ハイパースペクトルイメージング
ハイパースペクトルイメージングは、以下の2つの技術で構成される。
高波長域を高波長分解能(数nm単位)で撮像できるハイパースペクトルカメラ
波長ごとの輝度値を測定し、試料の分類、定量化、また、画像間で発生する干渉縞をもとに計算し膜厚測定を行うハイパースペクトル画像処理ソフトウェア