超純水
超純水は比較的安価で環境負荷が小さいことから、洗浄水、溶媒としての利用が多いが、それ以外にも、特徴的な用途が見出されている。
LSIのウェハや液晶ディスプレイなど、半導体素子関連の製造工程における洗浄や、エッチング液の希釈調製用 製造技術向上の最大要因であり、超純水のグレードを素子の集積度で現す(64M用、128M用、256M用、あるいは線幅で言う)ことも多い
同じく、露光工程で微細なパターンを焼き付ける際の解像度向上策として、油浸レンズと同じ原理で利用される
精密定量分析における試験器具の洗浄、試薬類やスタンダードの調製、ブランク、二相抽出の溶媒など
遺伝子工学などバイオテクノロジー分野での細胞培養、特にDNAの増幅
医薬品の注射用水として注射剤の製造(接種時の希釈・溶解用は除く)および、密封された精製水
火力発電所の超高圧ボイラ(超臨界状態の水を全量蒸発させる)で必須なほか、従来型ボイラの復水脱塩も高度化している
原子力発電所(軽水炉)の冷却材) 炉心に接する一次冷却水では、不純物(特にホウ素やカドミウムなど反応断面積が大きい核種)が放射化による二次放射能を持ちうるため、これを防ぐために用いられる(加圧水型原子炉では、高純度のホウ酸を溶解し制御する)
素粒子物理学における特殊な粒子検出器の媒体 霧箱や放電箱などでは捉えられない、ニュートリノによる微かなチェレンコフ光を検出するため、透明度が高い大質量のターゲットとして用いられた 水は大量の水素原子を含むことから、陽子崩壊による陽電子や光子を発生させる材料として用いられた(実際には発生しなかったが、予想より寿命が長いことを確認できた)
これを含まなければ、DEPC処理水の代替になる。