蛍光X線
現在のXRF装置には、蛍光X線の強度と試料濃度の関係を表す検量線のデータベースが備わっているため、標準物質がなくても定量することができる。
ただし原子量の近い元素が高濃度で含まれているときは、目的元素の蛍光X線が他の元素に吸収されたり、(入射光ではなく)他の元素から出た蛍光X線によって目的元素が励起されたりする。これをマトリックス効果という。マトリックスによって検量線の直線性が悪くなるため、ファンダメンタル・パラメータ法などによって補正される。
酸素などの軽元素ではXRF分析ができない。そのため軽元素はコンプトン散乱の強度から濃度を概算する。