テルミドール9日のクーデター
ジャコバン派が1793年から1794年にかけてフランス内外の戦乱を収拾した後、国民は恐怖政治に嫌気が差すようになっていた。94年春にエベール派とダントン派が粛清されると、ジャコバン派の一部は国民公会の中間派と密に協力してロベスピエールを打倒しようとした。また、恐怖政治の先鋒としてパリ以上に行き過ぎた弾圧を行っていた地方派遣議員(ジョゼフ・フーシェ、ポール・バラス、ジャン=ランベール・タリアンら)は、ロベスピエールの追及を恐れて先制攻撃を画策していた。
一方、恐怖政治の中心だった公安委員会も、ロベスピエール派(ロベスピエール、サン=ジュスト、クートン)・戦乱収拾により勢力を拡大した穏健派(ラザール・カルノーなど)と、恐怖政治のさらなる強化を主張する強硬派(ジャック・ニコラ・ビョー=ヴァレンヌ、ジャン=マリー・コロー・デルボワなど)に分裂していた。それに嫌気が差したのか、ロベスピエールは6月半ばから7月26日まで、公の席にほとんど姿を見せなかった。その間にも反対派の陰謀は進行していた。7月22日には対立関係にあった公安委員会および保安委員会による合同会議が開かれたが、ロベスピエールはもはやサン=ジュストの忠告にも耳を貸さなくなっていた。
その後、パリ市のコミューンが蜂起し、そのすきにロベスピエールらはパリ市庁舎に逃げ込む。市庁舎にはロベスピエールを守るべくパリ市国民軍司令官フランソワ・アンリオ率いる200人の国民衛兵と3500人の群集が集結してきたが、独裁者と呼ばれたくないロベスピエールに彼らの先頭に立つ気はなかった。なお、このときアンリオは泥酔状態だったという。この間に、国民公会は、ロベスピエールらコミューンに従うものを法の外に置くことを決定した。深夜になって国民衛兵は引き上げ、国民公会が派遣したポール・バラス率いる軍隊はやすやすと市庁舎を占領した。ル・バはピストル自殺し、ロベスピエールも自殺を図るが失敗して顎に重傷を負い、逮捕された。のちに准将に昇進したシャルル・アンドレ・メルダは自らが顎を撃ち砕いたと主張している。その後、ロベスピエールらはコンシェルジュリー牢獄に連行されて短い最後の夜を過ごした。
翌7月28日、かつてロベスピエールの指示に従って反対派を断頭台に送り込んでいた革命裁判所の検事アントワーヌ・フーキエ=タンヴィルはロベスピエールらに死刑の求刑を求め、裁判長より死刑判決が下された。午後6時、ロベスピエール兄弟、サン・ジュスト、アンリオら22人は革命広場でギロチンにより処刑された。翌日には70人のコミューンのメンバーが処刑され、その翌日には12人が同じ罪状で処刑された。
さらに、ジャン=バティスト・カリエやフーキエ=タンヴィルらジャコバン派の生き残りは、同年から翌年にかけて次々に逮捕され、死刑に処せられた。クーデターに加わっていたビョー=ヴァレンヌやコロー・デルボワも公安委員として恐怖政治を推進した責任を問われ、ギュイヤンヌへ流罪となった。