髙柳邦夫
日本電子顕微鏡学会瀬藤賞 1981
日本結晶学会賞 1982
応用物理学会賞 1987
仁科記念賞 1987
国際表面構造学会賞 1999
韓国真空学会賞 1999
日本表面科学会賞 2001
真空科学・技術・応用国際連合賞 2001
東レ科学技術賞 2002
紫綬褒章 2003
Grade Langmuir Award 2004
江崎玲於奈賞 2008
日本学士院賞 2012
東京工業大学栄誉教授 2012
瑞宝中綬章 2020