ガス放出
大気中などでは、固体の表面には水やその他の分子が条件により一定量吸着し、多孔質材料では内部にも水が存在する。大気中にあるときは、蒸気圧によって吸着分子と放出分子が平衡(同じ量存在する)にある。大気中にあった固体を、真空状態にするために減圧すると、この吸着していた分子が徐々に放出されるために、しばらくの間は真空装置で想定される最高到達真空度よりも高い圧力が装置の中に残ってしまう。