ステッパー
近年の露光機はスキャンする形式になっている。スリットを通して露光しつつ、レチクルステージとウェハーステージを露光時に同時に互いに対向する方向に移動させることによって、(例えば9x25mmのスリットで35x25mmのエリアの露光ができる)分解能を維持した状態でより広い面積の露光を可能としている。
この方法による恩恵は、
収差の平均化効果(露光レンズの光学的な特性をスリットの部分のみ最適化すれば良い)
より小さなレンズでの大露光面積の実現(一括露光の場合はレンズ直径に内接する四角形が露光エリアとなるのに対してスキャナーの場合は外接する四角形が露光エリアとなる)
原理的により細かなフォーカス制御が可能な点
の他多岐に渡るため、現在では(ラフ工程用の廉価版を除き)ステッパーの主流となっている。
利点は多いが、露光時にレチクルとウェハーを同時に同じ比率で移動させる必要(同期制御)があり、実現へのハードルも高かった。