汉民科技

汉民科技股份有限公司（Hermes-Epitek Corporation）是一家总部位于台湾新竹科学园区的半导体与光电制程设备公司，由黄民奇于1977年创立。公司以代理国际设备品牌与系统整合起家，后逐步转入半导体前段高阶设备的自主研发与制造，被媒体形容为台湾规模最大的本土半导体设备公司，且至今未公开上市。汉民科技为汉民集团的核心母体，旗下与转投资公司涵盖设备检测、离子布植、化合物半导体晶圆代工与医疗器材等领域。

在代理业务上，汉民科技自1980年代末起陆续引进荷兰艾司摩尔的微影设备、日本东京威力科创的全系列产品与荏原的化学机械研磨设备等国际大厂产品。自制产品方面，公司研发涵盖电子束、离子束乃至中子束技术，产品包括高电流离子布植机、有机金属化学气相沉积设备、感应耦合式电浆蚀刻机与电子束蒸镀设备等。

汉民科技转投资的电子束晶圆检测设备商汉民微测科技，于2016年由艾司摩尔以约新台币1,000亿元现金全数收购，《今周刊》称此案创下当时台湾企业被外商全资收购的最高金额。身为汉微科最大个人股东的黄民奇因而成为市场焦点，并被媒体称为“第三代半导体第一人”。

近年汉民集团透过旗下汉磊科技与嘉晶电子布局碳化硅与氮化镓等第三代半导体；汉民科技本身则陆续于美国凤凰城、日本熊本等地设立办公据点。黄民奇曾于2006年获选为国际半导体产业协会（SEMI）成立以来首位华人全球董事会董事长。

## 历史

### 创立与设备代理

汉民科技由毕业于交通大学电子物理学系的黄民奇于1977年在台北市创立，初期以半导体设备代理与系统整合为主要业务。1980年代后期，公司开始与多家国际设备大厂建立合作关系。1988年，汉民科技与荷兰艾司摩尔建立合作关系，引进其步进机产品，据《商业周刊》报导，黄民奇是全台湾第二个将艾司摩尔设备代理进台湾的人；隔年又与日本东京威力科创建立合作，引进其全系列产品。1997年起，公司进一步代理荏原的化学机械研磨设备，并于2001年扩大合作范围至电镀设备。公司于1990年将办公室迁至新竹市，并于1996年进驻新竹科学园区设立营运总部。

### 跨入自制设备与检测技术

在代理业务之外，汉民科技投入半导体前段设备的自主研发，切入电子束检测与离子植入设备领域，并自创汉辰科技与汉民微测两大品牌。1998年，公司投资成立专营电子束晶圆检测技术的汉民微测科技（汉微科），切入半导体前段高阶检测设备市场，主要客户包括台积电与英特尔；汉微科于2012年5月以每股新台币208元上柜挂牌。2003年，公司转投资的汉辰科技在台湾成立，跨入离子布植设备的研发制造。

### 汉微科出售予艾司摩尔

2016年6月16日，艾司摩尔与汉微科共同宣布双方已签署正式股份转换契约，艾司摩尔将以每股新台币1,410元的现金对价收购汉微科全部流通在外股份，总交易金额约新台币1,000亿元（依当时汇率折算约27.5亿欧元）。此一对价相对汉微科前30个交易日的成交量加权平均价溢价约31%；另有报导称收购价溢价幅度约16.5%。交易于该年第四季完成后汉微科下柜，成为艾司摩尔在台湾的子公司，原有约350名台湾员工不予裁撤。据《今周刊》报导，汉微科在全球电子束检测设备的市占率达八成五，而身为汉微科最大个人股东的黄民奇，据《商业周刊》估计由此交易进账至少逾新台币300亿元。艾司摩尔认为，汉微科的电子束核心技术可强化其微影技术解决方案；随半导体制程往7奈米、5奈米及以下发展，相关技术与良率检测更为困难，此一并购有助于整合技术、克服挑战。

### 近年发展

出售汉微科后，黄民奇辞去汉磊、嘉晶等多家公司的董事长职务，行事更为低调；汉民集团则透过旗下汉磊科技与嘉晶电子布局碳化硅与氮化镓功率半导体，并于2017年投资成立医疗器材公司禾荣科技。公司亦于2022年启用位于竹南科学园区的广源厂，并进行6吋导电型碳化硅基板的试产。在海外布局方面，汉民科技分别于2023年与2024年设立美国凤凰城与日本熊本据点。

## 事业与产品

### 设备与材料代理

代理与经销国际半导体及光电制程设备为汉民科技的核心业务之一。除早年引进的艾司摩尔、东京威力科创与荏原等品牌外，公司现行的业务伙伴涵盖日本Sumitomo Heavy Industries Material Solutions（离子布植机与电浆掺杂）、瑞典Mycronic（图案产生器）、日本Fujikin（气体流量控制与整合气体系统）、荷兰Nearfield Instruments（3D扫描探针显微镜量测）、新加坡ASMPT（后段设备与材料）与德国Comet Yxlon（2D、3D X光检测）等多家国际厂商。据公司资料，汉民科技累计与原厂伙伴装置22,000部半导体与光电设备，服务200座半导体及光电厂房。

### 自制设备与技术服务

汉民科技的自主研发横跨电子束、离子束与中子束等技术。其自制设备包括导电型4H碳化硅及半绝缘基板、有机金属化学气相沉积设备、高电流离子布植机、涂布及显影机、感应耦合式电浆蚀刻机、电子束蒸镀设备，以及无助焊剂多芯片热压键合机与植球回焊检测补球机等。除设备销售外，公司亦提供技术服务与零件销售，并长年参与台湾及东南亚晶圆制造与光电厂的建厂与设立，多数厂房仍由其提供技术支援服务。

### 营运据点

汉民科技的营运总部设于新竹科学园区研新一路。在台湾，公司另于新竹县湖口乡、苗栗县竹南镇、台中科学园区与台南科学园区等地设有办公室，其中位于竹南科学园区的广源厂为2022年启用的生产基地。在中国大陆，公司透过汉民科技（上海）有限公司于上海、北京、南京等城市设有据点；海外则另于新加坡与马来西亚居林高科技园区设点。公司员工总数超过1,200人。

## 汉民集团

汉民科技为汉民集团的母体。据《财讯》双周刊报导，汉民集团堪称台湾最大的本土半导体设备公司，但公开资讯中几乎找不到任何财务资料；一位熟悉汉民的产业人士向该刊透露，集团年营业额大约为新台币数百亿元，其中汉磊与嘉晶的营收合计即超过80亿元。

### 汉辰科技

汉辰科技（Advanced Ion Beam Technology，AIBT）为汉民科技的子公司，1999年成立于美国硅谷，2003年于台湾成立公司，专注于极低能量、高电流离子布植设备的研发。其产品包括2004年量产的iStar、2008年量产的iPulsar，以及2020年量产的iBlazar等系列离子布植机。其中iPulsar Plus为单片式高电流离子植入机，将离子束技术应用于半导体成熟制程与3奈米先进制程；iBlazar则具备业界领先的最大晶圆倾斜角度植入能力，并与iPulsar Plus形成技术衔接。

### 汉磊科技与嘉晶电子

汉磊科技为汉民科技于1985年转投资设立的公司，与磊晶厂嘉晶电子同属汉民集团，分别具备第三代半导体的晶圆代工与磊晶能力；两家公司的股票代号分别为3707与3016。据《数位时代》2020年报导，嘉晶为当时台湾唯一可同时生产碳化硅与氮化镓磊晶的厂商。2024年9月，世界先进宣布斥资新台币24.8亿元认购汉磊私募、取得汉磊13%股权，由汉磊在世界先进既有基础上布局8吋碳化硅晶圆制造，目标于2026年下半年开始量产，初期锁定工业控制与消费性产品，未来扩展至电动车、人工智能资料中心与绿能等应用。2025年9月，两家公司于联合法人说明会宣布与世界先进合作建置8吋化合物半导体产线，该产线预计2026年上半年完成设备安装并启动试产。

### 禾荣科技

禾荣科技为黄民奇于2017年出资新台币8亿元成立的医疗器材公司，研发加速器型硼中子俘获治疗设备，汉民科技持有其逾八成股权。据《今周刊》报导，禾荣科技总经理沈孝廉表示，全球仅有美、中、日、韩各一家业者及禾荣科技共5家具备开发BNCT设备的能力。2024年10月，黄民奇以汉民科技创办人兼董事长、国立阳明交通大学杰出校友的身份，透过该校捐赠一套由禾荣科技自行研发、含场地装置设定费总价值约新台币12亿元的BNCT设备，由台北荣民总医院规划兴建，并由荣阳交团队共同管理与使用。

## 基本资料

- 名称：汉民科技股份有限公司
- 公司类型：非上市公司
- 成立：1977年，台湾台北市
- 创办人：黄民奇
- 总部：台湾新竹科学园区
- 业务范围：台湾、中国大陆、美国、日本、新加坡、马来西亚
- 代表人物：黄民奇（董事长）、林淑玲、许金荣（副董事长）、陈溪新（总经理）
- 产业：半导体设备
- 产品：半导体与光电制程设备、制程材料、自制设备、技术服务
- 员工人数：超过1,200人
- 子公司：汉辰科技、禾荣科技等