リモート・プラズマ
リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ)は、プラズマと材料の相互作用がプラズマ・アフターグロー(英語版)内のプラズマから離れた場所で発生するプラズマ処理(英語版)方法である。