日本真空学会
各部会は定例的に部会を開き情報交換や発表などを行なっている。各部会の活動報告に付いてはウェブサイトで閲覧することが出来る。
研究部会
規格・標準部会
編集部会
産業部会
スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
教育部会
広報部会
日本真空学会(にほんしんくうがっかい、The Vacuum Society of Japan)は、真空技術及びその応用分野の発展、向上を計ることを目的として1958年に設立された団体である。2018年4月1日付けで公益社団法人日本表面科学会に吸収合併され、公益社団法人日本表面真空学会となった。個人会員(大学等に所属する研究者など)と法人会員(メーカー等)の双方で構成されていた。