走査型近接場光顕微鏡
プローブの周りに発生させた近接場光で試料を照らし、プローブ先端と試料表面との相互作用による散乱光にて試料の光物性を知る方式。
1928年、イギリスの科学者 Synge により狭い開口部により光の回折限界を越える顕微鏡のアイデアが考案されていたが、技術的困難さのため長い間実現しなかった。長い間、彼の考えは忘れ去られていたが、1972年にマイクロ波領域で実験的に検証され、やがて1984年、Pohl らの論文をきっかけに、実用的な走査型近接場光顕微鏡(以下 SNOM と略)の原型となる開発が行われ、1985年には光学測定機器の回折限界を超えた 20nm という高い空間解像度が実現できた。マイクロピペットのテーパーを改良し液体を満たすことによって、さらに高分解能の SNOM が実現した。最近では、マイクロピペットの代わりに細く絞った光ファイバを用いる(照射モード SNOM)。