カート・ピーターセン
ピーターセンはカリフォルニア大学バークレー校で電気工学を学び、1970年にcum laudeの成績で卒業して学士号を得た。1975年にマサチューセッツ工科大学でPh.D.を取得した。同年、IBMに入社してMEMSの研究グループを立ち上げた。1982年5月にIEEEの論文誌"Proceedings of the IEEE(英語版)"で査読付き論文"Silicon as a Mechanical Material"(機械材料としてのシリコン)を発表した。この論文は、MEMSという研究分野を確立するのに大きく貢献したと考えられている。マイクロマシニングやMEMSの分野の論文から頻繁に参照されており、2017年9月現在で、Google Scholarでは3795件の引用が検索される。
1982年にIBMを退社し、それ以降、MEMS技術を利用した6つの企業を共同で設立している。1982年にトランセンサリー・デバイス(Transensory Devices Inc.