Alpha 21064
総トランジスタ数は168万個である。最初のEV4はDECの CMOS-4 プロセスで製造されており、0.75μmルールとなっていて、3層のアルミニウム配線である。寸法は 13.9mm × 16.8mm で、面積は 233.52 mm である。後のEV4Sは CMOS-4S プロセスで製造されており、0.675μm ルールを採用してCMOS-4から10%縮小している。こちらの寸法は 12.4mm × 15.0mm で、面積は 186 mm である。
21064の電源電圧は3.3ボルト (V) である。EV4では200MHzのとき最大30Wの電力消費となる。EV4Sの場合、150MHzのとき21.0W、166MHzのとき22.5W、200MHzのとき27.0Wとなる。
登場した1992年から1993年まで 21064 は世界最速のマイクロプロセッサだったが、IBMの POWER2 に追い抜かれた。POWER2 の性能を超えたのは275MHzの 21064A で、1993年10月のことである。