大見忠弘
稲田記念学術奨励賞 1965
市村賞(貢献賞) 1979
手島奨励賞 1987
井上春成賞 1989
市村産業賞(功績賞) 1990
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 1989 Best Paper Award 1990
大河内記念技術賞 1991
科学技術庁長官発明奨励賞 1993
全国発明表彰発明賞 1996
4th International Conference on Soft Computing(IIZUKA 96') Best Paper Award 1996
電子情報通信学会業績賞 1997
大河内記念技術賞 1999
日本金属学会技術開発賞 1999
アドバンスト・ディスプレイ・オブ・ザ・イヤー'99製造装置部門優秀賞 1999
科学技術庁長官賞 2000
SCP 8th International Symposium WERNER KERN AWARD 2001
The ISPSD Contributory Award 2001
紫綬褒章 2003
産学官連携功労者表彰・第1回内閣総理大臣賞 2003