二次イオン質量分析法
一次イオンとしては、数~30keV程度に加速されたアルゴン(Ar+)、酸素分子(O2+)、酸素原子(O-)、セシウム(Cs+)、ガリウム(Ga+)、金、ビスマスなどが用いられる。アルゴンイオンは試料表面の組成などを保ちたいときに用いられる。酸素イオン(O-)は正の二次イオンを分析するときに用いられる。セシウムイオンは、負の二次イオンを分析するときに用いられる。