ゼロデュア
光学: 反射望遠鏡の鏡材として使用されている。温度変化に強い。
マイクロリソグラフィ: 半導体ウエハーの露光装置のウエハーの位置決め、搬送等に関係する機構に使用されている。ゼロデュアはその優れた温度特性、加工性によりEUV露光に使用する反射鏡の鏡材としても使用される。
計測技術: 低膨張率と長期間に渡る安定性により、計測装置の原器の素材として使用される。
熱膨張が事実上ゼロに近く、温度変化による変形がほぼないため高精度が保たれる
均質である
加工性が優れる
高精度で研磨できる
メッキが容易
ヘリウムを透過しにくく、レーザージャイロなどに有効
多孔質ではない
化学的に安定
温度特性がフラットではない