誘導結合プラズマ発光分析
エシェル回折格子によって分光し、高次光を半導体検出器によって検出する。多元素を同時に測定できるため、短時間で測定することができるが、波長分解能は波長によって異なる。半導体検出器としては、電荷結合素子(CCD)や電荷注入素子(CID)などが用いられる。