ステッパー
レンズの設計・製造技術・設備が必要とされるため、老舗の光学機器メーカーがシェアを独占している。
ASML - 光学系はカール・ツァイスが供給。
ニコン
キヤノン
Ultratech - 米国で先進的なステッパーを開発しようとしたが撤退。
なおガラスに関してはカール・ツァイス、ニコン、キヤノンはオハラから供給を受けている。主な光源メーカーはアメリカのサイマー(英語版)と日本のウシオ電機、ギガフォトンなど。