変位計
レーザー光を被測定対象物で反射させ、戻り光と照射光の干渉を利用して変位を測定する変位計。単色光を使用するホモダインレーザー干渉計と、わずかに波長が異なる二つのレーザー光を使ったヘテロダインレーザー干渉計とがある。
以下の長所・短所がある。
サブミクロンの分解能が得られる
数100mm~数mの測定範囲が得られる
被測定対象物の表面は、鏡面である必要がある
光路の屈折率の影響を受ける