探針
走査型プローブ顕微鏡においては、機械的に試料に作用するプローブ (mechanical probe) を指す。探針を自由端に有するカンチレバーを探針(プローブ)と呼ぶ場合もある。
原子間力顕微鏡 (AFM) などの走査型プローブ顕微鏡に用いられる探針は、測定試料に対して機械的に接触あるいはほぼ接触状態におかれ、試料表面をなぞる。プローブ先端は曲率半径で10nm前後まで尖っている探針を有するカンチレバーが市販されている。曲率半径が小さい探針ほど分解能が上がる。探針材料として単結晶シリコンもしくは窒化シリコンがよく使われている。その他、カーボンナノチューブ (CNT) を接着した探針や、電子顕微鏡中で電子ビームを照射して堆積されるEBD (Electron Beam Deposition) 探針、など数nm曲率半径を有する探針も市販されている。