オルトケイ酸テトラエチル
Sears, R. Siemann, J. Spencer, D. Waltz (2008-09). “Woodpile Structure Fabrication for Photonic Crystal Laser Acceleration” (PDF). AIP Conference Proceedings (American Institute of Physics) 1086 (1). doi:10.1063/1.3080965. https://www.slac.stanford.edu/pubs/slacpubs/13250/slac-pub-13414.pdf.
↑ “特許 US8058138 - Gap processing -”. 2017年6月10日閲覧。
NIST Standard Reference Database 69, June 2005 Release: NIST Chemistry WebBook
TEOSは主に、シリコーン樹脂の架橋剤として用いられている。また、カーペットなどのコート剤として用いられるほか、エアロゲルを作るのにも使われる。これらの用途は、Si-OR結合の反応性を利用している。