深津郡
明治8年(1875年)12月20日 - 岡山県の管轄となる。
明治9年(1876年)4月18日 - 広島県の管轄となる。
明治11年(1878年)11月1日 - 郡区町村編制法の広島県での施行により、行政区画としての深津郡が発足。「沼隈深津郡役所」が福山城下に設置され、沼隈郡とともに管轄。
明治22年(1889年)4月1日 - 町村制の施行により、以下の町村が発足。[ ]は合併した村。全域が現・福山市。(1町19村) 福山町[福山城下]、野上村、三吉村、川口村[多治米村・川口村・新涯村]、深津村、手城村、引野村、大津野村[津之下村・大門村・野々浜村]、坪生村、春日村[浦上村・能島村・吉田村・宇山村]、市村、吉津村、奈良津村、木之庄村、本庄村、中津原村、森脇村、下岩成村、上岩成村、千田村[藪路村・千田村・坂田村]
明治31年(1898年)10月1日 - 郡制の施行のため、深津郡・安那郡の区域をもって深安郡が発足。同日深津郡廃止。
1878年(明治11年)に行政区画として発足した当時の郡域は、下記の区域にあたる。
福山市の一部(大門町の一部を除く芦田川以東かつ御幸町各町、横尾町、千田町各町、春日町各町、坪生町以南)
岡山県笠岡市の一部(用之江の一部)
明治初年時点では全域が備後福山藩領であった。「旧高旧領取調帳」に記載されている明治初年時点での村は以下の通り。(1町31村)
福山城下、木之端村、坪生村、野々浜村、津之下村、大門村、能島村、吉田村、浦上村、宇山村、市村、深津村、引野村、手城村、一番新涯村、二番新涯村、三番新涯村、多治米村、川口村、野上村、本庄村、三吉村、吉津村、奈良津村、木之庄村、坂田村、藪路村、千田村、中津原村、森脇村、上岩成村、下岩成村
明治4年 7月14日(1871年8月29日) - 廃藩置県により福山県の管轄となる。 11月15日(1871年12月26日) - 第1次府県統合により深津県の管轄となる。
明治5年6月5日(1872年7月10日) - 深津県が改称して小田県となる。
明治7年(1874年)(1町28村) 一番新涯村・二番新涯村・三番新涯村が合併して新涯村となる。 木之端村が深津村に合併。