トリシラン
トリシランはSiH2とHClの反応から生じる微量の生成物である。この反応は赤外レーザーを用いて行われる。レーザーを質量分析計に垂直にして、ステンレスの円筒形のセルに設置した。Schlesinger過程を用いて製造することもできる。この過程は水素化リチウムアルミニウムとオクタクロロトリシランを1-ブトキシブタン中で反応させる。60年代にBowrey, Purnell, Walshにより実証されたように、モノシランとジシランの高温での熱分解によっても生成される。
シリコンは多くの多くのコンピュータハードウェアに使われる半導体として有用である。これは安定しており、そのような状況で良く機能する。シリコンの性質上、小さいスケールで動く方が良く、ナノワイヤを使用することが望ましいことになっている。ナノワイヤの成長のための以前の方法は、温度400 °C以上、圧力100bar以上、有機溶媒中の超臨界流体-液体-固体(SFLS)材料を必要としていた。高いエネルギーが必要なことや特殊な装置、および望ましくない副産物によりナノワイヤの製造が制限される可能性がある。トリシランを用いる方法はSFLS法に比べて多くの利点がある。大気圧で行うことができるだけでなく、ビスマスシードを用いては363 °C、金シードを用いては264 °Cで行うことができる。トリシランの方法は水溶液-液体-固体(SLS)であり、アモルファスや微粒子の副生成物が少なく、比較的きれいである。このプロセスはまだ生まれたばっかりであるが、利点は探究する価値がある。プロセスの微調整にはさらなる実験が必要であるが、予備的な結果は有望と考えられる。