ソーラーグレードシリコン
流動床炉(Fluidized bed reactor,FBR)と呼ばれる炉にシリコンの種結晶・シラン・水素を注入し、種結晶を気流で巻き上げながら表面にシリコンを析出させ、顆粒状のシリコンを得る生産方式である。MEMC社がこの手法で最も長い経験を有する。大手メーカーのREC社では、シーメンス法に比較して精製工程の使用エネルギーがほぼ半減し、またウエハレベルでのコストも半減すると見ている。この他Wacker社などがこの方法での生産を予定している。
ソーラーグレードシリコンの製造法は、下記のように多彩である。