デヴォンシャー公
ウィリアム3世とメアリー2世が即位した後は王室家政長官(Lord Steward; 王室家令長)に任命され、1694年5月12日にはイングランド貴族爵位ハーティントン侯爵(Marquess of Hartington)とデヴォンシャー公爵に叙された。以後、デヴォンシャー公爵家は代々名誉革命体制を守るホイッグ党員として活動し、ホイッグ党社会においてラッセル家(ベッドフォード公爵)と双璧する名門として知られるようになった。
4代公ウィリアム・キャヴェンディッシュは、ホイッグ党の政治家として七年戦争中の1756年から1757年にかけて第一大蔵卿(首相)を務めている。しかしこの内閣の実質的な指導権は大ピットであった。大ピットが財政に明るくなく、また戦争指導に集中したがっていたために名目上の首相として彼が立てられたのだった。
5代公ウィリアム・キャヴェンディッシュは、父から公爵位を襲爵する前の1754年に母シャーロットからイングランド貴族爵位クリフォード男爵(Baron Clifford)を継承した。この爵位は議会召集令状(英語: writ of summons)の爵位だったため女系継承が可能だった。
6代公ウィリアム・ジョージ・スペンサー・キャヴェンディッシュ(英語版)まで親から子への相続で続いたが、6代公に子供がなかったため、4代公に遡っての分流である第2代バーリントン伯爵ウィリアム・キャヴェンディッシュ(英語版)が7代公を継承した(クリフォード男爵位のみ6代公に2人の姉妹があったため停止 (abeyance)となり継承されなかった)。
キャヴェンディッシュ家は、14世紀にサフォークのキャヴェンディッシュ村(英語版)に所領を持っていたジョン・キャヴェンディッシュ(英語版)に始まる。彼は1372年からChief Justice(大法官に次ぐ地位)の地位にあり、1381年のワット・タイラーの乱で殺害された。
曾孫にはトマス・ウルジーの伝記を書いたジョージ・キャヴェンディッシュ(英語版)、ジョージの弟でヘンリー8世の宮廷官ウィリアム・キャヴェンディッシュがいる。このウィリアムが財務省に地位を持ち、トマス・クロムウェルが推進する宗教改革の一環として行われた修道院解散で国が没収した資産を不当に懐に入れるなどして巨万の富を築いた。
ウィリアムは「ハードウィックのベス」として知られる3番目の妻エリザベス・ハードウィック(英語版)との間に8子をもうけた。長男のヘンリー(英語版)はウォーターパーク男爵家の祖となった。 次男が、初代デヴォンシャー伯爵に叙されることになるウィリアム・キャヴェンディッシュ(英語版)である。三男のチャールズ(1553年 - 1617年)は初代ニューカッスル=アポン=タイン公爵に叙されるウィリアム・キャヴェンディッシュの父である。ウィリアムは1547年のベスとの再婚後、サフォークにおける資産を売却してベスの故郷であるダービーシャーに居を移し、ベスとともにチャッツワース・ハウスの建設に着手して、そこで没した。
初代デヴォンシャー伯爵となる次男ウィリアムはリヴァプール選挙区(英語版)やニューポート (コーンウォール)選挙区(英語版)選出の庶民院議員やダービーシャーのシェリフなどを務めた後の1605年5月4日にイングランド貴族爵位ハードウィックのキャヴェンディッシュ男爵(Baron Cavendish of Hardwicke)に授爵された。