Title: Thin SixCyNz:H coatings deposited with the RF PECVD method
Authors: K. Oleśko. H. Szymanowski, M. Gazicki-Lipman, J. Balcerzak, A. Sobczyk-Guzenda
Journal: Inżynieria Materiałowa
Publication type: article
DOI: 10.15199/28.2018.4.2