真空装置
表面分析装置で電子やその他の粒子(X線など)を利用した分析装置では大気分子による影響を排除するため真空中で行う物が多い。また、被測定物の表面の不純物や汚染物の除去のためにも真空にすることで排除することができるようになる。
電子検出形表面分析装置 - SEM,TEM,LEED,EELS,AES,XPS
イオン検出形表面分析装置 - GDMS,RBS,SIMS
X線検出形表面分析装置 - EPMA,XRD,PIXF,XRF,EXAFS
光検出形表面分析装置 - CL,PL
真空形走査プローブ顕微鏡 - STM,AFM