マイクロマシン
微細な刃に超音波を印加し、材料の切削を行い構造を作製する。微細な刃を用いることでμmオーダーからnmオーダーの精度で加工ができる。
マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。
一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。
必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。
特に小型ロボット(マイクロロボット)やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。