トリメチルシリルアジド
トリメチルシリルアジドは、商業的に入手できる。トリメチルシリルクロリドとアジ化ナトリウムの反応によっても得られる。
TMSCl + NaN3 → TMSN3 + NaCl (TMS = (CH3)3Si)