エネルギー分散型X線分析
広エネルギー範囲を測定することができるため、同時に、多くの元素を分析できる。
元素の検出下限は、高分解能である波長分散型X線分析 (WDS: wavelength dispersive X-ray spectrometry) に比べると悪い。高精度かつ全元素の分析を行いたい場合に、EDSとWDSを併用して用いる場合がある。
WDSと比べると検出器の取り付けなどの制限を受けない。