baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100509847-B1 (KR)
Title: 판재의 제조방법
IPC: D21J3/00
Filed: 2001-11-30
Granted: 2005-08-24
Abstract: 본 발명은 판재의 제조방법에 관한 것이다. 
           본 발명은  프레스의 하측에 틀을 준비하는 준비단계; 상기 준비단계를 완료 후 습한 상태의 펄프 69% : 숯가루 4% : 석회분말 14% : 운기석 가루 8% : 당귀와 천궁 분말 3% : 백두유 2%를 혼합하여 혼합기에 넣어 혼합함으로써 혼합물을 제조하는 혼합물 제조단계; 상기 준비단계를 완료 후 상기 틀에 한지를 깔고 그 상측에 상기 혼합물을 일정한 두께로 펼쳐서 깔아놓은 후 그 상측에 다른 한지를 덮어씌우는 혼합물 적층단계; 상기 혼합물 적층 단계를 완료 후 상기 프레스에 의해 압착하며 틀의 형상과 동일한 형상의 임시판재의 형상을 형성하는 압착단계; 상기 압착단계를 완료 후 습한 상태의 임시판재를 건조하는 건조단계; 및 상기 건조단계를 완료 후 임시판재의 양 측면에 대해 백두유를 스프레이에 의해 분사하며 보호층을 증착에 의해 형성하는 증착단계로 이루어진다. 
     따라서, 일상 생활주변에서 광범위하게 사용되는 판재를 산림을 훼손시키지 않으면서 오히려 재활용품을 이용하여 제작함으로써 자연환경을 보호할 수 있고 단순한 기능을 갖는 판재를 기능적으로 다방면에서  활용할 수 있음은 물론, 인체에 유익한 성분을 발생시킨다.
Patent KR-100853208-B1 (KR)
IPC: G02F1/1337
Filed: 2001-12-05
Granted: 2008-08-20
Abstract: 본 발명은 수직 배향형 액정 표시 장치에 관한 것이다.  텍스쳐 발생을 억제하여 우수한 화질의 액정 표시 장치를 제공하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따른 수직 배향형 액정 표시 장치는, 절연 기판 및  절연 기판 위에 형성되어 있는 다수의 배선, 상기 다수의 배선이 교차하여 정의하는 메트릭스 형태의 화소 영역마다 형성되어 있는 화소 전극, 상기 배선 및 화소 전극과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 절연 기판 위에 형성되어 있는 도메인 분할 수단을 포함하는 하부 기판과, 하부의 절연 기판과 대향하는 상부의 절연 기판 및 절연 기판 위에 형성되어 있는 색 필터, 색 필터 위에 형성되어 있는 공통 전극, 절연 기판 위에 형성되어 있는 도메인 분할 수단을 포함하는 상부 기판으로 이루어지며, 상부 기판의 도메인 분할 수단은 요철 형태의 패턴이다.  
       
     수직 배향, 돌기 패턴, 텍스쳐
Patent KR-100625030-B1 (KR)
IPC: G02F1/136
Filed: 2001-12-20
Granted: 2006-09-20
Abstract: 본 발명은 게이트패드의 손상을 방지할 수 있는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 액정표시소자의 제조방법은 기판 상에 게이트전극 및 게이트패드를 형성하는 단계와; 상기 게이트전극 및 게이트 패드를 덮도록 게이트절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트절연막 상에 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 게이트절연막 상에 소스 및 드레인전극과 데이터패드를 형성하는 단계와; 상기 게이트절연막 상에 무기보호막을 형성하는 단계와; 상기 무기보호막을 관통하여 상기 드레인전극 및 상기 데이터패드를 각각 노출시키는 제1 드레인접촉홀과 제1 데이터접촉홀을 형성함과 아울러 상기 게이트절연막의 일부와 상기 무기보호막을 관통하여 상기 게이트패드영역 위에 위치하는 게이트절연막을 노출시키는 제1 게이트접촉홀을 형성하는 단계와; 상기 무기보호막 상에 유기보호막을 형성하는 단계와; 상기 유기보호막을 관통하여 상기 드레인전극 및 상기 데이터패드 각각을 노출시키는 제2 드레인접촉홀과 제2 데이터접촉홀을 형성함과 아울러 상기 게이트 패드영역 위에 위치하는 상기 게이트절연막을 노출시키는 제2 게이트접촉홀을 형성하는 단계와; 상기 게이트패드영역 위에 위치하는 상기 게이트 절연막을 제거하여 상기 게이트패드를 노출시키는 단계와; 상기 유기보호막 상에 투명전극패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100355620-B1 (KR)
Title: 암호 통신 방법 및 장치
IPC: H04L9/00
Filed: 1998-07-02
Granted: 2002-10-11
Abstract: 시작 스페이스, 통신 채널, 및 통신 채널을 통하여 시작 스페이스와 연계된 목적지 스페이스를 포함하는 통신 시스템. 시작 스페이스는 입력 심볼(I t )에 기초하여 출력 심볼(O t )을 발생하기 위한 암호화 엔진 및 암호 키, 암호 텍스트/키 관계 및 입력 심볼을 수신하기 위한 수단을 포함한다. 목적지 스페이스는 통신 채널을 통하여 시작 스페이스로부터 수신된 출력 심볼에 기초하여 해독된 심볼(I' t )을 발생하기 위한 해독 엔진 및 해독 키 및 해독 텍스트/키 관계를 수신하기 위한 수단을 포함한다. 암호 텍스트/키 관계는 O t =α N (t) + π N [α N-1 (t) + π N-1 [α N-2 (t) + . . . + π 2 [α 1 (t) + π 1 [I t + α 0 (t)]] . . .]], mod W 가 되도록 암호화 엔진을 제어하며, 여기서, α N , α N-1 , . . . ,α 1 , α 0 는 암호 키에 의해 정의되는 N+1 부가 변환이며, π N , π N-1 , . . . ,π 2 , π 0 는 암호 키에 의해 정의되는 N 순열이고, W는 암호 키에 의해 정의되는 각 순열에 대한 확률을 표시한다. 해독 텍스트/키 관계는 I' t =π 1   -1 [π 2   -1 [π 3   -1 . . . [π N-1   -1 [π N   -1 [O t -α' N (t)]-α' N-1 (t)]- . . . -α' 3 (t)]-α' 2 (t)]-α' 1 (t)]-α' 0 (t), mod W 가 되도록 해독 엔진을 제어하며, 여기서, π i   -1 는 순열(π i )의 역수로서 해독 키에 의해 정의되고, α' N , α' N-1 , . . . ,α' 1 , α' 0 는 해독 키에 의해 정의되는 N+1 부가 변환이며, W는 해독 키에 의해 정의되는 각각의 역 순열에 대한 확률을 표시한다.
Patent KR-100786891-B1 (KR)
Title: Method of protecting cable strands
IPC: H01R4/70
Filed: 2000-05-05
Granted: 2007-12-17
Abstract: Stranded cable conductors, especially their connecting joints with electrical components, are damaged during use in aggressive surroundings, for example in fuels. Protective measures, such as shrinkable tubes or protective coatings, do not ensure adequate protection however. With the novel process, stranded cable conductors and their connecting joints with electrical components are to be protected against the attack of aggressive media. With the process according to the invention, stranded cable conductors are encapsulated in a fuel-resistant plastic, the encapsulation not covering the entire length of the stranded cable conductor but the region which is exposed to aggressive media. The process does not require any pretreatment of the stranded cable conductors.
Patent KR-100648759-B1 (KR)
IPC: H01S5/327
Filed: 1999-09-09
Granted: 2006-11-23
Abstract: 전류주입에 의해 발광하는 활성층(5)이, 그 활성층(5) 보다 밴드갭이 큰 재료로 이루어지는 n형 클래드층(4) 및 p형 클래드층(6)에 의해 끼워 지지되는 구조로서, 활성층(5)이 예를 들면, Cd x  Zn 1-x  O(0≤x＜1)로 이루어져 있다. 또, 클래드층(4, 6)이, 예를 들면, Mg y  Zn 1-y  O(0≤y＜1)로 이루어져 있으면 더욱 바람직하다. 이에 의해, ZnO재료의 협대역 겝화를 도모하게 되며, 활성층을 클래드층에 의해 끼워 지지하는 청색계의 발광다이오드나 레이저다이오드 등의 반도체발광소자의 활성층이나 클래드층의 재료에, 습성에칭이 가능하며, 취급하기 용이하고, 결정성이 우수한 산화물반도체를 사용할 수가 있게 되어, 발광특성이 우수한 청색계의 반도체발광소자를 얻을 수가 있다.
Patent KR-100585360-B1 (KR)
IPC: C07D301/08
Filed: 1999-09-20
Granted: 2006-06-01
Abstract: 본 발명은 반응의 열을 제거하기 위해 수증기가 형성되도록 열 전달 매체로서 물을 사용하여 에틸렌을 공기 또는 산소로 직접 산화시켜 에틸렌 옥시드를 제조하는 방법의 특정 에너지 소비를 최적화하는 방법에 관한 것이다.  본 발명에 따르면, 수증기는 하나 이상의 다른 소비자, 예를 들어 탑저 증발기 또는 증기 분사기에 의해 사용을 위한 공급 전에, 작동 기계 (M)용의 하나 이상의 배압 증기 터빈(들) (T)에서 우선 팽창된다. 
       
     열매체, 에틸렌 옥시드, 글리콜, 증기 터빈, 탑저 리보일러
Patent KR-100607566-B1 (KR)
IPC: C09B62/513
Filed: 2000-02-09
Granted: 2006-08-03
Abstract: 본 발명은 커플링 성분으로서 1-아미노-3,6-디설포-8-나프톨 및 각각 비닐설폰계 섬유 반응성 기를 함유하는 두 개의 아닐린계 디아조 성분으로 이루어진 디스아조 염료 하나 이상, 및 시아노아미도- 또는 모폴리노- 또는 아미노-치환된 클로로트리아지닐아미노-설포-나프톨 커플링 성분 및 비닐설폰계 섬유 반응성 기를 함유하는 아닐린계 디아조 성분으로 이루어진 모노아조 염료 하나 이상을 포함하는 염료 혼합물에 관한 것이다.  본 염료 혼합물은 하이드록시 및/또는 카복스아미도함유 섬유 물질, 예컨대 셀룰로즈 섬유, 특히 면, 또는 예컨대 모 및 합성 폴리아미드 섬유에 암흑색 염색을 제공한다.
Patent KR-100485885-B1 (KR)
Title: 표고버섯을 이용한 청국장 및 그 제조방법
IPC: A23L11/20
Filed: 2002-01-02
Granted: 2005-04-29
Abstract: 본 발명은 청국장 및 그 제조방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 표고버섯을 첨가하여 발효시키는 것을 특징으로 하는 청국장 및 그 제조방법에 관한 것이다. 
     상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 표고버섯을 이용한 청국장의 제조방법은, 대두에 생표고버섯과 건표고버섯가루를 혼합하여 발효시켜 청국장을 제조하는 것을 특징으로 하며, 좀더 상세하게는 대두에 생표고버섯을 혼합하는 생표고버섯 혼합단계와; 상기의 단계를 거친 대두를 물에 침지하여 증자하는 침지 및 증자단계와; 상기의 단계를 거친 대두에 건표고버섯가루를 혼합하는 건표고버섯가루 혼합단계와; 상기의 단계를 거친 대두에 고초균(Bacillus subtilis)을 접종하여 발효시키는 접종및 발효단계로 이루어진다. 
     상기와 같은 제조방법에 의하여 발명된 표고버섯을 이용한 청국장은 표고버섯의 맛과 향으로 기존 청국장의 역한 냄새를 완화시키면서 다양한 미감을 제공하여 청국장과 표고버섯의 수요증대 및 대중화에 기여하고 또한 청국장의 발효기간(48~72시간)을 절반정도(20~30시간)로 단축시킴으로 인하여 생산성이 증가되는 동시에 발효과정중 이질균의 침입기회를 감소시켜 청결한 제품을 생산할 수 있는 효과가 있다.  
     또한 종국적으로 국민건강 증진, 전통 청국장의 품질향상 및 산업화에 크게 기여할 것으로 기대된다.
Patent KR-100410775-B1 (KR)
Title: 자동 주차 브레이크 장치 및 그 제어 방법
IPC: B60T7/12
Filed: 2002-02-02
Granted: 2003-12-24
Abstract: 평지 및 경사로에 주차된 차량의 주차 브레이크가 견고히 체결되어 있지 않은 상태에서 변속기를 이용하여 기구적으로 주차 브레이크를 체결할 목적으로; 
     주차된 차량의 동작상태 변화를 검출하는 차량 동작상태 검출수단과; 상기 차량 동작상태 검출수단에서 검출되어 인가되는 신호를 입력받아 운전자의 탑승여부와 경사도를 판단하고, 주차 브레이크 작동상태를 판단하여 변속레버 위치를 자동으로 가변 조작하여 차량의 이동을 방지하기 위한 제어신호를 출력하는 변속 제어 수단과; 상기 변속 제어 수단에서 출력되는 제어신호에 동기되어 변속레버의 위치를 가변시키는 구동수단으로 구비되어 이루어져 있어서, 경사로에 주차된 차량이 운전자 부재시 미끄러져 발생될 수 있는 대형사고를 미연에 방지할 수 있다.
Patent KR-100839289-B1 (KR)
IPC: H01T21/02
Filed: 2002-02-08
Granted: 2008-06-17
Abstract: (과제) 스파크 갭의 간격을 계측함에 있어서, 촬영수단에 대한 워크(스파크 플러그)의 경사에 관계없이 정확한 스파크 갭의 간격을 산출할 수 있고, 더 나아가서는 스파크 플러그를 고정밀도로 제조할 수 있는 스파크 플러그의 제조방법 및 제조장치를 제공한다. 
     (해결수단) 접지전극(W2)측의 스파크 갭에 면하는 접지전극측 스파크 갭 형성부{선단 에지(E2)}와 중심전극(W1)측의 스파크 갭에 면하는 중심전극측 스파크 갭 형성부{선단 에지(E1)}에 있어서, 각각의 외형선의 위치를 부여하는 외형선 측정점을 복수개 결정한다. 그리고, 일측의 스파크 갭 형성부에 있어서의 외형선 측정점 중 1개를 기준점으로서 정하고, 또한 타측의 스파크 갭 형성부에 있어서의 상기 기준점과의 거리가 최단거리가 되는 외형선 측정점을 구하고, 그 최단거리에 의거하여 스파크 갭의 간격을 결정한다.
Patent KR-100454957-B1 (KR)
Title: 문자 메시지를 송수신하는 유선 전화 단말기에서 부재중수신된 정보를 외부 단말기로 송신하는 방법
IPC: H04M3/54
Filed: 2002-02-22
Granted: 2004-11-06
Abstract: 본 발명은 문자 메시지를 송수신하는 유선 전화 단말기에 있어서, 사용자 부재 시 유선 전화 단말기에서 공중 전화망으로부터 수신된 수신 정보를 외부 단말기에 송신하는 방법을 제공한다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 공중 전화망으로부터 발신자 정보를 수신하고 문자 메시지를 송수신하는 유선 전화 단말기에 있어서, 사용자에 의해 사용자 부재를 설정하는 과정과, 상기 사용자 부재 시 상기 공중 전화망으로부터 상기 발신자 정보와 상기 문자 메시지 중 하나를 수신하는 과정과, 상기 유선 전화 단말기에 상기 발신자 정보와 상기 문자 메시지 중 하나가 수신되었음을 상기 사용자에게 알리기 위한 수신 정보 문자 메시지를 생성하는 과정과, 상기 생성된 수신 정보 문자 메시지를 상기 사용자가 미리 설정한 외부 단말기로 송신하는 과정을 특징으로 한다.
Patent KR-100834616-B1 (KR)
IPC: H04B7/26
Filed: 2002-02-27
Granted: 2008-06-02
Abstract: 기지국의 각 섹터들에 대해 기지국과 거리 및 좌표를 포함하는 측정 포인트들과 해당 위치에서의 수신 신호전력을 측정한 결과를 저장하는 측정 테이블을 구비하는 거리예측 시스템을 구비하는 이동통신 시스템의 단말기의 위치 결정 방법은, 단말기와 통신하는 기지국의 식별정보, 라운드트립지연(RTD) 정보 및 파일럿 위상을 측정하는 과정과, 식별된 기지국의 기지국 좌표와 섹터 방위각을 확인하여 단말기가 존재하는 범위를 결정하는 과정과, 식별된 기지국과 단말기 간의 RTD 정보를 이용하여 단말기와 기지국 간의 거리를 결정하는 과정과, 결정된 범위 및 거리 정보들을 이용하여 단말기가 위치되는 의사지점을 탐색하는 과정과, 탐색된 의사지점에서 전파 지연 오차를 이용하여 상기 RTD와 파일럿 위상을 보정하는 과정과, 보정된 RTD와 파일럿 위상을 측정 테이블을 통해 보정하여 단말기의 위치를 결정하는 과정으로 이루어진다. 
                 
       
     단말기 위치결정, 측정 테이블, RTD, 파일럿 위상
Patent KR-100489585-B1 (KR)
Title: 오존에 의한 공기정화 및 살균시스템
IPC: A61L9/015
Filed: 2002-03-19
Granted: 2005-05-17
Abstract: 본 발명은 오존에 의한 공기정화 및 살균시스템에 관한 것으로서, 그 구성은 원료공기를 흡입, 압축하여 일정 압력으로 유지공급하는 공기압축기(1)와, 공기의 온도상승을 억제하기 위한 애프터쿨러(2)와, 일차 냉각된 압축공기를 급냉시켜 습기를 제거하는 에어드라이어(3)와, 저온처리된 공기로부터 분진, 수분을 제거하는 에어필터(4)와, 이 에어필터(4)에서 고압으로 처리된 원료공기를 오존발생에 적합한 압력으로 조정하는 에어레귤레이터(5)와, 이 에어레귤레이터(5)를 통해 양질의 원료공기를 공급받아 오존량, 농도, 풍량 등이 적합한 오존을 생산공급하는 오존발생기(6)와, 공기를 오존 처리하는 피처리장(10)과, 오존을 균일하게 분사주입하기 위한 오존노즐(9)과, 상기 피처리장(10)에서 오존가스와 피처리공기의 혼합, 분산, 확산이 신속히 이루어지도록 하는 순환팬(11)과, 상기 피처리장(10)의 내부공기를 외부로 배출하는 배출팬(12) 및 상기 피처리장(10)의 특성에 따라 오존주입량, 오존잔류농도, 처리시간 등을 종합처리하는 콘트롤패널(13)을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 따라서, 성능, 효율, 안전성, 적응성, 경제성이 뛰어나 경쟁력이 매우 우수하며 오존처리 능력이 우수하게 되는 등의 효과를 얻는다.
Patent KR-100455426-B1 (KR)
Title: 열교환기 연속 표면처리장비의 2열처리구조
IPC: C23C16/455
Filed: 2002-03-29
Granted: 2004-11-06
Abstract: 본 발명 열교환기 연속 표면처리장비의 2열처리구조는 조립되어진 열교환기(200)가 장착되는 다수개의 캐리어(101)와, 그 다수개의 캐리어(101)를 순차적으로 이송시키기 위한 이송부(103)와, 상기 캐리어(101)에 의하여 이송되는 열교환기(200)들의 전체 표면에 표면처리막을 연속적으로 형성시키기 위한 표면처리부(102)와, 그 표면처리부(102)의 양측에 배치되어 열교환기(200)들이 장착된 캐리어(101)를 표면처리부(102)에 로딩/언로딩하기 위한 트랜스퍼(104)와, 상기 캐리어(101)가 표면처리부(102)를 통과할때에 캐리어(101)에 장착된 열교환기(200)에 전원을 인가하기 위한 전원인가부(105)로 구성되는 표면처리장치에서, 상기 챔버의 양측에 구비된 도어(132)의 내측면과 챔버의 중앙부에 설치된 쉴드(133)의 양측에 전극(134)들을 설치하고, 그 쉴드(133)에 설치된 전극(134)들과 도어(132)에 설치된 전극(134)들의 사이로 지나며 표면처리가 이루어질 수 있도록 열교환기(200)가 장착되는 열교환기 장착부(101a)가 캐리어(101)의 "U"자형 몸체부(101b) 양단부에 형성되도록 하여, 열교환기(200)가 캐리어(101)의 열교환기 장착부(101a)에 장착되어 캐리어(101)의 이송에 따라 챔버의 내부를 2열로 이송하며 표면처리가 진행됨으로써, 대량의 표면처리작업이 이루어 진다.
Patent KR-100867589-B1 (KR)
IPC: G06F1/20
Filed: 2002-04-17
Granted: 2008-11-10
Abstract: 본 발명은, 배터리의 충전잔량을 고려하여 중앙처리장치(CPU)의 온도상승에 따른 적정 열관리 동작을 수행하는 배터리 잔량에 따른 휴대용 기기의 열 관리방법에 관한 것으로서, 휴대용 기기에 탑재된 중앙처리장치의 온도를 검출하는 제 1단계; 상기 검출된 온도에 따라 상기 휴대용 기기에 탑재된 배터리의 충전잔량을 확인하는 제 2단계; 및 상기 확인된 충전잔량에 근거하여, 상기 중앙처리장치에 대한 열관리 동작을 수행하는 제 3단계를 포함하여 이루어져, 한정된 배터리 전원을 사용하는 휴대용 기기에서, CPU의 온도상승에 따라 열관리 동작이 필요한 경우에는 현재의 배터리 충전잔량을 고려하여 최적의 열관리 동작을 수행함으로써, 불필요하게 휴대용 기기의 성능이 감소되는 일이 없으며, 한정된 배터리 충전전원을 보다 효율적으로 이용할 수 있는 매우 편리하고 유용한 발명인 것이다. 
       
     노트북 시스템, 배터리, CPU, Active Cooling, Passive Cooling
Patent KR-100429908-B1 (KR)
Title: 엠피엘에스/지엠피엘에스 망에서의 레이블 분배 제어장치
IPC: H04L12/28
Filed: 2002-05-07
Granted: 2004-05-03
Abstract: 본 발명은 MPLS(Multi Protocol Label Switching)/GMPLS(Generalized MPLS) 망에서의 레이블 분배 제어장치(LDCF)의 구성과 그 장치를 구성하는 각 요소 간의 상호 처리 동작 방법을 제공함으로써 차세대 인터넷 장비의 제어 블록을 설계 구현함에 있어 용의성을 향상시킬 수 있도록 한 MPLS/GMPLS 망에서의 레이블 분배 제어장치에 관한 것이다. 
     이를 위한 본 발명은, 레이블 분배 제어 블럭인 LDCF를 중심으로 포트 관리를 위한 포트 매니저(Port Manager)와, 연결 관리를 위한 커넥션 매니저(Connection Manger)와, 레이블 관리를 위한 레이블 매니저(Label Manger)와, 라우팅 프로토콜에 의해 생성되는 라우팅 정보 베이스(RIB; Routing Informantion Base)와, 트래픽 엔지니어링 기능을 제공하기 위한 트래픽 엔지니어링 매니저(TE Manger)와, 망관리 기능을 제공하기 위한 단순망관리규약 에이전트(SNMP Agent)와, 운용자 명령어 제공을 위한 명령 매니저(Command Manager)와, 프로토콜 제어 메시지 송수신을 위한 IP 인터페이스/TCP 인터페이스/UDP 인터페이스와, 메모리 관리를 위한 메모리 매니저(Memory Manager)와, 주기적인 작업 및 시간에 관련된 처리를 위한 타이머 매니저(Timer Manager)를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100473748-B1 (KR)
Title: 액정 표시 장치
IPC: G02F1/1335
Filed: 2002-06-18
Granted: 2005-03-10
Abstract: 액정층을 협지하는 한 쌍의 기판, 상기 기판의 한 쪽에 설치된 표시면 및 상기 기판의 다른 쪽에 배치된 조명 장치를 구비한 액정 표시 장치에 있어서, 본 발명은 상기 표시면에 직교하는 방향에 따른 상기 기판 측면의 적어도 하나에 차광막을 형성하고, 상기 조명 장치로부터 상기 기판 측면의 적어도 하나를 통해 발생하는 광누출을 방지한다.
Patent KR-100483076-B1 (KR)
Title: 그릴장치
IPC: F24C15/18
Filed: 2002-06-20
Granted: 2005-04-14
Abstract: (과제) 물받이접시를 간단하게 또한 안전하게 떼어 낼 수 있고, 구성이 간략하여 저렴하게 제작할 수 있는 그릴장치를 제공한다. 
     (해결수단) 그릴실(1)의 전방 개구부(3)에 개폐가능한 그릴도어(2)를 설치하고, 그릴실 내에 수용되는 물받이접시(4)에 연결부재(5)를 통해서 손잡이부를 연결하고, 물받이접시의 출입조작에 연동하여 그릴도어가 상기 개구부의 개폐동작을 하는 그릴장치에 있어서, 그릴도어를 개구부의 하단 부근에 부착함과 아울러 물받이접시와 손잡이부의 사이에 개재시키고, 손잡이부에 의해서 그릴도어가 눌려져서 개구부를 폐쇄하는 폐쇄위치와 물받이접시의 하측으로 그릴도어가 회동한 개구부의 개방위치로 회동가능하도록 구성하였다. 그릴도어를 다리편(7)을 통해서 개구부의 하단 부근에 착탈가능하게 부착하고, 또한 그릴도어가 그 자중에 의해서 개구부를 개방하도록 회동하게 하고, 손잡이부의 내면에 가이드판(16)을 설치한다.
Patent KR-100496650-B1 (KR)
Title: 유동력 보상이 가능한 스풀 밸브 및 이를 이용한 유압밸브, 공압 밸브, 3웨이 제어 밸브, 4웨이 제어 밸브
IPC: F15B13/04
Filed: 2002-06-27
Granted: 2005-06-22
Abstract: 본 발명은 스풀 로드의 외주부로서 슬리브의 공급 유로측에 유동력 보상 돌출링이 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 유동력 보상이 가능한 스풀 밸브 및 이를 이용한 유압 밸브, 공압 밸브, 3웨이 방식의 밸브, 4웨이 방식의 밸브를 제시함으로써, 슬리브 자체의 구조 변형을 요구하지 않고 스풀의 간단한 구조 변화에 의해 유동력을 보상할 수 있도록 한다.
Patent KR-100432036-B1 (KR)
Title: 바디패널의 플랜지를 가공하기 위한 지그
IPC: B25B11/00
Filed: 2002-06-28
Granted: 2004-05-17
Abstract: 본 발명은 바디패널의 플랜지를 가공하기 위한 지그에 관한 것으로, 패널안착부(11)가 일측 상단부에 구비되는 하형다이(10)와, 이 하형다이(10)의 안쪽면과 종방향으로 이격된 상측부에 플랜지가공면(32)이 위치되도록 구비되는 상형다이(30)와, 이 상형다이(30)와 횡방향으로 나란히 병설되면서 상기 상형다이(30)와 함께 하강되어 패널안착부(11)에 얹혀진 바디패널(2)을 지지하는 상형패드(40)와, 상기 상형다이(30)내에 일체로 형성되는 실린더(35)와, 일단이 상기 실린더(35)내에 탄성부재(51)를 매개로 탄설되고 타단은 상기 실린더(35)를 관통하여 상형패드(40)쪽으로 돌출되면서 실린더(35)를 따라 직선왕복 이동이 가능하도록 설치되는 피스톤부재(52)와, 상기 상형다이(30)의 하강작동시 피스톤부재(52)를 실린더(35)로부터 돌출시키기 위해 상기 실린더(35)로 압축공기를 선택적으로 공급하는 압축공기공급수단(60)과, 상기 실린더(35)와 외부를 연결하는 통로상에 설치되어 실린더(35)로 공급된 압축공기를 배출하기 위해 선택적으로 개방되는 실린더밸브(71)와, 상기 압축공기공급수단(60)의 작동유무 및 실린더밸브(71)의 개폐여부를 제어하는 콘트롤러(73)를 포함하도록 구성되어져, 바디패널(2)의 취출작업시 취출작업이 수월하게 진행되고 작업시간도 단축되며, 아울러 취출작업시 발생되는 불량품이 대폭적으로 감소되면서 품질향상을 이룩할 수 있도록 된 것이다.
Patent KR-100833005-B1 (KR)
IPC: C21B7/18
Filed: 2002-07-16
Granted: 2008-05-27
Abstract: 본 발명은 비숍의 콘밸브에 이상이 발생하는 등에 의하여 1차압력제어가 정상적으로 압력제어를 할 수 없는 경우, 비숍의 후단에 연결되어 발전기 기동시에 이용되는 메인바이패스밸브, 바이패스콘트롤밸브, 거버너밸브의 개도를 조절하여 노정압제어가 계속 이루어지도록 하는 고로의 노정압 연속 제어 장치에 관한 것으로, 비숍의 고장시, 긴 수리기간동안 2차압력제어계를 통해 노정압 제어 및 전력생산을 가능하게 하여, 고로를 정지시키지 않으며, 그 결과 생산성을 향상시키는 것이다. 
       
     고로, 비숍, 콘밸브, 발전기, 메인바이패스밸브, 거버너밸브, 바이패스콘트롤밸브,
Patent KR-100470964-B1 (KR)
Title: 연속 아연도금라인의 스핀들 시편 시험장치
IPC: G01M1/16
Filed: 2002-07-18
Granted: 2005-02-22
Abstract: 본 발명은 아연도금강판생산라인에서 용융아연도금 욕조에 함침되어있는 콜랙터 로울러(Corrector roller)와 스테빌라이저 로울러(Stabilizer roller)를 회전시키는 스핀들(Spindle)을 제작하기 위한 최적의 재질 등을 판단하기위한 내구성 시험을 하도록한 스핀들 시편 시험 장치의 구조에 대한 발명이다.
Patent KR-100500554-B1 (KR)
Title: 연소장치
IPC: F23N5/26
Filed: 2002-07-23
Granted: 2005-07-12
Abstract: 본 발명은 연소장치에 관한 것으로, 버너와, 그 버너에 점화하는 수단과, 그 점화수단을 제어하는 수단과, 그 제어수단에 접속된 자동복귀식의 스위치를 구비하고 있다. 제어수단은 스위치가 ON되고 나서 소정 시간후에 스위치의 ON,OFF를 판별하고, 스위치가 ON의 경우에는 점화수단을 동작시키지 않고, OFF의 경우에 점화수단을 동작시킨다. 사용자가 스위치를 ON하는 시간은 단시간이다. 이에 소정시간후에 스위치가 ON인 경우에는 사용자에 의해서 조작된 ON이 아니라고 판단할 수 있다. 상기의 연소장치는 상술한 바와 같이 제어되고, 스위치의 ON이 사용자의 조작에 의하지 않은 경우에는 점화가 개시되는 것이 아니기 때문에 안전하다. 따라서, 자동복귀식 스위치가 사용자의 조작에 의하지 않고 ON되더라도 안전한 연소장치를 제공할 수 있다.
Patent KR-100469269-B1 (KR)
IPC: H04M11/00
Filed: 2002-07-24
Granted: 2005-02-02
Abstract: A communications terminal operates in multiple modes including a wired phone mode, an Internet phone mode, and a combined mode. The terminal includes a wired phone unit and an IP phone unit which separately processes calls to/from PSTN- and Internet-communications networks. The terminal also includes a processor which processes a call through a voice path which connects the wired phone unit and the IP phone unit in a third mode of operation which is referred to as an external connection mode. By processing a call along this path, the cost of performing long-distance and/or international calling may be substantially reduced and transmission efficiency may simultaneously be improved. <IMAGE>
Patent KR-100869118-B1 (KR)
IPC: G02F1/133
Filed: 2002-08-07
Granted: 2008-11-17
Abstract: 표시 특성을 향상시키기 위한 액정 표시 장치 및 이의 구동방법이 개시된다. 액정 표시 장치의 게이트 구동부는 제1 극성에 대응하는 제1 프레임에 인가되는 제1 게이트 신호와, 제1 극성으로부터 반전된 제2 극성에 대응하는 제2 프레임에 인가되는 제2 게이트 신호 중 어느 하나를 선택하여 게이트 라인을 활성화시키는 제1 기간동안에는 제1 전압과 킥백 보상을 위한 제2 전압을 갖고, 게이트 라인을 비활성화시키는 제2 기간동안에는 제1 및 제2 전압보다 낮은 제3 전압과 제3 전압보다 낮은 제4 전압을 반복하도록 출력한다.   따라서, 서로 반전된 극성을 갖는 프레임 사이에서 킥백 전압의 차이를 최소화할 수 있고, 더 나아가 액정 표시 장치의 표시 특성을 향상을 향상시킬 수 있다.
Patent KR-100464612-B1 (KR)
Title: 연료 전지용 세퍼레이터
IPC: H01M8/10
Filed: 2002-08-08
Granted: 2005-01-03
Abstract: 본 발명은 우수한 전기 전도성, 기계적 강도 및 가스 투과성을 갖는 연료 전지용 세퍼레이터(separator)를 제공한다.  상기 세퍼레이터는 카본 분말과 혼합하면서 페놀과 알데하이드를 촉매의 존재 하에서 반응시킴으로써 얻어진 카본-페놀 수지 성형 컴파운드의 성형체이다.  상기 촉매로는 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속의 탄산염, 수산화물, 산화물 및 3급 아민 중에서 선택되는 적어도 하나를 이용할 수 있다.  성형 컴파운드 중의 질소 성분의 함량은 0.3 wt% 이하이고, 성형 컴파운드 중의 탄소 함량은 75 wt% 내지 97 wt% 범위인 것이 바람직하다.
Patent KR-100463717-B1 (KR)
Title: 트랜지션 노즐의 제조방법 및 제조금형
IPC: B21K1/76
Filed: 2002-08-31
Granted: 2004-12-29
Abstract: 본 발명은 트랜지션 노즐의 제조방법 및 제조금형에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기계가공에 의해 제조하던 종래의 방법에서 탈피하여 필요 길이로 절단된 파이프를 프레스 금형에 의해 트랜지션 노즐로 프레스 성형하여 제조함으로써, 가공비와 재료비 및 사상량의 절감 효과를 가져오는 트랜지션 노즐의 제조방법 및 제조금형에 관한 것이다. 
     본 발명에 따르면, 파이프의 흑피를 제거하고 두께를 일정하게 하기 위한 내외경의 가공과 면취작업의 선반 작업을 행하는 파이프 선가공(pre-press)의 제 1공정과, 상형과 하형을 셋팅한 후 상형과 하형을 개방하고, 파이프를 하형에 로딩하며, 상형을 슬라이딩시켜 성형을 행하는 프레스 작업공정의 제 2공정과, 프레스 성형된 트랜지션 노즐을 수압 테스트하고 용접 개선과 사상작업 등을 행하고 시험편 테스트와 비파괴 검사와 방청 작업 및 포장 작업을 행하는 후공정의 제 3공정으로 구성된 트랜지션 노즐의 제조방법과, 상기 제조방법에서 사용되는 프레스 금형으로서, 트랜지션 노즐의 장공개구부를 성형하는 상형과 원형개구부를 성형하는 하형으로 한벌의 프레스 금형이 구성되고, 상기의 상형은 장공개구부성형부의 마주보는 직선부 외측에 한쌍의 상부측벽이 대칭되게 설치되고, 장공개구부성형부의 마주보는 곡선부 내측에 한쌍의 상부코아가 서로 대칭되게 설치되어 구성되며, 상기의 하형은 원형개구부성형부의 외측에 한쌍의 하부측벽이 대칭되게 설치되고, 원형개구부성형부의 내측에 한쌍의 하부코아가 서로 대칭되게 설치되어 구성되며, 상형과하형이 결합되면 한쌍의 상부코아와 한쌍의 하부코아가 트랜지션 노즐의 내측를 성형하고 한쌍의 상부측벽과 한쌍의 하부측벽이 트랜지션 노즐의 외측을 성형하게 구성된 트랜지션 노즐의 제조금형이 제공된다.
Patent KR-100869204-B1 (KR)
IPC: C02F3/00
Filed: 2002-09-12
Granted: 2008-11-18
Abstract: 본 발명은 밸브의 개폐 단계가 감소되고, 필터를 통한 흐름 방해가 최소화되고, 필터의 배수 단계가 제거된 역세 시스템을 이용하여 생물학적 필터를 자동 탈기시키는 방법에 관한 것이다.  하향류 필터를 자동 탈기시키는 방법에서, 처리 시스템내의 각각의 필터 수위는, 수위가 탈기가 필요한 만큼 높아지면 탈기 공정을 자동으로 활성화시키는 이미 지정된 높은 수위 지점과 비교하여 점검된다.  역세 폐수 배출 작업 또한, 자동화 작업이다.  높은 수위 지점은 역세 폐수가 자동으로 배출되는 지점으로 자동적으로 지정될 수 있다.  다중 필터 처리 시스템에서, 필터의 수위는 지정된 높은 수위 지점 및 탈기되도록 자동적으로 선택된 특정 필터에 대해 자동적으로 점검된다.  상향류 필터에서, 지정된 하압 지점은 필터가 탈기되어야 하는 지를 점검하기 위해 이용된다.  한 필터에서 다른 필터로의 탈기 공정이 자연스럽게 전이된다.
Patent KR-100502176-B1 (KR)
Title: 온라인 종합목록 서비스 시스템 및 방법과 그 프로그램을저장한 기록매체
IPC: G06F17/30
Filed: 2002-09-30
Granted: 2005-07-20
Abstract: 본 발명은 외부기관의 서지 및 소장정보를 감시하여 실시간으로 업데이트된 종합목록 정보를 사용자에게 서비스할 수 있는 온라인 종합목록 서비스 시스템 및 방법과 그 프로그램을 저장한 기록매체에 관한 것이다. 
     이를 위하여 본 발명은, 외부기관의 서지 및 소장정보를 포함하는 종합목록 정보를 저장한 복합DB와, 외부기관 시스템의 서지 및 소장정보의 변경을 감시하여 변경된 전거(典據)정보를 생성한 후 복합DB에 저장하고 전거정보에 따라 종합목록 정보를 갱신하는 온라인 갱신장치와, 사용자의 검색요청에 반응하여 복합DB에 저장된 정보를 검색한 후 검색된 결과를 상기 사용자에게 제공하는 종합목록 검색장치를 포함하는 온라인 종합목록 서비스 시스템을 제공한다. 
     따라서, 본 발명은 외부기관의 서지 및 소장정보를 감시하여 실시간으로 업데이트된 종합목록 정보를 사용자에게 서비스할 수 있고, 서로 다른 포맷의 데이터를 표준화된 포맷의 데이터로 변환하여 종합목록 정보와 연계시킬 수 있다.
Patent KR-100507035-B1 (KR)
Title: 진공청소기용 보조흡입구
IPC: A47L9/06
Filed: 2002-10-07
Granted: 2005-08-09
Abstract: 본 발명은 좁은 틈새의 청소가 용이하고, 청소할 장소에 따라서 보조흡입구의 교체가 간단한 진공청소기용 보조흡입구에 관한 것이다.  본 발명에서는, 좁은 틈새의 먼지를 흡입하기 위한 문어발흡입구(60)의 전방에 플렉시블한 재질로 형성된 다수개의 흡입관(64)으로 구성되는 흡입부(62)가 구비되고, 상기 흡입관(64)의 둘레에는 브러시(66)가 구비된다.  그리고 상기 흡입부(62)의 후방에는 결합부(68)가 형성되며, 상기 결합부(68)는 상기 흡입부(62)와 연통된다.  상기 결합부(68)는 브러시흡입부(70)의 전방에 형성된 유입부(72)에 착탈가능하게 결합되고, 상기 유입부(72)의 둘레에는 브러시(74)가 구비된다.  한편 상기 유입부(72)의 후방에는 진공청소기의 연장관의 단부에 연결되는 연결부(76)가 형성되고, 상기 연결부(76)는 상기 유입부(72)와 연통된다.
Patent KR-100499132-B1 (KR)
Title: 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
IPC: B41J2/235
Filed: 2002-10-24
Granted: 2005-07-04
Abstract: 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 토출될 잉크가 채워지는 잉크 챔버가 그 표면쪽에 형성되고, 잉크 챔버로 잉크를 공급하기 위한 매니폴드가 그 배면쪽에 형성되며, 잉크 챔버와 매니폴드를 연결하는 잉크 유로가 그 표면에 나란하게 형성된 기판; 및 기판 상에 적층되는 것으로, 잉크 챔버로부터 잉크가 토출되는 노즐이 형성되고, 히터 및 히터와 전기적으로 연결되어 히터에 전류를 인가하는 전극이 배치된 노즐판;을 구비한다. 이와 같은 본 발명에 따르면, 잉크 유로는 잉크 챔버와 동일 평면 상에서 기판의 표면에 나란하게 형성됨으로써 잉크의 토출 성능을 향상시킬 수 있으며, 최적의 형상을 가지는 잉크 챔버 및 잉크 유로를 형성할 수 있다.
Patent KR-100544226-B1 (KR)
IPC: H01L21/31
Filed: 2002-10-30
Granted: 2006-01-23
Abstract: 실리콘 웨이퍼를 그 내부에 포함하고 있는 라디칼 산화장치는, 실리콘 웨이퍼를 유지하고, 실리콘 웨이퍼의 온도를 대략 400℃~500℃의 온도로 유지하는 가열척을 그 내부에 갖는 진공실; 상기 진공실내 실리콘 웨이퍼를 산화하시키기 위해 산소함유가스를 제공하는 산화가스원; 산소함유가스를 O(1D) 상태의 산소함유 해리물로 해리시키는 산소해리기구; 및 상기 진공실에 해리물을 통과시키기 위한 기구를 포함한다. 실리콘이 반도체-순수 실리콘 웨이퍼 형태인 실리콘의 라디칼 산화방법은, 실리콘 웨이퍼를 가열척에 배치시키는 단계로서, 상기 가열척이 내부에 상기 실리콘 웨이퍼를 400℃~500℃의 온도로 유지하며, 대략 1mTorr~2000mTorr의 압력으로 유지되는 진공실에 포함되는 단계; 산화가스를 산소해리기구내로 유입하는 단계; 산화가스를 O(D1)상태의 산소함유 해리물로 해리하는 단계; O(1D)상태의 산소를 가열된 실리콘 웨이퍼에 걸쳐 통과시키는 단계; 및 진공실내에 실리콘 웨이퍼를 대략 1~60분 동안 유지하여 웨이퍼상에 이산화 실리콘층을 형성하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100909688-B1 (KR)
Title: 롤 갭 위치검출 제어장치
IPC: B21B39/00
Filed: 2002-11-19
Granted: 2009-07-29
Abstract: 본 발명은 냉간압연 설비 또는 산세라인 등에서 연속통판 작업시 용접부의 통판제어에 이용되는 롤 갭 위치검출 제어장치에 관한 것이다. 
     이를 위해서, 본 발명은 커버 안에 장착되어 엔코더를 고정시키는 전체베이스와, 상기 전체베이스의 일측에 롤과 엔코더를 구동 시키기 위해 스크류 잭에 연결된 샤프트와, 상기 샤프트의 외측에 상기 샤프트의 원활한 작동을 위해 삽입된 베어링 블록과, 상기 베이스의 타측에 롤 갭을 제어하도록 설치된 엔코더와, 상기 엔코더와 상기 샤프트를 연결하여 회전할 수 있도록 샤프트에 조립된 풀리와, 상기 엔코더와 상기 샤프트의 사이에는 이를 연결하여 회전되도록 하는 타이밍 벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 롤 갭 위치검출 제어장치를 제공한다. 
     이러한, 본 발명은 열연 코일을 연속통판하기 위해 선행재와 후행재 코일을 용접연결하여 통판시 용접부가 스케일 브레이커 위치를 통과할 때에 스케일 브레이커의 인터메쉬롤과 안티 크로스 보우롤의 자동위치를 제어하기 위한 엔코더 장치를 개선시킴으로써 통판속도 제어를 양호하게 함은 물론 특히 고탄강 코일의 용접부 판파단을 방지하여 통판성을 크게 향상시키는데 상당한 효과가 있다. 
       
     엔코더, 용접부 검출센서, 스케일 브레이커, 메쉬롤, 용접홀
Patent KR-100496025-B1 (KR)
Title: 휴대형 비파괴 수박 품질 판정기
IPC: G01N29/04
Filed: 2002-11-29
Granted: 2005-06-16
Abstract: 본 발명에 의한 휴대형 비파괴 수박 품질 판정기는 수박의 표면을 일정한 충격량으로 타격하는 타격부, 타격에 의해 수박에서 발생한 음파 신호를 수집하는 마이크부, 수박 품질의 척도가 되는 음파 신호가 샘플링되어 저장된 저장부 및 수박에서 발생한 음파 신호에서 품질에 관련된 인자들을 계산하여, 미리 설정된 품질 관련 인자값과 비교하여, 비교 결과를 출력하는 처리부를 포함한다. 본 발명에 의한 휴대형 비파괴 수박 품질 판정기는 수박을 파괴하지 않으면서 신뢰할 수 있는 품질 판정이 가능하다.
Patent KR-100576160-B1 (KR)
IPC: G11C11/22
Filed: 2002-12-11
Granted: 2006-05-03
Abstract: 본 발명은, 고밀도 광디스크의 기록위치 판별방법 및 장치에 관한 것으로, 재기록 가능한 블루레이 디스크(BD-RE)의 기록위치와, 재생전용 블루레이 디스크(BD-ROM)의 기록위치를, 광디스크로부터 순차적으로 연속 검출되는 다수의 프레임 동기(Frame Sync)들을 조합하여 판별하되, 판별하고자 하는 현재의 기록위치 이후에 기록된 적어도 1 개 이상의 프레임 동기를 참조하여, 현재의 기록위치를 판별함으로써, 재기록 가능한 블루레이 디스크(BD-RE)의 런아웃 영역과, 재생전용 블루레이 디스크(BD-ROM)의 링킹 영역에 기록되는 프레임 동기에 의해, 기록위치 판별 오류가 발생하게 되는 것을 원천적으로 방지시킬 수 있게 되는 매우 유용한 발명인 것이다.  
       
     재기록 가능한 블루레이 디스크(BD-RE), 런아웃(Run-Out) 영역, 재생전용 블루레이 디스크(BD-ROM), 링킹 영역(Linking Area), 프레임 동기(Frame Sync)
Patent KR-100543238-B1 (KR)
IPC: G08G1/096
Filed: 2002-12-18
Granted: 2006-01-20
Abstract: 본 발명은 교차로의 교통신호등이나 횡단보도 신호등의 잔여시간 표시장치에 있어서 교통신호등의 자동대기 시간표시장치에 관한 것이다. 
     본 발명의 교통신호등의 자동대기 시간표시장치는 기존의 신호제어기에서 발생되는 교통신호들의 신호 점등시간을 광파이버를 사용하여 마이크로 컴퓨터에 적합한 사양으로 변환시켜 마이크로 컴퓨터의 제어부에 입력하는 신호입력부(10), 별도의 교통신호에 대한 시간 설정을 하기 위한 스위치와 보조회로를 포함하는 조작부(20), 상기 신호입력부와 조작부에서 입력된 신호를 제어, 저장, 프로그램 할 수 있는 마이크로 컴퓨터 시스템(30), 상기 마이크로 컴퓨터 시스템에서 출력되는 N진 하향 계수 신호에 의해 신호표시부의 구동을 가능케 하는 인터페이스부(40) 및 상기 인터페이스로부터 전송되어온 시간관련 신호를 이용하여 잔여시간을 나타내는 신호표시부(50)로 구성되어짐에 기술적 특징이 있다. 
     따라서, 본 발명의 교통신호등의 자동대기 시간표시장치는 운전자에게 운전에 필요한 정보를 좀 더 정확하게 알려주어 성급한 운전판단에 따른 착오를 해소함으로써 교통사고 예방 및 감소의 효과를 가져와 교통사고를 획기적으로 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 신호잔여시간 표시장치를 설치함에 있어 녹색신호와 좌회전 신호를 검출하기 위한 별도의 전원인가가 요구되지 않음으로 인해 기존에 설치 운영 중인 신호등에 아무런 시설변경을 하지 않고도 간단하게 장착할 수 있는 기술적 장점과 긴급상황이나 교통체증으로 인한 신호등의 수동조작 등 어떠한 신호 조작에도 적절하게 대처할 수 있는 기술적 효과가 있다. 
       
     교통신호등, 신호기, 시간표시장치.
Patent KR-100454255-B1 (KR)
Title: 하드마스크를 이용한 캐패시터의 제조 방법
IPC: H01L21/8242
Filed: 2002-12-30
Granted: 2004-10-26
Abstract: 본 발명은 상부전극 패터닝시 발생된 식각부산물로 인한 상하부전극간 단락을 억제하면서, 표면이 산화된 하드마스크를 남겨둔 상태에서 후속 공정을 진행함에 따른 리프팅 현상을 방지하는데 적합한 캐패시터의 제조 방법을 제공하기 위한 것으로, 제1 루테늄막 상에 고유전막과 제2 루테늄막을 적층 형성하는 단계, 상기 제2 루테늄막 상에 하드마스크를 형성하는 단계, 상기 하드마스크 상에 상부전극을 정의하는 감광막패턴을 형성하는 단계, 상기 감광막패턴을 식각마스크로 상기 하드마스크를 패터닝하는 단계, 상기 패터닝된 하드마스크와 상기 감광막패턴을 식각마스크로 상기 제2 루테늄막과 상기 고유전막을 차례로 식각하여 상부전극과 유전막패턴을 형성하는 단계, 상기 감광막패턴을 스트립하는 단계, 및 상기 감광막패턴의 스트립시 상기 하드마스크 표면에 생성된 산화막을 선택적으로 제거하는 단계를 포함한다.
Patent KR-101062812-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 하프늄 산화막 캐패시터 형성방법
IPC: H01L27/108
Filed: 2002-12-30
Granted: 2011-09-07
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 기술에 관한 것으로, 특히 반도체 소자 제조 공정 중 캐패시터 형성 공정에 관한 것이며, 더 자세히는 반도체 소자의 하프늄 산화막(HfO 2 ) 캐패시터 형성방법에 관한 것이다. 본 발명은 후속 열공정시 하부 전극용 TiN막의 산화 및 TiN막 내의 염소기에 의한 HfO 2  박막의 오염을 방지할 수 있는 반도체 소자의 하프늄 산화막 캐패시터 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 본 발명은 HfO 2  캐패시터의 하부 전극 재료로서 기존의 TiN막을 대신하여 Ti-Al-N막을 사용한다. Ti-Al-N막은 내산화성이 우수하여 후속 열공정에 의한 산화의 가능성이 적다. 한편, 본 발명에서는 염소를 포함하지 않는 증착 소오스를 사용하여 원자층증착법(ALD)을 통해 Ti-Al-N막을 증착한다. 이 경우, 증착 소오스에 질소가 포함되어 있지 않기 때문에 별도의 질화 과정이 필요하며, Ti-Al-N막 내에는 염소기가 포함되지 않기 때문에 후속 열공정시 HfO 2  박막의 오염을 유발하지 않게 된다. 
       
     고유전체 캐패시터, 하프늄 산화막, 하부 전극, Ti-Al-N막, 원자층증착법