フッ化ウラン(III)
フッ化ウラン(IV)をアルミニウムとともに900 °Cに熱することで生じる。
3 UF 4 + Al ⟶ 3 UF 3 + AlF 3 {\displaystyle {\ce {3UF4\ + Al -> 3UF3\ + AlF3}}}
また、化学当量のウランと反応させることでも生じる。
3 UF 4 + U ⟶ 4 UF 3 {\displaystyle {\ce {3UF4\ + U -> 4UF3}}}