フラッシュランプアニール
フラッシュランプアニール(Flash Lamp Anneal)は、デジタルカメラなどに用いられるフラッシュ光の数万、数十万倍のエネルギーをもつフラッシュ閃光を半導体表面にあてることにより、より高速なアニールを実現する装置である。 ウルトラシャロージャンクションなど、微細化が極度に進んだ集積回路のエクステンションと呼ばれる部分の活性化などに用いられる。 それまでのアニールはハロゲンランプを用いるのが一般的であったが、ドーピングしたイオンが活性化する1,000°C以上にウェハを加熱しようとするとハロゲンランプでは数秒の時間がかかる。ゲート長が数十nm以下に微細化されたトランジスタは、そのわずか数秒のアニール時間で[ソース]と[ドレイン]が短絡するほど、ドープされたドーパントが拡散してしまう。最近の集積回路のトランジスタはそれほど小さくなっているのだ。