変位計
被測定対象物と測定プローブ間の静電容量が、それらの距離に応じて変化することを利用して相対変位を測定する変位計。
以下の長所・短所がある。
測定対象の表面仕上げ状態や反射率の影響を受け難い
金属が測定対象のとき、その材質の影響を受けない
高速応答(応答周波数は数十kHz)
測定対象物と測定プローブの距離(作動距離)は数十μm~数mm程度。
測定レンジによってはサブナノメートルの分解能が得られる
測定ギャップの比誘電率の影響を受ける
コイルから発生する磁界により被測定対象物に誘起される渦電流によって、コイルのインピーダンスが、コイルと被測定対象物間の距離で変化することを利用した変位計。
以下の長所・短所がある。
測定ギャップの水や油に影響を受けない
測定対象物は鉄または金属で、強磁性体である鉄に対しての感度が高い。
高速応答(応答周波数は数100kHz)
測定レンジによってはサブミクロンの分解能が得られる
測定対象物と測定プローブの距離(作動距離)は数mm
測定対象物の導電率によって感度が変化する
変位計(へんいけい、英: displacement sensor)とは、変位(物体の位置の変化)を測定する機器である。変位計は接触式と非接触式に分類される。