放出ガス
吸蔵ガスは材料内部に吸蔵されているガスである。これは材料によりその成分が大きく違うが代表的なものはステンレス鋼内部に吸蔵されている二酸化炭素などである。そのためステンレス鋼を使用した真空チャンバーでは放出ガスの成分を四重極質量分析計で分析すると大気成分での比率より、多く二酸化炭素が現れる。 他にも吸蔵ガスには真空フランジに使用されるエラストマーシールの吸蔵ガスなども大きく影響する場合がある。