半導体試験装置
半導体試験装置(はんどうたいしけんそうち)とは、集積回路(半導体デバイス)の製造工程において、性能等を試験し良品と不良品の選別を行う装置を指す。
ウェハーレベルでの試験の際、電気を流すためにウェハーに針(プローブ)を当てるための装置。テスタと接続して用いられる。DUTのPADの位置にプローブを配置したプローブカードをDUT毎に交換して用いる。