baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102017004666-B4 (DE)
Title: Druckluftsystem und Verfahren zum Betrieb desselben
Inventor: NIEMEYER STEPHAN
IPC: B01D53/26
Filed: 2017-05-16
Granted: 2022-12-22
Abstract: Druckluftsystem (10) zum Bereitstellen von Druckluft (14), insbesondere für Nutzfahrzeuge, umfassend:
 - einen Kompressor (12) zum Erzeugen der Druckluft (14);
 - einen Lufttrockner (26) mit einem regenerierbaren Trockenmittel (28) zum Trocknen der Druckluft (14),
 - zumindest einen Druckluftspeicher (30,40) für getrocknete Druckluft (14), aus dem dem Lufttrockner (26) trockene Regenerationsluft (42) zum Regenerieren des Trockenmittels (28) zuführbar ist, und
 - einen Wärmeübertrager (18) mit einem Wärmespeichermedium (20), der dem Lufttrockner (26) bezüglich des Kompressors (12) und des Druckluftspeichers (30,40) fluidisch vorgeschaltet angeordnet ist, um der Druckluft (14) Wärme zu entziehen und die Wärme zumindest teilweise auf die Regenerationsluft (42) zu übertragen, wobei das Wärmespeichermedium (20) zumindest ein Latentwärmespeichermedium, insbesondere auf Paraffinbasis, umfasst.
Patent DE-102017100589-B4 (DE)
Title: Kettenschutz für ein Elektrofahrrad
Inventor: TAVARES MIRANDA JOÃO FILIPE
IPC: B62J13/00
Filed: 2017-01-13
Granted: 2022-01-05
Abstract: Die Anmeldung betrifft einen Kettenschutz (10) für ein Elektrofahrrad mit einem Elektromotor mit einem Motorgehäuse (12). Der Kettenschutz (10) weist Mittel auf, um ihn an dem Motorgehäuse (12) zu befestigen, so dass der Kettenschutz (10) einen Teil der Kette auf einem von dem Elektromotor angetriebenen Zahnrad (16) bedeckt. Aufgabe der Erfindung ist es einen Kettenschutz zur Verfügung zu stellen, der in einfacher Weise montiert und demontiert werden kann. Dazu weist der Kettenschutz (10) zwei Seitenabschnitte (22, 24) auf, welche sich im Abstand und parallel zueinander zumindest über einen Ringabschnitt (26) erstrecken, der einem Teil des Bereichs entspricht, in dem das Zahnrad (16) in Eingriff mit der Kette steht, und dass der Kettenschutz (10) mindestens einen Umfangsabschnitt (28a, 28b, 28c) aufweist, der sich zwischen den beiden Seitenabschnitten (22, 24) derart erstreckt, dass zwischen den beiden Seitenabschnitten (22, 24) ein Spalt (30) zur Aufnahme der Kette ausgebildet ist.
Patent DE-102017108738-B4 (DE)
Title: SiC-HALBLEITERVORRICHTUNG MIT EINEM VERSATZ IN EINEM GRABENBODEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN HIERFÜR
Inventor: SIEMIENIEC RALF
IPC: H01L29/161
Filed: 2017-04-24
Granted: 2022-01-27
Abstract: Halbleitervorrichtung (1000), umfassend:einen Graben (102), der sich von einer ersten Oberfläche (104) in einen SiC-Halbleiterkörper (100) erstreckt, wobei der Graben (102) eine erste Seitenwand (106), eine der ersten Seitenwand (106) gegenüberliegende zweite Seitenwand (108) und einen Grabenboden (110) aufweist;eine Elektrode (112), die in dem Graben (102) angeordnet und durch ein Grabendielektrikum (114) von dem SiC-Halbleiterkörper (100) elektrisch isoliert ist;ein Bodygebiet (118) eines ersten Leitfähigkeitstyps, das an die erste Seitenwand (106) grenzt;eine Abschirmstruktur (120) des ersten Leitfähigkeitstyps, die an das Grabendielektrikum (114) in zumindest einem Bereich der zweiten Seitenwand (108) und am Grabenboden (110) angrenzt; und wobeientlang einer vertikalen Richtung (y), die von der ersten Oberfläche (104) zu einer der ersten Oberfläche (104) gegenüberliegenden zweiten Oberfläche des SiC-Halbleiterkörpers (100) verläuft, ein erster Abschnitt des Grabenbodens (110) und ein zweiter Abschnitt des Grabenbodens (110) um einen vertikalen Versatz zueinander versetzt sind.
Patent DE-102017109732-B4 (DE)
Title: Schalenstruktur mit thermoelektrischer Einrichtung, Brennkammervorrichtung und Verfahren zur Gewinnung eines nutzbaren elektrischen Stroms
Inventor: HALD HERMANN
IPC: H01L35/32
Filed: 2017-05-05
Granted: 2020-03-05
Abstract: Schalenstruktur mit thermoelektrischer Einrichtung (52), umfassend mindestens eine Schale (12; 112) eines ersten Typs mit einer ersten Führungseinrichtung (22; 116) für ein erstes Fluid und mit einer axialen Erstreckung in einer ersten Achse (16), mindestens eine Schale (14; 114) eines zweiten Typs mit einer zweiten Führungseinrichtung (26; 118) für ein zweites Fluid und mit einer axialen Erstreckung in einer zweiten Achse (18), und eine thermoelektrische Einrichtung (52), welche an der mindestens einen Schale (12; 112) des ersten Typs und/oder der mindestens einen Schale (14; 114) des zweiten Typs angeordnet ist und mit der mindestens einen Schale (12; 112) des ersten Typs und der mindestens einen Schale (14; 114) des zweiten Typs jeweils wärmestromwirksam verbunden ist, wobei die mindestens eine Schale (12; 112) des ersten Typs und die mindestens eine Schale (14; 114) des zweiten Typs bezogen auf die erste Achse (16) und die zweite Achse (18) koaxial liegen, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Schale (12; 112) des ersten Typs und/oder die mindestens eine Schale (14; 114) des zweiten Typs konusförmig oder polygonal konusförmig ausgebildet ist und dass die Schalenstruktur eine Mehrzahl von Schalen (12; 112) des ersten Typs und eine Mehrzahl von Schalen (14; 114) des zweiten Typs aufweist, wobei die Schalen (12; 112) des ersten Typs und die Schalen (14; 114) des zweiten Typs alternierend angeordnet sind und deren erste Achsen (16) und zweite Achsen (18) zusammenfallen.
Patent DE-102017114568-B4 (DE)
Title: Leistungshalbleitervorrichtung mit unterschiedlichen gatekreuzungen und verfahren zum herstellen davon
Inventor: OUVRARD CEDRIC
IPC: H01L29/78
Filed: 2017-06-29
Granted: 2021-11-25
Abstract: Leistungshalbleitervorrichtung, die Folgendes umfasst:ein Halbleitersubstrat (100) mit einer ersten Seite (101);mehrere aktive Transistorzellen (171, 172), die in einem aktiven Bereich (104) des Halbleitersubstrats (100) gebildet sind, wobei jede der mehreren aktiven Transistorzellen (171, 172) einen nadelförmigen Graben (130) umfasst, der sich von der ersten Seite (101) in das Halbleitersubstrat (100) hinein erstreckt und eine Feldelektrode (131) umfasst;eine Gateelektrodenstruktur, die mehrere sich schneidende Gategräben (140, 145) umfasst, die zwischen den nadelförmigen Gräben (130) verlaufen, wobei die sich schneidenden Gategräben (140, 145) bei Betrachtung in ebener Projektion auf die erste Seite (101) der Leistungshalbleitervorrichtung Gatekreuzungsgebiete (140b, 145b) unterschiedlicher Form bilden.
Patent DE-102017114735-B4 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zur Desinfektion
Inventor: KOPPERSCHMIDT PASCAL
IPC: G01N21/27
Filed: 2017-06-30
Granted: 2019-07-04
Abstract: Verfahren zur Desinfektion eines Bereichs, insbesondere eines Hautbereichs eines Patienten, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:a) Aufbringen einer optisch wirksamen Substanz auf den Bereich,b) Aufbringen eines Desinfektionsmittels auf den Bereich, wobei die optisch wirksame Substanz und das Desinfektionsmittel derart ausgebildet sind, dass die optisch wirksame Substanz durch das Desinfektionsmittel von dem Bereich entfernt wird oder deren optische Eigenschaften durch das Desinfektionsmittel verändert werden.
Patent DE-102017127098-B4 (DE)
Title: Gerät und Verfahren zum Annehmen eines Anormalitätsauftretens für Teleskopabdeckung
Inventor: KUROKAMI NOBORU
IPC: B23Q11/08
Filed: 2017-11-17
Granted: 2023-03-16
Abstract: Gerät zur Annahme eines Anormalitätsauftretens in einer Teleskopabdeckung, die an einer Vorrichtung angebracht ist, wobei das Gerät zur Annahme eines Anormalitätsauftretens Folgendes umfasst:
 eine Lernresultatspeichereinheit, die ein Lernresultat überwachten Lernens speichert, das auf der Basis einer Merkmalquantität, die aus einer physikalischen Größe extrahiert wird, die während einer Betätigung der Vorrichtung erfasst wird, und auf der Basis von Informationen in Zusammenhang mit einem Anormalitätsauftreten in der Teleskopabdeckung ausgeführt wird, wobei die physikalische Größe ein Schall und/oder eine Schwingung ist, der/die von der Vorrichtung erzeugt wird, und ein Stromwert in der Vorrichtung;
 eine Erfassungseinheit der physikalischen Größe, die die physikalische Größe, während des Betätigens der Vorrichtung erfasst;
 eine Merkmalquantitätsextraktionseinheit, die die Merkmalquantitäten der physikalischen Größe auf der Basis der physikalischen Größe, die von der Erfassungseinheit einer physikalischen Größe erfasst wird, extrahiert;
 eine Anormalitätsannahmeeinheit, die eine Anormalität, die in der Teleskopabdeckung während der Betätigung der Vorrichtung auftreten kann, auf der Basis des Lernresultats, das in der Lernresultatspeichereinheit gespeichert ist, und auf der Basis der Merkmalquantität, die von der Merkmalquantitätsextraktionseinheit extrahiert wird, annimmt, und
 eine Annahmeresultatausgabeeinheit, die die von der Anormalitätsannahmeeinheit angenommene Anormalität ausgibt.
Patent DE-102017211337-B4 (DE)
Title: Bremskraftverstärkereinrichtung mit einer mehrteiligen Befestigungsvorrichtung für den Bremskraftverstärker
Inventor: MECKENSTOCK DANIEL
IPC: B60R21/02
Filed: 2017-07-04
Granted: 2019-05-29
Abstract: Bremskraftverstärkereinrichtung, aufweisend einen Bremskraftverstärker (10), der über eine Befestigungsvorrichtung (50) an einer Fahrzeugkomponente (30) angebracht ist, wobei die Befestigungsvorrichtung (50) wenigstens zwei Befestigungsteile (51; 52) aufweist, wobei ein erstes Befestigungsteil (51) fest mit dem Bremskraftverstärker (10) verbunden ist, während ein zweites Befestigungsteil (52) fest mit der Fahrzeugkomponente (30) verbunden ist, und wobei die beiden Befestigungsteile (51; 52) über wenigstens ein Verbindungselement (60; 60') miteinander verbunden sind, wobei die beiden Befestigungsteile (51; 52) jeweils eine Aussparung (53; 54) aufweisen, die miteinander fluchten wobei die Schubstange (80) eines Bremspedals durch die Aussparungen (53; 54) geführt ist, gekennzeichnet durch einen Aktuator (20), durch welchen der Bremskraftverstärker (10) entlang der Fahrzeugkomponente (30) verschiebbar ist, wobei der Aktuator (20) bei einem Frontalaufprall durch Krafteinwirkung eines Getriebegehäuses (40) aktivierbar ist, und wobei der Aktuator (20) schwenkbar unterhalb des Bremskraftverstärkers (10) angebracht ist und beim Verschwenken eine Kraft in Z-Richtung nach oben auf den Bremskraftverstärker (10) aufbringt, so dass sich der Bremskraftverstärker (10) entlang der Fahrzeugkomponente (30) bewegt, wobei das Verbindungselement (60; 60') bei der Bewegung des Bremskraftverstärkers (10) entlang der Fahrzeugkomponente (30) durch Scherspannungs-Belastung verformt wird, und wobei die beiden Befestigungsteile (51; 52) in Richtung entlang der Fahrzeugkomponente (30) in einer Führung gleitend ineinander geschoben sind.
Patent DE-102017220991-B4 (DE)
Title: Transformatoreinheit sowie Verfahren zum Betrieb einer Transformatoreinheit
Inventor: PRÖLL TOBIAS
IPC: H05G1/10
Filed: 2017-11-23
Granted: 2022-10-06
Abstract: Transformatoreinheit (2), insbesondere zur Bereitstellung einer Röntgenstrahlerspannung (UR) für eine Röntgenvorrichtung (11), wobei die Transformatoreinheit (2) aufweist:- eine Primärseite (4) mit einer um einen Transformatorkern (24) gewickelten Primärspule (6) und eine Sekundärseite (8) mit einer um den Transformatorkern (24) gewickelten Sekundärspule (10), wobei im Betrieb bei einer Beaufschlagung der Primärspule (6) mit einer Primärspannung (UP) sich eine sekundärseitige Istspannung (USI) einstellt, die aufgrund eines durch eine sekundärseitige Streuinduktivität bedingten zusätzlichen sekundärseitigen Spannungsabfalls (UL) beeinflusst ist,- eine um den Transformatorkern (24) gewickelte erste Messspule (20) zur Ermittlung einer ersten Messspannung (UM),- ein Messelement (26), welches als eine zweite Messspule (22) ausgebildet ist und auf der Primärseite (4) derart angeordnet und ausgebildet ist, dass über das Messelement (26) eine zweite Messspannung (UME) ermittelt wird, die zu dem zusätzlichen sekundärseitigen Spannungsabfall (UL) korreliert ist sowie- eine Steuereinheit (34) zur Steuerung des Betriebes der Transformatoreinheit (2),wobei die Steuereinheit (34) derart ausgebildet ist,- dass die Primärspannung (UP) derart eingestellt wird, um in der Sekundärspule (10) eine vorgegebene sekundäre Sollspannung (US) zu induzieren,- und dass die Primärspannung (UP) in Abhängigkeit der ersten Messspannung (UM) und der zweiten Messspannung (UME) eingestellt wird.
Patent DE-102017221428-B4 (DE)
Title: Bildgebungsvorrichtung
Inventor: NAKAMURA MITSURU
IPC: B60R1/00
Filed: 2017-11-29
Granted: 2020-02-13
Abstract: Bildgebungsvorrichtung (1) zur Befestigung an einer Windschutzscheibe eines Fahrzeugs, wobei das Fahrzeug eine vorbestimmte Front-Heck-Richtung und eine vorbestimmte vertikale Richtung aufweist, wobei die Bildgebungsvorrichtung (1) aufweist:- ein Kameramodul (5), das dazu ausgelegt ist:- ein Bild aufzunehmen; und- ein Bildsignal auf der Grundlage des aufgenommenen Bildes auszugeben;- eine Verarbeitungsplatine (7), die angeordnet ist, um sich in der vertikalen Richtung unterhalb des Kameramoduls (5) zu befinden, und dazu ausgelegt ist:- das vom Kameramodul (5) ausgegebene Bildsignal zu empfangen; und- wenigstens eine Bildverarbeitungsaufgabe auf der Grundlage des empfangenen Bildsignals auszuführen;- einen Kasten (30) mit:- einem Kameramodulkastenelement (30a), das eine Öffnungsbodenwand in der vertikalen Richtung und eine Öffnungsrückwand in der Front-Heck-Richtung aufweist und dazu ausgelegt ist, das Kameramodul (5) unterzubringen; und- einem Platinenkastenelement (30b), das eine Öffnungsbodenwand in der vertikalen Richtung aufweist und dazu ausgelegt ist, die Verarbeitungsplatine (7) unterzubringen; und- eine Abdeckung (40), die am Kasten (30) befestigt ist, wobei die Abdeckung (40) aufweist:- eine Bodenwand (40a), die angeordnet ist, um die Öffnungsbodenwand des Kameramodulkastenelements (30a) und die Öffnungsbodenwand des Platinenkastenelements (30b) zu bedecken; und- eine Rückwand (40b), die angeordnet ist, um die Öffnungsrückwand des Kameramodulkastenelements (30a) zu bedecken, wobei- wenigstens entweder die Bodenwand (40a) oder die Rückwand (40b) mehrere Befestigungsabschnitte aufweist, an denen der Kasten (30) und die Abdeckung (40) eng aneinander befestigt sind, und- die mehreren Befestigungsabschnitte wenigstens einen ersten und einen zweiten benachbarten Befestigungsabschnitt mit einem Intervall zwischeneinander aufweisen, wobei das Intervall bestimmt ist, um kleiner oder gleich der halben Wellenlänge eines Signals mit einer vorbestimmten maximalen Frequenz zu sein, wobei das Signal mit der maximalen Frequenz von wenigstens einer Vorrichtung verwendet wird, die im Fahrzeug installierbar ist, oder voraussichtlich von der Verarbeitungsplatine (7) als Rauschen empfangen wird.
Patent DE-102018113970-B4 (DE)
Title: Kabel mit lichtemittierendem Element
Inventor: RUDORF UWE
IPC: H01B7/32
Filed: 2018-06-12
Granted: 2021-03-18
Abstract: Kabel aufweisend:- einen Kabelkern (1), welcher mindestens ein Kabelaufbauelement aufweist;- ein lichtemittierendes Element (5);- eine reflektierende Schicht (2), welche den Kabelkern (1) entlang einer tangentialen Richtung bezüglich einer Kabelachse des Kabels zumindest teilweise umgibt, und welche dazu eingerichtet ist, Licht, das von dem lichtemittierenden Element (5) emittiert wird, zu reflektieren; und- einen Mantel (3, 4), welcher dazu eingerichtet ist, das von dem lichtemittierenden Element (5) emittierte Licht im Wesentlichen in tangentialer Richtung um den Kabelkern (1) herum zu leiten und im Wesentlichen in radialer Richtung bezüglich der Kabelachse auszukoppeln, wobei ein Reflexionsgrad der reflektierenden Schicht (2) in tangentialer Richtung variiert.
Patent DE-102018123470-B4 (DE)
Title: Luftfahrzeug
Inventor: BENDER STEFAN
IPC: B64C29/00
Filed: 2018-09-24
Granted: 2022-07-28
Abstract: Luftfahrzeug (10), das folgende Merkmale umfasst:- das Luftfahrzeug (10) umfasst Tragflächen (11), waagerechte Mantelpropeller (12) und ein Flügelrigg (13) mit flexiblen, segmentweise mit Segelstoff bespannten Kohlefaser-Rippen zum Öffnen der Tragflächen (11) auf ihrer Oberseite und Unterseite in einer Öffnungsrichtung quer zum Luftfahrzeug (10),- die waagerechten Mantelpropeller (12) und das Flügelrigg (13) sind derart in die Tragflächen (11) integriert, dass die waagerechten Mantelpropeller (12) freiliegen, wenn das Flügelrigg (13) gerefft ist, und die waagerechten Mantelpropeller (12) bedeckt sind, wenn das Flügelrigg (13) gesetzt ist und- das Luftfahrzeug (10) ist dazu eingerichtet, das Flügelrigg (13) bei Start und Landung selbsttätig zu reffen.
Patent DE-102018126346-B4 (DE)
Title: Spulvorrichtung und Verfahren zum Aufwickeln eines Fadens
Inventor: Schröder Rolf
IPC: B65H54/44
Filed: 2018-10-23
Granted: 2021-01-14
Abstract: Spulvorrichtung (10) zum Aufwickeln eines Fadens (11), umfassend einen um eine erste Achse (A1) drehbar angetriebenen Spulendorn (12), auf dem eine Spulenhülse (H) anbringbar ist, um darauf bei Rotation des Spulendorns (12) den Faden (11) zu einem Fadenpaket (13) aufzuwickeln, eine Halteeinrichtung (14), an der eine antreibbare um eine zweite Achse (A2) drehbare Tastwalze (16) angebracht ist, wobei die zweite Achse (A2) parallel zur ersten Achse (A1) verläuft und ein Abstand (S1, S2) der Tastwalze (16) zum Spulendorn (12) veränderlich ist, gekennzeichnet durch eine Magnetkupplungseinrichtung (17), mit der die Tastwalze (16) zur Rotation um die zweite Achse (A2) antreibbar ist, wobei die Magnetkupplungseinrichtung (17) einen am Spulendorn (12) montierten ersten polarisierten Magnetring (18) und einen an der Tastwalze montierten zweiten polarisierten Magnetring (19) umfasst, wobei die Halteeinrichtung (14) eine Schwinge (15) aufweist, die relativ zum Spulendorn (12) verschwenkbar ist, und die Magnetkupplungseinrichtung (17) automatisch inaktiv wird, wenn die Tastwalze (16) in Kontaktanlage mit einem auf dem Spulendorn (12) und der darauf angebrachten Spulenhülse (H) aufgewickelten Fadenpaket (13) ist und dadurch der an der Tastwalze (16) angebrachte zweite polarisierte Magnetring (19) einen vergrößerten Abstand zu dem am Spulendorn (12) angebrachten ersten polarisierten Magnetring (18) erlangt hat.
Patent DE-102018220949-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung
Inventor: MASUDA KOICHI
IPC: H01L25/16
Filed: 2018-12-04
Granted: 2020-11-05
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung umfasst: ein isolierendes Substrat, das eine isolierende Schicht mit ersten und zweiten Hauptoberflächen, eine Metallplatte auf der ersten Hauptoberfläche und erste bis vierte Leiter auf der zweiten Hauptoberfläche umfasst; eine Halbleitereinrichtung, die eine mit dem ersten Leiter elektrisch verbundene rückwärtige Elektrode und eine mit dem zweiten Leiter elektrisch verbundene vordere Elektrode umfasst; eine Temperaturdetektionseinrichtung, die eine mit dem dritten Leiter elektrisch verbundene erste Elektrode und eine mit dem vierten Leiter elektrisch verbundene zweite Elektrode umfasst; einen mit dem dritten Leiter elektrisch verbundenen ersten Anschluss; einen zweiten Anschluss, der so positioniert ist, dass er mit dem vierten Leiter über einen Draht verbindbar ist; und einen mit dem zweiten Leiter elektrisch verbundenen dritten Anschluss, wobei der vierte Leiter so positioniert ist, dass er mit dem zweiten Leiter über einen Draht verbindbar ist.
Patent DE-102019112495-B4 (DE)
Title: Fortschrittliches fussgängererfassungssystem für fahrzeuge mit aktiver motorhaube
Inventor: MUHAMMAD HANIF
IPC: B60R21/34
Filed: 2019-05-13
Granted: 2021-08-12
Abstract: Verfahren (10) zum Betreiben eines Fußgängererfassungssystems für Kraftfahrzeuge (14), umfassend:
 Befestigen von mindestens zwei piezoelektrischen Sensoren (46) an einer Stoßfängerverkleidung (34) des Fahrzeugs (14);
 Auslesen (72) eines elektrischen Signals (94, 96, 98, 100), das ein Spannungssignal von jedem der mindestens zwei piezoelektrischen Sensoren (36, 38, 40, 42, 44, 46) definiert, wobei das Spannungssignal von jedem der mindestens zwei piezoelektrischen Sensoren (36, 38, 40, 42, 44, 46) als Reaktion auf einen Aufprall eines Objekts (16) auf die Verkleidung (34) erzeugt wird;
 Erhalten eines vorbestimmten Schwellenwerts (102, 108, 116, 118, 120, 130, 132, 140, 142) von einem Speicher (63), der individuell
 jedem der piezoelektrischen Sensoren (36, 38, 40, 42, 44, 46) zugeordnet ist; und
 Erzeugen eines Subsignals, das ein Aufprallereignis anzeigt, wenn die
 Spannung von einem der piezoelektrischen Sensoren (36, 38, 40, 42, 44, 46) größer als der Schwellenwert ist.
Patent DE-102019115492-B4 (DE)
Title: Dämpferanordnung für ein Rad eines Kraftfahrzeuges
Inventor: WITTE THOMAS
IPC: B60G17/08
Filed: 2019-06-07
Granted: 2022-08-11
Abstract: Dämpferanordnung für ein Rad eines Kraftfahrzeuges mit einem Arbeitszylinder (4), der mindestens ein Dämpferrohr (6) mit einer Innenwand (8) aufweist, wobei in dem Dämpferrohr (6) ein an einer Kolbenstange (10) angeordneter Arbeitskolben (12) axial verstellbar vorgesehen ist, derart, dass eine erste, obere Dämpferkammer (14) und eine zweite, untere Dämpferkammer (16) ausgebildet sind, wobei eine Druckstellanordnung (18) vorgesehen ist, die eine Pumpenanordnung (20), die durch einen Elektromotor (22) antreibbar ist und mindestens ein Speichervolumen (24) aufweist, wobei die Pumpenanordnung (20) und das Speichervolumen (24) über Hydraulikverbindungen (34, 36, 38, 40, 42), die zumindest Rückschlagventile (26, 28) und einstellbare Drosselventilanordnungen (30, 32) aufweisen, mit den beiden Dämpferkammern (14, 16) fluidisch verbunden sind, wobei eine erste hydraulische Verbindung (34) von der Pumpenanordnung (20) zur ersten, oberen Dämpferkammer (14) und eine zweite hydraulische Verbindung (36) von der Pumpe (20) zur zweiten, unteren Dämpferkammer (16) führt, wobei genau ein Speichervolumen (24) vorgesehen ist, wobei eine dritte hydraulische Verbindung (38) mit in Richtung zu den hydraulische Verbindungen (34, 36) öffnenden Rückschlagventilen (26, 28) und eine vierte, parallel hierzu geschaltete hydraulische Verbindung (40) mit zwei einstellbaren Drosselventilanordnungen (30, 32) vorgesehen ist, wobei das Speichervolumen (24) über eine fünfte hydraulische Verbindung (42) fluidisch mit den beiden Rückschlagventilen (26, 28) und den einstellbaren Drosselventilanordnungen (30, 32) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Pumpenanordnung (20) aus einer bi-direktionalen Pumpe besteht, wobei im Bereich von zwei Fluidanschlüssen (50, 52) der bi-direktionalen Pumpe (20) jeweils ein Drucksensor (54, 56) vorgesehen ist, wobei eine Steuereinrichtung (48) vorgesehen ist, die steuerungstechnisch mit den einstellbaren Drosselventilen (30, 32), den Drucksensoren (54, 56) und dem Elektromotor (22) verbunden ist.
Patent DE-102019116606-B4 (DE)
Title: Multi-gate-vorrichtung und zugehörige verfahren
Inventor: CHUNG CHENG-TING
IPC: H01L29/78
Filed: 2019-06-19
Granted: 2022-06-23
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Multi-Gate-Halbleitervorrichtung, das Folgendes umfasst:Bereitstellen einer ersten Finne (302), die sich über ein Substrat (202) erstreckt, wobei die erste Finne mehrere eines ersten Typs von Epitaxialschichten (208) und mehrere eines zweiten Typs von Epitaxialschichten (206) aufweist;Entfernen eines ersten Abschnitts einer Schicht des zweiten Typs von Epitaxialschichten (206) in einer Kanalregion der ersten Finne, um einen Spalt (1308) zwischen einer ersten Schicht des ersten Typs von Epitaxialschichten (208) und einer zweiten Schicht des ersten Typs von Epitaxialschichten (208) zu bilden;Bilden eines ersten Abschnitts einer ersten Gate-Struktur (1300) innerhalb des Spalts (1308), der sich von einer ersten Fläche der ersten Schicht des ersten Typs von Epitaxialschichten (208) zu einer zweiten Fläche der zweiten Schicht des ersten Typs von Epitaxialschichten (208) erstreckt; undnach dem Bilden des ersten Abschnitts der ersten Gate-Struktur, Entfernen eines zweiten Abschnitts der Schicht des zweiten Typs von Epitaxialschichten (206) neben dem ersten Abschnitt der ersten Gate-Struktur, um einen ersten Luftspalt (1602) zu bilden.