Alpha 21364
Alpha 21364 を使ったシステムは、ロックステップ方式のフォールトトレラントシステムとして構成可能である。これは、タンデムのフォールトトレラント・サーバをMIPSアーキテクチャからAlphaに移行させるとコンパックが決定したために付与された機能である。しかし実際には Itanium を採用したため、Alpha を使ったフォールトトレラントシステムは開発されなかった。
二次キャッシュは命令/データを統合したキャッシュで、容量は1.75MBである。7ウェイ・セットアソシアティブで、ラインサイズは64バイト、ライト時のポリシーはライトバックである。1ビットの誤りを訂正でき、2ビットの誤りを検出できる (SECDED) 誤り訂正符号 (ECC) を採用している。キャッシュコントローラとは128ビットのデータパスで接続されている。二次キャッシュへのアクセスは完全にパイプライン化されており、1.0GHzで動作する場合、16GB/sの帯域幅を継続的に提供できる。
必要なデータが一次キャッシュになく、二次キャッシュから持ってくる場合、12サイクルかかる。このレイテンシは Microprocessor Report 誌などの評論家には大きすぎると見られていた。レイテンシを改善しなければ性能向上は見込めないと見られていた。
総トランジスタ数は1億5200万個である。寸法は 21.1mm × 18.8mm で、面積は 397mm である。IBMが 0.18μm で7層銅配線のCMOSプロセスで製造した。1,443接点のLGA (Land Grid Array)でパッケージされている。電源電圧は1.65Vで、外部インタフェースの電圧レベルは1.5Vである。消費電力は1.25GHzで155Wとなっている。