LADI
従来のフォトリソグラフィで作成していた同規模の微細なパターンを比較的簡便な装置で作成可能。
従来の半導体プロセスよりも工程数が少なく、広い面積を一度に転写できるので生産性が高い。
LADI(英: Laser-Assisted Direct Imprinting: LADI) はナノメートルオーダーの微細構造作成技術として期待されるナノ構造構築法の一手法。