小野川村
1889年(明治22年)4月1日 - 町村制施行により、館野村、北中島村、稲岡村、赤塚村、下原村、新牧田村、梶内村、中内村、松野木村、西大沼村、上原村、手代木村、上横場村、今泉村、榎戸村、北中妻村、南中妻村、下横場村、市ノ台村、小野崎村が合併して河内郡小野川村が発足。
1896年(明治29年)3月29日 - 郡制の施行のため郡の再編が行われたことに伴い、所属郡が筑波郡に変更。
1955年(昭和30年)3月31日 - 谷田部町・葛城村・島名村および真瀬村の一部(大字真瀬、鍋沼新田、高須賀、高良田)と合併し、改めて谷田部町が発足。同日小野川村廃止。
1987年(昭和62年)11月30日 - 谷田部町が豊里町・大穂町および新治郡桜村と合併してつくば市が発足。