電子線マイクロアナライザ
この技術は最も一般的に鉱物学者と岩石学者によって使われる。 ほとんどの岩石は小さな鉱物性の粒子の集合体である。これらの粒子にはその形成とその後の変化の間に取り込まれた化学的情報を保存していると推定される。この情報は結晶化、石化作用、火山活動、変成作用、造山運動、プレート・テクトニクスの様な地質作用を明らかにするだろう。 この技術は地球外の岩石(すなわち隕石)の研究のためにも使われて、惑星、小惑星、および彗星の進化を理解することに不可欠な化学のデータを提供する。
鉱物の中心(結晶核としても知られる)からエッジ(または周縁)までの元素組成の変化は、温度、圧力、および周囲の媒介物の化学作用を含めて、結晶形成の履歴についての情報を与え得る。例えば、水晶は、少ないが測定可能なチタン含有量を温度、圧力の作用としてそれらの構造中に混入しているし、またそれは結晶形成の履歴情報を得る環境として有効なチタン含有量でもある。結晶の成長に伴うこれらのパラメータの変化はチタンによって記録されている。
低エネルギーの電子はタングステンフィラメントまたは六ホウ化ランタノイド結晶陰極から生み出されて、3から3万電子ボルト(keV)の正に帯電している陽極によって加速される。陽極は中央部にアパーチャを有していて、それを通過する電子(線)は平行にされ、アパーチャに一連する磁界レンズによって焦点を合わせることができる。その結果生じる電子ビーム(おおよそ5nmから10マイクロメートルの直径)は、サンプルを横断走査(マッピング)するか、あるいはサンプルから様々な効果を惹起させるためにスポットモードで使うこともできる(この様々な効果とは、すなわちフォノン励起(熱)、陰極線ルミネセンス(可視光線蛍光)、連続X線放射(制動放射)、特性X線放射、二次電子発生(プラズモン発生)、反射電子発生、およびオージェ電子発生である)。
特性X線は化学分析のために用いられる。特定すべきエックス線波長は、波長分散型X線分光器(WDS)またはエネルギー分散型X線分光器(EDS)により選択的にカウントされる。