蛍光X線
対象となる元素は実用的にはNa (Z = 11) 以上の原子番号を持つ元素である。
固体だけでなく水溶液などの分析も可能。
分析によって試料が破壊されることがない(非破壊分析)。
分析は一般には比較的短時間に済む。適当な測定法を用いれば多元素同時分析も可能である。
放射光を照射光源に用いた放射光蛍光X線分析法では、微量元素分析(ppm以下)、微小領域分析(μm以下)も可能になっている。