プレーナー プロセス
『シリコン集積素子技術の基礎』バーガー 著/菅野卓雄 訳、地人書館、1970年
『ナノ構造作製技術の基礎(シリーズ 物性物理の新展開)』曽根純一 編集、丸善、1996年、ISBN 9784621042311
『超微細加工入門』古川静二郎・浅野種正、オーム社、1989年、ISBN 9784274032479
『超微細加工の基礎―電子デバイスプロセス技術 第2版』麻蒔立男、日刊工業新聞、2001年、ISBN 9784526048128
『超微細加工の基礎―半導体製造技術』麻蒔立男、日刊工業新聞、1993年、ISBN 9784526032844
『エレクトロニクスの精密微細加工』楢岡清威、総合電子出版社、1980年
『フォトマスク技術のはなし―超LSI、液晶、プリント板を支える』田辺 功・法元盛久・竹花洋一、工業調査会、1996年、ISBN 9784769311492
『薄膜化技術』早川茂・和佐清孝、共立出版 、1992年、ISBN 9784320084971
『薄膜の基本技術 第2版 / 物理工学実験5』金原粲、東京大学出版会、1987年、ISBN 9784130630412
『化学技術者のための超LSI技術入門』化学工学協会 編、培風館、1989年、ISBN 9784563045142
『表面・薄膜分子設計シリーズ3 導電性有機薄膜の機能と設計』山下和男・木谷晧、共立出版、1988年、ISBN 9784320085039
『絵とき「薄膜」基礎のきそ (Electronics Series)』 小林春洋、日刊工業新聞社、2006年、ISBN 9784526057915