柴田郡
明治22年(1889年)4月1日 - 町村制の施行により、以下の町村が発足。(1町7村) 大河原町 ← 大河原村、大谷村、小山田村、福田村(現存) 金ヶ瀬村 ← 平村、堤村、新寺村(現・大河原町) 船岡村 ← 船岡村、上名生村、中名生村、下名生村(現・柴田町) 槻木村 ← 入間野村、入間田村、海老穴村、上川名村、富沢村、成田村、小成田村、葉坂村、四日市場村、船迫村(現・柴田町) 沼辺村 ← 沼辺村、関場村、沼田村(現・村田町) 村田村 ← 村田本郷、足立村、薄木村、小泉村(現・村田町) 富岡村 ← 菅生村(現・村田町)、支倉村(現・川崎町) 川崎村 ← 前川村、本砂金村、今宿村、小野村、川内村(現・川崎町)
明治27年(1894年)4月1日 - 郡制を施行。郡役所が大河原町に設置。
明治28年(1895年)10月31日 - 村田村が町制施行して村田町となる。(2町6村)
明治37年(1904年)4月1日 - 槻木村が町制施行して槻木町となる。