フェローテックホールディングス
装置関連事業 - 真空シール、石英製品、セラミックス製品、CVD‐SiC製品、シリコンウエーハ加工
太陽電池関連事業 - 太陽電池向けシリコン結晶製造装置、太陽電池向けシリコン製品、坩堝・角槽
電子デバイス事業 - サーモモジュール、磁性流体