HEPA
原子力施設では、換気後の空気は気体廃棄物として排気設備から排出する際に、排気中の放射性微粒子を除去するためにHEPAフィルタが使用されている。
クリーンルームやクリーンブース用の精密空調機器、製造装置の組込み用にHEPAフィルタを採用したファンユニットが使われる。クリーン度クラス100~10,000までに対応し、高いクリーン度を要求されるような半導体や液晶、医薬品や食品などに適している。