至道無難
寛文7年(1667年)門人が東北庵を禅河山東北寺へと発展させると、無難はその初代住職となることを請われたが、辞退した。自身の高弟道鏡慧端は信濃国にあったため、三田に隠棲していた弟弟子洞天慧水を呼び寄せてこれに当て、自身は別院に住んだ。この頃『即心記』『自性記』を著した。
延宝2年(1674年)小石川戸崎町に地所家屋を購入して庵を営み、至道庵と呼ばれた。2年後の延宝4年(1676年)8月19日に老衰で死去、東北寺に埋葬され、塔頭が建てられた。
父:相川次郎左衛門道祐親直(親章)(元亀元年(1570年) - 寛文2年(1662年)11月29日)
母:園( - 寛永7年(1630年)8月8日) - 近江国長浜氏
妻:お栗、後お房(? - 寛文元年(1661年)9月29日) 男子:野沢源左衛門元易親顕(寛永6年(1629年) - 正徳3年(1713年)6月19日) 女子:お三(? - 宝永8年(1711年)1月29日)