フォトリソグラフィ
ウェハー上に別の金属や酸化物などを付けたい場合は、真空蒸着やスパッタリング、CVDなどの手法によって成膜する。最後に溶剤などでレジストを除去する際に、レジスト上に成膜された材料も同時に除去される(リフトオフという)ため、ウェハー上に好みのパターンを追加することができる。