半導体試験装置
半導体デバイスに電気を流すことで、正常に動作するかを試験する装置。ATE(Automated Test Equipment)とも呼ばれる。検査対象(DUT, Device Under Test)の集積回路設計時に作成したテストパターンを元に、入力信号を生成し出力信号を期待値と比較する。ウェハーのレベルでの試験(前工程試験、プローブテスト)、パッケージング後の試験(後工程試験)の2回の試験が行われる。装置の価格が数千万円程度と高価であり、テスト時間(主にテストパターン長に依存)が長いと半導体製品の価格に影響を与える。
ロジックテスタ
メモリテスタ
アナログテスタ