgende Schritte in Verbindung steht: • Anzeigen einer Vielzahl von Garprogrammgruppen auf der Anzeigeeinrichtung (2) zum Auswählen einer Garprogrammgruppe aus besagter Vielzahl mittels der Eingabeeinrichtung (1, 2), wobei jede auswählbare Garprogrammgruppe zur Realisation eines Events zumindest zwei Garprogramme, jeweils ausgelegt für Gargut einer bestimmten Gargutart und einer bestimmten Gargutmenge, umfasst, • Anzeigen zumindest jeweils einer für die Gargutart und die Gargutmenge der Garprogramme der ausgewählten Garprogrammgruppe charakteristischen Größe auf der Anzeigeeinrichtung (2) zum Verändern oder Bestätigen der Gargutmengen über die Eingabeeinrichtung, • Anzeigen einer für die Fertigstellung aller Garprogramme der ausgewählten Garprogrammgruppe als Zeit des ausgewählten Events...
Patent DE-102011012037-B4 (DE)
Title: Stangenlademagazin
Inventor: LÖFFLER KAI
IPC: B23B13/02
Filed: 2011-02-22
Granted: 2014-09-11
Abstract: Stangenlademagazin (10) für Drehautomaten oder dergleichen Werkzeugmaschinen, mit einem langgestreckten Führungskanal (23) runden Querschnitts für eine vom Drehautomaten zu bearbeitende Materialstange, mit einem in Längsrichtung zweigeteilten Träger, dessen Oberteil (15) relativ zu einem Unterteil (16) abhebbar ist und in welchem mehrere Adaptiveinlagensegmente (26; 27; 28 bzw. 40) nebeneinander angeordnet sind, die zusammen eine oder mehrere Adaptiveinlagen (50) im Ober- und Unterteil (15, 16) bilden, die wiederum den Führungskanal (23) bilden, dadurch gekennzeichnet, dass die runde oder runden Adaptiveinlagen (50) über eine oder mehrere verformbare Membranen (55) verfügen, wobei diese eine oder mehrere Membranen (55) beim Aufbringen eines äußeren Druckaufbaus im Klemm- und Zentrierbereich (41) nach innen zu wölben ist, und dabei eine im inneren befindliche Materialstange zentrisch zur Drehautomatenspindel (90) aufzunehmen ist.
Patent DE-102011051940-B4 (DE)
Title: Bodenschloss für einen Kraftfahrzeugsitz
Inventor: THIEX ANDREAS
IPC: B60N2/015
Filed: 2011-07-19
Granted: 2023-01-26
Abstract: Bodenschloss (1) für einen Kraftfahrzeugsitz zum lösbaren Verbinden des Kraftfahrzeugsitzes mit einem Fahrzeugboden, mit einer zwischen einer Verriegelungsstellung und einer Entriegelungsstellung verstellbaren Sperrklinke (2) und einer die Stellung der Sperrklinke (2) festlegenden, mit der Sperrklinke (2) in Wirkverbindung befindlichen und gegenüber dieser zwischen einer Schließlage und einer Öffnungslage verstellbaren Steuerklinke (3), wobei die Verriegelungsstellung der Sperrklinke (2) durch eine in einer Sicherungsposition angeordnete Sicherungsklinke (4) gesichert ist, wobei die Sicherungsklinke (4) mit der Steuerklinke (3) in Wirkverbindung befindlich ist und mittels dieser zwischen der Sicherungsposition und einer Freigabeposition verstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass in der Verriegelungsstellung der Sperrklinke (2) die Sperrklinke (2) und die Sicherungsklinke (4) mit einander zugewandten Kontaktflächen an gegenüberliegenden Flächen der Steuerklinke (3) angeordnet sind.
Patent DE-102011055715-B4 (DE)
Title: Leuchtdiode und Verfahren zum Herstellen derselben
Inventor: SON SU-HYOUNG
IPC: H01L33/20
Filed: 2011-11-25
Granted: 2019-05-29
Abstract: Licht-emittierende Diode, aufweisend:ein Substrat (200), das an einer seiner Oberflächen mit Vorsprüngen (200a) versehen ist;eine Pufferschicht (210, 220), die über die gesamte Oberfläche des Substrats (200) gebildet ist;eine über der Pufferschicht (210, 220) gebildete erste Halbleiterschicht (230);eine auf einem Bereich der ersten Halbleiterschicht (230) gebildete aktive Schicht (240);eine über der aktiven Schicht (240) gebildete zweite Halbleiterschicht (250);ein auf einem anderen Bereich der ersten Halbleiterschicht (230), außerhalb des Bereichs, in dem die aktive Schicht (240) gebildet ist, gebildetes erstes Elektroden-Pad (280); undein auf der zweiten Halbleiterschicht (250) gebildetes zweites Elektroden-Pad (270),wobei jeder der Vorsprünge (200a) im Querschnitt einen polygonalen Umriss aufweist, undjeder der Vorsprünge (200a) eine gegenüber der Substratoberfläche in einem ersten Winkel θ1 geneigte Seitenfläche und eine gegenüber der Substratoberfläche in einem von dem ersten Winkel θ1 verschiedenen zweiten Winkel θ2 geneigte andere Seitenfläche aufweist, und die geneigten Seitenflächen jedes Vorsprungs (200a) der Substratoberfläche nächstliegende Seitenflächen des Vorsprungs (200a) sind, und der erste Winkel θ1 und der zweite Winkel θ2 zwischen 45° und 90° betragen.
Patent DE-102011075547-B4 (DE)
Title: Wälzlager, insbesondere zweireihiges Wälzlager, mit einer Energieerzeugungseinheit, insbesondere zur Lagerung einer Walze
Inventor: RINK THOMAS
IPC: H02K21/22
Filed: 2011-05-10
Granted: 2016-06-09
Abstract: Wälzlager, umfassend  einen Lagerring (2),  einen Lagerkäfig (5) zur Aufnahme mindestens eines Wälzkörpers (4),  eine als Klauenpolgenerator ausgebildete Energieerzeugungseinheit (8),  wobei der Klauenpolgenerator (8) einen ersten Klauenring (10) mit einer Abfolge von ersten Klauen (11) und einen in Umfangsrichtung des Lagerrings (2) versetzten zweiten Klauenring (12) mit einer Abfolge von zweiten Klauen umfasst, wobei die beiden Klauenringe (10, 12) eine in Umfangsrichtung des Lagerrings (2) umlaufende Induktionsspule (9) umgeben,  wobei die Klauen (11) der beiden Klauenringe (10, 12) mit einer in Umfangsrichtung umlaufenden Abfolge von magnetischen Polen (14) die Induktionsspule (9) umgebenden magnetische Kreise ausbilden,  und wobei die magnetischen Pole (14) an dem Lagerkäfig (5) angeordnet sind,  dadurch gekennzeichnet, dass die Klauenringe (10, 12) an dem Lagerring (2) in einer Lagerringnut (18) angeordnet sind.
Patent DE-102011083245-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden einer epitaktischen Schicht aus Silizium auf einer Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium durch Gasphasenabscheidung in einer Prozesskammer
Inventor: BRENNINGER GEORG
IPC: C23C16/24
Filed: 2011-09-22
Granted: 2019-04-25
Abstract: Verfahren zum Abscheiden einer Schicht auf einer Halbleiterscheibe durch Gasphasenabscheidung in einer Prozesskammer, die einen oberen und einen unteren Deckel aufweist, umfassend das Messen der Temperatur auf der Vorderseite der Halbleiterscheibe; das Erhitzen der Halbleiterscheibe auf eine Abscheidetemperatur; das Regeln der Temperatur des oberen Deckels der Prozesskammer auf eine Zieltemperatur, wobei die Temperatur des oberen Deckels im Zentrum der äußeren Oberfläche des oberen Deckels gemessen und als Ist-Wert der Regelgröße eines Regelkreises zur Regelung der Temperatur des oberen Deckels verwendet wird; das Einstellen eines Gasflusses, mit dem ein Prozessgas zum Abscheiden der Schicht durch die Prozesskammer geleitet wird; und das Abscheiden der Schicht auf der Vorderseite der auf die Abscheidetemperatur erhitzten Halbleiterscheibe während des Regelns der Temperatur des oberen Deckels der Prozesskammer auf die Zieltemperatur, dadurch gekennzeichnet, dass eine epitaktische Schicht aus Silizium auf einer Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium abgeschieden wird und die Zieltemperatur in einem Bereich von 510 °C bis 530 °C liegend gewählt wird, wenn der eingestellte Gasfluss des Prozessgases im Bereich von 45 slm bis 55 slm liegt, dass die Zieltemperatur in einem Bereich von 525 °C bis 545 °C liegend gewählt wird, wenn der eingestellte Gasfluss des Prozessgases im Bereich von 56 slm bis 65 slm liegt, und dass die Zieltemperatur in einem Bereich von 540 °C bis 560 °C liegend gewählt wird, wenn der eingestellte Gasfluss des Prozessgases im Bereich von 66 slm bis 80 slm liegt.
Patent DE-102011087807-B4 (DE)
Title: Ausgangsnetzwerk für eine Plasmaversorgungseinrichtung und Plasmaversorgungseinrichtung
Inventor: KIRCHMEIER THOMAS
IPC: H05H1/46
Filed: 2011-12-06
Granted: 2015-11-12
Abstract: Ausgangsnetzwerk (15) für eine Plasmaversorgungseinrichtung (10) zur Erzeugung einer Ausgangsleistung ≥ 500 W bei einer im Wesentlichen konstanten Grundfrequenz ≥ 3 MHz und zur Leistungsversorgung eines Plasmaprozesses, an welchen die erzeugte Ausgangsleistung geliefert wird, wobei das an einen Hochfrequenzleistungswandler anschließbare Ausgangsnetzwerk (15) mindestens einen Ausgangsübertrager (17, 17.1, 17.2) mit einer primärseitigen und einer sekundärseitigen Wicklung (18, 19) aufweist, wobei zumindest eine der Wicklungen (18, 19) eine erste Teilwicklung (101b, 201b) und eine zweite Teilwicklung (103b, 203b) aufweist, die in unterschiedlichen Schichten (101, 103, 201, 203, 311, 312, 321, 322, 323, 324) durch einen Isolator (100, 102, 102a, 102b, 200, 301–305) beabstandet angeordnet sind, wobei der Ausgangsübertrager (17, 17.1, 17.2) ausgelegt ist, eine Ausgangsleistung ≥ 500 W bei einer Frequenz ≥ 3 MHz zu übertragen, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und zweite Teilwicklung (101b, 201b, 103b, 203b) elektrisch parallel geschaltet sind, wobei Wicklungsteile (110a, 110b, 110c, 110d, 210a, 210b, 210c, 210d, 111a, 111b, 211a, 211b) der unterschiedlichen Teilwicklungen (101b, 201b, 103b, 203b) im Wesentlichen deckungsgleich angeordnet sind.