ソフトリソグラフィ
ナノインプリント・リソグラフィはシリコン基板上にレジストを塗布した状態で200°Cまで加熱後、モールドを密着させてその後冷却する事でパターンを形成する熱ナノインプリント・リソグラフィ技術と紫外線硬化樹脂を用いる光ナノインプリント・リソグラフィ技術がある。