サーベイヤー5号
目的は着陸後の画像の撮影、バーニアエンジンによる侵食実験、月面土壌の化学元素の相対量の特定、タッチダウンダイナミクスデータの取得、温度とレーダー反射率データの取得などであった。器具類にはこれまでのサーベイヤー計画とほぼ同じように、着陸脚、バーニア推進システム、多くの工学センサーが積まれていた。アルファ散乱装置は表面サンプラーに導入され、月土壌の磁性素材の検出のために着陸脚に小型磁石の延べ板が取り付けられていた。
宇宙機は1967年9月11日0時46分44秒(UT)に月面座標北緯1.41度、東経23.18度の静かの海の小さなクレーターの20度ほどの斜面に着陸した。 着陸後、月の夜であった9月24日から10月15日までの無通信の間隔を除き同年10月18日まで、すべての実験器のデータを送信した。通信は同年11月1日まで受信され、その後2度目の月の夜となり通信はとまった。3度目、4度目の夜明けにも再起動が可能であり、最終的に1967年の12月17日まで稼動した。画像は3回目の昼を除いて送られている。