産業用CTスキャナ
焦点寸法が1μm以下のX線管球。出力方式は透過型を使用している場合が多い。
産業用CTは試料の内部検査のために様々な分野で有用であり、品質管理、内部構造、欠陥の調査、リバースエンジニアリングなどに使用される。他に、考古学、美術品の鑑定、化石標本や隕石などの調査に使用される例もある。
テロリズムや犯罪の防止にも応用されており、日本の東京国際空港(羽田空港)で2018年4月から手荷物検査への導入が公表された。
管球から照射されたX線はコリメータ等によりビームを狭められ、扇型状となるX線ビームは、ファンビームと呼ばれている。X線検出器はラインセンサを使用することが多い。ファンビームはコーンビームよりもX線の散乱の影響が少なく、より鮮明な画像を撮像することが可能。試料は1ラインずつスキャンする必要があるため、試料全体のスキャンには時間を要する。スキャンに時間がかかる場合はあらかじめ、試料の関心領域を指定して部分スキャンを行うことも多い。