半導体工学
チョクラルスキー法
ゾーンメルト法
拡散(熱拡散)・酸化(熱酸化)
蒸着
スパッタリング
スピンコート
CVD(化学気相成長法)
PVD(物理気相成長法)
MBE(分子線エピタキシー法)
エピタキシャル成長
イオン注入
フォトリソグラフィ(パターニング)
エッチング
FIB(focused ion beam)
CMP(化学機械研磨)
メタライズ(配線) 多層配線
製造時の欠陥検出 テストパターン 工程管理
ダイシング
パッケージング(組立)