メガロマン
メガロマン - 村上潤
黒星怪獣 - 冷水良信(第1 - 19・22・23話)、小林操、甲斐道夫(第20.21・24 - 31話)、竹田道弘、喜多川務ほか
戦闘員 - 柴原孝典
「平成ゴジラシリーズ」の特技監督としても知られる川北紘一は、第7話を担当した際に「2話分の特撮予算を費やし、その回のみで本作品を降ろされた」と巷間で伝えられているが、川北本人によると、実際に第7話は脚本段階で予算オーバー必至な内容で、この「一回限り」のイレギュラーな参加は、いわば外部スタッフに予算超過させる現場での「汚れ役」であり、プロデューサー自身も予算超過は承知の上でのオファーだったという。川北も「どのみち一回限り」と、火山の火口内を再現した巨大なセットを造り、セット内でのメガロマンと怪獣の闘いを、劇場映画並に手間と予算をかけ、奔放に演出したとのことで、この回の特撮は視聴者を始め、内外でも非常に評判が高かったとのこと。
第3、4、20、23、26、27、最終話などでは、翌年の『ウルトラマン80』並に豪華なミニチュア特撮を披露していた。第16話からは、円谷プロダクションの高野宏一も参加している。なお、メガロマンが戦闘中に構えた際の効果音は、そのまま『ウルトラマン80』で80が構えるときの音として流用されている。
メガロマンのたてがみはかつら形式で、脱色したヤクの毛が使われている。開米プロ社長の開米栄三と若狭新一によるもので、これは開米が『マグマ大使』で考案した技法である。後の映画『モスラ3』などにおいても、若狭は成虫モスラの体毛にヤクの毛を使っている。