ステッパー
分解能は波長に比例し、開口数に反比例する。このため光源には可視光より波長が短い紫外線(エキシマレーザー)が用いられ、光学系を構成するレンズには紫外線の透過率が高い合成石英やフッ化カルシウムなどが使用される。また、近年実用化されつつあるEUV(極端紫外線)露光装置の光学系には、レンズの代わりにMo/Si製のミラーが用いられている。(EUVはレンズを透過しないため。)
2019年のステッパーの出荷額は9060億円で、出荷額ベースのシェアはASMLが81.2%、キヤノンが11.0%、ニコンが5.9%である。