エアフィルタ
主にインダストリークリーンルームへ供給されるファイナルフィルタとして用いられる。現在はSMIF方式のクリーンルームが一般的である為、半導体の生産装置に附属されるケースが多く見受けられる。 効率表示は凡そ計数法(JIS参照)で表現される。