真空フィードスルー
電源を供給するためには高い電圧を近くの伝導体(例えば装置の壁や隣の端子)から絶縁し、大きな電流に耐えなければいけない。電圧に対して真空内部では10Torr以下に保たれていれば、真空自体が1mm毎に1kVの電圧にも耐える絶縁機構となる(ただし、電気伝導体の表面がなめらかである場合)。しかし、それ以上の電圧(特に20kVを超える場合)においては、フィードスルーの全体を絶縁体で覆う必要がある。また、大きな電流に対しては、径の太い電気伝導体が用いられる。
回転に対しては以下のようなフィードスルーがある。
Oリング
オイルシール
ウィルソンシール
磁性流体シール
マグネットカップリング
溶接ベローズ --- 溶接により製作された蛇腹で真空から隔てられた、ベアリングとwobbling機構により伝えられる。
真空フィードスルー(しんくうフィードスルー、英語:Vacuum feedthrough)は、真空状態を保っている機器の内部へ、電気信号や物理的な運動、流体などを輸送、コントロールするために、真空状態と大気を遮る真空壁に取り付けられる真空部品である。