マスフローコントローラ
日本の産業技術総合研究所(AIST)、および韓国の工業測定標準の国家機関であるKRISS(英語版)では、気体流量測定の国家標準器には、臨界ノズルを組み込んだ流量計が用いられている。このため、国家標準器との技術的な親和性から、日本および韓国での計測業界でノズル式流量計が好んで用いられる場合がある。ただし、このことは、必ずしも、ノズル式の精度が熱式よりも原理的に高いという事ではない。実際にアメリカ合衆国の国家計量標準機関であるNISTやドイツの計量標準機関であるドイツ国立理工学研究所(英語版)などのように、他の国の国家計量標準機関では、気体流量の国家標準器にはノズル式以外の異なる原理の流量計や体積流量計が用いられている場合もある。
原理上、臨界ノズル式の流量計には、圧力計がノズル上流側の位置に必要である。ゆえにノズル式のマスフロー機器にもノズル上流側には圧力計が入っている構造になっている。 また、臨界を起こすための圧力差が必要な為、差圧が無い場所ではノズル式マスフロー機器は機能しない。マスフロー機器に限らず、一般に臨界ノズル式の流量計は差圧が無いと、そもそも臨界が起きないので機能しない。
なお、ノズル式マスフロー機器は、一般的にノズルを収容するための大きさが必要であり、ノズル式マスフロー機器の小型化は熱線式に比べれば困難である。