露点計
JCSS
ISO/IEC 17025
酸化アルミ式の静電容量式センサは、高分子式と同様の仕組みだが、センサの材質に酸化アルミニウムを使用している。過去より簡易型露点計の標準型として幅広い分野に用いられている。 低水分領域まで計測可能であるが、応答速度が遅いという問題点がある。他の計測機器と同様に結露に弱い為、保管管理する際には対策が必要である。一方で、高分子式に比べ測定対象ガスが多い。用途としては、半導体、グローブボックス、電池製造など常時低露点環境等。
測定範囲:-100~+20 °Ctd
測定精度:±2 °C程度。
GE、SHAW、テクネ計測、COSA Xentaur等が代表的なメーカーとして挙げられる。