変位計
投光光ファイバーと受光光ファイバーを束ねた光ファイバー束を用いて、投光ファイバーから光を被測定物表面に照射し、反射した光を受光ファイバーで受光し、その光の強度が光ファイバー束端面と被測定対象物間の距離で変化することを利用した変位計。
以下の長所・短所がある。
高速応答(応答周波数は数百kHz~数MHz)。
測定対象物の反射率の影響を受ける(差動型は測定対象物の反射率の影響を受けにくい)
測定対象物と測定プローブの距離(作動距離)は、数十μm~数mm
測定ギャップの屈折率や透過率の影響を受ける