超音波導入
1954年にFellingerとSchmidが、超音波を用いてステロイド外用薬のコルチゾールの皮膚浸透を増加させることが証明された。
1950年代より、周波数0.7MHz(メガヘルツ)以上の高周波ソノフォレシス (HFS) が研究され、40年間にわたり使用され、典型的な皮膚浸透強化は10倍までとされている。動物・人間での研究を含めて、痛みや傷の瘢痕の治療に外用で使える130種類もの物質が実験された。
1990年代から、20Hzから100kHzの低周波ソノフォレシスが研究されるようになり、90の物質で実験されてきた。低周波ソノフォレシスでは送達可能な分子の大きさの制限がさらになくなり、タンパク質、ワクチン、ナノ粒子が送達可能だと判明している。