変位計
被測定対象物表面にレーザー光を照射した時の反射光から被測定対象物の変位を測定する変位計。反射光の位置を光位置センサPSD(Position Sensitive Detector)やラインセンサなどで測定する正反射方式と、散乱光の位置を一次元または二次元撮像素子などで検出する拡散反射方式とがある。
測定ギャップは数十mm
正反射方式では、被測定対象物の表面仕上げの状態や反射率の影響を受けやすい
拡散反射方式では、被測定対象物が鏡面だと散乱光が得られず測定が難しい