産業用CTスキャナ
焦点寸法が100μmより小さいX線管球。出力方式は透過型と反射型がある。130kVから300kVの管球が主流であったが、さらに高エネルギーのマイクロフォーカス管も出てきている。
M = F D D F O D {\displaystyle M={\frac {FDD}{FOD}}}
(FDD: Focus Detector Distance, FOD: Focus Object Distance) により与えられる。 試料をX線源に近づけるほど拡大率は大きくなり、試料の詳細を撮像できる。
同時に、CTの3次元データの最小単位であるボクセルサイズ(V)は、
V = P M {\displaystyle V={\frac {P}{M}}}
(P:検出器のピクセルピッチ)) より求められる。