MEMS
市販されている代表的なデバイス
プリンタヘッド: 特にインクジェットプリンタ用
圧力センサ
加速度センサ
ジャイロスコープ
光スキャナ (ガルバノメータ)
AFM用カンチレバー
流路モジュール
デジタルミラーデバイス(DMD)
HDDのヘッド
DNAチップ
光スイッチ
ボロメータ型赤外線撮像素子
波長可変レーザー (共振器を可変長化する)
光変調器
コイルや磁石が必要になるため、静電型に比べ構造が複雑で大きいが、大きな力を発生することができる。ヒステリシスやドリフトを伴うこともある。
電磁力アクチュエータ
磁歪アクチュエータ