Title: Cienkie powłoki SixNy:C uzyskane z heksametylodisilazanu za pomocą metody RF PECVD do zastosowań optycznych
Authors: K. Olesko, H. Szymanowski, W. Szymański, M. Gazicki-Lipman, A. Sobczyk-Guzenda
Journal: Ogólnopolskie Seminarium Techniki Jonowe połączone z IV Zimową Szkołą Nanoinżynieria Powierzchni(), Wydawca:-
Publication type: conference