サムコ
研究開発センター - 京都市伏見区竹田田中宮町94
製品サービスセンター - 京都市伏見区竹田藁屋町66
生産技術研究棟 - 京都市伏見区竹田鳥羽殿町3
第二研究開発棟 - 京都市伏見区竹田藁屋町67
第二生産技術棟 - 京都市伏見区竹田藁屋町68
西日本営業部 - 京都市伏見区竹田藁屋町36
東日本営業部 - 東京都品川区西五反田7-25-3 (THビル)
東海支店 - 名古屋市名東区宝が丘270 名古屋セントラルインタービル4階
つくば営業所 - 茨城県つくば市吾妻1-1 5-1 105号
オプトフィルムス研究所 - 1227 Innsbruck Dr., Sunnyvale, CA 94089, U.S.A.
イーストコーストオフィス - 197 Route 18 South, Suite 3000,East Brunswick, NJ 08816, U.S.A.
上海事務所 - Room No.1410, Shanghai Overseas Chinese Mansion, 129 West Yan'an Road, Shanghai 200040 China
プラズマCVD装置
LS-CVD装置
ALD装置
RIE装置
ICPエッチング装置
高速Siディープエッチング装置
XeF2ドライエッチング装置
Aqua Plazmaクリーナー
プラズマクリーナー
UVオゾンクリーナー