水酸化テトラメチルアンモニウム
文献による最も古い水酸化テトラメチルアンモニウムの製造は、1905年のJ. WalkerとJ. Johnstonにより無水メタノール中で塩化テトラメチルアンモニウム(TMAC)と水酸化カリウムを混合したものである。
Me 4 N + Cl − + KOH ⟶ Me 4 N + HO − + KCl {\displaystyle {\ce {Me4N^+Cl^- + KOH -> Me4N^+HO^- + KCl}}}
その文献では三水和物の存在と単離方法も提示されており、大気中の水分と二酸化炭素との親和性も強調されている。五水和物の融点は62〜63°C、15°Cでの溶解度は220 g/100 mLと記された。
現在でも一般的に上述の苛性アルカリ分解法が用いられ、25〜30 wt%のメタノール溶液が得られるが、安価である代わりカリウムイオンや塩素イオンが5000 ppmほど混入する。ポジ型フォトレジスト現像液など高品質の製品が求められる場合には、一般にナフィオン膜のような陽イオン交換膜を使用したTMACの電気分解法が採られる。この方法では10〜25 wt%、金属イオン0.1 ppm以下、塩素イオン含量10 ppm以下となる。
Me 4 N + Cl − + H 2 O ⟶ Me 4 N + HO − + 1 2 H 2 + 1 2 Cl 2 {\displaystyle {\ce {Me4N^+Cl^- + H2O -> Me4N^+HO^- + 1/2H2 + 1/2Cl2}}}
さらに高純度の製造法は、電気分解法で製造したTMAHを電気透析(英語版)する方法、ギ酸塩(下式1)・シュウ酸塩・メチル炭酸塩(下式2)などの有機酸テトラメチルアンモニウム塩水溶液の電気分解法、TMACを硫酸処理してTMAHの硫酸塩とし、これを水酸化バリウムで処理する方法などが発表されている。
Me 3 N + HCOOMe ⟶ Me 4 NHCOO {\displaystyle {\ce {Me3N + HCOOMe -> Me4NHCOO}}} Me 4 NHCOO + H 2 O ⟶ Me 4 NHO + H 2 + CO 2 {\displaystyle {\ce {Me4NHCOO + H2O -> Me4NHO + H2 + CO2}}}
Me 3 N + Me 2 CO 3 ⟶ Me 4 NMeCO 3 {\displaystyle {\ce {Me3N + Me2CO3 -> Me4NMeCO3}}} Me 4 NMeCO 3 + H 2 O ⟶ Me 4 NHO + MeOH + CO 2 {\displaystyle {\ce {Me4NMeCO3 + H2O -> Me4NHO + MeOH + CO2}}}