X線マイクロトモグラフィ
スペックルノイズを低減するために線源と試料間にビームディフューザーが設置されている。視野は1mmから数十mmまで可変であるが、空間分解能1μmの条件で測定する場合、試料の大きさは、直径1mm以下に制限される。通常のCT測定では、試料が180度回転する間に0.1度毎に1800枚の透過像が撮影される。