ヴァリアン・セミコンダクターイクイップメント・アソシエイツ
1971年 - Extrionとして設立
1999年 - 事業分割によってヴァリアン・セミコンダクターイクイップメント・アソシエイツとして独立
2011年 - アプライド・マテリアルズに約49億ドル(約3950億円)で買収された