小椋正気
小椋正気(Seiki Ogura、おぐら せいき、1941年(昭和16年)2月-2021年9月27日)は、数多くの半導体製造技術(LDD、Halo LDD、サイドウォール、スペーサー、CMP、ダマシン)やmpu の開発に携わった半導体の世界的研究者。1996年にIEEEモーリス・N・リーブマン記念賞を受賞。IEEEフェロー。