共鳴トンネルダイオード
設計上の5つのキーポイントは以下の通り。
真性トンネリング障壁
デルタドープされたキャリア注入層
デルタトープ面からヘテロ接合面までの距離
低温分子線エピタキシャル成長
成長後ラピッドサーマルアニーリング(RTA)