真空部品
真空中で使用するためには、部品の加工段階や組立て段階などで付着する有機物(主に油成分)や埃、大気中に含まれる水分などを十分除去しなければならない。そのために各種洗浄を施し、保管にも十分注意する必要がある。 特に近年真空部品は半導体製造装置への利用が一般化しており、流用できることが求められる。そのため、放出ガスだけでなく、半導体プロセスで問題とされる特定の元素や、微小なパーティクルについても管理が求められている。