真空バルブ
通常真空バルブという場合この遮断バルブを示す。このバルブは大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブである。形状により何種類かのバルブがあるが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられる。 主に以下の種類がある。
ゲートバルブ
L型バルブ
ストレートバルブ
バタフライバルブ