Si貫通電極
アルゴンガス中に微量の窒素を入れて、孔口付近にN2による薄い潤滑層を形成させた後、銅原子や銅イオンを滑り込ませて孔の奥まで届ける。
スパッタのターゲットと基板を離すことで、深い穴の底まで良く届く平行な角度を作る。