東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社(とうきょうエレクトロン テクノロジーソリューションズ、TOKYO ELECTRON TECHNOLOGY SOLUTIONS LIMITED)は、山梨県を拠点とする東京エレクトロングループの企業である。
東京エレクトロンの業務内容のうちSiやLCDなどのエッチング部門を独立する形で設立された。
現在の本社は山梨県韮崎市。エッチング装置事業は東京エレクトロンAT時代に段階的に宮城県宮城郡松島町へ移転、2010年には東京エレクトロン宮城株式会社が設立され、2011年に同社に移管した。同社は東北自動車道・泉ICからほど近い宮城県黒川郡大和町小野地区の「大和リサーチパーク」内に新工場を構えている。