SI接頭語
1873–1874年、英国科学振興協会 (BAAS) はCGS単位系に、接頭語としてミリアを含む7つに加え、10を表すメガとマイクロを導入した。ただしメガとマイクロはMKS単位系やMKSA単位系ではなかなか使われなかった。メガとマイクロは、ギリシャ語の「大きい」「小さい」から作られた。なお、この後に作られる接頭語は、メガとマイクロのように、倍量接頭語は‐a、分量接頭語は‐oで終わるようになる。
1935年、国際度量衡委員会 (CIPM) はメガを採用し、代わりにミリアを廃止した。
1960年の第11回国際度量衡総会 (CGPM) でSIが定められたときには、メガ・マイクロまでの8つの接頭語(ミリアは除く)に加え、さらに新しく10のギガとナノ、10のテラとピコを加えた12の接頭語を導入した。ギガ、ナノ、テラはギリシャ語の「巨人」「小人」「怪物」、ピコはイタリア語の「小さい」から作られた。また同時に、二重接頭語が廃止された。
1964年の第12回CGPMで10のフェムトと10のアト、75年の第15回CGPMで10のペタと10のエクサが導入された。ペタとエクサはギリシャ語の「5」と「6」(1000・1000なので)、フェムトとアトはデンマーク語・ノルウェー語の「15」と「18」から作られた。