ボロメータ
ボロメータという用語は、素粒子物理学においても特殊な粒子検出器を指す用語として用いられる。それらの検出器は上に述べたものと同じ原理を用いている。ボロメータは光だけでなく、どんな形の放射のエネルギー吸収でも検出ができるのである。動作原理は熱力学におけるカロリメータのそれに似ている。しかし、極低温で用いられること、および使用目的が異なることから、運用方法もかなり異なってくる。高エネルギー物理学分野におけるジャーゴンでは、既に別の種類の検出器がカロリメータと呼ばれているため(カロリメータ (素粒子物理)(英語版)も参照)、これらの検出器はカロリメータとは呼ばれない。粒子検出器としてのボロメータの応用は、いまだ発展途上である。20世紀の初頭からボロメータを粒子検出器として利用することが提案されてきたが、極低温まで冷却する必要性や極低温での機器の運用の困難さのために、1980年代になって初めて普通に用いられるようになった。
マイクロボロメータは、赤外線カメラの撮像素子に用いられる、MEMS技術による特殊なボロメータである。酸化バナジウムやアモルファスシリコンによる感熱素子を微細加工技術によりシリコン基板上に二次元格子状に形成して作られる。特定の波長域の赤外線が酸化バナジウムやアモルファスシリコンにあたると、電気抵抗が変化する。この抵抗の変化を測定して処理することにより、温度分布を画像として撮像することができる。マイクロボロメータグリッドは一般に 640×480、 320×240(アモルファスシリコンでは 384×288)、より安い 160×120や64×64等のサイズが流通している。撮像素子が大きいほうが同じ画素数でも感度が高い。2008年には、より大きい 1024×768 のアレイが発表された。近年、応用分野が拡大しつつある。動画の撮影時には撮像素子の熱容量により、残像が生じる。
天文学で用いられているマイクロボロメータは、液体ヘリウムなどで極低温に冷却して用いられているが、酸化バナジウムなどによるマイクロボロメーターは常温でも使用することが可能であり、市販の赤外線カメラなどではマイクロボロメーターが使われることが多い。