ビッカース硬さ
日本工業規格で規定されている関連する規格。
JIS Z 2244 - ビッカース硬さ試験 試験方法
JIS B 7725 - ビッカース硬さ試験 試験機の検証及び校正
JIS B 7735 - ビッカース硬さ試験 基準片の校正
JIS Z 8703 - 試験場所の標準状態
JIS Z 2251 - ヌープ硬さ試験方法
ASTM規格で規定されている関連する規格。
ASTM E384 - Standard Test Method for Knoop and Vickers Hardness of Materials
試験機は光学顕微鏡にダイヤモンド圧子を取り付けたような形である。すなわち、顕微鏡の対物レンズのうちの一つをダイヤモンド圧子に置き換え、圧子と対物レンズを切り替えられる。圧痕をつけたあと、リボルバーをまわして対物レンズにし、顕微鏡で圧痕の大きさを観察、測定する。ただし、筐体および試料台は一般の顕微鏡よりもはるかに堅牢であり、試験力に対して剛体と見なせる作りである。
近年は、接眼レンズの代わりに、CCDカメラを通じてモニタに圧痕の像を拡大する機種が増えている。
マイクロビッカースでは、試料台を奥行方向および左右方向に微動させることができる。μmのレベルで正確に移動することができるので、顕微鏡下にて測定位置をピンポイントで決定できる。この機構により薄膜や表面硬化層の断面硬さ測定にマイクロビッカースが多用されている。例えば窒化層の硬化層の決定には300gf以下の試験荷重でビッカース硬さ、またはヌープ硬さを使用するよう、JIS G 0562に定められている。