超音波モータ
圧電素子等により発生させた超音波振動(10-100kHz程度)を利用してステーターにたわみ波動を発生させ、その進行波を利用してローターを駆動する。 ステーターの進行波をローターに伝えるためにある程度の圧力で押さえる必要があり、接触面の精度を高くする必要がある。 ステーターの進行波がうまく伝わらずにローターがすれると摩擦熱により発熱が増大する。
1979年 - くさび型超音波モーターが考案される。
1982年 - 進行波型超音波モーターが考案される。
1986年 - 世界初の市販品第一号が新生工業より発売される。
1987年 - キヤノンがオートフォーカス一眼レフカメラの交換レンズに内蔵する形で超音波モーター(大口径用リングUSM)を初めて商品化。
1987年 - キヤノンがリングUSMとは構造の異なる小口径用のマイクロUSMを商品化。
1993年 - 定在波型・縦屈曲多重振動子を用いた、直進型・回転型の超音波モーターが ナノモーション社/ジョナ・ズメリスにより考案される。
1996年 - ニコンが独自の超音波モーター「SWM」を開発。
2016年 - キヤノンが動画やライブビュー撮影に適した直進型ナノUSMを商品化。
縦屈曲多重振動子の振動解析は、日本において、1965年(昭和40年)頃に電電公社研究員の十文字弘道が行っている。
縦屈曲多重モード平板振動子の超音波モーターへの利用に関しては1987年頃に山形大学の富川義朗によって提案され、当初は紙送りへの応用研究が為されている。富川らによって、十文字や近野正らによって当時までに盛んに研究されていたメカニカルフィルタに関する多重モード振動子を超音波モーターに応用する考案が多数試されており、平板モーターもその一部である。これらの研究は、日本音響学会や超音波研究会などの国内学会で発表され、特許に関して少なくとも日本国内においては縦屈曲多重モード振動子は既知とされたため、その後現在に至るまで多種の応用に繋がっている。
長方形圧電セラミック素子上に、市松格子状に4箇所の電極を形成し、その内の2個所の対角線上の電極に 40〜80kHz程度の高周波電圧を加え、当該素子を伸縮・屈曲させ、素子の縦方向中央、上部に付設されたセラミックチップに楕円運動を生起させ、この運動を当該素子下部に付設されたバネにより、前記セラミックチップの楕円運動を被駆動体に伝達し、被駆動体をリニア、或いは回転運動させる。 詳細は公開特許・特開平7-184382、又はウエブサイトhttp://www.nanomotion.com、 和文バージョンはhttp://www.p-andc.com/stmotor/ を参照。