オージェ電子分光
光電子の運動エネルギー分光器としては、高感度の円筒鏡型アナライザー(CMA, cylindrical mirror analyzer)と、高エネルギー分解能の同心半球型アナライザー(CHA, concentric hemisherical analyzer)の2種類がある。
AESでは感度が求められるためCMAが用いられることが多い。