Pomiary in-situ jednorodności temperatury i ex-situ grubości osadzonej warstwy w systemie epitaksjalnym AIXTRON CCS 3x2''
Authors: Piotr Pokryszka, Mateusz M. Wośko, Regina Paszkiewicz
Published in: Przegląd Elektrotechniczny
Publication type: article
Subject areas: Engineering
SJR best quartile: Q4