探針
片持ち梁(カンチレバー)の先端についた先端が尖ったダイアモンドのチップ(スタイラス)で、半導体ウェーハなどの測定試料表面をなぞりその凹凸を測定する機械。なぞった直線上の荒さを紙やモニター上に拡大表示し、荒さや段差の程度を定量的に知ることができる。