クライオポンプ
クライオポンプは、溜め込み式真空ポンプの一つである。真空容器内に極低温面を設置することで、その表面に残留気体を凝縮させ捕捉する。真空容器内で動作する装置が無く、また油を利用しないオイルフリー(ドライポンプ)であるため、クリーンな真空が得られる。動作範囲は、10 - 10 Paと広い。
ヘリウム、水素、ネオンの蒸気圧が高い気体を除き、ほとんどの気体に対しての大きな排気速度(1,000 - 10,000 L/s)を持ち、特に他のポンプに比べて水蒸気の排気速度が大きい。
欠点は、
極低温面を作り出すのに時間がかかるため、電源を入れてから使用可能になるまで1~数時間は待たねばならないこと
冷媒を圧縮するコンプレッサ(冷凍機)から大きな音が出ること
定期的に溜め込まれた気体を放出させ、ポンプを再生させる必要があること