ナノインプリント・リソグラフィ
A アメリカ合衆国特許第 5772905 A号
B2 アメリカ合衆国特許第 6943117 B2号
B2 アメリカ合衆国特許第 8864489 B2号
B2 アメリカ合衆国特許第 8912103 B2号
B2 アメリカ合衆国特許第 8027086 B2号
B2 アメリカ合衆国特許第 8741199 B2号
B2 アメリカ合衆国特許第 8636937 B2号