クロロトリメチルシラン
クロロトリメチルシランは、トリメチルシリル基の供給源としてや塩素の無水供給源として様々に利用される。アルコールやアミン等の官能基は、クロロトリメチルシランと容易に反応し、トリメチルシリルエーテルやトリメチルシリルアミンを形成する。新しく導入された官能基は、保護基として働くが、トリメチルシリル基の不安定性のため、その利用は制限される。
トリメチルシリル化は、化合物の揮発性を上げるためにも導入される。これにより、グルコース等の不揮発性の物質をガスクロマトグラフィーで分析できるようになる。クロロトリメチルシランは、金属アセチリドとも反応し、トリメチルシリルアルキンを形成する。これはアルキンの保護として有用である。
クロロトリメチルシランをアルコールと反応させると、塩化水素を生成し、この反応は、アルコール中での無水塩酸の製造に利用される。またカルボン酸、ケトンを、それぞれエステル、アセタールへと変換するのに用いられる。
アルファ位に水素原子を持つアルデヒド、ケトン、エステルは、トリエチルアミンやリチウムジイソプロピルアミドの存在下でクロロトリメチルシランを反応させることでトリメチルシリルエノールエーテルになる。