大魔神
『大魔神』全3作に『酔いどれ博士』(三隅研次監督、勝新太郎主演)を挟んでの撮影を進める中、合成画面1カットの費用が当時の価格で30万円かかるため、その成果に対する心労や撮影スケジュール進行のストレスに、森田は「心臓がおかしくなった」と語っている。このため、『大魔神逆襲』は今井ひろしと連名で撮影を行っている。
大映は本作に先立ち、日米合作の航空特撮映画『あしやからの飛行』(マイケル・アンダーソン監督、1964年)を制作しているが、この際には青く塗装したホリゾント壁を使ってブルーバック合成が行われた。しかし、この手法では色ムラが出てしまうため、合成画面に苦心した。アメリカのスタッフは大映自前の東京現像所を信用せず、ブルーバック合成の現像はアメリカにフィルムを送って行うという状況だった。これを見た森田が、翌年の1965年(昭和40年)に玩具の戦車が大映京都撮影所正面入り口から出て来るというブルーバックのテストフィルムを独自に撮影すると、出来栄えが良かったために所内で評判となり、『大魔神』の企画のもととなったという。
三部作すべてで大魔神役スーツアクターを務めたのは、プロ野球選手出身の橋本力である。橋本を起用したのは黒田義之で、「主役はあんただから」と念を押したという。撮影は芋の粉やコルク屑、炭粉を使った粉塵が飛び交うものだったが、橋本はカメラが回っている間は、決して瞬きをしなかったという。それによって血走った眼が印象的な当たり役となり、『妖怪大戦争』でも吸血妖怪ダイモン役で血走った両眼を見せ、強い印象を残している。
1966年8月13日公開。1作目が大ヒットしたため、お盆興行作品として製作された。併映作は『座頭市海を渡る』。監督は時代劇映画のベテラン三隅研次が担当している。撮入は5月で、3か月かけて撮影が行われた。製作費は1億円、興行収入もほぼ同額だった。
魔神は本作では水の魔神として描かれており、物語終盤で水の中から現れて神罰を下した後、水となって消えていく。魔神が湖面を割って出現するシーンの両側の滝の映像素材には鴨川の堤が使われ、出現のカットは窒素ガスの噴出で波立たせた。神の島のスタジオセットは縦22メートル×横40メートルという広大なもので、武神像の岩壁は鉄板2000枚、丸太500本、トラック10数台分の伊豆から運んだ火山岩を用いて作られた破格のものだった。出現シーンは映画『十戒』(1958年)に、ラストシーンで湖に沈んだ鐘が鳴る場面はゲアハルト・ハウプトマンの『沈鐘』に、それぞれ着想を得たものである。
突風で瓦が飛ぶシーンの撮影では、「軽い素材を」と「京都の八つ橋」からの連想で、煎餅の「八つ橋」を瓦の形に焼いたものが使われた。