四フッ化ゲルマニウム
ゲルマニウムをフッ素で処理することで形成される。
Ge + 2 F2 → GeF4
または、二酸化ゲルマニウムをフッ化水素酸と反応させる。
GeO2 + 4 HF → GeF4 + 2 H2O
錯塩Ba(GeF6)の熱分解でも形成される。
Ba(GeF6) → GeF4 + BaF2