大阪大学レーザー科学研究所
チャープパルス増幅・圧縮の原理を用いた高速点火用ペタワットガラスレーザーシステム。大学の施設としては世界的に類を見ない装置である。
極端紫外線 (EUV) を発生させる装置。レーザーによるEUV光発生に関し、その理論・シミュレーションデータベースを得るために作られた。レーザー光を発振し増幅する「レーザー部」(EUVデータベース用レーザー装置)、レーザー光を伝送する「伝送部」、レーザーを真空チャンバー内に設置した物質に照射しEUV光に変換する「チャンバー部」で構成される。
光科学を基盤としたイノベーション創出を目指し、先端研究施設を産業界と共用することを促進する事業。