X線マイクロトモグラフィ
非破壊検査、医学、生物学、材料科学、冶金学、半導体工学、岩石学、考古学等、多岐にわたる。考古学的な用途としてはエン・ゲディ文書の読み取りにも使用された。
一般的なX線CTスキャナの解像度は数百μm~1mm程度であるが、これを高分解能化(数μmもしくはそれ以下)したものを特にマイクロトモグラフィと呼ぶ。構造上、空間分解能を高めようとすれば試料の大きさは制限される。投影型マイクロトモグラフィと結像型マイクロトモグラフィがあり、それぞれ一長一短があるので用途に応じて使用される。
放射光を利用する事で高輝度で指向性の高い単色X線の利用が可能になり、解像度が向上した。
解像度を向上するためには、
X線の波長を揃えて単色にする
X線を平行にする
試料の回転ステージの軸ぶれを減らす
等の手法が採用される。