半導体の低消費電力技術
詳細は「マルチゲート素子」を参照
1つのトランジスタ、1つのチャンネルに複数のゲートを持つことで「サブスレッショルド・リーク電流」(オフステート・リーク電流)を極限化し「オンステート電流」の働きも向上させる。
層間絶縁膜の代わりに配線層を真空層の隙間に作る。