マスフローコントローラ
これに、外部から入力された流量設定信号とセンサーの流量出力信号を比較して、それぞれの信号レベルが一致するように流量制御バルブがPID制御などで、バルブの開度を調整する。流量の制御は、一般に電磁弁(「ソレノイドバルブ」とも言う)で行われる。
使用上の注意として、ガスの比熱はガスによって異なるので、ガスの組成に応じて専用のマスフロー機器を用いる必要がある。たとえば、窒素ガスを流すMFCを用いるなら、窒素ガス専用のMFCを用いる。マスフローメータが表示する流量は、専用のガスを流した場合の流量である。「コンバージョンファクタ」と言って、異なるガスを流した場合の換算式も流量計測の業界内では一般的に知られているが、業者以外は、なるべく専用のガスに適した各ガス専用のマスフロー機器を用いるのが無難である。
ノズル式やコリオリ式など、熱式以外のマスフロー機器の場合では、比熱は測定に用いていないが、使用するマスフロー機器は各ガスに適合した専用のマスフロー機器を使用するのが通常である。