SHRIMP
高感度高分解能イオンマイクロプローブ(こうかんどこうぶんかいのう-、英: Sensitive high-resolution ion microprobe、通称SHRIMP)とは、二次イオン質量分析器を搭載したイオン顕微鏡である。イオンを走査する事により、三次元的な同位体の分布を調べる事ができる装置で、Australian Scientific Instruments社とオーストラリア国立大学の共同で開発された。
この顕微鏡は主にウラン・鉛年代測定法で利用されるが、δLiやδBなど他の元素の同位体比測定にも利用される。
ターボ分子ポンプによって、SHRIMP内のイオンが通過する経路の空気が外部に排気され、イオンの透過率が最大化され、空気によってイオンの汚染を減らしている。また、試料チェンバーはクライオポンプを利用して、水を中心とした汚染物質をせき止めている。一般的にSHRIMP内部の圧力は、検出部では~7.0 x 10 mbar、一次イオンカラムでは~1.0 x 10 mbarである。