フッ素
半導体や液晶の製造装置の反応管、ボート、石英ノズルなどに発生する副生成物を除去するためのクリーニングガスとしてフッ素ガスが使われている。
フッ素(フッそ、弗素、英: fluorine、羅: fluorum、独: Fluor)は、原子番号9の元素である。元素記号はF。原子量は18.9984。ハロゲンのひとつ。
また、同元素の単体であるフッ素分子(F2、二弗素)も、一般的にフッ素と呼ばれる。