アルバック
半導体電子技術研究所 - 静岡県裾野市
超材料研究所 - 千葉県富里市 超材料研究所山武分室 - 千葉県山武市 超材料研究所筑波分室 - 茨城県つくば市
日真制御株式会社
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社
真空セラミックス株式会社
株式会社ファインサーフェス技術