山崎貞一賞
2001 半導体シリコンカーバイドの高品質エピタキシャル成長とパワーデバイスの先駆的研究
2002 横方向成長による転移密度の大幅低減化技術の発明 ~マイクロチャネルエピタキシ~
2003 IV族半導体ヘテロCVD技術の開発と原子制御プロセスの創生
2004 システムLSIの上流自動設計システムの研究開発
2005 超小型ICタグチップとその関連技術の開発
2006 シリコン直接窒化による高信頼CMOSゲート絶縁膜の先駆的研究
2007 サブ50nm MOSFETの先駆的研究開発
2008 エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と工業化推進
2009 低リーク電流CMOS基本回路の先駆的研究開発
2010 極端紫外線リソグラフィ技術の先駆的研究と工業化への継続的貢献
2011 フィン型MOSFETの提唱と実証
2012 Si MOSFETのチャネル内キャリア輸送特性の解明と高移動度化への先駆的貢献
2013 埋込フォトダイオードを用いたイメージセンサの開発
2014 強誘電体メモリの高信頼化技術の開発と量産化
2015 環境中性子線による半導体ソフトエラー(英語版)計測評価技術の開発と機器障害自動抑止の実現
2016 通信波長帯量子ドットレーザの高性能化とその実用∙量産化
2017 表彰なし
2018 高感度InSb・InAs薄膜ホール素子の開発と応用展開