トゥオモ・スントラ
ALD発明者、Picosun社取締役のトゥオモ・スントラ博士がミレニアム技術賞を受賞
1998年にMicrochemistry社とALD技術は半導体製造装置大手であるオランダのASMインターナショナルに買収され、Microchemistry社はASMのフィンランド子会社ASM Microchemistry社となった。それに先行して1997年、スントラはネステと国営電気設備会社の提携によって作られた国営エネルギー会社であるフォータム社にて特別研究員となり、主に再生エネルギーと先端エネルギー技術を研究した。
2004年にスントラはFortum社を退職したが、フィンランドのALD装置メーカーであるPicosun社の取締役は継続して務めている。2004年にナノスケール半導体デバイス開発への道を拓いたALD技術の開拓者としての功績を評価され、ヨーロッパSEMI賞を受賞。2018年には、情報技術への貢献によりミレニアム技術賞を受賞。