நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள்
[[படிமம்:MEMsfounding.jpg|thumb| &quot;மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ்&quot; என்ற சொல்லை முதன்முதலில் அறிமுகப்படுத்திய முன்மொழிவு 1986 இல் தர்பாவிடம் முன்வைக்கப்பட்டது.]]
 [[படிமம்:MEMS_Microcantilever_in_Resonance.png|thumb| அலகிடும் [[அலகிடு எதிர்மின்னி நுண்ணோக்கி|மின்னன் நுண்ணோக்கி]]&lt;nowiki/&gt;யின் உள்ளே ஒத்ததிரும் நுண்வளைவிட்டம்]]
 '''நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள்''' (''Microelectromechanical systems'')('''MEMS''') என்பன மின்னன்,  நகரும் பகுதிகளை உள்ளடக்கிய நுண் கருவிகளின் தொழில்நுட்பமாகும். நுண் மின எந்திர அமைப்புகள்  1 முதல் 100 மைக்ரோமீட்டர் அளவு (அதாவது 0.001 முதல் 0.1மிமீ வரை)  அளவு  உறுப்புகளால் ஆனது.  நுண் மின எந்திர அமைப்புகள் பொதுவாக 20 மைக்ரோமீட்டர்கள் முதல் ஒரு மில்லிமீட்டர் வரை (அதாவது 0.02 முதல் 1.0 மிமீ வரை இருக்கும்)&amp;nbsp;, வரிசைகளில் அமைக்கப்பட்ட  உறுப்புகள் (எ.கா. இலக்கவியல் நுண்தெறிப்புக் கருவிகள் ) 1000 மிமீ &lt;sup&gt;2&lt;/sup&gt; அள்வுக்கு மேல் இருக்கலாம்&amp;nbsp; &lt;ref&gt;{{Cite book|url=https://books.google.com/books?id=7lKytgAACAAJ|title=Small Machines, Large Opportunities: A Report on the Emerging Field of Microdynamics: Report of the Workshop on Microelectromechanical Systems Research|publisher=AT&amp;T Bell Laboratories|others=[[National Science Foundation]] (sponsor)|year=1988}}&lt;/ref&gt; அவை வழக்கமாக தரவுகளை செயலாக்கும் ஒரு மைய அலகு ( [[நுண்செயலி]] போன்ற ஒரு [[தொகுசுற்று|ஒருங்கிணைந்த சுற்று]] சில்லு), சுற்றுப்புறங்களுடன் தொடர்பு கொள்ளும் பல  உறுப்புகளைக் ( [[உணரி|நுண் உணரிகள]] போன்றவற்றைக்) கொண்டிருக்கும். &lt;ref&gt;{{Cite book|title=Nanocomputers and Swarm Intelligence|url=https://archive.org/details/nanocomputersswa0000wald|publisher=[[ISTE Ltd|ISTE]] [[John Wiley &amp; Sons]]|year=2008}}&lt;/ref&gt;
 
 நுண் மின எந்திர அமைப்புகளின்  பெரிய பரப்பு/பருமன் விகிதத்தால், பெரிய அளவு எந்திரக் கருவிகளை விட, சூழல் மின்காந்தவியலும் ( எடுத்துகாட்டாக, நிலைமின் ஊட்டங்கள், காந்தத் திருப்புமைகள்) பாய்ம இயங்கியலும் (எடுத்துகாட்டாக,  பரப்பு இழுவிசை, பிசுபிசுப்பு)  உருவாக்கும் விசைகள் வடிவமைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. நுண் மின எந்திர அமைப்புகளின் தொழில்நுட்பம்  மூலக்கூற்ரு மீநுண் தொழில்நுட்பங்கள் அல்லது  மூலக்கூற்று மின்னனியலில் இருந்து வேறுபட்டனவாகும்நேனெனில் பின்னவை இரன்டும் பரப்பு வேதியியலையும் கருதுத்ல வேண்டும்.
 
 மிகச்சிறிய இயந்திரங்களின் ஆற்றல், அவற்றை உருவாக்கக்கூடிய தொழில்நுட்பம்  உருவாவதற்கு முன்பே பாராட்டப்பட்டது ( எடுத்துகாட்டாக,  [[ரிச்சர்டு பெயின்மான்|இரிச்சர்ட் ஃபெய்ன்மேனின்]] புகழ்பெற்ற 1959 விரிவுரை , கீழே உள்ள அறைகள் நிறைய உள்ளன ). மாற்றியமைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்திக் கருவியின் புனைவமைப்புத் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்திக் கருவிகள் புனையப்பட்டவுடன் நுண் மின எந்திர அமைப்புகள்  நடைமுறைக்கு வந்தது, பொதுவாக [[மின்னணுவியல்|மின்னனியல் கருவிகளை]] உருவாக்க  இது பயன்படுகிறது. &lt;ref&gt;{{Cite journal|vauthors=Angell JB, Terry SC, Barth PW|date=1983|title=Silicon Micromechanical Devices|url=https://archive.org/details/sim_scientific-american_1983-04_248_4/page/44|journal=[[Scientific American|Sci. Am.]]|volume=248|issue=4|pages=44–55|bibcode=1983SciAm.248d..44A|doi=10.1038/scientificamerican0483-44}}&lt;/ref&gt; வார்ப்பு, முலாம் பூசுதல், ஈரப் பொறித்தல் ( [[பொட்டாசியம் ஐதராக்சைடு|KOH]], TMAH )  உலர் பொறித்தல் ( RIE,  DRIE), மின்னிறக்க  இயந்திரவினை (EDM), சிறிய கருவிகளை   உருவாக்கும் திறன் கொண்ட பிற தொழில்நுட்பங்கள் ஆகியவை இதில் அடங்கும்.
 
 அவை மீநுண் அளவில் மீநுண் மின்  எந்திர அமைப்புகளாகவும் (NEMS.) மற்றும் [[நானோ தொழில்நுட்பம்|நானோ]] தொழில்நுட்பமாகவும் இணைகின்றன.
 
 == மேலும் காண்க ==
 
 * நுண் மின் எந்திர அமைப்பு  உணரித் தலைமுறைகள்
 * நுண் ஒளி மின் எந்திர அமைப்புகள்
 * நுண் ஒளி எந்திர அமைப்புகள்
 * மீநுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் அமைப்புகள்
 
 == மேற்கோள்கள் ==
 {{Reflist|30em}}
 
 == மேலும் படிக்க ==
 
 * [http://www.microsystems.ru/eng/conf_news.php?id_table=1&amp;file=102.htm  நுண், மீநுண் நுட்ப இதழ்]
 * '' நுண்ணமைப்புத் தொழில்நுட்பங்கள்'', வெளியீடு ஸ்பிரிங்கர் பதிப்பகம், [https://www.springer.com/east/home?SGWID=5-102-70-1113744-0&amp;changeHeader=true&amp;referer=www.springeronline.com&amp;SHORTCUT=www.springer.com/journal/542 இதழ் முகப்பு]
 * {{cite book |year=2004 |editor1-last=Geschke |editor1-first=O. |editor2-last=Klank |editor2-first=H. |editor3-last=Telleman |editor3-first=P. |titlணாய்வகச் சில்லுக் கருவிகளின் நுண் பொறியியல் |படிப்பகம்r=வைலி |isbn=3-527-30733-8 |url=https://books.google.com/books?id=EMyGfH5IgkkC}}
 
 == வெளி இணைப்புகள் ==
 {{Commons category|MEMS|நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள்}}
 * {{cite book |first1=F. |last1=Chollet |first2=HB. |last2=Liu |date=10 August 2018 |id=5.4 |url=http://memscyclopedia.org/introMEMS.html |title=A (not so) short introduction to MEMS |isbn=978-2-9542015-0-4}}
 
 {{Authority control}}
 [[பகுப்பு:காணொளிக் கோப்பு உள்ள கட்டுரைகள்]]
 [[பகுப்பு:மின்பொறியியல்]]