四フッ化ケイ素
SiF4はリン酸塩肥料の副生成物である。また、気体のフッ化水素HFとケイ酸塩との反応からも得られる。実験室ではBaSiF6固体を300°C以上に加熱して揮発性のSiF4とBaF2とに分解することで得られる。必要なBaSiF6はヘキサフルオロケイ酸H2SiF6の水溶液と塩化バリウムとから得られる。相当する量のGeF4を用いても同様にして得られる(ただし熱処理には700°Cを要する)。