トリシラン
トリシランは、プラズマガン用のシリコンのキャリアとして研究されている。このプロセスは半導体や同様の用途に対して薄膜のシリコンに適用することができる。より有望な用途の1つは、ソーラーパネルを造るための安価なプロセスであろう。トリシランは20°Cで液体であるため、気体のシリコンキャリアよりも流量あたりのシリコンの量が多い。用途により気体、液体および/または固体の混合物が望ましいであろう。キャリアの組成を変化させることにより、膜厚の変化や材料上で固化することのできるスプレーからの液滴が得られ、これはコインと呼ばれる。コインの形成はキャリアが慎重に選ばれなければならない理由であり、コイン間のギャップは材料へのシリコンの不完全な適用につながる可能性がある。