Wytwarzanie i skupianie wiązki elektronowej w mikrosystemie do zastosowania w transmisyjnym mikroskopie elektronowym typu MEMS
Authors: Michał Krysztof, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Tomasz Grzebyk
Published in: XII Konferencja naukowa Technologia Elektronowa ELTE'2016
Publication type: conference