yakdoli/chandra-27b-ocr-v1 huggingface dataset:
중분류     소분류          핵심(요소)기술                      기술수준
                 해수 온도차 발전용 레이디얼
                 터빈 기술
                 05                 [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                 발전기 및 전력변환 기술      - 발전기 정격효율 90 % 이상
                                    - 전력변환기 정격효율 : 90 % 이상


                 06                 - 효율 45 % 이상
                 해수 온도차 발전용 익스펜더


                 07                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 해수취수 배관시스템 설계 및    - 취수부와 응축기 입구의 수온차 : 3 ℃ 이내
                 시공기술               - 취수부 입구온도와 방출구 온도와의 수온차 : 5
                                      ℃ 이내


                 08                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 발전 사이클 해석 기술       -발전량 예측오차 10 % 이내
                                    -발전효율 예측오차 10 % 이내


07    01         01                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
태양열   태양열 활용 기   평판형 집열 기술          ­ 투과면적 기준 출력 640 W/㎡ 이상
      기 기술                          - 불량률 5 % 이내
                                    ­ 집열기 제조설비 및 검사장비 보유
                                    ­ 제조원가 기준 수입의존율 40 % 이하


                 02                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 진공관형 집열 기술         ­ 투과면적 기준 출력 740 W/㎡ 이상
                                    - 불량률 5 % 이내
                                    ­ 집열기 제조설비 및 검사장비 보유
                                    ­ 제조원가 기준 수입의존율 40 % 이하


                 03                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 PTC 집열 기술          - 집광비 40 sun 이상
                                    - PTC용 흡수기를 포함한 시스템
                                    - 설계기술 및 제조설비 보유
                                    - 제조원가 기준 수입의존율 50 % 이하


                 04                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 CPC 집열 기술          - 집광비 10 sun 이상(집열기용)
                                    - CPC용 흡수기를 포함한 시스템
                                    - 설계기술 및 제조설비 보유
                 05                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 Dish 집열 기술         - 집광비 1,000 sun 이상
                                    - 설계기술 및 제조설비 보유


                 06                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 Fresnel 집열 기술      - 집광비 40 sun 이상
                                    - Fresnel용 흡수기를 포함한 시스템
                                    - 설계기술 및 제조설비 보유


                 07                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 헬리오스타트 집열 기술       - 집광비 1000 sun 이상
                                    - Tower용 흡수기를 포함한 시스템
                                    - 설계기술 및 제조설비 보유


                 08                 [현열축열][아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]


                                 - 45 -
중분류     소분류          핵심(요소)기술                         기술수준
                 축열 기술                     - 축열효율(열회수율) 85 % 이상
                                           - 축열조 기준열손실율 30 W/㎡ 이하

                                           [잠열축열]
                                           - 신뢰성 확인을 위한 cycle test 1,500 회 이상



      02         01                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      태양열 소재 및   반사판 기술                    - 반사율 90 % 이상
      재료 기술                                - 내구성 10년 이상(Out Door)


                 02                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 흡수판(집열판) 기술               ­ 흡수율 92 % 이상 (시험한 파장을 명시할 것)
                                           ­ 방사율(emissivity) 5 % 이하 (시험한 파장을
                                            명시할 것)
                                           ­ 코팅 및 제조설비 보유


      03         01                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      중저온 태양열    중 저온 태양열 활용 시스템           - 시스템 이용 효율 40 % 이상(시뮬레이션 결과
      활용 시스템 기   기술(온수급탕, 냉난방, 산업            등 증빙)
      술          공정열 제공 등)                 - 축열조 및 제어를 포함한 시스템 설계 기술 보
                                             유
                                           - 집열기 녹색인증 기술 적용 제품 사용
                                           - 20건 이상의 보급 실적
                                           - 시스템 불량률 5 % 미만
                                           - 사후관리 체계 유무


                 02                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 태양열을 이용한 유기 랭킨            ­ 시스템 효율 8 % 이상(고열원 150 ℃ 이상),
                 사이클(ORC) 발전 시스템 기          시스템 효율 6 % 이상(고열원 150 ℃ 미만)
                 술                         ­ 사후관리 및 O&M(operation and maintenance)
                                            가능


      04         01                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      고온 태양열 활   Dish-Stirling 발전 시스템      ­ 발전효율 15 % 이상(피크기준,
      용 시스템 기술   기술                         solar-to-electric)
                                           ­ Dish 집열기술에 적용되는 녹색인증 제품 사용
                                           ­ 사후관리 및 O&M(operation and maintenance)
                                            가능


                 02                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 PTC 발전 시스템 기술             - 발전효율 12 % 이상(피크기준, solar to
                                             electric)
                                           - 집열기 녹색인증 기술 적용 제품 사용
                                           - 사후관리 및 O&M 가능


                 03                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 Tower 발전 시스템 기술           ­ 발전효율 12 % 이상(피크기준, solar to
                                            electric)
                                           ­ 헬리오스타트 집열 기술에 적용되는 녹색인증
                                            제품 사용
                                           ­ 사후관리 및 O&M가능


                 04                        [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 Fresnel 발전 시스템 기술         - 발전효율 10 % 이상(피크기준, solar to
                                             electric)



                                        - 46 -
중분류     소분류          핵심(요소)기술                        기술수준
                                      - Fresnel 집열기술에 적용되는 녹색인증 제품 사
                                        용
                                      - 사후관리 및 O&M 가능
08    01         01                   [밀폐형 지중 루프 열펌프 시스템]
지열    지열 냉난방 기   열펌프 유니트 성능(물-물,      - COPh 3.62, COPc 4.31 이상
      술          물-공기, 물-공기 멀티형)      [개방형 지하수 열펌프 시스템]
                                      - COPh 3.78, COPc 5.04 이상
                                      (KS B 8292, 8293, 8294 시험조건 기준)


                 02                   [아래 항목 모두를 만족할 것]
                 지열 냉난방 시스템 성능        시스템 COP(히트펌프유니트, 순환펌프, 배관)
                                      - 난방 : COPh 3.15 이상
                                      - 냉방 : COPc 3.75 이상


                 03                   [벤토나이트 계열]
                 Grout 열전도기술          - 일반벤토나이트 : 열전도율 0.70 W/(m·K) 이상
                                      - 고효율벤토나이트 : 열전도율 1.70 W/(m·K) 이
                                        상
                                      [시멘트 계열]
                                      - 열전도율 2.00 W/(m·K) 이상


                 04                   정부지원사업 시공실적 30건 이상, 또는 10건 이
                 지열원 열펌프 설계 및 시공        상 (1건이 100 RT 이상 포함)
                 기술                    (지열이용검토서 또는 신·재생에너지설비설치확
                                        인서 첨부)


                 05                   - 심도 100 m에서 공곡률(직진경사도) 1° 이내
                 천부시추 기술                (5개공 이상 평균치)


      02         01                   - 지하심도 2 km 이상 탐사/검층 가능 여부(판단
      심부지열 개발    심부탐사 기술                자료 제시)
      기술
                 02                   - 지하심도 2 km 이상 시추 가능 여부(판단 자료
                 심부시추 기술                제시)


                 03                   - 지하심도 2 km 이상 공벽유지 여부(판단 자료
                 시추공 완성 기술              제시)


                 04                   ­ 2 km 이상 심부시추공에서 수리특성 및 지열
                 지열 저류층 수리 특성 평가       수 적정양수량 평가 가능 여부(판단 자료 제시)
                 기술

                 05                   - 공당 지열순환수량 20 kg/s 이상 확보
                 수리자극을 통한 인공 저류층
                 형성기술


                 06                   - 2 km 이상에서 응력측정 가능 여부(판단 자료
                 대심도 응력 측정기술            제시)


                 07                   - 구경 175 mm (7 in) 이상, 강도 275 MPa
                 케이싱 제작기술               (40,000 psi) 이상(API 기준)


                 08                   - API 기준 class B 이상
                 시멘팅 재료 기술




                                   - 47 -
중분류     소분류           핵심(요소)기술                       기술수준
                 09                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 비트 기술               - 지하심도 2 km 이상 굴착 가능
                                     - API 및 IADC의 공인분류기준에 부합하는 재료
                                       사용



      03         01                  - 총 발전량 대비 냉각용 전력사용량 12 % 이하
      심부지열 활용    지열발전 냉각기술
      기술
                 02                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 지열 발전소 개념 설계 기술     - 지열발전소 사전 타당성조사 보고서 보유 (두개
                                       이상의 지열발전 방식에 대한 성능비교자료 포
                                       함)
                                     - 지열수 파티클 정제를 위한 설계, 압력차 0.5
                                       kg/㎠ 이내 (지열수 20 kg/s, 파티클 100 μm
                                       조건)
                                     - 스케일 저감 설계, 연간 유동저항 저감율 20 %
                                       미만


                 03                  - 효율 10 % 이상
                 지열 발전 전력 변환 기술


09    01         01                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
수소    수소 생산      개질                  - 수소 생산량 100 N㎥/h 이상
                                     - 순도 99.99 % 이상
                                     - 개질 효율 78 % 이상(Thermal efficiency, HHV)


                 02                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 알카라인 타입 물 전기분해      - 수소 생산량 100 N㎥/h 이상 (단일 스택 기준)
                                     - 순도 99.99 % 이상
                                     - 전기 소모량 : 수소 1 N㎥/h 당 6 kW 이하


                 03                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 PEM 타입 물 전기분해       - 수소 생산량 5 N㎥/h 이상(단일 스택 기준)
                                     - 순도 99.99 % 이상
                                     - 전기 소모량 : 수소 1 N㎥/h 당 6 kW 이하


      02         01                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      수소 이송      카트리지                - 2000 N㎥/unit 이상
                                     - 저장 용기 Type 3, Type 4
                                     - 충전 압력 250 bar 이상



      03         01                  - 시스템 베이스 수소 저장율 1.5 wt% 이상
      수소 저장      금속 저장 용기


                 02                  - 시스템 베이스 수소 저장율 3.5 wt% 이상
                 화학 저장 용기



                 03                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 기체 저장 용기            - 저장 압력 400 bar 이상
                                     - 저장 용기 Type 3, Type 4


      04         01                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      수소 공급 인프   수소 압축기              - 토출 압력 800 bar 이상



                                  - 48 -
중분류       소분류      핵심(요소)기술                  기술수준
      라                          - 성분 분석 시 오일 유입이 없는 형태

                02               - 충전 압력 700 bar 이상
                디스펜서


                03               - 냉각 온도 –40 ℃ 이하
                냉각 장치


                04               - 상용 압력 700 bar 이상
                고압 밸브




                              - 49 -
02. 탄소저감

중분류         소분류        핵심(요소)기술                        기술수준
01       01        01                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
CCS(Ca   연소후 CO₂   CO₂포집분리 소재 기술(습    - CO₂ 흡수능 0.35 mol­CO₂/mol­Absorbent 이상
rbon     포집 플랜트    식)                 - CO₂ 재생에너지 4.0 GJ/tCO₂ 이하
Captur
e and              02                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
Storag             CO₂포집공정기술(습식)      - CO₂ 제거율 90 % 이상
e) 및                                  - CO₂ 순도 95 % 이상
CCU(Ca                                - 처리용량 100 N㎥/h 이상, 또는 0.45 tCO₂/d 이상
rbon
Captur             03                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
e and              CO₂포집분리 소재 기술(건    - CO₂ 흡수능 6 wt% 이상
Utiliz             식)                 - 고체 흡수제강도 < 15 % 이하
ation)
                   04                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂포집공정 기술(건식)     - CO₂ 제거율 80 % 이상
                                      - CO₂ 순도 95 % 이상
                                      - 처리용량 100 N㎥/h 이상, 또는 0.4 tCO₂/d 이상

                   05                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂포집소재 기술(분리막)    - CO₂/N2 선택도 10 이상
                                      - 투과도 : 30 ml/min·c㎡

                   06                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂포집공정 기술(분리막)    - CO₂ 제거율 90 % 이상
                                      - CO₂ 순도 90 % 이상
                                      - 처리용량 10 N㎥/h 이상

         02        01                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
         연소전 CO₂   CO₂포집분리 소재 기술(습    - CO₂ 흡수능 0.45 mol - CO₂/mol - Absorbent 이
         포집 플랜트    식)                   상
                                      - CO₂ 재생에너지 3.0 GJ/tCO₂ 이하

                   02                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂포집분리 소재 기술(건    - CO₂ 제거율 90 % 이상
                   식)                 - CO₂ 순도 95 % 이상
                                      - 처리용량 100 N㎥/h 이상

                   03                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂포집분리 소재 기술(건    - CO 전환촉매 : CO 전환률 90 % 이상
                   식)                 - CO₂ 흡수능 10 wt% 이상
                                      - 고체 흡수제 강도 < 20 % 이하

                   04                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂ 포집분리 소재 기술     - H2/CO₂혼합가스로부터 수소 투과량 20 ml/min·c
                   (분리막)                ㎡
                                      - 수소순도 99.9 % 이상
                                      - CO₂ 포집율 90 % 이상

                   05                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂ 포집공정기술(건식공     - CO₂ 제거율 80 % 이상
                   정)                 - CO₂ 순도 95 % 이상
                                      - 처리용량 100 N㎥/h 이상

                   06                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                   CO₂ 포집공정기술(분리막     - 회수 CO₂순도 90 % 이상
                   공정)                - 수소순도 99.9 % 이상
                                      - 처리용량 1 N㎥/h 이상

         03        01                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]



                                     - 50 -
중분류     소분류         핵심(요소)기술                          기술수준
      연소중 CO₂    순 산소 연소 플랜트 공기      - 산소 투과도 : > 5 ml/min・c㎡
      포집 플랜트     분리 소재 기술            - 산소 순도 99 % 이상
                                     - 안전성 : 1개월 연속 운전
                                     - 처리용량 : > 1 TPD 모듈 및 공정
                 02                  - 순산소 버너 기술, 배가스 재순환 제어기술, 버너
                 순산소 연소 플랜트 시스템        및 플랜트 최적화 기술 적용하여, CO₂포집률 95 %
                 기술                    이상

                 03                  - 산소전달능력 10       wt% 이상, AI 25 % 이하(ASTM
                 매체순환연소 산소공여 소         D-5757-95 기준)
                 재기술

                 04                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 매체순환연소 플랜트 시스       - 200 kWth급 이상
                 템 기술                - CO₂ 순도 90 % 이상(환원반응기배출기체중CO₂의
                                       함량)
                                     - 탄화수소 또는 합성가스 연료의 연소율 95 % 이상
                                     - NOx 배출농도 50 ppm 이하(산화 반응기 배출기 체
                                       중 NOx 농도)

      04         01                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      CO₂ 압축 플   주입용 압축기술            - 가동일 90일 이상
      랜트                             ­ 토출압력 60 ~ 200 barA
                                     ­ CO₂ 처리 연간 10만 톤 이상
                                     ­ Compression Penalty 10 % 이하의 고효율 압축기

                 02                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 수송용 압축 기술           - 파이프라인 운송 중 발생하는 압력손실을 보상하고
                                       운송을 원활하게 하는 대용량 고압 부스터기술
                                       (Critical point 73.8 barA 이상에서 운영)
                                     - CO₂ 처리 연간 10만 톤 이상
                                     - 압축비 1.5 이하의 저압축비압축 기술

      05         01                  [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
      CO₂ 저장 플   지중 저장소 탐사 및 부지      - 육상퇴적분지(지중저장소) : 연간 10 L­km(탄성파
      랜트         선정 기술                 투과심도 1초 이상, 수진기 길이 2 km 이상) 탐사
                                       가능
                                     - 해저퇴적분지(지중저장소) : 연간 2,000 L­km(탄
                                       성파 투과심도 1초 이상, 수진기 길이 3 km 이상)탐
                                       사 가능

                 02                  - 지하 심도 1 km 이상 시추
                 지중심부 시추설비 및 공정

                 03                  [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                 CO₂ 주입 및 저장 플랜트     - 내륙 : 연 CO₂ 1만 톤 이상
                 설계 제작기술             - 해저 : 연 CO₂ 10만 톤 이상

                 04                  [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                 CO₂ 주입 관정 설계 및 제    - 육상퇴적분지(지중저장소) : 연 CO₂ 3천 톤 이상
                 작기술                 - 해저퇴적분지(지중저장소) : 연 CO₂ 5만 톤 이상

                 05                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 석유, 가스 회수증진 및 지     - 연 CO₂ 5만 톤 이상 주입
                 중저장                 - 석유, 가스 회수증진 5 % 이상

                 06                  [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 석탄층 메탄 회수증진 지중      - 연 CO₂ 5,000톤 이상 주입
                 저장                  - 메탄회수증진 5 % 이상




                                    - 51 -
중분류     소분류         핵심(요소)기술                      기술수준
                 07                 - CO₂ 저장효율 증진 5 % 이상
                 퇴적층 내 CO₂ 저장 효율
                 증진 기술

                 08                 [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                 저장공정, 사후 관리, 환경    - 내륙지질 : 주입기간 + 5년 이상/누출 경로 탐지
                 위해성 평가 시스템           및 누출 저감
                                    - 해저지질 : 런던협약 96의정서를 따름(환경 위해성
                                      평가 지침(WAG) 준수)

                 09                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 저장 CO₂ 모니터링 및 거    - 관측정 1 개 이상
                 동 예측               - 주입 CO₂거동 추적 기술 보유


      06         01                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
      CO₂ 수송 플   저비용 고효율 CO₂ 액화플    - CO₂ 처리 연간 10만 톤 이상
      랜트         랜트                 ­ CO₂ 액화 조건에 따른 5.18 barA ~ 20 barA 수준
                                      의 토출 압력 요구(CO₂ Triple Point : 5.18 barA,
                                      ­56.5 ℃)
                                    - 다단압축 공정을 활용한 고효율 액화사이클 시스템



                 02                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 대량 CO₂ 파이프라인 수송    - 연 CO₂ 10 만 톤 이상
                 시스템                - 압력 : 100 bar 이상

                 03                 - 3000톤급 이상
                 CO₂ 전용 수송선

                 04                 - 3000톤급 이상
                 액화가스 - CO₂ 하이브리
                 드 수송선

                 05                 - 누출 경로 탐지 및 누출 저감 기술 보유
                 수송공정 안전 평가관리

      07         01                 [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
      CO₂ 이용 유   CO₂ 이용 유용한 화학물질    - 유효저감률 : 10 % 이상
      용물질 생산플    합성                 - 유효저감량 : 200 tCO₂/y 이상(유효저감량 = CO₂
      랜트                            전환양 x 유효저감율)

                 02                 - 유효저감량 100 tCO₂/y 이상 처리 규모 설계 제작
                 화학적 반응기 및 반응공정       기술

                 03                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 CO₂생물학적 전환 기술      - CO₂ 고정능 : 100 gCO₂/㎡/d
                                    - 3 gCO₂/L/d 이상 균주 보유

                 04                 [아래의 요소 항목을 모두 만족할 것]
                 생물학적 적용 균주 기술      - CO₂ 고정능 : 100 gCO₂/㎡/d, 3 gCO₂/L/d 이상
                                      향상된 균주 개발
                                    - 고밀도 배양 : 15 g/L(건조상태기준) 이상

                 05                 [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                 CO₂ 광화학/전기화학적 전    - 유효저감율 : 30 % 이상
                 환 기술               - 유효저감량 : 100 tCO₂/y 이상

                 06                 [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                 CO₂ 광물탄산화기술        - 유효저감량 : 100 tCO₂/y 이상
                                    - CO₂전환율 90 % 이상



                                   - 52 -
중분류        소분류          핵심(요소)기술                    기술수준
02       01        01                   - 매립표면 발산 온실가스 저감 효율 20 % 이상
Non-CO   환경기초시설    매립표면 가스 발생 저감
₂ 온      발생 메탄 이   기술
실가스      용/저감 기술
처리                 02                   [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                   메탄가스 포집 기술           - 메탄가스 회수율 70 % 이상
                                        - 메탄가스 발생량 예측/설계기술 확보

                   03                   [아래의 요소 항목 모두 만족할 것]
                   메탄가스 포집 기술 (분리       - 이산화탄소/메탄 선택도 10 이상
                   막)                   - 투과도 : 100 GPU 이상 (1 GPU = 10-6 c㎥/c㎡ sec
                                          cm(수은))

                   04                   [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                   메탄가스 정제 기술           - 순도 95 vol% 이상 메탄가스 분리
                                        - 황화수소(50 ppm 이하) 및 실록산(300 ppb 이하)
                                        제거기술

                   05                   [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                   메탄가스 활용 기술           - LNG화 및 도시가스 혼입 연료화기술
                                        - CNG화 및 자동차 연료화 기술
                                        - 수소전환 및 저장기술

                   06                   - 발전 효율 30 % 이상
                   메탄가스 이용 발전 기술

         02        01                   - 나노촉매센서 이용 측정성능오차 ± 10 % 이내
         모니터링 관리   나노소재 센서 기술
         시스템
                   02                   - 실시간 모니터링/관리 기술
                   온실가스 측정/관리 기술

         03        01                   - 직화 열분해 기술, 플라즈마 처리기술, 전자빔 처
         불화가스 저감   불화가스 처리 기술             리기술, 열화학 처리기술 등을 사용하여 HFC/CFC
                                          99.9 %, PFC/SF6 95 % 이상 처리율 확보

                   02                   - 전처리기술을 포함한 흡착분리기술 또는 심냉분리
                   불화가스 회수 기술             기술 등을 사용하여 95 % 이상 회수율 확보

                   03                   [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                   HFC 대체물질             - 초임계 수소화 공정을 통한 HFC계 친환경 냉매 제
                                          조 기술 확보
                                        - HFC계 친환경대체 냉매 제조 기술
                                        - HFC 대체 물질을 이용한 반도체 및 디스플레이 식
                                          각공정 기술

                   04                   - PFC 대체 물질을 이용한 반도체 및 디스플레이 식
                   PFC 대체물질               각공정 기술

                   05                   [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]
                   SF6 대체물질 사용 절연 기     - 건조공기의 질소사용으로 대체
                   술                    - 절연방재형 중전기기에 적용

                   06                   - SF6, NF3, PFC Free 식각설비 양산화 기술 보유(반
                   SF6 및 NF3 대체물질 사용      도체, 디스플레이)
                   식각기술

                   07                   - 반도체/디스플레이 산업, 자동차산업, 전자산업 등
                   공정연계 기술                과의 연계기술 적용

                   08                   [아래의 요소 항목 중 하나 이상 만족할 것]


                                       - 53 -