五酸化タンタル
バンドギャップと比誘電率が高いため、電子工学、特にタンタルキャパシタにさまざまな用途があることが分かっている。これらは自動車の電子部品、携帯電話、ポケットベル、電子回路で使用されている(薄膜部品、高速部品)。1990年代にはDRAMキャパシタ用の高k誘電体として酸化タンタルを使用することの関心が高まった。
高周波CMOS集積回路のオンチップ金属-絶縁体-金属で使用される。不揮発性メモリの電荷トラップ層としての用途が考えられる。抵抗スイッチングメモリにおける酸化タンタルの用途もある。