東京精密
半導体製造装置
ウェーハプロービングマシン、ウェーハダイシングマシン、ポリッシュ・グラインダ、CMP、スライシングマシン、面取り機
精密計測機器
三次元座標測定機、表面粗さ・輪郭形状測定機、真円度測定機、光学測定機器、マシンコントロールゲージ、各種センサ、自動計測機器