反射防止膜
反射防止コーティングは、基板表面からの反射に関連するイメージの歪みを軽減するために、マイクロエレクトロニクスフォトリソグラフィであることが多い。 さまざまなタイプの反射防止コーティングは、フォトレジストを前または後ろのいずれかに塗布し、定常波、薄膜干渉および鏡面反射を軽減するのに役立っている。