レーザー誘起ブレークダウン分光法
対象にレーザーをフォーカスすることによりレーザー照射部位を微粒子化および励起(プラズマ化)し、発生する原子線、イオン線を用いて発光分光により元素組成の分析を行う。この励起はフォーカスされたレーザーのエネルギーが光学的絶縁破壊の閾値を超えた時に行われ、この現象は通常レーザー照射時の環境やターゲットの物性に依存する。基本的にLIBSは対象の物理的状態に依存せず、固体、液体、ガスの何れでも分析が可能である。
全ての元素が高温励起により発生する光について固有の周波数を有するため、LIBSは一般的にレーザーのエネルギー、分光器と検出器により決定される測定波長範囲と感度のみに依存して全ての元素の測定を行うことができる。対象の構成成分が別の手法などにより既知の場合、LIBSは試料中の各構成元素の相対存在量を評価したり、不純物の含有評価にも使用可能となる。マトリクスの近しい濃度既知の標準試料を用いることで、検量線法による定量分析が可能であるほか、得られるLIBSスペクトルを用いた主成分分析も可能である。
LIBSによる分析の感度は一般的にa)プラズマ励起温度、b)集光条件、c)測定に用いた波長の線強度により決定される。