baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-20230096255-A (KR)
Inventor: CHUNG SOO HAK
IPC: A23L33/105
Filed: 2021-12-23
Abstract: 본 발명은 해조류 추출물, 제 1식물 추출물 및 제 2식물 추출물을 포함하여 알코올 탈수소효소(alcohol dehydrogenase, ADH) 활성보다 아세트알데하이드 탈수소효소(acetaldehyde dehydrogenase, ALDH)의 활성을 증가시켜 숙취 예방 또는 숙취 해소용 조성물을 제공하고, 통풍 유발 효소인 잔틴 산화효소(xanthine oxidase)를 저해하여, 통풍 또는 통풍성 관절염의 예방, 개선 또는 치료에 효과적으로 사용될 수 있다.
Patent KR-20230096613-A (KR)
Inventor: O HYEONG SUN
IPC: B63B73/60
Filed: 2021-12-23
Abstract: 이동 방향을 따른 전후면이 개방되어 내측에 단열박스가 수용되는 공간이 형성되는 이동프레임; 및 이동프레임의 양측부에 상하 방향으로 승강 이동이 가능하게 구성되어 진공 흡착 방식으로 단열박스의 양 측면을 파지하고 단열박스를 회전시키는 핸들링부를 포함하는, 액화가스 저장탱크용 단열박스 회전장치가 개시된다. 
본 발명에 따른 액화가스 저장탱크용 단열박스 회전장치는 기존에 수작업에 의존하던 단열박스의 핸들링 작업을 기계적 장치에 의해 수행되도록 함으로써, 단열박스 설치 작업의 효율성 및 생산성을 크게 향상시키는 반면 작업자의 안전사고 위험 및 근골격계 질환 발생 위험은 현저하게 감소시키는 효과를 가진다.
Patent KR-20210021356-A (KR)
Title: 항-n-메틸-d-아스파르테이트 수용체(anti-n-methyl-d-aspartate receptor) 뇌염 예방 또는 치료에 사용하기 위한 벤조산 또는 이의 염 및 유도체
Inventor: TZANG RUU FEN
IPC: A61K31/235
Filed: 2019-07-16
Abstract: 본 발명은 유효량의 벤조산 또는 이의 염 및 유도체를 대상자에게 투여하는 것을 포함하는, 이를 필요로 하는 대상자에서 항-NMDAR 뇌염을 예방 또는 치료하는 방법을 제공한다.
Patent KR-20210019555-A (KR)
Title: 포인트 클라우드의 하이브리드 기하학적 코딩
Inventor: ZAKHARCHENKO VLADYSLAV
IPC: G06T17/00
Filed: 2019-06-25
Abstract: 장치는, 포인트 클라우드를 획득하고, 부모 노드의 옥트리 인코딩 또는 쿼드트리 인코딩 간의 선택을 하고, 및 상기 선택에 기초하여 비트스트림 내로 상기 부모 노드를 인코딩하도록 구성되는 프로세서; 및 상기 프로세서에 연결되며, 상기 비트스트림을 전송하도록 구성되는 전송기를 포함한다. 장치는, 비트스트림을 수신하도록 구성되는 수신기; 및 상기 수신기에 연결되며, PCC의 깊이를 지시하는 제1 파라미터를 상기 비트스트림으로부터 파싱하고, 옥트리 디코딩을 사용하여 상기 깊이 이전의 제1 노드를 디코딩하고, 상기 깊이 및 상기 깊이 이후의 제2 노드에 대한 노드 코딩 모드를 지시하는 제2 파라미터를 상기 비트스트림으로부터 파싱하고, 상기 제2 파라미터에 기초하여 상기 제2 노드를 디코딩하도록 구성되는 프로세서를 포함한다.
Patent KR-20210036367-A (KR)
Title: 감광성 수지 조성물, 패턴을 갖는 수지막의 제조 방법, 패턴을 갖는 수지막, 및 반도체 회로 기판
Inventor: YAMAGUCHI TORAHIKO
IPC: G03F7/038
Filed: 2019-05-17
Abstract: 하기 식 (a1)에 나타내는 말단기와, 하기 식 (a2)에 나타내는 반복 구조 단위를 갖는 중합체 (A), 가교제 (B), 및 광 양이온 발생제 (C)를 함유하는 감광성 수지 조성물. 
   
[식 (a1) 및 식 (a2) 중, Y는 광 조사에 의해 상기 광 양이온 발생제 (C)로부터 발생하는 양이온의 작용에 의해, 상기 가교제 (B)와 반응하는 반응성기를 나타내고; X는 각각 독립적으로 산소 원자, 황 원자, 에스테르 결합, 아미드 결합 또는 -SO 2 -를 나타내고; R 1 은 2가의 탄화수소기, 또는 상기 2가의 탄화수소기에 있어서 상기 반응성기 및 복소환 이외의 관능기가 도입된 2가의 기를 나타내고; R 2 는 2가의 탄화수소기, 상기 2가의 탄화수소기에 있어서 상기 반응성기 및 복소환 이외의 관능기가 도입된 2가의 기, 또는 상기 반응성기를 갖지 않는 복소환 함유기를 나타낸다.]
Patent KR-20210022783-A (KR)
Inventor: INOUE YOTARO
IPC: C04B18/14
Filed: 2017-05-18
Abstract: 피로 내구성이 우수한 수화 경화체 및 그의 제조 방법을 제공한다.  상기 수화 경화체는, 제강 슬래그를 함유하는 골재와, 수화 반응에 의해 경화하는 결합재와, 물을 함유하는 혼련물을 경화시켜 이루어지는 수화 경화체로서, 상기 골재의 최대 치수가 5㎜ 이상 60㎜ 이하이고, 상기 골재의 조골재의 실적률이 50체적％ 이상이고, 상기 수화 경화체의 용적 전체에 차지하는 상기 골재의 용적률이 55체적％ 이상이다.
Patent KR-20210034083-A (KR)
Title: 유량계의 강성 계수를 검증할 시기를 결정하기 위한 방법
Inventor: MCANALLY CRAIG B
IPC: G01F1/84
Filed: 2018-08-13
Abstract: 유량계(5)에서 강성 계수(K)(202, 204)를 검증할 시기를 결정하기 위한 방법(300)은 제 1 강성 계수(K)(202), 복수의 온도들(T)(206), 복수의 응답 주파수들(ω)(208) 및 복수의 구동기 전류들(I)(210)을 수신하는 단계, 평균 온도(T)(212), 표준 편차 온도(T)(214), 평균 응답 주파수(ω)(216), 표준 편차 응답 주파수(ω)(218), 평균 구동기 전류(I)(224) 및 표준 편차 구동기 전류(I)(226)를 결정하는 단계를 포함한다.  후속 온도(T)(228), 후속 응답 주파수(ω)(230) 또는 후속 구동기 전류(I)(232)를 포함하는 제1 후속 값(236)이 수신된다.  제 1 후속 값(236)이 제 1 개개의 범위(237) 외부에 있다고 결정할 때, 제 2 강성 계수(K)(204)의 결정이 개시된다.
Patent KR-20210036402-A (KR)
Title: 비디오 코딩에서의 참조 영상 관리
Inventor: WANG YE KUI
IPC: H04N19/105
Filed: 2019-08-16
Abstract: 코딩된 비디오 비트스트림을 디코딩하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 상기 코딩된 비디오 비트스트림으로 표현된 파라미터 세트를 파싱하는 단계를 포함한다. 상기 파라미터 세트는 참조 영상 리스트 구조의 세트를 포함하는 신택스 요소의 세트를 포함한다. 상기 방법은 또한 상기 코딩된 비디오 비트스트림으로 표현된 현재 슬라이스의 슬라이스 헤더를 파싱하는 단계를 포함한다. 상기 슬라이스 헤더는 상기 파라미터 세트 내의 참조 영상 리스트 구조 세트 중의 참조 영상 리스트 구조의 색인을 포함한다. 상기 방법은 상기 파라미터 세트 내의 상기 신택스 요소의 세트 및 상기 참조 영상 리스트 구조의 색인에 기초하여, 상기 현재 슬라이스의 참조 영상 리스트를 도출하는 단계를 더 포함한다. 상기 방법은 또한 상기 참조 영상 리스트에 기초하여, 상기 현재 슬라이스의 하나 이상의 재구축된 블록을 획득하는 단계를 포함한다.
Patent KR-20210058920-A (KR)
Title: 금속 및 열가소성 폴리우레탄으로 제조된 폴리머 중간층으로 구성된 적층체
Inventor: DESBOIS PHILIPPE
IPC: B32B15/095
Filed: 2019-09-11
Abstract: 본 발명은, 적어도 하나의 제1 금속의 적어도 하나의 제1 층 및 폴리머 조성물(PC)의 적어도 하나의 추가 층을 포함하는 적층체와, 본 발명에 따른 적층체의 제조 방법에 관한 것이다.
Patent KR-20210089149-A (KR)
Title: 인터 및 인트라 통합 예측 모드 가중치
Inventor: ZHANG KAI
IPC: H04N19/159
Filed: 2019-11-15
Abstract: 비디오 처리 기법을 구현하기 위한 기법들이 설명된다.  하나의 예시적인 구현형태에서, 비디오 처리 방법은, 인터 및 인트라 통합 예측(CIIP) 코딩 기법을 사용하여 코딩된 비디오의 블록과 비디오의 비트스트림 표현 사이의 변환을 위하여, 상기 블록 내의 소정 위치에서의 예측 값을 해당 위치에서의 인터 예측 값과 인트라 예측 값의 가중합에 기반하여 결정하는 단계를 포함한다. 상기 가중합은 상기 인터 예측 값 및 상기 인트라 예측 값에 기반하여 획득된 최초의 합에 오프셋을 가산하는 것에 기반하여 얻어지고, 상기 오프셋은 상기 가중합을 결정하기 위하여 수행되는 우측 천이 연산 이전에 가산된다. 또한, 상기 방법은 상기 결정 결과에 기반하여 상기 변환을 수행하는 단계를 더 포함한다.
Patent KR-20210057818-A (KR)
Title: 전기화학장치 및 전자장치
Inventor: WANG KEFEI
IPC: H01M10/42
Filed: 2021-03-04
Abstract: 본 출원은 일종의 전기화학장치와 전자장치에 관한 것이다. 구체적으로, 본 출원은 일종의 전기화학장치를 제공하고, 상기 전기화학장치는 양극, 음극과 전해액을 포함하고, 상기 음극은 음극집전체와 상기 음극집전체상에 형성된 음극활성물질층을 포함하고, 상기 음극활성물질층은 음극활성물질을 포함하고, 상기 음극활성물질층과 상기 음극집전체간에 도전성재료를 가지고 있고, 상기 도전성재료의 평균입경은 상기 음극활성물질의 평균입경보다 작으며, 음극활성물질층은 특정의 중량을 가지고 있다. 본 출원의 전기화학장치는 개진된 고온순환팽창성능과 과충전방지(overcharge-resistant)성능을 가지고 있다.
Patent KR-20210054029-A (KR)
Inventor: MIYAIRI HIDEKAZU
IPC: H05B44/00
Filed: 2009-09-28
Abstract: 표시 장치의 해상도가 높아짐에 따라, 화소 수, 게이트선 수 및 신호선 수가 증가한다.  게이트선 수 및 신호선 수가 증가하면, 게이트선과 신호선을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 IC 칩을 본딩 등에 의해 실장하는 것이 어렵기 때문에, 제조 비용이 증가하는 문제가 있다.  동일 기판 위에 화소부와 화소부를 구동하는 구동 회로를 배치하고, 구동 회로의 적어도 일부는, 산화물 반도체의 아래와 위에 게이트 전극이 배치된 그 산화물 반도체를 이용하는 박막 트랜지스터를 포함한다.  따라서, 화소부와 구동부를 동일 기판 위에 설치하면, 제조 비용을 줄일 수 있다.
Patent KR-20210110790-A (KR)
Title: 외가닥 dna의 합성방법
Inventor: YE LUMENG
IPC: C12Q1/686
Filed: 2019-12-27
Abstract: 본 발명은 외가닥 DNA의 합성방법에 관한 것으로, 구체적으로는 우라실 특이적 절단 효소(USER)을 매개로 하는 이중 가닥 DNA 자동 환형성과 회전 바퀴형 복제를 결합함으로써 외가닥 DNA를 제조하는 염기 돌연변이가 없는 외가닥 DNA의 제조공정에 관한 것이다.
Patent KR-20210078555-A (KR)
Title: 압전 코팅을 위한 증착 공정
Inventor: TRAJCEVSKI BORIS
IPC: H01L41/319
Filed: 2019-09-18
Abstract: 고도로 배향된 미세 구조를 갖는 재료를 포함하는 코팅을 증착하는 방법이 개시되고, 재료는 적어도 다음 일련의 공정 단계를 포함한다.  
- 평평한 기판을 제1 진공 처리 챔버에 제공하는 단계; 
- 물리적 증기 에칭(PVE)에 의해 기판의 한 표면을 에칭하는 단계; 
- 제1 금속 증착 단계에서 스퍼터링에 의해 에칭된 기판 표면상에 제1 금속 층(Me1)을 증착하는 단계; 
- 후속 화합물 증착 단계의 화합물 증착 온도(T COMP )보다 적어도 50℃ 더 높은 어닐링 온도(T A )에서 금속 층(Me1)을 어닐링하는 단계; 
- 제1 화합물 증착 단계에서 반응성 스퍼터링에 의해 금속 층(Me1)의 외부 표면 상에, 온도(T COMP )에서 제1 화합물 층(Comp1)을 증착하는 단계; 
- 제2 금속 증착 단계에서 스퍼터링에 의해 제1 화합물 층의 외부 표면 상에 제2 금속 층(Me2)을 증착하는 단계.
Patent KR-20210095168-A (KR)
Title: 조영 매체의 제형 및 그의 제조 방법
Inventor: HOLZSCHUH STEPHAN
IPC: A61K49/10
Filed: 2019-11-21
Abstract: 본 개시내용은, M이 상자성 금속의 이온, 바람직하게는 Gd 3+  이온이고, R 1 , R 2 , R 3 , R 4  및 R 5 가 청구범위에 정의된 바와 같은 것인 화학식 (I)의 DO3A-유래된 테트라-킬레이트를 제약상 허용되는 용매 중에 포함하는 액체 제약 제형에 관한 것이다.  본 개시내용은 또한 상기 액체 제약 제형의 제조 방법 및 상기 액체 제약 제형을 수반하는 영상화 방법에 관한 것이다.
Patent KR-20210095193-A (KR)
Title: 워드 라인들 및 패스 게이트들을 포함하는 강유전성 메모리 디바이스 및 그 형성 방법
Inventor: ZHANG YANLI
IPC: H01L27/1159
Filed: 2019-12-30
Abstract: 메모리 디바이스는 소스 영역과 드레인 영역 사이에서 연장되는 반도체 채널, 복수의 패스 게이트 전극들, 복수의 워드 라인들, 반도체 채널과 복수의 패스 게이트 전극들 사이에 위치되는 게이트 유전체, 및 반도체 채널과 복수의 워드 라인들 사이에 위치되는 강유전성 재료 부분들을 포함한다.
Patent KR-20210113211-A (KR)
Title: 이송 장치, 처리 설비, 대상물체 이송 및/또는 처리 방법
Inventor: LAUER MICHAEL
IPC: B62D53/00
Filed: 2019-11-25
Abstract: 본 발명은 대상물체, 특히 공작물을 이송하는데 사용되는 차량에 관한 것이다. 여기서, 차량을 둘러싸는 영역이 검출가능한 하나 이상의 센서 장치가 제공되는 것이 바람직하다.
Patent KR-20210099657-A (KR)
Title: 플래시 메모리 디바이스에서의 프로그래밍 방법
Inventor: WANG YU
IPC: G11C16/34
Filed: 2019-08-28
Abstract: 플래시 메모리 디바이스를 프로그래밍하는 방법은 타겟 메모리 셀에 대응하는 선택된 워드라인을 선택하기 위해 복수의 워드라인 중 제1 워드라인을 선택하는 단계 및 프로그래밍 루프를 수행하는 단계를 포함한다.  프로그래밍 루프는 선택된 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 것 및 타겟 메모리 셀에 대한 검증을 수행하는 것을 포함한다.  검증은 선택된 워드라인에 프리-펄스 전압을 인가하는 것과, 복수의 워드라인 중 선택되지 않은 워드라인에 복수의 패스 전압을 인가하는 것과, 프리-펄스 전압을 인가한 후, 일련의 증분 검증 전압을 선택된 워드라인에 인가하는 것과, 프리-펄스 전압을 인가하는 후, 플로팅 전압을 복수의 워드라인 중 제2 워드라인에 인가하는 것을 포함한다.  선택된 워드라인에 인접한 제2 워드라인은 선택된 워드라인 이후에 프로그램된다.
Patent KR-20210121063-A (KR)
Title: 페이징 기회들에서 협대역 기준 신호들을 스케줄링하기 위한 시스템 및 방법
Inventor: RICO ALVARINO ALBERTO
IPC: H04W48/12
Filed: 2020-02-04
Abstract: 기지국은 기지국에 의해 제공되는 셀 상에서 동작하는 UE들의 세트와 연관된 그룹들의 수, 라디오 프레임 번호, 또는 서브프레임 번호 중 적어도 하나에 기반하여 스케줄링 값을 계산할 수 있다.  기지국은, 계산된 스케줄링 값에 기반하여, 협대역 제어 채널상의 적어도 하나의 PO에서 적어도 하나의 NRS를 전송할 수 있다.  UE는 셀을 제공하는 기지국으로부터 UE에 대한 적어도 하나의 PO와 연관된 정보를 수신할 수 있다.  UE는, 수신된 정보에 기반하여, 적어도 하나의 PO에서 적어도 하나의 NRS와 연관된 스케줄링 정보를 결정할 수 있다.  UE는 적어도 하나의 NRS가 협대역 제어 채널 상의 적어도 하나의 PO에 있음을 결정된 스케줄링 정보가 표시할 때 적어도 하나의 PO에서 적어도 하나의 NRS를 검출할 수 있다.
Patent KR-20210144671-A (KR)
Title: 손톱
IPC: B27B21/04
Filed: 2019-04-02
Abstract: 원활한 절단 작업을 확보할 수 있고, 피절단물에 대한 톱날의 절입 압력을, 톱날부의 손잡이측으로부터 선단측의 어느 위치에 있어서도 충분히 가할 수 있는, 커팅감이 양호한 손톱의 제공을 과제로 한다. 톱몸의 표측면과 이측면에 대해 교대로 면일하게 기립하는 톱니(30)의 세로날 형성면일측면(31)에 앞세로날(VE1)과 뒷세로날(VE2)을 구비하고, 또한 각 톱니(30)의 선단부에 선단 경사 커트면(40)을 구비한 손톱으로서, 톱의 날끝 라인(L)에 대한 각 톱니(30)의 앞세로날(VE1)의 입사 각도(α)를, 톱날부(21)의 왕로 시단측(21a)으로부터 왕로 종단측(21b)에 걸쳐 서서히 커지도록 구성하고 있다.
Patent KR-20210114056-A (KR)
Title: 무선 통신 시스템에서 단말의 상태 정보 보고 방법 및 이를 지원하는 단말 및 기지국
Inventor: LEE KILBOM
IPC: H04B7/08
Filed: 2020-01-28
Abstract: 본 개시에서는, 복수의 셀들을 포함하는 기지국과 단말을 포함하는 무선 통신 시스템에 있어, 상기 단말이 상기 단말에 설정된 복수의 셀들 중 하나 이상의 셀과 관련된 상태 정보를 보고하는 방법 및 이를 지원하는 단말 및 기지국을 개시한다. 
본 개시에 적용 가능한 일 실시예에 따르면, 단말은 빔 실패가 발생한 하나 이상의 셀과 관련된 상태 정보를 효율적으로 기지국으로 보고할 수 있고, 이에 대응하여 기지국은 상기 하나 이상의 셀에 대한 빔 실패를 인지할 수 있다.
Patent KR-20210125085-A (KR)
Title: 비디오 코딩을 위한 변환 유닛 파티션 방법
Inventor: CHEN JIANLE
IPC: H04N19/119
Filed: 2020-03-20
Abstract: 디코딩하는 방법은, 변환 트리 노드(TTN; transform tree node)에 대한 최대 변환 유닛(TU; transform unit) 크기가 TTN의 어느 한 디멘션보다 작은 경우 정사각형 자식 TTN들을 생성하기 위해, 수직 바이너리 트리 분할 또는 수평 바이너리 트리 분할을 사용하여 직사각형 변환 트리 노드(TTN)를 파티셔닝하는 단계를 포함한다. 방법은, 제1 자식 TTN 디멘션 및 제2 자식 TTN 디멘션이 최대 TU 크기보다 큰 경우 TU들을 생성하기 위해 쿼드 트리 분할을 사용하여 자식 TTN들을 파티셔닝하는 단계, 제1 자식 TTN 디멘션 및 제2 자식 TTN 디멘션이 최대 TU 크기 이하인 경우 자식 TTN들이 TU들인 것으로 결정하는 단계, 잔차들을 생성하기 위해 TU들을 변환 계수들에 적용하는 단계, 및 잔차들에 기반하여 재구성된 블록을 생성하는 단계를 더 포함한다.
Patent KR-20210121264-A (KR)
Title: 리소그래피 애플리케이션들을 위한 막 스택
Inventor: TEJINDER SINGH
IPC: H01L21/311
Filed: 2020-02-25
Abstract: 하드마스크 층을 포함하는 막 스택을 형성하기 위한, 그리고 막 스택에 피처들을 형성하기 위해 그러한 하드마스크 층을 에칭하기 위한 방법들이 제공된다.  본원에서 설명되는 방법들은 적절한 프로파일 관리 방식을 통해, 막 스택에 형성되는 피처들의 프로파일 및 치수 제어를 가능하게 한다.  하나 이상의 실시예들에서, 하드마스크 층을 에칭하기 위한 방법은, 기판 상에 하드마스크 층을 형성하는 단계 ― 하드마스크 층은 28보다 더 큰 원자 번호를 갖는 금속 엘리먼트를 함유하는 금속-함유 재료를 포함함 ―, 에칭 가스 혼합물을 기판에 공급하는 단계, 및 포토레지스트 층에 의해 노출된 하드마스크 층을 에칭하는 단계를 포함한다.
Patent KR-20210119551-A (KR)
Inventor: MITO RYOSUKE
IPC: F04D29/56
Filed: 2018-03-30
Abstract: 작동 유체가 유통하는 유로 내에 배치되고, 내측 케이싱과의 사이에 클리어런스를 형성하는 정익 본체(41)와, 작동 유체의 주류의 흐름 방향에 대한 정익 본체(41)의 각도를 가변시키도록 회전하는 회전축과, 정익 본체(41)와 회전축을 접속하는 접속부(48)를 구비하고, 접속부(48)는 클리어런스 중, 정익 본체(41)의 전연(41A)측으로 유입된 작동 유체의 누설 흐름의 흐름 방향이 주류의 흐름 방향(E)을 향하는 방향으로 안내하는 제 1 안내면(48a)을 포함한다.
Patent KR-20210129198-A (KR)
Title: 높은 직선광 투과율을 갖는 지르코니아 소결체
Inventor: KUDO YASUTAKA
IPC: C04B35/64
Filed: 2020-03-05
Abstract: 본 발명은, HIP 장치를 사용하지 않고, 강도와 투광성이 모두 우수하고, 또한 직선광 투과율이 우수한 지르코니아 소결체, 이와 같은 지르코니아 소결체를 부여할 수 있는 지르코니아 성형체 및 지르코니아 가소체를 제공한다.     본 발명은, 이트리아를 2.0 ∼ 9.0 mol％ 포함하고, 평균 1 차 입자경이 60 ㎚ 이하이고, 또한 100 ㎚ 를 초과하는 입경을 갖는 입자가 0.5 질량％ 이하인 지르코니아 입자로 이루어지고, 두께 1.5 ㎜ 에 있어서의 ΔL * (W-B) 가 5 이상인, 지르코니아 성형체.     또, 이트리아를 2.0 ∼ 9.0 mol％ 포함하고, 두께 1.5 ㎜ 에 있어서의 ΔL * (W-B) 가 5 이상인, 지르코니아 가소체.     또한, 형광제와, 2.0 ∼ 9.0 mol％ 의 이트리아를 포함하고, 두께 1.0 ㎜ 에 있어서의 직선광 투과율이 1 ％ 이상인, 지르코니아 소결체에 관한 것이다.
Patent KR-20210134038-A (KR)
Title: 비디오 처리 방법 및 기기
IPC: H04N19/119
Filed: 2019-03-13
Abstract: 본 출원의 실시예는 비디오 처리 방법 및 기기를 제공하며, Merge 모드에서의 효율적인 비디오 처리 방법을 제공한다. 당해 방법은, 현재 프레임의 제1 화상 블록을 위해 제1 움직임 정보 후보 리스트를 구축하는 단계; 적어도 하나의 양방향 움직임 정보를 포함한 상기 제1 움직임 정보 후보 리스트로부터, 상기 제1 화상 블록에 포함된 적어도 하나의 서브 화상 블록을 위해 움직임 정보를 각각 선택하는 단계; 적어도 하나의 상기 서브 화상 블록의 움직임 정보를 토대로, 상기 제1 화상 블록에 대해 인코딩 또는 디코딩을 수행하는 단계를 포함한다.
Patent KR-20210148192-A (KR)
Title: 막형성용 조성물
Inventor: SHIBAYAMA WATARU
IPC: G03F7/075
Filed: 2020-03-25
Abstract: [과제] EUV레지스트에의 양호한 밀착성과, 양호한 에칭가공성을 겸비하는 레지스트 하층막을 형성할 수 있는 레지스트 하층막 형성용 조성물로서 호적한, 막형성용 조성물을 제공하는 것이다. 
[해결수단] 염기성 가수분해촉매의 존재하에서 생성되는 가수분해성 실란 화합물의 가수분해축합물(A), 산성 가수분해촉매의 존재하에서 생성되는 가수분해성 실란 화합물의 가수분해축합물(B), 및, 용매를 포함하는, 막형성용 조성물.
Patent KR-20210130261-A (KR)
Title: 금속 질화물들의 증착을 위한 방법 및 장치
Inventor: ZHU MINGWEI
IPC: C23C14/06
Filed: 2020-03-18
Abstract: 금속 타깃을 포함하는 챔버 내에 가공물을 배치하기 전에 질소 가스 및 불활성 가스를 제1 유량비로 챔버 내에 유동시키고 챔버 내의 플라즈마를 점화함으로써 챔버를 사전 컨디셔닝하고, 사전 컨디셔닝 후에 챔버를 진공배기하고, 사전 컨디셔닝 후에 챔버 내의 가공물 지지부 상에 가공물을 배치하고, 그리고 질소 가스 및 불활성 가스를 제2 유량비로 챔버 내에 유동시키고 챔버 내의 플라즈마를 점화함으로써 챔버 내의 가공물 상에 금속 질화물 층의 물리 기상 증착을 수행함으로써, 금속 질화물 층을 포함하는 구조가 가공물 상에 형성된다.  제2 유량비는 제1 유량비 미만이다.
Patent KR-20210149780-A (KR)
Title: 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 레지스트막, 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법
Inventor: TAKADA AKIRA
IPC: G03F7/039
Filed: 2020-06-16
Abstract: LWR 성능이 우수한 패턴을 형성할 수 있는 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물을 제공한다. 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물을 이용한 레지스트막 및 패턴 형성 방법, 및 상기 패턴 형성 방법을 이용한 전자 디바이스의 제조 방법을 제공한다. 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물은, 산분해성 수지와, 활성광선 또는 방사선의 조사에 의하여 산을 발생하는 화합물을 포함하고, 활성광선 또는 방사선의 조사에 의하여 산을 발생하는 화합물이, 화합물 (I)~(III)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 화합물을 1종 이상 포함하며, 상기 화합물 (I)~(III)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 화합물의 함유량이, 조성물 중의 전고형분에 대하여, 20.0질량% 초과이다.
Patent KR-20220061052-A (KR)
Title: 단백질 응집 질환의 치료
Inventor: STANLEY CHRISTOPHER
IPC: A61K35/18
Filed: 2020-04-06
Abstract: 알츠하이머 질환(AD), 파킨슨 질환(PD), 루이소체를 동반한 치매(DLB), 헌팅턴 질환(HD), 근위축성 측삭 경화증(ALS, 상위 및 하위 운동 신경세포의 퇴행으로부터 초래되고 수의근계에 영향을 미침), 진행성 핵상 마비(PSP), 2형 당뇨병 및 다계통 위축증(MSA)을 포함하나, 이에 제한되지는 않는 단백질 응집 질환의 치료를 위한 조성물, 방법 및 시스템.
Patent KR-20210154848-A (KR)
Title: 스피커 및 단말 장치
Inventor: JIANG GUOZHU
IPC: H04R1/02
Filed: 2020-04-15
Abstract: 본 개시는 스피커 및 단말 장치를 제공한다. 상기 스피커는 스피커 하우징 및 스피커 본체를 포함하여 구성되며, 스피커 본체는 스피커 하우징 내부에 설치되고, 스피커 본체는 스피커 하우징과 스피커 전면 캐비티 및 스피커 후면 캐비티를 형성하며, 스피커 하우징은 사운드 출력 채널을 갖고, 사운드 출력 채널은 스피커 전면 캐비티과 연통되며, 스피커 후면 캐비티는 제1 서브 캐비티를 포함하고, 스피커 하우징은 제1 서브 캐비티 내부에 설치된 제1 스페이서를 포함하며, 제1 스페이서는 제1 서브 캐비티를 공진관과 공진 캐비티로 분할하고, 공진관은 공진 캐비티와 연통되며, 스피커 전면 캐비티의 측벽에는 제1 연결 구멍이 설치되고, 스피커 전면 캐비티는 제1 연결 구멍을 통해 공진관과 연통된다.
Patent KR-20220003017-A (KR)
Title: 황-함유 부식성 공정 가스를 정제하는 방법
Inventor: LUEKEN ALEXANDER
IPC: B01J20/30
Filed: 2020-04-23
Abstract: 본 발명은 황 화합물을 함유하는 부식성 공정 가스를 정제하는 방법에 관한 것이다.  상기 방법에 따라, 부식성 가스를 함유하는 가스 스트림을 수착 단계에서 수착성 황-함유 성분 중 적어도 하나를 흡수하는 무기 수착 물질 상에 통과시키고, 황-함유 화합물이 고갈된 가스 스트림을 제거한다.
Patent KR-20220003621-A (KR)
Title: 2개의 내장된 링을 구비한 네트워크 컴퓨터
Inventor: KNOWLES SIMON
IPC: G06F13/40
Filed: 2021-03-24
Abstract: 상호 연결된 노드의 다중 레이어가 축을 따라 배열되는 구성으로 배열된 복수의 상호 연결된 처리 노드를 포함하는 컴퓨터로서, 각각의 레이어는 이웃하는 처리 노드들의 각 쌍 사이의 적어도 개별 레이어내(intralayer) 링크에 의해 비-축 링으로 연결된 적어도 4개의 처리 노드를 포함하고, 각각의 레이어의 4개의 처리 노드 각각은 개별 레이어간(interlayer) 링크에 의해 하나 이상의 인접 레이어의 각각의 대응하는 노드에 연결되고, 컴퓨터는 2개의 내장된 1차원 경로를 구성에 제공하고 2개의 내장된 1차원 경로 각각 주위에 데이터를 전송하도록 프로그래밍되며, 각각의 내장된 1차원 경로는 2개의 내장된 1차원 경로가 링크를 공유하지 않고 동시에 작동하는 방식으로 컴퓨터의 모든 처리 노드를 사용한다.
Patent KR-20220006129-A (KR)
Title: 안정적인 살미생물제 조성물
Inventor: YOSHIDA TAKAMASA
IPC: A01N25/22
Filed: 2020-06-02
Abstract: 5-클로로-2-메틸-4-이소티아졸린-3-온의 안정화 효과가 양호한 살미생물제 함유 수성 조성물의 제공.  (A) 5-클로로-2-메틸-4-이소티아졸린-3-온, (B) 2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-옥실, 그리고 (C) 물 및 친수성 유기 용매로부터 선택되는 1종 이상의 용제를 함유하는 살미생물제 조성물.
Patent KR-20230114010-A (KR)
Inventor: HEO JEONG MO
IPC: B60R21/233
Filed: 2022-01-24
Abstract: 실시예는 스티어링 휠에 배치되는 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되는 에어백 쿠션; 및 상기 에어백 쿠션에 가스를 공급하여 전개시키는 인플레이터를 포함하고, 상기 에어백 쿠션은 적어도 둘의 사이드 챔버와 상기 사이드 챔버 사이에 배치되는 미들 챔버를 포함하는 바디, 및 상기 바디에 형성된 벤트 홀을 포함하고, 상기 미들 챔버 내부의 가스가 상기 벤트 홀로 유출시, 상기 사이드 챔버의 내압이 유지되고, 상기 사이드 챔버의 내압이 유지됨에 따라, 상기 사이드 챔버는 상기 스티어링 휠에 의한 지지 여부에 의해 구분되는 지지영역과 비지지영역을 포함하는 에어백 장치를 개시한다. 이에 따라, 상기 에어백 장치는 내압을 유지하는 사이드 챔버를 이용하여 벤트 홀에 의해 가스가 빠져나가는 미들 챔버를 지지하게 함으로써, 요크형 스티어링 휠을 조정하는 운전자의 충돌에 대한 에어백의 지지력을 확보할 수 있게 한다.
Patent KR-20220019002-A (KR)
Inventor: KWON JOONG HAK
IPC: H05B6/36
Filed: 2022-01-28
Abstract: The present invention relates to an induction heating type fine particle generating device. The present invention provides the induction heating type fine particle generating device comprising: an excitation coil; one or more susceptors that react with the excitation coil to generate induced heating by eddy current loss to heat a flavor generating substrate; and an insulation member that shields the heat between the susceptor and the excitation coil. Therefore, the present invention is capable of having an advantage for which a heat generation of the susceptor can be easily controlled.
Patent KR-20230119787-A (KR)
Inventor: HYUN YONG CHO
IPC: B01F27/805
Filed: 2022-02-08
Abstract: 본 발명은 바닥면으로부터 일정 높이에 수평으로 배치되는 상부 하우징; 한 쌍으로 마련되어 상호 이격된 채로 상기 상부 하우징의 양측 저면에 각각 결합되고, 세로로 상기 바닥면에 배치되는 가이드 하우징; 상기 한 쌍의 가이드 하우징 사이에 위치한 상기 상부 하우징의 하부에 고정설치되고, 교반기를 포함하여 이루어지는 구동부; 및 상기 구동부의 직하방에 위치하는 교반 탱크;를 포함하고, 상기 교반 탱크는 상기 가이드 하우징의 내측면을 따라 승강 가능하게  구성된 것을 특징으로 하는, 교반 탱크의 높이 조절이 가능한 교반 시스템을 제공한다.
Patent KR-20230119917-A (KR)
Title: 배터리 열팽창에 의한 외관변형이 방지되는 차량용 스마트 카드 키 및 그 제조 방법
Inventor: YUN SUNG JOONG
IPC: G06K19/077
Filed: 2022-02-08
Abstract: 본 발명의 실시 예에 따른 차량용 스마트 카드 키는, 하부 프린팅 시트; 상기 하부 프린팅 시트 상에 적층되며, 상기 차량용 스마트 카드 키의 배터리 열팽창에 의한 외관변형을 완충하는 완충 시트; 상기 완충 시트 상에 적층되며, 차량과 무선 통신을 수행하는 회로 기판; 상기 회로 기판 상에 탑재되며, 무선 충전이 가능한 초박형 배터리; 상기 초박형 배터리가 탑재된 회로 기판을 커버하도록 배터리 수용부가 일체형으로 형성된 미들 시트; 및 상기 미들 시트 상에 적층되는 상부 프린팅 시트;를 포함한다.
Patent KR-20230121311-A (KR)
Inventor: PARK JONG BOK
IPC: H01R4/66
Filed: 2022-02-11
Abstract: 개시되는 접지 장치는, 접지봉; 지중에 수평하게 매설되는 편조선;들 및 접지봉과 편조선들을 연결해 접속시키는 연결부재;를 포함하되, 연결부재는, 편조선들이 접속하는 바닥 플레이트; 및 바닥 플레이트에 회동 가능하게 장착되며 바닥 플레이트 측으로 끼워지는 접지봉을 파지하는 다수의 그립부;를 포함한다.
Patent KR-20230122345-A (KR)
Title: 집합건물용 차량 엘리베이터 장치를 이용한 이사짐 또는 화물 운반 제어 시스템
Inventor: JUNG SEONG IN
IPC: B66B1/24
Filed: 2022-02-14
Abstract: 본 발명은 집합건물용 차량 엘리베이터 장치를 이용한 이사짐 또는 화물 운반 제어 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 집합 건물의 개별 전용 공간 옆에 공용 공간으로 주차 공간을 구비하고, 상기 주차 공간에 자동차를 이동시켜 주차할 수 있는 집합건물 개별 세대 수직 주차용 차량 엘리베이터 장치에 있어서, 집합건물 개별 세대 수직 주차공간과 차량 엘리베이터를 이용하여 이사 화물을 운송시킬 수 있는 집합건물용 차량 엘리베이터 장치를 이용한 이사짐 또는 화물 운반 제어 시스템에 관한 것이다.
Patent KR-20230127380-A (KR)
Inventor: GIM JEONG HWAN
IPC: F24F12/00
Filed: 2022-02-23
Abstract: 함체로 형성되며,  실내측 흡입구, 실내측 토출구, 실외측 흡입구, 실외측 토출구가 형성되며, 상기 실내측 흡입구와 상기 실외측 토출구가 연통되도록 형성된 토출유로와, 상기 실외측 흡입구와 상기 실내측 토출구가 연통되도록 형성된 흡입유로가 형성된 본체 케이스; 상기 본체 케이스의 상기 토출유로와 상기 흡입유로가 교차되는 위치에 설치된 전열소자; 상기 토출유로 상의 공기를 유동하는 토출팬; 상기 흡입유로 상의 공기를 유동하는 흡입팬; 및 상기 토출팬 및 상기 흡입팬을 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 토출팬 및 상기 흡입팬 중 적어도 어느 하나를 가변 제어하여, 상기 환기장치가 설치되는 실내 공간을 음압 혹은 양압으로 유지하는 것을 특징으로 하는 환기장치가 제공된다. 따라서, 좁은 공간에 적용되어, 열회수형 환기장치로 기능을 수행하면서, 부가적으로 음압 혹은 양압을 구현할 수 있다는 장점이 있다. 그 결과, 환기장치와 별도로 별도의 음압 및 양압을 구현하기 위한 장치가 필요 없어, 비용 및 공간을 절약할 수 있다는 장점이 있다.
Patent KR-20230127451-A (KR)
Inventor: CHOI HO JIN
IPC: G06N20/00
Filed: 2022-02-25
Abstract: 본 발명은, 
차량제어를 위한 모델예측제어를 모방하는 학습장치로서, 
차량모델(10)과 차량경로(20)를 이용하여 다양한 상황에서의 최적 제어값을 모델예측제어를 통해 얻어 심층학습 제어모델을 학습시켜 학습된 최적 제어값을 도출하는 심층학습 제어모델부(30)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-20220034759-A (KR)
Inventor: WU JIUN YI
IPC: H01L23/00
Filed: 2022-03-08
Abstract: A semiconductor device includes: a first chip-on-wafer (CoW) device having a first interposer and a first die attached to the first side of the first interposer; a second CoW device having a second interposer and a second die attached to the first side of the second interposer, wherein the second interposer is laterally spaced from the first interposer; and a redistribution structure extended along the second side of the first interposer opposite the first side of the first interposer, and extended along the second side of the second interposer opposite the first side of the second interposer, wherein the redistribution structure is continuously extended from the first CoW device to the second CoW device.
Patent KR-20230135327-A (KR)
Inventor: JUNG NEUK SUNG
IPC: A61N1/36
Filed: 2022-03-16
Abstract: 본 발명은 피부치료용 프락셔널 전극장치에 관한 것으로, 복수의 바늘침이 피부에 찔러 넣어진 상태에서 복수의 바늘침과 1대1 대응하고 모두 동일한 정전용량을 가지거나 서로 다른 정전용량을 가지는 복수의 콘덴서를 통해 고주파 전류를 공급함으로써 복수의 바늘침의 피부 속 침첨 부위에서 고주파 전류를 통전시킨다. 
본 발명에 따른 피부치료용 프락셔널 전극장치를 피부치료용 프락셔널 장치에 적용하는 경우 전극 역할을 하는 복수의 바늘침에 고주파 전류를 공급하는 콘덴서의 정전용량을 치료용 고주파 전류 사용범위에 적합하게 설정하면 피부에 찔러 넣어진 복수의 바늘침의 침첨 부위에 치료용 고주파 전류를 통전시켜 국소적인 열 손상을 가함으로써 미세 상처를 형성할 때, 해당 침첨 부위에 형성되는 통전 경로 상의 피부 저항 차이가 존재하더라도 해당 침첨 부위 발열 온도를 균등 혹은 유사하게 유지할 수 있고, 그 결과로 해당 피부 치료 부위에서 균등 혹은 유사한 수준의 치료 효과를 기대할 수 있다.
Patent KR-20230135379-A (KR)
Inventor: LEE JUNG JAE
IPC: G06T7/70
Filed: 2022-03-16
Abstract: 본 발명은, 단말이 촬영한 촬영 영상에서 인식되는 문자를 근거로 단말의 실내 위치를 측정함에 있어, 서버 중심에서 벗어나 단말 주체적으로 문자 기준의 위치(각도) 및 문자와의 거리를 예측하여 이를 기반으로 단말의 실내 위치 및 사용자의 시선 방향을 측정(추정)하는 방식의 새로운 실내 위치 측정(추정) 기법을 실현하기 위한 기술을 개시한다.
Patent KR-20230136768-A (KR)
Title: 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템 및 그 이용 방법
Inventor: HYUNDUCK KIM
IPC: H04N21/2743
Filed: 2022-03-17
Abstract: 본 발명은 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템 및 그 이용 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템으로서, 골프장의 매 홀마다 골프 진행을 위해 구비되는 골프홀 깃대에 설치되어, 골프 플레이를 진행하는 골퍼들의 영상을 촬영하여 수집하는 골프 깃대 설치형 영상 데이터 수집 장치; 상기 골프 깃대 설치형 영상 데이터 수집 장치로부터 해당 홀에서 촬영하여 수집되는 골퍼들의 영상을 전송받아 저장하고, 전방 팀과 후방 팀과의 안전거리 확보를 위해 해당 촬영된 영상이 후방 팀과 공유되도록 제공하는 중앙 클라우드 서버; 및 골프장의 매 홀마다 골프 플레이를 진행하는 골퍼들이 전방 팀의 골프 플레이 영상과 해당 홀의 플레이 완료의 홀 아웃 상태 정보를 수신하기 위한 모바일 디바이스를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다. 
또한, 본 발명의 특징에 따른 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템의 이용 방법은, 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템의 이용 방법으로서, (1) 골프 깃대 설치형 영상 데이터 수집 장치가 골프장의 매 홀마다 골프 진행을 위해 구비되는 골프홀 깃대에 설치되어, 골프 플레이를 진행하는 골퍼들의 영상을 촬영하여 수집하는 단계; (2) 중앙 클라우드 서버가 상기 골프 깃대 설치형 영상 데이터 수집 장치로부터 해당 홀에서 촬영하여 수집되는 골퍼들의 영상을 전송받아 저장하고, 전방 팀과 후방 팀과의 안전거리 확보를 위해 해당 촬영된 영상이 후방 팀과 공유되도록 제공하는 단계; 및 (3) 모바일 디바이스가 골프장의 매 홀마다 골프 플레이를 진행하는 골퍼들이 전방 팀의 골프 플레이 영상과 해당 홀의 플레이 완료의 홀 아웃 상태 정보를 수신하는 단계를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다. 
본 발명에서 제안하고 있는 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템 및 그 이용 방법에 따르면, 골프장의 매 홀마다 골프 진행을 위해 구비되는 골프홀 깃대에 설치되어, 골프 플레이를 진행하는 골퍼들의 영상을 촬영하여 수집하는 골프 깃대 설치형 영상 데이터 수집 장치, 골프 깃대 설치형 영상 데이터 수집 장치로부터 해당 홀에서 촬영하여 수집되는 골퍼들의 영상을 전송받아 저장하고, 전방 팀과 후방 팀과의 안전거리 확보를 위해 해당 촬영된 영상이 후방 팀과 공유되도록 제공하는 중앙 클라우드 서버, 및 골프장의 매 홀마다 골프 플레이를 진행하는 골퍼들이 전방 팀의 골프 플레이 영상과 해당 홀의 플레이 완료의 홀 아웃 상태 정보를 수신하기 위한 모바일 디바이스를 포함하여 구성함으로써, 다양한 형태의 카메라 기능을 통해 골프장 방문자의 현장 영상 정보의 수집과 활용을 위한 클라우드 시스템을 구현하고, 골프장 방문자의 현재 플레이 상태 영상 정보의 촬영과 해당 정보의 공유를 통해 후발 팀과의 안전거리 확보가 가능하며, 그에 따른 골프장에서의 안전사고가 최소화될 수 있도록 할 수 있다. 
또한, 본 발명의 골프 깃대 설치형 카메라를 활용한 골프장 현장 영상 중계 및 안전 확보를 위한 클라우드 시스템 및 그 이용 방법에 따르면, 골프홀 깃대가 꽂힌 골프장 홀의 미리 설정된 영상 촬영지역으로 진입한 골퍼들의 영상을 촬영하되, 다양한 형태의 카메라 기능(열화상, 적외선, 광각렌즈를 포함)을 통해 골프장 방문자의 현재 플레이 상태 영상 정보의 촬영과 해당 정보의 공유가 가능하도록 함으로써, 개인 정보 보호가 필요한 경우 명확한 안면 식별이 불가능한 영상으로 깃대 주변 상황의 모습을 확인하고, 후발 팀과의 안전거리 확보가 가능하도록 하는 개인 정보 보호가 가능하도록 할 수 있다.
Patent KR-20230135755-A (KR)
Title: 반도체 메모리의 리던던시 처리 방법 및 장치
Inventor: PARK JONG SUN
IPC: G11C29/00
Filed: 2022-03-17
Abstract: 본 발명은 반도체 메모리의 리던던시 처리 방법 및 장치를 개시한다. 상기 메모리 리던던시 처리 방법은 폴트의 종류에 따라 적절한 저장 공간을 마련하여 비트맵 방식의 저장을 활용한다.
Patent KR-20220135176-A (KR)
Inventor: HAN SANG WOO
IPC: B02C23/08
Filed: 2022-03-18
Abstract: The present invention relates to a processing method for recycling a waste battery. The processing method for recycling a waste battery comprises the steps of: cooling a battery pack including a battery, containing a plurality of lithium ions, as a unit battery for a minimum cooling time or longer which satisfies equation 1, minimum cooling time = A × (W^0.33)(A = 4 × e^(-0.02×dT); and shredding the cooled battery pack, wherein W = battery pack weight (Kg), dT= │external cooling temperature - target temperature│, ││ means the absolute value. According to the present invention, it is possible to treat a waste battery, when shredding the same, by a simple process within a short time.
Patent KR-20230141210-A (KR)
Title: 마이크로웨이브 다이아몬드 성막 장치
Inventor: CHOI YONG SUP
IPC: C23C16/27
Filed: 2022-03-31
Abstract: 마이크로웨이브 다이아몬드 성막 장치가 개시된다. 상기 마이크로웨이브 다이아몬드 성막 장치는 내부에 캐비티를 형성하는 돔형 유전체창; 상기 캐비티 내에 위치하는 다이아몬드가 성막되는 웨이퍼; 상기 캐비티 내 상기 웨이퍼 위에 플라즈마를 형성하도록 상기 캐비티 내로 마이크로웨이브를 공급하는 마이크로웨이브 인가 수단; 및 상기 캐비티 내로 다이아몬드 CVD 성막을 위한 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하고, 상기 가스 공급부는, 상기 돔형 유전체창의 내측면을 따라 상기 돔형 유전체창의 천장으로 비스듬히 가스를 공급하는, 상기 유전체창 내측의 둘레를 따라 배치된, 노즐홀들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-20220047243-A (KR)
Title: METHOD TO OBTAIN SiC CLASS OF FILMS OF DESIRED COMPOSITION AND FILM PROPERTIES
Inventor: VARADARAJAN BHADRI N
IPC: C23C16/452
Filed: 2022-04-06
Abstract: Provided are a methods and systems for providing silicon carbide class films. Composition of the silicon carbide film can be controlled by selection of a combination of precursors and a flow rate ratio between the precursors. Silicon carbide films can be deposited on a substrate by flowing two different organo-silicon precursors and mixing them together in a reaction chamber. The organo-silicon precursors react with one or more radicals in a substantially low energy state to form a silicon carbide film. One or more radicals may be formed in a remote plasma source.