サーベイヤー5号
ミッションはバーニアエンジンの液体燃料を加圧するシステムでヘリウム漏れを起こしており、失敗の可能性があった。ちょうど月から42km(通常の半分の高度)の位置で逆噴射をはじめた即興の着陸シークエンスが、バーニアエンジンがたった1340m(通常の10%)の高さから106秒で着陸することを可能にした。その後ヘリウム圧がかなり不足したことからエンジンダウンし、その状態で着陸した。しかし、着陸は成功し、データも着陸後2週間にわたって受信された。アルファ粒子の後方散乱計を使った小型科学分析器は月面土壌成分の玄武岩の測定に使われた。よく似た構造のαプロトンX線分光計は幾つかの火星探査計画に使われていた。
サーベイヤー5号はサーベイヤー計画で月面に軟着陸した3機目の機体であり、宇宙機は基本的にアルミチューブの3角形の構造であり、工学科学装置の取り付け台になっていた。