環状シロキサン
低分子環状シロキサンは高沸点物質だが揮発性が高いため、室温あるいは体温付近でも蒸気となって気中へ拡散する。この性質による、いくつかのトラブルが知られている。溶剤として使用している現場以外での発生源としては、シーリング・コーキング材などのシリコーン樹脂製品や、シャンプー、化粧品などに含まれるシリコーンオイルが考えられる。
電気電子回路への障害 蒸気が電気回路やリレー接点などの表面で電流による熱で分解されると、絶縁性のシリカが析出し、接点不良が発生する。高濃度で使用するクリーニング工場や、シリコーングリスが使用された自動車の電装品などで、誤作動や故障を招いた例がある。
半導体製造ラインへの影響 製造中のシリコンウェハーに付着すると半導体の特性を変えてしまい、低濃度でも製品歩留まりを低下させるおそれがある。このため、工場のクリーンルーム建設に使用するシリコーン製品には特にシロキサンの低減が求められる。
バイオガス利用設備への障害 下水道汚泥から嫌気性消化によってメタンガスを製造する際、汚泥中に含まれていたシロキサンが混入する。これが燃焼時に分解し、生成したシリカがガスタービンエンジンの内部や、ボイラのバーナーや熱交換器・煙道へ析出・堆積して効率低下や不調・故障を引き起こす。吸着や洗浄による除去技術が実用化されているが、バイオガス利用上のコストアップ要因となっている。そのほか、燃料電池の隔膜を傷めるおそれもある。
石油ファンヒーターへの障害 空気中に拡散したシロキサンが燃焼部にシリコーン酸化物として付着し点火ミス、途中消火、異常燃焼検知などの異常を発生させる。