プラズマCVD
プラズマCVDは一般的には反応室内部の圧力を真空ポンプで減圧して運転される。ポンプには油回転ポンプやドライポンプのほか、ターボ分子ポンプ(TMP)やメカニカルブースターポンプ(MBP)などが組み合わせて用いられることもある。 大気圧(常圧)で運転するものもあり、これらは大気圧プラズマCVDと呼ばれる。