オクタフルオロシクロブタン
半導体材料や製品の製造において、オクタフルオロシクロブタンは、ガスデポジション及びウェットエッチングに用いられる。また、オゾン層破壊物質であるフロン類の代替として、冷媒としての利用も考えられている。その揮発性と不活性を利用して、食品のエアロゾル化に用いることもできる。国際食品規格委員会では946の番号を与えられており、EUのE番号も946である。また、気体誘電体として六フッ化硫黄の代替も考えられている。