HEPA
粒子の捕集機構は以下の原理からなる。
フィルタを構成する繊維による粒子流線のさえぎり
粒子が慣性によって流線からはずれ、繊維に接触
重力による粒子の沈降
粒子のブラウン運動
粒子が静電気力を受けて繊維に引かれる
この内さえぎり、慣性、重力効果は粒子が大きいほど強く、ブラウン運動、静電気効果は小さいほど強くなる。したがってこれらの総和であるフィルタの粒子捕集効率は粒径によって異なり、HEPAフィルタの場合は0.1-0.2 μmで捕集効率の極小値をとる。