オージェ電子分光
オージェ電子分光(オージェでんしぶんこう、Auger electron spectroscopy、AES)は、電子分光のひとつ。
真空中でX線または電子線を測定対象に照射し、放出されるオージェ電子の速度(運動エネルギー)を分析する。
測定対象は気体分子または固体表面に限られるが、ことに固体では中速電子線の励起深さ、脱出深さが数nm以下に限られるので、最表面の分析手法として最も利用価値が高い。固体表面の清浄度、組成、吸着種、薄膜等の検出・測定に広く用いられている。
電子線照射によるAESのピークは、非弾性散乱電子や二次電子などのバックグラウンドがあるため形状が複雑で幅も広い。そこでピーク解析ではスペクトルを微分処理することでピーク位置が分かりやすくなる。
定量にはXPSと同様に相対感度係数を用いる。