東京エレクトロン
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社 - 旧称「東京エレクトロンAT」→「東京エレクトロン山梨」。熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング/アッシング装置の開発・製造。2016年に東京エレクトロンTSを吸収合併、2017年に東京エレクトロン東北を吸収合併 穂坂事業所(山梨県韮崎市) 東北事業所(岩手県奥州市) 府中事業所(東京都府中市) 名古屋サテライト(愛知県名古屋市)
東京エレクトロン九州株式会社 - 半導体製造装置(コータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーション(洗浄)装置)、FPD製造装置(FPDコータ/デベロッパ)の開発・製造 合志事業所(熊本県合志市) 大津事業所(熊本県菊池郡大津町)
東京エレクトロン宮城株式会社 - プラズマエッチング装置の開発・製造
東京エレクトロン デバイス株式会社 - 産業用エレクトロニクス製品の設計・開発、半導体電子デバイス及び情報通信機器の販売、保守
東京エレクトロン FE株式会社 - 装置の設置・保守サービス
東京エレクトロン BP株式会社 - 物流サービス、施設管理、給与・福利厚生、オフィスサポート
東京エレクトロン エージェンシー株式会社 - 保険代理
コータ/デベロッパ - 半導体を製造する際に、フォトリソグラフィープロセスにおいて感光剤の塗布と現像を行う装置。
エッチング装置 プラズマエッチング装置 ガスケミカルエッチング装置
成膜装置 熱処理成膜装置 - トランジスタの絶縁膜をつくるための製造装置。半導体製造において、トランジスタの性能向上を図るために、短時間で高温での熱処理が必要とされている。 ALD装置 CVD装置 PVD装置 枚葉成膜装置 縦型拡散/LP-CVD/ALD装置 SiCエピタキシャル成膜装置
洗浄装置 - 半導体製造過程において、チリ、ほこりなどの不純物を洗浄するための装置。 枚葉洗浄装置 オートウェットステーション バッチスプレー式洗浄装置 極低温エアロゾル枚葉洗浄装置 スクラバー洗浄装置
テスト装置 ウェーハプローバ マルチセルテストシステム
ウェーハボンディング/デボンディング装置
ウェーハエッジトリミング装置
ガスクラスターイオンビーム装置