Title: Metalorganic vapour-phase epitaxy of AlGaN/GaN heterostructures on chlorine plasma etched GaN templates without buried conductive layer
Authors: Mateusz M. Wośko, Bogdan Paszkiewicz, Andrzej P. Stafiniak, Joanna Prażmowska-Czajka, Andrej Vincze, Kornelia Indykiewicz, Michał Stępniak, Bartosz Kaczmarczyk, Regina Paszkiewicz
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing
Publication type: article
DOI: 10.1016/j.mssp.2019.104816