大見忠弘
この事に反省して、以後社会での実用に役立つ研究を志向するようになる。そこで着目したのが半導体製品の量産に関する再現性と歩留まりの問題であった。 大学の研究とは半導体デバイスの少数の試作や評価であり、その製造設備は研究室の独自のものであった。しかし産業で利用される量産体制で機能する製造技術とは、特定の装置によらない普遍的な条件での再現性や歩留まりの問題を解決する必要があった。 半導体デバイスの工程数は数百を超え、その中の一つでも性能が悪ければ製造は失敗する。大見は製造工程に悪影響を与える部分の性能を底上げする生産技術的な方法論により半導体製造工程の検討を進めるようになった。
その過程で取り組んだのが製造装置外のクリーンルームに関する要素技術の研究である。 半導体製品の製造品質を決定する要因は加工工程の製造装置だけに限られるものではなく、工程で用いられる高純度ガス供給系、高純度薬品供給系、超純水供給系にも影響を受ける。さらに製造が行われる室内の壁材から放出される化学物質の影響の排除や、室内の空気中の浮遊粒子を制限する空調技術にも取り組む必要があった。 大見はこれらの個別の課題について、産業界の製造メーカーとも協同して課題を克服する技術開発を行った。