オルトケイ酸テトラエチル
二酸化ケイ素とエタノールが反応しても、TEOSが生ずる。 また、TEOSは簡単に二酸化ケイ素へと変化させることができるが、この反応は水の付加によって起こる。
Si ( OC 2 H 5 ) 4 + 2 H 2 O ⟶ SiO 2 + 4 C 2 H 5 OH {\displaystyle {\ce {Si(OC2H5)4 + 2H2O -> SiO2 + 4C2H5OH}}}
この加水分解反応はゾルゲル法の一例でもあり、エタノールが副生成物である。この反応は、鉱物のようにSi-O-Si結合を持った固体へとTEOS分子が変化し、沈殿する形で進んでいく。反応速度は、触媒として働く酸や塩基の存在によって大きく変化する。
600°C以上の高温下では、TEOSはジエチルエーテルを生成して二酸化ケイ素へと変化する。
Si ( OC 2 H 5 ) 4 ⟶ SiO 2 + 2 O ( C 2 H 5 ) 2 {\displaystyle {\ce {Si(OC2H5)4 -> SiO2 + 2O(C2H5)2}}}