ケイ化物
ケイ化物(シリサイド、英:Silicide)とはケイ素の化合物である。一般的にはケイ素より電気的陽性な元素との化合物だが、より電気的陰性な元素との化合物も知られている。
ケイ素は炭素より電気的陽性であり、ケイ化物は構造的に炭化物よりもホウ化物に近い。
ケイ化物の化学結合は、導電的な金属的構造から共有結合的、イオン結合的まで幅広い。ベリリウム以外の典型元素ケイ化物が報告されている。
液体シリコンは、水銀、タリウム、ビスマスおよび鉛と混和することが知られている。
ケイ化物のケイ素原子は、多くの構造が報告されている。
孤立Si原子: 導電性はCu5Si、(V,Cr,Mn)3Si、Fe3Si、Mn3Si。非伝導性は(Mg,Ge,Sn,Pb)2Si、(Ca,Ru,Ce,Rh,Ir,Ni)2Si
Si2対: U3Si2、Hf、Thのケイ化物
Si4四面体:KSi、RbSi、CsSi
Sin鎖: USi、(Ti、Zr、Hf、Th、Ce、Pu)Si、CaSi、SrSi、YSi
平面六角形グラファイト的Si層: β-USi2、その他のランタノイドやアクチノイドのケイ化物
波形六角形Si層: CaSi2
開放3次元Si骨格: SrSi2, ThSi2, α-USi2
半導体製造における自己整合プロセスで作られたケイ化物はサリサイドと呼ばれる。シリコンとその上に堆積した金属が直接接触する領域でのみシリサイド接触が形成する。よってプロセスは自動的に位置調整(自己整合)されている。