超純水
内毒素、発熱物質とも呼ばれ、医薬向けでは基本となる。
半導体製造の高精度化に伴い、酸化被膜への影響と生菌の増殖を抑制するため、厳密にゼロを要求される。酸素は空気中に大量に存在するため、設備のメンテナンスはもちろん、サンプリング操作ですら汚染源となりうる。