芝浦メカトロニクス
2001年(平成13年) 2月 - アンゾフアウォード優秀企業賞を受賞。 10月 - e-サービスセンターを開設。 11月 - 中国に芝浦機電(上海)有限公司を設立。
2004年(平成16年)7月 - 芝浦ハイテック株式会社を設立。
2005年(平成17年) 4月 - 芝浦自販機が芝浦イーエムエスを合併。 7月 - 半導体検査装置事業を本多エレクトロン株式会社より移管。
2008年(平成20年)4月 - 検査業務部門を東芝及び同グループ企業へ移管。
2017年(平成29年)12月 - 信越エンジニアリング株式会社(信越化学工業の子会社)及び株式会社ニューフレアテクノロジーと資本業務提携。東芝からの自己株式取得と、東芝による信越エンジニアリング、ニューフレアテクノロジー及び市場への株式売出しにより、東芝がその他の関係会社でなくなる。
2023年(令和5年)8月 - 東芝グループ(東芝、東芝保険サービス及びニューフレアテクノロジー)が保有する芝浦メカトロニクス株を売却することを発表。これをもって芝浦メカトロニクスは東芝グループとの資本関係を有しなくなった(ニューフレアテクノロジーとの技術提携は継続する)。
東芝の一部事業を継承し設立。設立当初は重電を手がけていたが、現社名に変更後は事業基軸を「デジタル時代のインフラプロバイダー」と定め、半導体・FPD・光ディスクなど、エレクトロニクスコンポーネンツの製造装置メーカーとなる。