膜型表面応力センサ
一種の歪みゲージを備えており、特定の化学物質を吸着する感応膜を塗布することによって圧電素子に生じた歪による圧抵抗効果を経て、抵抗値の変化から化学物質の吸着の有無を検出する。検出対象の化学物質の種類に応じ、感応膜を用意する必要がある。ただし、吸着の困難な希ガスの検出は困難である。