超音波モータ
速度、推力共に、ダイナミックレンジが 進行波型に比し格段に広い。
リニア、回転運動 共に同一モーターで対応できる。
モーターの到達可能な分解能が10nm以下の為、精密位置決めに適している。
非磁性・真空環境対応のモーターが容易に作製できる。
大きさが 10.2X9.3X3mm程度のマイクロモーターが製作できる。
モーター寿命が MTBF 20,000時間で 在来の進行波型に比べ長い。