奥山喜久夫
2002年 - Best Poster Award(International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2002)『Real time monitoring system of Airborne Molecular Contamination in the clean room』
2003年 - 日本空気清浄協会賞論文賞『ガス状汚染物質の壁面付着量の実時間計測と付着挙動の評価』
2004年 - 第16回「中小企業優秀新技術・新製品賞」産学連携特別賞『ナノ超分散機「ウルトラアペックスミル」』
2004年 - International Symposium on Semiconductor Manufacturing, ISSM2004 Best Paper Award『Particle Reduction and Contamination Control in Plasma Etching Equipment』
2005年 - APT Distinguished Paper Award『Preparation of microencapsulated powders by an aerosol spray method and their optical properties』