変位計
超音波を被測定対象物に照射し、反射した超音波の時間遅れが、距離に比例することを利用した変位計。
以下の長所・短所がある
測定対象物と測定プローブの距離(作動距離)は数10mm~数m
測定対象物の表面仕上げ状態の影響を受けにくい
測定ギャップの温度、気圧の影響を受ける