激基締合物（excimer，由 excited dimer 縮寫）或稱準分子 httpstermsnaeredutwdetail2d2520292c1db6dbc37dae50bff850b6、受激子、激發雙體 httpstermsnaeredutwdetail2d2520292c1db6dbc37dae50bff850b6，指由兩分子相同物質形成的短壽命二聚體分子。異核雙分子形成的複合物則被稱為激基複合物（exciplex，由 excited complex 縮寫）或激基複合體。 嚴格的說，激基締合物指同核聚合體，而激基複合物指異核覆合體，但實際使用常以激基締合物一言以蔽之，有時甚至可以指一分子內兩個部分締合的產物。 形成激基締合物的兩分子物質中有一種具有滿的價層電子構型（如稀有氣體的排布），而通常的分子價層電子排布存在空缺，若兩分子物質均處於基態將無法形成共價鍵。因此，僅當這兩分子物質有一分子處於激發態時才會滿足軌道成鍵要求，形成激基締合物。激基締合物常為雙原子分子，且壽命極短，只有納秒級。但如果大量激基締合物分子形成了，其壽命便能上升至秒級。 理論概覽 在分子軌道理論體系中，典型基態分子的電子排佈於最低能級軌道。根據泡利原理，一個軌道最多可由兩個電子佔據；如果一個軌道填充了兩個電子，則它們必須處於相反的自旋狀態。已填滿電子的最高能級的分子軌道稱為最高佔據分子軌道（HOMO，Highest Occupied Molecular Orbital），未填充電子的最低能級的分子軌道稱為最低未佔分子軌道（LUMO，Lowest Unoccupied Molecular Orbit）；這兩個狀態之間的能級間隙稱為 HOMOLUMO 帶隙。如果分子吸收了能量等於此帶隙數值的光子，則 HOMO 中的電子便可激發至 LUMO，此時分子便躍遷到激發態。Martin Pope et Charles E Swenberg Electronic Processes in Organic Crystals and Polymers 2nd ed Oxford Science Publications Oxford University Press New York 1999 IUPAC Gold Book httpwwwiupacorggoldbookS05765pdf 當所要形成的二聚體組分之一處於激發態而另一組分處於基態時，便能形成激基締合物。準分子躍遷回基態時，其組分又發生分離，並常常相互排斥，從而以釋放光子的形式衰變，發出雷射。激基締合物衰變得到的雷射波長比單分子受激體衰變得到的波長更長，能量更小。因此，可以透過發射光譜來檢測激基締合物。 激基締合物的形成取決於兩個分子的相互作用，所以提高單體的濃度可以促進其形成。低濃度條件往往只能產生產生受激發的單體，因為這些受激發的單體在還沒來得及與未受激發的單體發生相互作用之前，便衰變回基態。 常透過光激發、等方法得到激發態的分子，進而得到激基締合物。激基締合物一般在等離子體介質中生產，因為其中的高濃度電子對激基締合物形成有著促進作用。 生成與衰變機制 thumb，一種電容放電 放電是最常用的激基締合物生成法，常用不同的具體方法有：輝光放電、脈衝放電、電容放電、橫縱向放電、容積放電、火花放電和微空心放電等。 稀有氣體激基締合物的生成 首先是激發態物質的形成，通常有如下三種途徑： Rg e Rg e 直接電離 Rg e Rg 2e 分步電離 Rg e Rg e Rg e Rg 2e 當等離子體介質中積累了足夠濃度的激發態物質時，激基締合物便可以透過如下反應式生成： Rg Rg M Rg2 M 由這個三原子反應式可以看出，激基締合物生成速率與 Rg 濃度成正比，與 Rg（M）濃度的平方成正比，因此提高體系中稀有氣體濃度（常透過加壓實現）可以提高得到激基締合物反應的速率。但是過高的稀有氣體濃度也會導致發生無輻射猝滅反應，即激基締合物沒有釋放所欲得到的紫外光，便在與普通稀有氣體原子的碰撞中發生衰變。 Rg2 Rg Rg 2Rg 稀有氣體鹵化物激基複合物的形成 稀有氣體鹵化物激基締合物的形成較稀有氣體激基締合物更為複雜，主要途徑有二： 等離子體重組 X2 e X X；Rg e Rg 2e Rg X M RgX M Rg X2 RgX X 或 Rg AX RgX A 或 Rg AX RgX A 使用鹼金屬鹵化物，透過魚叉反應，可以在低壓下得到激基複合物，使得反應具備了實用性。 衰變輻射 常規激基締合物具有電荷轉移（CT）性質，能發生熒光猝滅反應，放出紫外光。稀有氣體激基締合物和稀有氣體鹵化物激基複合物的衰變輻射過程如下： Rg_2 xrightarrow tau Rg Rg hnu RgX xrightarrow tau Rg X hnu 此過程中放出的 hnu 光子處於紫外波段。 科學例項 無機化學 稀有氣體的無機雙原子激基締合物 激基締合物 組分分子 放射波長峰值 308 nm 248 nm 193 nm 無機化學領域中，常在稀有氣體化學分支進行探究。較為活潑的氬、氪和氙是研究的一類主體，它們的短壽命一鹵化物便是一類典型的無機雙原子激基締合物。Basting D and MarowskyG Eds Excimer Laser Technology Springer 2005 下面以氪舉例（氬可等價替換）。Jain K Excimer Laser Lithography SPIE Press Bellingham WA 1990 形成一氟化氪激基締合物： 2 Kr 2 KrF 一氟化氪激基締合物衰變： 2 KrF 2 Kr 有機化學與生物物理學 有機化學領域中，許多反應經歷了激基締合物的中間過程，在共軛體系相互作用的光化學環加成反應中尤為常見。例如簡單的芳香化合物與烯烴的反應，通式如下： 苯與雙鍵體系的光化學環加成反應通式 圖中得到 A 產物（鄰位產物）發生了 22 環加成反應，得到 B 產物（間位產物）發生了 23 環加成反應，得到 C 產物（對位產物）發生了 24 環加成反應（狄爾斯阿爾德反應）。無論哪種途徑，都是苯進入激發態，與雙鍵體系形成了激基複合物，繼而關環。形成激基締合物的反應具有區域選擇性。通常形成激基締合物時轉移的電荷量越多，越有利於形成鄰位加合物，而越不利於形成間位加合物。 芘是生物物理學中激基締合物的一個典型應用，含芘基團間形成激基締合物的反應，常可用於測定生物分子的構型與間距。 現實用途 常用準分子的能量引數 F J Duarte Ed Tunable Lasers Handbook Academic New York 1995 Chapter 3 準分子 波長（奈米） 相對功率（毫瓦） Ar2 126 nm Kr2 146 nm F2 157 nm Xe2 172 175 nm ArF 193 nm 60 KrF 248 nm 100 XeBr 282 nm XeCl 308 nm 50 XeF 351 nm 45 KrCl 222 nm 25 稀有氣體與滷原子形成的無機雙原子激基締合物，如，由於具有衰變的特性，且釋放光波處於紫外波段，常用來製造準分子雷射器，這是激基締合物分子最廣泛的實際用途。 醫學上運用準分子雷射器進行雷射矯視，也就是準分子雷射原位角膜磨鑲術。 準分子雷射器在微電子晶片製造業用於製造高解析度光刻機，是 10nm 精度以下晶片製造技術的核心，被譽為 50 年雷射光刻史上的里程碑。Samsung Starts Industrys First Mass Production of SystemonChip with 10Nanometer FinFET Technology httpsnewssamsungcomglobalsamsungstartsindustrysfirstmassproductionofsystemonchipwith10nanometerfinfettechnology American Physical Society Lasers History Timeline httpwwwlaserfestorglasershistorytimelinecfm SPIE Advancing the Laser 50 Years and into the Future httpspieorgDocumentsAboutSPIESPIE20Laser20Luminariespdf UK Engineering Physical Sciences Research Council Lasers in Our Lives 50 Years of Impact 科研工作中亦廣泛使用準分子雷射器製造儀器，比如染料雷射器、脈衝雷射沉積系統等。Duarte F J and Hillman L W Eds Dye Laser Principles Academic New York 1990 Chapter 6Tallman C and Tennant R Largescale excimerlaserpumped dye lasers in High Power Dye Lasers Duarte F J Ed Springer Berlin 1991 Chapter 4Chrisey DB and Hubler GK Pulsed Laser Deposition of Thin Films Wiley 1994 Chapter 2 準分子雷射發明簡史 1985 年，紐約市哥倫比亞大學 Edward S Harkness 眼科研究所的 Steven Trokel 首次在放射角膜切開術中運用了準分子雷射。 1986 年，Rangaswamy Srinivasan 和 James Wynne 申請了紫外線準分子雷射的相關專利，並在 1988 年獲准生效。 1989 年，成功獲得了使用準分子雷射來矯正角膜曲率的專利。 參見 準分子雷射 熒光共振能量轉移 稀有氣體化合物 準分子雷射原位角膜磨鑲術 44 環加成反應 註釋 參考資料 Category 光化學