マイクロマシン
マイクロマシンにおいて、革命的なことは、半導体集積回路作製技術を用いて、大量に一括してデバイスの作製が可能となったことである。従来の機械部品のような組み立て工程を必要としない。このように作製されたデバイスはMEMSに含まれると思われる。