ソフトリソグラフィ
従来のマイクロマシニング技術と比較して、一度、モールド(鋳型)作成すれば、以後の転写工程ではフォトリソグラフィなどの工程を必要とせず、簡便に構造体を複製できる。
一例として微小流体素子の製造に使用するための型の作成はSU-8のような光硬化樹脂やそれよりも工程数が増加して製作に要する期間が長くなるものの、耐久性、強度、および微細放電加工やエッチングを始めとする多様な工程により、さらに複雑な再加工を施すことが可能なニッケルの電鋳が用いられる。
型が完成したらポリジメチルシロキサン(PDMS:二液硬化性のシリコーン樹脂)に形状の転写を行う。