超音波工業
1954年(昭和29年) - 山﨑虎雄が東京都港区に超音波研究所を創立。
1956年(昭和31年) - 超音波工業株式会社を設立。
1957年(昭和32年) - 大阪出張所を開設。
1961年(昭和36年) - 東京都立川市砂川町(現柏町)に砂川工場を新設。
1963年(昭和38年) - 名古屋出張所を開設(平成2年名古屋営業所に改称)。
1965年(昭和40年) - 大阪営業所に改称(昭和50年大阪支店に改称)。
1966年(昭和41年) - 砂川工場に本社移転(現本社)。
2002年(平成14年) - 超音波ワイヤボンダに対し国際規格ISO9001(2000)を認証取得。
2006年(平成18年) - 全社に対し国際規格ISO9001(2000)を認証取得。
2009年(平成21年) - ISO9001:2008へ移行。本社に対し環境経営システム「エコステージ」のエコステージ1(2006年版)を認証取得。
2010年(平成22年) - 全社に対しエコステージ1(2006年版)を認証取得。
2013年(平成25年) - 名古屋営業所を名古屋支店に改称。
2015年(平成27年) - エコステージ2(2006年版)へ移行。
2017年(平成29年) - エコステージ2(2015年版)へ移行。ISO9001:2015へ移行。
2023年(令和05年) - 中国(深圳)に立川超音波(深圳)有限公司を設立。