佐野川村
1889年(明治22年)4月1日 - 町村制の施行により佐野川村が単独村制。大字は設定されなかった。
1955年(昭和30年)7月20日 - 日連村・名倉村・牧野村・吉野町と合併して藤野町が発足。同日佐野川村廃止。
2007年(平成19年)3月11日 - 藤野町が相模原市に編入。
2010年(平成22年)4月1日 - 相模原市が政令指定都市に移行し、旧村域が緑区となる。