環状シロキサン
多くはオリゴマーであり、特に低分子のものは環状ジメチル型(D体、分子式 SiO(CH3)2)の結合量により、D3(三量体)、D4(四量体)、D5(五量体)などと表記される。
D3 : ヘキサメチルシクロトリシロキサン(hexamethyl cyclotrisiloxane)C6H18O3Si3 融点64°C、沸点134°Cの固体
D4 : オクタメチルシクロテトラシロキサン(octamethyl cyclotetrasiloxane)C8H24O4Si4 融点18°C、沸点175°Cの半固体
D5 : デカメチルシクロペンタシロキサン(decamethyl cyclopentasiloxane)C10H30O5Si5 融点-30°C、沸点210°Cの液体
D20までを低分子環状シロキサン、または単に低分子シロキサンと称し、特にD3~D10の総量は後述する接点阻害などを防ぐうえでのシリコーン品質基準の指標とされている。