サーフェイスマイクロマシニング
サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 薄膜(数μm程度)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。
集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。
成膜
リソグラフィ
エッチング
の繰り返しでデバイスを作製する。