Ontleding van die probleem van vergiftiging en verduistering van die doelhelfte na sputtering
Vraag: Reaktiewe magnetronverstuiwingstegnologie deponeer sirkoniumnitriedfilm, die teiken is twee duim, die gas wat spat, is argon, die reaktiewe gas is N2, die krag is 300W, die radiofrekwensie kragtoevoer, die afsetting is twee uur, en die teiken word na die voltooiing verwyder. Kyk na die verskynsel wat in die titel beskryf word, of dit nou teikenvergiftiging of ander redes is, maar hoekom verskyn slegs die helfte daarvan?
Rede -analise 1: Dit hou moontlik verband met die bekendstelling van radiofrekwensie -krag
Rede -analise 2: So 'n klein teiken, twee duim?Is die verkoelingsuniform?
Rede -analise 3: 300W krag word by so 'n klein teiken gevoeg, Kan die verkoeling aanhou? Daar word vermoed dat die verkoeling nie goed is nie, veroorsaak die helfte van die swart!
Rede -analise 4: onvoldoende verkoeling. Is die temperatuur te hoog?
Rede -analise 5: Dit hou moontlik verband met die hoë krag. Ek durf net die krag van die teiken verhoog met 'n deursnee van 60 tot ongeveer 100W.
Oorsaak ontleding 6: Is die kragtoevoer binne twee uur stabiel Dit kan wees dat die energie te hoog is, of dit kan wees dat die kant van die teiken 'n geaarde komponent raak
Rede -analise 7: Daar word vermoed dat daar 'n probleem is met lugdigtheid, persoonlik dink
Oplossing 1: Voorstel 1) Kontroleer die eenvormigheid van die gas; 2) Of daar luglek aan die een kant is?
Oplossing 2: Dit word aanbeveel om 'n XPS -analise te doen, of doen weer die eksperiment.
Opsomming: Gebaseer op bogenoemde analise, die belangrikste redes wat veroorsaak dat die teiken vergiftig en swart is, is te hoë temperatuur, onstabiele kragtoevoer, gasvormigheid en lugdigtheid.Kyk na hierdie moontlike hoofoorsake, en los dit stap vir stap op.