二次イオン質量分析法
放出される二次イオンの量は、試料のマトリックス(主成分、母材)によって大きく異なる。これをマトリックス効果という。マトリックス効果の程度は、測定する元素により異なる。 よって定量は、同じような主成分から成る濃度既知の標準試料を用意し、その分析結果と比較することが必要となる。主成分の二次イオン強度と相対感度係数から、測定したい元素の濃度を算出する。
二次イオンの検出には、ファラデーカップや二次電子倍増管が用いられる。