ダイヤモンドライクカーボン
PVD法による製法は、スパッタリング法やイオンプレーティング法などがあり、原料である黒鉛を真空中でイオンビーム、アーク放電及びグロー放電等に晒し、飛び散った炭素原子を目的物の試料面に付着させる。この製法では、金属添加のDLCや炭素のみのDLCを作製することも可能である。水素フリーDLCはこの手法で作られる。
DLCは構成する炭素の混成軌道の割合と水素含有の有無が性質に影響する。 また新たな特性を持たせるためにケイ素やニッケル、クローム、タングステンなどの元素を含有させる事もある。
分類上の種類は様々あるが一般的に用いられるものは主に以下の2つとなる。