ミニマルファブ
2008年に日本の独立行政法人産業技術総合研究所(産総研)が「究極の多品種少量生産」を目指したコンセプトを提案した。2010年より産総研が主体となってコンソーシアム「ファブシステム研究会」が形成され、ミニマルファブ用の各種装置と使用部材の開発が開始された。2012年から2014年にかけては経済産業省の国家プロジェクトとして主要装置技術の開発が進められた。2014年には一部の製造装置の受注生産が開始され、トヨタ自動車系のジェイテクト社が研究開発用に初めて導入した。
2016年6月の段階で、洗浄、フォトリソグラフィー、成膜、エッチング、モールド、ワイヤーボンディング、バックグラインダー、ラミネーターなどの前工程・後工程の各種装置71種が開発を終え、それらの4割から6割ほどが販売可能な状況にある。海外初のミニマルファブとして、2017年からベトナムのSigon Hi-Tech Parkに導入される予定がある。