科学技術庁長官
辞令のある再任は個別の代として記載し、辞令のない留任は記載しない。
事務取扱・事務代理は、空位の場合のみ記載し、海外出張時等の一時不在代理は記載しない。
太字は後に内閣総理大臣となった人物。
第55代・近岡理一郎の病気療養のため、1997年1月20日から2月10日までの間は、国務大臣(通商産業大臣)佐藤信二が事務代理を務めた(完全な空位時の代理ではないため下表には含めない)。