分子線エピタキシー法
MBE装置は下記のような要素から構成される。用途や原料によって詳細は異なる。
原料供給機構
製膜用真空チャンバー
試料交換用チャンバー
超高真空排気機構(真空ポンプ類および残留ガス吸着機構(液体窒素シュラウドなど))
真空計
分子線量のモニタリング機構
試料のモニタリング機構