真空計
分圧真空計は環境(チャンバ内)の気体成分の分子量ごとに圧力を測定する真空計である。質量分析計とも呼ばれる。
高周波形質量分析計
四極子形質量分析計
単極子形質量分析計
磁界偏向形質量分析計
二重収束形質量分析計
トロコイド形質量分析計
オメガトロン形質量分析計
飛行時間質量分析計