ケルビンプローブフォース顕微鏡
カンチレバーと試料との間のギャップ制御信号と、ポテンシャル像を得るためにカンチレバーに対して2重の加振を行うために、信号の強度は低下し、ノイズレベルは増加する。つまりS/N比が悪化する。そのため、高感度観察は非常に困難である。また、仕事関数の変化はプローブの酸化等の表面状態に顕著であるため、定量的に比較することが難しい。
また、対象がピンニングの強い半導体の場合には特に重要になる、表面準位による電位ピンニングの問題がある。KFMの測定結果を用いて半導体内部の様子を定量的に議論する場合には、この効果に十分注意を払う必要がある。