逐次三点法
小型部品のみではなく大型部品の高精度化が求められ、大型部品の高精度な形状計測は極めて困難である。実体基準を使わず、数mの大型部品の形状を0.1μm以上の精度で測定する測定法の一つが逐次三点法である。