犬山藩
慶長5年(1600年)の関ヶ原の戦いで西軍に与した犬山城主・石川光吉は改易され、代わって尾張には清洲藩に入部した徳川家康の四男・松平忠吉が52万石で入った。このとき、忠吉の御附家老として小笠原吉次が犬山に所領を与えられたのが、犬山領の始まりである。慶長12年(1607年)、吉次は下総佐倉藩へ移封された。この年、清洲藩では藩主の忠吉が嗣子なくして病死し、清洲藩は無嗣改易となった。その後、家康の九男・徳川義直が尾張藩主として尾張を支配し、犬山城には義直の附家老として徳川氏譜代の重臣・平岩親吉が11万3000石(一説に9万3000石)で入った。しかし慶長16年(1611年)、親吉は嗣子無くして病死し、その遺言によって所領は尾張藩に吸収されることとなった(ただし、犬山藩史では平岩吉範が親吉の後を継いで元和3年(1617年)まで支配したとある)。
元和3年(1617年)、義直の附家老である成瀬正成が3万石で入って、尾張藩を補佐する犬山成瀬氏がここに成立した。