特性評価
顕微鏡はキャラクタリゼーション技術の1分野で、材料の表面構造を調べるためのものである。これらの技術は光子、電子、イオンや物理的カンチレバーなどによって様々なスケールでサンプルの表面構造を調べる。顕微鏡には以下のようなものがある。
光学顕微鏡
走査型電子顕微鏡 (SEM)
透過型電子顕微鏡 (TEM)
イオン顕微鏡 (FIM)
走査型トンネル顕微鏡 (STM)
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)
原子間力顕微鏡 (AFM)
X線回折トポグラフィー(英語版)(XRT)
質量分析(MS)には次のような方法がある:
EI法 (EI) 熱イオン化質量分析(英語版) (TI-MS) マトリックス支援レーザー脱離イオン化法(MALDI-TOF)
二次イオン質量分析法 (SIMS)