Procfs
Tom J. Killian は Version 8 Unix 上に /proc を実装し、1984年6月、USENIXで Processes as Files という題の論文を発表した。これは、プロセスのトレースを行う ptrace システムコールを置き換える目的で設計された。
Roger Faulkner と Ron Gomes は V8 /proc を SVR4 に移植し、1991年1月、USENIX で The Process File System and Process Model in UNIX System V という論文を発表した。この procfs は psコマンドの実装に使える程度の機能を有するようになったが、procfs内のファイルには read()、write()、ioctl() といったシステムコールしか使えなかった。
Plan 9で実装された procfs は V8 のものよりずっと進化していた。V8 の procfs では、あるプロセスに関する機能はひとつのファイルへの操作で実現されていた。Plan 9 は、それを複数のファイルに機能毎に分割し、procfs をよりファイルシステムらしくした。
4.4BSDで実装された procfs はプロセス毎のサブディレクトリがあり、プロセスのメモリ、レジスタ、現在ステータスにアクセスすることができた。Solaris 2.6 の procfs もプロセス毎のディレクトリがあり、制御用の ctl ファイルが用意され、トレースやプロセス毎の操作ができるようになっていた。