Բնական սիլիցիումը բաղկացած է 28Si (92,27 %), 29Si (4,68 %) և 30Si (3,05 %) կայուն իզոտոպներից։ Ստացվել են 27Si (T½ = 4,5 վրկ), 31Si (T½ = 262 ժ) և 32Si (T½ = 700 տարի) արհեստական ռադիոակտիվ իզոտոպները։ Սիլիցիումի միացությունները, որոնք չափազանց շատ են տարածված երկրի վրա, մարդն օգտագործել է դեռ քարի դարում (քարե գործիքներ)։