ゲッターポンプ
蒸発型ゲッターポンプ同様、活性な金属とガス分子の化学反応を利用した排気を行うため、活性化表面が全て反応した時点で排気ができなくなる。しかし、真空中で再度加熱する再活性化工程により、数十回から百回あまりの回数にわたり機能を回復することが可能である。なお、活性ガスのうち水素のみは固溶体として金属バルク内に吸着するため、他の活性ガスに比べて排気速度・容量ともに大幅に大きい値となるが、温度と平衡圧の関係で高温での活性化中に一時的に放出される。放出された水素はゲッターの活性化終了後の温度下降と共に、ごく短時間で再度吸着される。
化学反応を利用したポンプのため、化学的に安定な希ガス類の排気はできない。そのため、希ガス系のプロセスガスの純化に利用されることもある。また、希ガスも排気したい用途向けに小型のイオンポンプと一体となった製品も存在する。粒子加速器や高~超高真空製膜装置において、真空度の改善や排気時間短縮などを目的に使用される場合がある。