カンチレバー
センサーは、マイクロカンチレバービームの上側に認識受容体層をコーティングすることによって得ることができるが 典型的な用途は特定の免疫原と選択的に相互作用し、検体中のその含有量について報告する抗体層に基づく免疫センサーである。静的動作モードでは、センサ応答は、基準マイクロカンチレバーに対するビームの曲がりによって表される。あるいは、マイクロカンチレバーセンサーを動的モードで操作することができる。この場合、ビームはその共振周波数で振動し、このパラメータの変動は分析物の濃度を示すが、最近は多孔質のマイクロカンチレバーが製造されて分析物が結合するため、はるかに大きな表面積のものを可能にし、分析物の質量と装置の質量の比を上げることによって感度を高めている 。