SRH統計
τ n e m i = 1 C n n 1 {\displaystyle \tau _{n}^{emi}={1 \over {C_{n}n_{1}}}} , τ n c a p = 1 C n n {\displaystyle \tau _{n}^{cap}={1 \over {C_{n}n}}}
τ p e m i = 1 C p p 1 {\displaystyle \tau _{p}^{emi}={1 \over {C_{p}p_{1}}}} , τ p c a p = 1 C p p {\displaystyle \tau _{p}^{cap}={1 \over {C_{p}p}}}
ただし、
n 1 = N C exp  ( − E C − E T k T ) {\displaystyle n_{1}=N_{C}\exp({-{{E_{C}-E_{T}} \over {kT}}})}
p 1 = N V exp  ( − E T − E V k T ) {\displaystyle p_{1}=N_{V}\exp({-{{E_{T}-E_{V}} \over {kT}}})}
DLTSでは、上記の n 1 {\displaystyle n_{1}} , p 1 {\displaystyle p_{1}} がエネルギーと温度の関数であることを利用して、応答時間の違いから深い準位のエネルギーを算出する。