絶滅収容所
収容所の幹部や看守など関係者に対する裁判は、殺人などの容疑を実証できず進まなかった。しかし2011年、絶滅収容所は収容者殺害のみを目的とした収容所であり、絶滅収容所で勤務した事実さえ証明すれば殺人幇助罪が成立するとの司法判断が下された。このことから改めて捜査が行われることとなった。2020年代においてもなお高齢の元看守などがドイツ各地で裁判にかけられている。
多くのユダヤ人がこうした収容所で死ぬまで働かされたが、やがてユダヤ人労働力は、ドイツの戦力として有用であるかないかにかかわらず、絶滅収容所へ送られることとなった。ほとんどのナチスの収容所(ソ連以外の兵士のための捕虜収容所と一部の労働収容所を除く)において、処刑や飢餓、病気、疲労のために死亡率は非常に高いのが常であった。しかし、絶滅収容所だけは絶滅を目的としていたということである。
1942年9月前半には既に、あるSSの医師が、毒ガスによる殺戮を目撃し、「彼らはいたずらにアウシュヴィッツを絶滅収容所(das Lager der Vernichtung)と呼んでいる訳ではないのだ!」と日記に書いているとされるが、この医師が誰なのかは不明である。アドルフ・アイヒマンの副官の一人ディーター・ヴィスリツェニー (Dieter Wisliceny) は、ニュルンベルク裁判で証言台に立たされた時、絶滅収容所の名を挙げるよう質問され、アウシュヴィッツ=ビルケナウ強制収容所とマイダネク(ルブリン強制収容所)がそれだと答えた。マウトハウゼン強制収容所、ダッハウ強制収容所、ブーヘンヴァルト強制収容所はどう区別されるのかと聞かれると、「アイヒマンの部門から見ると、通常の強制収容所であった」と答えた。