備中兵乱
天正3年(1575年)5月、備中松山城は陥落。当初、元親は家臣の説得により妻子・家臣とともに落ち延びを図るが、覚悟を決めて小早川隆景に切腹を願い出た。隆景は願い出を認め、元親は阿波三好氏出身の老母や親交のあった細川藤孝らに宛てた辞世数首を残し、松連寺で自刃した。
松山城落城後、毛利氏は備中平定のため三村氏ゆかりの諸城掃討を行った。元親の妹(鶴姫)の婿・上野隆徳が拠る三村一族最後の城である常山城も、鶴姫ほか城の女性共々奮戦したが多勢に無勢で落城し、備中兵乱は幕を閉じた。また、これらに先立つこと天正3年(1575年)1月8日、毛利軍は杠城(新見市)、城主の三村元範を攻撃して落城させた。1月17日、荒平山城(総社市秦)城主、川西三郎左右衛門之秀、城兵の助命と引き替えに四国讃岐(一説では備前児島)へと流された。
この備中兵乱によって戦国大名としての三村氏は滅亡した。なお、元親の叔父・親成は元親を諫止できなかった咎を受けて減封されたものの所領は安堵され、引き続き成羽鶴首城主の地位をも許された。その後、親成は姪に当たる元親の妹など三村本家の縁者を庇護したという。子孫の系統は、江戸時代に入り、備後福山藩水野氏の家老職(1,500石)を務め、水野家藩主逝去に際し遺言を託されるなど要職にあった。
以後、備中の大半は毛利氏の領土となり、南方の一部が宇喜多氏に与えられた。