窒化チタン
TiN膜の最も一般的な製造方法は、物理気相成長や化学気相成長などである。両方法において、純度の高いチタンを昇華させ、高エネルギーの真空環境下で窒素と反応させる。TiN膜はまた、窒素雰囲気での反応成長(例:焼なまし)によってチタン製加工物上に生成させるのも可能である。