東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
1970年 - 株式会社メックエンジニアリングとして創業。
1975年 - メックエンジニアリング、株式会社テル・エンジニアリングと合併し、商号を株式会社テルメックに変更。
1983年 - 東京エレクトロン株式会社と米国ラム・リサーチ社の合弁により、テル・ラム株式会社を設立。
1984年 - 東京エレクトロンがテルメックを吸収合併。
1987年 - テル・ラムをテル山梨株式会社に商号変更。
1990年 - テル山梨を(旧)東京エレクトロン山梨株式会社に商号変更。
1997年 - (旧)東京エレクトロン宮城株式会社が設立。
2001年 - (旧)東京エレクトロン山梨と(旧)東京エレクトロン宮城が合併し、東京エレクトロンAT株式会社となる。
2004年 - 東京エレクトロンATと(旧)東京エレクトロン東北が合併、社名は継続。
2006年 - 東京エレクトロンAT・東京エレクトロン東北・東京エレクトロンTSの3社に分割される。
2010年 - 東京エレクトロン宮城株式会社を設立。
2011年 - 半導体製造用エッチング装置事業を東京エレクトロン宮城に移管し、商号を東京エレクトロン山梨株式会社に戻す。
2016年 - 東京エレクトロンTSを吸収合併。
2017年 - 東京エレクトロン東北を吸収合併し、商号を東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社に変更。