제어부품 생산기반기술    로봇 전자코용 센서 박막형성 기술                                10년 121
                                         無프리즘시트 고효율 LCD-BLU
                                                                                           10년 122
                                         금형기술
                          고효율부품 생산기반기술
                                         고효율 방열부품의 미세 패턴성형기술                               10년 123
         고효율 생산기반
                                         기능성 윈도우 코팅 기술                                     10년 124
                          화력원자력발전부품      발전플랜트 부품용 내구성 향상 용접
                                                                                           10년 125
                          생산기반기술         및 오버레이 기술
                                         태양전지 셀구조 금형/성형기술                                  10년 126
                                         염료감응형 태양전지용 전극 제조 및
                                                                                           10년 127
                                         표면 물성 제어 기술
                          태양에너지부품 생산기반기술
                                         그린에너지 소재 대면적 고속 코팅
                                                                                           10년 128
         신재생 에너지                         기술(1)
         생산기반                            태양전지 미세전극 도금기술                                    19년 129
                                         금속분리판 가스유로형성 프레스가공
                                                                                           10년 130
                          수소연료전지부품       기술
                          생산기반기술         수소생산 및 연료전지용 나노소재
                                                                                           10년 131
                                         표면제어기술
                                         분위기제어형 활성금속 주조기술                                  10년 132
에너지자원    자원 생산기반          자원재활용부품 생산기반기술
                                         폐자원 유가금속 회수 기술                                    10년 133
생산기반
                                         자원순환형 스크랩 메탈러지 용탕처리
                                                                                           10년 134
                                         고특성 주조소재개발기술
                          유해물질규제대응
                                         유해물질 대체 표면처리 기술                                   10년 135
                          생산기반기술
                                         저소음 장수명 향상 내식성
                                                                                           10년 136
                                         질화/코팅기술
                                         초고강도 난성형 판재 정밀성형 및
                                                                                           10년 137
                                         파인블랭킹 기술
                                         생산성향상 에너지 저소모 스마트
                                                                                           10년 138
         친환경 생산기반                        열처리 기술
                                         2차원 나노구조체 MXene 코팅 기술                             10년 139
                                         복합도금에 의한 나노복합재료의 기능
                          청정생산공정기술                                                         10년 140
                                         향상 및 최적화 기술
                                         반도체소자/전자부품 접합 소재/공정
                                                                                           10년 141
                                         기술
                                         친환경 소재용 금형/성형기술                                   10년 142
                                         친환경 CVD 전구체 제조 및 표면처리
                                                                                           10년 143
                                         기술
분야명칭 : 08. 반도체 분야
                                                                                           선정 순
  대분류           중분류                  소분류                        첨단기술 및 제품
                                                                                           년도 번
                                                         세정용 및 식각용액, 도금용액                  15년 1
                          Chemical                       Compound Semiconductor Material
                                                                                           15년   2
         Gas 및 chemical                                  기술
                          Spin-on Dielectric (SOD) 재료 Gap fill용 SOG/SOD 재료기술               15년   3
                          Gas                            증착 및 식각 가스                        15년   4
                                                         단결정 성장/가공기술                       15년   5
                          Si 웨이퍼
                                                         Hetero-juction 성장 기술              15년   6
                                                         고품질 GaAs, GaP, AlN 단결정
                                                                                           15년   7
                                                         성장기술
         Substrate 소재
                                                         Homo-substrate 성장 기술              15년   8
                          화합물반도체 웨이퍼
                                                         고품질GaN-on-Si성장기술                  15년   9
반도체 소재                                                   화합물반도체 응용기술(자외선 센서,
                                                                                           19년   10
                                                         적외선 센서 등 포함)
         Photo Mask       Mask(EUV, ArF, KrF)            EUV/ArF/KrF mask 제조기술             15년 11
                          Blank Mask                     Blank Mask 제조기술                   19년 12
         Blank Mask
                          석영유리기판                         석영유리기판 제조기술                       19년 13
         PR 소재            Photoresist                    photoresist 기술                    15년 14
                          High-K/Low-K/Metal/Oxide/Nitri
         전구체(Precusor)                                   전구체 합성 및 소재기술                     19년   15
                          de등의전구체
                                                         3D NAND 공정용 hard mask
         식각용 hard mask    Hard mask                                                        15년   16
                                                         박막증착기술
         평탄화 소재           CMP 소모품                     CMP용 slurry 기술                       15년   17


                                       - 17 -