犬山藩
第3代当主・成瀬正親時代の万治2年(1659年)、5000石の加増を受けて合計3万5000石を支配することとなり、尾張藩最大の知行を領する重臣となった。なお、犬山城は吉次の治世で城下町と城が整備され、最古の天守を持つ城として国宝とされている。
ところが、犬山成瀬氏はあくまで身分は尾張藩の徳川家を補佐する重臣という立場であり、独立した大名として見られることはなかった。このため、第7代当主・正寿や第8代当主・正住は尾張藩から独立しようと企てたが、いずれも失敗している。
慶応4年(1868年)1月、新政府の維新立藩により、犬山成瀬家は正式に犬山藩主となり、尾張徳川氏の尾張藩から独立した。明治2年(1869年)に藩主・成瀬正肥は版籍奉還により犬山藩知事に任じられる。
明治4年(1871年)旧暦7月14日)の廃藩置県で犬山藩は犬山県となり、11月22日に名古屋県(尾張藩を母体とする)に合併された。後にこの名古屋県は愛知県と改名後、額田県(旧三河国と旧尾張国知多郡)を合併する。
明治28年(1895年)、犬山城は成瀬氏の所有するところとなった。