ドライエッチング
反応性イオンエッチングに使われるもの
六フッ化硫黄 (SF6)
四フッ化炭素 (CF4)
トリフルオロメタン (CHF3)
反応性ガスエッチングに使われるもの
二フッ化キセノン (XeF2)