第5高射特科隊
第5特科連隊第6大隊
1954年(昭和29年)10月22日:各特科大隊を編合し、第5特科連隊編成完結。
1971年(昭和46年) 3月24日:第6大隊改編。
1986年(昭和61年)10月26日:第6大隊改編。
第5高射特科大隊
1988年(昭和63年) 7月23日:第6大隊、第5特科連隊から独立し、第5高射特科大隊新編。
第5高射特科中隊
2004年(平成16年) 3月29日:旅団化に伴い、第5高射特科中隊へ縮小改編。後方支援体制変換に伴い、整備部門を第5後方支援隊第2整備中隊へ移管。
第5高射特科隊
2023年(令和 5年) 3月16日:第5高射特科隊へ改編。