baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-9303501-A1 (WO)
Inventor: MELZNER HANNO
IPC: H01L29/78
Filed: 1992-07-20
Abstract: Un agencement comprend des cellules de mémoire composées de transistors MOS et de condensateurs comportant une rainure (7) automatiquement ajustée par rapport aux lignes primaires de mots (4) et aux zones d'isolation (2). Les deux électrodes des condensateurs sont situées à l'intérieur de la rainure, la première électrode étant raccordée au transistor de sélection par un contact ménagé dans la paroi de la rainure. Une ligne de bits (20, 21) isolée de la deuxième électrode (16) par des troisième et quatrième couches (17, 18) s'étend en partie au-dessus de la rainure et en partie à l'intérieur de la rainure et comprend à cet endroit un contact avec la zone conductrice du transistor adjacent de sélection. La matrice de la mémoire se compose de rangées de cellules de mémoire agencées dans la direction de la ligne de bits. Les cellules de mémoire faisant partie d'une même rangée ont leur transistor de sélection sur un côté déterminé du condensateur et les cellules de mémoire faisant partie de la rangée adjacente ont leur transistor de l'autre côté. On obtient une sécurité d'évaluation particulièrement élevée par une métallisation à deux couches et par un agencement spécial de lignes primaires, secondaires et tertiaires de mots (4', 40, 41).
Patent WO-9322688-A1 (WO)
Inventor: GOOSSENS ANDRE F L
IPC: G01D5/20
Filed: 1993-01-14
Abstract: Un dispositif servant à mesurer des mouvements rotatifs consiste sensiblement en un anneau transmetteur de signaux (1), qui tourne avec la partie rotative, et une bobine de mesure (3) double-face. Dans le noyau de la bobine de mesure, il y a un aimant permanent (4) magnétisé perpendiculairement à l'axe de la bobine et deux pièces polaires (5) très allongées, placées sur les surfaces polaires de l'aimant permanent (4), dont les pièces d'extrémité (5', 5'', 6', 6'') font saillie de la bobine, des deux côtés et atteignent (pratiquement) l'anneau transmetteur de signaux (1). L'anneau transmetteur de signaux (1) et les pièces polaires (5, 6) sont conçus, disposés et adaptés les uns aux autres de manière que pendant le mouvement rotatif, le flux magnétique passe alternativement au-dessus de l'extrémité (5') d'une pièce polaire (5) pour aller à l'extrémité (6'') de la pièce polaire (6) située sur la seconde surface polaire et qui fait saillie de l'autre côté de la bobine. Le flux magnétique passe ensuite au-dessus des deux autres extrémités (5'', 6') des pièces polaires (5, 6). L'anneau transmetteur de signaux (1) est une roue dentée (1) à denture intérieure ou bien consiste en plusieurs roues dentées accouplées les unes aux autres de manière solidaire.
Patent WO-9406853-A1 (WO)
Title: Verfahren zur isolierung von cellulosenitrat aus nicht graphitierten einbasigen treibladungspulvern
Inventor: SPINDLER GERD
IPC: C08J11/06
Filed: 1993-09-14
Abstract: Das neue Verfahren gestattet es, das im Treibladungspulver enthaltene Cellulosenitrat, durch Ausfällen aus einer acetonischen Treibladungspulverlösung in ein Fällungsmittel, welches die Begleitstoffe zu lösen vermag, und anschliessender Wäsche des Fällungsproduktes mit dem Fällungsmittel, praktisch frei von Verunreinigungen und geeignet als Ausgangsprodukt für die Herstellung von Collodiumwolle, pyrotechnischen Erzeugnissen, Explosivstoffen und Treibmitteln zu isolieren und aus diesem Cellulosenitrat Collodiumwolle mit hervorragenden Löseeigenschaften herzustellen, indem es selbst in Aceton gelöst, bei niedriger Temperatur gebleicht, in Wasser gefällt und das voluminöse Fällungsprodukt wasserfeucht in eine Nitriersäure eingetragen und viskositätsschonend ''umnitriert'' wird. Die Abfallstoffe aus dem Verfahren werden ökologisch verträglich auf biologischem Wege entsorgt. Das Verfahren ist anwendbar bei der Entsorgung von nicht graphitierten einbasigen Treibladungspulvern und der Rückgewinnung von Cellulosenitrat und Herstellung von Collodiumwolle aus Treibladungspulver.
Patent WO-9410123-A1 (WO)
Inventor: TARBIT BRIAN
IPC: C07C67/26
Filed: 1993-11-02
Abstract: Procédé de production par lots de compositions ignifuges au diester tétrabromophtalique présentant des caractéristiques de produit consistantes.
Patent WO-9429139-A1 (WO)
Title: Poste de sectionnement de systeme pour catenaires de chemins de fer electriques
Inventor: BRAUN ERICH
IPC: B60M1/18
Filed: 1994-05-07
Abstract: L'invention concerne un poste de sectionnement de système pour caténaires de chemins de fer électriques, qui relie mécaniquement les sections adjacentes à caténaires de différents systèmes de distribution et/ou de tension, mais sépare les potentiels et assure un déclenchement des interrupteurs de section adjacents des systèmes, à l'aide de systèmes déclencheurs en court-circuit situés dans des sections de protection mises à la terre, notamment pour assurer une protection en cas de passage effectué au moyen de pantographes levés intempestivement. Afin d'éviter que des dégâts ne soient occasionnés par une connexion non conforme des deux systèmes de distribution, au-dessus ou sur le véhicule, il est prévu selon l'invention qu'un système de surveillance de la tension (7 ou 7') à déclenchement prématuré dans l'espace et/ou dans le temps soit monté en amont de chaque système déclencheur en court-circuit (8 ou 8') dans la section de mise à la terre (E et E'). Il est avantageux d'utiliser à cet effet une caténaire auxiliaire (3) neutre en marche normale, qui est disposée dans la zone des postes de sectionnement à proximité de la caténaire principale (1) sous tension et qui est parcourue par le pantographe d'un véhicule moteur et mise sous tension par sections, par pontage, ce qui peut être détecté prématurément par le système de surveillance de la tension (7 ou 7').
Patent WO-9505799-A1 (WO)
Title: Composition deodorante
Inventor: EDWARDS CHRISTOPHER JOHN CARRU
IPC: A61K8/37
Filed: 1994-08-16
Abstract: L'invention concerne une composition déodorante convenant à l'application topique sur la peau de l'homme, comprenant un ou plusieurs lactylates d'acyle de formule générale: (RCO-(O-CHCH3-CO)aO)bM, dans laquelle RCO représente un groupe acyle en C4 à C20, M représente H ou un contre-ion acceptable en cosmétique et ayant une valence de 1 ou 2; a est un nombre entier de 1 à 4, et B est 1 ou 2, dans un véhicule acceptable en cosmétique et comprenant de l'eau, de l'éthanol, des silicones volatiles, ou des mélanges de ceux-ci.
Patent WO-9518428-A1 (WO)
Title: Machine de jeu
Inventor: HEINEN HORST
IPC: G07F17/34
Filed: 1994-09-26
Abstract: Machine de jeu à actionner de préférence par des pièces de monnaie, comportant des symboles disposés sur des supports mobiles, chacun de ces supports ayant, de préférence, son propre entraînement. La position relative de ces symboles décide du gain ou de la perte lors de l'immobilisation des supports à la fin du jeu. Pour permettre au joueur d'encaisser un gain après chaque phase de jeu ou de risquer une mise ou un gain dans les phases de jeu suivantes, chaque support est mû séparément l'un après l'autre pendant un temps déterminé soit par le hasard soit manuellement. Un déplacement des supports entraîne un gain si les symboles se trouvent dans une position prédéterminée lors de l'arrêt des supports.
Patent WO-9634520-A1 (WO)
Inventor: BOEHRINGER EBERHARD
IPC: A01G9/10
Filed: 1996-05-03
Abstract: Ein Pflanz- und Kulturgefäß (1), insbesondere zur Anzucht und Ausbringung von Pflanzen, weist einen Bodenwandteil (3) und einen einstückig mit diesem ausgeführten Seitenwandteil (4) auf, wobei diese Wandteile (3, 4) aus einem über Latex verbundene Kokosfasern aufweisenden Kokosvlies bestehen. Um insbesondere die Formstabilität und Handhabung bei unveränderter biologischer Abbaubarkeit derartiger Produkte zu verbessern, ist zumindest der Seitenwandteil (4) des Gefäßes (1) mit einer oder mehreren in diese integrierten Aussteifungsrippe(n) (5, 5', 5', 5'', 5'', 5''') ausgebildet.
Patent WO-9720590-A1 (WO)
Title: Mecanisme de blocage destine a un dispositif actionne par un ressort
Inventor: EICHER JOACHIM
IPC: A61M11/00
Filed: 1996-12-05
Abstract: On utilise un dispositif de commande de sortie actionné par un ressort, par exemple, dans la thérapie par aérosol médical pour un dispositif miniaturisé produisant une pression élevée, aux fins d'atomiser une petite dose d'un médicament liquide. Le mécanisme de sollicitation et de blocage destiné à un tel dispositif de commande doit être sollicité par l'application d'une force relativement faible, et il doit pouvoir être libéré d'une seule main et fonctionner de manière sûre pendant une longue période. Ce mécanisme de sollicitation comprend des moyens de transmission multiplicateurs de force, par exemple des moyens de transmission à poussée hélicoïdale, afin de solliciter le ressort, un organe de blocage conçu de manière annulaire et présentant des surfaces de blocage embrayables, deux butées servant à limiter la course du ressort et un bouton de déclenchement. Ce dispositif est compact, économique à produire, facile à assembler et comprend des composants présentant un faible taux d'usure. Des personnes non expérimentées peuvent le manipuler facilement et sûrement, même lorsque des forces de ressort élevées sont impliquées. Il est ainsi possible de mesurer avec un degré très élevé de précision un médicament à atomiser.
Patent WO-9736000-A1 (WO)
Title: Processus d'esterification
Inventor: PEL PIETER AXEL
IPC: C12P7/64
Filed: 1997-02-19
Abstract: La présente invention concerne un processus permettant de préparer des esters d'acides gras d'alkylglucosides (III) par transestérification d'un alkylglucoside (I) avec un alkylester d'acide gras (II) en présence de l'ester d'alkylglucoside (III) produit par la transestérification de (I) avec (II). La réaction est catalysée par voie enzymatique. Les quantités relatives des composés (I), (II) et (III) au début de la réaction sont choisies de manière que ladite réaction se produise dans la région de phase homogène du système ternaire des composés (I), (II) et (III).
Patent WO-9740931-A1 (WO)
Inventor: HEINEKE DANIEL
IPC: B01J23/40
Filed: 1997-04-23
Abstract: This invention concerns a catalyst, particularly for selective production of aromatics from a hydrocarbon stream with straight-chained, branched or cyclic alkyl or alkylene chains, of 6 to 12 carbon atoms. On an oxide of a transition metal of group IVB of the periodic table, such as TiO2 or ZrO2, this catalyst contains at least one element from the VIIIth secondary group, such as palladium, platinum, rhodium, rhenium or tin, and, optionally, a compound of alkali or earth alkali metals, a compound from the third major or secondary group, or zinc, or at least one compound from the sulphur, tellurium, arsenic, antimony or selenium group. The invention also concerns the use of this catalyst for producing aromatics, such as ethyl benzene or xylolene from C6 to C12-hydrocarbons.
Patent WO-9807662-A1 (WO)
Inventor: SCHENK WOLFGANG
IPC: C02F3/06
Filed: 1997-08-16
Abstract: In a bioreactor (8) for conditioning water loaded with organic substances, in particular from car washing installations, the reactor container has a solid bed (48) made of a porous substrate material capable of adsorbing the organic substances contained in the waste water and sown with micro-organisms known per se which degrade the organic substances contained in the water. The solid bed (48) is located on a permeable substrate (47) and a water collecting chamber (46) is provided below the solid bed, upstream of the outlet for the treated water. The outlet (26) is at the same time designed as a backwashing inlet. An inlet (24) and a backwashing outlet (28) are provided above the solid bed (48).
Patent WO-9814528-A1 (WO)
Inventor: SIEMENSMEYER KARL
IPC: C09K19/38
Filed: 1997-09-15
Abstract: The invention relates to a flat object having a cross-linked cholesteric liquid crystal structure obtained through thermal hardening. According to the invention, said flat elements are suitable for, e.g. decorative coatings, production of safety characteristics, pigmentary particles, polarizers, color filters and IR reflectors.
Patent WO-9842424-A1 (WO)
Title: Vorrichtung und verfahren zur separation von in einem fluid enthaltenen teilchen
Inventor: ROCHAT JEAN-DENIS
IPC: B04C3/00
Filed: 1998-03-23
Abstract: Die Vorrichtung zur Separation von dichten Teilchen aus dem Fluid weist eine Trennanordnung auf in Form einer rotationssymetrischen feststehenden Hohlkammer, in deren einem Ende mindestens eine im wesentlichen radiale Zufuhrleitung tangential mündet und in deren anderem Ende eine im wesentlichen radiale Abfuhrleitung tangential mündet sowie eine im wesentlichen axiale Abfuhrleitung mündet, wobei das zu behandelnde Fluid mit einem vorgegebenen Druck durch eine Düse in die Hohlkammer eingeleitet wird.
Patent WO-9856825-A1 (WO)
Title: Ethers de cellulose anioniques modifies quant a leur hydrophobie
Inventor: BATELAAN JAN GERARDUS
IPC: C08B11/20
Filed: 1998-06-10
Abstract: Cette invention concerne un éther de cellulose anionique modifié quant à son hydrophobie. Cet éther est obtenu grâce à un procédé consistant à faire réagir une cellulose de métal alcalin contenant au moins trois réactifs d'alkylation A, B et C. Le réactif A est choisi parmi le groupe des acides haloacétiques, haloacétates de métal alcalin, sulfonates de vinyle de métal alcalin et de l'acide sulfonique vinylique. Le réactif B présente la formule R1-(OCH2CH(R2))n-P dans laquelle R1 représente un groupe C¿2?-C7; R?2¿ représente de l'hydrogène ou un groupe méthyle; n est situé entre 0 et 2; et P représente un groupe éther de glycidyle, un groupe éther de 3-halo-2-hydroxypropyle, un groupe 1,2-époxy, ou un halogénure. Enfin, le réactif C présente la formule R3-(OCH2CH(R2))m-P dans laquelle R3 représente un groupe C¿8?-C30, m est situé entre 0 et 10, et R?2¿ et P sont tels que décrits ci-dessus.
Patent WO-9906256-A1 (WO)
Title: Verfahren und vorrichtung zur erkennung einer bremssituation bei kurvenfahrt und mit mu-split
Inventor: WOYWOD JUERGEN
IPC: B60T8/00
Filed: 1998-07-29
Abstract: Eine Erkennungsvorrichtung zur Erkennung einer Fahrzeugbremsung bei Kurvenfahrt auf einer Fahrbahn (10), bei der der Reibwert (ν) der Fahrbahn (10) an einem Rad (12a) kurvenaußen kleiner als an einem Rad (12i) kurveninnen ist, hat eine Vergleichseinrichtung (24) zum Vergleichen der Bremskraft (pa) oder der Bremskraftverringerung (Δpa) zumindest eines kurvenaußenseitigen Rades (12a) mit der Bremskraft (pi) oder der Bremskraftverringerung (Δpi) zumindest eines kurveninnenseitigen Rades (12i), und eine Einrichtung (25, 26) zum Erzeugen eines Erkennungssignals (S) und/oder Veranlassen geeigneter Maßnahmen, wenn die Bremskraft (pa) zumindest eines kurvenaußenseitigen Rades (12a) kleiner ist und/oder stärker verringert wird als die Bremskraft (pi) zumindest eines kurveninnenseitigen Rades (12i). Eine Vorrichtung zur Giermomentbeeinflussung hat eine o.g. Erkennungsvorrichtung und  eine Verringerungseinrichtung (33), die die Bremskraft in einer Bremse (31) eines kurveninnenseitigen Rades (12i) verringert.
Patent WO-9915354-A1 (WO)
Title: Stützkonsole für eine brennkraftmaschine
Inventor: LOEHR WILFRIED
IPC: B60K5/12
Filed: 1998-07-29
Abstract: Für eine bauraumoptimierte Anordnung an einer Brennkraftmaschine wird vorgeschlagen, den ohnehin für eine die Brennkraftmaschine gegenüber einem gesondert ausgebildeten Lager abstützende Stützkonsole benötigten Bauraum durch Integration eines Ölfilters auszunutzen. Erfindungsgemäß ist hierzu vorgesehen, daß das ansonsten übliche, separate Filtergehäuse entfällt und integraler Bestandteil der Stützkonsole ist.
Patent WO-9916616-A1 (WO)
Inventor: HOTTNER MARTIN
IPC: B32B5/26
Filed: 1998-10-01
Abstract: The invention discloses a textile laminate (1, 400, 450) with a first layer (5) comprising a waterproof and breathable functional layer (10, 20) and a second woven or knitted layer (30) comprising at least a first component and a second component. The first component is stable to a first temperature and the second component melts at a lower second temperature. In one embodiment of the invention, the first component is a polyamide 6.6 and the second component may be a thermoplastic such as copolyester, polyamide, copolyamide or polyolefin, e.g. polypropylene. The textile laminate (1) is particularly advantageous when two of such laminates (1, 400, 450) have to be joined or fused together. In this case a thin waterproof seam is created at the seam (500) between the two laminates (1, 400, 500).
Patent WO-9919171-A1 (WO)
Title: Gassack
Inventor: HEIGL JUERGEN
IPC: B60R21/213
Filed: 1998-10-14
Abstract: Ein Gassack mit mehreren Wandungen (3) aus Gewebematerial, die das Innere des Gassacks begrenzen, wenigstens einem Trennsteg (23 bis 27), der durch Verweben von gegenüberliegenden Wandungsbereichen gebildet ist und das Innere des Gassacks in mehrere Kammern (15 bis 21) unterteilt, ist dadurch gekennzeichnet, daß der Trennsteg (23 bis 27) wenigstens ein freies Ende hat, an dem er sich verbreitert und in einer Tropfenform (33, 35) oder einer Rundung (37) ausläuft.
Patent WO-9924357-A1 (WO)
Title: Reduktions- und entfärbemittel
Inventor: OHME ROLAND
IPC: D06L4/30
Filed: 1998-11-04
Abstract: Eine erfindungsgemäße körnige, rieselfähige Zusammensetzung, enthaltend Natriumdithionit, ist erhältlich durch Vermischen von pulverförmigem Natriumdithionit mit einem verflüssigbaren, stabilisierenden Stellmittel oder einer hochkonzentrierten Lösung eines solchen. Zur Herstellung einer solchen Zusammensetzung vermischt man pulverförmiges Natriumdithionit mit einem verflüssigten oder gelösten stabilisierenden Stellmittel und trocknet das erhaltene Produkt gegebenenfalls. Ein erfindungsgemäßes Reduktions- bzw. Entfärbemittel enthält eine körnige, rieselfähige Zusammensetzung wie oben beschrieben.
Patent WO-9937638-A1 (WO)
Title: 2-(2'-hydroxyphenil) benzotriazoles contenant un groupe 2,4-imidazolidinedione et procede de preparation de ces composes
Inventor: RIVA ROSA MARIA
IPC: C08K5/3475
Filed: 1999-01-25
Abstract: Cette invention se rapporte à des 2-(2'-hydroxyphényl) benzotriazoles, représentés par la formule générale (I), ces composés servant de stabilisants thermiques, de stabilisants à l'oxygène et de photostabilisants. Ils sont plus particulièrement utiles comme stabilisants UV pour les polymères organiques.
Patent WO-0001104-A1 (WO)
Inventor: SCHROEDER STEFAN
IPC: H04J3/16
Filed: 1999-02-08
Abstract: In customer access networks wherein information is exchanged according to a transmission method xDSL, a problem arises in that the maximum available transmission capacity is highly dependent on physical conditions of compatibility. If these conditions are modified, the modems must adapt themselves again. If the initial transmission capacity is not reached any longer, the xDSL line is taken out of service. The present invention solves this problem by establishing a communication channel between the modem and a central control logic.
Patent WO-9943239-A1 (WO)
Title: Liegebett
Inventor: ELZENBECK MANFRED
IPC: A47C23/18
Filed: 1999-02-16
Abstract: Liegebett mit einem Rahmen. Bekannte Liegebetten, die mit federnden Elementen versehen sind, die auf der Liegefläche verteilt unterschiedliche Aufliegekräfte erzeugen sollen, sind verhältnismäßig aufwendig. Es wird vorgeschlagen, die Aufliegefläche des Bettes mit einem elastischen Gewebe zu bilden, das in einem von Längs- und Querholmen gebildeten Rahmen eingespannt ist, wobei das Gewebe zumindest zwischen den Längsholmen in verschiedenen Abschnitten unterschiedlich stark vorgespannt ist, so daß dadurch unterschiedlich Rückstellkräfte von der Liegefläche ausgeübt werden. Verwendung für Betten oder Liegebetten.
Patent WO-9952727-A1 (WO)
Title: Verschlusselement für öffnungen in fahrzeugtüren
Inventor: ZACIECZKI MARTIN
IPC: B60J5/04
Filed: 1999-03-15
Abstract: Die Erfindung beschreibt ein Verschlußelement (1) für Öffnungen an Kraftfahrzeugtüren, wobei die Kraftfahrzeugtür eine Außenwandung (6) und eine Innenwandung (3) mit einem dazwischen angeordneten Naßraum (18) aufweist und in dem Naßraum (18) Funktionsteile (13) angeordnet sind, die vorzugsweise auf einem Aggregateträger (2) vormontierbar und mit diesem in eine Öffnung der Innenwandung (3) einsetzbar sind. Hierbei verschließt das Verschlußelement (1) eine Öffnung in dem Aggregateträger (2) oder der Innenwandung (3), indem das Verschlußelement (1) ein der Berandung (19) der Öffnung passend zugeordnetes und diese Berandung (19) umgreifendes erstes Ringteil (16) aufweist, in das ein die Öffnung im wesentlichen vollflächig überdeckender Verschlußdeckel (7) lösbar einsteckbar ist.
Patent WO-9964271-A1 (WO)
Inventor: BLEAU JOHN
IPC: B60R5/04
Filed: 1999-06-01
Abstract: L'invention concerne un dispositif permettant de transporter des objets dans un véhicule, qui se compose d'un récipient collecteur sensiblement sous forme de cuvette. Afin d'assurer une meilleure sécurité ainsi qu'un meilleur confort d'utilisation, le récipient collecteur (2) comprend une partie de retenue (4) sous forme de cadre, pouvant être fixée dans le véhicule et au moins un récipient partiel (6) pouvant être enlevé dans la zone d'une cavité prévue pour une roue de secours (10), située côté véhicule, afin de former une ouverture d'accès (8).
Patent WO-9965587-A1 (WO)
Title: Vorrichtung und verfahren zur flüssigchromatographischen trennung von stoffgemischen unter druck
Inventor: BECKER LUZ
IPC: G01N30/82
Filed: 1999-06-14
Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur flüssigchromatographischen Trennung von Stoffgemischen unter Druck. Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur flüssigchromatographischen Trennung von verschiedenartigen Stoffgemischen unter Druck anzubieten, mit denen eine Trennung, Aufarbeitung bzw. Isolierung des Stoffgemisches und der getrennten Proben bei weniger komplexen Stoffgemischen in einer kürzeren Zeit und mit geringerem Aufwand erreicht werden kann. Die Lösung der Aufgabe erfolgt mit einer Vorrichtung zur flüssigchromatographischen Trennung von Stoffgemischen unter Druck, bestehend aus einem Probeaufgabensystem (5), Pumpen (3, 4, 9, 12), einem Detektionssystem (7), einer Fraktionsausgabeeinrichtung (17), einer Rechnereinheit, Mehr-Wege-Ventilen, die dadurch gekennzeichnet ist, daß nur eine Trennsäule (6) und eine Festphasenextraktionseinheit (10) druckstabil gekoppelt sind.
Patent WO-0011497-A1 (WO)
Inventor: DULTZ WOLFGANG
IPC: G02B1/04
Filed: 1999-08-12
Abstract: L'invention concerne une fibre optique en matière plastique dont le coeur est constitué d'une matière plastique photoconductrice à faible atténuation et entouré d'une couche à faible atténuation d'un indice de diffraction plus petit et d'une couche extérieure absorbant plus fortement la lumière. Selon l'invention, le coeur de la fibre, qui est constitué d'une matière plastique photoconductrice à faible atténuation, peut aussi être entouré d'une couche absorbant la lumière.
Patent WO-0013201-A1 (WO)
Title: Vorrichtung und verfahren zur beschichtung von substraten im vakuum
Inventor: MEYER CARL-FRIEDRICH
IPC: H01J37/32
Filed: 1999-08-20
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von Substraten im Vakuum, wobei von einem Target ein Plasma erzeugt und ionisierte Teilchen des Plasmas auf dem Substrat als Schicht abgeschieden werden sollen, wie dies bei den verschiedensten bekannten PVD-Verfahren seit längerem angewendet wird. Mit der Erfindung soll verhindert werden, daß sich Tröpfchen und Partikel in der aufgebrachten Schicht absetzen, die die Schichteigenschaften negativ beeinträchtigen, zumindest soll jedoch deren Anzahl verringert werden. Zur Lösung dieses Problems wird eine auf einem elektrisch positiven Potential liegende Absorberelektrode verwendet, die wenige mm vom Fußpunkt des PLasmas entfernt, vor oder neben dem Plasma angeordnet und so geformt ist, daß sich um die Absorberelektrode ein elektrisches Feld ausbildet. Der elektrische Feldvektor soll dabei zumindest annähernd orthogonal zur Bewegungsrichtung der ionisierten Teilchen des Plasmas ausgerichtet sein.