炭化珪素繊維
珪素を含有するポリカルボシランを高温で蒸し焼き(熱酸化)することにより不融化処理し、その後、1200-1500°Cで焼成する。
単純に熱酸化するだけでは高温時に強度が低下するが、これは東北大学と日本原子力研究所の共同研究により不純物として混入する酸素により繊維が部分的に熱分解するためであることが解明され、不融化処理の工程に電子線などの放射線を使用して繊維内への酸素の混入を減少させる対策が導入された。
日本カーボンでは新技術開発事業団の助成を受け、原研との共同研究の後、1983年に「ニカロン」、1995年に「ハイニカロン」を量産化した。
宇部興産は東北大学との共同研究により、繊維の結晶化を抑制するためにチタンやジルコニウム等の第二金属を添加する方法を開発し、チラノ(Tyranno)繊維として製品化した。アルミニウムを含有する結晶質チラノ繊維(SAグレード)では1,800°C以上の耐熱性を持つ。チラノ繊維には耐熱グレードだけでなく、半導体グレードもある。
このほか、グンゼはエネテック総研および宇部興産とともにチラノSA繊維から炭化ケイ素繊維を連続焼成で効率よく生産する方法を開発し、Cef-NITEと名付けて量産を始めた。