ニューフレアテクノロジー
2002年(平成14年) - 東芝機械の半導体装置事業を分社型分割により承継。
2007年(平成19年) - ジャスダック証券取引所へ上場。
2017年(平成29年) - 東芝に代わり東芝デバイス&ストレージが直接出資の親会社となる。
2020年(令和2年) 1月17日- 東芝デバイス&ストレージによる株式公開買付けが成立。 3月30日 - ジャスダック上場廃止。 4月1日 - 株式併合により、東芝デバイス&ストレージの完全子会社となる。