バッファード オキサイド エッチ液
一般的なバッファード・オキサイド・エッチ液(BHF液)は、16バッファードフッ酸と呼ばれ、フッ化水素酸(濃HF、濃度49%)とフッ化アンモニウム(NH4F、濃度40%)などの緩衝剤(バッファ剤)との体積比を 1:6 とした混合物である。
濃厚なフッ化水素酸だけでは、二酸化ケイ素のエッチングが速すぎてプロセス制御が難しく、またリソグラフィーパターニングに使用するフォトレジストも剥がしてしまう。BHF液は、より制御性の高いエッチングを行うために一般的に使用されるようになった。
この溶液は、25°Cで毎秒約2ナノメートルの速度で、熱酸化成長した酸化物をエッチングする。エッチング中に溶液を攪拌し続けると、溶液がより均質になり、表面からエッチングされた物質が除去され、より均一にエッチングされるようになる。
酸化物の中には BHF液に不溶な生成物を生成するものがある。そこで、これらの不溶物を溶解し、より高品質なエッチングを行うために、BHF液に塩酸(HCl)を添加することが多い。