三波川村
1889年(明治22年)4月1日 - 町村制施行により緑野郡三波川村が成立する。
1896年(明治29年)4月1日 - 郡統合(緑野郡、多胡郡、南甘楽郡の統合)により多野郡に所属する。
1954年(昭和29年)10月1日 - 鬼石町、美原村と合併し、改めて鬼石町となる。