東京エレクトロン
2006年4月 - 東京エレクトロンAT株式会社を3社に分割(東京エレクトロンAT株式会社、東京エレクトロン東北株式会社、東京エレクトロンTS株式会社)。
2008年2月 - シャープと合弁で東京エレクトロンPV株式会社を設立。
2008年2月18日 - 本社を赤坂Bizタワーに移転
2012年5月 - NEXX Systems社(米国)を買収し、TEL NEXX, Inc.を設立。
2012年11月 - 東京エレクトロンPV株式会社を解散。
2013年9月24日 - 半導体製造装置世界最大手のアプライド・マテリアルズと2014年後半までに経営統合することで合意。
2015年4月27日 - 「アメリカ合衆国司法省の承認が得られない」ことを理由として、アプライド・マテリアルズとの経営統合を断念することを公表。
2015年10月 - TELのマークを変更。
2018年10月 - 2012年5月に取得した米国現地法人TEL NEXX, Inc.の全株式を売却。
2019年7月10日 - 米国BRIDGとの提携を発表。