真空フィードスルー
真空機器の内外での信号の授受では、信号の種類に合わせた同軸コネクタが使われる。信号の周波数が100MHz、電圧500V、電流3A以下の信号にはBNCコネクタが使われる。それ以上の周波数(6.5GHz以下)ではSMAコネクタ、高電圧ではSHVコネクタ、ラジオ波信号にはN型コネクタが用いられる。