Patent DE-102013108240-B4 (DE)
Title: Dünnschichtverarbeitungssystem und –verfahren bei der chemischen Badabscheidung auf Solarzellensubstraten
Inventor: CHEN CHUAN-YI
IPC: H01L31/18
Filed: 2013-07-31
Granted: 2023-06-22
Abstract: Dünnschichtverarbeitungssystem für eine chemische Badabscheidung auf Solarzellensubstraten zur Behandlung von Substraten (100), wobei das Substrat (100) eine Nichtgebrauch - Zone (110a) und eine Verarbeitungszone (110b) umfasst, wobei die Nichtgebrauch - Zone (110a) eine Randfläche des Substrats (100) ist, auf die der chemische Abscheidungsprozess keinen Einfluss hat, und wobei es sich bei der Verarbeitungszone (11 0b) um eine Fläche des Substrats (100) handelt, die nicht von der Nichtgebrauch - Zone (110a) abgedeckt ist, und wobei das Substrat (100) während der chemischen Badabscheidung einen hermetischen Kontakt mit einer Lösungsabdeckung (200) aufweist und eine einen Verschlussraum (310) aufweisende Verschlussstruktur zusammen mit der Lösungsabdeckung (200) ausbildet, wobei sich während der Abscheidung in dem Verschlussraum (310) eine Lösung (4) sowie eine Dünnschicht befindet, wobei das Dünnschichtverarbeitungssystem umfasst:eine Lösungsbereitstellungseinheit (3), welche dazu dient, eine Lösung (4) in eine antransportierte Verschlussstruktur einzuleiten, sodass die Verarbeitungszone (110b) des Substrats (100) flächendeckend von der Lösung (4) abgedeckt ist;eine Einheit zur chemischen Badabscheidung (5), welche hinter der Lösungsbereitstellungseinheit (3) angeordnet ist und die von der Lösungsbereitstellungseinheit (3) antransportierte Verschlussstruktur entgegennimmt und während der Weiterbeförderung der Verschlussstruktur die chemische Badabscheidung stattfinden lässt und nach der Entstehung der Dünnschicht dann die Verschlussstruktur weiter transportiert; sowieeine Lösungsabflusseinheit (6), welche hinter der Einheit zur chemischen Badabscheidung (5) angeordnet ist und die Verschlussstruktur von der Einheit zur chemischen Badabscheidung (5) entgegennimmt und die in der Verschlussstruktur befindliche Lösung (4) dann abgießt, undeine Lösungsabdeckung - Transporteinheit (2), welche vor der Lösungsbereitstellungseinheit (3) und hinter der Lösungsabflusseinheit (6) angeordnet ist und die Lösungsabdeckung (200), bevor das Substrat (100) an der Lösungsbereitstellungseinheit (3) ankommt, auf die Nichtgebrauch - Zone (110a) des Substrats (100) aufsetzt, sodass zwischen der Lösungsabdeckung (200) unddem Substrat (100) eine hermetische Verschlussstruktur, welche noch den Verschlussraum (310) in sich hat, entsteht, wohingegen nachdem das Substrat (100) die Lösungsabflusseinheit (6) verlassen hat, die Verschlussstruktur dann in Substrat (100) und Lösungsabdeckung (200) aufgelöst wird und die Lösungsabdeckung (200) dann vor die Lösungsbereitstellungseinheit (3) transportiert wird, um weiterhin Verschlussstrukturen mit Substraten (100) zu bilden,wobei die Lösungsabdeckung - Transporteinheit (2) eine Lösungsabdeckung - Transportvorrichtung (21), Schienen (23), einen Lösungsabdeckungsbefestigungsabschnitt (2a) und einen Lösungsabdeckungsablöseabschnitt (2b) umfasst, wobei die Schienen (23) an den beiden Enden jeweils mit dem Lösungsabdeckungsbefestigungsabschnitt (2a) und dem Lösungsabdeckungsablöseabschnitt (2b) verbunden sind, und wobei der Lösungsabdeckungsbefestigungsabschnitt (2a) und der Lösungsabdeckungsablöseabschnitt (2b) jeweils mit der Lösungsbereitstellungseinheit (3) und der Lösungsabflusseinheit (6) verbunden sind, und wobei die Lösungsabdeckung - Transportvorrichtung (21) zwischen den beiden Enden der Schienen (23) angeordnet ist und sich zwischen den beiden Enden hin und her bewegt, und wobei, wenn das Substrat (100) sich auf dem Lösungsabdeckungsbefestigungsabschnitt (2a) aufhält, die Lösungsabdeckung - Transportvorrichtung (21) dann die Lösungsabdeckung (200) auf die Nichtgebrauch - Zone (110a) des Substrats (100) aufsetzt, sodass sich zwischen der Lösungsabdeckung (200) und dem Substrat (100) eine hermetische Verschlussstruktur ausbildet; und wobei, wenn das Substrat (100) sich hingegen auf dem Lösungsabdeckungsablöseabschnitt (2b) aufhält, die Lösungsabdeckung - Transportvorrichtung (21) die Verschlussstruktur dann in Substrat (100) und Lösungsabdeckung (200) auflöst und die Lösungsabdeckung (200) vom Lösungsabdeckungsablöseabschnitt (2b) auf den Lösungsabdeckungsbefestigungsabschnitt (2a) transportiert, wobei der Lösungsabdeckungsablöseabschnitt (2b) und der Lösungsabdeckungsbefestigungsabschnitt (2a) jeweils die antransportierten Substrate (100) entgegennehmen.