誘導結合プラズマ発光分析
トーチ(三重管構造の石英ガラス管) の周りに巻いた誘導コイルに高周波(ラジオ波、RF)を与えて誘導結合プラズマを作る。プラズマとなるガスとして、アルゴンが一般的に用いられる。トーチに流したアルゴンガスは、アーク放電で点火される。
ペリスタルティックポンプによってネブライザーに導入された水溶液や有機溶媒は霧(エアロゾル)となり、スプレーチャンバーによって分別された細かな霧のみがプラズマの中に導入される。エアロゾルとなった溶液サンプルは、アルゴンプラズマの中性原子・電子・イオンに衝突し、原子化・イオン化される。
プラズマによって励起された中性原子やイオンは、発光することで励起エネルギーを放出し、基底状態に遷移する。中性原子の発光線は「I」、イオンの発光線は「II」と表記されることが多い。