エネルギー分散型X線分析
一次線の種類や装置等によって大きく異なる。エネルギー分散型X線検出器では、Be(ベリリウム)~U(ウラン)が検出可能であるが、実質的に分析が可能なのは、B(ホウ素)~U(ウラン)である。