東京エレクトロン デバイス
2月 - 主にテキサス・インスツルメンツ社製品を販売する国内販売子会社のパネトロン株式会社を設立。
2010年12月24日 - 東京証券取引所1部へ指定替え。
2012年3月 - TED香港をTokyo Electron Device Asia Pacific Limited(通称:TED APAC)に改称。
2013年9月 - アメリカ・シリコンバレーにinrevium AMERICA,Inc.(後のTOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立。
2014年5月 - カナダのFidus Systems社との資本提携を完了。
2015年8月 - タイランドに子会社のTokyo Electron Device (Thailand) Limited(通称:TEDタイ)を設立。
2016年 4月 - アメリカ・シリコンバレーにTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.(通称:TED CN アメリカ)を設立。 8月 - 株式会社アバールデータとの資本提携を完了。
2017年7月 - 株式会社アバール長崎(後の東京エレクトロン デバイス長崎株式会社)の株式取得を完了し、連結子会社化。
2018年7月 - 株式会社ファーストの株式取得を完了し、連結子会社化。パネトロン株式会社を解散。