真空ポンプ
1台で大気圧から高真空まで排気することが可能な真空ポンプは存在しない。その排気方法によって作動する圧力が決まっており、使い分けなければならないことを意味する。特に高真空領域まで排気するためには高真空まで排気できるポンプの排気側に大気圧から作動するポンプを別に用意しなければならず、排気側(背圧側)の圧力を下げなければならない。このような場合は高真空まで排気できるポンプを「主ポンプ(main pump)」、主ポンプの背圧側のポンプを「補助ポンプ(backing vacuum pump)」と呼ぶ。補助ポンプは主ポンプを使用する領域を、主ポンプを作動させることができる圧力まで排気する粗引きを行うことも含むため「粗引きポンプ(roughing vacuum pump)」と呼ばれる場合もある。 また、大気圧から作動するポンプを「低真空ポンプ(low vacuum pump)」、高真空で作動するポンプを「高真空ポンプ(high vacuum pump)」と分類する場合もある。
真空ポンプ(しんくうポンプ、バキュームポンプ、vacuum pump )とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1650年にドイツのオットー・フォン・ゲーリケにより発明された。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難なため、多くは粗引き用のポンプとメインの真空排気用のポンプを組み合わせて使うが、用途によって1台で済む場合は粗引きポンプ、メインポンプなどの呼び分けはしない。