振動型ジャイロスコープ
多くの振動型ジャイロスコープはMEMS技術で製造されるようになり、均一の性能と品質が安価で実現し広く利用可能になった。(2010年4月現在、大量購入時の価格は、3軸ジャイロが1サンプルあたり約3ドル以下、1軸ジャイロは1ドル台である。)これらは、他の集積回路と同時にパッケージされ、アナログ出力あるいはデジタル出力を提供する。多くの場合、一つのデバイス内部に複数の軸のジャイロセンサを含み、いくつかのデバイスはジャイロスコープと加速度計の両方を1パッケージ化し完全な6自由度の出力を有する。基本的に、MEMSジャイロスコープとはフォトリソグラフィ技術を使用して構成された後述のような音叉型、振動ホイール型など様々な形状の振動子を持った角速度センサのことを指す。
振動型ジャイロスコープ(しんどうがたジャイロスコープ、英: vibrating structure gyroscope : VSG、振動ジャイロ)は、振動により角速度を検出するジャイロスコープ。振動する物体が回転している場合、その回転軸に垂直な平面上で振動に対して垂直な力が発生することが物理的な基本原理となっている。振動子が回転している時に生じるコリオリの力を利用するため、工学文献ではコリオリ振動ジャイロ (coriolis vibratory gyro : CVG) とも呼ばれる。
振動型ジャイロスコープは、従来の回転型ジャイロスコープに比べ、同程度の精度をより単純に、より安価に実現可能である。この原理を使って小型化されたデバイスとして、比較的安価なタイプの姿勢指示器がある。
なお、昆虫の平均棍も振動により角速度を検出していると考えられている。
音叉型ジャイロスコープは、共振して動作する1組の試験質量(音叉)を振動させ、その振動面からのずれを検出し角速度信号を作り出す。
F.W.Meredithは、音叉型ジャイロの特許をロイヤル・エアクラフト・エスタブリッシュメント (RAE) で働いている間の1942年に登録した。その後、RAEのG.H.HuntとA.E.W.Hobbsによって1950年代後半まで開発が続けられ、Hobbsは 1 °/h(3.6×10 °/s)以下のドリフトをデモした。
近代の戦闘機用ジャイロは、サフラングループ(フランス)のSAGEM Defence Securite製などの二音叉型を使用している。6脚構造をとることにより、ファイバオプティックジャイロに匹敵する性能を出すことができる。