塩化ホスホリル
三塩化リンと酸素の20–50 °Cにおける反応によって得られる。空気を用いると反応効率が悪い。
PCl 3 + O 2 ⟶ POCl 3 {\displaystyle {\ce {PCl3\ + O2 -> POCl3}}}
もう1つは五塩化リンと五酸化二リンの反応によるものである。これらの化合物は共に固体なので混合しにくい。そこで、液体である三塩化リンを原料兼溶媒として使う。五酸化二リンとの混合物を塩素化し、五塩化リンを系中で発生させ、反応を行う。三塩化リンが消費されると、生成物である塩化ホスホリルが溶媒となる。
6 PCl 3 + 6 Cl 2 ⟶ 6 PCl 5 {\displaystyle {\ce {6PCl3\ + 6Cl2 -> 6PCl5}}}
6 PCl 5 + P 4 O 10 ⟶ 10 POCl 3 {\displaystyle {\ce {6PCl5\ + P4O10 -> 10POCl3}}}
五塩化リンを水と反応させても塩化ホスホリルが生成するが、この反応は上記のものより制御するのが難しい。