日本真空学会
1958年7月 - 真空技術研究会と真空機器協会とが合併し真空協会を設立。
1974年 - 日本真空協会へ改称。
2011年2月16日 - 一般社団法人として法人格を取得。
2012年2月28日 - 一般社団法人日本真空協会から一般社団法人日本真空学会へ改称。
2018年4月1日 - 公益社団法人日本表面科学会との吸収合併により消滅。