ペンタフルオロキセノン酸テトラメチルアンモニウム
ペンタフルオロキセノン酸イオン XeF5 は平面形であり、フッ素原子はわずかにゆがんだ五角形に配位している(Xe-F 結合長は197.9-203.4 pmの範囲で、その結合角は71.5-72.3° の範囲)。
テトラメチルアンモニウム塩以外にも、ナトリウム、カリウム、セシウム、ルビジウムとの塩が合成され、それらでもペンタフルオロキセノン酸イオンは同様な平面形となることが振動スペクトルによって示された。