CMP PAD 소재 및 가공기술                   15년   18
                                                       CMP용 Optic EPD 및 공정응용기술             15년   19
                          CMP 공정제어
                                                       미세 평탄화조정 기술                         19년   20
         Target           증착용 Target                   증착(스퍼터링)용 타겟물질 제조기술                 19년   21
                          Interposer 재료                TSV용 interposer 재료기술                15년   22
         Package 소재
                          접착제 재료                       3D package용 접착기술                    15년   23
         봉지 소재            몰딩 및 EMI Shielding 소재        밀봉소재 및 보호/방지막 소재기술                  19년   24
                                                       RF generator 기술                     15년   25
                                                       Matching network 기술                 15년   26
                                                       원격플라즈마 소스 세정 기술(RPSC
                          Plasma 모듈                                                        19년   27
                                                       기술)
                                                       플라즈마 저진공/저압 배기 전처리
                                                                                           19년   28
                                                       기술
                          Heater                       초고온 Heater 제조 기술                    19년   29
                          ESC                          ESC 제조 기술                           19년   30
                          MFC                          MFC 제조 기술                           19년   31
                          Power Supply                 Power Supply 제조 기술                  19년   32
반도체 부품   장비부품             EPD                          EPD 제조 기술                           19년   33
                          EFEM                         EFEM 제조 기술                          19년   34
                          Pump                         중진공/고진공 Pump 제조 기술                  19년   35
                                                       In-situ process 진단 및 제어
                          Auto process control (APC)   기술(real-time doping level control   15년   36
                                                       기술 포함)
                                                       반도체 검사용 부품(소켓, Probe card)
                                                                                           15년   37
                          테스터 모듈                       기술
                                                       반도체 검사용 소켓 및 보드 기술                  15년   38
                                                       초극성 Filtration Membrane 기술          15년   39
                          고분자 필터
                                                       반도체용 필터 기술                          19년   40
                          노광장비                         Next-generation lithography 기술      15년   41
         Lithography 장비
                          Track 장비                     PR 코팅/현상 Track 장비                   15년   42
                                                       High Aspect Ratio Contact Etch 장비
                                                                                           15년   43
                                                       기술
                          Oxide Etch장비
                                                       Etch 장비 내, 내플라즈마성 표면 처리
                                                                                           19년   44
                                                       및 코팅 기술
         Etch 장비                                       STI Etch 장비 기술                      15년   45
                          Silicon Etch장비               Gate Etch 장비 기술                     15년   46
                                                       신물질 Etch 장비 기술                      15년   47
                          Metal Etch 장비                Al, Cu 등 Metal Etch 장비 기술           19년   48
                          Ashing/lite etch 장비          Atomic Layer Ashing 장비 기술           15년   49
                                                       Oxide CMP 장비 기술                     15년   50
                          CMP 장비                       Poly CMP 장비 기술                      19년   51
                                                       METAL CMP 장비 기술                     19년   52
         CMP/세정 장비
                                                       습식 세정 장비 기술                         15년   53
                          세정 장비                        건식 세정 장비 기술                         19년   54
                                                       초임계 세정 장비                           19년   55
반도체 장비
         열처리/산화/이온주입      열처리 장비                       RTP/RTA 장비 기술                       19년   56
         장비               이온주입 장비                      플라즈마 이온주입 장비 기술                     15년   57
                                                       LPCVD 장비 기술                         15년   58
                                                       PECVD 장비 기술                         15년   59
                          CVD/ALD 장비                   절연체GapFill 장비 기술                    15년   60
         증착장비                                          Selective 에피 성장 장비 기술               15년   61
                                                       ALD 장비 기술                           15년   62
                          PVD 장비                       Sputtering 장비 기술                    15년   63
                          도금 장비                        전해 도금 장비 기술                         15년   64
                                                       Wafer to Wafer Bonding 장비 기술        15년   65
         Packaging 장비     Wafer level 장비
                                                       SSD용 wafer to wafer stack 기술        19년   66
                                                       DRAM Wafer Test 부품 및 장비 기술          15년   67
                          Memory test 장비               DRAM Package Test 부품 및 장비
                                                                                           15년   68
                                                       기술
         Test 장비
                                                       System IC 반도체 검사용 부품 및
                          System IC Test 장비                                                15년   69
                                                       장비 기술


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