電子線マイクロアナライザ
電子ビームをサンプルに照射すると、照射された電子とサンプルを構成する原子の相互作用により、元素に固有のX線(特性X線)が発生する。そのX線を検出することで、サンプル表面(深さ1μm程度)の組成を知ることができる。
水平方向の空間分解能は従来は1μm程度であったが、電界放出型の電子銃を用いることで100〜200nmの空間分解能を実現している装置もある。