ハロメタン
フッ素は最も安定なハロメタンを形成する。 フルオロメタン (Fluoromethane, CH3F) 半導体製造において使われる。別名フロン41。 ジフルオロメタン (Difluoromethane, CH2F2) オゾン破壊係数が0の冷却ガス。 トリフルオロメタン (Trifluoromethane, CHF3) 半導体製造、冷蔵庫で使われる。別名フロン23。 四フッ化炭素 (Carbon tetrafluoride, CF4) 低沸点の冷却ガス。別名フロン14。
塩素 クロロメタン (Chloromethane, CH3Cl) 冷却ガスとして、また、シリコーンの製造時メチル化と塩素化の過程で中間生成物として存在する。別名フロン40。 ジクロロメタン (Dichloromethane, CH2Cl2) 産業用の溶媒やペンキの剥がし剤、部品の脱脂など、広く使われている。また、コーヒーのカフェインを除いたり、風味の抽出にも用いられる。 クロロホルム (Chloroform, CHCl3) 以前は麻酔薬として使われていたが、その毒性から使われなくなった。現在は産業用溶媒や、染料、農薬の製造に利用される。