電子エネルギー損失分光
電子エネルギー損失分光(でんしエネルギーそんしつぶんこう、Electron energy-loss spectroscopy、EELS)とは、物質に電子線を照射し、非弾性散乱によるエネルギー損失を測定することで元素分析や状態分析をする手法。
照射する電子線を絞ることで局所分析ができる。高空間分解能のEELSではnmオーダーの電子線を用いている。高感度のEELSを用いれば1原子を分析することもできる。
透過型電子顕微鏡によって薄膜を透過した電子を測定し、厚み方向に平均化した情報を解析することで薄膜のバルク分析ができる。
エネルギー分解能はEDSよりはるかに高いため、元素分析だけでなく状態分析もできる。
照射する電子線を1nm以下に絞ることで、固体の局所的な状態分析ができる。
照射する電子は100〜1000keVと高エネルギーである。