ミリ波
1960年代から1970年代にかけて逼迫する長距離中継電話回線のために開発が進められてきた。当時は導波管を使用した伝送が予定されていた。しかし、光ファイバーの実用化により、ミリ波による長距離伝送は実現しなかった。瀬戸大橋には当初はミリ波の導波管を敷設する予定で敷設路が確保されていた。その後、開発は下火になり、1970年代に開発に携わった技術者達は移動体通信に配置転換されていたが、化合物半導体の進歩と周波数帯の枯渇により、再び、脚光を浴びるようになった。2000年代以降はモノリシックマイクロ波集積回路による集積化が進み、車載レーダーや近距離通信や医療関係等の用途に使用されつつある。
2010年代後半よりSiGeよりも低コストなCMOSを使用した回路が生産可能となった。