CMOS
CMOSデバイスの重要な特性は、高い耐ノイズ性と低い静的電力消費である。 MOSFETのペアのうち1つのトランジスタは常にオフであるため、直列の組み合わせはオンとオフを切り替える際に瞬間的に大きな電力を消費するだけである。そのため、NMOSロジックやTTLのように、状態変化していないときにも定常電流が流れる論理回路ほど発熱せず、チップ上に高密度に集積できる。CMOSがVLSIチップの実装技術として最も広く使われるようになったのは、主にこのような理由によるものである。
MOSとはMetal(金属)-Oxide(酸化膜)-Semiconductor(半導体)の略で、MOS型電界効果トランジスタの物理的構造のことを指す。酸化膜絶縁体の上に金属ゲート電極を置き、さらにその上に半導体材料を置いたものである。かつてはゲート電極としてアルミニウムが使われていたが、現在はポリシリコンが使われている。IBMやインテルが45ナノメートル・ノード以下のサイズで発表したように、CMOSプロセスにおける「高誘電率(high-k)/金属ゲート」の登場により、一部で金属ゲートが復活している。
CMOSは常にエンハンスメントモードMOSFET(言い換えれば、ゲート-ソース間電圧がゼロの場合、トランジスタがオフになる)を使用する。