逐次三点法
現段階で多点法は、回転運動誤差が無視できるほど小さなものであれば逐次二点法がある。またセンサを変位センサから角度検出計に変えることに角度二点法などがある。また現段階では変位計を特殊なものに変え、温度制御を細かなとこまでした、中谷式改良型逐次三点法が成果を上げている。
逐次三点法(ちくじさんてんほう)とは、超精密計測・加工技術においての計測法の一つである。 現時点では実験段階なので成果がで次第、編集するものとする。