電子線マイクロアナライザ
しかし、ガイガーカウンタでは元素ごとに発生する特性X線を区別することができず、それで1950年には波長の識別を可能とするために、キャスティングが水晶をサンプルと検出器の間に追加した。ビームインパクトのポイントを見るために、彼はまた光学顕微鏡を追加した。その結果として、吸収と蛍光の影響に関するマトリクス補正ために理論的な枠組が確立されて、電子マイクロプローブは、キャスティングの1951年の博士号論文の主題として記述された(この論文で彼は電子マイクロプローブによる定量的な分析の理論の基礎と応用を固めた)。キャスティング(1921年-1999年)は電子微小分析の「父」と考えられる。
CAMECA社(フランス)は1956年に最初の商業用の電子マイクロプローブ、「MS85」を生み出した。それは他社によってすぐに多くの電子マイクロプローブが発売されることになったが、CAMECAとJEOLと島津製作所以外は撤退した。そしてまた多くの研究者が電子線マイクロプローブを彼らの研究室に導入している。マイクロプローブへの重要なその後の改良と部分修正には、X線マップ(マッピング分析)を得るための走査電子線(1960年)、半導体式検出器(EDS)の付加(1968年)、および軽元素の分析のために合成多層回折結晶の開発(1984年)が含まれた。
近年では小型化が進む。