真空フランジ
同じ形状のテーパを持つフランジの間にサポートリング(センターリング)によりサポートされるOリングを間に入れクランプにより挟むことにより固定とシールを行う。つぶし量はサポートリングとフランジ形状により管理される。真空フランジの結合方法としては非常に短時間で結合することができる接合方法である。