baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100257319-B1 (KR)
Title: Fused cell line secreting monoclonal antibodies to antigenic proteins of ipnv and preparation method thereof
Inventor: JUNG KA-JIN
IPC: C12N5/20
Filed: 1998-03-17
Granted: 2000-05-15
Abstract: PURPOSE: A fusion cell line producing a monoclonal antibody that specifically recognizes an antigen protein of fish infectious pancreatic necrosis virus (IPNV) and a producing method thereof are provided, thereby the infection of IPNV into host cells can be inhibited regardless the type of serum. CONSTITUTION: The fusion cell line IP324 (KCTC 0300BP) produces a monoclonal antibody which specifically recognizes the antigen protein VP3 of infectious pancreatic necrosis virus (IPNV). The method for producing the fusion cell line IP324 (KCTC 0300BP) comprises the steps of: injecting the purified antigen protein VP3 of infectious pancreatic necrosis virus (IPNV) into a mouse; separating the spleen of the immunized mouse and centrifuging it to collect B cells of the mouse; fusing the B cells with Sp2/0-Ag14 cell line in the presence of polyethyleneglycol; and incubating the fusion cells in HAT medium to select the fusion cell line that produces monoclonal antibody specifically recognizing an antigen protein of IPNV.
Patent KR-100316668-B1 (KR)
Title: 폐기물처리설비에있어서의용융로의운전방법및장치
Filed: 1998-03-25
Granted: 2002-02-28
Abstract: 보조연료의 공급을 불필요 또는 소량화하면서 열분해로에서 용융로내로 도입된 열분해가스를 확실하게 착화시키기고, 회분용융에 필요한 열량을 확보한다. 
     열분해로(10)와 용융로(12)를 구비한 폐기물 처리설비에 있어서의 상기 용융로(12)의 운전방법 및 장치. 용융로(12)에 플라스마 토치(46)를 설치한다. 이 플라스마 토치(46)에서 불출되는 플라스마에 의해 열분해로(10)에서 용융로(12)에 보내지는 열분해가스중의 가연성분이나 숯을 착화시켜, 그 연소에 의해 발생하는 열과 상기 플라스마 자체가 갖는 열로 가스중의 회분을 용해시킨다.
Patent KR-100258893-B1 (KR)
Title: Numerical controller performance method with unified controller
Inventor: JANG HYEON-SANG
IPC: B23Q15/00
Filed: 1998-04-01
Granted: 2000-06-15
Abstract: PURPOSE: A performance method of a numerical controller is provided to design tasks as thread individually under a real time operating system, and to perform with a single CPU(Central Processing Unit) to cut down costs. CONSTITUTION: The interface is performed between a man and a machine by displaying the operating state of the machine and supporting the operation of a user. The translation of program is performed with inputting the data in a basis step. A trajectory of actual movement is generated with inputting the data from the preceding step in a servocontrol step. In a position control step, the operation is controlled with inputting the data from the servocontrol step. Logical control is performed with inputting the input and output data from the initial step and the machine. The cost of the entire system is reduced with individual thread by multi-tasking under the real time operating system.
Patent KR-100284157-B1 (KR)
Title: 자동 변속장치 및 그를 채용한 드릴링머쉰
Filed: 1998-04-23
Granted: 2001-03-02
Abstract: 본 발명은 자동변속장치 및 그를 채용한 드릴링머쉰에 관한 것이다. 자동변속장치는, 회전 구동되는 원동축과, 원동축을 따라 움직이면서 그 원동축의 회전수를 변속하는 원통형상의 제1변속부와, 제1변속부를 슬라이딩 가능하게 수납하며 종동축을 가지는 제2변속부와, 제1변속부 또는 제2변속부중 어느 하나에 대각선 방향으로 형성되는 적어도 하나 이상의 가이드장공과 제1변속부 또는 제2변속부의 나머지에 마련되며 가이드장공에 슬라이딩 가능하게 끼워지는 돌기로 구성되는 변속연결부와, 제1변속부를 제2변속부 내부에서 종동축에서 멀어지는 방향으로 탄성 바이어스시키는 스프링을 포함한다. 드릴링머쉰은, 모터와,  모터에 의해 회전 구동되는 원동축과, 상기 원동축을 따라 움직이면서 그 원동축의 회전수를 변속하는 원통형상의 제1변속부와, 제1변속부를 슬라이딩 가능하게 수납하며 종동축을 가지는 제2변속부와, 제1변속부 또는 제2변속부중 하나에 대각선 방향으로 형성되는 적어도 하나의 가이드장공과 제1변속부 또는 제2변속부의 나머지에 마련되며  가이드장공에 슬라이딩 가능하게 끼워지는 돌기로 구성되는 변속연결부와, 제1변속부를 제2변속부 내부에서 종동축에서 멀어지는 방향으로 탄성 바이어스시키는 스프링과, 종동축과 결합되며 드릴이 장착되는 장착부를 포함한다.
Patent KR-100280749-B1 (KR)
Title: 공기조화기의 실외기 커버
IPC: F24F13/00
Filed: 1998-06-20
Granted: 2001-02-01
Abstract: 공기조화기의 실외기 커버를 개시한다. 개시된 본 발명은, 분리형 공기조화기의 실외기와, 상기 실외기에 대해 선택적으로 씌우거나 벗겨내는 커버를 갖는 공기조화기의 실외기 커버에 있어서, 피 고정체인 상기 실외기에 대해 일체로 장착된 수납주머니와, 상기 수납주머니에 부착되며 실외기의 미사용시에는 상기 수납주머니로부터 전개되어 상기 실외기에 대해 씌워지고, 상기 실외기를 사용할 때에는 상기 수납주머니의 내측으로 접혀서 수납되는 커버부재로 구비된다. 
     따라서, 분리형 공기조화기를 사용하지 않을때에는 실외기에 대해 커버가 견고히 씌워진 상태에서 보관하고, 공기조화기를 사용할 때에는 실외기로부터 분리된 커버를 실외기의 적당한 곳에 보관한다.
Patent KR-100299943-B1 (KR)
Title: 액압을이용한단결정인고트절단방법및그장치
IPC: H01L21/304
Filed: 1998-06-30
Granted: 2001-11-30
Abstract: 본 발명은 세라믹 등 반도체 재료로 사용되는 단결정 인고트를 얇은 디스크형태로 절단하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 인고트(10)에 미리 소정깊이의 노치부(10a)를 원주방향으로 형성시킨 다음 그 노치부(10a)에 유체의 압력이나 진동을 가하여 그 인고트(10)를 얇은 판상으로 절단하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 
     본 발명에 따르면 압력용기(20)내에서 인고트(10) 외주면전체가 유체의 압력을 받지만, 이미 결정분리가 발생한 노치부(10a)에 응력이 집중되어 노치부(10a)를 따라 결정방향으로 인고트(10)가 절단되게 되므로, 재료의 손실없이 절단할 수 있고, 절단에 소음이 발생하지 않는다. 또한 본 발명은 결정면을 따라 절단되므로 절단면이 평탄하여 연마와 같은 후공정이 필요하지 않는다.
Patent KR-100274923-B1 (KR)
Inventor: SATO HISANORI
IPC: H01L21/8242
Filed: 1998-07-04
Granted: 2000-12-15
Abstract: 본 발명에 따르면, 레이아웃의 자유도가 높은 DRAM 내장 논리 반도체 집적 회로 장치를 얻을 수 있다. 
     복수의 메모리 셀(MC), 복수의 워드선(WL), 복수의 비트선쌍(BL, /BL), 복수의 센스 앰프(SA-N, SA-P), 및 복수의 게이트 수단(TG)을 갖는 메모리 셀 어레이(6)가 반도체 기판(1)의 DRAM 형성 영역(5)에 형성된다.  메모리 셀(MC)을 리프레쉬할 때, 복수의 워드선(WL)으로부터 소정의 워드선(WL)을 선택하기 위한 리프레쉬시 워드선 선택 신호를 출력하는 리프레쉬 카운터(10)가 반도체 기판(1)의 논리 형성 영역(4)에 형성된다.  입출력선(7a∼7d)에 의해 전달되는 데이터에 따른 데이터를 송수신하기 위한 입출력 버퍼(14)가 반도체 기판(1)의 논리 형성 영역(4)에 형성된다.  인버터 회로, AND 회로, OR 회로, NAND 회로, NOR 회로, 및 플립플롭 회로 등의 논리 회로가 반도체 기판(1)의 논리 형성 영역(4)에 형성된다.
Patent KR-100516199-B1 (KR)
Title: 교차로에 원할한 통행을 제공하는 교통안내 구조 및 그에 따른교통정리 방법
IPC: E01C1/00
Filed: 1998-07-10
Granted: 2005-11-25
Abstract: 본 발명은 교차로에 원할한 교통을 제공하기 위한 교통안내 구조와 상기 교통안내 구조로 교통을 제어하는 방법으로, 상기 구조는 특히, 상기 교차로를 가로지르도록 메인 로드(main road) 및 상기 메인 로드와 관련한 하나 또는 그 이상의 브랜취 로드(branch road)에 평행하게 뻗어있는 고가다리 및/또는 지하터널을 포함하여 교차로에 교통체증을 막도록 하는 것이다. 메인 로드와 브랜취 로드에서 진행하는 차량은 교차로에서 막히지 않고 직진할 수 있다. 메인 로드와 브랜취 로드에서 진행하는 차량은 직진하는 차량과 간섭됨을 피하고 상기 교차로에서 발생하는 교통체증을 피하기 위해 고가다리 하부에 있는 터널 또는 지하터널 상부에 있는 선회지대를 이용함으로 각 측으로 회전할 수 있다. 교차로에 있는 상기 교통안내 구조는 특별한 토지를 필요로 하지 않고 교차로 주위 건물에 의하여 영향을 받지 않으며 원할한 교통을 제공하기 위하여 다른 지형과 공간에 관하여 적절할 수 있다.
Patent KR-100347897-B1 (KR)
Title: 무선통신에서의에러검출방법과에러검출장치
IPC: H04L1/00
Filed: 1998-07-15
Granted: 2002-10-12
Abstract: 본 발명은 무선 송수신시 외부에서 발생된 노이즈(Noise)에 의해 무선 송수신 데이터가 왜곡되었는 지를 검출하기 위한 무선 통신에서의 에러검출방법과 그 에러검출 수신 및 송신방법(A method of error detction and the transmitting & receiving method of error detction for wireless communication)에 관한 것으로서, 
     본 발명은 일반적으로 동작코드와 식별코드로 이루어지는 무선송수신 데이터에 상기 동작코드에 따라 일정 규칙성을 갖고 가변되는 에러코드를 추가하여 상기 무선송수신 데이터를 비롯한 동작코드가 외부의 노이즈에 의해 왜곡이 발생되었는 지를 판단하게 되므로 시스템이 오동작되는 것을 방지하고, 종래에 동작코드와 식별코드에 에러코드가 포함된 무선송수신 데이터에서 상기 에러코드는 상기 동작코드의 왜곡 여부는 판단하기 어려웠을 뿐만 아니라 상기 에러코드 자체에 노이즈가 발생되어 에러검출에 신뢰성이 저하되던 것과는 다르게 동일 비트 수의 에러코드로 상기 무선송신 데이터를 비롯한 동작코드의 왜곡 여부를 직접적으로 판별할 수 있음은 물론이고 에러검출에 신뢰성이 향상될 수 있는 효과를 제공하게 된다.
Patent KR-100278484-B1 (KR)
Title: 다이본딩장치
IPC: H01L21/52
Filed: 1998-07-21
Granted: 2001-01-15
Abstract: (과제) 
     다이본딩장치에서 다이본딩을 할 때에 접합제를 융해할 경우 접합제 표면에 산화막이 발생하는 것을 방지한다. 
     (해결수단) 
     불활성가스의 분위기로 둘러싸인 워크 탑재대 (6) 상에, 2 개로 분할됨과 동시에 분할되어 이루어지는 개구부 (12b) 를 최대의 반도체 패키지 (33) 가 들어갈 수 있는 크기로 열거나 또는 본딩헤드 (7) 가 들어갈 수 있는 정도의 작은 개구부 (12a) 로 하고 개구부 (12a) 의 내벽으로부터 불활성가스의 분출에 의해 2 층 이상의 에어커튼 (air curtain) 을 형성하는 1 쌍의 가스분출헤드 (1a, 1b) 를 설치하여, 공간부 (11) 내의 불활성가스 분위기가 확보되므로 산소농도를 낮게 유지하여 산화막의 발생을 방지하고 있다.
Patent KR-100300183-B1 (KR)
Title: 자기기록매체
IPC: G11B5/84
Filed: 1998-07-25
Granted: 2001-11-05
Abstract: 본 발명은 베이스 필름; 및 상기 베이스 필름의 일면에 형성되어 있으며 자성체, 결합제 및 첨가제를 포함하는 자성층이 구비된 자기기록매체에 있어서, 상기 자성층이 산화구리 또는 산화주석과 같은 입자상의 광흡수제를 더 포함하는 자기기록매체에 관한 것이다. 본 발명에 따른 자기기록매체는 자성층의 박막 도포시에도 광투과 과다로 인한 오동작이 발생할 염려가 없을 뿐 아니라 전자변환특성도 좋아진다. 또한, 광흡수제로서 첨가되는 산화구리 및 산화주석이 입자상 물질이며 대전방지특성도 가지는 물질이기 때문에 필름의 주행성이 좋아질 뿐 아니라, 자성층의 반대면에 대전방지층을 백코팅(back coating)할 필요가 없다. 또한, 광흡수제를 첨가하는 대신 착색제인 카본블랙이나 연마제인 알루미나 및/또는 산화철을 과다하게 사용하지 않아도 더 양호한 특성을 갖는 자기기록필름을 얻을 수 있기 때문에 생산성 향상 및 원가절감면에서도 효과적이다.
Patent KR-100575116-B1 (KR)
IPC: H04N11/04
Filed: 1998-07-31
Granted: 2006-10-19
Abstract: 본 발명은 제 1 프레임과 제 2 프레임간에서 움직임 추정을 하기 위하여 일련의 인터레이스된 프레임들을 포함하는 비디오 화상 시퀀스를 전처리하는 방법에 관한 것으로, 시간 필터링(16, 17)이 적어도 두 개의 입력 프레임들에 대하여 실행되는 상기 움직임 추정기에 의해 사용되는 상기 두 개 프레임들 각각을 산출하는 것을 특징으로 한다.    
     적용되는 장치들은 텔레비젼 표준 규격에 따른 비디오 화상 압축이나 비디오 화상 변환 분야에서의 움직임 추정기에 관한 것이다.
Patent KR-100267210-B1 (KR)
Inventor: NEZU MIKIO
IPC: B42F1/02
Filed: 1998-08-25
Granted: 2000-10-16
Abstract: (과제) 최소한의 부품수로 구성하고, 경량화와 비용의 절감화를 가능하게 한 파일 스토퍼를 실현한다. 
     (해결수단)  서류(A)등의 단부를 협지부에 끼워 유지하는 파일 스토퍼(1)에 있어서, 단면 대략 '工'형상의 본체부(10) 및 스토퍼부(20)를 일체로 형성한 수지성형품으로 이루어지며, 본체부(10)는, '工'형상의 상하측 편부(11,12)중 하측 편부(12)를 고정측에, 상측 편부(11)를 '工'형상의 수직편부(13)를 지지점으로 하는 요동측에 설정하고, 또 상하측 편부(11,12)와 수직편부(13)에 의해서 구획되는 전후 공간부(14,15)중 전방 공간부(14)를 상기 협지부로서 이용하고, 후방 공간부(15)를 스토퍼부(20)로 벌려서 상측 편부(11)의 요동을 해제가능하게 규제하기 위해서 이용하고 있다.
Patent KR-100313336-B1 (KR)
IPC: F02D41/40
Filed: 1998-08-27
Granted: 2002-02-28
Abstract: 균질 연소와 성층 연소의 절환 시에, 1 사이클 중에 흡기 행정 분사 및 압축 행정 분사를 실시하는 2회 분사 모드를 실행하는 직접 분사 가솔린 엔진에 있어서, 2회 분사 모드 시의 분사량의 적합한 제어를 용이하게 수행할 수 있도록 한다. 
     2회 분사 모드로의 이행 첫 회에 있어서, 목표 당량비 또는 기본 연료 분사량 TP에 근거하여 압축 행정에서의 연료 분사량 TIS를 결정하고, 2회 분사 모드 중에는 상기 연료 분사량 TIS로 보존시킨다. 그리고, 흡기 행정 분사에서의 연료 분사량 TIH를, 1 사이클 중에 있어서의 요구 연료 분사량 TI와 상기 압축 행정에서의 연료 분사량 TIS에 근거하여, TIH = TI - TIS 로서 연산하고, 1 사이클 중에 있어서의 요구 연료 분사량 TI의 변화에 대해서는, 흡기 행정에서의 분사량 TIH만을 변화시켜서 대응한다.
Patent KR-100276953-B1 (KR)
Title: 반도체장치 및 그 제조방법
IPC: H01L27/06
Filed: 1998-09-12
Granted: 2001-03-02
Abstract: 본 발명의 목적은, 다른 층의 전극 및 배선층 사이 또는 그 배선층 사이의 신뢰성있는 전기적 접속을 실현해주는 반도체장치의 제조방법을 제공하는데 있다. 
     본 발명의 제1관점에 따라, 반도체장치의 제조방법은, 기판(50)의 주표면상에 소자분리영역(51)을 형성하는 단계와, 게이트전극(53)을 형성하는 단계와, 소스 및 드레인전극(56)을 형성하는 단계와, 반도체기판(50)의 주표면상에 질화물 절연막(57)을 형성하는 단계와, 1개 이상의 접속홀(H)을 가진 층간절연체(58)를 형성하는 단계와, 접속홀(H)의 하부에서 질화물 절연막(57)의 일부를 절연성 질화물보다 결합 에너지가 높은 도전성 질화물막(61)으로 교환하는 단계 및 도전성 질화물막(61)을 통해 소스/드레인전극(56)에 접속된 배선층(62)을 형성하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100489651-B1 (KR)
Title: 혼합유니트 및 혼합유니트를 포함하는 액체혼합장치
IPC: B01F7/16
Filed: 1998-09-22
Granted: 2005-08-02
Abstract: 본  발명은  내부에  회선홈들이  형성된  두개  이상의  회선관이  서로  합쳐져서  형성된  혼합유니트  및  이  혼합유니트를  포함하는  액체혼합장치에  관한  것이다. 
     본  발명은  내부에  제1회선홈(611)이  형성된  제1회선관(61)과  역시  내부에  제2회선홈(621)이  형성된  제2회선관(62)을  포함하며,  상기  제1회선관(61)의  단부가  상기  제2회선관(62)의  내부로  인입되어  형성되는  혼합유니트(6)를  제공하며,  또한  상기  혼합유니트(6)를  포함하는  액체혼합장치도  제공한다. 
     따라서,  두가지  이상의  액체를  혼합조(1)에  의한  혼합은  물론  단순한  혼합을  위하여는  혼합조(1)  외에서의  혼합유니트(6)에  의한  액체의  공급과  동시적으로  혼합이  가능하도록  하는  효과가  있으며,  그에  따라  혼합하고자  하는  액체의  정체시간을  줄일  수  있도록  하는  효과가  있다.
Patent KR-100274365-B1 (KR)
Inventor: KANG BYUNG-HEE
IPC: F24H9/20
Filed: 1998-10-22
Granted: 2000-12-15
Abstract: 본 발명은 보일러가 처음 연소 동작을 시작할 경우 임의의 시간 내에 난방수 흐름스위치가 온되면 연소 동작을 계속 수행하지만 임의의 시간을 초과하면 자동으로 추가의 지연 시간을 두고 난방수 흐름스위치의 스위칭을 감지함으로써 보일러의 사용 기한이 오래되어도 정상의 난방 및 온수 기능을 유지할 수 있는 대기 차단식 가스 보일러의 운전 제어 방법에 관한 것으로, 이 제어 방법은 가스 보일러가 연소 동작을 할 경우 난방수 흐름스위치와 관련되어 이를 감지하는 타이머를 작동시키고, 난방수 흐름스위치가 온되었는지 판단하여 이 스위치가 오프되었을 경우 타이머가 설정된 값인지를 판단하고, 타이머가 설정된 값일 경우 감지지연 타이머를 작동시키고, 다시 난방수 흐름스위치가 온되었는지 판단하고 난방수 흐름스위치가 오프되었을 경우 감지 지연 타이머가 설정된 값인지를 판단하고, 감지 지연 타이머가 설정된 값일 경우 연소 작동을 정지시킨 후에 이상 발생 표시를 한다.
Patent KR-100293706-B1 (KR)
Title: 천정카세트에어컨의흡입구구조
IPC: F24F13/00
Filed: 1998-11-26
Granted: 2001-11-26
Abstract: 본 발명은 천장에 설치되는 천정카세트 에어컨에 실내의 공기가 흡입되는 흡입구 구조에 관한 것으로서, 각종의 전장물이 구비될 수 있도록 흡입구의 둘레에 설치되는 컨트롤 박스와, 상기 컨트롤 박스의 상부에 설치되어 흡입되는 공기의 유동을 안내하는 오리피스가 일체로 형성되고, 상기 컨트롤 박스의 하부에 각종의 전장물을 보호하는 동시에 유동을 안내하는 컨트롤로 박스 덮개는 와류의 발생이 최소화될 수 있도록 내측으로 절곡된 부드러운 곡면으로 이루어져; 
     오리피스가 컨트롤 박스에 일체로 형성되어 있으므로 조립공수가 줄어들고 컨트롤 박스 덮개의 일부분이 절개되지 않고 모두 연결된 형태이므로 모든 부위에서 공기의 유동이 동일하게 흘러가므로 소음이 감소되는 동시에 공기의 유량이 증대되어 에어컨의 전체 효율이 향상되는 효과를 제공하는 천정카세트 에어컨의 흡입구 구조(Suction hole form for air conditioner on ceiling)에 관한 것이다
Patent KR-100542890-B1 (KR)
Title: 인도핑 다결정 실리콘성막 제조방법_
IPC: C30B25/00
Filed: 1998-12-18
Granted: 2006-05-09
Abstract: 본 발명은 마이크로센서 등의 마이크로 구조재료로 이용되는 인도핑 다결정 실리콘성막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 실리콘기판에 실리콘산화막으로 희생층막(SiO 2 )을 형성하는 단계와; 챔버의 상부에 큰 링형태인 원료가스 주입관(3), 그 중심측에는 작은 링형태인 베이스가스 주입관(7)을 배치한 다음, 상기 챔버 내에 희생막이 형성된 실리콘기판(4)을 장착하여 650∼700℃의 기판온도로 가열하고 1torr의 압력으로 규소함유가스 및 인함유가스를 동시에 상기 실리콘기판(4)에 분사주입하여 희생층막위에 인도핑 다결정 실리콘성막을 증착하는 단계 및; 상기 인도핑 다결정 실리콘성막이 형성된 기판을 환원성 분위기에서 900℃의 온도까지 급속가열하여 30∼60초동안 유지시키는 열처리단계를 실행하여 인도핑 다결정 실리콘성막을 제조함으로써 비저항과 잔류응력이 최소화된 인도핑 다결정 실리콘성막을 제조할 수 있으며, 이러한 다결정 실리콘성막은 마이크로머시닝 등의 구조체에 적용될 수 있는 유용한 효과가 있는 것이다.
Patent KR-100279816-B1 (KR)
Title: 이중화 전력증폭기의 선형동작 제어회로
IPC: H04B1/40
Filed: 1998-12-19
Granted: 2001-02-01
Abstract: 휴대폰내의 이중화 전력 증폭기의 동작을 선형적으로 제어하도록 개량된 전력 자동 조절 회로에 관한 것이다. 상기 전력 자동 조절 회로는 서로 다른 선형 영역을 가지며 동작 전압의 입력에 대응하여 입력되는 신호를 선형 증폭하여 출력하는 제1 및 제2전력 증폭기와, 수신된 신호의 세기에 대응하는 송신출력을 발생하기 위한 직류 전압을 발생하여 버퍼링하는 송신 제어 전압 발생기와, 상기 송신 제어 전압 발생기의 출력을 전압 증폭하여 출력하는 전압 증폭기와, 상기 전압 버퍼의 출력을 상기 제1전력증폭기로 공급하고 상기 버퍼링된 전압이 미리 설정된 문턱전압을 초과할 때 응답하여 상기 제1전력증폭기로 공급되는 전압을 미리 설정된 홀드 레벨로 유지하는 업-홀드 회로와, 상기 전압 증폭기의 출력에 응답하여 미리 설정된 홀드 전압을 상기 제2전력증폭기로 공급하고 상기 전압 증폭기의 출력이 미리 설정된 문턱전압을 초과시에 응답하여 상기 제2전력 증폭기로 공급하는 전압을 입력에 선형적으로 증가시키는 홀드-업 회로를 구비하여 구성된다.
Patent KR-100281119-B1 (KR)
Title: 웨이퍼 로딩 장치
IPC: H01L21/68
Filed: 1998-12-21
Granted: 2001-03-02
Abstract: 본 발명은 로봇 핸드링을 지속적으로 체킹함으로써 웨이퍼 핸드링시 발생할 수 있는 웨이퍼의 불량을 사전에 예방하여 장비운영에 안정성을 주도록 한 웨이퍼 로딩 장치에 관한 것으로서, 메인 장비 제어로 장비의 서브 모듈을 제어하는 메인 제어부와, 상기 메인 제어부로부터 케이블을 통하여 로봇 움직임 신호를 받아 로봇의 테타, 회전, Z축의 움직임을 제어하고 제어 실시한 결과를 케이블을 통하여 메인 제어부에 신호를 전달하는 로봇 제어부와, 상기 로봇 제어부와 로봇의 각 모듈간에 데이터 인터페이스하는 내부 인터페이스부와, 로봇 암이 웨이퍼를 잡을 때 사용하는 진공상태를 온/오프하는 기능 및 진공상태를 체크하는 센서로 구성된 진공 스위치 및 센서부와, 로봇 움직임 및 움직임 위치를 파악하는 인코더로 구성된 모터 및 인코더부와, 로봇의 홈 위치를 체크하는 홈 스위치 센서부와, 상기 로봇 제어부의 웨이퍼 상태 신호와 로봇 암의 포토 센서 신호 및 진공 스위치 및 센서부의 진공 센서 신호를 받아들여 로봇 핸드링시 웨이퍼의 이상유무를 지속적으로 체크하여 이상 발생시 로봇 핸드링을 스톱시켜주는 로봇 웨이퍼 체크 제어부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
Patent KR-100526453-B1 (KR)
Title: 반도체 플래쉬 이이피롬 소자 제조방법
IPC: H01L27/115
Filed: 1998-12-31
Granted: 2005-12-21
Abstract: 본 발명은 반도체 플래쉬 이이피롬 소자(Flash EEPROM Device) 제조방법에 관한 것으로, 폴리실리콘 표면에서 생기는 워터 마크(Water Mark)의 생성을 억제시키기 위해 폴리실리콘내 인의 도펀트 농도를 완화시키고 단차를 완화시켜주므로써 폴리실리콘 표면특성이 극소수성에서 친수성쪽으로의 변화를 억제시킴으로써 워터 마크의 생성을 억제시켜 반도체 소자 제조공정 수율 및 신뢰성을 향상시키는 방법이며, 특히 단차의 변화가 심한 플래쉬 소자는 물론, 디자인 룰의 감소에 따른 단차 변화가 심해지는 디램 소자에 까지도 적용될 수 있는 발명이다.
Patent KR-100318651-B1 (KR)
Inventor: MONTANARI THIBAUT
IPC: C08F283/04
Filed: 1997-06-05
Granted: 2002-05-09
Abstract: The invention relates to a thermoplastic composition comprising at least one polymer (M) forming a matrix in which are dispersed nodules of (K), nodules of (K) entirely or partly encapsulated in at least one polymer (S) and nodules of (S) and such that the nodules of (K) entirely or partly encapsulated in (S) are smaller than the nodules of (S).
Patent KR-100439587-B1 (KR)
Title: 산으로경화가능한페놀조성물용반응희석액
IPC: C08L61/06
Filed: 1996-12-23
Granted: 2005-06-17
Abstract: 개시된 내용은, 산으로 고화 가능한 페놀 수지 조성물, 및 벤질 알코올, 벤질 에테르, 에틸렌 글리콜, 1,3-부틸렌 글리콜, 폴리(메틸올)알칸의 모노아릴 또는 메틸아릴 에테르, 글리세린의 모노아릴 에테르, 아릴 또는 메틸아릴 글리시딜 에테르, N-아실레이티드 아릴아민, N-아실레이티드 나프틸아민, N-치환 아릴설폰아미드, 및 N-치환 아릴아민으로 구성된 그룹에서 선택된, 적어도 하나의 반응 희석액의 약 5∼약 15중량%로 변형된 노볼락 조성물에 관한 것이다. 상기 반응 희석액은 산으로 고화 가능한 페놀 수지의 충격 저항성 및 유연성을 향상시키기 위해 사용할 수 있다. 또 바람직하게, 본 발명의 조성물 및 상기 조성물을 사용한 코일 필라멘트 파이프 및 라미네이트 패널과 같은 생산물을 제조하는 방법뿐만 아니라, 아릴 포스폰산염 및 벤질 알코올을 사용하여 산으로 고화 가능한 페놀 수지의 믹스 라이프를 변형시키는 방법, 및 노볼락 수지를 변형시키는 방법이 개시되어 있다.
Patent KR-100287444-B1 (KR)
Title: 차량용 조향핸들
IPC: B62K11/10
Filed: 1999-02-23
Granted: 2001-04-16
Abstract: 본 발명은 차량용 조향핸들에 있어서, 부품수의 삭감과 조립공수의 저감을 도모하여, 대폭적인 비용절감을 달성하고자 하는 것이다. 
     조향축(1)에 고정부착된 조향핸들(H)은, 매타류를 덮는 커버부(2)와 운전자가 쥐는 좌·우핸들부(3l, 3r)를 합성수지제에 의해 일체로 성형하여 구성한 것이 특징이다.
Patent KR-100305101-B1 (KR)
Title: 방폭형이차전지
IPC: H01M50/50
Filed: 1999-03-20
Granted: 2001-09-26
Abstract: 대용량의 2 차 전지의 이상발열, 발화를 방지한다. 
     양전극 (1) 과, 음전극 (2) 과, 세퍼레이터 (3) 를 기본구조로 갖는다.     양전극 (1) 및 음전극 (2) 은, 각각 금속호일 (4a,4b) 에 활성물질 (5a,5b) 을 도포한 것이며, 활성물질이 도포되어 있지 않은 부분 (6a,6b) 에는 전극단자에 접속하는 탭 (tab;7a,7b) 이 부착되어 있다.     본 발명에 있어서는, 양전극 (1) 의 활성물질이 도포되어 있지 않은 부분 (6a) 및 탭 (7a) 의 표면을 덮도록 오버코팅 (12) 을 도포한 것이며, 양전극 (1) 의 탭 (7a) 을 내주에, 음전극 (2) 의 탭 (7) 을 최외주에 위치시키도록, 양전극 (1) 과 음전극 (2) 을 조합하여, 세퍼레이터 (3) 를 사이에 끼워 나선구조체 (10) 로 조립된다.      활성물질이 도포되어 있지 않은 부분 (6a) 의 고열은 오버코팅 (12) 에 의해 차단되어 셧다운 이전에 세퍼레이터가 용융되지 않는다.
Patent KR-100359507-B1 (KR)
Title: 건식 및 습식에칭을 사용한 강유전체집적회로의 제조방법
IPC: H01L29/792
Filed: 1999-04-17
Granted: 2002-11-04
Abstract: 강유전체집적회로에서, 티탄 또는 티타늄 니트라이드 또는 둘 모두로 이루어진 수소배리어층(128,628)은, 옥사이드소자(124)의 수소저감을 억제하도록 메탈옥사이드소자(124)위에 형성된다.   수소화 또는 환원조건을 야기하는 수소어닐링 및 다른 공정스텝 후에, 수소배리어층은 두단계의 에칭공정으로 제거된다.   제 1에칭스텝은 건식에칭이고, 바람직하게는 수소배리어층의 대부분을 급속히 제거하는 표준 이온밀에칭공정이다.   제 2스텝은, 바람직하게는 NH 4 OH, H 2 O 2 및 H 2 O를 함유하는 용액을 사용하여 배리어층의 화학원소를 산화함으로써 회로로부터 잔류수소배리어층을 선택적으로 제거하는 습식화학에칭이다.  메탈옥사이드재료는 바람직하게는 적층슈퍼격자재료를 함유한다.
Patent KR-100572345-B1 (KR)
IPC: H01L23/522
Filed: 1999-05-19
Granted: 2006-04-18
Abstract: 반도체 장치는 저유전율막(低誘電率膜) 상에 형성된 무기계(無機系) 절연막과, 상기 무기계 절연막을 최소한 관통하는 개구(開口) 패턴과 상기 무기계 절연막을 관통하는 상태로 형성된 더미(dummy) 개구 패턴을 구비한다. 상기 더미 개구 패턴은 상기 개구 패턴의 패턴 밀도가 낮은 영역에 형성되어 있는 것이 바람직하다.상기 더미 개구 패턴은 홈 또는 구멍으로 이루어진다. 반도체 장치의 제조 방법은 저유전율막 상에 무기계 절연막을 형성 한 후, 상기 무기계 절연막을 최소한 관통하는 개구 패턴을 형성하는 공정과, 상기 무기계 절연막을 관통하는 더미 개구 패턴을 형성하는 공정으로 이루어진다. 
       
     저유전율막, 무기계 절연막, 비어 홀, 개구 패턴, 더미 개구 패턴.
Patent KR-100335450-B1 (KR)
Title: 반도체 장치의 세정 장비 및 반도체 장치의 세정 방법
IPC: H01L21/00
Filed: 1999-05-21
Granted: 2002-05-04
Abstract: 화학 기계 연마 공정이  표면에 대하여 수행된 후에, 반도체 장치의 세정 장비가  반도체 웨이퍼의 표면을 세정한다.    롤 브러쉬가  상기 표면과 접촉하도록 상기 반도체 웨이퍼의 표면 상에 위치된다.    제 1 화학 용액 탱크가  제 1 화학 용액을 탑재한다.    제 1 분사 노즐이  상기 제 1 화학 용액을 상기 반도체 웨이퍼의 표면 상에 분사한다.    제 2 화학 용액 탱크가  제 2 화학 용액을 탑재한다.    제 2 분사 노즐이  상기 제 2 화학 용액을 상기 반도체 웨이퍼의 표면 상에 분사한다.    상기 롤 브러쉬 및 상기 반도체 웨이퍼가 회전하는 상태에서  상기 제 1 화학 용액 및 상기 제 2 화학 용액이  상기 반도체 웨이퍼의 표면 상으로 분사된다.
Patent KR-100359937-B1 (KR)
Title: 헤드드럼 조립체
IPC: G11B5/53
Filed: 1999-05-24
Granted: 2002-11-07
Abstract: 본 발명은 헤드드럼 조립체를 개시한다. 
     본 발명은, 고정축과; 고정축의 하단부에 압입 고정되며, 중심 상면에 스테이터 트랜스가 마련된 하부드럼과; 하부 중심면에 로터 트랜스가 마련되며, 하부 외측면에는 복수의 헤드가 고정 설치된 상부드럼과; 상부드럼의 상,하 중심 내주면과 고정축 사이에 개재되어, 상부드럼의 하부는 구름 지지하고, 상부는 미끄럼 지지하는 베어링수단과; 상부드럼에 고정되는 로터와, 예압보스를 통해 고정축에 고정 설치되는 스테이터로 이루어진 모터;를 포함하여 된 것으로서, 상부드럼을 고정축을 중심으로 회전 가능하게 지지하는 것이 하나의 볼 베어링을 통해 구름지지하고, 복수의 마그네트를 통해 미끄럼 지지함으로써 좀더 안정된 회전정도를 얻을 수 있는 이점이 있다. 
     또한 고가의 볼 베어링을 복수 마련할 필요가 없게되어 이를 통한 단가절감과 특히 조립성의 향상을 꾀한 이점이 있다. 
     이외에도 마그네트간의 강한 반발력을 통해 큰 예압을 부여할 수 있게되어 고속 회전시에도 유동되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 
     따라서 이를 채용하는 테이프 레코더의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
Patent KR-100305348-B1 (KR)
IPC: B09B5/00
Filed: 1999-06-03
Granted: 2001-09-24
Abstract: 본 발명은 폐자동차 윈드실드/리어 글라스 해체 장치에 관한 것으로서, 윈드실드 글라스와 리어 글라스를 차체로부터 탈거하는 2개의 글라스 탈거장치와, 그 탈거장치에 각각 장착되어 각 글라스를 차체에 고정시키는 몰딩을 제거하는 몰딩 제거장치와, 상기 탈거장치와 몰딩 제거장치와 연결되어 이들의 동작을 제어하는 본체 및, 그 본체를 상하, 좌우, 전후로 이동시키는 이동장치를 포함하는 특징이 있으며, 이러한 본 발명에 의하면 폐기되는 자동차의 윈드실드 글라스와 리어 글라스를 전후방에서 동시에 자동으로 해체할 수 있게 됨으로써 작업자가 특수공구를 사용하여 수작업으로 윈드실드 글라스와 리어 글라스를 해체함에 따른 불편함으로 없애고 해체시간 및 해체비용을 절감할 수 있게 되는 것이다.
Patent KR-100355460-B1 (KR)
Title: 음식물쓰레기 처리방법 및 그 장치
IPC: A23K1/10
Filed: 1999-06-18
Granted: 2002-10-11
Abstract: 본 발명은 음식물쓰레기를 처리하면서 양질의 가축용 사료를 얻을 수 있는 음식물쓰레기를 처리하여 사료화하는 음식물쓰레기 처리방법 및 그 장치에 관한 것으로 다량의 음식물쓰레기를 보다 저렴한 비용과 환경친화적인 처리방법으로 처리하여 환경오염을 방지하고 양질의 사료를 얻기 위해서 음식물쓰레기를 분쇄, 탈수하고, 진공건조처리하여 분말을 얻고 얻어진 분말의 염기를 제거하여 냉각시킨 다음 수차례의 여과과정을 거쳐서 사료를 포장하고, 음식물쓰레기를 투입, 분쇄, 진공건조 처리하는 과정에서 생성되는 오수와 폐가스를 정화시켜 줄 수 있도록 한 음식물쓰레기 처리방법 및 그 장치에 관한 것이다.
Patent KR-100482463-B1 (KR)
Title: 개구율이 개선된 액정 표시 장치
IPC: G02F1/136
Filed: 1999-06-25
Granted: 2005-04-14
Abstract: 본 발명은 개구율을 개선할 수 있는 액정 표시 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 액정 표시 장치는, 투명 기판과, 상기 투명 기판 상에 제1선폭을 가지고 일방향으로 연장 배치된 게이트 버스 라인과, 상기 게이트 버스 라인의 상부에 그와 평행하게 제1선폭 보다 작은 제2선폭으로 배치되며 게이트 버스 라인 영역을 벗어나지 않도록 돌출된 채널층을 포함하는 액티브층과, 상기 액티브층 상에 배치된 데이터 버스 라인과, 상기 채널층을 포함하여 게이트 버스 라인 영역 내에 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터와 콘택하면서 보조용량을 형성하도록 상기 게이트 버스 라인의 소정 부분과 오버랩하게 배치된 화소전극을 포함한다. 본 발명에 따르면, 액티브층 및 데이터 버스 라인을 게이트 라인 상부에 형성하고, 박막 트랜지스터를 게이트 버스 라인 영역 내에 형성하며, 보조용량을 형성하기 위한 별도의 스토리지 전극 라인을 형성하지 않음으로써, 불투명 소재인 데이터 버스 라인과 박막 트랜지스터 및 스토리지 전극 라인의 면적 만큼 개구율을 향상시킬 수 있다.
Patent KR-100296138-B1 (KR)
Title: 동적 멀티케스트 트리를 통한 멀티미디어 회의 서비스 방법
IPC: H04N7/15
Filed: 1999-09-01
Granted: 2001-07-12
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     본 발명은 동적 멀티케스트 트리를 통한 멀티미디어 회의 서비스 방법과 상기 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것임. 
     2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 
     본 발명은, 단말이 느슨한 연결(Loosely-coupled)의 멀티케스트 회의에 쉽게 참가할 수 있도록 하는 동적 멀티케스트 트리를 만들어 멀티미디어 회의 내용을 서비스하는 방법과 상기 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하고자 함. 
     3. 발명의 해결방법의 요지 
     본 발명은, 상위 단말로부터 멀티미디어 회의 내용을 전달받아 하위 단말로 전달해 주는 멀티미디어 단말들을 노드로 하고, 상기 멀티미디어 단말들을 노드로 하는 트리를 관리하는 멀티미디어 단말을 루트로 하여 인트라 트리(Intra tree)를 구성하는 제 1 단계; 멀티미디어 회의 내용을 제공하는 미디어 스트림 소스로부터 상기 회의 내용을 전달받는 멀티미디어 단말을 루트로 하고, 상기 인트라 트리(Intra tree)의 루트인 멀티미디어 단말을 노드로 하여 인터 트리(Inter tree)를 구성하는 제 2 단계; 멀티미디어 단말이 공개된 인트라 트리의 루트인 멀티미디어 단말로 멀티미디어 회의 참가를 요청하여 인트라 트리의 노드나 인트라 트리의루트로서 멀티미디어 회의에 참가하는 제 3 단계; 및 상위의 단말로부터 멀티미디어 회의 내용 패킷을 수신한 상기 멀티미디어 단말은 상기 패킷의 발신자 주소를 상기 멀티미디어 단말의 주소로 하고 수신자 주소를 하위 단말의 주소로 하여 패킷을 발송하는 제 4 단계를 포함함. 
     4. 발명의 중요한 용도 
     본 발명은 멀티미디어 회의 시스템에 이용됨.
Patent KR-100320403-B1 (KR)
Title: 낚시용 양 베어링형 릴의 브레이크 컨트롤노브의 소리발생
IPC: A01K89/0155
Filed: 1999-09-02
Granted: 2002-01-12
Abstract: 본 발명은 낚시용 양 베어링형 릴의 브레이크 컨트롤노브의 소리발생 구조에 관한 것으로, 브레이크 노브의 이동거리를 정확히 알 수 있도록 하여 결국 스풀축의 제동상태를 정교하게 파악할 수 있는 특징이 있다. 
     이를 위하여 본 발명은, 하기의 너트가 끼워져 고정되는 멈춤턱 3a와 상기의 너트를 고정시키는 링이 조립되는 홈 3c가 형성되고 내측으로는 하기의 핀홀더가 조립되는 다수의 홈 3b가 형성된 돌출관 3과; 상기 돌출관의 외측에 끼워지도록 홈 6a가 형성되고 외측에 나사부 6b를 가지는 너트 6과; 상기 돌출관의 홈 3b에 끼워지는 턱 11c가 외측면에 형성되고 베어링 18의 이탈을 방지하는 링이 끼워질 홈 11b가 안쪽면에 형성되며, 내부의 구멍 11f에는 통상의 쿠션와샤 16과 미끄럼와샤 17일 조립되고, 외측의 구멍 11a는 하기의 스프링과 핀이 조립될 수 있도록 한 핀홀더 11과; 상기 핀홀더의 구멍 11a 안에 조립되는 스프링 12 및 스프링 12에 조립되는 핀 13과; 하기의 컨트롤노브 안에 조립되며, 중앙의 구멍을 기준하여 그 외측으로 다수의 오목홈 10b가 연속으로 형성되고 테두리에는 다수의 걸림홈 10a가 일정한 간격으로 형성된 판체 10과; 안으로 나사부 8b가 형성되고 하나의 핀 9가 관통하여 상기 판체 10의 걸림홈 10a에 걸리도록 하며 상기 너트에 조립되는 컨트롤노브 8로 구성된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100348025-B1 (KR)
Title: 재봉틀용 누름쇠
IPC: D05B29/06
Filed: 1999-09-21
Granted: 2002-08-07
Abstract: 재봉법에 알맞게 누름쇠를 교환하는 작업을 간단하고 용이하게 행하는 재봉틀용 누름쇠를 제공하는 것을 목적으로, 나사부재에 의한 고정을 해제하여 누름쇠를 누름판으로부터 분리한 후, 복수 종류의 누름쇠 중에서 하나를 선택하여 누름판의 하단측에 겹쳐서, 나사부재에 의해 고정하기 때문에, 재봉틀의 누름막대로부터 고정구 및 누름판을 분리할 필요가 없어, 재봉법에 알맞는 누름쇠의 교환 작업을 간단하고 용이하게 행할 수 있다.  또한 누름쇠가 누름판 자체 및 스프링부의 탄성에 의해 직물을 누르고, 누름쇠 전단측에 설치한 직물가이드에 의해 직물을 직물이송방향으로 가이드함으로서, 피봉제물의 재봉위치 및 재봉폭이 변위를 확실하게 방지할 수 있으며, 소정의 봉제상태로 피봉제물을 정확하고 깨끗하게 봉제 완성할 수 있다
Patent KR-100677735-B1 (KR)
IPC: G21C9/016
Filed: 1999-10-14
Granted: 2007-02-02
Abstract: 수형 원자로(water-type nuclear reactor)에서, 다공성 미네랄 물질(30)로 채워진 수용기(20)는 원자로 용기(RPV)(10)내 노심(core, 12) 하부에 배치된다. 노심(12)의 용융을 유발하는 중대한 사고가 발생할 때 형성되는 코륨(corium)은 수용기(20)에 수집된다. 물을 함유하지 않은 미네랄 물질(30)로 인해 증기 폭발(vapor explosion)을 피할 수 있다. 또한, 미네랄 물질(30)은 코륨(Corium)(36)을 수용기(20)의 내화성 벽돌(24)의 융점 미만으로 냉각시킨다.
Patent KR-100344960-B1 (KR)
Title: 콘베이어 상의 화물 적재 상태 감지 장치
IPC: B65G43/00
Filed: 1999-10-25
Granted: 2002-07-19
Abstract: 본 발명은 콘베이어로 물류 이송시 적재상태가 불량한 제품이 입고될 때 발생하는 제품 손실 및 안전사고 등의 문제점을 해결하기 위해, 콘베이어 상에 화물 적재 상태를 감지하기 위한 감지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 물류 이송시 물류의 적재 상태를 감지하기 위해 콘베이어 측면에 감지봉(10), 연결대(11), 지지대(13) 및 센서(12)등으로 구성된 화물 적재 상태 감지 장치에 관한 것이다.
Patent KR-100441197-B1 (KR)
Title: 포토레지스트현상폐액으로부터의 현상액의 회수재이용방법 및 장치
IPC: B01D61/44
Filed: 1999-10-29
Granted: 2004-07-22
Abstract: 본 발명의 목적은 포토레지스트현상폐액으로부터 회수된 수산화테트라알킬암(TAAH)함유용액의 계면활성효과(습윤성)을 적당하게 조정, 관리하고, 포토레지스트의 (미세)패턴을 안정하게 효과적으로 현상할 수 있는 재생현상액을 부여하는 것이다. 
     현상폐액으로부터 포토레지스트 등의 불순물을 분리하고, 회수된 TAAH용액과 계면활성물질을 혼합하고, 소정의 표면장력으로 조정시킨 후, 재생현상액으로서 재이용한다. 계면활성물질로서는, 계면활성제나 현상폐액이나 이것에서 유래하는 포토레지스트함유 처리액 등의 포토레지스트함유용액에 포함되어 있는 용해포토레지스트를 이용할 수 있다. 회수된 TAAH함유용액과 포토레지스트함유용액을 혼합하는 경우, 재생현상액 조정방법으로서는, 예를 들면 회수TAAH함유용액과 포토레지스트함유용액을 혼합시킨 후, 혹은 혼합하면서 TAAH농도의 조정을 행하는 방법, 회수TAAH함유용액 및 포토레지스트함유용액 각각의 TAAH농도를 조정하므로, 두 용액을 적당한 비율로 혼합하는 방법 등을 들 수 있다.
Patent KR-100313785-B1 (KR)
Title: 반도체소자의 층간절연막 형성방법
IPC: H01L21/31
Filed: 1999-12-07
Granted: 2001-11-17
Abstract: 본 발명은 반도체소자의 층간절연막 형성방법에 관한 것으로, 종래에 USG 또는 BPSG막을 적용하는 경우에는 게이트간 이격영역이 0.18㎛ 이하로 고집적화되면, 갭-필 특성 저하로 인한 보이드(void)가 형성되어 후속 비트라인 단락의 요인이 되며, SOG막을 적용하는 경우에는 열 치유 방식을 통해 게이트간 이격영역에 잔류하는 솔벤트를 완전히 제거하지 못함에 따라 후속 콘택홀 전세가 진행되면, 습식 케미칼(chemical)에 식각되어 콘택 단락의 요인이 되는 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 반도체기판 상에 패터닝된 게이트를 형성한 다음 질화막을 증착 및 선택적 식각하여 게이트측벽을 형성하고, 상부전면에 버퍼절연막을 형성하는 공정과; 상기 버퍼절연막이 형성된 결과물의 상부전면에 HSQ(hydrogen-silsesquioxane) 계열의 SOG막을 형성하여 게이트의 이격영역을 채우는 공정과; 전자-빔(E-beam)을 통해 상기 SOG막의 내부결합을 여기시키는 공정과; 상기 내부결합이 여기된 SOG막을 고온 열처리하여 치밀화시키는 공정과; 상기 치밀화된 SOG막의 상부전면에 캡절연막을 형성하는 공정으로 이루어지는 반도체소자의 층간절연막 형성방법을 제공하여 갭-필 특성이 우수한 HSQ 계열의 무기 SOG막을 게이트 이격영역을 채움에 따라 게이트의 이격영역 폭이 0.24㎛ 이하, 심지어 0.03㎛ 까지도 보이드가 형성되는 것을 억제할 수 있게 되므로, 후속 비트라인의 단락을 방지할 수 있으며, 게이트간 이격영역에 잔류하는 솔벤트를 완전히 제거함에 따라 후속 콘택홀 전세에서 습식 케미칼에 저항성을 갖게 되므로, 후속 콘택 단락을 방지할 수 있게 되어 반도체소자의 신뢰성을향상시킬 수 있으며, 또한 전자-빔을 적용함에 따라 공정 제어가 용이해져 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.