ウラン濃縮
供給流としてウランガスを用いる場合、ウランを完全に気化させなければならないが、気化に必要な温度(約3,800°C)を維持することは技術的に困難である。そこで、ウラン金属をフッ素 (F) と化合させ、六フッ化ウラン(UF6)とすることで、およそ57°Cで気化させることができる。フッ素には、フッ素19(F)以外の安定同位体が存在しないため、フッ素化合物として同位体分離を行っても質量誤差が生じない。六フッ化ウランは、まずウランとフッ素ガスを化合させて五フッ化ウラン(UF5)とした後、さらにフッ素と化合させることにより製造する。