Analisis Fabrikasi Desain Lamination Passive Mixing Microchannel Perangkat Mikrofluidik Acrylic Menggunakan Laser CO 2 Daya Rendah
Badruzzaman 1 , Ario Sunar Baskoro 2 , A. Rizal Siswantoro 3
1 Program Studi Teknik Mesin, Politeknik Negeri Indramayu Jln. Raya Lohbener Lama No. 8 Lohbener Indramayu Jawa Barat 45252 Email :bagus_200409@yahoo.com
2,3 Program Studi Teknik Mesin, Universitas Indonesia

## Abstract
Microfluidics device has been applied in the biomedical fields to manipulate fluids in a channel network with the  dimensions  between  5-500  µm.  Microfluidics  device  is  manufactured  by  microfabrication  process  consists  of design, microstucturing and back-end process. One of microfluidics application is passive mixing microchannel. In this device, the fluids will flow through the channel without any moving part and pressure from outside to produce mixing  fluid.  It  is  important  to  design  the  form  of  channel  to  produce  a  good  lamination  passive  mixing microchannel.  In  this  study,  the  process  of  channel  design  was  performed.  Low  power  CO2  laser  was  used  for microstucturing process as a cutting tool to produce microfluidic device on acrylic material. The parameters affect the output of the cutting process are the laser power, cutting speed and the design of channel. Surface roughness of designed  channel  was  observed.  Finally,  back-end  process  was  performed  by  joining  process  using  thermal bonding  method.  From  the  experimental  results,  the  design  of  lamination  channel  has  an  influence  on  all parameters to the surface roughnes.
Keyword : Microfabrication, microfluidics, lamination passive mixing microchannel, CO 2 laser, acrylic material

## Abstrak
Perangkat  mikrofluida  telah  diterapkan  di  bidang  biomedis  untuk  memanipulasi  cairan  dalam  jaringan saluran dengan dimensi antara 5-500 µm. Perangkat mikrofluida diproduksi oleh proses microfabrication yang terdiri dari desain, microstucturing dan proses back-end. Salah satu aplikasi mikrofluida adalah pencampuran pasif  microchannel.  Dalam  perangkat  ini,  cairan  akan  mengalir  melalui  saluran  tanpa  ada  bagian  yang bergerak  dan  tekanan  dari  luar  untuk  menghasilkan  pencampuran  cairan.  Hal  ini  penting  untuk  merancang bentuk saluran yang menghasilkan pencampuran pasif lurus microchannel.Dalam penelitian ini, proses desain saluran  dilakukan.  Laser  CO 2 daya  rendah  adalah  digunakan  untuk  proses  microstucturing  sebagai  alat pemotong untuk menghasilkan perangkat mikofluida pada bahan acyilic. Parameter yang mempengaruhi output dari  proses  pemotongan  adalah  kekuatan  laser,  kecepatan  potong  dan  desain  channel.  Kekasaran  permukaan saluran yang dirancang akan diamati. Akhirnya, back-end proses dilakukan oleh proses penggabungan dengan metode ikatan termal. Dari hasil percobaan, desain saluran lamination channel memiliki pengaruh pada semua parameter untuk kekasaran permukaan.
Kata kunci : Mikrofabrikasi, mikrofluida, lamination passive mixing microchannel, laser CO 2 , meterial acrylic

## PENDAHULUAN
Dalam  bidang  biomedical,  banyak  konsep- konsep  baru  yang  bermunculan  dalam  memecahkan berbagai  masalah  yang  terjadi  dalam  bidang  tersebut, salah  satunya  adalah  pembentukan  mikrofluidik dengan  cara  pembentukan  kanal channel yang menyerupai  jaringan  pembuluh  kapiler  [1], biochemical  untuk  pengamatan  karakteristik aliran  Au  NPs  dan  CuSO 4 [2]  untuk  bentuk channel yang  bervariasi,  dan  masih  banyak  lagi  model- model yang lainnya.
Pada  penelitian  awal  untuk  pembentukan mikrofluidik,  material  yang  banyak  digunakan adalah silicon [3]  dan glass [4]  karena  material tersebut  memiliki  sifat  fisik,  elektrik  dan  optik
material  yang  baik,  tetapi  memiliki  kekurangan pada  proses  manufaktur  yaitu  biaya  yang diperlukan besar. Sedangkan dengan penggunaan material polymer untuk pembentukan  mikrofluidik dapat mengurangi biaya dan  dapat  menggunakan  proses  manufaktur  yang sederhana jika dibandingkan dengan material silicon dan glass.
Perbandingan beberapa material untuk microstructuring terlihat  pada  tabel  1  beberapa contoh  material  yang  termasuk  dalam polymer adalah
PolyMethyl
Methacrylate (PMMA), Polycarbonate , dan Poly DimethySiloxane (PDMS). Beberapa teknik pembentukan untuk mikrofluidik  telah  banyak  dilakukan,  untuk
material silicon dan glass adalah etching [6], dan photolithography.Sedangkan untuk material polymer teknik pembentukan yang dapat digunakan adalah hot embossing [7], injection molding [8], soft lithography [9] dan laser ablation [10]. Hal ini yang menjadi  dasar  pemilihan  material  PMMA  atau acrylic sebagai  material  dalam  proses  penelitian ini.
Penggunaan  laser  telah  dilakukan  sejak  40 tahun  yang  lalu,  baik  penggunaan  laser  sebagai cutting,  drilling  dan  welding.  Dalam  aplikasi biomedis,  pemakaian  mesin  laser  dilakukan  karena proses  pemotongan  yang  dilakukan  laser  lebih  rapi, sedikit  terjadi  karbonisasi  dan  berkas  serpihan  hasil
pemotongan  relative  tidak  ada  bila  dibandingkan dengan proses konvensional.
Metode pembentukan mikrofluidik menggunakan  laser  telah  banyak  dilakukan,  dengan berbagai  macam  jenis  laser  yang  digunakan, khususnya untuk penggunaan mesin laser CO 2 [11]. Penggunaan laser pada penelitian ini dimaksudkan untuk melanjutkan penelitian-penelitian yang telah dilakukan sebelumnya, diantaranya adalah penggunaan laser  diode  untuk  proses sintering dan pemotongan pada material acrylic serta penggunaan laser CO 2 untuk aplikasi biomedical dengan pengamatan  hasil  pemotongan  laser  CO 2 pada material gypsum [12].
(a)                                                                                  (b)
(c)
Gambar 1 Channel menyerupai pembuluh kapiler (a) [1] channel untuk analisis aliran Au NPs dan CuSO 4 (b ) dan (c)  [2]
Proses  pengelasan  dengan  laser  tersebut menghasilkan  bentuk  kawah  las  yang  berbeda- beda  sesuai  dengan  desain channel yang  dibuat. Bentuk kawah las yang dihasilkan, bermaksud untuk mengalirkan  dan  mencampurkan  fluida  tunggal maupun  campuran  sesuai  dengan  karakteristiknya masing-masing.  Proses  pencampuran  fluida  / fluidic  mixing yang  sudah  berkembang  terbagi menjadi 2 macam yakni active mixing dan passive mixing . Active  mixing adalah  proses  pencampuran
fluida  dimana  dalam  proses  pencampurannya terdapat  tekanan  atau pressure dari  luar  seperti pompa  sehingga  terjadi  pergerakan  fluida  didalam channel dan  mempunyai  efisiensi  pencampuran yang tinggi.
Passive  mixing adalah  proses  pencampuran fluida  dimana  fluida  yang  bergerak  dan  part pencampur  diam  tanpa  ada  pergerakan  dan tekanan  dari  luar  atau  proses  pencampurannya terjadi  karena  bentuk  desain channel yang  khusus untuk pencampuran tersebut [13].
Tabel 1. Perbandingan material untuk microstructuring [5] Silicon Glass Technical thermoplastics (e.g. PMMA, PC, PEEK) Thermoset polymers Elastomers Microfabrication Easy- medium Easy-medium Easy Medium Easy Structuring processes Wet and dry etching Wet etching, photostructuring Injection molding, hot embossing, thermoforming, laser ablation Casting, lithography, etching Casting Possible geometries Limited, 2D Limited, 2D Many, 2D, 3D Mostly 2D, 3D possible Mostly 2D, 3D possible Assembly Easy Medium Easy Medium Easy Interconnections Difficult Difficult Easy Easy Easy- medium Mechanical stability High High Low-medium High Very low Temperature stability High High Low-medium Medium Low Acid stability High High High High High Alkaline stability Limited High High High High Organic solvent stability High Medium-high Low-medium Medium- high Low Optical transparency No High Mostly high Partly High Material price Medium Medium-high Low-medium Medium Low Tabel 2. Perkembangan passive mixing dalam 6 tahun terakhir[14] Categories Mixing Technique Mixing Time (ms) Mixing Length (µm) Mixing Index Lamination Wedged shaped inlest 1 1 0.9 90 0 rotation - - 0.95 Zigzag channels Elliptic-shape barries - - 0.96 3-D serpentine structure Folding structure 489 10,000 0.01 Creeping structure - - 0.015 Stacked shim structure - - - Multiple splitting, stretching and recombining flows - - - Unbalanced driving force - 815 ψ 0.91 Embedded barriers SMX - - - Multidirectional vortices - 4255 0.72 Twisted channels Split-and-recombine 730 96,000 ~1 Surface-chemistry Obstacle shape - 1000 0.98 T-/Y- mixer - 1000 0.95
Dalam  aplikasi  mikrofluidik  untuk  bidang kimia  dan  biological, active  mixing tidak  populer digunakan karena menggunakan tekanan / pressure yang  tinggi  sedangkan passive  mixing sangat cocok digunakan untuk bidang tersebut. Hal ini  yang  menjadikan  dasar  pemilihan passive mixing untuk mikrofluidik dan kegiatan yang akan dilakukan saat ini yakni pemodelan desain passive mixing [13].
Berbagai  bentuk  desain  dari microchannel yang  sudah  dikembangkan,  banyak  menghasilkan profil  yang  berbeda-beda  kualitasnya  berdasarkan penelitian yang berkembang.
Dalam penelitian ini akan dilakukan pengembangan  model  penggabungan  kategori Y- Channel dan lamination dengan  model mixing yang berbeda dari sebelumnya.

## Bahan dan Proses Pemotongan
Dalam  penelitian  ini, channel yang  akan dibentuk mempunyai karakter microchannel yakni 200µm > D > 10µm, sesuai dengan tabel 3. Channel yang  akan  dibentuk  menggunakan material acrylic dimana  bahan  ini  akan  menjadi elastic  bila  dikenai  suhu  60 ° C. Acrylic juga memiliki  beberapa  ukuran,  ketebalan  dan  aneka warna,  sehingga  produk  yang  dihasilkan  menjadi lebih  menarik. Properties  acrylic ini  dapat  dilihat pada tabel 4.
Tabel 3. Skema klasifikasi dimensi channel [15] Conventional channels > 3mm Minichannels 3mm > D > 200µm Microchannels 200µm > D > 10µm Transitional microchannels 10µm > D > 1µm Transitional nanochannels 1µm > D > 0.1µm Nanochannels 0.1µm > D D : smallest channel dimension Tabel 4.  Properties acrylic [16] Mechanical Properties Physical Properties Properties Value Unit Properties Value Unit Young Modulus 3.2 Gpa Thermal expansion 48-80 e-6/ 0 C Tensile strength 35-62 Mpa Thermal conductivity 0.000729 W/m. 0 K Elongation 5-7,2 % Specific heat 5.344 J/kg. 0 K Compressive strength 28-97 Mpa Melting temperature 1103.15 ° K Yield strength 48-97 Mpa Density 1190 Kg/m3
Proses pemotongan ini menggunakan mesin laser CO 2 dimana mesin ini mempunyai spesifikasi sesuai tabel 5.
Gambar 2. Konsep proses pemotongan mesin laser CO 2 [17]
Tabel 5.  Spesifikasi mesin laser CO 2 [17] Daya 0 ~ 100 % (maks. 60 Watt) Wavelength 10.6 µm Frequency mode PWM (200 Hz - 200 KHz) Laser head move Pulse unit (0.1 mm/s -) Output voltage MPC 6535 0 ~ 5 Volt Power Laser Output 0 ~ 30 mA Pengulangan pemotongan 1~ 999 Diameter beam 0,002 m atau 2 mm Tabel 6. Parameter Penelitian Parameter Uraian Satuan Daya laser 6 ; 6,6 ; 7,2 ; 7,8 ; 8,4 Watt Kecepatan potong 5 ; 10 ; 15 ; 20 ; 25 mm/s Ukuran Desain  Channel (lebar puncak x lebar lembah) 0,3 x 0,3 mm ; 0,5 x 0,5 mm ; 0,7 x 0,7 mm ; 0,3 x 0,7 mm ; 0,7  x 0,3 mm Desain Channel Y-Channel dan Lamination

## METODOLOGI
Penelitian  ini  dilakukan  melalui  beberapa  tahapan untuk  mencari  solusi  dan  memecahkan  maasalah
yang timbul dalam proses pengambilan data, adapun tahapan yang telah dilakukan adalah sebagai berikut:
Gambar 3. Diagram alur metode penelitian

## HASIL DAN PEMBAHASAN

## Desain Channel
Dalam  penelitian  ini,  desain  saluran  yang  dibuat dengan mesin laser CO 2 yang memiliki 2 baris, garis lurus  dan  garis  putus-putus.  Lurus  menunjukkan garis  laser  memotong  jalan  terus,  sementara  putus- putus  baris  menunjukkan  bahwa  laser  memotong garis dengan jarak tertentu. Desain Y-Channel dan Lamination  ini  menunjukkan  proses  pemotongan laser  dimana  dalam  proses  pemotongan  awal
didahului  oleh  garis  lurus  kemudian  dilanjutkan dengan garis putus-putus.

## Microstructuring
Pada penelitian ini metode yang digunakan untuk microstructuring adalah laser  ablation dengan jenis  laser  CO 2 yang  ada  di  laboratorium manufaktur,  spesifikasi  mesin  laser  memiliki  daya minimum 4,8 Watt dan maksimum 60 Watt, serta pergerakan  sumbu  x  dan  y  pada nozzle  laser sedangkan  sumbu  z  pada  pengaturan  jarak  antara nozzle dan benda kerja.
Gambar 4.  Desain Channel
Gambar 5.  Desain ChannelY-Channel dan Lamination
Back-end Processing
Gambar 6. Proses bonding metode thermal bonding [18]

## Jarak Fokus Mesin Laser
Berdasarkan  data  yang  diperoleh  dari penelitian  sebelumnya  bahwa  penentuan jarak  sumbu  Z  terhadap  hasil  pemotongan benda  menghasilkan  jarak  29  mm  karena
jarak  tersebut  merupakan jarak  fokus  mesin laser yang  menghasilkan  kedalaman  pemotongan  paling besar  dan  sebaliknya  menghasilkan  lebar  kawah  las yang terkecil.

## Hasil Pemotongan
Berdasarkan  grafik  di  atas,  dapat  diketahui bahwa  pada  desain channel yang  beda  ukuran, semakin  semakin  besar  daya  laser  maka  akan semakin  besar  pula  nilai surface  roughness ataukekasarannya.  Pada  desain channel yang  sama ukuran,  semakin  semakin  besar  daya  laser  maka akan  semakin  kecil  nilai surface  roughness atau kekasarannya.
Tinggi profil B Tinggi profil A Lebar puncak Lebar lembah Pressure Heat dari ElemenPemanas
Ukuran Desain
Gambar 7. Hasil Pemotongan pada desain channel
Tabel 7.Data pengaruh ukuran antara parameter daya dankecepatan pada ukuran desain 0,3x0,3 mm
Kec. Potong (mm/s) Daya laser (watt) 6 6,6 7,2 7,8 8,4 5 23.225 33.906 45.587 58.268 71.94 10 25.955 38.748 52.429 66.110 80.79 15 28.685 43.590 59.271 73.952 89.63 20 31.415 48.432 66.113 81.794 98.47 25 34.145 53.274 72.955 89.636 107.31
Tabel 8.Analisis varian ukuran hasil pemotongan sesuai data pada tabel 7
Faktor Jumlah Kuadrat Derajat bebas Kuadrat tengah Fhitung Ftabel Kec. Potong 1934,17 4 483,54 32,27 3,01 Daya laser 11592,40 4 2898,1 193,43 3,01 Error 239,72 16 14,98 total 13766,29 24
Analisis data yang diperoleh dari hasil uji coba, F  hitung  kolom  (parameter  daya)  lebih  besar  dari  F tabel dan F hitung baris (parameter kecepatan) lebih besar  dari  F  tabel  dimana  dapat  disimpulkan  bahwa
untuk parameter daya laser dan kecepatan pemotongan sangat  mempengaruhi surface  roughness hasil pemotongan.
Tabel 9. Data pengaruh ukuran antara parameter kecepatan dan ukuran desain channel pada daya 6 watt Ukuran (mm) Kecepatan Potong (mm/s) 5 10 15 20 25 0.3 x 0.3 23.225 25.955 28.685 31.415 34.145 0.3 x 0.7 24.562 27.312 30.062 32.812 35.562 0.5 x 0.5 31.647 34.467 37.287 40.107 42.927 0.7 x 0.3 60.665 63.495 66.325 69.155 71.985 0.7 x 0.7 52.342 55.132 57.922 60.712 63.502
Tabel 10 Analisis varian ukuran hasil pemotongan sesuai data pada tabel 9
Faktor Jumlah Kuadrat Derajat bebas Kuadrat tengah F hitung F tabel Ukuran 5830,49 4 1457,62 310132,22 3,01 Daya laser 387,53 4 96,88 20613,44 3,01 Error 0,0752 16 0,0047 total 6218,09 24
Analisis data yang diperoleh dari hasil uji coba, F  hitung  kolom  (parameter  kecepatan)  lebih  besar dari  F  tabel  dan  F  hitung  baris  (parameter  ukuran desain channel )  lebih  besar  dari  F  tabel  dapat
disimpulkan  bahwa  untuk  parameter  kecepatan  laser dan  ukuran  desain channel sangat  mempengaruhi surface roughness hasil pemotongan.
Tabel11. Data pengaruh ukuran antara parameter ukuran desain channel dan daya pada kecepatan 5 mm/s
Ukuran (mm) Daya laser (watt) 6 6,6 7,2 7,8 8,4 0.3 x 0.3 23.225 33.906 45.587 58.268 71.949 0.3 x 0.7 24.562 34.876 46.190 58.504 71.818 0.5 x 0.5 31.647 41.976 53.304 65.633 78.961 0.7 x 0.3 60.665 71.291 82.917 94.543 108.169 0.7 x 0.7 52.342 62.922 74.503 87.083 100.664
Tabel 12. Analisis varian ukuran hasil pemotongan sesuai data pada tabel 11
Faktor Jumlah Kuadrat Derajat bebas Kuadrat tengah F hitung F tabel Ukuran 5798,80 4 1449,70 16226,59 3,01 Daya laser 7151,91 4 1787,97 20012,95 3,01 Error 1,43 16 0,0893 total 12952,13 24
Analisis data yang diperoleh dari hasil uji coba, F  hitung  kolom  (parameter  ukuran  desain channel ) lebih besar dari F tabel dan F hitung baris (parameter daya)  lebih  besar  dari  F  tabel  dapat  disimpulkan bahwa  untuk  parameter  ukuran  desain channel dan daya  sangat  mempengaruhi surface  roughness hasil pemotongan.
Gambar 8. Hasil Perbandingan antara desain channel dengan hasil akhir permukaan setelah proses pemotongan
Hasil  pengujian  mikrofluidik  telah  dilakukan dengan  parameter  volume  fluida  /  debit  fluida  0,4 cc/mL,  waktu  pencampuran  928  detik,  jarak pencampuran 29 mm, kecepatan pencampuran 0,031 mm/s,  warna  campuran  hijau  –  merah  dan  warna hasil pencampuran biru kehitam-hitaman.
Gambar 9.  Hasil pembentukan channel

## KESIMPULAN
Berdasarkan  grafik  data  hasil  uji  coba disimpulkan bahwa desain Y-Channel dan Lamination mempunyai  pengaruh  pada  semua parameter  pembanding  terhadap surface  roughness hasil  pemotongan.  Hal  ini  menunjukkan  bahwa desain channelY-Channel dan Lamination tepat digunakan  karena  setiap  parameter  yang  ada mempunyai pengaruh terhadap surface roughness. Hasil  analisis  secara  eksperimen  menunjukkan bahwa  parameter-parameter  yang  ditentukan  dalam peneltian  ini  mempunyai  pengaruh  yang  besar terhadap hasil pencampuran mikrofluidik dari desain channel yang baru.

## DAFTAR PUSTAKA
[1]. Han Wei Hou, Wong Cheng Lee, Man Chun Leong,  Surabhi  Sonam,  SriRam  Krishna Vedula, and Chwee Teck Lim, Microfluidics for  Applicationsin  Cell  Mechanics  and
Mechanobiology , Cellular and MolecularBioengineering,  Vol.  4,  No.
4, December 2011 pp. 591-602 DOI:10.1007/s12195-011-0209-4.
[2]. Wonjin  Jeon,  Chee  Burm  Shin, Design  and simulation  ofpassive  mixing  inmicrofluidics systems  with  geometric  variation, Chemical EngineeringJournal 152 (2009) 575-582.
[3]. Youli  Li,  Thomas  pfohl,  Joon  Heon  Kim, Mario  Yasa,  Zhiyu  Wen,  MahnWon  Kim and  Cyrus  R.  Safiya, selective  surface modification  in  siliconmicrofluidics  channels for micromanipulation
of biological macromolecules, Biomedical  Microdevice  3:3, 239-244, 2001.
[4]. Qiuping  Chen  •  Qiuling  Chen  •  Gabriele Maccioni Adriano Sacco • LucianoScaltrito • Monica
Ferraris • Sergio Ferrero, F a br i c at i o n of l ar ge -
ar e amicrofluidics  structures  on  glass  by imprinting  and  diode-pumped  solidstate laser writing techniques, Microsyst Technol (2011)  17:1611-1619DOI  10.1007/s00542- 011-1348-1.
[5]. Holger Becker & Claudia Gärtner, Polymermicrofabrication technologiesfor microfluidics  systems, Anal  Bioanal  Chem (2008)  390:89-111,  DOI10.1007/s00216- 007-1692-2.
[6]. C.  Hnatovsky,  r.s.  taylor,  e.  Simova,  p.p. rajeev,  d.m.  rayner,  v.r.  bhardwaj,p.b.
corkum ,  Fabrication  of  microchannels in  glass  using  focusedfemtosecond  laser radiation  and  selective  chemical  etching, Appl.  Phys.  A84,  47-61  (2006),  DOI: 10.1007/s00339-006-3590-4.
[7]. Cheng-Hsien  Wu,  and  Hsien-Chang  Kuo, Parametric  study  of  injectionmolding  and hot embossing
in polymer
microfabrication ,  Journal  ofMechanical Science  and  Technology  21  (2007)  1477- 1482.
[8]. G.  Fu  •  S.  B.  T0r  •  D.  E.  Hardt  •  N.  H. L0h, “ E f f e c t s o f p r o c e s s i n g parameters on the micro-channels replication in microfluidics devices fabricated  by  microinjection  molding” , Microsyst  Technol  (2011)  17:1791-1798 DOI 10.1007/s00542-011-1363-2.
[9]. Y.  Xia  and  G.  M.  Whitesides,  “Soft lithography”, Annu.
Rev.
Mater.Sci.1998, 28, 153-184.
[10]. Devalckenaere  M,  Jadin  A,  Kolev  K,  Laude LD. Excimer  laser  ablation  ofpolycarbonate- based plastic substrates . Nucl Instrum Methods B 1999;151:263-7.
[11]. J.M. Li, C. Liu, L.Y. Zhu, The formation and elimination  ofpolymer  bulgesin  CO 2 laser microfabrication , Journal of Materials Processing  Technology209  (2009)  4814- 4821.
[12]. Ario  Sunar  Baskoro,  Herwandi,  KGS Ismail,  Agus  Siswanta,  GandjarKiswanto, Analysis  of  Cutting  Process  of  Materials  Using Low  Power  LaserDiode  and  CO 2 ,  118006- 3535  IJMME-IJENS  ©  December  2011 IJENS.
[13]. Nguyen  N,  Wu  Z  (2005)  Micromixers  –  a review. J Micromech Microeng 15:R1
[14]. Chia-Yen  Lee,  Chin-Lung  Chang,  Yao-Nan Wang  and  Lung-Ming  Fu, Microfluidic Mixing:  A  Review, International  Journal  of Molecular Sciences, ISSN 1422-0067.
[15]. Satish G. Kandlikar, Heat Transfer and Fluid Flow in Minichannels andMicrochannels.
[16]. Kaysons, Physical  Properties  of  Acrylic Sheets, Akrylik furniture dan accessories.
[17]. Manual  Book  Laser  Engraving  &  Cutting Control System DSP5.3V1.6, May 2010.
[18]. Xuelin  Zhu  Æ  Gang  Liu  Æ  Yuhua  Guo, Yangchao  Tian, Study  of  PMMAthermal bonding ,  Microsyst  Technol  (2007)  13: 403-407 DOI10.1007/s00542-006-0224-x.