Alpha 21164
1994年2月、最初の試作品が完成し、OpenVMS、Digital UNIX、Windows NT というオペレーティングシステムのブートに成功した。1994年末にはサンプル出荷が開始され、1995年1月に266MHz版が登場した。300MHz版は1995年3月に登場。最後の333MHz版は1995年10月2日に発表され、同時にサンプル出荷が開始された。1996年に 21164A の400MHz版が量産出荷開始され、DECの最速マイクロプロセッサの座を明け渡した。
Alpha 21164PC(コード名 PCA56)は21164Aの低価格版で、1997年3月17日に登場した。DECと三菱電機の共同開発で、両社で製造した。1998年初め、三菱電機はDECとの開発提携関係を打ち切ることを決め、同年中ごろには21164PCの製造もやめ、Alphaから手を引いた。
動作周波数は、400MHz、466MHz、533MHz である。二次キャッシュの内蔵をやめ、マルチメディア拡張命令 (MVI) のために一次命令キャッシュを大きくした。MVIはAlpha ISA の拡張命令セットで、MPEGのエンコード性能などを強化するSIMD命令群である。二次キャッシュはトランジスタ数を削減するために削除され、その結果チップサイズとコストが縮小した。一次命令キャッシュは8KBから16KBに倍増されている。外付けキャッシュの容量は512KBから4MBまでと縮小されている。仮想アドレスは43ビット、物理アドレスは33ビットに制限されている。
総トランジスタ数は350万個で、寸法は 8.65mm × 16.28mm、面積は 141 mm である。DECは従来と同じ CMOS-5 プロセスで製造した。パッケージは413ピンのIPGAで、寸法は 49.78mm × 49.78mm である。電源電圧は3.3Vで、消費電力は400MHzで26.5W、466MHzで30.5W、533MHzで35.0Wである。
DECはマザーボード AlphaPC 164SX に採用した。