ローツェ (企業)
ウエハ保管庫の内部を窒素ガスで満たすことによって「無酸素・低湿度」の環境を作り出し、ウエハ表面への自然酸化膜の形成を抑制しながら工程間でウエハを保管する大型の装置である。数千枚規模の大量のウエハを一度に保管することができる。