漢民科技

漢民科技股份有限公司（Hermes-Epitek Corporation）是一家總部位於臺灣新竹科學園區的半導體與光電製程設備公司，由黃民奇於1977年創立。公司以代理國際設備品牌與系統整合起家，後逐步轉入半導體前段高階設備的自主研發與製造，被媒體形容為臺灣規模最大的本土半導體設備公司，且至今未公開上市。漢民科技為漢民集團的核心母體，旗下與轉投資公司涵蓋設備檢測、離子佈植、化合物半導體晶圓代工與醫療器材等領域。

在代理業務上，漢民科技自1980年代末起陸續引進荷蘭艾司摩爾的微影設備、日本東京威力科創的全系列產品與荏原的化學機械研磨設備等國際大廠產品。自製產品方面，公司研發涵蓋電子束、離子束乃至中子束技術，產品包括高電流離子佈植機、有機金屬化學氣相沉積設備、感應耦合式電漿蝕刻機與電子束蒸鍍設備等。

漢民科技轉投資的電子束晶圓檢測設備商漢民微測科技，於2016年由艾司摩爾以約新臺幣1,000億元現金全數收購，《今周刊》稱此案創下當時臺灣企業被外商全資收購的最高金額。身為漢微科最大個人股東的黃民奇因而成為市場焦點，並被媒體稱為「第三代半導體第一人」。

近年漢民集團透過旗下漢磊科技與嘉晶電子布局碳化矽與氮化鎵等第三代半導體；漢民科技本身則陸續於美國鳳凰城、日本熊本等地設立辦公據點。黃民奇曾於2006年獲選為國際半導體產業協會（SEMI）成立以來首位華人全球董事會董事長。

## 歷史

### 創立與設備代理

漢民科技由畢業於交通大學電子物理學系的黃民奇於1977年在臺北市創立，初期以半導體設備代理與系統整合為主要業務。1980年代後期，公司開始與多家國際設備大廠建立合作關係。1988年，漢民科技與荷蘭艾司摩爾建立合作關係，引進其步進機產品，據《商業周刊》報導，黃民奇是全臺灣第二個將艾司摩爾設備代理進臺灣的人；隔年又與日本東京威力科創建立合作，引進其全系列產品。1997年起，公司進一步代理荏原的化學機械研磨設備，並於2001年擴大合作範圍至電鍍設備。公司於1990年將辦公室遷至新竹市，並於1996年進駐新竹科學園區設立營運總部。

### 跨入自製設備與檢測技術

在代理業務之外，漢民科技投入半導體前段設備的自主研發，切入電子束檢測與離子植入設備領域，並自創漢辰科技與漢民微測兩大品牌。1998年，公司投資成立專營電子束晶圓檢測技術的漢民微測科技（漢微科），切入半導體前段高階檢測設備市場，主要客戶包括台積電與英特爾；漢微科於2012年5月以每股新臺幣208元上櫃掛牌。2003年，公司轉投資的漢辰科技在臺灣成立，跨入離子佈植設備的研發製造。

### 漢微科出售予艾司摩爾

2016年6月16日，艾司摩爾與漢微科共同宣布雙方已簽署正式股份轉換契約，艾司摩爾將以每股新臺幣1,410元的現金對價收購漢微科全部流通在外股份，總交易金額約新臺幣1,000億元（依當時匯率折算約27.5億歐元）。此一對價相對漢微科前30個交易日的成交量加權平均價溢價約31%；另有報導稱收購價溢價幅度約16.5%。交易於該年第四季完成後漢微科下櫃，成為艾司摩爾在臺灣的子公司，原有約350名臺灣員工不予裁撤。據《今周刊》報導，漢微科在全球電子束檢測設備的市占率達八成五，而身為漢微科最大個人股東的黃民奇，據《商業周刊》估計由此交易進帳至少逾新臺幣300億元。艾司摩爾認為，漢微科的電子束核心技術可強化其微影技術解決方案；隨半導體製程往7奈米、5奈米及以下發展，相關技術與良率檢測更為困難，此一併購有助於整合技術、克服挑戰。

### 近年發展

出售漢微科後，黃民奇辭去漢磊、嘉晶等多家公司的董事長職務，行事更為低調；漢民集團則透過旗下漢磊科技與嘉晶電子布局碳化矽與氮化鎵功率半導體，並於2017年投資成立醫療器材公司禾榮科技。公司亦於2022年啟用位於竹南科學園區的廣源廠，並進行6吋導電型碳化矽基板的試產。在海外布局方面，漢民科技分別於2023年與2024年設立美國鳳凰城與日本熊本據點。

## 事業與產品

### 設備與材料代理

代理與經銷國際半導體及光電製程設備為漢民科技的核心業務之一。除早年引進的艾司摩爾、東京威力科創與荏原等品牌外，公司現行的業務夥伴涵蓋日本Sumitomo Heavy Industries Material Solutions（離子佈植機與電漿摻雜）、瑞典Mycronic（圖案產生器）、日本Fujikin（氣體流量控制與整合氣體系統）、荷蘭Nearfield Instruments（3D掃描探針顯微鏡量測）、新加坡ASMPT（後段設備與材料）與德國Comet Yxlon（2D、3D X光檢測）等多家國際廠商。據公司資料，漢民科技累計與原廠夥伴裝置22,000部半導體與光電設備，服務200座半導體及光電廠房。

### 自製設備與技術服務

漢民科技的自主研發橫跨電子束、離子束與中子束等技術。其自製設備包括導電型4H碳化矽及半絕緣基板、有機金屬化學氣相沉積設備、高電流離子佈植機、塗佈及顯影機、感應耦合式電漿蝕刻機、電子束蒸鍍設備，以及無助焊劑多晶片熱壓鍵合機與植球迴焊檢測補球機等。除設備銷售外，公司亦提供技術服務與零件銷售，並長年參與臺灣及東南亞晶圓製造與光電廠的建廠與設立，多數廠房仍由其提供技術支援服務。

### 營運據點

漢民科技的營運總部設於新竹科學園區研新一路。在臺灣，公司另於新竹縣湖口鄉、苗栗縣竹南鎮、臺中科學園區與臺南科學園區等地設有辦公室，其中位於竹南科學園區的廣源廠為2022年啟用的生產基地。在中國大陸，公司透過漢民科技（上海）有限公司於上海、北京、南京等城市設有據點；海外則另於新加坡與馬來西亞居林高科技園區設點。公司員工總數超過1,200人。

## 漢民集團

漢民科技為漢民集團的母體。據《財訊》雙週刊報導，漢民集團堪稱臺灣最大的本土半導體設備公司，但公開資訊中幾乎找不到任何財務資料；一位熟悉漢民的產業人士向該刊透露，集團年營業額大約為新臺幣數百億元，其中漢磊與嘉晶的營收合計即超過80億元。

### 漢辰科技

漢辰科技（Advanced Ion Beam Technology，AIBT）為漢民科技的子公司，1999年成立於美國矽谷，2003年於臺灣成立公司，專注於極低能量、高電流離子佈植設備的研發。其產品包括2004年量產的iStar、2008年量產的iPulsar，以及2020年量產的iBlazar等系列離子佈植機。其中iPulsar Plus為單片式高電流離子植入機，將離子束技術應用於半導體成熟製程與3奈米先進製程；iBlazar則具備業界領先的最大晶圓傾斜角度植入能力，並與iPulsar Plus形成技術銜接。

### 漢磊科技與嘉晶電子

漢磊科技為漢民科技於1985年轉投資設立的公司，與磊晶廠嘉晶電子同屬漢民集團，分別具備第三代半導體的晶圓代工與磊晶能力；兩家公司的股票代號分別為3707與3016。據《數位時代》2020年報導，嘉晶為當時臺灣唯一可同時生產碳化矽與氮化鎵磊晶的廠商。2024年9月，世界先進宣布斥資新臺幣24.8億元認購漢磊私募、取得漢磊13%股權，由漢磊在世界先進既有基礎上布局8吋碳化矽晶圓製造，目標於2026年下半年開始量產，初期鎖定工業控制與消費性產品，未來擴展至電動車、人工智慧資料中心與綠能等應用。2025年9月，兩家公司於聯合法人說明會宣布與世界先進合作建置8吋化合物半導體產線，該產線預計2026年上半年完成設備安裝並啟動試產。

### 禾榮科技

禾榮科技為黃民奇於2017年出資新臺幣8億元成立的醫療器材公司，研發加速器型硼中子俘獲治療設備，漢民科技持有其逾八成股權。據《今周刊》報導，禾榮科技總經理沈孝廉表示，全球僅有美、中、日、韓各一家業者及禾榮科技共5家具備開發BNCT設備的能力。2024年10月，黃民奇以漢民科技創辦人兼董事長、國立陽明交通大學傑出校友的身分，透過該校捐贈一套由禾榮科技自行研發、含場地裝置設定費總價值約新臺幣12億元的BNCT設備，由臺北榮民總醫院規畫興建，並由榮陽交團隊共同管理與使用。

## 基本資料

- 名稱：漢民科技股份有限公司
- 公司類型：非上市公司
- 成立：1977年，臺灣臺北市
- 創辦人：黃民奇
- 總部：臺灣新竹科學園區
- 業務範圍：臺灣、中國大陸、美國、日本、新加坡、馬來西亞
- 代表人物：黃民奇（董事長）、林淑玲、許金榮（副董事長）、陳溪新（總經理）
- 產業：半導體設備
- 產品：半導體與光電製程設備、製程材料、自製設備、技術服務
- 員工人數：超過1,200人
- 子公司：漢辰科技、禾榮科技等