Alpha 21364
R-box はネットワークルーターである。North、South、East、West と名付けられた4つのポートを使ってマイクロプロセッサ間を相互接続する。各ポートは2つの39ビットの一方向リンクからなり、800MHzで駆動される。そのうち32ビットがデータ、7ビットがECCである。第5のポートもあり、I/Oに使用する。このI/O用ポートには IO7 というASICを接続し、それが AGP 4x バスと2つの PCI-X バスへのブリッジになっている。I/Oポートは2つの32ビットの一方向リンクからなり、200MHzで駆動され、ピーク帯域幅は 3.2GB/s となる。他のポートよりも駆動周波数が低いのは、I/O ASIC の設計を単純化するためである。
シャッフルと2Dトーラスという2種類のネットワークトポロジーを使い、最大127個のマイクロプロセッサを接続できる。シャッフルというトポロジーは他のマイクロプロセッサとより直接的に経路を確保し、レイテンシも小さい。したがって性能が向上するが、最大8プロセッサしか接続できない。2Dトーラスというトポロジーでは最大128プロセッサのネットワークを構成できる。
マルチプロセッシングシステムでは、各プロセッサはそれぞれローカルメモリを持ったノードとなる。他のノードのメモリにもアクセスできるが、ローカルメモリよりもレイテンシが大きい。距離が離れるほどレイテンシは大きくなるので、Alpha 21364 のマルチプロセッシングはNUMAである。I/Oも同様に分散配置できる。またマルチプロセッサシステムでは、ローカルなメモリやI/Oがなくとも他の Alpha 21364 のメモリやI/Oデバイスを使うことでノードを動作させることも可能である。
EV7z は Alpha 21364 の発展版である。最後のAlphaアーキテクチャのマイクロプロセッサとなった。2003年10月23日、HPが Alpha 21364A をキャンセルした際に代替としてEV7zを発表した。2004年8月16日に登場した AlphaServer GS1280 がEV7z を採用した唯一のシステムである。2007年4月27日にそのシステムが販売終了となり、このプロセッサも製造されなくなった。1.3GHzで動作し、PC1066 RIMM をサポートしている。Alpha 21364 と同じ 0.18μm プロセスで製造された。従来の Alpha 21364 に比べると14%から16%高速だが、Alpha 21364A の予想された性能には及ばない。