圧電応答力顕微鏡
圧電応答力顕微鏡(あつでんおうとうりょくけんびきょう、Piezoresponse Force Microscopy : PFM)は走査型プローブ顕微鏡の一種。圧電応答顕微鏡(あつでんおうとうけんびきょう)、ピエゾ応答力顕微鏡(―おうとうりょくけんびきょう)ともいう。