真空バルブ
真空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブである。コンダクタンスバルブにはガスの流量を制御しながら真空チャンバーに導入するためのバリアブルリークバルブと、真空ポンプと真空チャンバーとの間に入れることにより実行排気速度を制御するためのコンダクタンスバルブとがある。 以下の種類がある。
ニードルバルブ
バタフライバルブ