真空フィードスルー
真空内部のサンプル容器や光学機器などを直線的に動かしたり、回転させたりする必要がある場合に用いられる。低い真空度であれば、Oリングなどの可動なシールにより実現されるが、グリース等を用いなければならず、またリーク量が多いために、真空度は限定される。高い真空度が要求される真空装置に対して使用する場合は専用の真空部品により構成されたモーションフィードスルーが必要となる。