薄膜
薄膜(はくまく)とは薄い膜のこと。分野によって定義が異なる。
表面物理学での薄膜(Thin film)は、試料基板上に蒸着やスパッタリング等の手法を使って作られる、数~数十層からなる原子層のこと。
ソフトマターでの薄膜は、両親媒性分子を参照。
以下の項目は1の薄膜についての記述となっている。
薄膜を評価する方法は多数存在し、電子線を用いる方法(LEED、SEM、TEMなど)、イオンを用いる方法(ISS、SIMSなど)、X線回折を用いるものや応力検査などがある。