トリメチルシリル基
アルコールやフェノール類、カルボン酸など、ヒドロキシ基のためなどで揮発性が低い化合物にトリメチルシリル基を導入すると、その揮発性を高めることができる。ヒドロキシ基 (−OH) に対し、適切なトリメチルシリル化剤を作用させて水素を置き換え、トリメチルシロキシ基 (−OSi(CH3)3) とする。このときの生成物はトリメチルシリルエーテルである。
R − OH + TMS − X + Base ⟶ R − O − TMS + Base ∙ HX {\displaystyle {\ce {R-OH\ +TMS-X\ +{\mathit {Base}}->R-O-TMS\ +{\mathit {Base}}\bullet HX}}}
すると、官能基の極性が下がるために揮発性が高まり、ガスクロマトグラフィーや質量分析法への適用が容易となる。
有機合成ではトリメチルシリル基を保護基として用いる。ヒドロキシ基を持つ化合物にある反応を施したい、しかしその反応でヒドロキシ基が存在すると副反応が起こってしまう、という場合に、一時的にヒドロキシ基上にトリメチルシリル基を導入してトリメチルシロキシ基の形にすることで、その副反応を回避することができる。
ほかトリメチルシリル基は、チオール基 (−SH)、末端アルキン (−C≡CH) の保護基としても用いられる。