MEMS
光通信用光スイッチ
光スキャナ
投射型ディスプレイ
電子ペーパ
ヘッドマウントディスプレイ
圧力センサ
触覚センサ
慣性センサ 加速度センサ ジャイロセンサ
化学センサ
マイクロフォン:ECMの代わりに使う