伊賀健一
2022年2月22日 応用物理学会微小光学研究会第162回研究会で講演;VCSEL オデッセイ”
2022年4月15日 広島大学附属中高等学校創立記念日記念講演:”光と音の世界:面発光レーザーとコントラバス”
2022年4月20日 国際会議OPICにて国際諮問委員長
2022年4月29日 電子情報通信学会光輝会シンポジウムにて講演:“光と音の二刀流:面発光レーザーとコントラバス”
2022年10月18日 半導体レーザー国際会議(ISLC2022)にてエジソンメダル記念講演:”VCSEL:How was it born and grown just since one century after Edison?”
1992年以来、応用物理学会微小光学研究会代表として学会活動(年4回の研究会、毎年国際会議を)
2023年1月25日日本フォトニクス協議会の新春特別フォーラムにて招待講演「面発光レーザー:その発端と産業的発展」
伊賀 健一(いが けんいち、1940年6月15日 - )は、日本の工学者。工学博士。広島県呉市出身。東京工業大学栄誉教授・第18代学長。文化功労者。
1977年3月22日に面発光レーザーを考案した。3月22日は『面発光レーザーの日』として,日本記念日協会に登録されている。
アイデアのスケッチを図1 [1977IGA] [2018IGA]に示す。従来のファブリペロー端面発光半導体レーザーとは対照的に、本発明は、活性層を含む多くの層がモノリシックに成長するウエハ表面に垂直なレーザー共振器からなる[2008IGA]。その後すぐに、垂直共振器型面発光レーザー(VCSEL)/2/、/3/と呼ばれるようになった。
開拓した基本的原理・技術としては、VCSEL基本概念の提案、発明の背後にある動機、実現のブレークスルー、および量子井戸、半導体ブラッグ反射器、AlAs酸化技術などの後のデバイスに不可欠になったいくつかがある。また、機械的方法[1992YOK]によるレーザー波長の連続掃引を最初に試みている。これは、後年/ 4 // 5 /でMEMS掃引VCSELのスキームになった。
2003年 電子情報通信学会 会長( - 2004年)
応用物理学会微小光学研究会 幹事(1981年 - 1992年),代表(1992年 - )
台湾国立交通大学 榮誉教授
電子情報通信学会 名誉員 フェロー
応用物理学会 功労会員 フェロー
レーザー学会 フェロー
IEEE Life Fellow
OPTICA(旧名OSA) Fellow
USA National Academy of Engineering Foreign Member
VCSELの研究開発の先駆けとして、伊賀のグループは世界で初めてVCSELに新しい技術を導入した。それらには、活性領域としての量子井戸構造[1987UEN]と、レーザー共振器ミラーとしての半導体多層分布ブラッグ反射鏡[1988SAK]が含まれる。VCSELの偏波を制御するために、伊賀のグループは傾斜した基板で制御し、非常に安定した偏波が達成された[1999NIS] [2000IGA]
波長掃引のために外部可動ミラーを導入した[1992YOK]。その後、可動ミラーはConnie Chang-HasnainらによってMEMS構成に置き換えられた/ 4 /。掃引可能なVCSELは、発光ビーム角度が波長に依存する光ビーム偏向器として測距センサーに使用されている/5/。
VCSELと可能な応用上の利点明確化
VCSELは社会から広く認知されるようになり、その応用分野は1990年代半ばから爆発的に拡大している[2013IGA]。伊賀はVCSELの発振周波数とデバイス直径の関係について分かりやすい関係を図3のように示した[2018IGA],[2020IGA]。VCSELの単一モード系と多モード系、およびそれらの応用分野を区別したのである。