走査型電子顕微鏡
加速された電子線(0.1-30kV)は、集束レンズ(コンデンサレンズ)及び対物レンズで絞られる(レンズといっても光線が可視光ではないのでガラスレンズは用いられず、電子線に干渉できる電場や磁場を利用した電子レンズが使用される)。電子線束を制御するためのレンズには磁界型と電界型があるが、結像制御には磁界型レンズ(電磁レンズ)が用いられる。一方、収差の大きい電界型レンズ(静電レンズ)は電子線の加減速に利用される。レンズで絞られた電子線は走査コイルによって制御され、試料表面を走査していく。