エキシマレーザー
貴ガスはアルゴン、クリプトン、キセノンが、ハロゲンはフッ素、塩素が一般に使用される。混合ガス中でのパルス放電によって生成する励起状態貴ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの放射光によってパルス発振する。
代表的なエキシマレーザーの発振波長は以下のとおりである。
ArF - 193 nm
KrF - 248 nm
XeCl - 308 nm
XeF - 351 nm