Държавен вестник, бр. 80, 2008 г., стр. 41

Б Р О Й  80
Д Ъ Р Ж А В Е Н   В Е С Т Н И К
С Т Р .  41
Бележка 1:
Импулсните “лазери” включват тези, които работят в режим непрекъснато излъчване (НИ/
CW), при които импулсите се наслагват един върху друг.
Бележка 2:
Импулсно възбудените “лазери” включват тези, които работят в постоянно възбуден режим,
при който импулсното възбуждане се наслагва.
Бележка 3:
Доколко подлежат на контрол “лазерите” от Раманов вид, се определя от параметрите на
“лазерите” с периодично включване и изключване на изходния електрод. “Лазерите” с пери-
одично включване и изключване на изходния електрод могат да бъдат всички от “лазерите”,
описани по-долу.
a. Газови “лазери”, както следва:
 1. Екзимерни “лазери”, имащи някои от изброените по-долу характеристики:
a. Дължина на вълната на изход не повече от 150 nm и имащи някои от изброените по-
долу характеристики:
1. Енергия на изход над 50 mJ на импулс, или
2. Средна мощност на изход над 1 W;
b. Дължина на вълната на изход над 150 nm, но не повече от 190 nm и имащи някои от
изброените по-долу характеристики:
1. Енергия на изход над 1,5 J на импулс, или
2. Средна мощност на изход над 120 W;
c. Дължина на вълната на изход над 190 nm, но не повече от 360 nm и имащи някои от
изброените по-долу характеристики:
1. Енергия на изход над 10 J на импулс, или
2. Средна мощност на изход над 500 W, или
d. Дължина на вълната на изход над 360 nm и имащи някои от изброените по-долу
характеристики:
1. Енергия на изход над 1,5 J на импулс, или
2. Средна мощност на изход над 30 W;
ВАЖНО:
За екзимерни “лазери”, специално проектирани за литографско оборудване, виж 3B001.
2. “Лазери” с метални пари, както следва:
a. “Лазери” с медно (Cu) активно тяло и средна мощност на изход над 20 W;
b. “Лазери” със златно (Аu) активно тяло и средна мощност на изход над 5 W;
c. “Лазери” с натриево (Na) активно тяло и средна мощност на изход над 5 W;
d. “Лазери” с бариево (Ba) активно тяло и средна мощност на изход над 2 W;
3. “Лазери” с въглероден оксид (СО), имащи някои от изброените по-долу характеристики:
a. Енергия на изход над 2 J на импулс и импулсна “върхова мощност” над 5 kW, или
b. Средна или НИ/CW мощност на изход над 5 kW;
4. “Лазери” с въглероден диоксид (СО2), имащи някои от изброените по-долу характерис-
тики:
a. НИ/CW мощност на изход над 15 kW;
b. Импулс на изход с “времетраене на импулса” над 10 µs и имащи някои от изброените
по-долу характеристики:
1. Средна мощност на изход над 10 kW, или
2. Импулсна “върхова мощност” над 100 kW, или
c. Импулс на изход с “времетраене на импулса”, по-малко или равно на 10 µs, и имащи
някои от изброените по-долу характеристики:
1. Енергия на импулса над 5 J на импулс, или
2. Средна мощност на изход над 2,5 kW;
5. “Химически лазери”, както следва:
a. Хидроген-флуоридни (HF) “лазери”;
b. Деутериево-флуоридни (DF) “лазери”;
c. “Трансферни лазери”, както следва:
1. “Лазери” с йоден оксид (О2-I);
2. “Лазери” с деутериев-флуорид-въглероден диоксид (DF-CO2);
6. “Лазери” с криптонни йони или аргонни йони, имащи някои от изброените по-долу
характеристики:
a. Енергия на изход над 1,5 J на импулс и импулсна “върхова мощност” над 50 W, или
b. Средна или НИ/CW мощност на изход над 50 W;
 7. Други газови “лазери”, имащи някои от изброените по-долу характеристики:
Бележка: 6A005.а.7 не контролира азотните “лазери”.
a. Дължина на вълната на изход не повече от 150 nm и имащи някои от изброените по-
долу характеристики:
1. Енергия на изход над 50 mJ на импулс и импулсна “върхова мощност” над 1 W, или
2. Средна или НИ/CW мощност на изход над 1 W;