baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102011120498-B4 (DE)
Title: Werkzeug zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
Inventor: GRADERT ISABELL
IPC: B81C1/00
Filed: 2011-12-07
Granted: 2014-02-13
Abstract: Werkzeug (2) zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche, aufweisend eine elastische Matrizenbahn (10) mit einem Negativ der zu erzeugenden Mikrostruktur eine über eine Oberfläche verfahrbare elastische Andruckwalze (4) und mindestens ein Führungselement (18, 20, 26) zum Führen der elastischen Matrizenbahn (10) relativ zu der Andruckwalze (4), wobei die Andruckwalze (4) und die Matrizenbahn (10) derart angeordnet sind, dass beim Verfahren der Andruckwalze (4) über die Substratoberfläche das Negativ auf der Matrizenbahn (10) zu der Substratoberfläche gerichtet ist. Dadurch kann eine besonders hohe Spurtreue und Führungspräzision der Matrizenbahn (10) erreicht werden.
Patent DE-102012007053-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben einer Brennkraftmaschine sowie Brennkraftmaschine
Inventor: BRUNE TOBIAS
IPC: F01N3/027
Filed: 2012-04-05
Granted: 2021-02-18
Abstract: Verfahren zum Betreiben einer Brennkraftmaschine (1) eines Kraftfahrzeugs, wobei der Brennkraftmaschine (1) eine Abgasreinigungseinrichtung (2) zugeordnet ist, die über wenigstens einen Katalysator (12,13) verfügt, der mittels einer elektrischen Heizvorrichtung (16) mit einer auf Grundlage einer Vorgabetemperatur bestimmten Sollheizleistung beheizt wird, wobei bei dem Bestimmen der Sollheizleistung zusätzlich wenigstens eine Betriebsgröße der Brennkraftmaschine (1) unmittelbar berücksichtigt wird, dadurch gekennzeichnet, dass als Betriebsgröße eine Partikelfilterbeladung eines Partikelfilters der Abgasreinigungseinrichtung (2) verwendet wird, wobei die Sollheizleistung reduziert wird, wenn die Partikelfilterbeladung eine bestimmte Beladung überschreitet.
Patent DE-102012007416-B4 (DE)
Title: Befestigungssystem
Inventor: YAGCI BURHAN
IPC: F03D80/00
Filed: 2012-04-16
Granted: 2016-08-18
Abstract: Befestigungssystem für strangförmige Funktionselemente wie Kabel (61) oder Leitungen, insbesondere bei Windkraftanlagen, mit einem Grundkörper (1), der Strangdurchführungen (5) aufweist, die entlang gedachter Bogenlinien, vorzugsweise in Form zumindest eines Teils eines Kreisbogens, angeordnet sind und zum Einlegen von Funktionselementen eine durch eine Abdeckeinrichtung (49, 55) verschließbare, radial außenliegende Öffnung (11) besitzen, wobei der Grundkörper (1) aus zumindest zwei Sektorelementen (3) gebildet ist, die jedes zumindest eine Strangdurchführung (5) aufweisen und an zumindest einer Verbindungsstelle (23) miteinander koppelbar sind, und wobei an zumindest einer Seite der Sektorelemente (3) mindestens ein Halteteil (27) vorgesehen ist, über das, unter Freilassung des Zugangs zu den jeweiligen Strangdurchführungen (5), eine feste Verbindung zwischen benachbarten Sektorelementen (3) herstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass das jeweilige Halteteil die Form einer Platte (27) mit von einem Zentralteil sternartig ausgehenden Befestigungsarmen (31) besitzt, die Befestigungsstellen (33) für die Verbindung mit einem zugeordneten Sektorelement (3) bilden.
Patent DE-102012014231-B4 (DE)
Title: Thermoelementabnormitäts-Detektionssystem und zugehöriges Detektionsverfahren
Inventor: TOBO MASAYUKI
IPC: H01L35/28
Filed: 2012-07-18
Granted: 2015-05-07
Abstract: Thermoelementabnormitäts-Detektionssystem mit: einer Mehrzahl von Thermoelementen (21–23; 121–123; 621–623), die jeweils eine Mehrzahl von Thermodrähten (21a–23a, 21b–23b; 121a–123a, 121b–123b; 621a–623a, 621b–623b, 621c–623c) enthalten, die in einem Gehäuse (31–33; 131–133; 631–633) untergebracht sind; einer Übertragungssignalumwandlungseinheit (41a–43a, 41b–43b; 241–243; 341a–343a, 341b–343b; 641–643), die konfiguriert ist zum Umwandeln einer thermoelektromotorischen Kraft, die durch jeden der Mehrzahl der Thermodrähte (21a–23a, 21b–23b; 121a–123a, 121b–123b; 621a–623a, 621b–623b, 621c–623c) erzeugt wird, in ein Übertragungssignal (P; P1; P2) und zum Ausgeben des Übertragungssignals (P; P1; P2); einer Übertragungseinheit (51a–53a, 51b–53b; 251–253; 351a–353a, 351b–353b; 651–653), die konfiguriert ist zum Übertragen des von der Übertragungssignalumwandlungseinheit (41a–43a, 41b–43b; 241–243; 341a–343a, 341b–343b; 641–643) ausgegebenen Übertragungssignals (P; P1; P2); und einer Abnormitätsdetektionsschaltung (60; 260; 360; 660), die konfiguriert ist zum Detektieren einer Abnormität jedes der Mehrzahl der Thermoelemente (21–23; 121–123; 621–623), indem die Übertragungssignale (P; P1; P2), die von der Mehrzahl der Thermodrähte, die in jedem der Thermoelemente bereitgestellt sind, erhalten werden, miteinander verglichen werden, wobei die Übertragungseinheit (51a–53a, 51b–53b; 251–253; 351a–353a, 351b–353b; 651–653) eine Mehrzahl von Übertragungseinheiten (51a–53a, 51b–53b; 251–253; 351a–353a; 351b–353b; 651–653) enthält, ferner mit: einer ersten Verbindungseinheit (12b–12f; 212b, 212c; 312b–312e; 612b, 612c), die konfiguriert ist, die Mehrzahl von Übertragungseinheiten (51a–53a, 51b–53b; 251–253; 351a–353a, 351b–353b; 651–653) miteinander zu verbinden; und mindestens einer zweiten Verbindungseinheit (12a; 212a, 212d; 312a, 312d; 612a), die konfiguriert ist zum Verbinden von einer der Mehrzahl der Übertragungseinheiten (51a–53a, 51b–53b; 251–253; 351a–353a; 351b–353b; 651–653) mit der Abnormitätsdetektionsschaltung (60; 260; 360; 660); wobei jede der Mehrzahl der Übertragungseinheiten ...
Patent DE-102012016411-B4 (DE)
Title: Elektronisches Haushaltsgerät mit einer durch eine Türvorrichtung verschließbaren Zugangsöffnung eines Innenraums
Inventor: AICHER JOCHEN
IPC: D06F33/00
Filed: 2012-08-21
Granted: 2014-03-06
Abstract: Ein elektronisches Haushaltsgerät (10) weist ein Gehäuse (12), in welchem wenigstens ein Innenraum angeordnet ist, welcher durch wenigstens eine Zugangsöffnung (14) von außerhalb des Gehäuses zugänglich ist; eine Türvorrichtung (16) zum wahlweisen Öffnen oder Verschließen der Zugangsöffnung (14) des Innenraums; eine Steuereinrichtung (18) zum Steuern des Betriebs des Haushaltsgerätes; und eine Eingabevorrichtung (20; 22) zum Eingeben von Betriebsparametern durch einen Benutzer, welche mit der Steuereinrichtung (18) verbunden ist, auf. Die Eingabevorrichtung (20; 22) ist derart an der Türvorrichtung (16) oder dem Gehäuse (12) positioniert, dass sie im geschlossenen Zustand der Türvorrichtung (16) einem Erkennungsabschnitt (21a, 21b; 23a, 23b) des Gehäuses (12) bzw. der Türvorrichtung (16) unmittelbar gegenüber liegt. Außerdem ist die Eingabevorrichtung (20; 22) derart ausgestaltet, dass sie in einem Eingabemodus, in dem sie eine Eingabe von Betriebsparametern durch einen Benutzer erkennen kann, und einem Türerkennungsmodus, in dem sie ihre Lage unmittelbar gegenüber dem Erkennungsabschnitt (21a, 21b; 23a, 23b) des Gehäuses bzw. der Türvorrichtung erkennen kann, betrieben werden kann.
Patent DE-102012017718-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Verwendung von Methanol in einem Verbrennungsmotor mit Selbstzündung
Inventor: HARZFELD EDGAR
IPC: C10L3/00
Filed: 2012-09-07
Granted: 2021-06-17
Abstract: Verfahren zur Verwendung von Methanol in einem Verbrennungsmotor mit Selbstzündung, durch Dehydratisierung, mit den Verfahrensschritten:a. Einführen des Methanols in einen Katalysatorraum (K), welcher in Form eines Doppelrohres ein Abgasrohr (1) des Verbrennungsmotors umhüllt, wobei die Einführung über einen Methanoleingang (E) erfolgt, welcher am Katalysatorraum (K) angeordnet ist,b. Verdampfung des Methanols im Katalysatorraum (K) unter Nutzung der im Abgasrohr (1) vorhandenen Wärme oder unter Nutzung einer erzeugten Wärme, undc. Umwandlung des Methanols in Dimethylether welcher als Verbrennungskraftstoff der oder den Verbrennungskammer(n) zugeführt wird, wobei eine Ableitung des ReaktionsproduktesDimethylether über eine am Katalysatorraum (K) angeordnete Reaktionsproduktausgang (B) erfolgt.
Patent DE-102012104947-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Erzeugen eines gesicherten Datenobjekts und System
Inventor: FELLER OLAF
IPC: G06F21/60
Filed: 2012-06-07
Granted: 2016-06-30
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines gesicherten Datenobjekts mittels einer Datenverarbeitungseinrichtung, wobei ein digitaler Datenstrom, der eine kontinuierliche Abfolge von Datensätzen umfasst, von der Datenverarbeitungsanlage empfangen wird, und das Verfahren die folgenden Schritte umfasst Erzeugen von einem Datenrepräsentationswert jeweils am Ende eines Intervalls mit einer ersten Intervalllänge, welcher den Datensätzen des jeweiligen Intervalls erster Länge zugeordnet wird, Empfangen eines dem jeweiligen Datenrepräsentationswert zugeordneten ersten Zeitstempels, Speichern des jeweiligen Datenrepräsentationswertes zusammen mit dem zugeordneten ersten Zeitstempel, Erzeugen von einem Intervallrepräsentationswert jeweils am Ende eines Intervalls mit einer zweiten Intervalllänge, die größer ist als die erste Intervalllänge, der den Datenrepräsentationswerten des jeweiligen Intervalls zweiter Länge zugeordnet wird, Empfangen eines dem jeweiligen Intervallrepräsentationswert zugeordneten zweiten Zeitstempels, und Speichern des jeweiligen Intervallrepräsentationswertes zusammen mit dem zugeordneten zweiten Zeitstempel. Weiterhin betrifft die Erfindung ein System.
Patent DE-102012107074-B4 (DE)
Title: Frontscheinwerferstruktur eines fahrzeugs
Inventor: NA JIN HO
IPC: F21W102/155
Filed: 2012-08-02
Granted: 2021-03-25
Abstract: Frontscheinwerferstruktur eines Fahrzeugs, aufweisend einen linken Frontscheinwerfer und einen rechten Frontscheinwerfer, die jeweils aufweisen:einen Reflektor (10), der eine Lichtquelle (20) aufweist; undein Blendenelement (100), das drehbar an einer Vorderseite des Reflektors (10) angeordnet ist und das eine Blendenvorwölbung (110) aufweist, die an einer äußeren Randoberfläche des Blendenelements (100) angeordnet ist und die eine Schnittfläche (C) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dassein mittleres Ende der Blendenvorwölbung (110) die Schnittfläche (C) aufweist, die spiralförmig gebogen ist, wobei ein seitliches Ende der Blendenvorwölbung (110) eine halbrunde Form aufweist und das andere seitliche Ende der Blendenvorwölbung (110) eine Fächerform hat, unddie Blendenelemente des linken und des rechten Frontscheinwerfers symmetrisch ausgebildet sind.
Patent DE-102012214273-B4 (DE)
Title: Kontextbasiertes Messaging-System
Inventor: O'DOHERTY SIMON
IPC: G06Q10/10
Filed: 2012-08-10
Granted: 2019-12-12
Abstract: Verfahren für aus sozialen Netzwerken bereitgestelltes, kontextbasiertes Messaging, das Folgendes umfasst:- Empfangen (301) eines Nachrichteninhaltes in einem Messaging-System als Eingabe von einem Nutzer (A), wobei der Inhalt Objekte umfasst;- Abgleichen (306) eines Objekts oder mehrerer Objekte des Nachrichteninhaltes mit aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen, wobei es sich bei den aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen um Informationen handelt, die für ein Objekt relevant sind, das aus einem sozialen Netzwerk bezogen wird, dem der Nutzer (A) angehört,- Bereitstellen von Beziehungs-Metadaten (305), die ein Objekt und aus sozialen Netzwerken bereitgestellte Kontextinformationen miteinander verknüpfen;- Filtern (310) der Beziehungs-Metadaten beim Abgleichen eines Objekts mit aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen, um die mit höchster Wahrscheinlichkeit passenden Kontextinformationen anzuzeigen;- Moderieren der aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen,- wobei das Moderieren der aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen ein Überlagern (311) von Hintergrundinformationen umfasst, die ein Moderator geeigneter als die abgeglichenen, aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen erachtet,- wobei eine Rangordnung der Metadaten von dem Moderator so im Einzelnen eingestellt werden kann, dass die Relevanz der Metadateneinträge in eine Rangfolge gebracht wird; und- Anzeigen (312) der aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen zusammen mit dem Nachrichteninhalt, so dass diese von einem als Empfänger vorgesehenen anderen Nutzer (B) empfangen werden können,- wobei die aus sozialen Netzwerken bereitgestellten Kontextinformationen von Mitgliedern eines sozialen Netzwerkes bereitgestellt werden (304), dem der den Nachrichteninhalt bereitstellende Nutzer (A) angehört.
Patent DE-102012218349-B4 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Eisbrei
Inventor: SCHAAF JAKOB
IPC: F25C1/00
Filed: 2012-10-09
Granted: 2016-01-28
Abstract: Vorrichtung zur Erzeugung von Eisbrei in einem Kälteträger-Gemisch (6) umfassend – einen Wärmeübertrager (2) mit mindestens einer Übertragungsfläche (20) zu dem Kälteträger-Gemisch (6), wobei die Übertragungsfläche (20) in Kontakt mit dem Kälteträger-Gemisch (6) Wärme von diesem aufnimmt, – mindestens eine Kontaktoberfläche zu dem Kälteträger-Gemisch (6), an welcher sich Eispartikel anlagern, wobei die Übertragungsfläche (20) des Wärmeübertragers (2) als Kontaktoberfläche fungiert oder die mindestens eine Kontaktoberfläche an der Übertragungsfläche (20) des Wärmeübertragers (2) angeordnet ist, und – einen Induktor (5) zur Erzeugung eines elektromagnetischen Wechselfeldes, wobei zum Ablösen der Eispartikel von der mindestens eine Kontaktoberfläche die mindestens eine Kontaktoberfläche direkt oder indirekt mittels des Induktors (5) induktiv erwärmbar ist.
Patent DE-102012223752-B4 (DE)
Title: Straßenbaumaschine mit einem Drahtlossensor
Inventor: ZENG JACK
IPC: E01C19/00
Filed: 2012-12-19
Granted: 2014-04-10
Abstract: Straßenbaumaschine (14) mit mindestens einem Drahtlossensor (32), dadurch gekennzeichnet, dass der Drahtlossensor (32) ein Gehäuse (34), in dem mindestens eine Batterie (36) und ein auf ein magnetisches Feld ansprechender Aktuator (38) angeordnet sind, aufweist und abnehmbar in einem Befestigungsbereich (30) einer an der Straßenbaumaschine (14) befestigten Halterung (26) angeordnet ist, wobei an der Halterung (26) ein Magnet (28) im Abstand zu dem Befestigungsbereich (30) angebracht ist, der den Aktuator (38) zum Aktivieren des Drahtlossensors (32) betätigt, wodurch die Batterien (36) Strom an den Drahtlossensor (32) zuführen, wenn der Drahtlossensor (32) an der Halterung (26) angebracht ist.
Patent DE-102013019593-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Spannung eines Riemens, einer Kette oder eines Seiles in einem universellen selbstzentrierten System
Inventor: DEGTJAREW ALEXANDER
IPC: F16C32/00
Filed: 2013-11-15
Granted: 2020-01-09
Abstract: Verfahren zur Spannung eines Riemens, einer Kette oder eines Seiles (S) in einem universellen selbstzentrierten System, das eine innere Unterplatte (9) und eine äußere Unterplatte (1) enthält,
 wobei auf der äußeren Unterplatte (1) drei oder mehr äußere Rollen (2, 3, 4a, 4b) drehbar bezüglich ihrer Achsen befestigt sind,
 wobei auf der inneren Unterplatte (9) drei oder mehr innere Rollen (5, 6, 7) drehbar bezüglich ihrer Achsen befestigt sind,
 wobei die inneren Rollen (5, 6, 7) und die äußeren Rollen (2, 3, 4a, 4b) untereinander durch ein geschlossenes Seil (S), eine geschlossene Kette oder einen geschlossenen Riemen verbunden sind,
 wobei sich bei Bewegung des Seiles (S), der Kette oder des Riemens entlang dem Perimeter alle Rollen (2, 3, 4a, 4b, 5, 6, 7) mit identischer linearer Geschwindigkeit drehen und die Richtung des Drehens der inneren Rollen (5, 6, 7) und der äußeren Rollen (2, 3, 4a, 4b) gegenseitig entgegengesetzt ist,
 dadurch gekennzeichnet, dass
 eine Spannrolle (8) auf einen Bereich des Seiles (S), der Kette oder des Riemens einwirkt, welcher Rollen (4a, 4b) verbindet, die sich auf einer Unterplatte (1) befinden.
Patent DE-102013200468-B4 (DE)
Title: Scheinwerfer für Kraftfahrzeuge
Inventor: BATHE ACHIM
IPC: F21V29/00
Filed: 2013-01-15
Granted: 2015-05-13
Abstract: Scheinwerfer (10) für Kraftfahrzeuge, mit einem Gehäuse (12) zur Begrenzung eines Gehäuseinnenraums (14) und mit einer Einrichtung zur Verhinderung oder Reduzierung des Beschlagens des Gehäuseinnenraums in Form einer zumindest weitestgehend wasserundurchlässigen aber dampfdurchlässigen Membran (46, 48), dadurch gekennzeichnet, dass die Wasserundurchlässigkeit und/oder die Dampfdurchlässigkeit der Membran (46, 48) in Abhängigkeit einer Temperatur des Gehäuseinnenraums (14) veränderbar ist, dass mindestens zwei Membrane (46, 48), vorgesehen sind, und dass eine erste Membran (46) in einem in einer Gebrauchslage des Gehäuses (12) oberen, rückwärtigen Gehäusebereich (18, 24) angeordnet ist und dass eine zweite Membran (48) in einem in einer Gebrauchslage des Gehäuses (12) unteren, vorderen Gehäusebereich (22, 20) angeordnet ist.
Patent DE-102013202378-B4 (DE)
Title: Prozedurales Gedächtnislernen und Robotersteuerung
Inventor: BARAJAS LEANDRO G
IPC: B25J9/22
Filed: 2013-02-14
Granted: 2015-07-02
Abstract: Verfahren zum prozeduralen Gedächtnislernen zur Steuerung eines Roboters (123), um eine Aufgabe durchzuführen, wobei das Verfahren umfasst, dass: die Aufgabe dem Roboter (123) demonstriert wird (501), indem der Roboter (123) mit einem direkten Steuerungsbefehl (503) über eine Schnittstelle (121) auf niedriger Ebene gesteuert wird, um eine Aktion der Aufgabe durchzuführen; mehrere Signale (S1, S2) vom Roboter (123) empfangen werden, wobei die Signale (S1, S2) mit der Aktion in Beziehung stehen; eine Ähnlichkeitsmatrix (223, 507) berechnet wird (505), deren Elemente Werte in Übereinstimmung mit mindestens einer Ähnlichkeitsfunktion der mehreren Signale (S1, S2) umfassen; in einen künstlichen neuronalen Netzwerkcontroller (ANN-Controller) (125) des Roboters (123) eingegeben werden (509): der direkte Steuerungsbefehl (503); und die Ähnlichkeitsmatrix (223, 507); Steuerungssignale (511) vom ANN-Controller (125) zum Steuern des Roboters (123) daraus erhalten werden; diese Steuerungssignale (511) vom ANN-Controller (125) durch einen Aggregator (131, 461) in Übereinstimmung mit einem Kinematikmodell (400, 515) des Roboters (123) zusammengeführt werden (513); und diese zusammengeführten Steuerungssignale als modulierte Steuerungssignale (463, 517) vom Aggregator (131, 461) an den Roboter (123) gesendet werden, um die Aufgabe durchzuführen.
Patent DE-102013202556-B4 (DE)
Title: Dieselkraftstoff-temperatur-sicherheitsventil
Inventor: VILLAIRE WILLIAM L
IPC: F16K31/64
Filed: 2013-02-18
Granted: 2018-09-20
Abstract: Thermostatventil (16) für ein Dieselkraftstoffsystem, umfassend:ein Ventilgehäuse (52);ein Ventilelement (56), das innerhalb des Gehäuses (52) zwischen einer Position, welche erwärmten Dieselkraftstoff, der von einem Motor (32) zurückkehrt, zu dem Einlass (20) einer Kraftstoffpumpe (14) leitet, und einer Position bewegbar ist, welche den Kraftstoff in einen Behälter (12) hinein entleert, wo sich der Kraftstoff mit Kraftstoff mit einer niedrigeren Temperatur mischt;ein temperaturempfindliches Thermostatelement (82) zum Bewegen des Ventilelements (56) in Ansprechen auf die Temperatur des Dieselkraftstoffes;und ein Temperatur-Sicherheitsventil (90), welches in dem Gehäuse (52) vorgesehen ist, um den zurückkehrenden Kraftstoff in den Behälter (12) hinein zu entleeren.
Patent DE-102013207941-B4 (DE)
Title: Kunststoffbehälter
Inventor: PICK ROLF
IPC: B65D1/24
Filed: 2013-04-30
Granted: 2014-11-13
Abstract: Kunststoffbehälter (100) mit einem Boden (102) und auf dem Boden (102) stehenden Seitenwänden (104), wobei durch den Boden (102) und die Seitenwände (104) ein Aufnahmebereich (105) des Behälters definiert wird, wobei der Boden (102) auf seiner dem Aufnahmebereich (105) abgewandten Seite einen Laufkranz (200) aufweist, wobei der Boden (102) zur Außenseite (208) des Behälters hin offene Taschen (202) aufweist, wobei die Taschen (202) durch den Boden (102) und den Laufkranz (200) gebildet werden, wobei die Taschen (202) durch den Boden (102) und den Laufkranz (200) verbindende Rippen (204) gebildet werden, wobei die Rippen (204) an ihrem in der Ebene des Laufkranzes (200) gesehenen äußeren Bereich eine zur Außenseite (208) des Behälters hin offene Aussparung (300) aufweisen, wobei die Aussparung (300) eine Bodenseite (304) und eine zum Aufnahmebereich (105) hingewandte Oberseite (302) aufweist, wobei die Bodenseite (304) gegenüber der Oberseite (302) in ihrem in der Ebene des Laufkranzes (200) gesehenen äußeren Bereich federnd ausgebildet ist.
Patent DE-102013209313-B4 (DE)
Title: Geladener Teilschenstrahl-Lithographie-Vorrichtung und geladener Teilschenstrahl-Musterschreibverfahren
Inventor: NAKAYAMADA NORIAKI
IPC: H01J37/28
Filed: 2013-05-21
Granted: 2018-05-09
Abstract: Geladene Teilchenstrahl-Lithographievorrichtung (100) zum Schreiben eines Musters auf ein Zielobjekt unter Verwendung eines geladenen Teilchenstrahls, umfassend:eine Anzahl-Betriebseinheit (55), die eingerichtet ist zum Betreiben einer Anzahl einer Vielzahl von anderen Korrekturverarbeitungsabschnitten, die vor einem relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitt aller Korrekturverarbeitungsabschnitte beschrieben werden, wobei der relevante Korrekturverarbeitungsabschnitt verwendet wird zum Berechnen von Temperaturanstiegsbeträgen, zum Sicherstellen, dass eine Berechnungszeit zum Berechnen von Temperaturanstiegsbeträgen für zu beschreibende Korrekturverarbeitungsabschnitte eine Musterschreibzeit zum Schreiben eines Musters auf alle Korrekturverarbeitungsabschnitte nicht übersteigt durch Verwenden einer Mittelmusterschreibzeit für einen aller Korrekturverarbeitungsabschnitte, bestimmt durch Verwenden einer Dosis eines geladenen Teilchenstrahls, einer Stromdichte des geladenen Teilchenstrahls und einer Einstellzeit zwischen Schüssen des geladenen Teilchenstrahls zum Korrigieren eines durch Lackerwärmung verursachten Abmessungsfehlers des Musters, einer Mittelberechnungszeit zum Berechnen eines Temperaturanstiegsbeträge des relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitts, der durch eine Wärmeleitung von einer der Vielzahl von anderen Korrekturverarbeitungsabschnitten verursacht wird, die vor dem relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitt beschrieben werden, und einen Parallelitätsgrad von Computern zum Berechnen der Temperaturanstiegsbeträge;einen repräsentativen Temperatur-Berechner (62), der eingerichtet ist zum Berechnen einer repräsentativen Temperatur des relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitts basierend auf Wärmeleitungen der Vielzahl von anderen Korrekturverarbeitungsabschnitten der Anzahl, die vor dem relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitt beschrieben werden, für jeden aller Korrekturverarbeitungsabschnitte;eine Dosismodulationseinheit (66), die eingerichtet ist zum Eingeben einer Dosis des auf den Korrekturverarbeitungsabschnitt bestrahlten geladenen Teilchenstrahls und zum Modulieren der Dosis des auf den relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitt bestrahlten geladenen Teilchenstrahls durch Verwenden der repräsentativen Temperatur des relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitts, für jeden aller Korrekturverarbeitungsabschnitte; undeine Musterschreibeinheit (150), die eingerichtet ist zum Schreiben eines Musters auf den relevanten Korrekturverarbeitungsabschnitt durch den geladenen Teilchenstrahl der modulierten Dosis.