デジタルミラーデバイス
1987年に、TI社のラリー・ホーンベック博士(2015年に米国アカデミー科学技術賞を受賞)が発明したもので、CMOSプロセスで作られた集積回路上にMEMS技術で、可動式のマイクロミラーを形成している。各マイクロミラーの鏡面サイズはおよそ10数μmであり、これが表示素子における1画素に相当する。このマイクロミラーを、数十万から数百万個、格子状に配列する。
各マイクロミラーは鏡面をねじれ軸周りに+/-12度傾斜させることができ、鏡面下部に設けた電極を駆動することにより「ON」(+12度)と「OFF」(-12度)の二つの状態を持たせることができる。ミラーが「ON」のときは内部光源からの光を外部(スクリーン)に反射しスクリーンに投射する、「OFF」のときは光を内部の吸収体に反射し外部には投射されない。従って、各ミラーを個別に駆動することにより、表示画素ごとに光の投射を制御することができる。
投射は以上のようにON-OFFの2値制御であるが、ON/OFFを高速で行い、ONの時間比率(幅、密度)で濃淡を表現するPWM方式を用いることで階調表現が可能である。