固体レーザー
半導体レーザー励起固体レーザーは、ランプ励起に比べ発熱量が小さくビーム品質も良好である。しかし励起光学系が複雑で、ランプ励起よりも高コストになりやすい特徴がある。近年はレーザー加工機では、固体レーザー(YAGレーザー)からファイバーレーザーに主流が移り変わりつつある。しかしCW(連続波)平均出力ではファイバーレーザーに凌駕されつつあるものの、パルス発振においてはファイバーレーザーに勝る点も多い。特にピーク強度、パルスエネルギーは依然として固体レーザーが有利である。
放熱効率を向上させるために、ゲイン媒質を薄いディスク形状にして放熱器に貼り付けたthin disk laserもある。