走査型透過電子顕微鏡
STEMには主に、明視野(Brignt Field, BF)と、より高角度に散乱した環状暗視野(Annular Dark Field, ADF)の2種類がある。
TEMとBF-STEMとの間には相反定理が成り立っており、互いの像は類似している。
環状の検出器で明視野を検出する方法が、環状明視野法(Annular Bright Field, ABF)である。
高角度の環状暗視野を検出する方法が、高角度環状暗視野法(High-Angle Annular Dark Field, HAADF)である。物質によって高角度に散乱される電子は主に、熱散漫散乱によるものであり、環状検出器では干渉性の低い散乱電子が支配的に検出される。したがって、HAADF-STEM像のコントラストは主に、試料の厚さと構成原子の原子番号 (Z)に依存する。そのため、HAADF-STEM像はZコントラスト像とも呼ばれる。