5ナノメートル
かつて一部の専門家から5nmノードはムーアの法則の終わりと考えられていた 。7nm以下のトランジスタは、ゲート酸化物層でトンネル効果が起こる 。開発コストのため5nmが市場に出回るには、ムーアの法則による2年よりも長くかかると予測されている。
当初は、7nmを超えた小さなスケールでチップを作るには大きな技術的進歩が必要だと言われていた 。特に、5nmは全周ゲート(gate-all-around)アーキテクチャなどFinFETの後を継ぐものを呼び込むと考えられている。