Alpha 21164
外部インタフェースは128ビットのシステムバスである。システムバスの駆動周波数は内部クロック周波数の3分の1から15分の1で、例えば内部動作周波数が300MHzなら、システムバスは20MHzから100MHzとなる。システムバス用のクロック信号はマイクロプロセッサが発信する。
総トランジスタ数は930万個、寸法は 16.5mm × 18.1mm、面積は 299 mm であり、製造プロセスの限界に近い規模である。DECの第5世代CMOSプロセス CMOS-5 で製造されており、0.50μmルール、4層アルミニウム配線である。電源電圧は3.3ボルト (V)、消費電力は、266MHzで46W、300MHzで51W、333MHzで56Wである。