サーベイヤー6号
サーベイヤー6号はサーベイヤー計画の6機目であり、この計画で月面に軟着陸した4機目の機体である。着陸後の画像取得、月面土壌中の化学元素の存在量の調査、タッチダウンダイナミクスデータの取得、温度とレーダー反射率のデータの取得、バーニアエンジンの侵食実験などが行われた。サーベイヤー5号と基本的には同じ構成で必要とされる光学装置に加え、テレビカメラ、小型の磁石付の着陸脚、アルファ散乱分析器等も同じであった。
1967年11月10日に月面に到達した。到達位置は月面座標で北緯0.49度、西経1.40度、中央の入江近郊であった。 計画していた目標はすべて完遂した。このミッションの成功にでアポロ計画に必要とされたサーベイヤー計画の責務は果たされた。1967年11月24日に最初の月の夜を迎え、12月14日にも交信はできたものの、利用できるデータは得られなかった。
月面土壌の探査は写真とアルファ粒子の背景散乱を利用した分析器を利用して行われた。同様のαプロトンX線分光計は火星での探査にも利用された。
11月17日10時32分(UTC)に宇宙技術テストとして、サーベイヤー6号のエンジンは再起動されて2.5秒点火した。これによって150lbfの力が得られ、月面からおおよそ4m浮かび上がった。西に2.5m移動した後、再度月に軟着陸した。宇宙機は正常に機能し続けた。