ビス(トリメチルシリル)アミン
フォトリソグラフィにおいて、HMDSはフォトレジストのための凝着の助触媒として用いられる。熱した基板の気相からHMDSを使用することによって最高の結果が得られる。
電子顕微鏡では、サンプルの調製の間、臨界点乾燥への代替として使うことができる。