baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100635567-B1 (KR)
IPC: H01L29/49
Filed: 2004-06-29
Granted: 2006-10-17
Abstract: 본 발명은 비정질 실리콘층 및 게이트 절연막의 일부인 제1절연막을 연속적으로 형성한 후, 상기 비정질 실리콘층을 결정화하고 패터닝하여 다결정 실리콘층 패턴 및 제1절연막 패턴을 형성하거나 또는 상기 비정질 실리콘층 및 제1절연막을 패터닝하고 결정화하여 다결정 실리콘 패턴 및 제1절연막 패턴을 형성한 후, 제2절연막을 증착하여 박막트랜지스터의 반도체층과 게이트 절연막을 형성하는 박막트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 박막트랜지스터 및 그 제조 방법은 절연 기판; 상기 절연 기판상에 연속적으로 형성되고, 패터닝된 다결정 실리콘층 패턴 및 제1절연막 패턴; 상기 다결정 실리콘층 패턴 및 제1절연막 패턴이 형성된 기판상에 형성된 제2절연막; 및 상기 제2절연막상에 형성된 게이트 전극, 층간절연막 및 소오스/드레인 전극을 포함하여 이루어진 박막트랜지스터 및 그 제조 방법에 기술적 특징이 있다. 
     따라서, 본 발명의 박막트랜지스터 및 그 제조 방법은 종래에는 기판상에 비정질 실리콘층을 형성한 후, 결정화하고 패터닝한 후, 게이트 절연막을 증착하는 공정으로 박막트랜지스터를 제조하게 되는데, 상기와 같은 방법에 의해 형성된 박막트랜지스터의 반도체층과 게이트 절연막의 계면에 오염 물질의 형성, 결정 방향성의 불일치등의 결함이 존재하게 되어 전자 이동도의 감소 및 누설 전류의 증가와 같은 문제점이 발생하게 되는데, 이러한 문제점을 해결할 수 있을 뿐만 아니라, 중간 세정 공정을 생략하여 공정을 단축하는 효과가 있다. 
       
     연속 증착, 이중 게이트 절연막, 박막트랜지스터
Patent KR-100620059-B1 (KR)
Title: 전자연동장치의 자동시험장치 및 그 제어방법
IPC: B61L27/00
Filed: 2004-07-09
Granted: 2006-09-08
Abstract: 본 발명은 스위치 매트릭스와 시험용 지그를 이용하여 입력카드 및 출력카드에 전원, 계측기 및 부하를 자동으로 연결하고 응답신호를 자동으로 읽어들여 시험을 위한 시간과 노력을 줄일 수 있는 전자연동장치의 자동시험장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 다수의 스위치로 구성된 스위치 매트릭스(12)와; 시험대상인 카드가 전자연동장치에 설치되었을 경우와 동일하게 작동하도록 설치하는 시험용 지그(13)와; 상기 스위치 매트릭스(12)를 통해 상기 시험대상 카드의 포트에 전원을 공급하고 그 공급되는 전압 및 전류의 세기를 표시하는 전원공급기(14)와; 상기 스위치 매트릭스(12)를 통해 상기 시험대상 카드의 출력포트에 연결되는 부하(15)와; 상기 스위치 매트릭스(12)를 제어하여 상기 시험대상 카드의 각 포트를 상기 전원공급기(14)와 부하(15)에 연결하고 제어하여 그 공급전원을 변화시키고 그 전원의 변화에 따라 각 포트의 반응전압 및 반응전류를 읽어들여 저장하고, 각 출력포트로부터 상기 부하(15)에 공급되는 전원을 변화시켜 자동차단전압을 측정하여 저장하는 제어용 컴퓨터(11)로 구성되어 입력카드 및 출력카드를 측정하기 위한 시간과 노력을 줄일 수 있는 효과가 있다. 
       
     전자연동장치, 스위치 매트릭스, VME, 입력카드, 출력카드, 시험
Patent KR-100620476-B1 (KR)
IPC: G02B6/26
Filed: 2004-07-13
Granted: 2006-09-08
Abstract: 본 발명의 과제는, 광 스위치에도 적용할 수 있는 빔 다이렉션 모듈은 콜리메이터 어레이와 가동 미러 어레이의 상대 위치 맞춤을 고정밀도이면서 용이하게 행하고, 조립이 용이하며 저손실의 모듈을 제공하는 것이다.   
     콜리메이터를 지지하는 콜리메이터 지지 부재 상에 제1 마이크로 미러와, 빔을 통과할 수 있는 제1 창을 구비한 제1 미러 기판과, 제1 마이크로 미러 구동용의 제1 미러 구동용 전극과, 빔을 통과할 수 있는 제2 창을 구비한 제1 전극 기판과, 제1 스페이서와,  
     제2 마이크로 미러와, 빔을 통과할 수 있는 제3 창을 구비한 제2 미러 기판과, 제2 마이크로 미러 구동용의 제2 미러 구동용 전극과, 빔을 통과할 수 있는 제4 창을 구비한 제2 전극 기판과, 제2 스페이서와, 
     미러간 스페이서를 각각에 설치한 위치 맞춤용 관통 구멍에 콜리메이터 지지 부재로부터 돌출한 핀을 통과하도록 하여, 
     제1 전력 기판, 제1 스페이서, 제1 미러 기판, 미러간 스페이서, 제2 미러 기판, 제2 스페이서, 제2 전극 기판의 차례로 적층하고, 캡과 콜리메이터 지지 기판 사이에 끼워 고정한다. 
       
     빔 다이렉션 모듈, 파이버, 콜리메이터, 빔, 압박 부재, 배선, 와이어
Patent KR-100666875-B1 (KR)
IPC: E04F15/20
Filed: 2004-07-14
Granted: 2007-01-11
Abstract: 본 발명은 폐기물을 이용한 건축용 방음,방진  완충보드에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 폐플라스틱칩, 폐고무칩으로 된 주성분과 폐목재칩, 폐우레탄칩, 폐골재중에서 용도에 따라 선택하는 1종이상의 원료로된 또다른 주성분을 배합한 다음 여기에 폴리우레탄 수지결합제및 접착본드를 혼합하여 가열압착 성형시켜서 건축물의 층간소음 및 진동차단을 강화시킨 구성으로된 다공성의 방음,방진 완충보드에 관한 것이다. 
      폐기물을 이용한 완충재료로 성형한 다공성을 갖는 판상의 본체(10)와, 
     본체(10)의 상·하부에 다수의 돌출면(14)이 형성되고 그 돌출면(14)에 미세요홈(14a)이 형성되어 통기로를 구성하며, 
      상기 돌출면(14)사이에 요입면(16)을 갖는 공간부(12)가 형성되며, 
     상기 본체(10)의 상·하부에 보드판을 부착하여서 된  폐기물을 이용한 건축용 방음,방진 완충보드를 특징으로 한 것이다. 
       
     건축물, 완충재료, 방음, 단열, 폐기물, 고체음, 공기음
Patent KR-100608992-B1 (KR)
IPC: E01C9/08
Filed: 2004-07-16
Granted: 2006-08-08
Abstract: 본 발명은 지하철 건설과 같은 지하 시설 공사시 도로면을 복개하기 위해 사용되는 복공판에 관한 것이다. 본 발명의 복공판은 노면이 개방되며 수용공간이 형성된 복공판 프레임과, 복공판 프레임의 수용공간에 채워져 형성된 콘크리트 플레이트로 구성된다. 여기서, 복공판 프레임은 복공판 지지 프레임에 의해 지지되며, 단면이 사각인 각형 강관을 측방향으로 여러개 용접하여 형성된 바닥부재와, 상기 바닥부재의 측면에 결합되며 높이가 상기 바닥부재 보다 높게 형성된 측면부재와, 상기 바닥부재의 단면에 결합되며 높이가 상기 바닥부재 보다 높게 형성된 단면부재로 구성된다.  따라서, 노면의 마찰력을 증대시켜 미끄럼을 줄일 수 있으며, 콘크리트 재질의 특성상 진동을 감쇠시켜 소음을 현저히 줄일 뿐만 아니라, 제조 비용을 절감시켜 준다. 
       
     복공판
Patent KR-100481276-B1 (KR)
Title: An apparatus used as steam-generator
Inventor: LEE SANG BEUM
IPC: F24H1/20
Filed: 2004-07-29
Granted: 2005-04-07
Abstract: A steam generator is provided to generate steam by instantaneously vaporizing water incoming through a heated heat exchange pipe, to make the steam generator compact by reducing volume, to simplify the structure, and to discharge a large quantity of steam within a short time. A steam generator comprises plural heating elements(110) emitting heat by a control part(20) and a low-voltage transformer(10) for receiving power from a power supply part and boosting low voltage; a first inner cylinder(100) in which the heating elements are built; a second inner cylinder(200) covering the first inner cylinder and preheating water incoming from the outside; an outer cylinder(300) covering the second inner cylinder and storing the water incoming from the outside; passages(303) formed between the first inner cylinder and the second inner cylinder, and between the second inner cylinder and the outer cylinder; and an auxiliary tank(400) connected to the outer cylinder. In the first inner cylinder, plural heat exchange pipes(120) are installed near the heating elements.
Patent KR-100607037-B1 (KR)
IPC: H03H17/00
Filed: 2004-08-04
Granted: 2006-08-01
Abstract: 증분형 엔코더 출력신호에 포함된 노이즈 성분을 제거하기 위한 디지털 필터 회로를 발명하였다.  본 발명의 증분형 엔코더 출력신호의 노이즈 제거용 디지털 필터는  엔코더 출력 신호를 클리어 단자로 수신하며 엔코더 출력 신호가 제1 로직 레벨일 때 제1 로직 레벨의 출력 신호를 발생하는 제1 카운터와 제1 카운터의 출력 신호와 소정의 발진 주파수를 가지는 클럭 신호를 논리합하는 제1 논리합 게이트를 포함한다. 제1 카운터는 엔코더 출력 신호가 제2 로직 레벨일 때는, 상기 제1 논리합 게이트의 출력 신호의 펄스를 카운트하여, 상기 카운트 값이 소정의 N(1 이상의 정수)이 되면 제2 로직 레벨의 출력 신호를 발생한다. 본 발명에 의하면, 엔코더에 포함된 노이즈 특성에 따라 디지털 필터의 클럭신호의 주파수와 카운터 값을 변경하여 엔코더 출력 신호에 포함된 노이즈 성분을 효과적으로 제거할 수 있다. 
       
     디지털 필터, 엔코더 출력신호, 노이즈
Patent KR-100598819-B1 (KR)
IPC: C22C19/05
Filed: 2004-08-09
Granted: 2006-07-12
Abstract: 본 발명은 주성분이 비귀금속으로 제조된 합금으로 치과보철물(도재소부용 구조물)을 제작할 때 사용하는 도재소부용 치과 비귀금속 합금에 관한 것으로, 저작압에 견딜 수 있고 마모, 변형 등이 없으며, 치아의 경도, 강도와 비슷하고 치아색과 유사하며, 또한 구강내에서 부식이나 변색 등이 없고 인체 유해성이 없는 조건을 만족하는 치과수복용 비귀금속 보철합금을 제공한다. 
     치과, 비귀금속, 합금, 니켈, 크롬, 주조, 탈산제
Patent KR-100539298-B1 (KR)
Inventor: KIM SU NAM
IPC: A61Q19/08
Filed: 2004-08-16
Granted: 2005-12-28
Abstract: 본 발명은 석곡 추출물 또는 익지인 추출물을 함유하는 피부 외용제로서, 염증으로 인한 노화촉진 현상인 인플라메이징(inflammaging) 현상을 개선하고, 주름 개선 및 탄력 개선의 효과가 있으며, 부작용이 없는 인플라메이징 개선용 및 피부 노화 방지용 피부 외용제 조성물에 관한 것이다.
Patent KR-100543169-B1 (KR)
Inventor: CHUNG KI HOON
IPC: B64C27/37
Filed: 2004-08-20
Granted: 2006-01-20
Abstract: 본 발명은, 테일로터의 회전축선에 대해 반경방향으로 상호 비등간격을 두고 형성되는 10개의 블레이드축선(θ 1  내지 θ 10 )을 중심으로 설치되는 헬리콥터 테일블레이드에 관한 것으로서, 상기 블레이드축선 중 어느 하나의 블레이드축선을 0°기준의 제1블레이드축선 θ 1 으로 할 때, 제2블레이드축선 θ 2 는 θ 1 에 대해 32°내지 40°각도 중에 배치되며, 제3블레이드축선 θ 3 은 θ 1 에 대해 68°내지 76°각도 중에 배치되며, 제4블레이드축선 θ 4 는 θ 1 에 대해 104°내지 112°각도 중에 배치되며, 제5블레이드축선 θ 5 는 θ 1 에 대해 140°내지 148°각도 중에 배치되며, 제6블레이드축선 θ 6 은 θ 1 에 대해 170°내지 180°각도 중에 배치되며, 제7블레이드축선 θ 7 은 θ 1 에 대해 212°내지 220°각도 중에 배치되며, 제8블레이드축선 θ
 8 은 θ 1 에 대해 248°내지 256°각도 중에 배치되며, 제9블레이드축선 θ 9 는 θ 1
 에 대해 284°내지 292°각도 중에 배치되며, 제10블레이드축선 θ 10 은 θ 1 에 대해 320°내지 328°각도 중에 배치되는 것을 특징으로 한다.   
     이에 의하여, 날개통과주파수성분과 조화주파수성분을 고려하여 회전소음을 최소화할 수 있는 비등간격을 갖는 헬리콥터의 테일블레이드가 제공된다.   
       
      헬리콥터, 테일로터, 테일블레이드, 비등간격, 소음
Patent KR-100619540-B1 (KR)
IPC: A62C35/20
Filed: 2004-08-20
Granted: 2006-09-04
Abstract: 본 발명은 소화전 밸브용 개폐감지장치에 관한 것이다.  본 발명에 따른 소화전 밸브용 개폐감지장치는, 유로를 가지며 소방용 급수관에 접속되는 몸체와 그 몸체에 승강 가능하게 설치되며 그 승강에 의해 상기 유로를 개폐하도록 된 승강축을 구비하는 소방용 밸브에 사용되는 것으로, 상기 유로의 개폐를 감지하기 위한 것에 있어서, 상기 승강축에 결합되어 이 승강축과 함께 승강되는 커플링부재; 상기 커플링부재의 상부로 돌출되는 제1위치와 상기 커플링부재의 내부로 몰입되는 제2위치 사이에서 승강가능하게 상기 커플링부재에 결합되는 승강부재; 상기 승강부재를 제1위치로 탄성 바이어스시키는 제1스프링; 상기 승강부재에 결합되어 이 승강부재와 함께 승강되는 자석; 상기 승강부재가 상기 제2위치에 놓였을 때 상기 자석을 감지하도록, 상기 커플링부재에 결합되는 자기센서;를 포함하며, 상기 승강부재가 상승시에 상기 승강부재가 상기 소방용 밸브의 몸체에 접촉되어 눌림으로써 상기 제2위치로 하강되도록 구성된 것에 특징이 있다.
Patent KR-100575343-B1 (KR)
IPC: H01L21/8247
Filed: 2004-09-10
Granted: 2006-05-02
Abstract: 본 발명은 플래시 메모리 소자의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 트렌치 식각공정을 실시하기 전에 노출되는 반도체 기판 상부에 대하여 산화공정을 실시하여 적정 폭을 갖는 버즈 비크(bird's beak) 형태로 서피스 산화막(surface oxide)을 형성한다. 따라서, 본 발명에서는 액티브 영역의 임계치수를 감소시키면서 터널 산화막이 얇아지는(thining) 현상을 방지할 수 있다. 그리고, 터널 산화막의 얇아짐 현상을 방지함으로써 FN(Fowler-Nordheim tunneling) 터널링에 의한 정상적인 셀 동작을 구현할 수 있다.  
       
     플래시 메모리 소자, 트렌치, SA-STI, STI, 버즈 비크
Patent KR-100791973-B1 (KR)
IPC: G06K19/077
Filed: 2004-09-17
Granted: 2008-01-04
Abstract: 본 발명은 환(環) 형상의 금속 케이스를 갖는 시계, 반지, 펜던트, 키홀더 등의 장신구류에 RF 모듈을 내장하여 교통카드나 도어록의 전자키로 사용하기 위한 RF 통신모듈을 갖는 장신구에 관한 것으로, 특히 근거리 데이터 통신 시스템에서 데이터를 읽거나 수정하기 위한 단말기로 사용되며, 일부분을 절단하고 그 절단부에 절연물질을 함입한 절연부를 갖는 환상의 금속 케이스와, 그 케이스 내부에 장착되는 절연 보석류 또는 시계 무브먼트와 같은 절연 장신부재와, 상기 장신부재 하부에 설치되며 내면에 RF 통신모듈이 부착된 베이스 커버로 구성함으로써, 금속 케이스의 영향을 받지 않고 상기 모듈에 기록된 데이터를 읽거나 수정할 수 있는 RF 통신모듈을 갖는 장신구를 제공한다. 
       
     RF 통신모듈, 장신구, 시계, 교통카드
Patent KR-100581933-B1 (KR)
IPC: H01J11/26
Filed: 2004-09-23
Granted: 2006-05-23
Abstract: 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은, 상측 기판과; 상측 기판의 하면에 형성된 상측 유전체층과; 상측 기판과 대향되게 배치된 하측 기판과; 하측 기판의 상면에 형성된 하측 유전체층과; 하측 유전체층 내에 상호 이격되게 배치된 어드레스 전극들과; 상측 기판과 하측 기판 사이에 배치되는 것으로, 어드레스 전극들 사이에 이들과 평행하게 각각 연장되며 상호 이격되도록 형성된 세로격벽들을 구비한 격벽과; 세로격벽들 사이의 방전 공간들에 배치된 형광체층과; 상측 유전체층 내에 배치되는 것으로, 세로격벽측으로부터 방전 공간측으로 각각 돌출된 X 투명전극들과 X 투명전극들이 접속된 X 버스전극을 구비한 X 전극과, 세로격벽측으로부터 방전 공간측으로 각각 돌출되어 X 투명전극들과 방전 갭을 이루는 Y 투명전극들과 Y 투명전극들이 접속된 Y 버스전극을 구비한 Y 전극을 한 쌍으로 하여 각각 이루어진 유지 전극쌍들과; 상측 유전체층 내에서 X 전극과 Y 전극 사이마다 이들과 각각 이격되도록 적어도 하나 이상으로 배치된 M 전극들;을 포함한다.
Patent KR-100478876-B1 (KR)
Title: Solid fuel unit using bamboo charcoal and using method thereof
Inventor: SEO WON DAE
IPC: C10L5/44
Filed: 2004-10-19
Granted: 2005-03-24
Abstract: To provide a solid fuel unit using bamboo charcoal capable of being burnt completely, preventing emission of poisonous gas and smoke and capable of immediately performing ignition and combustion as one unit without individual purchase of ignition material and combustion material, and a method for using the solid fuel unit. In a solid fuel unit in which a combustion material(1) and an ignition material(2) are packed in a unit package, a solid fuel unit using bamboo charcoal is characterized in that the combustion material is formed of a bamboo charcoal unit body obtained by cutting the carbonized bamboo charcoal after carbonizing bamboo in a charcoal kiln, and the ignition material is obtained by cutting the molded mixture to a certain size after injecting a mixture into a molding frame and molding the mixture in the molding frame, wherein the mixture is prepared by mixing 20 to 30 wt.% of bamboo charcoal powder, 45 to 50 wt.% of activated carbon, 9 to 11 wt.% of fine sugar powder, 2 to 3 wt.% of niter, 2 to 3 wt.% of barium and 12 to 13 wt.% of starch.
Patent KR-100645922-B1 (KR)
IPC: G06F19/00
Filed: 2004-10-21
Granted: 2006-11-15
Abstract: 본 발명은 반응형 완구 및 이의 반응절차 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 제품에 소속된 내부 전산 유니트에 <각 사용자의 소지품(또는 신체 일부)에 개별 부착된 다수의 근거리 통신 태그>와 교신하면서, 이 근거리 통신 태그들로부터 출력되는 각 태그 데이터를 분석한 후, 해당 분석결과에 따라, 서로 다른 액션(움직임 또는 음성)의 출력을 다채롭게 유도할 수 있는 전산 모듈들을 체계적으로 연동 배치하고, 이를 통해, 완구의 부속물들(예컨대, 스피커, 램프, 목, 다리, 꼬리 등)이 사용자가 소지한 근거리 통신 태그들의 상황, 예컨대, 어떤 근거리 통신 태그가 유효교신범위(통신이 가능한 거리) 내에 위치하고 있는가, 유효교신범위에 있던 어떤 근거리 통신 태그가 해당 유효교신범위를 이탈하였는가, 유효교신범위 내에 위치한 근거리 통신 태그의 기록내역이 무엇인가 등에 따라, 그에 상응하는 여러 가지 다양한 반응을 자동으로 보일 수 있도록 가이드 함으로써, 근거리 통신 태그를 소지한 사용자가 완구를 이용함에 있어, 최적의 만족도를 자연스럽게 가질 수 있도록 유도할 수 있다.
Patent KR-100841440-B1 (KR)
IPC: H02J7/34
Filed: 2004-10-22
Granted: 2008-06-25
Abstract: 컨트롤러 전원공급장치가 제공된다.  본 전원공급장치는, 주전원이 컨트롤러로 공급되는 경로상에 위치하는 주전원 스위칭부, 보조전원이 컨트롤러로 공급되는 경로상에 위치하는 보조전원 스위칭부, 및 주전원이 미인가되면 주전원 스위칭부를 개방시키고 보조전원 스위칭부를 단락시켜 보조전원이 컨트롤러로 공급되도록 하는 전원공급 제어부를 포함한다.  이에 의해, 보다 안정적으로 컨트롤러 공급전원을 절환하고, 과방전된 배터리가 전원공급에 이용되지 않도록 하며, 컨트롤러의 리셋동작이 보다 안정적으로 이루어지게 할 수 있게 된다. 
     
     주배터리, 보조배터리, 전원공급제어, 리셋제어
Patent KR-100627389-B1 (KR)
IPC: H01M8/02
Filed: 2004-11-05
Granted: 2006-09-21
Abstract: 본 발명에 따른 연료 전지 시스템은, 막-전극 어셈블리(Membrane Electrode Assembly: MEA)를 중심에 두고 그 양측에 밀착 배치되는 세퍼레이터(Separator)로 구성되는 적어도 하나의 전기 발생부와, 수소를 함유한 연료를 상기 전기 발생부로 공급하는 연료 공급원과, 산소를 상기 전기 발생부로 공급하는 산소 공급원과, 히트 캐리어를 상기 전기 발생부로 공급하는 히트 캐리어 공급원을 포함하며, 
     상기 전기 발생부는, 상기 세퍼레이터의 일면과 이 세퍼레이터에 대향 밀착되는 이웃하는 세퍼레이터의 접면 중 어느 한 면에 형성되어 히트 캐리어를 통과시키는 쿨링 통로를 구비한다. 
       
     연료전지, 스택, 개질기, 냉각, 히트캐리어, 히트캐리어공급원, 세퍼레이터, 쿨링통로
Patent KR-100921053-B1 (KR)
IPC: B60R7/04
Filed: 2004-11-10
Granted: 2009-10-08
Abstract: 본 발명의 자동차 콘솔 박스의 마그네트 부착 구조는 마그네트를 둘러싸는 홀더부가 적어도 한 부분에 홀더부와 일체로 된 완충부를 포함하고, 이 완충부와 대면하는 콘솔패널의 부분이 소정 간격의 갭을 두고 상기 완충부와 대면하도록 한 것을 특징으로 함으로써 콘솔 커버 개폐시의 크래쉬 강도를 향상한다.
Patent KR-100570017-B1 (KR)
Inventor: KIM HAK KYUN
IPC: B62D25/04
Filed: 2004-11-18
Granted: 2006-04-10
Abstract: 본 발명은 소음차단 플레이트에 의해서 분리된 필라박스 내부의 공간에도 전착도장이 가능하도록 하는 한편, 필라박스 내부의 소음을 차단할 수 있는 차량용 필라박스 내부의 소음차단 플레이트 구조에 관한 것으로서, 그 특징적인 구성은 필라박스(10)의 내부를 차단하도록 소정의 크기를 갖는 판 형상으로 형성되고 중앙에는 전착액이 공급되도록 통공(23)이 형성된 플레이트(20)와, 상기 플레이트(20)의 일측면에 일체로 형성된 클립(21)과, 상기 플레이트(20)의 둘레면에 끼워진 측면 차단용 발포패드(30)와, 상기 통공(23)의 내측 둘레면에 끼워진 통공 차단용 발포패드(31)를 포함하여서 된 것이다. 
       
     차량, 필라박스, 플레이트, 발포패드, 전착공정
Patent KR-100612874-B1 (KR)
IPC: G11B27/02
Filed: 2004-11-22
Granted: 2006-08-14
Abstract: 본 발명은 축구경기 등의 스포츠 경기의 동영상을 영상 내에 포함된 음성 정보와 영상 정보를 기반으로 하여 요약하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 그 방법은 스포츠 동영상을 샷으로 분할하여, 분할된 각 샷의 영상 데이터와 음성 데이터를 추출하는 단계; 추출된 음성 데이터와 영상 데이터를 이용하여 각 샷들의 중요도를 계산하는 단계; 및 계산된 샷별 중요도를 기초로 하여 스포츠 동영상 중 중요 샷들을 선택하고, 선택된 중요 샷들을 이용하여 동영상을 요약하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
     본 발명에 의하면, 스포츠의 동영상을 요약하는 경우, 영상의 음성 정보와 영상 정보를 함께 이용해 샷(shot) 별 중요도를 계산하고, 계산된 중요도에 따라 중요 샷을 선택하여 스포츠 동영상을 요약함으로써 동영상 요약의 신뢰성을 증대시킬 수 있으며, 사용자가 원하는 길이의 요약 영상을 생성할 수 있다.
Patent KR-100574902-B1 (KR)
Inventor: HAM YONG WOON
IPC: G01F15/14
Filed: 2004-11-24
Granted: 2006-05-03
Abstract: 본 발명은 계량기 하우징용 잠금장치에 관한 것으로, 하우징에 체결되는 고정나사의 머리부에 결합되도록 저면에 나사홈이 형성되고, 일측면에는 탄성체홈이 형성된 잠금캡과, 이 잠금캡의 탄성체홈에 삽입된 상태로 고정나사를 탄성 지지하여 고정나사의 분리를 방지하는 탄성체를 포함한다. 
     이와 같이 구성된 본 발명에 의하면, 잠금캡을 이용하여 계량기 하우징을 체결하는 고정나사가 노출되는 것을 방지함과 아울러 잠금캡에 삽입된 탄성체로 하여금 고정나사를 탄성 지지하여 고정나사가 하우징으로부터 분리되는 것을 방지함으로써 하우징이 안전하게 봉인될 수 있게 된다. 또한, 종래에서와 같이 중금속을 사용할 필요가 없으므로 환경호르몬과 같은 유해물질을 유발시키지 않게 됨으로써 환경오염을 저해하지 않게 된다. 
       
     계량기, 하우징, 잠금캡, 탄성체, 보조캡
Patent KR-100721195-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2004-12-02
Granted: 2007-05-23
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 듀얼 다마신 금속 배선 형성 방법에 관한 것으로, 특히 TiW 또는 WSix를 응용한 Al 듀얼 다마신(dual damascene) 배선의 신뢰성 향상 방안에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법은 (a) 기판에 PETEOS 산화물을 증착하고, 상기 산화물에 트렌치를 형성하는 단계, (b) TiW막을 증착하고, 화학 기상 증착 및 물리 기상 증착 공정에 의해 제1 Al막을 증착하는 단계, (c) 상기 제1 Al에 대한 화학 기계적 연마 공정에 의해 제1 금속 배선을 형성하는 단계, (d) SiON막과 PETEOS 산화물을 증착하고, 상기 산화물에 트렌치를 형성하는 단계, (e) TiW막을 증착하고, 화학 기상 증착 및 물리 기상 증착 공정에 의해 제2 Al막을 증착하는 단계, (f) 상기 제2 Al막에 대한 화학 기계적 연마 공정에 의해 제2 금속 배선을 형성하는 단계, (g) 보호막을 증착하고, 어닐(anneal) 공정을 수행하는 단계를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법은 TiW막 또는 WSix막을 이용하여 듀얼 다마신(dual damascene) 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 
       
     듀얼 다마신(dual damascene), TiW, WSiX
Patent KR-100575889-B1 (KR)
Inventor: CHUN YUN SEOK
IPC: H01L21/8238
Filed: 2004-12-03
Granted: 2006-05-03
Abstract: 본 발명은 듀얼 게이트전극 형성방법에 관해 개시한 것으로서, PMOS영역 및 NMOS영역이 정의되고, 상면에는 게이트산화막 및 게이트전극 형성용 비정질실리콘막이 구비된 반도체기판을 제공하는 단계와, 기판의 PMOS영역에 선택적으로 P채널형성용 이온주입을 실시하는 단계와, 기판 결과물의 NMOS영역에 선택적으로 N 채널형성용 이온주입을 실시하는 단계와, 이온주입된 기판에 플라즈마 방식에 의한 질화공정을 진행하여 확산방지막을 형성하는 단계와, 확산방지막 위에 텅스텐실리사이드층 및 하드마스크막을 차례로 형성하는 단계와, 막들을 식각하여 각각의 NMOS용 게이트전극 및 PMOS용 게이트전극을 형성하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100701689-B1 (KR)
IPC: G11C7/20
Filed: 2004-12-17
Granted: 2007-03-29
Abstract: 본 발명은 공정, 전압, 온도의 변화에 대응하여 안정된 파워 업 신호를 발생하는 파워 업 신호 발생장치에 관한 것이다.  본 발명에 따라, 외부에서 인가되는 전원전압의 전압 레벨이 일정 레벨 이상일 경우 메모리 장치가 동작하도록 하는 파워 업 신호 발생장치가 제공되며: 이 발생장치는, 상기 전원전압의 전압 레벨을 감지하는 감지수단; 소정의 전압 레벨을 갖는 기준전압을 발생하는 기준전압 발생수단; 및 상기 감지수단에 의해 감지된 상기 전원전압의 전압 레벨과 상기 기준전압의 전압 레벨을 비교하는 비교수단;을 구비한다.
Patent KR-101039136-B1 (KR)
IPC: H01L21/3205
Filed: 2004-12-20
Granted: 2011-06-03
Abstract: 반도체 소자의 제조방법을 제공한다. 본 발명은 반도체 기판 상의 제1 층간 절연막 내에 비트 라인 콘택을 형성한 후, 상기 비트 라인 콘택 상에 비트 라인 패드를 형성한다. 상기 비트 라인 패드 사이를 덮는 제2 층간 절연막을 형성한 후, 상기 비트 라인 패드 사이의 상기 제2 층간 절연막 상에 비트 라인을 형성한다. 상기 비트 라인을 덮는 제2 층간 절연막을 형성한 후, 상기 제3 층간 절연막 및 제2 층간 절연막을 패터닝하여 상기 비트 라인 패드를 오픈하는 금속 콘택홀 내에 금속 콘택을 형성한다. 이에 따라, 본 발명은 비트 라인 패드 사이에 위치하여 비트 라인 사이에 동일한 간격으로 형성되지 못하는 약한 스페이스를 원천적으로 배제할 수 있다. 
       
     코아 영역, 디자인 룰
Patent KR-100664799-B1 (KR)
IPC: H01L21/304
Filed: 2004-12-24
Granted: 2007-01-04
Abstract: 본 발명은 포토레지스트를 제거한다는 것으로, 이를 위하여 본 발명은, 반도체 장치의 제조 과정에서 H2O 플라즈마, O2 플라즈마를 이용하여 포토레지스트를 제거하는 종래 방법과는 달리, 반도체 장치의 제조 공정 중 웨이퍼 상에 잔류하는 포토레지스트를 H2O/O2 가스 분위기에서 드라이 애싱을 수행하고, CF4 플라즈마의 조건에서 드라이 애싱을 수행하며, O2 플라즈마의 조건에서 드라이 애싱을 수행한 후에, 습식 세정 공정을 수행하여 상기 잔류 포토레지스트를 제거함으로써, 반도체 장치의 제조 과정에서 사용된 포토레지스트를 완벽하게 제거하여 반도체 장치의 신뢰성을 증진시키고, 장비 오염을 방지할 수 있는 것이다. 
       
     드라이 애싱, PVD, 포토레지스트 패턴
Patent KR-100532271-B1 (KR)
Title: 커넥터
IPC: H01R13/20
Filed: 2003-01-28
Granted: 2005-11-30
Abstract: 전기적으로 두 회로 기판을 접속시키기 위해 사용되는 커넥터가 바디상에 유지되는 복수 세트의 컨텍트를 포함한다.  각각의 컨텍트는 회로 기판상에 납땜되는 단자부, 상기 바디상에 끼워 맞춤되는 유지부, 및 커넥터들이 서로 결합되는 경우 대응부 커넥터에서의 컨텍트의 접촉부와 탄력적으로 접촉하게 되는 접촉부를 구비한다.  커넥터들이 결합되는 경우에 휘어짐으로써 탄성 압력을 발생시키는 컨텍트의 일부가, 가공 경화를 발생시키기 위해 다른 부분의 두께보다 더 얇게 되도록 헤머링된다.  서로 결합된 커넥터의 컨텍트 사이에 작용하는 탄성 압력이 가공경화에 의해 증가됨으로써, 커넥터의 적층 높이가 더 낮게 되는 경우에도 탄성 압력의 증가로 인해 접속의 신뢰성이 유지될 수 있다.
Patent KR-100929004-B1 (KR)
Title: 문맥 객체의 다단계 정렬 및 표시
IPC: H04M1/72454
Filed: 2002-09-11
Granted: 2009-11-26
Abstract: 이동 단말기 표시 화면(100) 상에 복수개의 아이콘을 표시하는 장치 및 방법이 제공되어 있다. 제1 섹션(102)은 관련 메시지의 특징을 시각, 지역, 또는 사용자 프로파일 특징과 같은 하나 또는 그 이상의 문맥값과 비교하여 결정되는 크기를 갖는 아이콘을 포함한다. 제2 섹션(104)은 상기 이동 단말기에 대한 메시지 소스의 근접에 따라 결정되는 크기를 갖는 아이콘을 포함한다.
Patent KR-100936636-B1 (KR)
IPC: A61K47/26
Filed: 2002-11-15
Granted: 2010-01-14
Abstract: LHRH 길항제를 포함하는 수성 주사액은 세트로렐릭스와 같은 LHRH 길항제 외에 생리학적으로 혼용가능한 유기산 및 임의로는 계면활성제 및 또한 구조 증진제(framework builder)를 포함한다.  본 LHRH 길항제는 현저히 개선된 용해성을 가지며 고농도 및 개선된 생이용성을 갖도록 제조될 수 있다.  LHRH 길항제의 응집 경향성은 현저히 감소된다.  
                 
     LHRH 길항제, 수성 주사액, 계면활성제, 증량제, 세트로렐릭스
Patent KR-100629764-B1 (KR)
IPC: H01L21/58
Filed: 2003-10-09
Granted: 2006-09-28
Abstract: 소정 두께의 접착층으로 강화 플레이트에 접착된 박형 반도체 소자를 구비하는 구성의 반도체 디바이스에서, 상기 접착층을 형성하는 데 사용되는 수지 바인더(5)는 제1 필러를 포함하는 필러들을 포함하며, 상기 제1 필러는 적합한 두께 범위(25㎛ 내지 200㎛) 내의 값으로 조정되는 접착층의 목표 두께와 일반적으로 동일한 직경을 가진다.  이것은, 반도체 소자가 플레이트에 접착될 때 적합한 두께의 범위 내의 접착층을 유지할 수 있고, 반도체 디바이스의 온-보드 탑재 신뢰성을 보증할 수 있다.
Patent KR-100961901-B1 (KR)
IPC: B25J5/00
Filed: 2002-12-26
Granted: 2010-06-10
Abstract: 다리식 이동로봇(1)의 전체 다리체(2)가 공중으로 뜨는 공중기와 어느 하나의  다리체(2)가 접지하는 착지기를 번갈아 반복하는 보용을 생성할 때, 공중기 및 착지기중 어느 시점에서도 목표 ZMP를 설정하고, 목표보용의 운동에 의해 발생하는 관성력과 중력과의 합력의, 목표 ZMP주위의 모멘트의 수평성분이 대략 0이 되도록 목표보용을 생성한다.  목표 ZMP는 보용의 전기간에서 실질적으로 연속으로 설정된다.  또, 목표보용을 구하기 위한 동력학 모델은, 그것에 의해서 산출되는 관성력과 중력과의 합력의, 어떤 작용점주위의 모멘트가 그 작용점의 위치에 의존하는 근사 모델을 사용한다.   
       
     다리식 이동로봇, 공중기, 착지기, 목표 ZMP, 관성력, 모멘트, 목표보용, 보용 생성 장치, 제어장치, 목표 상반력, 컴플라이언스 제어 수단
Patent KR-100990346-B1 (KR)
IPC: C07H21/04
Filed: 2003-02-27
Granted: 2010-10-29
Abstract: 본 발명은 디뉴클레오티드 약제의 이점을 갖는 모노뉴클레오시드 포스페이트 화합물과 관련된 것이다.  상기 모노뉴클레오시드 포스페이트는 폴리포스페이트 모노뉴클레오티드의 말단 포스페이트 상에 분해 저항성 치환체를 부착하여 변형되어진 모노뉴클레오티드로 부터 제조될 수 있다.  이러한 분해 저항성 치환체의 부착으로, 분해로부터의 안정성은 특정 디뉴클레오티드의 그것에 필적하거나 능가한다.  
     모노뉴클레오시드 포스페이트, 분해 저항성 치환체, 말단 포스페이트, 상피 및 망막 조직 질환.
Patent KR-101022924-B1 (KR)
Title: Method and radio communication device for the transmission-efficient editing of multimedia news
IPC: H04W4/18
Filed: 2003-05-08
Granted: 2011-03-16
Abstract: The useful data contained in a multimedia information set is determined (S1) and is set against a price category (S2). Any free space in a price category is indicated (S3) and a comparison made with the threshold level (S4). On this basis the useful data is accepted or is subject to a reduction operation (S5,6).
Patent KR-100710526-B1 (KR)
IPC: E02B3/06
Filed: 2005-01-05
Granted: 2007-04-24
Abstract: 본 발명은 해안 사장의 침식제어용 그물 방파제에 관한 것으로, 그 구성은, 사장이 형성된 해안으로부터 바다 쪽으로 해변을 가로질러 소정 간격을 두고 입설되는 적어도 한 쌍 이상의 포스트와, 다공성의 격자구조를 이루는 장방형의 적어도 하나 이상의 메쉬패널과, 상기 한 쌍의 포스트를 각각 관통시켜 각 포스트 상에서 그 길이방향을 따라 상하로 슬라이딩 가능하도록 결합됨과 아울러 상기 메쉬패널이 긴장될 수 있도록 메쉬패널의 양측단부에 각각 고정되는 적어도 한 쌍 이상의 승강슬리브와, 상기 메쉬패널에 결합되어 상기 메쉬패널과 승강슬리브로 진동을 전가시켜주는 진동발생장치부와, 상기 각 포스트의 상단부에 결합되어 상기 승강슬리브를 승강시켜주는 승강구동장치부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 것으로서, 본 발명의 방파제에 의하면, 파도의 출몰에 의한 해안의 침식진행을 지연시킴과 아울러 토사의 퇴적 유도에 의한 해안 사장의 복원이 가능하고, 구조물 설치 후 시일이 경과되어 토사에 매몰된 경우에도 진동 및 승강구동장치부의 결합 후 각부 작동에 의한 리프팅이 가능하여 구조물의 재차 사용 또는 제거 등과 같은 보수 유지상의 편의를 도모할 수 있게 되는 효과가 있다. 
       
     해안, 해안선, (백)사장, 해안침식(Erosion), 방파제, 그물(Snare, Mesh)
Patent KR-101140333-B1 (KR)
IPC: H04L27/32
Filed: 2005-01-07
Granted: 2012-05-03
Abstract: 본 발명은 직교 검출기 및 그것을 이용한 직교 복조기 및 샘플링 직교 복조기에 관한 것으로서 제 1의 고역통과필터(111)에 의해 저주파 성분을 제거한 동상신호와 제 2의 고역통과필터(112)로 저주파 성분을 제거한 직교 신호의 합을 승산기(122)로 생성해 그 출력의 고주파 성분을 저역통과필터(131)로 제거한 신호에 의해 직교 위상 오차의 검출을 가능하게 하여 직교복조기의 동상신호와 직교 신호의 사이 직교 위상 오차를 검출하는 기술을 제공한다.
Patent KR-100609092-B1 (KR)
IPC: B01D39/14
Filed: 2005-01-11
Granted: 2006-08-08
Abstract: 본 발명은 비타민 C 방출 필터에 관한 것으로, 비타민 C 함유 마이크로캡슐이 균일하게 분산된 겔 충진물이 내장되어 있어 비타민 C 성분을 지속적으로 방출하는 비타민 C 방출 필터, 상기 필터가 부착된 가전제품, 특히 공기 청정기를 제공하는 것이다. 
     본 발명에 따른 비타민 C 방출 공기 청정기는 비타민 C 함유 마이크로캡슐이 균일하게 분산된 겔형태의 필터가 부착되어 있어 대기중에 비타민 C를 안정적이며 지속적으로 공급할 수 있다. 이에 따라 비타민 C 방출에 의한 항산화 효과, 살균 효과, 오존 제거 효과 및 탈취 효과를 안정적이며 지속적으로 나타낸다. 
       
     비타민, 필터, 마이크로캡슐, 항산화, 살균
Patent KR-100655543-B1 (KR)
IPC: H04B1/40
Filed: 2005-01-11
Granted: 2006-12-08
Abstract: 본 발명은 ARM9 기반의 이동 통신 단말기에서 실시간으로 동작하는 스테레오 인공 잔향기를 탑재한 이동 통신 단말기에 관한 것이다. 
     본 발명은 ARM9 기반 이동 통신 단말기에서 실시간으로 동작하는 스테레오 인공 잔향기와 스테레오 인공 잔향기의 기능을 온,오프할 수 있는 사용자 인터페이스를 포함하며, 상기 인공 잔향기는 직접음(direct)과 후기 잔향음(late reverberation)을 기반으로 한 4 딜레이 라인(delay line) 2단 구조로 이루어지고, 연산량과 메모리 사용량을 최소화하면서 실시간으로 인공 잔향 처리를 가능하게 하여, 입력 PCM 음악 데이터가 모노 채널이거나 스테레오 채널이거나에 상관없이 스테레오 출력이 이루어지고, 이동 단말기가 모노 스피커만을 가진 경우에는 모노 출력이 이루어지도록 한 인공 잔향 처리 기능을 갖는 이동 통신 단말기를 제공한다. 
       
     휴대폰, 음향처리, 인공 잔향기
Patent KR-100671368-B1 (KR)
IPC: H04N7/24
Filed: 2005-01-28
Granted: 2007-01-19
Abstract: 본 발명은 화상 신호에 대한 리얼타임 처리에 필요하게 되는 메모리 용량을 저감하는 것을 목적으로 한다.  이를 위해, 수평 라인마다 연속한 화상 신호를 수신하는 화상 신호 수신 회로(26)와, 메모리 블록(28)에 유지되어 있는 화상 데이터를 판독하고, 적어도 2 이상의 소정 수의 수평 라인에 걸친 화상 데이터에 대하여 일괄하여 처리를 실시하는 화상 신호 처리 회로(30)와, 적어도 소정 수에 1을 더한 수평 라인분의 화상 데이터를 저장 및 보유할 수 있는 용량의 메모리 단위를 포함하는 메모리 블록(28)과, 화상 신호를 메모리 블록(28)에 화상 데이터로서 저장시키는 메모리 제어 회로(24)를 포함하며, 화상 신호 처리 회로(30)에서 1 수평 라인분의 메모리 단위로 보유되어 있는 화상 데이터에 대한 처리가 종료될 때마다, 메모리 제어 회로(24)는 화상 신호 수신 회로(26)에서 새롭게 수신된 화상 신호를 화상 신호 처리 회로(30)에서 처리된 화상 데이터가 저장되어 있던 메모리 단위로 저장시키는 화상 신호 처리 장치.   
       
     화상 신호 수신 회로, 메모리 제어 회로, JPEG 처리 회로, 카운터, 태그 생성 회로
Patent KR-100698287-B1 (KR)
IPC: H01L41/18
Filed: 2005-01-31
Granted: 2007-03-22
Abstract: 본 발명의 박막벌크음향공진기는, 소정 크기의 에어갭이 식각되어 관통형성된 기판과: 에어갭의 상부에 위치되며, 제1전극, 압전막 및 제2전극이 차례로 적층된 공진부; 및 에어갭과 공진부 사이에 설치되어 에어갭의 형성을 형성시 식각깊이를 제한하여 공진부의 손상을 방지하는 식각 저지층;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
       
     FBAR, 에어갭, 질화알루미늄(AlN), 크롬(Cr), 식각, 공진부
Patent KR-100815040-B1 (KR)
IPC: A61K47/30
Filed: 2005-01-31
Granted: 2008-03-18
Abstract: 본 발명은 생체내에서 이온화되고 수용성이 높아 생체지질막을 통과하지 못하고 생물학적이용률이 10 % 미만인 비스포스포네이트계 약물로부터 선택되는 1 종 이상의 활성물질과 생체적합성 수용성 키토산으로부터 선택되는 1종 이상을 필수 구성 성분으로 하는 약제학적 조성물로서 비스포스포네이트계 약물의 경구흡수를 개선시키는 약제학적 조성물에 관한 것이다.  
       
     비스포스포네이트, 수용성 키토산, 생체이용률
Patent KR-101104277-B1 (KR)
IPC: F28F9/02
Filed: 2005-02-03
Granted: 2012-01-12
Abstract: 본 발명은 열교환기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이산화탄소용 열교환기에서 헤더파이프의 취약부위에 헤더파이프의 내측벽 두께를 증가시킨 살확장부를 형성함으로서 헤더파이프의 강도를 증가하고 내압성을 향상시킨 열교환기에 관한 것이다. 
     이에 본 발명은 상호 나란하게 일정간격 이격되고 내부에 통로(113)가 형성된 한 쌍의 헤더파이프(110)(110a)와, 상기 한 쌍의 헤더파이프(110)(110a)에 양단부가 결합되는 다수의 튜브(130)와, 상기 헤더파이프(110)(110a)의 외측면 일정영역을 감싸도록 접합되는 접합부재(120)를 포함하여 이루어진 열교환기에 있어서, 상기 헤더파이프(110)(110a)의 강도를 증가할 수 있도록 상기 접합부재(120)의 양단부와 대응하는 위치에 헤더파이프(110)(110a)의 내측벽 두께를 증가시킨 살확장부(115)(115a)가 형성되는 것을 특징으로 한다. 
       
     열교환기, 이산화탄소, 헤더파이프, 살확장부, 접합부재
Patent KR-100574892-B1 (KR)
Inventor: KIM JIN WOOK
IPC: G06F1/08
Filed: 2005-02-15
Granted: 2006-04-27
Abstract: 본 발명은 멀티태스킹 OS 프로그램이 운용되는 이동통신 단말기에서 각 태스크 운용 환경에 대응하는 CPU 사용률에 따라 메인 클럭을 가변 제어함으로써 소모전류를 줄일 수 있도록 한 이동통신 단말기에서의 메인 클럭 주파수 가변 제어 장치 및 방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 이동통신 단말기에서 멀티태스킹 OS 프로그램 운용중에 태스크가 생성 또는 삭제되는 경우 해당되는 태스크의 CPU 소모율 정보를 참조하여 전체 CPU 사용률을 새로 산출하고, 이렇게 산출된 전체 CPU 사용률에 따라 CPU의 메인 클럭 주파수를 가변 제어함으로써, 멀티태스킹 OS 환경하에서의 전류 소모를 줄일 수 있게 되며, 또한 이동통신 단말기의 태스크 운영 환경에 따라 CPU의 메인 클럭 주파수를 가변함으로써 배터리 전원으로 동작하는 이동통신 단말기의 수신 대기시간을 증가시키는 효과를 얻을 수 있게 된다. 
       
     이동통신 단말기, 메인 클럭 주파수, 멀티태스킹 OS, CPU 사용률, 클럭 가변 제어, 전류 소모, 태스크
Patent KR-100621501-B1 (KR)
IPC: H01L21/336
Filed: 2005-02-23
Granted: 2006-09-19
Abstract: p-Si TFT LCD의 p-Si를 형성하는 엑시머 레이저 어닐(ELA)에 있어서 재결정화된 p-Si의 결정성이 향상된다. 
     고에너지에 의한 1회째의 ELA에 의해 그래인 크기를 크게 하고, 저에너지에 의한 2회째의 ELA에 의해 그래인 크기의 균일화를 도모한다.  1회째의 ELA에서는, 에너지 초과 영역에 있어서 결정화 불량 영역이 생기지만, 2회째의 ELA에서는 최적으로 에너지를 낮춤으로써 에너지의 초과를 없애고, 결정화 불량 영역이 소실하여 p-Si막의 결정성이 향상된다. 
       
     입자 결정성, 라인 빔, 막질, 재결정화, TFT LCD, ELA