容量結合プラズマ
容量結合プラズマ(ようりょうけつごうプラズマ、Capacitively Coupled Plasma、略称:CCP)は、産業プラズマの中で最も一般的な種類の1つである。基本的には、装置内で短距離に隔てられた2枚の金属極板によって構成されている。装置内の気圧は大気圧より低いか、大気圧と同程度の場合がある。