超音波顕微鏡
別名、超音波原子間力顕微鏡とも呼ばれる顕微鏡で、超音波振動子により試料を探針方向に垂直にカンチレバーの共振周波数より高い超音波周波数で振動させて順次カンチレバーを移動させて計測する。原子間力顕微鏡を応用して試料表面の形状と同時に弾性的性質の分布も画像化可能でこれらは音響レンズを用いる従来の超音波顕微鏡に比べ、空間分解能が格段に向上する。