ウェットエッチング
ウェットエッチングではエッチレートから手計算でどのような形状にエッチングされるか計算することが可能である。しかし、手計算では膨大な計算時間が必要となるので効率化させるためにソフトウェアを用いて計算する方法がある。
AnisE (IntelliSense社)
IntelliEtch (IntelliSense社)