電子線描画装置
電子線描画装置は走査型電子顕微鏡(SEM)とほぼ同じ機構を持っており、相違点は微細な移動が行える精密X-Yステージ、高真空制御機構、微細測長機能、温度制御機構、ブランキング機構、ビーム径測定機構、高さ検出器などである。一部のメーカーでは電子顕微鏡を改造してこれらを追加し、電子線描画装置にするサービスがある。
描画位置検出やマーク付きウェハーの位置検出などにも用いられる。