産業用CTスキャナ
管球内を密閉することにより常時に真空に保っている。真空ポンプ設置の必要がないため、小型のものが多い。管球を開けられないため、解放管と同様のメンテナンスは出来ないが、一般に長寿命と言われている。マイクロフォーカス管やミニフォーカス管で主に使用されている。X線の出力は反射式と呼ばれるものが多く、高い幾何学的拡大率を得ることが難しい反面、高出力を得られる。管電圧は100kVの低エネルギーの管球から450kVや600kVの高エネルギーのものまである。
X線はターゲットに角度を持って反射するため、X線のターゲットに対する単位面積あたりの熱量が小さくなり、透過型よりも高出力が可能となる。
この方法は医療で使用されている方法ににているが、X線源とX線検出器が固定で試料が高さ方向と回転角度を変えながら撮像を行う。試料が大きい場合、試料が高さ方向に固定で回転のみを行い、X線源と検出器がスキャン中に移動するタイプの装置もある。スキャン中に回転しながら高さ方向も移動するので、切れ目のないデータを得ることが出来る。
EMI中央研究所でゴッドフリー・ハウンズフィールドが試した最初期のCTのように被爆を考慮せずペンシルビーム型の線源を使用したり、単列型の検出器を使用することで長時間のX線照射が実施され、線源と検出器は回転せずにターンテーブル上の試料が回転する。
近年では医療用と同様に複列形の検出器やヘリカルスキャンやフラットパネルディテクターを使用して3次元の画像を再構成する例もある。
ターンテーブルが回転することで試料はX線を全方位から受け、照射されたX線は試料を通過時に一部吸収されて減衰後、線源の反対側に位置する検出装置に到達してAD変換器でデジタル値に変換されて記録される。その後、コンピュータで画像をフーリエ変換で再構成する。かつてフーリエ変換は専用のハードウェアを使用して処理していた時期もあったが、近年では汎用のPCでソフトウェアで処理される。