真空フィードスルー
電気を真空へ送るためのフィードスルーは2つに大別できる。1つは、真空内部のにある機器に電源を供給するためのもの(電源フィードスルー)であり、もう1つは真空内部にある機器との電気信号のための(機器フィードスルー)である。いずれにせよ、真空壁への取り付けには絶縁を要するが、絶縁にはアルミナなどのセラミックが使用され、ろう付けやコバール接続などで取り付けられる。