サムコ
1979年9月 - 半導体製造装置の製造及び販売を目的として株式会社サムコインターナショナル研究所を設立
1981年4月 - 国産初の化合物半導体製造用MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor deposition、有機金属気相成長法)装置の開発、販売を開始
1985年6月 - 京都市伏見区竹田田中宮町33番地(現藁屋町36番地)に本社を移転
1985年6月 - 米国マーチインスツルメンツ社(現Nordson Corporation社)の製品の販売を開始
1987年2月 - 米国カリフォルニア州シリコンバレーにオプトフィルムス研究所を開設
1994年2月 - 米国シンメトリックス社の技術を用いた「強誘電体成膜装置」の製造、販売を開始
1995年7月 - 薄膜技術を使った特定フロン無公害化技術の基本技術の開発
1997年11月 - キリンビール株式会社と共同で、プラスチックボトルにDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜を形成する技術を開発
2000年1月 - 英国ケンブリッジ大学内に研究所を開設
2001年5月 - 日本証券業協会に株式を店頭上場
2001年7月 - 台湾新竹市に台湾事務所を開設(2009年1月に閉鎖)