武田光和
光和は厳島神主家の後継者争いにも介入し、大内氏と対立した友田上野介方を支援するなど積極的に行動したが、安芸武田氏の衰退を食い止めることはできなかった。また、所領などを巡り、家臣であった熊谷信直の離反を促したことは、致命的ともいえる痛手であった。これは、正室である信直の妹と折り合いが悪く、この正室と離婚したことも離反の原因とされている。天文2年(1533年)8月、光和は熊谷信直の居城・三入高松城を攻めたが、守りは堅く撤退した。
再度、信直の討伐を進めていた天文9年6月9日(1540年7月12日)に、37歳で嫡子を残すことなく急死。実子はいたが、いずれも妾腹で、また小三郎を除き夭折していた。そこで同族の若狭武田氏から武田信実が迎えられたが、安芸武田氏の衰運は決定的となった。
安芸武田氏の菩提寺は不動院(安芸安国寺)であり、同寺には武田刑部少輔の墓がある。また、庶子の武田小三郎は、毛利氏に仕えて周防武田氏を名乗ったが、周防源氏武田家屋敷跡(現在の山口県岩国市玖珂)には光和の墓も建てられている。これは、佐東銀山城付近にあった墓と遺骨を遷したものと伝えられる。