誘導結合プラズマ質量分析
試料溶液は、ペリスタルティックポンプによってネブライザーに運ばれる。ネブライザーによって溶液サンプルは霧に変えられる。ネブライザーにはキャリアガスが流される。
ネブライザーでは様々な大きさの霧が生成するが、スプレーチャンバーによって細かい霧(エアロゾル)のみが選別される。プラズマの温度を下げるために、スプレーチャンバーにガスを導入することも行われる。