走査型プローブ顕微鏡
AFM、STM以外のSPMとして以下のようなものがある。
磁気的な局所物性評価SPM 走査型磁気力顕微鏡(MFM)強磁性探針と試料間の磁気力から磁区構造を評価する。 走査型SQUID顕微鏡超伝導量子干渉計(SQUID)をプローブとし、試料表面の磁束を評価する。 走査型ホール素子顕微鏡(SHPM)ホール素子をプローブとし、試料表面の磁場を検出する。
電気な局所物性評価SPM 走査型ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)電圧を印加して表面電位を評価する。 走査型マクスウェル応力顕微鏡(SMM)プローブに交流電圧を印加し、表面電位を評価する。 静電気力顕微鏡パルス電圧を印加し、静電気力を評価する。 走査型圧電応答顕微鏡(PFM)試料に交番電界を印加した時の微小な変形から圧電特性を評価する。 走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)プローブに共振回路を接続し、試料に交番電界を印加した時の共振周波数の変化から非線形誘電率を評価する。
光学的な局所物性評価SPM 走査型近接場光顕微鏡(SNOM)プローブ先端から近接場光を印加して複素透過率を評価する。