松波弘之
1998年 第15回 日本結晶成長学会論文賞 (半導体シリコンカーバイドのステップ制御エピタキシー)
2001年 第1回山崎貞一賞 (半導体及び半導体装置分野) 材料科学技術振興財団
2002年 平成14年度 文部科学大臣賞 (研究功績賞)
2004年 第4回(2003年度)応用物理学会 研究業績賞 (SiC半導体・デバイスの先駆的研究)
2004年 第41回(平成15年度) 電子情報通信学会 研究業績賞 (半導体SiCの高品質エピタキシャル成長と次世代電子デバイスの基礎研究)
2005年 SSDM Award
2013年 2012年度朝日賞 (パワー半導体シリコンカーバイドの先駆的研究)
2016年 IEEEデイヴィッド・サーノフ賞
2017年 本田賞
2019年 瑞宝中綬章
2023年 IEEEエジソンメダル