Трыэтылгаль можа служыць альтэрнатывай трымэтылгалю у выпарвальнай фазе эпітаксіі крышталяў паўправадніковых злучэньняў з-за таго, што плёнкі, вырашчаныя з дапамогай трыэтылгалю, маюць меншую канцэнтрацыю прымесяў вугляроду.