超純水
最も一般的な指標である。25°Cにおける理論値として、18.24MΩ・cm および 0.05482μS/cmがあげられており、この値に近いほど電解質濃度が小さいことになる。目安として17MΩ・cm以上、0.058μS/cm以下の水なら超純水と呼んでもおかしくないが、半導体工場では18MΩ・cm以上の厳守を要求される。
なお、SI単位の原則に従えばcmではなくmを使用すべき(1MΩ・m = 100MΩ・cm,1mS/m = 10μS/cm = 0.1μS/m )だが、現場では継続性を重視し、新設や機器の更新を待って徐々に移行しつつある。