エレクトロマイグレーション
エレクトロマイグレーションはフランスの科学者 Gerardin が1861年に発見した現象である。実用的な意味で注目されるようになったのは、1966年、集積回路が初めて製品化されたころからである。この分野の研究はジェームズ・R・ブラックが確立し、製品寿命の予測に用いられる「ブラックの式」に名を残している。当時、集積回路内の金属配線は約10マイクロメートル程度の幅だったが、2017年に10ナノメートルプロセスのCPUの市場投入が予定されるなど微細化が進行しており、これに伴って電流密度が増加しているためエレクトロマイグレーションの研究は重要性を増している。