マイクロマシン
英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術+マイクロマシン特有の作製技術を指す。
リソグラフィ技術(主にシリコンとその化合物から半導体集積回路を作製する技術)を用いて作製されたマイクロマシン。
成膜
露光
エッチング
犠牲層エッチング
超小型モータ
超音波モータ
圧電素子
MEMSアクチュエータ