膜型表面応力センサ
特定の化学物質を吸着する機能性薄膜を利用して化学物質を検出し、識別する従来の検出にレーザーを使用するカンチレバー型センサーとは異なり、レーザーが不要なので大幅な小型化が可能となり、感度が約100倍に向上した。呼気に含まれる特定の揮発性有機化合物を識別し、悪性腫瘍を検出できる。