エッチング
光硬化樹脂にパターンを露光する事でマスキングする。現在、大半のマスキングに用いられる。
結晶構造の違いによる縦横の反応性の違いを利用して縦横比の大きい構造を形成する技術である。反応に用いる薬剤は反応性が弱い種類を使用する為、処理に時間がかかる。綿密に濃度、温度の管理をする必要がある。