シリコンウェハー
高純度多結晶シリコン・ロッドは砕いて粗い粒状とし、一度洗浄した後、チョクラルスキー法(Czochralski法、Cz法)、又は、フローティングゾーン法(Floating Zone法、FZ法)によって単結晶のインゴットが作成される。