磁気力顕微鏡
磁気力顕微鏡が、他の走査型プローブ顕微鏡と異なる点は、MFMでは磁石同士に作用する異極間(N極とS極)の引力作用と同極間(N極とN極,またはS極とS極)の斥力作用(磁気双極子相互作用)を利用していて、カンチレバーにパーマロイやコバルト系の磁性材料を蒸着した物を用いる点にある。磁気的引力と斥力作用はレバー振動の位相差で検出することが可能で、磁性探針と試料磁界との磁気的作用によるカンチレバー振動の位相変化により磁気力勾配の分布を画像化する。MFMは最初に、表面形状信号をDFMで測定してから(1st Scan)次に同じラインを戻って、探針を一定距離離した非接触状態として1st Scanで記憶させた表面形状をトレースしながら、磁気力による位相変化を測定する(2nd Scan)ことにより、表面形状から常に同じ高さにおける磁気力の分布がわかる。材料表面からの漏洩磁束を測定する事は、試料表面付近では原子間力の影響が大きくなるためにプローブ顕微鏡の中でも非常に難しい部類に属している。漏洩磁束の検出感度は、プローブのQ値や曲率半径などに依存している。現在は、JS(Just On surface)-MFMなどの分解能10nm前後の物が最高感度とされる。