軟微影技術
軟微影技術 (soft lithography)，又稱軟微影製程、可撓性奈米轉印、軟蝕刻技術或軟光刻技術，是一種用軟性高分子材質做成的可撓性刻印的模具，在模具上面塗佈具有自我組合性能的單元分子 (SAM， Self-Assembly Monomer) 後，像印章一樣，在鍍金的薄膜基板上微壓，把奈米圖形模子上面凸出部分的自我組合性能的單元分子 (SAM) 像油墨一樣的印在金薄膜上。