諏訪藩
同年、諏訪頼忠の子・諏訪頼水が旧領・高島に復帰した。所領は当初は2万7000石、のち大坂の陣に参陣した第2代藩主・忠恒はその功績により元和4年(1618年)に5000石を加増され、3万2000石となる。第3代藩主・忠晴の時代に忠恒の遺言により忠晴の弟の頼蔭と頼久にそれぞれ1000石を分知して3万石となった。以後、諏訪家の支配で明治時代に至った。
天保7年(1836年)の天保騒動では甲府勤番の命を受けて、一揆鎮圧のために甲斐国に派兵した。天狗党の乱では元治元年(1864年)11月に諏訪藩兵は松本藩兵と共同して中山道の和田峠で天狗党と交戦したが、敗北している(和田嶺合戦、樋橋戦争)。明治元年(1868年)の戊辰戦争では新政府軍に加わり、甲州勝沼の戦いや北越戦争・会津戦争に参戦した。
明治4年(1871年)の廃藩置県により高島県となった。その後、筑摩県を経て長野県に編入された。諏訪家は明治17年(1884年)子爵となり、華族に列せられた。