柳生利方
延宝2年(1674年)9月、鉄炮頭に就任。天和元年(1681年)、病により辞して馬廻となる。
老後は如流斎と号する。晩年、「島」姓を名乗っている。
貞享4年8月22日(1687年9月28日)68歳で亡くなる。
法名は、一溪如流居士。墓は白林寺。
その後、弟の厳包の養子に息子の厳延が入り、 元禄7年(1694年)2月、印可を相伝して道統を継承している。
以降、尾張藩剣術指南役は利方の子孫(厳延―厳儔―厳春―厳之―厳久―厳政―厳蕃)がつとめ、現在もその血筋が続く。