筑波郡
さらに、1985年(昭和60年)には谷田部町を中心会場として、国際科学技術博覧会(つくば万博)が開催され、筑波研究学園都市を中心に周辺地区の道路や環境施設が一段と整備されていった。このころから、郡域内の情勢は大きな変容を見せるようになり、それに対応するように筑波研究学園都市関係町村の合併問題が、茨城県や各町村で取り上げられるようになっていった。そして1987年(昭和62年)11月、谷田部町、大穂町、豊里町と新治郡桜村の3町1村が新設合併してつくば市が誕生し、当初合併に反対した筑波町も2か月後の1988年(昭和63年)1月につくば市に編入されて郡から離脱し、伊奈町と谷和原村の1町1村となった。
時代が平成になると、1995年(平成7年)に合併特例債を中心とした財政支援措置がなされるなど、政府主導による市町村合併(いわゆる平成の大合併)が強力に推進された結果、2006年(平成18年)3月に残る伊奈町と谷和原村が合併して市制施行し、つくばみらい市が誕生すると同時に、筑波郡は消滅した。