オージェ電子
原子核に近い原子軌道にある電子が電子捕獲されたり、X線や電子線で励起され光電子等として放出されたりすると、空いた軌道に外殻から電子が遷移する。このときに放出される軌道間準位差に相当する大きなエネルギーをX線として放出したものが特性X線であり、自己電離して同等のエネルギーを持つ電子として放出されるものがオージェ電子である。ただし、オージェ電子には原子核からのクーロン力が働くため、ふつう特性X線よりも低いエネルギーをもつ。
オージェ電子の持つエネルギーは電子軌道間のエネルギー差に相当するため、ベータ崩壊などで放出される電子とは異なり、単一のスペクトルを持つ。一般に、原子番号の大きな核種になるほど、オージェ電子は放出されにくいとされている。