テトラメチルシラン
クロロメタンとケイ素の直接反応によりメチルクロロシラン(SiClx(CH3)4-x ただし、x = 1, 2, 3)を生成させる反応において、テトラメチルシランが副生成物として生じる。
n-ブチルリチウムと反応させると、リチオ化されて Si(CH3)3CH2Li を与える。これはアルキル化試剤として用いられる。
化学気相成長において、テトラメチルシランは二酸化ケイ素や炭化ケイ素の前駆体となる。なお、どちらの化合物になるかは、その成長条件に依存する。