薄膜の成長機構
薄膜の成長機構(はくまくのせいちょうきこう)では材料表面における薄膜のエピタキシャル成長の様々な機構について述べる。現在、薄膜の成長機構は、フォルマー・ウェーバー成長、フランク・ファンデルメルヴェ成長、ストランスキー・クラスタノフ成の3種類に大別されている。