山県郡
明治初年時点では全域が安芸広島藩領であった。「旧高旧領取調帳」に記載されている明治初年時点での村は以下の通り。(74村)
本地村、石井谷村、木次村、南方村、丁保余原村、川井村、壬生村、古保利村、後有田村、有田村、川東村、惣森村、川西村、春木村、蔵迫村、舞綱村、下石村、寺原村、有間村、今田村、川戸村、大塚村、大朝村、宮迫村、新庄村、岩戸村、中山村、海応寺村、上石村、志路原村、田原村、筏津村、今吉田村、吉木村、阿坂村、西宗村、中原村、都志見村、戸谷村、長笹村、穴村、坪野村、津浪村、加計村、下筒賀村、下殿河内村、上殿河内村、中筒賀村、上筒賀村、戸河内村、橋山村、中祖村、政所村、荒神原村、雲耕村、宮地村、東八幡原村、西八幡原村、土橋村、奥原村、草安村、苅屋形村、南門原村、大利原村、才乙村、奥中原村、川小田村、細見村、小原村、大暮村、米沢村、移原村、高野村、溝口村
明治4年7月14日(1871年8月29日) - 廃藩置県により広島県の管轄となる。
明治11年(1878年)11月1日 - 郡区町村編制法の広島県での施行により、行政区画としての山県郡が発足。郡役所が加計村に設置。
明治15年(1882年) - 上殿河内村が改称して上殿村となる。
明治22年(1889年)4月1日 - 町村制の施行により、以下の各村が発足。(20村) 加計村 ← 加計村、津浪村(現・安芸太田町) 殿賀村 ← 下殿河内村、下筒賀村(現・安芸太田町) 上殿村(単独村制。現・安芸太田町) 筒賀村 ← 中筒賀村、上筒賀村(現・安芸太田町) 戸河内村(単独村制。