誘導結合プラズマ質量分析
トーチは石英製で三重管構造になっており、冷却ガス、補助ガス、キャリアガスの3種類のガスが流されている。トーチの外側に巻かれた誘導コイルに高周波(ラジオ波)を与えると、誘導結合プラズマが形成する。点灯はアーク放電によって行われる。
ICPはドーナツ型となっており、サンプルを含んだキャリアガスはプラズマ内に吸い込まれていく。導入されたエアロゾルはICP内で、原子化、イオン化される。
ICP-MSでは質量スキャン速度が高い四重極型が最も一般的に用いられている。その他にも質量分解能の高い二重収束型、飛行時間型などがあり、これらを使えば目的イオンと干渉イオンの質量ピークを分けることができるので妨害が無くなり、コリジョンリアクションセルも不要となる。