ウェットエッチング
ドライエッチングに比べた長所としては、
一度に大量の基板が処理できる
装置や薬品の価格が安い
ほぼ純粋な化学プロセスのため、ドライエッチングに比べてエッチマスクの選択の幅が広く、エッチングされる母材に与える損傷が少ない
等があり、一方短所としては、
エッチング深さが深いとエッチマスクの真下にも腐食が進む(アンダーカット)ため、精度の高い微細加工が難しい
薬品の温度や攪拌速度によってエッチングレートが変化するため、エッチングの再現性に乏しい
という点がある。
一般に、ドライエッチングの方が高アスペクト比(エッチング深さと幅の比率)の加工ができ、加工の自由度も高いが、高価な装置が必要で危険な反応性ガスを用いることがあるので、ウエットエッチングでは無理な場合にドライエッチングを用いる、使い分けがなされている。