ソリッドイマージョンレンズ
ソリッドイマージョンレンズ(Solid immersion lens : SIL)とは試料を高屈折率媒体で満たすことで、通常のレンズより高拡大率、高開口数を達成するためのレンズである。 SILは最初に光学顕微鏡での空間分解能を増強するために開発された。 SILには以下の2種類がある。
半球レンズ型 SIL: レンズが半球型をしており、平面部分が試料に接しているもの。理論的には開口数がレンズを構成する屈折率 n {\displaystyle n} 倍される。
ワイエルシュトラス SIL (超半球 SIL または 超SIL): 高さが ( 1 + 1 / n ) r {\displaystyle (1+1/n)r} で切り取られた、半径 r {\displaystyle r} の球形をしたレンズ。理論的には開口数がレンズを構成する屈折率 n 2 {\displaystyle n^{2}} 倍される。ただし、屈折角nと入射光の取りうる収束角に相反的な関係があり、両者の積 n s i n θ {\displaystyle nsin\theta } は0.9弱が限界であり、結局実効開口数の最大は大差ない。
液浸リソグラフィーと同様にソリッドイマージョン効果を利用しリソグラフパターンの空間分解能を向上させる。半導体の微小部品をウェハ上に作成するときなど用いられる。