ラザフォード後方散乱分光
物質に高速イオンが入射すると、大半は電子との非弾性散乱によりエネルギーを失うが、ごく一部では原子核どうしのクーロン反発(ラザフォード散乱)による弾性散乱が起こる。このとき多重散乱はほとんど起こらず、散乱確率はラザフォードの散乱公式で表される。
入射イオンとしては2MeV程度の軽いヘリウムイオン(アルファ線)が用いられる。