Meta-Object Facility
MOFをサポートする標準としてXMIがある。XMIを用いて、M3/M2/M1層のモデルをXMLベースの形式で交換することが可能となる。さらにMOFでは、モデルやメタモデルを生成・操作する手段としてJava言語インタフェースJMIを定義している(MOF1.4までは、CORBA IDL インターフェイスも定義されていたが、MOF2.0からは削除された)。
MOFは「閉じた」メタモデリング・アーキテクチャである。なぜならば、M3モデルはM3モデル自身で定義されており、M3層を定義するために外部の定義を必要としないからである。また、MOFは「厳密な」メタモデリング・アーキテクチャでもある。各層の各モデル要素は上位層のモデル定義に厳密に対応している。MOFは、言語やデータの構造の抽象構文を定義する手段を提供する。メタモデル定義においてMOFが果たす役割は、プログラミング言語の構文定義においてEBNFが果たす役割と全く同じである。MOFはメタモデル定義のためのドメイン固有言語 (DSL) と捉えることができ、これはちょうどEBNFが構文定義のためのDSLであるのと同じである。EBNFと同様、MOFはMOF自身で定義できる(これがM3層の定義となる)。