昭和真空
1953年 - 小俣真空機器研究所を創業。
1958年 - 昭和眞空機械株式会社を設立。
1978年 - 株式会社昭和眞空に社名変更。
1998年 - 現社名に変更。
2000年 - 日本証券業協会に株式を店頭公開(後のJASDAQ)。
2022年4月 - 東京証券取引所市場区分見直しにより、JASDAQ(スタンダード)からスタンダード市場へ移行。