六フッ化テルル
金属テルル上に 150 °Cでフッ素ガスを流すのが最も一般的な合成法である。これより低い温度では四フッ化テルル (TeF4)、十フッ化二テルル (Te2F10) などの、よりフッ素成分の少ない混合物が生成する。三酸化テルル (TeO3) とフッ素ガスの反応や、二酸化テルル (TeO2) と四フッ化セレン (SeF4) の反応で得られる TeF4 を 200 °C 以上に加熱して TeF6 と単体テルルに不均化させることによっても合成できる。