Pembuatan dan Karakterisasi Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 Doping Ga 2 O 3 (BGST ) ( T. Sumardi)

## PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI
FILM Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 DOPING Ga 2 O 3 ( BGST )
T. Sumardi 1 , P. W. K. Anggraini 1 , M. Hikam 1 dan Irzaman 2
1 Departemen Fisika FMIPA - UI Kampus Baru UI, Depok 16424
2 Departemen Fisika FMIPA - IPB Kampus Darmaga, Bogor 16144

## ABSTRAK
PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI FILM Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 DOPING Ga 2 O 3 ( BGST ). Film Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 doping Ga 2 O 3 ( BGST ) telah berhasil dibuat di atas substrat Si(111) dengan proses pembuatan larutan kimia 1 M larutan BGST [(Ba x Sr 1-x Ti 1-y Ga y ) O 3-y/2 ] dan dilanjutkan dengan spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Karakterisasi yang dilakukan berupa strukturmikro menggunakan XRF , XRD dan SEM serta uji sifat feroelektrik. Hasil XRF menunjukkan unsur-unsur pembentuk BST telah terdeposit. Sementara hasil XRD pada substrat Si(111) didapatkan nilai parameter kisi untuk BST , BGST (1%, 2% dan 4%) berturut-turut sebesar 3,9469 Å, 3,9354 Å, 3,8617 Å dan 3,7550 Å. Adapun bidang hkl yang muncul yaitu (100) untuk sampel BST dan BGST 1M1%Si serta bidang (100) dan (110) untuk sampel BGST 1M2%Si dan BGST 1M4%Si. Hasil analisis SEM menunjukkan bahwa permukaan film BST maupun BGST dengan variasi doping masih heterogen. Hasil uji histerisis menunjukkan adanya hubungan yang linier antara nilai polarisasi dengan nilai medan listrik yang diberikan. Nilai polarisasi spontan memiliki hubungan yang berbanding terbalik dengan nilai parameter kisi suatu bahan. Polarisasi spontan hasil perhitungan berdasarkan posisi atom diperoleh untuk BGST 1M1%Si, BGST 1M2%Si dan BGST 1M4%Si berturut-turut : 51,6550 C/cm 2 , 53,6454 C/cm 2 dan 56,7375 C/cm 2 .
Kata kunci : Film, chemical solution deposition , parameter kisi, BGST , doping gallium

## ABSTRACT
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF Ga 2 O 3 DOPED Ba 0.5 Sr 0.5 TiO 3 (BGST) FILM. A film of Ga 2 O 3 doped Ba 0.5 Sr 0.5 TiO 3 (BGST) is successfully deposit on silicon substrate (111) using chemical solution deposition process of 1M BGST [(Ba x Sr 1-x Ti 1-y Ga y )O 3-y/2 ] solution followed by spin coating process with spin velocity of 3000 rpm for 30 second. Characterizations conducted are micro structure characterization using XRF, XRD and SEM and ferroelectric property. The result of XRF shows that the BST forming elements are already deposited. Where as the result of XRD of film on silicon substrate (111) shows the lattice parameter for BST, BGST (1%, 2% and 4%) are respectively as follow: 3.9469 Å , 3.9354 Å , 3.8617 Å and 3.7550 Å . In addition, the XRD result also show that the hkl plane observed is (100) plane for BST sample and BGST1M1%Si, and (100) and (110) planes for BGST1M2%Si and BGST1M4%Si. The result of SEM shows that the films surface of BST as well as BGST with various doping concentration are still heterogeneous. The result of hysterisis test shows the linear correlation between the polarization value and electric field value. The spontaneous polarization value is conversely proportional to the lattice parameter value of material. The spontaneous polarization value obtained from calculation based on atomic position for BGST1M1%Si, BGST1M2%Si and BGST1m4%Si are respectively as follow : 51.6550, 53.6454 and 56.7375.
Key words : Film, chemical solution deposition, lattice parameter, BGST, gallium doped

## PENDAHULUAN
Beberapa material film tipis feroelektrik yang penting diantaranya BaSrTiO 3 , PbTiO 3 , Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 , SrBiTaO 3 , Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 dan Bi 4 Ti 3 O 12 . Aplikasi-aplikasi film tipis feroelektrik menggunakan sifat dielektrik, pyroelektrik dan elektrooptik yang khas dari bahan feroelektrik. Sebagian dari aplikasi elektronik yang paling utama dari film tipis feroelektrik diantaranya : non-volatil memori yang menggunakan kemampuan polarisasi yang tinggi; kapasitor
film tipis yang menggunakan sifat dielektrik; dan sensor pyroelektrik yang menggunakan perubahan konstanta dielektrik karena suhu; aktuator piezoelektrik yang menggunakan efek piezoelektrik. Dalam beberapa tahun terakhir, film tipis feroelektrik yang tersusun perovskite banyak mendapat perhatian karena memiliki kemungkinan untuk menggantikan memori CMOS yang sekarang digunakan sebagai FRAM [1].
Diantara material film tipis feroelektrik yang disebutkan di atas, material BST mempunyai prospek yang baik untuk peralatan mikroelektronik (alat frekuensi gelombang pendek dan gelombang milimeter, tunable phase shifters and filters ) karena memiliki sifat konstanta dielektrik tinggi, dan faktor disipasi rendah [2]. Selain itu Ba x Sr 1-x TiO 3 (BST) banyak digunakan sebagai FRAM ( Ferroelectric Random Access Memories ) karena memiliki konstanta dielektrik tinggi dan kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi ( high charge storage capasity ) [3]. Untuk suatu feroelektrik RAM , jika bahan itu memiliki nilai polarisasi sekitar 10 µC. cm -2 maka ia mampu menghasilkan muatan sebanyak 10 14 elektron per cm -2 untuk proses pembacaan memori [5]. Film BST dapat dibuat dengan bermacam-macam metode, seperti Chemical Solution Deposition ( CSD ), Metal Organic Chemical Vapor Deposition ( MOCVD ), RF Sputering dan Pulsed Laser Ablation Deposition ( PLAD ). Metode CSD merupakan salah satu metode yang menarik karena kontrol stokiometri yang baik, mudah dalam pembuatan dan suhu sintesis rendah [6].
Pada penelitian ini dilakukan pembuatan film BST yang didadah Galium (Ga 2 O 3 ) dengan metode Chemical Solution Deposition ( CSD ). Pemilihan bahan BST berdasarkan pada sifat-sifat unggul bahan tersebut, diantaranya bahan perovskite, konstanta dielektrik tinggi untuk kapasitor DRAM ( Dynamic Random Acces Memory ), dan gerbang oksida untuk generasi masa depan karena memiliki kombinasi unik konstanta dielektrik tinggi, dielektrik hilang rendah, densitas arus bocor rendah, dan stabilitas suhu yang baik [7]. Sedangkan keuntungan menggunakan metode CSD diantaranya: murah, pembuatan sampel lebih cepat, homogenitas dan suhu proses rendah [4] .
Bahan Barium Stronsium Titanat, Ba x Sr 1-x TiO 3 merupakan paduan dari material Ba(CH 3 COO) 2 , Sr(CH 3 COO) 2 , dan Ti(C 12 O 4 H 28 ) sesuai Persamaan (1),
3 2 3 2 12 4 28 2 0,5 0,5 3 2 2 ( ) ( ) 2 ( ) 44 2 32 34 Ba CH COO Sr CH COO Ti C O H O Ba Sr TiO CO H O 0,5 0,5 3 2 2 2 32 34
Ba Sr TiO CO H O ............................ (1)
Menurut ICDD ( International Centre for Diffraction Data ), BST memiliki sistem kristal kubik dengan konstanta kisi a = 3,947 Å untuk konsentrasi stronsium 50 % dan a = 3,965 Å untuk konsentrasi stronsium 40 %. Didapatkan BST dengan konstanta kisi a = 3,97 Å untuk konsentrasi stronsium 30 % [Giridharan et. al.]. Lapisan tipis BST 0,5M dengan konsentrasi stronsium 50%, diperoleh a = 3,955 Å pada substrat penumbuhan Si [11]. Suhu Currie dari barium titanat murni adalah 30 0 C, dengan penambahan stronsium akan menurunkan suhu Currie menjadi suhu kamar yang akan sangat berguna untuk spesifikasi alat tertentu [1]. Bahan Ba x Sr 1-x TiO 3 doping Ga 2 O 3 ( BGST ) dimaksudkan untuk meningkatkan kinerja dari bahan BST . Adanya doping galium akan mengakibatkan ketidakstabilan atom-atom dalam bahan BST sehingga
melepaskan oksigen dan menghasilkan arus dan disebut pembawa muatan positif [10]. Pada penelitian ini digunakan metode
Chemical Solution
Deposition ( CSD ).
Metode ini menggunakan teknik pelapisan larutan bahan kimia dengan teknik spin coating pada kecepatan putar tertentu [9]. Fungsi XRD untuk menentukan sistem kristal, menentukan kualitas kristal, menentukan simetri kristal, menentukan cacat kristal, mencari parameter kristal, identifikasi campuran dan analisis kimia.
Karena panjang gelombang sinar-X hampir sama dengan jarak antar atom pada kristal, maka sinar-X dapat didifraksi oleh kristal. Secara umum untuk kisi kristal berlaku persamaan (2), sedangkan untuk sistem kristal kubus dan tetragonal berlaku persamaan (3) dan persamaan (4) :
2 2 2 2 2 1 a l k h d ……..................…… (3) 2 2 2 2 2 2 1 h k l d a c ……...................…… (4)
Menganalisis parameter kisi dengan struktur tetragonal menggunakan Metode Cohen dirumuskan seperti dalam Persamaan (5) [12] :
2 2 2 2 2 2 keterangan : 2 + k 2 ;
2 ; 2
A = D/10;
2 /(4c 2 ); 2 /(4a 2 ); h,k,l= bidang pantulan/indeks Miller ;
)

## METODE PERCOBAAN
Percobaan pada penelitian ini terdiri dari tiga tahap. Tahap I pembuatan larutan BGST ( BST didadah galium) dengan memperhatikan faktor-faktor massa, molaritas, dan persentase doping ; tahap II melakukan percobaan pembuatan film BGST di atas substrat Si(111) dengan menggunakan spin coating ; tahap III karakterisasi strukturmikro ( XRD , XRF dan SEM ), dan uji histerisis. Film BGST disiapkan dengan proses Chemical Solution Deporition ( CSD ) 1 M, kemudian diproses lebih lanjut dengan teknik pelapisan pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Substrat yang telah digunakan adalah Si(111).
Pembuatan dan Karakterisasi Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 Doping Ga 2 O 3 (BGST ) ( T. Sumardi)
Untuk mengambil data difraksi sinar-X digunakan Phillips Analytical PW3710 yang ada di Laboratorium Program Studi Ilmu Material Universitas Indonesia,
Pengamatan dilakukan dari sudut 20 0 hingga 80 0 dengan step size 0,02 setiap 1 detik. Data-data SEM diambil dengan SERI JEOL yang juga dimiliki Program Studi Ilmu Material Universitas Indonesia. Pemeriksaan film dilakukan dengan perbesaran 150x dan 750x.
Tahapan pengolahan data yang dilakukan adalah sebagai berikut : pengolahan data XRF secara kualitatif, pengolahan data XRD , interpretasi data SEM dan analisis data histerisis. Perangkat lunak yang digunakan adalah excel untuk pengolahan data awal, APD , Bella V2_11, EXPGUI-GSAS dan data ICDD ( International Centre for Diffraction Data ) untuk komparasi data XRD .

## HASIL DAN PEMBAHASAN
Karakterisasi XRF
Karakterisasi XRF bertujuan untuk mengetahui unsur-unsur yang terkandung dalam bahan (film). Hasil analisis yang dilakukan secara kuantitatif, seperti tertera pada Tabel 1.
Dari data tersebut menunjukkan bahwa pada film yang dibuat telah terdapat unsur barium, stronsium, titanium dan galium ( doping ) sebagai unsur-unsur penyusun BGST , sedangkan yang lain merupakan substrat dan pengotor (impuritas). Munculnya pengotor karena penggunaan bahan-bahan pembentuk BST / BGST yang memiliki kemurnian kurang dari 100% dan kurang sempurnanya kondisi alat pada saat percobaan. Jika dibandingkan antara keempat unsur tersebut, yang paling banyak terdeposit adalah titanium. Hal ini disebabkan karena titanium bentuknya cairan yang mempunyai ukuran butir yang lebih kecil jika dibandingkan dengan bentuk serbuk, sehingga mudah untuk bereaksi dengan unsur yang lain. Sedangkan untuk bentuk serbuk, atom barium terdeposit lebih banyak daripada atom stronsium. Hal ini disebabkan perbandingan massa saat pembuatan larutan BGST , serbuk barium lebih banyak dibandingkan serbuk stronsium. Untuk bahan doping (Ga 2 O 3 ), hasil XRF menunjukkan bahwa semakin besar doping galium maka
nilai yang dihasilkan semakin besar. Hal ini menunjukan bahwa unsur galium ( dopan ) telah masuk dalam campuran BST dengan benar sesuai prosentasi bahan doping (Ga 2 O 3 ).

## Karakterisasi XRD
Karakterisasi XRD bertujuan untuk mendapatkan hubungan antara sudut difraksi dengan intensitas. Data dari hasil XRD tersebut digunakan untuk mencari nilai parameter kisi film. Perhitungan yang digunakan dengan cara analitik dan menggunakan program GSAS . Dengan menggunakan persamaan 3 dan program GSAS , nilai parameter kisi-parameter kisi tertera pada Tabel 2.
Dalam proses penghalusan, telah dicobakan beberapa fasa yang mungkin terbentuk dan terdeteksi oleh XRD , antara lain : fasa BST , fasa BST + Substrat Si, fasa BGST , fasa BGST + Substrat Si, fasa BGST + Substrat Si + fasa TiO , BGST + fasa TiO. Dari hasil GSAS ternyata fasa-fasa yang cocok adalah fasa BGST + fasa TiO, fasa BGST + Substrat Si dan fasa BGST + Substrat Si + fasa TiO. Setelah menjalankan program GSAS dan melakukan penghalusan ( refinement ) beberapa parameter dari bahan, maka didapatkan hasil penghalusan berupa parameter-parameter dari bahan yang diperhalus. Indikator yang dipergunakan untuk menentukan tingkat kenerhasilan percobaan adalah indikator Rp , WRp , dan Chi 2 . Semakin kecil nilai Rp dan WRp (idealnya mendekati 0) menunjukkan semakin miripnya kurva intensitas eksperimen dengan kurva intensitas teoritis, dan nilai Chi 2 menunjukkan nilai residu kumulatif kesalahan dari parameter-parameter yang diperhalus pada bahan (idealnya Chi 2 mendekati 1). Tapi keadaan ini sulit dicapai, proses penghalusan dihentikan pada pengolahan data ini ketika kurva kalkulasi yang dihasilkan hampir menyerupai kurva percobaan, dan fasa-fasa yang diduga telah terdapat pada kalkulasi (ditandai dengan tickmark yang sesuai). Pada hasil analisis Rietveld di atas, terlihat bahwa untuk film terdoping , fasa BST dan Ga 2 O 3 tidak muncul
BST1MSi BGST1M1%Si BGST1M2%Si BGST1M4%Si Unsur Wt % Unsur Wt % Unsur Wt % Unsur Wt % Si 85,3469 Si 76,9391 Si 83,8638 Si 87,5099 Ti 9,2650 Ti 15,8298 Ti 10,3445 Ti 7,9825 Sr 0,3626 Sr 0,8208 Sr 0,4653 Sr 0,3612 Ba 5,0255 Ba 6,3990 Ba 4,1001 Ba 3,9536 Ga 0,0113 Ga 0,0259 Ga 0,1929
Fe 1,0824 As 0,1180 Tabel 1 . Data karakterisasi XRF BST doping galium di atas substrat Si (111). Sampel Fasa 2 wRp (%) Parameter Kisi ( Å ) Wt (%) BST 3,9469 10,337 BGST1M0% TiO 1,11 8,09 4,2350 89,663 BGST 3,9354 0,011 BGST1M1% Si 1,12 8,08 5,4187 99,989 BGST 3,8617 72,586 TiO 4,2349 25,518 BGST1M2% Si 5,09 17,36 5,4583 1,0346 BGST 3,7550 56,732 TiO 4,2351 29,802 BGST1M4% Si 3,01 12,90 5,4166 13,465 Tabel 2 . Hasil perhitungan nilai parameter kisi dan proses penghalusan dengan GSAS-EXPGUI film BGST .
dalam campuran. Hal ini memberikan arti bahwa Ga 2 O 3 (ion Ga 3+ ) telah mendoping bahan BST dengan menempati ion Ti 4+ dalam struktur perovskite . Hal ini dimungkinkan karena elektronegatifitas ion Ga 3+ mendekati Ti 4+ dibandingkan ion Ba 2+ /Sr 2+ . Dari hasil penghalusan, diperoleh fasa TiO, adanya fasa ini mengakibatkan nilai WRp yang besar jika dibandingkan dengan tanpa adanya fasa TiO tetapi meningkatkan % wt dari BGST . Dengan adanya fasa TiO, menandakan bahwa pencampuran bahan BST dengan Ga telah terjadi dengan TiO sebagai residu (dengan kata lain kurang sempurnanya pembentukan larutan pembentuk bahan BST dengan dopan ). Pada BGST 1 fasa substrat memiliki nilai % wt yang sangat besar, hal ini diakibatkan substrat tertembak oleh sinar-X pada saat karakterisasi XRD . Padahal secara ideal diharapkan akan terbentuk satu fasa, yaitu fasa BGST .
Secara umum pembentukan film BGST telah berhasil dilakukan dengan ditandainya fasa BGST yang muncul pada proses GSAS walaupun dengan adanya kehadiran fasa residu (TiO). Dari hasil GSAS memperlihatkan bahwa pendadahan yang baik terjadi pada persentase 2%, karena % wt BGST menunjukkan nilai yang paling besar. Sedangkan nilai parameter kisi memiliki nilai berbanding terbalik dengan penambahan doping . Nilai-nilai parameter kisi ini sangat penting untuk diperhatikan, karena akan menentukan nilai polarisasi spontan bahan pada perhitungan mencari nilai polarisasi spontan berdasarkan posisi atomnya. Pada penjelasan sebelumnya, dimana belum dilakukan proses penghalusan dengan GSAS , penulis memprediksi bahwa pada sudut 73,41 0 merupakan substrat Si(111) yang tertembak. Ternyata setelah dilakukan penghalusan, dihasilkan fasa TiO dan bukan substrat Si(111). Disini terlihat bagaimana program GSAS dapat mengetahui fasa-fasa yang muncul dengan terlebih dahulu memasukan data perkiraan yang dihasilkan dari XRF dan data dari ICDD - PCDF .
Jika dibandingkan nilai parameter kisi antara hasil perhitungan manual dengan hasil GSAS , ternyata nilai yang paling mendekati literatur yaitu hasil yang diperoleh oleh GSAS . Ini menandakan analisis Rietveld dengan GSAS merupakan salah satu metode yang sangat baik untuk digunakan pada penelitian ini.
Dari hasil XRD yang telah diperhalus dapat dilihat pengaruh doping galium terhadap nilai parameter kisi pada sampel lapisan tipis seperti pada Gambar 3.
Dari gambar di atas terlihat adanya penurunan nilai parameter kisi dengan penambahan doping galium. Untuk penambahan 1%, 2% dan 4% doping , penurunan berturut-turut sebesar 1,15 %, 8,52 % dan 19,19 %.
Bila galium yang memiliki valensi lebih rendah dari Ti digunakan sebagai doping pada struktur kristal perovskite (ABO 3 ) BST , akan menyebabkan kekurangan valensi positif dalam struktur kristal perovskite . Untuk memenuhi kenetralan ( electro neutrality ) maka dihasilkan ruang kosong ( vacancies site ) pada posisi O
(oksigen). Hal ini mengakibatkan adanya kemudahan reorientasi dari dipol-dipol ion yang mengalami kekurangan tersebut. Dipol-dipol tersebut dibangkitkan oleh adanya ion Ga 3+ (akan menarik muatan negatif) dan ruang ruang kosong ( vacancy ) oksigen (akan menarik muatan positif). Kekurangan sistem kristal ini dihasilkan pada suhu tinggi selama proses sintering . Namun demikian ion oksigen masih terus bergerak walaupun di bawah suhu Currie (misalnya pada suhu kamar). Hal ini bisa terjadi karena ion oksigen dan ruang kosong sangat berdekatan (hanya 2,8 Å) dan loncatan ion dapat dengan mudah terjadi [8]. Adanya pergerakan ion-ion oksigen di dalam sistem kristal BGST ini akan mempengaruhi nilai konstanta kisi.
Pola XRD 0 500 1000 1500 2000 2500 0 20 40 60 80 100 2 theta BST BGST1 BGST2 BGST4 (110) (100) Gambar 1 . Pola difraksi sinar-x film BST dan BST doping Galium.
Gambar 2 . Pola difraksi sinar-x film BGST 1M4%Si hasil observasi dan kalkulasi GSAS .
Fasa 1 = BGST(56,732) Fasa 2 = TiO (29,802) Fasa 3 = Si (13,465 W RP = 12,90% Chi^2 = 3,007 TiO BGST Si
Gambar 3 . Pengaruh doping Galium terhadap parameter kisi film BGST . Parameter Kisi vs % galium 3.7 3.75 3.8 3.85 3.9 3.95 4 0 1 2 3 4 5 % galium
Pembuatan dan Karakterisasi Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 Doping Ga 2 O 3 (BGST ) ( T. Sumardi)

## Karakterisasi SEM
Dari hasil analisis dengan SEM / EDX JEOL seri JSM-5310LV maka morfologi permukaan bahan film BST dan BGST dapat dilihat seperti pada Gambar 4 dan Gambar 5.
Gambar 4 memperlihatkan morfologi permukaan film BST dan Gambar 5 memperlihatkan morfologi permukaan film BGST doping galium (1%, 2% dan 4%)
di atas substrat Si(111) dengan perbesaran 150x dan 750x. Tampak dari gambar bahwa morfologi permukaan film BST masih heterogen dan memperlihatkan retakan-retakan yang sangat jelas. Sedangkan Gambar 5 menunjukkan morfologi permukaan film BGST dengan doping galium yang berbeda. Pada gambar ini dapat dilihat bahwa morfologi permukaan masih heterogen sama halnya dengan BST murni. Tetapi dari ketiga gambar terlihat, semakin banyak doping yang diberikan maka morfologi permukaan memperlihatkan semakin kecilnya retakan-retakan.
Retakan-retakan yang dihasilkan oleh film diduga akibat kurang meratanya larutan dalam pembuatan dengan 5 lapisan, serta adanya proses pemanasan yang kurang baik. Pada proses pemanasan dilakukan kenaikan suhu yang tidak konstan (untuk mencapai 850 0 C dilakukan dalam waktu 1 jam) sehingga mengakibatkan sampel mengalami ketidakstabilan dalam menerima panas. Selain itu juga pada saat penurunan suhu yang drastis (mencapai suhu kamar). Ketidak homogenan dalam morfologi permukaan film ini menandakan adanya fasa yang lebih dari satu, hal ini sesuai dengan yang dijelaskan pada hasil penghalusan bahan dengan GSAS .

## Uji Histerisis
Karakterisasi sifat feroelektrik berupa kurva histerisis bertujuan untuk mengetahui nilai polarisasi remanen, medan koersif dan polarisasi pada saat saturasi. Nilai polarisasi saturasi ini menandakan keadaan pada saat seluruh arah orientasi domain searah dengan medan listrik eksternal. Pada keadaan ini nilai polarisasinya akan tetap walaupun medan listrik eksternal bertambah besar. Polarisasi remanen menandakan nilai polarisasi yang tetap ada pada bahan feroelektrik walaupun sudah tidak lagi dipengaruhi oleh medan listrik. Sedangkan nilai medan koersif yang dihasilkan menandakan besarnya nilai medan listrik yang diperlukan untuk merubah polarisasinya, dari polarisasi remanen menjadi nol. Nilai medan koersif dari suatu bahan bergantung dari banyak parameter, diantaranya perlakuan suhu dan perlakuan listrik pada bahan.
Pengujian dilakukan dengan tegangan yang berbeda-beda untuk setiap bahan, dimulai pada tegangan 5 volt sampai kurva histerisis menunjukkan keadaan rusak. Hasil kurva BGST 1% menunjukkan hasil yang kurang baik pada tegangan 8V dan 9V, sedangkan pada tegangan 5V sampai dengan 7V dianggap cukup baik. Pada tegangan 5V sampai dengan 7V secara umum kurva menunjukkan hubungan yang linear terhadap medan listrik yang diberikan. Keadaan ini sangat diharapkan untuk sampel BST , penambahan Sr 0,5% akan mengakibatkan perubahan dari suhu Curie ke suhu kamar, jadi material Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 merupakan keadaan
Gambar 4 . Morfologi permukaan film BST dengan teknik SEM , (a). BST 1MSi pembesaran 150x (b). BST 1MSi pembesaran 750x. (a) (b)
Gambar 5 . Morfologi permukaan film BGST dengan teknik SEM (a). BGST 1M1%Si pembesaran 150x dan 750x, (b). BGST 1M2%Si pembesaran 150x dan 750x, (c). BGST 1M4%Si pembesaran 150x dan 750x.
(c)
(a) (b)
paraelektrik pada suhu kamar [4]. Untuk bahan BGST 2%, hasil kurva yang dihasilkan dari tegangan 5V sampai dengan 19V memiliki bentuk yang mirip satu sama lainnya (linear terhadap medan listrik yang diberikan) kecuali pada tegangan 8V (bentuknya seperti zig-zag ). Sedangkan untuk BGST 4%, pengukuran dilakukan pada tegangan 5V sampai dengan 14V. Sama hal nya dengan BGST 2%, pola kurva semuanya memiliki kemiripan (linier terhadap medan listrik yang diberikan) kecuali pada tegangan 6V, 8V dan 9V yang memiliki kurva dengan bentuk kurang baik. Penggunaan tegangan yang berbeda-beda bertujuan untuk mengetahui sebesar apa kekuatan sampel terhadap pengaruh tegangan yang diberikan dan untuk mencari atau menghasilkan kurva histerisis yang baik.
Gambar 6. memperlihatkan contoh bentuk kurva BGST 1%, BGST 2% dan BGST 4%.
Perhitungan nilai polarisasi spontan dilakukan dengan menggunakan dua data parameter kisi (hasil perhitungan manual dan hasil perhitungan GSAS ) berdasarkan posisi atom dalam unit sel satuan. Hasil perhitungan tertera pada Tabel 3.
Dari hasil perhitungan polarisasi spontan di atas, terlihat bahwa pada film, nilai polarisasi spontan berbanding terbalik dengan besarnya nilai parameter kisi BGST . Hal ini dikarenakan jika suatu bahan memiliki parameter kisi yang kecil maka jarak antar atom menjadi berdekatan yang mengakibatkan volume kristal menjadi kecil, sehingga nilai polarisasi spontan menjadi besar. Lain halnya jika bahan tersebut diberi perlakuan medan listrik dari luar, maka akan menghasilkan polarisasi spontan seperti yang diperlihatkan oleh Gambar 6. Sehingga dapat dikatakan secara keseluruhan, perlakuan doping Ga 2 O 3 pada bahan BST akan mempengaruhi nilai polarisasi spontan (P s ).
Hal ini disebabkan karena adanya pergantian pemenempatan posisi atom Ti oleh atom Ga secara acak yang memiliki muatan ionik berbeda. Nilai polarisasi spontan yang dihasilkan menggambarkan peningkatan bila penambahan doping galium diperbesar. Penambahan nilai polarisasi spontan ini diakibatkan oleh adanya atom Ga dalam campuran yang membangkitkan kekosongan ( vacancy ) dalam bahan. Pada kasus ini disebut sifat hard doping dengan menggunakan ion Ga 3+ sebagai pengganti Ti 4+ menyebabkan efek kenaikan sifat kekerasan dari bahan BST . Tetapi bulk resistivitas lebih rendah, sifat medan koersif lebih tinggi, faktor kualitas mekanik lebih tinggi dan faktor kualitas listrik lebih tinggi [13].

## KESIMPULAN
Dari hasil penelitian yang telah dilakukan, dapat disimpulkan sebagai berikut:
1. Film BST dan BGST telah berhasil dibuat di atas substrat Si(111) dengan menggunakan metode Chemical Soluttion Deposition ( CSD ) berbantuan spin coating .
2. Hasil XRF menunjukkan bahwa unsur-unsur pembentuk BST dan BGST telah terdeteksi.
(a) (b) (c) BGST2%Si(19V) -30 -20 -10 0 10 20 30 40 -40 -20 0 20 40 Medan Listrik BGST1%Si (7V) -10 -5 0 5 10 15 -10 -5 0 5 10 Medan Listrik BGST2%Si(19V) -30 -20 -10 0 10 20 30 40 -40 -20 0 20 40 Medan Listrik
Gambar 6 . Bentuk kurva histerisis (a). BGST1% Si pada tegangan 7V, (b). BGST2% Si pada tegangan 19V, (c). BGST4% Si pada tegangan 19V.
No Sampel Parameter kisi Polarisasi Spontan 2 ( / ) C cm Manual (3,8725 Å) 53,3466 2 BGST1M1%Si GSAS (3,9354 Å) 51,6550 Manual (3,7466 Å) 57,0531 3 BGST1M2%Si GSAS (3,8617 Å) 53,6454 Manual (3,9240 Å) 51,9555 4 BGST1M4%Si GSAS (3,7550 Å) 56,7375 Tabel 3 . Hasil perhitungan polarisasi spontan film BGST .
Pembuatan dan Karakterisasi Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 Doping Ga 2 O 3 (BGST ) ( T. Sumardi)
3. Dengan program GSAS dihasilkan bahwa BST dan BGST memiliki sistem kristal kubik dengan grup ruang P m 3 m dan adanya fasa TiO. Adapun nilai parameter kisinya untuk BST , BGST 1M1%Si, BGST 1M2%Si,
BGST 1M4%Si berturut-turut : 3,9469 Å; 3,9354 Å; 3,8617 Å dan 3,7550 Å.
4. Hasil SEM menunjukkan bahwa semua sampel masih bersifat heterogen.
5. Nilai polarisasi spontan untuk sampel BGST (1%, 2% dan 4%) dengan nilai parameter kisi hasil GSAS berturut-turut: 51,6550,53,6454 dan 56,7375 .
6. Secara umum penambahan doping galium akan menurunkan nilai parameter kisi dan meningkatkan nilai polarisasi spontan bahan Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 1M.

## UCAPAN TERIMAKASIH
Para penulis mengucapkan banyak terimakasih kepada Ketua Departemen Fisika FMIPA UI yang telah menyediakan fasilitas penelitian. Sebagian dana riset ini berasal dari Proyek Hibah Pasca Sarjana Dikti Departemen Pendidikan Nasional tahun anggaran 2006.

## DAFTARACUAN
[1]. APARNA, BHIMASANKARAN, S. V. SURYANARAYANA, G.S. KUMAR, Bull Mater Sci., 24 , (5) (2001) 497-504
[2]. M. HIKAM, B. SOEGIONO, T. SUMARDI, P.W.K. ANGGRAINI, C. SUNANDAR dan T. YOGARAKSA, Development of Barium Strontium Titanate Thin Film Doped by Fe, One Day Workshop on Materials and Metalurgy ,
UI-UKM, Depok (2006)
[3]. SEO, JIN-YONG, SUNG-WOO PARK., Journal of Korean Physics Society , 45 (3) (2004) 769-772 [4]. UMUT ADEM, Preparation of Ba x Sr 1-x TiO 3 Thin Films By Chemical Solution Deposition and Their Electrical Characterization, Thesis (2003)
[5]. LINES, M. E., A.M. GLASS, Principles and Application of Ferroelectrics and Related Materials . Clarendon Press. Great Britain (1997)
[6]. IRZAMAN, H. DARMASETIAWAN, M. N. INDRO, S. G SUKARYO, M. HIKAM, NAPENG BO and M. BARMAWI, Electrical Properties of
Crystaline Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 Thin Film (2001)
[7]. Y. GAO, S. HE, P.ALLURI, M. ENGELHARD,A. S. LEA, J. FINDER, B. MELNICK and R. L. HANCE, Effects of Precursors and Substrat Materials on Microstructure, Dielectric Properties, and Step
Coverage of (Ba, Sr) TiO 3 Films Grown by Metalorgical Vapor Deposition (2000)
[8]. SALOMO, Pengaruh Variasi Tekanan Terhadap Konstanta Dielektrikum dan Parameter Kisi Material Piezoelektrik (Studi Kasus Barium Titanat dan Kuarsa). Tesis . Program Studi Ilmu Fisika Program Pasca Sarjana UI, Jakarta (1994)
[9]. IRZAMAN, Studi Lapisan Tipis Pyroelektrik PbZr 0,52 Ti 0,48 O 3 (PZT) Yang Didadah Tantalum dan Penerapannya Sebagai Detektor Infra Merah. Disertasi , Jurusan Fisika FMIPA, ITB (2005)
[10]. K. Uchino, Ferroelectric Devices , Macel Dekker, NewYork (2000)
[11]. Y . IRIANI, M. HIKAM dan IRZAMAN, Analisa Struktur Kristal dan Komposisi Lapisan Tipis Ba 0.5 Sr 0.5 TiO 3 yang Disiapkan dengan Spin Coating , Seminar Fisika , UNS, Solo (2005)
[12]. CULLITY, Element of X-Ray Diffraction , Third Edition, Massachusetts: Addison Wesley Publishing Company Inc.,London, (2001) 385-402
[13]. YUHUAN XU, Ferroelectric Materials and Their Application , University of Calofornia Los Angeles, CA, USA (1991)
14]. IRZAMAN,Y. DARVINA,A. FUAD, P.ARIFIN,M. BUDIMAN, M.BARMAWI, Physica Status Solidi (a), Germany , 199 (3) (2003) 416-424