東京エレクトロン
1963年11月 - 東京放送(TBS、現:TBSホールディングス)の出資により、株式会社東京エレクトロン研究所を設立。
1968年2月 - 米国サームコ社との合弁会社、テル・サームコ株式会社(後の東京エレクトロン東北株式会社)を設立。
1976年6月 - テル・サームコが世界初の高圧酸化装置を開発。
1978年10月 - 株式会社東京エレクトロン研究所から現社名の東京エレクトロンに社名変更。
1980年6月 - 東京証券取引所第2部に上場。
1984年3月 - 東京証券取引所第1部に昇格。
1990年8月 - 東京エレクトロンFE株式会社を設立し、液晶ディスプレイ(LCD)製造装置(FPD製造装置)に本格進出。
1990年10月 - 東京エレクトロン デバイス操業開始。
1994年8月 - 本社を赤坂TBS放送センターに移転。
1999年10月 - 東京証券取引所第1部における業種変更(「商業」→「電気機器」へ)。
2000年8月 - 単元の株式数を1,000株→100株に変更。
2003年3月 - 東京エレクトロン デバイスが東京証券取引所第2部に上場。