ソーラーグレードシリコン
シーメンス法は金属級シリコンからガス状のシランやトリクロロシランを製造し、これをCVD法にて析出させて棒状の高純度シリコンを得る。この方法を簡略化してコストや使用エネルギーの低減を図ったプロセスも用いられている。しかし、これ以上の大幅な低減は期待しにくいとされる。
金属級シリコンを一度四塩化ケイ素にして還元する過程で高純度化を行う方法である。反応効率が良く、未反応の原料の再利用が容易なことから低コストであるとされる。新日鉱ホールディングス、東邦チタニウム、チッソの3社が合弁会社を設立し、2010年からの量産を発表している。