イオンポンプ
陰極をスパッタするという動作原理のため、当然ながらイオンポンプには寿命が存在する。また、作動圧力環境に制限があるため、通常は粗引き用のポンプを併用する。代表的な装置では、超高真空チャンバーにイオンポンプを設置し、試料交換室にターボ分子ポンプとロータリーポンプを設置している。