東京エレクトロン九州
1987年2月 - 東京エレクトロン株式会社・熊本製作所から分社。テル九州株式会社設立
1990年1月 - テル九州株式会社から東京エレクトロン九州株式会社に社名変更
1993年4月 - 東京エレクトロン佐賀株式会社と東京エレクトロン九州株式会社が合併。東京エレクトロン九州株式会社に社名変更
2008年10月 - 本社所在地を佐賀事業所より合志事業所へ変更
2010年3月 - 佐賀事業所を閉鎖