メタ
「メタ」は元来は古代ギリシャ語で「あとに」という意味で、線文字Bで書かれたミケーネ・ギリシャ語での用例が最古のものである。この元来の意味も学術用語で使われる事があり、例えばMetatheria(後獣下綱)は、生物の分類を木で表したときTheria(獣亜綱)のあとに来る事による命名である。
「超越した」、「高次の」という意味で「メタ」が用いられるようになったのはアリストテレスの『タ・メタ・タ・ピュシカ』(古希: τὰ μετὰ τὰ φυσικά、直訳は『自然に関するものの後に』だが、通常は『形而上学』と訳される)という書物に起源を持つ。
本書が編集された際、自然学的な著作の後に置かれた事からこの名称で呼ばれたと思われるが、後世になって本書がその短縮形『メタピュシカ』(古希: Μεταφυσικά)で呼ばれるようになるとこの本来の意味は忘れられ、「自然学を越えたもの」という意味に解されるようになった。
オックスフォード英語辞典によれば、「~を超えて」、「~について」といった意味で「メタ」を英語で用いたのは1917年に遡り、数理論理学に関連する単語で用いられるようになったのは1929年以前である。1920年にはヒルベルトが「メタ数学」という単語を用いている。また1937年にはクワインが「メタ定理」という単語を用いている。