マイクロチャンネルプレート
外部から印加する電圧は100Vである。増幅率を上げるために電圧を上げると漏れ電流が増えてノイズが増加する。そこでMCPを直列に設置して2段階で増幅する。これにより高感度の検出が可能となる。
マイクロチャンネルプレート検出器、飛行時間分離型質量分析器 Finnigan MAT 900に使用
高電圧印加型(上下方向から)
高電圧印加型コンデンサと低誘電率のセラミックで構成される
鉛ガラスの管の内部にソーダガラスを充填して加熱して融着して引き伸ばす。それらを束ねてからまた加熱して融着して引き伸ばす。この工程を数回繰り返した後、8°の傾斜で薄くスライスする。その後、ソーダガラスの部分を薬品で溶かして除去する。水素ガス中でマイクロチャンネルプレートの内壁の鉛ガラス内の鉛を還元して導電性を付与する。マイクロチャンネルプレートに光電効果物質を塗布した光電面のガラス板と蛍光体を塗布した後部のガラス板を取り付けて封止する。