クライオポンプ
クライオソープションポンプは、クライオポンプでは排気しきれない、ヘリウム、水素、ネオンを、ソープションポンプの機能を付加させることによって、排気することを可能にした機種である。クライオポンプの2段目の凝縮パネルの内側に、多孔質の吸着パネル(吸着剤)を付けることによって、物理吸着を用いて残留気体を排気する。
凝縮パネルが適切な極低温に保たれていない場合、吸着パネルが目的とした気体(ヘリウム・水素・ネオン)以外の凝縮パネルで排気されるべき気体によって吸着パネルが汚染されるため、期待した真空が得られない。真空漕内に熱源がある場合は、クライオポンプの吸気口から熱源が見えないように隔離したり、水冷バッフルなどを用いて遮蔽する必要がある。また、大気圧から直接用いた場合など、凝縮パネル上で急激な凝縮が起こると、凝縮パネルの温度が上昇し、同様の問題が起こる可能性がある。
本来「クライオポンプ」と「クライオソープションポンプ」は別のものであり区別されるべきであるが、どちらも「クライオポンプ」と呼ばれることがある。