水酸化テトラメチルアンモニウム
超LSIの製造に不可欠なポジ型フォトレジストの現像液として重要であり、140°C程度の熱処理で分解することから現像終了後に残留しにくい利点がある。オレイン酸やパルミチン酸などメチルエステル化の困難な脂肪酸に対するメチルエステル化能が高く、ガスクロマトグラフィー用の前処理剤としても有力である。触媒用途としては、ケイ素樹脂やピロリジノン、アクリロニトリル製造時の重合反応を始めとする重合・縮合反応、カニッツァーロ反応などに広く用いられるほか、青酸の四量体、ポリピロリドン、ポリペプチドなど様々な有機窒素化合物製造用の触媒としての特許がある。アルキレンカルボナート合成、有機亜リン酸エステル合成、N-アシルアミノホスホン酸シアノメチルエステルの合成などの用途がある。ゼオライト合成の有機構造規定剤としても使われる。このほか、再生繊維やポリエステル繊維の表面処理剤、粘土の解膠剤、二次電池用アルカリ電解質などに応用する特許がある。