파티클 및 오염 측정, 두께/조성 측정,
                           In-line 공정 모니터링 장비                                             15년   70
                                                   Defect 측정 장비 기술
         Metrology 장비

                           Overlay장비               layer 오류 측정장비 기술                       19년   71

                                                   Multiple Patterning                    15년   72
                           Mask Lithography
                                                   EUV                                    15년   73
                           Isolation 기술            STI 기술                                 15년   74
                                                   Process Strained Channel 형성 기술         15년   75
                                                   기판 Strained Channel 형성 기술              15년   76
                           Channel 공정 기술
                                                   나노선 기반 channel 공정 기술                   15년   77
         FEP 기술                                    3D Tr Channel 형성 기술                    15년   78
                                                   High-k 게이트 유전체 형성 및 후처리
                                                                                          15년   79
                                                   기술
                           Gate Stack 공정 기술
                                                   Metal gate electrode 형성 및 일함수
                                                                                          15년   80
                                                   조절 기술
                                                   Shallow Junction 용 도핑 및 열처리
                           Source/Drain 형성 기술                                             15년   81
                                                   기술
                           평탄화 기술                  원자층 평탄화 제조기술                           15년   82
                                                   Low-k 증착 및 후처리 공정 기술                   15년   83
                           다층배선 절연막 기술
                                                   Air Gap Structure 기술                   15년   84
                                                   Cu Plating 기술                          15년   85
         Interconnect기술
                                                   Selectively Deposited Metals 공정기술      15년   86
                           다층 금속배선 기술              Dual Work Function Metal Contact
                                                                                          15년   87
                                                   공정기술
                                                   Cu CMP 공정 기술                           15년   88
반도체 제조
         휘발성 메모리
                           Capacitor 제조 기술         Capacitor 유전체 공정 기술                    15년   89
         특화공정기술
                           Flash Memory 제조기술       Tunnel Dielectric 제조기술                 15년   90
                           Charge Trapping Flash
                                                   Charge Trapping Layer 제조기술             15년   91
                           Meory기술
         비휘발성 메모리
                                                   상변화물질 공정 기술                            15년   92
         특화공정기술
                                                   자성물질 공정 기술                             15년   93
                           신메모리 물질 제조기술
                                                   저항변화 산화물 공정 기술                         15년   94
                                                   저항변화 유기박막 공정기술                         15년   95
                                                   Embedded Memory (Flash, E2PROM, OTP)
                           Embedded Memory 공정기술                                           15년   96
         Foundry 특화 공정기술                           형성 기술
                           SoC 제조공정기술              TSV 기반의 3D integration 공정              15년   97
                                                   물리적 특성 평가 기술 (두께,
                                                                                          15년   98
                                                   미세구조, 전자구조 등)
                           박막 및 소자 분석 기술           화학적 특성 평가 기술 (성분,
                                                                                          15년   99
                                                   화학구조 등)
         측정/분석 공정기술                                Dislocation Density 분석 및 저감 기술         15년 100
                                                   Particle/오염 평가기술 등
                           공정 모니터링 기술                                                     15년 101
                                                   공정환경모니터링 기술
                           소자 특성 및 신뢰성 평가          소자의 전기적 특성 측정 및
                                                                                          15년 102
                           기술                      평가기술/real-time 신뢰성 평가 기술
                                                   모바일용 저전력 DRAM 기술                       15년 103
         휘발성 메모리           DRAM                    그래픽용 고속 DRAM 기술                        15년   104
                                                   메인메모리용 고성능 DRAM 기술                     15년   105
                                                   고집적 3차원 구조 소자 기술                       15년   106
                                                   고성능 NAND Flash 소자 기술                   15년   107
메모리 디바이스 비휘발성 메모리          NAND
                                                   3차원 셀 소자 기술                            15년   108
         대용량스토리지메모리        NAND based SCM          대용량 스토리지용 NAND 기술(SSD)                 15년   109
                                                   수직자화형 STT-MRAM 재료/소자
                           STT-MRAM                                                       15년 110
                                                   기술
         이머징메모리
                           PCRAM                   고성능 PCRAM 재료/소자 기술                     15년 111
                           ReRAM                   ReRAM 재료/소자기술                          15년 112
                                                   스위칭 모드 전력증폭기                           15년 113
시스템 디바이스 고주파반도체            능동소자
                                                   고효율전력소자 및 설계기술                         15년 114


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