リートベルト法
たとえばバックグラウンド、ゼロ点シフト、試料変位パラメーター、試料透過パラメーター、表面粗さパラメーター、プロファイルの対称性に関するパラメーターなどである。
ただし、精密化で得られる格子定数は、一つの回折パターンを複数人の解析者が解析した場合でさえ、ばらつくことが以前より知られている。ばらつき方は互いに相似形であり、ばらつきの程度はΔL/L ~ ±0.1%である(Lは長さに関する格子定数a, b, c)。他に、解析に用いる回折パターンの回折角範囲を変えただけでも同様にばらつくことが報告されている。このように、リートベルト法で得られる格子定数の確度は悪いため、温度や組成等を変化させた際に伴なう格子定数の変化量が格子定数のばらつきよりも小さい場合には、注意が必要である。また、ピーク位置シフトパラメーター(ゼロ点シフト、試料変位パラメーター、試料透過パラメーター)が物理的には取り得ない値を取ることで、最小二乗法における収束指標の値が数学的に、すなわち物理的には無意味に減少することが実証されている。
リートベルト法では結晶構造モデルをはじめに与える必要があるので、未知の構造を解析することはできない。