IGZO
1985年 - 科学技術庁無機材質研究所(独立行政法人物質・材料研究機構の前身)の君塚昇が結晶IGZOの合成に初めて成功。君塚は1967年に科学技術庁無機材質研究所入所し、世界で初めて結晶IGZOの合成を行った後、約10年間、ホモロガス構造のIGZO等の開発に従事した。
1995年 - 東京工業大学の細野秀雄が「透明アモルファス酸化物半導体」の一種として設計指針を提唱。
2004年 - 細野がリーダーを務める研究グループが、JSTの創造科学技術推進事業 (ERATO) および戦略的創造研究推進事業 発展研究 (SORST) で開発。
2011年7月20日 - 韓国サムスン電子へライセンス供与を開始した。 発表直後から「日本の研究成果をライバルの韓国企業に売るとは何事か」といった批判が多数届いたとされる。実際には、特許権を有するJSTはサムスン電子と話をする前に、多くの日本メーカーには声を掛けている。この日本メーカーへの提案に対し、どの日本企業も「これまで実績のある材料で十分」などの理由でライセンス契約に至らず、断られている。
2012年1月20日 - シャープへライセンス供与を開始。
同年、シャープが商標権を取得。 シャープが富士通、ソニー、東芝への供給を発表。
2014年 - シャープが中国の北京小米科技へ大量供給することが報道された。
2015年2月25日 - 知財高裁は、シャープが「IGZO」の商標登録を特許庁が無効としたことを不服とし、無効の取り消しを求めた訴訟で、独占使用を認めないと判決。3月11日、シャープは上告を断念した。
IGZO半導体は、シャープが2012年に世界初となる量産に成功し、以来ディスプレイを始めとする様々な製品に採用されている。
IGZOは、テレビ用の大型有機ELディスプレイ (OLED) の製造に必須となる技術である。
ディスプレイを製造するにあたっては、薄膜トランジスタ (TFT) をガラスプレートにパターニングする必要がある。小型OLEDパネルにおいては低温ポリシリコン (LTPS) でもパターニングが可能だが、テレビ用の大型OLEDパネルともなると応答速度が速すぎるので、酸化物半導体(つまりIGZO)を使わないと不可能となる。
IGZOを使ったOLEDディスプレイはLGが2006年に試作に成功。2014年に55インチの大型OLEDテレビの出荷を開始。2021年現在、LGが大型OLEDパネルの量産に成功している唯一のメーカーであるため、2021年現在に製造されているOLEDテレビは全てIGZO方式である。
IGZOは小型OLEDパネルの製造においても、省電力で高精細というIGZO液晶と同様の利点がある。シャープは2019年にIGZO技術を利用したスマートフォン用小型OLEDディスプレイの量産に成功し、2021年発売の「AQUOS R6」より「Pro IGZO OLED」のブランドで自社のスマートフォンに採用している。
BOEは、2013年よりシャープから技術供与を受けてIGZO液晶ディスプレイを製造していたCECパンダの成都工場と南京工場を2020年に買収することでIGZO技術を獲得し、2020年後半以降に大型OLEDパネルの量産を開始する予定。