ラザフォード後方散乱分光
イオン源から放出されたヘリウムイオン(アルファ線)は、イオン加速器でエネルギーやイオン電流量が調節される。その後イオンビームをコリメーターによって平行にする。 検出器には半導体検出器が用いられる。