アモルファスシリコン
真空蒸着法や化学気相成長法などによって低温(例えば 200~400 °C 程度)で製膜できる。製法によっては、微細な結晶シリコン(微結晶シリコン、多結晶シリコン)が混じったシリコン膜を作製し、アモルファスシリコンと結晶シリコンの中間的な性質を持たせることも可能である。また結晶シリコン同様、ホウ素やリンなどのドーパントを加えることで価電子制御も可能である。
液晶パネルの薄膜トランジスタなど、ガラスやプラスチック上への半導体素子の形成などに広く応用されている。
薄膜トランジスタ (TFT)
太陽電池
複写機の感光ドラム 有機光導電体(OPC)よりも耐久性が優れているため、交換周期が長く廃棄物を減らすことが可能。
光センサ