加速度計
3軸加速度センサーは、X,Y,Z軸の3方向の加速度を1デバイスで測定できるMEMSセンサの一種である。±数 [g]の範囲が測定可能である。
代表的な3軸加速度センサには以下のものがある。
ピエゾ抵抗型3軸加速度センサ
静電容量型3軸加速度センサ
熱検知型3軸加速度センサ
メーカーとしては、以下の会社が製造している。
IMV(日本)
クロスボー
北陸電気工業
日立金属
MEMSIC, Inc.(アメリカ)
STマイクロエレクトロニクス(アメリカ)
アナログ・デバイセズ(アメリカ)
Bosch Sensortec(ドイツ)
Dytran (アメリカ)
検出軸数によって1軸・2軸・3軸のセンサがある。