深紫外線
深紫外線(しんしがいせん、英:Deep-UV, DUV)は、IBMのリン博士によって概念化された200~300nmの波長域の紫外線。220~350nmくらいの波長域と定義されることもある。なお、遠紫外線と混同される例が指摘されており波長域が異なるため注意喚起が行われている。