電子エネルギー損失分光
1〜2000eV程度の低速電子を用いるため、低エネルギーEELS(LEELS)とも呼ばれる。 固体表面の数原子の層や、表面に吸着した分子などの表面分析ができる。
特にミリeVのEELSを高エネルギー分解能で測定する方法を、高分解能EELS(HREELS)と呼ぶ。
また損失ピークの角度依存性を測定して表面状態を詳細に分析する方法を角度分解EELS(AR-EELS )と呼ぶ。