Title: Wpływ parametrów procesu technologicznego na właściwości cienkich warstw na bazie miedzi
Authors: Jacek Rogala, Damian Wojcieszak, Roman Pastuszek, Ewa Mańkowska
Journal: Elektronika-konstrukcje, technologie, zastosowania
Publication type: article
DOI: 10.15199/13.2019.7.9