Patent ES-2883198-T3 (ES)
Title: Disposición de pulverización catódica y procedimiento para la distribución optimizada del flujo de energía
Inventor: KRASSNITZER SIEGFRIED
IPC: H01J37/34
Filed: 2016-11-14
Granted: 2021-12-07
Abstract: Disposición de pulverización catódica, comprendiendo la disposición de pulverización catódica un número N de cátodos de pulverización o cátodos parciales Ti con i = 1 a N, y con un número n de generadores de potencia de pulverización catódica Gj con j = 1 a n, donde N es un número entero y N > 2 y n también es un número entero y n >= 2, comprendiendo la disposición de pulverización catódica conmutadores de puente Sbj para la conmutación de la emisión de potencia Pj del respectivo generador de potencia de pulverización catódica Gj, y conmutadores de pulsos Spi para la distribución de las respectivas emisiones de potencia Pj entre los respectivos cátodos de pulverización Ti, estando ensamblada la disposición de pulverización catódica de tal manera que puede funcionar con al menos dos opciones de interconexión diferentes, donde: · en la primera variante de interconexión, las respectivas emisiones de potencia Pj de los n generadores de potencia de pulverización catódica Gj pueden ser interconectadas de manera adecuada por los conmutadores de puente de tal manera que se pone a disposición una potencia de pulverización catódica P total que corresponde a la suma de las emisiones de potencia Pj, es decir**(Ver fórmula)** siendo generada durante el funcionamiento, a través de una generación de secuencia de pulsos por los respectivos conmutadores de pulsos, una secuencia de pulsos de potencia con una potencia de pulso P y un período de secuencia T, siendo distribuidos durante el funcionamiento los pulsos de potencia individuales en el tiempo entre los respectivos cátodos Ti, y siendo alimentados durante el funcionamiento los cátodos de pulverización catódica respectivamente durante un tiempo de pulso ti, y correspondiendo un período T a la suma de los tiempos de pulso, es decir,**(Ver fórmula)** y caracterizada por que · en la segunda variante de interconexión, los cátodos de pulverización están interconectados en al menos dos sub-disposiciones de pulverización catódica A y B separadas, y para el funcionamiento de las sub-disposiciones de pulverización catódica, respectivamente las emisiones de potencia de un número nA de generadores de pulverización catódica y de un número nB de generadores de pulverización catódica están interconectadas de manera adecuada por los conmutadores de puente, de tal forma que se ponen a disposición una primera potencia de pulso**(Ver fórmula)** y una segunda potencia de pulso**(Ver fórmula)** , con nA + nB = n, y durante el funcionamiento, respetivamente a través de generaciones de secuencias de pulsos por los respectivos conmutadores de pulsos se generan respectivamente una primera secuencia de pulsos de potencia con una potencia de pulso PA y un período de secuencia TA y una segunda secuencia de pulsos de potencia con una potencia de pulso PB y un período de secuencia TB, y durante el funcionamiento, los pulsos de potencia individuales son distribuidos en el tiempo entre los cátodos de pulverización de las respectivas sub-disposiciones de pulverización catódica, correspondiendo NA al número de cátodos de pulverización catódica de la primera sub- disposición de pulverización catódica A y correspondiendo NB al número de cátodos de pulverización de la segunda 35 sub-disposición de pulverización catódica B, y siendo NA + NB = N, y correspondiendo el período de secuencia TA a la suma de los tiempos de pulso para los cátodos de pulverización de la primera sub-disposición de pulverización catódica A y correspondiendo el período de secuencia TB a la suma de los tiempos de pulso para los cátodos de pulverización de la segunda sub-disposición de pulverización catódica B, es decir,**(Ver fórmula)** y**(Ver fórmula)**