Title: Nanowarstwy tlenków szerokprzerwowych osadzane metodą ALD do zastosowań medycznych
Authors: M. M. Godlewski, I. Serafinska, A. Slonska, J. Cymerys, Z. Gajewski, J. Kaszewski, R. Pietruszka, M. Godlewski
Journal: XVI Krajowa Konferencja Elektroniki KKE 2017
Publication type: conference