1825 թվականին շվեդ քիմիոս Յակոբ Բերցելյուսի ազդելով մետաղական կալիումով սիլիցիումի ֆտորիդի վրա SiF4 ստացավ մաքուր սիլիցիում։ Նոր ստացված տարրն վաղուց անվանել էին «սիլիցիում» (լատ.՝ silex - կայծքար)։ Թարգմանաբար հին հուն․՝ κρημνός - «ժայռ, լեռ»: