六フッ化物
そのため、この安定性と誘電特性、高い密度を生かし様々な用途に利用されている。六フッ化セレンも SF6 と同じように不活性だが、六フッ化テルルは不安定で有毒であり、1日以内に水で加水分解される。これらとは対照的に金属の六フッ化物は腐食性があり、水と激しく反応する。いくつかはフッ素化剤として有用である。高い求電子性を持つため、強力な酸化剤として作用する。特に六フッ化白金は、高いイオン化エネルギーを持つ酸素分子を酸化することに注目され、ほぼ同じイオン化エネルギーを持つキセノンを酸化し、初めての希ガス化合物であるヘキサフルオロ白金酸キセノンを合成することに成功した。
金属の六フッ化物は、高い揮発性のためいくつかの用途がある。六フッ化ウランは、核燃料を作り出すウラン濃縮に使用される。また、核燃料の再処理にも六フッ化物の揮発性を利用することができる。 六フッ化タングステンは半導体回路や回路基板を製造する化学蒸着に使用されている。
以下の表は六フッ化物の主な化学特性である。