膜型表面応力センサ
2011年に物質・材料研究機構 (NIMS) の国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 (MANA) の吉川博士のチームと、走査型トンネル電子顕微鏡の開発で1986年にノーベル物理学賞を受賞したハインリッヒ・ローラー博士やスイス連邦工科大学ローザンヌ校の共同で開発された。
高感度
小型化、集積化が可能
室温動作
廉価
高信頼性
高速応答
低消費電力