フッ化タングステン(VI)
WF6は炭化タングステンの製造にも用いることができる。
また、WF6は高比重な気体として、気体反応を制御するための緩衝ガスとしても用いることができる。例えば、Ar/O2/H2炎の化学作用を遅延させ、還元炎の温度を低くする。