純水
純水の純度は多くの場合、不純物のイオン量で示されるが、不特定のイオンを化学分析で定量することは実際的ではないため、連続測定が容易な比抵抗(比電気抵抗)や導電率、蒸発残留物で評価される。
導電率は比電気抵抗の逆数で、10(MΩ・cm) = 1/10(μS/cm)。 水は極くわずかの部分が水素イオンと水酸化物イオンに電離する(自己解離)為、純粋な水にも必ずイオンが存在し(水のイオン積:10)、完全に純粋な水の理論値は、25°Cで18.24MΩ・cm = 0.0548μS/cm である。
利用目的にもよるが、1~10MΩ・cm = 1.0~0.1μS/cm の範囲を純水と呼ぶ場合が多く、より純度の高いものは超純水と呼ばれる。なお、軟水が多い日本の平均的な水道水では、100~200μS/cm である。
蒸発残留物に明確な基準はないが、一般的には20ppm以下のものが純水と呼ばれる。