東京エレクトロン デバイス
1965年 - 東京エレクトロン株式会社で電子部品(フェアチャイルド社など)の販売を開始。
1985年 - 東京エレクトロン横浜事業所(現在のエンジニアリングセンター)を開設。
1986年3月 - 東京エレクトロン株式会社の出資によりテル管理サービス株式会社設立。
1998年7月 - 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門を営業譲渡。
1990年9月 - テル管理サービス株式会社から現社名の東京エレクトロン デバイスに社名変更。
2003年3月 - 東京証券取引所2部上場。
2004年 1月 - 上海に子会社のTokyo Electron Device (Shanghai) Limited(通称:TED上海)を設立。 6月 - 自社ブランド「inrevium(インレビアム)」の事業開始。
2005年1月 - 香港に子会社のTokyo Electron Device Hong Kong Limited(通称:TED香港)を設立。
2006年10月 - 東京エレクトロン株式会社からコンピュータ・ネットワーク事業を承継、販売開始。
2008年 1月 - シンガポールに子会社のTokyo Electron Device Singapore Pte. Ltd.(通称:TEDシンガポール)を設立。