マスフローコントローラ
質量を検出する方法としては、主に流れによって生じた流路の上流と下流の温度差を読み取る熱式(サーマル式)の方式が用いられる。他の方式としては、コリオリ力を用いたコリオリ式や、音速ノズル(臨界ノズルともいう)を用いたノズル式がある。
熱式の場合は、質量流量によって変化する流路の温度を電気抵抗の温度変化を利用して検出する。ガスがセンサーに流れ込むと、上流側と下流側の抵抗体に温度差が生じる。したがって、流路に電気抵抗計を組み込めば、質量流量をセンシングできる。抵抗から温度を算出するため、熱線式のマスフロー機器には測温抵抗体または類似の部品が組み込まれている。また、一般に電気抵抗のセンシングは、主にホイットストーンブリッジなどのブリッジ回路によって行なわれる。
この温度変化を、ブリッジ回路で捉えて、流量出力信号として取り出す。