集塵装置
気流の流路に障害物を設ける慣性力式集塵装置、エアフィルタや粒子充填層を通す深層ろ過式集塵装置、液体により粒子を捕集する湿式集塵装置に大別できる。
慣性力集塵装置
粒子を障害物に衝突させる衝突式慣性力集塵装置と、整流板などにより気流を急激に方向転換させることにより粒子を分離する反転式慣性力集塵装置に区分できる。いずれも障害物の形状が複雑であるほど集塵率は向上するが、圧力損失が大きくなり、付着した粒子の除去が困難になる欠点が生じる。重力式や遠心力式同様、他の高性能な集塵装置の前処理として導入されることが多い。
深層ろ過式集塵装置
比較的低濃度の粉塵処理に用いられるが、HEPAフィルタやULPAフィルタは半導体製造工程のクリーンルームや手術室など高度な清浄度が要求される環境にも用いられる。材質はガラス繊維、セルロース、ナイロンなどが一般的である。バグフィルタなどと異なり「払い落し」は行われず、圧力損失が初期値の2~3倍になると寿命として交換される。粒子充填層フィルタは砂やセラミック粒をろ材として用いたもので、捕集性能は限定的であるものの摩耗性の粒子や高温の気体にも対応可能である。
湿式集塵装置
集塵装置(しゅうじんそうち、英: Dust collector)は、大気汚染の防止や有価物の回収を目的として、排気中の煤や粉塵などの粒子を気体から分離する装置である。クリーンルーム中での異物除去にも使用され、集塵機と称することもある。