Alpha 21264
コード名 EV68CB。動作周波数は1.0GHz、1.25GHz、1.33GHz。1550万トランジスタを集積し、ダイ面積は 120mm。IBMが 0.18μm CMOS プロセス、7層銅配線と低誘電率絶縁膜で製造した。パッケージは675接点のセラミックLGAで、寸法は 49.53mm × 49.53mm。電源電圧は1.7Vで、消費電力は1.0GHzで64W、1.25GHzで75W、1.33GHzde80Wである。