磁性流体シール
磁性流体シールは圧力差を保てない防塵シールと圧力差を保てる真空シールとに分けられる。これは磁性流体シールの構造により分けられ、圧力差を保てない防塵シールは磁石(多くはプラスチック磁石やゴム磁石)を透磁率の高いリング状の金属により製作された磁極片により挟み込んだ簡単な構造のものが多い。身近な利用例としてパソコンなどに内蔵されるHDDの軸受に採用され、耐久性の向上と回転の騒音減少を図っている。
これに対して真空シールは希土類磁石を使用し、多段式の磁性流体のリングを形成できるように軸、もしくは磁極片にエッジを形成し回転軸と固定側の磁極片との空間を極めて狭く管理しなければならない。空間を狭くすることにより磁場を強くし、強力に磁性流体が保持されることにより1気圧差を保てる真空シールとなる。
防塵シール HDD クリーンルーム用ロボット
真空シール CVD装置 PVD装置 イオン注入装置 シリコン単結晶引上げ炉 他、真空装置、加圧炉など