超純水
超純水のグレードを表すため使用される指標は複数あるが、いずれも水中の不純物を何らかの手法で評価しているに過ぎず、例えば「超純水度」といったようなものは存在しない。これは超純水の製造・管理・利用目的がほぼ産業用途に限られ、ある産業分野で最も重視される指標が他分野では仕様外となる場合すらあるなど共通の基準が必要なかった背景による。実際、同じ工場でもラインによって管理指標の項目や基準値が異なることも珍しくない。
水質管理指標として一般に次のようなものが利用されているが、その他にも用途次第で多様な指標が利用されている。 (試験方法にJIS規格がある場合、規格番号を併記した)
必要なら定期的に評価され、重要な場合は常時監視も検討されるが、そうでない場合は全く対象外となる。
医療などバイオテクノロジー分野向けでは、無菌を保つため生菌数と微粒子数が重要視されるほか、次のような指標も用いられる。