真空計
全圧真空計は環境(チャンバ内)の圧力のみを測定する真空計である。真空計とは通常これを指す。全圧真空計は測定方式により主に3つに分けられる:
機械的な現象
気体の輸送現象
気体の電離現象
スピニングロータ真空計
クリスタル真空計
ピラニ真空計
熱電対真空計
サーミスタ真空計
クヌーセン真空計
動作原理として気体の入射による熱の移動を利用する真空計を熱伝導真空計(ねつでんどうしんくうけい)という。原理的に粘性流領域では気体の対流も加わるため、正確な値を示さない。サーミスタ真空計やピラニー真空計などがこれに分類される。