二酸化ルテニウム
通常、三塩化ルテニウムの酸化により作られる。RuO2のほぼ化学量論的な単結晶は輸送剤としてO2を用いる化学蒸気輸送法により得ることができる。
RuO2 + O2 RuO4
RuO2の膜は揮発性のルテニウム化合物から化学気相成長(CVD)により作ることができる。RuO2は三塩化ルテニウムの溶液からの電気めっきによっても作ることができる。
純粋な二酸化ルテニウム水和物の静電的に安定したヒドロゾルは、水溶液中の四酸化ルテニウムの自己触媒還元を使うことにより作られた。結果として生じる粒子の集合は直径が40nm - 160nmの範囲で実質的に単分散で均一な球体で構成するように制御されうる。