電子光学
電子の加速電圧が高ければ電子線の波長が短くなる。ザイデルの5収差に相当する収差が電子光学にもある。 電子レンズを使用して収束する。光学レンズとは異なり、電子に対するレンズは凸レンズしかないことが知られており、収差の補正に利用する場合には選択肢が限られる。