Title: Atomic layer deposition of Zn_1-xMg_xO: Al transpoarent conducting films
Authors: G. Luka, B.S. Witkowski, L. Wachnicki, K. Goscinski, R. Jakiela, E. Guziewicz, M. Godlewski, E. Zielony, P. Bieganski, E. Placzek-Popko, W. Lisowski, J.W. Sobczak, A. Jablonski
Journal: Journal of Materials Science
Publication type: article
DOI: 10.1007/s10853-013-7832-5