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最大の改良点はバイトワード拡張 (BWX) の追加で、これはバイト(8ビット)およびワード(16ビット)単位のアクセスを強化する Alpha ISA の拡張である。これらの命令は乗算パイプラインで実行する。総トランジスタ数は966万個で、寸法は 14.4mm × 14.5mm、面積は 209 mm である。DECは第6世代のCMOSプロセス CMOS-6 で製造し、0.35μmルール、4層配線である。サムスン電子は1996年初めに0.3μmプロセスを開発し、それに基づいて0.35μmルール、4層配線で製造した。電源電圧は3.3Vで、消費電力は366MHzで31.0W、433MHzで36.0W、500MHzで41.0W、533MHzで43.5W、600MHzで48.5Wである。