白崎博公
白崎博公、"分光エリプソメーターによる形状計測",O plus E, Vol.27, No.3, pp.294-299(2005-2-25)
白崎博公、「光CD計測の計測原理と関連技術」『精密工学会誌』 2012年 78巻 2号 p.127-131, doi:10.2493/jjspe.78.127