Alpha 21164
1995年10月の Microprocessor Forum で初めて発表された。1995年11月13日、DECは同月中にサンプル出荷を開始すると発表。最初の366MHz版は1996年に量産出荷となった。1996年7月8日、433MHz版の量産出荷と500MHz版のサンプル出荷を発表し、同時に500MHz版の量産開始を9月とした。433MHz版は1,000個注文時で単価1,492ドル。600MHz版は1997年3月31日に量産出荷を開始した。1996年6月、サムスン電子はDECとセカンドソース契約を結んだ。666MHz版を生産したのは同社だけである。1996年11月11日、366MHz版から500MHz版までのサンプル出荷を開始し、1997年には量産出荷を開始した。Alpha 21164A を製造したのはDECのマサチューセッツ州ハドソンのファウンドリとサムスンの韓国国内のファウンドリである。
採用企業としては、クレイ・リサーチ、DEC、Network Appliance、DeskStation がある。クレイ・リサーチはスーパーコンピュータ T3E で450/600/675MHz版を使用した。DECは、AlphaServer、AlphaStation、Celebris XL、Digital Personal Workstation で使用している。ネットアップはストレージシステム、DeskStationはワークステーション Raptor Reflex で使用した。
世界最速のマイクロプロセッサの座を275MHz版 Alpha 21064A から引き継いだが、1995年11月にインテルの Pentium Pro が200MHz動作で300MHzの21164に(SPECint95_baseの値で)勝ったため、最速の座を奪われることになった。ただし、浮動小数点演算性能では21164のリードが続いた。翌年333MHz版21164が登場し、Pentium Pro に勝ったが、同年中にミップス・テクノロジーズのR10000やヒューレット・パッカードのPA-8000(英語版)に追い抜かれた。