真空部品
表面もその処理方法により放出ガスが異なるため重要な処理となる。 特に超高真空のような低い圧力を達成するためには材料だけでなく表面の粗さなどによりガスの吸着量が変わるため重要な指標となる。
真空部品(しんくうぶひん)は、真空装置等を構成するために真空中、もしくは一部が真空に面して機能する部品の総称である。真空部品は大半が他の分野にも同様の機能の機器が存在するが、特性上真空向け専門に作られる部品である。但し、真空ポンプ、真空計はそれぞれ独立して分類されるため真空部品には含まれない。