走査型近接場光顕微鏡
プリズムに全反射させた時に生じる近接場光を試料に当ててプローブで走査する。
これまで顕微鏡の分解能は長い間、レンズ等の光学部品の精度で決定されてきたが、光学部品の加工精度が十分に発達した現在では、従来の光学顕微鏡の分解能は光の回折限界による光の半分の波長という制限に縛られている。
光の中の波長より小さな物体には、光電場により原子の電気双極子が誘起されるが、この電気双極子が作る振動電界のうち、この小物体の直径程度のごく近くにある電磁界は周囲へはほとんど伝播せず減衰する。この発生した電磁界が近接場である。さらにこの近接場の中に微小な物体を散乱体として置くと、ふたたび伝播光となるのでこの微小な散乱体を観測することが可能になる。この新たな光が近接場光(エバネッセント光)である。
同様の効果により光は波長以下の極微細な穴を通すことで近接場となり、試料に作用して近接場光が発生する。これにより光の波長による光学分解能の限界を超えた光学的観察が可能となる。ただ、近接場はその名のとおり発生点の近くでしか存在しないため、近接場光を発生するには穴そのものを観察対象となる試料に近付ける必要がある。またそのままでは試料の点データしか得られない為、平面の画像データを得るためには近くで縦横2次元的に動かしてやる必要がある。試料を反射したり透過した散乱光や蛍光の強弱を表面(反射型)または裏面(透過型)から検出し近接場光の位置データと合わせる事で、試料の2次元画像が得られる。
SNOM の派生型では、穴を通した光ではなく、絞った光をSPMのプローブのような細い棒の微小な先端に当てて近接光を得る方式や、光の反射面に生じる近接光を使うものがある。