フッ化タングステン(IV)
錯体WCl4(MeCN)2を三フッ化ヒ素で処理することで得られる。また、フッ化タングステン(VI)とタングステンフィラメントを600-800°Cで反応させることでも生成する。
フッ化タングステン(IV)(Tungsten tetrafluoride)は、化学式WF4の無機化合物である。フッ化タングステン(V)とともに、フッ化タングステン(VI)を用いたタングステンフィルムの化学気相成長の際の中間体として生じるが、ほとんど研究されていない。