走査型透過電子顕微鏡
走査型透過電子顕微鏡(そうさがたとうかでんしけんびきょう、Scanning Transmission Electron Microscope、STEM))とは透過型電子顕微鏡の1つ。集束レンズによって細く絞った電子線プローブを試料上で走査し、各々の点での透過電子を検出することで像を得る。
微少領域の電子回折や元素分析が可能。また空間分解能は一般的に、収束した電子線のプローブ径で決まる。