電子スピン共鳴顕微鏡
マイクロ波の照射位置を局所的に絞って試料を相対的に走査する。走査型近接場光顕微鏡の概念をマイクロ波の帯域にまで拡張した概念で、「空洞共振器」に小さな穴を開けてそこから漏れたマイクロ波を穴に密着した試料の微小領域にあてて、試料をX-Yステージを用いて機械的に走査することでマイクロ波ビームを走査する。