超音波モータ
圧電素子等により発生させた超音波振動を利用してくさびを振動させ、先端を楕円運動させて接触しているローターを駆動する。 共振させることにより高効率で、高速回転が可能であるが、接点の発熱と磨耗により寿命が短い。
低速、高トルク
高速応答
中空構造が可能
電界、磁界の発生や影響が無い(MRIや電子ビームに影響を与えず使用できる)
連続使用により発熱量が増加(主に摩擦熱)
高性能なエンコーダーとの組み合わせで高い位置決め精度が得られる
摩擦により位置保持のための消費電力はほとんど必要無い
ギアーを使って減速する必要が無いので小型化しやすい。また駆動音が静かである
製作に高い技術が必要