メカ少女
初期のものはアニメのロボットのパーツを美少女に取り付けたものが多く、ジャンルを超えた名称として単に「美少女化」「ロボ娘」などと呼ばれていた。萌えが拡大した結果、アニメのロボットだけではなく戦車や戦闘機などの実在の機械部品を装備するようになりメカという名前が冠されることになるが、必ずしも理解は統一しているわけではない。一般的に、軍隊などの装備を身につけたものとは違い、ビジュアル的にSFらしさ、フィクションらしさが見られるのが特徴であるが、萌え属性によってはメカと少女(ないし肉体的なものか性格的なものか)の比重の逆転傾向や外装のメカニカルな考察志向も見られる為、一概には定義は不可能である。
上記の条件を満たしているならば、アニメやゲーム、現実に発表・使用された機械や兵器類の擬人化でもメカ少女に含まれる(ロボっ娘の下地から派生したため同義的だが、似て非なるものともいえる)。なお、兵器類の擬人化の場合は「兵器少女、兵器娘」とも呼ばれる。同類同列に置かれる事の多い、怪獣の擬人化の場合は、"怪獣少女"として区別される事が多い(例えそれがロボット怪獣であっても)。
1981年4月18日に放送された『太陽戦隊サンバルカン』第11話のサブタイトルは「哀しみのメカ少女」となっており、明示的な使用が確認できる。