ソーラーグレードシリコン
太陽電池に用いられる結晶シリコンは従来、半導体級シリコン(純度99.999999999%(11N)以上)の製造工程で生じたスクラップが再利用されていた。太陽電池に用いる結晶シリコンの純度は6N(99.9999%)~7N(99.99999%)程度(ただし、日本ではソーラーグレードシリコンとして主に9Nのものを推奨している)で済むため、半導体級としては規格外になったものが太陽電池に利用されてきた。しかし近年の太陽光発電市場の拡大によってスクラップ材だけではシリコン原料が不足するようになり、また製造コスト低減の必要性も踏まえ、太陽電池専用のシリコン原料が製造されるようになった。この太陽電池用として十分な純度を有するシリコンをソーラーグレードシリコン(SOG-Si)と呼ぶ。
高純度シリコンを得るには、原料となる珪石(シリカ、SiO2)を還元し、不純物を取り除く必要がある。
溶融析出法(Vapor to Liquid Deposition, VLD法)は、トリクロロシランから直接シリコン融液を得る生産方式である。シーメンス法に比べて析出速度が速い。