チロル伯
しかしハインリヒ6世はボヘミア王位を巡る争いで内政を疎かにし、チロル伯領の弱体化を招いてバイエルン公国からの再介入を受けた。さらにハインリヒ6世には男子がなく、無事成人したのは娘のマルガレーテただ1人だったため、ハインリヒ6世は皇帝ルートヴィヒ4世に掛け合ってチロル伯領の女系相続を認めさせ、1330年にはルクセンブルク家のボヘミア王子ヨハン・ハインリヒとの婚姻を成立させた。
1335年にハインリヒ6世が亡くなると、マルガレーテはチロル女伯となって統治を始めたが、17歳という若さの女性君主の体制は当時脆弱なものであった。そのため、マルガレーテの婚約を自家ヴィッテルスバッハ家と行うことを想定して承認を出した皇帝ルートヴィヒ4世とチロルへの関心が高かったハプスブルク家のアルブレヒト2世からの干渉を受け、チロル=ゲルツ伯領は南チロルの一部を残して北チロルはヴィッテルスバッハ家領だったバイエルン公国に、南チロルの大部分とケルンテン公国はハプスブルク家に併合された。これに対してルクセンブルク家が異を唱えて、後に皇帝カール4世となるモラヴィア辺境伯カレルがプラハから出兵し、チロル伯領での戦争は約1年続いた。
しかし結婚当初から折り合いの悪かったヨハン・ハインリヒをマルガレーテは1341年にチロル伯領から追放し、翌1342年には婚姻の無効を主張して皇帝ルートヴィヒ4世の息子ルートヴィヒ5世と再婚した。
マクシミリアン1世はチロルの豊かな鉱産資源を財源に経済を改革し、ジギスムント時代の財政を是正してバイエルン公への借金を完済した。その後もチロルの改革を進め、皇帝即位の翌1494年、ビアンカ・マリア・スフォルツァとの結婚を機にインスブルックを皇帝の居城とした。1500年には男系が断絶したゲルツ家の領土を併合し、東チロルがチロル伯領へと組み込まれて現在のチロルの概念が完成した。
その後チロル伯は代々ハプスブルク家が世襲し、チロル伯領は高い忠誠心と勇猛な軍隊で知られるようになる。オスマン帝国やイタリア諸国との戦争を主として活躍し、スペイン継承戦争中の1703年には、バイエルン選帝侯国軍15,000がローゼンハイムから進軍して北チロルのクフシュタインを陥落させ、インスブルックを無血開城させたのに対し、オーストリア本軍が撤退した後もチロルの義勇軍は戦闘を続けた。イン川流域では領民が蜂起して占領軍を撃退して7月26日にはインスブルックを奪回し、ブレンナー峠では南チロルの義勇軍がフランス・バイエルン連合軍を阻んだ。こうした領民の功績に対し、翌1704年にレオポルト1世は、権限が軽視されて廃れつつあった等族議会をチロル伯領でのみ召集して応え、レオポルト1世の次男カール6世の代に召集された等族議会はチロルでの2回のみであるなど、チロル伯領の領民に対してハプスブルク家の君主は格別の対応をとっていた。
チロルという名は、イタリア北部ボルツァーノ県の都市メラーノ近郊のチロル城に由来し、伯爵位を持つ一族がこの城を拠点にしたのがチロル伯の始まりである。その後13世紀半ばのチロル伯アルベルト3世(英語版)の時代に領土が大方確定し、結果この領域がチロル地方として定着した。伯位はアルベルト3世の没後イタリア、フリウリ地方のゲルツ家に渡り、マインハルト2世の治世でそれまで主君であったブリクセン司教とトレント司教からの独立を果たした。男系の断絶が原因となって、1364年に伯位がゲルツ家最後のチロル女伯マルガレーテの娘婿であるハプスブルク家のルドルフ4世に渡ると、その後はナポレオン戦争の一時期を除いて1918年のオーストリア=ハンガリー帝国崩壊までハプスブルク家及びハプスブルク=ロートリンゲン家が伯位を保持し続けた。
これが婚姻を秘跡として司っていたローマ教皇庁と教皇クレメンス6世の怒りを買い、同時期にチロル伯領で自然災害が相次いだこと、バイエルンからの干渉への不安もあってチロルの民衆の警戒が高まっていたことから、ルートヴィヒ5世は領邦の自由及び統一についての保障を特許状によって宣言した。
マルガレーテとチロル伯領を巡る混乱は続き、ルクセンブルク家のカレルによる出兵は何度も行われ、とりわけ1347年の出兵はチロル城包囲の帰途に南チロルのボーツェンとメラーンを焼き払うなど苛烈であった。この混乱がある落ち着くには、アルブレヒト2世による教皇庁への幾度とない再婚承認の働きかけ、1355年のルートヴィヒ4世廃位とカール4世の皇帝就任による対立の軟化によるマルガレーテとカール4世の和解、そして1359年の教皇庁による再婚の承認と、幾つもの段階を踏まなくてはならなかった。
マルガレーテとルートヴィヒ5世の4人の子のうち、無事に成長した唯一の子マインハルト3世に、長年夫婦の立場を擁護してきたハプスブルク家はアルブレヒト2世の後継者であるルドルフ4世の妹マルガレーテ・フォン・エスターライヒを嫁がせ、さらにマインハルト3世の男系子孫が絶えた場合にチロル伯位をハプスブルク家に委譲することを取り決めさせた。そして1363年にマインハルト3世が不慮の死を遂げると施政はハプスブルク家が掌握、翌1364年に皇帝カール4世がチロル伯位の委譲を承認し、同年にマルガレーテがチロル女伯を退位したことでチロル伯はゲルツ家からハプスブルク家のルドルフ4世へと渡った。マルガレーテはその後ウィーンに蟄居させられ、1369年に亡くなった。