ソフトリソグラフィ
マイクロコンタクトプリンティング法は1993年にハーバード大学の A.Kumar、ジョージ・ホワイトサイズよって報告されたナノ構造構築法。フォトリソグラフィや電子線リソグラフィで製作した転写型の表面に分子を塗布して基板に密着することで、パターン化した分子の膜を基板上に作製する。従来のリソグラフィで使用されていた大掛かりな縮小投影型露光装置 (ステッパー)を用いずに転写型の使用で微細なパターンを安価で簡便に複製する事が可能で分子と基板表面との化学反応を利用することにより、安定した自己組織化単分子膜(SAM)を基板上に転写できる。利用される分子はチオール分子と金表面(S原子-Au)、シラン分子と酸化物、ヒドロキシル基OH-を持つ絶縁体表面(Si原子-O-)の組み合わせが利用されている。
微小流体素子
Lab-on-a-chip
Micro-TAS
MEMS
光導波路