EI法
以下の気相反応は電子イオン化の過程を表わしている。
M + e − → M + ∙ + 2 e − , {\displaystyle M+e^{-}\to M^{+\bullet }+2e^{-},}
Mはイオン化された検体分子、eは電子、Mは得られたイオンである。
EIのイオン源では、電流が流れるフィラメントを加熱することによって熱イオン放射を通じて電子が生成する。この電子はフィラメントとイオン源ブロックの入口との間の領域において70eVで加速される。加速された電子はトラップ電極へ引き寄せられることによって集中されビームとなる。中性分子を含む解析試料は、この電子ビームと直角方向にイオン源に導入される。「硬い」イオン化ソースと呼ばれる高エネルギー電子の近接通過は、中性分子の周囲の電場に大きな変動を引き起こし、イオン化およびフラグメント化が導かれる。生成したラジカルカチオンはリペラー電極によって質量分析計へと押し出される。