ムハンマド・アリー
シリア総督就任を拒否されたことで、ムハンマド・アリーはシリア侵攻を決意する。ムハンマド・アリーには、シリアを領有することでヨーロッパ諸国に対抗しようとする狙いと、当時政治情勢が混迷し治安状態が極めて悪かったシリアに秩序をもたらすのは自分であるという自信と志とがあった。侵攻に備え経済・軍備の立て直しを急ピッチで進めたムハンマド・アリーは1831年10月、徴兵を逃れたエジプトの農民を庇護していたアッコの知事に懲罰を加えるという口実でイブラーヒーム・パシャ率いる軍勢を差し向けた。エジプト軍は8か月でアッコ、ダマスカス、アレッポなどシリア全域を制圧するとそのままトロス山脈を越えてアナトリア半島に侵攻し、1833年2月2日、コンスタンティノープルの南方385kmの都市キュタヒヤを占領した。イブラーヒーム・パシャは進軍を続けマフムト2世を廃位に追い込むつもりであったが、ムハンマド・アリーは他国の反応を気にかけ、進軍を止めるよう指示した。
オスマン帝国はロシアに救援を求め、これに応じたロシア軍がボスポラス海峡に布陣。これを見てロシアの勢力拡大を嫌うイギリスとフランスが調停に乗り出し、1833年3月29日にキュタヒヤ休戦協定が成立した。この協定によりエジプトはシリア・アダナ・クレタ島の領有を勝ち取り、ギリシャ独立戦争以来の念願であった東地中海における貿易権の獲得に成功した。また、アラブ文化の中心地であるカイロとダマスカスをともに領有するムハンマド・アリーに対し、アラビア語圏全域にわたる王国を樹立し、オスマン帝国を「ロシアの魔手」から救うことを期待する機運も一部に生まれた。とはいえキュタヒヤ休戦協定によって認められた領有権はオスマン帝国によって一年ごとに更新される性質のものであったため、更新を拒絶される危険が残された。
イギリスの外務大臣パーマストン子爵はムハンマド・アリーをマフムト2世の臣下に過ぎないと認識し、「オスマン帝国はいつでもムハンマド・アリーの支配地を回収する権利を持つ」、「ムハンマド・アリーがオスマン帝国との戦争に備える事は不法で反逆的である」と解釈していた。パーマストン子爵は1839年、国策要領の中で「ムハンマド・アリーがシリアを返還し、エジプトに撤兵してオスマン帝国との間に非武装地帯が設けられるまで、『ヨーロッパの平和を脅かす危険は終息しない』」とする見解を述べている。一方、フランスはムハンマド・アリーに好意的で、ムハンマド・アリーが終身総督権を得られるよう両者の仲介を試みたが、交渉は物別れに終わった。
1838年5月25日、ムハンマド・アリーはエジプトの独立を宣言した。エジプトで活動するイギリスやフランスの商人から自らの統治体制に対する支持を得ていた事がこの決断を後押しする要因の一つとなったが、この独立宣言はムハンマド・アリーに好意的であったフランスを含む欧米諸国の反発を買い撤回された。
カイロ暴動の最中の1803年5月、アルバニア人非正規部隊の司令官ターヘル・パシャが暗殺され、ムハンマド・アリーが後任の司令官に就任した。これをきっかけに、ムハンマド・アリーはエジプトにおける権力闘争に割って入った。ムハンマド・アリーはまず、マムルークと協力してオスマン帝国が任命した総督を無力化し、次にマムルーク内の派閥抗争を利用しつつカイロ周辺からマムルーク勢力を排除した。さらに自らがエジプト総督に推したアフマド・フルシド・パシャと対立すると総督に対するカイロ市民の不満を巧みに自身への支持に絡げ、1805年5月にはウラマー(宗教指導者)たちから新総督への推挙を受けることに成功した。ムハンマド・アリーが市民の支持を背景に新総督への就任を宣言すると、オスマン帝国政府もこれを追認せざるを得なくなった。 ムハンマド・アリーが数年のうちにアルバニア人非正規部隊の司令官からエジプト総督まで登りつめた過程について、フランスの総領事ベルナルディーノ・ドロヴェティー(英語版)は次のように評した。
加藤博は、ムハンマド・アリーのエジプト総督就任をもって独立王朝ムハンマド・アリー朝が誕生したとしている。