(omniphobic, oleophobic, icephobic 등)
                          화합물 반도체 나노스케일
         나노 선 합성 장비                                      반도체 나노물질 제어                             15년   46
                          장비 (Top-down)
                                                         EUVL, EPL, ML, NIL, Replica molding
                                                                                                 15년   47
                          나노패턴 몰드/마스크                    관련 기술
                          제작장비                           나노급 패터닝용 원통형 공정/장비
                                                                                                 15년   48
                                                         개발
                          Soft lithography 패터닝 장비        Soft lithography 기반 신개념 나노
                                                                                                 10년   49
         나노 패터닝 장비        (멀티스케일 융합기술)                   패터닝 기술
                                                         새로운 탑다운 (EUVL, NIL, etc.)기술과
                          나노 패터닝 융합장비                    바텀업 (자기조립 + soft lithography)           10년   50
                                                         기술간의 융합기술
                          나노임프린팅장비                       나노급 템플레이트 제작 및 재료기술                     15년   51
                          레이저 간섭 노광 융합 장비                대면적 기판 제작 기술                            15년   52
         나노적층 가공장비        3D 적층가공 장비                     3D 나노 적층 공정기술                           15년   53
                          하이브리드 자기조립
         자기조립 기반                                         자기조립 템플레이트 기반 장거리
                          공정장비 (자기조립 + top                                                       10년   54
         공정장비                                            주기성 나노선 및 나노점 배열 기술
                          down)
                          고해상도 프린팅 장비 (high
                                                         나노크기의 잉크 형성을 위한 노즐                      10년   55
                          resolution print technology)
나노융합장비
         나노소자 프린팅 장비                       절연층을 위한 고분자 잉크 및 UV
                          다기능 잉크 제조 공정장비   경화용 등 다기능 잉크 제조 공정 및                                  10년   56
                                           장비
                                           Stitching 제어가 가능한 Step &
                      나노급 고정밀 Alignment 장비                                                       10년   57
                                           Repeating 기술
         임프린팅 장비
                      나노급 고세장비 마스터제작       다양한 모양의 Pattern을 구현할 수
                                                                                                 10년   58
                      장비                   있는 Direct 가공 기술
                                           XPS imaging 및 SAM(scanning Auger
                      나노 화학 분석장비           Microscopy)을 한 2차원 원소분포 및                             10년   59
                                           결합상태 분석의 체계화
         나노화학/구조분석 장비 나노구조분석장비 (실시간        고 분해능 화학 분광 에너지 분광기
                                                                                                 15년   60
                      관찰기술의 개발)            기술
                      나노구조 설계 및 최적화
                                           유기/무기 계면의 양자모델링 기술                                    15년   61
                      해석 장비
                                           고해상도 원자-전자현미경 융합기술                                    10년   62
         SPM기반 융합 장비  SPM 복합 장비
                                           doping profiling analysis                             19년   63
                      광 소결 장비              산화 금속나노소재 광 소결 기술                                     19년   64
         나노 광융합 장비    원격장 광측정 장비           3차원 광학영상기술                                            15년   65
                      테라Hz 광측정 장비          테라Hz파 이미징 장비                                          15년   66
                      고분자전해질 연료전지          비백금계 촉매 사용 기술                                         10년   67
         나노융합 연료전지                         전해질의 이온전도도 향상기술                                       10년   68
                      고체산화물 연료전지
                                           고성능 고효율 단전지 제조기술                                      10년   69
                                           나노복합 및 나노구조 제어에 의한
                                           리튬금속 기반 이차전지의 양극소재                                    19년   70
                                           기술
                                           나노카본 구조체 기반 장수명
                                                                                                 19년   71
                                           이차전지
                      Li계 이차전지             나노 고체전해질 기반 고안전성
                                                                                                 19년   72
                                           이차전지
                                           나노구조 제어에 의한 실리콘,
나노융합                                                                                             19년   73
                                           나노탄소기반 등 음극소재
에너지환경    나노융합 이차전지
                                           중대형 급속충전 이차전지용 나노소재
                                                                                                 19년   74
                                           기술
                                           유/무기 복합 나노소재를 이용한
                                                                                                 19년   75
                                           고비표면적 전극 소재 기술
                                           하이브리드 커패시터용
                                                                                                 10년   76
                      슈퍼커패시터               나노양극소재기술
                                           유기계/이온성액체계 전해질 소재
                                                                                                 19년   77
                                           기술
                                           초고용량 전극재료 기술                                          19년   78
                                           나노선/튜브를 이용한 고성능화기술                                    10년   79
         나노융합 태양전지    염료감응형 태양전지
                                           유연/투명 태양전지 제조기술                                       19년   80


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