SACLA
XFEL施設は長さ400mの加速器棟、240mの光源棟、60mの実験研究棟の計700mからなり、さらにXFEL-SPring-8相互利用実験施設に繋がっている。加速器は128本の線型電子加速器であり、電子銃から発射された自由電子をSPring-8を超える8.4GeV(84億電子ボルト)まで加速可能である。光速近くに加速された自由電子を真空封止型アンジュレータ(光発生装置)に入射することにより、世界最短波長の0.063nm(0.63Å)のX線自由電子レーザーを100兆分の1秒(10フェムト秒)の短パルスで発振可能な性能を持つ。
同様のXFEL施設はアメリカ合衆国カルフォルニア州メンローパーク市のSLAC国立加速器研究所に建設されたLCLS(Linac Coherent Light Source:線形加速器コヒーレント光源、2009年12月稼動)、ドイツ連邦共和国ハンブルク市のドイツ電子シンクロトロン研究所(DESY)で建設中のEuropean XFEL(2017年稼動予定)等があるが、SACLAは波長性能でLCLSの最短波長0.
12nm(1.2Å)を上回る。なお、European XFELは最短波長0.085nm(0.85Å)で計画されていたが、SACLAの成功を受けて、SACLAを上回る最短波長0.05nm(0.5Å)に設計修正されている。また、LCLSとEuropean XFELがそれぞれ全長2.0kmと3.4kmの非常に長大な施設なのに対し、SACLAは日本の独自技術によるダウンサイジングにより全長約700mとコンパクトになり、建設費も約388億円とLCLSの6.15億ドル(2012年時点の為替レートで約492億円)、European XFELの10.82億ユーロ(2012年時点の為替レートで約1,190億円)と比べて最小のコストで建設されている。