走査型プローブ顕微鏡
最初の走査型プローブ顕微鏡は、IBMでゲルト・ビーニッヒ(Gerd Binnig)により開発されたSTMとされる。しかしSTMはトンネル電流を利用するため、絶縁体の観察を行うことが出来ない。そのため、同じくビーニッヒにより原子間力を利用するAFMが開発され(1986年)、測定対象が広がった。また、これらをベースに表面形状だけでなく、様々な局所的な表面物性を評価するSPMが開発された。
現在では、AFMは磁気ディスクの表面粗さ(ひょうめんあらさ)測定、DVDのスタンパーなど0.1μm前後の凹凸を測定する用途には不可欠な測定機器となっている。また、絶縁性の試料や水分を含んだ生体試料などの評価にも用いられる。