超音波モータ
電子ビーム描画、或いは検査装置用各種ステージ駆動
レーザービーム真円描画装置用ステージ駆動
細胞見本・指紋等、多量の画像データベース作成用、走査顕微鏡のオートフォーカス・スキャニング駆動
バイオテクノロジー用セルインジェクターの駆動
高磁場環境における機械系の駆動
光部品組立て用6軸並行リンクロボットの駆動
コンデンサー素子の特性計測用 画像位置決め装置の駆動
MRI用ベッドの駆動
ローレンツ力を利用した従来型のモータと比べて高精度で位置決めが出来る。 静止時の保持力が大きく、無通電で保持できるため、静止時の発熱が少ない。 構造上磁石を備えていないため、材料の選定によって超非磁性化が可能である。 従来型モーターに比べ小型化に適している為、今後、微細加工技術の進展に伴いMEMSでの開発が進みつつある。
一方、従来型のモーターの効率がいずれも90 %以上あるのに対して超音波モーターの効率は低く、駆動電圧が高い等の特徴がある。 寿命は従来型のモーターと比べて短く、高精度な金属部品を多く使うため、コストも割高となっている。