baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102006049368-A1 (DE)
Title: Fastener for fastening measuring sensor to base i.e. measuring stand, has adapter fixing fastener to base and connected with clamping piece, where adapter and clamping piece are arranged one behind other in axial direction of piece
Inventor: BOCK GERHARD
IPC: G01B5/02
Filed: 2006-10-19
Abstract: The fastener has a clamping piece (11) for tight fastening a shaft (2) of a measuring sensor (1), where the shaft is encompassed by a clamping sleeve. A clamping unit (12) is attached to the clamping piece, where a force is exercisable on the clamping piece by using the clamping unit to clamp the shaft. An adapter (13) fixes the fastener to the base. The adapter and the clamping piece are arranged one behind the other in an axial direction (Z) of the clamping piece. The adapter is connected with the clamping piece over a material bar running in the axial direction.
Patent DE-102006051185-A1 (DE)
Title: Anlasser für Maschinen
Inventor: WAKAHARA YASUYUKI
IPC: F02N15/06
Filed: 2006-10-30
Abstract: Es
ist eine Anlassvorrichtung (2) für
eine Maschine (1) offenbart, bei welcher eine Freilaufkupplung (9)
für einen
Anlasser (2) in einem Kraftübertragungsweg
montiert ist, so dass ein Antriebsmoment eines Motors (5) an ein
Zahnrad (3) übertragen
wird, und eine weitere Freilaufkupplung (34) ist für eine Maschine
(1) zwischen einer Kurbelwelle (30) und einem Zahnkranz (4) montiert.
Bei einer solchen Anlassvorrichtung (2) für eine Maschine (1) absorbieren
sowohl der Freilauf (34) für
die Maschine (1) als auch der Freilauf (9) für den Anlasser (2) Fluktuationen
der Umdrehungen bzw. Drehzahl der Maschine (1) während eines Startmodus. Dies
resultiert in der Verringerung der Fluktuationen der auf beide Freilaufkupplungen
(9, 34) wirkenden Belastungen und kann ein von einer solchen Belastungsfluktuation
resultierendes Stoßmoment
minimieren, was eine Miniaturisierung beider Freilaufkupplungen
(9, 34) ermöglicht.
Patent DE-102006051447-A1 (DE)
Title: Verfahren und System zum Generieren einer Benutzeroberfläche
Inventor: LIST STEFFEN
IPC: G06F19/00
Filed: 2006-10-31
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren, ein System, ein Speichermedium und ein Computerprogrammprodukt zum Generieren einer Benutzeroberfläche (BO) für eine medizinische Applikation, die auf einem Magnetresonanz-Tomographen ausgeführt werden soll, wobei nur die Parameter und/oder Parameter-Karten als Steuerelemente (S) bei dem Generieren der Benutzerobefläche (BO) berücksichtigt werden, die zur Steuerung der jeweiligen Applikation relevant sind. Dafür werden die relevanten Steuerelemente (S) erfasst und einzeln oder in Gruppen sortiert nach konfigurierbaren Positionierungskriterien auf einem Bildschirm dargestellt.
Patent DE-102006053377-A1 (DE)
Title: Kautschukmasse und Verfahren zu ihrer Herstellung, Verfahren zur Herstellung von Formteilen aus vulkanisierter Kautschukmasse und rüttelfestes Material
Inventor: NAKANO SADAYUKI
IPC: F02B77/13
Filed: 2006-11-13
Abstract: Kautschukmasse, umfassend 30 bis 95 Gewichtsteile der folgenden Komponente (A), 5 bis 70 Gewichtsteile der Komponente (B), 0,1 bis 15 Gewichtsteile der Komponente (C) und 0,01 bis 15 Gewichtsteile der Komponente (D) und umfassend keinen verstärkenden Füllstoff (wobei die Gesamtmenge der Komponente (A) und der Komponente (B) 100 Gewichtsteile beträgt). DOLLAR A (A) Ethylen-alpha-Olefin-nichtkonjugiertes Dien-Copolymerkautschuk DOLLAR A (B) Natürlicher Kautschuk DOLLAR A (C) Organisches Peroxid DOLLAR A (D) Aromatisches Amin
Patent DE-102006057366-A1 (DE)
Title: Ionizer for discharging e.g. semiconductor wafer, has auxiliary unit with pair of fastening sidewalls that are facing each other, where unit is detachably attached at ionizer base body when projecting edges elastically engage in grooves
Inventor: SATO TOSHIO
IPC: H05F3/04
Filed: 2006-12-04
Abstract: The ionizer has an ionizer base body (2) including a housing (5) with a lower surface (5a) and an electrode that produces ions. An auxiliary unit (3A) is placed in the base body by engaging in grooves (15). A wall area of groove opening side of a lower side groove wall of the grooves is slanted outwardly or inwardly. The unit has a pair of fastening sidewalls that are facing each other, where projecting edges are formed for engaging at front ends of the sidewalls. The unit is detachably attached at the base body when the edges elastically engage in the grooves.
Patent DE-102006057492-A1 (DE)
Title: Adapter, Verfahren zur Datenübertragung zwischen einer Zahnbürste und einem Endgerät sowie elektrische Zahnbürste
Inventor: NEYER CHRISTIAN
IPC: A61C17/34
Filed: 2006-12-06
Abstract: Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Adapter zur Datenübertragung
zwischen einer Zahnbürste
und einem externen Endgerät,
beispielsweise einem Datenverarbeitungs- und/oder Anzeigegerät, mit einer
Datenübertragungseinrichtung,
die eine Zahnbürsten-Schnittstelle
und eine Endgeräte-Schnittstelle
aufweist. Die Erfindung betrifft ferner eine elektrische Zahnbürste mit
einem Handteil, auf das eine Aufsatzbürste aufsetzbar und/oder an
das ein Applikationsstoffbehälter
anschließbar
ist, sowie mit einer Datenübertragungseinrichtung,
die eine Schnittstelle zur Datenübertragung
zwischen dem Handteil und der Aufsatzbürste und/oder dem Applikationsstoffbehälter aufweist.
Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Datenübertragung
zwischen einer Zahnbürste
und einem externen Endgerät.
Es wird vorgeschlagen, für
die Datenkommunikation zwischen dem externen Endgerät und der
Zahnbürste
entweder dieselbe Schnittstelle zu nutzen, die zur Datenübertragung
zwischen dem Zahnbürstenhandteil
und der Aufsteckbürste
bzw. dem Applikationsstoffbehälter
der Zahnbürste
vorgesehen ist oder eine wireless-USB-Schnittstelle.
Patent DE-102006060493-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Ausführung einer Bildrekonstruktion unter Verwendung von Hybrid-Computertomographie-Detektoren
Inventor: MAN BRUNO KRISTIAAN BERNARD DE
IPC: A61B19/00
Filed: 2006-12-19
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Akquirieren eines Bilddatensatzes der energieintegrierende (EI) und energiediskriminierende (ED)-Messdaten enthält, geschaffen. Das Verfahren beinhaltet das Erhalten (71) von EI-Messdaten und ED-Messdaten während eines Akquisitionszyklus. Das Verfahren beinhaltet außerdem das Kombinieren (72) der EI-Messdaten mit den ED-Messdaten vor, während oder nach der Rekonstruktion. Schließlich beinhaltet das Verfahren das Ausführen einer Rekonstruktion auf den ursprünglichen oder den kombinierten Datensätzen um ein oder mehrere EI-Bilder und/oder ein oder mehrere ED-Komponentenbilder zu erhalten.
Patent DE-102006061026-A1 (DE)
Title: CMOS-Bildsensor und Verfahren zu dessen Herstellung
Inventor: LIM KEUN HYUK
IPC: H01L21/339
Filed: 2006-12-22
Abstract: Es werden ein CMOS-Bildsensor und ein Verfahren zu dessen Herstellung offenbart. Der CMOS-Bildsensor enthält ein Halbleiter-Substrat, das einen aktiven Bereich und einen Isolationsbereich enthält; einen Fotodioden-Bereich und einen Transistor-Bereich, die auf dem aktiven Bereich ausgebildet sind; eine Gate-Elektrode, die auf dem Transistor-Bereich ausgebildet ist und erste und zweite Höhen hat; und einen Diffusionsbereich, der auf dem Fotodioden-Bereich und dem Transistor-Bereich durch Implantieren von Dotierstoffen ausgebildet ist.
Patent DE-102007001199-A1 (DE)
Title: Measurement device e.g. for measuring wheel overhang of wheel cover of motor bike, has attachment of measuring device on wheel hub of motor vehicle wheel
Inventor: NICKL MICHAEL
IPC: G01B5/14
Filed: 2007-01-05
Abstract: The measuring device (1) has a mounting body (3) for the attachment of a measuring device on a wheel hub (7) of a motor vehicle wheel (2). The mounting body (3) provides a linear variable displacement movement of the measuring device in the direction of the wheel (4). Articulated with a mounting body (3) and connected to the radial axle (4) is a protruding arm (5), and an adjusting device (6) arranged to the perpendicular alignment of the arm. A measurement leg (8) is provided being a sliding distance of the measurement leg to the axle.
Patent DE-102007007992-A1 (DE)
Title: Self propelled and automatically controlled tool for processing, treatment, cleaning and maintenance of floor spaces like turf, sport thoroughfare, company thoroughfare and public thoroughfare, comprises chassis
Inventor: BLANK JUERGEN
IPC: A01D34/00
Filed: 2007-02-17
Abstract: The self propelled and automatically controlled tool comprises chassis, which is a dimensionally stable flat base late (1), where rotors are supported or arranged on the base plate around a vertical axis in a rotating and driving manner by a wheel carrier. The wheel carriers have mountings, formed in the base plate as hollow shafts, in which a rotor drive shaft (11) is placed. The lower ends of the rotor drive shaft have a pinion (7).
Patent DE-102007008701-A1 (DE)
Title: Method e.g. for protection of person present in dangerous area, involves securing dangerously located person, with each person at risk having accessible area and from danger zone person is required to close closing area
Inventor: HINKELMANN LUTZ
IPC: F16P3/08
Filed: 2007-02-20
Abstract: The method involves securing a dangerously located person, with each person at risk having an accessible area and from the danger zone a person is required to close the closing area. The danger area has an additional closing area. An independent claim is included for a device.
Patent DE-102007008966-A1 (DE)
Title: Injection head for injection drilling anchors, has sink head, inclusive of outer part having two different supply connections, and inner part with rear connection for drilling drive and front connection for anchoring ring
Inventor: DOEPP FRIEDRICH ARMIN
IPC: E02D5/74
Filed: 2007-02-21
Abstract: A sink head (2) has an outer part (3) and a swiveling inner part (5). The outer part has two different supply connections (6,7). The inner part has a rear connection for a drilling drive or hammer, and a front connection for threading into an anchoring ring (22). The front connection has a line connection (39) linked to the supply connections via supply lines (26,27), and an outlet (40) close to the line connection. An independent claim is also included for a method for installation of an injection drilling anchor.
Patent DE-102007012810-A1 (DE)
Title: Upper transportation shaft for e.g. solar cell substrate conveyor, has transportation rollers floatingly mounted on shaft and comprising free-wheel clutch for shaft, where inner diameter of rollers is larger than outer diameter of shaft
Inventor: ANDRES MICHAEL
IPC: B65G13/02
Filed: 2007-03-16
Abstract: The shaft (4) has transportation rollers (30) floatingly mounted on the shaft, where the shaft is arranged above a transportation direction. The transportation rollers have a free-wheel clutch for the shaft, where inner diameter of the transportation rollers is larger than outer diameter of the shaft. The transportation rollers are mounted on the shaft in a radially and/or axially movable manner. A radial and/or axial limiting element is located for limiting radial and/or axial movement of the rollers to the shaft. The rollers are partially made of elastic material.
Patent DE-102007012894-A1 (DE)
Title: Use of a welding filler material for metal inert gas welding of vehicle components
Inventor: HIRTREITER OTTO
IPC: B23K35/28
Filed: 2007-03-17
Abstract: Use of a welding filler material for metal inert gas welding of vehicle components is new. The filler material is used for welding a first component made from a first aluminum alloy (AlMgSi), a second component made from a second aluminum alloy (AlMg4.5Mn0.4) and a third component made from a third aluminum alloy (AlSi10 Mg(Fe)). An independent claim is also included for a component for a vehicle.
Patent DE-102007014086-A1 (DE)
Title: Subcutaneously implantable port catheter has support element(s) for septum mounted on port housing; support element is stiffer than septum and has central supporting point(s) for supporting septum above central region of port chamber
Inventor: KOUDAIMI KAMAL
IPC: A61M39/02
Filed: 2007-03-21
Abstract: The catheter (1) has a port housing (3) with a port chamber open on at least one side and at least one septum (4) that can be perforated by cannulas, whereby the open side of the port chamber is connected to the septum and the septum is held on the port housing. It has at least one supporting element (7) for the septum mounted on the port housing. The septum is supported on the support element, which is stiffer than the septum and has at least one central supporting point for supporting the septum above a central region of the port chamber (2).
Patent DE-102007014464-A1 (DE)
Title: Mechanical absorption device for installation between primary or secondary structure and overhead compartment of aeroplane, has drawbar movably supported in guide rails that stay in mechanically fixed connection with wall
Inventor: PEIN MARC
IPC: B64D11/00
Filed: 2007-03-22
Abstract: The device has an energy absorber plate implemented slidably by a pin (19) of a suspension part through a relative movement of the absorber plate and the suspension part. The suspension part is formed as a drawbar (12) that exhibits a fastening element (13) in a distance, which is preset by the pin, for introducing a force that introduces the relative movement. The drawbar is movably supported in two parallel arranged guide rails (16, 17) that stay in mechanically fixed connection with a wall (11). The plate is made of carbon fiber-reinforced or glass-fiber reinforced plastic materials.
Patent DE-102007017059-A1 (DE)
Title: Fassung für elektrische Teile
Inventor: KANESASHI HOKUTO
IPC: H01R33/76
Filed: 2007-04-11
Abstract: Ein Sockel für ein elektrisches Bauteil hat einen Sockelkörper 14 und einen Kontaktstift 15. Der Kontaktstift 15 hat einen befestigten Abschnitt 15e, der an einem Durchgangsloch 14d des Sockelkörpers 14 befestigt ist, plattenartige elastische Stücke 15b, die sich von dem befestigten Abschnitt 15e nach oben erstrecken, und einen Kontaktabschnitt 15c, um das elektrische Bauteil zu kontaktieren. Das elastische Stück 15b ist entlang einer Plattenfläche des elastischen Stücks elastisch deformierbar, um zu bewirken, dass der Kontaktabschnitt mit einem Anschluss des elektrischen Bauteils kontaktiert und von einem Anschluss des elektrischen Bauteils getrennt wird. Ein ergreifender Abschnitt 15f ist zwischen dem befestigten Abschnitt 15e und dem Kontaktabschnitt 15c zum Ergreifen eines ergriffenen Abschnitts 14h gebildet, der an einer inneren Wand des Durchgangslochs 14d gebildet ist. Wenn der ergreifende Abschnitt 15f den ergriffenen Abschnitt 14h ergrieft, wird eine Vertikalbewegung des Kontaktstifts 15 eingeschränkt und es werden auch die elastischen Stücke 15b mit einer Vorspannung in Richtung eines Schließens des Kontaktabschnitts 15c des elastischen Stücks 15b beaufschlagt.
Patent DE-102007018076-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Auswählen eines Listeneintrags und Bedieneinrichtung hierfür
Inventor: DEHMANN RAINER
IPC: B60R16/02
Filed: 2007-04-17
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Auswählen eines Listeneintrags aus einer Liste mit mehreren Listeneinträgen mittels eines Bedienelements (15) und einer Anzeigeeinrichtung (2) zum Anzeigen von den Betrieb des Fahrzeugs betreffenden Informationen, wobei die Listeneinträge in jeweils Zusatzinformation zugeordnet sind. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird durch eine Betätigung des Bedienelements (15) ein bestimmter Listeneintrag in einen Zustand gebracht, in dem er gegenüber zumindest einnem anderen Listeneintrag hervorgehoben dargestellt wird. Ferner wird der hervorgehobene Listeneintrag automatisch ausgewählt, wenn das Bedienelement (15) für ein definiertes Zeitintervall nicht betätigt wurde. Ferner betrifft die Erfindung eine Bedieneinrichtung in einem Fahrzeug, umfassend ein Bedienelement (15) zum Auswählen eines Listeneintrags aus einer Liste mit mehreren Listeneinträgen und eine Anzeigeeinrichtung (2) zum Anzeigen von den Betrieb des Fahrzeugs betreffenden Informationen, wobei die Anzeigeeinrichtung (2) eine Steuereinrichtung (4) umfasst, welche mit dem Bedienelement datentechnisch gekoppelt ist und welche die Anzeige steuert. Die erfindungsgemäße Bedieneinrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (4) so ausgebildet ist, dass bei einer Betätigung des Bedienelements (15) ein bestimmter Listeneintrag in einen Zustand bringbar ist, in dem er gegenüber zumindest einem anderen Listeneintrag hervorgehoben dargestellt wird, und ...
Patent DE-102007020217-A1 (DE)
Title: Bearing for rotary printing machine cylinder, has gap provided between first bearing ring and boring and extending over shift rolling zone
Inventor: EBERT REINHARD
IPC: B41F13/26
Filed: 2007-04-28
Abstract: A bearing (01) for cylinder (02) has at least a first bearing ring (05) arranged in a boring (03) of a side frame (04), as well as at least a second bearing ring (07) arranged rotatably mounted relative to the first bearing ring (05) in which roller elements (09) are arranged between the bearing rings. Between the first bearing ring (05) and the boring (03) is an gap (11) extending over the shift rolling zone (A) in an axial direction, which allows an elastic widening of the first bearing ring (05) radially from internally outwards.
Patent DE-102007021067-A1 (DE)
Title: Door frame arrangement for use at e.g. vision wall, has frame profile made of sheet metal, and partial section bent at rear end of fastening element and connected with frame profile
IPC: E06B1/18
Filed: 2007-05-04
Abstract: The arrangement (1) has a frame profile (2) made of sheet metal and a fastening element (3) fastening the frame profile against a jamb (6) of a wall opening. The frame profile has a mirror section (8), and a jamb section (9) runs parallel to the jamb of the wall opening in an assembled condition of the arrangement at right-angle and limits a short end section. A front part of the fastening element form-fittingly lies at the mirror section and the short end section. A partial section is bent at the rear end of the fastening element and connected with the frame profile.
Patent DE-102007021777-A1 (DE)
Title: Flashing element with side regions and a base for concrete components is formed in one piece from a flat material having profiles
Inventor: PENZKOFER LUDWIG
IPC: E04B1/41
Filed: 2007-05-10
Abstract: Flashing element with side regions and a base is formed in one piece from a flat material (1) having profiles (2, 3). The flat material is bent across or perpendicular to the profiles. Preferred Features: The profiles are pressed flat at the transitions between the side regions and the base. The profiles have profile sections with a U or dovetail shape. The side regions include an angle with each other of more than 90[deg] C.
Patent DE-102007026235-A1 (DE)
Title: Vorrichtung zur sterilen Umhüllung eines sterilisationsempfindlichen Bedienteils
Inventor: IRION KLAUS M
IPC: A61B19/02
Filed: 2007-05-31
Abstract: Eine Vorrichtung zur sterilen Umhüllung eines sterilisationsempfindlichen Bedienteils, das für einen chirurgischen Eingriff mit einem medizinischen Instrument verbindbar ist, mit einem Handhabungselement (12), das an einem distalen Ende einen zusammengerafften sterilen Schlauch (14) aufweist, wobei das Handhabungselement (12) ferner eine Öffnung aufweist, durch die von proximal nach distal das sterilisationsempfindliche Bedienteil (20) in den sterilen Schlauch (14) derart einführbar ist, dass dabei das sterilisationsempfindliche Bedienteil (20) mit dem Schlauch (14) umhüllbar ist. Es wird vorgeschlagen, dass ein medizinisches Instrument (16) an seinem proximalen Endbereich (34) mit einem distalen Ende (32) des Schlauchs (14) fest verbunden ist und dass eine Übergabestation (18), in der das sterilisationsempfindliche Bedienteil (20) aufgenommen ist, vorhanden ist, wobei das Handhabungselement (12) mit der Übergabestation (18) derart verbindbar ist, dass das medizinische Instrument (16) und das sterilisationsempfindliche Bedienteil (20) miteinander verbindbar sind und dass dieser Zusammenbau von der Übergabestation abziehbar ist, wobei der geraffte Schlauch (14) über das sterilisationsempfindliche Bedienteil ziehbar ist (Fig. 1).
Patent DE-102007027184-A1 (DE)
Title: Magnetventil
Inventor: SCHARF PHILIPP
IPC: F16K31/06
Filed: 2007-06-13
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Magnetventil mit einer Magnetbaugruppe und einer Ventilpatrone (5), die einen Ventileinsatz (22), ein innerhalb des Ventileinsatzes (22) beweglich geführtes Schließelement (7) und einen Ventilkörper (10) umfasst, wobei zwischen einem Fluideinlass (27) und einem Fluidauslass (26) ein Hauptventil angeordnet ist, das ein mit dem Schließelement (7) verbundenes Hauptdichtelement (7.1) und einen im Ventilkörper (10) angeordneten Hauptventilsitz (12) aufeist, wobei eine von der Magnetbaugruppe erzeugte Magnetkraft das Schließelement (7) in Richtung Ventilkörper (10) bewegt, wodurch das Hauptdichtelement (7.1) dichtend in den Hauptventilsitz (12) eintaucht, und wobei in einem Bypass zum Hauptventil konzentrisch zur Hauptventilachse (1.1) ein Rückschlagventil (25) angeordnet ist, das ein Dichtelement (11) und einen Ventilsitz aufweist. Erfindungsgemäß ist der Ventilkörper (10) als Hülse ausgeführt, in welcher das Dichtelement (11) des Rückschlagventils (25) axial beweglich geführt ist, wobei der Hauptventilsitz (12) mit einer Durchgangsöffnung an einem haubenförmigen Ende der Ventilkörperhülse (10) angeordnet ist und wobei das Dichtelement (11) des Rückschlagventils dichtend mit dem Ventilsitz zusammenwirkt, der durch einen Rand (20) der an diesem Ende offenen Ventilkörperhülse (10) gebildet ist.
Patent DE-102007028677-A1 (DE)
Title: Sicherheitsvorrichtung für ein automatisches Selbstschutzsystem
Inventor: REGENSBURGER MARTIN
IPC: G01S13/86
Filed: 2007-06-21
Abstract: Es wird eine Sicherheitsvorrichtung (10) für ein automatisches Selbstschutzsystem mit einer Radar-Empfangseinrichtung (12) beschrieben, die über eine Radar-Signalverarbeitungseinrichtung (14) mit einem abstandswirksamen Schutzsystem (AWiSS) (16) verbunden ist, die mit einer Zünd- und Sicherungseinrichtung (18) verbunden ist. Zwischen der Radar-Empfangseinrichtung (12) und der Zünd- und Sicherungseinrichtung (18) ist eine Radar-Doppelsignale auswertende Sicherheitsschaltung (20) zu diesen parallel geschaltet, wobei der Ausgang (22) der Sicherheitsschaltung (20) und der Ausgang (24) des AWiSS (16) mit den Eingängen (26, 28) einer UND-Verknüpfung (30) zusammengeschaltet sind, deren Ausgang (32) an die Zünd- und Sicherungseinrichtung (18) angeschlossen ist.
Patent DE-102007031371-A1 (DE)
Title: Rotating brushes for floor cleaner especially vacuum cleaner has two dissimilar brushes with unique cassette fitting
Inventor: EHRING INGO
IPC: A46B13/02
Filed: 2007-07-05
Abstract: A pair of rotating brushes for a floor cleaner, e.g. a vacuum cleaner, has dissimilar coupling collars (20) which locate into fittings inside cassettes. One brush fits either mounting while the other brush only fits one mounting. This ensures correct fitting for different types of brushes, e.g. dry brushing and shampoo brushing. The brush bristles are arranged in a spiral pattern to match the brush rotation. The coupling collars have locating tags to ensure correct fitting.
Patent DE-102007032385-A1 (DE)
Title: Semiconductor wafer cleaning method for single wafer cleaning system, involves rinsing semiconductor wafer with water containing hydrochloric acid and with water in cleaning sequence implemented in same cleaning module
Inventor: LANZ REINHOLD
IPC: H01L21/302
Filed: 2007-07-11
Abstract: The method involves cleaning a semiconductor wafer in cleaning modules and drying the wafer in a drying module. The semiconductor wafer is rinsed with water containing hydrochloric acid and separately with water in a cleaning sequence. The cleaning sequence is implemented in the same cleaning module. The cleaning sequence is executed in one of the cleaning module, which is formed as wheel cleaners and a spray cleaner. The wafer is dried immediately after the cleaning sequence in the drying module.