空気分離装置
空気を極低温(一般に-170°C以下)まで冷却し、液化させ蒸留により分離する方法。 酸素・窒素・アルゴンなど、空気中の組成物のほぼ全てを高純度で得ることができる。一方、極低温までの冷却が必要となるため、設備が大きくなる、起動に時間がかかるというような欠点がある。なお、酸素量8,000Nm3/h以上の大規模な空気分離装置は、ほぼすべて深冷分離法を採用している。
ポリイミドなどの高分子膜では、酸素・窒素の透過速度が異なる。吸着分離法と比較してさらにシンプルかつ、コンパクトなプロセスである。とはいえ、吸着分離と比較してエネルギー消費量が大きい、設備コストが高いなどの課題があるため、吸着分離法よりも低いシェアとなっている。