ラザフォード後方散乱分光
非破壊分析である。
高真空を必要としない。
軽元素の感度が低い。
深さ方向の分析が可能。
測定が短時間。
原子核の散乱を扱うため、化学状態の影響を受けない。
組成分析に標準試料が必要ない。