Alpha 21264
命令キャッシュとデータキャッシュに分かれている。どちらも容量は64KB。データキャッシュはデュアルポートだが、クロック信号の立ち上がりと立ち下がりのタイミングでデータを転送する。これにより、サイクル毎にロードとストアの任意の組み合わせに対応可能である。また、21164のように二重化する必要がない。二重化するとトランジスタを多く必要とするため容量が制限され、単位容量当たりの必要な面積と消費電力も増大する。
さらにクロック周波数を上げたバージョン。IBMが製造した EV68C とサムスン電子が製造した EV68A がある。
EV68A は 0.18μm CMOS プロセス、アルミニウム配線で製造された。ダイ面積は 125mm で、21264Aの約3分の2になっている。電源電圧は1.7V。2001年、750MHz版、833MHz版、875MHz版、940MHz版が出荷された。消費電力は、750MHzで60W、833MHzで67W、875MHzで70W、950MHzで75Wである。
EV68C は 0.18μm CMOS プロセス、銅配線で製造された。2000年初めにサンプル出荷を開始し、最高1.25GHzを達成している。1998年9月、サムスンはSOI技術を使い、0.18μmルール、銅配線で製造することで1.5GHz動作を達成したと発表したが、製品化されなかった。