ペンタフルオロキセノン酸テトラメチルアンモニウム
フッ化テトラメチルアンモニウムと四フッ化キセノンの反応によって合成される。N(CH3)4Fは無水の形で合成することができ、有機溶剤に溶けやすいため合成法に選ばれた。