三フッ化ホウ素
イオン注入におけるドーパントとしての利用
エピタキシャル成長されたシリコンがP型半導体となる際のドーパントとしての利用
不飽和結合を持つ化合物の重合開始剤
ある種の異性化やアルキル化、エステル化、縮合反応などの触媒
高感度の中性子検出器
腐食性がある。実験器具に用いられているステンレス鋼やモネル、ハステロイなども水蒸気の存在下で腐食される。ポリアミドと反応するが、テフロンやポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデンやポリプロピレンなどは腐食されない。三フッ化ホウ素を用いる実験の実験装置にグリースを用いる場合、通常の炭化水素系のものを用いると反応してしまうため、フルオロカーボン系のものを用いる必要がある。
三フッ化ホウ素の共有結合は強く分極しているが、分子自体は非極性である。これはホウ素原子がsp軌道を取っており、分子が3回対称であるためである。ホウ素は電子不足であり、化学反応においてはルイス酸として働く。例えばフッ化物と反応してテトラフルオロホウ酸塩を生成する。
CsF + BF 3 ⟶ CsBF 4 {\displaystyle {\ce {CsF\ + BF3 -> CsBF4}}}