テトラメチルシラン
テトラメチルシラン (tetramethylsilane, TMS, Si(CH3)4) は、有機ケイ素化合物の一つ。
化学式による表記では、Si(CH3)4 あるいは SiMe4 (ただし、Me = CH3)となる。テトラメチルシランは、4つの有機側鎖を持つ有機ケイ素化合物のなかではもっとも単純な構造を持つ化合物である。シラン同様、正四面体構造をもつ非極性分子である。 テトラメチルシランは、有機金属化学において反応物として用いられるのみならず、その他の多様な用途で用いられている。消防法に定める第4類危険物 特殊引火物に該当する。