中華民國元年(1912年)2月，廢杭州府，以原錢塘、仁和縣地並置杭縣，與余杭縣同屬錢塘道。1949年5月中共取得兩縣个政權，余杭、杭縣建制未變。1958年4月，杭縣畀撤銷脫，屬杭州市郊區。1960年1月建立錢塘聯社(縣級)。余杭縣亦於1958年10月撤銷，併入臨安縣。1961年3月，從臨安縣析出原余杭縣境與錢塘聯社合併，4月，錢塘聯社撤銷脫，恢復縣建制，定名余杭縣，縣治設臨平鎮。1994年4月，撤銷余杭縣，設立余杭市。2001年3月，撤銷余杭市，設立杭州市余杭區。