滅菌
一般的に使われるのがエチレンオキシド(酸化エチレンガス/EOG)である。アルキル化によって死滅させる。オートクレーブが使用できないプラスチック製品に適応がある。低温のため、高温高湿に弱い素材のものにも適用できる。また、筒状や、複雑な形状である医療機器についてもEOGが浸透するため、適用しやすい。一方、毒性が強く残留ガスが人体等に悪影響を及ぼす可能性があること(このため、ISO 10993-7等において残留ガスの限度値が設定されている)、対象物の材質との化学反応によって二次化合物が生成されてしまう可能性がある。