## Karakterisasi Sensor Gas CO Berbasis Bahan SnO 2 dengan Metoda Solgel Menggunakan Teknologi Film Tebal
Characterization of CO Gas Sensor Based on SnO 2 Materials with Solgel Method Using Thick Film Technology
I Dewa Putu Hermida a, * ,  Parlindungan Sinaga b ,  dan Gesi Soleha b
a Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi, Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia. Komp LIPI Gd 20, Jl Sangkuriang 21/54D, Bandung 40135, Indonesia
b Jurusan Pendidikan Fisika FPMIPA - UPI Jl. Dr. Setiabudhi No. 229 Bandung 40154 Jawa Barat-Indonesia

## Abstrak
Sensor gas SnO 2 termasuk sensor yang paling banyak digunakan dan dikembangkan di pasaran, tapi sampai saat ini belum bisa menghasilkan sensitivitas yang tinggi. Dalam penelitian ini dibahas mengenai karakterisasi sensor gas CO dengan teknologi film  tebal  yang  berbahan  SnO 2 dan  diharapkan  dapat  menghasilkan  sensor  dengan  sensitivitas  yang  tinggi.  Hasil  XRD menunjukan  bahwa  struktur  dari  SnO 2 adalah  rutile  tetragonal.  Dari  pola  difraksi  terlihat  puncak-puncak  110  dan  101  yang menunjukkan pola difraksi yang dibentuk oleh kristal SnO 2 . Hasil SEM menunjukkan bahwa ukuran sensor dapat mencapai 264 nanometer.  Hasil  EDS  (Energy  Dispersive  X  Ray  Spectroscopy)  menunjukkan  bahwa  lapisan  sensor  yang  terbentuk  memiliki komposisi  O 2 (Oksigen)  dengan  persen  massa  21,23%  dan  Sn  (Stanum)  dengan  persen  massa  78,77%.  Pengujian  sensor dilakukan  untuk  mengetahui  pengaruh  perubahan  temperatur  operasional  dan  konsentrasi  gas  terhadap  resistansi  sensor. Perubahan  yang  terjadi  dalam  sensor  gas  ini, berupa  resitansi  yang  menurun dengan  bertambahnya  temperatur  dan  konsentrasi gas CO. Dari hasil pengujian tersebut diketahui bahwa komponen-komponen penyusun sensor dapat merespon adanya gas CO. Nilai sensitivitas yang baik didapat dari hasil pengujian untuk rentang konsentrasi gas 0-500 ppm adalah 9,10 -3 /ppm.
Kata kunci : sensor gas CO, SnO 2 , teknologi film tebal, solgel.

## Abstract
SnO 2 gas sensor includes a sensor of the most widely used and developed in the market, but until now it has not been able to produce  high  sensitivity.  This  study  discusses  characterization  of  CO  gas  sensor  by  thick  film  technology  based  on  SnO 2 .  The study is expected to be able to produce high sensitivity sensor. X-Ray Diffraction result shows that the structures of tetragonal SnO 2 obtained  are  rutile.  From  the  diffraction  pattern,  it  looks  110  and  101  peaks  indicating  that  the  diffraction  pattern  is formed by crystal SnO 2 . Scanning Electron Microscopy results indicate that the size of sensor has reached 264 nanometer. From the results of EDS (Energy X-Ray Dispersive Spectroscopy) indicate that the sensor layer has a composition of 21.23% mass of O 2 (Oxygen)  and78.77%  mass  of  Sn  (Stanum).  Sensor  testing  is  conducted  to  determine  the  effect  of  changes  in  operating temperature and gas concentration to sensor resistance. Changes that occur in this gas sensor are  decreasing in resistance as a function of increasing temperature and gas concentration. From the test results, it was found that the constituent components of the  sensor  can  respond  to  the  presence  of  CO  gas.  Good  value  of  sensitivity  obtained  from  the  test  results  for  the  gas concentration range of 0-500 ppm  is 9.10 -3 /ppm.
Keywords: CO gas sensor, SnO 2 , thick film technology, solgel.

## I. P ENDAHULUAN
Di Indonesia mayoritas pencemaran udara disebabkan oleh emisi kendaraan bermotor, dimana zat- zat  berbahaya  seperti  timbal  (Pb),  oksida  nitrogen (NOx),  karbonmonoksida  (CO),  hidrokarbon,  dan suspended  particulate  matter (SPM)  yang  dikeluarkan dapat  mencapai  kurang  lebih  70%  dari  keseluruhan pencemaran udara [1].
Pada  penelitian  ini  digunakan  teknologi screen- printing .  Keunggulan  dari  teknik screen-printing atau
teknologi thick-film ini  adalah  memungkinkan  elemen heater , elektroda dan bahan  sensitif dapat dilapiskan di atas  substrat  alumina  yang  berukuran  kecil  sehingga konsumsi  dayanya  dapat  diturunkan  dan  dapat mengurangi  biaya  fabrikasi  tiap  sensor.  Adapun kelebihan  dari  sensor  gas  berbasis  SnO 2 adalah  masa pemakaian  yang  lama  dan  relatif  stabil,  mempunyai resistansi  yang  baik  terhadap corrosive  gases ,  biaya produksi  yang  relatif  murah,  dimensi  kecil,  mudah perawatannya  dan  memiliki  daya  serap  yang  baik terhadap gas CO. Bahan SnO 2 termasuk bahan material oksida,  ketersediaan  bahan  SnO 2 di  alam  ini  sangat berlimpah [2].
Sensor yang dikembangkan harus mampu mendeteksi  gas  dengan  konsentrasi  rendah  dalam  orde ppm.  Penelitian  ini  diharapkan  mendapatkan  nilai sensitivitas yang tinggi.
putu@ppet.lipi.go.id , idewaputu@gmail.com
PPET - LIPI doi : 10.14203/jet.v13.60-65

## II. L ANGKAH P ENELITIAN
Langkah  penelitian  yang  dilakukan  dapat  dilihat pada Gambar 1.

## A. Tahapan Perancangan dan Fabrikasi
Tahapan  perancangan  ini  bisa  dilihat  dalam Gambar 2.

## 1) Spesifikasi Sensor
Dalam  proses  perancangan  suatu  devais,  sebagai langkah awal adalah menentukan spesifikasi dari devais yang  akan  dibuat.  Adapun  spesifikasi  umum  yang diharapkan  peneliti  dari  sensor  ini  adalah  sebagai berikut:
 Dimensi: ≤10 mm x 25 mm
 Suhu operasi: 25 ° C – 300 ° C  Daya kerja heater : 3W
 Jangkauan pengukuran: 0 ~ 1250 ppm
Gambar 1. Diagram Alir Langkah-langkah penelitian.
Gambar 2. Tahapan Proses Perancangan dan Fabrikasi Sensor Gas [3].
2) Perancangan Lapisan Sensor (Sensitive Layer)
Terjadinya  perubahan  resistivitas  material  sensor ketika  bereaksi  dengan  gas  dipengaruhi  oleh  reaksi atom-atom oksigen di udara dengan atom-atom oksigen di  permukaan  lapisan  sensor.  Reaksi  ini  merubah
potential  barrier antar  ikatan  atom.  Reaksi  diawali ketika  lapisan  material  sensor  mengikat  oksigen  dari udara,  oksigen  tersebut  menjadi  bermuatan  negatif sehingga  terbentuk potential  barrier yang  disebut Schottky barrier . Ketika ada gas (misal: gas CO), maka gas ini akan bereaksi dengan oksigen yang telah terikat pada  permukaan  lapisan  sensor  (CO+O 2-  CO 2 +2e - ) yang mengakibatkan perubahan Schottky barrier [4] . Pada  umumnya,  sinyal  respon  sensor  ditentukan menurut  jenis  material  sensor  dan  gas  yang  disensor. Untuk  gas,  digolongkan  menjadi  gas  pengokidasi  dan gas  pereduksi,  sedangkan  untuk  material  sensor  dapat diklasifikasikan  menjadi  material  tipe–p  atau  tipe-n sesuai  dengan  respon  sinyalnya.  Pada  material  tipe-p, nilai  resistansinya  akan  bertambah  ketika  bereaksi dengan  gas  pereduksi  dan  resistansi  akan  berkurang terhadap  gas  pengoksidasi,  hal  ini  berlaku  sebaliknya terhadap material tipe-n.
Sensitive  layer sensor  merupakan  bagian  yang berinteraksi  langsung  dengan  gas,  yang  reaksi elektrokimia  terjadi  di  permukaannya.  Lapisan  ini terbuat dari bahan SnO 2 , yaitu bahan metal oxide tipe-n yang  sensitif  terhadap  molekul-molekul  gas  pereduksi [5]. Langkah pertama yang dilakukan dalam merancang lapisan sensor adalah menentukan jangkauan pengukuran  maksimal  dari  dari  sensor  dalam  satuan ppm ,  dalam  perancangan  ini  jangkauan  maksimal  yang diharapkan adalah 1000 ppm.
Karena  pada  proses  ini  yang  terjadi  adalah  reaksi gas,  maka  satuan ppm dirubah  menjadi mol/L .  Dengan menganggap  gas  adalah  gas  pada  kondisi  ideal, persamaan yang digunakan adalah sebagai berikut :
(1)
Jika  M  (berat  molekul)  CO  dalam  1  liter  udara adalah 28 g/mol, maka massa CO adalah
(2)
Jadi  dalam  1  Liter  udara  terdapat  115,92  x  10 -5 g  gas CO.  Langkah  selanjutnya  adalah  menentukan  mol  CO dalam 1 L udara, yaitu
(3) Dengan mengacu pada persamaan reaksi kesetimbangan  antara  gas  CO  dan  SnO 2 ,  yang merupakan  reaksi  antara  atom-  atom  O 2 di  permukaan dengan molekul – molekul CO dari udara, yaitu:
 (4)
Maka  dapat  diketahui  perbandingan  molaritas  antara gas-gas pereduksi dan SnO 2 , yaitu molaritas SnO 2 2 kali molaritas CO, sehingga:
(5) 3) Perancangan Elektroda
Elektroda  yang  digunakan  pada thick  film  gas sensor pada  umumnya  adalah  sepasang  elektroda berbentuk interdigital  fingers dari  bahan nobel  metal misalnya Ag .  Struktur  tersebut  dimaksudkan  untuk meminimalisasi  ruang  namun  dapat  mengoptimalkan
daerah sensing ,  serta  memudahkan  dalam  penentuan nilai  resistans.  Adapun  stuktur  yang  direncanakan adalah seperti dalam Gambar 3.
Dari  luasan  lapisan  sensor  yang  diperoleh  dari persamaan  di  atas  diperoleh  yaitu  (6x6)  mm 2 ,  maka pasangan  elektroda yang  direncanakan  haruslah memiliki  luasan  efektif  yang  sama,  luasan  yang dimaksud ditunjukkan dalam Gambar 3.
Selanjutnya  diasumsikan  bahwa  masing  masing  jari memiliki  lebar  0,4  mm,  panjang  5  mm,  dengan  jarak antar  jari  0,4  mm.  Dari  asumsi  tersebut,  dihasilkan elektroda yang memiliki 4 pasang interdigitated fingers dalam area (6x6) mm 2 .
Adapun  persamaan  untuk  mencari  luasan  area  sensor yang diharapkan, adalah :
(6)
dengan:
V adalah volume lapisan sensor (cm 3 ) A adalah luas permukaan lapisan sensor (cm 2 ) t adalah tebal permukaan lapisan sensor (5.10 -3 cm).

## Gambar 3. Rencana Struktur Elektroda.
Dari Persamaan 6 dan Gambar 3  di atas dapat dihitung nilai resistansi efektif masing–masing elektroda sebagai berikut :
(7)
dengan:
R el adalah nilai resistansi elektroda efektif (Ω), l 1 adalah panjang jalur konduktor horisontal (mm), l 2 adalah panjang jalur konduktor vertikal (mm), w adalah lebar jalur konduktor (mm), R s adalah nilai lembar resistansi (mΩ/ square ),
Dalam  penelitian  ini  pasta  yang  digunakan  adalah pasta  Ag  dengan R s =20  mΩ/ square. Dari  perancangan diketahui bahwa l 1 =4,8 mm, l 2 =1,2 mm, dan w =0,4 mm, maka  dari  persamaan  di  atas  didapatkan  nilai  resistansi efektif R el elektroda,  nilai  resistansi  masing–masing elektroda  sebesar  1,2448 Ω .  Dari  hasil  perhitungan  di atas  diperoleh  data-data  dimensi  elektroda  sensor  yang dirancang seperti pada Tabel 1.
Hal  ini  dapat  dihubungkan  dengan  waktu  transit elekron. Wt=L/μE . Di mana L adalah jarak antar finger , μ adalah mobilitas pembawa muatan yang berhubungan dengan  karakteristik  bahan  semikonduktor  (SnO 2 ),  dan E adalah medan listik/tegangan yang diberikan.
Pada  elektroda  ini  terjadi  persambungan  logam (Ag)  dengan  bahan  semikonduktor  (SnO 2 )  yang menimbulkan  kapasitansi.  Kapasitansi  dipasang  seri sehingga  mengakibatkan  kapasitansinya  berkurang, maka  desain  jarak  antar finger dipasang  saling berdekatan untuk meminimalisasi ruang [6].
T ABEL I K ETERANGAN D IMENSI L AYOUT E LEKTRODA Keterangan Ukuran (mm) Panjang Elektroda 14,5 Lebar Elektroda 9 Lebar Jari-jari Elektroda 0,4 Jarak antar Jari-jari Elektroda 0,4 Panjang x Lebar pad Elektroda 4x4

## 4) Perancangan Heater (Pemanas)
Temperatur adalah salah satu faktor terpenting yang menentukan  keberhasilan  sensor  gas  teknologi  film tebal. Distribusi temperatur yang sesuai akan mempengaruhi  tingkat  selektifitas  dan  sensitifitas  dari elemen  sensor  ini.  Pemanas  dirancang  terletak  tepat  di sisi belakang substrat.
Untuk  menentukan  karakteristik  dari heater , parameter  yang  harus diperhatikan di antaranya adalah: suhu, daya, dan luasan daerah yang ingin dipanasi, serta karakter  dari  bahan heater itu  sendiri.  Untuk  itu, langkah  awal  yang  dilakukan  adalah  menentukan karakteristik heater yang diinginkan, yaitu :
 T h : Temperatur kerja (300 °C)
 T c : Temperatur awal (25 °C)
 P : Daya pada temperatur kerja (3W)
 TCR : Temperature Coefficient Resitance (3600 °C).
Langkah  selanjutnya  adalah  menentukan  nilai resistans heater pada temperatur kerja ( R H ). Perhitungan nilai R H diawali  dengan  menentukan  tegangan  sumber sebesar  3V.  Tegangan  sumber  sebesar  3  V  dipilih dengan  pertimbangan  agar  bisa  dihasilkan  arus  kerja sesuai  dengan  karakteristik  bahan  yang  digunakan. Selain  itu  juga  mempertimbangkan  segi  kepraktisan karena  sumber  tegangan  3V  sudah  banyak  tersedia  di pasaran dengan berbagai macam tipe.
Dengan sumber 3 V dan daya yang diinginkan 3 W, maka arus kerja heater adalah:
Nilai resistansi heater pada suhu operasi ( R H ) adalah:
Selanjutnya  dengan  menentukan  nilai TCR dari data  sheet (TCR=3600 ppm /°C),  temperatur  awal ( T C =25°C),  dan  temperatur  operasi  ( T H =300  °C),  serta memasukkan  nilai R H ,  maka  didapat  nilai  resistansi heater.
[
] [ ]
Sehingga diperoleh harga R C =1,50  .
Setelah nilai R C didapat, maka dapat ditentukan dimensi dari heater , yaitu:
(8)
dengan:
R S : resistansi lembar = 20 mΩ/ sq, l : panjang konduktor heater (mm), w : lebar konduktor heater  0.4 mm. Sehingga  diperoleh  harga l =3  cm,  dan  dibentuk menyerupai  spiral  dalam  luas  area  maksimum  1  cm 2 . Ditentukan  1  cm 2 dimaksudkan  supaya heater dapat mencakup seluruh bagian elektroda di sisi baliknya.
Dari Persamaan 8 di atas dihasilkan nilai Rc =1,5 Ω, nilai ini hanya nilai resistansi dari elemen heater , belum ditambah dengan  nilai R  kaki-kaki. Perhitungan  nilai  R heater menjadi

## 
Sehingga dihasilkan desain layout seperti pada Gambar 4.
Untuk  menentukan  karakteristik  dari heater , parameter–parameter yang harus diperhatikan diantaranya,  suhu,  daya  luasan  daerah  yang  ingin dipanasi dan karakter dari bahan heater itu sendiri ( T CR , disipasi arus maksimum yang mampu melewati, dll).
Gambar 4. Desain Lay Out Heater.

## 5) Pembentukan Pasta SnO 2
Untuk  membuat  lapisan  sensitif  sensor  dilakukan dengan  metoda  solgel,  seperti  yang  terlihat  pada Gambar 5:
1. Komposisi  bahan  campuran  antara  SnCl 2 :  Air  : Propanol  (C 3 H 7 OH)  :  Isopropanol  (2-C 3 H 7 OH) dengan perbandingan massa 5 : 7 : 7 : 6.
2. SnCl 2 dihaluskan  dengan  cara  ditumbuk  selama  1 jam.
3. Masukkan  serbuk  SnCl 2 ke  dalam  2/3  bagian propanol,  kemudian  ditambahkan  1/3  air  sambil diaduk  selama  1  jam  sambil  dipanaskan  dengan suhu  80 0 C  untuk  proses  prehidrolisis  larutan  Sn. Kemudian di firing dengan suhu 300 °C.
4. Selanjutnya  sol  yang  dihasilkan  dicampur  dengan sisa  air,  Propanol,  dan  Isopropanol  lalu  diaduk kembali  selama  1  jam  sehingga  dihasilkan  pasta yang jernih dan homogen.
Gambar 5. Urutan Proses Pembentukan Pasta SnO 2 [7].

## B. Pengujian Sensor
Peralatan  dan  bahan  yang  digunakan  dalam pengujian sensor adalah:
 Sumber arus searah,
 Multimeter digital,
 Termometer digital,
 Chamber ,
 Gas CO murni.
1) Pengujian  Perubahan  Resistansi  Sensor  Terhadap Temperatur
Untuk  melakukan  pengujian  terhadap  sensor  yang telah  dibuat  seperti  pada  Gambar  6,  maka  diperlukan peralatan dan langkah-langkah sebagai berikut:
 Rangkaian  pengujian  disusun,  dimana  sumber arus searah diberikan sebesar 1,3 A.
 Nilai  temperatur  awal  (Tc)  diukur  pada temperatur  ruangan  saat  pengujian,  dan  pada udara bersih.
 Resistansi awal (Ro) diukur ketika dalam udara bersih.
 Interval gas CO adalah 250-1250 ppm.
 Dengan  memvariasikan  konsentrasi  gas  antara 250-1250 ppm didapatkan perubahan resistansi sensor.
2) Pengujian perubahan Resistansi Sensor vs Konsentrasi Gas CO
Dari  hasil  pengujian  perubahan  resistansi sensor  terhadap  konsentrasi  gas  CO,  diperoleh  data seperti  dalam  Tabel  4,  di  mana  resistansi  sensor menurun  untuk  konsentrasi  gas  CO  yang  semakin tinggi.

## III. HASIL DAN PEMBAHASAN
A. Karakterisasi Menggunakan XRD ( X-ray Diffraction )
Pada  Gambar  7  diperlihatkan  pola  difraksi  sinar-X dari sensor dengan suhu firing 650 ° C. Dari hasil XRD dapat  diketahui  bahwa  lapisan  sensitif  yang  digunakan adalah SnO 2 . Parameter kisi dari hasil data XRD adalah a=4,737Å  dan  c=3,185  Å.  Dari  pola  difraksi  terlihat puncak-puncak  dengan  pola  orientasi  kristal  SnO 2 adalah  110  dan  101  yang  menunjukkan  pola  difraksi yang  terbentuk  adalah  dibentuk  oleh  kristal  SnO 2 .  Dari semua  puncak  yang  muncul  dapat  disimpulkan  struktur dari SnO 2 adalah rutile tetragonal .
Gambar 7. Pola XRD Bahan SnO 2 . B. Karakterisasi Menggunakan EDS ( Energy Dispersive Spectroscopy )
Gambar 8 adalah hasil analisis menggunakan EDS. Dari  hasil  EDS  dapat  diketahui  bahwa  material  yang digunakan  mengandung  senyawa S nO 2 .  Ini  berarti
dengan metode solgel didapatkan kristal SnO 2 . Di mana elemen-elemen  penyusunnya  adalah  O  dengan  persen massa  21,23%  dan  Sn  dengan  persen  massa  78,77%. Puncak Sn dapat diketahui pada energi 3,442 keV.

## C. Karakterisasi  menggunakan  SEM  (Scanning Electron Microscope)
Untuk  mengetahui  ukuran  partikel-partikel  SnO 2 hasil  sintesis  maka  dilakukan  pengambilan  gambar dengan SEM yang hasilnya ditunjukkan pada Gambar 9.
Gambar 9. Struktur mikro permukaan lapisan SnO 2 .

## D. Pengujian Sensor
Data  hasil  pengujian  perubahan  resistansi  sensor terhadap  temperatur  operasional  pada  Tabel  2. Sedangkan  hasil  pengujian  perubahan  resistansi  sensor terhadap  konsentrasi  gas  CO,  diperoleh  data  seperti dalam Table 3.
T ABEL II
D ATA P ENGUJIAN P ERUBAHAN R ESISTANS S ENSOR T ERHADAP P ERUBAHAN T EMPERATUR O PERASIONAL V (Volt) T (C) R (K Ohm) 1,88 100 17,47 2,12 110 13,66 2,37 120 10,89 2,49 130 9,99 2,69 140 5,86 2,8 150 4,66 2,91 160 1,53 3,05 170 0,878 3,25 180 0,586
T ABEL III
D ATA P ENGUJIAN P ERUBAHAN R ESISTANSI S ENSOR T ERHADAP P ERUBAHAN K ONSENTRASI GAS CO R (Ohm) Konsentrasi Gas CO 586 0 422 250 130 500 114 750 100 1000 97 1250
Data  nilai  sensitivitas  sensor  terhadap  perubahan konsentrasi gas CO diperoleh data seperti pada Tabel 4.
T ABEL IV D ATA P ENGUJIAN N ILAI S ENSITIVITAS TERHADAP PERUBAHAN
KONSENTRASI GAS CO Konsentrasi Gas CO (ppm) R (Ohm) S 0 586 250 422 1,38862 500 130 4,50769 750 114 5,14035 1000 100 5,86 1250 97 6,04123

## KESIMPULAN
Berdasarkan  uraian  pada  pendahuluan,  dasar  teori, hasil  penelitian  dan  pembahasan,  maka  diperoleh kesimpulan sebagai berikut:
1. Harga  resistansi  sensor  SnO 2 cenderung  menurun untuk setiap kenaikan temperatur operasional
2. Resistansi  sensor  menurun  untuk  konsentrasi  gas CO yang semakin tinggi.
3. Sensitivitas sensor meningkat untuk konsentrasi gas CO  yang  semakin  tinggi.  Dan  sensitivitas  terbesar didapatkan  untuk  konsentrasi  gas  CO  pada konsentrasi 0-500 ppm yaitu 9.10 -3 tiap 1 ppm.

## U CAPAN TERIMA KASIH
Penulis  mengucapkan  terima  kasih  kepada  PPET- LIPI melalui Program Kegiatan Tematik T.A 2009-2010 yang  telah  memberikan  kesempatan  melaksanakan kegiatan  ini  hingga  terwujudkannya  sebuah prototype sensor gas CO.

## D AFTAR P USTAKA
[1] A. V . Patil, C. G. Dighavkar , S. K.Sonawane , S. J. Patila, R. Y.  Borsea,  “Effect  of  firing  temperature  on  electrical  and structural  characteristic  of  screen  printed  ZnO  thick  film”, Journal  of  Optoelectronic  and  Biomedical  Materials ,  vol.  1, issue 2, pp. 226 – 233, June 2009.
[2] Retnaningsih  L  dan  Hermida  I.  D.  P  (2006), “Karakterisasi Sensor  Gas  Karbon  Monoksida  (CO)  Berbasis  Bahan  SnO 2 ” , Prosiding  Seminar  Nasional  VIII  –  Jaringan  Kerjasama  Kimia Indonesia, 26-27 April 2005, Yogyakarta, ISSN 0854-4778.
[3] M.  R.  Haskard, Thick  Film  Hybrid : Manufacture  and  Design, Sydney, Australia: Prentice Hall, 1988.
[4] N.  Barsan  and  U.  Weimar,  “Understanding  the  fundamental principles of metal oxide based gas sensors; the example of CO sensing with SnO2 sensors in the presence of humidity”, Journal of Physics: Condensed Matter , vol. 15, pp. R813-R839, 2003.
[5] B.  Licznerski,  “Thick-film  gas  microsensors  based  on  tin dioxide”, Bulletin of The Polish Academy of Sciences Technical Sciences , vol. 52, no. 1, pp. 37-42, 2004.
[6] A. Fluerasu, N. Barsan, and K. K. Chin “Reducing gas sensing mechanisms  in  thick  porous  SnO 2 layers”, Bulletin  of  the American Physical Society , March 20-24, 2000.
[7] C. J. Brinker and G. W. Scherer, Sol-Gel Science - The Physics and  Chemistry  of  Sol-Gel  Processing ,  New  York,  USA: Academic Press, 1990.