日立ハイテク
1947年(昭和22年) 4月 - 資本金19万5000円をもって、株式会社日之出商会として東京都中央区に設立。 10月 - 日製産業株式会社に社名変更。
1971年(昭和46年)10月 - 東京証券取引所第2部に上場。
1972年(昭和47年)10月 - 大阪証券取引所第2部に上場。
1983年(昭和58年)9月 - 東京証券取引所・大阪証券取引所第1部に上場。
1986年(昭和61年)3月 - 本社所在地を東京都港区西新橋一丁目に移転。
2001年(平成13年)10月 ‐ 日立製作所の計測器グループ、半導体製造装置グループとの事業統合に伴い、社名を株式会社日立ハイテクノロジーズに変更。
2005年(平成17年)4月 - 日製サイエンスを吸収合併。
2006年(平成18年)4月 - 日立ハイテク電子エンジニアリングを吸収合併。
2007年(平成19年) 4月 - 株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズを吸収合併。 6月 - 日立ハイテクデーイーテクノロジーと日立ハイテクインスツルメンツサービスが合併し、日立ハイテクエンジニアリングサービス(現・日立ハイテクファインシステムズ)を設立。
「電子線技術」を集約・強化して、半導体統合ソリューションの提供、新材料・バイオ等の新アプリケーションを創出している。微細化や省電力などのニーズに応える電子デバイス製造において、世界トップシェアの測長SEM、高精度な超微細加工を実現したプラズマエッチング装置をはじめ、プロセス製造装置・評価装置、さらに幅広い研究分野で活躍する電子顕微鏡を加え、日立ハイテクのコア技術を活用したソリューションを提供する。半導体メーカーとの共同研究開発などにより、世界トップレベルのソリューションを提供している。