Patent DE-112016000420-B4 (DE)
Title: Beschleunigungssensor und montierungsanordnung eines beschleunigungssensors
Inventor: SUGIMOTO KIYOMASA
IPC: H01L29/84
Filed: 2016-01-07
Granted: 2023-06-07
Abstract: Beschleunigungssensor umfassend:ein Halbleitersubstrat (14), welches ein Trägersubstrat (11) und eine auf das Trägersubstrat (11) aufgeschichtete Halbleiterschicht (13) umfasst;eine in einer ersten Richtung bewegliche Elektrode (24, 25), welche in der Halbleiterschicht vorgesehen ist und sich in einer Richtung einer Oberflächenrichtung an dem Halbleitersubstrat erstreckt;eine in einer zweiten Richtung bewegliche Elektrode (26, 27), welche in der Halbleiterschicht vorgesehen ist und sich in einer anderen, zu der einen Richtung orthogonalen und zu der Oberflächenrichtung parallelen Richtung erstreckt;eine in der ersten Richtung fixierte Elektrode (32, 42), welche in der Halbleiterschicht vorgesehen ist und angeordnet ist, der in der ersten Richtung beweglichen Elektrode gegenüberzuliegen;eine in der zweiten Richtung fixierte Elektrode (52, 62), welche in der Halbleiterschicht vorgesehen und angeordnet ist, der in der zweiten Richtung beweglichen Elektrode gegenüberzuliegen; undein Trägerelement (21, 22, 23a, 23b, 28), welches in der Halbleiterschicht vorgesehen ist, mit der in der ersten Richtung beweglichen Elektrode und der in der zweiten Richtung beweglichen Elektrode versehen ist und die in der ersten Richtung bewegliche Elektrode und die in der zweiten Richtung bewegliche Elektrode in Abhängigkeit von einer Beschleunigung versetzt,wobei der Beschleunigungssensor ausgestaltet ist, eine Beschleunigung in einer ersten Richtung in der Oberflächenrichtung des Halbleitersubstrats und eine Beschleunigung in einer zweiten Richtung, die orthogonal zu der ersten Richtung und parallel zu der Oberflächenrichtung ist, zu detektieren,wobei:wenn jede Länge eines Abschnitts, wo die in der ersten Richtung bewegliche Elektrode der in der ersten Richtung fixierten Elektrode gegenüberliegt und wo die in der zweiten Richtung bewegliche Elektrode der in der zweiten Richtung fixierten Elektrode gegenüberliegt, L ist, und jeder Abstand zwischen der in der ersten Richtung beweglichen Elektrode und der in der ersten Richtung fixierten Elektrode und zwischen der in der zweiten Richtung beweglichen Elektrode und der in der zweiten Richtung fixierten Elektrode d ist,die in der ersten Richtung bewegliche Elektrode und die in der ersten Richtung fixierte Elektrode so vorgesehen sind, dass ein Winkel, der von einer Erstreckungsrichtung der in der ersten Richtung beweglichen Elektrode und der in der ersten Richtung fixierten Elektrode und der zweiten Richtung gebildet wird, sin-1(d/L)[Grad] ist, und zu einer Zeit, wenn die Beschleunigung in der zweiten Richtung angelegt ist und die in der ersten Richtung bewegliche Elektrode versetzt wird, eine Zunahme/Abnahme bei der Länge des Abschnitts, wo die in der ersten Richtung bewegliche Elektrode der in der ersten Richtung fixierten Elektrode gegenüberliegt, mit einer Zunahme/Abnahme bei dem Abstand zwischen der in der ersten Richtung beweglichen Elektrode und der in der ersten Richtung fixierten Elektrode übereinstimmt, unddie in der zweiten Richtung bewegliche Elektrode und die in der zweiten Richtung fixierte Elektrode so vorgesehen sind, dass ein Winkel, der von einer Erstreckungsrichtung der in der zweiten Richtung beweglichen Elektrode und der in der zweiten Richtung fixierten Elektrode und der ersten Richtung gebildet wird, sin-1(d/L)[Grad] ist, und zu einer Zeit, wenn die Beschleunigung in der ersten Richtung angelegt wird und die in der zweiten Richtung bewegliche Elektrode versetzt wird, eine Zunahme/Abnahme bei der Länge des Abschnitts, wo die in der zweiten Richtung bewegliche Elektrode der in der zweiten Richtung fixierten Elektrode gegenüberliegt, mit einer Zunahme/Abnahme bei dem Abstand zwischen der in der zweiten Richtung beweglichen Elektrode und der in der zweiten Richtung fixierten Elektrode übereinstimmt.