三村高志
1981年 科学技術庁長官賞
1982年 電子情報通信学会業績賞
1986年 伴記念賞
1990年 IEEE Morris N. Liebmann Memorial Award
1992年 発明協会恩賜発明賞
1993年 IEEEフェロー
1998年 紫綬褒章、SSDM Award、ISCS Heinrich Welker Award
2001年 電子情報通信学会フェロー
2004年 応用物理学会業績賞
2007年 応用物理学会フェロー
2017年 京都賞先端技術部門