レーザー誘起ブレークダウン分光法
気体、液体、個体を含む試料の形状に関わらず、複雑な前処理の工程を経ずに短時間で元素分析が可能。
高速な分析が可能(例:レーザー照射速度10 Hz、LIBS検出器の測定開始と露光時間がそれぞれ1マイクロ秒の場合、およそ1秒間に10回の測定が可能)。
対象が固体の場合、LIBSスペクトルを測定しつつレーザー照射により対象を掘削またはラスターすることにより、2次元または3次元の多元素分布解析が可能。
測定が光学的技術のみで行われるため、大気非接触環境下での窓越し測定、光ファイバーによる遠隔操作を用いた放射能汚染環境下での分析や火星の惑星探査などにも利用される。
レーザーにより高温のプラズマ(15000K~30000K)を発生させるため、他の発光分光分析では検出が難しいハロゲン等を含む全元素を%から < 1 ppmのオーダーで測定可能。