真空技術者
以下の3段階の認定が決められている。
真空主任技術者:真空科学について十分な知識を持ち、真空システムの設計と管理についての専門知識を有する者
1級真空技術者:真空科学と技術について高度の専門知識を有する者
2級真空技術者:真空の技術について基礎的な知識を有する者
真空主任技術者については、1級真空技術者の資格取得後、実務4年以上の経験を積むことが受験申請の要件となっている。1級、2級については、受験資格は定められておらず、誰でも受験することができる。
なお、いずれの段階についても資格認定期間は4年であるが、申請によって更新することができる。