真空紫外線
光は波長が短いほど高エネルギーなので、紫外線の中でも最も波長の短い真空紫外線は、紫外線の中では最もエネルギーの強い領域とも言い換えられる。このため、高エネルギー光源として、さまざまな化学反応を引き起こすために使われる。半導体の製造工程では、回路の微細化に伴いリソグラフィのための露光光源が短波長化しており、ArFエキシマレーザーなどが使用されるようになった。また、可視光線を利用する光学顕微鏡では観測できない微細な構造を観測するためには短波長光源を用いるが、その光源として軟X線と共に真空紫外線を用いる顕微鏡が古くから実用化されている。しかし、この分野は近年では電子顕微鏡に置き換わっている。
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