イオン顕微鏡
イオン顕微鏡(イオンけんびきょう)とはイオンを試料の画像化に使用する顕微鏡の総称で複数の形式がある。
ヘリウム原子を試料に照射して細部の構造を可視化する。微細加工も可能。