微細化
CPU製造において、微細化はITRSによって定義されたリソグラフィックノードの進歩を常に含んでいる。
GPUとSoCの製造では、微細化はITRSによって定義されなかったノードでのチップの微細化をしばしば含む。 これは例えば150 nm、110 nm、80 nm、55 nm、40 nm、より最近では14 nmノードのようなものであり、「ハーフノード」と呼ばれる。 これはITRSが定義したあるノードからより小さなノードに微細化する前に、その2つのノード間に設定された暫定的なノードであり(「ハーフノード・シュリンク」と呼ばれる)、R&Dコストを削減する目的がある。
ITRSノードまたはハーフノードのどちらへ微細化するかの選択は、集積回路デザイナーではなくファウンドリー次第である。