AGCテクノグラス
シリコンと非常に近い膨張係数を持つガラス。常温から高温域にわたってシリコンと非常に近い膨張特性を持っている。また、陽極接合によりシリコン基板と接合一体化することが可能。これらの特性を生かして、シリコンを基材とするMEMSセンサー等の台座基板として用いることができ、シリコンに余計な歪みを与えることなく、高精度なセンシングを可能とする。