マスフローコントローラ
マスフローコントローラーの発明の歴史は、諸説あるが有名な説は、アメリカ合衆国でアポロ宇宙計画のあった1950年代ころに、アメリカでマスフローコントローラが発明されたという説が有名である。なお、このアポロ計画説でマスフローコントローラーが用いられた理由は、宇宙では気圧が地球と異なるため、地球上の気圧を前提とする体積流量系では換算が必要になり、したがって体積流量計では誤差が大きくなる。いっぽう熱線式マスフローメーターでは、圧力測定を経由せず上流および下流の温度から流量を測定できるので、宇宙では熱線式のほうが体積流量計よりも信頼性が高いだろう、というキャリブレーション(校正)上の理由、あるいは品質保証のトレーサビリティ上の理由だろうとする説が根強い。