光誘起力顕微鏡
試料と原子間力顕微鏡の探針に特定波長のレーザー光を照射することでその光波長に特に反応(誘起)する特定の材料が誘起され、材料と誘起されたAFM探針を近づけることにより、材料の相互作用が検出される。これにより10nm以下の空間分解能のケミカルイメージと1cmの高分解能のスペクトルが取得できる。