MEMSメモリ
MEMSメモリとは微細加工技術によって基板上に形成されたMEMSを使用する記憶素子。
ミリピードメモリ(en:Millipede memory)という非公式の愛称が付けられており、半導体チップ上の高分子製記憶媒体の熱による変形を原子間力顕微鏡で使用されているようなカンチレバーで物理的にナノスケールの点字のような穴を形成することにより、読み書きするもので、記録密度は理論的には 1Tビット/平方インチとされる。