Alpha 21164
499ピンのセラミック製で千鳥配置のpin grid array (IPGA) であり、寸法は 57.40mm × 57.40mm である。パッケージにはヒートスプレッダがあり、2つのスタッドが突き出ていて、そこにヒートシンクを固定する。
DECは様々な動作周波数の 21164 をサーバ AlphaServer やワークステーション AlphaStation で採用している。また、ワンボードマイコンの Alpha VME 5/352 と Alpha VME 5/480、OEM向けマザーボード AlphaPC 164 と AlphaPC 164LX でも採用している。パートナーだったクレイ・リサーチは、スーパーコンピュータ T3E-600 で300MHz版の21164を採用している。サードパーティでは DeskStation などがワークステーションに21164を採用した。