Właściwości optyczne powłok SixNy:C nanoszonych metodą RF PECVD otrzymywanych z różnych związków wyjściowych
Authors: Katarzyna Oleśko, Hieronim Szymanowski, Agnieszka Walkiewicz-Pietrzykowska, Maciej-Gazicki-Lipman, Anna Sobczyk-Guzenda, Zofia Kula
Published in: Mała Wielka Naukowa III Edycja, W Labiryncie Nauki
Publication type: conference