Alpha 21264
総トランジスタ数は1520万個である。論理回路は600万トランジスタを使用しており、残りはキャッシュと分岐予測用履歴テーブルで使っている。寸法は 16.7mm × 18,8mm、面積は 313.96mm である。0.35μm CMOS プロセス、6層配線で製造された。