ペニングイオン化
グロー放電質量分析やリアルタイムの質量分析での直接分析を含む複数の質量分析技術 、ペニングイオン化に依存。
グロー放電質量分析法は、固体試料中の微量元素を直接測定するが直接電子衝撃イオン化とペニングイオン化の2つのイオン化メカニズムで発生しグロー放電に固有のプロセス、すなわちペニングイオン化と組み合わせたカソードスパッタリングは、半定量的な結果を直接取得できるイオン集団を生成する。