ダイヤモンドライクカーボン
CVD法 熱CVD プラズマCVD(高周波、マイクロ波、直流等)
PVD法 真空蒸着法 イオンプレーティング(直流励起、高周波励起) スパッタリング法(2極スパッタ、マグネトロンスパッタ、ECRスパッタ) レーザーアブレーション法 イオンビームデポジション イオン注入法