プレーナー プロセス
“The silicon engine: A timeline of semiconductors in computing”. Timeline: Browse by decade. Computer history museum (2012年). 2012年6月3日閲覧。 A compendium of articles and other information on the development of integrated circuits, including the development of oxide masking, photolithography, the advent of silicon, the integrated circuit and the planar process.
The Planar Process
“The history of the integrated circuit”. Nobelprize.org (2003年). 2012年6月3日閲覧。 An overview of the steps in fabrication of an integrated circuit from the Nobel Prize website. This is a section of the work Techville: The integrated circuit.
『IC化実装技術』日本マイクロエレクトロニクス協会 編、工業調査会、1980年
『厚膜IC化技術』日本マイクロエレクトロニクス協会 編、工業調査会、1983年、ISBN 9784769310341