東京エレクトロン東北
1968年 2月 - テル・サームコ株式会社を設立。
1985年 4月 - 東京エレクトロン株式会社が東北事業所を設置。
1986年 7月 - テル東北エレクトロニクス株式会社を設立。
1987年 2月 - テル東北エレクトロニクス株式会社をテル東北株式会社に社名変更。
1988年 2月 - テル・サームコ株式会社をテル相模株式会社に社名変更。
1990年 1月 - テル相模株式会社を東京エレクトロン相模株式会社に、テル東北株式会社を東京エレクトロン東北株式会社に、それぞれ社名変更。
1993年 4月 -東京エレクトロン東北株式会社と東京エレクトロン相模株式会社が合併し、東京エレクトロン東北株式会社となる。
2004年 4月 - 東京エレクトロン東北株式会社と東京エレクトロンAT株式会社が合併し、 東京エレクトロンAT株式会社となる。
2006年 4月 - 東京エレクトロンAT株式会社より分社し、東京エレクトロン東北株式会社を設立。
2017年 7月1日 - 東京エレクトロン山梨に吸収合併され解散。同社は社名を「東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ」に変更。