インピーダンス・アナライザ
インピーダンス・アナライザは、測定周波数を変化させながら、テスト対象のデバイスに印加される電流および電圧の位相測定を行う。インピーダンスアナライザの主な仕様には、周波数範囲、インピーダンス範囲、インピーダンス精度、位相角精度がある。その他の仕様として、電圧および電流バイアスを印加する機能、測定速度 などがある。
インピーダンス・アナライザは、たとえば最大0.05%の基本精度といった非常に正確なインピーダンス測定を、μHz〜GHzの周波数測定範囲で行うことができる。インピーダンス値はμΩからTΩといった広範囲の測定が行え、位相角の精度は10ミリ度のオーダーである。また測定されたインピーダンスの絶対値、実数部と虚数部、および電圧と電流の間の位相差から、コンダクタンス、インダクタンス、静電容量といったインピーダンスパラメータを等価回路モデルに基づいて計算し表示することもできる。
LCRメータは、インピーダンス測定機能も備えており、インピーダンス・アナライザーと同等の精度での測定が可能であるが、周波数範囲低いものが多い。 またLCRメータの測定周波数は、通常、固定されており、グラフィカルに表示することはできない。
4番目の測定手法であるベクトルネットワークアナライザ(VNA)は、別の種類の機器と見なすこともできる。VNAもインピーダンスを測定できるが、通常、インピーダンス・アナライザーと比較して桁違いに、周波数が高く、精度が低い。