Alpha 21364
しかしスケジュールは遅延し、テープアウトは2001年4月となった。21364を採用したシステムが登場したのは2002年1月20日のことである。動作周波数は1.25GHzだが、AlphaServer ES47/ES80/GS1280 では1.0GHzおよび1.15GHzで駆動していた。それまでの Alpha マイクロプロセッサとは異なり、Alpha 21364 は一般市場で販売されなかった。
Alpha 21364 というモデル番号は元々は Alpha 21264 の後継を意図し、EV8 というコード名で、4ウェイの同時マルチスレッディング (SMT) を実装する予定だった。このEV8は1999年10月の Microprocessor Forum で発表されたが、開発がだいぶ進んだ2001年6月25日に中止となった。