オルトケイ酸テトラエチル
オルトケイ酸テトラエチル(オルトケイさんテトラエチル)は、化学式がSi(OC2H5)4である化合物であり、英語名のTetraethyl orthosilicateを略して、TEOS(テオス)とも呼ばれる。IUPAC名は、テトラエトキシシラン (英: tetraethoxysilane) である。この分子は中心のSiO4−4イオン(オルトケイ酸イオン)にエチル基が4つついた構造をしている。溶液中のイオンとしてはオルトケイ酸イオンは存在せず、TEOSはオルトケイ酸(Si(OH)4)のエチルエステルであるとも解釈できる。消防法による第4類危険物 第2石油類に該当する。
TEOSは正四面体構造をとる。類縁体が数多く存在するが、たいていは四塩化ケイ素のアルコールによる加溶媒分解により合成される。
SiCl 4 + 4 ROH ⟶ Si ( OR ) 4 + 4 HCl {\displaystyle {\ce {{SiCl4}+ 4 ROH -> {Si(OR)4}+ 4HCl}}}
ここでRはメチル基、エチル基などのアルキル基。