真空部品
真空バルブは真空と大気、圧力の異なる真空空間、もしくは構成気体が異なる真空空間を隔離するバルブと、ガス流量や実効排気速度を制御するためのコンダクタンスを変えるバルブとがある。
使用する圧力領域や真空装置の構成、通過する物(気体に限らない)などにより使い分けられる。
真空部品は真空中で使用されるため通常の部品に比べると使用する材質、表面、清浄さにおいて十分管理されなければならない。
真空部品は使用される環境として、真空以外に半導体プロセス等大気以外のガス雰囲気で使用する場合も多い。そこで真空部品を構成する材料は通常の材料の強さや硬さなど機械的材料の特性以外に放出ガスと言う、真空中で材料から放出される気体成分についてや半導体プロセス等ので使用されるガスに対する耐性も重要な指標となる。この放出ガスが少ない材料は真空用材料として区分される。