五フッ化塩素
当初は三フッ化塩素とフッ素とを高温高圧下で反応させた。また、四フッ化塩素カリウム(KClF4)や四フッ化塩素ルビジウム(RbClF4), 四フッ化塩素セシウム(CsClF4)などとフッ素との反応により五フッ化塩素とフッ化カリウム・フッ化ルビジウム・フッ化セシウムが生成する。1981年には、フッ化ニッケル(II)が五フッ化塩素生成のための優れた触媒であることが発見された。
ClF 3 + F 2 ⟶ ClF 5 {\displaystyle {\ce {{ClF3}+ F2 -> ClF5}}}
ClF + 2 F 2 ⟶ ClF 5 {\displaystyle {\ce {{ClF}+ 2F2 -> ClF5}}}
Cl 2 + 5 F 2 ⟶ 2 ClF 5 {\displaystyle {\ce {{Cl2}+ 5F2 -> 2ClF5}}}
CsClF 4 + F 2 ⟶ CsF + ClF 5 {\displaystyle {\ce {{CsClF4}+ F2 -> {CsF}+ ClF5}}}