リークテスト
ヘリウムリークテストとは対象を真空排気しヘリウムのみを検知する真空装置であるヘリウムリークディテクタを使用したテスト方法である。ヘリウムリークディテクタとはヘリウムのみを検出できる分析管を備えた真空ポンプを含む真空装置である。
過去には真空ポンプを油回転ポンプを補助ポンプとした液体窒素によるコールドトラップを利用したポンプを使用することが多かったが、近年では運用コストがかかることや単体のコストが下がっていることからターボ分子ポンプを使用したヘリウムリークディテクタが主流となっている。