マイクロリアクター
気相反応用のマイクロリアクターの歴史は長いが、液相に適用できるものは1990年代後半になってから登場し始めた。高い熱交換効率を持つ、最初のマイクロリアクターのひとつはドイツのカールスルーエ研究所 (Forschungszentrum Karlsruhe) 実験技術部 (Hauptabteilung Versuchstechnik, HVT) によって開発された。これはウラン濃縮用の分離ノズルを製造するための技術から副生した、微細な機械構造を備えたものであった。ドイツでの原子力技術研究が大幅に縮小されると、微細な熱交換器は大きく発熱的であったりして危険な化学反応の研究に使われるようになった。その後、この概念はマイクロ反応技術 (microreaction technology) あるいはマイクロプロセス工学 (micro process engineering) としてさらに発展していった。1997年にはパイレックス製、深さ90μm、幅190μmの装置中でのアゾカップリングなどが報告されている。
対応する装置もあるが、通常は粒子状の化合物は取り扱いづらく、目詰まりを起こしやすい。マイクロリアクターの研究者たちは、これがマイクロリアクターをバッチ反応器の優れた代替物と認められるために克服するべき最も大きな問題点であると指摘している。反応によって気体が発生すると内容物を押し出してしまうため、試薬が系中にとどまる時間が想定していたよりも短くなってしまう。逆圧を印加することによって回避できる場合もある。
ポンプによる送液に律動(パルス)が生じることがあり、これも問題のひとつとされる。律動が小さいか、あるいはまったくないポンプの開発に多くの労力が注がれている。電気浸透流 (electroosmotic flow, EOF) を使うと、定常的な送液を行うことができる。