半導体素子
モノリシックIC(シリコン基板、SOI基板)
ハイブリッドIC(厚膜IC、薄膜IC)
SOI基板によるデバイス
バイポーラ型(npn構造、pnp構造)
MOS型(nMOS構造、pMOS構造、CMOS構造
BiCMOS構造(バイポーラとCMOSの混載)