Wybrane aspekty wytwarzania masek fotolitograficznych na podłożach szafirowych.
Authors: Agnieszka Zawadzka, Joanna Prażmowska-Czajka, Kornelia Indykiewicz, Regina Paszkiewicz
Published in: Przegląd Elektrotechniczny.
Publication type: article
Subject areas: Engineering
SJR best quartile: Q4