六フッ化モリブデン
六フッ化モリブデンは、金属モリブデンと十分な量のフッ素との直接反応によって以下のように生成される。
Mo + 3 F 2 ⟶ MoF 6 {\displaystyle {\ce {Mo + 3 F2 -> MoF6}}}
典型的な不純物はMoO2F2とMoOF4であり、六フッ化物の加水分解時の傾向を反映したものである。