プラズマ活性化
通常、プラズマ雰囲気内で実現される1eVの平均電子エネルギーは、10,000°Cの温度での平均電子エネルギーに等しくなる。薄い陰極層と陽極層では、イオンと電子は最大で10倍高い平均エネルギーに達し、これは100,000°Cの温度に相当する。 同時に、分子ガスは冷たいままである。 電子イオンと電子分子の衝突エネルギーが高いため、プラズマ雰囲気は効率的な化学反応器として機能し、水素、窒素、酸素の化合物の高速生成を可能にする。その中でも、短寿命の高活性化学種は、表面のプラズマ活性化の主な作用剤である。それらには、水素、窒素、および酸素原子、OHおよびONラジカル、オゾン、亜硝酸、硝酸、および準安定励起状態にある他のさまざまな分子が含まれる。さらに、放電が基板に直接接触すると、これらの種のイオンと電子の両方が高エネルギーを持ち、表面に衝突する。