マイクロマシン
従来から用いられている加工装置でもnmオーダーの加工精度が得られるようになった。微小かつ複雑な形状(能面やワイングラスなどが有名)の構造が作製できる。このような複雑な形状は半導体マイクロマシンでは今のところ作製不可能である。
最近ではμmオーダーのギアなどが作製されている。
このような部品を用いて1cm以下の犬ロボットや自動車、パイプの中を動くロボットなどが作製されている。