走査型マクスウェル応力顕微鏡
表面電位、誘電率の分布の観察
走査型マクスウェル応力顕微鏡(そうさがたマクスウェルおうりょくけんびきょう、英: Scanning Maxwell Stress Microscope: SMM)は走査型プローブ顕微鏡の一種。