走査型SQUID顕微鏡
高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子 (SQUID)を試料上で走査して試料表面からの磁束の強度を測定して、マッピングすることにより、磁気像を得る。走査型SQUID磁気顕微鏡の開発当初はSQUIDの素子サイズが数mm以上もあり、磁気を受ける面積が大きいので空間分解能は低かった。SQUIDリングを微小化することが分解能の向上をもたらすが、微小化すればするほどリングのインダクタンスと浮遊インダクタンスの比が小さくなることにより、信号雑音比が低下するのでトレードオフになる。現状では直径10μmのSQUIDリングが用いられている。仮に直径200nmのSQUIDリングで動作が可能となれば、空間分解能は50nm程度となり、ナノメ-タ-級の磁気顕微鏡が実現する。SQUIDに探針を組み合わせた磁気顕微鏡の空間分解能は、探針の先端と試料がサブmm離れていたのでサブmmが限界だった。