MEMS
その後、マイクロモータ、櫛歯型アクチュエータなどの発明により脚光を浴びる。初期の段階では動くだけで良かったが最近では応用を見据えたデバイスが主流である。
現在では後述のように多様な応用先があるため、MEMS応用の市場規模は日本国内だけでも数千億円にものぼり、将来的には数兆円規模になると言われている。
プロセスの見地では、最近まで半導体集積回路技術と近いサーフェイスマイクロマシニングが主流であったが、ICP-RIEによる深掘りエッチングやウエハ接合、LIGAプロセス技術などMEMS特有のプロセス技術の発展によりバルクマイクロマシニングが主流となってきている。 CMOS回路と組み合わせたデバイスはCMOS回路とのプロセス技術の整合性からサーフェイスマイクロマシニングを用いる場合が多いが、SOIウエハを用いてバルクマイクロマシニングとCMOS回路を組み合わせたデバイスも多くなってきている。
MEMSの中でも特にライフサイエンス分野で使用されるものをBioMEMSと呼ぶ。応用例は多岐にわたり、従来の固定式の分析装置による血液検査や抗体検査等を代替することを視野に入れて開発が進められる。2000年以降、MEMSはスマートフォン等に内蔵される加速度センサやジャイロセンサ等が実用化されてきたが、次はライフサイエンスへの分野へ徐々に新たな活路を広げつつあり有望な分野であると予想される。従来の固定式の分析装置がBioMEMSにより小型化されればウェアラブル化も可能になるため、慢性性疾患の患者のクオリティ・オブ・ライフ(QOL)の向上が期待される。
集積回路作製技術以外にMEMSで用いられる技術
マイクロバルブ
マイクロ流路
Micro-TAS/Lab-on-a-chip
構造が簡単で小型化に向いている。発生力は他の方法に比べて小さい。MEMSでは最も使われる駆動原理
平行平板型静電アクチュエータ
櫛歯型静電アクチュエータ
スクラッチドライブアクチュエータ (Scratch Drive Actuator:SDA)
静電マイクロモータ