フォトリソグラフィ
かつてはフォトレジストをコダック社1社で供給していたため、KPR(Kodak photo resist)工程と呼ばれたり、PEP(photo engraving process)とも呼ばれたりした。
フォトリソグラフィやPEP技術は、日本語では「写真蝕刻」技術と訳される。印刷分野では写真などの画像を印刷するためにも用いられるため違和感が無いが、フォトマスクに写真画像を用いない半導体分野では違和感が大きいため、「光蝕刻」技術、「光リソグラフィ」と訳されることが多い。
尚、印刷分野では、写真を印刷するための技術だから「写真製版」技術だと勘違いされがちであるが、正しくは『写真技術を用いて製版する(刷版を作る)』ための技術であるから「写真製版」であり、これは「写真植字」(略称:「写植」)技術に由来する。この技術は1851年にフランス人科学者・エンジニアのAlphonse Louis Poitevinに開発され、現在に至る。