蛍光X線
蛍光X線法と類似の元素分析方法として、内殻電子の励起源として電子線や陽子・荷電粒子を用いる方法もある。これらは内殻励起の機構が異なり、得られるスペクトルにもその特徴が現れることからそれぞれ使い分けられている。電子線を用いた分析装置は電子線マイクロアナライザ (EPMA) などがあり、陽子・荷電粒子を励起源とした分析法は粒子線(陽子)励起X線発光法 (PIXE) と呼ばれる。マーズ・サイエンス・ラボラトリーやフィラエのような惑星探査機にはキュリウム244やプルトニウム240のような放射性同位体を励起源としたαプロトンX線分光計が搭載され、成果を挙げている。