ケルビンプローブフォース顕微鏡
試料表面の仕事関数の分布を電位として捉える際に取得できる最小検出感度は、カンチレバーのばね定数やQ値、曲率半径などにより求める事ができる。これらの概念的な考え方は、MFMなどと同様である。