フッ化タンタル(V)
五フッ化ニオブ(NbF5)と同様に、金属タンタルをフッ素ガスで処理することで合成される。
固体及び溶融状態のTaF5は、4つのTaF6中心が架橋するフッ化物中心により結合する四量体構造をとる。気体状態のTaF5は、D3h対称の三角錐形分子構造を取る。