MEMS
主に微小な高周波スイッチや共振器を実現する。
機械的な高周波スイッチの場合、半導体の高周波スイッチより動作速度は遅いものの、低損失のスイッチが実現できる。
共振器は小型で高いQ値を持つものが作製可能である。水晶を用いても高いQ値を実現できるが、シリコンで作製できるため集積回路との集積化が容易である。
高周波スイッチ
フィルタ
発振器用振動子:水晶振動子と置き換えて使う
血液検査チップ
能動カテーテル
ドラッグデリバリシステム