藤村修三
第56回科学技術庁注目発明(半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法、1997年)
第1回日経BP BizTech 図書賞(『半導体立国ふたたび』日刊工業新聞社、2001年)
東工大教育賞受賞(2010年)