ヤマハロボティクスホールディングス
2019年7月1日 - ヤマハモーターロボティクスホールディングスから新設分割で設立。同時に新川(初代)から半導体製造装置(後工程)事業を継承。
2019年内 - 武蔵村山工場を閉鎖し、本社並びに生産・開発機能を静岡県浜松市に移転する予定。