ウィリアム・キャヴェンディッシュ (第3代デヴォンシャー伯爵)
1638年もしくは1639年にレディ・エリザベス・セシルと結婚した。彼女は第2代ソールズベリー伯爵ウィリアム・セシルの次女であった。
初代デヴォンシャー公爵ウィリアム・キャヴェンディッシュ (1640年 - 1707年) - 第4代デヴォンシャー伯爵(1684年襲爵)、初代デヴォンシャー公爵(1694年叙爵)
チャールズ・キャヴェンディッシュ(1670年/1671年没)
アン・キャヴェンディッシュ(1703年没) - 初めリッチ卿チャールズ・リッチ(第4代ウォリック伯爵チャールズ・リッチ(英語版)の息子)夫人、次いで第5代エクセター伯爵ジョン・セシル夫人
エリザベスは1689年に死去し、ウェストミンスター寺院に葬られた。