磁性流体
初期の頃は材料の塊をボールミルやジェットミルなどで砕き、ナノメートルの大きさまで小さくする方法が利用されたが、素材によっては粉砕の過程で変性するので適用できず、得られる粒径も均一ではないので分粒工程を要した。その後、 原料となるイオンまたは錯体を還元剤または電気化学的に還元し、凝集させてナノ粒子化する凝集法(還元法)や原料をそのまま、あるいは担体に担持させて加熱分解する熱分解法、プラズマガス中で蒸発させる物理気相成長 (PVD) 法、レーザー蒸発で急速に蒸発させるレーザー蒸発法、気相中で化学気相成長 (CVD)で化学反応を起こす化学気相成長、回転する真空ドラムの中に油とそれに溶ける界面活性剤を入れ、ドラムの中央に金属を2000°C近くまで加熱される蒸発源を配置し微粒子を製造する活性液面連続真空蒸着法が用いられる。