シリコンナノワイヤ
これらの方法は、材料除去技術を使用して、バルク前駆体からナノ構造を製造するものである。
レーザーアブレーション
イオンビームエッチング
熱蒸発酸化物アシスト成長法(OAG)
メタルアシストケミカルエッチング(MaCE)