三村氏
しかし、三村氏不倶戴天の敵である宇喜多直家と毛利氏が(吉川元春の強固な反対を押し退けて)安国寺恵瓊・小早川隆景の仲立ちによって同盟関係を結んだことに端を発する1575年の備中兵乱において、毛利氏に攻めに攻められて(宇喜多氏は備中兵乱最後の山場である備前常山城攻めなどで、辛うじて僅かに出兵したのみであった)、家親の子・元親は自害。戦国大名としての三村氏は滅亡した。
元親に近い血筋の者は毛利方についた三村親成などの係累を除き、因幡・阿波・讃岐等各地に落ち延びていった。
三村親成の子孫は備後福山藩主水野家に仕官し、水野家の家老を務めた。水野家が改易された後も子孫は続いてゆき、三村親成の曾孫にあたる三村親澄(福山藩大寄合1000石。水野家改易後に備中勇崎村に移住。)の系統や、三村親成の孫である三村親義(福山藩家老 三村親良の子)の系統などがある。親義の系統の子孫は現在の福山市川口町周辺に多い。
二松学舎大学創立者で皇室への出入りのあった漢学者三島中洲(毅)を初めとして、三村氏の子孫を称する家系は備中地域などに少なくない。