バッファード オキサイド エッチ液
バッファード・オキサイド・エッチ液(Buffered oxide etch,BOE)は、バッファードフッ酸またはBHF(Buffered Hydrogen Fluoride)とも呼ばれ、半導体微細加工に用いられる湿式エッチング液である。
主に二酸化ケイ素(SiO2)や窒化ケイ素(Si3N4)の薄膜をエッチングする際に使用される。