Alpha 21264
コード名 EV67。21264のプロセス縮小版で、1999年後半に登場した。動作周波数は、600/667/700/733/750/833MHz がある。初めてカウント拡張 (CIX) を実装した。CIXは Alpha ISA の拡張命令セットで、ビットのカウントなどを行う。サムスン電子が 0.25μm CMOS プロセスで製造した(トランジスタは0.25μmルールだが、配線は0.35μmルール)。ダイ面積は 210mm。電源電圧は2.0Vで、消費電力は600MHzで73W、700MHzで85W、750MHzで90Wなどとなっている。
コード名 EV68CD。IBMが製造したさらに高速なバージョン。