電子線描画装置
ニューフレアテクノロジー (NFT)(旧 東芝機械と東芝の合弁企業の独立)
日本電子 (JEOL)
日立ハイテクノロジーズ(電子線描画装置については事業縮小化)
アドバンテスト
HOLON
エリオニクス
Vistec Semiconductor Systems
リソテックジャパン
クレステック
Mapper Lithography
電子線の照射量はマスクの品質に大きく影響を及ぼすため、一定期間において電子線量が正しいか測定を行っている。