ジクロロシラン
ほとんどのジクロロシランは、トリクロロシランの生成を目的とする、塩化水素とケイ素の反応の副産物として生じる。
トリクロロシランの不均化が好ましい経路である。
2 SiHCl3 SiCl4 + SiH2Cl2