国際半導体技術ロードマップ
この文書は次の技術領域の研究の方向に関する意見を述べ、約15年先までのタイムライン、つまり技術予測、公約を含む。
システムドライバー
テストとテスト装置
フロントエンドプロセス
フォトリソグラフィ
IC間接続
ファクトリーインテグレーション
組み立てとパッケージ
環境、安全性、健康
歩留まり改善
度量衡学
モデリング、シミュレーション
新デバイス
新材料
ITRSの目標の妥当性やITRSの公約は比較的守られているという考え方が支配的である。しかし、「ITRSは技術の評価のみを目的としており、個々の製品に関して商用の検討材料とはみなしていない。」などの批判もある。