Title: High-k oxides by atomic layer deposition—Applications in biology and medicine
Authors: Marek GodlewskiSylwia Gierałtowska, Łukasz Wachnicki, Rafał Pietuszka, and Bartłomiej S. WitkowskiAnna SłońskaZdzisław GajewskiMichał M. Godlewski
Journal: J. Vac. Sci. Technol. A
Publication type: article
DOI: 10.1116/1.4974314