クライオポンプ
クライオポンプは、2段式の冷凍機構を持つ装置が一般的である。1段目は冷凍能力が大きく80K以下に冷却し、2段目は冷凍能力は小さいが、10 - 12Kに冷却することができる。1段目では水蒸気やアンモニア、二酸化炭素などが排気され、2段目では酸素や窒素、アルゴンなどが排気される。
凝縮パネル(および後述の吸着パネル)は、ヘリウムガスを冷媒とした冷凍機構によって冷却される。そのため、ポンプに加えてコンプレッサ一式が必要となる。